JP2014056211A - アクチュエーター、光スキャナー、画像表示装置およびヘッドマウントディスプレイ - Google Patents

Abstract

【課題】ムービングコイル方式を採用するアクチュエーターにおいて、コイル等への配線の配置の自由度の低下を防止しつつ、省電力化を図ることができるアクチュエーター、光スキャナー、画像表示装置およびヘッドマウントディスプレイを提供すること。
【解決手段】光スキャナー１は、Ｘ軸周りに揺動可能な枠体部１３と、枠体部１３をＸ軸周りに揺動可能に支持する軸部１４ａ、１４ｂ、１４ｃ、１４ｄと、軸部１４ａ、１４ｂ、１４ｃ、１４ｄの厚さよりも厚く形成され、軸部１４ａ、１４ｂ、１４ｃ、１４ｄを支持する支持部１５と、枠体部１３に設けられたコイル３１と、コイル３１に作用する磁界を発生させる永久磁石と、支持部１５に設けられた軟磁性体２２とを備え、支持部１５は、支持部１５のコイル３１とは反対側の面から枠体部１３側に向かって傾斜する傾斜面１５１を有し、軟磁性体２２は、傾斜面１５１に当接する部分２２２を有する。
【選択図】図１

Description

本発明は、アクチュエーター、光スキャナー、画像表示装置およびヘッドマウントディスプレイに関するものである。

例えば、プリンターやディスプレイ等において、光を走査する光スキャナーとして用いられ、ＭＥＭＳ（Micro Electro Mechanical Systems）技術によりシリコン基板を加工して形成された構造体を用いたアクチュエーターとして、ムービングコイル方式を採用したものが知られている（例えば、特許文献１参照）。
例えば、特許文献１に記載されたアクチュエーターは、可動板（可動部）と、可動板を揺動可能に支持する１対の軸部材（軸部）と、１対の軸部材を支持する枠状の支持部と、可動板に設けられたコイルと、コイルに対向する永久磁石とを有し、コイルに電圧を印加することにより、各軸部材を捩れ変形させながら可動板を揺動させる。

しかし、特許文献１に記載のアクチュエーターは、永久磁石とコイルとの間にヨークやコアが設けられていないため、永久磁石からの磁界をコイルに効率的に作用させることができない。そのため、可動板を所望の揺動角（振れ角）で揺動させるには、コイルへの電流を大きくする必要がある。このようなことから、従来のアクチュエーターでは、消費電力の増大を招くという問題があった。

ここで、枠状の支持部の内側にコイル、外側に永久磁石が配置されている。また、支持部のコイル側の面には、コイルへの通電のための配線や端子が配置されている。したがって、支持部のコイル側の面にヨークやコアを設けると、かかる配線や端子の配置の自由度が低くなってしまう。一般に、支持部のコイル側の面には、コイルへの通電のための配線や端子だけでなく、可動板の挙動を検出するためのセンサーに電気的に接続される配線や端子も配置されている。そのため、支持部のコイル側の面におけるこれらの配線や端子の配置の自由度を高くすることが望まれる。

また、一般に、ハンドリング性を高めたり軸部の捩れ変形による支持部の変形を防止したりする等の目的で、支持部の厚さが可動板や軸部材の厚さよりも厚くなっている。そして、支持部のコイルとは反対側の面が可動板に対して可動板の厚さ方向に離間している。したがって、単に支持部のコイルとは反対側の面にヨークやコアを設けると、ヨークやコアとコイルとの距離が大きくなってしまい、その結果、永久磁石からの磁界の磁力線をコイルの内側に十分に集中させることができない。

特開平８−３２２２２７号公報

本発明の目的は、ムービングコイル方式を採用するアクチュエーターにおいて、コイル等への配線の配置の自由度の低下を抑制しつつ、省電力化を図ることができるアクチュエーター、光スキャナー、画像表示装置およびヘッドマウントディスプレイを提供することにある。

このような目的は、下記の本発明により達成される。
本発明のアクチュエーターは、所定の軸周りに揺動可能な可動部と、
前記可動部を前記所定の軸周りに揺動可能に支持する軸部と、
前記軸部の厚さよりも厚く形成され、前記軸部を支持する支持部と、
前記可動部に設けられたコイルと、
前記コイルに作用する磁界を発生させる永久磁石と、
前記支持部に設けられ、前記永久磁石から前記コイルへの磁路を形成する軟磁性体と、を備え、
前記支持部は、前記支持部の前記コイルとは反対側の面から前記可動部側に向かって、前記支持部の厚さ方向に直交する面に対して傾斜する傾斜面を有し、
前記軟磁性体は、前記傾斜面に当接する部分を有することを特徴とする。
このように構成されたアクチュエーターによれば、ムービングコイル方式を採用するアクチュエーターにおいて、コイル等への配線の配置の自由度の低下を防止しつつ、省電力化を図ることができる。

本発明のアクチュエーターでは、前記軸部の前記コイル側の面に設けられ、前記可動部の挙動を検出する挙動検出センサーをさらに備えることが好ましい。
このような挙動検出センサーを有する場合、支持部のコイル側の面に配置される配線および端子の数が多くなり、支持部のコイル側の面における配線および端子の配置の自由度が高いことが特に望まれる。そのため、かかる場合に本発明を適用することの効果が顕著となる。

本発明のアクチュエーターでは、第１の軸周りに揺動可能な第１可動部と、
前記第１の可動部を前記第１の軸周りに揺動可能に支持する第１軸部と、をさらに備え、
前記可動部は、前記第１可動部を囲んで設けられ、前記第１軸部を支持するとともに、前記第１の軸に交差する第２の軸周りに揺動可能な枠状の第２可動部を構成し、
前記軸部は、前記第２可動部を前記第２の軸周りに揺動可能に支持する第２軸部を構成することが好ましい。

これにより、アクチュエーターの小型化を図りつつ、本発明のアクチュエーターを光スキャナーに適用した場合、光を２次元的に走査することができる。また、このような構造を有する場合、一般に、第１軸部および第２軸部のコイル側の面にそれぞれ可動部の挙動を検出する挙動検出センサーが設けられるため、支持部のコイル側の面に配置される配線および端子の数が多くなり、支持部のコイル側の面における配線および端子の配置の自由度が高いことが特に望まれる。そのため、かかる場合に本発明を適用することの効果が顕著となる。

本発明のアクチュエーターでは、前記第１可動部に固定され、かつ光反射性を有する光反射部が設けられた光反射板をさらに備え、
前記光反射板は、前記第１軸部に対して前記光反射板の板厚方向に離間するとともに、前記板厚方向からみたときに前記第１軸部の少なくとも一部と重なって設けられていることが好ましい。
これにより、アクチュエーターの小型化を図ることができる。

本発明のアクチュエーターでは、前記光反射板は、前記第１可動部の前記コイル側の面に固定されていることが好ましい。
これにより、光反射板と可動部との離間距離を抑えつつ、光反射板の板面の面積を大きくすることができる。
本発明のアクチュエーターでは、前記光反射板の前記光反射部とは反対側の面には、軟磁性体が設けられていることが好ましい。
これにより、永久磁石からコイルへ作用する磁界の磁力線の数を多くすることができる。

本発明のアクチュエーターでは、前記光反射板は、前記第１可動部の前記コイルとは反対側の面に固定されていることが好ましい。
これにより、支持部のコイル側の面を実装基板（配線用基板）に接合することにより、アクチュエーターを実装基板に実装することができる。その際、支持部のコイル側の面に設けられた端子と、実装基板の端子との電気的接続も同時に行うことができる。そのため、実装基板に対するアクチュエーターの実装を容易なものとすることができる。

本発明のアクチュエーターでは、前記支持部に設けられた前記軟磁性体は、前記第１の軸および前記第２の軸に対して垂直な方向からみた平面視にて、前記第１の軸および前記第２の軸に対して傾斜した縁部を有することが好ましい。
これにより、平面視にて、永久磁石からの磁界の磁力線をコイルの内側に効率的に集中させることができる。
本発明のアクチュエーターでは、前記軟磁性体は、板状をなすことが好ましい。
これにより、低コスト化および小型化を図ることができる。

本発明の光スキャナーは、光反射性を有する光反射部が設けられ、所定の軸周りに揺動可能な可動部と、
前記可動部を前記所定の軸周りに揺動可能に支持する軸部と、
前記軸部の厚さよりも厚く形成され、前記軸部を支持する支持部と、
前記可動部に設けられたコイルと、
前記コイルに作用する磁界を発生させる永久磁石と、
前記支持部に設けられ、前記永久磁石から前記コイルへの磁路を形成する軟磁性体と、を備え、
前記支持部は、前記支持部の前記コイルとは反対側の面から前記可動部側に向かって、前記支持部の厚さ方向に直交する面に対して傾斜する傾斜面を有し、
前記軟磁性体は、前記傾斜面に当接する部分を有することを特徴とする。
このように構成された光スキャナーによれば、ムービングコイル方式を採用する光スキャナーにおいて、コイル等への配線の配置の自由度の低下を防止しつつ、省電力化を図ることができる。

本発明の光スキャナーは、光反射性を有する光反射部が設けられ、第１の軸周りに揺動可能な第１可動部と、
前記第１可動部を前記第１の軸周りに揺動可能に支持する第１軸部と、
前記第１可動部を囲んで設けられ、前記第１軸部を支持するとともに、前記第１の軸に交差する第２の軸周りに揺動可能な枠状の第２可動部と、
前記第２可動部を前記第２の軸周りに揺動可能に支持する第２軸部と、
前記第２軸部の厚さよりも厚く形成され、前記第２軸部を支持する支持部と、
前記第２可動部に設けられたコイルと、
前記コイルに作用する磁界を発生させる永久磁石と、
前記支持部に設けられ、前記永久磁石から前記コイルへの磁路を形成する軟磁性体と、を備え、
前記支持部は、前記支持部の前記コイルとは反対側の面から前記第２可動部側に向かって、前記支持部の厚さ方向に直交する面に対して傾斜する傾斜面を有し、
前記軟磁性体は、前記傾斜面に当接する部分を有することを特徴とする。
このように構成された光スキャナーによれば、ムービングコイル方式を採用する光スキャナーにおいて、コイル等への配線の配置の自由度の低下を防止しつつ、省電力化を図ることができる。

