JP2007005594A - 半導体光素子及びそれを用いたモジュール - Google Patents

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Abstract

【課題】数mWのチップ光出力と低電流動作を同時に実現する波長1300nm帯のシングル横モードの直接変調レーザを実現すること。さらに、面発光型のレーザ出力特性を実現することにより、経済性にも優れたレーザ光源を実現すること。
【解決手段】所定の半導体基板上に形成された多層構造を備えた半導体レーザとし、前記多層構造の一つをレーザ光を放射するための活性領域と、分布ブラッグ反射層を含むものとする。前記活性領域の長さは10乃至100μmとし、前記活性領域への電流注入のオン・オフにより、レーザ光信号を発生させる活性領域の分布ブラッグ反射型レーザを構成する。
【選択図】図3

Description

本発明は、半導体光素子及びそれを用いたモジュールに係わり、特に、光通信等に好適な消費電力の少ない半導体発光・受光素子及びそれを用いたモジュールに関する。
情報技術の急激な発展に伴い、従来の通信ネットワーク(テレコム)だけでなく、ストレージ用ネットワーク(SAN)や進展が著しいイーサネット(登録商標)(LAN)等のデータコムにおいてもシステムの大容量化、ポート実装密度の増大と経済性とを両立させる技術が益々重要になっている。これらの高速インターフェース装置のスループットはチャンネルポート当りの速度以外に、モジュールサイズと消費電力で決まる実装密度により制限される。このことから主要部品となる光コンポーネントの小型化・省電力化が装置の総合性能を決める鍵となってきている。
このため、光信号の送受信をつかさどる半導体レーザ、半導体光検出器およびそのモジュールでは、如何に消費電力を低減するかが重要な指標となってきている。
図1は、毎秒10ギガビットで動作する送受信光源モジュールに使われる送信光源を消費電力とファイバ伝送距離に対して、分類したものである。図から判るように、ファイバ伝送距離とモジュールの消費電力はトレードオフの関係にある。これは、図中に示したように、距離毎に使用される半導体光・電子デバイスが異なるためである。一般的に、短距離用途では、信号光波長が1.3μmや0.85μm程度以下の直接変調方式が用いられる。さらに分類すると、数100m以下の極短距離伝送では、波長0.85μm帯のマルチモード面発光レーザ(非特許文献1)が直接変調の光源として用いられている。一方、10km程度以下の短距離用途では波長1.3μm帯の単一モードの端面発光レーザが直接変調の光源(非特許文献2)として用いられている。
直接変調方式では比較的単純な構成でモジュールを実現できるため消費電力が少ない。特に、面発光レーザはサブμm長のマイクロ共振器構造を反映し、数〜10mA程度のわずかな電流で動作するため、消費電力が非常に少なく、本質的に省電力性に優れたレーザ共振器構造である。また、全てのレーザ共振器構造が、ウェハプロセスのみで作製可能である点、ウェハ状態での検査・選別工程が可能である点など、経済性の面でも優れた特徴を有する。
一方、波長1.3μm帯の端面発光レーザでは、毎秒10ギガビット動作のためには、最低でも60mA程度以上の電流動作が現状では必要であり、このため消費電力が倍程度に跳ね上がってしまう。このため、この面発光レーザを10km程度以下の短距離用途に適用するべく、1.3μm波長帯面発光レーザの検討が精力的に検討されている。しかし、実用化の鍵となる数mW級のチップ光出力をシングル横モード構造で実現することが技術的に困難な状況である。これは、発光層の体積が小さすぎるためである。非特許文献3に見られるように、1.3μm波長帯の面発光レーザの場合、単一モード条件となる5μm程度以下の発光面積径では、高温で急激に光出力が数100μW程度に低下してしまう。発光面積径が10μm程度以上であれば、1mW程度の出力が得られるが、マルチモード動作となってしまう。
