DE102008029479A1 - Kurzkohärenz-Interferometerie zur Abstandsmessung - Google Patents

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Abstract

Es ist eine Kurzkohärenz-Interferometervorrichtung zur Messung mehrerer axial beabstandeter Bereiche (T1, T2) einer Probe (5), insbesondere eines Auges, beschrieben welche - einen Messstrahlengang (3), durch den Messstrahlung auf die Probe (5) fällt, - eine Abstimmungsinterferometereinrichtung (6) zur axialen relativen Verzögerung von Strahlungsteilen, wobei die axiale relative Verzögerung der axialen Beabstandung (L) der Bereiche (T1, T2) zugeordnet ist, und - eine Detektoreinrichtung zur Erzeugung eines Interferenzsignals aus interferierender von der Probe (5) als Probenstrahlung zurückgestreuter oder -reflektierter Messstrahlung aufweist, wobei - die Abstimmungsinterferometereinrichtung (6) die Probenstrahlung in zwei Strahlungsteile aufteilt, axial relativ verzögert (6) und interferierend überlagert, - wobei die Abstimmungsinterferometereinrichtung (6) bei der Überlagerung Einzelstrahlungen (8) bildet, die Quadraturkomponenten der Probenstrahlung repräsentieren, und - die Detektoreinrichtung die Einzelstrahlungen (8) detektiert.

Description

  • Die Erfindung bezieht sich auf Kurzkohärenz-Interferometrie-Verfahren zur Messung mehrerer axial beabstandeter Bereiche einer Probe, insbesondere eines Auges, wobei ein Meßstrahl auf die Probe gerichtet wird, Strahlungsteile axial relativ verzögert werden und aus von der Probe als Probenstrahlung zurückgestreuter oder -reflektierter Meßstrahlung ein Interferenzsignal erzeugt wird.
  • Die Erfindung bezieht sich weiter auf eine Kurzkohärenz-Interferometervorrichtung zur Messung zweier axial beabstandeter Bereiche einer Probe, insbesondere eines Auges, welche einen Meßstrahlengang, durch den Meßstrahlung auf die Probe fällt, eine Abstimmungsinterferometereinrichtung zur axialen relativen Verzögerung von Strahlungsteilen und eine Detektoreinrichtung zum Messen eines Interferenzsignals aus von der Probe als Probenstrahlung zurückgestreuter oder -reflektierter Meßstrahlung aufweist.
  • Zur Vermessung transparenter oder teil-transparenter Proben, beispielsweise des menschlichen Auges sind Kurzkohärenz-Interferometer, die mittels optischer Kohärenztomographie (im folgenden: OCT) arbeiten, bekannt, beispielsweise aus der WO 2007/065670 A1 . Sie dienen dazu, Ort und Größe von Streuzentren innerhalb einer Probe, wie beispielsweise miniaturisierten optischen Komponenten oder biologischem Gewebe, z. B. dem menschlichen Auge zu erfassen. Für einen Überblick über entsprechende Literatur zur OCT sei auf die US 2006/0109477 A1 verwiesen. Diese Patentveröffentlichung schildert auch die Grundprinzipien der OCT.
  • Das Prinzip der OCT umfaßt sowohl Ausführungsformen, bei denen eine Bildgebung durch Einstrahlung und Strahlungsdetektion durch Scannen an verschiedenen Orten quer zur Einfallsrichtung der Strahlung erfolgt, als auch demgegenüber vereinfachte Ausführungen, bei denen die Einstrahlung und Strahlungsdetektion nur entlang einer unverändert bleibenden Achse vorgenommen wird und somit axiale (d. h. 1-dimensionale) Streuprofile erzeugt werden.
  • Letztere Ausführungsform entspricht von der Bildgewinnung her einem sog. A-Scan der Ultraschallbildgewinnung; sie wird auch als optical coherence domain reflectometry oder Kurzkohärenzreflektometrie (OCDR) bezeichnet. Soweit hier von OCT oder OCDR die Rede ist, sind sowohl scannende als auch OCDR-System darunter zu verstehen.
  • Zur Erfassung größerer Objekte bzw. zur Vergrößerung des Meßbereiches ist es bekannt, eine Interferenz mehrerer Meßstrahlen mit jeweils einem separaten Referenzstrahl zu nutzen oder mehrere Einzel-Meßstrahlen paarweise zu überlagern, was auch als sogenanntes „dual beam”-Interferometer bezeichnet wird. Dies ist aus Drexler et al., „Submicrometer Precision Biometry of the Anterior Segment of the human Eye", Investigative Ophthalmology & Visual Science, June 1997, Vol. 38, No. 7 bekannt.
  • Für die OCDR sind als Varianten die Zeit-Domain OCDR (time-domain oder TD-OCDR) mit schnell scannendem Referenzarmen und Fourier-Domain OCDR (FD-OCDR) mit festem Referenzarm und Auswertung spektraler Interferenzen bekannt. Letztere unterscheidet sich nochmals in eine Variante unter Verwendung breitbandiger Lichtquellen und spektrometerbasierter Detektion (spectral domain oder SD-OCDR) und in eine Variante unter Verwendung spektral durchstimmbarer Lichtquellen und breitbandiger Detektoren (swept-source oder SS-OCDR).
  • Bei der TD-OCDR wird die Probe mit einer kurzkohärenten Strahlung beleuchtet, und ein Interferometer sorgt dafür, daß von der Probe rückgestreute Strahlung mit Strahlung, die einen Referenzstrahlengang durchlief, interferieren kann. Dieses Prinzip, das schon relativ früh in Huang, et al., Micron-Resolution Ranging of Cornea Anterior Chamber by Optical Reflectometry, Lasers in Surgery and Medicine 11, 419–425 (1991), beschrieben wurde, kann ein tiefenaufgelöstes Streuprofil der Probe aufzeichnen, wenn die Länge des Referenzstrahlenganges verstellt wird, wodurch ein der Kohärenzlänge der verwendeten Strahlung entsprechendes Fenster in der Probe verstellt wird. Wird, wie in Huang, et al., Science 254: 1178–1181, 1991, beschrieben, der Beleuchtungsstrahl zusätzlich relativ zur Probe bewegt, kann ein tiefenaufgelöstes Schnittbild (Tomogramm) der Probe gewonnen werden, d. h. es wird lateral scannende optische Kohärenztomographie (TD-OCT) realisiert. Die Größe dieses Fensters definiert die maximal erreichbare Tiefenauflösung. Für eine gute Tiefenauflösung sind also möglichst kurzkohärente, d. h. spektral breite Strahlungsquellen erforderlich. Aufgrund des Meßverfahrens wird zu jeder Zeit nur ein Bruchteil der rückreflektierten Strahlung detektiert, nämlich diejenige, die aus der Meßtiefe der Probe zurückgestreut wurde, welche zur Länge des Referenzstrahlenganges korrespondiert. Bei bekannten Aufbauten werden deshalb über 99% der von der Probe zurückgestreuten Photonen für die Messung gar nicht erfaßt.
