JP2015135931A - 半導体レーザモジュールおよび半導体レーザモジュールの作製方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】結合効率が確保されてなるとともに、レーザ発振のためのゲインしきい値の増大が抑制された半導体レーザモジュールを実現する。【解決手段】半導体レーザモジュールが、半導体LDを光源素子と、支持基板上に設けられた光学材料層にリッジ型の第1の光導波路を有する第1の導波用素子と、を備え、光源素子は、光源用基台の上方において光源素子が光源用基台の側面よりも奥まった位置に配置されてなり、第1の導波用素子は、導波路用基台の上面に導波路用基台から突出するように載置固定されてなり、光源用基台と導波路用基台とが互いの側面にて接合固定されてなり、光源素子から発せられたレーザ光の光軸方向と第1の光導波路の延在方向とが合致してなり、光源素子の出射面と第1の導波用素子の第1の光導波路とが10μm以下の間隙で近接してなる、ようにした。【選択図】図1
Description
本発明は、光源としての半導体レーザダイオード素子と光導波路を有する素子とを備える半導体レーザモジュールに関し、特に各素子の配置関係に関する。
一般に、半導体発光装置(半導体レーザ)としては、両端面に形成したミラーで活性層を挟むことにより光共振器を構成してなる、ファブリ−ペロー(FP)型のものが採用されている。しかしながら、このFP型レーザは、定在波条件が成立する波長で発振するために、縦モードが多モードになりやすい。特に電流や温度が変化すると発振波長が変化し、それにより光強度が変化するという性質がある。
一方、光通信やガスセンシングなどの分野では、波長安定性の高い単一モード発振のレーザが必要とされている。係る要求を満たすべく、波長安定性のある半導体レーザとして、分布帰還型(DFB)レーザや分布反射型(DBR)レーザが開発されてなる。これらのレーザは、半導体中にグレーティング(回折格子)を設け、その波長依存性を利用して特定の波長のみを発振させるものである。
また、グレーティングを半導体とは異なる部材に設けることで外部共振器を形成する、外部共振器型の半導体発光装置も既に公知である(例えば、特許文献1参照)。このタイプの半導体発光装置は、波長安定性、温度安定性、制御性がよいという特徴がある。
特許文献1に開示されている外部共振器型半導体発光装置は、一の基板(共通基板)の上に、半導体レーザダイオード(LD)素子とグレーティング素子とを設けた構成を有する。このような構成を採用する場合は、共通基板の厚み方向において導波路の光電界ピーク位置が一致するように、半導体LDとグレーティング素子とが共通基板上に固定(接合)される。
係る固定は、位置の確認や微調整が不要なアライメントフリーで実現されるのが好ましい。アライメントフリーが実現されるには、半導体LD素子の出射位置とグレーティング素子の導波路の高さとを±0.2μm以下の精度で一致させる必要がある。しかしながら、共通基板への半導体LD素子やグレーティング素子の固定は、共通基板の上面に半固形状の半田や接着剤を供給しその上にサイズの小さい各素子を載置することによって行うことから、上述の高さ位置精度が確保された固定を確実に行うことは必ずしも容易ではない。それゆえ、アライメントフリーでの固定につき、実現の確実性(歩留まり)を向上させるには、各素子の製造ばらつき(例えばグレーティング素子における導波路の形成位置ばらつき)や、半田や接着剤の塗布量、硬化収縮、および熱膨張収縮を考慮した実装構造の改善が必要となる。
仮に、半導体LD素子とグレーティング素子の間のアライメントがずれると、結合損失が増大して外部共振器型半導体レーザの発振条件の1つであるゲイン条件におけるゲインしきい値(レーザが発振するための最小限必要なゲイン)が大きくなるため、レーザ発振が生じにくくなり、出力の低下を招いてしまうため好ましくない。ゲインしきい値は半導体LD素子とグレーティング素子との間の結合効率の減少関数として表されるので、結合効率が高いほどゲインしきい値が低下してレーザ発振が生じやすくなる。
本発明は上記課題に鑑みてなされたものであり、半導体LD素子と、これに隣り合う光導波路を有する素子との結合効率が確保されてなるとともに、レーザ発振のためのゲインしきい値の増大が抑制された半導体レーザモジュールを実現することを目的とする。
上記課題を解決するため、請求項1の発明は、半導体レーザモジュールであって、光源素子として半導体レーザダイオードが光源用基台の上方に備わるとともに、支持基板の上に設けられた光学材料層にリッジ型の第1の光導波路を有する第1の導波用素子を備え、前記光源素子は、前記光源用基台の上方において、少なくとも前記光源素子の出射面が備わる側において前記光源素子が前記光源用基台の側面よりも奥まった位置に配置されてなり、前記第1の導波用素子は、導波路用基台の上面に前記導波路用基台から突出するように載置固定されてなり、前記光源素子から発せられたレーザ光の光軸方向と前記第1の光導波路の延在方向とが合致してなり、前記光源用基台と前記導波路用基台とが互いの側面にて接合固定されてなり、前記光源素子の出射面と前記第1の導波用素子の前記第1の光導波路とが10μm以下の間隙で近接してなる、ことを特徴とする。
請求項2の発明は、半導体レーザモジュールであって、光源素子として半導体レーザダイオードを備える光源素子パッケージと、支持基板の上に設けられた光学材料層にリッジ型の第1の導波用素子と、を備え、前記光源素子パッケージにおいては、光源用基台の上面であって少なくとも前記光源素子の出射面が備わる側において前記光源素子が前記光源用基台の側面よりも奥まった位置に配置されるように前記光源用基台の前記上面に載置固定されてなり、前記第1の導波用素子は、導波路用基台の上面に前記導波路用基台から突出するように載置固定されてなり、前記光源用基台と前記導波路用基台とが互いの側面にて接合固定されてなり、前記光源素子から発せられたレーザ光の光軸方向と前記第1の光導波路の延在方向とが合致してなり、前記光源素子の出射面と前記第1の導波用素子の前記第1の光導波路とが10μm以下の間隙で近接してなる、ことを特徴とする。
請求項3の発明は、請求項1または請求項2に記載の半導体レーザモジュールであって、前記第1の光導波路の幅が入射面側と出射面側とで異なるとともに前記第1の光導波路の途中にテーパ状の部分を有する、ことを特徴とする。
請求項4の発明は、請求項1ないし請求項3のいずれかに記載の半導体レーザモジュールであって、前記導波用基台の上に第2の導波用素子が設けられてなり、前記第2の導波用素子の第2の光導波路が前記第1の導波用素子の前記第1の光導波路の延在方向に位置してなる、ことを特徴とする。
請求項5の発明は、請求項4に記載の半導体レーザモジュールであって、前記第2の導波用素子が、前記第2の光導波路がリッジ型をなしている光導波路素子である、ことを特徴とする。
請求項6の発明は、請求項4に記載の半導体レーザモジュールであって、前記第2の導波用素子が、前記第2の光導波路として光ファイバーを備える光ファイバー素子である、ことを特徴とする。
請求項7の発明は、請求項1ないし請求項6のいずれかに記載の半導体レーザモジュールであって、前記導波用素子が、前記第1の光導波路の途中に設けられたブラッググレーティングを備えており、入射した前記レーザ光のうち所定の波長成分の光を前記光源素子と前記ブラッググレーティングとの間で発振させて前記半導体レーザモジュールの外部への出射光として出射するグレーティング素子である、ことを特徴とする。
