JP6347113B2 - アクチュエーター、光スキャナー、画像表示装置およびヘッドマウントディスプレイ - Google Patents

Description

本発明は、アクチュエーター、光スキャナー、画像表示装置およびヘッドマウントディスプレイに関するものである。

例えば、光を走査する光スキャナーとして、ミラー（光反射部）を有する可動板と、可動板を囲むように設けられている支持部と、可動板と支持部とを接続し、可動板を所定の軸まわりに揺動可能に支持する軸部と、を有する構成が知られている。このような構成の光スキャナーでは、例えば、落下等によって大きな衝撃が加わった場合に軸部が折れる等の破損が生じ易く、機械的強度を十分に確保することができないとう問題があった。そこで、特許文献１では、可動板の上下に制限部材を設け、衝撃が加わって変位した可動板を制限部材に物理的に接触させることで、可動板の過度な変位を防止し、光スキャナーの機械的強度の向上を図っている。

しかしながら、特許文献１の光スキャナーでは、制限部材を支持部に接合しており、さらに、制限部材を変形し難い（比較的硬質な）部材で構成されているため、制限部材と支持部との間に接合応力が生じ、当該応力によって光スキャナーの振動特性が変化してしまうという問題がある。

特開２００２−４０３５４号公報

本発明の目的は、振動特性の変化を抑制しつつ、耐衝撃性を高めることのできるアクチュエーター、光スキャナー、画像表示装置およびヘッドマウントディスプレイを提供することにある。

このような目的は、下記の発明により達成される。
本発明のアクチュエーターは、可動部と、
支持部と、
前記可動部と前記支持部とを接続し、前記可動部を第１の軸まわりに揺動可能に支持する第１の軸部と、
前記支持部に設けられ、前記可動部の平面視にて前記第１の軸部と交差している線状体と、を有することを特徴とする。

このような構成によれば、線状体と第１の軸部とが接触することによって、第１の軸部の過度な変形が防止され、その結果、耐衝撃性が向上する。また、線状体を用いることで、支持部との接合応力を小さくすることができるので、線状体を設けることによる振動特性の変化を小さく抑える（好ましくは防止する）ことができる。

本発明のアクチュエーターでは、前記線状体は、前記支持部の一方の主面側と、前記一方の主面に対して表裏関係にある他方の主面側と、に設けられていることが好ましい。

これにより、一方の主面側への過度な変位と、他方の主面側への過度な変位を防止することができるので、耐衝撃性がより向上する。

本発明のアクチュエーターでは、前記線状体は、前記第１の軸部の前記支持部との接続部側に位置していることが好ましい。

これにより、通常の駆動時において、線状体が第１の軸部や可動部と接触してしまうことを抑制することができる。

本発明のアクチュエーターでは、前記線状体は、前記第１の軸に沿った方向に複数並んで配置されていることが好ましい。
これにより、耐衝撃性がより向上する。

本発明のアクチュエーターでは、前記第１の軸方向から見たときの高さが、前記支持部側にある前記線状体よりも前記可動部側にある前記線状体の方が高いことが好ましい。

衝撃が加わったときの第１の軸部の変位量は、可動部側ほど大きくなるため、線状体の高さも可動部側ほど高くすることで、複数の線状体でバランスよく、第１の軸部を受け止めることができる。

本発明のアクチュエーターでは、前記線状体は、金属ワイヤーであることが好ましい。
これにより、線状体の強度を確保しつつ、線状体の径をより細くすることができる。

本発明のアクチュエーターでは、前記金属ワイヤーは、ワイヤーボンディングによって形成されていることが好ましい。
これにより、金属ワイヤー（線状体）を簡単に形成することができる。

本発明のアクチュエーターでは、可動部は、第１の可動部と、前記第１の可動部を囲むように設けられている枠状の第２の可動部と、前記第１の可動部と前記第２の可動部とを接続し、前記第１の可動部を前記第２の可動部に対して前記第１の軸に交差する第２の軸まわりに揺動可能に支持する第２の軸部と、を有することが好ましい。
これにより、第１の可動部を２軸まわりに揺動させることができる。

本発明の光スキャナーは、光を反射する光反射部を備える可動部と、
支持部と、
前記可動部と前記支持部とを接続し、前記可動部を第１の軸まわりに揺動可能に支持する第１の軸部と、
前記支持部に設けられ、前記可動部の平面視にて前記第１の軸部と交差している線状体と、を有することを特徴とする。

このような構成によれば、線状体と第１の軸部とが接触することによって、第１の軸部の過度な変形が防止され、その結果、耐衝撃性が向上する。また、線状体を用いることで、支持部との接合応力を小さくすることができるので、線状体を設けることによる振動特性の変化を小さく抑える（好ましくは防止する）ことができる。

本発明の画像表示装置は、光を反射する光反射部を備える可動部と、
支持部と、
前記可動部と前記支持部とを接続し、前記可動部を第１の軸まわりに揺動可能に支持する第１の軸部と、
前記支持部に設けられ、前記可動部の平面視にて前記第１の軸部と交差している線状体と、を有することを特徴とする。

このような構成によれば、線状体と第１の軸部とが接触することによって、第１の軸部の過度な変形が防止され、その結果、耐衝撃性が向上する。また、線状体を用いることで、支持部との接合応力を小さくすることができるので、線状体を設けることによる振動特性の変化を小さく抑える（好ましくは防止する）ことができる。よって、信頼性の高い画像表示装置が得られる。

本発明のヘッドマウントディスプレイは、観察者の頭部に装着されるフレームと、
前記フレームに設けられた光スキャナーと、を備え、
前記光スキャナーは、
光を反射する光反射部を備える可動部と、
支持部と、
前記可動部と前記支持部とを接続し、前記可動部を第１の軸まわりに揺動可能に支持する軸部と、
前記支持部に設けられ、前記可動部の平面視にて前記第１の軸部と交差している線状体と、を有することを特徴とする。

このような構成によれば、線状体と第１の軸部とが接触することによって、第１の軸部の過度な変形が防止され、その結果、耐衝撃性が向上する。また、線状体を用いることで、支持部との接合応力を小さくすることができるので、線状体を設けることによる振動特性の変化を小さく抑える（好ましくは防止する）ことができる。よって、信頼性の高いヘッドマウントディスプレイが得られる。