  • Eine höhere Ausbeute erhält man bei der SD-OCDR. Hier wird die Länge des Referenzstrahlenganges nicht mehr geändert, statt dessen wird die zur Interferenz gebrachte Strahlung spektral aufgelöst detektiert. Die Tiefeninformation der Probe, d. h. das tiefenaufgelöste Kontrast-Signal wird aus dem spektral aufgelösten Signal berechnet. Da ein Mechanismus zur Verstellung der Weglänge des Referenzstrahlenganges nicht mehr nötig ist, ist die SD-OCDR-Technik in der Lage, in allen Tiefen der Probe gleichzeitig zu messen. Die dadurch erreichte höhere Ausbeute der rückgestreuten Strahlung erzielt eine bis zu 20 dB höhere Empfindlichkeit bei gleicher Meßzeit. Nachteilig bei SD-OCDR-Systemen ist die durch die Spektrometerauflösung begrenzte maximale Meßbereichsgröße und die mit der Meßtiefe steigende Empfindlichkeitsabnahme. Auch ist der erforderliche Aufbau deutlich aufwendiger.
  • Etwas weniger zusätzlichen Aufbauaufwand benötigt die SS-OCDR-Variante, bei der die spektrale Auflösung des Interferenzsignals mit einem Spektrometer entfällt und statt dessen die Beleuchtungsquelle spektral durchgestimmt wird. Dieses Verfahren ist, wie SD-Systeme auch, durch die höhere Photonenverwertung sensibler als TD-OCDR, wie M. Choma et al., "Sensitivity advantage of swept source and Fourier domain optical coherence tomography," Opt. Express 11, 2183–2189 (2003), erläutern. Die maximale Auflösung entspricht bei SS-OCDR dem durchstimmbaren Wellenlängenbereich der Strahlungsquelle, und die Meßtiefe, also der axiale Meßbereich, ist durch die Kohärenzlänge, d. h. Linienbreite, der verwendeten Strahlung vorgegeben.
  • Eine besonders kompakte SS-OCDR-Variante findet sich in S. Vergnole et al., „Common Path swept-source OCT interferometer with artifact removal", in Coherence Domain Optical Methods and Optical Coherence Tomography in Biomedicine XII, ed. J. Izatt et al., Proc. Of SPIE Vol. 6847, 68472W, 2008. Hier wird Referenzstrahlung durch Reflexion am Ende einer teilreflektierenden Lichtleitfaser, die die Meßstrahlung auf die Probe leitet, gewonnen. Die von der Probe rückreflektierte Strahlung und die Referenzstrahlung werden dann durch ein Interferometer geleitet, deren Arme unterschiedliche Weglänge haben, und dann überlagert. Der Weglängenunterschied definiert den Abstand, welchen der erfaßte Probenbereich vom teilreflektierenden Ende der Lichtleitfaser hat. Um Abstände unterschiedlicher Probenbereiche jenseits der OCDR-Meßtiefe zu erfassen, müssen mehrere Messungen erfolgen. Die Verwendung eines Faserendreflexes als Referenz ist auch aus der US 2007/0008545 A1 bekannt.
  • Bei allen OCDR-Varianten ist der Meßbereich mit der Meßauflösung und/oder Meßempfindlichkeit in gewisser Weise verknüpft. Beispielsweise ist bei SD-OCDR das Verhältnis zwischen realisierbarer Spektrometerauflösung und abzudeckender Spektralbreite begrenzt. Bei TD-OCDR muß zwar auch eine ausreichende spektrale Bandbreite bzw. ausreichend kurze Kohärenzlänge der Strahlung die Auflösung interessierender Probenstrukturen erlauben, aber der Meßbereich ist letztendlich über die maximal realisierbare Scangeschwindigkeit und Abtastrate mit der Meßempfindlichkeit und Meßauflösung bei gegebener Meßdauer verknüpft. Zur Behebung der durch die Verknüpfung gegebenen Limitierung schildert die WO 2007/065670 A1 , auf geschickte Weise mehrere Interferometereinrichtungen zu kombinieren, die jeweils aus einem eigenen Referenzstrahlengang sowie einem zugeordneten Probenstrahlengang aufgebaut sind. Durch unterschiedliche Abstimmung dieser mehreren, zwar in einer Vorrichtung zusammengefaßten, jedoch eigenständigen Interferometereinrichtungen kann gleichzeitig an verschiedenen Stellen im Auge gemessen und so der Meßbereich vergrößert werden. Die Schrift schildert weiter verschiedene Ansätze, um die Strahlungen in den zusammengefaßten Interferometern zu unterscheiden, beispielsweise hinsichtlich der Polarisation der Strahlung oder der Wellenlänge. Eine solche Unterscheidung ist auch in der WO 2001/038820 A1 beschrieben, welche sich allerdings nur mit TD-OCDR befaßt, also bewegte Elemente zur Verstellung der Referenzstrahlenganglänge benötigt. Das Prinzip, mehrere Referenzstrahlengänge unterschiedlicher Länge zu verwenden, findet sich auch in der US 2005/0140981 , oder in der US 6.198.540 , die jeweils TD-OCDR zur Meßbereichsvergrößerung betreffen und mehrere, individual angepaßte Referenzstrahlengänge unterschiedlicher Länge verwenden.
  • Drastisch steigt der Aufbau, wenn eine Bewegungen oder Pulsationen unterworfene Probe, wie z. B. das menschliche Auge, erfaßt werden soll. Dann muß entweder eine so schnelle Messung erfolgen, daß in der Meßdauer keine störenden Bewegungen oder Pulsationen auftreten, oder solche Einflüsse müssen kompensiert werden.