本発明の画像表示装置は、光反射性を有する光反射部が設けられ、第１の軸周りに揺動可能な第１可動部と、
前記第１可動部を前記第１の軸周りに揺動可能に支持する第１軸部と、
前記第１可動部を囲んで設けられ、前記第１軸部を支持するとともに、前記第１の軸に交差する第２の軸周りに揺動可能な枠状の第２可動部と、
前記第２可動部を前記第２の軸周りに揺動可能に支持する第２軸部と、
前記第２軸部の厚さよりも厚く形成され、前記第２軸部を支持する支持部と、
前記第２可動部に設けられたコイルと、
前記コイルに作用する磁界を発生させる永久磁石と、
前記支持部に設けられ、前記永久磁石から前記コイルへの磁路を形成する軟磁性体と、を備え、
前記支持部は、前記支持部の前記コイルとは反対側の面から前記第２可動部側に向かって、前記支持部の厚さ方向に直交する面に対して傾斜する傾斜面を有し、
前記軟磁性体は、前記傾斜面に当接する部分を有することを特徴とする。
このように構成された画像表示装置によれば、ムービングコイル方式を採用する光スキャナーにおいて、コイル等への配線の配置の自由度の低下を防止しつつ、省電力化を図ることができる。

本発明のヘッドマウントディスプレイは、光反射性を有する光反射部が設けられ、第１の軸周りに揺動可能な第１可動部と、
前記第１可動部を前記第１の軸周りに揺動可能に支持する第１軸部と、
前記第１可動部を囲んで設けられ、前記第１軸部を支持するとともに、前記第１の軸に交差する第２の軸周りに揺動可能な枠状の第２可動部と、
前記第２可動部を前記第２の軸周りに揺動可能に支持する第２軸部と、
前記第２軸部の厚さよりも厚く形成され、前記第２軸部を支持する支持部と、
前記第２可動部に設けられたコイルと、
前記コイルに作用する磁界を発生させる永久磁石と、
前記支持部に設けられ、前記永久磁石から前記コイルへの磁路を形成する軟磁性体と、を備え、
前記支持部は、前記支持部の前記コイルとは反対側の面から前記第２可動部側に向かって、前記支持部の厚さ方向に直交する面に対して傾斜する傾斜面を有し、
前記軟磁性体は、前記傾斜面に当接する部分を有することを特徴とする。
このように構成されたヘッドマウントディスプレイによれば、ムービングコイル方式を採用する光スキャナーにおいて、コイル等への配線の配置の自由度の低下を防止しつつ、省電力化を図ることができる。

本発明のアクチュエーター（光スキャナー）の第１実施形態を示す平面図である。 図１に示すアクチュエーターの断面図（Ｘ軸に沿った断面図）である。 図１に示すアクチュエーターが備える駆動部の電圧印加部を説明するためのブロック図である。 図３に示す第１電圧発生部および第２電圧発生部での発生電圧の一例を示す図である。 図１に示すアクチュエーターが備える軟磁性体を説明するための図である。 本発明のアクチュエーター（光スキャナー）の第２実施形態を示す平面図である。 図６に示すアクチュエーターの断面図（Ｘ軸に沿った断面図）である。 本発明のアクチュエーター（光スキャナー）の第３実施形態を示す断面図である。 本発明の画像表示装置の実施形態を模式的に示す図である。 本発明の画像表示装置の応用例１を示す斜視図である。 本発明の画像表示装置の応用例２を示す斜視図である。 本発明の画像表示装置の応用例３を示す斜視図である。

以下、本発明のアクチュエーター、光スキャナー、画像表示装置およびヘッドマウントディスプレイの好適な実施形態について、添付図面を参照しつつ説明する。なお、以下の実施形態では、本発明のアクチュエーターを光スキャナー（光学デバイス）に適用した場合について代表的に説明する。
＜第１実施形態＞
図１は、本発明のアクチュエーター（光スキャナー）の第１実施形態を示す平面図、図２は、図１に示すアクチュエーターの断面図（Ｘ軸に沿った断面図）である。また、図３は、図１に示すアクチュエーターが備える駆動部の電圧印加部を説明するためのブロック図、図４は、図３に示す第１電圧発生部および第２電圧発生部での発生電圧の一例を示す図である。さらに、図５は、図１に示すアクチュエーターが備える軟磁性体を説明するための図である。なお、以下では、説明の便宜上、図２中の上側を「上」、下側を「下」ともいう。また、図１では説明上、可動ミラー部を透視した状態の平面図を示す。

図１および図２に示すように、光スキャナー１は、可動ミラー部１１と、１対の軸部１２ａ、１２ｂ（第１軸部）と、枠体部１３（第２可動部）と、２対の軸部１４ａ、１４ｂ、１４ｃ、１４ｄ（第２軸部）と、支持部１５と、永久磁石２１と、軟磁性体２２と、コイル３１と、電圧印加部４（図示せず）とを備える。
ここで、可動ミラー部１１および１対の軸部１２ａ、１２ｂは、Ｙ軸（第１の軸）周りに揺動（往復回動）する第１の振動系を構成する。また、可動ミラー部１１、１対の軸部１２ａ、１２ｂ、枠体部１３、２対の軸部１４ａ、１４ｂ、１４ｃ、１４ｄおよびコイル３１は、Ｙ軸に直交（交差）するＸ軸（第２の軸）周りに揺動（往復回動）する第２の振動系を構成する。

このような第１の振動系および第２の振動系を有する構造（ジンバル構造）を有する光スキャナー１は、光スキャナー１の小型化を図りつつ、光を２次元的に走査することができる。また、このような構造を有する光スキャナー１は、後述するように、軸部１２ｂおよび軸部１４ｃのコイル３１側の面にそれぞれ可動ミラー部１１の挙動を検出する挙動検出センサー５１、５２が設けられる。そのため、支持部１５のコイル３１側の面に配置される配線および端子の数が多くなり、支持部１５のコイル３１側の面における配線および端子の配置の自由度が高いことが特に望まれる。したがって、かかる構造に本発明を適用すると、その効果が顕著となる。
また、永久磁石２１、軟磁性体２２、コイル３１および電圧印加部４は、前述した第１の振動系および第２の振動系を駆動（すなわち、可動ミラー部１１をＸ軸およびＹ軸周りに揺動）させる駆動部を構成する。

以下、光スキャナー１の各部を順次詳細に説明する。
可動ミラー部１１は、基部（第１可動部）１１１と、スペーサー１１２を介して基部１１１に固定された光反射板１１３とを有する。
光反射板１１３の上面（一方の面）には、光反射性を有する光反射部１１４が設けられている。
この光反射板１１３は、軸部１２ａ、１２ｂに対して光反射板１１３の板厚方向に離間するとともに、光反射板１１３の板厚方向（Ｘ軸およびＹ軸の双方に垂直な方向）からみたときに（以下、「平面視」ともいう）、軸部１２ａ、１２ｂと重なって設けられている。

そのため、軸部１２ａと軸部１２ｂとの間の距離を短くしつつ、光反射板１１３の板面の面積を大きくすることができる。また、軸部１２ａと軸部１２ｂとの間の距離を短くすることができることから、枠体部１３の小型化を図ることができる。さらに、枠体部１３の小型化を図ることができることから、軸部１４ａ、１４ｂと軸部１４ｃ、１４ｄの長さを短くすることができる。また、軸部１４ａ、１４ｂと軸部１４ｃ、１４ｄの長さを短くすることができることから、支持部１５の小型化を図ることができる。さらに、支持部１５の小型化を図ることができることから、後述する永久磁石２１の１対の磁極２１ａ、２１ｂを支持部１５の外側に配置した場合において、当該１対の磁極２１ａ、２１ｂ間の距離を短くすることができる。

このようなことから、光反射板１１３の板面の面積を大きくしても、光スキャナー１の小型化を図ることができる。
また、永久磁石２１の１対の磁極２１ａ、２１ｂを支持部１５の外側に配置した場合において、当該１対の磁極２１ａ、２１ｂ間の距離を短くすることができることから、永久磁石２１の磁界を効率的にコイル３１へ作用させることができる。そのため、永久磁石２１の小型化を図りつつ、光反射板１１３の揺動角を大きくすることができる。

また、光反射板１１３は、平面視にて、軸部１２ａ、１２ｂの全体を覆うように形成されている。言い換えると、軸部１２ａ、１２ｂは、それぞれ、平面視にて、光反射板１１３の外周に対して内側に位置している。これにより、光反射板１１３の板面の面積が大きくなり、その結果、光反射部１１４の面積を大きくすることができる。また、不要な光（例えば、光反射部１１４に入射できなかった光）が軸部１２ａ、１２ｂで反射して迷光となるのを防止することができる。

また、光反射板１１３は、平面視にて、枠体部１３の全体を覆うように形成されている。言い換えると、枠体部１３は、平面視にて、光反射板１１３の外周に対して内側に位置している。これにより、光反射板１１３の板面の面積が大きくなり、その結果、光反射部１１４の面積を大きくすることができる。また、不要な光が枠体部１３で反射して迷光となるのを防止することができる。

さらに、光反射板１１３は、平面視にて、軸部１４ａ、１４ｂ、１４ｃ、１４ｄの全体を覆うように形成されている。言い換えると、軸部１４ａ、１４ｂ、１４ｃ、１４ｄは、それぞれ、平面視にて、光反射板１１３の外周に対して内側に位置している。これにより、光反射板１１３の板面の面積が大きくなり、その結果、光反射部１１４の面積を大きくすることができる。また、不要な光が軸部１４ａ、１４ｂ、１４ｃ、１４ｄで反射して迷光となるのを防止することができる。

