JPH1168248A

JPH1168248A - 外部共振器型波長可変半導体レーザ光源

Info

Publication number: JPH1168248A
Application number: JP22500297A
Authority: JP
Inventors: Minoru Maeda; 稔前田
Original assignee: Ando Electric Co Ltd
Current assignee: Ando Electric Co Ltd
Priority date: 1997-08-21
Filing date: 1997-08-21
Publication date: 1999-03-09

Abstract

(57)【要約】【課題】外部共振器型波長可変ＬＤ光源において、モ
ードホップのない波長可変を簡単なソフト制御で精度の
良い波長可変が得られ、光軸調整や波長可変機構の調整
が簡単で調整時間の短縮を可能とする。【解決手段】一端面に無反射膜１ａを施したＬＤ１
と、その無反射膜１ａを施した一端面からの出射光を波
長選択して反射する回折格子４と、その反射光の波長
を、回折格子４自体の回転及びＬＤ１の光軸に対する平
行移動により可変とする波長可変手段と、を備え、ＬＤ
１の無反射膜１ａを施していない他端面からの出射光を
出力光とする外部共振器型波長可変ＬＤ光源である。そ
して、波長可変手段は、回折格子４に対し光軸と直交す
る方向に沿った支点２３ａ，２３ｂで回折格子４を支持
し、平行移動がそれぞれ可能な一対の平行移動機構２
４，２５と、これらの各々を平行移動させるよう別々に
駆動する一対の駆動手段２６，２７と、これらの各々の
駆動を制御する制御手段２８，２９と、を備えている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、例えば、光計測技
術分野で使用する外部共振器型の波長可変半導体レーザ
光源（以下では、半導体レーザをＬＤと略称する）に関
するものである。

【０００２】

【従来の技術】例えば、ＬＤ光源を光計測技術で使用す
るためには、狭スペクトル線幅の単一モード発振で波長
安定度が良く、かつ、波長可変が可能な光源が要求され
ている。従来技術における外部共振器型波長可変ＬＤ光
源として、例えば、図４から図６に示す光源構造があ
る。

【０００３】先ず、図４において、ＬＤ１は、片端面に
無反射膜（ＡＲコート）１ａが施されたファブリペロ型
ＬＤであり、ＬＤ駆動回路２と接続され、このＬＤ駆動
回路２からの注入電流に応じて、両端面から光を射出す
る。このＬＤ駆動回路２で駆動されたＬＤ１の無反射膜
１ａ側の端面からの射出光は、レンズ３で平行光に変換
され、回折格子４に入射する。この回折格子４は、波長
選択反射器として使用され、入射される平行光のうち入
射角によって決まる特定の波長の光を反射する機能を有
する。すなわち、この回折格子４は、ＬＤ１の無反射膜
１ａが施されていない側の端面とで共振器を構成してお
り、この回折格子４で選択された光をＬＤ１に再入射さ
せることでレーザ発振させることができる。

【０００４】また、ＬＤ１の無反射膜１ａが施されてい
ない側の端面の射出光軸上に配置されたレンズ５は、Ｌ
Ｄ１の端面から射出される光を平行光に変換する。その
平行光に変換された射出光は光アイソレータ６に入射さ
れる。この光アイソレータ６は、出力ファイバ７側から
の反射光がＬＤ１に戻らないようにするためのもので、
この光アイソレータ６を透過した光はレンズ８で集光さ
れ、出力光として出力ファイバ７に入射される。ここ
で、回折格子４は、回転機構９により、矢印Ａで示すよ
うに、入射光軸に対して任意の角度に調整可能となって
いる。すなわち、この回転機構９を角度制御駆動系１０
で波長可変駆動回路１１により角度制御することで、回
折格子４を任意の角度に回転させ、選択される波長（ブ
ラッグ波長）を任意に変化させることができ、ＬＤ１の
利得範囲で波長可変を行うことができる。また、回折格
子４は、平行移動機構１２により、矢印Ｂで示すよう
に、入射光軸と平行に移動可能になっている。すなわ
ち、この平行移動機構１２を位置制御駆動系１３で位置
調整駆動回路１４により位置制御することで、回折格子
４を共振器の光軸方向に平行移動させることができ、こ
れによって共振波長を任意に変化させることができる。
なお、以上の波長可変ＬＤ光源は光学ベース台１５上に
構成されている。