  • Eine Möglichkeit zur Kompensation sind die bereits erwähnten dual-beam-Aufbauten/Verfahren. Hier wird ein Meßstrahl aus zwei Strahlanteilen aufgebaut, die miteinander interferenzfähig wären, wenn sie nicht axial gegeneinander verschoben wären. Diese axiale Verschiebung der Anteile der einfallenden Meßstrahlung wird von einem Abstimmungsinterferometer erzeugt und passend zur axialen Beabstandung der zu messenden Proben-Bereiche eingestellt. Die Rückstreuung oder -reflektion an der Probe hebt den axialen Versatz für die Strahlungsanteile dann wieder auf und die Probenstrahlung kann dann ohne weiteres interferieren. Man erhält so ein Interferenzsignal nach den bekannten OCDR-Prinzipien.
  • Die bereits genannte US 2006/0109477 schließlich erlaubt es überhaupt nicht, mehrere Bereiche einer Probe zu erfassen, die axial weiter beabstandet sind, als die Meßtiefe groß ist, sondern widmet sich einer möglichst großen Empfindlichkeit, wozu 2 × 2 und 3 × 3-Phaserkoppler in Kombination mit einer Differenzsignalauswertung von Quadraturkomponenten, zur Realisierung der balanced detection eingesetzt werden.
  • Der Erfindung liegt deshalb die Aufgabe zugrunde, eine Kurzkohärenz-Interferometeranordnung bzw. ein Kurzkohärenz-Interferometrie-Verfahren zu schaffen, das sowohl hinsichtlich axialer Probenbewegungen unempfindlich ist, als auch eine hohe Ausbeute der eingestrahlten und reflektierten Strahlung bei teilabsorbierenden oder -reflektierenden Objekten zuläßt und effektive Rauschunterdrückung erlaubt.
  • Die Erfindung löst diese Aufgabe durch eine Kurzkohärenz-Interferometer-Vorrichtung zur Messung mehrerer axial beabstandeter Bereiche einer Probe, insbesondere eines Auges, welche einen Meßstrahlengang, durch den Meßstrahlung auf die Probe fällt, eine Abstimmungsinterferometereinrichtung zur axialen relativen Verzögerung von Strahlungsteilen, wobei die axiale relative Verzögerung der axialen Beabstandung der Bereiche zugeordnet ist, und eine Detektoreinrichtung zur Erzeugung eines Interferenzsignals aus von der Probe als Probenstrahlung zurückgestreuter oder -reflektierter Meßstrahlung aufweist, wobei die Abstimmungsinterferometereinrichtung die Probenstrahlung in zwei Strahlungsteile aufteilt, axial relativ verzögert und interferierend überlagert und bei der Überlagerung Einzelstrahlungen bildet, die Quadraturkomponenten der Probenstrahlung repräsentieren, und die Detektoreinrichtung die Einzelstrahlungen detektiert.
  • Die Erfindung löst die Aufgabe weiter durch ein Kurzkohärenz-Interferometrie-Verfahren zur Messung mehrerer axial beabstandeter Bereiche einer Probe, insbesondere eines Auges, wobei ein Meßstrahl auf die Probe gerichtet wird, Strahlungsteile axial relativ verzögert werden, die axiale relative Verzögerung der axialen Beabstandung der Bereiche zugeordnet ist, und aus von der Probe als Probenstrahlung zurückgestreuter oder -reflektierter Meßstrahlung ein Interferenzsignal erzeugt wird, die Probenstrahlung in zwei Strahlungsteile aufgeteilt wird und diese axial relativ verzögert und interferierend überlagert werden, bei der Überlagerung Einzelstrahlungen gebildet werden, die Quadraturkomponenten der Probenstrahlung repräsentieren, und die Einzelstrahlungen detektiert werden. Unter Quadraturkomponentendetektion wird dabei, wie dem Fachmann bekannt, eine Detektion mehrerer Interferenzsignale aus verschiedenen Überlagerungen zweier Teilstrahlen gemeint ist, in denen unterschiedliche Phasenlagen zwischen den Teilstrahlen vorliegen, einschließend des Falles von 180°, der allgemein als „balanced detection” bezeichnet wird.
  • Der erfindungsgemäße Aufbau verzichtet also auf das den bekannten Dual-Beam-Prinzipien eigene Vorinterferometer, das zur Bereitstellung einer Strahlung verwendet wird, welche aus zwei gegeneinander verzögerten Anteilen besteht, die nach Durchgang durch die Probe interferieren können. Der erfindungsgemäße Aufbau sendet nun nicht einen aus zwei gegeneinander verzögerten Anteilen „dual-beam” auf die Probe, sondern eine Meßstrahlung, die in ihrer axialen Zusammensetzung homogen ist. Die Interferenzfähigkeit wird erst nach der Rückreflexion oder Rückstreuung durch das Abstimmungsinterferometer hergestellt. Die Problematik, daß Vorinterferometer zwangsläufig Strahlung an zwei Ausgängen des Interferometers absenden, und somit verminderte Effizienz haben, ist damit vermieden. Das erfindungsgemäße „Nachinterferometer” mit mehreren Ausgängen zum Wellenlängenabgleich erlaubt es, zusätzliche Phaseninformationen zu gewinnen, und darüber hinaus eine rückreflexfreie Interferometereinrichtung.
  • Das „Nachinterferometer”, d. h. die auf die Probenstrahlung wirkende Abstimmungsinterferometereinrichtung, welche erst die bereits von der Probe rückkehrende Probenstrahlung in unterschiedlich verzögerte Anteile aufteilt, ist in Kombination mit mehreren Ausgängen zur Erzeugung phasenverschobener Interferenzsignale ein wesentliches Merkmal der Erfindung. Der erfindungsgemäße Ansatz kommt dabei ohne feststehende Referenz aus, da die Referenzstrahlung einer der an der Probe reflektierten Anteile ist. Dadurch ist automatisch eine Unabhängigkeit von Probenbewegung gegeben. Weiter kann der Abstand der Probenbereiche in einer Messung erfaßt werden. Ein zusätzlicher Vorteil ist, daß keine Anpassung der Polarisationszustände einer Referenzstrahlung und der Probenstrahlung notwendig ist.
  • Die Erfindung kombiniert in der erfindungsgemäßen Vorrichtung bzw. dem erfindungsgemäßen Verfahren das „Dual-Beam”-Prinzip mit einer Detektion phasenverschobener Quadraturkomponenten der Interferenzsignale, insbesondere in Form von Differenzsignalen bei einer „balanced detection”.