本発明の画像表示装置の第１実施形態を示す構成図である。 図１に示す画像表示装置が備える光スキャナーの上面図である。 図２に示す光スキャナーの下面図である。 図２中のＡ−Ａ線断面図である。 図４に示すコイルに印加する電圧を示す図である。 （ａ）が図２中のＢ−Ｂ線断面図、（ｂ）が図２中のＣ−Ｃ線断面図である。 図２に示す光スキャナーが有する規制部の機能を説明する断面図である。 歪みゲージを示す上面図である。 本発明の画像表示装置の第２実施形態を示す構成図である。 図９に示す画像表示装置が有する光スキャナーの上面図である。 図１０中のＤ−Ｄ線断面図である。 本発明の第３実施形態にかかる画像表示装置が備える光スキャナーの上面図である。 （ａ）が図１２中のＥ−Ｅ線断面図、（ｂ）が図１２中のＦ−Ｆ線断面図である。 本発明の第４実施形態にかかる画像表示装置が備える光スキャナーの上面図である。 図１４中のＧ−Ｇ線断面図である。 本発明の第５実施形態にかかる画像表示装置が備える光スキャナーの断面図である。 本発明の第６実施形態にかかる画像表示装置が備える光スキャナーの断面図である。 本発明の第７実施形態にかかる画像表示装置が備える光スキャナーの断面図である。 本発明の画像表示装置を応用したヘッドアップディスプレイを示す斜視図である。 本発明のヘッドマウントディスプレイを示す斜視図である。

以下、本発明のアクチュエーター、光スキャナー、画像表示装置およびヘッドマウントディスプレイの好適な実施形態について、添付図面を参照しつつ説明する。

１．画像表示装置
まず、本発明の画像表示装置について説明する。

＜第１実施形態＞
図１は、本発明の画像表示装置の第１実施形態を示す構成図である。図２は、図１に示す画像表示装置が備える光スキャナーの上面図である。図３は、図２に示す光スキャナーの下面図である。図４は、図２中のＡ−Ａ線断面図である。図５は、図４に示すコイルに印加する電圧を示す図である。図６は、（ａ）が図２中のＢ−Ｂ線断面図、（ｂ）が図２中のＣ−Ｃ線断面図である。図７は、図２に示す光スキャナーが有する規制部の機能を説明する断面図である。図８は、歪みゲージを示す上面図である。なお、以下では、説明の便宜上、＋Ｚ軸側を「上」とも言い、−Ｚ軸側を「下」とも言う。

図１に示すように、画像表示装置１は、スクリーン、壁面などの対象物１０に描画用レーザー光ＬＬを二次元的に走査することにより画像を表示する装置である。画像表示装置１は、描画用レーザー光ＬＬを出射する描画用光源ユニット２と、描画用レーザー光ＬＬを走査する２つの光スキャナー３と、を有している。このような画像表示装置１では、２つの光スキャナー３が、描画用レーザー光ＬＬの走査方向（または、後述する第１の軸Ｊ１）が直交するように配置されている。そして、例えば、一方の光スキャナー３が描画用レーザー光ＬＬを水平方向に走査し、他方の光スキャナー３が描画用レーザー光ＬＬを垂直方向に走査することにより、対象物１０に二次元画像を表示できるようになっている。なお、以下では、描画用レーザー光ＬＬを水平方向に走査する光スキャナー３を「水平走査用光スキャナー３’」とも言い、描画用レーザー光ＬＬを垂直方向に走査する光スキャナー３を「垂直走査用光スキャナー３”」とも言う。

≪描画用光源ユニット≫
図１に示すように、描画用光源ユニット２は、赤色、緑色、青色、各色のレーザー光源（光源部）２１Ｒ、２１Ｇ、２１Ｂと、レーザー光源２１Ｒ、２１Ｇ、２１Ｂに対応して設けられたコリメーターレンズ２２Ｒ、２２Ｇ、２２Ｂおよびダイクロイックミラー２３Ｒ、２３Ｇ、２３Ｂと、を備えている。

レーザー光源２１Ｒ、２１Ｇ、２１Ｂは、それぞれ、図示しない光源と駆動回路とを有している。そして、レーザー光源２１Ｒは、赤色のレーザー光ＲＲを射出し、レーザー光源２１Ｇは、緑色のレーザー光ＧＧを出射し、レーザー光源２１Ｂは、青色のレーザー光ＢＢを出射する。レーザー光ＲＲ、ＧＧ、ＢＢは、それぞれ、図示しない制御部から送信される駆動信号に対応して出射され、コリメーターレンズ２２Ｒ、２２Ｇ、２２Ｂによって平行光または略平行光にされる。レーザー光源２１Ｒ、２１Ｇ、２１Ｂとしては、例えば、端面発光半導体レーザー、面発光半導体レーザーなどの半導体レーザーを用いることができる。半導体レーザーを用いることにより、レーザー光源２１Ｒ、２１Ｇ、２１Ｂの小型化を図ることができる。

このようなレーザー光源２１Ｒ、２１Ｇ、２１Ｂの配置に倣って、ダイクロイックミラー２３Ｒ、２３Ｇ、２３Ｂが配置されている。ダイクロイックミラー２３Ｒは、レーザー光ＲＲを反射する特性を有している。ダイクロイックミラー２３Ｇは、レーザー光ＧＧを反射するとともに、レーザー光ＲＲを透過する特性を有している。ダイクロイックミラー２３Ｂは、レーザー光ＢＢを反射するとともに、レーザー光ＲＲ、ＧＧを透過する特性を有している。これらダイクロイックミラー２３Ｒ、２３Ｇ、２３Ｂによって、各色のレーザー光ＲＲ、ＧＧ、ＢＢが合成されて描画用レーザー光ＬＬとなる。

≪光スキャナー≫
図２ないし図４に示す光スキャナー３は、光反射部Ｍを有する可動部３１と、１対の軸部（第１の軸部）３２１、３２２と、支持部３３と、を有する構造体３０と、可動部３１を揺動させるための駆動手段３４と、可動部３１の過度な変位を規制（制限）する規制部３５と、を有している。なお、このような構成の光スキャナー３から光反射部Ｍを省略した構成が本発明のアクチュエーターである。

以下では、説明の便宜上、互いに直交する３軸をＸ軸、Ｙ軸およびＺ軸とし、Ｚ軸方向が可動部３１（構造体３０）の板厚方向と一致し、Ｘ軸方向が第１の軸Ｊ１と一致するものとする。また、Ｚ軸方向から見た平面視を単に「平面視」とも言う。

可動部３１は、板状をなしており、その上面には光反射性を有する光反射部Ｍが設けられている。光反射部Ｍは、例えば、アルミニウム等の金属膜によって構成することができる。このような可動部３１には描画用レーザー光ＬＬが入射し、入射した描画用レーザー光ＬＬは、光反射部Ｍで反射され、光反射部Ｍ（可動部３１）の姿勢に応じた方向へ走査される。

