WO2012033320A3 - 발광다이오드 소자의 결함검사 장치 및 방법 - Google Patents

발광다이오드 소자의 결함검사 장치 및 방법 Download PDF

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Abstract

발광다이오드 소자의 결함검사 장치 및 방법이 개시된다. 상기 발광다이오드소자의 결합검사 장치는, 광원부로부터 발생된 광을 분할 또는 결합하여, 기형성된 광섬유를 통해 전달하는 광커플러부; 상기 광커플러부로부터 분할된 광을 수신하여 위상 스캔하여 반사한 후, 반사된 광을 상기 광커플러부로 전달하는 위상지연부; 상기 광커플러부로부터 입사된 광을 검사하고자 하는 발광다이오드 소자에 조사하고, 상기 발광다이오드 소자로부터 반사된 광을 상기 광커플러부로 전달하는 스캐닝부; 상기 위상지연부와 상기 스캐닝부로부터 반사된 광이 상기 광커플러부로 입사되고, 입사된 광을 전기적 신호로 변환한 후, 변환된 전기적 신호로부터 상기 발광다이오드 소자에 형성된 형광물질박막에 대한 영상을 생성하는 광간섭성단층촬영부; 상기 영상으로부터 상기 형광물질박막에 대한 부피값을 연산한 후, 연산한 부피값이 기저장된 기준부피값을 초과하거나 미만인 경우, 상기 발광다이오드소자의 결함발생을 판단하는 결함판단부를 포함한다.
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