  • Diese Detektion erlaubt insbesondere bei TD-OCDR oder SS-OCDR eine Unterdrückung von störenden Gleichlichtanteilen, Laserstrahlungsintensitätsschwankungen und eine Rauschunterdrückung, wie es für die Quadraturkomponentendetektion aus der Veröffentlichung A. Podoleanu, APPLIED OPTICS, Vol. 39, No. 1, S. 173, „Unbalanced versus balanced Operation in an optical coherence tomography system", bekannt ist.
  • Erfindungsgemäß ist insbesondere eine Bestimmung von Quadraturkomponenten der Interferenzsignale mit anderen Phasenverschiebungen als 180° möglich, z. B. zur Unterdrückung von Spiegelartefakten bei der Rekonstruktion von FD-Signalen, also z. B. bei SS-OCDR oder SD-OCDR. Hierzu wird auf die US 2004/0239943 verwiesen, welche die Verwendung von Quadraturkomponenten allgemein betrifft.
  • Der erfindungsgemäße Ansatz erreicht eine Realisierung des „Dual-Beam”-Prinzipes und eine sehr hohe Ausnutzung der zur Verfügung stehenden Strahlungsintensität, im idealen Fall jeweils 100%, d. h. die gesamte zur Verfügung stehende Strahlung, welche auf das Auge fällt, kann die Probe illuminieren und die gesamte, von der Probe rückgestreute Strahlung wird detektiert.
  • Für die Interferometereinrichtung kommt prinzipiell jeder geeignete Aufbau in Frage, der einen Strahlungsteil der Probenstrahlung gegenüber dem restlichen Strahlungsteil axial um ein bestimmtes, vorzugsweise einstellbares Maß, versetzt. Ein besonders einfacher Aufbau ergibt sich mit einem Mach-Zehnder-Interferometer, die ein Beispiel für ein rückreflexfreies Abstimmungsinterferometer ist. Alternativ kann auch ein Michelson-Interferometer verwendet werden.
  • Der axiale Versatz der beiden Strahlungsteile ist natürlich auf den Abstand der zu erfassenden Bereiche abgestimmt. Eine optimale Abstimmung erreicht man, wenn der Versatz exakt der zweifachen axialen Beabstandung der Bereiche entspricht. Hierbei bezieht sich die Abstimmung auf die optischen Wege, also unter Berücksichtigung der Brechzahlen der Medien in Probe und Abstimmungsinterferometer. Nun ist diese Beabstandung in der Regel vorher nicht exakt bekannt, so daß man durch Vorgabe der Weglänge, um welche die beiden Strahlungsteile axial gegeneinander versetzt werden, den axialen Abstand der Bereiche auswählt, mithin die Bereiche an der Probe vorselektiert. Es ist deshalb zu bevorzugen, wenn die Weglänge am Abstimmungsinterferometereinrichtung einstellbar ist, besonders bevorzugt ausgehend von einem Grundwert von +/–50% eines Sollwertes der zweifachen axialen Beabstandung der Bereiche, z. B. der mittleren optischen Augenlänge.
  • Die in der Vorrichtung verwendete Strahlung hängt hinsichtlich ihrer Spektralcharakteristik wesentlich davon ab, ob TD-, SS- oder SD-OCDR realisiert werden soll, muß aber in jedem Fall eine ausreichende Penetration und Rückstreuung in der Probe gewährleisten, wie beispielshalber durch Wellenlängen im Bereich von 700...1100 nm beim Auge. Bevorzugt ist, daß zusätzlich zu einer die Strahlung bereitstellenden Strahlungsquelle ein Koppelelement vorgesehen ist, das der Strahlungsquelle nachgeordnet ist, die von der Strahlungsquelle kommende Strahlung als Meßstrahlung auf die Probe leitet und von der Probe in sich zurückgestreute oder -reflektierte Meßstrahlung zur Abstimmungsinterferometereinrichtung abteilt. Vorzugsweise umfaßt das Koppelelement einen Zirkulator, um einen möglichst hohen Anteil der rückgestreuten oder -reflektierten Meßstrahlung zur Abstimmungsinterferometereinrichtung zu leiten. Als Zirkulator kommt beispielsweise ein polarisationsunabhängiger Zirkulator oder eine Kombination aus Polarisationsteiler, λ/4-Platte oder als Faraday-Rotator in Frage.
  • Die Realisierung des Koppelelementes als Polarisationsteiler bietet noch eine gute Möglichkeit bei SS-OCDR eine Referenzierung der zeitabhängigen Wellenlängendurchstimmung auszuführen, wenn das Koppelelement ein Teil der von der Strahlungsquelle kommende Strahlung als Referenzstrahlung abteilt, die einen von der Meßstrahlung verschiedenen Polarisationszustand hat, und die Referenzstrahlung in einen Referenzstrahlengang leitet, an dessen Ende die Referenzstrahlung rückreflektierendes oder -streuendes Referenzobjekt angeordnet ist, wobei das Koppelelement die von der Probe in sich zurückreflektierte oder -gestreute Meßstrahlung mit der vom Referenzobjekt zurückreflektierten oder -gestreuten Referenzstrahlung überlagert und zur Abstimmungsinterferometereinrichtung leitet. Es kann dann eine überlagerte Messung der unterschiedlich polarisierten Proben- und Referenzstrahlungen erfolgen, so daß eine einfache Referenzierung der Wellenlängendurchstimmung erreicht ist, was die Meßgenauigkeit bei SS-OCDR erhöht. Vorzugsweise wird dabei der Reflektorenabstand im Referenzstrahlengang so eingestellt, daß das resultierende Wellenlängenreferenzsignal das zu vermessende Probensignal nicht in einer störenden Weise überlagern kann, z. B. indem das Wellenlängenreferenzsignal Peaks nur bei Meßtiefen erzeugt, wo keine Probensignale zu erwarten sind.
  • Einen besonders kompakten Aufbau erreicht man bekanntermaßen mit faseroptischen Elementen.
  • Es ist deshalb zu bevorzugen, daß das Koppelelement faseroptisch ausgeführt ist. Im Interesse einer hohen Ausbeute kann dann optional das die Meßstrahlung emittierende Faserende, oder ganz allgemein das Koppelelement, reflexmindernd und/oder entspiegelt ausgeführt sein – im Falle eine Faser z. B. durch einen Schrägschliff.