軸部３２１、３２２は、可動部３１を介して互いに対向して配置されている。また、軸部３２１、３２２は、それぞれ、第１の軸Ｊ１に沿って延在し、その一端部が可動部３１に接続されており、他端部が支持部３３に接続されている。これら軸部３２１、３２２は、それぞれ、可動部３１を第１の軸まわりに揺動可能に支持し、可動部３１の第１の軸Ｊ１まわりの揺動に伴ってねじれ変形する。なお、軸部３２１、３２２の形状としては、それぞれ、前述した形状に限定されず、例えば、途中の少なくとも１箇所に屈曲または湾曲した部分や分岐した部分を有していてもよい。また、軸部３２１、３２２は、それぞれ、２本の軸部に分割されていてもよい。

支持部３３は、枠状をなしており、可動部３１の厚さ方向から見た平面視で、可動部３１を囲むように配置されている。また、支持部３３は、枠状をなす基部３３０と、平面視で、軸部３２１の両側に位置し、軸部３２１に沿って基部３３０から可動部３１に向かって張り出ている張出部３３１、３３２と、軸部３２２の両側に位置し、軸部３２２に沿って基部３３０から可動部３１に向かって張り出ている張出部３３３、３３４と、を有している。基部３３０は、可動部３１および軸部３２１、３２２よりも厚く、各張出部３３１、３３２、３３３、３３４は、可動部３１および軸部３２１、３２２とほぼ等しい厚さとなっている。ただし、支持部３３の構成としては、これに限定されず、例えば、支持部３３の基部３３０が２つに分割されており、これら２つの基部３３０が可動部３１を介してＸ軸方向に対向配置されていてもよい。

このような構造体３０は、例えば、ＳＯＩ基板［第１のＳｉ層（デバイス層）と、ＳｉＯ_２層（ボックス層）と、第２のＳｉ層（ハンドル層）とがこの順に積層した基板］をエッチングすることで一体的に形成されている。具体的には、構造体３０のうち、可動部３１と、軸部３２１、３２２と、張出部３３１、３３２、３３３、３３４とは、ＳＯＩ基板の第１のＳｉ層で構成されている。また、基部３３０は、ＳＯＩ基板の第１のＳｉ層、ＳｉＯ_２層および第２のＳｉ層からなる積層体で構成されている。このように、構造体３０をＳＯＩ基板で形成することで、光スキャナー３の振動特性を優れたものとすることができる。また、ＳＯＩ基板は、エッチングにより微細な加工が可能であるため、ＳＯＩ基板を用いて構造体３０を形成することにより、これらの寸法精度を優れたものとすることができ、また、光スキャナー３の小型化を図ることができる。

図４に示すように、駆動手段３４は、可動部３１の下面に設けられている永久磁石３４１と、永久磁石３４１に対向配置されているコイル３４２と、を有している。永久磁石３４１は、平面視にて、第１の軸Ｊ１の一方側（＋Ｙ軸側）にＳ極が位置し、他方側（−Ｙ軸側）にＮ極が位置するように配置されている。なお、永久磁石３４１としては、例えば、ネオジム磁石、フェライト磁石、サマリウムコバルト磁石、アルニコ磁石、ボンド磁石等を好適に用いることができる。

このような駆動手段３４では、コイル３４２に交番電圧を印加することにより、可動部３１を第１の軸Ｊ１まわりに揺動させることができる。具体的には、コイル３４２に交番電圧を印加すると、コイル３４２の周囲に、永久磁石３４１のＮ極をコイル３４２に引き付けるとともに、Ｓ極をコイル３４２から離間させる第１の磁界と、反対に、永久磁石３４１のＮ極をコイル３４２から離間させるとともに、Ｓ極をコイル３４２に引き付ける第２の磁界とが交互に切り換わる。このように、第１、第２の磁界が交互に切り換わることで、軸部３２１、３２２を捩れ変形させつつ、可動部３１を第１の軸Ｊ１まわりに揺動させることができる。

ここで、２つの光スキャナー３のうちの水平走査用光スキャナー３’については、可動部３１と軸部３２１、３２２とからなる振動系のねじり共振周波数と等しい周波数の交番電圧をコイル３４２に印加し、可動部３１を共振駆動させることが好ましい。これにより、可動部３１の第１の軸Ｊ１まわりの揺動角を大きくすることができる。このような交番電圧の周波数としては、特に限定されないが、例えば、１０〜４０ｋＨｚ程度であるのが好ましい。また、交番電圧の波形としては、特に限定されないが、図５（ａ）に示すような正弦波のような波形であることが好ましい。

一方、垂直走査用光スキャナー３”については、可動部３１と軸部３２１、３２２とからなる振動系のねじり共振周波数と異なる周波数の交番電圧をコイル３４２に印加し、可動部３１を非共振駆動させることが好ましい。このような交番電圧の周波数としては、特に限定されないが、例えば、３０〜１２０Ｈｚ程度（６０Ｈｚ程度）であるのが好ましい。また、交番電圧の波形としては、特に限定されないが、図５（ｂ）に示すような鋸波のような波形であることが好ましい。

規制部３５は、落下等によって光スキャナー３に衝撃（Ｚ軸方向の加速度）が加わったときの支持部３３に対する可動部３１の過度な変位（Ｚ軸方向の変位）を防止し、光スキャナー３の破損（特に軸部３２１、３２２の断裂）を抑制するために設けられている。このような規制部３５を設けることによって、光スキャナー３の機械的強度を向上させることができる。

このような規制部３５は、図２および図３に示すように、張出部３３１、３３２の上面に設けられた複数の線状体３５１と、張出部３３１、３３２の下面に設けられた複数の線状体３５２と、張出部３３３、３３４の上面に設けられた複数の線状体３５３と、張出部３３３、３３４の下面に設けられた複数の線状体３５４と、を有している。線状体３５１、３５２は、それぞれ、その一端部が張出部３３１に接続されており、他端部が張出部３３２に接続されている。同様に、線状体３５３、３５４は、それぞれ、その一端部が張出部３３３に接続されており、他端部が張出部３３４に接続されている。

また、複数の線状体３５１は、第１の軸Ｊ１（Ｘ軸方向）に沿って並んで配置され、それぞれ、平面視で軸部３２１と交差して（軸部３２１を跨いで）配置されている。同様に、複数の線状体３５２は、第１の軸Ｊ１に沿って並んで配置され、それぞれ、平面視で軸部３２１と交差して配置されている。また、複数の線状体３５３は、第１の軸Ｊ１に沿って並んで配置され、それぞれ、平面視で軸部３２２と交差して配置されている。また、複数の線状体３５４は、第１の軸Ｊ１に沿って並んで配置され、それぞれ、平面視で軸部３２２と交差して配置されている。なお、線状体３５１、３５２、３５３、３５４の本数は、１本以上であれば特に限定されないが、本実施形態では、それぞれ、３本ずつ配置されている。

