DE102009022958A1 - Vorrichtung und Verfahren zur optischen Messung von Relativabständen - Google Patents

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Abstract

Es wird beschrieben eine Vorrichtung zur optischen Messung von Relativabständen von Strukturen eines Objekts (2), die als optischer Zeitdomänen-Kohärenztomograph (1) ausgebildet ist, der aufweist: einen Objektstrahlengang, durch den Meßstrahlung (10) auf das Objekt (2) fällt, einen Detektionsstrahlengang, der eine Detektoreinrichtung (14, 15) umfaßt und durch die vom Objekt (2) reflektierte oder rückgestreute Probenstrahlung (12) zur Detektoreinrichtung gelangt, eine Interferometereinrichtung (4), die einen ersten und einen zweiten Teilstrahlengang (6, 7) mit unterschiedlicher optischer Weglänge aufweist, Strahlung aufteilt und in die beiden Teilstrahlengänge (6, 7) einspeist und nach Durchlauf durch die Teilstrahlengänge wieder überlagert und so einen Doppelstrahl erzeut, der aufgrund der unterschiedlichen optischen Weglängen der beiden Teilstrahlengänge axial zueinander versetzte Anteile aufweist, wobei die Interferometereinrichtung (4) entweder im Objektstrahlengang angeordnet ist, so daß die Meßstrahlung (10) als Doppelstrahl auf das Objekt (2) einfällt, oder im Detektionsstrahlengang angeordnet ist, so daß die Probenstrahlung (12) als Doppelstrahl zur Detektoreinrichtung gelangt, und wobei die unterschiedlichen optischen Weglängen der Teilstrahlengänge (6, 7) den Relativabstand der am Objekt (2) erfaßten Strukturen beeinflusst, deren Probenstrahlung (12) an der Detektoreing (8, 9; 36, 37; 28-35; 8, 45) zum Scannen ...

Description

  • Die Erfindung bezieht sich auf eine Vorrichtung zur optischen Messung von Relativabständen von Strukturen eines Objektes, die als optischer Zeitdomänen-Kohärenztomograph ausgebildet ist, der aufweist einen Objektstrahlengang, durch den Meßstrahlung auf das Objekt fällt, einen Detektionsstrahlengang, der eine Detektoreinrichtung umfaßt und durch den vom Objekt reflektierte oder rückgestreute Probenstrahlung zu Detektoreinrichtung gelangt, eine Interferometereinrichtung, die einen ersten und einen zweiten Teilstrahlengang mit unterschiedlicher optischer Weglänge aufweist, Strahlung aufteilt und in die beiden Teilstrahlengänge einspeist und nach Durchlauf durch die Teilstrahlengänge wieder überlagert und so einen Doppelstrahl erzeugt, der aufgrund der unterschiedlichen optischen Weglängen der beiden Teilstrahlengänge axial zueinander versetzte Anteile aufweist, wobei die Interferometereinrichtung entweder im Objektstrahlengang angeordnet ist, so daß die Meßstrahlung als Doppelstrahl auf das Objekt einfällt, oder im Detektionsstrahlengang angeordnet ist, so daß die Probenstrahlung als Doppelstrahl zur Detektoreinrichtung gelangt, und wobei die unterschiedlichen optischen Weglängen der Teilstrahlengänge den Relativabstand der am Objekt erfaßten Strukturen beeinflußt, deren Probenstrahlung an der Detektoreinrichtung interferenzfähig ist, eine Scaneinrichtung zum Scannen des Relativabstandes der erfaßten Strukturen, wobei die Scaneinrichtung zur Verstellung der optischen relativen Weglänge der Teilstrahlengänge ausgebildet ist, und eine Steuereinrichtung, welche die Scaneinrichtung ansteuert.
  • Unter Objekten werden hierbei insbesondere lebende Objekte oder Proben verstanden oder Teile davon, wie beispielsweise das menschliche Auge. Diese Objekte können hierbei auch optisch dispersiv (vgl. EP 1587415 ) oder die Polarisation (vgl. WO 02051333 ) beeinflussend sein.
  • Die Erfindung bezieht sich weiter auf ein Verfahren zur optischen Messung von Relativabständen von Strukturen eines Objekt mittels optischer Zeitdomänen- Kohärenztomographie, wobei der Meßstrahl auf das Objekt gerichtet wird, vom Objekt reflektierte oder rückgestreute Probenstrahlung detektiert wird, entweder die Meßstrahlung oder die Probenstrahlung in einen ersten und einen zweiten Teilstrahl aufgeteilt wird, die Teilstrahlen unterschiedliche optische Weglängen durchlaufen, die Teilstrahlen dann überlagert und ein Doppelstrahl erzeugt wird, der aufgrund der unterschiedlichen optischen Weglängen axial zueinander versetzte Anteile aufweist, wobei die unterschiedlichen optischen Weglängen den Relativabstand der am Objekt erfaßten Strukturen beeinflußt, deren Probenstrahlung an der Detektoreinrichtung interferenzfähig ist, der Relativabstandes der erfaßten Strukturen gescannt wird, indem unterschiedlichen optischen Weglängen relativ zueinander verstellt werden.
  • Ein Aufbau, der einen Doppelstrahl auf ein Objekt richtet, ist aus Hitzenberger et al., „Measurement of Corneal Thickness by Laser Doppler Interferometry", Investigative Ophthalmology & Visual Science, Vol. 33, No. 1, January 1992, bekannt. In der DE 3201801 wird im Detektionsstrahlengang ein Doppelstrahl verwendet.
  • Zur Vermessung transparenter oder teil-transparenter Proben, beispielsweise des menschlichen Auges sind Kurzkohärenz-Interferometer, die mittels optischer Kohärenzinterferometrie arbeiten, bekannt, beispielsweise aus der US 7400410 oder der WO 2007/065670 A1 . Sie dienen dazu, Ort und Größe von Streuzentren innerhalb einer Probe, wie beispielsweise miniaturisierten optischen Komponenten oder biologischem Gewebe, z. B. dem menschlichen Auge zu erfassen. Für einen Überblick über entsprechende Literatur zur Kohärenzinterferometrie sei auf die US 2006/0109477 A1 und US 5321501 verwiesen. Diese Patentveröffentlichungen schildern auch die Grundprinzipien der optischen Kohärenztomographie (OCT).
  • Das Prinzip der Kohärenztomographie (OCT) umfaßt sowohl Ausführungsformen, bei denen eine Bildgebung durch Scannen an verschiedenen Orten quer zur Einfallsrichtung der Strahlung erfolgt, als auch demgegenüber vereinfachte Ausführungen, bei denen die Einstrahlung und Strahlungsdetektion nur entlang einer unverändert bleibenden Achse vorgenommen wird und somit axiale (d. h. 1-dimensionale) Streuprofile erzeugt werden. Letztere Ausführungsform entspricht von der Bildgewinnung her einem sog. A-Scan der Ultraschallbildgewinnung; sie wird auch als optical coherence domain reflectometry oder Kohärenzreflektometrie (OCDR) bezeichnet und dient dazu, Ort und Größe von Streuzentren innerhalb einer Probe, z. B. dem menschlichen Auge, zu erfassen (vgl. US 2007081166 ). Eine Variante eines bildgebenden OCT ohne laterales Scannen ist das sogenannte full-field OCT gemäß US 2008/0231807 .
  • In dieser Beschreibung wird der Begriff Kohärenztomographie (OCT) als Oberbegriff verwendet. Er umfaßt also sowohl eine dreidimensionale Bildgebung als auch nur eine 1-dimensionale Abbildung in Form der OCDR.
  • Für die OCT (und ihre Untergruppe OCDR) sind die Varianten Zeitdomänen-Kohärenztomographie (time-domain oder TD-OCT bzw. -OCDR) mit zum Scannen verstellter Weglängendifferenz und Fourierdomänen-Kohärenztomographie (FD-OCT bzw. -OCDR) mit fester Weglängendifferenz und Auswertung spektraler Information bekannt. Letztere unterscheidet man nochmals in eine Variante unter Verwendung breitbandiger Lichtquellen und spektrometerbasierter Detektion (spectral domain oder SD-OCT bzw. -OCDR) und in eine Variante unter Verwendung spektral durchstimmbarer Lichtquellen und breitbandiger Detektoren (swept-source oder SS-OCT bzw. -OCDR).
  • Bei der Kohärenztomographie sind die axiale und die laterale Auflösung weitgehend entkoppelt. Die axiale Auflösung ist im wesentlichen durch die Kohärenzlänge der Quelle gegeben. In lateraler Richtung ist die erreichbare Auflösung durch die laterale Ausdehnung des Fokus bzw. der im Fokusbereich gegebenen Strahltaille gegeben. Das Streusignal eines Ortes ist somit die Überlagerung der aus dem kleinsten auflösbaren Volumen rückgestreuten Strahlung. Bei dieser Überlagerung rückgestreuter Strahlungsanteile können auch schon destruktive oder konstruktive Interferenzen auftreten, sogenannte Speckles.
  • Eine Anwendung, die für OCDR von besonderem Interesse ist, ist die Streckenmessung im Auge. Bekannte Verfahren zu Teilstrecken- oder Achslängenmessung arbeiten entlang der Sehachse eines Auges, so z. B. das von Carl Zeiss Meditec AG entwickelte und vertriebene Gerät IOL Master, dessen Aufbau auch Gegenstand der Patentschrift US 6779891 ist.
  • Das in US 6779891 beschriebene Zeitdomänen-OCDR-System verwendet einen sogenannten Dual-Beam-Ansatz. Anstelle eines eigenständigen Referenzstrahlenganges, wie er beispielsweise in der EP 581871 beschrieben ist, wird das Meßobjekt, im Falle des IOL Masters das Auge, mit einem Doppelstrahl (englisch dual beam) beleuchtet, der axial relativ zueinander versetzte Anteile aufweist. Dieser Doppelstrahl wird mittels einer Interferometeranordnung erzeugt. Das Dual-Beam-Prinzip zeichnet sich durch weitgehende Unterdrückung von Artefakten aus, die durch axiale Objektbewegungen entstehen können. Es werden Relativabstände von Strukturen im Auge erfaßt, d. h. das Dual-Beam-Prinzip liefert eine Aussage über die Lage von rückstreuenden oder rückreflektierenden Strukturen des Objektes zueinander. Üblicherweise wird eine Referenzierung auf eine spezielle Struktur der Probe vorgenommen. Im Falle der Ophthalmologie verwendet man meist die Hornhautvorderfläche, was bei der Achslängenmessung des Auges auch naheliegend ist.
  • Das Dual-Beam-Prinzip ist zwar auf axiale Bewegungen des Objektes relativ unempfindlich, laterale Objektverschiebungen werden dadurch jedoch nicht ausgeglichen. Sind solche zu befürchten oder, wie im Gebiet der Ophthalmologie sogar unvermeidlich, strebt man möglichst schnelle Messungen an, um den Einfluß lateraler Objektbewegungen möglichst gering zu halten. Dies ist auch im Falle hochgenauer Messungen von Vorteil, um Auflösungsverluste durch Pulsationen am Auge (vgl. Schmetterer et al., "Topical measurement of fundus pulsations", Opt. Eng. 34, 711–716, 1995) zu vermeiden bzw. Achslängenmessung einschließlich der Pulsationseffekte vermessen zu können. Im Falle der Zeitdomänen-Kohärenztomographie (bzw. ihrer Untergruppe der TD-OCDR) ist deshalb eine möglichst schnelle Verstellung der Weglängendifferenz zwischen den axialen Anteilen des Dual Beam bzw. eine möglichst schnelle Verstellung der Länge des Referenzstrahlenganges erstrebenswert.