  • Weiter ist bei faseroptischer Bauweise bevorzugt, daß die Abstimmungsinterferometereinrichtung die von der Probe zurückgestreute oder -reflektierte Meßstrahlung mittels eines 2 × 2 Fasersplitters in die zwei Strahlungsteile aufteilt, die Strahlungsteile durch unterschiedlich lange Lichtleitfasern schickt und in einen 2 × 2-Fasersplitter, einen 2 × 3-Fasersplitter oder eine Einheit aus zwei 2 × 2-Fasersplittern leitet, an deren Ausgängen die Einzelstrahlungen austreten.
  • Im Fall eines 2 × 3-Fasersplitters liegen drei Ausgänge mit jeweils 120° phasenverschobenen Interferenzsignalen vor, welche zur Durchführung einer komplexen SS-OCDR-Rekonstruktion geeignet sind. Diese Konfiguration insbesondere zur Beseitigung von Artefakten (Spiegelartefakte) geeignet, die andernfalls aus unbestimmbaren Phasenvorzeichen resultieren würden. Diese Vorgehensweise ist aus US 20040239943 bekannt. Weiter unterdrückt die Quadraturkomponentendetektion, wie auch die balanced detection mit 180° Phasenverschiebung, bestimmte, durch die Quelle verursachte Rauschanteile, was besonders bei lichtschwachen Anordnungen vorteilhaft ist, wenn also von der Probe nur ein geringer Anteil der Meßstrahlung rückgestreut oder -reflektiert wird.
  • Wird die Abstimmungsinterferometereinrichtung rein faseroptisch unter Verwendung nur einer einzigen Fasersorte aufgebaut, so verursacht die Weglängendifferenz der Fasern auch eine Dispersionsdifferenz. Dies ist für TD-OCDR-Verfahren zwar störend, da die Interferenzsignale dadurch reduziert würden, aber günstig für die Realisierung von FD-OCDR-Verfahren, da die Dispersionsdifferenz sich zur Markierung und Unterdrückung von Spiegelartefakten bei der Rekonstruktion eignet, wie es bereits in der US 2006/0171503 geschildert ist. Soll aber die Dispersiondifferenz minimiert werden, beispielsweise zur Maximierung von TD-OCDR-Signalen, so können auch Fasern oder Faserteile unterschiedlicher Dispersion verwendet werden und die Faserlängen unter Beibehaltung der Weglängendifferenz kompensierend eingestellt werden. Dabei ist diejenige Faser kürzer, die die höhere Dispersion hat.
  • Es versteht sich, daß die vorstehend genannten und die nachstehend noch zu erläuternden Merkmale nicht nur in den angegebenen Kombinationen, sondern auch in anderen Kombinationen oder in Alleinstellung einsetzbar sind, ohne den Rahmen der vorliegenden Erfindung zu verlassen.
  • Nachfolgend wird die Erfindung beispielsweise anhand der beigefügten Zeichnungen, die auch erfindungswesentliche Merkmale offenbaren, noch näher erläutert. Es zeigen:
  • 1 eine schematische Darstellung einer Kurzkohärenz-Interferometervorrichtung,
  • 2 eine Darstellung einer faseroptischen Realisierung der Vorrichtung der 1,
  • 3 eine Vorrichtung ähnlich der der 1, jedoch mit Zirkulator- oder Rotator-Aufbauten zur besonders hohen Meßstrahlungsausnutzung,
  • 4 eine Bauweise ähnlich der 2, jedoch mit nur zwei Quadraturkomponenten,
  • 5 eine mögliche Abwandlung eines der Interferometer der 1 bis 4 zur Referenzierung einer Wellenlängendurchstimmung und
  • 6 eine weitere Bauweise der Vorrichtung der 1.
  • 1 zeigt schematisch eine Interferometer-Vorrichtung 1 in Form einer Augenlängenmeßvorrichtung, wobei diese Realisierung lediglich ein exemplarisches Anwendungsgebiet der Interferometer-Vorrichtung 1 betrifft, insofern nicht einschränkend zu verstehen ist.
  • In der Vorrichtung 1 wird Strahlung einer Strahlungsquelle 2 als Meßstrahlung 3 in einen Meßstrahlengang geleitet und dort auf das hier als Auge 5 ausgebildetes Meßobjekt, d. h. die Probe, gerichtet ist. Die Probe hat axial beabstandete Bereiche, hier als Bereiche T1 und T2 des Auges 5 schematisch dargestellt, beispielsweise die Korneavorderfläche, die Kornearückfläche, die Linsenvorderfläche, die Linsenrückfläche oder der Fundus. Geht man vom Scheitel der Korneavorderfläche als Bereich T1 und dem Fundus als Bereich T2 aus, ergibt der axiale Abstand dieser Bereiche die optische Augenlänge L. Die Beleuchtung der Bereiche T1 und T2 kann dabei zur Optimierung der Rückstreuung auch mit einfach oder mehrfach fokussierenden Elementen beeinflußt werden, wobei letztere auch segmentierte Linsen oder diffraktive optische Elemente umfassen können, wie beispielsweise in DE 446183 B4 beschrieben.
