JPH10107370A - 外部共振器型波長可変半導体レーザ光源の位相調整装置 - Google Patents
外部共振器型波長可変半導体レーザ光源の位相調整装置Info
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- JPH10107370A JPH10107370A JP25929296A JP25929296A JPH10107370A JP H10107370 A JPH10107370 A JP H10107370A JP 25929296 A JP25929296 A JP 25929296A JP 25929296 A JP25929296 A JP 25929296A JP H10107370 A JPH10107370 A JP H10107370A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 外部共振器型波長可変LD光源において、そ
のLDの動作状態変化による屈折率変化があっても、安
定した連続波長可変が得られる位相調整装置を提供す
る。 【解決手段】 LD1から第1の光分岐器24による分
岐光を光分岐器Bに挿入し、その分岐光を光検出回路A
に挿入し、光分岐器Bからの分岐光をレンズ28により
平行光に変換して平面反射鏡31に挿入し、平面反射鏡
31を透過した光を平行移動機構13上の全反射鏡23
に挿入し、全反射鏡23で反射した平行光を平面反射鏡
31に再度挿入し、平面反射鏡31と全反射鏡23とで
多重反射した平行光を光分岐器Bにより分岐して光検出
回路Bに挿入する。光検出回路Aからの基準光出力信号
と光検出回路Bからの反射光出力信号を比較回路35に
入力して、比較回路35で基準信号と反射信号を比較
し、偏差を検出し、偏差信号を一定の値に制御するよう
に、比較回路35から制御信号により、LD1部の位相
調整機構21で外部共振器の共振波長を制御する。
のLDの動作状態変化による屈折率変化があっても、安
定した連続波長可変が得られる位相調整装置を提供す
る。 【解決手段】 LD1から第1の光分岐器24による分
岐光を光分岐器Bに挿入し、その分岐光を光検出回路A
に挿入し、光分岐器Bからの分岐光をレンズ28により
平行光に変換して平面反射鏡31に挿入し、平面反射鏡
31を透過した光を平行移動機構13上の全反射鏡23
に挿入し、全反射鏡23で反射した平行光を平面反射鏡
31に再度挿入し、平面反射鏡31と全反射鏡23とで
多重反射した平行光を光分岐器Bにより分岐して光検出
回路Bに挿入する。光検出回路Aからの基準光出力信号
と光検出回路Bからの反射光出力信号を比較回路35に
入力して、比較回路35で基準信号と反射信号を比較
し、偏差を検出し、偏差信号を一定の値に制御するよう
に、比較回路35から制御信号により、LD1部の位相
調整機構21で外部共振器の共振波長を制御する。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】この発明は、光計測技術分野
で使用する外部共振器型の波長可変半導体レーザ光源の
位相調整装置に関するものである。
で使用する外部共振器型の波長可変半導体レーザ光源の
位相調整装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】広範囲な波長可変光源として、外部共振
器型の半導体レーザ光源がある(以下では、半導体レー
ザをLDと略称する)。図4は従来技術の外部共振器型
波長可変LD光源の構造を図4に示すもので、この図4
において、光増幅器であるLD1は、ファブリペロ(F
P)型構造であり、片端面に無反射膜2が施され、LD
駆動回路3で駆動される。このようなLD1の無反射膜
(ARコート)2側からの出射光は、レンズ4で平行光
に変換されて、回折格子5に入射する。この回折格子5
は、波長選択反射鏡であり、入射される平行光のうち入
射角によって決まる特定の波長の光を特定の方向へ反射
する。また、LD1の無反射膜2が施されていない側の
端面と回折格子5とで共振器が形成され、回折格子5で
選択された光がLD1に再入射することで、LD発振す
ることができる。
器型の半導体レーザ光源がある(以下では、半導体レー
ザをLDと略称する)。図4は従来技術の外部共振器型
波長可変LD光源の構造を図4に示すもので、この図4
において、光増幅器であるLD1は、ファブリペロ(F
P)型構造であり、片端面に無反射膜2が施され、LD
駆動回路3で駆動される。このようなLD1の無反射膜
(ARコート)2側からの出射光は、レンズ4で平行光
に変換されて、回折格子5に入射する。この回折格子5
は、波長選択反射鏡であり、入射される平行光のうち入
射角によって決まる特定の波長の光を特定の方向へ反射
する。また、LD1の無反射膜2が施されていない側の
端面と回折格子5とで共振器が形成され、回折格子5で
選択された光がLD1に再入射することで、LD発振す
ることができる。
【0003】一方、LD1の無反射膜2が施されていな
い側から出射するレーザ光は、レンズ6で平行光に変換
され、光アイソレータ7を透過した後、レンズ8で集光
され、出力光として出力ファイバ9に入射する。なお、
光アイソレータ7は、出力ファイバ9側からの反射光を
光増幅器であるLD1に戻らないようにするためのもの
である。ここで、回折格子5は、角度調整機構(回転機
構)11により入射光軸に対して任意の角度に調整可能
となっている。この角度調整機構11を波長可変駆動回
路12により駆動制御することで、回折格子5を任意の
角度に回転させ、選択される波長(ブラッグ波長)を任
意に変化でき、これによってLD1の利得範囲で波長可
変を行うことができる。
い側から出射するレーザ光は、レンズ6で平行光に変換
され、光アイソレータ7を透過した後、レンズ8で集光
され、出力光として出力ファイバ9に入射する。なお、
光アイソレータ7は、出力ファイバ9側からの反射光を
光増幅器であるLD1に戻らないようにするためのもの
である。ここで、回折格子5は、角度調整機構(回転機
構)11により入射光軸に対して任意の角度に調整可能
となっている。この角度調整機構11を波長可変駆動回
路12により駆動制御することで、回折格子5を任意の
角度に回転させ、選択される波長(ブラッグ波長)を任
意に変化でき、これによってLD1の利得範囲で波長可
変を行うことができる。
【0004】また、回折格子5は、平行移動機構13に