【０００５】ところで、上記の回折格子４の角度調整と
平行移動を同時に制御することで、モードホップのない
波長掃引が可能であるが、別々の制御である角度制御と
位置制御を同時に精度良く駆動制御して、モードホップ
のない波長可変を行うことは非常に難しい。また、回転
機構９の制御量は、角度制御駆動系１０の最小移動量で
決定され、同様に平行移動機構１２の制御量も、位置制
御駆動系１３の最小移動量で決定されるため、精度良く
制御を行うには、精度の良い駆動系１０，１３を使用す
る必要がある。しかし、回転機構９や平行移動機構１２
には、回転ステージやリニアステージ等を使用するた
め、機構的バックラッシュの発生を伴い、正確な波長可
変ができないという問題点がある。

【０００６】次に、モードホップのない波長可変が簡単
な駆動制御で得られる例として、図５に従来技術のサイ
ンバー機構の波長可変ＬＤ光源の構造を示す。図５にお
いて、平行移動機構１２は、共振器長の調整を行うもの
で、波長可変駆動回路１１の制御で位置制御駆動系１３
により、矢印Ｂで示すように、回折格子４が光軸に対し
て平行に直進移動する。また、回転機構９は、回折格子
４の角度調整を行うもので、平行移動機構１２によって
回折格子４が平行移動すると、矢印Ｃで示すように、接
触台１６に接するアーム（サインバー）１７を介して、
矢印Ａで示すように、同時に回折格子４の角度が変化す
る。このように、サインバー機構では、波長可変駆動回
路１１による直進駆動制御のみで、回折格子４の角度調
整と共振器長調整を同時に行うことが可能であり、簡単
にモードホップのない波長変化を行うことができる。な
お、以上の波長可変ＬＤ光源は光学ベース台１８上に構
成されている。

【０００７】しかし、図４の波長可変ＬＤ光源構造で前
述した問題点があり、更に、図５のサインバー機構によ
る連続波長可変ＬＤ光源では、レーザ発振させる光軸調
整の他に、サインバー条件の調整を行わなければなら
ず、広い範囲で連続波長可変を得ようとすると、調整範
囲が狭くなり、調整時間が掛かる。また、初期に設定し
たサインバー状態でしか波長変化が行なえないため、調
整時以外の動作条件（使用温度、ＬＤ駆動電流など）で
使用する時は、位相条件が変化しており、モードホップ
のない連続波長可変が得られる波長範囲が変化してしま
う問題点がある。つまり、サインバー構造だけでは、そ
の補正を行うことはできない。補正の行える構造にしよ
うとすると、制御系を１系統追加することになるが、そ
の制御系はサインバー構造とは完全に別となり、同時に
制御するのが難しい。また、リニアステージを使用した
平行移動機構１２では、そのステージのピッチング発生
があり、そのピッチングは反射光の光軸ズレだけではな
く、共振器長方向の変化も発生するため、正確な波長変
化にならない。

【０００８】次に、リニアステージを使用しない外部共
振器型波長可変ＬＤ光源の例として、特開平３−２７９
８２１の可変波長光源があり、その構成例を図６に示
す。図６において、回折格子４は、回転軸（中心）１９
を持ったアーム２０を有する回転機構２１に取り付けら
れ、このアーム状の回転機構２１を位置制御駆動系１３
で回動させることで、矢印Ｄで示すように、回折格子４
の角度調整（回転）と共振器長調整を同時に行ってい
る。なお、以上の波長可変ＬＤ光源は光学ベース台２２
上に構成されている。以上のアーム状の回転機構２１に
よる波長可変は、リニアステージと回転ステージを使用
した波長可変機構より小型となり、駆動制御も簡素化
し、リニアステージを使用しないため、ステージのピッ
チングやバックラッシュの発生はなくなる。しかし、モ
ードホップのない連続波長可変範囲は、図５のサインバ
ー構造より狭く、また、サインバー構造と同様に動作条
件が変化したときの補正ができない等の問題点がある。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】以上に述べたように、
回折格子４の角度調整や平行移動に回転ステージやリニ
アステージを使用した従来の波長可変ＬＤ光源構造で
は、ステージ類のピッチング等の角度変動による光軸ズ
レや共振器長変化が発生し、波長変化が起きる問題点が
ある。さらに、角度調整や平行移動を制御する駆動系の
最小制御量で波長変化量が決定されるので、精度の良い
駆動系が必要となる。また、サインバー機構やアーム状
回転機構による波長変化では、初期に調整設定した動作
状態でしか波長変化が行ないため、調整時以外の動作条
件（使用温度、ＬＤ駆動電流など）で使用する時は、位
相条件が変化してしまい、モードホップのない連続波長
可変が得られる波長範囲が変化してしまう問題点があ
る。そのため、どの様な動作条件でも安定した連続波長
可変を行えるようにするためには、サインバー機構やア
ーム状回転機構以外に位相条件を補正する機構が必要と
なってしまう。

