CN110720069A

CN110720069A - 光学器件

Info

Publication number: CN110720069A
Application number: CN201880037794.5A
Authority: CN
Inventors: 铃木智史; 港谷恭辅; 杉本达哉
Original assignee: Bangsong Photonics Co Ltd
Current assignee: Bangsong Photonics Co Ltd; Hamamatsu Photonics KK
Priority date: 2017-07-06
Filing date: 2018-07-06
Publication date: 2020-01-21
Anticipated expiration: 2038-07-06
Also published as: WO2019009403A1; CN114895456A; US11879731B2; US20200142155A1; EP3650908A4; JPWO2019009391A1; US11187579B2; US20230003504A1; EP3650909A4; US11635290B2; CN114509856A; JP6480091B1; JP6496463B1; CN110799887A; US20200124480A1; EP3650909A1; US20200124473A1; US20210148690A1; JP2019133187A; JP7112986B2

Abstract

光学器件中，弹性支承部具有：在垂直于第1方向的第2方向上彼此相对的一对杆；沿第2方向延伸，分别连接在一对杆与底座之间的一对第1扭转支承部；沿第2方向延伸，分别连接在一对杆与可动部之间的一对第2扭转支承部；和架设于一对杆之间的第1联接部件。一对杆和第1联接部件划定光通过开口。一对杆与一对第1扭转支承部的连接位置的各个在垂直于第1方向和第2方向的第3方向上相对于光通过开口的中心位于可动部的相反侧。第2方向上的光通过开口的最大宽度由第2方向上的一对杆之间的间隔规定。

Description

光学器件

技术领域

本发明涉及光学器件。

背景技术

已知有根据MEMS(Micro Electro Mechanical Systems(微机电系统))技术在SOI(Silicon On Insulator(绝缘体上硅))基板形成有干涉光学系统的光学器件(例如，参照专利文献1)。这样的光学器件由于能够提供实现了高精度的光学配置的FTIR(傅立叶变换红外分光仪)而受到瞩目。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特表2012-524295号公报

发明内容

发明所要解决的问题

在上述那样的光学器件，构成干涉光学系统的可动镜沿SOI基板的主面移动。相对于此，考虑采用如下结构：可动镜由弹性支承部支承，以使得可动镜能够沿着垂直于SOI基板的主面的方向移动。这种光学器件中，为了提高可动部的控制特性，要求提高弹性支承部的外力耐性。另外，还要求装置整体的小型化和光学性能的确保。

本公开的一个方面的目的在于提供一种实现了装置整体的小型化、弹性支承部的外力耐性的提高、和光学性能的确保的光学器件。

解决问题的技术手段

本发明的一个方面的光学器件包括：具有主面的底座；可动部；配置在可动部上的光学功能部；和弹性支承部，其连接在底座与可动部之间，并且以可动部能够沿垂直于主面的第1方向移动的方式支承可动部，弹性支承部具有：在垂直于第1方向的第2方向上彼此相对的一对杆；沿第2方向延伸，分别连接在一对杆与底座之间的一对第1扭转支承部；沿第2方向延伸，分别连接在一对杆与可动部之间的一对第2扭转支承部；和架设于一对杆之间的第1联接部件，一对杆和第1联接部件划定光通过开口，一对杆与一对第1扭转支承部的连接位置的各个在垂直于第1方向和第2方向的第3方向上相对于光通过开口的中心位于可动部的相反侧，第2方向上的光通过开口的最大宽度由第2方向上的一对杆之间的间隔规定。

在该光学器件中，在一对杆之间架设有第1联接部件，光通过开口由一对杆和第1联接部件划定。由此，能够以通过光通过开口的方式设定光路，与例如以通过光学器件的外侧的方式设定光路的情况相比，能够使装置整体小型化。另外，由于第1联接部件架设在一对杆之间，所以能够提高弹性支承部的外力耐性。再有，一对杆与一对第1扭转支承部的连接位置的各个在第3方向上相对于光通过开口的中心位于可动部的相反侧，第2方向上的光通过开口的最大宽度由第2方向上的一对杆之间的间隔规定。由此，能够确保光通过开口的大小，能够确保光学性能。因此，根据该光学器件，可实现装置整体的小型化、弹性支承部的外力耐性的提高、和光学性能的确保。

也可以是弹性支承部还具有架设于一对杆之间的第2联接部件，光通过开口由一对杆、第1联接部件和第2联接部件划定。在这种情况下，能够进一步提高弹性支承部的外力耐性。

也可以是弹性支承部还具有分别架设于一对杆与第1联接部件之间的一对梁部件。在这种情况下，能够更进一步提高弹性支承部的外力耐性。

也可以是一对第1扭转支承部分别与一对杆的第1端部连接，一对第2扭转支承部分别与一对杆的第2端部连接。在这种情况下，能够更适当地确保光通过开口的大小。

也可以是第2方向上的光通过开口的最大宽度比第2方向上的可动部与一对第2扭转支承部的连接位置之间的距离大。在这种情况下，能够更适当地确保第2方向上的光通过开口的大小。

也可以是可动部具有：配置有光学功能部的配置部、和在从第1方向看时包围配置部的框部，第2方向上的光通过开口的最大宽度比第2方向上的框部与一对第2扭转支承部的连接位置之间的距离大。在这种情况下，能够更适当地确保第2方向上的光通过开口的大小。

也可以是一对杆的各个中，从与第1联接部件的连接位置至与一对第2扭转支承部的连接位置的第3方向上的距离比从与第1联接部件的连接位置至与一对第1扭转支承部的连接位置的第3方向上的距离长。在这种情况下，能够更适当地确保沿一对杆的方向上的光通过开口的大小。

也可以是光学功能部是镜面，从第1方向看时，光通过开口的面积为镜面的面积的50％以上。在这种情况下，能够更适当地确保光通过开口的大小。

发明的效果

根据本发明，能够提供一种实现了装置整体的小型化、弹性支承部的外力耐性的提高、和光学性能的确保的光学器件。

附图说明

图1是一个实施方式的光模块的截面图。

图2是图1所示的镜单元的俯视图。

图3是沿图2所示的III-III线的镜单元的截面图。

图4是沿图2所示的IV-IV线的镜单元的截面图。

图5是沿图2所示的V-V线的镜器件的示意性的截面图。

图6是图2所示的镜器件的部分放大图。

图7是图2所示的光学功能部件的俯视图。

图8是沿图1所示的VIII-VIII线的光模块的截面图。

图9是沿图1所示的IX-IX线的光模块的截面图。

图10是图1所示的镜单元和分束器单元的示意性的截面图。

图11是第1变形例的镜器件的俯视图。

图12是第2变形例的镜器件的俯视图。

图13(a)是第3变形例的弹性支承部的示意性的俯视图，图13(b)是第4变形例的弹性支承部的示意性的俯视图。

具体实施方式

以下，参照附图对本发明的实施方式进行详细的说明。另外，在各图中对同一或相当部分标注相同的符号，省略重复的部分。

[光模块的结构]

如图1所示，光模块1包括镜单元2、分束器单元3、光入射部4、第1光检测器6、第2光源7、第2光检测器8、支承体9、第1支承结构11和第2支承结构12。镜单元2配置于Z轴方向(第1方向)上的支承体9的一侧，例如通过粘接剂安装于支承体9。支承体9例如由铜钨形成，例如呈矩形板状。镜单元2包括沿Z轴方向移动的可动镜22和位置被固定的固定镜16(详细情况后面叙述)。另外，Z轴方向例如为铅垂方向，Z轴方向上的一侧例如为上侧。

分束器单元3在Z轴方向上的镜单元2的一侧配置，由第1支承结构11支承。第1支承结构11例如通过粘接剂，安装于支承体9。光入射部4在X轴方向(与第1方向垂直的第3方向)上的分束器单元3的一侧配置，由第2支承结构12支承。第1光检测器6、第2光源7和第2光检测器8在Z轴方向上的分束器单元3的一侧配置，由第2支承结构12支承。第2支承结构12例如通过螺栓安装于支承体9。

在光模块1中，由分束器单元3、可动镜22和固定镜16对于测量光L0和激光L10的各个构成干涉光学系统。对于测量光L0和激光L10的各个构成的干涉光学系统例如是迈克尔逊干涉光学系统。

对于测量光L0，如下述那样检测测量光的干涉光L1。即，当从第1光源(省略图示)经由测量对象(省略图示)入射的测量光L0或从测量对象发出的测量光L0(例如，测量对象自身的发光等)从光入射部4向分束器单元3入射时，该测量光L0在分束器单元3被分割为一部分和剩余部分。然后，测量光L0的一部分在沿Z轴方向往复移动的可动镜22被反射而返回分束器单元3。另一方面，测量光L0的剩余部分在固定镜16被反射而返回分束器单元3。返回分束器单元3后的测量光L0的一部分和剩余部分作为干涉光L1从分束器单元3出射，该测量光的干涉光L1由第1光检测器6检测。

对于激光L10，如下述那样检测激光的干涉光L11。即，当从第2光源7出射的的激光L10向分束器单元3入射时，该激光L10在分束器单元3被分割为一部分和剩余部分。然后，激光L10的一部分在沿Z轴方向往复移动的可动镜22被反射而返回分束器单元3。另一方面，激光L10的剩余部分在固定镜16被反射而返回分束器单元3。返回分束器单元3后的激光L10的一部分和剩余部分作为干涉光L11从分束器单元3出射，该激光的干涉光L11由第2光检测器8检测。

根据光模块1，能够基于激光的干涉光L11的检测结果进行Z轴方向上的可动镜22的位置的测量，能够基于其位置的测量结果和测量光的干涉光L1的检测结果进行对测量对象的分光分析。

[镜单元的结构]

如图2、图3和图4所示，镜单元2具有镜器件(光学器件)20、光学功能部件13、固定镜16和应力缓和基板17。镜器件20包括底座21、可动镜22和驱动部23。

底座21具有第1表面21a(Z轴方向上的一侧的表面)和与第1表面21a相反侧的第2表面21b。第1表面21a和第2表面21b分别为底座21的主面。底座21例如呈矩形板状，例如具有10mm×15mm×0.35mm(厚度)左右的尺寸。可动镜22具有镜面(光学功能部)22a和配置有镜面22a的可动部22b。可动镜22(可动部22b)以能够沿与第1表面21a垂直的Z轴方向(与第1表面垂直的第1方向)移动的方式在底座21被支承。驱动部23使可动镜22沿Z轴方向移动。