より入射光軸と平行に移動可能となっている。この平行
移動機構13を位置調整駆動回路14により駆動制御す
ることで、回折格子5を共振器の光軸方向に平行移動さ
せることができ、これによって共振波長を変化させるこ
とができる。以上の構成による波長可変LD光源におい
て、モードホップのない連続波長可変を行うには、回折
格子5で選択されるブラッグ波長(λGr)と共振器のm
次の縦モード次数による共振波長(λFP)を連動して同
じ波長量を変化させなければならない。そのためには、
ブラッグ波長と共振波長の波長差を、λ/2以下に保っ
たまま、回折格子5の角度調整と共振器長の調整を行う
必要がある。その一方法として、分光器に使用されてい
るサインバー機構がある。
より入射光軸と平行に移動可能となっている。この平行
移動機構13を位置調整駆動回路14により駆動制御す
ることで、回折格子5を共振器の光軸方向に平行移動さ
せることができ、これによって共振波長を変化させるこ
とができる。以上の構成による波長可変LD光源におい
て、モードホップのない連続波長可変を行うには、回折
格子5で選択されるブラッグ波長(λGr)と共振器のm
次の縦モード次数による共振波長(λFP)を連動して同
じ波長量を変化させなければならない。そのためには、
ブラッグ波長と共振波長の波長差を、λ/2以下に保っ
たまま、回折格子5の角度調整と共振器長の調整を行う
必要がある。その一方法として、分光器に使用されてい
るサインバー機構がある。
【0005】また、図5はサインバー機構を使用した構
成例を図5に示すもので、この図5において、前述した
図4と同一部分には同一符号を付して示す。図5に示さ
れるように、回折格子5は、角度調整機構(回転機構)
11にリトロ配置で設置され、この角度調整機構11が
回転駆動を受けることで、ブラッグ波長を変化させる機
能を備えている。すなわち、回折格子5は、平行移動機
構13の接触台15に接触されているサインバー16を
介して回転する。このような構成により、位置調整駆動
回路14からの駆動制御で平行移動機構13が平行移動
すると、回折格子5もサインバー16を介して自動的に
回転変化する。
成例を図5に示すもので、この図5において、前述した
図4と同一部分には同一符号を付して示す。図5に示さ
れるように、回折格子5は、角度調整機構(回転機構)
11にリトロ配置で設置され、この角度調整機構11が
回転駆動を受けることで、ブラッグ波長を変化させる機
能を備えている。すなわち、回折格子5は、平行移動機
構13の接触台15に接触されているサインバー16を
介して回転する。このような構成により、位置調整駆動
回路14からの駆動制御で平行移動機構13が平行移動
すると、回折格子5もサインバー16を介して自動的に
回転変化する。
【0006】ところで、サインバー構造では、共振器長
とサインバー16の長さの関係を、次の(1)式〜
(3)式の条件を満たす必要がある。 λGr=2・d・sinθ ・・・(1) λFP=2・n・LEX/m=2・LA・sinθ/m ・・・(2) Δλ=λGr−λFP=2・sinθ・(d−LA/m) ・・・(3) ここで、λGrは回折格子5で選択されたブラッグ波長、
dは回折格子5の溝間隔、λFPは外部共振器による共振
波長、LEXは外部共振器長、mは外部共振器の共振縦モ
ード次数、LAはサインバー16のアーム長、θは回折
格子5へ入射する光の入射角度、Δλはブラッグ波長λ
Grとm次の共振波長λFPとの差を示す。
とサインバー16の長さの関係を、次の(1)式〜
(3)式の条件を満たす必要がある。 λGr=2・d・sinθ ・・・(1) λFP=2・n・LEX/m=2・LA・sinθ/m ・・・(2) Δλ=λGr−λFP=2・sinθ・(d−LA/m) ・・・(3) ここで、λGrは回折格子5で選択されたブラッグ波長、
dは回折格子5の溝間隔、λFPは外部共振器による共振
波長、LEXは外部共振器長、mは外部共振器の共振縦モ
ード次数、LAはサインバー16のアーム長、θは回折
格子5へ入射する光の入射角度、Δλはブラッグ波長λ
Grとm次の共振波長λFPとの差を示す。
【0007】以上の(1)式〜(3)式の条件を満たし
て平行移動機構13を移動した場合、サインバー構造に
よるサインバー共振波長変化と回折格子5のブラッグ波
長変化が同一変化量となり、波長を連続して変化させる
ことができる。ここで、LD1の屈折率は、駆動電流・
温度・発振波長で変化する。また、駆動電流や温度に対
しての屈折率変化は、ほぼ線形変化となるが、発振波長
に対しては、非線形の屈折率変化となる。従って、モー
ドホップのない連続波長可変を行うために、物理的なサ
インバー共振器長と回折格子5のブラッグ波長を正確に
線形変化させても、実際の光学的共振器長は非線形変化
となってしまう。このため、サインバー構造で線形にサ
インバー共振器長を変化させても、ある波長範囲以上な
ると、サインバー共振波長とブラッグ波長がλ/2以上
ズレてしまって、モードホップを伴った波長可変になっ
てしまう。
て平行移動機構13を移動した場合、サインバー構造に
よるサインバー共振波長変化と回折格子5のブラッグ波
長変化が同一変化量となり、波長を連続して変化させる
ことができる。ここで、LD1の屈折率は、駆動電流・
温度・発振波長で変化する。また、駆動電流や温度に対
しての屈折率変化は、ほぼ線形変化となるが、発振波長
に対しては、非線形の屈折率変化となる。従って、モー
ドホップのない連続波長可変を行うために、物理的なサ
インバー共振器長と回折格子5のブラッグ波長を正確に
線形変化させても、実際の光学的共振器長は非線形変化
となってしまう。このため、サインバー構造で線形にサ
インバー共振器長を変化させても、ある波長範囲以上な
ると、サインバー共振波長とブラッグ波長がλ/2以上
ズレてしまって、モードホップを伴った波長可変になっ
てしまう。
【0008】また、サインバー機構を使用しなくても、
前述した式を満たすように回折格子5への入射角度と共
振器長を制御すれば連続波長可変は可能であるが、LD
1の駆動電流が異なると波長に対する屈折率の非線形特
性も異なってしまうため、個別に入射角度と共振器長の
調整を広範囲で連続に制御することは極めて困難であ
る。さらに、狭スペクトル線幅も得る構造として、図6
に示す光共鳴反射器構造の外部共振器型波長可変LD光
源がある(特開平6−112583号公報参照)。この
光共鳴反射器型の波長可変LD光源でも、前述した図
