JP2019101234A - アクチュエータ装置 - Google Patents
アクチュエータ装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2019101234A JP2019101234A JP2017232060A JP2017232060A JP2019101234A JP 2019101234 A JP2019101234 A JP 2019101234A JP 2017232060 A JP2017232060 A JP 2017232060A JP 2017232060 A JP2017232060 A JP 2017232060A JP 2019101234 A JP2019101234 A JP 2019101234A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- axis
- pair
- movable portion
- portions
- linear
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B81—MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
- B81B—MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICAL DEVICES
- B81B3/00—Devices comprising flexible or deformable elements, e.g. comprising elastic tongues or membranes
- B81B3/0018—Structures acting upon the moving or flexible element for transforming energy into mechanical movement or vice versa, i.e. actuators, sensors, generators
- B81B3/0021—Transducers for transforming electrical into mechanical energy or vice versa
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B26/00—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
- G02B26/08—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light
- G02B26/0816—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light by means of one or more reflecting elements
- G02B26/0833—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light by means of one or more reflecting elements the reflecting element being a micromechanical device, e.g. a MEMS mirror, DMD
- G02B26/085—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light by means of one or more reflecting elements the reflecting element being a micromechanical device, e.g. a MEMS mirror, DMD the reflecting means being moved or deformed by electromagnetic means
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B06—GENERATING OR TRANSMITTING MECHANICAL VIBRATIONS IN GENERAL
- B06B—METHODS OR APPARATUS FOR GENERATING OR TRANSMITTING MECHANICAL VIBRATIONS OF INFRASONIC, SONIC, OR ULTRASONIC FREQUENCY, e.g. FOR PERFORMING MECHANICAL WORK IN GENERAL
- B06B1/00—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency
- B06B1/02—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy
- B06B1/04—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy operating with electromagnetism
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B81—MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
- B81B—MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICAL DEVICES
- B81B3/00—Devices comprising flexible or deformable elements, e.g. comprising elastic tongues or membranes
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B81—MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
- B81B—MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICAL DEVICES
- B81B3/00—Devices comprising flexible or deformable elements, e.g. comprising elastic tongues or membranes
- B81B3/0035—Constitution or structural means for controlling the movement of the flexible or deformable elements
- B81B3/004—Angular deflection
- B81B3/0045—Improve properties related to angular swinging, e.g. control resonance frequency
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B26/00—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
