CN110799817B - 光学组件 - Google Patents

Abstract

本发明的光学组件(1)包括：包括基体(21)、可动反射镜(22)和固定反射镜(16)的反射镜单元(2)；配置在Z轴方向上的反射镜单元(2)的一侧的分束器单元(3)；使检测光(L0)入射至分束器单元(3)的光入射部(4)；配置在Z轴方向上的分束器单元(3)的一侧，检测从分束器单元(3)出射的检测光的干涉光(L1)的第1光检测器(6)；用于安装反射镜单元(2)的支承体(9)；用于支承分束器单元(3)的第1支承结构(11)；和安装于支承体(9)的、支承第1光检测器(6)的第2支承结构(12)。

Description

光学组件

技术领域

本发明涉及光学组件。

背景技术

作为由SOI(Silicon On Insulator：绝缘体上硅)基片构成的MEMS(MicroElectro Mechanical Systems：微机电系统)器件，已知有构成干涉光学系统的各部在SOI基片形成的光学组件(例如参照专利文献1)。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特表2012-524295号公报

发明内容

发明所要解决的问题

上述那样的光学组件由于能够提供高精度的FTIR(傅立叶变换型红外光谱仪)而受到瞩目。

本发明的目的在于提供能够以简易的结构实现高精度的光谱分析的光学组件。

用于解决问题的方式

本发明的一个方面的光学组件包括：包括具有第1表面的基体、可动反射镜和固定反射镜的反射镜单元，其中可动反射镜以能够沿与第1表面交叉的第1方向移动的方式被支承于基体，固定反射镜相对于基体的位置被固定；分束器单元，其配置在第1方向上的反射镜单元的一侧，与可动反射镜和固定反射镜一起构成干涉光学系统；使从第1光源经测量对象入射的检测光或从测量对象发出的检测光入射至分束器单元的光入射部；第1光检测器，其配置在第1方向上的分束器单元的一侧，检测从分束器单元出射的检测光的干涉光；用于安装反射镜单元的支承体；用于支承分束器单元的第1支承结构；和安装于支承体的、用于支承第1光检测器的第2支承结构。

在该光学组件中，在同一支承体安装包括可动反射镜和固定反射镜的反射镜单元以及支承第1光检测器的第2支承结构。由此，可动反射镜、固定反射镜和第1光检测器的相互的位置关系以支承体为基准设定。因此，例如与“包括可动反射镜和固定反射镜的反射镜单元安装于支承体，支承第1光检测器的第2支承结构安装于反射镜单元或第1支承结构的结构”相比，不易在可动反射镜、固定反射镜和第1光检测器的相互的位置关系中产生偏离。由此，根据该光学组件，能够以简易的结构实现高精度的光谱分析。

在本发明的一个方面的光学组件中，第1支承结构也可以安装于支承体。在这种情况下，包含可动反射镜和固定反射镜的反射镜单元、支承分束器单元的第1支承结构以及支承第1光检测器的第2支承结构安装于同一支承体。由此，分束器单元、可动反射镜、固定反射镜和第1光检测器的相互的位置关系以支承体为基准设定。因此，例如与“包括可动反射镜和固定反射镜的反射镜单元安装于支承体，支承分束器单元的第1支承结构安装于反射镜单元，支承第1光检测器的第2支承结构安装于第1支承结构的结构”相比，不易在分束器单元、可动反射镜、固定反射镜和第1光检测器的相互的位置关系中产生偏离。由此，根据该光学组件，能够以简易的结构实现高精度的光谱分析。

在本发明的一个方面的光学组件中，第1支承结构的至少一部分也可以由反射镜单元构成。由此，能够实现结构的简化。

在本发明的一个方面的光学组件中，也可以为如下结构：分束器单元具有第1反射镜面和第2反射镜面，该第1反射镜面是相对于第1方向倾斜的反射镜面且在第1方向上与固定反射镜相对，该第2反射镜面是与第1反射镜面平行的反射镜面且在第1方向上与可动反射镜相对，第1反射镜面具有将入射光的一部分反射且使入射光的剩余部分透射的功能，第2反射镜面具有将入射光反射的功能。由此，即使第1反射镜面和第2反射镜面的倾斜角度从规定角度有若干偏离，只要向分束器单元入射的检测光的入射角度固定，从分束器单元出射的检测光的干涉光的出射角度就固定。因此，能够使检测光的干涉光从分束器单元向第1方向上的一侧出射。

在本发明的一个方面的光学组件中，第1光检测器也可以以在第1方向上与分束器单元的第1反射镜面相对的方式，配置在第1方向的分束器单元的一侧。由此，即使从分束器单元出射的检测光的干涉光的出射方向从第1方向有若干偏离，也能够使检测光的干涉光向第1光检测器充分入射。

本发明的一个方面的光学组件也可以为如下结构：还包括配置在分束器单元与第1光检测器之间的开口部件，开口部件被第2支承结构支承。由此，不易在开口部件、分束器单元、可动反射镜、固定反射镜和第1光检测器的相互的位置关系中产生偏离。此外，能够将检测光的干涉光中可能成为噪声的外缘部分截断，实现更高精度的光谱分析。进一步，能够关于由第1光检测器检测的检测光的干涉光降低光束面内的相位差的参差不齐。

在本发明的一个方面的光学组件中，也可以为如下结构：光入射部配置在与第1方向交叉的第2方向的分束器单元的一侧，光入射部被第2支承结构支承。由此，不易在光入射部、分束器单元、可动反射镜、固定反射镜和第1光检测器的相互的位置关系中产生偏离。进一步，在令第1方向为铅直方向而使用光学组件，将用于对检测光进行导光的光纤从侧面连接至光入射部的情况下，能够实现该光纤与光入射部的稳定的连接。

本发明的一个方面的光学组件也可以为如下结构：还包括出射要入射到分束器单元的激光的第2光源和检测从分束器单元出射的激光的干涉光的第2光检测器，第2光源和第2光检测器被第2支承结构支承。由此，不易在第2光源、分束器单元、可动反射镜、固定反射镜和第2光检测器的相互的位置关系中产生偏离。因此，能够基于激光的干涉光的检测结果高精度地获取第1方向上的可动反射镜的位置。

本发明的一个方面的光学组件也可以为如下结构：还包括由第2支承结构支承的第1反射镜、第2反射镜和第3反射镜，第2支承结构支承构成第1光检测器的第1光学器件、所述第2光源和第2光检测器中的一者的第2光学器件以及构成第2光源和第2光检测器中的另一者的第3光学器件，使得第1光学器件、第2光学器件和第3光学器件朝向第1方向上的另一侧，并使得按第1光学器件、第2光学器件、第3光学器件的顺序排列，第1反射镜是相对于第1光学器件的光轴倾斜的二向色镜，具有使检测光透射且将激光反射的功能，以与分束器单元和第1光学器件相对的方式配置，第2反射镜是与第1反射镜平行的反射镜，具有将激光的一部分反射且使激光的剩余部分透射的功能，以与第1反射镜和第2光学器件相对的方式配置，第3反射镜是与第2反射镜平行的反射镜，具有将激光反射的功能，以与第2反射镜和第3光学器件相对的方式配置。由此，能够以简易的布局构成关于检测光的干涉光学系统和关于激光的干涉光学系统。进一步，由于检测光的干涉光从为二向色镜的第1反射镜透射而入射第1光检测器，因此即使二向色镜的安装角度从规定角度有若干偏离，也能够使检测光的干涉光充分地射入第1光检测器。

本发明的一个方面的光学组件也可以为如下结构：还包括在配置光入射部与分束器单元之间的滤光器，滤光器具有截断激光的功能，以相对于光入射部的光轴倾斜的状态被第2支承结构支承。由此，即使在检测光中含有与激光相同波段的光，也能够防止该光射入分束器单元，因此能够基于激光的干涉光的检测结果高精度地获取第1方向上的可动反射镜的位置。进一步，由于滤光器相对于光入射部的光轴倾斜，所以能够使与激光相同波段的光向干涉光学系统外反射，可靠地防止该光成为杂散光。

本发明的一个方面的光学组件包括：包括具有第1表面的基体、可动反射镜和固定反射镜的反射镜单元，其中可动反射镜以能够沿与第1表面交叉的第1方向移动的方式被支承于基体，固定反射镜相对于基体的位置被固定；分束器单元，其配置在第1方向上的反射镜单元的一侧，与可动反射镜和固定反射镜一起构成干涉光学系统；配置在第1方向上的分束器单元的一侧，出射要入射到分束器单元的检测光的第1光源；检测从分束器单元出射而经测量对象入射的检测光的干涉光的第1光检测器；用于安装反射镜单元的支承体；用于支承分束器单元的第1支承结构；和安装于支承体的、用于支承第1光源的第2支承结构。

在该光学组件中，包括可动反射镜和固定反射镜的反射镜单元以及支承第1光源的第2支承结构安装于同一支承体。由此，可动反射镜、固定反射镜和第1光源的相互的位置关系以支承体为基准设定。因此，例如与“包括可动反射镜和固定反射镜的反射镜单元安装于支承体，支承第1光源的第2支承结构安装于反射镜单元或第1支承结构的结构”相比，不易在可动反射镜、固定反射镜和第1光源的相互的位置关系中产生偏离。由此，根据该光学组件，能够以简易的结构实现高精度的光谱分析。

发明的效果

根据本发明，能够提供能够以简易的结构实现高精度的光谱分析的光学组件。

附图说明

图1是一个实施方式的光学组件的截面图。

图2是图1所示的反射镜单元的俯视图。

图3是沿图2所示的III-III线的反射镜单元的截面图。

图4是沿图2所示的IV-IV线的反射镜单元的截面图。

图5是沿图2所示的V-V线的反射镜器件的示意的截面图。

图6是图2所示的反射镜器件的局部放大图。

图7是图2所示的光学功能部件的俯视图。

图8是沿图1所示的VIII-VIII线的光学组件的截面图。

图9是沿图1所示的IX-IX线的光学组件的截面图。

图10是图1所示的反射镜单元和分束器单元的示意的截面图。

图11是变形例的分束器单元的截面图。

图12是变形例的反射镜单元的示意的截面图。

图13是变形例的反射镜单元的截面图。

图14是变形例的反射镜单元的截面图。

图15是变形例的反射镜单元的俯视图。

图16是变形例的反射镜器件的俯视图。

图17是变形例的光学功能部件的俯视图。

图18是变形例的反射镜单元的俯视图。

图19是变形例的光学组件的示意的截面图。

具体实施方式

以下，参照附图对本发明的实施方式进行详细说明。其中，在各图中对同一或相当部分标注相同的附图标记，省略重复的部分。

[光学组件的结构]

如图1所示，光学组件1包括反射镜单元2、分束器单元3、光入射部4、第1光检测器6、第2光源7、第2光检测器8、支承体9、第1支承结构11和第2支承结构12。反射镜单元2配置在Z轴方向(第1方向)的支承体9的一侧，例如通过粘接剂安装于支承体9。支承体9例如由铜钨形成，例如呈矩形板状。反射镜单元2包括沿Z轴方向移动的可动反射镜22和位置被固定的固定反射镜16(详细情况后述)。另外，Z轴方向例如为铅直方向，Z轴方向上的一侧例如为上侧。