在镜器件20设置有一对光通过开口24、25。一对光通过开口24、25配置在X轴方向上的可动镜22的两侧。光通过开口(第1光通过部)24构成分束器单元3与固定镜16之间的光路的第1部分。另外，在本实施方式中，光通过开口25不作为光通过开口发挥作用。

此处，参照图2、图5和图6对镜器件20的结构进行详细说明。另外，图5是图3所示的镜器件20的示意性的截面图，在图5中，例如在Z轴方向上的尺寸与实际相比被放大的状态下示意地表示镜器件20。

底座21、可动镜22的可动部22b和驱动部23由SOI(Silicon On Insulator(绝缘体上硅))基板(半导体基板)100构成。即，镜器件20由SOI基板100构成。镜器件20例如呈矩形板状形成。SOI基板100具有支承层101、器件层102和中间层103。支承层101为第1硅层(第1半导体层)。器件层102为第2硅层(第2半导体层)。中间层103为配置在支承层101与器件层102之间的绝缘层。SOI基板100从Z轴方向上的一侧起依次具有支承层101、中间层103和器件层102。

底座21由支承层101、器件层102和中间层103的一部分构成。底座21的第1表面21a是支承层101的与中间层103相反侧的表面。底座21的第2表面21b是器件层102的与中间层103相反侧的表面。构成底座21的支承层101比构成底座21的器件层102厚。构成底座21的支承层101的厚度例如为构成底座21的器件层102的厚度的4倍左右。在镜单元2，如下述那样，底座21的第2表面21b与光学功能部件13的第3表面13a相互接合(参照图3和图4)。

可动镜22以轴线R1与轴线R2的交点为中心位置(重心位置)而配置。轴线R1为沿X轴方向延伸的直线。轴线R2为沿Y轴方向(与第1方向和第3方向垂直的第2方向)延伸的直线。在从Z轴方向看时，镜器件20中与下述的底座21的第6表面21d重叠的部分以外的部分关于轴线R1和轴线R2的各个呈线对称的形状。

可动镜22(可动部22b)具有配置部221、框部222、一对连结部223和梁部224。配置部221、框部222和一对连结部223由器件层102的一部分构成。配置部221在从Z轴方向看时呈圆形状。配置部221具有中央部221a和外缘部221b。在中央部221a中的Z轴方向的一侧的表面221as上，例如通过形成金属膜(金属层)而设置有镜面22a。镜面22a与Z轴方向垂直地延伸，呈圆形状。中央部221a的表面221as为器件层102中的中间层103侧的表面。镜面22a位于相较于底座21的第1表面21a更靠Z轴方向上的另一侧。换言之，第1表面21a位于相较于镜面22a更靠Z轴方向上的一侧。外缘部221b在从Z轴方向看时包围中央部221a。

框部222以从Z轴方向看时从配置部221空出规定的间隔地包围配置部221的方式呈环状延伸。框部222例如在从Z轴方向看时呈圆环状。一对连结部223的各个将配置部221与框部222相互连结。一对连结部223配置在Y轴方向上的配置部221的两侧。

梁部224由配置在器件层102上的支承层101和中间层103构成。梁部224具有内侧梁部224a、外侧梁部224b和一对连结梁部224c。内侧梁部224a配置在外缘部221b中的Z轴方向的一侧的表面上。内侧梁部224a在从Z轴方向看时包围镜面22a。例如，内侧梁部224a的外缘在从Z轴方向看时从配置部221的外缘空出规定的间隔而沿配置部221的外缘延伸。内侧梁部224a的内缘在从Z轴方向看时从镜面22a的外缘空出规定的间隔而沿镜面22a的外缘延伸。内侧梁部224a中的Z轴方向的一侧的端面224as位于相较于镜面22a更靠Z轴方向上的一侧。

外侧梁部224b配置在框部222中的Z轴方向的一侧的表面上。外侧梁部224b在从Z轴方向看时包围内侧梁部224a，进而包围镜面22a。例如，外侧梁部224b的外缘在从Z轴方向看时从框部222的外缘空出规定的间隔而沿框部222的外缘延伸。外侧梁部224b的内缘在从Z轴方向看时从框部222的内缘空出规定的间隔而沿框部222的内缘延伸。外侧梁部224b中的Z轴方向的一侧的端面224bs位于相较于镜面22a更靠Z轴方向上的一侧。

一对连结梁部224c分别配置在一对连结部223中的Z轴方向的一侧的表面上。各连结梁部224c将内侧梁部224a与外侧梁部224b相互连结。连结梁部224c中的Z轴方向上的一侧的端面224cs位于相较于镜面22a更靠Z轴方向上的一侧。

Z轴方向上的内侧梁部224a、外侧梁部224b和各连结梁部224c的厚度彼此相等。即，构成内侧梁部224a、外侧梁部224b和各连结梁部224c的支承层101的厚度彼此相等。内侧梁部224a的端面224as、外侧梁部224b的端面224bs和各连结梁部224c的端面224cs位于与Z轴方向垂直的同一平面上。构成内侧梁部224a、外侧梁部224b和各连结梁部224c的支承层101比构成底座21的支承层101薄。由此，端面224as、224bs、224cs位于相较于底座21的第1表面21a更靠Z轴方向上的一侧。换言之，第1表面21a位于相较于端面224as、224bs、224cs更靠Z轴方向的另一侧。

在从Z轴方向看时，外侧梁部224b的宽度比内侧梁部224a的宽度宽。从Z轴方向看时的内侧梁部224a的宽度是与内侧梁部224a的延伸方向垂直的方向上的内侧梁部224a的长度，在本实施方式中是内侧梁部224a的半径方向上的内侧梁部224a的长度。这一点对从Z轴方向看时的外侧梁部224b的宽度而言也同样。各连结梁部224c的宽度比内侧梁部224a和外侧梁部224b各自的宽度宽。各连结梁部224c的宽度是沿内侧梁部224a的延伸方向的各连结梁部224c的长度。

驱动部23具有第1弹性支承部26、第2弹性支承部27和致动器部28。第1弹性支承部26、第2弹性支承部27和致动器部28由器件层102的一部分构成。

第1弹性支承部26和第2弹性支承部27分别连接于底座21与可动镜22之间。第1弹性支承部26和第2弹性支承部27以使得可动镜22(可动部22b)能够沿Z轴方向移动的方式支承可动镜22。

第1弹性支承部26具有一对杆261、第1联接部件262、第2联接部件263、一对梁部件264、中间部件265、一对第1扭力杆(第1扭转支承部)266、一对第2扭力杆(第2扭转支承部)267、一对非线性缓和弹簧268和多个电极支承部269。

一对杆261配置在Y轴方向上的光通过开口24的两侧，在Y轴方向上彼此相对。各杆261呈沿与Z轴方向垂直的平面延伸的板状。各杆261具有第1部分261a、相对于第1部分261a配置在可动镜22的相反侧的第2部分261b以及与第1部分261a和第2部分261b连接的第3部分261c。第1部分261a和第2部分261b沿X轴方向延伸。X轴方向上的第1部分261a的长度比X轴方向上的第2部分261b的长度短。一对杆261的第3部分261c以离可动镜22越远相互越分开的方式倾斜地延伸。

第1联接部件262架设于一对杆261的与可动镜22相反侧的第1端部261d间。第1联接部件262呈沿与Z轴方向垂直的平面延伸的板状，沿Y轴方向延伸。第2联接部件263架设于一对杆261中的可动镜22侧的第2端部261e间。第2联接部件263呈沿与Z轴方向垂直的平面延伸的板状，沿Y轴方向延伸。X轴方向上的第2联接部件263的宽度比X轴方向上的第1联接部件262的宽度窄。Y轴方向上的第2联接部件263的长度比Y轴方向上的第1联接部件262的长度短。

一对梁部件264分别架设于一对杆261的第2部分261b与第1联接部件262之间。各梁部件264呈沿与Z轴方向垂直的平面延伸的板状。一对梁部件264以离可动镜22越远相互越靠近的方式倾斜地延伸。一对杆261、第1联接部件262、第2联接部件263和一对梁部件264划定光通过开口24。光通过开口24在从Z轴方向看时呈多边形状。光通过开口24例如为空洞(孔)。或者，也可以在光通过开口24内配置相对于测量光L0和激光L10具有光透过性的材料。

中间部件265呈沿与Z轴方向垂直的平面延伸的板状，沿Y轴方向延伸。中间部件265配置在可动镜22与第2联接部件263之间(换言之，可动镜22与光通过开口24之间)。中间部件265如下述那样，经由非线性缓和弹簧268与可动镜22连接。

一对第1扭力杆266分别架设于一个杆261的第1端部261d与底座21之间和另一个杆261的第1端部261d与底座21之间。即，一对第1扭力杆266分别连接于一对杆261与底座21之间。各第1扭力杆266沿Y轴方向延伸。一对第1扭力杆266配置在与Y轴方向平行的同一中心线上。在本实施方式中，各第1扭力杆266的中心线与第1联接部件262的中心线位于同一直线上。在各杆261的第1端部261d设置有向Y轴方向上的外侧突出的突出部261f，各第1扭力杆266与突出部261f连接。

一对第2扭力杆267分别架设于一个杆261的第2端部261e与中间部件265的一端之间和另一个杆261的第2端部261e与中间部件265的另一端之间。即，一对第2扭力杆267分别连接于一对杆261与可动镜22之间。各第2扭力杆267沿Y轴方向延伸。一对第2扭力杆267配置在与Y轴方向平行的同一中心线上。