請求項8の発明は、請求項7に記載の半導体レーザモジュールであって、前記光学材料層の厚みが0.5μm以上3.0μm以下であって、前記レーザ光の光軸方向における前記ブラッググレーティングの長さをLbとし、前記ブラッググレーティングを構成する凹凸の深さをtdとするときに、10μm≦Lb≦300μmかつ10nm≦td≦250nmである、ことを特徴とする。
請求項9の発明は、請求項1ないし請求項8のいずれかに記載の半導体レーザモジュールであって、前記光学材料層の材質が、ガリウム砒素、ニオブ酸リチウム、酸化タンタル、タンタル酸リチウム、酸化亜鉛および酸化アルミナからなる群より選択されたものである、ことを特徴とする。
請求項10の発明は、請求項1ないし請求項9のいずれかに記載の半導体レーザモジュールであって、前記第1の導波用素子の長手方向のサイズが500μm以下である、ことを特徴とする。
請求項11の発明は、半導体レーザモジュールであって、光源素子として半導体レーザダイオードを備える光源素子パッケージと、支持基板の上に設けられた光学材料層にリッジ型の第1の光導波路を有する第1の導波用素子と、を備え、前記光源素子パッケージは、光源用基台の上面であって少なくとも前記光源素子の出射面が備わる側において前記光源素子が前記光源用基台の側面よりも奥まった位置に配置されるように前記光源用基台の前記上面に載置固定されてなり、前記第1の導波用素子は、導波路用基台の上面に前記導波路用基台から突出するように載置固定されてなり、前記導波路用基台が前記光源用基台との前記に接合固定されてなり、前記光源素子から発せられたレーザ光の光軸方向と前記第1の光導波路の延在方向とが合致してなり、前記光源素子の出射面と前記第1の導波用素子の前記第1の光導波路とが10μm以下の間隙で近接してなる、ことを特徴とする。
請求項12の発明は、半導体レーザモジュールの作製方法であって、光源素子として半導体レーザダイオードを備える光源素子パッケージを用意する第1の準備工程と、支持基板の上に設けた光学材料層にリッジ型の第1の光導波路を有する第1の導波用素子を用意する第2の準備工程と、前記光源素子パッケージを、光源用基台の上面であって少なくとも前記光源素子の出射面が備わる側において前記光源素子が前記光源用基台の側面よりも奥まった位置に配置されるように前記光源用基台の前記上面に載置固定する第1の載置固定工程と、前記第1の導波用素子を、導波路用基台の上面において入射面側が前記導波路用基台から突出するように前記導波路用基台の前記上面に載置固定する第2の載置固定工程と、前記光源用基台と前記導波路用基台とが互いの側面にて接合固定する接合固定工程と、を備え、前記第1の載置固定工程、前記第2の載置固定工程、および前記接合固定工程においては、前記光源素子から発せられたレーザ光の光軸方向と前記第1の光導波路の延在方向とを合致させるとともに、前記光源素子と前記第1の導波用素子の前記入射面側とを10μm以下の間隙で近接させる、ことを特徴とする。
請求項1ないし請求項12の発明によれば、光源素子の周囲に放熱用領域を備えるような場合においても、光源素子と導波用素子との近接配置が実現されてなるので、光出力の大きな半導体レーザモジュールが安定的に得られる。
特に、請求項7および請求項8の発明によれば、光源素子とグレーティング素子との結合効率が確保されてなるとともに、レーザ発振のためのゲインしきい値の増大が抑制されてなる半導体レーザモジュールが安定的に得られる。
<第1の実施の形態>
<半導体レーザモジュールの概略構成>
図1は、第1の形態に係る半導体レーザモジュール1の構成を模式的に示す側断面図である。半導体レーザモジュール1は、電流の注入によって半導体レーザ光A(図2参照)を発する光源素子2と、グレーティング素子9とを主として備える外部共振器型発光装置である。図2は、グレーティング素子9の概略斜視図である。図3は、グレーティング素子9のYZ断面図である。半導体レーザモジュール1においては、これら光源素子2とグレーティング素子9とが備わることで、共振器構造が実現されてなる。光源素子2とグレーティング素子9の各端面は、それぞれ、端面反射を抑制するために斜めカットされていてもよい。
<半導体レーザモジュールの概略構成>
図1は、第1の形態に係る半導体レーザモジュール1の構成を模式的に示す側断面図である。半導体レーザモジュール1は、電流の注入によって半導体レーザ光A(図2参照)を発する光源素子2と、グレーティング素子9とを主として備える外部共振器型発光装置である。図2は、グレーティング素子9の概略斜視図である。図3は、グレーティング素子9のYZ断面図である。半導体レーザモジュール1においては、これら光源素子2とグレーティング素子9とが備わることで、共振器構造が実現されてなる。光源素子2とグレーティング素子9の各端面は、それぞれ、端面反射を抑制するために斜めカットされていてもよい。
なお、図1および以降の図面においては、光源素子2からの半導体レーザ光Aの出射は水平面内においてなされるものとする。そして、これらの図面においては、係る半導体レーザ光Aの光軸方向をX軸方向とし、水平面内においてX軸方向と垂直な方向をY軸方向とし、鉛直方向をZ軸方向とする、右手系のXYZ座標を付している。ただし、図2および図3においては、説明の都合上、Z軸方向負側が上になるようにグレーティング素子9の図示を行っている。また、より詳細にいえば、図1は半導体レーザモジュール1のZX断面図である。
光源素子2は、その内部に、半導体レーザ光Aの発振箇所である活性層5を備える(図7等参照)。半導体レーザモジュール1においては、光源素子2の内部における活性層5の延在方向が、半導体レーザ光Aの光軸方向となっている。活性層5としては、GaAs系半導体やInP系半導体を用いるのが好適である。具体的な材質や波長は適宜選択できる。例えば、非線形光学素子を利用して第2高調波である緑色レーザを発光させる場合であれば、波長1064nm付近の光を発するGaAs系半導体を活性層5に用いることになる。
また、光源素子2は、活性層5の外側(グレーティング素子9とは反対側)の端面に反射膜4を備える。反射膜4の材質としては、金などの金属膜などが例示される。また、活性層5のグレーティング素子9側の端面にも反射膜が設けられていてもよい。係る反射膜は、二酸化珪素、五酸化タンタル、フッ化マグネシウム、フッ化カルシウムなどの酸化物の積層膜として形成するのが好適である。
なお、本実施の形態において、光源素子2は、基台に実装されたものを用いるものとする。係る実装には種々の態様がある。例えば、図1においては、第1基台M1と配線基板3とからなる複合基台に光源素子2を実装する態様を示している。図1に示す場合においては、上面に光源素子2を載置固定してなる第1基台M1が配線基板3の上に固定されてなることにより、光源素子パッケージPが構成されてなる。係る場合、光源素子パッケージPにおいては、配線基板3と光源素子2との間で、図示しない配線類の接続が適宜になされているものとする。
第1基台M1としては、熱伝導率が高い金属であり銅を含む金属化合物が例示できる。配線基板3としては例えば、熱伝導率の高い絶縁体である窒化アルミ等が例示できる。
なお、光源素子2を実装するにあたっては、光源素子2からの放熱が十分になされ、長期信頼性が確保されるよう、光源素子2は、その平面サイズよりも一回り大きな平面サイズを有する基台に固定される。