  • Schnell verstellbare Verzögerungsstrecken sind beispielsweise in der US 6243191 , der US 6654127 , der US 7227646 oder der Veröffentlichung, M. Hasegawa et al., „Development of high speed and deep scanning optical coherence tomography system", (IEEE Lasers and Electro-Optics, 2003; CLEO/Pacific Rim 2003; The 5th Pacific Rim Conference; Volume 1, Issue, 15-19 Dec. 2003, Page 305) bekannt.
  • Dual-Beam-Verfahren sind auch aus der US 6788421 und DE 102007046507 bekannt. Dort dient ein Probenreflex als Interferometriereferenzsignal. Jedoch treffen zwei räumlich separate Meßstrahlen auf das Auge. Es erfolgt ein doppelter Durchgang durch getrennt verzögerte Strahlengänge. Dabei ist insbesondere im Aufbau der US 6788421 die Verwendung teilreflektierender Strahlteiler nötig, welche die zu detektierenden rückgestreuten Strahlungsanteile schwächen und zwar noch vor der interferierenden Überlagerung. Weiterhin unvorteilhaft im Konzept der DE 102007046507 ist, daß die separaten Meßstrahlen nicht exakt kollinear ausgerichtet werden können, weshalb Beabstandungen entlang einer Meßachse dort schwierig sind.
  • Aus Wang et al. „A low coherence "white light" interferometric sensor for eye length measurement", Review of Scientific Instruments 66(12): 5464–5468, ist die Verwendung zweier unabhängiger Michelson-Interferometer bekannt, in denen jeweils ein Verstellmittel und ein Detektor zur Lagebestimmung einer Oberfläche im Auge verwendet wird, zum Zwecke der Beabstandung. Es handelt sich also um kein Dual-Beam-Verfahren mit Interferenz von an beiden Oberflächen rückgestreuten Lichtes.
  • Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Vorrichtung zur optischen Messung von Relativabständen von Strukturen eines Objektes bzw. ein entsprechendes Verfahren der eingangs genannten Art so weiterzubilden, daß die Meßgeschwindigkeit gegenüber dem Stand der Technik gesteigert ist. Hierbei sollen insbesondere die Vorteile des Dual-Beam-Ansatzes zur Erzielung einer hochgenauen axialen Längenmessung bei Unempfindlichkeit gegenüber axialen Probenbewegungen beibehalten werden.
  • Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß bei einer Vorrichtung der eingangs genannten Art dadurch gelöst, daß die Scaneinrichtung ein erstes Verstellmittel zur Verstellung der optischen Weglänge des ersten Teilstrahlenganges und ein zweites Verstellmittel zur Verstellung der optische Weglänge des zweiten Teilstrahlenganges aufweist und das erste und das zweite Verstellmittel unter Steuerung durch die Steuereinrichtung die Weglängen zum Scannen des Objektes aufeinander abgestimmt verstellen, so daß die aufeinander abgestimmten Verstellungen den abgedeckten Bereich der Relativabstände festlegen.
  • Die Aufgabe wird weiter mit einem Verfahren der eingangs genannte Art gelöst, bei dem sowohl die Weglänge des ersten Teilstrahles als auch die Weglänge des zweiten Teilstrahles aufeinander abgestimmt verstellt werden, so daß die aufeinander abgestimmten Verstellungen den abgedeckten Bereich der Relativabstände der am Objekt erfaßten Strukturen festlegen.
  • Erfindungsgemäß weist der Kohärenztomograph eine Interferometereinrichtung auf, die den Doppelstrahl des Dual-Beam-Verfahrens erzeugt. Unter einem Doppelstrahl wird dabei gemäß der eingangs gegebenen Definition ein Strahl verstanden, der zwei gegeneinander axial versetzte (also optisch verzögerte), aber ansonsten interferenzfähige Anteile aufweist. Wird ein solcher Doppelstrahl an einem Objekt reflektiert, das zwei teilreflektierende oder -rückstreuende Strukturen aufweist, die axial um das halbe Maß des axialen Versatzes bzw. des brechzahlkorrigierten optischen Weges der Anteile des Doppelstrahls beabstandet sind, tritt im zurückreflektierten oder -gestreuten Probenstrahl innerhalb der zeitlichen Kohärenzlänge Interferenz auf, da der axiale Versatz durch die Rückreflexion oder -streuung genügend aufgehoben ist. Dieses Prinzip macht sich der sogenannte Dual-Beam-Ansatz in der Kohärenztomographie zu Nutze. Die Interferenz zeigt an, daß im Objekt zwei Strukturen um den halben Abstand des axialen Versatzes der Anteile des Doppelstrahles beabstandet sind. Ist zusätzlich, wie im Bereich der Ophthalmologie, bekannt, welche Struktur die Referenz ist (hier beispielsweise der Hornhautvorderfläche), hat man automatisch eine absolut referenzierte Angabe über die Relativlage der anderen Struktur (beispielsweise Retina) bezogen auf die Referenz.
  • Interferieren kann Strahlung natürlich nur innerhalb eines Kohärenzvolumens, das sich als Produkt aus der zeitlichen Kohärenzlänge der Strahlung und der Lichtgeschwindigkeit ergibt. Die Genauigkeit der Relativangabe hängt somit von der zeitlichen Kohärenzlänge der verwendeten Strahlung ab. Deshalb ist man bemüht, in der Kurzkohärenztomographie (bzw. deren Untergruppe OCDR) möglichst kurzkohärente Strahlung zu verwenden. Darunter sei hier Strahlung verstanden, deren Kohärenzlänge für die gewünschte Auflösung Δz für Strukturabstände, z. B. über die Wahl der spektralen Bandbreite der Strahlung Δλ = 2ln(2)λ2/(πΔz) bei der Zentralwellenlänge λ geeignet festgelegt ist (vgl. Fercher et al., „Optical coherence tomography-principles and applications", Rep. Prog. Phys. 66(2003), 239–303). Vorzugsweise wird Strahlung verwendet, deren Kohärenzlänge etwa gleich oder ein Zehntel der gewünschten Meßauflösung ist. Typische Meßauflösungen betragen in der Ophthalmologie 3 ... 30 μm. Allerdings sind auch Verfahren bekannt, bei denen Meßauflösungen teilweise deutlich unterhalb der räumlichen Kohärenzlänge erzielt werden können, beispielsweise durch Regressionverfahren (fit der axialen point-spread function, PSF) oder phasensensitive Messungen (vgl. WO 03052345 A1 ). Die Kohärenzlänge kann also als Fenster um den doppelten axialen Abstand des Versatzes der Anteile im Doppelstrahl verstanden werden, innerhalb dessen eine rückreflektierende oder -streuende Struktur zur Interferenz im Probenstrahl führt. Mit anderen Worten das Kohärenzfenster entspricht der Begrenzung der maximalen optischen Verzögerung zweier Strahlungsanteile zueinander, bis zu der noch nennenswerte Interferenz auftreten kann.
  • Für eine bestmögliche Interferenzfähigkeit der zu vermessenden Doppelstrahlanteile am Detektor ist vorzugsweise auch eine möglichst gute Angleichung ihrer Polarisationszustände anzustreben, aber auf jeden Fall eine Vermeidung orthogonaler Polarisationszustände, die nicht interferenzfähig sind (beispielsweise horizontal und vertikal oder rechts- und linkszirkular polarisiert). Abweichungen in den Polarisationszuständen der Doppelstrahlungsanteile können durch unterschiedliche Doppelbrechung oder Polarisationsrotationen auf den jeweils zurückgelegten optischen Wegen dieser Strahlungsanteile resultieren, z. B. infolge gebogener Lichtleitfasern in Interferometerarmen oder auch durch polarisationsverändernde Proben. Beispielsweise ist für die Meßstrahlungsanteile, die die Hornhaut eines Auges durchqueren, ein polarisationsverändernder Einfluß durch die Doppelbrechung des Auges zu erwarten.
  • Die Erzeugung des Doppelstrahls geschieht in der erfindungsgemäßen Vorrichtung mittels einer Interferometereinrichtung bzw. im erfindungsgemäßen Verfahren interferometrisch. Es ist sowohl möglich, die auf das Objekt fallende Meßstrahlung als Doppelstrahl auszubilden, als auch die zurückkehrende Probenstrahlung zum Doppelstrahl umzugestalten. Im ersten Fall wird von einem Vor-Interferometer gesprochen, im zweiten Fall von einem Nach-Interferometer. Die US 6779891 beschreibt den Fall eines Vor-Interferometers. Beide Ansätze sind im Rahmen dieser Erfindung möglich.
  • Die Verstellung des Doppelstrahls hinsichtlich des axialen Versatzes der Strahlungsanteile im Doppelstrahl bestimmt den Relativabstand der Strukturen, von denen Interferenz auftreten kann. Die Interferometerdurchstimmung bzw. Relativverstellung der Weglängen der Teilstrahlen des Interferometers stimmt somit den Relativabstand der erfaßten Strukturen durch.
  • Die Erfindung erreicht nun eine deutliche Meßzeitverkürzung dadurch, daß nicht, wie im Stand der Technik ein Teilstrahlengang bzw. Teilstrahl hinsichtlich der optischen Weglänge verstellt wird, sondern daß beide Teilstrahlengänge bzw. Teilstrahlen aufeinander abgestimmt verstellt werden. Mit diesem Ansatz wird eine deutliche Beschleunigung der Messung erreicht.
  • Neben der direkten Geschwindigkeitssteigerung sieht die Erfindung in Ausführungsformen die Verwendung bekannter statistischer Verteilungen biometrischer Größen vor, um im Mittel eine Beschleunigung der Meßvorgänge zu erzielen; beispielsweise indem kleine Meßbereiche entsprechend einer Häufigkeitsverteilung der zu vermessenen Meßgröße nacheinander vermessen werden, bis das Meßergebnis erzielt wurde.
  • Die Erfindung sieht in einer Weiterbildung vor, daß durch einzelne Verstellelemente eingeführte signalstörende Effekte, wie beispielsweise die chromatische Dispersion (wellenlängenabhängige optische Verzögerung) in den beträchtlichen Glaswegen von Rotationsprismen oder rotierenden Glaswürfeln, aufwandgering eliminiert werden. Die Verwendung zweier, bevorzugt gleichartiger Verstellmittel in verschiedenen Interferometerarmen bewirkt zugleich eine aufwandsgeringe Kompensation der durch die Verstellmittel verursachten chromatischen Dispersionen, also eine Minimierung der verursachten Dispersionsdifferenz in den Interferometerarmen. Ist eine Dispersionskompensation dennoch nötig, werden vorzugsweise optische Komponenten mit unterschiedlichen Verhältnissen zwischen Gruppengeschwindigkeitsindex und -dispersion in den Interferometerarmen verwendet, beispielsweise unterschiedliche Fasertypen in den Interferometerarmen (vgl. US 7330270 ). Dabei wird in einer Weiterbildung zusätzlich auch noch eine Restdispersionsdifferenz zwischen den Interferometerarmen eingestellt, beispielsweise um Dispersionsunterschiede zwischen den an verschieden Probenzonen rückgestreuten oder rückreflektierten Doppelstrahlanteilen zu kompensieren. Hierbei sollte der kürzere Interferometerarm die höhere Dispersion aufweisen, da der damit korrespondierende Doppelstrahlanteil den größeren Weg in der dispersiven Probe zurücklegt, bevor er mit dem anderen Doppelstrahlanteil interferieren kann.
  • Die Erfindung verwendet eine Weglängenverstellung für die Teilstrahlen bei der interferometrischen Erzeugung des Doppelstrahls bzw. für die Teilstrahlengänge im entsprechenden Interferometer. Eine solche Weglängenverstellung wird im Stand der Technik auch als einstellbare Verzögerungsstrecke (im englischen optical delay line) bezeichnet. Die Begriffe Verzögerung und Verstellung sind im Sinne dieser Beschreibung austauschbar. Für die Verstellung der optischen Weglängen sind im Stand der Technik eine Vielzahl von Verzögerungsstrecken bekannt. Die Erfindung erreicht gegenüber allen bekannten oder zukünftigen Verzögerungsstrecken eine Beschleunigung.