他方、40km程度以上の中・長距離用途では光ファイバの伝送損失がより少ない波長1.55μm帯で動作する光変調器を用いた外部変調方式が採用されるため、消費電力はさらに上昇してしまう。加えて、波長多重伝送(WDM)方式では、波長可変光源の波長安定化など新たな電力消費が加算されるため、極短距離伝送に比べ数倍以上の電力上昇を余儀なくされているのが現状である。
尚、本発明のレーザ共振器構造に関係する公知例に非特許文献4、5がある。いずれも、波長帯1.55μmの波長可変レーザ光源の波長可変特性の改善に関するものである。本発明の高速直接変調光源とは動作原理が異なるが、類似の素子構造であるため参考文献として併記する。また、本発明の面発光型レーザ構造に関係する公知例に非特許文献6、7がある。
2003アイ・トリプル・イー16回レオス・コンファレンス・ダイジェスト(Lasers and Electro-Optics Society, 2003. LEOS 2003. The 16th Annual Meeting of the IEEE Volume 2, 27-28 Oct. 2003 Page(s):511 - 512 vol.2). 2003光ファイバ国際会議・コンファレンス・ダイジェスト(Optical Fiber Communications Conference, 2003. OFC 2003, 3-28 March 2003 Page(s):PD40 - P1-3 vol.3). 2004アイ・トリプル・イー19回インターナショナル・セミコンダクター・レーザー・コンファレンス・ダイジェスト(IEEE 19th International Semiconductor Laser Conference Digest)、p.141. 2004アイ・トリプル・イー19回インターナショナル・セミコンダクター・レーザー・コンファレンス・ダイジェスト(IEEE 19th International Semiconductor Laser Conference Digest)、p.115. 2004アイ・トリプル・イー19回インターナショナル・セミコンダクター・レーザー・コンファレンス・ダイジェスト(IEEE 19th International Semiconductor Laser Conference Digest)、p.143. 2002アイ・トリプル・イー18回インターナショナル・セミコンダクター・レーザー・コンファレンス・ダイジェスト(IEEE 18th International Semiconductor Laser Conference Digest)、p.113. 2005光ファイバ国際会議・コンファレンス・ダイジェスト(Optical Fiber Communications Conference, 2005, OFC 2005, 6-11 March 2005 OTuM5.
本発明では、数mWのチップ光出力と省電力動作の鍵となる低電流動作を同時に実現するシングル横モードの直接変調レーザを実現することにある。特に、光ファイバ伝送距離10km程度以下の短距離用途として好適な1.3μm波長帯の直接変調レーザを実現することが重要である。さらに、面発光型のレーザ出力特性を実現することにより、経済性にも優れたレーザ光源を実現することが本発明の課題である。また、これらのレーザの好適な実装手法に基づく消費電力の少ない光通信モジュールを実現することが本発明のもう一つの課題である。
低動作電流の観点で、レーザの高速性を維持しつつ動作電流を最小化するレーザの共振器長は数十μmの領域にあることを見出した。以下この原理について詳細に説明する。
半導体レーザの高速性は、レーザ発光に関わる因子と寄生容量に関する因子により制限を受ける。毎秒40ギガビット程度までの場合、後者の寄生容量に関する因子は現状のレーザ作製の最新技術を用いれば問題にならず、前者のレーザ発光因子が本質的となる。この場合、高速性の指標となるパラメータは緩和振動周波数(f)であり、以下の式(1)に示される。
Figure 2007005594
ここで、パラメータは以下の通りである。
dg/dN:微分利得、α:内部光損失、α:ミラー損失、L:レーザ共振器長、I:変調電流。
高速で変調するためには、高いfr値が本質である。従って、できるだけ少ない電流で高速変調するための指標として、ηfrを式(2)のように定義する。