一对非线性缓和弹簧268连接于可动镜22与中间部件265之间。即，一对非线性缓和弹簧268连接于可动镜22与第2扭力杆267之间。各非线性缓和弹簧268具有在从Z轴方向看时蜿蜒延伸的蜿蜒部268a。蜿蜒部268a包括向Y轴方向延伸且在X轴方向上排列的多个直线状部分268b和将多个直线状部分268b的两端交替连结的多个折返部分268c。蜿蜒部268a的一端与中间部件265连接，蜿蜒部268a的另一端与框部222连接。蜿蜒部268a中的框部222侧的部分呈沿着框部222的外缘的形状。

非线性缓和弹簧268以如下方式构成：在可动镜22向Z轴方向移动的状态下，Y轴方向周围的非线性缓和弹簧268的变形量比Y轴方向周围的第1扭力杆266和第2扭力杆267各自的变形量小，且X轴方向上的非线性缓和弹簧268的变形量比X轴方向上的第1扭力杆266和第2扭力杆267各自的变形量大。由此，能够抑制在第1扭力杆266和第2扭力杆267的扭转变形中产生非线性，能够抑制起因于该非线性的可动镜22的控制特性的下降。另外，Y轴方向周围的第1扭力杆266、第2扭力杆267和非线性缓和弹簧268的变形量例如是指扭转量(扭转角度)的绝对值。X轴方向上的第1扭力杆266、第2扭力杆267和非线性缓和弹簧268的变形量例如是指挠曲量的绝对值。Y轴方向周围的某部件的变形量是指以通过该部件的中心且与Y轴平行的轴线为中心的圆的周向上的该部件的变形量。这些点对下述的第1扭力杆276、第2扭力杆277和非线性缓和弹簧278而言也同样。

多个电极支承部269包括一对第1电极支承部269a、一对第2电极支承部269b和一对第3电极支承部269c。各电极支承部269a、269b、269c呈沿与Z轴方向垂直的平面延伸的板状，沿Y轴方向延伸。各电极支承部269a、269b、269c从杆261的第2部分261b向与光通过开口24相反侧延伸。一对第1电极支承部269a配置在与Y轴方向平行的同一中心线上。一对第2电极支承部269b配置在与Y轴方向平行的同一中心线上。一对第3电极支承部269c配置在与Y轴方向平行的同一中心线上。在X轴方向上，第1电极支承部269a、第2电极支承部269b和第3电极支承部269c从可动镜22侧起依次排列地配置。

第2弹性支承部27具有一对杆271、第1联接部件272、第2联接部件273、一对梁部件274、中间部件275、一对第1扭力杆(第1扭转支承部)276、一对第2扭力杆(第2扭转支承部)277、一对非线性缓和弹簧278和多个电极支承部279。

一对杆271配置在Y轴方向上的光通过开口25的两侧，在Y轴方向上彼此相对。各杆271呈沿与Z轴方向垂直的平面延伸的板状。各杆271具有第1部分271a、相对于第1部分271a配置在与可动镜22相反侧的第2部分271b以及与第1部分271a和第2部分271b连接的第3部分271c。第1部分271a和第2部分271b沿X轴方向延伸。X轴方向上的第1部分271a的长度比X轴方向上的第2部分271b的长度短。一对杆271的第3部分271c以离可动镜22越远彼此越分开的方式倾斜地延伸。

第1联接部件272架设于一对杆271的与可动镜22相反侧的第1端部271d间。第1联接部件272呈沿与Z轴方向垂直的平面延伸的板状，沿Y轴方向延伸。第2联接部件273架设于一对杆271中的可动镜22侧的第2端部271e间。第2联接部件273呈沿与Z轴方向垂直的平面延伸的板状，沿Y轴方向延伸。X轴方向上的第2联接部件273的宽度比X轴方向上的第1联接部件272的宽度窄。Y轴方向上的第2联接部件273的长度比Y轴方向上的第1联接部件272的长度短。

一对梁部件274分别架设于一对杆271的第2部分271b与第1联接部件272之间。各梁部件274呈沿与Z轴方向垂直的平面延伸的板状。一对梁部件274以离可动镜22越远相互越靠近的方式倾斜地延伸。一对杆271、第1联接部件272、第2联接部件273和一对梁部件274划定光通过开口25。光通过开口25在从Z轴方向看时呈多边形状。光通过开口25例如为空洞(孔)。或者，在光通过开口25内也可以配置有相对于测量光L0和激光L10具有光透过性的材料。

中间部件275呈沿与Z轴方向垂直的平面延伸的板状，沿Y轴方向延伸。中间部件275配置在可动镜22与第2联接部件273之间(换言之，可动镜22与光通过开口25之间)。中间部件275如下述那样，经由非线性缓和弹簧278与可动镜22连接。

一对第1扭力杆276分别架设于一个杆271的第1端部271d与底座21之间和另一个杆271的第1端部271d与底座21之间。即，一对第1扭力杆276分别连接于一对杆271与底座21之间。各第1扭力杆276沿Y轴方向延伸。一对第1扭力杆276配置在与Y轴方向平行的同一中心线上。在本实施方式中，各第1扭力杆276的中心线与第1联接部件272的中心线位于同一直线上。在各杆271的第1端部271d设置有向Y轴方向上的外侧突出的突出部271f，各第1扭力杆276与突出部271f连接。

一对第2扭力杆277分别架设于一个杆271的第2端部271e与中间部件275的一端之间和另一个杆271的第2端部271e与中间部件275的另一端之间。即，一对第2扭力杆277分别连接于一对杆271与可动镜22之间。各第2扭力杆277沿Y轴方向延伸。一对第2扭力杆277配置在与Y轴方向平行的同一中心线上。

一对非线性缓和弹簧278连接于可动镜22与中间部件275之间。即，一对非线性缓和弹簧278连接于可动镜22与第2扭力杆277之间。各非线性缓和弹簧278具有在从Z轴方向看时蜿蜒地延伸的蜿蜒部278a。蜿蜒部278a包括向Y轴方向延伸且在X轴方向上排列的多个直线状部分278b和交替地连结多个直线状部分278b的两端的多个折返部分278c。蜿蜒部278a的一端与中间部件275连接，蜿蜒部278a的另一端与框部222连接。蜿蜒部278a中的框部222侧的部分呈沿着框部222的外缘的形状。

非线性缓和弹簧278以如下方式构成：在可动镜22向Z轴方向移动的状态下，Y轴方向周围的非线性缓和弹簧278的变形量小于Y轴方向周围的第1扭力杆276和第2扭力杆277各自的变形量，且X轴方向上的非线性缓和弹簧278的变形量大于X轴方向上的第1扭力杆276和第2扭力杆277各自的变形量。由此，能够抑制在第1扭力杆276和第2扭力杆277的扭转变形产生非线性，能够抑制起因于该非线性的可动镜22的控制特性的下降。

多个电极支承部279包括一对第1电极支承部279a、一对第2电极支承部279b和一对第3电极支承部279c。各电极支承部279a、279b、279c呈沿与Z轴方向垂直的平面延伸的板状，沿Y轴方向延伸。各电极支承部279a、279b、279c从杆271的第2部分271b向与光通过开口25相反侧延伸。一对第1电极支承部279a配置在与Y轴方向平行的同一中心线上。一对第2电极支承部279b配置在与Y轴方向平行的同一中心线上。一对第3电极支承部279c配置在与Y轴方向平行的同一中心线上。在X轴方向上，第1电极支承部279a、第2电极支承部279b和第3电极支承部279c从可动镜22侧起按该顺序排列地配置。

致动器部28使可动镜22沿Z轴方向移动。致动器部28具有固定梳齿电极281、可动梳齿电极282、固定梳齿电极283和可动梳齿电极284。固定梳齿电极281、283的位置固定。可动梳齿电极282、284随着可动镜22的移动而移动。

固定梳齿电极281设置于底座21的器件层102的与电极支承部269相对的表面的一部分。固定梳齿电极281具有沿与Y轴方向垂直的平面延伸的多个固定梳齿281a。这些固定梳齿281a在Y轴方向上空出规定的间隔而排列配置。

可动梳齿电极282设置于各第1电极支承部269a中的可动镜22侧的表面、各第2电极支承部269b中的X轴方向的两侧的表面和各第3电极支承部269c中的可动镜22侧的表面设置。可动梳齿电极282具有沿与Y轴方向垂直的平面延伸的多个可动梳齿282a。这些可动梳齿282a在Y轴方向上空出规定的间隔而排列配置。

在固定梳齿电极281和可动梳齿电极282，交替地配置有多个固定梳齿281a和多个可动梳齿282a。即，固定梳齿电极281的各固定梳齿281a位于可动梳齿电极282的可动梳齿282a间。相邻的固定梳齿281a与可动梳齿282a在Y轴方向上彼此相对。相邻的固定梳齿281a与可动梳齿282a之间的距离例如为几μm左右。

固定梳齿电极283设置在底座21的器件层102中的与电极支承部279相对的表面的一部分。固定梳齿电极283具有沿与Y轴方向垂直的平面延伸的多个固定梳齿283a。这些固定梳齿283a在Y轴方向上空出规定的间隔而排列配置。

可动梳齿电极284设置在各第1电极支承部279a中的可动镜22侧的表面、各第2电极支承部279b中的X轴方向的两侧的表面和各第3电极支承部279c中的可动镜22侧的表面。可动梳齿电极284具有沿与Y轴方向垂直的平面延伸的多个可动梳齿284a。这些可动梳齿284a在Y轴方向上空出规定的间隔而排列配置。

在固定梳齿电极283和可动梳齿电极284，交替地配置有多个固定梳齿283a和多个可动梳齿284a。即，固定梳齿电极283的各固定梳齿283a位于可动梳齿电极284的可动梳齿284a间。相邻的固定梳齿283a与可动梳齿284a在Y轴方向上彼此相对。相邻的固定梳齿283a与可动梳齿284a之间的距离例如为几μm左右。

在底座21设置有多个电极垫211。各电极垫211在以到达器件层102的方式形成在底座21的第1表面21a的开口213内配置在器件层102的表面上。多个电极垫211中的一些电极垫211经由器件层102与固定梳齿电极281或固定梳齿电极283电连接。多个电极垫211中的另一些电极垫211经由第1弹性支承部26或第2弹性支承部27与可动梳齿电极282或可动梳齿电极284电连接。此外，在底座21设置有作为接地电极使用的一对电极垫212。一对电极垫212以位于Y轴方向上的可动镜22的两侧的方式配置在第1表面21a上。