【００１０】そこで、本発明の目的は、精度の良い連続
波長可変を可能とするとともに、どの様な動作条件でも
連続波長が行える補正手段を特別に用意する必要のない
外部共振器型波長可変ＬＤ光源を提供することにある。

【００１１】

【課題を解決するための手段】以上の課題を解決すべく
請求項１記載の発明は、一端面に無反射膜を施したＬＤ
と、このＬＤの前記無反射膜を施した前記一端面からの
出射光を波長選択して反射する回折格子と、この回折格
子による反射光の波長を、回折格子自体の回転及び前記
ＬＤの光軸に対する平行移動により可変とする波長可変
手段と、を備え、前記ＬＤの前記無反射膜を施していな
い他端面からの出射光を出力光とするＬＤ光源であっ
て、前記波長可変手段は、前記回折格子に対し前記光軸
と直交する方向に沿った各々の支点で支持し、前記平行
移動がそれぞれ可能な一対の平行移動機構と、これら一
対の平行移動機構の各々を平行移動させるよう別々に駆
動する一対の駆動手段、例えば、位置制御駆動系と、こ
れら一対の駆動手段の各々の駆動を制御する制御手段、
例えば、一対の位置制御駆動回路と、を備えた構成、を
特徴としている。

【００１２】以上のように、請求項１記載の発明によれ
ば、ＬＤの無反射膜を施した一端面からの出射光を波長
選択して反射する回折格子による反射光の波長を、回折
格子自体の回転及びＬＤの光軸に対する平行移動により
可変とする波長可変手段が、回折格子に対し前記光軸と
直交する方向に沿った各々の支点で支持し、前記平行移
動がそれぞれ可能な一対の平行移動機構と、これらの各
々を平行移動させるよう別々に駆動する一対の駆動手段
と、これらの各々の駆動を制御する制御手段と、を備え
た外部共振器型波長可変ＬＤ光源なので、制御手段によ
り駆動手段を介して、片方の平行移動機構を位置制御す
ることで、回折格子の角度調整と位置調整が可能であ
り、もう一方の平行移動機構を位置制御することで、補
正を行うことが可能となり、すなわち、両方の平行移動
機構をソフト的に制御することで、モードホップのない
連続波長可変が可能となる。

【００１３】また、請求項２記載の発明は、一端面に無
反射膜を施したＬＤと、このＬＤの前記無反射膜を施し
た前記一端面からの出射光を波長選択して反射する回折
格子と、この回折格子による前記ＬＤの光軸と交差する
反射光を再び回折格子に反射するミラーと、前記回折格
子による前記光軸に沿った反射光の波長を、前記ミラー
の回転及び前記光軸に対する平行移動により可変とする
波長可変手段と、を備え、前記ＬＤの前記無反射膜を施
していない他端面からの出射光を出力光とするＬＤ光源
であって、前記波長可変手段は、前記ミラーに対し前記
光軸と平行する方向に沿った各々の支点で支持し、前記
平行移動がそれぞれ可能な一対の平行移動機構と、これ
ら一対の平行移動機構の各々を平行移動させるよう別々
に駆動する一対の駆動手段、例えば、位置制御駆動系
と、これら一対の駆動手段の各々の駆動を制御する制御
手段、例えば、一対の位置制御駆動回路と、を備えた構
成、を特徴としている。