- G02B26/02—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the intensity of light
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B26/00—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
- G02B26/08—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light
- G02B26/10—Scanning systems
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02K—DYNAMO-ELECTRIC MACHINES
- H02K33/00—Motors with reciprocating, oscillating or vibrating magnet, armature or coil system
- H02K33/02—Motors with reciprocating, oscillating or vibrating magnet, armature or coil system with armatures moved one way by energisation of a single coil system and returned by mechanical force, e.g. by springs
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02K—DYNAMO-ELECTRIC MACHINES
- H02K33/00—Motors with reciprocating, oscillating or vibrating magnet, armature or coil system
- H02K33/18—Motors with reciprocating, oscillating or vibrating magnet, armature or coil system with coil systems moving upon intermittent or reversed energisation thereof by interaction with a fixed field system, e.g. permanent magnets
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B81—MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
- B81B—MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICAL DEVICES
- B81B2201/00—Specific applications of microelectromechanical systems
- B81B2201/04—Optical MEMS
- B81B2201/045—Optical switches
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B26/00—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
- G02B26/08—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light
- G02B26/10—Scanning systems
- G02B26/101—Scanning systems with both horizontal and vertical deflecting means, e.g. raster or XY scanners
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02K—DYNAMO-ELECTRIC MACHINES
- H02K11/00—Structural association of dynamo-electric machines with electric components or with devices for shielding, monitoring or protection
- H02K11/20—Structural association of dynamo-electric machines with electric components or with devices for shielding, monitoring or protection for measuring, monitoring, testing, protecting or switching
- H02K11/25—Devices for sensing temperature, or actuated thereby
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Micromachines (AREA)
- Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)
- Mechanical Light Control Or Optical Switches (AREA)
- Apparatuses For Generation Of Mechanical Vibrations (AREA)
- Reciprocating, Oscillating Or Vibrating Motors (AREA)
Abstract
Description
Claims (12)
- 支持部と、
第1可動部と、
前記第1可動部を囲むように配置された枠状の第2可動部と、
第1軸線に平行な第1軸方向における前記第1可動部の両側に配置され、前記第1軸線周りに前記第1可動部が揺動可能となるように、前記第1可動部と前記第2可動部とを互いに連結する一対の第1連結部と、
前記第1軸線に直交する第2軸線に平行な第2軸方向における前記第2可動部の両側に配置され、前記第2軸線周りに前記第2可動部が揺動可能となるように、前記第2可動部と前記支持部とを互いに連結する一対の第2連結部と、を備え、
前記第2可動部は、前記第1軸線上における前記第1可動部の両側に位置し、前記一対の第1連結部に接続された一対の第1接続部と、前記第2軸線上における前記第1可動部の両側に位置し、前記一対の第2連結部に接続された一対の第2接続部と、を有し、
前記一対の第2接続部のそれぞれは、前記第1軸線及び前記第2軸線に直交する方向から見た場合に、前記第2可動部における前記一対の第1接続部及び前記一対の第2接続部以外の部分よりも広い幅を有する部分を含み、
前記第1軸線及び前記第2軸線に直交する方向から見た場合における前記一対の第2接続部のそれぞれの内縁は、前記第2軸方向に窪む凹部を有し、前記第1軸線及び前記第2軸線に直交する方向から見た場合における前記一対の第2接続部のそれぞれの外縁は、前記第2軸方向に突出する凸部を有している、アクチュエータ装置。 - 前記第2可動部は、前記第1軸方向における前記一対の第2接続部の一方の両側に位置し、前記一対の第2接続部の一方に接続された一対の第1直線状部と、前記第1軸方向における前記一対の第2接続部の他方の両側に位置し、前記一対の第2接続部の他方に接続された一対の第2直線状部と、を更に有し、
