JP2005223111A - 波長可変レーザー - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 発光出射される波長が切換えられる波長可変レーザーにおいて、
InP基板の一面に設けられた第1の電極と、InP基板の一面に平行にInP基板に設けられたミラー層と、ミラー層の他面に一面が接して設けられInP基板に設けられた活性層と、活性層の他面に一面が設けられ中央部に光共振ギャップを構成する空隙部を有する第2の電極と、第2の電極の他面に一面が設けられたSOI基板と、SOI基板の一面に空隙部に対向してして設けられた凹面部と、凹面部に設けられミラー層と光共振器を構成する光学薄膜と、SOI基板の酸化膜層に凹面部に対向してSOI基板のシリコン膜層にダイアフラムを構成する静電駆動ギャップ部と、SOI基板の他面に一面が設けられた第3の電極とを具備したことを特徴とする波長可変レーザーである。
【選択図】 図1
Description
更に詳述すれば、回折損が少なくて、信頼性が高く、放熱が良好な波長可変レーザーに関するものである。
D.Vakhschoori等、「2mW CW singlemode operation of a tunable 1550nm vertical cavity surface emitting laser with 50nm tuning rannge」、ELECTORONICS LETTERS 27th May 1999 Vol.35 No.11 pp.1〜pp.2、
図において、1はInP基板、2はInP基板1に、支持ポスト3を介して形成された薄膜である。
第1の光学ミラー4は薄膜3に形成されている。
5はInP基板1に形成された活性層である。
6はInP基板1に形成された凹部である。
7は凹部6の底面に活性層5に接して設けられた第2の光学ミラーである。
即ち、InP基板1中の活性層5中の励起エネルギーの注入方式は光励起方式である。
そして、薄膜3とInP基板1との間に電圧を印加し、静電気力により、第1、第2のミラー4,7間(共振器長)を変化させて発振波長を変化させる。
光学薄膜ミラー4の凹面構造が、光学膜の応力によるものであるので、温度により凹面の曲率半径が変化し、信頼性に欠ける。
更に詳述すれば、回折損が少なくて、信頼性が高く、放熱が良好な波長可変レーザーを提供することを目的とする。
発光出射される波長が切換えられる波長可変レーザーにおいて、
InP基板の一面に設けられた第1の電極と、前記InP基板の一面に平行に前記InP基板に設けられたミラー層と、このミラー層の他面に一面が接して設けられ前記InP基板に設けられた活性層と、この活性層の他面に一面が設けられ中央部に光共振ギャップを構成する空隙部を有する第2の電極と、この第2の電極の他面に一面が設けられたSOI基板と、このSOI基板の一面に前記空隙部に対向してして設けられた凹面部と、この凹面部に設けられ前記ミラー層と光共振器を構成する光学薄膜と、前記SOI基板の酸化膜層に前記凹面部に対向して前記SOI基板のシリコン膜層にダイアフラムを構成する静電駆動ギャップ部と、前記SOI基板の他面に一面が設けられた第3の電極とを具備したことを特徴とする。
前記InP基板の一面側に設けられ底部が前記ミラー層に接する凹形状の出射孔を具備したことを特徴とする。
前記第3の電極側から前記SOI基板に設けられ一端が前記凹面部に対向して前記静電駆動ギャップに開口する光ファイバーを具備したことを特徴とする。
前記ミラー層はInP化合物からなることを特徴とする。
前記凹面部はシリコンの選択研磨により形成されたことを特徴とする。
前記光学薄膜は誘電体多層膜よりなることを特徴とする。
前記静電駆動ギャップは前記SOI基板の酸化膜層の犠牲層エッチングにより形成されたことを特徴とする。
SOI基板の一面に空隙部に対向してして設けられた凹面部が形成されているので、回折損の低減と熱による凹面の曲率変化がない波長可変レーザーが得られる。
InP基板にSOI基板が接合されているので、InP基板で発生した熱がSOI基板側に逃げ、SOI基板側がヒートシンクとなり、放熱が良好な波長可変レーザが得られる。
凹形状の出射孔が設けられたので、ミラー層から出射されたレーザー光がInP基板を通ることなく、直接出射されるので、効率の良い波長可変レーザが得られる。
第3の電極側からSOI基板に設けられ、一端が凹面部に対向して空隙部に開口する光ファイバーが設けられたので、SOI基板に光ファイバーを固定するシリコンの穴をあけ、光学薄膜に近い位置に光ファイバーが固定できるので、光ファイバーの位置合わせも楽になり、位置合わせに基づく光結合の損失も低減出来る波長可変レーザが得られる。
前記ミラー層はInP化合物からなるので、InP基板に直接作り込めば良く、製作の容易な波長可変レーザが得られる。
凹面部はシリコンの選択研磨により形成されたので、半導体プロセスが直接利用でき、精密な凹面部が得られる波長可変レーザが得られる。
光学薄膜は誘電体多層膜よりなるので、半導体プロセスが直接利用でき、安価な波長可変レーザが得られる。
静電駆動ギャップはSOI基板の酸化膜層の、犠牲層エッチングにより形成されるので、半導体プロセスが直接利用でき、安価な波長可変レーザが得られる。
図1は本発明の一実施例の要部構成説明図である。
図において、第1の電極11は、InP基板12の一面に設けられている。
ミラー層13は、InP基板12の一面に平行に、InP基板12に設けられている。
また、この場合は、ミラー層13はInP化合物からなる。
活性層14は、ミラー層13の他面に一面が接して設けられ、InP基板12に設けられている。
SOI基板17は、第2の電極15の他面に一面が設けられている。