なお、光反射板１１３は、上述のように、必ずしも枠体部１３の全体を覆っていなくてもよく、枠体部１３の一部が光反射板１１３からもはみ出していてもよい。また、光反射板１１３は、上述のように、軸部１４ａ、１４ｂ、１４ｃ、１４ｄの全体を覆っていなくてもよく、軸部１４ａ、１４ｂ、１４ｃ、１４ｄが光反射板１１３からはみ出していてもよい。

本実施形態では、光反射板１１３は、平面視にて、円形をなしている。なお、光反射板１１３の平面視形状は、これに限定されず、例えば、楕円形、四角形等の多角形であってもよいし、振動系全体の外形に沿った外形を有する形状であってもよい。光反射板１１３をＸ軸およびＹ軸に沿った方向にそれぞれ突出した形状にすることで、光反射板１１３の慣性モーメント増加を抑えつつ、各軸部での迷光を効率よく低減できる。
このような光反射板１１３の下面（他方の面、光反射板１１３の基部１１１側の面）には、硬質層１１５が設けられている。

硬質層１１５は、光反射板１１３本体の構成材料よりも硬質な材料で構成されている。これにより、光反射板１１３の剛性を高めることができる。そのため、光反射板１１３の揺動時における撓みを防止または抑制することができる。また、光反射板１１３の厚さを薄くし、光反射板１１３のＸ軸およびＹ軸周りの揺動時における慣性モーメントを抑えることができる。
このような硬質層１１５の構成材料としては、光反射板１１３本体の構成材料よりも硬質な材料であれば、特に限定されず、例えば、ダイヤモンド、水晶、サファイヤ、タンタル酸リチウム、ニオブ酸カリウム、カーボンナイトライド膜などを用いることができるが、特に、ダイヤモンドを用いるのが好ましい。

硬質層１１５の厚さ（平均）は、特に限定されないが、１〜１０μｍ程度であるのが好ましく、１〜５μｍ程度であるのがさらに好ましい。
また、硬質層１１５は、単層で構成されていてもよいし、複数の層の積層体で構成されていてもよい。また、硬質層１１５は、光反射板１１３の下面全体に設けられていてもよいし、下面の一部に設けられていてもよい。なお、硬質層１１５は、必要に応じて設けられるものであり、省略することもできる。

このような硬質層１１５の形成には、例えば、プラズマＣＶＤ、熱ＣＶＤ、レーザーＣＶＤのような化学蒸着法（ＣＶＤ）、真空蒸着、スパッタリング、イオンプレーティング等の乾式メッキ法、電解メッキ、浸漬メッキ、無電解メッキ等の湿式メッキ法、溶射、シート状部材の接合等を用いることができる。
また、光反射板１１３の下面は、スペーサー１１２を介して基部１１１に固定されている。これにより、軸部１２ａ、１２ｂ、枠体部１３および軸部１４ａ、１４ｂ、１４ｃ、１４ｄとの接触を防止しつつ、光反射板１１３をＹ軸周りに揺動させることができる。

本実施形態では、光反射板１１３は、スペーサー１１２を介して、基部１１１（第１可動部）のコイル３１側の面（上面）に固定されている。これにより、光反射板１１３と枠体部１３（可動部）との離間距離を抑えつつ、光反射板１１３の板面の面積を大きくすることができる。
基部１１１は、平面視にて、光反射板１１３の外周に対して内側に位置している。また、基部１１１の平面視での面積は、基部１１１がスペーサー１１２を介して光反射板１１３を支持することができれば、できるだけ小さいのが好ましい。これにより、光反射板１１３の板面の面積を大きくしつつ、軸部１２ａと軸部１２ｂとの間の距離を小さくすることができる。

枠体部１３は、枠状をなし、前述した可動ミラー部１１の基部１１１を囲んで設けられている。言い換えると、可動ミラー部１１の基部１１１は、枠状をなす枠体部１３の内側に設けられている。
そして、枠体部１３は、軸部１４ａ、１４ｂ、１４ｃ、１４ｄを介して支持部１５に支持されている。また、可動ミラー部１１の基部１１１は、軸部１２ａ、１２ｂを介して枠体部１３に支持されている。

また、枠体部１３は、Ｙ軸に沿った方向での長さがＸ軸に沿った方向での長さよりも長くなっている。すなわち、Ｙ軸に沿った方向における枠体部１３の長さをａとし、Ｘ軸に沿った方向における枠体部１３の長さをｂとしたとき、ａ＞ｂなる関係を満たす。これにより、軸部１２ａ、１２ｂに必要な長さを確保しつつ、Ｘ軸に沿った方向における光スキャナー１の長さを抑えることができる。

また、枠体部１３は、平面視にて、可動ミラー部１１の基部１１１および１対の軸部１２ａ、１２ｂからなる構造体の外形に沿った形状をなしている。これにより、可動ミラー部１１および１対の軸部１２ａ、１２ｂで構成された第１の振動系の振動、すなわち、可動ミラー部１１のＹ軸周りの揺動を許容しつつ、枠体部１３の小型化を図ることができる。
なお、枠体部１３の形状は、枠状であれば、図示のものに限定されず、例えば、内周縁および外周縁がそれぞれ四角形または円形をなすものであってもよい。

軸部１２ａ、１２ｂおよび軸部１４ａ、１４ｂ、１４ｃ、１４ｄは、それぞれ、弾性変形可能である。
そして、軸部１２ａ、１２ｂは、可動ミラー部１１をＹ軸（第１の軸）周りに揺動（回動）可能とするように、可動ミラー部１１と枠体部１３を連結している。また、軸部１４ａ、１４ｂ、１４ｃ、１４ｄは、枠体部１３をＹ軸に直交するＸ軸（第２の軸）周りに揺動（回動）可能とするように、枠体部１３と支持部１５を連結している。

軸部１２ａ、１２ｂは、可動ミラー部１１の基部１１１を介して互いに対向するように配置されている。また、軸部１２ａ、１２ｂは、それぞれ、Ｙ軸に沿った方向に延在する長手形状をなす。そして、軸部１２ａ、１２ｂは、それぞれ、一端部が基部１１１に接続され、他端部が枠体部１３に接続されている。また、軸部１２ａ、１２ｂは、それぞれ、中心軸がＹ軸に一致するように配置されている。
このように基部１１１をＹ軸周りに揺動可能に支持する軸部１２ａ、１２ｂは、それぞれ、可動ミラー部１１のＹ軸周りの揺動に伴ってねじれ変形する。

軸部１４ａ、１４ｂおよび軸部１４ｃ、１４ｄは、枠体部１３を介して互いに対向するように配置されている。また、軸部１４ａ、１４ｂ、１４ｃ、１４ｄは、それぞれ、Ｘ軸に沿った方向に延在する長手形状をなす。そして、軸部１４ａ、１４ｂ、１４ｃ、１４ｄは、それぞれ、一端部が枠体部１３に接続され、他端部が支持部１５に接続されている。また、軸部１４ａ、１４ｂは、Ｘ軸を介して互いに対向するように配置され、同様に、軸部１４ｃ、１４ｄは、Ｘ軸を介して互いに対向するように配置されている。
このように枠体部１３をＸ軸周りに揺動可能に支持する軸部１４ａ、１４ｂ、１４ｃ、１４ｄは、枠体部１３のＸ軸周りの揺動に伴って、軸部１４ａ、１４ｂ全体および軸部１４ｃ、１４ｄ全体がそれぞれねじれ変形する。

このように、可動ミラー部１１をＹ軸周りに揺動可能とするとともに、枠体部１３をＸ軸周りに揺動可能とすることにより、可動ミラー部１１（光反射板１１３）を互いに直交するＸ軸およびＹ軸の２軸周りに揺動（回動）させることができる。
なお、軸部１２ａ、１２ｂおよび軸部１４ａ、１４ｂ、１４ｃ、１４ｄの形状は、それぞれ、前述したものに限定されず、例えば、途中の少なくとも１箇所に屈曲または湾曲した部分や分岐した部分を有していてもよい。

このような軸部１２ａ、１２ｂおよび軸部１４ａ、１４ｂ、１４ｃ、１４ｄのうち、軸部１２ｂには、挙動検出センサー５１が設けられ、軸部１４ｃには、挙動検出センサー５２が設けられている。
挙動検出センサー５１は、軸部１２ｂのコイル３１側の面（上面）に設けられている。また、挙動検出センサー５２は、軸部１４ｃのコイル３１側の面（上面）に設けられている。

このような挙動検出センサー５１、５２を有する場合、支持部１５のコイル３１側の面に配置される配線および端子の数が多くなり、支持部１５のコイル３１側の面における配線および端子の配置の自由度が高いことが特に望まれる。そのため、かかる場合に本発明を適用することの効果が顕著となる。
挙動検出センサー５１は、主に、可動ミラー部１１のＹ軸周りの揺動に関する挙動（例えば、揺動角、周波数等）を検出するものである。一方、挙動検出センサー５２は、主に、可動ミラー部１１のＸ軸周りの揺動に関する挙動（例えば、揺動角、周波数等）を検出するものである。

このような挙動検出センサー５１、５２としては、例えば、ピエゾ抵抗素子を用いることができる。ピエゾ抵抗素子を用いた挙動検出センサー５１は、軸部１２ｂに生じる歪に基づいて、可動ミラー部１１のＹ軸周りの挙動を検出することができる。また、ピエゾ抵抗素子を用いた挙動検出センサー５２は、軸部１４ｃに生じる歪に基づいて、可動ミラー部１１のＸ軸周りの挙動を検出することができる。