Figure 2007005594
この指標ηfrは共振器長Lの平方根に逆比例するため、Lの小さな短共振器構造で大きなηfrが得られやすい。このため、毎秒10ギガビット程度の端面発光レーザでは、共振器長Lをへき開で作製可能な最短の値である200〜250μm程度に設定してきた。しかし、これ以上の短共振器化は、現状のレーザ作製技術では困難な状況にある。
一方、面発光レーザは共振器長Lがμmオーダのマイクロ共振器構造を有しているため、一見より大きなfが期待されるが、実際は前述の端面発光レーザと同等かそれ以下である。これは主に、微分利得dg/dN、内部光損失α、ミラー損失αの共振器長L依存性が無視できなくなるためである。特に、短共振器化に伴う活性層体積の低下により、しきい値キャリア密度が上昇し、発光層が利得飽和を起こしてしまう。このため、最大のηfrを与える最適な共振器長Lが存在することがわかる。
図2は消費電力抑制の観点から、駆動電流の上限を設定した場合の最大緩和振動周波数fの共振器長L依存性の計算結果の例である。例えば20mA〜80mA程度の駆動電流の上限値に対し、10μm〜100μm程度の間にそれぞれの共振器長L最適値が存在することがわかる。
この最適共振器長L値は、従来のへき開法では実現できない値であり、且つ面発光レーザでも実現不可能な領域である。
本発明では、上記の最適な共振器構造を実現する新しいレーザ構造として短共振器分布ブラッグ反射(DBR型)レーザを提案する。また、面発光レーザの経済性を同時に実現するため、レーザ活性層の前後に半導体のウェハ工程中に作製されるモノリシック反射鏡を備えるとともに、レーザの出射端部に光出力の出射方向を基板上面または基板下面に変える斜めミラー構造を導入することにより、分布ブラッグ反射(DBR型)レーザに限らず、分布帰還(DFB型)レーザにおいても、従来、実現が不可能であった単一モード特性、数mWの光出力、面発光特性を同時に実現することができる。
本発明によれば、数mWのチップ光出力と省電力動作の鍵となる低電流動作を同時に実現するシングル横モードの直接変調レーザが実現される。特に、光ファイバ伝送距離10km程度以下の短距離用途として好適な1.3μm波長帯の上記光源を実現可能となる。さらに、面発光型のレーザ出力を実現し、経済性にも優れたレーザ光源が作製可能となる。また、これらのレーザを適切に実装することにより、放熱性に優れ消費電力がより少ない光通信モジュールを実現できる。
以下、本発明の実施の形態を図3〜図11を用いて説明する。
(実施例1)
図3は本発明の実施例1に係る波長1300nm帯のInGaAlAs系短共振器レーザ素子の断面図とこのレーザを直接変調するドライブ回路を示す例である。また、図4は図3に示すレーザ素子の一部を除去して断面で示す鳥瞰図である。
レーザ素子の作製は以下の順で行った。始めに、n型InP基板301上に有機金属気相成長を用いてInGaAlAsからなる圧縮歪MQW(多重量子井戸)活性層302を成長した。次に、絶縁膜ストライプマスクを用いてInGaAlAs−MQW層302を部分的にエッチングした後、300nm厚のバルクInGaAsP(組成波長1.10μm)からなる分布ブラッグ反射(DBR)層303を公知の手法によりバットジョイント集積した。続いて、通常の干渉露光法とウェットエッチング法により周期約202nmの均一回折格子304をInGaAsP−DBR層303に刻印形成した。続いてp型InPクラッド層305およびp−InGaAs型コンタクト層306を基板全面に成長した。結晶成長工程の後、通常のリッジ導波路構造に加工した。電極はレーザ部にのみ形成し、低容量化のため、60μmの小電極パッド308構造を採用した。n型InP基板301の他面に背面電極318を設けた。
