JP6571896B1 - アクチュエータ装置 - Google Patents

アクチュエータ装置 Download PDF

Info

Publication number
JP6571896B1
JP6571896B1 JP2019114555A JP2019114555A JP6571896B1 JP 6571896 B1 JP6571896 B1 JP 6571896B1 JP 2019114555 A JP2019114555 A JP 2019114555A JP 2019114555 A JP2019114555 A JP 2019114555A JP 6571896 B1 JP6571896 B1 JP 6571896B1
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
coil
wiring
movable
movable part
axis
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2019114555A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2019174835A (ja
Inventor
大幾 鈴木
大幾 鈴木
拓真 大崎
拓真 大崎
靖之 榊原
靖之 榊原
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hamamatsu Photonics KK
Original Assignee
Hamamatsu Photonics KK
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Hamamatsu Photonics KK filed Critical Hamamatsu Photonics KK
Application granted granted Critical
Publication of JP6571896B1 publication Critical patent/JP6571896B1/ja
Publication of JP2019174835A publication Critical patent/JP2019174835A/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B06—GENERATING OR TRANSMITTING MECHANICAL VIBRATIONS IN GENERAL
    • B06B—METHODS OR APPARATUS FOR GENERATING OR TRANSMITTING MECHANICAL VIBRATIONS OF INFRASONIC, SONIC, OR ULTRASONIC FREQUENCY, e.g. FOR PERFORMING MECHANICAL WORK IN GENERAL
    • B06B1/00—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency
    • B06B1/02—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy
    • B06B1/04—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy operating with electromagnetism
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B26/00—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
    • G02B26/08—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light
    • G02B26/0816—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light by means of one or more reflecting elements
    • G02B26/0833—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light by means of one or more reflecting elements the reflecting element being a micromechanical device, e.g. a MEMS mirror, DMD
    • G02B26/085—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light by means of one or more reflecting elements the reflecting element being a micromechanical device, e.g. a MEMS mirror, DMD the reflecting means being moved or deformed by electromagnetic means
    • H—ELECTRICITY
    • H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02K—DYNAMO-ELECTRIC MACHINES
    • H02K33/00—Motors with reciprocating, oscillating or vibrating magnet, armature or coil system
    • H02K33/12—Motors with reciprocating, oscillating or vibrating magnet, armature or coil system with armatures moving in alternate directions by alternate energisation of two coil systems
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B06—GENERATING OR TRANSMITTING MECHANICAL VIBRATIONS IN GENERAL
    • B06B—METHODS OR APPARATUS FOR GENERATING OR TRANSMITTING MECHANICAL VIBRATIONS OF INFRASONIC, SONIC, OR ULTRASONIC FREQUENCY, e.g. FOR PERFORMING MECHANICAL WORK IN GENERAL
    • B06B1/00—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency
    • B06B1/02—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy
    • B06B1/04—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy operating with electromagnetism
    • B06B1/045—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy operating with electromagnetism using vibrating magnet, armature or coil system
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B81—MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
    • B81B—MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICAL DEVICES
    • B81B3/00—Devices comprising flexible or deformable elements, e.g. comprising elastic tongues or membranes
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B26/00—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
    • G02B26/08—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B26/00—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
    • G02B26/08—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light
    • G02B26/10—Scanning systems
    • H—ELECTRICITY
    • H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02K—DYNAMO-ELECTRIC MACHINES
    • H02K33/00—Motors with reciprocating, oscillating or vibrating magnet, armature or coil system
    • H02K33/02—Motors with reciprocating, oscillating or vibrating magnet, armature or coil system with armatures moved one way by energisation of a single coil system and returned by mechanical force, e.g. by springs

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Micromachines (AREA)
  • Reciprocating, Oscillating Or Vibrating Motors (AREA)
  • Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)
  • Mechanical Light Control Or Optical Switches (AREA)
  • Apparatuses For Generation Of Mechanical Vibrations (AREA)

Abstract

【課題】コイルに入力される電流量が増加した場合でも発熱量の増加を抑制することができると共に、信頼性の向上及び製造の容易化を図ることができるアクチュエータ装置を提供する。【解決手段】アクチュエータ装置は、支持部と、第１可動部と、第２可動部と、第１連結部と、第２連結部と、第２可動部に設けられた渦巻き状のコイルと、コイルに作用する磁界を発生させる磁界発生部と、支持部に設けられた第１外部端子と、コイルの内側端部と第１外部端子とに接続された第１配線と、を備える。第１配線は、第１外部端子に接続された引き出し配線と、コイルを跨ぐように第２可動部に設けられ、コイルの内側端部と引き出し配線とに接続された跨ぎ配線と、を有する。跨ぎ配線の幅は、コイルの幅よりも広く、跨ぎ配線の厚さは、コイルの厚さよりも薄い。コイルと跨ぎ配線との接触領域の長さは、コイルの幅よりも大きい。【選択図】図２