より具体的に説明すると、ピエゾ抵抗素子を用いた挙動検出センサー５１、５２は、シリコンで構成された軸部１２ｂ、１４ｃにｎ型またはｐ型の不純物（リン、ボロン等）をドーピング（拡散あるいはイオン注入）することにより形成されたピエゾ抵抗領域と、ピエゾ抵抗領域に設けられた１対の入力電極および１対の出力電極とを有する。そして、１対の入力電極間に電圧を印加することにより、ピエゾ抵抗領域上に電界を生じさせる。その状態で、ピエゾ抵抗領域にせん断応力が生じると、そのせん断応力の程度に応じて、ピエゾ抵抗領域の比抵抗値が変化し、その変化に応じた電位差が１対の出力電極間に生じる。この電位差は、軸部１２ｂ、１４ｃの捩れ変形量や可動ミラー部１１の回動角に応じたものである。したがって、この電位差に基づき、可動ミラー部１１の挙動を検知することができる。
また、支持部１５のコイル３１側の面（上面）には、挙動検出センサー５１、５２およびコイル３１に配線（図示せず）を介して電気的に接続されている複数の端子６１が設けられている。

ここで、支持部１５のコイル３１とは反対側の面は、実装基板７０（配線基板）に例えば接着剤等により接合され、これにより、光スキャナー１が実装基板７０上に実装される。
実装基板７０には、複数の端子７１が設けられており、上述した複数の端子６１は、例えばボンディングワイヤーのような配線を介して、複数の端子７１に電気的に接続されている。
また、実装基板７０には、厚さ方向に貫通する貫通孔７２が形成されており、この貫通孔７２は、枠体部１３が実装基板７０に接触するのを防止する逃げ部を構成する。なお、かかる逃げ部は、上面に開放する有底の凹部で構成されていてもよい。

軸部１４ａ、１４ｂ、１４ｃ、１４ｄを支持する支持部１５は、平面視にて、枠体部１３を囲むように形成された枠状をなしている。なお、支持部１５の平面視形状は、これに限定されず、例えば、枠状の周方向での一部を欠損したような形状であってもよい。
前述したような基部１１１、軸部１２ａ、１２ｂ、枠体部１３、軸部１４ａ、１４ｂ、１４ｃ、１４ｄおよび支持部１５は、一体的に形成されている。

本実施形態では、基部１１１、軸部１２ａ、１２ｂ、枠体部１３、軸部１４ａ、１４ｂ、１４ｃ、１４ｄおよび支持部１５は、第１のＳｉ層（デバイス層）と、ＳｉＯ_２層（ボックス層）と、第２のＳｉ層（ハンドル層）とがこの順に積層したＳＯＩ基板をエッチングすることにより形成されている。これにより、第１の振動系および第２の振動系の振動特性を優れたものとすることができる。また、ＳＯＩ基板は、エッチングにより微細な加工が可能であるため、ＳＯＩ基板を用いて基部１１１、軸部１２ａ、１２ｂ、枠体部１３、軸部１４ａ、１４ｂ、１４ｃ、１４ｄおよび支持部１５を形成することにより、これらの寸法精度を優れたものとすることができ、また、光スキャナー１の小型化を図ることができる。

そして、基部１１１、軸部１２ａ、１２ｂ、枠体部１３、および軸部１４ａ、１４ｂ、１４ｃ、１４ｄは、それぞれ、ＳＯＩ基板の第１のＳｉ層で構成されている。これにより、軸部１２ａ、１２ｂおよび軸部１４ａ、１４ｂ、１４ｃ、１４ｄの弾性を優れたものとすることができる。また、基部１１１がＹ軸周りに回動する際に枠体部１３に接触するのを防止することができる。

また、支持部１５は、それぞれ、ＳＯＩ基板の第１のＳｉ層、ＳｉＯ_２層および第２のＳｉ層からなる積層体で構成されている。これにより、支持部１５の剛性を優れたものとすることができる。また、支持部１５の厚さ（Ｘ軸およびＹ軸に直交する方向での長さ）を基部１１１、軸部１２ａ、１２ｂおよび軸部１４ａ、１４ｂ、１４ｃ、１４ｄの厚さ（Ｘ軸およびＹ軸に直交する方向での長さ）よりも厚くすることで、第１の振動系および第２の振動系の振動特性を優れたものとしつつ、支持部１５の剛性を優れたものとし、光スキャナー１の製造時におけるハンドリング性を高めたり、軸部１４ａ、１４ｂ、１４ｃ、１４ｄの捩れ変形による支持部１５の変形を防止したりすることができる。本実施形態では、支持部１５の厚さは、枠体部１３の厚さよりも厚い。

なお、本実施形態では、枠体部１３をＳＯＩ基板の第１のＳｉ層で構成しているが、枠体部１３をＳＯＩ基板の第１のＳｉ層、ＳｉＯ_２層および第２のＳｉ層からなる積層体で構成してもよい。この場合、枠体部１３は、ＳＯＩ基板のＳｉＯ_２層および第２のＳｉ層からなるリブを有しているといえる。また、枠体部１３にリブが設けられる場合、リブの構成は上述のＳＯＩ基板による構成に限定されない。枠体部１３にリブが設けられる場合の、枠体部１３とリブの合計の厚さは、支持部１５と同じであっても異なっていてもよい。

また、平面視にて、支持部１５の上面のうち、光反射板１１３の外側に位置する部分には、反射防止処理が施されているのが好ましい。これにより、光反射板１１３以外に照射された不要光が迷光となるのを防止することができる。なお、光反射板１１３を小型化した場合、平面視にて、軸部１２ａ、１２ｂ、軸部１４ａ、１４ｂ、１４ｃ、１４ｄおよび枠体部１３の上面のうち、光反射板１１３の外側に位置する部分にも、反射防止処理が施されているのが好ましい。

かかる反射防止処理としては、特に限定されないが、例えば、反射防止膜（誘電体多層膜）の形成、粗面化処理、黒色処理等が挙げられる。
なお、前述した基部１１１、軸部１２ａ、１２ｂ、枠体部１３、軸部１４ａ、１４ｂ、１４ｃ、１４ｄおよび支持部１５の構成材料および形成方法は、一例であり、本発明は、これに限定されるものではない。

また、本実施形態では、スペーサー１１２および光反射板１１３も、ＳＯＩ基板をエッチングすることにより形成されている。そして、スペーサー１１２は、ＳＯＩ基板のＳｉＯ_２層および第２のＳｉ層からなる積層体で構成されている。また、光反射板１１３は、ＳＯＩ基板の第１のＳｉ層で構成されている。
このように、ＳＯＩ基板を用いてスペーサー１１２および光反射板１１３を形成することにより、互いに接合されたスペーサー１１２および光反射板１１３を簡単かつ高精度に製造することができる。
このようなスペーサー１１２は、例えば、接着剤、ろう材等の接合材（図示せず）により基部１１１に接合されている。

前述した軸部１４ａ、１４ｂ、１４ｃ、１４ｄを支持する枠体部１３の上面（光反射板１１３側の面）には、コイル３１が接合されている。
コイル３１は、枠体部１３の周方向に沿って形成された環状をなす。そのため、このコイル３１は、電圧が印加されることにより、枠体部１３の内側付近においてＸ軸およびＹ軸の双方に直交する方向の磁界を発生させる。

コイル３１と枠体部１３との接合方法としては、特に限定されないが、例えば、接着剤を用いた接合方法を用いることができる。
なお、コイル３１は、予めコイルの形態をなすものを枠体部１３に上述したような接合方法により接合したものであってもよいし、枠体部１３に公知の成膜法を用いてコイルの形状にパターニングすることにより形成されたものであってもよい。

このようなコイル３１は、電圧印加部４に電気的に接続されている。なお、電圧印加部４については、後に詳述する。
また、このようなコイル３１には、永久磁石２１からの磁界が作用する。ここで、永久磁石２１とコイル３１との間には、永久磁石２１からコイル３１への磁路を形成する軟磁性体２２が設けられている。そのため、永久磁石２１からの磁界の少なくとも一部は、軟磁性体２２を介してコイル３１に作用する。

なお、永久磁石２１は、磁極２１ａを有する永久磁石と、磁極２１ｂを有する永久磁石とからなる１対の永久磁石で構成されていてもよいし、磁極２１ａ、２１ｂを有する１つの永久磁石で構成されていてもよい。また、磁極２１ａ、２１ｂは、軟磁性体２２と接触していてもよい。さらに、磁極２１ａ、２１ｂと軟磁性体２２との間には、それぞれ、他の軟磁性体（コア、ヨーク）が設けられていてもよい。また、図示の例では、平面視にて、永久磁石２１の磁極２１ａと磁極２１ｂとを結ぶ線分がＸ軸およびＹ軸に対して傾斜しているが、永久磁石２１からの磁界を軟磁性体２２に導くことによって、後述するようなコイル３１に作用する磁界を生じさせることができれば、永久磁石２１の形状、配置等は特に限定されない。

このような永久磁石２１としては、例えば、ネオジム磁石、フェライト磁石、サマリウムコバルト磁石、アルニコ磁石、ボンド磁石等を好適に用いることができる。
軟磁性体２２は、支持部１５の下面に設けられている。すなわち、前述したコイル３１は、枠体部１３の一方の面側（上側）に設けられているが、軟磁性体２２は、支持部１５のコイル３１と反対の面側（上側）に設けられている。

そして、軟磁性体２２は、永久磁石２１の磁極２１ａ、２１ｂからコイル３１への磁路を形成する。
ここで、図２に示すように、支持部１５は、コイル３１とは反対の面側（下面側）から枠体部１３（可動部）に向かって、支持部１５の厚さ方向に直交する面（すなわち、Ｘ軸およびＹ軸に平行な面、以下、「ＸＹ平面」ともいう）に対して傾斜する傾斜面１５１を有する。言い換えると、支持部１５は、外側（枠体部１３とは反対側）から内側（枠体部１３側）に向けて、厚さが漸減する部分を有する。