凹面部18は、SOI基板17の一面に、空隙部16に対向してして設けられている。
光学薄膜19は、凹面部18に設けられ、ミラー層13と光共振器を構成する。
この場合は、光学薄膜19は誘電体多層膜よりなる。
静電駆動ギャップ部21は、SOI基板17の酸化膜層に凹面部18に対向して、SOI基板のシリコン膜層にダイアフラム22を構成する。
第3の電極23は、SOI基板17の他面に一面が設けられている。
InPの活性層14に電流を注入し、その光が上下のミラー間を反射してレーザー発振を行うものである。
下側のSOI基板のダイアフラム21とシリコン基板17の間に電圧を印加することによりシリコンのダイアフラム部21はシリコン基板方向に動く、そうすると光共振器の長さがながくなりレーザーの発振波長が長波長側にシフトする。
このような動作で波長可変レーザーが構成出来る。
SOI基板17の一面に空隙部16に対向してして設けられた凹面部18が形成されているので、回折損の低減と熱による凹面の曲率変化がない波長可変レーザーが得られる。
InP基板12にSOI基板17が接合されているので、InP基板12で発生した熱がSOI基板17側に逃げ、SOI基板17側がヒートシンクとなり、放熱が良好な波長可変レーザが得られる。
本実施例においては、光ファイバー31が、第3の電極側23から、SOI基板17に設けられ、一端が凹面部18に対向して、静電駆動ギャップ部21に開口している。
光ファイバー31がSOI基板17に固定されているために、位置合わせが容易になる、また光損失を軽減することが出来る。
第3の電極23側からSOI基板17に設けられ、一端が凹面部18に対向して静電駆動ギャップ部21に開口する光ファイバー31が設けられたので、SOI基板17に光ファイバー31を固定するシリコンの穴をあけ、光学薄膜19に近い位置に、光ファイバー31が固定できるので、光ファイバー31の位置合わせも楽になり、位置合わせに基づく光結合の損失も低減出来る波長可変レーザが得られる。
したがって本発明は、上記実施例に限定されることなく、その本質から逸脱しない範囲で更に多くの変更、変形をも含むものである。
2 薄膜
3 支持ポスト
4 第1の光学ミラー
5 活性層
6 凹部
7 第2の光学ミラー
11 第1の電極
12 InP基板
121 出射孔
13 ミラー層
14 活性層
15 第2の電極
16 空隙部
17 SOI基板
18 凹面部
19 光学薄膜
21 静電駆動ギャップ部
22 ダイアフラム
23 第3の電極
31 光ファイバー
Claims (7)
- 発光出射される波長が切換えられる波長可変レーザーにおいて、
InP基板の一面に設けられた第1の電極と、
前記InP基板の一面に平行に前記InP基板に設けられたミラー層と、
このミラー層の他面に一面が接して設けられ前記InP基板に設けられた活性層と、
この活性層の他面に一面が設けられ中央部に光共振ギャップを構成する空隙部を有する第2の電極と、
この第2の電極の他面に一面が設けられたSOI基板と、
このSOI基板の一面に前記空隙部に対向してして設けられた凹面部と、
この凹面部に設けられ前記ミラー層と光共振器を構成する光学薄膜と、
前記SOI基板の酸化膜層に前記凹面部に対向して前記SOI基板のシリコン膜層にダイアフラムを構成する静電駆動ギャップ部と、
前記SOI基板の他面に一面が設けられた第3の電極と
を具備したことを特徴とする波長可変レーザー。 - 前記InP基板の一面側に設けられ底部が前記ミラー層に接する凹形状の出射孔
を具備したことを特徴とする請求項1記載の波長可変レーザー。 - 前記第3の電極側から前記SOI基板に設けられ一端が前記凹面部に対向して前記静電駆動ギャップに開口する光ファイバー
を具備したことを特徴とする請求項1記載の波長可変レーザー。 - 前記ミラー層はInP化合物からなること
を特徴とする請求項1乃至請求項3の何れかに記載の波長可変レーザー。 - 前記凹面部はシリコンの選択研磨により形成されたこと
を特徴とする請求項1乃至請求項4の何れかに記載の波長可変レーザー。 - 前記光学薄膜は誘電体多層膜よりなること
を特徴とする請求項1乃至請求項5の何れかに記載の波長可変レーザー。 - 前記静電駆動ギャップは前記SOI基板の酸化膜層の犠牲層エッチングにより形成されたこと
を特徴とする請求項1乃至請求項6の何れかに記載の波長可変レーザー。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004028852A JP2005223111A (ja) | 2004-02-05 | 2004-02-05 | 波長可変レーザー |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004028852A JP2005223111A (ja) | 2004-02-05 | 2004-02-05 | 波長可変レーザー |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005223111A true JP2005223111A (ja) | 2005-08-18 |
Family
ID=34998510
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004028852A Pending JP2005223111A (ja) | 2004-02-05 | 2004-02-05 | 波長可変レーザー |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP2005223111A (ja) |
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