Description

本開示の一側面は、例えばＭＥＭＳ（Micro Electro Mechanical Systems）デバイスとして構成されたアクチュエータ装置に関する。
ＭＥＭＳデバイスとして、支持部と、第１可動部と、第１可動部を囲む枠状の第２可動部と、第１軸線周りに第１可動部が揺動可能となるように、第１可動部と第２可動部とを互いに連結する第１連結部と、第１軸線と直交する第２軸線周りに第２可動部が揺動可能となるように、第２可動部と支持部とを互いに連結する第２連結部と、第２可動部に設けられたコイルと、コイルに作用する磁界を発生させる磁界発生部と、を備えるアクチュエータ装置が知られている（例えば特許文献１参照）。
特開２０１４−４１２３４号公報
上述したようなアクチュエータ装置では、第１軸線周りにおける第１可動部の共振周波数に等しい周波数の駆動信号がコイルに入力されると、第２可動部が第１軸線周りに当該周波数で僅かに振動する。この振動が第１連結部を介して第１可動部に伝わることにより、第１可動部を第１軸線周りに当該周波数で揺動させることができる。しかしながら、そのような駆動方法では、例えば第１可動部に設けられたコイルによって第１可動部を駆動させる場合と比べて、大きな駆動力を得ることが難しい。駆動力を増加させるためにコイルの巻き数を増加させることが考えられるが、コイルの配置スペースを確保するために第２可動部が大型化してしまい、第２可動部が振動し難くなってしまう。このため、駆動力を増加させるためには、コイルに入力される電流量を増加させる必要がある。一般的に電流量が増加すると発熱量も増加してしまうため、発熱量の増加への対処が求められる。また、上述したようなアクチュエータ装置には、信頼性の向上及び製造の容易化が求められる。
本開示の一側面は、コイルに入力される電流量が増加した場合でも発熱量の増加を抑制することができると共に、信頼性の向上及び製造の容易化を図ることができるアクチュエータ装置を提供することを目的とする。
本開示の一側面に係るアクチュエータ装置は、支持部と、第１可動部と、第１可動部を囲むように配置された枠状の第２可動部と、第１軸線周りに第１可動部が揺動可能となるように、第１可動部と第２可動部とを互いに連結する第１連結部と、第２可動部を振動させることによって第１軸線周りに第１可動部が揺動可能となるように、第２可動部と支持部とを互いに連結する第２連結部と、第２可動部に設けられた渦巻き状のコイルと、コイルに作用する磁界を発生させる磁界発生部と、支持部に設けられた第１外部端子と、コイルの内側端部と第１外部端子とに接続された第１配線と、を備え、第１配線は、第１外部端子に接続された引き出し配線と、コイルを跨ぐように第２可動部に設けられ、コイルの内側端部と引き出し配線とに接続された跨ぎ配線と、を有し、跨ぎ配線の幅は、コイルの幅よりも広く、跨ぎ配線の厚さは、コイルの厚さよりも薄い。
このアクチュエータ装置では、コイルの内側端部と引き出し配線とが、コイルを跨ぐように第２可動部に設けられた跨ぎ配線によって互いに接続されている。跨ぎ配線の幅は、コイルの幅よりも広く、跨ぎ配線の厚さは、コイルの厚さよりも薄い。これにより、跨ぎ配線の配線抵抗を低減することができ、コイルに入力される電流量が増加した場合でも発熱量の増加を抑制することができる。更に、跨ぎ配線の幅がコイルの幅よりも広いため、跨ぎ配線を安定的に配置することができ、信頼性を向上することができる。更に、跨ぎ配線の厚さがコイルの厚さよりも薄いため、跨ぎ配線によって第２可動部の表面に凹凸が形成されてしまうのを抑制することができ、製造を容易化することができる。よって、このアクチュエータ装置によれば、コイルに入力される電流量が増加した場合でも発熱量の増加を抑制することができると共に、信頼性の向上及び製造の容易化を図ることができる。
本開示の一側面に係るアクチュエータ装置では、コイルと跨ぎ配線との接触領域の長さは、コイルの幅よりも大きくてもよい。この場合、コイルと跨ぎ配線との間の接触抵抗を低減することができ、発熱量の増加を効果的に抑制することができる。
本開示の一側面に係るアクチュエータ装置では、引き出し配線と跨ぎ配線との接触部分の幅は、コイルの幅よりも大きくてもよい。この場合ば、引き出し配線と跨ぎ配線との間の接触抵抗を低減することができ、発熱量の増加をより効果的に抑制することができる。
本開示の一側面に係るアクチュエータ装置では、前記跨ぎ配線の断面積は、前記コイルの断面積よりも大きくてもよい。この場合、発熱量の増加をより一層効果的に抑制することができる。
本開示の一側面に係るアクチュエータ装置では、跨ぎ配線の幅は、コイルの配置領域の幅よりも広くてもよい。これによれば、発熱量の増加をより一層効果的に抑制することができる。
本開示の一側面に係るアクチュエータ装置では、コイルは、第２可動部に埋め込まれており、跨ぎ配線は、平坦な層状に形成され、コイルの上側を跨ぐように延在していてもよい。この場合、コイルを安定的に配置することができ、信頼性を一層向上することができる。更に、跨ぎ配線によって第２可動部の表面に凹凸が形成されてしまうのを効果的に抑制することができ、製造を一層容易化することができる。
本開示の一側面に係るアクチュエータ装置では、コイルは、第２可動部上に配置されており、跨ぎ配線は、コイルの下側を跨ぐように、コイルと第２可動部との間に延在していてもよい。この場合、跨ぎ配線の保護を図ることができる。
本開示の一側面に係るアクチュエータ装置は、支持部上に設けられた第２外部端子と、コイルの外側端部と第２外部端子とに接続された第２配線と、を更に備え、第２連結部を一対備え、第１配線は、コイルの内側端部から一対の第２連結部の一方を介して第１外部端子まで延在しており、第２配線は、コイルの外側端部から一対の第２連結部の他方を介して第２外部端子まで延在していてもよい。この場合、第１配線が一方の第２トーションバーを通ると共に第２配線が他方の第２連結部を通るため、例えば第１配線及び第２配線の双方が一方の第２連結部を通る場合と比べて、一対の第２連結部間において発熱量を均一化させることができる。
本開示の一側面に係るアクチュエータ装置では、第２可動部には、コイルが内側端部から渦巻き状に仮想的に延長された位置に、コイルとの質量バランスを調整するためのダミーコイルが設けられていてもよい。この場合、第２可動部の質量バランスを向上することができる。
本開示の一側面に係るアクチュエータ装置では、第２可動部には、跨ぎ配線との質量バランスを調整するためのダミー跨ぎ配線が設けられていてもよい。この場合、第２可動部の質量バランスを向上することができる。
本開示の一側面に係るアクチュエータ装置では、ダミー跨ぎ配線は、コイルが配置された平面に直交する方向から見た場合に、跨ぎ配線に対して第２可動部の中心に関して点対称に配置されていてもよい。この場合、第２可動部の質量バランスを効果的に向上することができる。
本開示の一側面に係るアクチュエータ装置は、コイルを一対備え、一対のコイルは、コイルが配置された平面に直交する方向から見た場合に、第２可動部の幅方向に互い違いに並ぶように、配置されていてもよい。この場合、第１可動部を好適に駆動することができる。
本開示の一側面に係るアクチュエータ装置では、一対のコイルの一方は、一対のコイルの他方が内側端部から渦巻き状に仮想的に延長された位置に、配置されていてもよい。この場合、一対のコイルの一方をより外側に配置することができ、駆動力を増加させることができる。
本開示の一側面に係るアクチュエータ装置では、第２連結部は、第１軸線に直交する第２軸線周りに第２可動部が揺動可能となるように、第２可動部と支持部とを互いに連結していてもよい。この場合、第２可動部を第１可動部と共に第２軸線周りに揺動させることができる。
本開示の一側面に係るアクチュエータ装置では、支持部における第１配線は、互いに並列に接続された複数の配線部を有してもよい。この場合、支持部における第１配線の配線抵抗を低減することができ、発熱量の増加をより一層効果的に抑制することができる。
本開示の一側面に係るアクチュエータ装置は、第１外部端子に接続され、外部に引き出された一対のワイヤを更に備えていてもよい。この場合、第１外部端子から引き出される配線の配線抵抗を低減することができ、発熱量の増加をより一層効果的に抑制することができる。
本開示の一側面によれば、コイルに入力される電流量が増加した場合でも発熱量の増加を抑制することができると共に、信頼性の向上及び製造の容易化を図ることができるアクチュエータ装置を提供することができる。
一実施形態のアクチュエータ装置の平面図である。 図１の一部を拡大して示す平面図である。 図２に示されるIII-III線に沿っての断面図である。 ダミーコイルを説明するための模式図である。 ダミーコイルが配置されている位置を模式的に示す平面図である。 図５に符号Ａで示される部分を拡大して示す平面図である。 支持部における第１配線の周辺を示す平面図である。 変形例を示す断面図である。
以下、本開示の一実施形態について、図面を参照しつつ詳細に説明する。なお、以下の説明において、同一又は相当要素には同一符号を用い、重複する説明を省略する。
図１に示されるように、アクチュエータ装置１は、支持部２と、第１可動部３と、第２可動部４と、一対の第１トーションバー５，６と、一対の第２トーションバー７，８と、磁界発生部９と、を備えている。支持部２、第１可動部３、第２可動部４、一対の第１トーションバー（第１連結部）５，６及び一対の第２トーションバー（第２連結部）７，８は、例えばＳＯＩ（Silicon on Insulator）基板によって一体的に形成されている。つまり、アクチュエータ装置１は、ＭＥＭＳデバイスとして構成されている。アクチュエータ装置１では、互いに直交するＸ軸（第１軸線）及びＹ軸（第１軸線に直交する第２軸線）のそれぞれの周りに、ミラー面１０が設けられた第１可動部３が揺動させられる。アクチュエータ装置１は、例えば光通信用光スイッチ、光スキャナ等に用いられる。アクチュエータ装置１は、ＭＥＭＳ技術（パターニング、エッチング等）を用いて製造される。
磁界発生部９は、例えばハルバッハ配列がとられた永久磁石等によって構成されている。磁界発生部９は、例えば、平面視において（Ｘ軸及びＹ軸に直交する方向から見た場合に）Ｘ軸及びＹ軸のそれぞれに対して４５度傾斜した向きＤの磁界を発生させ、後述するコイル１４に作用させる。なお、磁界発生部９が発生させる磁界の向きＤは、平面視においてＸ軸及びＹ軸に対して４５度以外の角度で傾斜していてもよい。
支持部２は、例えば、平面視において四角形状の外形を有し、枠状に形成されている。支持部２は、磁界発生部９に対してＸ軸及びＹ軸に直交する方向における一方側に配置されている。第１可動部３は、磁界発生部９から離間した状態で、支持部２の内側に配置されている。第１可動部３は、本体部３ａと、環状部３ｂと、一対の連結部３ｃと、を有している。
本体部３ａは、平面視において円形状を呈しているが、楕円形状、四角形状、菱形状等の任意の形状に形成されてもよい。平面視における本体部３ａの中心Ｐは、Ｘ軸とＹ軸との交点と一致している。本体部３ａにおける磁界発生部とは反対側の表面には、例えばアルミニウムからなる金属膜によってミラー面１０が設けられている。ミラー面１０は、当該表面における全面に設けられているが、当該表面の一部のみに設けられてもよい。環状部３ｂは、平面視において本体部３ａを囲むように環状に形成されている。環状部３ｂは、平面視において八角形状の外形を有しているが、円形状、楕円形状、四角形状、菱形状等の任意の外形を有していてもよい。一対の連結部３ｃは、Ｙ軸上における本体部３ａの両側に配置され、本体部３ａと環状部３ｂとを互いに連結している。
第２可動部４は、枠状に形成されており、磁界発生部９から離間した状態で、第１可動部３を囲むように支持部２の内側に配置されている。第２可動部４は、一対の第１接続部４１Ａ，４１Ｂと、一対の第２接続部４２Ａ，４２Ｂと、一対の第１直線状部４３Ａ，４３Ｂと、一対の第２直線状部４４Ａ，４４Ｂと、一対の第３直線状部４５Ａ，４５Ｂと、一対の第４直線状部４６Ａ，４６Ｂと、を有している。第２可動部４は、平面視においてＸ軸及びＹ軸のそれぞれに関して対称な形状を有している。以下の説明において、Ｘ軸又はＹ軸に関して対称とは、平面視における対称をいう。
第１接続部４１Ａ，４１Ｂは、Ｘ軸に平行なＸ軸方向（第１軸方向）における第１可動部３の両側に位置している。すなわち、各第１接続部４１Ａ，４１Ｂは、平面視において第１可動部３とＸ軸方向に対向する部分を有している。各第１接続部４１Ａ，４１Ｂは、Ｙ軸方向に沿って延在している。
第２接続部４２Ａ，４２Ｂは、Ｙ軸に平行なＹ軸方向（第２軸方向）における第１可動部３の両側に位置している。すなわち、各第２接続部４２Ａ，４２Ｂは、平面視において第１可動部３とＹ軸方向に対向する部分を有している。各第２接続部４２Ａ，４２Ｂは、Ｘ軸方向に沿って延在している。平面視における各第２接続部４２Ａ，４２Ｂの内縁５１は、Ｙ軸方向に窪む凹部５２を有しており、平面視における各第２接続部４２Ａ，４２Ｂの外縁５３は、Ｙ軸方向に突出する凸部５４を有している。凹部５２及び凸部５４は、平面視においてＹ軸上に位置している。