重要なパラメータとなる活性領域長は10〜100μmとした。DBR領域長を合わせた素子長は、150〜700μmとした。DBR領域側を前方とし、素子の前端面には約1%の低反射膜309、後端面には約90%の高反射膜310を、それぞれ、施した。なお、図4では、反射膜309の表示は省略した。完成した素子をジャンクションアップで、サブマウント上にダイボンディングした。327は直接変調部であり、素子を直接変調するためのバイアス電圧326およびこれに直列に接続された高周波電気信号源325よりなる。高周波電気信号源325の他端は抵抗328を持つ高周波配線を介してマッチング抵抗329を通して電極パッド308の端子330に接続される。マッチング抵抗329は素子の内部抵抗Rinとの和が、配線の抵抗328とマッチングする値に選ばれる。バイアス電圧326の他端は背面電極318に接続されるとともに接地される。素子の作製した素子は室温において波長1305nm近傍においてDBR縦モードで発振した。
図5は活性領域長75μmの素子のCW条件での電流・光出力(I−L)特性の温度依存性(25、70、85℃)の一例を示す図である。85℃において10mA以下の低しきい値発振を得た。25−85℃間での特性温度T0は76Kであった。また、実施例1による素子は85℃の高温においても30mA程度の電流で2mW程度以上の高いチップ出力が得られた。
図6は25℃、85℃での発振スペクトルを示す図である。短共振器DBR構造における高い主副モードのしきい値利得差を反映して、45dB以上の副モード抑圧比が再現良く得られた。無作為に抽出した30個以上の活性領域長10μm〜100μmの素子において、95%程度の歩留まりで37dB以上の副モード抑圧比を達成した。
図7(A)−(C)に毎秒10ギガビット変調波形を示す図である。(A)は25℃、駆動電流13.0mA、動的消光比は6.2dB、(B)は85℃、駆動電流13.6mA、動的消光比は6.4dB、(C)は100℃、駆動電流14.0mA、動的消光比は6.8dBの結果が得られている。前述した短共振器構造による駆動電流の低減効果を反映して、14mA程度以下の極めて低い振幅電流値で明瞭なアイ開口が観測された。光波形の立上がり、立下り時間は35ps程度、動的消光比は6.2〜6.8dBであり、短距離伝送系の消光比仕様を満足している。
(実施例2)
図8は本発明の実施例2に係る波長1300nm帯の面発光型InGaAlAs系短共振器レーザの素子構造とこのレーザを直接変調するドライブ回路を示す例である。レーザの基本構造は、レーザ後方の高反射膜310を後方DBR層311で置き換えたこと、さらに、素子の出力モニタのために後方DBR層311の後方にInGaAlAsからなる圧縮歪MQW(多重量子井戸)活性層302を残し、これに対応する位置に出力モニタ電極315が形成されている以外は実施例1で述べたものと基本的に同一である。DBR領域長を合わせた素子長は、実施例1と同様、150〜700μmとした。実施例2では、レーザ発振光を基板301下方に出射するため、前方DBR層303の先端に45°ミラー312を公知の手法により形成した。この結果、前方DBR層303を通過したレーザ発振光は、透明なInP基板301を通過し基板裏面から出射される。実施例2の構造では、後方DBR層311の反射率を十分大きくしていること、及び45°ミラーでレーザ発振光が基板側に全反射されることにより、レーザ共振器を構成する全ての部位が半導体ウェハプロセス中に形成される。
したがって、レーザ端面での反射膜や反射構造を必要としない。このことが、非特許文献6、7に代表される従来型の45°ミラーを用いた面発光レーザと本質的に異なる点であり、実用化に向けた大きな改善点である。尚、基板裏面の出射部には、公知のフレネルレンズ313およびその上には無反射コート314が形成されている。
完成した素子を図9に示すように、レーザの活性層302がサブマウント320の上面に近くなるように配置して、いわゆるジャンクションダウンで、サブマウント320上にダイボンディングした。直接変調部327と素子の関係は実施例1と基本的に同じであるが、出力モニタ電極315の端子351と背面電極318との間に接続された抵抗352に得られる電圧を高周波電気信号源325にフィードバックして素子の発光動作の安定化を図る。