在如以上那样构成的镜器件20中，经由下述的引线销(lead pin)113和线(wire)(省略图示)，向驱动部23输入用于使可动镜22沿Z轴方向移动的电信号。由此，例如在彼此相对的固定梳齿电极281与可动梳齿电极282之间和彼此相对的固定梳齿电极283与可动梳齿电极284之间产生静电力，以使得可动镜22向Z轴方向上的一侧移动。此时，在第1弹性支承部26和第2弹性支承部27，第1扭力杆266、276、第2扭力杆267、277扭转，在第1弹性支承部26和第2弹性支承部27产生弹性力。在镜器件20，通过对驱动部23赋予周期性的电信号，能够沿Z轴方向使可动镜22以其共振频率水平往复移动。这样，驱动部23作为静电致动器发挥作用。

[弹性支承部的结构]

参照图6进一步说明第1弹性支承部26和第2弹性支承部27的结构。以下，将杆261与第1扭力杆266被连接的位置设为连接位置A1，将杆261与第2扭力杆267被连接的位置设为连接位置A2。将杆261与第1联接部件262被连接的位置设为连接位置B1，将杆261与第2联接部件263被连接的位置设为连接位置B2。将框部222与第2扭力杆267被连接的位置设为连接位置C1。

连接位置A1例如是杆261与第1扭力杆266的连接部分的中央部，在本实施方式中是杆261的第2部分261b的中心线与第1扭力杆266的中心线的交点的位置。连接位置A2例如是杆261与第2扭力杆267的连接部分的中央部，在本实施方式中是杆261的第1部分261a的中心线与第2扭力杆267的中心线的交点的位置。连接位置B1例如是杆261与第1联接部件262的连接部分的中央部，在本实施方式中是杆261的第2部分261b的中心线与第1联接部件262的中心线的交点的位置。在本实施方式中，连接位置B1与连接位置A1一致。连接位置B2例如是杆261与第2联接部件263的连接部分的中央部，在本实施方式中是杆261的第1部分261a的中心线与第2联接部件263的中心线的交点的位置。

连接位置C1例如是框部222与第2扭力杆267被连接的连接部分的中央部。连接位置C1如本实施方式那样在框部222和第2扭力杆267经由其他要素(在本实施方式中为中间部件265和非线性缓和弹簧268)彼此连接的情况下，是框部222与该其他要素被彼此连接的位置。在本实施方式中，连接位置C1是框部222的外缘(假想地延长外缘而得的线段)和与框部222连续的直线状部分268b的中心线的交点的位置。换句话说，连接位置C1是可动部22b与第2扭力杆267的连接位置。

在镜器件20中，连接位置A1和连接位置B1的各个在X轴方向上相对于光通过开口24的中心T1位于可动镜22的相反侧。连接位置A2和连接位置B2的各个在X轴方向上相对于光通过开口24的中心T1位于可动镜22侧。

Y轴方向上的光通过开口24的最大宽度W1由Y轴方向上的一对杆261之间的间隔规定。在本实施方式中，最大宽度W1是一对杆261的第2部分261b之间的间隔，与第1联接部件262的长度相等。最大宽度W1比Y轴方向上的连接位置C1之间的距离D1大。

在各杆261中，从连接位置B1至连接位置A2的X轴方向上的距离D2比从连接位置B1至连接位置A1的X轴方向上的距离D3长。在本实施方式中，由于连接位置A1与连接位置B1一致，所以距离D3的值为0。换句话说，第1联接部件262在相较于第2扭力杆267更靠近第1扭力杆266的位置与各杆261连接。

在各杆261中，从连接位置B2至连接位置A1的X轴方向上的距离D4比从连接位置B2至连接位置A2的X轴方向上的距离D5长。换句话说，第2联接部件263在相较于第1扭力杆266更靠近第2扭力杆267的位置与各杆261连接。

从Z轴方向观察时，光通过开口24的面积为镜面22a的面积的50％以上。更优选地，光通过开口24的面积为镜面22a的面积的70％以上。在本实施方式中，从Z轴方向观察时，光通过开口24的面积大于镜面22a的面积。光通过开口24的形状关于通过镜面22a的中心和光通过开口24的中心T1的直线(在本实施方式中为轴线R1)线对称。第1扭力杆266和第2扭力杆267没有划定光通过开口24。即，第1扭力杆266和第2扭力杆267配置在光通过开口24的外侧。X轴方向上的光通过开口24的最大宽度比X轴方向上的镜面22a的最大宽度宽。Y轴方向上的光通过开口24的最大宽度W1比Y轴方向上的镜面22a的最大宽度宽。

接着，说明第2弹性支承部27。以下，将杆271与第1扭力杆276被连接的位置设为连接位置A3，将杆271与第2扭力杆277被连接的位置设为连接位置A4。将杆271与第1联接部件272被连接的位置设为连接位置B3，将杆271与第2联接部件273被连接的位置设为连接位置B4。将框部222与第2扭力杆277被连接的位置设为连接位置C2。

连接位置A3例如是杆271与第1扭力杆276的连接部分的中央部，在本实施方式中是杆271的第2部分271b的中心线与第1扭力杆276的中心线的交点的位置。连接位置A4例如是杆271与第2扭力杆277的连接部分的中央部，在本实施方式中是杆271的第1部分271a的中心线与第2扭力杆277的中心线的交点的位置。连接位置B3例如是杆271与第1联接部件272的连接部分的中央部，在本实施方式中是杆271的第2部分271b的中心线与第1联接部件272的中心线的交点的位置。在本实施方式中，连接位置B3与连接位置A3一致。连接位置B4例如是杆271与第2联接部件273的连接部分的中央部，在本实施方式中是杆271的第1部分271a的中心线与第2联接部件273的中心线的交点的位置。

连接位置C2例如是框部222与第2扭力杆277被连接的连接部分的中央部。连接位置C2如本实施方式那样在框部222和第2扭力杆277经由其他要素(在本实施方式中为中间部件275和非线性缓和弹簧278)彼此连接的情况下，是框部222与该其他要素被彼此连接的位置。在本实施方式中，连接位置C2是框部222的外缘(假想地延长外缘而得的线段)和与框部222连续的直线状部分278b的中心线的交点的位置。换句话说，连接位置C2是可动部22b与第2扭力杆277的连接位置。

在镜器件20中，连接位置A3和连接位置B3的各个在X轴方向上相对于光通过开口24的中心T2位于可动镜22的相反侧。连接位置A4和连接位置B4的各个在X轴方向上相对于光通过开口24的中心T2位于可动镜22侧。

Y轴方向上的光通过开口25的最大宽度W2由Y轴方向上的一对杆271之间的间隔规定。在本实施方式中，最大宽度W2是一对杆271的第2部分271b之间的间隔，与第1联接部件272的长度相等。最大宽度W2比Y轴方向上的连接位置C2之间的距离D6大。

在各杆271中，从连接位置B3至连接位置A4的X轴方向上的距离D7比从连接位置B3至连接位置A3的X轴方向上的距离D8长。在本实施方式中，由于连接位置A3与连接位置B3一致，所以距离D8的值为0。换句话说，第1联接部件272在相较于第2扭力杆277更靠近第1扭力杆276的位置与各杆271连接。

在各杆271中，从连接位置B4至连接位置A3的X轴方向上的距离D9比从连接位置B4至连接位置A4的X轴方向上的距离D10长。换句话说，第2联接部件273在相较于第1扭力杆276更靠近第2扭力杆277的位置与各杆271连接。

从Z轴方向观察时，光通过开口25的面积为镜面22a的面积的50％以上。更优选地，光通过开口25的面积为镜面22a的面积的70％以上。在本实施方式中，从Z轴方向观察时，光通过开口25的面积大于镜面22a的面积。光通过开口25的形状关于通过镜面22a的中心和光通过开口25的中心T2的直线(在本实施方式中为轴线R1)线对称。第1扭力杆276和第2扭力杆277没有划定光通过开口25。即，第1扭力杆276和第2扭力杆277配置在光通过开口25的外侧。X轴方向上的光通过开口25的最大宽度比X轴方向上的镜面22a的最大宽度宽。Y轴方向上的光通过开口25的最大宽度W2比Y轴方向上的镜面22a的最大宽度宽。

[镜单元的其它结构]

如图2、图3、图4和图7所示，光学功能部件13具有与底座21的第2表面21b相对的第3表面13a(Z轴方向上的一侧的表面)和与第3表面13a相反侧的第4表面13b。光学功能部件13相对于镜器件20配置在Z轴方向上的另一侧。在从Z轴方向看时，光学功能部件13的外缘13c位于底座21的外缘21c的外侧。即，在从Z轴方向看时，光学功能部件13的外缘13c包围底座21的外缘21c。光学功能部件13由相对于测量光L0和激光L10具有透过性的材料一体地形成。光学功能部件13例如由玻璃呈矩形板状形成，例如具有15mm×20mm×4mm(厚度)左右的尺寸。另外，光学功能部件13的材料例如根据光模块1的灵敏度波长来选择，以使得在光模块1的灵敏度波长处于近红外区域的情况下为玻璃，在光模块1的灵敏度波长处于中红外区域的情况下为硅。

在光学功能部件13设置有一对光透过部14、15。光透过部14是光学功能部件13中在Z轴方向上与镜器件20的光通过开口24相对的部分。光透过部15是光学功能部件13中在Z轴方向上与镜器件20的光通过开口25相对的部分。光透过部14中的镜器件20侧的表面14a和光透过部15中的镜器件20侧的表面15a与第3表面13a位于同一平面上。光透过部(第2光通过部)14构成分束器单元3与固定镜16之间的光路的第2部分(一部分)。光透过部14是对在分束器单元3与可动镜22之间的光路和分束器单元3与固定镜16之间的光路之间产生的光路差进行修正的部分。另外，在本实施方式中，光透过部15不作为光透过部发挥作用。