例えば、図1に示す光源素子パッケージの場合であれば、光源素子2が直接に固定される第1基台M1の平面サイズが光源素子2自体の平面サイズよりも一回り大きくなっている。換言すれば、第1基台M1は光源素子2の直下の領域のみならずその周囲にも放熱用領域を有するものとなっている。あるいはさらに、配線基板3の平面サイズについても第1基台M1の平面サイズより大きい場合がある(図1においては係る場合を例示している)。それゆえ、通常、光源素子2の出射面は、水平面内において第1基台M1の側端面から奥まったところに位置してなる。さらに、第1基台M1の出射側側面は、水平面内において配線基板3の側端面から奥まったところに位置してなる。仮に、光源素子2を第1基台M1の側端面から突出する態様にて配置した場合には、係る突出部分の放熱が不十分となり、光源素子2の活性層5が損傷して破損することになる。
また、第1基台M1を設けず、光源素子2が配線基板3に直接に実装される構成であってもよい。この場合、光源素子2は、その出射側側面が水平面内において配線基板3の側端面から奥まったところに位置するように、配線基板3に載置固定される。係る場合、配線基板3は、光源素子2の直下の領域のみならずその周囲にも放熱用領域を有するものとなっている。
一方、図1においては図示を省略しているが、グレーティング素子9は、概略、平板状の支持基板10の一方主面上に、光学材料層11を接着層15によって接合させた構成を有する。ただし、図1からわかるように、グレーティング素子9は、支持基板側が上方となる態様にて半導体レーザモジュール1に組み込まれる。支持基板10の材質は特に限定されず、ニオブ酸リチウム、タンタル酸リチウム、石英ガラス等のガラス、水晶、Siなどを例示することができる。
光学材料層11は、半導体レーザ光Aが入射する入射面11aと所望波長の出射光Bを出射する出射面11bとを有する。光学材料層11の厚みTsは、0.5μm以上3μm以下であるのが好ましい。
また、光学材料層11の図3における上面11d側には、X軸方向に沿って平行に設けられた直線状の溝部である1対のリッジ溝19が設けられてなり、リッジ溝19の間の部分が光導波路(リッジ型光導波路)18とされてなる。そして、係る光導波路18に、ブラッググレーティング12が設けられてなる。リッジ溝19の深さTrは、0.25μm以上0.85μm以下であるのが好ましく、光導波路18の幅(Y軸方向のサイズ)Wmは1.5μm以上8μm以下であるのが好ましい。
リッジ溝19は、例えば反応性イオンエッチングによるドライエッチング、フッ硝酸によるウエットエッチング、外周刃による切削加工やレーザアブレーション加工などによる物理的な加工によって形成が可能である。
ブラッググレーティング12は、図2において部分拡大図Eにて示すように、光軸方向に沿って一定のピッチΛおよび深さtdで設けられた周期的な凹凸部である。光軸方向における凸部と凹部の長さは等しくΛ/2である。なお、図1においてはZX平面に沿ってブラッググレーティング12を示しているがこれはあくまで説明の都合に過ぎず、実際には、ブラッググレーティング12はXY平面に沿って形成される。
ピッチΛは、半導体レーザモジュール1から出射させたい光の波長に応じて適宜に定められる。一方、深さtdは、10nm以上250nm以下とされるのが好適である。
ブラッググレーティング12においては、ブラッグ条件のもと、ピッチΛに応じて定まる反射率プロファイルに基づき光が反射される。なお、反射率プロファイルの主ピークの波長λGは温度係数dλG/dTで変化する温度の関数となる。また、ブラッググレーティング12における反射率(グレーティング反射率)、特に主ピークの波長λGにおける反射率は、光学材料層11の形成材料(特にその屈折率nb)や、ブラッググレーティング12のピッチΛ、深さtdのほか、Y軸方向における長さ(以下、Lbとする)の値などに応じて定まる値である。
半導体レーザモジュール1における発振を促進するという観点からは、5%以上40%以下というグレーティング反射率が実現されるのが好ましく、これは、ブラッググレーティング12の長さLbを10μm以上とすることによって実現される。また、グレーティング反射率は反射膜4の反射率よりも大きい方が好ましい。なお、グレーティング反射率が5%以上であれば出力パワーは安定するが、大きな出力パワーを得るという観点からは、グレーティング反射率は25%以下がより好ましい。
なお、半導体レーザモジュール1においては、ブラッググレーティング12の凹凸の深さtdを上述のように10nm以上250nm以下とすることによって、ブラッググレーティング12の反射率プロファイルの主ピークの半値全幅ΔλGを0.5nm以上3.0nm以下という、従来に比して大きい値としている。つまりは、反射率プロファイルの主ピークを従来に比してブロードなものとしている。
その一方で、ブラッググレーティング12の長さLbを300μm以下とすることによって、反射率プロファイルの半値全幅ΔλGの範囲に含まれる縦モードの数が2以上5以下に設定されてなる。
また、伝搬部13の長さLmは100μm以下とするのが好ましい。これによって安定した発振が促進される。さらに、長さLmは10μm以上とするのが好ましく、20μm以上がより好ましい。
さらに、光軸方向におけるグレーティング素子9の長さLwgは500μm以下とするのが好ましい。長さLwgは400μm以下とするのがより好ましく、300μm以下がさらに好ましい。また、長さLwgは50μm以上が好ましい。
なお、ブラッググレーティング12は、光学材料層11の図2における下面11cの側に設けられる態様であってもよい。ブラッググレーティング12とリッジ溝19の形状ばらつきを低減するという観点からは、ブラッググレーティング12を下面11c上に形成することによって、ブラッググレーティング12とリッジ溝19の形成面を違える方が好ましい。
ブラッググレーティング12は、物理的あるいは化学的なエッチングにより形成することができる。例えば、Ni、Tiなどの金属膜を光学材料層11の上面に成膜し、フォトリソグラフィーにより周期的に窓を設けることによってエッチング用マスクを形成する。その後、マスクされていない箇所を反応性イオンエッチングなどのドライエッチング装置でエッチングし、最後に金属マスクを除去することにより、ブラッググレーティング12が形成される。
ブラッググレーティング12は、光学材料層11の入射面11aおよび出射面11bのいずれからも離隔して設けられてなる。特に、入射面11aとブラッググレーティング12との間は、グレーティングが存在しない伝搬部13となっている。伝搬部13は、活性層5と対向配置されてなる。ただし、外部共振器の長さを短くするという観点からは、伝搬部13はなくてもよい。
なお、図2では図示を省略しているが、および図3に示すように、光学材料層11の上下面に下側バッファ層16と上側バッファ層17とが設けられる。従って、より厳密には、光学材料層11は下側バッファ層16を介して支持基板10上に設けられる。
ただし、下側バッファ層16および上側バッファ層17はなくてもよい。上側バッファ層17がない場合、空気層が直接ブラッググレーティング12に接することになるので、上側バッファ層17が備わる場合に比して、ブラッググレーティング12が無いところとの屈折率差がより大きくなることから、ブラッググレーティング12の長さLbを短くしつつ、反射率を大きくすることができる。
下側バッファ層16と上側バッファ層17とは、例えば酸化珪素からなるのが好適である。下側バッファ層16と上側バッファ層17とは、スパッタなどの公知の薄膜形成手法によって形成が可能である。
光学材料層11は、屈折率nbが1.8以上であって、熱伝導率が50W/m・K以下の物質を用いて構成するのが好ましい。例えば、ガリウム砒素、ニオブ酸リチウム、酸化タンタル、タンタル酸リチウム、酸化亜鉛、および、酸化アルミナからなる群より選択される物質のバルク結晶(基板)などを用いることが好ましい。