4、図5のLD光源と同様に、光増幅器として片端面が
無反射膜2が施されたLD1を使用する。一方、外部共
振器としては、前述の回折格子5、角度調整機構(波長
可変機構)11、平行移動機構13と共に、LD1及び
回折格子5からの光を分岐する光分岐素子17、この光
分岐素子17からの分岐光を入射方向に全反射する全反
射鏡18で光共鳴反射器を形成している。この光共鳴反
射器をLD1の無反射膜2側の反射鏡として使用する。
前述した式を満たすように回折格子5への入射角度と共
振器長を制御すれば連続波長可変は可能であるが、LD
1の駆動電流が異なると波長に対する屈折率の非線形特
性も異なってしまうため、個別に入射角度と共振器長の
調整を広範囲で連続に制御することは極めて困難であ
る。さらに、狭スペクトル線幅も得る構造として、図6
に示す光共鳴反射器構造の外部共振器型波長可変LD光
源がある(特開平6−112583号公報参照)。この
光共鳴反射器型の波長可変LD光源でも、前述した図
4、図5のLD光源と同様に、光増幅器として片端面が
無反射膜2が施されたLD1を使用する。一方、外部共
振器としては、前述の回折格子5、角度調整機構(波長
可変機構)11、平行移動機構13と共に、LD1及び
回折格子5からの光を分岐する光分岐素子17、この光
分岐素子17からの分岐光を入射方向に全反射する全反
射鏡18で光共鳴反射器を形成している。この光共鳴反
射器をLD1の無反射膜2側の反射鏡として使用する。
【0009】ところで、連続波長可変は、原理的には、
前述した図5の回折格子型波長可変LD構造と等しく、
回折格子5の角度調整と共振器長の調整とを同時に制御
することで得られる。この光共鳴反射器型の波長可変L
D光源構造では、全反射鏡18と回折格子5とから成る
共振器と、全反射鏡18とLD1の無反射膜2が施され
ていない側の端面とから成る共振器の2つが存在する。
これら2つの共振器のうち、一方の共振器にはLD1が
挿入されているので、全反射鏡18と回折格子5からな
る共振器長をサインバー機構で線形に変化させても、L
D1が挿入されている共振器側は、LD1の屈折率が影
響し線形な共振器変化にはならず、前述した図5の構造
と同じく、ある波長範囲以上なると、共振波長とブラッ
グ波長がλ/2以上ズレてしまって、モードホップを伴
った波長可変になってしまう。
前述した図5の回折格子型波長可変LD構造と等しく、
回折格子5の角度調整と共振器長の調整とを同時に制御
することで得られる。この光共鳴反射器型の波長可変L
D光源構造では、全反射鏡18と回折格子5とから成る
共振器と、全反射鏡18とLD1の無反射膜2が施され
ていない側の端面とから成る共振器の2つが存在する。
これら2つの共振器のうち、一方の共振器にはLD1が
挿入されているので、全反射鏡18と回折格子5からな
る共振器長をサインバー機構で線形に変化させても、L
D1が挿入されている共振器側は、LD1の屈折率が影
響し線形な共振器変化にはならず、前述した図5の構造
と同じく、ある波長範囲以上なると、共振波長とブラッ
グ波長がλ/2以上ズレてしまって、モードホップを伴
った波長可変になってしまう。
【0010】
【発明が解決しようとする課題】以上に述べたように、
従来の外部共振器型波長可変LD光源、すなわち、共振
器内に光増幅器であるLD1が配置されている波長可変
LD光源構造では、サインバー構造で回折格子5のブラ
ッグ波長と共振波長とを同時に線形に変化させても、L
D1の波長に対する非線形な屈折率変化で、広範囲の連
続した波長変化は得られない問題がある。さらに、LD
1の駆動電流を変化させると、LD1の屈折率が変化し
てしまい、同一のサインバー条件では、連続波長変化が
安定して得られない問題もある。
従来の外部共振器型波長可変LD光源、すなわち、共振
器内に光増幅器であるLD1が配置されている波長可変
LD光源構造では、サインバー構造で回折格子5のブラ
ッグ波長と共振波長とを同時に線形に変化させても、L
D1の波長に対する非線形な屈折率変化で、広範囲の連
続した波長変化は得られない問題がある。さらに、LD
1の駆動電流を変化させると、LD1の屈折率が変化し
てしまい、同一のサインバー条件では、連続波長変化が
安定して得られない問題もある。
【0011】そこで、この発明では、外部共振器型の波
長可変LD光源において、そのLDの動作状態変化によ
る屈折率変化があっても、安定した連続波長可変が得ら
れる位相調整装置を提供することを目的とする。
長可変LD光源において、そのLDの動作状態変化によ
る屈折率変化があっても、安定した連続波長可変が得ら
れる位相調整装置を提供することを目的とする。
【0012】
【課題を解決するための手段】以上の課題を解決するた
めに、この発明は、一方の端面に無反射膜が施された、
例えば、FP型構造のLDと、このLDの無反射膜側に
配置され、波長選択性を有する回折格子と、この回折格
子と前記LDの前記無反射膜が施されていない側の端面
とで構成される共振器と、前記回折格子の波長選択機構
が、例えば、平行移動機構上の接触台または固定の接触
台に接触されているサインバーを介して回折格子が回転
するように構成したサインバー構造で行われる手段と、
を備えた外部共振器型波長可変LD光源において、共振
波長を調整する、例えば、平行移動機構等による位相調
整機構と、この位相調整機構を駆動する、例えば、モー
タ等を使用した位相調整駆動回路と、前記LDからの出
力光を複数に分岐する、例えば、光ファイバ型等のによ
る第1の光分岐器と、この第1の光分岐器からの一の分
岐光をさらに複数に分岐する第2の光分岐器と、この第
2の光分岐器からの一の分岐光を検出する、例えば、L
Dの光出力モニタ用等としての第1の光検出回路と、前
記第2の光分岐器からの他の分岐光を平行光に変換する
レンズと、このレンズにより平行光に変換された分岐光
を反射・透過し、片端面を高反射面として片端面を無反
射面とした、例えば、FPエタロンの片端面になる高反
射率の平面反射鏡と、サインバーの接触面を平行移動さ
せる平行移動機構に配置され、前記平面反射鏡を透過し
た光を当該平面反射鏡に再度反射する、例えば、FPエ
タロンのもう片端面になる全反射鏡と、この全反射鏡と
前記平面反射鏡とで多重反射した光が前記レンズを再度
通過して入射する前記第2の光分岐器により分岐された
反射光を検出する第2の光検出回路と、この第2の光検
出回路による前記第2の光分岐器からの前記反射光の検