また、図６（ａ）、（ｂ）に示すように、線状体３５１、３５３は、それぞれ、上方（＋Ｚ軸側）にアーチ状に湾曲しており、線状体３５２、３５４は、それぞれ、下方（−Ｚ軸側）にアーチ状に湾曲している。そのため、非駆動状態や駆動状態（可動部３１を揺動させている状態）では、線状体３５１、３５２、３５３、３５４は、軸部３２１、３２２と非接触に設けられている。これにより、線状体３５１、３５２、３５３、３５４によって光スキャナー３の駆動が阻害されることがなくなる。

このような構成の規制部３５では、図７に示すように、Ｚ軸方向の衝撃を受けて可動部３１が図中上側（＋Ｚ軸側）へ大きく変位し、それに伴って軸部３２１、３２２が大きく撓んだ際には、線状体３５１、３５３が軸部３２１、３２２と接触することで、軸部３２１、３２２のそれ以上の変形を規制し、軸部３２１、３２２の破損を抑制している。反対に、衝撃を受けて可動部３１が図中下側（−Ｚ軸側）へ大きく変位し、それに伴って軸部３２１、３２２が大きく撓んだ際には、線状体３５２、３５４が軸部３２１、３２２と接触することで、軸部３２１、３２２のそれ以上の変形を規制し、軸部３２１、３２２の破損を抑制している。このように、規制部３５によれば、軸部３２１、３２２の過度な変形からくる破損・損傷を抑制することができ、よって、光スキャナー３の機械的強度が向上する。また、規制部３５を複数の線状体３５１、３５２、３５３、３５４で構成しているため、規制部３５と支持部３３との接合部に応力がほとんど生じない。また、前記応力が生じたとしても線状体３５１、３５２、３５３、３５４の弾性変形で吸収・緩和される。そのため、規制部３５を設けることによる可動部３１の振動特性の変化を抑制（好ましくは防止）することができる。

特に、本実施形態では、支持部３３の上面側に線状体３５１、３５３を設け、下面側に線状体３５２、３５４を設けているため、上述したように、可動部３１の＋Ｚ軸側への過度な変位と、−Ｚ軸側への過度な変位との両方を抑制することができる。そのため、より機械的強度に優れた光スキャナー３となる。なお、規制部３５の構成としては、本実施形態に限定されず、例えば、線状体３５２、３５４を省略してもよいし、反対に、線状体３５１、３５３を省略してもよい。また、例えば、線状体３５１、３５４を省略してもよいし、反対に、線状体３５２、３５３を省略してもよい。前者では、支持部３３の片方にしか規制部３５が配置されないので、片方側への軸部３２１、３２２の過度な変形しか抑制することができないが、本実施形態と比較して、光スキャナー３の低背化を図ることができる。一方、後者では、両側への軸部３２１、３２２の過度な変形を抑制することができ、さらに、本実施形態と比較して線状体の数を減らすことができるので、製造が容易となる。

以下、線状体３５１、３５２、３５３、３５４の具体的な構成について詳細に説明するが、配置が異なる以外は、線状体３５１、３５２、３５３、３５４は、それぞれ、同様の構成であるため、以下では、線状体３５１について代表して説明し、線状体３５２、３５３、３５４については、その説明を省略する。

図２および図３に示すように、３本の線状体３５１は、全体的に軸部３２１の支持部３３との接続部側に片寄って配置されている。これにより、線状体３５１と可動部３１との意図しない接触を効果的に防止することができる。また、軸部３２１は、支持部３３側ほど重力による撓みが小さいので、このような位置に線状体３５１を配置することで、光スキャナー３の姿勢を問わずに、線状体３５１と軸部３２１との離間距離を高精度に制御することができる。そのため、３本の線状体３５１は、光スキャナー３の駆動時には軸部３２１と接触せず、Ｚ軸方向の衝撃が加わった時には軸部３２１と確実に接触するようになる。したがって、上記効果をより高めることができる。

また、これら３本の線状体３５１は、第１の軸Ｊ１に沿って並んで配置されている。そして、図６および図７に示すように、第１の軸Ｊ１方向から見た線状体３５１の高さは、可動部３１側の線状体３５１ほど高くなっている。言い換えると、軸部３２１と線状体３５１との離間距離Ｄは、可動部３１側の線状体３５１ほど大きくなっている。すなわち、３本の線状体３５１のうち、最も支持部３３側に位置する線状体３５１ａの離間距離Ｄａと、最も可動部３１側に位置する線状体３５１ｃの離間距離Ｄｃと、これらの間に位置する線状体３５１ｂの離間距離Ｄｂとを比較したときに、Ｄａ＜Ｄｂ＜Ｄｃなる関係を満足している。

前述の図７からも分かるように、Ｚ軸方向の衝撃を受けると、軸部３２１は、可動部３１側ほど大きく変位するため、これに合わせるように、Ｄａ＜Ｄｂ＜Ｄｃなる関係とすることで、Ｚ軸方向の衝撃が加わった時に、軸部３２１を３本の線状体３５１のそれぞれに接触させることができる。これにより、３本の線状体３５１で変位してきた軸部３２１をバランスよく受け止めることができる。そのため、軸部３２１が線状体３５１にぶつかった際の応力集中が抑制され、ぶつかった衝撃で軸部３２１が変形・破損したり、線状体３５１が破損したりすることを効果的に抑制することができる。

以上、線状体３５１の配置・形状について説明した。このような線状体３５１は、弾性を有していることが好ましい。言い換えると、軸部３２１がぶつかった衝撃で弾性変形する程度に柔らかいことが好ましい。これにより、軸部３２１がぶつかった際に線状体３５１が撓む（弾性変形する）ことによって、その衝撃を吸収・緩和することができ、ぶつかった衝撃で軸部３２１が変形・破損したり、線状体３５１が破損したりすることをより効果的に抑制することができる。

このような線状体３５１は、金属ワイヤーで構成されていることが好ましい。これにより、線状体３５１の強度を確保しつつ、線状体３５１の径を細くすることができる。そのため、線状体３５１を設けることによる大型化を効果的に抑えることができる。線状体３５１を金属ワイヤーで構成する場合、その構成材料としては特に限定されないが、例えば、金、銅、アルミニウム等を用いることができ、また、Ｎｉ−Ｔｉ系合金、Ｎｉ−Ａｌ系合金、Ｃｕ−Ｚｎ系合金等の超弾性合金を用いることもできる。

また、線状体３５１は、ワイヤーボンディング技術を用いて形成されていることが好ましい。これにより、線状体３５１を簡単にかつ精度よく形成することができる。そのため、例えば、軸部３２１と線状体３５１との離間距離Ｄを目的値に高精度に合わせ込むことができる。