屈折率nbが1.8以上の材料にて光学材料層11を構成することにより、グレーティング素子9の構造をコンパクトなものとしつつ高いグレーティング反射率を得ることができる。さらには、屈折率nbは1.9以上であることがより好ましい。なお、屈折率nbの上限に特段の制限はないが、屈折率nbを大きくする一方でピッチΛを小さくすることによって反射率を確保するような場合において、ピッチΛが小さすぎるとブラッググレーティング12の形成が困難になることから、実用上は、屈折率nbは4以下で十分である。
また、グレーティング素子9をなす支持基板10や光学材料層11が上述のようなセラミックスやガラス材料で構成される場合、熱伝導が小さいことから、蓄熱効果を奏する。これにより、半導体レーザの放熱が抑制され、半導体レーザが高温に保持される。係る蓄熱効果は、環境温度の変化に起因した発光波長の変動の抑制に資するものである。係る蓄熱効果を高めるためには、支持基板10や光学材料層11を熱伝導率が25W/m・K以下の物質にて形成するのが好ましく、10W/m・K以下の物質にて形成するのがもっとも好ましい。
光学材料層11中には、光導波路18の耐光損傷性を更に向上させるために、マグネシウム(Mg)、亜鉛(Zn)、スカンジウム(Sc)及びインジウム(In)からなる群より選ばれる1種以上の金属元素を含有させてもよい。係る場合においては、マグネシウムを含有させるのが特に好ましい。また、ドープ成分として、希土類元素を含有させる態様であってもよい。係る場合、希土類元素としては、特にNd、Er、Tm、Ho、Dy、Prが好ましい。
接着層15は、無機接着剤にて形成する態様であっても、有機接着剤にて形成する態様であってもよく、無機接着剤と有機接着剤との組み合わせにて形成する態様であってもよい。あるいは、接着層15を形成せず、直接接合によって支持基板10と光学材料層11とを貼り合わせる態様であってもよい。この場合、常温直接接合法、表面活性化法、原子拡散接合法を採用することができる。
以上のような構成を有する半導体レーザモジュール1のレーザ発振の原理について以下に概説する。レーザ発振する初期の過程において、活性層5に注入電流が与えられると該活性層5において自然放出光(一次発光)が生じる。係る自然放出光は、図2の入射光Aとなってグレーティング素子9の光導波路18に入射するが、ブラッググレーティング12においては該一次発光のうちブラッグ条件を満たす所定の波長成分の光のみが反射される(図2の反射光C)ので、反射膜4からブラッググレーティング12までの区間において、所定の位相条件をみたす波長(発振波長)の光の発振(レーザ光)が生じる。半導体レーザモジュール1においては、概略、このような態様にてレーザ光を出射することができるようになっている。なお、反射膜4と反対側の端面にも反射膜が設けられる場合、両者の区間においてもファブリペロー型共振器が構成できるが、反射膜の反射率がグレーティングの反射率より小さい場合には、反射膜4からブラッググレーティング12までの間で構成する共振器の方がゲイン閾値を小さくすることができる。このためブラッググレーティング12の発振モードが支配的になる。
また、図4は、図3に示したグレーティング素子9の変形例であるグレーティング素子9AのYZ断面図である。グレーティング素子9Aは、グレーティング素子9と同じ層構成を有しているが、リッジ溝19および光導波路18の形成位置が異なっている。具体的には、素子内部である光学材料層11の支持基板10側に、リッジ溝19と光導波路18とが形成されている。これに伴い、接着層15がリッジ溝19の部分に対応して凸部を有してなる。また、光学材料層11の上面11eは平坦面となっている。
係る場合においては、ブラッググレーティング12は平坦面である上面11e側に形成される態様であってもよく、リッジ溝19のある下面11f側に形成される態様であってもよい。
あるいは、ブラッググレーティング12とリッジ溝19の形状ばらつきを低減するという観点からは、ブラッググレーティング12を上面11e上に形成することによって、ブラッググレーティング12とリッジ溝19の形成面を違える方が好ましい。
また、グレーティング素子9の場合と同様の理由から、グレーティング素子9Aにおいても上側バッファ層17はなくてもよい。
なお、グレーティング素子9とグレーティング素子9Aとの構成上の差異点は、後述する本実施の形態に係る発明の特徴点と直接には関係しないことから、以降の説明においては、特に断らない限り、グレーティング素子9とグレーティング素子9Aとを特に区別せずに説明する。
<半導体レーザモジュールにおける各部の配置>
次に、本実施の形態に係る半導体レーザモジュール1における各部の配置の仕方について説明する。以下においては、半導体レーザモジュール1を構成するにあたって上述のように光源素子パッケージPとして供される光源素子2を用いる場合について、主に説明する。
次に、本実施の形態に係る半導体レーザモジュール1における各部の配置の仕方について説明する。以下においては、半導体レーザモジュール1を構成するにあたって上述のように光源素子パッケージPとして供される光源素子2を用いる場合について、主に説明する。
概略的には、図1に示したように、半導体レーザモジュール1は、光源素子2を備える光源素子パッケージPが適宜の手法にて上面に載置固定された第2基台M2(光源用基台)と、グレーティング素子9が上面に載置固定された第3基台M3(導波路用基台)とが、互いの側面にて接合固定される(いわゆるバットジョイントの状態とされてなる)ことで、構成されてなる。第2基台M2および第3基台M3は例えばSUSや銅などの熱伝導のよい金属からなる。
ただし、より詳細には、第2基台M2の上方においては、光源素子2の直下のみならず周囲にも放熱用領域が設けられてなることで、水平面内において光源素子2が少なくともその出射面の側において第2基台M2の側端面よりも奥まった位置に配置されてなる一方で、第3基台M3に対するグレーティング素子9の固定は、その上面において(つまりは水平面内において)グレーティング素子9の一方端部(より詳細には伝搬部13が備わる入射面11aの側)が該第3基台M3から突出し、光学材料層11の入射面11aが光源素子2に近接する態様にてなされる。これにより、グレーティング素子9と光源素子2との結合効率が確保されてなる。なお、第3基台M3に対するグレーティング素子9の固定、および、第2基台M2と第3基台M3との固定はそれぞれ、UV硬化樹脂からなる接着層6、7によってなされている。接着層6、7としてはこのほかにもプライマ硬化型の接着剤が使用でき、この場合は室温硬化型樹脂が使用できる。
また、当然ながら、グレーティング素子9は、その光学材料層11に備わる光導波路18の延在方向が光源素子2の光軸方向と合致するように固定されるが、本実施の形態においては、ブラッググレーティング12を下側とする(ブラッググレーティング12の備わる側の面を第3基台M3に対する被載置面とする)、いわゆるジャンクションダウンの状態でグレーティング素子9を固定することで、係る状態が実現されてなる。
このように、本実施の形態においては、光源素子2からの半導体レーザ光Aの出射方向(光軸方向)にグレーティング素子9の光導波路18が位置するという配置関係をみたしつつ、光源素子2が上面に載置された第2基台M2とグレーティング素子9が上面に載置された第3基台M3とを互いの側面にて接着固定させることによって、外部共振器型半導体レーザが構成されてなる。
係る場合においては、素子そのものよりも比較的サイズの大きな基台をそれぞれの側面で固定することにより半導体レーザモジュール1が形成されてなることから、特許文献1に開示されているような共通基板を用いる場合に比べると、高さ方向における位置合わせは容易である。すなわち、光源素子2とグレーティング素子9の間のアライメントのずれが原因となった、ゲインしきい値の増大が起こりにくくなっている。