出信号と前記第1の光検出回路による前記第2の光分岐
器からの前記一の分岐光の検出信号とを比較する比較回
路と、を備え、前記比較回路により比較される前記第2
の光検出器からの前記反射光と前記一の分岐光の両検出
信号の比が一定となるように、前記比較回路からの制御
信号を前記位相調整駆動回路に入力して前記位相調整機
構を駆動制御するようにした、位相調整装置の構成を特
徴としている。
めに、この発明は、一方の端面に無反射膜が施された、
例えば、FP型構造のLDと、このLDの無反射膜側に
配置され、波長選択性を有する回折格子と、この回折格
子と前記LDの前記無反射膜が施されていない側の端面
とで構成される共振器と、前記回折格子の波長選択機構
が、例えば、平行移動機構上の接触台または固定の接触
台に接触されているサインバーを介して回折格子が回転
するように構成したサインバー構造で行われる手段と、
を備えた外部共振器型波長可変LD光源において、共振
波長を調整する、例えば、平行移動機構等による位相調
整機構と、この位相調整機構を駆動する、例えば、モー
タ等を使用した位相調整駆動回路と、前記LDからの出
力光を複数に分岐する、例えば、光ファイバ型等のによ
る第1の光分岐器と、この第1の光分岐器からの一の分
岐光をさらに複数に分岐する第2の光分岐器と、この第
2の光分岐器からの一の分岐光を検出する、例えば、L
Dの光出力モニタ用等としての第1の光検出回路と、前
記第2の光分岐器からの他の分岐光を平行光に変換する
レンズと、このレンズにより平行光に変換された分岐光
を反射・透過し、片端面を高反射面として片端面を無反
射面とした、例えば、FPエタロンの片端面になる高反
射率の平面反射鏡と、サインバーの接触面を平行移動さ
せる平行移動機構に配置され、前記平面反射鏡を透過し
た光を当該平面反射鏡に再度反射する、例えば、FPエ
タロンのもう片端面になる全反射鏡と、この全反射鏡と
前記平面反射鏡とで多重反射した光が前記レンズを再度
通過して入射する前記第2の光分岐器により分岐された
反射光を検出する第2の光検出回路と、この第2の光検
出回路による前記第2の光分岐器からの前記反射光の検
出信号と前記第1の光検出回路による前記第2の光分岐
器からの前記一の分岐光の検出信号とを比較する比較回
路と、を備え、前記比較回路により比較される前記第2
の光検出器からの前記反射光と前記一の分岐光の両検出
信号の比が一定となるように、前記比較回路からの制御
信号を前記位相調整駆動回路に入力して前記位相調整機
構を駆動制御するようにした、位相調整装置の構成を特
徴としている。
【0013】ここで、LDは、例えば、FP型構造のも
のであり、回折格子としては、例えば、波長選択反射鏡
が挙げられる。また、位相調整機構としては、平行ステ
ージや平行板バネ機構などの平行移動機構であり、位相
調整駆動回路としては、ピエゾ素子やモータを使用した
駆動回路となる。そして、光分岐器としては、光ファイ
バ型が挙げられるが、ビームスプリッタでもよい。な
お、その光分岐器としては、入射光を2つに分岐して出
力するものであれば何でもよいが、3つ以上に分岐して
出力するものでも勿論よい。さらに、高反射率の平面反
射鏡は、FPエタロンの片端面になるものであり、全反
射鏡は、FPエタロンのもう片端面になるものである。
のであり、回折格子としては、例えば、波長選択反射鏡
が挙げられる。また、位相調整機構としては、平行ステ
ージや平行板バネ機構などの平行移動機構であり、位相
調整駆動回路としては、ピエゾ素子やモータを使用した
駆動回路となる。そして、光分岐器としては、光ファイ
バ型が挙げられるが、ビームスプリッタでもよい。な
お、その光分岐器としては、入射光を2つに分岐して出
力するものであれば何でもよいが、3つ以上に分岐して
出力するものでも勿論よい。さらに、高反射率の平面反
射鏡は、FPエタロンの片端面になるものであり、全反
射鏡は、FPエタロンのもう片端面になるものである。
【0014】以上のように、この発明によれば、以下の
位相調整が行える。サインバー構造の平行移動機構上に
全反射鏡を配置し、高反射率の平面反射鏡を、外部共振
器長LEXと同等な共振器長になる位置に配置して、LD
からの出力光の一部を第1の光分岐器で分岐し、一方の
分岐光は出力光とし、もう一方の分岐光は第2の光分岐
器に挿入する。その第2の光分岐器に挿入された分岐光
は、さらに分岐され、一方の分岐光は第1の光検出回路
に挿入される。また、第2の光分岐器からのもう一方の
分岐光は、レンズによって平行光に変換され、FPエタ
ロンの片端面になる高反射率の平面反射鏡に挿入され
る。この高反射率の平面反射鏡は、片端面を無反射膜が
施された無反射面として他端端面を高反射率の膜が施さ
れた高反射面としたもので、このような高反射率の平面
反射鏡を透過した光は、回折格子の平行移動機構上に配
置されたFPエタロンの残りの端面になる全反射鏡に挿
入される。この全反射鏡で反射された平行光は、再度、
高反射率の平面反射鏡に挿入する。この平面反射鏡と全
反射鏡とで多重反射した平行光は、再度、レンズを通過
して第2の光分岐器の出力端に挿入した後、再度、分岐
され、FPエタロンからの反射光を測定する第2の光検
出回路に挿入する。そして、第1の光検出回路から光出
力信号を基準信号として比較回路に入力し、第2の光検
出回路からの反射光出力信号も比較回路に入力し、比較
回路で基準信号と反射信号を比較し、偏差が検出され
る。この偏差信号を一定の値に制御するように比較回路
から制御信号が位相調整駆動回路に入力される。この位
相調整駆動回路は、入力された制御信号によりLD部の
位相調整機構を駆動し、外部共振器の共振波長を制御す
る。
位相調整が行える。サインバー構造の平行移動機構上に
全反射鏡を配置し、高反射率の平面反射鏡を、外部共振
器長LEXと同等な共振器長になる位置に配置して、LD
からの出力光の一部を第1の光分岐器で分岐し、一方の
分岐光は出力光とし、もう一方の分岐光は第2の光分岐
器に挿入する。その第2の光分岐器に挿入された分岐光
は、さらに分岐され、一方の分岐光は第1の光検出回路
に挿入される。また、第2の光分岐器からのもう一方の
分岐光は、レンズによって平行光に変換され、FPエタ
ロンの片端面になる高反射率の平面反射鏡に挿入され
る。この高反射率の平面反射鏡は、片端面を無反射膜が
施された無反射面として他端端面を高反射率の膜が施さ
れた高反射面としたもので、このような高反射率の平面