ここで、線状体３５１を金属ワイヤーで構成した場合には、線状体３５１に導電性を付与することができる。このように、線状体３５１に導電性を付与することで、次のようなシステムを構築することが可能となる。すなわち、図８に示すように、軸部３２１には可動部３１の搖動角を検知するための歪みゲージ３７が設けられている場合がある。歪みゲージ３７の構成としては、様々なものが知られているが、例えば、リンやボロンをドープすることで軸部３２１に抵抗体３７１、３７２を形成する構成が知られている。このような構成では、軸部３２１のねじり変形に応じて変化する抵抗体３７１、３７２の抵抗値から可動部３１の揺動角を検知することができる。

このような歪みゲージ３７を有する光スキャナー３において、前述したように、Ｚ軸方向の衝撃が加わって軸部３２１が変形して線状体３５１に接触した場合には、線状体３５１によって、抵抗体３７１に繋がる配線３７１ａと抵抗体３７２に繋がる配線３７２ａとを短絡させることができる。そして、この短絡を検知する手段を設けておくことで、短絡の有無によって、光スキャナー３に大きな衝撃（軸部３２１が線状体３５１に接触する程の衝撃）が加わったか否かを検知することができる。前記短絡を検知した場合には、例えば、万が一の光スキャナー３の損傷を考慮して、描画用光源ユニット２からの描画用レーザー光ＬＬの出射を停止するといった安全処置が実行されるように制御されていてもよい。

＜第２実施形態＞
次に、本発明の画像表示装置の第２実施形態について説明する。

図９は、本発明の画像表示装置の第２実施形態を示す構成図である。図１０は、図９に示す画像表示装置が有する光スキャナーの上面図である。図１１は、図１０中のＤ−Ｄ線断面図である。

以下、第２実施形態の画像表示装置について、前述した実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項については、その説明を省略する。

本発明の第２実施形態の画像表示装置は、光スキャナーの数および構成が異なる以外は、前述した第１実施形態と同様である。なお、前述した実施形態と同様の構成には、同一符号を付してある。

図９に示すように、本実施形態の画像表示装置１は、描画用レーザー光ＬＬを出射する描画用光源ユニット２と、描画用レーザー光ＬＬを走査する光スキャナー３と、光スキャナー３で走査した描画用レーザー光ＬＬを反射させるミラー１１と、を有している。なお、ミラー１１は、必要に応じて設ければよく、省略してもよい。

≪描画用光源ユニット≫
描画用光源ユニット２は、前述した第１実施形態と同様の構成であるため、その説明を省略する。

≪光スキャナー≫
光スキャナー３は、描画用光源ユニット２から出射された描画用レーザー光ＬＬを二次元走査する機能を有している。

図１０に示すように、光スキャナー３は、光反射部Ｍを有する可動部３１と、可動部３１を囲むように配置された支持部３３と、可動部３１と支持部３３とを接続し、可動部３１を第１の軸Ｊ１まわりに揺動可能に支持する軸部（第１の軸部）３２１、３２２と、を有する構造体３０と、可動部３１を揺動させるための駆動手段３４と、可動部３１の過度な変位を規制する規制部３５と、を有している。

また、可動部３１は、上面に光反射部Ｍが設けられた第１の可動部３１１と、第１の可動部３１１を囲むように配置された枠状の第２の可動部３１２と、第１の可動部３１１と第２の可動部３１２とを接続し、第１の可動部３１１を第１の軸Ｊ１と直交する第２の軸Ｊ２まわりに揺動可能に支持する１対の軸部（第２の軸部）３１３、３１４と、を有している。１対の軸部３１３、３１４は、第１の可動部３１１を介して互いに対向するように配置されており、また、第２の軸Ｊ２に沿った方向に延在している。

また、図１１に示すように、第２の可動部３１２の下面にはリブ３１２ａが設けられており、このリブ３１２ａの下面に永久磁石３４１が配置されている。リブ３１２ａは、第２の可動部３１２の機械的強度を補強する補強部としての機能と、第１の可動部３１１と永久磁石との間に、これらの接触を防止するためのスペースを確保するギャップ材としての機能と、を有している。永久磁石３４１は、一端側がＳ極で他端側がＮ極となっている棒状をなし、平面視にて、第１、第２の軸Ｊ１、Ｊ２の両軸に対して傾斜するように配置されている。

このような構成の光スキャナー３では、第１の可動部３１１、軸部３１３、３１４、第２の可動部３１２、軸部３２１、３２２および永久磁石３４１によって、第１の可動部３１１を第１の軸Ｊ１まわりに揺動させる第１の振動系を構成する。また、第１の可動部３１１および軸部３１３、３１４によって、第１の可動部３１１を第２の軸Ｊ２まわりに揺動する第２の振動系を構成する。

そして、第１の可動部３１１を第２の可動部３１２に対して第２の軸Ｊ２まわりに揺動させるとともに、第２の可動部３１２を支持部３３に対して第１の軸Ｊ１まわりに揺動させることで、第１の可動部３１１を第１、第２の軸Ｊ１、Ｊ２の２軸まわりに揺動させることができる。なお、本実施形態では、第１の可動部３１１の第１の軸Ｊ１まわりの揺動で描画用レーザー光ＬＬの垂直走査（副走査）が行われ、第１の可動部３１１の第２の軸Ｊ２まわりの揺動で描画用レーザー光ＬＬの水平走査（主走査）が行われるように光スキャナー３が配置されている。

永久磁石３４１の下側には、コイル３４２が設けられており、このコイル３４２に、第１の振動系を揺動させるための第１の交番電圧と、第２の揺動系を揺動させるための第２の交番電圧とを重畳させた重畳電圧を印加することで、第１の可動部３１１を第１、第２の軸Ｊ１、Ｊ２の２軸まわりに揺動させることができる。第１の交番電圧としては、特に限定されず、例えば、前述した第１実施形態の垂直走査用光スキャナー３”に印加する交番電圧と同様のものとすることができ、また、第２の交番電圧としては、特に限定されず、例えば、前述した第１実施形態の水平走査用光スキャナー３’に印加する交番電圧と同様のものとすることができる。この場合、第１の振動系を非共振駆動とし、第２の振動系を共振駆動とすることが好ましい。

以上、本実施形態の光スキャナー３について詳細に説明した。本実施形態のようなジンバル型をなす二次元走査型の光スキャナー３によれば、１つの装置で描画用レーザー光ＬＬを二次元走査することができるため、例えば、前述した第１実施形態のような一次元走査型の光スキャナーを２つ組み合わせて描画用レーザー光ＬＬを二次元走査させる構成と比較して、装置の小型化を図ることができるとともに、アライメントの調整も容易となる。