この傾斜面１５１は、枠状の支持部１５の内周の全域に亘って形成されている。なお、傾斜面１５１は、枠状の支持部１５の内周の一部に形成されていてもよく、この場合、平面視にて、Ｘ軸およびＹ軸により分割された４つの領域のうち、少なくとも、磁極２１ａを含む領域と、磁極２１ｂを含む領域とに、それぞれ傾斜面１５１が設けられていればよい。
そして、軟磁性体２２は、支持部１５の下面のうちＸＹ平面に平行な部分に沿って設けられた第１部分２２１と、前述した傾斜面１５１に沿って（当接して）設けられた第２部分２２２とを有する。

このように軟磁性体２２の第２部分２２２が支持部１５の傾斜面１５１に沿って設けられていることにより、軟磁性体２２が支持部１５の下面側に設けられていても、Ｘ軸およびＹ軸に対して垂直な方向において軟磁性体２２の中心とコイル３１の中心とを一致または近づけることができる。そのため、永久磁石２１からの磁界を軟磁性体２２を介して効率的にコイル３１へ導くことができる。その結果、光スキャナー１の省電力化を図ることができる。

また、軟磁性体２２が支持部１５の下面側に設けられているので、支持部１５の上面における配線や端子の配置の自由度の低下を防止することができる。すなわち、支持部１５の上面における配線や端子の配置の自由度が高い。
ＸＹ平面に対する傾斜面１５１の傾斜角θ１は、支持部１５の厚さ、形状等に応じて決められるものであり、特に限定されないが、３０度以上６０度以下であることが好ましい。これにより、永久磁石２１からの磁界を軟磁性体２２を介して効率的にコイル３１へ導くことができる。

また、傾斜面１５１は、シリコンの結晶面で構成されていることが好ましい。これにより、簡単かつ高精度に傾斜面１５１を形成することができる。例えば、板面が（１００）面で構成されたシリコン基板を異方性エッチングにより加工して、支持部１５等を形成する場合、傾斜面１５１をシリコンの（１１１）面で構成することができる。この場合、傾斜角θ１は、５４．７３°である。

なお、図示では、傾斜面１５１は、平坦な面であるが、軟磁性体２２の第２部分２２２を支持部１５の下面から枠体部１３側に向けて傾斜して設置することができれば、微細な凹部または凸部が形成されていてもよいし、階段状をなすものであってもよい。また、傾斜面１５１は、湾曲した部分を有していてもよい。また、第２部分２２２は、図示では、傾斜面１５１に対して接触しているが、傾斜面１５１に対して非接触の部分を有していてもよい。また、傾斜面１５１と第２部分２２２との間には、例えば接着剤が介在していてもよい。

また、図５に示すように、平面視にて、軟磁性体２２は、Ｘ軸およびＹ軸に対して傾斜する方向に延在している。このような軟磁性体２２は、平面視にて、Ｘ軸およびＹ軸に対して傾斜した１対の縁部２２４、２２５を有する。これにより、平面視にて、永久磁石２１からの磁界の磁力線をコイル３１の内側に効率的に集中させることができる。
なお、図５では、説明の便宜上、軟磁性体２２の形成領域に網掛け模様を付している。

平面視におけるＹ軸に対する各縁部２２４、２２５の傾斜角θ２は、特に限定されないが、３０°以上６０°以下であるのが好ましく、４５°以上６０°以下であることがより好ましく、４５°であるのがさらに好ましい。これにより、後述するようなＸ軸およびＹ軸に対して傾斜する方向の磁界をコイル３１に効率的に作用させ、円滑かつ確実に可動ミラー部１１をＸ軸およびＹ軸の周りに回動させることができる。

また、軟磁性体２２には、平面視にて、コイル３１を包含する開口部２２３が形成されている。本実施形態では、開口部２２３は、支持部１５の内周に沿った内周を有する。
このような軟磁性体２２の開口部２２３内では、平面視にて、Ｘ軸およびＹ軸に対して傾斜する方向となる磁界が発生する。すなわち、永久磁石２１により軟磁性体２２の開口部２２３内に生じる磁界は、Ｘ軸に平行な方向成分と、Ｙ軸に平行な方向成分とを有する。

したがって、かかる磁界と枠体部１３に設けられたコイル３１の磁界との相互作用により、枠体部１３をＸ軸周りおよびＹ軸周りに搖動または振動させることができる。
しかも、軟磁性体２２が永久磁石２１からの磁界の磁力線をコイル３１の内側に集中させることができる。そのため、光スキャナー１の省電力化を図ることができる。
また、軟磁性体２２は、板状をなしている。なお、薄いシート状をなす軟磁性体や、後述する成膜法によって層状に成膜された軟磁性体についても、板状の範囲に含むこととする。これにより、低コスト化および小型化を図ることができる。

このような板状またはシート状をなす軟磁性体２２は、公知の成膜法を用いて支持部１５上に成膜することによって形成されたものであってもよいが、軟磁性体２２の厚さを容易かつ安価に厚くすることができることから、板状またはシート状の軟磁性体を打ち抜き加工したものを支持部１５上に接着剤等により固定したものであるのが好ましい。また、上述の成膜法と板状またはシート状の軟磁性体を接着する方法とを組み合わせても良い。例えば、支持部１５の第１部分２２１には板状またはシート状の軟磁性体を接着し、支持部１５の第２部分２２２には公知の成膜法によって軟磁性体を成膜して形成することができる。

また、軟磁性体２２の厚さは、それぞれ、特に限定されないが、コイル３１の厚さに対し、０．１倍以上３０倍以下であることが好ましく、具体的には、１μｍ以上１０００μｍ以下であることが好ましい。
なお、図示では、軟磁性体２２の厚さが全域において一定となっているが、厚さが異なる部分を有していてもよい。

また、軟磁性体２２は、軟磁性材料を主材料として構成されている。このような軟磁性材料としては、特に限定されず、例えば、Ｆｅ、各種Ｆｅ合金（ケイ素鉄、パーマロイ、アモルファス、センダスト）等が挙げられる。なお、軟磁性体２２は、全体として軟磁性体の特性を有すれば、軟磁性材料以外の材料が含まれていてもよい。
なお、軟磁性体２２は、磁極２１ａ側と磁極２１ｂ側とに２つに分離した形態であってもよい。すなわち、平面視にて、Ｘ軸およびＹ軸により分割された４つの領域のうち、少なくとも、磁極２１ａを含む領域と、磁極２１ｂを含む領域とに、それぞれ軟磁性体が設けられていてもよい。

ここで、コイル３１に電気的に接続された電圧印加部４について説明する。
電圧印加部４は、図３に示すように、可動ミラー部１１をＹ軸周りに回動させるための第１の電圧Ｖ_１を発生させる第１電圧発生部４１と、可動ミラー部１１をＸ軸周りに回動させるための第２の電圧Ｖ_２を発生させる第２電圧発生部４２と、第１の電圧Ｖ_１と第２の電圧Ｖ_２とを重畳する電圧重畳部４３とを備え、電圧重畳部４３で重畳した電圧をコイル３１に印加する。

第１電圧発生部４１は、図４（ａ）に示すように、周期Ｔ_１で周期的に変化する第１の電圧Ｖ_１（水平走査用電圧）を発生させるものである。すなわち、第１電圧発生部４１は、第１周波数（１／Ｔ_１）の第１の電圧Ｖ_１を発生させるものである。
第１の電圧Ｖ_１は、正弦波のような波形をなしている。そのため、光スキャナー１は効果的に光を主走査することができる。なお、第１の電圧Ｖ_１の波形は、これに限定されない。
また、第１周波数（１／Ｔ_１）は、水平走査に適した周波数であれば、特に限定されないが、１０〜４０ｋＨｚであるのが好ましい。

本実施形態では、第１周波数は、可動ミラー部１１および１対の軸部１２ａ、１２ｂで構成される第１の振動系（ねじり振動系）のねじり共振周波数（ｆ１）と等しくなるように設定されている。つまり、第１の振動系は、そのねじり共振周波数ｆ１が水平走査に適した周波数になるように設計（製造）されている。これにより、可動ミラー部１１のＹ軸周りの回動角を大きくすることができる。

一方、第２電圧発生部４２は、図４（ｂ）に示すように、周期Ｔ_１と異なる周期Ｔ_２で周期的に変化する第２の電圧Ｖ_２（垂直走査用電圧）を発生させるものである。すなわち、第２電圧発生部４２は、第２周波数（１／Ｔ_２）の第２の電圧Ｖ_２を発生させるものである。
第２の電圧Ｖ_２は、鋸波のような波形をなしている。そのため、光スキャナー１は効果的に光を垂直走査（副走査）することができる。なお、第２の電圧Ｖ_２の波形は、これに限定されない。

第２周波数（１／Ｔ_２）は、第１周波数（１／Ｔ_１）と異なり、かつ、垂直走査に適した周波数であれば、特に限定されないが、３０〜１２０Ｈｚ（６０Ｈｚ程度）であるのが好ましい。このように、第２の電圧Ｖ_２の周波数を６０Ｈｚ程度とし、前述したように第１の電圧Ｖ_１の周波数を１０〜４０ｋＨｚとすることで、ディスプレイでの描画に適した周波数で、可動ミラー部１１を互いに直交する２軸（Ｘ軸およびＹ軸）のそれぞれの軸周りに回動させることができる。ただし、可動ミラー部１１をＸ軸およびＹ軸のそれぞれの軸周りに回動させることができれば、第１の電圧Ｖ_１の周波数と第２の電圧Ｖ_２の周波数との組み合わせは、特に限定されない。