  • Weiter können nun Verzögerungsstrecken bzw. Verstellmittel verwendet werden, die bislang für bestimmte Meßaufgaben, beispielsweise im Bereich der Ophthalmologie, zwar wünschenswert schnell wären, aber aufgrund eines zu geringen Verstellhubes nicht verwendet werden konnten. Die Erfindung verwendet deshalb in einer Variante per se kurzhubige, aber sehr schnelle Verstellmittel für einen Teilstrahl bzw. Teilstrahlengang und für den anderen Teilstrahl bzw. im anderen Teilstrahlengang ein sehr viel langsameres, diskret in Verstellschritten arbeitendes Verstellmittel. Dieses diskret arbeitende Verstellmittel gibt dann die einzelnen Meßbereiche vor, innerhalb der mit der anderen, kontinuierlich und vergleichsweise schneller arbeitenden Verstellmechanik eine sehr schnelle Messung erfolgt. Dieser Ansatz ist insbesondere dann von Interesse, wenn in einem Objekt verschiedene Teilbereiche erfaßt werden sollen. Im Bereich der Ophthalmologie ist dies bei der Erfassung von Biometriedaten für eine Intraokularlinsenanpassung im Rahmen einer Kataraktoperation der Fall. Hier benötigt man Angaben über die Achslänge des Auges, aber auch weitere Detailangaben, wie Vorderkammertiefe oder Hornhautdicke.
  • Eine Addition der Arbeitsgeschwindigkeit bekannter Verstellmittel für die optische Weglänge erreicht man, wenn das erste Verstellmittel die optische Weglänge verkürzend und das zweite Verstellmittel die optische Weglänge verlängernd betrieben wird. Diese aufeinander abgestimmte Zusammenwirkung der Verzögerungsmittel erreicht beispielsweise bei gleich arbeitenden Verstellmitteln eine Verdoppelung der Verstellgeschwindigkeit gegenüber einem Aufbau mit nur einem Verstellmittel.
  • Für die Erfindung sind besonders schnell arbeitende Verstellmittel im Sinne einer geringen Meßdauer bevorzugt, wie beispielsweise Faserstrecker (vgl. US 4609871 ), gitterbasierte Verstellmittel (rapid-scanning optical delay lines, vgl. WO 02071117 A3 ), helicoide Reflektoren (vgl. US 5907423 ), Stufenreflektoren (vgl. WO 2005033624 A1 ), piezoelektrisch und elektromagnetisch translatorisch bewegte Reflektoren, sowie rotatorische Reflektoren (vgl. Xinan et al., „Fast-scanning autocorrelator with 1-ns scanning range for characterization of mode-locked ion lasers", Rev. Sci. Instr. 59(9), 1988). Es kommen weiter insbesonders Verstellmittel in Frage, wie sie in der US 6343191 und DE 10005696 A1 , der bereits genannten Veröffentlichung von Hasegawa et al., in der US 7227646 oder der US 6654127 beschrieben sind. Der Offenbarungsgehalt all dieser Druckschriften wird diesbezüglich ausdrücklich in die Offenbarung dieser Beschreibung einbezogen.
  • Es hat sich dabei im Stand der Technik gezeigt, daß eine besonders schnelle Verstellung mit einer rotierenden Scheibe erreicht werden kann, die Reflektoren aufweist, wobei die optische Weglänge von der Drehlage der Scheibe abhängt.
  • Die bereits erwähnte gegensinnige Verstellung der optischen Weglängen kann besonders vorteilhaft mit einer Einrichtung erzielt werden, die beide Weglängen simultan verstellt. Die Einrichtung kann derart ausgebildet sein, daß die rotierende Scheibe mehrere Retroreflektoren trägt, die jeweils Strahlung, welche innerhalb eines um eine Hauptreflexionsachse liegenden Sektors entlang einer Einfallsrichtung einfällt, parallel zur Einfallsrichtung und zur Einfallsrichtung versetzt zurückreflektieren, wobei die Retroreflektoren zu mehreren gegenläufig reflektierenden Retroreflektoren-Paaren zusammengefaßt sind und die Retroreflektoren-Paare so auf der Scheibe angebracht sind, daß die Hauptreflexionsachsen tangential zur rotierenden Scheibe liegen, wobei die Teilstrahlengänge die Strahlungen tangential und gegenläufig zur Scheibe auf die Retroreflektoren einstrahlen und für jeden Teilstrahlengang außerhalb der Scheibe ein Endspiegel fest montiert ist, der die von einem der Retroreflektoren parallel zur Einfallsrichtung und zur Einfallsrichtung versetzt zurückreflektierte Strahlung wieder zum jeweiligen Retroreflektor zurückwirft, so daß das erste und das zweite Verstellmittel durch die rotierende Scheibe mit den Retroreflektoren und die Endspiegel gebildet ist. Die zu einem Prismenpaar gehörenden Prismen können auch auf verschiedenen Seiten der Scheibe montiert sein, was Platzersparnis und höhere Positionierungsfreiheit bietet.
  • Es sei aber ausdrücklich darauf hingewiesen, daß die Erfindung nicht auf rotatorische Mittel einsetzende Verstellmittel beschränkt ist. Auch mit herkömmlichen Linearverschiebungen, wie sie beispielsweise in der schon erwähnten US 6779891 beschrieben sind, oder auch bei Anwendung von Faserstreckern, erreicht die Erfindung eine Beschleunigung der Messung.
  • Weiter steuert die Erfindung in einer vorteilhaften Weiterbildung die beiden Verstellungen signalabhängig, d. h. abhängig vom detektierten Signal. Dies erleichtert es, gewünschte Strukturen zu finden oder günstige Scanbereiche für Signal/Rausch-Verhältnis verbessernde Mittelungen einzustellen. Optional werden durch die zwei unabhängig betreibbaren und aufeinander abgestimmt betriebenen Verstellmittel auch unterschiedliche Durchstimmgeschwindigkeiten für die Weglängenveränderungen in den Teilstrahlen(gängen) genutzt, so daß bei wiederholten Messungen bestimmte Relativverzögerungen bei unterschiedlichen Lagen der Verstellmitlel auftreten. Mittelt man über die dann bei unterschiedlichen Verstellmittelstellungen vorgegebenen identischen Relativverschiebungen bzw. -abständen, sind systematische Störungen in den Verstellmitteln gemindert.
  • Da in vielen Fällen die Verstellmittel keine gleichförmige Verstellung der Weglänge realisieren, sondern beispielsweise sinusförmige Schwingungen, ist die Verwendung einer Weg- und/oder Geschwindigkeitsmessung vorteilhaft, um den Verstellweg der Relativabstände zu erfassen und somit eine Korrektur der dadurch eingestellten Tiefenprofile zu erreichen. Geeignete Meßeinrichtungen können auf elektrischen, magnetischen, elektromagnetischen oder optischen Prinzipien beruhen. Als Beispiele sind zu nennen: kapazitive, induktive, resistive oder magnetische Messungen (Hallsensoren), optische oder magnetische Kodierungen (Encoder), Inkrementalgeber (vgl. US 5719673 ), differentielle Messungen, Lagemessung, Triangulationsmessungen (beispielsweise mit Reflexkopplern) sowie auch interferometrische Messungen, beispielsweise durch Zählen von Interferenzmodulationen. Hierzu kann die Signalstrahlung selbst zur Geschwindigkeitsbestimmung in den relevanten Teilen des Verstellweges genutzt werden (vgl. DE 19810980 ), aber alternativ auch langkohärente Strahlung einer schmalbandigen Laserdiode zusätzlich ins Interferometer eingekoppelt und deren Interferenzen über den ganzen Verstellweg detektiert und ausgewertet werden. Geschwindigkeits- und Lagemeßeinrichtungen in Verbindung mit geeigneten Regelungen sind insbesondere auch zum abgestimmten Betrieb mehrerer Verstelleinrichtungen geeignet. Alternativ kommen dafür auch mechanische Kopplungen in Frage.
  • Die Interferometereinrichtungserzeugung des Doppelstrahls kann jedes geeignete Interferometerprinzip verwenden, insbesondere einen Michelson-Aufbau oder einen Mach-Zehnder-Aufbau. Hierbei weist besonders der letztere den Vorteil eines rückreflexfreien Betriebs auf, welcher insbesondere bei Verwendung in einem Vorinterferometer den Einsatz von optischen Isolatoren zum Schutz der Lichtquelle erspart. Rückreflexe in die Lichtquelle sind insbesondere dann problematisch, wenn diese eine Lichtverstärkung beinhaltet (wie z. B. bei Laser, Superlumineszenzdiode).
  • Soweit im Rahmen dieser Beschreibung Verfahrensschritte oder ein Verfahren betreffende Merkmale erläutert werden, kann für die ebenfalls erläuterte Vorrichtung vorgesehen werden, daß die Steuereinrichtung derart ausgebildet ist, daß sie an der Vorrichtung einen diese Verfahrensschritte bzw. -merkmale realisierenden Betrieb bzw. eine entsprechende Funktion bewirkt. Umgekehrt ist ein beschriebenes funktionelles Merkmal bzw. eine erläuterte Arbeitsweise der Vorrichtung auch als entsprechender Verfahrensschritt bzw. entsprechendes Verfahrensmerkmal für das geschilderte Verfahren verwendbar.
  • Soweit in dieser Beschreibung bezüglich einzelner Aspekte, Prinzipien und/oder Elemente auf Vorveröffentlichungen verwiesen ist, seien diese durch Inbezugnahme hier vollumfänglich in die Offenbarung einbezogen.
  • Es versteht sich, daß die vorstehend genannten und die nachstehend noch zu erläuternden Merkmale nicht nur in den angegebenen Kombinationen, sondern auch in anderen Kombinationen oder in Alleinstellung einsetzbar sind, ohne den Rahmen der vorliegenden Erfindung zu verlassen.
  • Nachfolgend wird die Erfindung beispielsweise anhand der beigefügten Zeichnungen, die auch erfindungswesentliche Merkmale offenbaren, noch näher erläutert. Es zeigen:
  • 1 eine schematische Darstellung einer Ausführungsform eines Interferometers zur Messung von Relativabständen am Auge,
  • 2 eine weitere Ausführungsform einer Vorrichtung ähnlich der der 1,
  • 3 eine weitere Ausführungsform ähnlich der der 1, wobei für eine Weglängenverstellmechanik ein Rad mit Doppelprismen zum Einsatz kommt,
  • 4 eine Bauweise ähnlich der 1, wobei zwei nach unterschiedlichen Prinzipien arbeitende Verstellmechanismen vorgesehen sind,
  • 5a und b mögliche Mechanismen zur Weglängenverstellung für eines der hier beschriebenen Interferometer,
  • 6 eine faseroptische Realisierung eines Interferometers ähnlich dem der 1,
  • 7 eine Weiterbildung des Interferometers der 6,
  • 8 eine Schemadarstellung eines Interferometers zur relativen Abstandsmessung am Auge, wobei im Unterschied zur Bauweise der 1 ein Nach-Interferometer zum Einsatz kommt,
  • 9 eine Abwandlung des Interferometers der 7, die Meßstrahlung in unterschiedliche Bereiche der Probe gleichzeitig fokussiert.