反射鏡を透過した光は、回折格子の平行移動機構上に配
置されたFPエタロンの残りの端面になる全反射鏡に挿
入される。この全反射鏡で反射された平行光は、再度、
高反射率の平面反射鏡に挿入する。この平面反射鏡と全
反射鏡とで多重反射した平行光は、再度、レンズを通過
して第2の光分岐器の出力端に挿入した後、再度、分岐
され、FPエタロンからの反射光を測定する第2の光検
出回路に挿入する。そして、第1の光検出回路から光出
力信号を基準信号として比較回路に入力し、第2の光検
出回路からの反射光出力信号も比較回路に入力し、比較
回路で基準信号と反射信号を比較し、偏差が検出され
る。この偏差信号を一定の値に制御するように比較回路
から制御信号が位相調整駆動回路に入力される。この位
相調整駆動回路は、入力された制御信号によりLD部の
位相調整機構を駆動し、外部共振器の共振波長を制御す
る。
【0015】
【発明の実施の形態】以下に、この発明に係る外部共振
器型波長可変LD光源の位相調整装置の実施の各形態例
を図1から図3に基づいて説明する。
器型波長可変LD光源の位相調整装置の実施の各形態例
を図1から図3に基づいて説明する。
【0016】<第1の実施の形態例>先ず、図1はこの
発明を適用した第1の実施の形態例による外部共振器型
波長可変LD光源の構成を示すブロック図である。この
図1において、前述した図4、図5、図6と同一部分に
は同一符号を付して示しており、21は位相調整機構、
22は位相調整駆動回路、23は全反射鏡、24は第1
の光分岐器、25は第2の光分岐器、26は第1の光検
出回路、27は光ファイバ、28はレンズ、31は平面
反射鏡、32は無反射面、33は高反射面、34は第2
の光検出回路、35は比較回路である。
発明を適用した第1の実施の形態例による外部共振器型
波長可変LD光源の構成を示すブロック図である。この
図1において、前述した図4、図5、図6と同一部分に
は同一符号を付して示しており、21は位相調整機構、
22は位相調整駆動回路、23は全反射鏡、24は第1
の光分岐器、25は第2の光分岐器、26は第1の光検
出回路、27は光ファイバ、28はレンズ、31は平面
反射鏡、32は無反射面、33は高反射面、34は第2
の光検出回路、35は比較回路である。
【0017】すなわち、図1に示されるように、LD1
の無反射膜2が施されていない側の端面からの射出光
は、レンズ6で平行光に変換され、光アイソレータ7を
透過した後、レンズ8で集光し、光ファイバ9に入射す
る。なお、光アイソレータ7は、光ファイバ9側からの
反射光をLD1に戻らないようにしている。また、LD
1の無反射膜2が施されている端面からの射出光は、レ
ンズ4で平行光に変換され、回折格子5に入射する。以
上のLD1、レンズ4,6,8、光アイソレータ7、光
ファイバ9端面からなるLD部分を、光軸方向に平行移
動する位相調整機構21上に配置し、この位相調整機構
21を位相調整駆動回路22からの制御信号で平行移動
する。ここで、位相調整機構21は、すなわち、平行ス
テージや平行板バネ機構などの平行移動機構であり、ま
た、位相調整駆動回路22としては、ピエゾ素子やモー
タを使用した駆動回路となる。
の無反射膜2が施されていない側の端面からの射出光
は、レンズ6で平行光に変換され、光アイソレータ7を
透過した後、レンズ8で集光し、光ファイバ9に入射す
る。なお、光アイソレータ7は、光ファイバ9側からの
反射光をLD1に戻らないようにしている。また、LD
1の無反射膜2が施されている端面からの射出光は、レ
ンズ4で平行光に変換され、回折格子5に入射する。以
上のLD1、レンズ4,6,8、光アイソレータ7、光
ファイバ9端面からなるLD部分を、光軸方向に平行移
動する位相調整機構21上に配置し、この位相調整機構
21を位相調整駆動回路22からの制御信号で平行移動
する。ここで、位相調整機構21は、すなわち、平行ス
テージや平行板バネ機構などの平行移動機構であり、ま
た、位相調整駆動回路22としては、ピエゾ素子やモー
タを使用した駆動回路となる。
【0018】そして、回折格子5は、回転機構(角度調
整機構)11上に配置され、平行移動機構13上に設け
られている接触台15に接触しているサインバー16で
角度調整される。すなわち、平行移動機構13を位置調
整駆動回路14からの制御信号で平行移動することで、
LD光源の発振波長を可変できる。このようなサインバ
ー機構を駆動する平行移動機構13上には、FPエタロ
ンの片端面になる全反射鏡23を配置し、回折格子5を
回転すると同時に全反射鏡23が平行移動するようにす
る。また、FPエタロンのもう片端面になる平面反射面
は、LD1端面と回折格子5からなる外部共振器長LEX
と同等な共振器長になる位置に配置する。
整機構)11上に配置され、平行移動機構13上に設け
られている接触台15に接触しているサインバー16で
角度調整される。すなわち、平行移動機構13を位置調
整駆動回路14からの制御信号で平行移動することで、
LD光源の発振波長を可変できる。このようなサインバ
ー機構を駆動する平行移動機構13上には、FPエタロ
ンの片端面になる全反射鏡23を配置し、回折格子5を
回転すると同時に全反射鏡23が平行移動するようにす
る。また、FPエタロンのもう片端面になる平面反射面
は、LD1端面と回折格子5からなる外部共振器長LEX
と同等な共振器長になる位置に配置する。
【0019】ところで、LD1から光ファイバ9に入射
された光の一部を、第1の光分岐器24である光分岐器
Aで分岐し、一方の分岐光は出力光とし、もう一方の分
岐光は、第2の光分岐器25である光分岐器Bに挿入す
る。この光分岐器Bに挿入された分岐光は、さらに分岐
され、一方の分岐光はLDの光出力モニタ用として、第
1の光検出回路26である光検出回路Aに挿入する。ま
た、光分岐器Bからのもう一方の分岐光は、光ファイバ
27に入射され、レンズ28によって平行光に変換さ
れ、FPエタロンの片端面になる高反射率の平面反射鏡
31に挿入される。この平面反射鏡31は、片端面には
無反射膜が施されて無反射面32となっており、また、
もう片端面には高反射率の膜が施されて高反射面33と
なっている。このような高反射率の平面反射鏡31を透
過した光は、回折格子5の平行移動機構13上に配置さ
れたFPエタロンの残りの端面になる全反射鏡23に挿
入される。この全反射鏡23で反射された平行光は、再
度、高反射率の平面反射鏡31に挿入する(光平行ビー