分束器单元3配置在Z轴方向的反射镜单元2的一侧，被第1支承结构11支承。第1支承结构11例如通过粘接剂安装于支承体9。光入射部4配置在X轴方向(与第1方向交叉的第2方向)的分束器单元3的一侧，被第2支承结构12支承。第1光检测器6、第2光源7和第2光检测器8配置在Z轴方向的分束器单元3的一侧，被第2支承结构12支承。第2支承结构12例如通过螺栓安装于支承体9。

在光学组件1中，由分束器单元3、可动反射镜22和固定反射镜16对检测光L0和激光L10分别构成干涉光学系统结构。对检测光L0和激光L10分别构成的干涉光学系统例如是迈克尔逊干涉光学系统。

对于检测光L0，如下述那样检测检测光的干涉光L1。即，当从第1光源(省略图示)经测量对象(省略图示)射入的检测光L0或从测量对象发出的检测光L0(例如测量对象自身的发光等)从光入射部4向分束器单元3入射时，该检测光L0在分束器单元3被分割为一部分和剩余部分。而且，检测光L0的一部分在沿Z轴方向往复移动的可动反射镜22被反射而返回分束器单元3。另一方面，检测光L0的剩余部分在固定反射镜16被反射而返回分束器单元3。返回分束器单元3后的检测光L0的一部分和剩余部分作为干涉光L1从分束器单元3射出，该检测光的干涉光L1由第1光检测器6检测。

对于激光L10，如下述那样检测激光的干涉光L11。即，当从第2光源7射出的激光L10向分束器单元3入射时，该激光L10在分束器单元3被分割为一部分和剩余部分。而且，激光L10的一部分在沿Z轴方向往复移动的可动反射镜22被反射而返回分束器单元3。另一方面，激光L10的剩余部分在固定反射镜16被反射而返回分束器单元3。返回分束器单元3后的激光L10的一部分和剩余部分作为干涉光L11从分束器单元3射出，该激光的干涉光L11由第2光检测器8检测。

根据光学组件1，能够基于激光的干涉光L11的检测结果进行Z轴方向上的可动反射镜22的位置的测算，能够基于其位置的测算结果和检测光的干涉光L1的检测结果进行对测量对象的光谱分析。

[反射镜单元的结构]

如图2、图3和图4所示，反射镜单元2具有反射镜器件20、光学功能部件13、固定反射镜16和应力缓和基片17。反射镜器件20包括基体21、可动反射镜22和驱动部23。

基体21具有第1表面21a(Z轴方向上的一侧的表面)和与第1表面21a相反侧的第2表面21b。第1表面21a和第2表面21b分别为基体21的主面。基体21例如呈矩形板状，例如具有10mm×15mm×0.35mm(厚度)左右的尺寸。可动反射镜22具有反射镜面22a和配置有反射镜面22a的可动部22b。可动反射镜22以能够沿与第1表面21a垂直的Z轴方向(第1表面交叉的第1方向)移动的方式在基体21被支承。驱动部23使可动反射镜22沿Z轴方向移动。

在反射镜器件20设置有一对光通过部24、25。一对光通过部24、25配置在X轴方向上的可动反射镜22的两侧。光通过部24构成分束器单元3与固定反射镜16之间的光路的第1部分。另外，在本实施方式中，光通过部25不用作光通过部。

此处，参照图2、图5和图6对反射镜器件20的结构进行详细说明。另外，图5是图3所示的反射镜器件20的示意的截面图，在图5中，例如在Z轴方向上的尺寸与实际相比被放大的状态下示意地表示反射镜器件20。

基体21、可动反射镜22的可动部22b和驱动部23由SOI(Silicon On Insulator：绝缘体上硅)基片(半导体基片)100构成。即，反射镜器件20由SOI基片100构成。反射镜器件20例如形成为矩形板状。SOI基片100具有支承层101、器件层102和中间层103。支承层101为第1硅层(第1半导体层)。器件层102为第2硅层(第2半导体层)。中间层103为配置在支承层101与器件层102之间的绝缘层。SOI基片100从Z轴方向上的一侧起依次具有支承层101、中间层103和器件层102。

基体21由支承层101、器件层102和中间层103的一部分构成。基体21的第1表面21a是支承层101的与中间层103相反侧的表面。基体21的第2表面21b是器件层102的与中间层103相反侧的表面。构成基体21的支承层101比构成基体21的器件层102厚。构成基体21的支承层101的厚度例如为构成基体21的器件层102的厚度的4倍左右。在反射镜单元2，如后述那样，基体21的第2表面21b与光学功能部件13的第3表面13a相互接合(参照图3和图4)。

可动反射镜22以轴线R1与轴线R2的交点为中心位置(重心位置)地配置。轴线R1为沿X轴方向延伸的直线。轴线R2为沿Y轴方向延伸的直线。在从Z轴方向看时，反射镜器件20中与后述的基体21的第6表面21d重叠的部分以外的部分关于轴线R1和轴线R2分别呈线对称的形状。

可动反射镜22(可动部22b)具有配置部221、框部222、一对连结部223和梁部224。配置部221、框部222和一对连结部223由器件层102的一部分构成。配置部221在从Z轴方向看时呈圆形。配置部221具有中央部221a和外缘部221b。在中央部221a的Z轴方向的一侧的表面221as上，例如通过形成金属膜(金属层)而设置有反射镜面22a。反射镜面22a与Z轴方向垂直地延伸，呈圆形。中央部221a的表面221as为器件层102的中间层103侧的表面。反射镜面22a位于基体21的与第1表面21a相比的Z轴方向上的另一侧。换言之，第1表面21a比反射镜面22a更靠Z轴方向的一侧。外缘部221b在从Z轴方向看时包围中央部221a。

框部222以从Z轴方向看时从配置部221空出规定的间隔包围配置部221的方式、呈环状延伸。框部222例如从在Z轴方向看时呈圆环状。一对连结部223分别将配置部221与框部222相互连结。一对连结部223配置在Y轴方向上的配置部221的两侧。

梁部224由配置在器件层102上的支承层101和中间层103构成。梁部224具有内侧梁部224a、外侧梁部224b和一对连结梁部224c。内侧梁部224a配置在外缘部221b的Z轴方向的一侧的表面上。在从Z轴方向看时，内侧梁部224a包围反射镜面22a。例如在从Z轴方向看时，内侧梁部224a的外缘从配置部221的外缘空出规定的间隔而沿配置部221的外缘延伸。在从Z轴方向看时，内侧梁部224a的内缘从反射镜面22a的外缘空出规定的间隔而沿反射镜面22a的外缘延伸。内侧梁部224a的Z轴方向的一侧的端面224as比反射镜面22a更靠Z轴方向的一侧。

外侧梁部224b配置在框部222的Z轴方向的一侧的表面上。外侧梁部224b在从Z轴方向看时包围内侧梁部224a，进而包围反射镜面22a。例如在从Z轴方向看时，外侧梁部224b的外缘从框部222的外缘空出规定的间隔而沿框部222的外缘延伸。在从Z轴方向看时，外侧梁部224b的内缘从框部222的内缘空出规定的间隔而沿框部222的内缘延伸。外侧梁部224b的Z轴方向的一侧的端面224bs比反射镜面22a更靠Z轴方向的一侧。

一对连结梁部224c分别配置在一对连结部223的Z轴方向的一侧的表面上。各连结梁部224c将内侧梁部224a与外侧梁部224b相互连结。连结梁部224c的Z轴方向上的一侧的端面224cs比反射镜面22a更靠Z轴方向的一侧。

Z轴方向的内侧梁部224a、外侧梁部224b和各连结梁部224c的厚度彼此相等。即，构成内侧梁部224a、外侧梁部224b和各连结梁部224c的支承层101的厚度彼此相等。内侧梁部224a的端面224as、外侧梁部224b的端面224bs和各连结梁部224c的端面224cs位于与Z轴方向垂直的同一平面上。构成内侧梁部224a、外侧梁部224b和各连结梁部224c的支承层101比构成基体21的支承层101薄。由此，端面224as、224bs、224cs位于基体21的与第1表面21a相比的Z轴方向上的一侧。换言之，第1表面21a比端面224as、224bs、224cs更靠Z轴方向的另一侧。

在从Z轴方向看时，外侧梁部224b的宽度比内侧梁部224a的宽度宽。从Z轴方向看时的内侧梁部224a的宽度是与内侧梁部224a的延伸方向垂直的方向上的内侧梁部224a的长度，在本实施方式中是内侧梁部224a的半径方向上的内侧梁部224a的长度。这一点对从Z轴方向看时的外侧梁部224b的宽度而言也一样。各连结梁部224c的宽度比内侧梁部224a和外侧梁部224b各自的宽度宽。各连结梁部224c的宽度是沿内侧梁部224a的延伸方向的各连结梁部224c的长度。

驱动部23具有第1弹性支承部26、第2弹性支承部27和致动器部28。第1弹性支承部26、第2弹性支承部27和致动器部28由器件层102的一部分构成。

第1弹性支承部26和第2弹性支承部27分别连接至基体21与可动反射镜22之间。第1弹性支承部26和第2弹性支承部27以使得可动反射镜22(可动部22b)能够沿Z轴方向移动的方式支承可动反射镜22。

第1弹性支承部26具有一对杆261、第1连杆部件262、第2连杆部件263、一对梁部件264、中间部件265、一对第1扭杆(第1扭转支承部)266、一对第2扭杆(第2扭转支承部)267、一对非线形性缓和弹簧268和多个电极支承部269。

一对杆261配置在Y轴方向的光通过部24的两侧，在Y轴方向上彼此相对。各杆261呈沿与Z轴方向垂直的平面延伸的板状。各杆261具有第1部分261a、相对于第1部分261a配置在与可动反射镜22相反一侧的第2部分261b以及与第1部分261a和第2部分261b连接的第3部分261c。第1部分261a和第2部分261b沿X轴方向延伸。X轴方向上的第1部分261a的长度比X轴方向上的第2部分261b的长度短。一对杆261的第3部分261c以离可动反射镜22越远相互分得越开的方式倾斜地延伸。

第1连杆部件262架设于一对杆261的与可动反射镜22相反一侧的第1端部261d间。第1连杆部件262呈沿与Z轴方向垂直的平面延伸的板状，沿Y轴方向延伸。第2连杆部件263架设于一对杆261的可动反射镜22侧的第2端部261e间。第2连杆部件263呈沿与Z轴方向垂直的平面延伸的板状，沿Y轴方向延伸。X轴方向上的第2连杆部件263的宽度比X轴方向上的第1连杆部件262的宽度窄。Y轴方向上的第2连杆部件263的长度比Y轴方向上的第1连杆部件262的长度短。

一对梁部件264分别架设于一对杆261的第2部分261b与第1连杆部件262之间。各梁部件264呈沿与Z轴方向垂直的平面延伸的板状。一对梁部件264以离可动反射镜22越远相互越靠近的方式倾斜地延伸。一对杆261、第1连杆部件262、第2连杆部件263和一对梁部件264划分出光通过部24。在从Z轴方向看时光通过部24呈多边形状。光通过部24例如为空洞(孔)。或者，也可以在光通过部24内配置相对于检测光L0和激光L10具有透光性的材料。