光学功能部件13具有与镜器件20的可动镜22和驱动部23相对的第5表面13d。第5表面13d位于相较于第3表面13a更靠第4表面13b侧。第5表面13d在从Z轴方向看时延伸至光学功能部件13的外缘13c。在本实施方式中，第5表面13d包围各光透过部14、15中的镜器件20侧的端部，并且延伸至光学功能部件13的外缘13c中沿Y轴方向延伸的一对对边的各个。

光学功能部件13的第3表面13a通过直接结合(例如，等离子体活性化接合(PlasmaActivation Bonding)、表面活性化接合(SAB：Surface-activated Room-temperatureBonding)、原子扩散接合(ADB：Atomic Diffusion Bonding)、阳极接合(Anodic Bonding)、熔融接合(Fusion Bonding)、亲水化接合(Hydrophilic Bonding)等)与底座21的第2表面21b接合。在本实施方式中，第3表面13a在Y轴方向上的第5表面13d的两侧，以与设置在底座21的多个电极垫211、212相对的方式延伸。此处，第5表面13d位于相较于第3表面13a更靠第4表面13b侧，所以第5表面13d在与可动镜22和驱动部23相对的区域上离开镜器件20。此外，光透过部14的表面14a和光透过部15的表面15a分别与镜器件20的光通过开口24、25相对。由此，在镜单元2，防止了在可动镜22沿Z轴方向往复移动时可动镜22和驱动部23与光学功能部件13接触。

另外，在镜器件20的底座21，设置有在光学功能部件13的第3表面13a与底座21的第2表面21b相互接合的状态下离开光学功能部件13的第6表面21d。第6表面21d在包含从Z轴方向看时的底座21的外缘的至少一部分的区域离开光学功能部件13。在本实施方式中，第6表面21d通过沿底座21的外缘中沿Y轴方向延伸的一边通过蚀刻去除器件层102和中间层103而形成。此外，在光学功能部件13的第3表面13a形成有多个基准孔13e。在本实施方式中，多个基准孔13e以与底座21具有的多个角部分别对应的方式在第3表面13a形成。在光学功能部件13的第3表面13a与底座21的第2表面21b相互接合时，通过把持底座21中与第6表面21d对应的部分而实施镜器件20的操作，以在第3表面13a形成的多个基准孔13e为基准，调节X轴方向和Y轴方向上的镜器件20的位置和与Z轴方向垂直的平面内的镜器件20的角度。

如图3和图4所示，固定镜16相对于光学功能部件13配置在Z轴方向上的另一侧(镜器件20的相反侧)，镜器件20的相对于底座21的位置固定。固定镜16例如通过蒸镀形成在光学功能部件13的第4表面13b。固定镜16具有与Z轴方向垂直的镜面16a。在本实施方式中，可动镜22的镜面22a和固定镜16的镜面16a朝向Z轴方向上的一侧(分束器单元3侧)。另外，固定镜16以将透过光学功能部件13的各光透过部14、15的光反射的方式，与光学功能部件13的第4表面13b连续地形成，但也可以分别设置将透过光透过部14的光反射的固定镜和将透过光透过部15的光反射的固定镜。

应力缓和基板17经由固定镜16安装在光学功能部件13的第4表面13b。应力缓和基板17例如利用粘接剂安装在固定镜16。在从Z轴方向看时，应力缓和基板17的外缘位于光学功能部件13的外缘13c的外侧。即，在从Z轴方向看时，应力缓和基板17的外缘包围光学功能部件13的外缘13c。应力缓和基板17的热膨胀系数相较于光学功能部件13的热膨胀系数更接近镜器件20的底座21的热膨胀系数(更具体而言为支承层101的热膨胀系数)。此外，应力缓和基板17的厚度相较于光学功能部件13的厚度更接近镜器件20的底座21的厚度。应力缓和基板17例如通过硅而呈矩形板状形成，具有例如16mm×21mm×0.65mm(厚度)左右的尺寸。

如以上那样构成的镜单元2如图1所示通过应力缓和基板17的与光学功能部件13相反侧的表面例如由粘接剂固定在支承体9的表面9a(Z轴方向上的一侧的表面)，而安装在支承体9。在镜单元2安装在支承体9时，如图8所示，以在支承体9形成的基准孔9b为基准，调节X轴方向和Y轴方向上的镜器件20的位置和与Z轴方向垂直的平面内的镜器件20的角度。另外，在图8中，省略第2支承结构12的图示。

[第1支承结构和分束器单元的结构]

如图1和图8所示，第1支承结构11具有框体111、光透过部件112和多个引线销113。框体111以在从Z轴方向看时包围镜单元2的方式形成，例如通过银焊料等的粘接剂安装在支承体9的表面9a。框体111例如由陶瓷形成，例如呈矩形框状。框体111的与支承体9相反侧的端面111a位于相较于镜器件20的底座21的第1表面21a更靠支承体9的相反侧。

光透过部件112以封闭框体111的开口的方式形成，例如通过粘接剂安装在框体111的端面111a。光透过部件112由相对于测量光L0和激光L10具有透过性的材料形成，例如呈矩形板状。此处，框体111的端面111a位于相较于镜器件20的底座21的第1表面21a更靠支承体9的相反侧，所以光透过部件112离开镜器件20。由此，在光模块1，防止了在可动镜22沿Z轴方向往复移动时可动镜22和驱动部23与光透过部件112接触。另外，在光模块1，由支承体9、框体111和光透过部件112构成收纳镜单元2的封装件。

各引线销113以一端部113a位于框体111的内侧且另一端部(省略图示)位于框体111的外侧的方式设置在框体111。引线销113的一端部113a在镜器件20通过线(省略图示)与对应于该引线销113的电极垫211、212电连接。在光模块1，用于使可动镜22沿Z轴方向移动的电信号经由多个引线销113输入到驱动部23。在本实施方式中，在框体111形成有在Y轴方向上的光学功能部件13的两侧沿X轴方向延伸的阶差面111b，各引线销113的一端部113a配置在阶差面111b。各引线销113在Y轴方向上的支承体9的两侧沿Z轴方向延伸，各引线销113的另一端部位于相较于支承体9更靠Z轴方向上的另一侧。

如图10所示，分束器单元3例如通过兼作折射率匹配剂的光学粘接剂安装在光透过部件112的与镜器件20相反侧的表面112a。分束器单元3具有第1镜面31、第2镜面32和多个光学面33a、33b、33c、33d。分束器单元3通过接合多个光学块34、35而构成。各光学块34、35由折射率与光学功能部件13相同或类似的材料形成。另外，图10是图1所示的镜单元2和分束器单元3的示意性的截面图，在图10中，例如在Z轴方向上的尺寸放大至大于实际的状态下示意地表示镜器件20。

第1镜面31是相对于Z轴方向倾斜的镜面(例如，半透半反镜面)，形成在光学块34与光学块35之间。在本实施方式中，第1镜面31是与Y轴方向平行的面，且是与Z轴方向成45°的角度的面，是以越靠近镜器件20越远离光入射部4的方式倾斜的面。第1镜面31具有将测量光L0的一部分反射且使测量光L0的剩余部分透过的功能和将激光L10的一部分反射且使激光L10的剩余部分透过的功能。第1镜面31例如由电介质多层膜形成。第1镜面31在从Z轴方向看时与镜器件20的光通过开口24、光学功能部件13的光透过部14和固定镜16的镜面16a重叠，且在从X轴方向看时与光入射部4重叠(参照图1)。即，第1镜面31在Z轴方向上与固定镜16相对，且在X轴方向与光入射部4相对。

第2镜面32是与第1镜面31平行的镜面(例如全反射镜面)，以相对于第1镜面31位于与光入射部4相反侧的方式形成在光学块35。第2镜面32具有反射测量光L0的功能和反射激光L10的功能。第2镜面32例如由金属膜形成。第2镜面32在从Z轴方向看时与镜器件20的可动镜22的镜面22a重叠，且在从X轴方向看时与第1镜面31重叠。即，第2镜面32在Z轴方向上与可动镜22相对，且在X轴方向上与第1镜面31相对。

光学面33a是与Z轴方向垂直的面，以相对于第1镜面31位于与镜器件20相反侧的方式形成在光学块35。光学面33b是与Z轴方向垂直的面，以相对于第2镜面32位于镜器件20侧的方式形成在光学块35。光学面33c是与Z轴方向垂直的面，以相对于第1镜面31位于镜器件20侧的方式形成在光学块34。光学面33b和光学面33c位于同一平面上。光学面33d是与X轴方向垂直的面，以相对于第1镜面31位于光入射部4侧的方式形成在光学块34。各光学面33a、33b、33c、33d具有使测量光L0透过的功能和使激光L10透过的功能。

如以上那样构成的分束器单元3通过位于同一平面上的光学面33b和光学面33c例如利用光学粘接剂固定在光透过部件112的表面112a而安装在光透过部件112。在分束器单元3安装于光透过部件112时，如图9所示，以在支承体9形成的基准孔9b为基准，调节X轴方向和Y轴方向上的分束器单元3的位置和与Z轴方向垂直的平面内的分束器单元3的角度。另外，在图9中省略第2支承结构12的图示。

此处，参照图10对镜单元2和分束器单元3的测量光L0的光路和激光L10的光路进行详细说明。

如图10所示，当测量光L0经由光学面33d沿X轴方向向分束器单元3入射时，测量光L0的一部分透过第1镜面31并在第2镜面32反射，经由光学面33b和光透过部件112到达可动镜22的镜面22a。该测量光L0的一部分在可动镜22的镜面22a反射，在同一光路P1上向反方向行进而在第1镜面31反射。测量光L0的剩余部分在第1镜面31反射，经由光学面33c、光透过部件112、镜器件20的光通过开口24和光学功能部件13的光透过部14而到达固定镜16的镜面16a。该测量光L0的剩余部分在固定镜16的镜面16a反射，在同一光路P2上向反方向行进而透过第1镜面31。在第1镜面31反射后的测量光L0的一部分和透过第1镜面31后的测量光L0的剩余部分成为干涉光L1，该测量光的干涉光L1经由光学面33a从分束器单元3沿Z轴方向出射。