  • Beide Bereiche T1 und T2 streuen Meßstrahlung als Probenstrahlung zurück, was durch den Doppelpfeil im Meßstrahlengang verdeutlicht ist. Der aus der Strahlung der Laserquelle 2 erzeugte Meßstrahl fällt auf das Auge 5 durch eine Koppeleinrichtung 4, deren Funktion es ist, möglichst effizient die Probenstrahlung von der Meßstrahlung abzutrennen. Die Koppeleinrichtung 4 leitet also ohne unnötige Schwächung, also (soweit nicht bewußt eine Schwächung stattfinden soll) mit einem möglichst hohen Transmissionsgrad Meßstrahlung der Laserquelle 3 zum Auge 5 auf die mindestens zwei beabstandeten Bereiche T1 und T2. Die von diesen Bereichen rückgestreute Probenstrahlung wird dann wiederum möglichst effizient von der Koppeleinrichtung 4 zu einer nachgeordneten Abstimmungsinterferometereinrichtung 6 geleitet, die möglichst rückreflexionsfrei arbeitet, also keine Strahlung zur Koppeleinrichtung 4 zurückschickt. Die Abstimmungsinterferometereinrichtung besteht aus zwei Funktions-Abschnitten, nämlich einen die Probenstrahlung in zwei Strahlungsteile aufteilenden Abschnitt 6 sowie einen die aufgetrennten Strahlungsteile wieder überlagernden Abschnitt 7, wobei die beiden Strahlungsteile zwischen Auftrennung und Überlagerung unterschiedliche Weglängen durchlaufen. Die Abstimmungsinterferometereinrichtung bewirkt also eine feste oder variable Weglängendifferenz zwischen den beiden Strahlungsteilen der Probenstrahlung, wobei die Weglängendifferenz so abgestimmt ist, daß zwischen den Bereichen T1 und T2 rückgestreute Lichtanteile zur Interferenz kommen können. Der zweite Abschnitt 7 der Abstimmungsinterferometereinrichtung bewirkt dabei bei der Überlagerung zusätzlich, daß mindestens zwei phasenverschobene Einzelstrahlungen, die Quadraturkomponenten der interferierenden Strahlung entsprechen, an den Ausgängen des zweiten Abschnittes 7 der Abstimmungsinterferometereinrichtung vorliegen. Mit Hilfe dieser Quadraturkomponenten, die in Quadratursignalleitungen 8 nach dem elektrischen Nachweis der Einzelstrahlungen als elektrische Signale vorliegen, bewirkt eine Auswerteeinrichtung 9 eine OCDR-Rekonstruktion, die je nach angewendeten Prinzip TD-, SS- oder SD-OCDR realisiert. Natürlich sind die nicht näher bezeichneten Detektoren hierzu passend ausgebildet, d. h. bei SD-OCDR erfolgt eine spektrale Analyse der Einzelstrahlungen. Dies ist dem Fachmann jedoch bekannt, und braucht hier nicht weiter erläutert zu werden.
  • 2 zeigt ein faseroptisches Realisierungsbeispiel der Vorrichtung 1 der 1. In 2 wie in den nachfolgenden Figuren sind Elemente, die die gleiche Funktion oder die gleiche Bauweise wie Elemente aus anderen Ausführungsbeispielen haben, mit demselben Bezugszeichen versehen und ihre Beschreibung wird deshalb nicht noch einmal wiederholt.
  • Die Bauweise der 2 ist, wie bereits erwähnt, faseroptisch und rein exemplarisch für SS-OCDR vorgesehen. Die Laserquelle 2 ist deshalb durchstimmbar. Die Koppeleinrichtung ist hier als polarisationsunabhängiger Zirkulator oder als Faserkoppler 10, z. B. mit einer 80/20-Teilung realisiert. Es sind aber auch andere Teilungsverhältnisse möglich, beispielsweise 70/30 bis 95/5. Letztere Konfiguration ist besonders dann geeignet, wenn die Strahlung der Laserquelle 2 vor dem Auftreffen auf die Probe auf 5% bis 30% abgeschwächt werden muß. Die Abstimmungsinterferometereinrichtung ist als faseroptisches Mach-Zehnder-Interferometer ausgebildet, mit einem 50/50-Fasersplitter 11 sowie einem 2 × 3-Faserkoppler 12, der an seinen drei Ausgängen jeweils um 120° phasenverschobene Einzelstrahlungen liefert, welche aus einer Interferenz stammen. Diese Interferenz rührt daher, daß die Weglängendifferenz des Mach-Zehnder-Interferometer in etwa der zweifachen mittleren Augachsenlänge L entspricht und die OCDR-Meßtiefe ausreicht, die Variation der Augenlängen (ca. ±13 mm) abzudecken.
  • Aus den 120° phasenverschobenen Einzelstrahlungen, die an Detektoren aufgenommen werden, führt die Auswerteeinrichtung 9 eine komplexe SS-OCDR-Rekonstruktion aus, z. B. gemäß US 2004/0239943 .
  • Eine zweite Variante, hier als Freistrahl-Aufbau, zeigt 3. Dieser Aufbau stellt zwei um 180° phasenverschobene Interferenzsignale bereit und erreicht eine besonders hohe Ausbeute, indem der Koppler 4 nun aus einem Polarisationsteiler 13 und einer λ/4-Platte 14 im Stile eines Zirkulators oder Faraday-Rotators ausgebildet ist. Von der Laserquelle 2 kommende linearpolarisierte Meßstrahlung passiert den Polarisationsteiler 13 aufgrund dieses Polarisationszustandes vollständig. Nach Durchlauf durch die λ/4-Platte ist die Strahlung zunächst zirkular polarisiert und nach Rückreflexion am Auge und nochmaligem Durchgang durch die ☐/4-Platte in einen zum Ausgangszustand orthogonal linear polarisierten Zustand überführt, was durch ein Kreissymbol in 3 veranschaulicht ist. Der Polarisationsteiler spiegelt diese zum Ausgangszustand orthogonal polarisierte Strahlung vollständig aus dem Strahlengang aus, so daß sowohl die von der Laserquelle 2 bereitgestellte Meßstrahlung zu 100% auf das Auge fällt, als auch die am Auge rückreflektierte und rückgestreute Probenstrahlung vollständig zur Abstimmungsinterferometereinrichtung geleitet wird, die hier als rückreflexfreie Abstimmungsinterferometereinrichtung 15 ausgebildet ist und Strahlteiler 16 und 17 umfaßt. Die Weglängendifferenz kann, wie durch den Doppelpfeil 20 angedeutet ist, verstellt werden.
  • Die variierbare Weglängendifferenz erlaubt es beispielsweise das TD-OCDR-Prinzip zu nutzen, insbesondere auch unter Anwendung des beispielsweise in Hitzenberger et al. Investigative Ophthalmology & Visual Science, Vol. 33, No. 1, January 1992 beschriebenen Dopplerfilterungsprinzips. Auch kann, wenn der Aufbau für SS-OCDR oder SD-OCDR ausgebildet wird, die Weglängenverstellung eine Auswahl der zu erfassenden Bereiche T1 und T2 ermöglichen.
  • Die um 180° phasenverschobenen lnterferenzsignale werden in einem Differenzverstärker 18 im Sinne einer balanced detection und an die Auswerteeinrichtung 9 geliefert.
  • Die erwähnte hohe Strahlungsausbeute des Aufbaus der 3 ist vor allem dann gegeben, wenn die Probe die Polarisation der Strahlung nur wenig ändert. Gegebenenfalls ist ansonsten ein Polarisationskompensator dem Auge vorzuschalten. Polarisationskompensation kann auch zwischen den Armen des Abstimmungsinterferometers angebracht sein, wenn beispielsweise Polarisationszustandsänderungen infolge Spannungsdoppelbrechung in gebogenen Fasern abgeglichen werden müssen oder die zur Interferenz zu bringenden Lichtanteile aus den Probenbereichen T1 und T2 dort verschiedene Polarisationszustandsänderungen erfahren haben.