ム参照)。
された光の一部を、第1の光分岐器24である光分岐器
Aで分岐し、一方の分岐光は出力光とし、もう一方の分
岐光は、第2の光分岐器25である光分岐器Bに挿入す
る。この光分岐器Bに挿入された分岐光は、さらに分岐
され、一方の分岐光はLDの光出力モニタ用として、第
1の光検出回路26である光検出回路Aに挿入する。ま
た、光分岐器Bからのもう一方の分岐光は、光ファイバ
27に入射され、レンズ28によって平行光に変換さ
れ、FPエタロンの片端面になる高反射率の平面反射鏡
31に挿入される。この平面反射鏡31は、片端面には
無反射膜が施されて無反射面32となっており、また、
もう片端面には高反射率の膜が施されて高反射面33と
なっている。このような高反射率の平面反射鏡31を透
過した光は、回折格子5の平行移動機構13上に配置さ
れたFPエタロンの残りの端面になる全反射鏡23に挿
入される。この全反射鏡23で反射された平行光は、再
度、高反射率の平面反射鏡31に挿入する(光平行ビー
ム参照)。
【0020】こうして、平面反射鏡31と全反射鏡23
の間で多重反射となり、平面反射鏡31から光分岐器B
に反射される光の強度(IR)は、入射光の波長(λ)
と、平面反射鏡31と全反射鏡23との共振器長
(LFP)と屈折率(n)および両反射鏡23,31の反
射率(R)から得られる次の式(4)〜(6)で示さ
れ、図3に示される様な特性が得られる。 Δ=4πnLFP/λ ・・・(4) F=4R/(1−R)2 ・・・(5) IR={Fsin2(Δ/2)}/{1+Fsin2(Δ/2)} ・・・(6) ここで、FPエタロンの平面反射鏡31と全反射鏡23
との共振器長(LFP)は、サインバー構造の前述した
(2)式から導かれる外部共振器LD光源部の外部共振
器長(LEX)と同一になるように調整しておく。そのた
め、共振波長は同じ波長になり、さらに、平行移動機構
13で同時に共振器長を可変させているので、共振波長
も同一に変化する。
の間で多重反射となり、平面反射鏡31から光分岐器B
に反射される光の強度(IR)は、入射光の波長(λ)
と、平面反射鏡31と全反射鏡23との共振器長
(LFP)と屈折率(n)および両反射鏡23,31の反
射率(R)から得られる次の式(4)〜(6)で示さ
れ、図3に示される様な特性が得られる。 Δ=4πnLFP/λ ・・・(4) F=4R/(1−R)2 ・・・(5) IR={Fsin2(Δ/2)}/{1+Fsin2(Δ/2)} ・・・(6) ここで、FPエタロンの平面反射鏡31と全反射鏡23
との共振器長(LFP)は、サインバー構造の前述した
(2)式から導かれる外部共振器LD光源部の外部共振
器長(LEX)と同一になるように調整しておく。そのた
め、共振波長は同じ波長になり、さらに、平行移動機構
13で同時に共振器長を可変させているので、共振波長
も同一に変化する。
【0021】しかし、外部共振器LD光源部の発振波長
は、LD1の波長特性をもつ屈折率変化に影響されるた
め、外部共振波長とズレが発生し、ある波長範囲以上可
変させるとモードホップが起きてしまう。ところで、平
面反射鏡31と全反射鏡23で多重反射された平行光
(光平行ビーム)は、再度、レンズ28を通過して光分
岐器Bの出力端に挿入した後、さらに再度分岐され、F
Pエタロンからの反射光を測定する、第2の光検出回路
34である光検出回路Bに挿入する。前述したように、
FPエタロンの共振器長とLD光源の外部共振器長を等
しく調整してあるので、図3の矢印で示した発振波長で
は、FPエタロンの反射特性が急峻に変化する。そのた
め、サインバー構造で回折格子5のブラッグ波長と外部
共振波長を線形に変化させているのに対し、LD1の屈
折率変化で発振波長のズレが発生してくると、FPエタ
ロンの急峻な反射率変化でFPエタロンからの反射光強
度が変化し、波長ズレが検出できる。
は、LD1の波長特性をもつ屈折率変化に影響されるた
め、外部共振波長とズレが発生し、ある波長範囲以上可
変させるとモードホップが起きてしまう。ところで、平
面反射鏡31と全反射鏡23で多重反射された平行光
(光平行ビーム)は、再度、レンズ28を通過して光分
岐器Bの出力端に挿入した後、さらに再度分岐され、F
Pエタロンからの反射光を測定する、第2の光検出回路
34である光検出回路Bに挿入する。前述したように、
FPエタロンの共振器長とLD光源の外部共振器長を等
しく調整してあるので、図3の矢印で示した発振波長で
は、FPエタロンの反射特性が急峻に変化する。そのた
め、サインバー構造で回折格子5のブラッグ波長と外部
共振波長を線形に変化させているのに対し、LD1の屈
折率変化で発振波長のズレが発生してくると、FPエタ
ロンの急峻な反射率変化でFPエタロンからの反射光強
度が変化し、波長ズレが検出できる。
【0022】そこで、光検出回路Aから光出力信号を基
準信号として比較回路35に入力し、光検出回路Bから
の反射光出力信号も比較回路35に入力し、この比較回
路35で基準信号と反射信号を比較することにより、偏
差が検出される。この偏差信号を一定の値に制御するよ
うに比較回路35から制御信号が位相調整駆動回路22
に入力される。この位相調整駆動回路22は、入力され
た制御信号によりLD1部の位相調整機構21を駆動
し、外部共振器の共振波長を制御する。すなわち、第1
の実施の形態例は、前述したように、LD1からの出力
光強度とFPエタロンからの反射光強度とを測定するこ
とで、外部共振波長と実際の発振波長とのズレを測定す
ることが可能となり、サインバー機構で線形に可変させ
た波長からのズレ量を位相調整機構21で補正制御する
ものである。
準信号として比較回路35に入力し、光検出回路Bから
の反射光出力信号も比較回路35に入力し、この比較回
路35で基準信号と反射信号を比較することにより、偏
差が検出される。この偏差信号を一定の値に制御するよ
うに比較回路35から制御信号が位相調整駆動回路22
に入力される。この位相調整駆動回路22は、入力され
た制御信号によりLD1部の位相調整機構21を駆動
し、外部共振器の共振波長を制御する。すなわち、第1
の実施の形態例は、前述したように、LD1からの出力
光強度とFPエタロンからの反射光強度とを測定するこ
とで、外部共振波長と実際の発振波長とのズレを測定す
ることが可能となり、サインバー機構で線形に可変させ
た波長からのズレ量を位相調整機構21で補正制御する
ものである。
【0023】以上の通り、第1の実施の形態例によれ