中间部件265呈沿与Z轴方向垂直的平面延伸的板状，沿Y轴方向延伸。中间部件265配置在可动反射镜22与第2连杆部件263之间(换言之，可动反射镜22与光通过部24之间)。中间部件265如后述那样，通过非线形性缓和弹簧268与可动反射镜22连接。

一对第1扭杆266分别架设于一个杆261的第1端部261d与基体21之间和另一个杆261的第1端部261d与基体21之间。即，一对第1扭杆266分别连接至一对杆261与基体21之间。各第1扭杆266沿Y轴方向延伸。一对第1扭杆266配置在与Y轴方向平行的同一中心线上。在本实施方式中，各第1扭杆266的中心线与第1连杆部件262的中心线位于同一直线上。在各杆261的第1端部261d设置有向Y轴方向的外侧突出的突出部261f，各第1扭杆266与突出部261f连接。

一对第2扭杆267分别架设于一个杆261的第2端部261e与中间部件265的一端之间和另一个杆261的第2端部261e与中间部件265的另一端之间。即，一对第2扭杆267分别连接至一对杆261与可动反射镜22之间。各第2扭杆267沿Y轴方向延伸。一对第2扭杆267配置在与Y轴方向平行的同一中心线上。

一对非线形性缓和弹簧268连接至可动反射镜22与中间部件265之间。即，一对非线形性缓和弹簧268连接至可动反射镜22与第2扭杆267之间。各非线形性缓和弹簧268具有在从Z轴方向看时蜿蜒延伸的蜿蜒部268a。蜿蜒部268a在Y轴方向上延伸，包括在X轴方向上排列的多个直线状部分268b和将多个直线状部分268b的两端交替连结的多个折叠部分268c。蜿蜒部268a的一端与中间部件265连接，蜿蜒部268a的另一端与框部222连接。蜿蜒部268a的框部222一侧的部分呈沿框部222的外缘形成的形状。

非线形性缓和弹簧268以如下方式构成：在可动反射镜22在Z轴方向上移动了的状态下，Y轴方向周围的非线形性缓和弹簧268的变形量比Y轴方向周围的第1扭杆266和第2扭杆267各自的变形量小，且X轴方向的非线形性缓和弹簧268的变形量比X轴方向的第1扭杆266和第2扭杆267各自的变形量大。由此，能够抑制在第1扭杆266和第2扭杆267的扭转变形中产生非线形性，能够抑制起因于该非线形性的可动反射镜22的控制特性的下降。另外，Y轴方向周围的第1扭杆266、第2扭杆267和非线形性缓和弹簧268的变形量例如是指扭转量(扭转角度)的绝对值。X轴方向的第1扭杆266、第2扭杆267和非线形性缓和弹簧268的变形量例如是指挠曲量的绝对值。Y轴方向周围的某部件的变形量是指以从该部件的中心通过且与Y轴平行的轴线为中心的圆的周向上的该部件的变形量。这些对后述的第1扭杆276、第2扭杆277和非线形性缓和弹簧278而言也一样。

多个电极支承部269包括一对第1电极支承部269a、一对第2电极支承部269b和一对第3电极支承部269c。各电极支承部269a、269b、269c呈沿与Z轴方向垂直的平面延伸的板状，沿Y轴方向延伸。各电极支承部269a、269b、269c从杆261的第2部分261b起向与光通过部24相反的一侧延伸。一对第1电极支承部269a配置在与Y轴方向平行的同一中心线上。一对第2电极支承部269b配置在与Y轴方向平行的同一中心线上。一对第3电极支承部269c配置在与Y轴方向平行的同一中心线上。在X轴方向上，第1电极支承部269a、第2电极支承部269b和第3电极支承部269c从可动反射镜22侧起依次排列地配置。

第2弹性支承部27具有一对杆271、第1连杆部件272、第2连杆部件273、一对梁部件274、中间部件275、一对第1扭杆(第1扭转支承部)276、一对第2扭杆(第2扭转支承部)277、一对非线形性缓和弹簧278和多个电极支承部279。

一对杆271配置在Y轴方向的光通过部25的两侧，在Y轴方向上彼此相对。各杆271呈沿与Z轴方向垂直的平面延伸的板状。各杆271具有第1部分271a、配置在相对于第1部分271a与可动反射镜22相反侧的第2部分271b以及与第1部分271a和第2部分261b连接的第3部分271c。第1部分271a和第2部分271b沿X轴方向延伸。X轴方向上的第1部分271a的长度比X轴方向上的第2部分271b的长度短。一对杆271的第3部分271c以离可动反射镜22越远彼此分得越开的方式倾斜地延伸。

第1连杆部件272架设于一对杆271的与可动反射镜22相反一侧的第1端部271d间。第1连杆部件272呈沿与Z轴方向垂直的平面延伸的板状，沿Y轴方向延伸。第2连杆部件273架设于一对杆271的可动反射镜22侧的第2端部271e间。第2连杆部件273呈沿与Z轴方向垂直的平面延伸的板状，沿Y轴方向延伸。X轴方向的第2连杆部件273的宽度比X轴方向的第1连杆部件272的宽度窄。Y轴方向的第2连杆部件273的长度比Y轴方向的第1连杆部件272的长度短。

一对梁部件274分别架设于一对杆271的第2部分271b与第1连杆部件272之间。各梁部件274呈沿与Z轴方向垂直的平面延伸的板状。一对梁部件274以离可动反射镜22越远相互越靠近的方式倾斜地延伸。一对杆271、第1连杆部件272、第2连杆部件273和一对梁部件274划分出光通过部25。在从Z轴方向看时光通过部25呈多边形状。光通过部25例如为空洞(孔)。或者，在光通过部25内也可以配置有相对于检测光L0和激光L10具有透光性的材料。

中间部件275呈沿与Z轴方向垂直的平面延伸的板状，沿Y轴方向延伸。中间部件275配置在可动反射镜22与第2连杆部件273之间(换言之，可动反射镜22与光通过部25之间)。中间部件275如后述那样，通过非线形性缓和弹簧278与可动反射镜22连接。

一对第1扭杆276分别架设于一个杆271的第1端部271d与基体21之间和另一个杆271的第1端部271d与基体21之间。即，一对第1扭杆276分别连接至一对杆271与基体21之间。各第1扭杆276沿Y轴方向延伸。一对第1扭杆276配置在与Y轴方向平行的同一中心线上。在本实施方式中，各第1扭杆276的中心线与第1连杆部件272的中心线位于同一直线上。在各杆271的第1端部271d设置有向Y轴方向的外侧突出的突出部271f，各第1扭杆276与突出部271f连接。

一对第2扭杆277分别架设于一个杆271的第2端部271e与中间部件275的一端之间和另一个杆271的第2端部271e与中间部件275的另一端之间。即，一对第2扭杆277分别连接至一对杆271与可动反射镜22之间。各第2扭杆277沿Y轴方向延伸。一对第2扭杆277配置在与Y轴方向平行的同一中心线上。

一对非线形性缓和弹簧278连接在可动反射镜22与中间部件275之间。即，一对非线形性缓和弹簧278连接在可动反射镜22与第2扭杆277之间。各非线形性缓和弹簧278具有在从Z轴方向看时蜿蜒地延伸的蜿蜒部278a。蜿蜒部278a包括向Y轴方向延伸而在X轴方向上排列的多个直线状部分278b和交替地连结多个直线状部分278b的两端的多个折叠部分278c。蜿蜒部278a的一端与中间部件275连接，蜿蜒部278a的另一端与框部222连接。蜿蜒部278a的框部222侧的部分呈沿框部222的外缘形成的形状。

非线形性缓和弹簧278以以下方式构成：在可动反射镜22向Z轴方向移动了的状态下，Y轴方向周围的非线形性缓和弹簧278的变形量小于Y轴方向周围的第1扭杆276和第2扭杆277各自的变形量，且X轴方向的非线形性缓和弹簧278的变形量大于X轴方向的第1扭杆276和第2扭杆277各自的变形量。由此，能够抑制在第1扭杆276和第2扭杆277的扭转变形产生非线形性，能够抑制起因于该非线形性的可动反射镜22的控制特性的降低。

多个电极支承部279包括一对第1电极支承部279a、一对第2电极支承部279b和一对第3电极支承部279c。各电极支承部279a、279b、279c呈沿与Z轴方向垂直的平面延伸的板状，沿Y轴方向延伸。各电极支承部279a、279b、279c从杆271的第2部分271b起向与光通过部25相反的一侧延伸。一对第1电极支承部279a配置在与Y轴方向平行的同一中心线上。一对第2电极支承部279b配置在与Y轴方向平行的同一中心线上。一对第3电极支承部279c配置在与Y轴方向平行的同一中心线上。在X轴方向上，第1电极支承部279a、第2电极支承部279b和第3电极支承部279c从可动反射镜22侧起依次排列地配置。

致动器部28使可动反射镜22沿Z轴方向移动。致动器部28具有固定梳齿电极281、可动梳齿电极282、固定梳齿电极283和可动梳齿电极284。固定梳齿电极281、283的位置固定。可动梳齿电极282、284随着可动反射镜22的移动而移动。

固定梳齿电极281设置于基体21的器件层102的与电极支承部269相对的表面的一部分。固定梳齿电极281具有沿与Y轴方向垂直的平面延伸的多个固定梳齿281a。这些固定梳齿281a在Y轴方向上空出规定的间隔并列配置。

可动梳齿电极282设置在在各第1电极支承部269a的可动反射镜22侧的表面、各第2电极支承部269b的X轴方向的两个侧的表面和各第3电极支承部269c的可动反射镜22侧的表面。可动梳齿电极282具有沿与Y轴方向垂直的平面延伸的多个可动梳齿282a。这些可动梳齿282a在Y轴方向上空出规定的间隔并列配置。

在固定梳齿电极281和可动梳齿电极282，交错地配置有多个固定梳齿281a和多个可动梳齿282a。即，固定梳齿电极281的各固定梳齿281a位于可动梳齿电极282的可动梳齿282a间。相邻的固定梳齿281a与可动梳齿282a在Y轴方向上彼此相对。相邻的固定梳齿281a与可动梳齿282a之间的距离例如为几μm左右。

固定梳齿电极283设置于基体21的器件层102的与电极支承部279相对的表面的一部分。固定梳齿电极283具有沿与Y轴方向垂直的平面延伸的多个固定梳齿283a。这些固定梳齿283a在Y轴方向上空出规定的间隔并列配置。

可动梳齿电极284设置在各第1电极支承部279a的可动反射镜22侧的表面、各第2电极支承部279b的X轴方向的两个侧的表面和各第3电极支承部279c的可动反射镜22侧的表面。可动梳齿电极284具有沿与Y轴方向垂直的平面延伸的多个可动梳齿284a。这些可动梳齿284a在Y轴方向上空出规定的间隔并列配置。