平面視において、各第２接続部４２Ａ，４２Ｂの幅は、第２可動部４における第１接続部４１Ａ，４１Ｂ及び第２接続部４２Ａ，４２Ｂ以外の部分の幅（最大幅）Ｗ１よりも広い。すなわち、各第２接続部４２Ａ，４２Ｂの幅は、Ｙ軸上において最小幅Ｗ２となるが、最小幅Ｗ２は、幅Ｗ１よりも広い。また、各第２接続部４２Ａ，４２Ｂの最小幅Ｗ２は、各第１接続部４１Ａ，４１Ｂの幅（最大幅）Ｗ３よりも広い。各第１接続部４１Ａ，４１Ｂの幅Ｗ３は幅Ｗ１よりも広いが、幅Ｗ１と同一であってもよいし、幅Ｗ１よりも狭くてもよい。図１では、第１接続部４１Ａと第１トーションバー５との間の境界が一点鎖線Ｂで示されている。なお、第２可動部４における或る部分の幅とは、平面視における当該部分の内縁と外縁との間の距離であり、換言すれば、Ｘ軸及びＹ軸に直交する方向、並びに当該部分の延在方向に直交する方向（幅方向）における当該部分の幅である。
第１直線状部４３Ａ，４３Ｂは、Ｘ軸方向における第２接続部４２Ａの両側に位置し、第２接続部４２Ａに接続されている。各第１直線状部４３Ａ，４３Ｂは、Ｘ軸方向に沿って延在している。第１直線状部４３Ａ，４３Ｂは、Ｙ軸に関して互いに対称に配置されている。第２直線状部４４Ａ，４４Ｂは、Ｘ軸方向における第２接続部４２Ｂの両側に位置し、第２接続部４２Ｂに接続されている。各第２直線状部４４Ａ，４４Ｂは、Ｘ軸方向に沿って延在している。第２直線状部４４Ａ，４４Ｂは、Ｙ軸に関して互いに対称に配置されている。
第３直線状部４５Ａ，４５Ｂは、各第１直線状部４３Ａ，４３Ｂに対して第２接続部４２Ａとは反対側に位置し、第１直線状部４３Ａ，４３Ｂと第１接続部４１Ａ，４１Ｂとに接続されている。第３直線状部４５Ａは、平面視において、Ｘ軸及びＹ軸のそれぞれに対して４５度傾斜した方向に沿って延在している。第３直線状部４５Ｂは、第３直線状部４５Ａに対してＹ軸に関して対称に延在している。
第４直線状部４６Ａ，４６Ｂは、各第２直線状部４４Ａ，４４Ｂに対して第２接続部４２Ｂとは反対側に位置し、第２直線状部４４Ａ，４４Ｂと第１接続部４１Ａ，４１Ｂとに接続されている。第４直線状部４６Ａは、第３直線状部４５Ａに対してＸ軸に関して対称に延在している。第４直線状部４６Ｂは、第４直線状部４６Ａに対してＹ軸に関して対称に延在すると共に、第３直線状部４５Ｂに対してＸ軸に関して対称に延在している。
第１トーションバー５，６は、Ｘ軸上における第１可動部３の両側に配置されている。第１トーションバー５，６は、第１可動部３がＸ軸周りに（Ｘ軸を中心線として）揺動可能となるように、Ｘ軸上において第１可動部３（環状部３ｂ）と第２可動部４とを互いに連結している。第１トーションバー５，６は、第１接続部４１Ａ，４１Ｂにおいて第２可動部４に接続されている。各第１トーションバー５，６は、Ｘ軸に沿って直線状に延在している。本実施形態では、第１トーションバー５，６に作用する応力の緩和のために、各第１トーションバー５，６における第１可動部３側の端部の幅（Ｙ軸方向における幅）は第１可動部３に近づくほど広がっており、第２可動部４側の端部の幅（Ｙ軸方向における幅）は第２可動部４に近づくほど広がっている。
第２トーションバー７，８は、Ｙ軸上における第２可動部４の両側に配置されている。第２トーションバー７，８は、第２可動部４がＹ軸周りに（Ｙ軸を中心線として）揺動可能となるように、Ｙ軸上において第２可動部４と支持部２とを互いに連結している。第２トーションバー７，８は、第２接続部４２Ａ，４２Ｂにおいて第２可動部４に接続されている。各第２トーションバー７，８は、平面視において蛇行して延在している。各第２トーションバー７，８は、複数の直線状部１１と、複数の折り返し部１２と、を有している。直線状部１１は、Ｙ軸方向に延在し、Ｘ軸方向に並んで配置されている。折り返し部１２は、隣り合う直線状部１１の両端を交互に連結している。
アクチュエータ装置１は、一対のコイル１４，１５と、第１配線２１と、第２配線２２と、第３配線２３と、第４配線２４と、第１外部端子２５と、第２外部端子２６と、第３外部端子２７と、第４外部端子２８と、四対のワイヤ２９と、を更に備えている。各コイル１４，１５は、第１可動部３を囲むように第２可動部４に設けられ、平面視において（各コイル１４，１５が配置された平面に直交する方向から見た場合に）渦巻き状を呈している。各コイル１４，１５は、Ｘ軸及びＹ軸を含む平面に沿って配置されている。各コイル１４，１５は、第１可動部３の周りに複数回巻回されている。一対のコイル１４，１５は、平面視において第２可動部４の幅方向に互い違いに並ぶように、配置されている。
図１では、コイル１４，１５が配置されている配置領域Ｒがハッチングで示されている。各コイル１４，１５は、第１接続部４１Ａ，４１Ｂ及び各直線状部４３Ａ〜４６Ｂにおいて、第１接続部４１Ａ，４１Ｂ及び各直線状部４３Ａ〜４６Ｂの延在方向に沿って延在している。第１接続部４１Ａ，４１Ｂ及び各直線状部４３Ａ〜４６Ｂにおいて、配置領域Ｒの外縁は、第１接続部４１Ａ，４１Ｂ及び各直線状部４３Ａ〜４６Ｂの外縁に沿っており、配置領域Ｒの内縁は、第１接続部４１Ａ，４１Ｂ及び各直線状部４３Ａ〜４６Ｂの内縁に沿っている。
各第２接続部４２Ａ，４２Ｂにおける配置領域Ｒは、第１部分５５と、一対の第２部分５６と、一対の第３部分５７と、を含んでいる（図２参照）。第１部分５５は、Ｘ軸方向に沿って延在し、平面視においてＹ軸と交差している。一対の第２部分５６は、Ｘ軸方向における第１部分５５の両側に位置し、第１部分５５に接続されている。一方の第２部分５６は、Ｘ軸及びＹ軸のそれぞれに対して４５度傾斜した方向に沿って延在している。他方の第２部分５６は、一方の第２部分５６に対してＹ軸に関して対称に延在している。第１部分５５は、第２接続部４２Ａの内縁５１よりも外縁５３に近い位置に配置されている。一対の第３部分５７は、各第２部分５６に対して第１部分５５とは反対側に位置し、一対の第２部分５６と、第１直線状部４３Ａ，４３Ｂにおける配置領域Ｒとに接続されている。各第３部分５７は、Ｘ軸方向に沿って延在している。第１可動部３にはコイルが設けられていない。なお、一方の第２部分５６が延在する方向は、Ｘ軸及びＹ軸に対して４５度以外の角度で傾斜していてもよい。
各外部端子２５〜２８は、例えば支持部２に設けられた電極パッドであり、絶縁層３５から外部に露出している。絶縁層３５は、支持部２、第１可動部３、第２可動部４、第１トーションバー５，６及び第２トーションバー７，８の表面（磁界発生部９とは反対側の表面）を覆うように一体的に形成されている。外部端子２５〜２８には、それぞれ、一対のワイヤ２９が電気的に接続されている。各ワイヤ２９は、アクチュエータ装置１から外部に引き出されている。外部端子２５〜２８は、それぞれ、アクチュエータ装置１の外部に配置された駆動源等とワイヤ２９を介して電気的に接続されている。
第１配線２１は、コイル１４の内側端部と第１外部端子２５とに電気的に接続されている。第１配線２１は、コイル１４の内側端部から第２トーションバー７を介して第１外部端子２５まで延在している。第２配線２２は、コイル１４の外側端部と第２外部端子２６とに電気的に接続されている。第２配線２２は、例えばＹ軸上においてコイル１４の外側端部に接続されている。第２配線２２は、コイル１４の外側端部から第２トーションバー８を介して第２外部端子２６まで延在している。
第３配線２３は、コイル１５の内側端部と第３外部端子２７とに電気的に接続されている。第３配線２３は、コイル１５の内側端部から第２トーションバー７を介して第３外部端子２７まで延在している。第４配線２４は、コイル１５の外側端部と第４外部端子２８とに電気的に接続されている。第４配線２４は、例えばＹ軸上においてコイル１５の外側端部に接続されている。第４配線２４は、コイル１５の外側端部から第２トーションバー８を介して第４外部端子２８まで延在している。
以上のように構成されたアクチュエータ装置１では、各外部端子２５，２６及び各配線２１，２２を介してコイル１４にリニア動作用の駆動信号が入力されると、磁界発生部９が発生する磁界との相互作用によってコイル１４にローレンツ力が作用する。当該ローレンツ力と第２トーションバー７，８の弾性力とのつり合いを利用することで、Ｙ軸周りにミラー面１０（第１可動部３）を第２可動部４と共にリニア動作させることができる。
一方、各外部端子２７，２８及び各配線２３，２４を介してコイル１５に共振動作用の駆動信号が入力されると、磁界発生部９が発生する磁界との相互作用によってコイル１５にローレンツ力が作用する。当該ローレンツ力に加え、共振周波数での第１可動部３の共振を利用することで、Ｘ軸周りにミラー面１０（第１可動部３）を共振動作させることができる。具体的には、Ｘ軸周りにおける第１可動部３の共振周波数に等しい周波数の駆動信号がコイル１５に入力されると、第２可動部４がＸ軸周りに当該周波数で僅かに振動する。この振動が第１トーションバー５，６を介して第１可動部３に伝わることにより、第１可動部３をＸ軸周りに当該周波数で揺動させることができる。
続いて、図１〜図３を参照しつつ、コイル１４と第１配線２１との接続態様、及びコイル１５と第３配線２３の接続態様について詳細に説明する。図２に示されるように、コイル１４の内側端部１４ａは、第２接続部４２ＡにおけるＹ軸上まで延在している。第１配線２１は、引き出し配線６１と、跨ぎ配線６２と、を有している。引き出し配線６１は、第２可動部４、第２トーションバー７及び支持部２にわたって設けられ、第１外部端子２５に電気的に接続されている。第２可動部４における引き出し配線６１は、平面視においてコイル１４，１５よりも外側に配置され、第２接続部４２Ａにおける第１直線状部４３Ａ側の端部まで延在している。引き出し配線６１における第１外部端子２５とは反対側の端部６１ａは、第２可動部４の幅方向においてコイル１４の内側端部１４ａと向かい合っている。
跨ぎ配線６２は、第２可動部４に設けられ、コイル１４の内側端部１４ａと引き出し配線６１の端部６１ａとに電気的に接続されている。跨ぎ配線６２は、平坦な層状に形成され、コイル１４，１５の上側（Ｘ軸及びＹ軸に直交する方向におけるコイル１４，１５の一方側）を跨ぐように延在している。すなわち、跨ぎ配線６２は、コイル１４，１５と立体的に交差している。跨ぎ配線６２は、平面視において引き出し配線６１の端部６１ａ及びコイル１４の内側端部１４ａに重なるように、第２接続部４２Ａにおける第１直線状部４３Ａ側の端部に配置され、コイル１４，１５の延在方向における配置領域Ｒの一部を覆っている。なお、跨ぎ配線６２は、図１及び図２では実線で描かれているが、実際には絶縁層３５によって覆われている。
跨ぎ配線６２は、第１部分６２ａと、第１部分６２ａに接続された第２部分６２ｂと、を有している。第１部分６２ａは、配置領域Ｒの一方の第２部分５６上に位置し、Ｘ軸及びＹ軸のそれぞれに対して４５度傾斜した方向に沿って延在している。第２部分６２ｂは、配置領域Ｒの一方の第３部分５７上に位置し、Ｘ軸方向に沿って延在している。なお、第１部分６２ａが延在する方向は、Ｘ軸及びＹ軸に対して４５度以外の角度で傾斜していてもよい。
図３は、図２に示されるIII-III線に沿っての断面図である。図３に示されるように、第２可動部４には、コイル１４，１５に対応する形状を有する溝部３１が設けられている。溝部３１の内面上には絶縁層３２が設けられ、絶縁層３２上には絶縁層３３が設けられている。各コイル１４，１５は、絶縁層３２，３３を介して溝部３１内に配置されている。すなわち、各コイル１４，１５は、第２可動部４に埋め込まれている。各コイル１４，１５は、例えばダマシン法によって溝部３１内に銅等の金属材料が埋め込まれることにより形成されたダマシン配線である。絶縁層３４は、コイル１４，１５及び絶縁層３３を覆うように設けられている。絶縁層３４上には絶縁層３５が設けられている。各絶縁層３２〜３５は、例えば酸化ケイ素、窒化ケイ素、酸窒化ケイ素等によって構成されている。各絶縁層３２〜３５は、支持部２、第１可動部３、第２可動部４、一対の第１トーションバー５，６及び一対の第２トーションバー７，８の表面（磁界発生部９とは反対側の表面）を覆うように一体的に形成されている。
引き出し配線６１は、例えば、コイル１４，１５と同様に構成されたダマシン配線である。すなわち、第２可動部４には、溝部３６が設けられており、引き出し配線６１は、絶縁層３２，３３を介して溝部３６内に配置されている。引き出し配線６１は、第２可動部４に埋め込まれており、絶縁層３４，３５によって覆われている。引き出し配線６１は、各コイル１４，１５と同一の断面形状を有しているが、各コイル１４，１５とは異なる断面形状を有していてもよい。引き出し配線６１は、コイル１４，１５を構成する金属材料と同一の金属材料によって構成されているが、コイル１４，１５を構成する金属材料とは異なる金属材料によって構成されてもよい。