ば、光検出回路Aから光出力信号を基準信号として、光
検出回路Bからの反射光出力信号と共に比較回路35に
入力し、その比較回路35により基準信号と反射信号を
比較して検出される偏差信号を一定の値に制御するよう
に制御信号を位相調整駆動回路22に入力して、その入
力された制御信号によりLD1部の位相調整機構21を
駆動し、外部共振器の共振波長を制御するため、サイン
バー構造の実際の外部共振波長を監視することができ、
従って、LD1の非線形成分を正確に補正できて、モー
ドホップが無く、広い連続波長可変が安定して行えるも
のとなる。
ば、光検出回路Aから光出力信号を基準信号として、光
検出回路Bからの反射光出力信号と共に比較回路35に
入力し、その比較回路35により基準信号と反射信号を
比較して検出される偏差信号を一定の値に制御するよう
に制御信号を位相調整駆動回路22に入力して、その入
力された制御信号によりLD1部の位相調整機構21を
駆動し、外部共振器の共振波長を制御するため、サイン
バー構造の実際の外部共振波長を監視することができ、
従って、LD1の非線形成分を正確に補正できて、モー
ドホップが無く、広い連続波長可変が安定して行えるも
のとなる。
【0024】<第2の実施の形態例>図2はこの発明を
適用した第2の実施の形態による外部共振器型波長可変
LD光源の位相調整装置の構成を示す図であり、この図
2において、前述した図1と共通する部分には同一の符
号を付し、その説明を省略する。この第2の実施の形態
例において、前述した第1の実施の形態例(図1参照)
と異なるのは、図2に示されるように、回折格子5の回
転機構(角度調整機構)11自体が平行移動機構13に
取り付けられ、サインバー16の接触台15が固定され
ているところである。
適用した第2の実施の形態による外部共振器型波長可変
LD光源の位相調整装置の構成を示す図であり、この図
2において、前述した図1と共通する部分には同一の符
号を付し、その説明を省略する。この第2の実施の形態
例において、前述した第1の実施の形態例(図1参照)
と異なるのは、図2に示されるように、回折格子5の回
転機構(角度調整機構)11自体が平行移動機構13に
取り付けられ、サインバー16の接触台15が固定され
ているところである。
【0025】すなわち、この第2の実施の形態例におい
て、サインバー構造自体は、前述した第1の実施の形態
例と同等な動作になるが、回折格子5自体が平行移動す
ることで、LD1部の位相調整機構21の調整量が非常
に小さくなり、前述した第1の実施の形態例で位相調整
機構21としてあげた平行移動機構13の他に、前述し
たLD1部分をペルチェ素子による温度制御で行う手段
や、LD1と回折格子5間に挿入された平行光学基板
(ガラス基板)を傾ける手段でも位相調整機構21とし
て動作可能となる。また、LD1自体に位相調整領域を
もった多電極型LDでは、その位相調整領域が位相調整
機構21となり、その位相調整領域に印加する駆動電流
回路が位相調整駆動回路22となる。
て、サインバー構造自体は、前述した第1の実施の形態
例と同等な動作になるが、回折格子5自体が平行移動す
ることで、LD1部の位相調整機構21の調整量が非常
に小さくなり、前述した第1の実施の形態例で位相調整
機構21としてあげた平行移動機構13の他に、前述し
たLD1部分をペルチェ素子による温度制御で行う手段
や、LD1と回折格子5間に挿入された平行光学基板
(ガラス基板)を傾ける手段でも位相調整機構21とし
て動作可能となる。また、LD1自体に位相調整領域を
もった多電極型LDでは、その位相調整領域が位相調整
機構21となり、その位相調整領域に印加する駆動電流
回路が位相調整駆動回路22となる。
【0026】以上の通り、第2の実施の形態例によって
も、前述のように回折格子5の回転機構(角度調整機
構)11自体が平行移動機構13に取り付けられている
点と、サインバー16の接触台15が固定されている点
が異なるだけで、前述した第1の実施の形態例と同様の
作用・効果が得られる。
も、前述のように回折格子5の回転機構(角度調整機
構)11自体が平行移動機構13に取り付けられている
点と、サインバー16の接触台15が固定されている点
が異なるだけで、前述した第1の実施の形態例と同様の
作用・効果が得られる。
【0027】なお、以上の実施の各形態例においては、
光ファイバ型の光分岐器を使用して説明したが、空間光
を使用した光分岐器(ビームスプリッタ)でも良いこと
は明らかである。さらに、実施の各形態例では、全反射
鏡として表面反射型の平面反射鏡を使用して説明してい
るが、コーナーキューブプリズムを使用しても良い。ま
た、実施の各形態例では、FPエタロンの反射光強度を
測定しての制御方法で説明しているが、FPエタロンの
反射鏡にもう片面の平面反射鏡と同じ反射鏡を使用し、
透過光強度を測定しての制御方法でも良い。ただし、透
過光を使用するときは、光分岐器Bからの分岐された反
射光を光検出回路Bに入力するのではなく、透過光を光
検出回路Bに入力して制御することになる。さらに、そ
の場合、前述した(6)式に示される反射光強度式に対
して透過光強度式となり、光強度の波長特性が逆特性に
なる。
光ファイバ型の光分岐器を使用して説明したが、空間光
を使用した光分岐器(ビームスプリッタ)でも良いこと
は明らかである。さらに、実施の各形態例では、全反射
鏡として表面反射型の平面反射鏡を使用して説明してい
るが、コーナーキューブプリズムを使用しても良い。ま
た、実施の各形態例では、FPエタロンの反射光強度を
測定しての制御方法で説明しているが、FPエタロンの
反射鏡にもう片面の平面反射鏡と同じ反射鏡を使用し、
透過光強度を測定しての制御方法でも良い。ただし、透
過光を使用するときは、光分岐器Bからの分岐された反
射光を光検出回路Bに入力するのではなく、透過光を光
検出回路Bに入力して制御することになる。さらに、そ
の場合、前述した(6)式に示される反射光強度式に対
して透過光強度式となり、光強度の波長特性が逆特性に
なる。
【0028】
【発明の効果】以上のように、この発明に係る外部共振
器型波長可変LD光源の位相調整装置よれば、第1の光
検出回路から光出力信号を基準信号として、第2の光検
出回路からの反射光出力信号と共に比較回路に入力し、
その比較回路により基準信号と反射信号を比較して検出
される偏差信号を一定の値に制御するように制御信号を