【００１４】以上のように、請求項２記載の発明によれ
ば、ＬＤの無反射膜を施した一端面からの出射光を波長
選択して反射する回折格子によるＬＤの光軸に沿った反
射光の波長を、回折格子による前記光軸と交差する反射
光を再び回折格子に反射するミラーの回転及び前記光軸
に対する平行移動により可変とする波長可変手段が、ミ
ラーに対し前記光軸と平行する方向に沿った各々の支点
で支持し、前記平行移動がそれぞれ可能な一対の平行移
動機構と、これらの各々を平行移動させるよう別々に駆
動する一対の駆動手段と、これらの各々の駆動を制御す
る制御手段と、を備えた外部共振器型波長可変ＬＤ光源
なので、制御手段により駆動手段を介して、片方の平行
移動機構を位置制御することで、回折格子による前記光
軸と交差する反射光を再び回折格子に反射するミラーの
角度調整と位置調整が可能となり、もう一方の平行移動
機構を位置制御することで、補正を行うことが可能とな
り、すなわち、両方の平行移動機構をソフト的に制御す
ることで、モードホップのない連続波長可変が可能とな
る。

【００１５】そして、請求項３記載の発明は、請求項１
または２記載の外部共振器型波長可変ＬＤ光源であっ
て、前記支点を、板バネ構造とした構成、を特徴として
いる。

【００１６】このように、請求項３記載の発明によれ
ば、請求項１または２記載の外部共振器型波長可変ＬＤ
光源であって、請求項１記載の回折格子または請求項２
記載のミラーに対する平行移動機構の支点を、板バネ構
造としたので、支点構造がシンプルな構造となって、機
構的バックラッシュの発生がなくなり、また、支点の接
触面での磨耗がなくなり、精度の良い波長可変を行うこ
とができ、更に波長可変機構の小型化が可能となる。

【００１７】

【発明の実施の形態】以下に、本発明に係る外部共振器
型波長可変ＬＤ光源の実施の各形態例を図１から図３に
基づいて説明する。

【００１８】＜第１の実施の形態例＞先ず、図１は本発
明を適用した第１の実施の形態例による外部共振器型波
長可変ＬＤ光源の構成を示すブロック図である。この外
部共振器型波長可変ＬＤ光源は、ＬＤ１、ＬＤ駆動回路
２、ＬＤ１の射出光軸上に配置されるレンズ３，５，
８、回折格子４、光アイソレータ６、回折格子保持部２
３、この回折格子保持部２３を支点２３ａ，２３ｂでそ
れぞれ保持する２個の平行移動機構２４，２５、その各
々の平行移動機構２４，２５をそれぞれ変位制御する２
系統の位置制御駆動系（駆動手段）２６，２７、その各
々の位置制御駆動系２６，２７をそれぞれ駆動制御する
波長可変用の位置制御駆動回路（制御手段）２８，２９
等から構成されている。以上の波長可変ＬＤ光源は光学
ベース台３０上に構成されており、この光学系の配置は
リトロー構造と呼ばれている。

【００１９】図１において、ＬＤ１は、ＬＤ駆動回路２
と接続され、このＬＤ駆動回路２からの注入電流に応じ
て、両端面から光を射出する。また、ＬＤ１の無反射膜
１ａ側の射出光軸上に配置されたレンズ３は、ＬＤ１の
端面から射出される光を平行光に変換する。その平行光
に変換された射出光は、回折格子４に入射される。この
回折格子４は、波長選択反射器として機能し、入射角θ
で入射された平行光のうち、入射角θにより決定される
波長（ブラッグ波長）の光のみを、ＬＤ１からの光軸に
反射させる。また、ブラッグ波長以外の光は、ＬＤ１か
らの光軸とは異なった角度に反射され、ＬＤ１に戻るこ
とはない。

【００２０】さらに、ＬＤ１の無反射膜１ａが施されて
いない側の端面の射出光軸上に配置されたレンズ５は、
ＬＤ１の端面から射出される光を平行光に変換する。ま
た、光アイソレータ６は、出力ファイバ７側からの反射
光がＬＤ１に戻らないようにするためのもので、この光
アイソレータ６を透過した光は、レンズ８で集光され、
出力光として出力ファイバ７に入射される。