このような第２実施形態によっても、前述した第１実施形態と同様の効果を発揮することができる。

＜第３実施形態＞
次に、本発明の画像表示装置の第３実施形態について説明する。

図１２は、本発明の第３実施形態にかかる画像表示装置が備える光スキャナーの上面図である。図１３は、（ａ）が図１２中のＥ−Ｅ線断面図、（ｂ）が図１２中のＦ−Ｆ線断面図である。

以下、第３実施形態の画像表示装置について、前述した実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項については、その説明を省略する。

本発明の第３実施形態の画像表示装置は、光スキャナーの構成が異なる以外は、前述した第２実施形態と同様である。なお、前述した実施形態と同様の構成には、同一符号を付してある。

≪光スキャナー≫
本実施形態の光スキャナー３は、支持部３３のみならず、第２の可動部３１２にも規制部３５が設けられている。これにより、Ｚ軸方向の衝撃が光スキャナー３に加わったときの、支持部３３に対する第２の可動部３１２のＺ軸方向への過度な変位と、第２の可動部３１２に対する第１の可動部３１１のＺ軸方向への過度な変位と、を抑制することができる。そのため、光スキャナー３の破損、特に、軸部３１３、３１４および軸部３２１、３２２の断裂を効果的に抑制することができる。

第２の可動部３１２は、平面視で、軸部３１３の両側に位置し、軸部３１３に沿って第１の可動部３１１に向かって張り出ている張出部３１２１、３１２２と、軸部３１４の両側に位置し、軸部３１４に沿って第１の可動部３１１に向かって張り出ている張出部３１２３、３１２４と、を有している。

そして、規制部３５は、前述した線状体３５１、３５２、３５３、３５４の他に、さらに、張出部３１２１、３１２２の上面に設けられた複数の線状体３５５と、張出部３１２１、３１２２の下面に設けられた複数の線状体３５６と、張出部３１２３、３１２４の上面に設けられた複数の線状体３５７と、張出部３１２３、３１２４の下面に設けられた複数の線状体３５８と、を有している。なお、線状体３５１、３５２、３５３、３５４の構成および効果については、前述した実施形態と同様であるため、以下では、線状体３５５、３５６、３５７、３５８についてのみ説明する。

図１３に示すように、各線状体３５５、３５６は、その一端部が張出部３１２１に接続されており、他端部が張出部３１２２に接続されている。同様に、各線状体３５７、３５８は、その一端部が張出部３１２３に接続されており、他端部が張出部３１２４に接続されている。

複数の線状体３５５は、第２の軸Ｊ２に沿って並んで配置され、それぞれ、平面視で軸部３１３と交差して配置されている。同様に、複数の線状体３５６は、第２の軸Ｊ２に沿って並んで配置され、それぞれ、平面視で軸部３１３と交差して配置されている。また、複数の線状体３５７は、第２の軸Ｊ２に沿って並んで配置され、それぞれ、平面視で軸部３１４と交差して配置されている。また、複数の線状体３５８は、第２の軸Ｊ２に沿って並んで配置され、それぞれ、平面視で軸部３１４と交差して配置されている。なお、線状体３５５、３５６、３５７、３５８の本数としては、１本以上であれば特に限定されないが、本実施形態では、それぞれ、３本ずつ配置されている。

また、線状体３５５、３５７は、それぞれ、上方にアーチ状に湾曲した状態で配置され、線状体３５６、３５８は、それぞれ、下方にアーチ状に湾曲した状態で配置されている。そのため、非駆動状態および駆動状態では、線状体３５５、３５６、３５７、３５８は、軸部３１３、３１４と非接触に設けられている。これにより、線状体３５５、３５６、３５７、３５８によって光スキャナー３の駆動が阻害されることがない。

このような線状体３５５、３５６、３５７、３５８の構成は、前述した第１実施形態の線状体３５１、３５、３５３、３５４と同様であるため、その説明を省略する。

このような構成の規制部３５では、Ｚ軸方向の衝撃を受けて第１の可動部３１１が第２の可動部３１２に対して＋Ｚ軸側へ大きく変位し、それに伴って軸部３１３、３１４が大きく撓んだ際には、線状体３５５、３５７が軸部３１３、３１４と接触することで、軸部３１３、３１４のそれ以上の変形を規制し、軸部３１３、３１４の破損を抑制している。反対に、Ｚ軸方向の衝撃を受けて第１の可動部３１１が第２の可動部３１２に対して−Ｚ軸側へ大きく変位し、それに伴って軸部３１３、３１４が大きく撓んだ際には、線状体３５６、３５８が軸部３１３、３１４と接触することで、軸部３１３、３１４のそれ以上の変形を規制し、軸部３１３、３１４の破損を抑制している。このように、規制部３５によれば、軸部３１３、３１４の過度な変形からくる破損・損傷を抑制することができ、よって、光スキャナー３の機械的強度がさらに向上する。

このような第３実施形態によっても、前述した第１実施形態と同様の効果を発揮することができる。

＜第４実施形態＞
次に、本発明の画像表示装置の第４実施形態について説明する。

図１４は、本発明の第４実施形態にかかる画像表示装置が備える光スキャナーの上面図である。図１５は、図１４中のＧ−Ｇ線断面図である。

以下、第４実施形態の画像表示装置について、前述した実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項については、その説明を省略する。

本発明の第４実施形態の画像表示装置は、光スキャナーの構成が異なる以外は、前述した第２実施形態と同様である。なお、前述した実施形態と同様の構成には、同一符号を付してある。

≪光スキャナー≫
図１４および図１５に示すように、本実施形態の光スキャナー３では、第１の可動部３１１が、基部３１１１と、基部３１１１の上面に設けられた保持部３１１２と、を有し、保持部３１１２の上面に光反射部Ｍが設けられている。

また、保持部３１１２は、軸部３１３、３１４に対して板厚方向に離間するとともに、平面視で、軸部３１３、３１４の全域と重なって設けられている。そのため、軸部３１３、３１４の間の距離を短くしつつ、保持部３１１２の上面の面積（光反射部Ｍの面積）を大きくすることができる。また、軸部３１３、３１４の間の距離を短くすることができることから、第２の可動部３１２の小型化を図ることができる。さらに、第２の可動部３１２の小型化を図ることができることから、軸部３２１、３２２の間の距離を短くすることができる。このようなことから、光反射部Ｍの面積を大きくしても、光スキャナー３の小型化を図ることができる。

また、平面視で、線状体３５１、３５３がそれぞれ保持部３１１２と重なるように位置している。言い換えると、線状体３５１、３５３がそれぞれ保持部３１１２と軸部３２１、３２２との間に位置するように配置されている。このような構成とすることで、線状体３５１、３５３は、前述したような軸部３２１、３２２の破損を抑制する機能の他に、さらに、次のような機能を発揮することができる。