在固定梳齿电极283和可动梳齿电极284交替地配置有多个固定梳齿283a和多个可动梳齿284a。即，固定梳齿电极283的各固定梳齿283a位于可动梳齿电极284的可动梳齿284a间。相邻的固定梳齿283a与可动梳齿284a在Y轴方向上彼此相对。相邻的固定梳齿283a与可动梳齿284a之间的距离例如为几μm左右。

在基体21设置有多个电极垫211。各电极垫211在以到达器件层102的方式在基体21的第1表面21a形成的开口213内、配置在器件层102的表面上。多个电极垫211中的一些电极垫211通过器件层102与固定梳齿电极281或固定梳齿电极283电连接。多个电极垫211中的另一些电极垫211通过第1弹性支承部26或第2弹性支承部27与可动梳齿电极282或可动梳齿电极284电连接。此外，在基体21设置有作为接地电极使用的一对电极垫212。一对电极垫212以位于Y轴方向的可动反射镜22的两侧的方式配置在第1表面21a上。

在以上那样构成的反射镜器件20中，通过后述的引线接脚113和线缆(省略图示)，向驱动部23输入用于使可动反射镜22沿Z轴方向移动的电信号。由此，例如在彼此相对的固定梳齿电极281与可动梳齿电极282之间和彼此相对的固定梳齿电极283与可动梳齿电极284产生静电力，以使得可动反射镜22向Z轴方向上的一侧移动。此时，在第1弹性支承部26和第2弹性支承部27，第1扭杆266、276、第2扭杆267、277扭转，在第1弹性支承部26和第2弹性支承部27产生弹性力。在反射镜器件20，通过对驱动部23赋予周期电信号，能够沿Z轴方向使可动反射镜22以其共振频率水平往复移动。这样，驱动部23用作静电致动器。

如图2、图3、图4和图7所示，光学功能部件13具有与基体21的第2表面21b相对的第3表面13a(Z轴方向上的一侧的表面)和与第3表面13a相反的一侧的第4表面13b。在从Z轴方向看时，光学功能部件13的外缘13c位于基体21的外缘21c的外侧。即，在从Z轴方向看时，光学功能部件13的外缘13c包围基体21的外缘21c。光学功能部件13由相对于检测光L0和激光L10具有透光性的材料一体地形成。光学功能部件13例如由玻璃形成为矩形板状，例如具有15mm×20mm×4mm(厚度)左右的尺寸。另外，光学功能部件13的材料例如根据光学组件1的灵敏度波长来选择，在光学组件1的灵敏度波长处于近红外区域的情况下为玻璃，在光学组件1的灵敏度波长处于中红外区域的情况下为硅。

在光学功能部件13设置有一对光透射部14、15。光透射部14是光学功能部件13中的在Z轴方向上与反射镜器件20的光通过部24相对的部分。光透射部15是光学功能部件13中的在Z轴方向上与反射镜器件20的光通过部25相对的部分。光透射部14的反射镜器件20侧的表面14a和光透射部15的反射镜器件20侧的表面15a与第3表面13a位于同一平面上。光透射部14构成分束器单元3与固定反射镜16之间的光路的第2部分。光透射部14是对在分束器单元3与可动反射镜22之间的光路和分束器单元3与固定反射镜16之间的光路之间产生的光程差进行修正的部分。另外，在本实施方式中，光透射部15不用作光透射部。

光学功能部件13具有与反射镜器件20的可动反射镜22和驱动部23相对的第5表面13d。第5表面13d与第3表面13a相比更靠第4表面13b侧。在从Z轴方向看时，第5表面13d延伸至光学功能部件13的外缘13c。在本实施方式中，第5表面13d包围各光透射部14、15的反射镜器件20侧的端部，并且分别延伸至光学功能部件13的外缘13c中的沿Y轴方向(与第1方向和第2方向交叉的方向)延伸的一对对边。

光学功能部件13的第3表面13a通过直接结合(例如，等离子体活性化接合(PlasmaActivation Bonding)、表面活性化接合(SAB：Surface-activated Room-temperatureBonding)、原子扩散接合(ADB：Atomic Diffusion Bonding)、阳极接合(Anodic Bonding)、熔融接合(Fusion Bonding)、亲水化接合(Hydrophilic Bonding)等)与基体21的第2表面21b接合。在本实施方式中，第3表面13a在Y轴方向的第5表面13d的两侧，以与设置在基体21的多个电极垫211、212相对的方式延伸。此处，第5表面13d与第3表面13a相比更靠第4表面13b侧，因此第5表面13d在与可动反射镜22和驱动部23相对的区域离开反射镜器件20。此外，光透射部14的表面14a和光透射部15的表面15a分别与反射镜器件20的光通过部24、25相对。由此，在反射镜单元2防止在可动反射镜22沿Z轴方向往复移动时可动反射镜22和驱动部23与光学功能部件13接触。

另外，在反射镜器件20的基体21，设置有在光学功能部件13的第3表面13a与基体21的第2表面21b相互接合的状态下离开光学功能部件13的第6表面21d。第6表面21d在包含从Z轴方向看时的基体21的外缘的至少一部分的区域离开光学功能部件13。在本实施方式中，第6表面21d通过沿基体21的外缘中沿Y轴方向延伸的一个边通过蚀刻除去器件层102和中间层103而形成。此外，在光学功能部件13的第3表面13a形成有多个基准孔13e。在本实施方式中，多个基准孔13e以与基体21具有的多个角部分别对应的方式在第3表面13a形成。在光学功能部件13的第3表面13a与基体21的第2表面21b相互接合时，通过把持基体21中与第6表面21d对应的部分实施反射镜器件20的操作，以在第3表面13a形成的多个基准孔13e为基准，调节X轴方向和Y轴方向上的反射镜器件20的位置和与Z轴方向垂直的平面内的反射镜器件20的角度。

如图3和图4所示，固定反射镜16配置在相对于光学功能部件13与反射镜器件20相反的一侧，相对于反射镜器件20的基体21的位置固定。固定反射镜16例如通过蒸镀在光学功能部件13的第4表面13b形成。固定反射镜16具有与Z轴方向垂直的反射镜面16a。在本实施方式中，可动反射镜22的反射镜面22a和固定反射镜16的反射镜面16a朝向Z轴方向上的一侧(分束器单元3侧)。另外，固定反射镜16以将从光学功能部件13的各光透射部14、15透射的光反射的方式，与光学功能部件13的第4表面13b连续地形成，不过也可以分别设置将从光透射部14透射的光反射的固定反射镜和将从光透射部15透射的光反射的固定反射镜。

应力缓和基片17通过固定反射镜16安装在光学功能部件13的第4表面13b。应力缓和基片17例如利用粘接剂安装在固定反射镜16。在从Z轴方向看时，应力缓和基片17的外缘位于光学功能部件13的外缘13c的外侧。即，在从Z轴方向看时，应力缓和基片17的外缘包围光学功能部件13的外缘13c。应力缓和基片17的热膨胀系数相比光学功能部件13的热膨胀系数更接近反射镜器件20的基体21的热膨胀系数(更具体而言为支承层101的热膨胀系数)。此外，应力缓和基片17的厚度相比光学功能部件13的厚度更接近反射镜器件20的基体21的厚度。应力缓和基片17例如使用硅形成为矩形板状，具有例如16mm×21mm×0.65mm(厚度)左右的尺寸。

在如以上那样构成的反射镜单元2，如图1所示，应力缓和基片17的与光学功能部件13相反一侧的表面例如通过粘接剂固定在支承体9的表面9a(Z轴方向上的一侧的表面)，由此安装于支承体9。在反射镜单元2安装于支承体9时，如图8所示那样，以在支承体9形成的基准孔9b为基准，调节X轴方向和Y轴方向的反射镜器件20的位置和与Z轴方向垂直的平面内的反射镜器件20的角度。另外，在图8中省略第2支承结构12的图示。

[第1支承结构和分束器单元的结构]

如图1和图8所示，第1支承结构11具有框体111、光透射部件112和多个引线接脚113。框体111以在从Z轴方向看时包围反射镜单元2的方式形成，例如通过银焊料等粘接剂安装在支承体9的表面9a。框体111例如由陶瓷形成，例如呈矩形框状。框体111的与支承体9相反的一侧的端面111a与反射镜器件20的基体21的第1表面21a相比更靠与支承体9相反的一侧。

光透射部件112以封闭框体111的开口的方式形成，例如通过粘接剂安装在框体111的端面111a。光透射部件112由相对于检测光L0和激光L10具有透射性的材料形成，例如呈矩形板状。此处，框体111的端面111a与反射镜器件20的基体21的第1表面21a相比更靠与支承体9相反的一侧，因此光透射部件112离开反射镜器件20。由此，在光学组件1防止在可动反射镜22沿Z轴方向往复移动时可动反射镜22和驱动部23与光透射部件112接触。另外，在光学组件1中，由支承体9、框体111和光透射部件112构成收纳反射镜单元2的封装件。

各引线接脚113以一个端部113a位于框体111的内侧且另一个端部(省略图示)位于框体111的外侧的方式设置在框体111。引线接脚113的一个端部113a在反射镜器件20通过线缆(省略图示)与对应于该引线接脚113的电极垫211、212电连接。在光学组件1，用于使可动反射镜22沿Z轴方向移动的电信号通过多个引线接脚113输入驱动部23。在本实施方式中，在框体111形成有在Y轴方向上的光学功能部件13的两侧沿X轴方向延伸的阶差面111b，各引线接脚113的一个端部113a配置于阶差面111b。各引线接脚113在Y轴方向上的支承体9的两侧沿Z轴方向延伸，各引线接脚113的另一个端部与支承体9相比更靠Z轴方向的另一侧。

如图10所示，分束器单元3例如通过兼用作折射率匹配剂的光学粘接剂安装在光透射部件112的与反射镜器件20相反的一侧的表面112a。分束器单元3具有第1反射镜面31、第2反射镜面32和多个光学面33a、33b、33c、33d。分束器单元3通过接合多个光学块34、35而构成。各光学块34、35由折射率与光学功能部件13相同或类似的材料形成。另外，图10是图1所示的反射镜单元2和分束器单元3的示意的截面图，在图10中，例如在Z轴方向上的尺寸放大至大于实际的状态下示意地表示反射镜器件20。

第1反射镜面31是相对于Z轴方向倾斜的反射镜面(例如，半反射镜面)，形成在光学块34与光学块35之间。在本实施方式中，第1反射镜面31是与Y轴方向平行的面，且是与Z轴方向成45°的角度的面，是以越靠近反射镜器件20越远离光入射部4的方式倾斜的面。第1反射镜面31具有将检测光L0的一部分反射且使检测光L0的剩余部分透射的功能(将入射光的一部分反射且使入射光的剩余部分透射的功能)和将激光L10的一部分反射且使激光L10的剩余部分透射的功能(将入射光的一部分反射且使入射光的剩余部分透射的功能)。第1反射镜面31例如由电介质多层膜形成。在从Z轴方向看时，第1反射镜面31与反射镜器件20的光通过部24、光学功能部件13的光透射部14和固定反射镜16的反射镜面16a重叠，且在从X轴方向看时与光入射部4重叠(参照图1)。即，第1反射镜面31在Z轴方向上与固定反射镜16相对，且在X轴方向与光入射部4相对。