前記一対の第1直線状部のそれぞれ、及び前記一対の第2直線状部のそれぞれは、前記第1軸方向に沿って延在している、請求項1に記載のアクチュエータ装置。 - 前記第2可動部は、前記一対の第1直線状部のそれぞれに対して前記一対の第2接続部の一方とは反対側に位置し、前記一対の第1直線状部に接続された一対の第3直線状部と、前記一対の第2直線状部のそれぞれに対して前記一対の第2接続部の他方とは反対側に位置し、前記一対の第2直線状部に接続された一対の第4直線状部と、を更に有し、
前記第1軸線及び前記第2軸線に直交する方向から見た場合に、前記一対の第3直線状部の一方は、前記第1軸線及び前記第2軸線に対して傾斜した方向に沿って延在しており、前記一対の第3直線状部の他方は、前記一対の第3直線状部の一方に対して前記第2軸線に関して対称に延在しており、前記一対の第4直線状部の一方は、前記一対の第3直線状部の一方に対して前記第1軸線に関して対称に延在しており、前記一対の第4直線状部の他方は、前記一対の第4直線状部の一方に対して前記第2軸線に関して対称に延在している、請求項2に記載のアクチュエータ装置。 - 前記第2可動部は、前記一対の第1接続部の一方及び前記一対の第2接続部の一方に接続された第5直線状部と、前記一対の第1接続部の一方及び前記一対の第2接続部の他方に接続された第6直線状部と、前記一対の第1接続部の他方及び前記一対の第2接続部の一方に接続された第7直線状部と、前記一対の第1接続部の他方及び前記一対の第2接続部の他方に接続された第8直線状部と、を更に有し、
前記第1軸線及び前記第2軸線に直交する方向から見た場合に、前記第5直線状部は、前記第1軸線及び前記第2軸線に対して傾斜した方向に沿って延在しており、前記第6直線状部は、前記第5直線状部に対して前記第1軸線に関して対称に延在しており、前記第7直線状部は、前記第5直線状部に対して前記第2軸線に関して対称に延在しており、前記第8直線状部は、前記第6直線状部に対して前記第2軸線に関して対称に延在している、請求項1に記載のアクチュエータ装置。 - 前記凹部及び前記凸部は、前記第1軸線及び前記第2軸線に直交する方向から見た場合に、前記第2軸線上に位置している、請求項1〜4のいずれか一項に記載のアクチュエータ装置。
- 前記第1可動部を囲むように前記第2可動部に設けられた渦巻き状のコイルと、前記コイルに作用する磁界を発生させる磁界発生部と、を更に備える、請求項1〜5のいずれか一項に記載のアクチュエータ装置。
- 前記コイルは、前記第1軸線及び前記第2軸線に直交する方向から見た場合に、前記第2軸線上において、前記一対の第2接続部のそれぞれの前記内縁よりも前記外縁に近い位置に配置されている、請求項6に記載のアクチュエータ装置。
- 前記コイルは、前記磁界に直交する方向に沿って延在する部分を有する、請求項6又は7に記載のアクチュエータ装置。
- 前記コイルは、前記第2可動部を構成する材料よりも密度が高い金属材料によって構成され、前記第2可動部に埋め込まれている、請求項6〜8のいずれか一項に記載のアクチュエータ装置。
- 前記一対の第2接続部のそれぞれは、前記一対の第1接続部のそれぞれよりも広い幅を有する部分を含む、請求項1〜9のいずれか一項に記載のアクチュエータ装置。
- 前記凹部は、前記第1軸線及び前記第2軸線に直交する方向から見た場合に、前記一対の第2接続部のそれぞれにおける前記第1可動部と対向する領域にわたって設けられている、請求項1〜10のいずれか一項に記載のアクチュエータ装置。
- 前記一対の第2連結部のそれぞれは、前記第1軸線及び前記第2軸線に直交する方向から見た場合に、蛇行して延在している、請求項1〜11のいずれか一項に記載のアクチュエータ装置。
Priority Applications (9)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017232060A JP6585147B2 (ja) | 2017-12-01 | 2017-12-01 | アクチュエータ装置 |
EP18883571.4A EP3719559A4 (en) | 2017-12-01 | 2018-11-26 | ACTUATOR DEVICE |
KR1020207009599A KR20200095459A (ko) | 2017-12-01 | 2018-11-26 | 액추에이터 장치 |
PCT/JP2018/043413 WO2019107312A1 (ja) | 2017-12-01 | 2018-11-26 | アクチュエータ装置 |
US16/766,996 US11485629B2 (en) | 2017-12-01 | 2018-11-26 | Actuator device with first and second movabale parts and connection portions having a depression portion and a protrusion portion |
CN201880077473.8A CN111433654B (zh) | 2017-12-01 | 2018-11-26 | 致动器装置 |
US17/950,323 US11673794B2 (en) | 2017-12-01 | 2022-09-22 | Actuator device |
US18/140,693 US11939211B2 (en) | 2017-12-01 | 2023-04-28 | Actuator device |
US18/582,942 US20240190695A1 (en) | 2017-12-01 | 2024-02-21 | Actuator device |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017232060A JP6585147B2 (ja) | 2017-12-01 | 2017-12-01 | アクチュエータ装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2019101234A true JP2019101234A (ja) | 2019-06-24 |
JP6585147B2 JP6585147B2 (ja) | 2019-10-02 |
Family
ID=66663964
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2017232060A Active JP6585147B2 (ja) | 2017-12-01 | 2017-12-01 | アクチュエータ装置 |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (4) | US11485629B2 (ja) |
EP (1) | EP3719559A4 (ja) |
JP (1) | JP6585147B2 (ja) |
KR (1) | KR20200095459A (ja) |
CN (1) | CN111433654B (ja) |
WO (1) | WO2019107312A1 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US11573296B2 (en) | 2017-02-28 | 2023-02-07 | Hamamatsu Photonics K.K. | Optical module and distance measurement device |