作製した素子の室温、高温でのしきい値電流、発光効率等の基本特性は実施例1の素子とほぼ同等であった。一方、ジャンクションダウン実装のため、レーザの通電時の放熱性が向上したため、飽和光出力が50%程度改善された。これにより、最大緩和振動周波数が約20%向上した。また、裏面からの出射角はフレネルレンズ312により約15°に低減された。これにより、従来の面発光レーザと同様に、光学レンズを用いないで、−3dB程度のファイバ光結合が実現できた。また、本構造では従来の面発光レーザと同様にレーザのウェハ工程中に全て形成されるため、端面発光レーザと異なり、端面へき開構造や端面コーティング構造が不要となる。このため、ウェハ段階での検査試験が可能となるなど、経済性に優れた構造といえる。
実施例2により、短共振器端面発光レーザの高出力性と面発光レーザの経済性を兼ね備えた省電力・低コスト光モジュールに好適なレーザ光源が実現された。
(実施例3)
図10は本発明の実施例3に係る波長1300nm帯のGaInNAs系短共振器DBR構造を有する面型発光レーザの断面図である。
素子の作製は以下の順で行った。始めに、n型GaAs基板501上に分子線エピタキシーによりn型InGaPバッファ層502、発光波長1300nmのGaInNAs−MQW活性層503を成長した。次に、絶縁膜ストライプマスクを用いてGaInNAs−MQW層503を部分的にエッチングした後、300nm厚のバルクGaAsからなる分布ブラッグ反射(DBR)層504およびGaAsからなる後方分布ブラッグ反射(DBR)層510を公知の手法によりバットジョイント集積した。続いて、通常の干渉露光法とウェットエッチング法により周期約199nmの均一回折格子505をGaAs−DBR層504およびGaAs−後方分布ブラッグ反射(DBR)層510に刻印形成した。続いて、p型InGaPクラッド層506およびp型GaAsコンタクト層507を基板全面に成長した。結晶成長工程の後、通常のリッジ導波路構造に加工した。ここでは、分布ブラッグ反射(DBR)層504はGaAsとしたが、これに代えて、InGaAsPまたはInGaPとしても良い。電極はレーザ部にのみ形成し、低容量化のため、60μmの小電極パッド509構造を採用した。重要なパラメータとなる活性領域長は10〜100μmとした。DBR領域長を合わせた素子長は、実施例1と同様、150〜700μmとした。DBR領域の先端に実施の形態2と同様45°ミラー511を公知の手法により形成した。完成した素子をジャンクションダウンで、サブマウント上にダイボンディングした後、ステム上の50Ω終端抵抗とともにワイヤリングにより高周波接続した。なお、512はフレネルレンズ、513は無反射コート、514は出力モニタである。なお、n型GaAs基板501の他面に背面電極518を設けた。直接変調部327と素子の関係は実施例1と基本的に同じであるが、出力モニタ電極315の端子351と背面電極518との間に接続された抵抗352に得られる電圧を高周波電気信号源325にフィードバックして素子の発光動作の安定化を図る。
作製した素子は、実施例1と同等以上の特性で動作し、10mA程度以下の低い振幅電流下で毎秒10ギガビット変調を実現した。
(実施例4)
図11は本発明の実施例4に係る波長1300nm帯のGaInNAs系短共振器分布帰還(DFB)構造を有する面型発光レーザの断面図である。図において、601はn型GaAs基板、602はn型InGaPバッファ層、603はGaInNAs−MQW活性層、604は回折格子、604aはλ/4位相シフト構造、605はp型InGaPクラッド層、606はp型GaAsコンタクト層、608は小電極パッド、609はGaAs導波路層、610は45°ミラー、611はフレネルレンズ、612は無反射コート、613は出力モニタである。なお、n型GaAs基板601の他面に背面電極618を設けた。直接変調部327と素子の関係は実施例1と基本的に同じであるが、出力モニタ電極315の端子351と背面電極618との間に接続された抵抗352に得られる電圧を高周波電気信号源325にフィードバックして素子の発光動作の安定化を図る。
素子の基本作製手法は回折格子604を発光波長1300nmのGaInNAs−MQW活性層603上に形成すること以外は、実施例3と同等である。DFB領域長を合わせた素子長は、実施例1と同様、150〜700μmとした。