【００２１】そして、波長可変手段は、回折格子４、回
折格子保持部２３、この回折格子保持部２３を支点２３
ａ，２３ｂでそれぞれ保持する２個の平行移動機構２
４，２５、その各々の平行移動機構２４，２５をそれぞ
れ変位制御する２系統の位置制御駆動系２６，２７等に
より構成されている。すなわち、回折格子４は、回折格
子保持部２３によって光軸に対して角度を持って保持さ
れている。この回折格子保持部２３の両端は、回折格子
保持部２３を支持する支点２３ａ，２３ｂを持つ２個の
平行移動機構２４，２５に取り付けられている。これら
の支点２３ａ，２３ｂを持つ平行移動機構２４，２５と
しては、例えば、リニアステージ、平行板バネ構造やボ
ールネジ機構などがある。

【００２２】さらに、駆動手段としての２系統の位置制
御駆動系２６，２７は、波長変化用の制御手段としての
位置制御駆動回路２８，２９にそれぞれ接続され、各々
の位置制御駆動回路２８，２９からの制御に基づきそれ
ぞれ駆動され、各々の平行移動機構２４，２５をそれぞ
れ平行移動させる。これらの位置制御駆動系２６，２７
としては、例えば、リニアアクチェエータ（モーター）
やピエゾ素子などがある。そして、２個の平行移動機構
２４，２５がそれぞれ平行移動することで、光軸に対す
る回折格子４の角度変化と位置変化が起き、ブラッグ波
長と共振波長を変化させることが可能となる。

【００２３】ここで、回折格子４の角度変化と位置変化
について、図２の模式図に基づいて簡単に述べる。図２
において、図示を省略した位置制御駆動系２６，２７と
平行移動機構２４，２５で、支点２３ａ，２３ｂが光軸
に対してそれぞれ平行に移動し、その最小移動量をΔＬ
とする。また、回折格子保持部２３の両支点２３ａ，２
３ｂの間隔をＬとする。そして、回折格子４は両支点２
３ａ，２３ｂの中央に配置されている。以上により、回
折格子４の角度変化Δθは、Δθ＝tan(ΔＬ／Ｌ) で求
められ、回折格子保持部２３の支点間隔Ｌを広くするこ
とで、回折格子４の角度変化Δθを高精度で可変できる
ようになる。また、回折格子４の位置変化ΔＬGrは、Δ
ＬGr＝ΔＬ／２で求められ、すなわち、位置制御駆動
系２６，２７の最小移動量の半分になり、精度良く波長
可変が行える。以上において、回折格子４の両側に配置
されている位置制御駆動系２６，２７によって、回折格
子４の角度変化のみも、また位置変化のみも行うことが
可能となる。

【００２４】例えば、角度変化のみを行いたいときは、
２個の平行移動機構２４，２５を同時に逆方向に同量を
移動させることで得られ、回折格子４のブラッグ波長の
みを変化させることになる。また、位置変化のみを行い
たいときは、２個の平行移動機構２４，２５を同時に同
方向に同量を移動させることで得られ、共振波長のみを
変化させることになる。なお、一方の位置制御駆動系２
７のみで波長変化させると、回折格子４の角度変化と位
置変化が同時に得られ、狭い波長範囲でモードホップの
ない波長可変が得られる。しかし、広い波長範囲でモー
ドホップのない波長可変を行うとすると、回折格子４の
角度変化で選択される波長（ブラッグ波長）が線形に変
化しないため、ブラッグ波長と共振波長に位相ズレが発
生し、モードホップが起きてしまう。そこで、広い波長
範囲を連続に可変させる時は、他方の位置制御駆動系２
６で支点２３ａを変化させ、位相ズレを補正する。

【００２５】そして、両方の位置制御駆動系２４，２５
を変化させる割合は、使用する回折格子４の溝本数、回
折格子４を保持する角度、回折格子保持部２３の支点間
隔Ｌによって変化するが、計算から求められるため、光
軸調整後に波長可変用の位置制御駆動回路２８，２９を
ソフト的に制御するだけで、連続波長可変が可能とな
る。なお、以上では、回折格子４を平行移動機構２４，
２５の中央に配置して説明したが、中央である必要はな
い。

