JP2010251649A - 面出射型レーザモジュールおよび面受光型モジュール - Google Patents
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Abstract
光結合効率が高く、高密度実装された小型の光モジュールを提供する。
【解決手段】
光モジュールにおいて、半導体基板11の主表面に対して光を垂直方向に出射する発光素子が光出射領域に集積されたレンズ19と光出射領域を囲むように集積された保持部22とを有することにより、発光素子と発光素子からの光を導波する光ファイバ31との水平垂直方向の位置合わせの簡易性が向上し、光結合効率が高く、高密度実装された小型の光モジュールを提供することができる。
【選択図】図1(a)
Description
Claims (20)
- 半導体基板と、前記半導体基板に設けられた光出射領域と、前記光出射領域に集積されたレンズと、前記レンズが集積された前記光出射領域を囲むように集積された保持部とを有し、前記光出射領域から、前記半導体基板の主表面に対して垂直方向に光を出射する発光素子と、
前記保持部に勘合、保持され、前記レンズを透過した前記発光素子からの光を導波する外部光導波路と、
前記発光素子および前記外部光導波路が固定されるステムとを有することを特徴とする面出射型レーザモジュール。 - 請求項1記載の面出射型レーザモジュールにおいて、
前記発光素子は、前記半導体基板上に設けられた光を発生する活性層と、
前記半導体基板上に設けられ、前記活性層から発生した光を導波する導波路層と、
前記半導体基板の少なくとも一部に設けられた、前記光を面内方向に反射もしくは共振させる共振器構造部と、
前記共振構造部から放射されるレーザ光を前記半導体基板の裏面から出射するための前記光導波路層の一部に設けられた反射鏡とを備える、水平共振器垂直出射型レーザであることを特徴とする面出射型レーザモジュール。 - 請求項1に記載の面出射型レーザモジュールにおいて、
前記外部光導波路は、受光面が前記半導体基板に対して所定の角度を有する、反射戻り光防止型光ファイバであり、
前記保持部は、前記反射戻り光防止型光ファイバが勘合できるように前記所定の角度に合致する角度を有することを特徴とする面出射型レーザモジュール。 - 請求項1に記載の面出射型レーザモジュールにおいて、
前記レンズは、前記半導体基板を曲面状に加工して形成されたものであることを特徴とする面出射型レーザモジュール。 - 半導体基板と、前記半導体基板に形成された窪みと、前記窪み内部に設けられた光出射領域と、前記窪み内部の前記光出射領域に集積されたレンズと、前記窪みの外周部を囲むように集積された保持部とを有し、前記光出射領域から、前記半導体基板の主表面に対して垂直方向に光を出射する発光素子と、
前記保持部に勘合、保持され、前記レンズを透過した前記発光素子からの光を導波する外部光導波路と、
前記発光素子および前記外部光導波路が固定されるステムとを備えることを特徴とする面出射型レーザモジュール。 - 請求項5記載の面出射型レーザモジュールにおいて、
前記発光素子は、水平共振器垂直出射型レーザ或いは垂直共振器垂直出射型レーザであることを特徴とする面出射型レーザモジュール。 - 請求項5に記載の面出射型レーザモジュールにおいて、
前記保持部は、前記半導体基板を加工して形成されたものであることを特徴とする面出射型レーザモジュール。 - 請求項5に記載の面出射型レーザモジュールにおいて、
前記保持部は、前記半導体基板上に設けられ、前記半導体基板とは異なる材料で形成されたものであることを特徴とする面出射型レーザモジュール。 - 請求項5に記載の面出射型レーザモジュールにおいて、
前記外部光導波路は先端が所定の曲率のレンズ形状を有し、前記保持部は前記外部光導波路が勘合できるように前記所定の曲率に合致する曲率を有することを特徴とする面出射型レーザモジュール。 - 請求項5に記載の面出射型レーザモジュールにおいて、
前記外部光導波路は先端が前記半導体基板に対して所定の角度を有する、反射戻り光防止型光ファイバであり、
前記保持部は、前記反射戻り光防止型光ファイバが勘合できるように前記所定の角度に合致する角度を有することを特徴とする面出射型レーザモジュール。 - 請求項5に記載の面出射型レーザモジュールにおいて、
前記レンズは、前記半導体基板を曲面状に加工して形成されたものであることを特徴とする面出射型レーザモジュール。 - 半導体基板と、前記半導体基板に形成された窪みと、前記窪み内部に設けられた受光領域と、前記窪み内部の前記受光領域に集積されたレンズと、前記窪みの外周部を囲むように集積された保持部とを有し、前記半導体基板の主表面に対して垂直方向に光を受光する受光素子と、
前記保持部に勘合、保持され、前記レンズを透過して前記受光素子へ光を出射する外部光導波路と、
前記受光素子および前記外部光導波路が固定されるステムとを備えることを特徴とする面受光型モジュール。 - 請求項12記載の面受光型モジュールにおいて、
前記保持部は、前記半導体基板を加工して形成されたものであることを特徴とする面受光型モジュール。 - 請求項12記載の面受光型モジュールにおいて、
前記保持部は、前記半導体基板上に設けられ、前記半導体基板とは異なる材料で形成されたものであることを特徴とする面受光型モジュール。 - 請求項12に記載の面受光型モジュールにおいて、
前記外部光導波路は先端が所定の曲率のレンズ形状を有し、前記保持部は前記外部光導波路が勘合できるように前記所定の曲率に合致する曲率を有することを特徴とする面受光型モジュール。 - 請求項12に記載の面受光型モジュールにおいて、
前記外部光導波路は先端が前記半導体基板に対して所定の角度を有する、反射戻り光防止型光ファイバであり、
前記保持部は、前記反射戻り光防止型光ファイバが勘合できるように前記所定の角度に合致する角度を有することを特徴とする面受光型モジュール。 - 請求項12に記載の面受光型モジュールにおいて、
前記レンズは、前記半導体基板を曲面状に加工して形成されたものであることを特徴とする面受光型モジュール。 - 請求項1に記載の面型光モジュールにおいて、
前記外部光導波路は、石英系のシングルモード光ファイバ、プラスチック光ファイバ、フレキシブル性を有する光ファイバまたはポリマー光配線導波路であることを特徴とする面出射型レーザモジュール。 - 請求項5に記載の面型光モジュールにおいて、
前記外部光導波路は、石英系のシングルモード光ファイバ、プラスチック光ファイバ、フレキシブル性を有する光ファイバまたはポリマー光配線導波路であることを特徴とする面出射型レーザモジュール。 - 請求項12に記載の面型光モジュールにおいて、
前記外部光導波路は、石英系のシングルモード光ファイバ、プラスチック光ファイバ、フレキシブル性を有する光ファイバまたはポリマー光配線導波路であることを特徴とする面出射型レーザモジュール。
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