作製した素子は、実施例1と同等以上の特性で動作し、10mA程度以下の低い振幅電流下で毎秒10ギガビット変調を実現した。
以上、4つの実施例にて本発明の主に、光通信用途の半導体レーザへの適用事例を説明した。本発明の適用範囲は光通信用途の半導体レーザに限られるものではなく、適度な光出力を低い消費電力で実現する任意の導波路型面発光半導体レーザに適用可能であることを付記する。
本発明は、請求項に記載された構成のほか、前述した各実施例に応じて、以下の構成で実現できる。
1.所定の半導体基板と、該半導体基板上に形成された多層構造とを備えるとともに、前記多層構造は、少なくともレーザ光を放射するための活性層領域と、分布ブラッグ反射層とを含み、前記活性層領域の長さが10乃至100μmであり、前記活性層領域への電流注入のオン・オフにより、レーザ光信号を発生させる分布ブラッグ反射型レーザであり、前記活性領域の前後に分布ブラッグ反射層が配置され、且つレーザの出射端部に光出力の出射方向を前記活性層領域から前記基板の方向に変えるための斜めミラーを有することを特徴とした分布ブラッグ反射型レーザにおいて、
前記半導体基板がGaAs基板であり、前記活性層材料がGa、In、N、Asを含む。
2.前記分布ブラッグ反射層の回折格子を形成する材料がInGaAsPまたはGaAsまたはInGaPのいずれか一つを含む前記1項の分布ブラッグ反射型レーザ。
送受信光源モジュールの消費電力とファイバ伝送距離の関係を表す図である。 最大緩和振動周波数のレーザ共振器長依存性の計算例を表す図である。 本発明の実施例1である波長1300nm帯のInGaAlAs系短共振器レーザの断面図である。 図3に示すレーザ素子の一部を除去して断面で示す鳥瞰図である。 本発明の実施例1の電流・光出力特性の温度依存性の一例を表す図である。 本発明の実施例1の25℃、85℃での発振スペクトルを表す図である。 本発明の実施例1の毎秒10ギガビット変調波形を示す図である。 本発明の実施例2である波長1300nm帯のInGaAlAs系短共振器DBR面発光レーザの断面図である。 本発明の第二の実施例である波長1300nm帯のInGaAlAs系短共振器DBR面発光レーザをジャンクションダウン実装した構造の断面図である。 本発明の実施例3である波長1300nm帯のGaInNAs系短共振器DBR面発光レーザの断面図である。 本発明の実施例4である波長1300nm帯のGaInNAs系短共振器DFB面発光レーザの断面図である。
符号の説明
301…n型InP基板、302…InGaAlAs圧縮歪MQW活性層、303…InGaAsP−前方DBR層、304…均一回折格子、305…p型InPクラッド層、306…p−InGaAs型コンタクト層、308…小電極パッド、309…低反射膜、310…高反射膜、311…InGaAsP−後方DBR層、312…45°ミラー、313…フレネルレンズ、314…無反射コート、315…出力モニタ、318…背面電極、325…高周波電気信号源、326…バイアス電圧、327…直接変調部、328…抵抗、329…マッチング抵抗、501…n型GaAs基板、502…n型InGaPバッファ層、503…GaInNAs−MQW活性層、504…GaAs−前方DBR層、505…均一回折格子、506…p型InGaPクラッド層、507…p型GaAsコンタクト層、509…小電極パッド、510…GaAs−後方DBR層、511…45°ミラー、512…フレネルレンズ、513…無反射コート、514…出力モニタ、518…背面電極、601…n型GaAs基板、602…n型InGaPバッファ層、603…GaInNAs−MQW活性層、604…回折格子、604a…λ/4位相シフト構造、605…p型InGaPクラッド層、606…p型GaAsコンタクト層、608…小電極パッド、609…GaAs導波路層、610…45°ミラー、611…フレネルレンズ、612…無反射コート、613…出力モニタ、618…背面電極。

Claims (20)

  1. 所定の半導体基板と、該半導体基板上に形成された多層構造とを備えた半導体レーザであって、
    前記多層構造は、少なくともレーザ光を放射するための活性層領域と、分布ブラッグ反射層とを含み、