  • 1 zeigt einen optischen Kohärenztomographen (OCT), der für die Reflektrometrie ausgebildet ist. Er wird nachfolgend als OCT 1 bezeichnet. Der exemplarisch beschriebene OCT 1 dient zur Vermessung von Längen an einem Auge 2. Natürlich sind aber auch andere Abstands- oder Längenmessungen an zumindest teiltransparenten Objekten möglich. Er ist für die Zeitdomänen-Kohärenztomographie ausgebildet und weist eine dafür geeignete Quelle 3 als Strahlungsquelle auf. Geeignet für Achslängenmessungen wären beispielsweise vielmodige Laserdioden oder breitbandigen Superlumineszenzdioden. Die Strahlung hat eine Wellenlänge, die eine genügende Transmission in den zu erfassenden Probenregionen gewährleistet. Beispielsweise sind für Achslängenmessung am Auge die Wassertransmissionsfenster um 810 nm und 1060 nm (also 700 ... 920 nm und 1020 ... 1100 nm) brauchbar. Für Messungen im Bereich der Vorderkammer des Auges, also beispielsweise zur Bestimmung der Vorderkammertiefe, ist auch Strahlung um 1300 nm tauglich. Bei Quellen mit diskreten Moden müssen die Modenabstände dabei derart klein sein, daß durch Aliasing-Effekte keine Uneindeutigkeiten bei Strukturbeabstandungen auftreten. Die benötigte Bandbreite wird durch die angestrebte Tiefenauflösung über die bereits genannte Beziehung bestimmt.
  • Die Strahlung der Quelle 3 wird in einem Michelson-Interferometer 4 in einen Doppelstrahl umgewandelt, der die Strahlung der Quelle 3 in zwei Anteilen aufweist, welche in Strahlrichtung, also axial gegeneinander versetzt sind, also gegeneinander optisch verzögert sind.
  • Zur Erzeugung dieses Doppelstrahls ist in der Bauweise der 1 das Michelson-Interferometer 4 verwendet, das einen Strahlteiler 5 aufweist, welcher die Strahlung der Quelle 3 in zwei Teilstrahlengänge 6, 7 leitet. Jeder Teilstrahlengang umfaßt eine Verzögerungsstrecke, die die Propagation des in den Teilstrahlengang eingeführten Anteils der Strahlung der Quelle 3 verzögert. Für den Teilstrahlengang 6 ist eine Verzögerungsstrecke 8, für den Teilstrahlengang 7 eine Verzögerungsstrecke 9 vorgesehen.
  • Die Verzögerungsstrecken 8, 9 bewirken eine unterschiedliche Verzögerung der ihr zugeführten Strahlung, und im jeweiligen Teilstrahlengang 6, 7 wird die Strahlung dann zum Strahlteiler 5 zurückgeleitet, wo die Strahlung aus den Teilstrahlengängen wieder überlagert wird. Im Ergebnis liegt nach dem dann als Vereiniger wirkenden Strahlteiler 5 eine Meßstrahlung 10 vor, die der erwähnte Doppelstrahl ist. Durch einen weiteren Strahlteiler 11 wird diese Meßstrahlung auf das Objekt, in diesem Fall das Auge 2 gerichtet. Strukturen im Auge 2 rückreflektieren bzw. -streuen die Meßstrahlung, so daß vom Auge 2 Probenstrahlung 12 zurückkehrt. Diese wird am Strahlteiler 11 zu einer Detektoreinrichtung ausgekoppelt, die einen Photoempfänger 14 sowie einen dessen Signale aufbereitenden Verstärker 15 umfaßt. Die Signale am Ausgang dieses Verstärkers 15 werden hierbei in einer, der Übersichtlichkeit halber nicht dargestellten, Auswerteeinheit unter Einbeziehung der momentanen Lagen der Verstellmittel 8 und 9 hinsichtlich Beabstandung zu vermessender Strukturen ausgewertet und optional auch als tiefenaufgelöstes Streuprofil (A-scan) dargestellt. Die momentanen Lagen der Verstellmittel können hierbei mittels nicht dargestellter, aber zuvor erläuterter Meßeinrichtungen gemessen werden oder aber aus den Steuersignalen der Steuereinrichtung 16 bestimmt werden.
  • Wie zuvor bereits im allgemeinen Teil der Beschreibung erläutert, tritt in der Probenstrahlung 12 dann Interferenz auf, wenn im Auge 2 Strukturen vorhanden sind, die entlang der Einfallsrichtung der Meßstrahlung 10 einen Abstand haben, der dem halben axialen Versatz der Anteile im Doppelstrahl entspricht. Diese Abstandsvorgabe gilt natürlich innerhalb der Kohärenzlänge der Strahlung der Quelle 3, die deshalb die axiale Auflösung bestimmt.
  • Um nun den Relativabstand, in dem auf diese Weise Strukturen erfaßt werden, zu verstellen und dadurch ein Tiefenprofil der Probe aufzunehmen, sind die Verzögerungsstrecken 8, 9 hinsichtlich der optischen Weglänge verstellbar. Sie werden von einer Steuereinrichtung 16 entsprechend angesteuert.
  • Dabei wird eine schnelle Ansteuerung in einer Ausführungsform der Erfindung dadurch erreicht, daß die Verzögerungsstrecken 8, 9 gegenläufig angesteuert werden. Verlängert beispielsweise die Verzögerungsstrecke 8 die optische Weglänge des Strahlenganges 6, verkürzt gleichzeitig die Verzögerungsstrecke 9 die optische Weglänge des Teilstrahlenganges 7. Die Weglängendifferenz und damit der axiale Versatz der Anteile im Doppelstrahl variiert damit mit der Summe der Verstellgeschwindigkeiten der Verzögerungsstrecken 8, 9. Auf diese Weise wird eine Meßgeschwindigkeit erreicht, die deutlich über der Geschwindigkeit liegt, mit der die Verzögerungsstrecken 8, 9 verstellt werden können. Weiter wird der Verstellbereich größer, als der einer der Verzögerungsstrecken 8, 9. Der Gesamtverstellbereich addiert sich ebenfalls aus den Einzelvertellbereichen der Verzögerungsstrecken 8, 9. Es kann somit eine Augenlängenmessung mit hoher Geschwindigkeit mittels Verzögerungsstrecken erreicht werden, die jede für sich alleine eine Erfassung der Augenlänge, welche typisch zwischen 22 und 25 mm liegt, nicht erlauben würde.
  • Die Verzögerungsstrecken fungieren als einstellbare Verstellmittel für die optische Weglänge. Dabei ist eine gegenläufige Wirkung dieser Verstellmittel nicht die einzige vorteilhafte Art, die Verstellmittel bzw. Verzögerungsstrecken aufeinander abgestimmt zu betreiben, Auf Alternativen hierzu wird noch eingegangen.
  • 2 zeigt ein Beispiel für gegenläufig arbeitende Verstellmittel. In 2 sind Elemente, die funktionell öder strukturell bereits anhand der 1 erläuterten Elementen entsprechen, mit den selben Bezugszeichen wie in 1 versehen. Ihre Beschreibung wird deshalb hier nicht noch einmal wiederholt. Dies gilt natürlich nicht nur für die 1 und 2, sondern auch für alle weiteren Figuren, in denen funktionell oder strukturell sich entsprechende Bauteile durchgängig mit den selben Bezugszeichen versehen sind. Vorteilhaft in dieser rein reflektiven Ausführung ist das Fehlen von Störungen infolge von Glaswegpropagationen, wie Dispersion, Absorption oder Reflexen an Glaseintrittsflächen.
  • In 2 sind die Verzögerungsstrecken 8, 9 jeweils durch den aus der US 6243191 bekannten Aufbau ersetzt, der rotierende Verzögerungsstrecken aufweist, die auf einem Drehteller 17, der auch als Scheibe aufgefaßt werden kann, gebildet sind. Dazu befinden sich auf dem Drehteller 17 der Drehachse parallele Spiegel 19, 20, welche so angeordnet sind, daß die einfallende Strahlung zuerst vom am Rand des Drehtellers liegenden Spiegel 19 zu dem am gegenüberliegenden Rand liegenden Spiegel 20 und von dort zu einem Endspiegel 21 abgelenkt wird. Der Endspiegel 21 reflektiert die Strahlung denselben Weg zurück. Während die Weglänge zwischen den Spiegeln 19, 20 konstant ist (sie ist durch den Abstand der beiden Spiegel von der Drehachse 18 vorgegeben), wird die gesamte Weglänge von der Drehstellung des Drehtellers 17 beeinflußt. Je nach Drehlage ist die Weglänge vom Strahlteiler 5 bis zum Spiegel 19 bzw. vom Spiegel 20 zum Endspiegel 21 verlängert oder verkürzt. Läßt man nun den Drehteller 17 rotieren, ergibt sich eine Wiederholung von Verlängerungen oder Verkürzungen der optischen Weglänge, je nach Rotationsrichtung. In der Darstellung der 2 rotiert der Drehteller 17 gegen den Uhrzeigersinn, was in der Verzögerungsstrecke 9 eine sich wiederholende Verlängerung der optischen Weglänge ergibt. Eine Rotation des gleichen Aufbaus im Uhrzeigersinn führt in der Verzögerungsstrecke 9 zu einer gegengleichen Verkürzung der optischen Weglänge. Eine aufeinander abgestimmte, also synchronisierte Rotation der Drehteller 17 in den Verzögerungsstrecken 8, 9 erreicht somit eine gegenläufige Verstellung der Verzögerungsstrecken mit den erwähnten Vorteilen. Die Synchronisierung kann durch eine elektronische Regelung erfolgen oder aber auch auf mechanischem Wege, beispielsweise mittels geeigneter, spielarmer Zahnradgetriebe zur Realisierung einer Gegenrotation der Drehteller.
  • Es ist im Stand der Technik für verstellbare Verzögerungsstrecken auch bekannt, den Spiegel 19 und ggf. den Spiegel 20 durch ein retroreflektierendes Prisma, z. B. ein Tripelprisma, zu ersetzen. Hierzu wird auf die in diesem Zusammenhang voll umfänglich einbezogene US 7227646 oder die bereits erwähnte Veröffentlichung von Hasegawa et al. hingewiesen.
  • In den 1 und 2 wurde die Strahlführung durch Freistrahloptiken realisiert. Natürlich können auch Faseroptiken verwendet werden. Der Wechsel zwischen Freistrahloptiken und Faseroptiken ist dem Fachmann bekannt, so daß alle hier anhand von Freistrahloptiken beschriebenen Aufbauten auch vollständig oder teilweise mit Faseroptiken realisiert werden können und umgekehrt.
  • 3 zeigt, hier exemplarisch in faseroptischer Realisierung, schematisch ein OCT 1, bei dem die Verstellmittel zur gegenläufigen Weglängenverstellung in den Teilstrahlengängen 6, 7 durch ein Kombinationswirkung entfaltendes Bauteil verwirklicht sind. Die Strahlung der Quelle 3 wird durch eine Lichtleitfaser 22 zu einem Faserkoppler 23 geführt, der die Funktion des Strahlteilers 5 der 1 und 2 hat. Lichtleitfasern 26 bzw. 27 führen die Strahlungen in den Teilstrahlgängen 6 bzw. 7. Die entsprechend in den Teilstrahlgängen 6, 7 unterschiedlich verzögerten Strahlungsanteile werden dann vom Faserkoppler 23 (zumindest anteilsweise) über eine nicht näher bezeichnete Lichtleitfaser als Meßstrahlung 10, die als Doppelstrahl ausgebildet ist, zu einem Faserkoppler 24 geleitet, welcher die Funktion des Strahlteilers 11 hat. Über einen Kollimator 25 gelangt die Meßstrahlung so zum Auge 2 bzw. wird die Probenstrahlung 12 wieder aufgenommen und über den Faserkoppler 24 zum Photoempfänger 14 geleitet. Zusätzlich und nicht näher bezeichnet ist in 3 noch dargestellt, daß ein vierter Ausgang des Faserkopplers 24 zu einem weiteren Photoempfänger mit nachgeordneter Elektronik geleitet ist. Dieser Ausgang dient zu Kontrollzwecken, beispielsweise für Signalnormierungen oder zur Realisierung einer für Medizingeräte vorgeschriebenen Schutzeinrichtung zur Gewährleistung von Bestrahlungsgrenzwerten durch geeignete Steuerung der Lichtquelle.