另一方面，当激光L10经由光学面33a沿Z轴方向向分束器单元3入射时，激光L10的一部分在第1镜面31和第2反射面32反射，经由光学面33b和光透过部件112到达可动镜22的镜面22a。该激光L10的一部分在可动镜22的镜面22a反射，在同一光路P3上向反方向行进而在第1镜面31反射。激光L10的剩余部分透过第1镜面31，经由光学面33c、光透过部件112、镜器件20的光通过开口24和光学功能部件13的光透过部14，而到达固定镜16的镜面16a。该激光L10的剩余部分在固定镜16的镜面16a反射，在同一光路P4上向反方向行进而透过第1镜面31。在第1镜面31反射后的激光L10的一部分和透过第1镜面31后的激光L10的剩余部分成为干涉光L11，该激光的干涉光L11经由光学面33a从分束器单元3沿Z轴方向出射。

如上所述，镜器件20的光通过开口24构成分束器单元3与固定镜16之间的光路中、测量光L0的光路P2的第1部分P2a和激光L10的光路P4的第1部分P4a。此外，光学功能部件13的光透过部14构成分束器单元3与固定镜16之间的光路中、测量光L0的光路P2的第2部分P2b和激光L10的光路P4的第2部分P4b。

通过由光透过部14构成测量光L0的光路P2的第2部分P2b，修正两个光路P1、P2间的光路差，以使得测量光L0的光路P1的光路长度(考虑了该光路通过的各介质的折射率的光路长度)与测量光L0的光路P2的光路长度的差变小。同样，通过由光透过部14构成激光L10的光路P4的第2部分P4b，修正两个光路P3、P4间的光路差，以使得激光L10的光路P3的光路长度与激光L10的光路P4的光路长度的差变小。在本实施方式中，光透过部14的折射率与构成分束器单元3的各光学块的折射率相等，沿着X轴方向的第1镜面31与第2镜面32的距离与沿着Z轴方向的光透过部14的厚度(即，沿着Z轴方向的光透过部14的表面14a与光学功能部件13的第4表面13b的距离)相等。

[第2支承结构和光入射部等的结构]

如图1所示，第2支承结构12具有连结单元120。连结单元120包括主体部121、框体122和固定板123。主体部121包括一对侧壁部124、125和顶壁部126。一对侧壁部124、125在X轴方向上彼此相对。在X轴方向上的一侧的侧壁部124形成有开口124a。顶壁部126在Z轴方向上与支承体9相对。在顶壁部126形成有开口126a。主体部121例如利用金属一体地形成。在主体部121设置有定位销121a。主体部121通过定位销121a嵌入形成于支承体9的基准孔9b而相对于支承体9定位，在该状态下，例如通过螺栓安装在支承体9。

框体122配置在侧壁部124的与分束器单元3相反侧的表面。框体122的开口经由侧壁部124的开口124a与分束器单元3相对。在框体122配置有光入射部4。固定板123是用于将配置在框体122的光入射部4固定于主体部121的部件(详细情况下述)。

第2支承结构12进一步具有保持单元130。保持单元130包括主体部131、框体132和固定板133。主体部131安装在顶壁部126的与支承体9相反侧的表面。主体部131通过例如定位销相对于连结单元120的主体部121定位，在该状态下，例如通过螺栓安装在顶壁部126。在主体部131的与支承体9相反侧的表面形成有凹部134。在凹部134的底面形成有第1光通过孔135、第2光通过孔136和第3光通过孔137。第1光通过孔135形成于在Z轴方向上与分束器单元3的第1镜面31相对的位置。第2光通过孔136形成在X轴方向上的第1光通过孔135的另一侧(即，与光入射部4相反侧)。第3光通过孔137形成在X轴方向上的第2光通过孔136的另一侧。

框体132配置于凹部134的底面。框体132的开口与第3光通过孔137相对。在框体132配置有第2光源7。第1光检测器6以与第1光通过孔135相对的状态配置在凹部134的底面。第2光检测器8以与第2光通过孔136相对的状态配置在凹部134的底面。固定板133是用于将配置在凹部134的底面的第1光检测器6和第2光检测器8以及配置在框体132的第2光源7固定于主体部131的部件(详细情况下述)。

光入射部4具有保持件41和准直透镜42。保持件41保持准直透镜42，以能够进行对测量光L0进行导光的光纤(省略图示)的连接的方式构成。准直透镜42使从光纤出射的测量光L0准直。当在保持件41连接有光纤时，光纤的光轴与准直透镜42的光轴一致。

在保持件41设置有凸缘部41a。凸缘部41a配置在框体122与固定板123之间。在该状态下，通过例如通过螺栓在侧壁部124安装固定板123，使得配置在框体122的光入射部4固定于主体部121。这样，光入射部4配置在X轴方向上的分束器单元3的一侧，由第2支承结构12支承。光入射部4使从第1光源经由测量对象入射的测量光L0或从测量对象发出的测量光L0(在本实施方式中为由光纤导光的测量光L0)入射于分束器单元3。

在框体122安装有滤光器54。滤光器54具有截止激光L10的功能。滤光器54以相对于光入射部4的光轴倾斜的状态配置在侧壁部124的开口124a内。滤光器54在从X轴方向看时封闭框体122的开口。这样，滤光器54配置在光入射部4与分束器单元3之间，以相对于光入射部4的光轴倾斜的状态由第2支承结构12支承。在本实施方式中，滤光器54的光学面是与Z轴方向平行的面，且是与Y轴方向成10°～20°的角度的面。另外，光入射部4的光轴与X轴方向平行。

由此，即使在测量光L0中包含与激光L10相同波段的光，也能够防止该光入射到分束器单元3，所以能够基于激光的干涉光L11的检测结果高精度地获得Z轴方向上的可动镜22的位置。此外，由于滤光器54相对于光入射部4的光轴倾斜，所以能够使与激光L10相同波段的光在干涉光学系统外反射，从而可靠地防止该光成为杂散光。在本实施方式中，与沿X轴方向从分束器单元3出射的激光L10相同波段的光被滤光器54反射，从第2支承结构12的主体部121中的一对侧壁部124、125之间射出到干涉光学系统外。由此，能够可靠地防止该光成为杂散光。

第1光检测器6具有保持件61、光检测元件62和聚光透镜63。保持件61保持光检测元件62和聚光透镜63。光检测元件62检测测量光的干涉光L1。光检测元件62例如为InGaAs光电二极管。聚光透镜63将向光检测元件62入射的测量光的干涉光L1聚光于光检测元件62。在保持件61，光检测元件62的光轴与聚光透镜63的光轴相互一致。

在保持件61设置有凸缘部61a。凸缘部61a配置在主体部131的凹部134的底面与固定板133之间。在该状态下，固定板133例如通过螺栓安装在主体部131，配置在凹部134的底面的第1光检测器6固定于主体部131。这样，第1光检测器6配置在Z轴方向上的分束器单元3的一侧，由第2支承结构12支承。第1光检测器6在Z轴方向上与分束器单元3的第1镜面31相对。第1光检测器6检测从分束器单元3出射的测量光的干涉光L1。

第2光检测器8具有保持件81、光检测元件82和聚光透镜83。保持件81保持光检测元件82和聚光透镜83。光检测元件82检测激光的干涉光L11。光检测元件82例如为Si光电二极管。聚光透镜83将向光检测元件82入射的激光的干涉光L11聚光于光检测元件82。在保持件81，光检测元件82的光轴与聚光透镜83的光轴相互一致。

在保持件81设置有凸缘部81a。凸缘部81a配置在主体部131的凹部134的底面与固定板133之间。在该状态下，固定板133例如通过螺栓安装在主体部131，配置在凹部134的底面的第2光检测器8固定于主体部131。这样，第2光检测器8配置在Z轴方向上的分束器单元3的一侧，由第2支承结构12支承。第2光检测器8检测从分束器单元3出射的测量光的干涉光L11。

第2光源7具有保持件71、发光元件72和准直透镜73。保持件71保持发光元件72和准直透镜73。发光元件72出射激光L10。发光元件72例如为VCSEL等的半导体激光器。准直透镜73使从发光元件72出射的激光L10准直。在保持件71，发光元件72的光轴与准直透镜73的光轴相互一致。

在保持件71设置有凸缘部71a。凸缘部71a配置在框体132与固定板133之间。在该状态下，固定板133例如通过螺栓安装在主体部131，配置在框体132的第2光源7固定于主体部131。这样，第2光源7配置在Z轴方向上的分束器单元3的一侧，由第2支承结构12支承。第2光源7出射入射于分束器单元3的激光L10。

如上所述，保持单元130保持第1光检测器6、第2光检测器8和第2光源7，以使得第1光检测器(第1光器件)6、第2光检测器(第2光器件)8和第2光源(第3光器件)7朝向同一侧且按第1光检测器6、第2光检测器8、第2光源7的顺序排列。在本实施方式中，保持单元130以在Z轴方向上的分束器单元3的一侧，第1光检测器6、第2光检测器8和第2光源7朝向Z轴方向上的另一侧(即，分束器单元3侧)的方式，保持第1光检测器6、第2光检测器8和第2光源7。此外，保持单元130以从X轴方向上的一侧(即，光入射部4侧)起按第1光检测器6、第2光检测器8、第2光源7的顺序进行排列的方式，保持第1光检测器6、第2光检测器8和第2光源7。

在保持单元130的主体部131安装有第1镜51、第2镜52和第3镜53。第1镜51以相对于第1光通过孔135位于与第1光检测器6相反侧的方式由保持单元130保持。第2镜52以相对于第2光通过孔136位于与第2光检测器8相反侧的方式由保持单元130保持。第3镜53以相对于第3光通过孔137位于与第2光源7相反侧的方式由保持单元130保持。

第1镜51具有使测量光L0透过且将激光L10反射的功能，且是相对于第1光检测器6的光轴倾斜的分色镜。第1镜51配置在分束器单元3与第1光检测器6之间。即，第1镜51以与分束器单元3和第1光检测器6相对的方式配置。在本实施方式中，第1镜51的光学面是与Y轴方向平行的面，且是与Z轴方向形成45°的角度的面。另外，第1光检测器6的光轴与Z轴方向平行。