第2反射镜面32是与第1反射镜面31平行的反射镜面(例如全反射反射镜面)，以相对于第1反射镜面31位于与光入射部4相反的一侧的方式在光学块35形成。第2反射镜面32具有反射检测光L0的功能和反射激光L10的功能。第2反射镜面32例如由金属膜形成。在从Z轴方向看时，第2反射镜面32与反射镜器件20的可动反射镜22的反射镜面22a重叠，且在从X轴方向看时与第1反射镜面31重叠。即，第2反射镜面32在Z轴方向上与可动反射镜22相对，且在X轴方向上与第1反射镜面31相对。

光学面33a是与Z轴方向垂直的面，以相对于第1反射镜面31位于与反射镜器件20相反侧的方式在光学块35形成。光学面33b是与Z轴方向垂直的面，以相对于第2反射镜面32位于反射镜器件20侧的方式在光学块35形成。光学面33c是与Z轴方向垂直的面，以相对于第1反射镜面31位于反射镜器件20侧的方式在光学块34形成。光学面33b和光学面33c位于同一平面上。光学面33d是与X轴方向垂直的面，以相对于第1反射镜面31位于光入射部4侧的方式在光学块34形成。各光学面33a、33b、33c、33d具有使检测光L0透射的功能和使激光L10透射的功能。

如以上那样构成的分束器单元3通过位于同一平面上的光学面33b和光学面33c例如利用光学粘接剂固定在光透射部件112的表面112a而安装于光透射部件112。在光透射部件112安装分束器单元3时，如图9所示那样，以在支承体9形成的基准孔9b为基准，调节X轴方向和Y轴方向上的分束器单元3的位置和与Z轴方向垂直的平面内的分束器单元3的角度。另外，在图9中省略图示第2支承结构12。

此处，参照图10对反射镜单元2和分束器单元3的检测光L0的光路和激光L10的光路进行详细说明。

如图10所示，当检测光L0通过光学面33d沿X轴方向向分束器单元3入射时，检测光L0的一部分从第1反射镜面31透射，在第2反射镜面32反射，通过光学面33b和光透射部件112到达可动反射镜22的反射镜面22a。该检测光L0的一部分在可动反射镜22的反射镜面22a反射，在同一光路P1上向反方向行进而在第1反射镜面31反射。检测光L0的剩余部分在第1反射镜面31反射，通过光学面33c、光透射部件112、反射镜器件20的光通过部24和光学功能部件13的光透射部14，到达固定反射镜16的反射镜面16a。该检测光L0的剩余部分在固定反射镜16的反射镜面16a反射，在同一光路P2上向反方向行进而从第1反射镜面31透射。在第1反射镜面31反射后的检测光L0的一部分和从第1反射镜面31透射后的检测光L0的剩余部分成为干涉光L1，该检测光的干涉光L1通过光学面33a从分束器单元3沿Z轴方向射出。

另一方面，当激光L10通过光学面33a沿Z轴方向向分束器单元3入射时，激光L10的一部分在第1反射镜面31和第2反射面32反射，通过光学面33b和光透射部件112到达可动反射镜22的反射镜面22a。该激光L10的一部分在可动反射镜22的反射镜面22a反射，在同一光路P3上向反方向行进而在第1反射镜面31反射。激光L10的剩余部分从第1反射镜面31透射，通过光学面33c、光透射部件112、反射镜器件20的光通过部24和光学功能部件13的光透射部14，到达固定反射镜16的反射镜面16a。该激光L10的剩余部分在固定反射镜16的反射镜面16a反射，在同一光路P4上向反方向行进而从第1反射镜面31透射。在第1反射镜面31反射后的激光L10的一部分和从第1反射镜面31透射后的激光L10的剩余部分成为干涉光L11，该激光的干涉光L11通过光学面33a从分束器单元3沿Z轴方向射出。

如上所述，反射镜器件20的光通过部24构成分束器单元3与固定反射镜16之间的光路中的、检测光L0的光路P2的第1部分P2a和激光L10的光路P4的第1部分P4a。此外，光学功能部件13的光透射部14构成分束器单元3与固定反射镜16之间的光路中的、检测光L0的光路P2的第2部分P2b和激光L10的光路P4的第2部分P4b。

通过由光透射部14构成检测光L0的光路P2的第2部分P2b，修正两个光路P1、P2间的光程差，使得检测光L0的光路P1的光路长度(考虑了该光路通过的各介质的折射率的光程长度)与检测光L0的光路P2的光程长度的差变小。同样，通过由光透射部14构成激光L10的光路P4的第2部分P4b修正两个光路P3、P4间的光程差，使得激光L10的光路P3的光程长度与激光L10的光路P4的光程长度的差变小。在本实施方式中，光透射部14的折射率与构成分束器单元3的各光学块的折射率相等，沿着X轴方向的第1反射镜面31与第2反射镜面32的距离与沿着Z轴方向的光透射部14的厚度(即，沿着Z轴方向的光透射部14的表面14a与光学功能部件13的第4表面13b的距离)相等。

[第2支承结构和光入射部等的结构]

如图1所示，第2支承结构12具有连结单元120。连结单元120包括主体部121、框体122和固定板123。主体部121包括一对侧壁部124、125和顶壁部126。一对侧壁部124、125在X轴方向上彼此相对。在X轴方向上的一侧的侧壁部124形成有开口124a。顶壁部126在Z轴方向上与支承体9相对。在顶壁部126形成有开口126a。主体部121例如使用金属一体地形成。在主体部121设置有多个定位销121a。主体部121通过分别在形成于支承体9的基准孔9b和孔9c的嵌入定位销121a而相对于支承体9定位，在该状态下，例如通过螺栓安装在支承体9。

框体122配置在侧壁部124的与分束器单元3相反侧的表面。框体122的开口通过侧壁部124的开口124a与分束器单元3相对。在框体122配置有光入射部4。固定板123是用于将配置在框体122的光入射部4固定于主体部121的部件(详细情况后述)。

第2支承结构12还具有保持单元130。保持单元130包括主体部131、框体132和固定板133。主体部131安装在顶壁部126的与支承体9相反的一侧的表面。主体部131通过多个定位销131a相对于连结单元120的主体部121定位，在该状态下，例如通过螺栓安装在顶壁部126。在主体部131的与支承体9相反的一侧的表面形成有凹部134。在凹部134的底面形成有第1光通过孔135、第2光通过孔136和第3光通过孔137。第1光通过孔135在Z轴方向上在与分束器单元3的第1反射镜面31相对的位置形成。第2光通过孔136在X轴方向上的第1光通过孔135的另一侧(即，与光入射部4相反侧)形成。第3光通过孔137在X轴方向上的第2光通过孔136的另一侧形成。

框体132在凹部134的底面配置。框体132的开口与第3光通过孔137相对。在框体132配置有第2光源7。第1光检测器6以与第1光通过孔135相对的状态配置在凹部134的底面。第2光检测器8以与第2光通过孔136相对的状态配置在凹部134的底面。固定板133是用于将配置在凹部134的底面的第1光检测器6和第2光检测器8以及配置在框体132的第2光源7固定于主体部131的部件(详细情况后述)。

光入射部4具有保持部件41和准直透镜42。保持部件41保持准直透镜42，以能够连接对检测光L0进行导光的光纤(省略图示)的方式构成。准直透镜42使从光纤射出的检测光L0准直。当在保持部件41连接光纤时，光纤的光轴与准直透镜42的光轴一致。

在保持部件41设置有凸缘部41a。凸缘部41a配置在框体122与固定板123之间。通过在该状态下，例如通过螺栓在侧壁部124安装固定板123，使得配置在框体122的光入射部4固定于主体部121。这样，光入射部4配置在X轴方向上的分束器单元3的一侧，由第2支承结构12支承。光入射部4使从第1光源经测量对象射入的检测光L0或从测量对象发出的检测光L0(在本实施方式中为由光纤导光的检测光L0)射入分束器单元3。

在框体122安装有滤光器54。滤光器54具有截断激光L10的功能。滤光器54以相对于光入射部4的光轴倾斜的状态配置在侧壁部124的开口124a内。滤光器54在从X轴方向看时封闭框体122的开口。这样，滤光器54配置在光入射部4与分束器单元3之间，以相对于光入射部4的光轴倾斜的状态由第2支承结构12支承。在本实施方式中，滤光器54的光学面是与Z轴方向平行的面，且是与Y轴方向成10°～20°的角度的面。另外，光入射部4的光轴与X轴方向平行。

第1光检测器6具有保持部件61、光检测元件62和聚光透镜63。保持部件61保持光检测元件62和聚光透镜63。光检测元件62检测检测光的干涉光L1。光检测元件62例如为InGaAs光电二极管。聚光透镜63将向光检测元件62入射的检测光的干涉光L1聚光于光检测元件62。在保持部件61，光检测元件62的光轴与聚光透镜63的光轴相互一致。

在保持部件61设置有凸缘部61a。凸缘部61a配置在主体部131的凹部134的底面与固定板133之间。在该状态下，固定板133例如通过螺栓安装于主体部131，配置在凹部134的底面的第1光检测器6固定于主体部131。这样，第1光检测器6配置在Z轴方向上的分束器单元3的一侧，由第2支承结构12支承。第1光检测器6在Z轴方向上与分束器单元3的第1反射镜面31相对。第1光检测器6检测从分束器单元3射出的检测光的干涉光L1。

第2光检测器8具有保持部件81、光检测元件82和聚光透镜83。保持部件81保持光检测元件82和聚光透镜83。光检测元件82检测激光的干涉光L11。光检测元件82例如为Si光电二极管。聚光透镜83将向光检测元件82入射的激光的干涉光L11集光于光检测元件82。在保持部件81，光检测元件82的光轴与聚光透镜83的光轴相互一致。

在保持部件81设置有凸缘部81a。凸缘部81a配置在主体部131的凹部134的底面与固定板133之间。在该状态下，固定板133例如通过螺栓安装在主体部131，配置在凹部134的底面的第2光检测器8固定于主体部131。这样，第2光检测器8配置在Z轴方向上的分束器单元3的一侧，由第2支承结构12支承。第2光检测器8检测从分束器单元3射出的检测光的干涉光L11。

第2光源7具有保持部件71、发光元件72和准直透镜73。保持部件71保持发光元件72和准直透镜73。发光元件72射出激光L10。发光元件72例如为VCSEL等半导体激光器。准直透镜73使从发光元件72射出的激光L10准直。在保持部件71，发光元件72的光轴与准直透镜73的光轴相互一致。

在保持部件71设置有凸缘部71a。凸缘部71a配置在框体132与固定板133之间。在该状态下，固定板133例如通过螺栓安装在主体部131，配置于框体132的第2光源7固定于主体部131。这样，第2光源7配置在Z轴方向上的分束器单元3的一侧，由第2支承结构12支承。第2光源7将射入分束器单元3的激光L10射出。