跨ぎ配線６２は、絶縁層３４上に設けられ、絶縁層３５によって覆われている。絶縁層３４には、平面視においてコイル１４の内側端部１４ａに対応する位置に開口３４ａが設けられると共に、平面視において引き出し配線６１の端部６１ａに対応する位置に開口３４ｂが設けられている。跨ぎ配線６２は、各開口３４ａ，３４ｂに入り込んでおり、開口３４ａ，３４ｂを介して内側端部１４ａと端部６１ａとに接続されている。跨ぎ配線６２は、引き出し配線６１を構成する金属材料とは異なる金属材料（例えばアルミニウム又はアルミニウム系合金）によって構成されているが、引き出し配線６１を構成する金属材料と同一の金属材料によって構成されてもよい。
跨ぎ配線６２の幅Ｗ４は、各コイル１４，１５の幅Ｗ５よりも広い。また、跨ぎ配線６２の幅Ｗ４は、コイル１４，１５の配置領域Ｒの幅（コイル１４，１５全体の幅）Ｗ６よりも広い。跨ぎ配線６２の幅Ｗ４は、例えば、各コイル１４，１５の幅Ｗ５の５倍以上１００倍以下である。なお、跨ぎ配線６２の幅Ｗ４とは、コイル１４の内側端部１４ａとの接続端から引き出し配線６１の端部６１ａとの接続端に向かう方向に直交する方向における跨ぎ配線６２の幅であり、換言すれば、コイル１４，１５の延在方向における跨ぎ配線６２の幅である。本実施形態のように、互いに異なる方向に沿って延在する第１部分６２ａ及び第２部分６２ｂを跨ぎ配線６２が有する場合、跨ぎ配線６２の幅Ｗ４とは、第１部分６２ａの幅と第２部分６２ｂの幅との和である。これらの点は、後述する跨ぎ配線６４についても同様である。各コイル１４，１５の幅とは、コイル１４，１５の延在方向に直交する方向における各コイル１４，１５を構成する１本の導体の幅である。本実施形態では、コイル１４，１５の幅は互いに同一であるが、コイル１４，１５の幅は互いに異なっていてもよい。
跨ぎ配線６２の厚さＴ１は、各コイル１４，１５の厚さＴ２よりも薄い。跨ぎ配線６２の断面積は、各コイル１４，１５の断面積よりも大きい。なお、跨ぎ配線６２又はコイル１４，１５の厚さとは、コイル１４，１５が配置された平面に直交する方向における跨ぎ配線６２又はコイル１４，１５の厚さである。本実施形態では、コイル１４，１５の厚さは互いに同一であるが、コイル１４，１５の厚さは互いに異なっていてもよい。跨ぎ配線６２の断面積とは、コイル１４の内側端部１４ａとの接続端から引き出し配線６１の端部６１ａとの接続端に向かう方向に直交する断面における跨ぎ配線６２の断面積であり、換言すれば、第２可動部４の幅方向に直交する断面における跨ぎ配線６２の断面積である。本実施形態では、跨ぎ配線６２の断面積とは、第１部分６２ａの断面積と第２部分６２ｂの断面積との和である。これらの点は、後述する跨ぎ配線６４についても同様である。各コイル１４，１５の断面積とは、コイル１４，１５の延在方向に直交する断面における各コイル１４，１５の断面積である。
跨ぎ配線６２とコイル１４との接触領域の長さＬ１は、コイル１４，１５の幅Ｗ５よりも大きい。すなわち、絶縁層３４には、図２に符号Ｌ１で示される範囲にわたって開口３４ａが設けられており、跨ぎ配線６２とコイル１４とは、当該範囲において互いに接触している。跨ぎ配線６２とコイル１４との接触領域は、コイル１４，１５の延在方向に沿って延在している。跨ぎ配線６２と引き出し配線６１との接触領域の長さＬ２は、コイル１４，１５の幅Ｗ５よりも大きい。すなわち、絶縁層３４には、図２に符号Ｌ２で示される範囲にわたって開口３４ｂが設けられており、跨ぎ配線６２と引き出し配線６１とは、当該範囲において互いに接触している。跨ぎ配線６２と引き出し配線６１との接触領域は、コイル１４，１５の延在方向に沿って延在している。
第３配線２３とコイル１５との接続態様は、第１配線２１とコイル１４との接続態様と同様である。図２に示されるように、コイル１５の内側端部１５ａは、第１直線状部４３Ｂと第３直線状部４５Ｂとの境界の近傍まで延在している。第３配線２３は、引き出し配線６３と、跨ぎ配線６４と、を有している。引き出し配線６３は、第２可動部４、第２トーションバー７及び支持部２にわたって設けられ、第３外部端子２７に電気的に接続されている。第２可動部４における引き出し配線６３は、平面視においてコイル１４，１５よりも外側に配置されており、第２接続部４２Ａにおける第１直線状部４３Ｂ側の端部まで延在している。引き出し配線６３における第３外部端子２７とは反対側の端部６３ａは、第２可動部４の幅方向においてコイル１５の内側端部１５ａと向かい合っている。引き出し配線６３は、引き出し配線６１と同様にダマシン配線として構成されている。
跨ぎ配線６４は、第２可動部４に設けられ、コイル１５の内側端部１５ａと引き出し配線６３の端部６３ａとに電気的に接続されている。跨ぎ配線６４は、平坦な層状に形成され、コイル１４，１５の上側を跨ぐように延在している。跨ぎ配線６４は、平面視において引き出し配線６３の端部６３ａ及びコイル１５の内側端部１５ａに重なるように、第２接続部４２Ａにおける第１直線状部４３Ｂ側の端部に配置され、コイル１４，１５の延在方向における配置領域Ｒの一部を覆っている。跨ぎ配線６４は、跨ぎ配線６２に対してＹ軸に関して対称に配置されている。跨ぎ配線６４は、跨ぎ配線６２と同様に、絶縁層３５に設けられた開口を介して内側端部１５ａと端部６３ａとに接続されている。なお、跨ぎ配線６４は、図１及び図２では実線で描かれているが、実際には絶縁層３５によって覆われている。
跨ぎ配線６４の幅Ｗ７は、各コイル１４，１５の幅Ｗ５よりも広い。また、跨ぎ配線６４の幅Ｗ７は、コイル１４，１５の配置領域Ｒの幅Ｗ６よりも広い。跨ぎ配線６４の厚さは、跨ぎ配線６２の厚さＴ１と同一であり、各コイル１４，１５の厚さＴ２よりも薄い。跨ぎ配線６４の断面積は、各コイル１４，１５の断面積よりも大きい。
跨ぎ配線６４とコイル１５との接触領域の長さＬ３は、コイル１４，１５の幅Ｗ５よりも大きい。跨ぎ配線６４と引き出し配線６１の接触領域の長さＬ４は、コイル１４，１５の幅Ｗ５よりも大きい。なお、第２配線２２及び第４配線２４は、例えば、引き出し配線６１，６３と同様にダマシン配線として構成されている。
図１に示されるように、第２可動部４には、一対のダミー跨ぎ配線６５，６６が設けられている。ダミー跨ぎ配線６５は、平面視において、跨ぎ配線６４に対して第２可動部４の中心に関して点対称に配置されている。ダミー跨ぎ配線６５は、跨ぎ配線６４との質量バランス及び剛性バランスを調整するために設けられている。ダミー跨ぎ配線６６は、平面視において、跨ぎ配線６２に対して第２可動部４の中心に関して点対称に配置されている。ダミー跨ぎ配線６６は、跨ぎ配線６２との質量バランス及び剛性バランスを調整するために設けられている。本実施形態では、平面視における第２可動部４の中心は、本体部３ａの中心Ｐ（Ｘ軸とＹ軸との交点）と一致している。
ダミー跨ぎ配線６５，６６は、跨ぎ配線６２，６４に対応した構成を有している。すなわち、各ダミー跨ぎ配線６５，６６は、平坦な層状に形成され、コイル１４，１５の上側を跨ぐように、絶縁層３４と絶縁層３５との間に配置されている。ただし、各ダミー跨ぎ配線６５，６６は、コイル１４，１５に電気的に接続されていない。すなわち、ダミー跨ぎ配線６５，６６の形成箇所における絶縁層３４には開口３４ａ，３４ｂが設けられていない。
図４〜図６に示されるように、第２可動部４には、一対のダミーコイル６７，６８及び一対のダミーコイル７１，７２が設けられている。なお、図４及び図６では、コイル１４，１５にハッチングが付されているが、図４及び図６は断面を示すものではない。
ダミーコイル６７は、コイル１４が内側端部１４ａから渦巻き状に仮想的に延長された位置に配置されている。ダミーコイル６７は、コイル１４との質量バランス及び剛性バランスを調整するために設けられている。ダミーコイル６７は、コイル１４に対応した構成を有しており、第２可動部４に埋め込まれている。ダミーコイル６７は、コイル１４に電気的に接続されていないが、電気的に接続されていてもよい。図５に示されるように、ダミーコイル６７は、第２接続部４２ＡにおけるＹ軸上から、第１直線状部４３Ｂ、第３直線状部４５Ｂ、第１接続部４１Ｂ、第４直線状部４６Ｂ、第２直線状部４４Ｂ、第２接続部４２Ｂ及び第２直線状部４４Ａを介して、第２直線状部４４Ａと第４直線状部４６Ａとの境界の近傍まで延在している。
ダミーコイル６８は、コイル１５が内側端部１５ａから渦巻き状に仮想的に延長された位置に配置されている。ダミーコイル６８は、コイル１５との質量バランス及び剛性バランスを調整するために設けられている。ダミーコイル６８は、コイル１５に対応した構成を有しており、第２可動部４に埋め込まれている。ダミーコイル６８は、コイル１５に電気的に接続されていないが、電気的に接続されていてもよい。図５に示されるように、ダミーコイル６８は、第３直線状部４５Ｂにおける第１直線状部４３Ｂ側の端部の近傍から、第１接続部４１Ｂ及び第４直線状部４６Ｂを介して、第４直線状部４６Ｂと第２直線状部４４Ｂとの境界の近傍まで延在している。
図５に示されるように、ダミーコイル７１は、平面視において、コイル１４の外側端部に対してＹ軸に関して対称に配置されている。ダミーコイル７１は、コイル１４との質量バランス及び剛性バランスを調整するために設けられている。ダミーコイル７１は、コイル１４に対応した構成を有しており、第２可動部４に埋め込まれている。ダミーコイル７１は、コイル１４に電気的に接続されていないが、電気的に接続されていてもよい。ダミーコイル７２は、平面視において、コイル１５の外側端部に対してＹ軸に関して対称に配置されている。ダミーコイル７２は、コイル１５との質量バランス及び剛性バランスを調整するために設けられている。ダミーコイル７２は、コイル１５に対応した構成を有しており、第２可動部４に埋め込まれている。ダミーコイル７２は、コイル１５に電気的に接続されていないが、電気的に接続されていてもよい。
図６に示されるように、コイル１４は、コイル１５の内側端部１５ａよりも内側の位置において、第１可動部３の周りに複数回巻回されている。これは、コイル１４に入力される電流量とコイル１５に入力される電流量が異なり、コイル１４の巻き数がコイル１５の巻き数よりも多いためである。コイル１５の内側端部１５ａよりも内側の位置において、コイル１４は、コイル１４が本来配置されるべき位置だけでなく、コイル１５が内側端部１５ａから渦巻き状に仮想的に延長された位置にも配置されている。換言すれば、コイル１４は、コイル１５が延長されていないことによって空いたスペースにも配置されている。各ダミーコイル６７，６８は、平面視においてコイル１４，１５よりも内側に配置されている。
図７に示されるように、支持部２における第１配線２１（引き出し配線６１）は、互いに並列に接続された複数（この例では３本）の配線部２１ａを有している。配線部２１ａは、例えば直線状に形成され、互いに幅方向に隣り合うように並んで配置されている。各配線部２１ａは、ダマシン配線として構成されているが、支持部２の表面上に配置された配線であってもよい。図示は省略されているが、支持部２における各配線２２〜２４は、第１配線２１と同様に、互いに並列に接続された複数（例えば、３本）の配線部を有している。
以上説明したように、アクチュエータ装置１では、コイル１４の内側端部１４ａと引き出し配線６１とが、コイル１４，１５を跨ぐように第２可動部４に設けられた跨ぎ配線６２によって互いに接続されている。跨ぎ配線６２の幅Ｗ４は、各コイル１４，１５の幅Ｗ５よりも広く、跨ぎ配線６２の厚さＴ１は、各コイル１４，１５の厚さＴ２よりも薄い。同様に、コイル１５の内側端部１５ａと引き出し配線６３とが、コイル１４，１５を跨ぐように第２可動部４に設けられた跨ぎ配線６４によって互いに接続されている。跨ぎ配線６４の幅Ｗ７は、各コイル１４，１５の幅Ｗ５よりも広く、跨ぎ配線６４の厚さは、各コイル１４，１５の厚さＴ２よりも薄い。これにより、跨ぎ配線６２，６４の配線抵抗を低減することができ、コイル１４，１５に入力される電流量が増加した場合でも発熱量の増加を抑制することができる。更に、跨ぎ配線６２，６４の幅Ｗ４，Ｗ７がコイル１４，１５の幅Ｗ５よりも広く、跨ぎ配線６２，６４の接地面積が広いため、跨ぎ配線６２，６４が剥がれるのを抑制することができる。その結果、跨ぎ配線６２，６４を安定的に配置することができ、信頼性を向上することができる。更に、各跨ぎ配線６２，６４の厚さＴ１が各コイル１４，１５の厚さＴ２よりも薄いため、跨ぎ配線６２，６４によって第２可動部４の表面に凹凸が形成されてしまうのを抑制することができ、信頼性の向上及び製造の容易化を図ることができる。よって、アクチュエータ装置１によれば、コイル１４，１５に入力される電流量が増加した場合でも発熱量の増加を抑制することができると共に、製造を容易化することができる。なお、跨ぎ配線６２，６４の幅Ｗ４，Ｗ７が広く、平面視における跨ぎ配線６２，６４の面積が大きい場合、寄生容量が増加するため、駆動時にスパイクノイズが発生する可能性があるが、アクチュエータ装置１では、跨ぎ配線６２，６４の幅Ｗ４，Ｗ７を敢えて増加させることにより、良好な特性が得られている。