第2镜52具有将激光L10的一部分反射且使激光L10的剩余部分透过的功能，且是与第1镜51平行的镜(例如，半透半反镜)。第2镜52以在从X轴方向看时与第1镜51重叠且在从Z轴方向看时与第2光检测器8重叠的方式配置。即，第2镜52以与第1镜51和第2光检测器8相对的方式配置。在本实施方式中，第2镜52的光学面是与Y轴方向平行的面，且是与Z轴方向形成45°的角度的面。

第3镜53具有将激光L10反射的功能，且是与第2镜52平行的镜(例如，全反射镜)。第3镜53以在从X轴方向看时与第2镜52重叠且在从Z轴方向看时与第2光源7重叠的方式配置。即，第3镜53以与第2镜52和第2光源7相对的方式配置。在本实施方式中，第3镜53的光学面是与Y轴方向平行的面，且是与Z轴方向形成45°的角度的面。

在保持单元130的主体部131安装有光圈55。光圈55由保持单元130保持，以位于第1镜51与第1光检测器6之间。光圈55是形成有在从Z轴方向看时呈圆形的开口的部件，配置在第1光通过孔135内。

从分束器单元3沿Z轴方向出射的测量光的干涉光L1透过第1镜51，经由光圈55入射于第1光检测器6，被第1光检测器6检测。另一方面，从第2光源7出射的激光L10在第3镜53被反射而透过第2镜52，在第1镜51被反射而沿Z轴方向入射于分束器单元3。从分束器单元3沿Z轴方向出射的激光的干涉光L11在第1镜51和第2镜52被反射而入射于第2光检测器8，被第2光检测器8检测。

[作用和效果]

在上述说明的镜器件20中，第1联接部件262架设在一对杆261之间，并且由各杆261和第1联接部件262划定光通过开口24。另外，第1联接部件272架设在一对杆271之间，并且由各杆271和第1联接部件272划定光通过开口25。由此，能够以通过光通过开口24、25的方式设定光路，与例如以通过镜器件20的外侧的方式设定光路的情况相比，能够使装置整体小型化。另外，由于第1联接部件262架设在一对杆261之间，并且第1联接部件272架设在一对杆271之间，所以能够提高第1弹性支承部26和第2弹性支承部27的外力耐性。由此，例如能够抑制由于来自外部的振动或冲击对可动镜22的动作的影响以及可动梳齿282a、284a与固定梳齿281a、283a的接触的风险，使可动镜22的动作稳定化。其结果，能够提高可动镜22的控制特性。再有，一对杆261与一对第1扭力杆266的连接位置A1在X轴方向上相对于光通过开口24的中心T1位于可动部22b的相反侧，Y轴方向上的光通过开口24的最大宽度W1由Y轴方向上的一对杆261之间的间隔规定。另外，一对杆271与一对第1扭力杆276的连接位置A3在X轴方向上相对于光通过开口25的中心T2位于可动部22b的相反侧，Y轴方向上的光通过开口25的最大宽度W2由Y轴方向上的一对杆271之间的间隔规定。由此，能够确保光通过开口24、25的大小，能够确保光学性能。因此，根据镜器件20，可实现装置整体的小型化、第1弹性支承部26和第2弹性支承部27的外力耐性的提高、和光学性能的确保。

光通过开口24由一对杆261、第1联接部件262和第2联接部件263划定，光通过开口25由一对杆271、第1联接部件272和第2联接部件273划定。由此，能够进一步提高第1弹性支承部26和第2弹性支承部27的外力耐性。

一对梁部件264分别架设于一对杆261与第1联接部件262之间，一对梁部件274分别架设于一对杆271与第1联接部件272之间。由此，能够更进一步提高第1弹性支承部26和第2弹性支承部27的外力耐性。

各第1扭力杆266与一对杆261的第1端部261d连接，各第2扭力杆267与一对杆261的第2端部261e连接。另外，各第1扭力杆276与一对杆271的第1端部271d连接，各第2扭力杆277与一对杆271的第2端部271e连接。由此，能够更适当地确保光通过开口24、25的大小。

Y轴方向上的光通过开口24的最大宽度W1比Y轴方向上的框部222与一对第2扭力杆267的连接位置C1之间的距离D1(可动部22b和一对第2扭力杆267的连接位置之间的距离)大。另外，Y轴方向上的光通过开口25的最大宽度W2比Y轴方向上的框部222与一对第2扭力杆277的连接位置C2之间的距离D6(可动部22b和一对第2扭力杆277的连接位置之间的距离)大。在这种情况下，能够更适当地确保Y轴方向上的光通过开口24、25的大小。

在各杆261中，从与第1联接部件262的连接位置B1至与一对第2扭力杆267的连接位置A2的X轴方向上的距离D2比从与第1联接部件262的连接位置B1至与一对第1扭力杆266的连接位置A1的X轴方向上的距离D3长。由此，能够更适当地确保沿一对杆261的方向上的光通过开口24的大小。另外，在各杆271中，从与第1联接部件272的连接位置B3至与一对第2扭力杆277的连接位置A4的X轴方向上的距离D7比从与第1联接部件272的连接位置B3至与一对第1扭力杆276的连接位置A3的X轴方向上的距离D8长。由此，能够更适当地确保沿一对杆271的方向上的光通过开口24的大小。

[变形例]

镜器件20也可以构成为如图11所示的第1变形例那样。在第1变形例中，可动部22b还包括一对托架(bracket)225和一对托架226。各托架225和各托架226由器件层102的一部分形成。

各托架225沿Y轴方向延伸，从Z轴方向看时呈矩形。一个托架225从框部222的侧面向Y轴方向上的一侧突出，另一个托架225从框部222的侧面向Y轴方向上的另一侧突出。一对托架225配置在与Y轴方向平行的同一中心线上。各托架225相对于镜面22a的中心配置在光通过开口24侧。

各托架226沿Y轴方向延伸，从Z轴方向看时呈矩形。一个托架226从框部222的侧面向Y轴方向上的一侧突出，另一个托架226从框部222的侧面向Y轴方向上的另一侧突出。一对托架226配置在与Y轴方向平行的同一中心线上。各托架226相对于镜面22a的中心配置在光通过开口25侧。

第1弹性支承部26不具有一对梁部件264、中间部件265和一对非线性缓和弹簧268。第2联接部件263的两端部沿Y轴方向延伸。第2联接部件263的中间部沿着框部222延伸，并向与可动镜22相反侧弯曲成凸状。一对第2扭力杆267分别与一对托架225的前端部连接。即，一对第2扭力杆267分别连接于一对杆261与可动镜22之间。电极支承部269仅具有一对第2电极支承部269b。

第2弹性支承部27不具有一对梁部件274、中间部件275和一对非线性缓和弹簧278。第2联接部件273的两端部沿Y轴方向延伸。第2联接部件273的中间部沿着框部222延伸，并向与可动镜22相反侧弯曲成凸状。一对第2扭力杆277分别与一对托架226的前端部连接。即，一对第2扭力杆277分别连接于一对杆271与可动镜22之间。电极支承部279仅具有一对第2电极支承部279b。

致动器部28还具有固定梳齿电极285和可动梳齿电极286。固定梳齿电极285沿着可动镜22的外缘(沿着框部222)配置。固定梳齿电极285在底座21的器件层102中设置于与框部222中的Y轴方向的外侧的表面相对的表面。固定梳齿电极285具有沿与X轴方向垂直的平面延伸的多个固定梳齿285a。这些固定梳齿285a在X轴方向上空出规定的间隔而排列配置。

可动梳齿电极286沿着可动镜22的外缘(沿框部222)配置。可动梳齿电极286设置于框部222中的Y轴方向的外侧的表面。即，框部222构成支承可动梳齿电极286的电极支承部。可动梳齿电极286具有沿与X轴方向垂直的平面延伸的多个可动梳齿286a。这些可动梳齿286a在X轴方向上空出规定的间隔而排列配置。

在固定梳齿电极285和可动梳齿电极286，交替地配置有多个固定梳齿285a和多个可动梳齿286a。即，固定梳齿电极285的各固定梳齿285a位于可动梳齿电极286的可动梳齿286a间。在固定梳齿电极285和可动梳齿电极286中，相邻的固定梳齿285a和可动梳齿286a在X轴方向上彼此相对。相邻的固定梳齿285a与可动梳齿286a之间的距离例如为几μm左右。

图11示出框部222与第2扭力杆267的连接位置C1和可动部22b与第2扭力杆267的连接位置C3。连接位置C1如上所述在框部222与第2扭力杆267经由其他要素(在第1变形例中为托架225)彼此连接的情况下，是框部222与该其他要素彼此连接的位置。连接位置C3是例如托架225与第2扭力杆267彼此连接的位置。Y轴方向上的光通过开口24的最大宽度W1比Y轴方向上的连接位置C1之间的距离D1大。另外，最大宽度W1比Y轴方向上的连接位置C3之间的距离D11大。

另外，图11示出框部222与第2扭力杆277的连接位置C2和可动部22b与第2扭力杆277的连接位置C4。连接位置C2如上所述在框部222与第2扭力杆277经由其他要素(在第1变形例中为托架226)彼此连接的情况下，是框部222与该其他要素彼此连接的位置。连接位置C4是例如托架225与第2扭力杆277彼此连接的位置。Y轴方向上的光通过开口25的最大宽度W2比Y轴方向上的连接位置C2之间的距离D6大。另外，最大宽度W2比Y轴方向上的连接位置C4之间的距离D12大。

根据这样的第1变形例，也与上述实施方式同样，可实现装置整体的小型化、第1弹性支承部26和第2弹性支承部27的外力耐性的提高、和光学性能的确保。

镜器件20也可以构成为如图12所示的第2变形例那样。在第2变形例中，第1弹性支承部26还包括一对梁部件264A。一对梁部件264A分别架设于一对杆261的第3部分261c与第2联接部件263之间。各梁部件264A呈沿与Z轴方向垂直的平面延伸的板状。一对梁部件264A以离可动镜22越远相互越分离的方式倾斜地延伸。一对梁部件264A与一对杆261、第1联接部件262、第2联接部件263和一对梁部件264一起划定光通过开口24。