  • In einer Weiterbildung ist es möglich, die Abstimmungsinterferometereinrichtung rein faseroptisch unter Verwendung nur einer einzigen Fasersorte aufzubauen. Diese Bauweise zeigt 4. Dabei kann (anders als in 4 dargestellt) auch der Strahlteiler 13 faseroptisch aufgebaut werden, wie grundsätzlich in den hier beschriebenen Aufbauten und Verfahren beliebig faseroptische Komponenten mit freistrahloptischen Bauteilen getauscht werden können bzw. beliebige Mischformen aus Freistrahl- und Faseroptiken möglich sind.
  • Die Weglängendifferenz, die auch hier durch einen z. B. faserstreckenden Weglängenversteller 20 einstellbar gestaltet werden kann, führt auch zu einer Dispersionsdifferenz. Für die FD-OCDR-Varianten, also SS-OCDR und SD-OCDR, ist eine solche Dispersionsdifferenz jedoch vorteilhaft, da sie sich zur Markierung und Unterdrückung von Spiegelartefakten bei der Rekonstruktion eignen.
  • Wird als Koppeleinrichtung 4 ein Polarisationsteiler verwendet, so kann parallel zur Probe auch eine Referenzstruktur vermessen werden, und die entsprechenden von der Referenzstruktur bzw. der Probe zurückkehrenden Probenstrahlungen bzw. Referenzstrahlungen können untereinander nichtinterferierend in demselben Abstimmungsinterferometer sowie derselben Detektoreinrichtung nachgewiesen werden. Diese Abwandlung, die prinzipiell für alle Bauweisen möglich ist, zeigt die 5. Die hier wieder als Polteiler 13 ausgeführte Koppeleinrichtung 4 teilt auch einen Teil der von der Laserquelle 2 abgegebenen Meßstrahlung als Referenzstrahlung in einen Referenzarm, der wie der Probenarm auch, eine λ/4-Platte 21 aufweist. Referenzreflektoren 22 und 23 in einem definierten Abstand stellen ein Beispiel für ein Referenzobjekt dar, dessen eigenständige Detektion, wie bereits geschildert, in einem Abstimmungsinterferometer, jedoch bei geeigneter Polarisationsunterscheidung in der Detektion, erfolgt. Besonders bei SS-OCDR-Varianten erlaubt dieser Ansatz eine Referenzierung der zeitabhängigen Wellenlängendurchstimmung.
  • Ist der Kontrast des Polarisationsteilers 13 (typ 20..30 dB) im Vergleich zur angestrebten Signaldynamik ungenügend, kann zusätzlich zur polarisationsmäßigen Unterdrückung der interferierenden Wechselwirkung zwischen Probenstrahlung und Strahlung vom Referenzobjekt, auch die Position der Referenzreflektoren gemeinsam so gegenüber der Probenposition verändert werden, daß die Strahlung aus Proben- und Referenzarm aufgrund der zu großen Wegdifferenz nicht mehr interferieren kann. Das Wellenlängenreferenzsignal wird dabei durch die Beibehaltung des Abstandes zwischen den Reflektoren 22 und 23 nicht verändert.
  • 6 zeigt eine weitere Variante, bei der die Abstimmungsinterferometereinrichtung 6 als Michelsoninterferometer ausgebildet ist. Die Strahlung von der als (ggf. nicht polarisiationstrennender) Teiler 13 ausgebildeten Koppeleinrichtung wird in einem Strahlteiler 24 in einen Teil abgeteilt, der durch einen Michelsonaufbau, aufweisend einen Strahlteiler 25 und Spiegel 26, 27 läuft. An den Detektoren liegen dann die interferierenden Strahlungsanteile der Probenstrahlung vor.
  • Grundsätzlich gilt für alle Ausführungsformen mit Polarisationsoptiken, daß, wenn eine depolarisierende oder polarisationsändernde Wirkung der Probe vorliegt (beim Auge liegt sie etwa bei 10%), eine probenspezifische Polarisationsanpassung polarisationsoptischer Elemente in Ausführungsformen der beschriebenen Vorrichtungen vorgenommen werden sollte, um eine befriedigend hohe Transmission durch die erwähnten polarisationsoptische Elemente zu gewährleisten. Außerdem kann auch ein fest eingestellter Zustand verwendet werden, z. B. bezüglich der Orientierung von Polarisationsteilern, Wellenplatten etc.
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Claims (13)

  1. Kurzkohärenz-Interferometrie-Verfahren zur Messung zweier axial beabstandeter Bereiche (T1, T2) einer Probe (5), insbesondere eines Auges, wobei – ein Meßstrahl auf die Probe (5) gerichtet wird, – Strahlungsteile axial relativ verzögert werden und – aus von der Probe (5) als Probenstrahlung zurückgestreuter oder -reflektierter Meßstrahlung ein Interferenzsignal erzeugt wird, dadurch gekennzeichnet, daß – die Probenstrahlung in zwei Strahlungsteile aufgeteilt wird und diese axial um eine Weglänge (W) relativ verzögert (6) und überlagert werden, wobei – die Weglänge (W) der axialen relativen Verzögerung so eingestellt ist, daß die zwei überlagerten Strahlungsanteile der Probenstrahlung interferieren, – bei der Überlagerung Einzelstrahlungen (8) gebildet werden, die Quadraturkomponenten der interferierenden Strahlungsanteile repräsentieren, – die Einzelstrahlungen (8) detektiert und daraus die Quadraturkomponenten ermittelt werden und – aus der Weglänge (W) der axialen Verzögerung und dem ermittelten Quadraturkomponenten der axiale Abstand (2) der Bereiche (T1, T2) abgeleitet wird.
  2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die beiden Strahlungsteile mittels eines ein Mach-Zehnder- oder eines Michelson-Interferometers axial versetzt werden, und die Weglänge vorzugsweise gleich der zweifachen mittleren optischen Augenlänge (L) gewählt wird und/oder verstellt wird.