すなわち、例えば、光スキャナー３にＺ軸方向の衝撃が加わり、第１の可動部３１１が支持部３３に対して下側に大きく変位した場合には、線状体３５１、３５３が保持部３１１２の下面に接触することによって、保持部３１１２のそれ以上の下側への変位が防止される。これにより、保持部３１１２の過度な変位が抑制され、例えば、軸部３１３、３１４および軸部３２１、３２２の破損を防止することができる。また、保持部３１１２と軸部３２１、３２２との接触が抑制され、接触による軸部３２１、３２２や保持部３１１２の破損を効果的に抑制することができる。

このような第４実施形態によっても、前述した第１実施形態と同様の効果を発揮することができる。

＜第５実施形態＞
次に、本発明の画像表示装置の第５実施形態について説明する。

図１６は、本発明の第５実施形態にかかる画像表示装置が備える光スキャナーの断面図である。

以下、第５実施形態の画像表示装置について、前述した実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項については、その説明を省略する。

本発明の第５実施形態の画像表示装置は、光スキャナーの構成（線状体の形状）が異なる以外は、前述した第１実施形態と同様である。なお、前述した実施形態と同様の構成には、同一符号を付してある。

≪光スキャナー≫
図１６に示すように、本実施形態の光スキャナー３では、各線状体３５１は、Ｍ字状に湾曲した形状となっている。具体的には、線状体３５１は、その頂部（軸部３２１とＺ軸方向に対向する部位）３５１１が、下側に向けて凸となるように湾曲している。一方、各線状体３５２も、Ｍ字状に湾曲した形状となっている。具体的には、線状体３５２は、その頂部（軸部３２１とＺ軸方向に対向する部位）３５２１が、上側に向けて凸となるように湾曲している。このような形状とすることで、線状体３５１、３５２の頂部３５１１、３５２１にバネ性を付与することができるので、線状体３５１、３５２に軸部３２１がぶつかった際の衝撃をより効果的に吸収・緩和することができる。また、Ｍ字状に湾曲させることで、例えば、前述した第１実施形態と比較して線状体３５１、３５２の高さを抑えることができる。そのため、光スキャナー３の低背化を図ることができる。

以上、線状体３５１、３５２の形状について説明したが、線状体３５３、３５４についても線状体３５１、３５２と同様の構成となっている。

このような第５実施形態によっても、前述した第１実施形態と同様の効果を発揮することができる。

＜第６実施形態＞
次に、本発明の画像表示装置の第６実施形態について説明する。

図１７は、本発明の第６実施形態にかかる画像表示装置が備える光スキャナーの断面図である。

以下、第６実施形態の画像表示装置について、前述した実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項については、その説明を省略する。

本発明の第６実施形態の画像表示装置は、光スキャナーの構成（張出部の形状）が異なる以外は、前述した第１実施形態と同様である。なお、前述した実施形態と同様の構成には、同一符号を付してある。

≪光スキャナー≫
図１７に示すように、本実施形態の光スキャナー３では、張出部３３１、３３２の厚さが、軸部３２１よりも薄くなっている。そのため、張出部３３１、３３２の上面は、軸部３２１の上面よりも下側（−Ｚ軸側）に位置し、張出部３３１、３３２の下面は、軸部３２１の下面よりも上側（＋Ｚ軸側）に位置している。張出部３３１、３３２をこのような構成とすることで、例えば、前述した第１実施形態と比較した場合、離間距離Ｄが等しければ、線状体３５１、３５２の高さを第１実施形態よりも高くすることができる。そのため、ワイヤーボンディング技術を用いて線状体３５１、３５２を形成する場合に、線状体３５１、３５２の形成が容易となる。また、線状体３５１、３５２の全長も第１実施形態と比較して長くすることができるので、線状体３５１、３５２をより撓み易くすることができる。そのため、軸部３２１が線状体３５１、３５２にぶつかった際の衝撃をより効果的に吸収・緩和することができる。

以上、張出部３３１、３３２の形状について説明したが、張出部３３３、３３４についても、張出部３３１、３３２と同様の構成となっている。

このような第６実施形態によっても、前述した第１実施形態と同様の効果を発揮することができる。

＜第７実施形態＞
次に、本発明の画像表示装置の第７実施形態について説明する。

図１８は、本発明の第７実施形態にかかる画像表示装置が備える光スキャナーの断面図である。

以下、第７実施形態の画像表示装置について、前述した実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項については、その説明を省略する。

本発明の第７実施形態の画像表示装置は、光スキャナーの構成（張出部と軸部の厚さの関係）が異なる以外は、前述した第１実施形態と同様である。なお、前述した実施形態と同様の構成には、同一符号を付してある。

≪光スキャナー≫
図１８に示すように、本実施形態の光スキャナー３では、張出部３３１、３３２の厚さが、軸部３２１よりも厚くなっている。そのため、張出部３３１、３３２の上面は、軸部３２１の上面よりも上側（＋Ｚ軸側）に位置し、張出部３３１、３３２の下面は、軸部３２１の下面よりも下側（−Ｚ軸側）に位置している。そして、複数の線状体３５１が張出部３３１、３２２の上面にＹ軸方向にほぼ直線的に延在して設けられており、複数の線状体３５２が張出部３３１、３２２の下面にＹ軸方向にほぼ直線的に延在して設けられている。このような構成とすることで、張出部３３１、３３２の上面（下面）と軸部３２１の上面（下面）とのＺ軸方向のずれ量が離間距離Ｄとなるので、離間距離Ｄをより高精度に制御することができる。なお、線状体３５１、３５２は、それぞれ、直線状に限定されず、例えば、ＸＹ平面内で湾曲または屈曲した部分を有していてもよい。

線状体３５１の形成方法としては、特に限定されず、例えば、通常のワイヤーボンディング技法とは異なる方法を用いることができる。すなわち、まず、直線状の線状体を用意し、用意した線状体の一端部を張出部３３１の上面に配置し、他端部を張出部３３２の上面に配置する。これにより、線状体が軸部３２１を跨ぐように配置される。次に、線状体の一端部に空のキャピラリーを押し当てながら超音波を印加することで、線状体の一端部を張出部３３１に接合する。線状体の他端部についても同様に張出部３３２に接合することで、線状体３５１が得られる。

以上、張出部３３１、３３２および線状体３５１、３５２について説明したが、張出部３３３、３３４および線状体３５３、３５４についても、これと同様の構成となっている。

このような第７実施形態によっても、前述した第１実施形態と同様の効果を発揮することができる。

２．ヘッドアップディスプレイ
次に、本発明の画像表示装置の一例であるヘッドアップディスプレイについて説明する。

図１９は、本発明の画像表示装置を応用したヘッドアップディスプレイを示す斜視図である。

図１９に示すように、ヘッドアップディスプレイシステム２００では、画像表示装置１は、自動車のダッシュボードに、ヘッドアップディスプレイ２１０を構成するよう搭載されている。このヘッドアップディスプレイ２１０により、フロントガラス２２０に、例えば、目的地までの案内表示等の所定の画像を表示することができる。なお、ヘッドアップディスプレイシステム２００は、自動車に限らず、例えば、航空機、船舶等にも適用することができる。