本実施形態では、第２の電圧Ｖ_２の周波数は、可動ミラー部１１、１対の軸部１２ａ、１２ｂ、枠体部１３、２対の軸部１４ａ、１４ｂ、１４ｃ、１４ｄおよびコイル３１で構成された第２の振動系（ねじり振動系）のねじり共振周波数（共振周波数）と異なる周波数となるように調整されている。
このような第２の電圧Ｖ_２の周波数（第２周波数）は、第１の電圧Ｖ_１の周波数（第１周波数）よりも小さいことが好ましい。すなわち、周期Ｔ_２は、周期Ｔ_１よりも長いことが好ましい。これにより、より確実かつより円滑に、可動ミラー部１１をＹ軸周りに第１周波数で回動させつつ、Ｘ軸周りに第２周波数で回動させることができる。

また、第１の振動系のねじり共振周波数をｆ１［Ｈｚ］とし、第２の振動系のねじり共振周波数をｆ２［Ｈｚ］としたとき、ｆ１とｆ２とが、ｆ２＜ｆ１の関係を満たすことが好ましく、ｆ１≧１０ｆ２の関係を満たすことがより好ましい。これにより、より円滑に、可動ミラー部１１を、Ｙ軸周りに第１の電圧Ｖ_１の周波数で回動させつつ、Ｘ軸周りに第２の電圧Ｖ_２の周波数で回動させることができる。これに対し、ｆ１≦ｆ２とした場合は、第２周波数による第１の振動系の振動が起こる可能性がある。

このような第１電圧発生部４１および第２電圧発生部４２は、それぞれ、制御部７に接続され、この制御部７からの信号に基づき駆動する。このような第１電圧発生部４１および第２電圧発生部４２には、電圧重畳部４３が接続されている。
電圧重畳部４３は、コイル３１に電圧を印加するための加算器４３ａを備えている。加算器４３ａは、第１電圧発生部４１から第１の電圧Ｖ_１を受けるとともに、第２電圧発生部４２から第２の電圧Ｖ_２を受け、これらの電圧を重畳しコイル３１に印加するようになっている。

次に、光スキャナー１の駆動方法について説明する。なお、本実施形態では、前述したように、第１の電圧Ｖ_１の周波数は、第１の振動系のねじり共振周波数と等しく設定されており、第２の電圧Ｖ_２の周波数は、第２の振動系のねじり共振周波数と異なる値に、かつ、第１の電圧Ｖ_１の周波数よりも小さくなるように設定されている（例えば、第１の電圧Ｖ_１の周波数が１８ｋＨｚ、第２の電圧Ｖ_２の周波数が６０Ｈｚに設定されている）。

例えば、図４（ａ）に示すような第１の電圧Ｖ_１と、図４（ｂ）に示すような第２の電圧Ｖ_２とを電圧重畳部４３にて重畳し、重畳した電圧をコイル３１に印加する。
すると、第１の電圧Ｖ_１によって、コイル３１の一方の面側（上側）を永久磁石２１の一方の磁極２１ａ側（Ｓ極側）に引き付けようとするとともに、コイル３１の他方の面側（下側）を永久磁石２１の他方の磁極２１ｂ側（Ｎ極側）に引き付けようとする磁界（この磁界を「磁界Ａ１」という）と、コイル３１の一方の面側（上側）を永久磁石２１の他方の磁極２１ｂ側（Ｎ極側）に引き付けようとするとともに、コイル３１の他方の面側（下側）を永久磁石２１の一方の磁極２１ａ側（Ｓ極側）に引き付けようとする磁界（この磁界を「磁界Ａ２」という）とが交互に切り換わる。

ここで、上述したように、永久磁石２１によりコイル３１に作用する磁界は、平面視にて、Ｘ軸およびＹ軸に対して傾斜している。したがって、永久磁石２１によりコイル３１に作用する磁界は、Ｘ軸に平行な成分を有する。そのため、磁界Ａ１と磁界Ａ２とが交互に切り換わることで、枠体部１３にＹ軸周りのねじり振動成分を有する振動が励振され、その振動に伴って、軸部１２ａ、１２ｂを捩れ変形させつつ、可動ミラー部１１が第１の電圧Ｖ_１の周波数でＹ軸まわりに回動する。

また、第１の電圧Ｖ_１の周波数は、第１の振動系のねじり共振周波数と等しい。そのため、第１の電圧Ｖ_１によって、効率的に、可動ミラー部１１をＹ軸周りに回動させることができる。すなわち、前述した枠体部１３のＹ軸周りのねじり振動成分を有する振動が小さくても、その振動に伴う可動ミラー部１１のＹ軸周りの回動角を大きくすることができる。

一方、第２の電圧Ｖ_２によって、コイル３１の一方の面側（上側）を永久磁石２１の一方の磁極２１ａ側（Ｓ極側）に引き付けようとするとともに、コイル３１の他方の面側（下側）を永久磁石２１の他方の磁極２１ｂ側（Ｎ極側）に引き付けようとする磁界（この磁界を「磁界Ｂ１」という）と、コイル３１の一方の面側（上側）を永久磁石２１の他方の磁極２１ｂ側（Ｎ極側）に引き付けようとするとともに、コイル３１の他方の面側（下側）を永久磁石２１の一方の磁極２１ａ側（Ｓ極側）に引き付けようとする磁界（この磁界を「磁界Ｂ２」という）とが交互に切り換わる。

ここで、上述したように、永久磁石２１によりコイル３１に作用する磁界は、平面視にて、Ｘ軸およびＹ軸に対して傾斜している。したがって、永久磁石２１によりコイル３１に作用する磁界は、Ｙ軸に平行な成分を有する。そのため、磁界Ｂ１と磁界Ｂ２とが交互に切り換わることで、軸部１４ａ、１４ｂおよび軸部１４ｃ、１４ｄをそれぞれ捩れ変形させつつ、枠体部１３が可動ミラー部１１とともに、第２の電圧Ｖ_２の周波数でＸ軸周りに回動する。
また、第２の電圧Ｖ_２の周波数は、第１の電圧Ｖ_１の周波数に比べて極めて低く設定されている。また、第２の振動系のねじり共振周波数は、第１の振動系のねじり共振周波数よりも低く設計されている。そのため、可動ミラー部１１が第２の電圧Ｖ_２の周波数でＹ軸周りに回動してしまうことを防止することができる。

以上説明したように、第１の電圧Ｖ_１と第２の電圧Ｖ_２とを重畳させた電圧をコイル３１に印加することで、可動ミラー部１１を、Ｙ軸周りに第１の電圧Ｖ_１の周波数で回動させつつ、Ｘ軸周りに第２の電圧のＶ_２の周波数で回動させることができる。これにより、装置の低コスト化および小型化を図るとともに、電磁駆動方式（ムービングコイル方式）により、可動ミラー部１１をＸ軸およびＹ軸のそれぞれの軸周りに回動させることができる。また、駆動源を構成する部品（永久磁石およびコイル）の数を少なくすることができるため、簡単かつ小型な構成とすることができる。
以上説明したような光スキャナー１によれば、ムービングコイル方式を採用する光スキャナー（アクチュエーター）において、コイル３１等への配線の配置の自由度の低下を防止しつつ、省電力化を図ることができる。

＜第２実施形態＞
次に、本発明の第２実施形態について説明する。
図６は、本発明のアクチュエーター（光スキャナー）の第２実施形態を示す平面図、図７は、図６に示すアクチュエーターの断面図（Ｘ軸に沿った断面図）である。なお、以下では、説明の便宜上、図６中の上側を「上」、下側を「下」と言う。

以下、第２実施形態について、前述した第１実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項については、その説明を省略する。なお、図６および図７において、前述した実施形態と同様の構成については、同一符号を付している。
本実施形態のアクチュエーターは、可動ミラー部の構成が異なる以外は、前述した第１実施形態のアクチュエーターと同様である。

図６および図７に示すように、第２実施形態の光スキャナー１Ａは、可動ミラー部１１Ａを有する。
可動ミラー部１１Ａは、基部（可動部）１１１と、スペーサー１１２Ａを介して基部１１１に固定された光反射板１１３とを有する。
本実施形態では、図７に示すように、光反射板１１３は、スペーサー１１２Ａを介して、基部１１１のコイル３１とは反対側の面に固定されている。

これにより、支持部１５のコイル３１側の面を実装基板７０Ａ（配線用基板）に接合することにより、光スキャナー１Ａを実装基板７０Ａに実装することができる。その際、支持部１５のコイル３１側の面に設けられた端子６１と、実装基板７０Ａの端子７１との電気的接続も同時に行うことができる。そのため、実装基板７０Ａに対する光スキャナー１Ａの実装を容易なものとすることができる。

端子６１と端子７１との電気的接続は、例えば、半田による接合、金属間の直接接合、導電性接着剤による接合により行うことができる。なお、図示では、支持部１５と実装基板７０Ａとの接合（固定）は、接着剤８により行われているが、接着剤８を省略してもよい。
ここで、支持部１５は、前述した第１実施形態とは表裏反転した状態で、実装基板７０Ａに接合されている。

そして、支持部１５の傾斜面１５１は、光反射板１１３と支持部１５との接触を防止する逃げ部としても機能する。これにより、光反射板１１３を基部１１１のコイル３１とは反対側の面に固定しても、光反射板１１３と枠体部１３（可動部）との離間距離を抑えつつ、光反射板１１３の板面の面積を大きくすることができる。
以上説明したような第２実施形態の光スキャナー１Ａによっても、ムービングコイル方式を採用する光スキャナー（アクチュエーター）において、コイル３１等への配線の配置の自由度の低下を防止しつつ、省電力化を図ることができる。

＜第３実施形態＞
次に、本発明の第２実施形態について説明する。
図８は、本発明のアクチュエーター（光スキャナー）の第３実施形態を示す断面図である。なお、以下では、説明の便宜上、図８中の上側を「上」、下側を「下」と言う。
以下、第３実施形態について、前述した第１実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項については、その説明を省略する。なお、図８において、前述した実施形態と同様の構成については、同一符号を付している。