  3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß eine Meßstrahlung bereitstellende Strahlungsquelle (2) und ein Koppelelement (4) verwendet werden, wobei das Koppelelement (4) der Strahlungsquelle (2) nachgeordnet ist, die Meßstrahlung auf die Probe (5) leitet und von der Probe (5) in sich zurückgestreute oder -reflektierte Meßstrahlung als Probenstrahlung abteilt und vorzugsweise einen Zirkulator umfaßt.
  4. Verfahren nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß mittels des Koppelelementes (4) eine Polarisationsteilung der von der Strahlungsquelle (2) kommenden Strahlung in die Meßstrahlung und eine Referenzstrahlung erfolgt, die einen von der Meßstrahlung verschiedenen Polarisationszustand hat, wobei die Referenzstrahlung in einen Referenzstrahlengang geleitet wird, an dessen Ende ein die Referenzstrahlung rückreflektierendes oder -streuendes Referenzobjekt (22, 23) angeordnet ist, und wobei die Probenstrahlung mit der vom Referenzobjekt rückreflektierte oder -gestreute Referenzstrahlung nichtinterferierend überlagert und zur Interferometereinrichtung (6, 7) geleitet wird.
  5. Verfahren nach einem der obigen Verfahrensansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß eine TD-, SS- oder FD-OCDR Rekonstruktion der Quadraturkomponenten ausgeführt wird und ein Signal erzeugt wird, das den axialen Abstand der axial beabstandeten Bereiche (T1, T2) wiedergibt.
  6. Kurzkohärenz-Interferometer-Vorrichtung zur Messung zweier axial beabstandeter Bereiche (T1, T2) einer Probe (5), insbesondere eines Auges, welche – einen Meßstrahlengang (3), durch den Meßstrahlung auf die Probe (5) fällt, – eine Abstimmungsinterferometereinrichtung (6) zur axialen relativen Verzögerung von Strahlungsteilen und – eine Detektoreinrichtung zum Messen eines Interferenzsignals aus von der Probe (5) als Probenstrahlung zurückgestreuter oder -reflektierter Meßstrahlung aufweist, dadurch gekennzeichnet, daß – die Abstimmungsinterferometereinrichtung (6) die Probenstrahlung in zwei Strahlungsteile aufteilt, diese axial relativ um eine Weglänge (W) verzögert (6) und überlagert, wobei – die Weglänge (W) der axialen relativen Verzögerung so eingestellt ist, daß die zwei überlagerten Strahlungsanteile der Probenstrahlung interferieren, – die Abstimmungsinterferometereinrichtung (6) bei der Überlagerung Einzelstrahlungen (8) bildet, die Quadraturkomponenten der interferierenden Strahlungsanteile repräsentieren, – die Detektoreinrichtung die Einzelstrahlungen (8) detektiert und – eine Steuereinrichtung für die Interferometer-Vorrichtung vorgesehen ist, die aus den detektierten Einzelstrahlen die Quadraturkomponenten ermittelt und aus der Weglänge (W) und den ermittelten Quadraturkomponenten den axialen Abstand (2) der Bereiche ableitet.
  7. Vorrichtung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Abstimmungsinterferometereinrichtung (6) ein Mach-Zehnder- oder ein Michelson-Interferometer umfaßt, das die beiden Strahlungsteile axial um die Weglänge (W) versetzt, die vorzugsweise der zweifachen mittleren optischen Augenlänge (L) entspricht und/oder verstellbar ist.
  8. Vorrichtung nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß die Abstimmungsinterferometereinrichtung (6) hinsichtlich der Weglänge (W) verstellbar ist und daß die Steuereinrichtung die Abstimmungsinterferometereinrichtung (6) zur Einstellung der Weglänge (W) ansteuert.
  9. Vorrichtung nach Anspruch 6, 7 oder 8, dadurch gekennzeichnet, daß eine Strahlung bereitstellende Strahlungsquelle (2) und ein Koppelelement (4) vorgesehen sind, wobei das Koppelelement (4) der Strahlungsquelle (2) nachgeordnet ist, die von der Strahlungsquelle (2) kommende Strahlung als Meßstrahlung auf die Probe (5) leitet und von der Probe (5) in sich zurückgestreute oder -reflektierte Probenstrahlung zur Abstimmungsinterferometereinrichtung (6, 7) abteilt und vorzugsweise einen Zirkulator umfaßt.
  10. Vorrichtung nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß das Koppelelement (4) faseroptisch ausgeführt ist und das die Meßstrahlung emittierende Faserende zwischen Koppelelement (4) und Probe (5) reflexmindernd ausgeführt ist, bevorzugt als Schrägschliff, und/oder entspiegelt ist.
  11. Vorrichtung nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß das Koppelelement als Polarisationsteiler (13) ausgebildet ist und einen Teil der von der Strahlungsquelle (2) kommenden Strahlung als Referenzstrahlung zur zeitabhängigen Wellenlängenreferenzierung abteilt, die einen von der Meßstrahlung verschiedenen Polarisationszustand hat, und die Referenzstrahlung in einen Referenzstrahlengang leitet, an dessen Ende ein die Referenzstrahlung rückreflektierendes oder -streuendes Referenzobjekt (22, 23) angeordnet ist, wobei das Koppelelement (13) die von der Probe (5) zurückgestreute oder -reflektierte Probenstrahlung mit der vom Referenzobjekt (22, 23) rückreflektierte oder -gestreute Referenzstrahlung nichtinterferierend überlagert und zur Abstimmungsinterferometereinrichtung (6, 7) leitet.
  12. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 6 bis 11, dadurch gekennzeichnet, daß die Abstimmungsinterferometereinrichtung (6, 7) Probenstrahlung mittels eines 2 × 2-Fasersplitters (11) in die zwei Strahlungsteile aufteilt, die Strahlungsteile durch unterschiedlich lange Lichtleitfasern schickt und in einen 2 × 2-Fasersplitter (19), einen 2 × 3-Fasersplitter (12) oder eine Einheit aus zwei 2 × 2-Fasersplitter leitet, an deren Ausgängen die Einzelstrahlungen (8) austreten.
  13. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 6 bis 12, dadurch gekennzeichnet, daß es zur FD-OCDR ausgebildet ist und die Abstimmungsinterferometereinrichtung (11, 19) faseroptisch und zur Erzeugung einer Dispersionsdifferenz der beiden Strahlungsteile und dadurch bewirkten Unterdrückung von Spiegelartefakten unter Verwendung nur einer Fasersorte aufgebaut ist.
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