  • Die Verzögerungsstrecken der Teilstrahlengänge 6 und 7 sind in der Bauweise der 3 durch eine Kombinationselement realisiert, das wiederum einen Drehteller 30 umfaßt. Auf dem Drehteller befinden sich Tripelprismenpaare 31, wobei hier ohne Beschränkung und der Übersichtlichkeit halber vier Paare dargestellt sind. Die einzelnen Tripelprismen 32 und 33 jedes Paares wirken im Rahmen einer optischen Weglängenverstellung für den Teilstrahlengang 6 bzw. 7. So wird beispielsweise im Teilstrahlengang 6 an der Lichtleitfaser 26 eingespeiste Strahlung aus einem Kollimator 28 auf das Tripelprisma 33 geleitet, das eine Retroreflexion durchführt. Hierunter wird verstanden, daß die Strahlung vom Tripelprisma 33 parallel zur Einfallsrichtung, aber ggf. dazu versetzt wieder abgegeben wird. Sie fällt dann auf einen Endspiegel 35, der die Strahlung wieder den Einfallsweg zum Kollimator 28 zurückleitet, von wo sie zur Lichtleitfaser 26 gelangt. Eine analoge Wirkung hat das zweite Tripelprisma 32 des Tripelprismenpaares für den zweiten Teilstrahlengang 7. Dort in die Lichtleitfaser 27 eingespeiste Strahlung wird vom Kollimator 29 auf das Tripelprisma 32 geleitet, von wo es zum Endspiegel 34 reflektiert wird. Der Endspiegel 34 wirft die Strahlung über das Tripelprisma 32 zum Kollimator 29 zurück.
  • Eine Drehung der Scheibe 30 in Richtung des Pfeils verkürzt nun die optische Weglänge für den Teilstrahlengang 7 und verlängert die optische Weglänge für den Teilstrahlengang 6 um das gleiche Maß. Hierfür ist wesentlich, daß die Tripelprismen 32, 33 jeweils Strahlung, die in einem gewissen Sektor um eine Haupteinfallsrichtung auf das Tripelprisma fällt, parallel zur Einfallsrichtung der Strahlung versetzt wieder abgeben. Weiter sind im Tripelprismenpaar 31 die Tripelprismen 32, 33, mit zusammenfallender Haupteinfallsrichtung und zueinander entgegengesetzt angeordnet, zusammengefaßt.
  • Schließlich sind die Kollimatoren 29, 28 bzw. die Endspiegel 34, 35 so ausgerichtet, daß sie die Strahlung innerhalb des Sektors, in dem das jeweilige Tripelprisma 32, 33 arbeitet, einstrahlen oder aufnehmen (im Falle der Kollimatoren) bzw. zur Reflektion aufnehmen und rückreflektieren (im Falle der Endspiegel). In der Bauweise der 3 ist dies dadurch erreicht, daß die Hauptreflexionsachsen des Tripelprismenpaares 31 tangential zur Rotation der Drehscheibe 30 liegen. Dies ist jedoch nicht zwingend, da auch andere Aufbauten möglich sind. Beispielsweise können die Kollimatoren 29, 28 auch Strahlung zu Tripelprismen verschiedener Tripelprismenpaare erzeugen, allerdings mit unterschiedlicher Ausrichtung der Reflexionsrichtung in Bezug auf die tangentiale Scheibenrotationsrichtung.
  • Weiter trägt die Drehscheibe 30 vorzugsweise mehrere Tripelprismenpaare 31, so daß eine Rotation der Drehscheibe 30 zu einer wiederholten Verkürzung des einen bei gleichzeitiger Verlängerung des anderen Teilstrahlenganges führt. Bei einer Drehrichtung, wie sie in 3 durch einen Pfeil angedeutet ist, wird der Teilstrahlengang 7 verkürzt und der Teilstrahlengang 6 verlängert. Alternativ kann auch eine oszillierende Drehscheibe verwendet werden, die ein Tripelprismenpaar 31 trägt.
  • Nicht dargestellt sind grundsätzlich optionale Mittel zur Angleichung der teilweisen oder vollständigen Polarisationsangleichung der zu detektierenden, d. h. zur Interferenz zu bringenden, Probenstrahlungsanteile am Ort des Detektors. Diese können beispielsweise in den Interferometerarmen angeordnet sein und beispielsweise als sogenannte „polarisation paddles” ausgeführt sein, also fixen oder beweglichen, auf Biegungsdoppelbrechung beruhenden polarisationsverändernden Faserschleifen. Alternativ können auch Wellenplatten in den Freistrahlbereichen genutzt werden. insbesondere sei auf die Möglichkeit verwiesen, daß auch eine Polarisationszustandsangleichung zwischen dem von der Hornhaut direkt reflektierten Doppelstrahlungsanteil und dem, die im Allgemeinen polarisationsverändernde Hornhaut durchquerenden und von tieferliegenden Strukturen rückgestreuten Doppelstrahlungsanteil ermöglicht wird.
  • Durch die überlagerte Führung der Doppelstrahlungsanteile in den Fasern 10 und 12 wirken polarisationsoptische Störungen dort auf beide Doppelstrahlungsanteile gemeinsam und in gleicher Weise, insbesondere wenn ihre Polarisationszustände schon bei der Überlagerung im Koppler 23 entsprechend abgeglichen wurden. Dadurch können auch flexible, d. h. bewegliche Faserverbindungen verwendet werden, beispielsweise um ein handgeführtes Achslängenmeßgerät zu realisieren, ähnlich den bekannten Ultraschallgeräten (vgl. DE 4235079 ).
  • 4 zeigt schematisch eine Bauweise für das OCT 1, bei der die Verstellung der Teilstrahlengänge 6, 7 unterschiedlichen Beitrag zur Einstellung des Reflektionsstellenabstandes leisten. Das OCT 1 der 3 entspricht im Wesentlichen der Bauweise der 1 oder 2, allerdings mit einer anderen Ausbildung der Verzögerungsstrecken.
  • Die Verzögerungsstrecke des Teilstrahlenganges 6 ist nun als diskrete Weglängenverstelleinrichtung realisiert, hier exemplarisch als Stufenreflektor 36 ausgebildet, wohingegen die Verzögerungsstrecke des Teilstrahlenganges 7 als kontinuierliche Weglängenverstelleinrichtung verwirklicht ist, hier als Längsschwingspiegel 37 ausgebildet. Der Längsschwingspiegel 37 wird durch einen entsprechenden Erreger, beispielsweise einen Elektromagneten, in hochfrequente Schwingungen versetzt, beispielsweise Schwingungen in der Größenordnung von 100 Hz mit einem Hub von 5 mm. Der Stufenreflektor 36 kann längs des symbolisch eingezeichneten Pfeiles verschoben werden und erlaubt eine Meßbereichsumschaltung, wie es die schematisch angedeuteten Stufen des Stufenspiegels 37 zeigen. Der Stufenspiegel 36 bewirkt damit eine Einstellung des Meßbereiches bzw. eine grobe Einstellung der Meßtiefe, indem er entsprechend diskret einstellbare Weglängenunterschiede bereitstellt. Der maximale Weglängenunterschied, der an der diskreten Weglängenverstelleinrichtung bewirkt werden kann, ist vorzugsweise ein Vielfaches des Hubes der kontinuierlichen Weglängenverstelleinrichtung. Diese ist vergleichsweise kurzreichweitig in der Weglängenänderung. Vorzugsweise werden die beiden Einrichtungen so synchronisiert angesteuert, daß die Umschaltung zwischen diskreten Weglängenänderungen des Stufenspiegels 36 zu Zeitpunkten erfolgt, in denen der Längsschwingspiegel 37 sich an einem Umkehrpunkt befindet. Die diskrete Verstellzustände des Verstellelementes 36 sind dabei bevorzugt so auf den Hub des kontinuierlich betriebenen Verstellelementes 37 abgestimmt, daß zu jedem diskreten Hubzustand des Verstellelementes 36 ein zweiter existiert, wodurch die Hubdifferenz zwischen diesen kleiner gleich dem maximalen Hub des kontinuierlich betriebenen Verstellelementes 37 ist. Im Ergebnis ist eine lückenlose Abdeckung des Gesamtverstellbereichs erzielt. Bekannte Gesamtverstellbereiche zur Biometrie menschlicher Augenlängen sind 14 ... 40 mm, obwohl mehr als 90% Teil der Augenlängen im Bereich von 20 ... 28 mm zu erwarten sind.
  • Eine weitere, zeitliche Abstimmung der Verstellungen der Verstellelemente 36 und 37 besteht darin, daß der Hub des schnellen, kontinuierlich betriebenen Verstellelementes 37 mindestens einmal vollständig durchfahren wird, bevor eine Umschaltung des diskreten Hubzustandes am Verstellelementes 37 erfolgt.
  • Prinzipiell ist es aber auch möglich, mittels eines sehr schnell umschaltbaren diskreten Elementes 36 und bei langsamer Verstellung des kontinuierlichen Verstellelementes 37 einen Multiplex-Betrieb zu realisieren, bei dem für jeden Zustand des kontinuierlichen Verstellelementes 37 immer alle diskreten Verstellungen des Verstellelementes 36 realisiert werden.
  • In beiden Varianten ist sehr vorteilhaft, eine zeitsparende Beendigung der Messung bei Feststellung eines ausreichenden bzw. eindeutigen Meßsignals vorzunehmen, wenn also abzusehen ist, daß durch weitere Verstellung der Verstellelemente 36 und 37 keine weiteren nützlichen Informationen mehr gewonnen werden können.
  • Die Stellung des Stufenspiegels 36 gibt den Bereich vor, in dem die schnelle Verstellung des Längsschwingspiegels 37, der kontinuierlich die Weglänge verstellt, rückreflektierende oder -streuende Stellen im Objekt, d. h. dem Auge 2 erfaßt. Es wird deshalb bevorzugt unter Steuerung des Steuergerätes 16 (der Einfachheit halber in den 2 und folgende nicht gezeigt) die Messung mit einer Stellung des Stufenspiegels 36 begonnen, die einem Meßbereich entspricht, in dem eine rückstreuende oder -reflektierende Stelle im Objekt zu erwarten ist, um einen Referenzpunkt für die weiteren Messungen zu gewinnen. Im Falle der Messung menschlicher Augenlängen wäre dies beispielsweise der Bereich von 23 +/– 2 mm. (siehe beispielsweise Wojciechowski et al., „Age, Gender, Biometry, Refractive Error, and the Anterior Chamber Angle among Alaskan Eskimos", Ophthalmology Volume 110, Number 2, February 2003).
  • Realisiert man, wie in der Bauweise der 4 exemplarisch der Fall, die kontinuierliche Verzögerungsstrecke im Teilstrahlengang 7 durch einen Längsschwingspiegel 37, liegt keine gleichförmige Änderung der optischen Weglänge vor (dies kann auch bei anderen Verzögerungsstrecken der Fall sein). Es ist dann günstig, an der Verzögerungseinrichtung eine Weg- oder Geschwindigkeitsmeßeinrichtung vorzusehen, um die Korrektur eines gemessenen Tiefenprofils auszuführen. Dies wurde bereits im allgemeinen Teil der Beschreibung näher erläutert. Ein weiteres Beispiel für eine schnell und kontinuierlich verstellende Verzögerungsstrecke ist der aus der US 6654127 beschriebene Aufbau. Er kann hier ebenfalls verwendet werden, so daß der Offenbarungsgehalt dieser Druckschrift diesbezüglich voll hier einbezogen ist.
  • 5a zeigt eine Prismenradvariante mit doppelter Verstellwirkung, die in einem oder beiden Interferometerarmen zum Einsatz kommen kann. Ein einfallender Strahl 53 wird an einem Tripelprisma 32, das auf dem Drehteller 30 befestigt ist, umgelenkt und über Spiegel 54 bis 57 zu einem bezogen auf die Drehtellerachse gegenüberliegenden Tripelprisma 33 geleitet. Von dort tritt es als auslaufender Strahl 58 aus. Die Weglänge hängt von der Drehtellerstellung ab. Der Aufbau der 5a hat eine doppelte Verstellwirkung bei gleichzeitiger Kompensation eines drehwinkelabhängigen Strahlversatzes aufgrund des symmetrischen Strahlenganges. Die seitliche Strahllage am Ausgang ist somit stabil, was insbesondere für Faserkopplungen günstig ist.
  • 5b zeigt eine Kombination des Prinzips der 5a mit dem Prinzip des Drehtellers bzw. Aufbaus der 3. Der einfallende Strahl 53 stammt aus einem Interferometerarm, beispielsweise dem Kollimator 29, wohingegen der einfallende Strahl 59 (gepunktet gezeichnet) aus dem anderen Interferometerarm kommt, beispielsweise dem Kollimator 28. Nach einem erstem Durchlauf durch das entsprechende Tripelprisma des Doppelprismenpaares 31 werden die Strahlen analog zu 5a zum jeweils anderen Tripelprisma geführt. Zueinander gehörende Strahlen sind durchgezogen (im Falle des einen Interferometerarms) bzw. punktiert (im Falle des anderen Interferometerarms) gezeichnet. Im Ergebnis tritt für den einen Interferometerarm ein auslaufender Strahl 58 und für den anderen Interferometerarm ein auslaufender Strahl 60 aus.
  • Exemplarisch wurde die Erzeugung des Doppelstrahls bislang anhand eines Vor-Interferometers geschildert, das als Michelson-Interferometer 4 ausgebildet ist. Natürlich sind auch andere Interferometerstrukturen geeignet, beispielsweise ein Mach-Zehnder-Interferometer, wie es in 6 schematisch dargestellt ist. Hier wird die Strahlung der Quelle 3 in eine Lichtleitfaser 22 eingekoppelt und an einem Faserkoppler 23 in die zwei Teilstrahlengänge 6, 7 aufgeteilt. In diesen befinden sich zwei Verzögerungsstrecken 48, 45, die nun anders als die Verzögerungsstrecken 8, 9 nicht rein reflektiv arbeiten, sondern die Strahlung mit einstellbarer Verzögerung, d. h. nach Durchlauf einer optischen Wegstrecke mit innerhalb gewisser Grenzen einstellbarer Länge, zum als Vereiniger wirkender Faserkoppler 24 leiten. Von dort gelangt der derart erzeugte Doppelstrahl über einen Kollimator 25 zum Auge 2, kehrt als Probenstrahl 12 zurück und wird vom Faserkoppler 24 zum Photoempfänger 14 und Verstärker 15 geleitet. Besonders vorteilhaft ist die rein faseroptische, miniaturisierbare Ausführung des Interferometers durch Verwendung von entgegengesetzt angesteuerten, piezoelektrisch betriebenen Faserstreckern als Verstellelemente 45 und 48.
  • 7 zeigt ein OCT 1, das dem der 6 ähnlich ist. Allerdings ist zum einen nun anstelle des 3 × 3-Kopplers 24 ein Paar aus 2 × 2-Kopplern 24 und 47 eingesetzt. Eine weitere Abwandlung, die sich im OCT 1 der 7 findet, die aber gleichermaßen auch mit den anderen Aufbauten verwendet werden kann, ist die Ausbildung des Verstärkers 15 als Detektorschaltung 51, die eine Summen- und/oder Differenzmessung der am Photoempfänger 14 ankommenden Strahlung zusammen mit den Signalen eines Photoempfängers 50 durchführt, der einen Teil der Strahlung der Quelle 3 ohne weitere Modifikation erhält. Hierdurch ist eine rauschmindernde balanced detection möglich.
  • Eine Ausgestaltung, bei der der Überwachungsanschluß 46 zur Signalgewinnung verwendet werden kann, zeigt 9. Die beiden Anschlüsse 46 bzw. 64 des Faserkopplers 47 werden auf Optiken 42 bzw. 43 gekoppelt, welche auf unterschiedliche Bereiche des Auges 2 fokussieren.
  • Die so aus unterschiedlichen Abschnitten des Auges zurückkommende Probenstrahlung durchläuft dann wieder den Faserkoppler 47 und die Verzögerungsstrecken 8 und 45 und wird am Faserkoppler 23 zum Detektor 50 ausgekoppelt.
  • Die Verzögerungsstrecken 8 und 45 wirken also zum einen als Vor-Interferometer und erzeugen einen Doppelstrahl am Faserkoppler 47. Zum anderen wirken sie auch als Nach-Interferometer für die am Faserkoppler 47 zurückkehrende Probenstrahlung. Damit wird eine doppelte Verzögerung erreicht und die Meßgeschwindigkeit steigt entsprechend, da kurzhubige Verzögerungsstrecken möglich sind. Aufgrund doppelten Durchlaufs wird ihr Hub de facto verdoppelt. Geeignete schnelle Verzögerungsstrecken sind beispielsweise die bereits erwähnten piezoelektrischen Faserstrecker.
  • 8 schließlich zeigt schematisch, daß das Interferometer zur Erzeugung des Doppelstrahls im OCT 1 nicht zwingend als Vor-Interferometer ausgestaltet sein muß. Es ist durchaus möglich, den Meßstrahl 10 direkt und ohne vorherige interferometrische Einwirkung auf das Objekt, d. h. das Auge 2, fallen zu lassen und statt dessen den Probenstrahl 12 durch ein Nach-Interferometer so in zwei Anteile aufzuteilen, daß am Photoempfänger 14 wieder Interferenz auftritt. 8 zeigt dazu beispielhaft ein Michelson-Interferometer 4 mit den entsprechenden Bauteilen. Natürlich ist die Realisierung des Nach-Interferometers nicht auf diese konkrete Struktur beschränkt, sondern alle Interferometerbauweisen, die als Vor-Interferometer in Frage kommen, können auch für das Nach-Interferometer verwendet werden.
  • Die in allen erläuterten Varianten des OCT 1 vorgesehene aufeinander abgestimmte Änderung der optischen Weglänge in den Teilstrahlengängen, welche den Doppelstrahl für den Meßstrahl 10 oder aus der Probenstrahlung 12 erzeugen, können nicht nur zur Beschleunigung der Messung genutzt werden. Verwendet man die unabhängigen Verzögerungsstrecken mit unterschiedlichen Durchstimmgeschwindigkeiten, ergeben sich bei wiederholten Messungen bestimmte Relativverzögerungen aus unterschiedlichen Lagen der Verzögerungsstrecken. Dies erlaubt es, z. B. durch Mittelungen, systematische Störungen der Verzögerungsstrecken zu unterdrücken, beispielweise infolge mechanischer Deformationen an Verzögerungstrecken oder Wegmeßsystemen. Natürlich kann eine Unterdrückung auch anderweitig erfolgen, beispielsweise durch geeignete Filterungen etc.
  • ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
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  • Zitierte Patentliteratur
    • - EP 1587415 [0002]
    • - WO 02051333 [0002]
    • - DE 3201801 [0004]
    • - US 7400410 [0005]
    • - WO 2007/065670 A1 [0005]
    • - US 2006/0109477 A1 [0005]
    • - US 5321501 [0005]
    • - US 2007081166 [0006]
    • - US 2008/0231807 [0006]
    • - US 6779891 [0010, 0011, 0022, 0033]
    • - EP 581871 [0011]
    • - US 6243191 [0013, 0059]
    • - US 6654127 [0013, 0030, 0075]
    • - US 7227646 [0013, 0030, 0060]
    • - US 6788421 [0014, 0014]
    • - DE 102007046507 [0014, 0014]
    • - WO 03052345 A1 [0020]
    • - US 7330270 [0026]
    • - US 4609871 [0030]
    • - WO 02071117 A3 [0030]
    • - US 5907423 [0030]
    • - WO 2005033624 A1 [0030]
    • - US 6343191 [0030]
    • - DE 10005696 A1 [0030]
    • - US 5719673 [0035]
    • - DE 19810980 [0035]
    • - DE 4235079 [0068]
  • Zitierte Nicht-Patentliteratur
    • - Hitzenberger et al., „Measurement of Corneal Thickness by Laser Doppler Interferometry”, Investigative Ophthalmology & Visual Science, Vol. 33, No. 1, January 1992 [0004]
    • - Schmetterer et al., ”Topical measurement of fundus pulsations”, Opt. Eng. 34, 711–716, 1995 [0012]
    • - M. Hasegawa et al., „Development of high speed and deep scanning optical coherence tomography system”, (IEEE Lasers and Electro-Optics, 2003 [0013]
    • - CLEO/Pacific Rim 2003 [0013]
    • - The 5th Pacific Rim Conference; Volume 1, Issue, 15-19 Dec. 2003, Page 305 [0013]
    • - Wang et al. „A low coherence ”white light” interferometric sensor for eye length measurement”, Review of Scientific Instruments 66(12): 5464–5468 [0015]
    • - Fercher et al., „Optical coherence tomography-principles and applications”, Rep. Prog. Phys. 66(2003), 239–303 [0020]
    • - Xinan et al., „Fast-scanning autocorrelator with 1-ns scanning range for characterization of mode-locked ion lasers”, Rev. Sci. Instr. 59(9), 1988 [0030]
    • - Wojciechowski et al., „Age, Gender, Biometry, Refractive Error, and the Anterior Chamber Angle among Alaskan Eskimos”, Ophthalmology Volume 110, Number 2, February 2003 [0074]

Claims (15)

  1. Vorrichtung zur optischen Messung von Relativabständen von Strukturen eines Objektes (2), die als optischer Zeitdomänen-Kohärenztomograph (1) ausgebildet ist, der aufweist: – einen Objektstrahlengang, durch den Meßstrahlung (10) auf das Objekt (2) fällt, – einen Detektionsstrahlengang, der eine Detektoreinrichtung (14, 15) umfaßt und durch den vom Objekt (2) reflektierte oder rückgestreute Probenstrahlung (12) zu Detektoreinrichtung gelangt, – eine Interferometereinrichtung (4), die einen ersten und einen zweiten Teilstrahlengang (6, 7) mit unterschiedlicher optischer Weglänge aufweist, Strahlung aufteilt und in die beiden Teilstrahlengänge (6, 7) einspeist und nach Durchlauf durch die Teilstrahlengänge wieder überlagert und so einen Doppelstrahl erzeugt, der aufgrund der unterschiedlichen optischen Weglängen der beiden Teilstrahlengänge axial zueinander versetzte Anteile aufweist, – wobei die Interferometereinrichtung (4) entweder im Objektstrahlengang angeordnet ist, so daß die Meßstrahlung (10) als Doppelstrahl auf das Objekt (2) einfällt, oder im Detektionsstrahlengang angeordnet ist, so daß die Probenstrahlung (12) als Doppelstrahl zur Detektoreinrichtung gelangt, und wobei die unterschiedlichen optischen Weglängen der Teilstrahlengänge (6, 7) den Relativabstand der am Objekt (2) erfaßten Strukturen beeinflußt, deren Probenstrahlung (12) an der Detektoreinrichtung interferenzfähig ist, – eine Scaneinrichtung (8, 9; 36, 37; 2835; 8, 45) zum Scannen des Relativabstandes der erfaßten Strukturen, wobei die Scaneinrichtung zur Verstellung der optischen relativen Weglänge der Teilstrahlengänge (6, 7) ausgebildet ist, und – eine Steuereinrichtung (16), welche die Scaneinrichtung (8, 9; 36, 37; 2835; 8, 45) ansteuert, dadurch gekennzeichnet, daß – die Scaneinrichtung ein erstes Verstellmittel (8; 36; 28, 30, 33, 35) zur Verstellung der optischen Weglänge des ersten Teilstrahlenganges (6) und ein zweites Verstellmittel (9, 37; 29, 30, 32, 34) zur Verstellung der optische Weglänge des zweiten Teilstrahlenganges (7) aufweist und – das erste und das zweite Verstellmittel unter Steuerung durch die Steuereinrichtung (16) die Weglängen zum Scannen des Objektes (2) aufeinander abgestimmt verstellen, so daß die aufeinander abgestimmten Verstellungen den abgedeckten Bereich der Relativabstände festlegen.
  2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das erste Verstellmittel (37) zur kontinuierlichen Verstellung der optischen Weglänge und das zweite Verstellmittel (36) zur diskreten Verstellung der optischen Weglänge in Verstellschritten ausgebildet ist, wobei der kleinste der Verstellschritte eine Verstellung der optischen Weglänge bewirkt, die nicht größer ist als ein Verstellbereich der kontinuierlichen Verstellung des ersten Verstellmittels.
  3. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Steuereinrichtung (16) gleichzeitig das erste Verstellmittel (8; 36) zur Verkürzung der optischen Weglänge des ersten Teilstrahlenganges (6) und das zweite Verstellmittel (8; 37; 45) zur Verlängerung der optischen Weglänge des zweiten Teilstrahlenganges (7) ansteuert.
  4. Vorrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß mindestens eines der Verstellmittel eine rotierende Scheibe (20; 30) mit Reflektoren (19, 20; 32, 33) aufweist, wobei die optische Weglänge von der Drehlage der Scheiben (20; 30) abhängt.
  5. Vorrichtung nach Anspruch 4 und 3, dadurch gekennzeichnet, daß die rotierende Scheibe (30) mehrere Retroreflektoren (32, 33) trägt, die jeweils Strahlung, welche innerhalb eines um eine Hauptreflexionsachse liegenden Sektors entlang einer Einfallsrichtung einfällt, parallel zur Einfallsrichtung und zur Einfallsrichtung versetzt zurückreflektieren, wobei die Retroreflektoren (32, 33) zu mehreren gegenläufig reflektierenden Retroreflektoren-Paaren (31) zusammengefaßt sind und die Retroreflektoren-Paare (31) so auf der Scheibe (30) angebracht sind, daß die Hauptreflexionsachsen tangential zur rotierenden Scheibe liegen, wobei die Teilstrahlengänge (6, 7) die Strahlungen tangential und gegenläufig zur Scheibe auf die Retroreflektoren (32, 33) einstrahlen und für jeden Teilstrahlengang (6, 7) außerhalb der Scheibe (30) ein Endspiegel (34, 35) fest montiert ist, der die von einem der Retroreflektoren (32, 33) parallel zur Einfallsrichtung und zur Einfallsrichtung versetzt zurückreflektierte Strahlung wieder zum jeweiligen Retroreflektor (32, 33) zurückwirft, so daß das erste und das zweite Verstellmittel durch die rotierende Scheibe (30) mit den Retroreflektoren (32, 33) und die Endspiegel (34, 35) gebildet ist.
  6. Vorrichtung nach mindestens einem der obigen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die beiden Verstellmittel Lage-, Weg- und/oder Geschwindigkeitsmeßeinrichtungen aufweisen, die ein Signal abgeben, welches die Verstellung der optischen Weglänge wiedergibt.
  7. Vorrichtung nach einem der obigen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß im ersten und/oder zweiten Teilstrahlengang der Interferometereinrichtung Mittel zur teilweisen oder vollständigen Angleichung der am Detektor vorliegenden Polarisationszustände der zu detektierenden Probenstrahlungsanteile angeordnet sind.
  8. Vorrichtung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß eine Steuereinrichtung vorgesehen ist, welche die Signale der Lage-, Weg- und/oder Geschwindigkeitsmeßeinrichtungen der Verstellmittel (8; 36; 28, 30, 33, 35) oder von diesen abgeleitete Signale synchronisiert mit den Signalen der Detektionseinrichtung (14, 15) aufzeichnet und gemeinsam zur Bestimmung von Relativabständen auswertet.
  9. Verfahren zur optischen Messung von Relativabständen von Strukturen eines Objektes (2) mittels optischer Zeitdomänen-Kohärenztomographie, wobei: – der Meßstrahl auf das Objekt (2) gerichtet wird, – vom Objekt (2) reflektierte oder rückgestreute Probenstrahlung (12) detektiert wird, – entweder die Meßstrahlung (10) oder die Probenstrahlung (12) in einen ersten und einen zweiten Teilstrahl aufgeteilt wird, die Teilstrahlen unterschiedliche optische Weglängen durchlaufen, die Teilstrahlen dann überlagert und ein Doppelstrahl erzeugt wird, der aufgrund der unterschiedlichen optischen Weglängen axial zueinander versetzte Anteile aufweist, – wobei die unterschiedlichen optischen Weglängen den Relativabstand der am Objekt (2) erfaßten Strukturen beeinflußt, deren Probenstrahlung (12) an der Detektoreinrichtung interferenzfähig ist, – der Relativabstandes der erfaßten Strukturen gescannt wird, indem unterschiedlichen optischen Weglängen relativ zueinander verstellt werden, dadurch gekennzeichnet, daß – sowohl die Weglänge des ersten Teilstrahles als auch die Weglänge des zweiten Teilstrahles aufeinander abgestimmt verstellt werden, so daß die aufeinander abgestimmten Verstellungen den abgedeckten Bereich der Relativabstände der am Objekt erfaßten Strukturen festlegen.
  10. Verfahren nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß die optische Weglänge des ersten Teilstrahles kontinuierlich und die optische Weglänge des zweiten Teilstrahles in diskreten Verstellschritten verstellt wird, wobei jeder Verstellschritt eine Verstellung der optischen Weglänge bewirkt, die nicht größer ist als ein Verstellbereich der kontinuierlichen Verstellung der optischen Weglänge des ersten Teilstrahles.
  11. Verfahren nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, daß die optischen Weglänge des ersten Teilstrahlenganges (6) verkürzt und gleichzeitig die optischen Weglänge des zweiten Teilstrahlenganges (7) verlängert wird.
  12. Verfahren nach einem der obigen Verfahrensansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die optische Weglänge über einen Gesamtverstellbereich in nicht-monotoner Weise verstellt werden.
  13. Verfahren nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, daß Differenzen aufeinanderfolgender Verstellungen mehrmals beim Durchfahren eines Gesamtverstellbereichs das Vorzeichen wechseln.
  14. Verfahren nach Verfahrensanspruch 12 oder 13, dadurch gekennzeichnet, daß die Weglänge in diskreten Verstellschritten verstellt wird, wobei die Verstellschritte gemäß einer bekannten Häufigkeitsverteilung der zu vermessenden biometrischen Größe gewählt werden.
  15. Verfahren nach einem der obigen Verfahrensansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Weglänge in Abhängigkeit von durch die Detektionseinrichtung (14, 15) erfaßten Signalen verstellt wird.
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Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102010055350A1 (de) * 2010-12-20 2012-06-21 Carl Zeiss Meditec Ag Vorrichtung zur interferometrischen Vermessung der Augenlänge und des vorderen Augenabschnitts
DE102012017833A1 (de) * 2012-09-10 2014-03-13 Carl Zeiss Meditec Ag Interferometeroptisches Messsystem und Verfahren zum Messen einer Fehlsichtigkeit eines Auges
EP3081146A1 (de) 2015-04-15 2016-10-19 Novartis AG Vorrichtung zur modellierung von augenstrukturen
DE102017108193A1 (de) * 2017-04-18 2018-10-18 Rowiak Gmbh OCT-Bilderfassungvorrichtung
DE102017210779A1 (de) * 2017-06-27 2018-12-27 Carl Zeiss Meditec Ag Verfahren und Anordnung zur Korrektur einer Abbildung
DE102018110699A1 (de) * 2018-05-04 2019-11-07 Deutsches Elektronen-Synchrotron Desy Vorrichtung zur Kompensation einer chromatischen Dispersion eines polarisierten Laserstrahls
WO2020016399A1 (de) * 2018-07-19 2020-01-23 Universität Zu Lübeck Verfahren zum monitoring von zeitabhängigen eigenschaften des lichts bei der scannenden swept-source optischen kohärenztomographie

Families Citing this family (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5306269B2 (ja) * 2009-06-25 2013-10-02 キヤノン株式会社 光干渉断層法を用いる撮像装置及び撮像方法
JP5220208B2 (ja) * 2011-03-31 2013-06-26 キヤノン株式会社 制御装置、撮像制御方法、およびプログラム
US10117572B2 (en) 2013-04-26 2018-11-06 Carl Zeiss Meditec Ag Method, ophthalmic measuring system and computer-readable storage medium for selecting an intraocular lens
ITFI20130195A1 (it) * 2013-08-09 2015-02-10 Strumenti Oftalmici C S O S R L Costruzioni Procedimento e sistema di tomografia a coerenza ottica
US9395465B2 (en) 2014-07-31 2016-07-19 Baker Hughes Incorporated Gravity and/or acceleration measurements using dual interferometer configurations
US9869852B2 (en) * 2015-01-26 2018-01-16 Thorlabs, Inc. Microscopy system with auto-focus adjustment by low-coherence interferometry
CN105203208B (zh) * 2015-09-15 2018-01-30 中国电子科技集团公司第五十研究所 级联快速旋转延迟扫描装置
JP6988133B2 (ja) * 2017-03-31 2022-01-05 株式会社ニデック Oct装置
WO2019159375A1 (ja) * 2018-02-19 2019-08-22 株式会社ニコン 光遅延装置、検査装置、光遅延方法及び検査方法
GB2573754A (en) * 2018-05-14 2019-11-20 Univ Court Univ St Andrews Spatially-offset optical coherence tomography

Citations (28)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3201801A1 (de) 1982-01-21 1983-09-08 Adolf Friedrich Prof. Dr.-Phys. 4300 Essen Fercher Verfahren und anordnung zur messung der teilstrecken des lebenden auges
US4609871A (en) 1984-07-02 1986-09-02 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy Temperature compensated optical fiber interferometric magnetometer
EP0581871A1 (de) 1991-04-29 1994-02-09 Massachusetts Institute Of Technology Verfahren und vorrichtung für optische abbildung und messung
US5301010A (en) * 1989-02-18 1994-04-05 Cambridge Consultants Limited Interferometer having a short coherence length light source and means for identifying interference fringes
DE4235079A1 (de) 1992-10-17 1994-04-21 Tomey Ag Vorrichtung zum Untersuchen des Auges, insbesondere des menschlichen Auges
US5719673A (en) 1995-02-10 1998-02-17 Carl Zeiss Jena Gmbh Interferometer arrangement with adjustable optical path length difference for detecting a distance between different layers of an eye
US5907423A (en) 1996-12-04 1999-05-25 National Science Council Scanning optical delay device having a helicoid reflecting mirror
DE19810980A1 (de) 1998-03-13 1999-09-16 Zeiss Carl Jena Gmbh Anordnung zum Messen von Abständen zwischen optischen Grenzflächen
DE10005696A1 (de) 1999-03-17 2000-10-05 Zeiss Carl Jena Gmbh Periodisch arbeitender optischer Weglängenmodulator
US6198540B1 (en) * 1997-03-26 2001-03-06 Kowa Company, Ltd. Optical coherence tomography have plural reference beams of differing modulations
US6243191B1 (en) 1998-02-03 2001-06-05 Carl Zeiss Jena Gmbh Optical path length modulator
US6343191B1 (en) 1998-10-19 2002-01-29 Olympus Optical Co., Ltd. Camera having both silver-salt picture-taking function and electronic-image pickup function
WO2002051333A2 (en) 2000-12-01 2002-07-04 Laser Diagnostic Technologies, Inc. Determining birefringence of anterior segment of eye
WO2002071117A2 (en) 2001-03-01 2002-09-12 Carl Zeiss Optical delay line
WO2003052345A1 (en) 2001-12-18 2003-06-26 Massachusetts Institute Of Technology System and method for measuring optical distance
US6779891B1 (en) 1998-12-10 2004-08-24 Carl Zeiss Jena Gmbh System and method for non-contacting measurement of the eye
US6788421B2 (en) 2001-06-11 2004-09-07 Carl Zeiss Jena Gmbh Arrangements for coherence topographic ray tracing on the eye
WO2005033624A1 (de) 2003-09-16 2005-04-14 Carl Zeiss Meditec Ag Vorrichtung zum verstellen der optischen verzögerung in einem strahlengang
EP1587415A1 (de) 2003-01-23 2005-10-26 Carl Zeiss Meditec AG Verfahren und anordnung zur messung der dispersion in transparenten medien
US20060109477A1 (en) 2004-11-19 2006-05-25 Yan Zhou High efficiency balanced detection interferometer
US20070081166A1 (en) 2005-09-29 2007-04-12 Bioptigen, Inc. Portable Optical Coherence Tomography (OCT) Devices and Related Systems
WO2007053971A1 (de) * 2005-11-10 2007-05-18 Haag-Streit Ag Verfahren und vorrichtung zur ermittlung geometrischer werte an einem gegenstand
US7227646B2 (en) 2001-04-13 2007-06-05 Japan Science And Technology Agency High-speed optical delay generating method by rotation reflector in optical coherence tomography and optical coherence tomography device
WO2007065670A2 (de) 2005-12-06 2007-06-14 Carl Zeiss Meditec Ag Interferometrische probenmessung
US7330270B2 (en) 2005-01-21 2008-02-12 Carl Zeiss Meditec, Inc. Method to suppress artifacts in frequency-domain optical coherence tomography
US7400410B2 (en) 2005-10-05 2008-07-15 Carl Zeiss Meditec, Inc. Optical coherence tomography for eye-length measurement
US20080231807A1 (en) 2004-01-22 2008-09-25 Centre National De La Recherche Scientifqes High Resolution Laterial and Axial Tomography
DE102007046507A1 (de) 2007-09-28 2009-04-02 Carl Zeiss Meditec Ag Kurzkoheränz-Interferometer

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3005520C2 (de) * 1980-02-14 1983-05-05 Kayser-Threde GmbH, 8000 München Zweistrahl-Interferometer zur Fourierspektroskopie
DE4446183B4 (de) * 1994-12-23 2005-06-02 Carl Zeiss Jena Gmbh Anordnung zur Messung intraokularer Distanzen
SE9501714D0 (sv) * 1995-05-09 1995-05-09 Pharmacia Ab A method of selecting an intraocular lens to be implanted into an eye
US20050140981A1 (en) * 2002-04-18 2005-06-30 Rudolf Waelti Measurement of optical properties
AT501056B1 (de) * 2004-02-06 2007-04-15 Zeiss Carl Meditec Ag Kurzkohärenz-interferometrische längenmessung am auge
EP1789832B1 (de) * 2004-09-01 2014-03-19 Optos PLC Transmissive scanning-verzögerungsleitung für oct
DE102008029479A1 (de) * 2008-06-20 2009-12-24 Carl Zeiss Meditec Ag Kurzkohärenz-Interferometerie zur Abstandsmessung

Patent Citations (30)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3201801A1 (de) 1982-01-21 1983-09-08 Adolf Friedrich Prof. Dr.-Phys. 4300 Essen Fercher Verfahren und anordnung zur messung der teilstrecken des lebenden auges
US4609871A (en) 1984-07-02 1986-09-02 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy Temperature compensated optical fiber interferometric magnetometer
US5301010A (en) * 1989-02-18 1994-04-05 Cambridge Consultants Limited Interferometer having a short coherence length light source and means for identifying interference fringes
EP0581871A1 (de) 1991-04-29 1994-02-09 Massachusetts Institute Of Technology Verfahren und vorrichtung für optische abbildung und messung
US5321501A (en) 1991-04-29 1994-06-14 Massachusetts Institute Of Technology Method and apparatus for optical imaging with means for controlling the longitudinal range of the sample
DE4235079A1 (de) 1992-10-17 1994-04-21 Tomey Ag Vorrichtung zum Untersuchen des Auges, insbesondere des menschlichen Auges
US5719673A (en) 1995-02-10 1998-02-17 Carl Zeiss Jena Gmbh Interferometer arrangement with adjustable optical path length difference for detecting a distance between different layers of an eye
US5907423A (en) 1996-12-04 1999-05-25 National Science Council Scanning optical delay device having a helicoid reflecting mirror
US6198540B1 (en) * 1997-03-26 2001-03-06 Kowa Company, Ltd. Optical coherence tomography have plural reference beams of differing modulations
US6243191B1 (en) 1998-02-03 2001-06-05 Carl Zeiss Jena Gmbh Optical path length modulator
DE19810980A1 (de) 1998-03-13 1999-09-16 Zeiss Carl Jena Gmbh Anordnung zum Messen von Abständen zwischen optischen Grenzflächen
US6343191B1 (en) 1998-10-19 2002-01-29 Olympus Optical Co., Ltd. Camera having both silver-salt picture-taking function and electronic-image pickup function
US6779891B1 (en) 1998-12-10 2004-08-24 Carl Zeiss Jena Gmbh System and method for non-contacting measurement of the eye
DE10005696A1 (de) 1999-03-17 2000-10-05 Zeiss Carl Jena Gmbh Periodisch arbeitender optischer Weglängenmodulator
WO2002051333A2 (en) 2000-12-01 2002-07-04 Laser Diagnostic Technologies, Inc. Determining birefringence of anterior segment of eye
WO2002071117A2 (en) 2001-03-01 2002-09-12 Carl Zeiss Optical delay line
US6654127B2 (en) 2001-03-01 2003-11-25 Carl Zeiss Ophthalmic Systems, Inc. Optical delay line
US7227646B2 (en) 2001-04-13 2007-06-05 Japan Science And Technology Agency High-speed optical delay generating method by rotation reflector in optical coherence tomography and optical coherence tomography device
US6788421B2 (en) 2001-06-11 2004-09-07 Carl Zeiss Jena Gmbh Arrangements for coherence topographic ray tracing on the eye
WO2003052345A1 (en) 2001-12-18 2003-06-26 Massachusetts Institute Of Technology System and method for measuring optical distance
EP1587415A1 (de) 2003-01-23 2005-10-26 Carl Zeiss Meditec AG Verfahren und anordnung zur messung der dispersion in transparenten medien
WO2005033624A1 (de) 2003-09-16 2005-04-14 Carl Zeiss Meditec Ag Vorrichtung zum verstellen der optischen verzögerung in einem strahlengang
US20080231807A1 (en) 2004-01-22 2008-09-25 Centre National De La Recherche Scientifqes High Resolution Laterial and Axial Tomography
US20060109477A1 (en) 2004-11-19 2006-05-25 Yan Zhou High efficiency balanced detection interferometer
US7330270B2 (en) 2005-01-21 2008-02-12 Carl Zeiss Meditec, Inc. Method to suppress artifacts in frequency-domain optical coherence tomography
US20070081166A1 (en) 2005-09-29 2007-04-12 Bioptigen, Inc. Portable Optical Coherence Tomography (OCT) Devices and Related Systems
US7400410B2 (en) 2005-10-05 2008-07-15 Carl Zeiss Meditec, Inc. Optical coherence tomography for eye-length measurement
WO2007053971A1 (de) * 2005-11-10 2007-05-18 Haag-Streit Ag Verfahren und vorrichtung zur ermittlung geometrischer werte an einem gegenstand
WO2007065670A2 (de) 2005-12-06 2007-06-14 Carl Zeiss Meditec Ag Interferometrische probenmessung
DE102007046507A1 (de) 2007-09-28 2009-04-02 Carl Zeiss Meditec Ag Kurzkoheränz-Interferometer

Non-Patent Citations (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
CLEO/Pacific Rim 2003
Fercher et al., "Optical coherence tomography-principles and applications", Rep. Prog. Phys. 66(2003), 239-303
Hitzenberger et al., "Measurement of Corneal Thickness by Laser Doppler Interferometry", Investigative Ophthalmology & Visual Science, Vol. 33, No. 1, January 1992
M. Hasegawa et al., "Development of high speed and deep scanning optical coherence tomography system", (IEEE Lasers and Electro-Optics, 2003
Schmetterer et al., "Topical measurement of fundus pulsations", Opt. Eng. 34, 711-716, 1995
The 5th Pacific Rim Conference; Volume 1, Issue, 15-19 Dec. 2003, Page 305
Wang et al. "A low coherence "white light" interferometric sensor for eye length measurement", Review of Scientific Instruments 66(12): 5464-5468
Wojciechowski et al., "Age, Gender, Biometry, Refractive Error, and the Anterior Chamber Angle among Alaskan Eskimos", Ophthalmology Volume 110, Number 2, February 2003
Xinan et al., "Fast-scanning autocorrelator with 1-ns scanning range for characterization of mode-locked ion lasers", Rev. Sci. Instr. 59(9), 1988

Cited By (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US9161687B2 (en) 2010-12-20 2015-10-20 Carl Zeiss Meditec Ag Device for interferometrically measuring the eye length and the anterior eye segment
DE102010055350A1 (de) * 2010-12-20 2012-06-21 Carl Zeiss Meditec Ag Vorrichtung zur interferometrischen Vermessung der Augenlänge und des vorderen Augenabschnitts
DE102012017833A1 (de) * 2012-09-10 2014-03-13 Carl Zeiss Meditec Ag Interferometeroptisches Messsystem und Verfahren zum Messen einer Fehlsichtigkeit eines Auges
DE102012017833B4 (de) * 2012-09-10 2019-07-11 Carl Zeiss Meditec Ag Interferometeroptisches Messsystem und Verfahren zum Messen einer Fehlsichtigkeit eines Auges
EP3081146A1 (de) 2015-04-15 2016-10-19 Novartis AG Vorrichtung zur modellierung von augenstrukturen
WO2016165898A1 (en) 2015-04-15 2016-10-20 Novartis Ag An apparatus for modelling ocular structures
US11659991B2 (en) 2017-04-18 2023-05-30 Ocumax Healthcare Gmbh OCT image capture device
DE102017108193A1 (de) * 2017-04-18 2018-10-18 Rowiak Gmbh OCT-Bilderfassungvorrichtung
DE102017210779A1 (de) * 2017-06-27 2018-12-27 Carl Zeiss Meditec Ag Verfahren und Anordnung zur Korrektur einer Abbildung
DE102018110699A1 (de) * 2018-05-04 2019-11-07 Deutsches Elektronen-Synchrotron Desy Vorrichtung zur Kompensation einer chromatischen Dispersion eines polarisierten Laserstrahls
WO2020016399A1 (de) * 2018-07-19 2020-01-23 Universität Zu Lübeck Verfahren zum monitoring von zeitabhängigen eigenschaften des lichts bei der scannenden swept-source optischen kohärenztomographie
GB2588353A (en) * 2018-07-19 2021-04-21 Optores Gmbh Method for monitoring time-dependent properties of light in scanning swept-source optical coherence tomography
GB2588353B (en) * 2018-07-19 2021-09-22 Optores Gmbh Method for monitoring time-dependent properties of light during scanning swept-source optical coherence tomography
US11262185B2 (en) 2018-07-19 2022-03-01 Optores Gmbh Method for monitoring time-dependent properties of light during scanning swept-source optical coherence tomography

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