アクチュエータ装置１では、コイル１４と跨ぎ配線６２との接触領域の長さＬ１が、各コイル１４，１５の幅Ｗ５よりも大きい。同様に、コイル１５と跨ぎ配線６４との接触領域の長さＬ３が、コイル１４，１５の幅Ｗ５よりも大きい。これにより、コイル１４，１５と跨ぎ配線６２，６４との間の接触抵抗を低減することができ、発熱量の増加を効果的に抑制することができる。
アクチュエータ装置１では、引き出し配線６１と跨ぎ配線６２との接触領域の長さＬ３が、コイル１４，１５の幅Ｗ５よりも大きい。同様に、引き出し配線６３と跨ぎ配線６４との接触領域の長さＬ４が、コイル１４，１５の幅Ｗ５よりも大きい。これにより、引き出し配線６１，６３と跨ぎ配線６２，６４との間の接触抵抗を低減することができ、発熱量の増加をより効果的に抑制することができる。
アクチュエータ装置１では、跨ぎ配線６２，６４の断面積が、コイル１４，１５の断面積よりも大きい。これにより、発熱量の増加をより一層効果的に抑制することができる。
アクチュエータ装置１では、跨ぎ配線６２の幅Ｗ４及び跨ぎ配線６４の幅Ｗ７が、コイル１４，１５の配置領域Ｒの幅Ｗ６よりも広い。これにより、発熱量の増加をより一層効果的に抑制することができる。
アクチュエータ装置１では、コイル１４，１５が第２可動部４に埋め込まれており、各跨ぎ配線６２，６４が、平坦な層状に形成され、コイル１４，１５の上側を跨ぐように延在している。これにより、コイル１４，１５を安定的に配置することができ、信頼性を一層向上することができる。更に、跨ぎ配線６２によって第２可動部４の表面に凹凸が形成されてしまうのを効果的に抑制することができ、製造を一層容易化することができる。更に、コイル１４，１５が第２可動部４に埋め込まれた後に、第２可動部４及びコイル１４，１５の表面を平坦化する工程を行なうことができるため、跨ぎ配線６２，６４を平坦な表面上に形成することができ、製造を一層容易化することができる。第２可動部４及びコイル１４，１５の表面を平坦化したとしても、当該表面に僅かに凹凸が残存する場合がある。アクチュエータ装置１では、跨ぎ配線６２，６４がそのような凹凸上に形成されたとしても、跨ぎ配線６２，６４の幅Ｗ４，Ｗ７がコイル１４，１５の幅Ｗ５よりも広く、跨ぎ配線６２，６４の接地面積が広いため、跨ぎ配線６２，６４が剥がれるのを抑制することができ、跨ぎ配線６２，６４を安定的に配置することができる。
アクチュエータ装置１では、第１配線２１が、コイル１４の内側端部１４ａから第２トーションバー７を介して第１外部端子２５まで延在しており、第２配線２２が、コイル１４の外側端部から第２トーションバー８を介して第２外部端子２６まで延在している。これにより、第１配線２１が第２トーションバー７を通ると共に第２配線２２が第２トーションバー８を通るため、例えば第１配線２１及び第２配線２２の双方が第２トーションバー７を通る場合と比べて、第２トーションバー７，８間において発熱量を均一化させることができる。その結果、熱分布の偏りに起因して第２可動部４の固有振動数や剛性が変化してしまうのを抑制することができる。
アクチュエータ装置１では、第２可動部４には、コイル１４が内側端部１４ａから渦巻き状に仮想的に延長された位置に、コイル１４との質量バランスを調整するためのダミーコイル６７が設けられると共に、コイル１５が内側端部１５ａから渦巻き状に仮想的に延長された位置に、コイル１５との質量バランスを調整するためのダミーコイル６８が設けられている。これにより、第２可動部４の質量バランス及び剛性バランスを向上することができる。
アクチュエータ装置１では、第２可動部４には、跨ぎ配線６２との質量バランスを調整するためのダミー跨ぎ配線６５と、跨ぎ配線６４との質量バランスを調整するためのダミー跨ぎ配線６６とが設けられている。これにより、第２可動部４の質量バランス及び剛性バランスを向上することができる。
アクチュエータ装置１では、ダミー跨ぎ配線６５が、平面視において、跨ぎ配線６２に対して第２可動部４の中心に関して点対称となる位置に配置されている。同様に、ダミー跨ぎ配線６６が、平面視において、跨ぎ配線６４に対して第２可動部４の中心に関して点対称となる位置に配置されている。これにより、第２可動部４の質量バランス及び剛性バランスを効果的に向上することができる。
アクチュエータ装置１では、一対のコイル１４，１５が、平面視において第２可動部４の幅方向に互い違いに並ぶように、配置されている。これにより、第１可動部３を好適に駆動することができる。
アクチュエータ装置１では、コイル１４は、コイル１５が内側端部１５ａから渦巻き状に仮想的に延長された位置に配置されている。これにより、コイル１４をより外側に配置することができ、駆動力を増加させることができる。
アクチュエータ装置１では、第２トーションバー７，８が、Ｙ軸周りに第２可動部４が揺動可能となるように、第２可動部４と支持部２とを互いに連結している。これにより、第２可動部４を第１可動部３と共にＹ軸周りに揺動させることができる。
アクチュエータ装置１では、支持部２における第１配線２１が、互いに並列に接続された複数の配線部２１ａを有している。これにより、支持部２における第１配線２１の配線抵抗を低減することができ、発熱量の増加をより一層効果的に抑制することができる。
アクチュエータ装置１は、各外部端子２５〜２８にそれぞれ接続され、外部に引き出された四対のワイヤ２９を備えている。これにより、各外部端子２５〜２８から引き出される配線の配線抵抗を低減することができ、発熱量の増加をより一層効果的に抑制することができる。
以上、本開示の一実施形態について説明したが、本開示は、上記実施形態に限られない。例えば、図８に示される変形例のように、コイル１４，１５及び引き出し配線６１は、第２可動部４上に配置されてもよい。この変形例では、第２可動部４の表面上に絶縁層３４が設けられ、絶縁層３４上に跨ぎ配線６２が設けられている。絶縁層３４上には、跨ぎ配線６２を覆うように絶縁層３５が設けられている。コイル１４，１５及び引き出し配線６１は、絶縁層３５上に設けられている。すなわち、コイル１４，１５は、絶縁層３４，３５を介して第２可動部４上に配置されており、跨ぎ配線６２は、コイル１４，１５の下側を跨ぐように、コイル１４，１５と第２可動部４との間に延在している。
絶縁層３５には、平面視においてコイル１４の内側端部１４ａに対応する位置に開口３５ａが設けられると共に、平面視において引き出し配線６１の端部６１ａに対応する位置に開口３５ｂが設けられている。跨ぎ配線６２は、各開口３５ａ，３５ｂに入り込んでおり、開口３５ａ，３５ｂを介して内側端部１４ａと端部６１ａとに接続されている。絶縁層３５上には、各コイル１４，１５及び引き出し配線６１を覆うように絶縁層３７が設けられている。絶縁層３７は、各コイル１４，１５及び引き出し配線６１の保護のために設けられている。各コイル１４，１５及び引き出し配線６１が例えば金等の腐食耐性を有する金属材料によって構成されている場合には、絶縁層３５は設けられなくてもよい。跨ぎ配線６４についても跨ぎ配線６２と同様に、コイル１４，１５の下側を跨ぐように、コイル１４，１５と第２可動部４との間に配置される。
このような変形例によっても、上記実施形態と同様に、コイル１４，１５に入力される電流量が増加した場合でも発熱量の増加を抑制することができると共に、信頼性の向上及び製造の容易化を図ることができる。更に、コイル１４，１５が第２可動部４上に配置されており、跨ぎ配線６２，６４が、コイル１４，１５の下側を跨ぐように、コイル１４，１５と第２可動部４との間に延在しているため、跨ぎ配線６２，６４の保護を図ることができる。更に、跨ぎ配線６２，６４の厚さＴ１が各コイル１４，１５の厚さＴ２よりも薄いため、跨ぎ配線６２，６４の上側を跨ぐようにコイル１４，１５を容易に形成することができる。その結果、コイル１４，１５に破損等（例えば亀裂）が生じるのを抑制することができ、コイル１４，１５の信頼性を向上することができる。
上記実施形態では、Ｙ軸周りに第１可動部３及び第２可動部４をリニア動作させたが、Ｙ軸周りに第１可動部３及び第２可動部４を共振動作させてもよい。上記実施形態では、第２可動部４に一対のコイル１４，１５が設けられていたが、第２可動部４に１本のコイルのみが設けられてもよい。この場合でも、当該コイルへの駆動信号の入力により、第１可動部３をＸ軸周りに揺動させると共に第２可動部４をＹ軸周りに揺動させることができる。第２可動部４にコイル１４のみが設けられる場合、各配線２３，２４及び各外部端子２７，２８は省略されるが、上記実施形態において跨ぎ配線６４が配置されていた位置に、跨ぎ配線６２との質量バランスを調整するためのダミー跨ぎ配線が設けられてもよい。すなわち、第２可動部４には、平面視において跨ぎ配線６２に対してＹ軸に関して対称な位置に、ダミー跨ぎ配線が設けられてもよい。上記実施形態において、起電力を測定するための起電力モニタコイルが第２可動部４に設けられてもよいし、温度を測定するための温度センサコイルが支持部２に設けられてもよい。
上記実施形態では、Ｘ軸及びＹ軸のそれぞれの周りに第１可動部３が揺動させられたが、Ｘ軸周りのみに第１可動部３が揺動させられるようにアクチュエータ装置１が構成されてもよい。この場合、第２連結部は、第２トーションバー７，８のように捩れ変形可能なものでなくてもよく、第２可動部４を振動させることによってＸ軸周りに第１可動部３が揺動可能となるように（第２可動部４が少なくともＸ軸周りに振動可能となるように）、第２可動部４と支持部２とを互いに連結するものであればよい。このような第２連結部の設計自由度は比較的高い。例えば、第２連結部は、Ｙ軸上における第２可動部４の両側に配置され、Ｙ軸上において第２可動部４と支持部２とに接続された一対の部材であってもよいし、Ｙ軸上及び／又はＹ軸上以外の位置において第２可動部４と支持部２とに接続された複数対の部材であってもよい。或いは、第２連結部は、Ｘ軸上における第２可動部４の両側に配置され、Ｘ軸上において第２可動部４と支持部２とに接続された一対の部材であってもよい。これらの場合、第２可動部４には、１本のコイルが設けられる。当該コイルへの駆動信号の入力により、第１可動部３をＸ軸周りに揺動させることができる。
第２可動部４にコイル１４のみが設けられる場合、第１配線２１が第２トーションバー７を通ると共に第２配線２２が第２トーションバー８を通ってもよいが、第１配線２１及び第２配線２２の双方が第２トーションバー７を通ってもよい。この場合、ダミーコイル６７を省略することができる。跨ぎ配線６２の幅Ｗ４及び跨ぎ配線６４の幅Ｗ７の少なくとも一方は、コイル１４，１５の配置領域Ｒの幅Ｗ６よりも狭くてもよい。コイル１４と跨ぎ配線６２との接触領域の長さＬ１、引き出し配線６１と跨ぎ配線６２との接触領域の長さＬ２、コイル１５と跨ぎ配線６４との接触領域の長さＬ３、及び引き出し配線６３と跨ぎ配線６４との接触領域の長さＬ４の少なくとも１つは、コイル１４，１５の幅Ｗ５よりも小さくてもよい。
各構成の材料及び形状には、上述した材料及び形状に限らず、様々な材料及び形状を採用することができる。例えば、跨ぎ配線６２，６４は、一方向に沿って延在する部分のみを有していてもよく、跨ぎ配線６２，６４の形状及び配置は上述した例に限られない。第２可動部４は、平面視において略円形状、略楕円形状、略四角形状又は略菱形状等を呈していてもよい。環状部３ｂが設けられず、第１トーションバー５，６が本体部３ａに直接に接続されてもよい。第２トーションバー７，８は、平面視において直線状に延在していてもよい。第２トーションバー７，８は、第２可動部４がＹ軸周りに揺動可能となるように、Ｙ軸上以外の位置において第２可動部４と支持部２とを互いに連結していてもよい。ダミー跨ぎ配線６５，６６及びダミーコイル６７，６８の少なくとも一方は設けられなくてもよい。アクチュエータ装置１は、ミラー面１０以外を駆動するものであってもよい。上記実施形態では、一対のコイル１４，１５が互い違いに並ぶように配置されていたが、平面視においてコイル１４，１５の一方が他方の内側に配置されてもよい。３本以上のワイヤ２９が第１外部端子２５に接続されてもよい。上記変形例において、第２可動部上に設けられたコイル１４，１５の上側を跨ぐように、跨ぎ配線６２が設けられてもよい。上記実施形態では、第２可動部４を振動させることによって第１可動部３が揺動させられたが、第１可動部３にコイルが設けられ、当該コイルに作用するローレンツ力によって第１可動部３が直接に揺動させられてもよい。この場合でも、上記実施形態と同様に、発熱量の増加を抑制することができる。
１…アクチュエータ装置、２…支持部、３…第１可動部、４…第２可動部、５，６…第１トーションバー（第１連結部）、７，８…第２トーションバー（第２連結部）、９…磁界発生部、１４，１５…コイル、２１…第１配線、２１ａ…配線部、２２…第２配線、２５…第１外部端子、２６…第２外部端子、２９…ワイヤ、６１，６３…引き出し配線、６２，６４…跨ぎ配線、６５，６６…ダミー跨ぎ配線、６７，６８…ダミーコイル。

Claims (10)

  1. 支持部と、
    第１可動部と、
    前記第１可動部を囲むように配置された枠状の第２可動部と、
    第１軸線周りに前記第１可動部が揺動可能となるように、前記第１可動部と前記第２可動部とを互いに連結する第１連結部と、
    前記第２可動部を振動させることによって前記第１軸線周りに前記第１可動部が揺動可能となるように、前記第２可動部と前記支持部とを互いに連結する第２連結部と、
    前記第２可動部に設けられた渦巻き状のコイルと、
    前記コイルに作用する磁界を発生させる磁界発生部と、
    前記支持部に設けられた第１外部端子と、
    前記コイルの内側端部と前記第１外部端子とに接続された第１配線と、を備え、
    前記第１配線は、前記第１外部端子に接続された引き出し配線と、前記コイルを跨ぐように前記第２可動部に設けられ、前記コイルの前記内側端部と前記引き出し配線とに接続された跨ぎ配線と、を有し、
    前記跨ぎ配線の幅は、前記コイルの幅よりも広く、
    前記跨ぎ配線の厚さは、前記コイルの厚さよりも薄く、
    前記コイルと前記跨ぎ配線との接触領域の長さは、前記コイルの幅よりも大きい、アクチュエータ装置。
  2. 支持部と、
    第１可動部と、
    前記第１可動部を囲むように配置された枠状の第２可動部と、
    第１軸線周りに前記第１可動部が揺動可能となるように、前記第１可動部と前記第２可動部とを互いに連結する第１連結部と、
    前記第２可動部を振動させることによって前記第１軸線周りに前記第１可動部が揺動可能となるように、前記第２可動部と前記支持部とを互いに連結する第２連結部と、
    前記第２可動部に設けられた渦巻き状のコイルと、
    前記コイルに作用する磁界を発生させる磁界発生部と、
    前記支持部に設けられた第１外部端子と、
    前記コイルの内側端部と前記第１外部端子とに接続された第１配線と、を備え、
    前記第１配線は、前記第１外部端子に接続された引き出し配線と、前記コイルを跨ぐように前記第２可動部に設けられ、前記コイルの前記内側端部と前記引き出し配線とに接続された跨ぎ配線と、を有し、
    前記跨ぎ配線の幅は、前記コイルの幅よりも広く、
    前記跨ぎ配線の厚さは、前記コイルの厚さよりも薄く、
    前記引き出し配線と前記跨ぎ配線との接触領域の長さは、前記コイルの幅よりも大きい、アクチュエータ装置。
  3. 支持部と、
    第１可動部と、
    前記第１可動部を囲むように配置された枠状の第２可動部と、
    第１軸線周りに前記第１可動部が揺動可能となるように、前記第１可動部と前記第２可動部とを互いに連結する第１連結部と、
    前記第２可動部を振動させることによって前記第１軸線周りに前記第１可動部が揺動可能となるように、前記第２可動部と前記支持部とを互いに連結する第２連結部と、
    前記第２可動部に設けられた渦巻き状のコイルと、
    前記コイルに作用する磁界を発生させる磁界発生部と、
    前記支持部に設けられた第１外部端子と、
    前記コイルの内側端部と前記第１外部端子とに接続された第１配線と、を備え、
    前記第１配線は、前記第１外部端子に接続された引き出し配線と、前記コイルを跨ぐように前記第２可動部に設けられ、前記コイルの前記内側端部と前記引き出し配線とに接続された跨ぎ配線と、を有し、
    前記跨ぎ配線の幅は、前記コイルの幅よりも広く、
    前記跨ぎ配線の厚さは、前記コイルの厚さよりも薄く、
    前記跨ぎ配線の幅は、前記コイルの配置領域の幅よりも広い、アクチュエータ装置。
  4. 前記跨ぎ配線の断面積は、前記コイルの断面積よりも大きい、請求項１〜３のいずれか一項に記載のアクチュエータ装置。
  5. 前記コイルは、前記第２可動部に埋め込まれており、
    前記跨ぎ配線は、平坦な層状に形成され、前記コイルの上側を跨ぐように延在している、請求項１〜４のいずれか一項に記載のアクチュエータ装置。
  6. 前記コイルは、前記第２可動部上に配置されており、
    前記跨ぎ配線は、前記コイルの下側を跨ぐように、前記コイルと前記第２可動部との間に延在している、請求項１〜４のいずれか一項に記載のアクチュエータ装置。
  7. 前記第２可動部には、前記コイルが前記内側端部から渦巻き状に仮想的に延長された位置に、前記コイルとの質量バランスを調整するためのダミーコイルが設けられている、請求項１〜６のいずれか一項に記載のアクチュエータ装置。
  8. 前記第２連結部は、前記第１軸線に直交する第２軸線周りに前記第２可動部が揺動可能となるように、前記第２可動部と前記支持部とを互いに連結している、請求項１〜７のいずれか一項に記載のアクチュエータ装置。
  9. 前記支持部における前記第１配線は、互いに並列に接続された複数の配線部を有する、請求項１〜８のいずれか一項に記載のアクチュエータ装置。
  10. 前記第１外部端子に接続され、外部に引き出された一対のワイヤを更に備える、請求項１〜９のいずれか一項に記載のアクチュエータ装置。

JP2019114555A 2017-12-01 2019-06-20 アクチュエータ装置 Active JP6571896B1 (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2017232057 2017-12-01
JP2017232057 2017-12-01

Related Parent Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2019526620A Division JP6546370B1 (ja) 2017-12-01 2018-11-26 アクチュエータ装置

Related Child Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2019146328A Division JP7231515B2 (ja) 2017-12-01 2019-08-08 アクチュエータ装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP6571896B1 true JP6571896B1 (ja) 2019-09-04
JP2019174835A JP2019174835A (ja) 2019-10-10

Family

ID=66665028

Family Applications (4)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2019526620A Active JP6546370B1 (ja) 2017-12-01 2018-11-26 アクチュエータ装置
JP2019114555A Active JP6571896B1 (ja) 2017-12-01 2019-06-20 アクチュエータ装置
JP2019146328A Active JP7231515B2 (ja) 2017-12-01 2019-08-08 アクチュエータ装置
JP2023022227A Active JP7506780B2 (ja) 2017-12-01 2023-02-16 アクチュエータ装置

Family Applications Before (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2019526620A Active JP6546370B1 (ja) 2017-12-01 2018-11-26 アクチュエータ装置

Family Applications After (2)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2019146328A Active JP7231515B2 (ja) 2017-12-01 2019-08-08 アクチュエータ装置
JP2023022227A Active JP7506780B2 (ja) 2017-12-01 2023-02-16 アクチュエータ装置

Country Status (6)

Country Link
US (4) US11394284B2 (ja)
EP (1) EP3719558B1 (ja)
JP (4) JP6546370B1 (ja)
KR (1) KR20200095458A (ja)
CN (2) CN111417884B (ja)
WO (1) WO2019107311A1 (ja)

Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6696777B2 (ja) 2016-01-21 2020-05-20 浜松ホトニクス株式会社 アクチュエータ装置
WO2019107311A1 (ja) 2017-12-01 2019-06-06 浜松ホトニクス株式会社 アクチュエータ装置
IT201900004199A1 (it) * 2019-03-22 2020-09-22 St Microelectronics Srl Struttura microelettromeccanica di specchio risonante biassiale ad attuazione piezoelettrica con migliorate caratteristiche
JP7292469B2 (ja) * 2020-04-23 2023-06-16 浜松ホトニクス株式会社 アクチュエータ装置
CN115498801A (zh) * 2022-09-27 2022-12-20 苏州昀冢电子科技股份有限公司 一种马达基座及其制造方法

Family Cites Families (117)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
NL7802795A (nl) * 1978-03-15 1979-09-18 Philips Nv Scheerapparaat.
JPS5567954A (en) * 1978-11-16 1980-05-22 Olympus Optical Co Ltd Auto-reverse tape recorder
DE2851384A1 (de) * 1978-11-28 1980-06-04 Bohner & Koehle Maschine zum druecken oder fliessdruecken von rotationssymmetrischen werkstuecken
DE2851562A1 (de) * 1978-11-29 1980-06-12 Rentrop Hubbert & Wagner Sitz, insbesondere kraftfahrzeugsitz
US4260375A (en) * 1979-12-13 1981-04-07 Melvin Wallshein Bent wire orthodontic spring clip
GB2070207B (en) * 1980-02-19 1983-03-23 Desoutter Ltd Safety catch for a power tool
US4421381A (en) * 1980-04-04 1983-12-20 Yokogawa Hokushin Electric Corp. Mechanical vibrating element
US4429909A (en) * 1981-12-11 1984-02-07 Lindquist John L Restraint assembly for door exit devices
US5011122A (en) * 1982-08-23 1991-04-30 Frank Meyers Resilient torsion arrangement
DE3473351D1 (en) * 1983-05-31 1988-09-15 Keisuke Hirata Rheometer
DE3323696A1 (de) * 1983-07-01 1985-01-10 Thyssen Industrie Ag, 4300 Essen Verfahren und vorrichtung zum verlegen einer vorgefertigten wicklung eines linearmotors
DE3334881A1 (de) * 1983-09-27 1985-04-11 Fa. Carl Freudenberg, 6940 Weinheim Gummikupplung
US4533803A (en) * 1983-10-17 1985-08-06 The Singer Company Switch construction
US4630185A (en) * 1985-10-30 1986-12-16 Copeland Anthony S Mechanical arm with two link members
DE3619408A1 (de) * 1986-06-09 1987-12-10 Battelle Institut E V Anordnung zur gewinnung von geradsymmetrischen signalen
US4763967A (en) * 1986-11-18 1988-08-16 General Scanning, Inc. Tunable resonant device
US4775870A (en) * 1987-02-10 1988-10-04 Texas Instruments Incorporated Non-impact printer
DE3877222T2 (de) * 1987-02-11 1993-05-06 Gec Aerospace Ltd Messfuehler.
US5253730A (en) * 1988-06-08 1993-10-19 Honda Giken Kogyo Kabushiki Kaisha Power steering apparatus
US4952197A (en) * 1988-11-23 1990-08-28 Dayco Products, Inc. Belt tensioner and method of making the same
US4886483A (en) * 1988-11-23 1989-12-12 Dayco Products, Inc. Belt tensioner and method of making the same
US4978326A (en) * 1988-11-23 1990-12-18 Dayco Products, Inc. Belt tensioner and method of making the same
US4908007A (en) * 1988-11-23 1990-03-13 Dayco Products, Inc. Belt tensioner and method of making the same
US4913242A (en) * 1989-08-07 1990-04-03 Top Driver Enterprise Co., Ltd. Electric screw driver
US5205792A (en) * 1991-02-27 1993-04-27 Dayco Products, Inc. Tensioner for a power transmission belt and method of making the same
DE4110035C2 (de) * 1991-03-27 1995-04-13 Roland Man Druckmasch Vorrichtung zum Verstellen von Elementen in Falzwerkzylindern von Rotationsdruckmaschinen
JPH05147383A (ja) * 1991-11-26 1993-06-15 Mutoh Ind Ltd プロツタ用シ−ト部材搬送方法及び装置
JPH05245590A (ja) * 1992-03-04 1993-09-24 Sumitomo Heavy Ind Ltd 連続鋳造用鋳片厚さ可変モールド
JP2607006Y2 (ja) * 1993-01-18 2001-03-19 旭光学工業株式会社 カメラのズームファインダ装置
US5629790A (en) * 1993-10-18 1997-05-13 Neukermans; Armand P. Micromachined torsional scanner
CH689543A5 (fr) * 1994-07-21 1999-06-15 Rossignol Sa Dispositif de fixation d'une chaussure sur un surf à neige.
DE69507091T3 (de) * 1994-07-29 2004-07-22 Aisin Seiki K.K., Kariya Drehmoment-absorbierende Scheibe
KR100343219B1 (ko) * 1995-02-25 2002-11-23 삼성전기주식회사 거울구동장치
US5567109A (en) * 1995-04-05 1996-10-22 Eaton; Jay S. Self-loading tobacco trailer
US5634681A (en) * 1995-04-06 1997-06-03 Gionta; Mark S. Truck mounted work station
WO1996039643A1 (fr) * 1995-06-05 1996-12-12 Nihon Shingo Kabushiki Kaisha Actionneur electromagnetique
US5748394A (en) * 1995-07-26 1998-05-05 Konica Corporation Lens driving device
US5758705A (en) * 1996-05-09 1998-06-02 Kelley Company, Inc. Roll-up door
US6188504B1 (en) * 1996-06-28 2001-02-13 Olympus Optical Co., Ltd. Optical scanner
US5778928A (en) * 1996-07-12 1998-07-14 Aeroquip Corporation Marine drain valve
US5774253A (en) * 1996-10-25 1998-06-30 Lockheed Martin Corporation Compact window viewing system
US5999303A (en) * 1997-03-24 1999-12-07 Seagate Technology Inc. Micro-machined mirror using tethered elements
WO1998044571A1 (en) * 1997-04-01 1998-10-08 Xros, Inc. Adjusting operating characteristics of micromachined torsional oscillators
GB9707552D0 (en) * 1997-04-15 1997-06-04 Fujifilm Electronic Imaging Li Image viewing apparatus
EP0893375B1 (en) * 1997-07-21 2001-10-17 Scorpio Conveyor Products (Proprietary) Limited Cleaning plough scraper for conveyor belts
AU738112B2 (en) * 1997-07-25 2001-09-06 Scorpio Conveyor Products (Proprietary) Limited Conveyor scraper and mounting of scraper blade
US6201629B1 (en) * 1997-08-27 2001-03-13 Microoptical Corporation Torsional micro-mechanical mirror system
JP3818752B2 (ja) * 1997-09-24 2006-09-06 Ｓｍｃ株式会社 ロッドレスシリンダ
DE19742314C2 (de) * 1997-09-25 2000-06-21 Daimler Chrysler Ag Tragende Struktur
US5933066A (en) * 1997-11-13 1999-08-03 Eaton Corporation Circuit interrupter with terminal shield and wire trough
EP1119792A2 (en) * 1998-09-02 2001-08-01 Xros, Inc. Micromachined members coupled for relative rotation by torsional flexure hinges
JP4111619B2 (ja) * 1999-02-26 2008-07-02 日本信号株式会社 プレーナ型光走査装置の実装構造
JP2002023097A (ja) * 2000-07-10 2002-01-23 Olympus Optical Co Ltd ねじり揺動体
US20020130561A1 (en) * 2001-03-18 2002-09-19 Temesvary Viktoria A. Moving coil motor and implementations in MEMS based optical switches
US7872394B1 (en) * 2001-12-13 2011-01-18 Joseph E Ford MEMS device with two axes comb drive actuators
JP4550578B2 (ja) * 2002-10-10 2010-09-22 富士通株式会社 トーションバーを備えるマイクロ可動素子
US7446911B2 (en) * 2002-11-26 2008-11-04 Brother Kogyo Kabushiki Kaisha Optical scanning apparatus and image forming apparatus
WO2004092745A1 (de) * 2003-04-15 2004-10-28 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e. V. Mikromechanisches bauelement mit einstellbarer resonanzfrequenz
US6965177B2 (en) * 2003-06-18 2005-11-15 Texas Instruments Incorporated Pulse drive of resonant MEMS devices
KR100587327B1 (ko) * 2003-10-13 2006-06-08 엘지전자 주식회사 가변 광 감쇠기
JP4027359B2 (ja) * 2003-12-25 2007-12-26 キヤノン株式会社 マイクロ揺動体、光偏向器、画像形成装置
JP2005292381A (ja) * 2004-03-31 2005-10-20 Canon Inc 光偏向器
US7233343B2 (en) * 2004-11-24 2007-06-19 Texas Instruments Incorporated Serial printing with multiple torsional hinged MEMS mirrors
JP4385937B2 (ja) * 2004-12-15 2009-12-16 セイコーエプソン株式会社 アクチュエータ
JP2006235582A (ja) * 2005-02-25 2006-09-07 Samsung Electro-Mechanics Co Ltd チルティング部材とこれを有するアクチュエータ
KR100633861B1 (ko) * 2005-05-04 2006-10-13 삼성전기주식회사 진동형 틸팅장치 및 이를 구비한 영상투사장치
DE102005033800B4 (de) * 2005-07-13 2016-09-15 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Mikromechanisches optisches Element mit einer reflektierenden Fläche sowie dessen Verwendung
JP4935013B2 (ja) * 2005-07-21 2012-05-23 ブラザー工業株式会社 光走査装置、画像表示装置及び光スキャナの共振周波数変更方法並びに反射ミラー位置の補正方法
US20070222334A1 (en) * 2006-03-24 2007-09-27 Chang-Feng Wan Microelectromechanical step actuator capable of both analog and digital movements
JP5098254B2 (ja) * 2006-08-29 2012-12-12 富士通株式会社 マイクロ揺動素子
US7489429B2 (en) * 2007-02-14 2009-02-10 Michael J. Scaggs Precision laser machining apparatus
DE102007021920B8 (de) * 2007-05-10 2011-12-29 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Vorrichtung zum Entwerfen eines mikromechanischen Bauelements mit angepasster Empfindlichkeit, Verfahren zur Herstellung eines mikromechanischen Bauelements und eines mikromechanischen Systems
JP2009251002A (ja) * 2008-04-01 2009-10-29 Seiko Epson Corp アクチュエータ、画像形成装置及びアクチュエータの製造方法
JP5391579B2 (ja) * 2008-05-15 2014-01-15 船井電機株式会社 振動素子
US8132912B1 (en) * 2008-06-29 2012-03-13 Aoptix Technologies, Inc. Iris imaging system using circular deformable mirror mounted by its circumference
DE102008049647B4 (de) * 2008-09-30 2011-11-24 Technische Universität Dresden Mikromechanisches Element und Verfahren zum Betreiben eines mikromechanischen Elements
US8218218B2 (en) * 2009-04-08 2012-07-10 Microvision, Inc. Fatigue resistant MEMS apparatus and system
JP5444968B2 (ja) * 2009-05-11 2014-03-19 ミツミ電機株式会社 アクチュエータ及びこれを用いた光走査装置
US8593712B2 (en) * 2009-07-17 2013-11-26 Nec Corporation Small size fast steering mirror having small size and excellent vibration characteristics
JP2011107675A (ja) * 2009-10-20 2011-06-02 Seiko Epson Corp 光偏向素子、光偏向器、及び画像形成装置
CN102648577A (zh) * 2009-11-19 2012-08-22 日本先锋公司 驱动装置
JP5736766B2 (ja) * 2010-12-22 2015-06-17 ミツミ電機株式会社 光走査装置
EP2689283A1 (en) 2011-03-25 2014-01-29 Lemoptix SA A reflective device
JP5842369B2 (ja) * 2011-04-11 2016-01-13 セイコーエプソン株式会社 アクチュエーターの製造方法、光スキャナーの製造方法および画像形成装置の製造方法、アクチュエーター、光スキャナーおよび画像形成装置
JP2013122375A (ja) * 2011-11-07 2013-06-20 Seiko Epson Corp 物理量検出デバイス、物理量検出器、および電子機器
JP5860066B2 (ja) * 2012-01-24 2016-02-16 パイオニア株式会社 アクチュエータ
JP5962900B2 (ja) * 2012-04-02 2016-08-03 セイコーエプソン株式会社 物理量センサーおよび電子機器
JP5935986B2 (ja) * 2012-04-06 2016-06-15 セイコーエプソン株式会社 物理量センサーおよび電子機器
JP5930183B2 (ja) * 2012-04-09 2016-06-08 セイコーエプソン株式会社 物理量センサーおよび電子機器
JP6098780B2 (ja) * 2012-04-19 2017-03-22 セイコーエプソン株式会社 ジャイロセンサーおよび電子機器
WO2013168386A1 (ja) * 2012-05-07 2013-11-14 パナソニック株式会社 光学反射素子
JP5978855B2 (ja) 2012-08-22 2016-08-24 セイコーエプソン株式会社 アクチュエーター、光スキャナー、画像表示装置、ヘッドマウントディスプレイ
JP2017060205A (ja) 2013-08-01 2017-03-23 インテル・コーポレーション ミラー装置
JP6175305B2 (ja) 2013-08-01 2017-08-02 インテル・コーポレーション ミラー駆動装置
JP2015227899A (ja) 2013-01-11 2015-12-17 浜松ホトニクス株式会社 ミラー駆動装置
EP2944998B1 (en) * 2013-01-11 2018-10-03 Intel Corporation Mirror driving device
WO2014162521A1 (ja) 2013-04-02 2014-10-09 パイオニア株式会社 アクチュエータ
US9223129B2 (en) * 2013-04-19 2015-12-29 Microvision, Inc. MEMS device with multi-segment flexures
DE102013209234B4 (de) * 2013-05-17 2018-04-05 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Vorrichtung mit einem schwingfähig aufgehängten optischen Element
JP6253915B2 (ja) 2013-08-01 2017-12-27 浜松ホトニクス株式会社 アクチュエータ装置及びミラー駆動装置
JP6250323B2 (ja) 2013-08-01 2017-12-20 浜松ホトニクス株式会社 ミラー駆動装置
JP2015087444A (ja) * 2013-10-29 2015-05-07 セイコーエプソン株式会社 光スキャナー、画像表示装置、ヘッドマウントディスプレイおよびヘッドアップディスプレイ
WO2015092907A1 (ja) * 2013-12-19 2015-06-25 パイオニア株式会社 駆動装置
JP6479354B2 (ja) 2014-06-30 2019-03-06 浜松ホトニクス株式会社 ミラー駆動装置及びその製造方法
US9910270B2 (en) * 2015-10-12 2018-03-06 Intel Corporation Electro-mechanical designs for MEMS scanning mirrors
ITUB20156009A1 (it) * 2015-11-30 2017-05-30 St Microelectronics Srl Riflettore mems biassiale risonante con attuatori piezoelettrici e sistema mems proiettivo includente il medesimo
ITUB20156807A1 (it) * 2015-12-07 2017-06-07 St Microelectronics Srl Dispositivo micromeccanico dotato di una struttura orientabile tramite attuazione quasi-statica di tipo piezoelettrico
JP6696777B2 (ja) * 2016-01-21 2020-05-20 浜松ホトニクス株式会社 アクチュエータ装置
JP6691784B2 (ja) 2016-01-21 2020-05-13 浜松ホトニクス株式会社 アクチュエータ装置
JP2017181710A (ja) 2016-03-30 2017-10-05 セイコーエプソン株式会社 光スキャナー用部材、光スキャナー、画像表示装置およびヘッドマウントディスプレイ
JP2017181715A (ja) * 2016-03-30 2017-10-05 セイコーエプソン株式会社 光スキャナー用部材、光スキャナー、光スキャナーの製造方法、画像表示装置およびヘッドマウントディスプレイ
WO2018027123A1 (en) * 2016-08-05 2018-02-08 Sanofi Pasteur, Inc. Multivalent pneumococcal polysaccharide-protein conjugate composition
IT201600121010A1 (it) * 2016-11-29 2018-05-29 St Microelectronics Srl Dispositivo mems con azionamento piezoelettrico, sistema mems proiettivo includente il dispositivo mems e relativo metodo di pilotaggio
EP4198605A1 (en) * 2017-02-28 2023-06-21 Hamamatsu Photonics K.K. Optical module
JP6924090B2 (ja) * 2017-07-21 2021-08-25 浜松ホトニクス株式会社 アクチュエータ装置
WO2019107311A1 (ja) 2017-12-01 2019-06-06 浜松ホトニクス株式会社 アクチュエータ装置
JP6777183B2 (ja) * 2019-03-29 2020-10-28 三菱電機株式会社 照明器具

Also Published As

Publication number Publication date
US11581792B2 (en) 2023-02-14
CN115051526A (zh) 2022-09-13
EP3719558A1 (en) 2020-10-07
JP2019204120A (ja) 2019-11-28
JP6546370B1 (ja) 2019-07-17
CN111417884B (zh) 2022-07-29
CN111417884A (zh) 2020-07-14
JP2023059923A (ja) 2023-04-27
JP2019174835A (ja) 2019-10-10
EP3719558B1 (en) 2024-03-20
US20230378861A1 (en) 2023-11-23
WO2019107311A1 (ja) 2019-06-06
US20230145171A1 (en) 2023-05-11
US11757341B2 (en) 2023-09-12
JP7506780B2 (ja) 2024-06-26
KR20200095458A (ko) 2020-08-10
US11394284B2 (en) 2022-07-19
EP3719558A4 (en) 2021-07-21
JP7231515B2 (ja) 2023-03-01
US12021431B2 (en) 2024-06-25
US20210036592A1 (en) 2021-02-04
JPWO2019107311A1 (ja) 2019-12-12
US20220320985A1 (en) 2022-10-06

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP6571896B1 (ja) アクチュエータ装置
US11673794B2 (en) Actuator device
WO2021070946A1 (ja) Ｍｅｍｓ素子および振動発電デバイス
US11899199B2 (en) Optical device
US20240126070A1 (en) Optical device

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20190620

A871 Explanation of circumstances concerning accelerated examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A871

Effective date: 20190620

A975 Report on accelerated examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971005

Effective date: 20190627

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20190709

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20190808

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 6571896

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250