第2弹性支承部27还包括一对梁部件274A。一对梁部件274A分别架设于一对杆271的第3部分271c与第2联接部件273之间。各梁部件274A呈沿与Z轴方向垂直的平面延伸的板状。一对梁部件274A以离可动镜22越远相互越分离的方式倾斜地延伸。一对梁部件274A与一对杆271、第1联接部件272、第2联接部件273和一对梁部件274一起划定光通过开口25。

根据这样的第2变形例，也与上述实施方式同样，可实现装置整体的小型化、第1弹性支承部26和第2弹性支承部27的外力耐性的提高、和光学性能的确保。再有，由于第1弹性支承部26和第2弹性支承部27具有梁部件264A和梁部件274A，所以能够更进一步提高第1弹性支承部26和第2弹性支承部27的外力耐性。

第1弹性支承部26也可以构成为如图13(a)所示的第3变形例那样。在第3变形例中，第1弹性支承部26不具有一对梁部件264和一对非线性缓和弹簧268。在图13(a)中，省略了电极支承部269的图示。当从Z轴方向观察时，一对杆261、第1联接部件262和第2联接部件263整体上呈圆环状。即，一对杆261、第1联接部件262和第2联接部件263的各个以形成为圆弧状的方式弯曲地延伸。在图13(a)中，一对杆261、第1联接部件262和第2联接部件263的边界由双点划线表示。光通过开口24在从Z轴方向看时呈圆形状。

在各杆261的第1端部261d设置有托架261g，并且各杆261在托架261g与第1扭力杆266连接。在各杆261的第2端部261e设置有托架261h，并且各杆261在托架261h与第2扭力杆267连接。在图13(a)中，省略了第2弹性支承部27，但是在第3变形例中，第2弹性支承部27也可以与第1弹性支承部26同样地构成。

根据这样的第3变形例，也与上述实施方式同样，可实现装置整体的小型化、第1弹性支承部26和第2弹性支承部27的外力耐性的提高、和光学性能的确保。即，如图13(a)所示，一对杆261只要在Y轴方向上彼此相对即可，各杆261只要至少具有沿X轴方向延伸的部分(成分)即可。第1联接部件262和第2联接部件263只要架设在一对杆261之间即可，只要至少具有沿Y轴方向延伸的部分(成分)即可。

第1弹性支承部26也可以构成为如图13(b)所示的第4变形例那样。在第4变形例中，第1弹性支承部26不具有一对梁部件264和一对非线性缓和弹簧268，而还具有一对第1扭力杆266A。在图13(b)中，省略了电极支承部269的图示。一对第1扭力杆266A分别连接于一对杆261与底座21之间。一个第1扭力杆266A在一个第1扭力杆266的相反侧与一个杆261连接，另一个第1扭力杆266A在另一个第1扭力杆266的相反侧与另一个杆261连接。一对第1扭力杆266和一对第1扭力杆266A配置在与Y轴方向平行的同一中心线上。这样，第1扭转支承部只要包括至少一对扭转支承部(扭力杆)即可。第1弹性支承部26也可以不具有一对第1扭力杆266，而仅具有一对第1扭力杆266A。

一对杆261沿X轴方向延伸。第1连杆部材262和第2联接部件263沿Y轴方向延伸。光通过开口24在从Z轴方向看时呈矩形状。在图13(b)中，省略了第2弹性支承部27，但是在第4变形例中，第2弹性支承部27也可以与第1弹性支承部26同样地构成。根据这样的第3变形例，也与上述实施方式同样，可实现装置整体的小型化、第1弹性支承部26和第2弹性支承部27的外力耐性的提高、和光学性能的确保。

在上述实施方式和各变形例中，各结构的材料和形状中并不限定于上述的材料和形状，能够采用各种各样的材料和形状。例如，配置部221和镜面22a的各个也可以在从Z轴方向看时呈矩形、八边形状等的任意的形状。框部222也可以在从Z轴方向看时呈矩形环状、八边形环状等的任意的环形状。光通过开口24和光通过开口25的各个也可以在从Z轴方向看时具有圆形、八边形状等的任意的形状。镜器件20也可以由SOI基板以外的半导体基板构成，例如，也可以由仅由硅制成的基板构成。

内侧梁部224a、外侧梁部224b和连结梁部224c的各个也可以形成为任意的形状。例如，梁部也可以相对于X轴方向或Y轴方向倾斜地延伸或呈之字形延伸。各梁部的配置、数量、长度、宽度和厚度任意地设定即可。例如，内侧梁部224a、外侧梁部224b和连结梁部224c的厚度也可以相互不同。也可以省略这些梁部的至少1个梁部。构成梁部224的支承层101的厚度也可以与构成底座21的支承层101的厚度相同。第1扭力杆266、276和第2扭力杆267、277的形状并不限定，也可以为棒状等的任意的形状。镜面22a也可以配置在构成可动部22b的器件层102的与中间层103相反侧的表面上。在这种情况下，例如，构成底座21的支承层101的与中间层相反侧的表面与光学功能部件13的第3表面13a接合。底座21的第2表面21b与光学功能部件13的第3表面13a也可以通过直接结合以外的方式(例如UV固化树脂等的粘接剂等)相互接合。固定镜16相对于光学功能部件13配置在与镜器件20相反侧即可，也可以从光学功能部件13的第4表面13b离开。

第1弹性支承部26也可以不具有第2联接部件263。在这种情况下，光通过开口24例如由一对杆261、第1联接部件262、一对梁部件264、中间部件265和第2扭力杆267划定。同样，第2弹性支承部27也可以不具有第2联接部件273。杆261与第1联接部件262的连接位置B1可以相对于杆261与第1扭力杆266的连接位置A1位于可动镜22侧，也可以相对于连接位置A1位于可动镜22的相反侧。同样，杆271与第1联接部件272的连接位置B3可以相对于杆271与第1扭力杆276的连接位置A3位于可动镜22侧，也可以相对于连接位置A3位于可动镜22的相反侧。第1联接部件262、第2联接部件263、第1扭力杆266、第2扭力杆267的至少一个也可以在端部以外的位置与杆261连接。同样，第1联接部件272、第2联接部件273、第1扭力杆276、第2扭力杆277的至少一个也可以在端部以外的位置与杆271连接。

本发明的光学器件并不限定于镜器件，也可以为镜面22a以外的其它光学功能部配置在可动部22b上的光学器件。作为其它光学功能部，例如能够列举透镜等。镜器件20的驱动部23也可以具有弹性地支承可动镜22的3个以上弹性支承部。致动器部28并不限定于静电致动器，例如也可以为压电式致动器、电磁式致动器等。镜器件20并不限定于构成FTIR的镜器件，也可以为构成其它光学系统的镜器件。上述的一个实施方式或变形例中的各结构能够任意地应用于其它实施方式或变形例中的各结构。

符号的说明

20…镜器件(光学器件)、21…底座、21a…第1表面(主面)、21b…第2表面(主面)、22a…镜面(光学功能部)、22b…可动部、221…配置部、222…框部、24…光通过开口、25…光通过开口、26…第1弹性支承部、27…第2弹性支承部、261、271…杆、261d、271d…第1端部、261e、271e…第2端部、262、272…第1联接部件、263、273…第2联接部件、264、274…梁部件、266、276…第1扭力杆(第1扭转支承部)、267、277…第2扭力杆(第2扭转支承部)、T1、T2…中心、W1、W2…最大宽度。

Claims

1.一种光学器件，其特征在于，

包括：

具有主面的底座；

可动部；

配置在所述可动部上的光学功能部；和

弹性支承部，其连接在所述底座与所述可动部之间，并且以所述可动部能够沿垂直于所述主面的第1方向移动的方式支承所述可动部，

所述弹性支承部具有：

在垂直于所述第1方向的第2方向上彼此相对的一对杆；

沿所述第2方向延伸，且分别连接在所述一对杆与所述底座之间的一对第1扭转支承部；

沿所述第2方向延伸，且分别连接在所述一对杆与所述可动部之间的一对第2扭转支承部；和

架设于所述一对杆之间的第1联接部件，

所述一对杆和所述第1联接部件划定光通过开口，

所述一对杆与所述一对第1扭转支承部的连接位置的各个在垂直于所述第1方向和所述第2方向的第3方向上相对于所述光通过开口的中心位于所述可动部的相反侧，

所述第2方向上的所述光通过开口的最大宽度由所述第2方向上的所述一对杆之间的间隔规定。

2.如权利要求1所述的光学器件，其特征在于：

所述弹性支承部还具有架设于所述一对杆之间的第2联接部件，

所述光通过开口由所述一对杆、所述第1联接部件和所述第2联接部件划定。

3.如权利要求1或2所述的光学器件，其特征在于：

所述弹性支承部还具有分别架设于所述一对杆与所述第1联接部件之间的一对梁部件。

4.如权利要求1～3中任一项所述的光学器件，其特征在于：

所述一对第1扭转支承部分别与所述一对杆的第1端部连接，所述一对第2扭转支承部分别与所述一对杆的第2端部连接。

5.如权利要求1～4中任一项所述的光学器件，其特征在于：

所述第2方向上的所述光通过开口的所述最大宽度比所述第2方向上的所述可动部与所述一对第2扭转支承部的连接位置之间的距离大。

6.如权利要求1～5中任一项所述的光学器件，其特征在于：

所述可动部具有：配置有所述光学功能部的配置部、和在从所述第1方向看时包围所述配置部的框部，

所述第2方向上的所述光通过开口的所述最大宽度比所述第2方向上的所述框部与所述一对第2扭转支承部的连接位置之间的距离大。

7.如权利要求1～6中任一项所述的光学器件，其特征在于：

在所述一对杆的各个中，从与所述第1联接部件的连接位置至与所述一对第2扭转支承部的连接位置的所述第3方向上的距离比从与所述第1联接部件的连接位置至与所述一对第1扭转支承部的连接位置的所述第3方向上的距离长。

8.如权利要求1～7中任一项所述的光学器件，其特征在于：

所述光学功能部是镜面，

从所述第1方向看时，所述光通过开口的面积为所述镜面的面积的50％以上。