JP7481821B2 (ja) * | 2019-09-30 | 2024-05-13 | 浜松ホトニクス株式会社 | 光学デバイス |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2014056211A (ja) * | 2012-09-14 | 2014-03-27 | Seiko Epson Corp | アクチュエーター、光スキャナー、画像表示装置およびヘッドマウントディスプレイ |
WO2014162521A1 (ja) * | 2013-04-02 | 2014-10-09 | パイオニア株式会社 | アクチュエータ |
WO2015015666A1 (ja) * | 2013-08-01 | 2015-02-05 | 浜松ホトニクス株式会社 | アクチュエータ装置及びミラー駆動装置 |
JP2017181710A (ja) * | 2016-03-30 | 2017-10-05 | セイコーエプソン株式会社 | 光スキャナー用部材、光スキャナー、画像表示装置およびヘッドマウントディスプレイ |
Family Cites Families (91)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
NL7802795A (nl) * | 1978-03-15 | 1979-09-18 | Philips Nv | Scheerapparaat. |
JPS5567954A (en) * | 1978-11-16 | 1980-05-22 | Olympus Optical Co Ltd | Auto-reverse tape recorder |
DE2851384A1 (de) * | 1978-11-28 | 1980-06-04 | Bohner & Koehle | Maschine zum druecken oder fliessdruecken von rotationssymmetrischen werkstuecken |
DE2851562A1 (de) * | 1978-11-29 | 1980-06-12 | Rentrop Hubbert & Wagner | Sitz, insbesondere kraftfahrzeugsitz |
US4260375A (en) * | 1979-12-13 | 1981-04-07 | Melvin Wallshein | Bent wire orthodontic spring clip |
GB2070207B (en) * | 1980-02-19 | 1983-03-23 | Desoutter Ltd | Safety catch for a power tool |
US4429909A (en) * | 1981-12-11 | 1984-02-07 | Lindquist John L | Restraint assembly for door exit devices |
US5011122A (en) * | 1982-08-23 | 1991-04-30 | Frank Meyers | Resilient torsion arrangement |
DE3473351D1 (en) * | 1983-05-31 | 1988-09-15 | Keisuke Hirata | Rheometer |
DE3323696A1 (de) * | 1983-07-01 | 1985-01-10 | Thyssen Industrie Ag, 4300 Essen | Verfahren und vorrichtung zum verlegen einer vorgefertigten wicklung eines linearmotors |
DE3334881A1 (de) * | 1983-09-27 | 1985-04-11 | Fa. Carl Freudenberg, 6940 Weinheim | Gummikupplung |
US4533803A (en) * | 1983-10-17 | 1985-08-06 | The Singer Company | Switch construction |
US4630185A (en) * | 1985-10-30 | 1986-12-16 | Copeland Anthony S | Mechanical arm with two link members |
DE3619408A1 (de) * | 1986-06-09 | 1987-12-10 | Battelle Institut E V | Anordnung zur gewinnung von geradsymmetrischen signalen |
US4763967A (en) * | 1986-11-18 | 1988-08-16 | General Scanning, Inc. | Tunable resonant device |
US4775870A (en) * | 1987-02-10 | 1988-10-04 | Texas Instruments Incorporated | Non-impact printer |
DE3877222T2 (de) * | 1987-02-11 | 1993-05-06 | Gec Aerospace Ltd | Messfuehler. |
US5253730A (en) * | 1988-06-08 | 1993-10-19 | Honda Giken Kogyo Kabushiki Kaisha | Power steering apparatus |
US4908007A (en) * | 1988-11-23 | 1990-03-13 | Dayco Products, Inc. | Belt tensioner and method of making the same |
US4952197A (en) * | 1988-11-23 | 1990-08-28 | Dayco Products, Inc. | Belt tensioner and method of making the same |
US4886483A (en) * | 1988-11-23 | 1989-12-12 | Dayco Products, Inc. | Belt tensioner and method of making the same |
US4978326A (en) * | 1988-11-23 | 1990-12-18 | Dayco Products, Inc. | Belt tensioner and method of making the same |
US4913242A (en) * | 1989-08-07 | 1990-04-03 | Top Driver Enterprise Co., Ltd. | Electric screw driver |
US5205792A (en) * | 1991-02-27 | 1993-04-27 | Dayco Products, Inc. | Tensioner for a power transmission belt and method of making the same |