位相調整駆動回路に入力して、その入力された制御信号
によりLD部の位相調整機構を駆動し、外部共振器の共
振波長を制御するものであり、すなわち、サインバー構
造の実際の外部共振波長を監視していることになるの
で、LDの非線形成分を正確に補正でき、モードホップ
が無く、広い連続波長可変が安定して行えるといった効
果が得られる。
器型波長可変LD光源の位相調整装置よれば、第1の光
検出回路から光出力信号を基準信号として、第2の光検
出回路からの反射光出力信号と共に比較回路に入力し、
その比較回路により基準信号と反射信号を比較して検出
される偏差信号を一定の値に制御するように制御信号を
位相調整駆動回路に入力して、その入力された制御信号
によりLD部の位相調整機構を駆動し、外部共振器の共
振波長を制御するものであり、すなわち、サインバー構
造の実際の外部共振波長を監視していることになるの
で、LDの非線形成分を正確に補正でき、モードホップ
が無く、広い連続波長可変が安定して行えるといった効
果が得られる。
【図1】この発明を適用した第1の実施の形態例による
外部共振器型波長可変LD光源の位相調整装置の構成を
示すブロック図である。
外部共振器型波長可変LD光源の位相調整装置の構成を
示すブロック図である。
【図2】この発明を適用した第2の実施の形態例による
外部共振器型波長可変LD光源の位相調整装置の構成を
示すブロック図である。
外部共振器型波長可変LD光源の位相調整装置の構成を
示すブロック図である。
【図3】FPエタロンの反射率波長依存性を示す特性図
である。
である。
【図4】従来の回折格子を使用した外部共振器型波長可
変LD光源の構成を示すブロック図である。
変LD光源の構成を示すブロック図である。
【図5】サインバー構造の外部共振器型波長可変LD光
源の構成を示すブロック図である。
源の構成を示すブロック図である。
【図6】従来の光共鳴反射器を使用した外部共振器型波
長可変LD光源の構成を示すブロック図である。
長可変LD光源の構成を示すブロック図である。
1 LD 2 無反射膜 4,6,8 レンズ 5 回折格子 7 光アイソレータ 9,27 光ファイバ 13 平行移動機構 14 位置調整駆動回路 15 接触台 16 サインバー 21 位相調整機構 22 位相調整駆動回路 23 全反射鏡 24 第1の光分岐器 25 第2の光分岐器 26 第1の光検出回路 31 平面反射鏡 32 無反射面 33 高反射面 34 第2の光検出回路 35 比較回路
Claims (1)
- 【請求項1】一方の端面に無反射膜が施された半導体レ
ーザと、 この半導体レーザの無反射膜側に配置され、波長選択性
を有する回折格子と、 この回折格子と前記半導体レーザの前記無反射膜が施さ
れていない側の端面とで構成される共振器と、 前記回折格子の波長選択機構がサインバー構造で行われ
る手段と、を備えた外部共振器型波長可変半導体レーザ
光源において、 共振波長を調整する位相調整機構と、 この位相調整機構を駆動する位相調整駆動回路と、 前記半導体レーザからの出力光を複数に分岐する第1の
光分岐器と、 この第1の光分岐器からの一の分岐光をさらに複数に分
岐する第2の光分岐器と、 この第2の光分岐器からの一の分岐光を検出する第1の
光検出回路と、 前記第2の光分岐器からの他の分岐光を平行光に変換す
るレンズと、 このレンズにより平行光に変換された分岐光を反射・透
過し、片端面を高反射面として片端面を無反射面とした
平面反射鏡と、 サインバーの接触面を平行移動させる平行移動機構に配
置され、前記平面反射鏡を透過した光を当該平面反射鏡
に再度反射する全反射鏡と、 この全反射鏡と前記平面反射鏡とで多重反射した光が前
記レンズを再度通過して入射する前記第2の光分岐器に
より分岐された反射光を検出する第2の光検出回路と、 この第2の光検出回路による前記第2の光分岐器からの
前記反射光の検出信号と前記第1の光検出回路による前
記第2の光分岐器からの前記一の分岐光の検出信号とを
比較する比較回路と、を備え、 前記比較回路により比較される前記第2の光検出器から
の前記反射光と前記一の分岐光の両検出信号の比が一定
となるように、前記比較回路からの制御信号を前記位相
調整駆動回路に入力して前記位相調整機構を駆動制御す
ることを特徴とする波長可変半導体レーザ光源の位相調
整装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP25929296A JPH10107370A (ja) | 1996-09-30 | 1996-09-30 | 外部共振器型波長可変半導体レーザ光源の位相調整装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP25929296A JPH10107370A (ja) | 1996-09-30 | 1996-09-30 | 外部共振器型波長可変半導体レーザ光源の位相調整装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH10107370A true JPH10107370A (ja) | 1998-04-24 |
Family
ID=17332060
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP25929296A Pending JPH10107370A (ja) | 1996-09-30 | 1996-09-30 | 外部共振器型波長可変半導体レーザ光源の位相調整装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH10107370A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009004525A (ja) * | 2007-06-21 | 2009-01-08 | Fujitsu Ltd | 光源モジュール |
-
1996
- 1996-09-30 JP JP25929296A patent/JPH10107370A/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009004525A (ja) * | 2007-06-21 | 2009-01-08 | Fujitsu Ltd | 光源モジュール |
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