３．ヘッドマウントディスプレイ
次に、本発明のヘッドマウントディスプレイについて説明する。

図２０は、本発明のヘッドマウントディスプレイを示す斜視図である。
図２０に示すように、ヘッドマウントディスプレイ３００は、観察者の頭部に装着されるフレーム３１０と、フレーム３１０に搭載された画像表示装置１とを有している。そして、画像表示装置１により、フレーム３１０の本来レンズである部位に設けられた表示部（光反射層材）３２０に、一方の目で視認される所定の画像を表示する。

表示部３２０は、透明であってもよく、また、不透明であってもよい。表示部３２０が透明な場合は、現実世界からの情報に画像表示装置１からの情報を重ねて使用することができる。また、表示部３２０は、入射した光の少なくとも一部を反射すればよく、例えば、ハーフミラーなどを用いることができる。

なお、ヘッドマウントディスプレイ３００に、２つ画像表示装置１を設け、両方の目で視認される画像を、２つの表示部に表示するようにしてもよい。

以上、本発明のアクチュエーター、光スキャナー、画像表示装置およびヘッドマウントディスプレイを、図示の実施形態に基づいて説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、各部の構成は、同様の機能を有する任意の構成のものに置換することができる。また、本発明に他の任意の構成物が付加されていてもよい。

１……画像表示装置 １０……対象物 １１……ミラー ２……描画用光源ユニット ２１Ｂ、２１Ｇ、２１Ｒ……レーザー光源 ２２Ｂ、２２Ｇ、２２Ｒ……コリメーターレンズ ２３Ｂ、２３Ｇ、２３Ｒ……ダイクロイックミラー ３……光スキャナー ３’……水平走査用光スキャナー ３”……垂直走査用光スキャナー ３０……構造体 ３１……可動部 ３１１……第１の可動部 ３１１１……基部 ３１１２……保持部 ３１２……第２の可動部 ３１２ａ……リブ ３１３、３１４……軸部（第２の軸部） ３２１、３２２……軸部（第１の軸部） ３３……支持部 ３３１、３３２、３３３、３３４……張出部 ３４……駆動手段 ３４１……永久磁石 ３４２……コイル ３５……規制部 ３５１、３５１ａ、３５１ｂ、３５１ｃ、３５２、３５３、３５４、３５５、３５６、３５７、３５８……線状体 ３５１１、３５２１……頂部 ３７……歪みゲージ ３７１、３７２……抵抗体 ３７１ａ、３７２ａ……配線 ２００……ヘッドアップディスプレイシステム ２１０……ヘッドアップディスプレイ ２２０……フロントガラス ３００……ヘッドマウントディスプレイ ３１０……フレーム ３２０……表示部 ３３０……基部 ３１２１、３１２２、３１２３、３１２４……張出部 ＢＢ、ＧＧ、ＲＲ……レーザー光 Ｄ、Ｄａ、Ｄｂ、Ｄｃ……離間距離 Ｊ１……第１の軸 Ｊ２……第２の軸 ＬＬ……描画用レーザー光 Ｍ……光反射部

Claims (9)

1. 可動部と、
   支持部と、
   前記可動部と前記支持部とを接続し、前記可動部を第１の軸まわりに揺動可能に支持する第１の軸部と、
   前記支持部に設けられ、前記可動部の平面視にて前記第１の軸部と交差している線状体と、を有し、
   前記線状体は、前記第１の軸に沿った方向に複数並んで配置され、前記第１の軸方向から見たときの高さが、前記支持部側にある前記線状体よりも前記可動部側にある前記線状体の方が高いことを特徴とするアクチュエーター。
2. 前記線状体は、前記支持部の一方の主面側と、前記一方の主面に対して表裏関係にある他方の主面側と、に設けられている請求項１に記載のアクチュエーター。
3. 前記線状体は、前記第１の軸部の前記支持部との接続部側に位置している請求項１または２に記載のアクチュエーター。
4. 前記線状体は、金属ワイヤーである請求項１ないし３のいずれか１項に記載のアクチュエーター。
5. 前記金属ワイヤーは、ワイヤーボンディングによって形成されている請求項４に記載のアクチュエーター。
6. 可動部は、第１の可動部と、前記第１の可動部を囲むように設けられている枠状の第２の可動部と、前記第１の可動部と前記第２の可動部とを接続し、前記第１の可動部を前記第２の可動部に対して前記第１の軸に交差する第２の軸まわりに揺動可能に支持する第２の軸部と、を有する請求項１ないし５のいずれか１項に記載のアクチュエーター。
7. 光を反射する光反射部を備える可動部と、
   支持部と、
   前記可動部と前記支持部とを接続し、前記可動部を第１の軸まわりに揺動可能に支持する第１の軸部と、
   前記支持部に設けられ、前記可動部の平面視にて前記第１の軸部と交差している線状体と、を有し、
   前記線状体は、前記第１の軸に沿った方向に複数並んで配置され、前記第１の軸方向から見たときの高さが、前記支持部側にある前記線状体よりも前記可動部側にある前記線状体の方が高いことを特徴とする光スキャナー。
8. 光を反射する光反射部を備える可動部と、
   支持部と、
   前記可動部と前記支持部とを接続し、前記可動部を第１の軸まわりに揺動可能に支持する第１の軸部と、
   前記支持部に設けられ、前記可動部の平面視にて前記第１の軸部と交差している線状体と、を有し、
   前記線状体は、前記第１の軸に沿った方向に複数並んで配置され、前記第１の軸方向から見たときの高さが、前記支持部側にある前記線状体よりも前記可動部側にある前記線状体の方が高いことを特徴とする画像表示装置。
9. 観察者の頭部に装着されるフレームと、
   前記フレームに設けられた光スキャナーと、を備え、
   前記光スキャナーは、
   光を反射する光反射部を備える可動部と、
   支持部と、
   前記可動部と前記支持部とを接続し、前記可動部を第１の軸まわりに揺動可能に支持する第１の軸部と、
   前記支持部に設けられ、前記可動部の平面視にて前記第１の軸部と交差している線状体と、を有し、
   前記線状体は、前記第１の軸に沿った方向に複数並んで配置され、前記第１の軸方向から見たときの高さが、前記支持部側にある前記線状体よりも前記可動部側にある前記線状体の方が高いことを特徴とするヘッドマウントディスプレイ。

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