DE4110035C2 (de) * | 1991-03-27 | 1995-04-13 | Roland Man Druckmasch | Vorrichtung zum Verstellen von Elementen in Falzwerkzylindern von Rotationsdruckmaschinen |
JPH05147383A (ja) * | 1991-11-26 | 1993-06-15 | Mutoh Ind Ltd | プロツタ用シ−ト部材搬送方法及び装置 |
JPH05245590A (ja) * | 1992-03-04 | 1993-09-24 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | 連続鋳造用鋳片厚さ可変モールド |
JP2607006Y2 (ja) * | 1993-01-18 | 2001-03-19 | 旭光学工業株式会社 | カメラのズームファインダ装置 |
CH689543A5 (fr) * | 1994-07-21 | 1999-06-15 | Rossignol Sa | Dispositif de fixation d'une chaussure sur un surf à neige. |
DE69507091T3 (de) * | 1994-07-29 | 2004-07-22 | Aisin Seiki K.K., Kariya | Drehmoment-absorbierende Scheibe |
US5567109A (en) * | 1995-04-05 | 1996-10-22 | Eaton; Jay S. | Self-loading tobacco trailer |
US5634681A (en) * | 1995-04-06 | 1997-06-03 | Gionta; Mark S. | Truck mounted work station |
KR100415246B1 (ko) * | 1995-06-05 | 2004-06-12 | 니혼 싱고 가부시키가이샤 | 전자엑추에이터 |
US5748394A (en) * | 1995-07-26 | 1998-05-05 | Konica Corporation | Lens driving device |
US5758705A (en) * | 1996-05-09 | 1998-06-02 | Kelley Company, Inc. | Roll-up door |
US6188504B1 (en) * | 1996-06-28 | 2001-02-13 | Olympus Optical Co., Ltd. | Optical scanner |
US5778928A (en) * | 1996-07-12 | 1998-07-14 | Aeroquip Corporation | Marine drain valve |
US5999303A (en) * | 1997-03-24 | 1999-12-07 | Seagate Technology Inc. | Micro-machined mirror using tethered elements |
US5969465A (en) * | 1997-04-01 | 1999-10-19 | Xros, Inc. | Adjusting operating characteristics of micromachined torsional oscillators |
GB9707552D0 (en) * | 1997-04-15 | 1997-06-04 | Fujifilm Electronic Imaging Li | Image viewing apparatus |
DE69802049T2 (de) * | 1997-07-21 | 2002-03-14 | Scorpio Conveyor Products Prop | Abstreifpflug zum Reinigen von Förderbändern |
US6095318A (en) * | 1997-07-25 | 2000-08-01 | Scorpio Conveyor Products (Proprietary) Limited | Conveyor scraper and mounting of scraper blade |
US6201629B1 (en) * | 1997-08-27 | 2001-03-13 | Microoptical Corporation | Torsional micro-mechanical mirror system |
JP3818752B2 (ja) * | 1997-09-24 | 2006-09-06 | Smc株式会社 | ロッドレスシリンダ |
DE19742314C2 (de) * | 1997-09-25 | 2000-06-21 | Daimler Chrysler Ag | Tragende Struktur |
US5933066A (en) * | 1997-11-13 | 1999-08-03 | Eaton Corporation | Circuit interrupter with terminal shield and wire trough |
WO2000013210A2 (en) * | 1998-09-02 | 2000-03-09 | Xros, Inc. | Micromachined members coupled for relative rotation by torsional flexure hinges |
US20020130561A1 (en) * | 2001-03-18 | 2002-09-19 | Temesvary Viktoria A. | Moving coil motor and implementations in MEMS based optical switches |
US7872394B1 (en) * | 2001-12-13 | 2011-01-18 | Joseph E Ford | MEMS device with two axes comb drive actuators |
CN100350294C (zh) * | 2002-10-10 | 2007-11-21 | 富士通株式会社 | 具有扭杆的微型可动元件 |
US7446911B2 (en) * | 2002-11-26 | 2008-11-04 | Brother Kogyo Kabushiki Kaisha | Optical scanning apparatus and image forming apparatus |
DE50311766D1 (de) * | 2003-04-15 | 2009-09-10 | Fraunhofer Ges Forschung | Onanzfrequenz |
US6965177B2 (en) * | 2003-06-18 | 2005-11-15 | Texas Instruments Incorporated | Pulse drive of resonant MEMS devices |
JP4027359B2 (ja) * | 2003-12-25 | 2007-12-26 | キヤノン株式会社 | マイクロ揺動体、光偏向器、画像形成装置 |