しかも、グレーティング素子9の一方端部を上面において突出させつつ第3基台M3に載置固定することによって、光源素子2が光源素子パッケージPとして供されているために光源素子2の出射面が水平面内において配線基板3および第2基台M2の側端面から奥まっているにも関わらず、グレーティング素子9と光源素子2との近接配置が実現されてなる。
仮に、グレーティング素子9の一方端部が水平面内において第3基台M3から突出していない場合、光源素子2とグレーティング素子9との間は大きく離隔してしまうことになるので、結合効率を確保するためには、両素子の間にレンズを介在させる必要がある。しかしながら、本実施の形態においては、上述のように両素子が近接するので、両素子の間にレンズを介在させずとも、両素子間の結合効率を確保することが出来る。なお、安定な発振を確保するという観点からは、光源素子2とグレーティング素子9との間隙を、1μm以上10μm以下とするのが好ましい。
なお、グレーティング素子9の第3基台M3からの突出量は、少なくとも、光源素子2の出射面と、該出射面の側にある第1基台M1の側面との距離以上であることが必要であるが、10μm以上であることが望ましく、さらに、50μm以上が好ましい。一方、突出量の上限値は、第2基台M2と第3基台M3とが固定され、かつ、第3基台M3に対するグレーティング素子9の固定が十分なものである限りにおいては、特に制限はない。ただし、第2基台M2と第3基台M3は、係る突出量に応じたサイズ・形状を有することになる。
以上、説明したように、本実施の形態に係る半導体レーザモジュールにおいては、光源素子の直下のみならずその周囲にも放熱用領域を備える態様にて光源素子を載置固定してなる光源素子用の基台と、グレーティング素子を載置固定してなるグレーティング素子用の基台とを互いの側面にて接合固定するにあたって、グレーティング素子を水平面内にて光源素子用の基台から突出させる態様にて該基台に固定し、両基台の接合固定に際してグレーティング素子の光導波路と光源素子の出射面とを近接させるようにすることで、両素子の結合効率が確保されてなるとともに、レーザ発振のためのゲインしきい値の増大が抑制されてなる。
<第1の実施の形態の変形例>
上述した第1の実施の形態に係る半導体レーザモジュール1においては、第2基台M2と第3基台M3とを互いの側面にて接合固定していたが、グレーティング素子9を水平面内において光源素子2の側へと突出させつつ第2基台M2と第3基台M3とを接合固定する態様は、これに限られるものではない。
上述した第1の実施の形態に係る半導体レーザモジュール1においては、第2基台M2と第3基台M3とを互いの側面にて接合固定していたが、グレーティング素子9を水平面内において光源素子2の側へと突出させつつ第2基台M2と第3基台M3とを接合固定する態様は、これに限られるものではない。
図5は、第1の実施の形態とは異なる態様にて第2基台M2と第3基台M3とを接合固定してなる半導体レーザモジュール1Aの構成を模式的に示す側断面図である。
図5に示す半導体レーザモジュール1Aは、グレーティング素子9を上面に載置固定してなる第3基台M3を配線基板3と同様に第2基台M2の上面に載置固定した構成を有する他は、第1の実施の形態に係る半導体レーザモジュール1と同様の構成を有する。なお、第2基台M2と第3基台M3との固定は、UV硬化樹脂からなる接着層7Aによってなされている。このほかにも、プライマ硬化型の接着剤が使用でき、この場合は室温硬化型樹脂が使用できる。
係る半導体レーザモジュール1Aにおいても、グレーティング素子9と光源素子2との近接配置が実現されてなるので、レーザ発振のためのゲインしきい値の増大が抑制されてなる。
また、上述の実施の形態では、光源素子パッケージPが第2基台M2に固定される構成を例示しているが、配線基板3が第2基台M2を兼ねる構成、つまりは、配線基板3と第3基台M3とを接着固定する構成でもよい。この場合も、両者の固定には、UV硬化樹脂、プライマ硬化型の接着剤が使用できる。係る構成においても、グレーティング素子9と光源素子2との近接配置は上述の実施の形態と同様に実現されるので、レーザ発振のためのゲインしきい値の増大が抑制されてなる。
<第2の実施の形態>
図6は、第2の実施の形態に係る半導体レーザモジュール1Bの構成を模式的に示す側断面図である。
図6は、第2の実施の形態に係る半導体レーザモジュール1Bの構成を模式的に示す側断面図である。
半導体レーザモジュール1Bは、第3基台M3の上に、グレーティング素子9に加えて、光導波路素子20が設けられてなる他は、第1の実施の形態に係る半導体レーザモジュール1と同様の構成を有する。
光導波路素子20は、概略、非線形光学材料からなる光導波路素子用基板21の一方主面に、光導波路22が設けられた構成を有する。光導波路22は、グレーティング素子9に備わる光導波路22と同様のリッジ型光導波路として設けられてもよいし、他の態様にて設けられてもよい。光導波路素子20は、グレーティング素子9に備わる光導波路18の延長線上に光導波路22が位置するように、第3基台M3の上に載置固定される。係る固定は、UV硬化樹脂からなる接着層8によってなされている。このほかにも、プライマ硬化型の接着剤が使用でき、この場合は室温硬化型樹脂が使用できる。
光源素子2とグレーティング素子9との配置関係は第1の実施の形態に係る半導体レーザモジュール1と同様であるので、本実施の形態に係る半導体レーザモジュール1Bにおいても、半導体レーザモジュール1と同様、光源素子の直下のみならずその周囲にも放熱用領域を備える態様にて光源素子を載置固定してなる光源素子用の基台と、グレーティング素子を載置固定してなるグレーティング素子用の基台とを互いの側面にて接合固定するにあたって、グレーティング素子を水平面内にて光源素子用の基台から突出させる態様にて該基台に固定し、両基台の接合固定に際してグレーティング素子の光導波路と光源素子の出射面とを近接させるようにすることで、両素子の結合効率が確保されてなるとともに、レーザ発振のためのゲインしきい値の増大が抑制されてなる。
<第2の実施の形態の変形例>
なお、一般に、光源素子2の活性層5の出射面側ニアフィールドの幅(Y軸方向のサイズ、以降も同様)と光導波路素子20の光導波路22の入射面側ニアフィールドの幅とは同じであるとは限らない。図7は、両者の幅が異なる場合に用いるグレーティング素子9を示すXY平面図である。
なお、一般に、光源素子2の活性層5の出射面側ニアフィールドの幅(Y軸方向のサイズ、以降も同様)と光導波路素子20の光導波路22の入射面側ニアフィールドの幅とは同じであるとは限らない。図7は、両者の幅が異なる場合に用いるグレーティング素子9を示すXY平面図である。
図7に示すグレーティング素子9は、活性層5の出射面側ニアフィールドと同じ幅を有しかつブラッググレーティング12を含む第1部分(入射面側ニアフィールド)18aと、光軸方向に沿って幅が変化するテーパ状の第2部分18bと、光導波路22の入射面側ニアフィールドと同じ幅を有する第3部分(出射面側ニアフィールド)18cとから構成される光導波路18を有する。すなわち、グレーティング素子9の光導波路18が、幅の相異なる活性層5と光導波路22とのジョイントとして機能するので、レーザ発振のしきい値電流を下げることができ、波長安定性が高く、高出力のレーザ光を得ることが可能となる。かつ、光導波路素子20に高効率でレーザ光を結合させることができるので、半導体レーザモジュール1Bを高出力の波長変換レーザとして機能することが可能となる。
<第3の実施の形態>
図8は、第3の実施の形態に係る半導体レーザモジュール1Cの構成を模式的に示す側断面図である。
図8は、第3の実施の形態に係る半導体レーザモジュール1Cの構成を模式的に示す側断面図である。
半導体レーザモジュール1Cは、第3基台M3の上に、グレーティング素子9に加えて、光ファイバー素子30が設けられてなる他は、第1の実施の形態に係る半導体レーザモジュール1と同様の構成を有する。
光ファイバー素子30は、概略、光ファイバー素子用基板の内部に、光ファイバー31が埋設された構成を有する。光ファイバー素子30は、グレーティング素子9に備わる光導波路18の延長線上に光ファイバー31が位置するように、第3基台M3に固定される。図8においては、第3基台M3に設けられた凹部に光ファイバー素子30を固定することによって、係る配置関係が実現される場合を例示している。光ファイバー素子30の固定は、UV硬化樹脂からなる接着層8Aによってなされている。
光源素子2とグレーティング素子9との配置関係は第1の実施の形態に係る半導体レーザモジュール1と同様であるので、本実施の形態に係る半導体レーザモジュール1Cにおいても、半導体レーザモジュール1と同様、光源素子の直下のみならずその周囲にも放熱用領域を備える態様にて光源素子を載置固定してなる光源素子用の基台と、グレーティング素子を載置固定してなるグレーティング素子用の基台とを互いの側面にて接合固定するにあたって、グレーティング素子を水平面内にて光源素子用の基台から突出させる態様にて該基台に固定し、両基台の接合固定に際してグレーティング素子の光導波路と光源素子の出射面とを近接させるようにすることで、両素子の結合効率が確保されてなるとともに、レーザ発振のためのゲインしきい値の増大が抑制されてなる。
<第3の実施の形態の変形例>
なお、一般に、光源素子2の活性層5の出射面側ニアフィールドの幅と光ファイバー素子30の光ファイバー31の入射面側ニアフィールドの幅とは同じであるとは限らない。図9は、両者の幅が異なる場合に用いるグレーティング素子9を示すXY平面図である。
なお、一般に、光源素子2の活性層5の出射面側ニアフィールドの幅と光ファイバー素子30の光ファイバー31の入射面側ニアフィールドの幅とは同じであるとは限らない。図9は、両者の幅が異なる場合に用いるグレーティング素子9を示すXY平面図である。
図9に示すグレーティング素子9は、活性層5の出射面側ニアフィールドと同じ幅を有しかつブラッググレーティング12を含む第1部分(入射面側ニアフィールド)18aと、光軸方向に沿って幅が変化するテーパ状の第2部分18bと、光導波路22の入射面側ニアフィールドと同じ幅を有する第3部分(出射面側ニアフィールド)18cとから構成される光導波路18を有する。係る場合、グレーティング素子9の光導波路18が、幅の相異なる活性層5と光導波路22とのジョイントとして機能するので、レーザ発振のしきい値電流を下げることができ、波長安定性が高く、高出力のレーザ光を得ることが可能となる。かつ、光導波路素子20に高効率でレーザ光を結合させることができるので、半導体レーザモジュール1Cを高出力の波長変換レーザとして機能することが可能となる。
<第2および第3の実施形態の応用例>
上述した第2および第3の実施の形態の変形例における素子配置は、グレーティング素子9を有さない半導体レーザモジュールにも応用できる。
上述した第2および第3の実施の形態の変形例における素子配置は、グレーティング素子9を有さない半導体レーザモジュールにも応用できる。
例えば、図10は、図7に例示した第2の実施の形態の変形例の構成において、光学材料層11のところにブラッググレーティング12を設ける代わりに、活性層5と同じ幅を有する第1部分41aと、光軸方向に沿って幅が変化するテーパ状の第2部分41bと、光導波路22と同じ幅を有する第3部分41cとから構成される光導波路41を有する光導波路素子40を用いる場合を示す上面図である。また、図11は、図9に例示した第3の実施の形態の変形例の構成において、光学材料層11のところにブラッググレーティング12を設ける代わりに、活性層5と同じ幅を有する第1部分51dと、光軸方向に沿って幅が変化するテーパ状の第2部分51eと、光導波路22と同じ幅を有する第3部分51fとから構成される光導波路51を有する光導波路素子50を用いる場合を示す上面図である。
<変形例>
第1の実施の形態に係る半導体レーザモジュール1においても、グレーティング素子9を、図7あるいは図9に例示したようなテーパ状の部分を有する光導波路18を備えるものとしてもよい。
第1の実施の形態に係る半導体レーザモジュール1においても、グレーティング素子9を、図7あるいは図9に例示したようなテーパ状の部分を有する光導波路18を備えるものとしてもよい。
また、光学材料層11の入射面11a側の端面および出射面11b側の端面には無反射膜が設けられていてもよい。この場合、端面全面に形成されていてよい。係る無反射膜は、二酸化珪素、五酸化タンタル、フッ化マグネシウム、フッ化カルシウムなどの酸化物の積層膜や、金属膜として形成するのが好適である。これらの無反射膜は、ブラッググレーティング12における反射率(グレーティング反射率)よりも反射率が小さい層として設けられればよい。具体的には、反射率は0.1%以下であるのがより好ましい。
(実施例1)
第1の実施の形態の構成に係る半導体レーザモジュール1を作製し、その特性を評価した。ただし、グレーティング素子9としては、図7に例示した構成を有し、かつ、無反射膜を備えるものを用いた。
第1の実施の形態の構成に係る半導体レーザモジュール1を作製し、その特性を評価した。ただし、グレーティング素子9としては、図7に例示した構成を有し、かつ、無反射膜を備えるものを用いた。
初めに、グレーティング素子9を作製した。
具体的には、まず、グレーティング素子9を形成するために、光学材料層11の材料として屈折率nb=2.17であるy板MgOドープのニオブ酸リチウム結晶基板(以下、LN基板)を用意した。該結晶基板の一方主面上にマスクとして金属Ti膜を形成し、フォトリソグラフィー技術によるパターニングとフッ素系の反応性イオンエッチングとにより、ピッチΛ=225nm、長さLb=150μm、深さtd=15nmのブラッググレーティング12となるグレーティングパターンを形成した。なお、パターニングの際には、伝搬部13の長さLmが20μmとなるようにした。
続いて、エキシマレーザにてリッジ溝19を形成することにより、第1部分18aにおいては幅Wm=3μm、深さTr=0.5μmであり、第3部分18cにおいては幅Wm=1μm、深さTr=0.5μmである光導波路18を長手方向に沿って設けた。なお、長手方向における第1部分18a、第2部分18b、第3部分18cの長さはそれぞれ30μm、30μm、50μmである。さらに、スパッタ装置によって、リッジ溝19が形成された側の面にSiO2からなる下側バッファ層16を0.5μmの厚みに形成した。その後、支持基板10としてブラックLN基板を用意し、その一方主面と下側バッファ層16とを接着して積層体を得た。接着層15はエポキシ系樹脂を使用して形成した。
次に、ブラックLN基板の非接着面側を研磨定盤に貼り付けて、露出しているLB基板の他方主面(ブラッググレーティングの非形成面)を精密研磨し、光学材料層11の厚みTsを1.2μmとした。その後、積層体を研磨定盤から外し、研磨面に対し、スパッタ装置によってSiO2からなる上側バッファ層17を0.5μmの厚みに形成した。
続いて、ダイシング装置にて、積層体をブラックグレーティングの延在方向が長手方向となる棒状に切断した。切断面を光学研磨した後、無反射膜として反射率0.1%のARコートを形成した。最後に、チップ切断を行うことにより、グレーティング素子9を得た。最終的な素子サイズは長さLwg=500μm、幅=1mmとした。
得られたグレーティング素子9について室温(20℃とする)での光学特性を評価した。具体的には、広帯域波長光源であるスーパ・ルミネッセンス・ダイオード(SLD)を使用して、グレーティング素子9にTEモードの光を入力し、その出力光を光スペクトルアナライザで分析し、得られた透過特性から、グレーティング素子9の反射特性を評価した。
その結果、TEモードに対して、中心波長λG=975nm、最大反射率=20%、半値全幅△λG=2nmという結果を得た。
続いて、このグレーティング素子9を用いて、半導体レーザモジュール1を作製した。
まず、活性層5がGaAsからなるGaAs系レーザ(以下、半導体レーザとも称する)を光源素子2とする光源素子パッケージPを用意した。光源素子2の素子長(活性層5の長さ)Laは250μmであった。光源素子2から出射されるレーザ光の室温における中心波長は977nmであり、出力は45mWであった。
係る光源素子パッケージPを第2基台M2にはんだ固定した。また、グレーティング素子9を、伝搬部13が備わる入射面11aの側を水平方向において突出させる態様にて第3基台M3に固定した。第3基台M3に対するグレーティング素子9の固定は、第2基台M2と第3基台M3とを接合固定した際の光源素子2とグレーティング素子9との間隙を1μmとし得るように行った。グレーティング素子9の固定には、UV硬化樹脂を使用した。
さらに両素子をXYZ3軸方向にて光軸調芯して光出力が最大になるようにアライメントした。係るアライメント状態を保ちつつさらに光源素子2とグレーティング素子9との間隙が1μmとなるように、第2基台M2と第3基台M3とをUV硬化樹脂にて接合固定した。これにより、半導体レーザモジュール1が得られた。
得られた半導体レーザモジュール1を、ペルチェ素子による冷却を行うことなく電流制御(ACC)で駆動したところ、室温においては、ブラッググレーティング12の反射プロファイルの中心波長λGに対応した波長975nmで発振する発振光(出射光B)が得られた。出力(レーザ出力)は、半導体レーザのみの出力と同じ45mWであった。
同様の手順にて全10個の半導体レーザモジュール1を作製し、それぞれのレーザ出力を測定した結果、出力は45mW±1mWの範囲内に全て収まった。
(実施例2)
第1の実施の形態の変形例に係る半導体レーザモジュール1Aを作製し、その特性を評価した。
第1の実施の形態の変形例に係る半導体レーザモジュール1Aを作製し、その特性を評価した。
グレーティング素子9および光源素子パッケージPとしては、実施例1と同様のものを用意した。
まず、グレーティング素子9を、伝搬部13が備わる入射面11aの側を水平方向において突出させる態様にて第3基台M3に固定した。第3基台M3に対するグレーティング素子9の固定は、第2基台M2と第3基台M3とを接合固定した際の光源素子2とグレーティング素子9との間隙を1μmとし得るように行った。グレーティング素子9の固定には、UV硬化樹脂を使用した。
続いて、光源素子2とグレーティング素子9とをXYZ3軸方向にて光軸調芯して光出力が最大になるようにアライメントした。そして、係るアライメント状態を保ちつつさらに光源素子2とグレーティング素子9との間隙が1μmとなるように、光源素子パッケージPの配線基板3を第2基台M2にはんだ固定するとともに、グレーティング素子9が接合固定されてなる第3基台M3を第2基台M2にUV硬化樹脂にて接合固定した。これにより、半導体レーザモジュール1Aが得られた。
得られた半導体レーザモジュール1Aを、ペルチェ素子による冷却を行うことなく電流制御(ACC)で駆動したところ、室温においては、ブラッググレーティング12の反射プロファイルの中心波長λGに対応した波長975nmで発振する発振光(出射光B)が得られた。出力(レーザ出力)は、半導体レーザのみの出力と同じ45mWであった。
同様の手順にて全10個の半導体レーザモジュール1を作製し、それぞれのレーザ出力を測定した結果、出力は45mW±1mWの範囲内に全て収まった。
(比較例)
比較例として、実施例1の光源素子2とグレーティング素子9とを共通基板上に直接に載置固定してなる半導体レーザモジュールを作製し、その特性を評価した。
比較例として、実施例1の光源素子2とグレーティング素子9とを共通基板上に直接に載置固定してなる半導体レーザモジュールを作製し、その特性を評価した。
具体的には、あらかじめ光源素子2とグレーティング素子9の配置位置(マウント位置)が定められてなる共通基板の当該配置位置に光源素子2とグレーティング素子9とをそれぞれ配置し、X、Z軸方向のみ光軸調芯して光出力が最大になるようにアライメントした。この状態で光源素子2をはんだ固定するとともにグレーティング素子9をUV硬化樹脂にて接着固定した。
得られた半導体レーザモジュールを、ペルチェ素子による冷却を行うことなく電流制御(ACC)で駆動したところ、室温においては、ブラッググレーティング12の反射プロファイルの中心波長λGに対応した波長975nmで発振する発振光(出射光B)が得られた。出力(レーザ出力)は、半導体レーザのみの出力よりも小さい40mWであった。
同様の手順にて全10個の半導体レーザモジュールを作製し、それぞれのレーザ出力を測定した結果、出力は40mW±3mWの範囲内に全て収まった。
(実施例と比較例との対比)
実施例1および実施例2と比較例とを対比すると、前者の方が、大きなレーザ出力が得られる一方で、出力ばらつきが小さい。係る結果は、実施例1および実施例2の手法が、比較例の手法よりも、特性の優れた半導体レーザモジュールを安定的に(歩留まりよく)作製可能であることを意味している。
実施例1および実施例2と比較例とを対比すると、前者の方が、大きなレーザ出力が得られる一方で、出力ばらつきが小さい。係る結果は、実施例1および実施例2の手法が、比較例の手法よりも、特性の優れた半導体レーザモジュールを安定的に(歩留まりよく)作製可能であることを意味している。
1、1A、1B、1C 半導体レーザモジュール
2 光源素子
3 配線基板
4 反射膜
5 活性層
6、7、7A、8、8A 接着層
9、9A グレーティング素子
10 支持基板
11 光学材料層
12 ブラッググレーティング
13 伝搬部
18 光導波路
19 リッジ溝
20、40、50 光導波路素子
21 光導波路素子用基板
22、41、51 光導波路
30 光ファイバー素子
31 光ファイバー
31 光ファイバー素子用基板
A 半導体レーザ光
B 出射光
C 反射光
M1 第1基台
M2 第2基台
M3 第3基台
P 光源素子パッケージ
2 光源素子
3 配線基板
4 反射膜
5 活性層
6、7、7A、8、8A 接着層
9、9A グレーティング素子
10 支持基板
11 光学材料層
12 ブラッググレーティング
13 伝搬部
18 光導波路
19 リッジ溝
20、40、50 光導波路素子
21 光導波路素子用基板
22、41、51 光導波路
30 光ファイバー素子
31 光ファイバー
31 光ファイバー素子用基板
A 半導体レーザ光
B 出射光
C 反射光
M1 第1基台
M2 第2基台
M3 第3基台
P 光源素子パッケージ
Claims (12)
- 半導体レーザモジュールであって、
光源素子として半導体レーザダイオードが光源用基台の上方に備わるとともに、
支持基板の上に設けられた光学材料層にリッジ型の第1の光導波路を有する第1の導波用素子を備え、
前記光源素子は、前記光源用基台の上方において、少なくとも前記光源素子の出射面が備わる側において前記光源素子が前記光源用基台の側面よりも奥まった位置に配置されてなり、
前記第1の導波用素子は、導波路用基台の上面に前記導波路用基台から突出するように載置固定されてなり、
前記光源用基台と前記導波路用基台とが互いの側面にて接合固定されてなり、
前記光源素子から発せられたレーザ光の光軸方向と前記第1の光導波路の延在方向とが合致してなり、
前記光源素子の出射面と前記第1の導波用素子の前記第1の光導波路とが10μm以下の間隙で近接してなる、
ことを特徴とする半導体レーザモジュール。 - 半導体レーザモジュールであって、
光源素子として半導体レーザダイオードを備える光源素子パッケージと、
支持基板の上に設けられた光学材料層にリッジ型の第1の光導波路を有する第1の導波用素子と、
を備え、
前記光源素子パッケージにおいては、光源用基台の上面であって少なくとも前記光源素子の出射面が備わる側において前記光源素子が前記光源用基台の側面よりも奥まった位置に配置されるように前記光源用基台の前記上面に載置固定されてなり、
前記第1の導波用素子は、導波路用基台の上面に前記導波路用基台から突出するように載置固定されてなり、
前記光源用基台と前記導波路用基台とが互いの側面にて接合固定されてなり、
前記光源素子から発せられたレーザ光の光軸方向と前記第1の光導波路の延在方向とが合致してなり、
前記光源素子の出射面と前記第1の導波用素子の前記第1の光導波路とが10μm以下の間隙で近接してなる、
ことを特徴とする半導体レーザモジュール。 - 請求項1または請求項2に記載の半導体レーザモジュールであって、
前記第1の光導波路の幅が入射面側と出射面側とで異なるとともに前記第1の光導波路の途中にテーパ状の部分を有する、
ことを特徴とする半導体レーザモジュール。 - 請求項1ないし請求項3のいずれかに記載の半導体レーザモジュールであって、
前記導波路用基台の上に第2の導波用素子が設けられてなり、
前記第2の導波用素子の第2の光導波路が前記第1の導波用素子の前記第1の光導波路の延在方向に位置してなる、
ことを特徴とする半導体レーザモジュール。 - 請求項4に記載の半導体レーザモジュールであって、
前記第2の導波用素子が、前記第2の光導波路がリッジ型をなしている光導波路素子である、
ことを特徴とする半導体レーザモジュール。 - 請求項4に記載の半導体レーザモジュールであって、
前記第2の導波用素子が、前記第2の光導波路として光ファイバーを備える光ファイバー素子である、
ことを特徴とする半導体レーザモジュール。 - 請求項1ないし請求項6のいずれかに記載の半導体レーザモジュールであって、
前記導波用素子が、前記第1の光導波路の途中に設けられたブラッググレーティングを備えており、入射した前記レーザ光のうち所定の波長成分の光を前記光源素子と前記ブラッググレーティングとの間で発振させて前記半導体レーザモジュールの外部への出射光として出射するグレーティング素子である、
ことを特徴とする半導体レーザモジュール。 - 請求項7に記載の半導体レーザモジュールであって、
前記光学材料層の厚みが0.5μm以上3.0μm以下であって、
前記レーザ光の光軸方向における前記ブラッググレーティングの長さをLbとし、前記ブラッググレーティングを構成する凹凸の深さをtdとするときに、
10μm≦Lb≦300μm
かつ
10nm≦td≦250nm
である、
ことを特徴とする半導体レーザモジュール。 - 請求項1ないし請求項8のいずれかに記載の半導体レーザモジュールであって、
前記光学材料層の材質が、ガリウム砒素、ニオブ酸リチウム、酸化タンタル、タンタル酸リチウム、酸化亜鉛および酸化アルミナからなる群より選択されたものである、
ことを特徴とする半導体レーザモジュール。 - 請求項1ないし請求項9のいずれかに記載の半導体レーザモジュールであって、
前記第1の導波用素子の長手方向のサイズが500μm以下である、
ことを特徴とする半導体レーザモジュール。 - 半導体レーザモジュールであって、
光源素子として半導体レーザダイオードを備える光源素子パッケージと、
支持基板の上に設けられた光学材料層にリッジ型の第1の光導波路を有する第1の導波用素子と、
を備え、
前記光源素子パッケージにおいては、光源用基台の上面であって少なくとも前記光源素子の出射面が備わる側において前記光源素子が前記光源用基台の側面よりも奥まった位置に配置されるように前記光源用基台の前記上面に載置固定されてなり、
前記第1の導波用素子は、導波路用基台の上面に前記導波路用基台から突出するように載置固定されてなり、
前記導波路用基台が前記光源用基台との前記に接合固定されてなり、
前記光源素子から発せられたレーザ光の光軸方向と前記第1の光導波路の延在方向とが合致してなり、
前記光源素子の出射面と前記第1の導波用素子の前記第1の光導波路とが10μm以下の間隙で近接してなる、
ことを特徴とする半導体レーザモジュール。 - 半導体レーザモジュールの作製方法であって、
光源素子として半導体レーザダイオードを備える光源素子パッケージを用意する第1の準備工程と、
支持基板の上に設けた光学材料層にリッジ型の第1の光導波路を有する第1の導波用素子を用意する第2の準備工程と、
前記光源素子パッケージを、光源用基台の上面であって少なくとも前記光源素子の出射面が備わる側において前記光源素子が前記光源用基台の側面よりも奥まった位置に配置されるように前記光源用基台の前記上面に載置固定する第1の載置固定工程と、
前記第1の導波用素子を、導波路用基台の上面において入射面側が前記導波路用基台から突出するように前記導波路用基台の前記上面に載置固定する第2の載置固定工程と、
前記光源用基台と前記導波路用基台とが互いの側面にて接合固定する接合固定工程と、
を備え、
前記第1の載置固定工程、前記第2の載置固定工程、および前記接合固定工程においては、
前記光源素子から発せられたレーザ光の光軸方向と前記第1の光導波路の延在方向とを合致させるとともに、
前記光源素子と前記第1の導波用素子の前記入射面側とを10μm以下の間隙で近接させる、
ことを特徴とする半導体レーザモジュールの作製方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2014007596A JP2015135931A (ja) | 2014-01-20 | 2014-01-20 | 半導体レーザモジュールおよび半導体レーザモジュールの作製方法 |
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Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2017043222A1 (ja) * | 2015-09-08 | 2017-03-16 | 日本碍子株式会社 | 光学デバイス |
WO2018100868A1 (ja) * | 2016-12-02 | 2018-06-07 | 日本碍子株式会社 | 光学素子及びその製造方法 |
JP2018189933A (ja) * | 2017-05-12 | 2018-11-29 | コニカミノルタ株式会社 | 格子及びx線タルボ撮影装置、格子の製造方法 |
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2014
- 2014-01-20 JP JP2014007596A patent/JP2015135931A/ja active Pending
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