JP2008277445A - 半導体レーザおよび光モジュール - Google Patents
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Abstract
【手段】第一の手段は、45°に傾斜した平面反射鏡と楕円形の裏面レンズが集積形成された構造の水平共振器面発光レーザとすることである。第二の手段は、45°に傾斜した円柱表面形状の反射鏡と円柱表面形状の裏面レンズが集積形成された構造の水平共振器面発光レーザとすることである。これらの手段によりレーザビームの水平成分と垂直成分を独立に整形することが可能となるので、円形狭出射ビームを得ることができる。
【選択図】図3
Description
第一の水平共振器端面発光レーザは、基板面内に水平な方向に光導波路が形成されており、基板をへき開により分割した端面からレーザ光を出射するものである。このレーザ構造では共振器長を数百μm程度と長くすることができるので高い光出力を得ることに適しており、最も一般的に普及しているレーザ構造である。しかしながら、本構造を用いた場合には、レーザの反射鏡を形成するために、作製プロセスの途中で半導体基板を分割する必要がある。このため、ウェハを割らずに作製プロセスと特性検査まで通して行うということができず、製造コストが高くなるというデメリットがある。
水平共振器面発光レーザの構造例を図1を用いて説明する。図1(a)は素子断面の斜視図であり、図1(b)は素子の光軸方向断面図、図1(c)は素子の下面図、図1(d)は光軸に垂直な方向の断面図である。なお、レーザの構造を三次元的に明示にするために、半導体基板の置かれている面をxy平面、半導体基板表面の法線方向をz軸方向、レーザ共振器の光軸方向をx軸方向として、以下本素子の構造を説明する。
(ここで、aおよびbは、それぞれx軸方向の半径、y軸方向の半径を表し、a<bなる関係を満たす。)
の関係を満たす楕円形状であり、且つx軸方向の半径を表すaとy軸方向の半径を表すbとの間に3μm<a<b<200μmの関係が成り立つことを特徴とする半導体レーザにより達成される。
回折格子層17の極性はp型とした。このような構造は、光の伝播方向に屈折率のみが周期的に変化するので屈折率結合型DFBレーザと呼ばれる。なお、本実施例では、回折格子がDFBレーザの全領域で均一に形成されたものを説明したが、必要に応じて、領域の一部に回折格子の位相をずらして構成した、いわゆる位相シフト構造を設けても良い。
ここで、光素子搭載基板122、および第一の光機能集積基板124、および第二の光機能集積基板126の材料にはSiを用いた。
本実施例では、レーザ素子から円形狭出射ビームが面方向に出射する本発明の効果を反映して、レーザ素子実装時の光軸調整のトレランスが大きく、実装工程が極めて容易となり、光モジュールを低いコストで製造することができた。
Claims (10)
- 半導体基板と、
前記半導体基板の主面上に設けられた光を発生する活性層と、
前記半導体基板の主面上に設けられ、前記活性層から発生する光を伝播するための光導波路層と、
前記光導波路層の少なくとも一部に設けられた光を反射もしくは帰還するための共振器構造部と、
前記共振器構造部から放射されるレーザ光を前記基板半導体の裏面方向に出射するための前記光導波路層の一端に設けられた反射鏡と、
前記反射鏡で反射された前記レーザ光を出射する前記半導体基板の裏面側に曲面状の半導体表面からなるレンズとを備え、
前記半導体基板が右手系直交座標のxy平面にあるとし、前記光導波路層の光軸方向がx軸方向に平行な方向にあるとした場合に、
前記反射鏡の主面に対する法線方向とz軸方向が45°の角度をなし、前記レーザ光がz軸の負の方向である前記半導体基板の裏面方向に出射する半導体レーザにおいて、
前記レンズの前記半導体基板の裏面側から見た外周形状が、
下記の(式1)で示す関係を満たす楕円形状を有することを特徴とする半導体レーザ。
(ここで、aおよびbは、それぞれx軸方向の半径、y軸方向の半径を表し、a<bなる関係を満たす。) - 前記x軸方向の半径を表すaと、前記y軸方向の半径を表すbとの間に、
3μm<a<b<200μmの関係が成り立つことを特徴とする請求項1記載の半導体レーザ。 - 前記反射鏡は、平面形状を有し、
前記レンズのy軸方向の断面形状が、楕円の曲率を有することを特徴とする請求項1記載の半導体レーザ。 - 前記レンズは、前記半導体基板の裏面外側に突出した形状を有することを特徴とする請求項3記載の半導体レーザ。
- 半導体基板と、
前記半導体基板の主面上に設けられた光を発生する活性層と、
前記半導体基板の主面上に設けられ、前記活性層から発生する光を伝播するための光導波路層と、