本実施形態のアクチュエーターは、光反射板の光反射部とは反対側の面にも軟磁性体を設けた以外は、前述した第１実施形態のアクチュエーターと同様である。
図８に示すように、第３実施形態の光スキャナー１Ｂは、可動ミラー部１１Ｂを有する。
可動ミラー部１１Ｂは、基部（第１可動部）１１１と、スペーサー１１２を介して基部１１１に固定された光反射板１１３と、光反射板１１３に設けられた軟磁性体１１６とを有する。

本実施形態では、図８に示すように、軟磁性体１１６は、シート状または板状をなし、光反射板１１３の光反射部１１４とは反対側の面（下面）に設けられている。ここで、光反射板１１３の光反射部１１４とは反対側の面には、硬質層１１５が設けられ、軟磁性体１１６は、硬質層１１５上に設けられている。
なお、硬質層１１５は、省略することができ、また、軟磁性体１１６が硬質層としての機能を有していてもよい。

この軟磁性体１１６は、光反射板１１３の下面のうち、スペーサー１１２との接合部を除く全域に設けられている。これにより、永久磁石２１からコイル３１へ作用する磁界の磁力線の数を多くすることができる。なお、軟磁性体１１６は、光反射板１１３の下面とスペーサー１１２との間にも設けられていてもよい。
以上説明したような第３実施形態の光スキャナー１Ｂによっても、ムービングコイル方式を採用する光スキャナー（アクチュエーター）において、コイル３１等への配線の配置の自由度の低下を防止しつつ、省電力化を図ることができる。

以上説明したような光スキャナー１、１Ａ、１Ｂは、それぞれ、例えば、プロジェクター、ヘッドアップディスプレイ（ＨＵＤ）、ヘッドマウントディスプレイ（ＨＭＤ）のようなイメージング用ディスプレイ等の画像表示装置が備える光スキャナーに好適に適用することができる。このような画像表示装置によれば、ムービングコイル方式により２次元的に光を走査する光スキャナーの省電力化を図ることができる。

＜画像表示装置の実施形態＞
図９は、本発明の画像表示装置の実施形態を模式的に示す図である。
本実施形態では、画像表示装置の一例として、光スキャナー１をイメージング用ディスプレイの光スキャナーとして用いた場合を説明する。なお、スクリーンＳの長手方向を「横方向」といい、長手方向に直角な方向を「縦方向」という。また、Ｘ軸がスクリーンＳの横方向と平行であり、Ｙ軸がスクリーンＳの縦方向と平行である。

画像表示装置（プロジェクター）９は、レーザーなどの光を照出する光源装置（光源）９１と、複数のダイクロイックミラー９２Ａ、９２Ｂ、９２Ｃと、光スキャナー１とを有している。
光源装置９１は、赤色光を照出する赤色光源装置９１１と、青色光を照出する青色光源装置９１２と、緑色光を照出する緑色光源装置９１３とを備えている。

各ダイクロイックミラー９２Ａ、９２Ｂ、９２Ｃは、赤色光源装置９１１、青色光源装置９１２、緑色光源装置９１３のそれぞれから照出された光を合成する光学素子である。
このような画像表示装置９は、図示しないホストコンピューターからの画像情報に基づいて、光源装置９１（赤色光源装置９１１、青色光源装置９１２、緑色光源装置９１３）から照出された光をダイクロイックミラー９２Ａ、９２Ｂ、９２Ｃでそれぞれ合成し、この合成された光が光スキャナー１によって２次元走査され、スクリーンＳ上でカラー画像を形成するように構成されている。

２次元走査の際、光スキャナー１の可動ミラー部１１のＹ軸周りの回動により光反射部１１４で反射した光がスクリーンＳの横方向に走査（主走査）される。一方、光スキャナー１の可動ミラー部１１のＸ軸周りの回動により光反射部１１４で反射した光がスクリーンＳの縦方向に走査（副走査）される。
なお、図９中では、ダイクロイックミラー９２Ａ、９２Ｂ、９２Ｃで合成された光を光スキャナー１によって２次元的に走査した後、その光を固定ミラー９３で反射させてからスクリーンＳに画像を形成するように構成されているが、固定ミラー９３を省略し、光スキャナー１によって２次元的に走査された光を直接スクリーンＳに照射してもよい。

以下に、画像表示装置の応用例について説明する。
＜画像表示装置の応用例１＞
図１０は、本発明の画像表示装置の応用例１を示す斜視図である。
図１０に示すように、画像表示装置９は、携帯用画像表示装置１００に適用することができる。

この携帯用画像表示装置１００は、手で把持することができる寸法で形成されたケーシング１１０と、ケーシング１１０内に内蔵された画像表示装置９とを有している。この携帯用画像表示装置１００により、例えば、スクリーンや、デスク上等の所定の面に、所定の画像を表示することができる。
また、携帯用画像表示装置１００は、所定の情報を表示するディスプレイ１２０と、キーパット１３０と、オーディオポート１４０と、コントロールボタン１５０と、カードスロット１６０と、ＡＶポート１７０とを有している。
なお、携帯用画像表示装置１００は、通話機能、ＧＳＰ受信機能等の他の機能を備えていてもよい。

＜画像表示装置の応用例２＞
図１１は、本発明の画像表示装置の応用例２を示す斜視図である。
図１１に示すように、画像表示装置９は、ヘッドアップディスプレイシステム２００に適用することができる。
このヘッドアップディスプレイシステム２００では、画像表示装置９は、自動車のダッシュボードに、ヘッドアップディスプレイ２１０を構成するよう搭載されている。このヘッドアップディスプレイ２１０により、フロントガラス２２０に、例えば、目的地までの案内表示等の所定の画像を表示することができる。
なお、ヘッドアップディスプレイシステム２００は、自動車に限らず、例えば、航空機、船舶等にも適用することができる。

＜画像表示装置の応用例３＞
図１２は、本発明の画像表示装置の応用例３を示す斜視図である。
図１２に示すように、画像表示装置９は、ヘッドマウントディスプレイ３００に適用することができる。
すなわち、ヘッドマウントディスプレイ３００は、眼鏡３１０と、眼鏡３１０に搭載された画像表示装置９とを有している。そして、画像表示装置９により、眼鏡３１０の本来レンズである部位に設けられた表示部３２０に、一方の目で視認される所定の画像を表示する。

表示部３２０は、透明であってもよく、また、不透明であってもよい。表示部３２０が透明な場合は、現実世界からの情報に画像表示装置９からの情報を上乗せして使用することができる。
なお、ヘッドマウントディスプレイ３００に、２つ画像表示装置９を設け、両方の目で視認される画像を、２つの表示部に表示するようにしてもよい。

以上、本発明のアクチュエーター、光スキャナー、画像表示装置およびヘッドマウントディスプレイについて、図示の実施形態に基づいて説明したが、本発明はこれに限定されるものではない。例えば、本発明のアクチュエーター、光スキャナー、画像表示装置およびヘッドマウントディスプレイでは、各部の構成は、同様の機能を有する任意の構成のものに置換することができ、また、他の任意の構成を付加することもできる。

また、本発明は、前記各実施形態のうちの、任意の２以上の構成（特徴）を組み合わせたものであってもよい。
また、前述した実施形態では、第１軸部が２つ（１対）設けられている場合を例に説明したが、これに限定されず、例えば、第１軸部が４つ（２対）以上設けられていてもよい。

また、前述した実施形態では、第１軸部が第１の軸に平行な方向に延在している場合を例に説明したが、これに限定されず、第１軸部が第１の軸に対して傾斜した方向に延在していてもよい。
また、前述した実施形態では、第２軸部が４つ（２対）設けられている場合を例に説明したが、これに限定されず、例えば、第２軸部が２つ（１対）または６つ（３対）以上であってもよい。

また、前述した実施形態では、第２軸部が第２の軸に平行な方向に延在している場合を例に説明したが、これに限定されず、第２軸部が第２の軸に対して傾斜した方向に延在していてもよい。
また、前述した実施形態では、第１軸部および第２軸部の幅がそれぞれ長手方向での全域で一定となっている場合を例に説明したが、これに限定されず、第１軸部および第２軸部は、幅が異なる部分を有していてもよい。

また、前述した実施形態では、平面視にて光反射板が第１軸部全体、枠体部全体および第２軸部全体を覆う場合を例に説明したが、平面視にて光反射板が第１軸部の少なくとも一部（可動ミラー部の基部側の端部）が覆われていれば、前述したような光学デバイスの小型化、光反射板の大面積化、光反射板の動撓みの防止、第１軸部の基部側の端部による迷光の防止等の効果を奏することができる。

また、前述した実施形態では、ＳＯＩ基板を加工することにより光反射板およびスペーサーを形成した場合を例に説明したが、これに限定されず、例えば、光反射板およびスペーサーを別々の基板から形成してもよい。
また、光反射板と基部との間のスペーサーは、ハンダボールであってもよい。この場合、例えば、光反射板および基部のスペーサー側の面にそれぞれ金属膜を形成しておき、これらの金属膜同士をハンダボールを介して接合すればよい。

また、前述した実施形態では、本発明のアクチュエーターを光スキャナーに適用した場合を例に説明したが、これに限定されず、本発明のアクチュエーターは、例えば、光スイッチ、光アッテネータ等の他の光学デバイスにも適用可能である。
また、前述した実施形態では、枠体部にのみコイルを設け、周波数の異なる２つの電圧を重畳した電圧をコイルに印加することにより、可動部を第１の軸周りおよび第２の軸周りにそれぞれ揺動させる場合を例に説明した。しかし、これに限定されず、例えば、可動部にもコイルを設け、可動部のコイルに第１周波数の電圧を印加し、枠体部のコイルに第１周波数と異なる第２周波数の電圧を印加することによっても、可動部を第１の軸周りおよび第２の軸周りにそれぞれ揺動させることができる。