US7233343B2 (en) * | 2004-11-24 | 2007-06-19 | Texas Instruments Incorporated | Serial printing with multiple torsional hinged MEMS mirrors |
JP4385937B2 (ja) * | 2004-12-15 | 2009-12-16 | セイコーエプソン株式会社 | アクチュエータ |
DE102005033800B4 (de) * | 2005-07-13 | 2016-09-15 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. | Mikromechanisches optisches Element mit einer reflektierenden Fläche sowie dessen Verwendung |
JP4935013B2 (ja) * | 2005-07-21 | 2012-05-23 | ブラザー工業株式会社 | 光走査装置、画像表示装置及び光スキャナの共振周波数変更方法並びに反射ミラー位置の補正方法 |
US20070222334A1 (en) * | 2006-03-24 | 2007-09-27 | Chang-Feng Wan | Microelectromechanical step actuator capable of both analog and digital movements |
JP5098254B2 (ja) * | 2006-08-29 | 2012-12-12 | 富士通株式会社 | マイクロ揺動素子 |
DE102007021920B8 (de) * | 2007-05-10 | 2011-12-29 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. | Vorrichtung zum Entwerfen eines mikromechanischen Bauelements mit angepasster Empfindlichkeit, Verfahren zur Herstellung eines mikromechanischen Bauelements und eines mikromechanischen Systems |
TWI341602B (en) * | 2007-08-15 | 2011-05-01 | Nat Univ Tsing Hua | Magnetic element and manufacturing method therefor |
JP5391579B2 (ja) * | 2008-05-15 | 2014-01-15 | 船井電機株式会社 | 振動素子 |
DE102008049647B4 (de) * | 2008-09-30 | 2011-11-24 | Technische Universität Dresden | Mikromechanisches Element und Verfahren zum Betreiben eines mikromechanischen Elements |
US8218218B2 (en) * | 2009-04-08 | 2012-07-10 | Microvision, Inc. | Fatigue resistant MEMS apparatus and system |
JP5444968B2 (ja) * | 2009-05-11 | 2014-03-19 | ミツミ電機株式会社 | アクチュエータ及びこれを用いた光走査装置 |
JP2011107675A (ja) * | 2009-10-20 | 2011-06-02 | Seiko Epson Corp | 光偏向素子、光偏向器、及び画像形成装置 |
WO2011061833A1 (ja) * | 2009-11-19 | 2011-05-26 | パイオニア株式会社 | 駆動装置 |
JP5736766B2 (ja) * | 2010-12-22 | 2015-06-17 | ミツミ電機株式会社 | 光走査装置 |
JP5909862B2 (ja) * | 2011-04-06 | 2016-04-27 | セイコーエプソン株式会社 | アクチュエーター、光スキャナーおよび画像形成装置 |
JP5842369B2 (ja) * | 2011-04-11 | 2016-01-13 | セイコーエプソン株式会社 | アクチュエーターの製造方法、光スキャナーの製造方法および画像形成装置の製造方法、アクチュエーター、光スキャナーおよび画像形成装置 |
US9120667B2 (en) * | 2011-06-20 | 2015-09-01 | International Business Machines Corporation | Micro-electro-mechanical system (MEMS) and related actuator bumps, methods of manufacture and design structures |
JP2013122375A (ja) * | 2011-11-07 | 2013-06-20 | Seiko Epson Corp | 物理量検出デバイス、物理量検出器、および電子機器 |
WO2013111265A1 (ja) * | 2012-01-24 | 2013-08-01 | パイオニア株式会社 | アクチュエータ |
JP5962900B2 (ja) * | 2012-04-02 | 2016-08-03 | セイコーエプソン株式会社 | 物理量センサーおよび電子機器 |
JP5935986B2 (ja) * | 2012-04-06 | 2016-06-15 | セイコーエプソン株式会社 | 物理量センサーおよび電子機器 |
JP5930183B2 (ja) * | 2012-04-09 | 2016-06-08 | セイコーエプソン株式会社 | 物理量センサーおよび電子機器 |
JP6098780B2 (ja) * | 2012-04-19 | 2017-03-22 | セイコーエプソン株式会社 | ジャイロセンサーおよび電子機器 |
US9291815B2 (en) * | 2012-05-07 | 2016-03-22 | Panasonic Intellectual Property Management Co., Ltd. | Optical reflection element |
JP5978855B2 (ja) | 2012-08-22 | 2016-08-24 | セイコーエプソン株式会社 | アクチュエーター、光スキャナー、画像表示装置、ヘッドマウントディスプレイ |
CN103728467B (zh) * | 2012-10-16 | 2016-03-16 | 无锡华润上华半导体有限公司 | 平行板电容器 |
US10103613B2 (en) * | 2013-01-11 | 2018-10-16 | Intel Corporation | Mirror driving device |
DE102013209234B4 (de) * | 2013-05-17 | 2018-04-05 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. | Vorrichtung mit einem schwingfähig aufgehängten optischen Element |
