JP2021141106A - 発振調整方法 - Google Patents
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Abstract
Description
半導体レーザからの光を第1の光路と第2の光路に分岐して、前記第1の光路で外部共振器を形成して単一縦モード発振させ、
前記第2の光路に体積ブラッグ回折格子を配置し、前記体積ブラッグ回折格子による回折光が前記半導体レーザに戻るように、前記第2の光路の光軸に対する前記体積ブラッグ回折格子の角度を調整し、
前記体積ブラッグ回折格子の角度調整の後に、前記第1の光路を遮断して、前記体積ブラッグ回折格子で発振するように前記体積ブラッグ回折格子の位置を調整する。
図1Aで、半導体レーザ1(以下、「LD1」と称する)の出力光を、偏光ビームスプリッタ4(以下、「PBS4」と称する)や部分反射ミラー等で、第1の光路P1と第2の光路P2に分岐し、第1の光路P1で外部共振器を形成して単一縦モード発振させる。LD1の一方の端面は反射防止(AR)面、もしくは部分反射(PR)面1aとなっており、他方の端面は高反射面1bである。AR面の反射率は5%未満が好ましく、1%以下がより好ましい。PR面の反射率は5%〜50%が好ましく、10%〜30%がより好ましい。高反射面の反射率は95%以上が好ましく、98%以上がより好ましい。
λresnt=λ0−bΔλ (0.5<b<3.0)
となるように、反射器3の角度を調整してもよい。ここで、bは係数である。bの値は、一例として、0.5よりも大きく、3.0よりも小さい範囲、より好ましくは、1.0以上、2.5以下である。bの値が0.5以下では、VBGの回折光と入射光を区別することが難しい。bの値が3.0を超えると、VBGの回折光の方向が第2の光路P2から逸脱しすぎて、回折光をLD1に戻すことが難しい。第1の光路P1で、反射器3の角度を適切に調整することで、ER1によるLD1の単一縦モード発振波長を、VBGの回折光の波長よりもやや短波長側に設定することができる。
LD1を単一縦モード発振させた後に、図1Bで、VBG7を第2の光路P2に配置して、VBG7による回折光LdifがLD1に戻るように、第2の光路P2の光軸に対するVBG7の角度を調整する。
2n0Λcosθ=λB
が満たされるときである。ここで、n0はガラス本体の屈折率である。ここでは、一般的な光学の分野で用いられる入射角(入射面の法線と入射光が成す角度)をθとして説明する。この条件をブラッグ条件と呼ぶ。
図1Cで、反射器3が置かれた第1の光路P1を遮断し、VBG7を、第2ステップで角度調整した位置から、第2の光路P2に沿って徐々にLD1に近づけて、VBG7単体で単一縦モード発振するように調整する。この時点では、反射器3を第1の光路P1上に置いたままの状態で、第1の光路P1を遮る。VBG7からの回折光Ldifを見失ったときに、直ちに第1の光路P1を光学的に接続して、LD1を単一縦モード発振させるためである。
図1Dで、VBG7単体でのLD1の単一縦モード発振の後に、VBG7とLD1を除く不要な光学素子を除去する。実施形態の構成では、半波長板2、反射器3、PBS4を除去する。LD1とVBG7は調整された位置関係と角度関係で、レーザ装置のパッケージ内に配置されてもよい。これにより、高強度かつ狭帯域の外部共振器型の半導体レーザ装置が得られる。
2 半波長板
3 反射器
4 偏光ビームスプリッタ
5 波長計
7 体積ブラッグ回折格子
12 パワーメータ
Claims (9)
- 半導体レーザからの光を第1の光路と第2の光路に分岐して、前記第1の光路で外部共振器を形成して単一縦モード発振させ、
前記第2の光路に体積ブラッグ回折格子を配置し、前記体積ブラッグ回折格子による回折光が前記半導体レーザに戻るように、前記第2の光路の光軸に対する前記体積ブラッグ回折格子の角度を調整し、
前記体積ブラッグ回折格子の角度調整の後に、前記第1の光路を遮断して、前記体積ブラッグ回折格子で発振するように前記体積ブラッグ回折格子の位置を調整する、
ことを特徴とする発振調整方法。 - 前記体積ブラッグ回折格子の角度調整は、前記単一縦モード発振した光の波長が、前記体積ブラッグ回折格子による前記半導体レーザへ戻る回折光の波長よりも、短波長側にシフトするように調整されることを特徴とする請求項1に記載の発振調整方法。
- 前記体積ブラッグ回折格子の位置調整は、前記体積ブラッグ回折格子を前記半導体レーザに近づける移動を含むことを特徴とする請求項1または2に記載の発振調整方法。
- 前記体積ブラッグ回折格子の前記位置調整は、前記移動と同時に、または前記移動の後に、前記体積ブラッグ回折格子を前記体積ブラッグ回折格子の配置面と平行な面内で回転させる調整を含むことを特徴とする請求項3に記載の発振調整方法。
- 前記外部共振器の形成は、前記第1の光路への反射器の配置を含み、
前記反射器の角度を所望の共振波長が得られる角度に調整することを特徴とする請求項1〜4のいずれか1項に記載の発振調整方法。 - 前記体積ブラッグ回折格子の位置調整が完了した後に、前記反射器を除去することを特徴とする請求項5に記載の発振調整方法。
- 前記反射器は、回折格子である請求項5または6に記載の発振調整方法。
- 前記反射器は、干渉フィルタまたは分布ブラッグ反射器のいずれかと、ミラーと、を有する請求項5または6に記載の発振調整方法。
- 前記半導体レーザからの光を、偏光ビームスプリッタによって前記第1の光路と前記第2の光路に分岐し、
前記体積ブラッグ回折格子の位置調整が完了した後に、前記偏光ビームスプリッタを除去することを特徴とする請求項1〜8のいずれか1項に記載の発振調整方法。
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