前記光導波路層の少なくとも一部に設けられた光を反射もしくは帰還するための共振器構造部と、
前記共振器構造部から放射されるレーザ光を前記基板半導体の裏面方向に出射するための前記光導波路層の一端に設けられた反射鏡と、
前記反射鏡で反射された前記レーザ光を出射する前記半導体基板の裏面側に曲面状の半導体表面からなるレンズとを備え、
前記半導体基板が右手系直交座標のxy平面にあるとし、前記光導波路層の光軸方向がx軸方向に平行な方向にあるとした場合に、
前記反射鏡の主面に対する法線方向とz軸方向が45°の角度をなし、前記レーザ光がz軸の負の方向である前記半導体基板の裏面方向に出射する半導体レーザにおいて、
前記反射鏡は、円柱の曲率を有する鏡面を有し、該円柱の中心軸が、z軸方向とx軸方向の両方に対して45°の角度をなす方向に配置され、さらに前記レンズは、円柱の曲率を有する表面形状であり、該円柱の中心軸がy軸方向に平行となるように配置されていることを特徴とする半導体レーザ。 - 前記反射鏡は、前記光導波路層外側に突出した曲面であることを特徴とする請求項5記載の半導体レーザ。
- 前記レンズは、前記半導体基板の裏面外側に突出した形状を有することを特徴とする請求項5記載の半導体レーザ。
- 光素子搭載基板と、
前記光素子搭載基板の主面上に配置された半導体レーザおよび受光素子と、
前記光素子搭載基板の主面に対して所定の角度を有する第1の傾斜面と、前記第1の傾斜面と所定の間隔を有して対向して設けられた第2の傾斜面とが内蔵された光機能集積基板と、を備え、
前記第1の傾斜面と前記第2の傾斜面のそれぞれの面上に、伝播光の波長透過率が互いに異なる第1および第2の波長選択フィルタが載置され、
前記第1の波長選択フィルタは、前記半導体レーザから出射され前記光機能集積基板の上方に設けられた光ファイバへ伝播する光を透過し、前記光ファイバから入射した光を反射させ前記第2の波長選択フィルタへ伝播し、
前記第2の波長選択フィルタは、前記第1の波長選択フィルタより伝播された光を反射し、前記第2の波長選択フィルタで反射した光は、前記受光素子にて受光されることを特徴とする光モジュール。 - 前記光素子搭載基板の主面に対する前記前記第1の傾斜面と、前記第2の傾斜面の角度は等しいことを特徴とする請求項8記載の光モジュール。
- 前記伝播する光は、前記光機能集積基板の材料と前記第1および第2の傾斜面間に存在する材料との屈折率差により曲げられることを特徴とする請求項8記載の光モジュール。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007117393A JP2008277445A (ja) | 2007-04-26 | 2007-04-26 | 半導体レーザおよび光モジュール |
EP07013910A EP1986294A3 (en) | 2007-04-26 | 2007-07-16 | Semiconductor laser and optical module |
US11/831,986 US7502403B2 (en) | 2007-04-26 | 2007-08-01 | Semiconductor laser and optical module |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007117393A JP2008277445A (ja) | 2007-04-26 | 2007-04-26 | 半導体レーザおよび光モジュール |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008277445A true JP2008277445A (ja) | 2008-11-13 |
Family
ID=39592048
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007117393A Pending JP2008277445A (ja) | 2007-04-26 | 2007-04-26 | 半導体レーザおよび光モジュール |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7502403B2 (ja) |
EP (1) | EP1986294A3 (ja) |
JP (1) | JP2008277445A (ja) |
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A521 | Request for written amendment filed |
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