JP2015087444A (ja) * | 2013-10-29 | 2015-05-07 | セイコーエプソン株式会社 | 光スキャナー、画像表示装置、ヘッドマウントディスプレイおよびヘッドアップディスプレイ |
JP6233010B2 (ja) * | 2013-12-26 | 2017-11-22 | セイコーエプソン株式会社 | 光スキャナー、画像表示装置およびヘッドマウントディスプレイ |
KR101565684B1 (ko) * | 2014-03-14 | 2015-11-03 | 삼성전기주식회사 | Mems 센서용 검출모듈 및 이를 포함하는 mems 센서 |
US9910270B2 (en) * | 2015-10-12 | 2018-03-06 | Intel Corporation | Electro-mechanical designs for MEMS scanning mirrors |
ITUB20155997A1 (it) | 2015-11-30 | 2017-05-30 | St Microelectronics Srl | Struttura micromeccanica ad attuazione biassiale e relativo dispositivo mems |
JP6696777B2 (ja) * | 2016-01-21 | 2020-05-20 | 浜松ホトニクス株式会社 | アクチュエータ装置 |
JP2017181715A (ja) * | 2016-03-30 | 2017-10-05 | セイコーエプソン株式会社 | 光スキャナー用部材、光スキャナー、光スキャナーの製造方法、画像表示装置およびヘッドマウントディスプレイ |
JP6924090B2 (ja) * | 2017-07-21 | 2021-08-25 | 浜松ホトニクス株式会社 | アクチュエータ装置 |
-
2017
- 2017-12-01 JP JP2017232060A patent/JP6585147B2/ja active Active
-
2018
- 2018-11-26 CN CN201880077473.8A patent/CN111433654B/zh active Active
- 2018-11-26 KR KR1020207009599A patent/KR20200095459A/ko unknown
- 2018-11-26 US US16/766,996 patent/US11485629B2/en active Active
- 2018-11-26 WO PCT/JP2018/043413 patent/WO2019107312A1/ja unknown
- 2018-11-26 EP EP18883571.4A patent/EP3719559A4/en active Pending
-
2022
- 2022-09-22 US US17/950,323 patent/US11673794B2/en active Active
-
2023
- 2023-04-28 US US18/140,693 patent/US11939211B2/en active Active
-
2024
- 2024-02-21 US US18/582,942 patent/US20240190695A1/en active Pending
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2014056211A (ja) * | 2012-09-14 | 2014-03-27 | Seiko Epson Corp | アクチュエーター、光スキャナー、画像表示装置およびヘッドマウントディスプレイ |
WO2014162521A1 (ja) * | 2013-04-02 | 2014-10-09 | パイオニア株式会社 | アクチュエータ |
WO2015015666A1 (ja) * | 2013-08-01 | 2015-02-05 | 浜松ホトニクス株式会社 | アクチュエータ装置及びミラー駆動装置 |
JP2017181710A (ja) * | 2016-03-30 | 2017-10-05 | セイコーエプソン株式会社 | 光スキャナー用部材、光スキャナー、画像表示装置およびヘッドマウントディスプレイ |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US11673794B2 (en) | 2023-06-13 |
WO2019107312A1 (ja) | 2019-06-06 |
US20240190695A1 (en) | 2024-06-13 |
EP3719559A1 (en) | 2020-10-07 |
JP6585147B2 (ja) | 2019-10-02 |
US20210032095A1 (en) | 2021-02-04 |
KR20200095459A (ko) | 2020-08-10 |
US11485629B2 (en) | 2022-11-01 |
CN111433654A (zh) | 2020-07-17 |
US11939211B2 (en) | 2024-03-26 |
US20230264947A1 (en) | 2023-08-24 |
US20230013912A1 (en) | 2023-01-19 |
CN111433654B (zh) | 2021-10-01 |
EP3719559A4 (en) | 2021-09-15 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US11673794B2 (en) | Actuator device | |
JP6571896B1 (ja) | アクチュエータ装置 | |
JP2024050649A (ja) | アクチュエータ装置、及びアクチュエータ装置の製造方法 | |
JP7229160B2 (ja) | ミラー装置 | |
JP7221180B2 (ja) | 光学デバイス | |
JP6591135B1 (ja) | 光学デバイス |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20190730 |
|
A871 | Explanation of circumstances concerning accelerated examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A871 Effective date: 20190730 |
|
A975 | Report on accelerated examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971005 Effective date: 20190808 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20190813 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20190904 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6585147 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |