JP2013545318A - 面発光レーザシステム及びその製造方法 - Google Patents
面発光レーザシステム及びその製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2013545318A JP2013545318A JP2013543149A JP2013543149A JP2013545318A JP 2013545318 A JP2013545318 A JP 2013545318A JP 2013543149 A JP2013543149 A JP 2013543149A JP 2013543149 A JP2013543149 A JP 2013543149A JP 2013545318 A JP2013545318 A JP 2013545318A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- reflector
- silicon layer
- hcg
- optical signal
- vcsel
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S5/00—Semiconductor lasers
- H01S5/10—Construction or shape of the optical resonator, e.g. extended or external cavity, coupled cavities, bent-guide, varying width, thickness or composition of the active region
- H01S5/18—Surface-emitting [SE] lasers, e.g. having both horizontal and vertical cavities
- H01S5/183—Surface-emitting [SE] lasers, e.g. having both horizontal and vertical cavities having only vertical cavities, e.g. vertical cavity surface-emitting lasers [VCSEL]
- H01S5/18361—Structure of the reflectors, e.g. hybrid mirrors
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S5/00—Semiconductor lasers
- H01S5/10—Construction or shape of the optical resonator, e.g. extended or external cavity, coupled cavities, bent-guide, varying width, thickness or composition of the active region
- H01S5/18—Surface-emitting [SE] lasers, e.g. having both horizontal and vertical cavities
- H01S5/183—Surface-emitting [SE] lasers, e.g. having both horizontal and vertical cavities having only vertical cavities, e.g. vertical cavity surface-emitting lasers [VCSEL]
- H01S5/18361—Structure of the reflectors, e.g. hybrid mirrors
- H01S5/1838—Reflector bonded by wafer fusion or by an intermediate compound
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S5/00—Semiconductor lasers
- H01S5/02—Structural details or components not essential to laser action
- H01S5/022—Mountings; Housings
- H01S5/0225—Out-coupling of light
- H01S5/02251—Out-coupling of light using optical fibres
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S2301/00—Functional characteristics
- H01S2301/17—Semiconductor lasers comprising special layers
- H01S2301/176—Specific passivation layers on surfaces other than the emission facet
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S5/00—Semiconductor lasers
- H01S5/02—Structural details or components not essential to laser action
- H01S5/0206—Substrates, e.g. growth, shape, material, removal or bonding
- H01S5/021—Silicon based substrates
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S5/00—Semiconductor lasers
- H01S5/10—Construction or shape of the optical resonator, e.g. extended or external cavity, coupled cavities, bent-guide, varying width, thickness or composition of the active region
- H01S5/18—Surface-emitting [SE] lasers, e.g. having both horizontal and vertical cavities
- H01S5/183—Surface-emitting [SE] lasers, e.g. having both horizontal and vertical cavities having only vertical cavities, e.g. vertical cavity surface-emitting lasers [VCSEL]
- H01S5/18341—Intra-cavity contacts
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S5/00—Semiconductor lasers
- H01S5/10—Construction or shape of the optical resonator, e.g. extended or external cavity, coupled cavities, bent-guide, varying width, thickness or composition of the active region
- H01S5/18—Surface-emitting [SE] lasers, e.g. having both horizontal and vertical cavities
- H01S5/183—Surface-emitting [SE] lasers, e.g. having both horizontal and vertical cavities having only vertical cavities, e.g. vertical cavity surface-emitting lasers [VCSEL]
- H01S5/18361—Structure of the reflectors, e.g. hybrid mirrors
- H01S5/18363—Structure of the reflectors, e.g. hybrid mirrors comprising air layers
- H01S5/18366—Membrane DBR, i.e. a movable DBR on top of the VCSEL
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S5/00—Semiconductor lasers
- H01S5/10—Construction or shape of the optical resonator, e.g. extended or external cavity, coupled cavities, bent-guide, varying width, thickness or composition of the active region
- H01S5/18—Surface-emitting [SE] lasers, e.g. having both horizontal and vertical cavities
- H01S5/183—Surface-emitting [SE] lasers, e.g. having both horizontal and vertical cavities having only vertical cavities, e.g. vertical cavity surface-emitting lasers [VCSEL]
- H01S5/18386—Details of the emission surface for influencing the near- or far-field, e.g. a grating on the surface
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S5/00—Semiconductor lasers
- H01S5/40—Arrangement of two or more semiconductor lasers, not provided for in groups H01S5/02 - H01S5/30
- H01S5/42—Arrays of surface emitting lasers
- H01S5/423—Arrays of surface emitting lasers having a vertical cavity
Abstract
【選択図】図1
Description
面発光レーザ(VCSEL)は、上面から垂直のレーザビーム放射を有する半導体レーザダイオードの一種である。VCSELは、ウェハーから個々のチップを劈開することにより形成された表面からレーザビームを放出する端面発光型半導体レーザの他種とは異なる。VCSELからのレーザの垂直放射により、VCSELは、製造工程の終わりまで試験されることができない端面発光型レーザとは異なり、材料品質および処理の問題をチェックするために製造工程の全体にわたって様々な段階で試験されることが可能である。かくして、端面発光型レーザが製造工程の終わりで動作しない場合、製造時間および処理材料は無駄になる。
図1は、面発光レーザ(VCSEL)システム10の一例を示す。VCSELシステム10は、光コンピューティング及び光通信のような様々な光学的応用形態で具現化され得る。VCSELシステム10は、第1の部分12及び第2の部分14を含む。図1の例において、第1の部分12は、信号(DATA)に応答して光信号(OPT)を生成するように構成された利得領域16を含む。一例として、信号(DATA)はRFベースバンドのデータ信号とすることができる。また、第1の部分12は反射鏡(ミラー)18も含む。一例として、反射鏡18は、多層膜nドープド分布ブラッグ反射器(n−DBR)として構成され得る。
Claims (15)
- 面発光レーザ(VCSEL)システム(10)であって、
第1の反射鏡(18)及びデータ信号に応答して光信号を増幅するための利得領域(16)を含み、第1のウェハー上に製造されている第1の部分(12)と、
前記光信号を光ファイバ(22)に結合するために部分反射性である第2の反射鏡(20)を含み、第2のウェハー上に製造されている第2の部分(14)と、
前記第1及び第2の反射鏡(18、20)が光信号を共振させるための、所定の長さを有するレーザ共振器として構成されるように、前記第1及び第2の部分(12、14)を結合するための支持構造体(24)とを含む、面発光レーザ(VCSEL)システム(10)。 - 前記第2のウェハーが、第1のシリコン層(72)、前記第1のシリコン層(72)上の絶縁体層(78)、及び前記絶縁体層(78)上の第2のシリコン層(80)を含むシリコンオンインシュレーター(SOI)ウェハー(152)である、請求項1に記載のシステム。
- 前記第2の反射鏡が、前記第1のシリコン層(72)上にパターン形成された高コントラスト回折格子(HCG)反射鏡(76)からなる、請求項2に記載のシステム。
- 前記第1の部分(12)がアパーチャ(66)を含み、前記アパーチャ(66)を介して前記光信号が前記第1と第2の反射鏡(18、76)との間で共振し、前記HCG反射鏡(76)が前記アパーチャ(66)を介して光信号を集束する、請求項3に記載のシステム。
- 前記光信号のレーザ発振波長が、前記HCG反射鏡(76)の鏡相およびレーザ共振器の前記所定の長さの少なくとも一方に基づいて決定される、請求項3に記載のシステム。
- 前記第2の部分(14)が、前記第2の部分(14)の第1の表面上にシリコン層(80)にエッチングされた穴(302)を含み、前記穴(302)が、前記第1の表面の反対側にある前記第2の部分(14)の第2の表面上の前記第2の反射鏡(20)と実質的に位置合わせされている、請求項1に記載のシステム。
- 前記光ファイバ(22)が前記第2の反射鏡(20)と実質的に位置合わせされるように、前記穴(302)が前記光ファイバ(22)を受容する、請求項6に記載のシステム。
- 請求項1に記載されたVCSELシステム(704)の複数を含むレーザアレイ(702)であって、複数のVCSELシステム(704)のそれぞれが、マルチモード光ファイバ(708)へ入射する個々の光信号を生成する、レーザアレイ(702)。
- 面発光レーザ(VCSEL)システム(10)を製造するための方法(750)であって、
第1のシリコン層(80)、前記第1のシリコン層(80)上の絶縁体層(78)、及び前記絶縁体層(78)上の第2のシリコン層(72)を有するシリコンオンインシュレーター(SOI)構造体(152)を準備し、
前記第1のシリコン層(80)に穴(302)を形成し、前記穴(302)が、製造の後で光ファイバ(22)を受容するための寸法に作られており、
前記第2のシリコン層(72)に部分反射性高コントラスト回折格子(HCG)反射鏡(76)をパターン形成し、前記第2のシリコン層(72)の前記部分反射性HCG反射鏡(76)が前記第1のシリコン層(80)の前記穴(302)と実質的に位置合わせされており、
光信号を増幅するVCSEL構造体(12)を準備し、前記VCSEL構造体(12)が反射鏡(18)を含み、
前記SOI構造体(152)を前記VCSEL構造体(12)に結合し、その結果、前記反射鏡(18)と前記部分反射性HCG反射鏡(76)が、前記光信号を共振させるための、所定の長さを有するレーザ共振器として構成されることを含む、方法。 - 前記第1のシリコン層(80)に前記穴(302)を形成することが、
前記穴(302)用のマスクを形成するためにフォトレジスト材料(154)をパターン形成し、
前記第1のシリコン層(80)に前記穴(302)を形成するために反応性イオンエッチング(252)を実施することを含む、請求項9に記載の方法。 - 前記第2のシリコン層(72)に前記部分反射性HCG反射鏡(76)をパターン形成することが、
前記部分反射性HCG反射鏡(76)用のマスク(452)を形成するためにフォトレジスト材料(402)をパターン形成し、
前記第2のシリコン層(72)に前記部分反射性HCG反射鏡(76)を形成するために反応性イオンエッチング(502)を実施することを含む、請求項9に記載の方法。 - 前記光信号のレーザ発振波長を調整するために前記レーザ共振器の所定の長さを選択することを更に含む、請求項9に記載の方法。
- 前記部分反射性HCG反射鏡(76)をパターン形成することが、前記部分反射性HCG反射鏡(76)用の前記マスク(452)に基づいて前記光信号のレーザ発振波長を調整することを含む、請求項9に記載の方法。
- 前記VCSEL構造体(12)を準備することが、酸化物層(68)にアパーチャ(66)を有する前記VCSEL構造体(12)を準備することを含み、前記アパーチャ(66)を介して前記部分反射性HCG反射鏡(76)が前記光信号を集束して、前記反射鏡(18)と前記部分反射性HCG反射鏡(76)との間で前記光信号が共振される、請求項9に記載の方法。
- 前記第1のシリコン層(80)に前記穴(302)を形成することが、前記光ファイバ(22)の外径(OD)にほぼ等しい内径(ID)を有するように前記穴(302)を形成することを含み、その結果、前記光ファイバ(22)が、前記第1のシリコン層(80)の前記穴(302)に受容される際に前記部分反射性HCG反射鏡(76)と実質的に位置合わせされる、請求項9に記載の方法。
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
PCT/US2010/061326 WO2012087282A1 (en) | 2010-12-20 | 2010-12-20 | Vertical-cavity surface-emitting laser system and method for fabricating the same |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013545318A true JP2013545318A (ja) | 2013-12-19 |
Family
ID=46314267
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013543149A Pending JP2013545318A (ja) | 2010-12-20 | 2010-12-20 | 面発光レーザシステム及びその製造方法 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9711947B2 (ja) |
JP (1) | JP2013545318A (ja) |
TW (1) | TWI429152B (ja) |
WO (1) | WO2012087282A1 (ja) |
Families Citing this family (27)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20150143450A (ko) * | 2013-04-11 | 2015-12-23 | 휴렛-팩커드 디벨롭먼트 컴퍼니, 엘.피. | 광학적 분리를 위한 모드 변환 |
US9261556B2 (en) | 2013-06-10 | 2016-02-16 | Freescale Semiconductor, Inc. | Optical wafer and die probe testing |
US9766409B2 (en) | 2013-06-10 | 2017-09-19 | Nxp Usa, Inc. | Optical redundancy |
US9442254B2 (en) | 2013-06-10 | 2016-09-13 | Freescale Semiconductor, Inc. | Method and apparatus for beam control with optical MEMS beam waveguide |
US9435952B2 (en) | 2013-06-10 | 2016-09-06 | Freescale Semiconductor, Inc. | Integration of a MEMS beam with optical waveguide and deflection in two dimensions |
US9810843B2 (en) * | 2013-06-10 | 2017-11-07 | Nxp Usa, Inc. | Optical backplane mirror |
US10230458B2 (en) | 2013-06-10 | 2019-03-12 | Nxp Usa, Inc. | Optical die test interface with separate voltages for adjacent electrodes |
US9407066B2 (en) * | 2013-07-24 | 2016-08-02 | GlobalFoundries, Inc. | III-V lasers with integrated silicon photonic circuits |