また、前述した実施形態では、光スキャナーに適用した場合に、光を２次元的に走査可能な構造（ジンバル構造）を有するアクチュエーターについて代表的に説明したが、本発明は、これに限定されず、ムービングコイル方式を採用するねじり振動系の各種アクチュエーターに適用可能である。例えば、可動部を１つの軸周りに揺動させるアクチュエーターにも本発明は適用可能であり、かかるアクチュエーターを光スキャナーに適用する場合、可動部に光反射部を設ければよい。

１‥‥光スキャナー １Ａ‥‥光スキャナー １Ｂ‥‥光スキャナー ４‥‥電圧印加部 ７‥‥制御部 ９‥‥画像表示装置 １１‥‥可動ミラー部 １１Ａ‥‥可動ミラー部 １１Ｂ‥‥可動ミラー部 １２ａ‥‥軸部（第１軸部） １２ｂ‥‥軸部（第１軸部） １３‥‥枠体部（第２可動部、可動部） １４ａ‥‥軸部（第２軸部） １４ｂ‥‥軸部（第２軸部） １４ｃ‥‥軸部（第２軸部） １４ｄ‥‥軸部（第２軸部） １５‥‥支持部 ２１‥‥永久磁石 ２１ａ‥‥磁極 ２１ｂ‥‥磁極 ２２‥‥軟磁性体 ３１‥‥コイル ４１‥‥第１電圧発生部 ４２‥‥第２電圧発生部 ４３‥‥電圧重畳部 ４３ａ‥‥加算器 ５１‥‥挙動検出センサー ５２‥‥挙動検出センサー ６１‥‥端子 ７０‥‥実装基板 ７０Ａ‥‥実装基板 ７１‥‥端子 ７２‥‥貫通孔 ８１‥‥接着剤 ９１‥‥光源装置 ９２Ａ‥‥ダイクロイックミラー ９２Ｂ‥‥ダイクロイックミラー ９２Ｃ‥‥ダイクロイックミラー ９３‥‥固定ミラー １００‥‥携帯用画像表示装置 １１０‥‥ケーシング １１１‥‥基部 １１２‥‥スペーサー １１２Ａ‥‥スペーサー １１３‥‥光反射板 １１４‥‥光反射部 １１５‥‥硬質層 １１６‥‥軟磁性体 １２０‥‥ディスプレイ １３０‥‥キーパット １４０‥‥オーディオポート １５０‥‥コントロールボタン １５１‥‥傾斜面 １６０‥‥カードスロット １７０‥‥ポート ２００‥‥ヘッドアップディスプレイシステム ２１０‥‥ヘッドアップディスプレイ ２２０‥‥フロントガラス ２２１‥‥第１部分 ２２２‥‥第２部分 ２２３‥‥開口部 ２２４‥‥縁部 ２２５‥‥縁部 ３００‥‥ヘッドマウントディスプレイ ３１０‥‥眼鏡 ３２０‥‥表示部 ９１１‥‥赤色光源装置 ９１２‥‥青色光源装置 ９１３‥‥緑色光源装置 Ｓ‥‥スクリーン Ｔ_１‥‥周期 Ｔ_２‥‥周期 Ｖ_１‥‥第１の電圧 Ｖ_２‥‥第２の電圧 θ１‥‥傾斜角 θ２‥‥傾斜角

Claims (13)

1. 所定の軸周りに揺動可能な可動部と、
   前記可動部を前記所定の軸周りに揺動可能に支持する軸部と、
   前記軸部の厚さよりも厚く形成され、前記軸部を支持する支持部と、
   前記可動部に設けられたコイルと、
   前記コイルに作用する磁界を発生させる永久磁石と、
   前記支持部に設けられ、前記永久磁石から前記コイルへの磁路を形成する軟磁性体と、を備え、
   前記支持部は、前記支持部の前記コイルとは反対側の面から前記可動部側に向かって、前記支持部の厚さ方向に直交する面に対して傾斜する傾斜面を有し、
   前記軟磁性体は、前記傾斜面に当接する部分を有することを特徴とするアクチュエーター。
2. 前記軸部の前記コイル側の面に設けられ、前記可動部の挙動を検出する挙動検出センサーをさらに備える請求項１に記載のアクチュエーター。
3. 第１の軸周りに揺動可能な第１可動部と、
   前記第１の可動部を前記第１の軸周りに揺動可能に支持する第１軸部と、をさらに備え、
   前記可動部は、前記第１可動部を囲んで設けられ、前記第１軸部を支持するとともに、前記第１の軸に交差する第２の軸周りに揺動可能な枠状の第２可動部を構成し、
   前記軸部は、前記第２可動部を前記第２の軸周りに揺動可能に支持する第２軸部を構成する請求項１または２に記載のアクチュエーター。
4. 前記第１可動部に固定され、かつ光反射性を有する光反射部が設けられた光反射板をさらに備え、
   前記光反射板は、前記第１軸部に対して前記光反射板の板厚方向に離間するとともに、前記板厚方向からみたときに前記第１軸部の少なくとも一部と重なって設けられている請求項３に記載のアクチュエーター。
5. 前記光反射板は、前記第１可動部の前記コイル側の面に固定されている請求項４に記載のアクチュエーター。
6. 前記光反射板の前記光反射部とは反対側の面には、軟磁性体が設けられている請求項５に記載のアクチュエーター。
7. 前記光反射板は、前記第１可動部の前記コイルとは反対側の面に固定されている請求項４に記載のアクチュエーター。
8. 前記支持部に設けられた前記軟磁性体は、前記第１の軸および前記第２の軸に対して垂直な方向からみた平面視にて、前記第１の軸および前記第２の軸に対して傾斜した縁部を有する請求項１ないし７のいずれか一項に記載のアクチュエーター。
9. 前記軟磁性体は、板状をなす請求項１ないし８のいずれか一項に記載のアクチュエーター。
10. 光反射性を有する光反射部が設けられ、所定の軸周りに揺動可能な可動部と、
    前記可動部を前記所定の軸周りに揺動可能に支持する軸部と、
    前記軸部の厚さよりも厚く形成され、前記軸部を支持する支持部と、
    前記可動部に設けられたコイルと、
    前記コイルに作用する磁界を発生させる永久磁石と、
    前記支持部に設けられ、前記永久磁石から前記コイルへの磁路を形成する軟磁性体と、を備え、
    前記支持部は、前記支持部の前記コイルとは反対側の面から前記可動部側に向かって、前記支持部の厚さ方向に直交する面に対して傾斜する傾斜面を有し、
    前記軟磁性体は、前記傾斜面に当接する部分を有することを特徴とする光スキャナー。
11. 光反射性を有する光反射部が設けられ、第１の軸周りに揺動可能な第１可動部と、
    前記第１可動部を前記第１の軸周りに揺動可能に支持する第１軸部と、
    前記第１可動部を囲んで設けられ、前記第１軸部を支持するとともに、前記第１の軸に交差する第２の軸周りに揺動可能な枠状の第２可動部と、
    前記第２可動部を前記第２の軸周りに揺動可能に支持する第２軸部と、
    前記第２軸部の厚さよりも厚く形成され、前記第２軸部を支持する支持部と、
    前記第２可動部に設けられたコイルと、
    前記コイルに作用する磁界を発生させる永久磁石と、
    前記支持部に設けられ、前記永久磁石から前記コイルへの磁路を形成する軟磁性体と、を備え、
    前記支持部は、前記支持部の前記コイルとは反対側の面から前記第２可動部側に向かって、前記支持部の厚さ方向に直交する面に対して傾斜する傾斜面を有し、
    前記軟磁性体は、前記傾斜面に当接する部分を有することを特徴とする光スキャナー。
12. 光反射性を有する光反射部が設けられ、第１の軸周りに揺動可能な第１可動部と、
    前記第１可動部を前記第１の軸周りに揺動可能に支持する第１軸部と、
    前記第１可動部を囲んで設けられ、前記第１軸部を支持するとともに、前記第１の軸に交差する第２の軸周りに揺動可能な枠状の第２可動部と、
    前記第２可動部を前記第２の軸周りに揺動可能に支持する第２軸部と、
    前記第２軸部の厚さよりも厚く形成され、前記第２軸部を支持する支持部と、
    前記第２可動部に設けられたコイルと、
    前記コイルに作用する磁界を発生させる永久磁石と、
    前記支持部に設けられ、前記永久磁石から前記コイルへの磁路を形成する軟磁性体と、を備え、
    前記支持部は、前記支持部の前記コイルとは反対側の面から前記第２可動部側に向かって、前記支持部の厚さ方向に直交する面に対して傾斜する傾斜面を有し、
    前記軟磁性体は、前記傾斜面に当接する部分を有することを特徴とする画像表示装置。
13. 光反射性を有する光反射部が設けられ、第１の軸周りに揺動可能な第１可動部と、
    前記第１可動部を前記第１の軸周りに揺動可能に支持する第１軸部と、
    前記第１可動部を囲んで設けられ、前記第１軸部を支持するとともに、前記第１の軸に交差する第２の軸周りに揺動可能な枠状の第２可動部と、
    前記第２可動部を前記第２の軸周りに揺動可能に支持する第２軸部と、
    前記第２軸部の厚さよりも厚く形成され、前記第２軸部を支持する支持部と、
    前記第２可動部に設けられたコイルと、
    前記コイルに作用する磁界を発生させる永久磁石と、
    前記支持部に設けられ、前記永久磁石から前記コイルへの磁路を形成する軟磁性体と、を備え、
    前記支持部は、前記支持部の前記コイルとは反対側の面から前記第２可動部側に向かって、前記支持部の厚さ方向に直交する面に対して傾斜する傾斜面を有し、
    前記軟磁性体は、前記傾斜面に当接する部分を有することを特徴とするヘッドマウントディスプレイ。

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