如上所述，保持单元130使得第1光检测器(第1光学器件)6、第2光检测器(第2光学器件)8和第2光源(第3光学器件)7朝向同一侧且按第1光检测器6、第2光检测器8、第2光源7的顺序排列地保持第1光检测器6、第2光检测器8和第2光源7。在本实施方式中，保持单元130以在Z轴方向上的分束器单元3的一侧，使得第1光检测器6、第2光检测器8和第2光源7朝向Z轴方向上的另一侧(即，分束器单元3侧)的方式，保持第1光检测器6、第2光检测器8和第2光源7。此外，保持单元130以从X轴方向上的一侧(即，光入射部4侧)起按第1光检测器6、第2光检测器8、第2光源7的顺序进行排列的方式，保持第1光检测器6、第2光检测器8和第2光源7。

另外，第1光检测器6朝向某一侧是指，光检测元件62的受光面朝向该某一侧(即，以检测从该某一侧射入的光的方式配置第1光检测器6)。在这种情况下，光检测元件62的引线接脚例如，向与某一侧相反的一侧延伸。同样，第2光检测器8某一侧是指，光检测元件82的受光面朝向该某一侧(即，以检测从该某一侧射入的光的方式配置第2光检测器8)。在这种情况下，光检测元件82的引线接脚例如向与某一侧相反的一侧延伸。此外，第2光源7朝向某一侧是指，发光元件72的光出射面朝向该某一侧(即，以向该某一侧射出光的方式配置第2光源7)。在这种情况下，发光元件72的引线接脚例如向与某一侧相反的一侧延伸。此外，因为保持单元130是第2支承结构12的一部分，所以保持单元130保持某个结构是指该某个结构由第2支承结构12支承。

在保持单元130的主体部131安装有第1反射镜51、第2反射镜52和第3反射镜53。第1反射镜51由保持单元130保持，相对于第1光通过孔135位于与第1光检测器6相反的一侧。第2反射镜52由保持单元130保持，相对于第2光通过孔136位于与第2光检测器8相反的一侧。第3反射镜53由保持单元130保持，相对于第3光通过孔137位于与第2光源7相反的一侧。

第1反射镜51具有使检测光L0透射且将激光L10反射的功能，且是相对于第1光检测器6的光轴倾斜的二向色镜。第1反射镜51配置在分束器单元3与第1光检测器6之间。即，第1反射镜51以与分束器单元3和第1光检测器6相对的方式配置。在本实施方式中，第1反射镜51的光学面是与Y轴方向平行的面，且是与Z轴方向形成45°的角度的面。另外，第1光检测器6的光轴与Z轴方向平行。

第2反射镜52具有将激光L10的一部分反射且使激光L10的剩余部分透射的功能，且是与第1反射镜51平行的反射镜(例如半反射镜)。第2反射镜52以在从X轴方向看时与第1反射镜51重叠且在从Z轴方向看时与第2光检测器8重叠的方式配置。即，第2反射镜52以与第1反射镜51和第2光检测器8相对的方式配置。在本实施方式中，第2反射镜52的光学面是与Y轴方向平行的面，且是与Z轴方向形成45°的角度的面。

第3反射镜53具有将激光L10反射的功能，且是与第2反射镜52平行的反射镜(例如全反射镜)。第3反射镜53以在从X轴方向看时与第2反射镜52重叠且在从Z轴方向看时与第2光源7重叠的方式配置。即，第3反射镜53以与第2反射镜52和第2光源7相对的方式配置。在本实施方式中，第3反射镜53的光学面是与Y轴方向平行的面，且是与Z轴方向形成45°的角度的面。

在保持单元130的主体部131安装有开口部件55。开口部件55由保持单元130保持，位于第1反射镜51与第1光检测器6之间。开口部件55是形成有在从Z轴方向看时呈圆形的开口的部件，配置在第1光通过孔135内。

此处，对分束器单元3与第1光检测器6之间的光路等进行说明。从分束器单元3沿Z轴方向射出的检测光的干涉光L1从第1反射镜51透射，通过开口部件55射入第1光检测器6，被第1光检测器6检测。另一方面，从第2光源7射出的激光L10在第3反射镜53被反射而从第2反射镜52透射，在第1反射镜51被反射而沿Z轴方向射入分束器单元3。从分束器单元3沿Z轴方向射出的激光的干涉光L11在第1反射镜51和第2反射镜52被反射而射入第2光检测器8，被第2光检测器8检测。

在光学组件1，分束器单元3与第1光检测器6之间的光路的长度比分束器单元3与第2光检测器8之间的光路的长度短，且比分束器单元3与第2光源7之间的光路的长度短。另外，光路的长度是指沿该光路的物理距离。

具体而言，从光路与分束器单元3的第1反射镜面31的交点至第1光检测器6的光入射面的距离比从光路与分束器单元3的第1反射镜面31的交点至第2光检测器8的光入射面的距离短，且比从光路与分束器单元3的第1反射镜面31的交点至第2光源7的光出射面的距离短。从光路与分束器单元3的第1反射镜面31的交点至第1光检测器6的聚光透镜63的光入射面的距离比从光路与分束器单元3的第1反射镜面31的交点至第2光检测器8的聚光透镜83的光入射面的距离短，且比从光路与分束器单元3的第1反射镜面31的交点至第2光源7的准直透镜73的光出射面的距离短。从分束器单元3的光学面33a至第1光检测器6的光入射面的距离比从分束器单元3的光学面33a至第2光检测器8的光入射面的距离短，且比从分束器单元3的光学面33a至第2光源7的光出射面的距离短。从分束器单元3的光学面33a至第1光检测器6的聚光透镜63的光入射面的距离比从分束器单元3的光学面33a至第2光检测器8的聚光透镜83的光入射面的距离短，且比从分束器单元3的光学面33a至第2光源7的准直透镜73的光出射面的距离短。

在本实施方式中，光入射部4以能够调节保持部件41相对于框体122的角度的方式构成。与此相对，第1光检测器6在保持部件61配置于主体部131的凹部134的底面时被主体部131定位。因此，能够在第1光检测器6被定位的状态下，以使检测光L0射入分束器单元3并且使得第1光检测器6的检测强度成为最大的方式实施保持部件41的角度调节。而且，能够在被实施角度调节的状态下将光入射部4固定在框体122。

同样，第2光源7以能够调节保持部件71相对于框体132的角度的方式构成。与此相对，第2光检测器8在保持部件81配置于主体部131的凹部134的底面时被主体部131定位。因此，能够在第2光检测器8被定位的状态下，以射出激光L10并且使得第2光检测器8的检测强度成为最大的方式实施保持部件71的角度调节。而且，能够在被实施角度调节的状态下将第2光源7固定在框体132。

另外，不仅光入射部4，而且第1光检测器6也可以以能够调节保持部件61相对于配置在主体部131的凹部134的底面的框体的角度的方式构成。同样，不仅第2光源7，而且第2光检测器8也可以以能够调节保持部件81相对于配置在主体部131的凹部134的底面的框体的角度的方式构成。

[作用和效果]

在光学组件1中，包含可动反射镜22和固定反射镜16的反射镜单元2、支承分束器单元3的第1支承结构11以及支承第1光检测器6的第2支承结构12安装于同一支承体9。由此，分束器单元3、可动反射镜22、固定反射镜16和第1光检测器6的相互的位置关系以支承体9为基准设定。因此，例如与“包含可动反射镜22和固定反射镜16的反射镜单元2安装于支承体9，支承分束器单元3的第1支承结构11安装于反射镜单元2，支承第1光检测器6的第2支承结构12安装于第1支承结构11的结构”相比，不易在分束器单元3、可动反射镜22、固定反射镜16和第1光检测器6的相互的位置关系中产生偏离。由此，根据该光学组件1，能够以简易的结构实现高精度的光谱分析。

此外，在光学组件1中，分束器单元3具有第1反射镜面31和第2反射镜面32，该第1反射镜面31是相对于Z轴方向倾斜的反射镜面且在Z轴方向上与固定反射镜16相对，该第2反射镜面32是与第1反射镜面31平行的反射镜面且在Z轴方向上与可动反射镜22相对，第1反射镜面31具有将入射光的一部分反射且使入射光的剩余部分透射的功能，第2反射镜面32具有将入射光反射的功能。由此，即使第1反射镜面31和第2反射镜面32的倾斜角度从规定角度有若干偏离，只要向分束器单元3入射的检测光L0的入射角度固定，从分束器单元3射出的检测光的干涉光L1的出射角度就固定。因此，能够使检测光的干涉光L1从分束器单元3向Z轴方向上的一侧射出。

此外，在光学组件1中，以可动反射镜22的反射镜面22a沿着基体21的第1表面21a形成的方式构成，因此能够将可动反射镜22的反射镜面22a大型化。因此，通过将可动反射镜22的反射镜面22a大型化，即使在从分束器单元3向可动反射镜22侧射出的检测光L0的出射位置中产生偏离，也能够实质上无视该偏离。由此，能够缓和分束器单元3的对准精度。

此外，在光学组件1中，第1光检测器6以在Z轴方向上与分束器单元3的第1反射镜面31相对的方式，配置在Z轴方向上的分束器单元3的一侧。由此，即使从分束器单元3射出的检测光的干涉光L1的出射方向从Z轴方向有若干偏离，也能够向第1光检测器6充分地射入检测光的干涉光L1。

此外，在光学组件1中，开口部件55配置在分束器单元3与第1光检测器6之间，由第2支承结构12支承。由此，不易在开口部件55、分束器单元3、可动反射镜22、固定反射镜16和第1光检测器6的相互的位置关系中产生偏离。此外，能够将检测光的干涉光L1中可能成为噪声的外缘部分截断，实现更高精度的光谱分析。进一步，能够关于由第1光检测器6检测的检测光的干涉光L1降低光束面内的相位差的参差不齐。

此外，在光学组件1中，光入射部4配置在X轴方向上的分束器单元3的一侧，由第2支承结构12支承。由此，不易在光入射部4、分束器单元3、可动反射镜22、固定反射镜16和第1光检测器6的相互的位置关系中产生偏离。进一步，在令Z轴方向为铅直方向来使用光学组件1，将用于对检测光L0进行导光的光纤从侧面连接至光入射部4的情况下，能够实现该光纤与光入射部4的稳定的连接。

此外，在光学组件1中，第2光源7和第2光检测器8由第2支承结构12支承。由此，不易在第2光源7、分束器单元3、可动反射镜22、固定反射镜16和第2光检测器8的相互的位置关系中产生偏离。因此，能够基于激光的干涉光L11的检测结果高精度地取得Z轴方向上的可动反射镜22的位置。

此外，在光学组件1中，第2支承结构12以第1光检测器6、第2光检测器8和第2光源7朝向Z轴方向上的另一侧且按第1光检测器6、第2光检测器8、第2光源7的顺序排列的方式，支承第1光检测器6、第2光检测器8和第2光源7。进一步，第2支承结构12支承以与分束器单元3和第1光检测器6相对的方式配置的第1反射镜51、以与第1反射镜51和第2光检测器8相对的方式配置的第2反射镜52和以与第2反射镜52和第2光源7相对的方式配置的第3反射镜53。由此，能够以简易的布局构成关于检测光L0的干涉光学系统和关于激光L10的干涉光学系统。而且，能够分别使引线接脚从第1光检测器6、第2光检测器8和第2光源7向同一侧(本实施方式中为Z轴方向上的一侧)延伸，因此能够实现对第1光检测器6、第2光检测器8和第2光源7的信号输入输出用的电路基片的集约化。进一步，由于检测光的干涉光L1从作为二向色镜的第1反射镜51透射而射入第1光检测器6，因此即使二向色镜的安装角度从规定角度有若干偏离，也能够使检测光的干涉光L1充分地射入第1光检测器6。

此外，在光学组件1中，具有将激光L10截断的功能的滤光器54配置在光入射部4与分束器单元3之间，以相对于光入射部4的光轴倾斜的状态由第2支承结构12支承。由此，即使在检测光L0中含有与激光L10相同波段的光，也能够防止该光射入分束器单元3，因此能够基于激光的干涉光L11的检测结果高精度地取得Z轴方向上的可动反射镜22的位置。进一步，由于滤光器54相对于光入射部4的光轴倾斜，所以能够使与激光L10相同波段的光向干涉光学系统外反射，可靠地防止该光成为杂散光。在本实施方式中，沿X轴方向从分束器单元3射出的与激光L10相同波段的光在滤光器54反射，从第2支承结构12的主体部121的一对侧壁部124、125间向干涉光学系统外射出。由此，能够可靠地防止该光成为杂散光。

[变形例]

反射镜单元2只要是包含基体21、可动反射镜22和固定反射镜16的结构就不限定于上述的方式。例如，固定反射镜16也可以设置于反射镜器件20。此外，固定反射镜16的反射镜面16a也可以不与可动反射镜22的反射镜面22a朝向同一侧。此外，反射镜单元2也可以为包含多个固定反射镜16的结构。在这种情况下，针对检测光L0的干涉光学系统和针对激光L10的干涉光学系统也可以分别由不同的固定反射镜16构成。此外，在光学组件1中，第2光源7的位置与第2光检测器8的位置也可以更换。此外，光学组件1也可以不具备第2光源7和第2光检测器8。

此外，分束器单元3也可以如图11(a)所示那样为形成有第1反射镜面31、第2反射镜面32和多个光学面33a、33b的光学块35。此外，分束器单元3也可以如图11(b)所示那样为形成有第1反射镜面31的光学板36与形成有第2反射镜面32的部件37的组合。在图11(b)所示的分束器单元3，光学板36与部件37相互分离。

此外，在反射镜单元2，也可以如图12所示那样，在反射镜器件20，基体21的第2表面21b(与光学功能部件13的接合面)为与支承层101的中间层103相反的一侧的表面，可动反射镜22的反射镜面22a设置在与器件层102的中间层103相反的一侧的表面。在这种情况下，与反射镜面22a一样，能够将多个电极垫211设置在与器件层102的中间层103相反的一侧的表面，因此能够实现反射镜器件20的制造工艺的简化和反射镜单元2的组装工艺的简化。此外，即使不在光学功能部件13设置与第3表面13a相比更靠第4表面13b侧的第5表面13d，也能够通过在与可动反射镜22和驱动部23对应的部分使支承层101更薄而防止在使可动反射镜22沿Z轴方向往复移动时可动反射镜22和驱动部23与光学功能部件13接触。

此外，在反射镜单元2，也可以如图13、图14和图15所示那样，在气密空间(例如，维持高的真空度的气密空间，或者填充有氮等不活泼气体的气密空间)中配置反射镜器件20的可动反射镜22和驱动部23。图13、图14和图15所示的反射镜单元2具有反射镜器件20、光学功能部件13、固定反射镜16、框体18和光透射部件19。在光学功能部件13中，第3表面13a以在从Z轴方向看时包围第5表面13d的方式呈框状延伸。呈框状延伸的第3表面13a与反射镜器件20的基体21的第2表面21b接合。光学功能部件13与基体21通过直接结合相互接合。固定反射镜16在光学功能部件13的第4表面13b形成。

框体18以在从Z轴方向看时包围反射镜器件20的可动反射镜22和驱动部23的方式形成，与反射镜器件20的基体21的第1表面21a接合。框体18例如由玻璃形成，例如呈矩形框状。基体21与框体18通过直接结合而相互接合。光透射部件19以封闭框体18的开口的方式形成，与框体18的反射镜器件20相反的一侧的端面接合。光透射部件19例如由玻璃形成，例如呈矩形板状。框体18与光透射部件19通过直接结合而相互接合。另外，在光透射部件19的反射镜器件20侧的表面中不与框体18接合的区域(即，从Z轴方向看时的框体18的内侧的区域)，实施针对光学组件1的灵敏度波长的光的AR涂层(Anti Reflection Coating：抗反射涂层)。

在本实施方式中，分别沿基体21的外缘中沿X轴方向延伸的一个部分和另一个部分，多个电极垫211和1个电极垫212配置成一排。在各排中，1个电极垫212位于中央。在框体18，以与各排的多个电极垫211和1个电极垫212对应的方式形成有一对槽18a。在光透射部件19，以与各排的多个电极垫211和1个电极垫212对应的方式形成有一对槽19a。由此，能够通过槽18a和槽19a将线缆连接至各电极垫211、212。

在图13、图14和图15所示的反射镜单元2，由于反射镜器件20的可动反射镜22和驱动部23配置在气密空间中，因此能够将可动反射镜22和驱动部23维持在可靠性高的状态。进一步，通过处于将该气密空间减压的状态，能够使可动反射镜22和驱动部23顺利地动作。

图13、图14和图15所示的反射镜单元2能够如以下那样高效地制造。即，准备包含分别成为光学功能部件13的多个部分的晶片(形成有成为固定反射镜16的层的晶片)、包含分别成为反射镜器件20的多个部分的晶片、包含分别成为框体18的多个部分的晶片和包含多个分别成为光透射部件19的部分的晶片，在以晶片级别实施它们的接合后，将包含分别成为反射镜单元2的多个部分的晶片切割成多个反射镜单元2。即使通过使用水的刀片切割实施该切割，也由于反射镜器件20的可动反射镜22和驱动部23配置在气密空间中而能够防止可动反射镜22和驱动部23因水而破损。

另外，光学功能部件13、框体18和光透射部件19的材料并不限定于玻璃，例如也可以为硅。特别是光学功能部件13和光透射部件19的材料，例如根据光学组件1的灵敏度波长来选择，在光学组件1的灵敏度波长为近红外区域的情况下为玻璃，在光学组件1的灵敏度波长为中红外区域的情况下为硅。在光学功能部件13、框体18和光透射部件19的材料为玻璃的情况下，它们的形状例如通过喷射加工、蚀刻等形成。在光学功能部件13、框体18和光透射部件19的材料为硅的情况下，它们的形状例如通过蚀刻形成。

此外，在光学组件1中，如果包含可动反射镜22和固定反射镜16的反射镜单元2以及支承第1光检测器6的第2支承结构12安装于同一支承体9，支承分束器单元3的第1支承结构11也可以不安装于支承体9。这样的结构例如通过在图13、图14和图15所示的反射镜单元2的光透射部件19上安装分束器单元3而实现。在这种情况下，第1支承结构11的至少一部分由反射镜单元2构成，因此能够实现结构的简化。如果包含可动反射镜22和固定反射镜16的反射镜单元2以及支承第1光检测器6的第2支承结构12安装在同一支承体9，则可动反射镜22、固定反射镜16和第1光检测器6的相互的位置关系以支承体9为基准设定。因此，例如与“包含可动反射镜22和固定反射镜16的反射镜单元2安装于支承体9，支承第1光检测器6的第2支承结构12安装于反射镜单元2或第1支承结构11的结构”相比，不易在可动反射镜22、固定反射镜16和第1光检测器6的相互的位置关系中产生偏离。由此，根据这样的光学组件1，也能够以简易的结构实现高精度的光谱分析。

此外，反射镜器件20的光通过部24也可以如图16所示那样为在基体21形成的切口。在图16所示的反射镜器件20，不仅光通过部24，而且光通过部25也是在基体21形成的切口。光通过部24是从基体21的一对杆261间的区域延伸至基体21的外缘21c的切口。光通过部25是从基体21的一对杆271间的区域延伸至基体21的外缘21c的切口。另外，在图16所示的反射镜器件20，第1弹性支承部26不具有第1连杆部件262，第2弹性支承部27不具有第1连杆部件272。

此外，光学功能部件13也可以如图17的(a)和(b)所示那样，设置光通过部(第2光通过部)13f取代光透射部14。在图17的(a)所示的光学功能部件13中，光通过部13f作为包含与反射镜器件20的可动反射镜22和驱动部23相对的部分的孔形成。在图17的(b)所示的光学功能部件13中，光通过部13f作为包含与反射镜器件20的可动反射镜22和驱动部23相对的部分的切口形成。

此外，在反射镜器件20，也可以如图18所示那样不设置光通过部24。在图18所示的反射镜单元2，在从Z轴方向看时在光学功能部件13不与反射镜器件20重叠的部分设置有光透射部14。

此外，反射镜器件20的驱动部23也可以具有弹性支承可动反射镜22的3个以上弹性支承部。进一步，驱动部23并不限定于作为静电致动器构成的结构，例如也可以为作为压电式致动器、电磁式致动器等构成的结构。

此外，基体21的第2表面21b与光学功能部件13的第3表面13a也可以通过直接结合以外的方式(例如UV固化树脂等的粘接剂等)相互接合。此外，固定反射镜16只要相对于光学功能部件13配置在与反射镜器件20相反的一侧即可，也可以从光学功能部件13的第4表面13b离开。

此外，如图19所示，光学组件1也可以具备射出向分束器单元3入射的检测光L0出射的第1光源5。图19所示的光学组件1如以下那样构成。

第1光源5具有发光元件5a和准直透镜5c。发光元件5a例如是灯丝等热型光源。准直透镜5c使检测光L0准直。

保持单元130在Z轴方向上的分束器单元3的一侧，以使得第1光源5、第2光源7和第2光检测器8朝向Z轴方向上的另一侧(即，分束器单元3侧)、且从X轴方向上的一侧起按第1光源5、第2光源7、第2光检测器8的顺序进行排列的方式，保持第1光源5、第2光源7和第2光检测器8。

保持单元130不仅保持第1光源5、第2光源7和第2光检测器8，而且保持第1反射镜51，第2反射镜52和第3反射镜53。第1反射镜51、第2反射镜52和第3反射镜53由相互分离的多个光学板构成。

第1反射镜51是具有使检测光L0透射且将激光L10反射的功能、且相对于第1光源5的光轴倾斜的二向色镜。第1反射镜51配置在分束器单元3与第1光源5之间。即，第1反射镜51以与分束器单元3和第1光源5相对的方式配置。在第1反射镜51与第1光源5之间配置有由保持单元130保持的开口部件55。在本实施方式中，第1反射镜51的光学面是Y轴方向平行的面，且是与Z轴方向形成45°的角度的面。另外，第1光源5的光轴与Z轴方向平行。