CN104319628B (zh) * | 2014-10-24 | 2018-04-27 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 外腔相干垂直腔面发射半导体激光器 |
US9735545B1 (en) | 2016-07-08 | 2017-08-15 | Northrop Grumman Systems Corporation | Vertical cavity surface emitting laser with composite reflectors |
US10177856B2 (en) * | 2016-08-18 | 2019-01-08 | Raytheon Company | Systems and methods for demodulation of phase modulated optical signals |
US10313022B2 (en) | 2016-09-27 | 2019-06-04 | Raytheon Company | Active demodulation systems and methods for optical signals |
US10530494B2 (en) | 2016-09-27 | 2020-01-07 | Raytheon Company | Systems and methods for detection and demodulation of optical communication signals |
US10256917B2 (en) | 2016-09-27 | 2019-04-09 | Raytheon Company | Optically sensed demodulation systems and methods for optical communications |
US10225020B2 (en) | 2016-10-07 | 2019-03-05 | Raytheon Company | Systems and methods for demodulation of PSK modulated optical signals |
US10243670B2 (en) | 2016-11-18 | 2019-03-26 | Raytheon Company | Optical signal processing using an optical resonator |
US10243673B2 (en) | 2016-11-18 | 2019-03-26 | Raytheon Company | Frequency demodulation systems and methods for optical signals |
US10305602B2 (en) | 2016-11-18 | 2019-05-28 | Raytheon Company | Demodulation of QAM modulated optical beam using Fabry-Perot etalons and microring demodulators |
US10116115B2 (en) * | 2017-02-22 | 2018-10-30 | Geoff W. Taylor | Integrated circuit implementing a VCSEL array or VCSEL device |
JP6832458B2 (ja) | 2017-06-30 | 2021-02-24 | レイセオン カンパニー | エタロン・ディテクタを利用する光レイク受信機 |
JP6913829B2 (ja) | 2017-11-17 | 2021-08-04 | レイセオン カンパニー | 波長分割多重光信号の復調のためのシステム及び方法 |
JP2021513306A (ja) | 2018-03-09 | 2021-05-20 | レイセオン カンパニー | 閾検出を使用した位相変調された信号の復調 |
AU2019253437B2 (en) * | 2018-04-12 | 2021-10-28 | Raytheon Company | Phase change detection in optical signals |
GB201918310D0 (en) * | 2019-12-12 | 2020-01-29 | Mas Innovation Private Ltd | Absorbent component |
US11201677B1 (en) | 2020-06-08 | 2021-12-14 | Raytheon Company | Hard-to-intercept multiple coherent transmitter communications |
US11303360B2 (en) | 2020-06-22 | 2022-04-12 | Raytheon Company | Methods and apparatus supporting non-persistent communications |
US11251783B1 (en) | 2020-12-15 | 2022-02-15 | Raytheon Company | Demodulation methods and devices for frequency-modulated (FM) signals |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH03148891A (ja) * | 1989-11-06 | 1991-06-25 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 外部共振器型半導体レーザ及びこれを用いた光伝送装置 |
JPH0661566A (ja) * | 1992-08-07 | 1994-03-04 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 光学デバイスとその製造方法 |
JP2003060299A (ja) * | 2001-06-07 | 2003-02-28 | Ricoh Opt Ind Co Ltd | 光出力素子・光出力素子アレイおよびレンズ素子・レンズ素子アレイ |
JP2005223111A (ja) * | 2004-02-05 | 2005-08-18 | Yokogawa Electric Corp | 波長可変レーザー |
JP2007173550A (ja) * | 2005-12-22 | 2007-07-05 | Yokogawa Electric Corp | 波長可変レーザ |
JP2010045385A (ja) * | 2009-10-09 | 2010-02-25 | Ricoh Co Ltd | 面発光レーザ素子およびその作製方法および面発光レーザアレイおよび波長多重伝送システム |
WO2010138524A2 (en) * | 2009-05-27 | 2010-12-02 | The Regents Of The University Of California | Monolithically integrated multi-wavelength high-contrast grating vcsel array |
Family Cites Families (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5912913A (en) | 1995-12-27 | 1999-06-15 | Hitachi, Ltd. | Vertical cavity surface emitting laser, optical transmitter-receiver module using the laser, and parallel processing system using the laser |
JP2002500446A (ja) | 1997-12-29 | 2002-01-08 | コアテック・インコーポレーテッド | マイクロエレクトロメカニカル的に同調可能な共焦型の垂直キャビティ表面放出レーザ及びファブリー・ペローフィルタ |
US6088376A (en) | 1998-03-16 | 2000-07-11 | California Institute Of Technology | Vertical-cavity-surface-emitting semiconductor devices with fiber-coupled optical cavity |
US6328482B1 (en) * | 1998-06-08 | 2001-12-11 | Benjamin Bin Jian | Multilayer optical fiber coupler |
US6669367B2 (en) | 2001-10-10 | 2003-12-30 | Applied Optoelectronics, Inc. | Optical fiber with mirror for semiconductor laser |
US6810066B2 (en) | 2002-02-20 | 2004-10-26 | Agilent Technologies, Inc. | Fiber-coupled tunable single-mode long-wavelength vertical-cavity laser |
US20030185269A1 (en) | 2002-03-26 | 2003-10-02 | Gutin Mikhail A. | Fiber-coupled vertical-cavity surface emitting laser |
JP2010251649A (ja) * | 2009-04-20 | 2010-11-04 | Hitachi Ltd | 面出射型レーザモジュールおよび面受光型モジュール |
US8399292B2 (en) * | 2010-06-30 | 2013-03-19 | International Business Machines Corporation | Fabricating a semiconductor chip with backside optical vias |
US8654812B2 (en) * | 2011-01-25 | 2014-02-18 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Q-switched grating vertical-cavity surface-emitting laser system and method for fabricating the same |
-
2010
- 2010-12-20 JP JP2013543149A patent/JP2013545318A/ja active Pending
- 2010-12-20 WO PCT/US2010/061326 patent/WO2012087282A1/en active Application Filing
- 2010-12-20 US US13/990,009 patent/US9711947B2/en active Active
-
2011
- 2011-10-25 TW TW100138678A patent/TWI429152B/zh not_active IP Right Cessation
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH03148891A (ja) * | 1989-11-06 | 1991-06-25 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 外部共振器型半導体レーザ及びこれを用いた光伝送装置 |
JPH0661566A (ja) * | 1992-08-07 | 1994-03-04 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 光学デバイスとその製造方法 |
JP2003060299A (ja) * | 2001-06-07 | 2003-02-28 | Ricoh Opt Ind Co Ltd | 光出力素子・光出力素子アレイおよびレンズ素子・レンズ素子アレイ |
JP2005223111A (ja) * | 2004-02-05 | 2005-08-18 | Yokogawa Electric Corp | 波長可変レーザー |
JP2007173550A (ja) * | 2005-12-22 | 2007-07-05 | Yokogawa Electric Corp | 波長可変レーザ |
WO2010138524A2 (en) * | 2009-05-27 | 2010-12-02 | The Regents Of The University Of California | Monolithically integrated multi-wavelength high-contrast grating vcsel array |
JP2010045385A (ja) * | 2009-10-09 | 2010-02-25 | Ricoh Co Ltd | 面発光レーザ素子およびその作製方法および面発光レーザアレイおよび波長多重伝送システム |
Non-Patent Citations (2)
Title |
---|
II-SUG CHUNG AND JESPER MORK: "Silicon-photonics light source realized by III-V/Si-grating-mirror laser", APPLIED PHYSICS LETTERS, vol. 97, JPN6014020164, 15 October 2010 (2010-10-15), pages 151113, XP012137229, ISSN: 0002814375, DOI: 10.1063/1.3503966 * |
YE ZHOU,ET.AL.: "High-Index-Contrast Grating (HCG) and Its Applications in Optoelectronic Devices", SELECTED TOPICS IN QUANTUM ELECTRONICS, IEEE JOURNAL OF, vol. Vol.15, Isuue 5, JPN6014020162, 29 September 2009 (2009-09-29), pages 1485 - 1499, ISSN: 0002814374 * |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
TW201232977A (en) | 2012-08-01 |
TWI429152B (zh) | 2014-03-01 |
US20130272337A1 (en) | 2013-10-17 |
US9711947B2 (en) | 2017-07-18 |
WO2012087282A1 (en) | 2012-06-28 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2013545318A (ja) | 面発光レーザシステム及びその製造方法 | |
US6744805B2 (en) | Single mode operation of microelectromechanically tunable, half-symmetric, vertical cavity surface emitting lasers | |
JP5038371B2 (ja) | 面発光レーザの製造方法 | |
US8068529B2 (en) | Surface emitting laser manufacturing method, surface emitting laser array manufacturing method, surface emitting laser, surface emitting laser array, and optical apparatus including surface emitting laser array | |
US7842530B2 (en) | Method of manufacturing vertical cavity surface emitting laser and method of manufacturing laser array, vertical cavity surface emitting laser and laser array, and image forming apparatus with laser array | |
US20100128749A1 (en) | Vertical-Cavity Surface-Emitting Semiconductor Laser Diode And Method For The Manufacture Thereof | |
US20020048301A1 (en) | Single mode operation of microelectromechanically tunable, half-symmetric, vertical cavity surface emitting lasers | |
US8455279B2 (en) | Surface gratings on VCSELS for polarization pinning | |
US8654812B2 (en) | Q-switched grating vertical-cavity surface-emitting laser system and method for fabricating the same | |
JP2011029496A (ja) | 面発光レーザ、面発光レーザの製造方法、画像形成装置 | |
US20080151961A1 (en) | Vertical cavity surface-emitting laser and method of fabricating the same | |
JP6247944B2 (ja) | 水平共振器面出射型レーザ素子 | |
US7883914B2 (en) | Method for fabricating a photonic crystal or photonic bandgap vertical-cavity surface-emitting laser | |
US9368935B2 (en) | Method for mode control in multimode semiconductor waveguide lasers | |
TW202308247A (zh) | 用於垂直腔面發射雷射器(vcsel)之反射器 | |
US20020159491A1 (en) | Surface emitting laser | |
Wang et al. | Tunable MEMS-VCSEL with High-Contrast Grating | |
JP2024513373A (ja) | 空洞内サブ波長格子を用いた波長可変vcsel偏光制御 | |
Chang et al. | Stable single-mode operation of VCSELs with a mode selective aperture | |
Haglund | Quasi-single mode VCSELs for longer-reach optical interconnects | |
JP5335861B2 (ja) | 面発光レーザの製造方法 | |
KR100482914B1 (ko) | 공기층 구경을 갖는 수직공진 표면방출레이저 구조 및 그제조방법 | |
Aldaz et al. | Monolithically integrated long vertical cavity surface laser incorporating a concave micromirror on a glass substrate | |
JP2006005324A (ja) | 面発光レーザ素子および面発光レーザアレイおよび光インターコネクションシステムおよび光通信システムおよび電子写真システムおよび光ディスクシステム | |
Hashizume et al. | Polarization and transverse mode control of vertical cavity surface emitting lasers with metal nano‐structure |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20130607 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20140414 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20140520 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20140820 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20140827 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20140919 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20150303 |