    前記活性層領域の長さが10乃至100μmであり、前記活性層領域への電流注入のオン・オフにより、レーザ光信号を発生させることを特徴とする分布ブラッグ反射型レーザ。
  2. 前記レーザの動作波長が、1.2乃至1.4μmである請求項1に記載の分布ブラッグ反射型レーザ。
  3. 前記半導体基板がInP基板であり、前記活性層領域の材料がIn、Ga、Al、Asを含む請求項1に記載の分布ブラッグ反射型レーザ。
  4. 前記分布ブラッグ反射層の回折格子を形成する材料がInGaAsPで構成される請求項3に記載の分布ブラッグ反射型レーザ。
  5. 前記半導体基板がGaAs基板であり、前記活性層領域の材料がGa、In、N、Asを含む請求項1に記載の分布ブラッグ反射型レーザ。
  6. 前記分布ブラッグ反射層の回折格子を形成する材料がInGaAsPまたはGaAsまたはInGaPのいずれか一つを含む請求項5に記載の分布ブラッグ反射型レーザ。
  7. 前記レーザの共振器方向の光素子長が150〜700μmである請求項1に記載の分布ブラッグ反射型レーザ。
  8. n型GaAs基板と、該n型GaAs基板上に形成された多層構造とを備えた半導体レーザであって、
    前記多層構造は、少なくともレーザ光を放射するためのGaInNAs系短共振器分布帰還(DFB)構造と、GaAs導波路層とを含み、
    前記GaInNAs系短共振器分布帰還(DFB)構造領域への電流注入のオン・オフにより、レーザ光信号を発生させるとともに、
    レーザの出射端部に光出力の出射方向を、前記GaInNAs系短共振器分布帰還(DFB)構造領域から前記基板の方向に変えるための斜めミラーを有することを特徴とする分布帰還型レーザ。
  9. 前記レーザの共振器方向の素子長が150〜700μmである請求項8に記載の分布帰還型レーザ。
  10. 所定の半導体基板と、該半導体基板上に形成された多層構造とを備えるとともに、前記多層構造は、少なくともレーザ光を放射するための活性層領域と、分布ブラッグ反射層とを含み、前記活性層領域の長さが10乃至100μmであり、前記活性層領域への電流注入のオン・オフにより、レーザ光信号を発生させる分布ブラッグ反射型レーザであって、
    前記活性層領域の前後に分布ブラッグ反射層が配置され、且つレーザの出射端部に光出力の出射方向を前記活性層領域から前記基板の方向に変えるための斜めミラーを有することを特徴とした分布ブラッグ反射型レーザ。
  11. 前記レーザの共振器方向の素子長が150〜700μmである請求項10に記載の分布帰還型レーザ。
  12. 前記レーザの活性領域層側がサブマウント上面に近くなるように、前記レーザをサブマウントにダイボンディングした請求項8に記載の分布帰還型レーザを有する光モジュール。
  13. 前記レーザの活性領域層側がサブマウント上面に近くなるように、前記レーザをサブマウントにダイボンディングした請求項10に記載の分布ブラッグ反射型レーザを有する光モジュール。
  14. 前記レーザの動作波長が、1.2乃至1.4μmである請求項10に記載の分布ブラッグ反射型レーザ。
  15. 前記半導体基板がInP基板であり、前記活性層領域の材料がIn、Ga、Al、Asを含む請求項10に記載の分布ブラッグ反射型レーザ。
  16. 前記分布ブラッグ反射層の回折格子を形成する材料がInGaAsPで構成される請求項15に記載の分布ブラッグ反射型レーザ。
  17. 前記半導体基板がGaAs基板であり、前記活性層領域の材料がGa、In、N、Asを含む請求項10に記載の分布ブラッグ反射型レーザ。
  18. 前記分布ブラッグ反射層の回折格子を形成する材料がInGaAsPまたはGaAsまたはInGaPのいずれか一つを含む請求項17に記載の分布ブラッグ反射型レーザ。
  19. 前記半導体基板がInP基板であり、前記活性層材料がIn、Ga、Al、Asを含む請求項13に記載の光モジュール。
  20. 前記分布ブラッグ反射層の回折格子を形成する材料がInGaAsPで構成される請求項19に記載の光モジュール。
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