第2反射镜52是具有将激光L10的一部分反射且使激光L10的剩余部分透射的功能、且与第1反射镜51平行的反射镜。第2反射镜52以在从X轴方向看时与第1反射镜51重叠、且在从Z轴方向看时与第2光光源7重叠的方式配置。即，第2反射镜52以与第1反射镜51和第2光源7相对的方式配置。在本实施方式中，第2反射镜52的光学面是与Y轴方向平行的面，且是与Z轴方向形成45°的角度的面。

第3反射镜53是具有反射激光L10的功能、且与第2反射镜52平行的反射镜。第3反射镜53以在从X轴方向看时与第2反射镜52重叠且在从Z轴方向看时与第2光检测器8重叠的方式配置。即，第3反射镜53以与第2反射镜52和第2光检测器8相对的方式配置。在本实施方式中，第3反射镜53的光学面是与Y轴方向平行的面，且是与Z轴方向形成45°的角度的面。

在图19所示的光学组件1中，从第1光源5沿Z轴方向出射的检测光L0经开口部件55射入第1反射镜51，从第1反射镜51透射，沿Z轴方向向分束器单元3的光学面33a入射。沿X轴方向从分束器单元3的光学面33d射出的检测光的干涉光L1由聚光透镜57聚光，同时经设置在壳体10的窗部10a向壳体10外射出，照射至测量对象(省略图示)。在该测量对象反射后的检测光的干涉光L1经窗部10a射入壳体10内，由聚光透镜58聚光。聚光后的检测光的干涉光L1沿Z轴方向射入第1光检测器6，由第1光检测器6进行检测。

另一方面，从第2光源7射出的激光L10在第2反射镜52和第1反射镜51反射，沿Z轴方向向分束器单元3的光学面33a入射。从分束器单元3的光学面33a沿Z轴方向射出的激光的干涉光L11在第1反射镜51反射而从第2反射镜52透射，在第3反射镜53反射而向第2光检测器8入射，由第2光检测器8检测。

在图19所示的光学组件1中，包含可动反射镜22和固定反射镜16的反射镜单元2以及保持第1光源5的保持单元130(即，支承第1光源5的第2支承结构12)安装在同一支承体(壳体10)。由此可动反射镜22、固定反射镜16和第1光源5的相互的位置关系以支承体为基准设定。因此，例如与“包含可动反射镜22和固定反射镜16的反射镜单元2安装于支承体，支承第1光源5的第2支承结构12安装于反射镜单元2或第1支承结构11的结构”相比，不易在可动反射镜22、固定反射镜16和第1光源5的相互的位置关系中产生偏离。由此，根据图19所示的光学组件1，也能够以简易的结构实现高精度的光谱分析。

另外，在图19所示的光学组件1中，如果将包含可动反射镜22和固定反射镜16的反射镜单元2、支承分束器单元3的第1支承结构11以及支承第1光源5的第2支承结构12安装于同一支承体9，则不易在分束器单元3、可动反射镜22、固定反射镜16和第1光源5的相互的位置关系中产生偏离。由此，根据这样的光学组件1，能够以简易的结构实现更高精度的光谱分析。

此外，在反射镜单元2具有的各结构中，并不限定于上述的材料和形状，还能够应用各种各样的材料和形状。此外，上述的一个实施方式或变形例中的各结构能够任意地应用于其它实施方式或变形例中的各结构。

附图标记的说明

1…光学组件、2…反射镜单元、3…分束器单元、4…光入射部、6…第1光检测器(第1光学器件)、5…第1光源、7…第2光源(第3光学器件)、8…第2光检测器(第2光学器件)、9…支承体、11…第1支承结构、12…第2支承结构、16…固定反射镜、21…基体、21a…第1表面、22…可动反射镜、31…第1反射镜面、32…第2反射镜面、51…第1反射镜、52…第2反射镜、53…第3反射镜、54…滤光器、55…开口部件、L0…检测光、L1…检测光的干涉光、L10…激光、L11…激光的干涉光。

Claims (12)

1.一种光学组件，其特征在于，包括：

包括具有第1表面的基体、可动反射镜和固定反射镜的反射镜单元，其中所述可动反射镜以能够沿与所述第1表面交叉的第1方向移动的方式被支承于所述基体，所述固定反射镜相对于所述基体的位置被固定；

分束器单元，其配置在所述第1方向上的所述反射镜单元的一侧，与所述可动反射镜和所述固定反射镜一起构成干涉光学系统；

使从第1光源经测量对象入射的检测光或从测量对象发出的检测光入射至所述分束器单元的光入射部；

第1光检测器，其配置在所述第1方向上的所述分束器单元的所述一侧，检测从所述分束器单元出射的所述检测光的干涉光；

用于安装所述反射镜单元的支承体；

用于支承所述分束器单元的第1支承结构；和

安装于所述支承体的、用于支承所述第1光检测器的第2支承结构，

所述支承体、所述反射镜单元、所述分束器单元和所述第1光检测器沿所述第1方向以所述支承体、所述反射镜单元、所述分束器单元、所述第1光检测器的顺序配置。

2.如权利要求1所述的光学组件，其特征在于：

所述第1支承结构安装于所述支承体。

3.如权利要求1所述的光学组件，其特征在于：

所述第1支承结构的至少一部分由所述反射镜单元构成。

4.如权利要求1～3中的任一项所述的光学组件，其特征在于：

所述分束器单元具有第1反射镜面和第2反射镜面，所述第1反射镜面相对于所述第1方向倾斜且在所述第1方向上与所述固定反射镜相对，所述第2反射镜面与所述第1反射镜面平行且在所述第1方向上与所述可动反射镜相对，

所述第1反射镜面具有将入射光的一部分反射并使所述入射光的剩余部分透射的功能，

所述第2反射镜面具有将入射光反射的功能。

5.如权利要求4所述的光学组件，其特征在于：

所述第1光检测器以在所述第1方向上与所述分束器单元的所述第1反射镜面相对的方式，配置在所述第1方向上的所述分束器单元的所述一侧。

6.如权利要求1～5中的任一项所述的光学组件，其特征在于：

还具有配置在所述分束器单元与所述第1光检测器之间的开口部件，

所述开口部件被所述第2支承结构支承。

7.如权利要求1～6中的任一项所述的光学组件，其特征在于：

所述光入射部配置在与所述第1方向交叉的第2方向上的所述分束器单元的一侧，

所述光入射部被所述第2支承结构支承。

8.如权利要求1～7中的任一项所述的光学组件，其特征在于，还包括：

出射要入射到所述分束器单元的激光的第2光源；

检测从所述分束器单元出射的所述激光的干涉光的第2光检测器，

所述第2光源和所述第2光检测器被所述第2支承结构支承。

9.如权利要求8所述的光学组件，其特征在于：

还包括被所述第2支承结构支承的第1反射镜、第2反射镜和第3反射镜，

所述第2支承结构支承构成所述第1光检测器的第1光学器件、构成所述第2光源和所述第2光检测器中的一者的第2光学器件以及构成所述第2光源和所述第2光检测器中的另一者的第3光学器件，使得所述第1光学器件、所述第2光学器件和所述第3光学器件朝向所述第1方向上的另一侧，并使得按所述第1光学器件、所述第2光学器件、所述第3光学器件的顺序排列，

所述第1反射镜是相对于所述第1光学器件的光轴倾斜的二向色镜，具有使所述检测光透射且将所述激光反射的功能，以与所述分束器单元和所述第1光学器件相对的方式配置，

所述第2反射镜是与所述第1反射镜平行的反射镜，具有将所述激光的一部分反射且使所述激光的剩余部分透射的功能，以与所述第1反射镜和所述第2光学器件相对的方式配置，

所述第3反射镜是与所述第2反射镜平行的反射镜，具有将所述激光反射的功能，以与所述第2反射镜和所述第3光学器件相对的方式配置。

10.如权利要求8或9所述的光学组件，其特征在于：

还包括配置在所述光入射部与所述分束器单元之间的滤光器，

所述滤光器具有截断所述激光的功能，以相对于所述光入射部的光轴倾斜的状态被所述第2支承结构支承。

11.一种光学组件，其特征在于，包括：

包括具有第1表面的基体、可动反射镜和固定反射镜的反射镜单元，其中所述可动反射镜以能够沿与所述第1表面交叉的第1方向移动的方式被支承于所述基体，所述固定反射镜相对于所述基体的位置被固定；

分束器单元，其配置在所述第1方向上的所述反射镜单元的一侧，与所述可动反射镜和所述固定反射镜一起构成干涉光学系统；

配置在所述第1方向上的所述分束器单元的所述一侧，出射要入射到所述分束器单元的检测光的第1光源；

检测从所述分束器单元出射而经测量对象入射的所述检测光的干涉光的第1光检测器；

用于安装所述反射镜单元的支承体；

用于支承所述分束器单元的第1支承结构；和

安装于所述支承体的、用于支承所述第1光源的第2支承结构，

所述支承体、所述反射镜单元、所述分束器单元和所述第1光源沿所述第1方向以所述支承体、所述反射镜单元、所述分束器单元、所述第1光源的顺序配置。

12.一种光学组件，其特征在于，包括：

包括具有第1表面的基体、可动反射镜和固定反射镜的反射镜单元，其中所述可动反射镜以能够沿与所述第1表面交叉的第1方向移动的方式被支承于所述基体，所述固定反射镜相对于所述基体的位置被固定；

分束器单元，其配置在所述第1方向上的所述反射镜单元的一侧，与所述可动反射镜和所述固定反射镜一起构成干涉光学系统；

使从第1光源经测量对象入射的检测光或从测量对象发出的检测光入射至所述分束器单元的光入射部；

第1光检测器，其配置在所述第1方向上的所述分束器单元的所述一侧，检测从所述分束器单元出射的所述检测光的干涉光；

用于安装所述反射镜单元的支承体；

用于支承所述分束器单元的第1支承结构；和

安装于所述支承体的、用于支承所述第1光检测器的第2支承结构，

还包括：

出射要入射到所述分束器单元的激光的第2光源；

检测从所述分束器单元出射的所述激光的干涉光的第2光检测器，

所述第2光源和所述第2光检测器被所述第2支承结构支承，

还包括被所述第2支承结构支承的第1反射镜、第2反射镜和第3反射镜，

所述第2支承结构支承构成所述第1光检测器的第1光学器件、构成所述第2光源和所述第2光检测器中的一者的第2光学器件以及构成所述第2光源和所述第2光检测器中的另一者的第3光学器件，使得所述第1光学器件、所述第2光学器件和所述第3光学器件朝向所述第1方向上的另一侧，并使得按所述第1光学器件、所述第2光学器件、所述第3光学器件的顺序排列，

所述第1反射镜是相对于所述第1光学器件的光轴倾斜的二向色镜，具有使所述检测光透射且将所述激光反射的功能，以与所述分束器单元和所述第1光学器件相对的方式配置，

所述第2反射镜是与所述第1反射镜平行的反射镜，具有将所述激光的一部分反射且使所述激光的剩余部分透射的功能，以与所述第1反射镜和所述第2光学器件相对的方式配置，

所述第3反射镜是与所述第2反射镜平行的反射镜，具有将所述激光反射的功能，以与所述第2反射镜和所述第3光学器件相对的方式配置。

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