【００２６】以上のように、第１の実施の形態例の外部
共振器型波長可変ＬＤ光源によれば、２系統の位置制御
駆動系２６，２７を独立に駆動させ、２個の平行移動機
構２４，２５上に橋渡しで配置された回折格子４の角度
と位置を変化させることで、自由にブラック波長と共振
波長の可変が行えるため、従来技術のサインバー構造や
アーム状回転機構構造の波長可変ＬＤ光源と同じよう
に、モードホップのない連続波長可変を行うことができ
る。また、波長可変用の位置制御駆動回路２８，２９を
ソフト的に制御するだけで、連続波長可変が行えるた
め、ＬＤ１の動作状態が変更されても、ソフトテーブル
上に制御量を持たせるだけで、連続波長可変が行えるこ
とが可能となる。

【００２７】そして、回折格子４を２個の平行移動機構
２４，２５の中央に配置する構造では、回折格子４の高
さを平行移動機構２４，２５の高さとほぼ同等の高さに
できるため、平行移動機構２４，２５にステージを使用
してピッチングが発生しても、共振器長方向の変化量は
非常に小さくなるため、波長変化も非常に小さくでき
る。また、支点２３ａ，２３ｂの構造を、板バネ構造と
することにより、シンプルな構造となって、機構的バッ
クラッシュの発生がなくなり、また、支点２３ａ，２３
ｂの接触面での摩耗がなくなり、精度の良い波長可変を
行うことができ、更に波長可変機構の小型化が可能とな
る。

【００２８】＜第２の実施の形態例＞次に、本発明を適
用した外部共振器型波長可変ＬＤ光源の第２の実施の形
態例について説明する。図３は本発明を適用した第２の
実施の形態例の外部共振器型波長可変ＬＤ光源の構成を
示すブロック図である。なお、この図３において、前述
した図１と同一部分には同一符号を付し、その説明は省
略する。

【００２９】この第２の実施の形態例において、外部共
振器型波長可変ＬＤ光源は、ＬＤ１、ＬＤ駆動回路２、
ＬＤ１の射出光軸上に配置されるレンズ３，５，８、光
アイソレータ６、回折格子３１、ミラー３２、ミラー保
持部３３、このミラー保持部３３を各々の支点３３ａ，
３３ｂでそれぞれ保持する２個の平行移動機構３４，３
５、その各々の平行移動機構３４，３５をそれぞれ変位
制御する２系統の位置制御駆動系（駆動手段）３６，３
７、その各々の位置制御駆動系３６，３７をそれぞれ駆
動制御する波長可変用の位置制御駆動回路（制御手段）
３８，３９等から構成されている。以上の波長可変ＬＤ
光源は光学ベース台４０上に構成されており、この光学
系の配置はリットマン構造と呼ばれている。

【００３０】このような配置では、回折格子３１を２度
反射することになるので、回折格子３１の波長選択性が
上がることになる。そして、波長可変するには、図１の
リトロー配置の回折格子４の角度を変化させるのに対
し、回折格子３１で１度反射した光を、回折格子３１側
に再度反射させるミラ３２ーの角度変化で行うことで可
能である。そのため、第２の実施の形態例の外部共振器
型波長可変ＬＤ光源によれば、２個の位置制御駆動系３
６，３７を独立に駆動させ、２個の平行移動機構３４，
３５上に橋渡しで配置されたミラー３２の角度と位置を
変化させることで、自由にブラック波長と共振波長の可
変が行えるため、前述した第１の実施の形態例と同様
に、モードホップのない連続波長可変を行うことができ
る。

【００３１】なお、以上の実施の各形態例において、本
発明はこれらのみに限定されるものではなく、他の部品
配置構成であってもよい。また、その他、具体的な細部
構造等についても適宜に変更可能であることは勿論であ
る。

【００３２】

【発明の効果】以上のように、請求項１記載の発明に係
る外部共振器型波長可変ＬＤ光源によれば、回折格子の
角度調整及び位置調整を行う一対の平行移動機構の駆動
を個別に制御するため、レーザ発振するように光軸調整
を行った後は、モードホップのない波長可変の調整を、
ソフト処理による駆動機構の制御のみで行うことができ
る。また、ソフト処理に必要なデータ自体も自動測定で
得られるため、調整時間の短縮が図れる。従って、光軸
調整や波長可変機構の調整が非常に簡単で、さらに波長
可変精度の良い波長可変光源構造を提供することが可能
となる。

【００３３】また、請求項２記載の発明に係る外部共振
器型波長可変ＬＤ光源によれば、回折格子によるＬＤの
光軸と交差する反射光を再び回折格子に反射するミラー
の角度調整及び位置調整を行う一対の平行移動機構の駆
動を個別に制御するため、レーザ発振するように光軸調
整を行った後は、モードホップのない波長可変の調整
を、ソフト処理による駆動機構の制御のみで行うことが
できる。また、ソフト処理に必要なデータ自体も自動測
定で得られるため、調整時間の短縮が図れる。従って、
光軸調整や波長可変機構の調整が非常に簡単で、さらに
波長可変精度の良い波長可変光源構造を提供することが
可能となる。

【００３４】そして、請求項３記載の発明に係る外部共
振器型波長可変ＬＤ光源によれば、請求項１または２記
載の発明により得られる効果に加えて、板バネ構造によ
り支点構造がシンプルな構造となるため、機構的バック
ラッシュの発生がなくなり、また、支点の接触面での磨
耗がなくなり、精度の良い波長可変を行うことができ、
更に波長可変機構の小型化を達成することができるとい
った利点が得られる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明を適用した第１の実施の形態例による外
部共振器型波長可変ＬＤ光源の構成図である。

【図２】図１に示した第１の実施の形態例の波長可変を
説明する光源の模式図である。

【図３】本発明を適用した第２の実施の形態例による外
部共振器型波長可変ＬＤ光源の構成図である。

【図４】従来技術の一般的な外部共振器型波長可変ＬＤ
光源の構成図である。

【図５】従来技術のサインバー構造の外部共振器型波長
可変ＬＤ光源の構成図である。

【図６】従来技術のアーム状回転機構構造の外部共振器
型波長可変ＬＤ光源の構成図である。

【符号の説明】

１ＬＤ１ａ無反射膜２ＬＤ駆動回路３，５，８レンズ４回折格子６光アイソレータ７出力ファイバ２３回折格子保持部２３ａ，２３ｂ支点２４，２５平行移動機構２６，２７位置制御駆動系（駆動手段）２８，２９位置制御駆動回路（制御手段）３０光学ベース台３１回折格子３２ミラー３３ミラー保持部３３ａ，３３ｂ支点３４，３５平行移動機構３６，３７位置制御駆動系（駆動手段）３８，３９位置制御駆動回路（制御手段）４０光学ベース台

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】一端面に無反射膜を施した半導体レーザ
と、この半導体レーザの前記無反射膜を施した前記一端面か
らの出射光を波長選択して反射する回折格子と、この回折格子による反射光の波長を、回折格子自体の回
転及び前記半導体レーザの光軸に対する平行移動により
可変とする波長可変手段と、を備え、前記半導体レーザの前記無反射膜を施していない他端面
からの出射光を出力光とする半導体レーザ光源であっ
て、前記波長可変手段は、前記回折格子に対し前記光軸と直交する方向に沿った各
々の支点で支持し、前記平行移動がそれぞれ可能な一対
の平行移動機構と、これら一対の平行移動機構の各々を平行移動させるよう
別々に駆動する一対の駆動手段と、これら一対の駆動手段の各々の駆動を制御する制御手段
と、を備えたこと、を特徴とする外部共振器型波長可変
半導体レーザ光源。
【請求項２】一端面に無反射膜を施した半導体レーザ
と、この半導体レーザの前記無反射膜を施した前記一端面か
らの出射光を波長選択して反射する回折格子と、この回折格子による前記半導体レーザの光軸と交差する
反射光を再び回折格子に反射するミラーと、前記回折格子による前記光軸に沿った反射光の波長を、
前記ミラーの回転及び前記光軸に対する平行移動により
可変とする波長可変手段と、を備え、前記半導体レーザの前記無反射膜を施していない他端面
からの出射光を出力光とする半導体レーザ光源であっ
て、前記波長可変手段は、前記ミラーに対し前記光軸と平行する方向に沿った各々
の支点で支持し、前記平行移動がそれぞれ可能な一対の
平行移動機構と、これら一対の平行移動機構の各々を平行移動させるよう
別々に駆動する一対の駆動手段と、これら一対の駆動手段の各々の駆動を制御する制御手段
と、を備えたこと、を特徴とする外部共振器型波長可変
半導体レーザ光源。
【請求項３】前記支点を、板バネ構造としたこと、を特
徴とする請求項１または２記載の外部共振器型波長可変
半導体レーザ光源。