KR100343219B1

KR100343219B1 - 거울구동장치

Info

Publication number: KR100343219B1
Application number: KR1019950003760A
Authority: KR
Inventors: 송기무; 이철우; 조한기
Original assignee: 삼성전기주식회사
Priority date: 1995-02-25
Filing date: 1995-02-25
Publication date: 2002-11-23
Also published as: KR960032034A; US5748172A; JPH08248334A; DE19606095A1; FR2731084B1; FR2731084A1

Abstract

빛의 편향과 한 광속에 대한 변조를 위한 거울구동방법과 그 장치가 개시되어 있다. 개시에 있어서, 거울부재(1)는 그 표면에서 빛을 반사하는 것으로서, 그 측면의 중심부(C)를 지점으로 회전요동가능하게 지지된다. 이 거울부재(1)를 회전시키기 위하여 그 이면에 부착되는 코일소자(2,2')와 이에 자계를 가하는 영구자석(3)을 구비한다. 즉, 코일소자(2,2')에 전류가 인가되면, 거울부재(1)가 회전하게 되고, 이때 빛이 편향된다. 이러한 방법으로 거울을 회전시킴으로써 빛의 편향이나 변조가 가능하며, 특히 2차원 화상변조기로서 화상을 표시하는데 그 응용이 가능한 것이다.

Description

거울구동장치

본 발명은 빛의 편향과 한 광속에 대한 변조는 물론 문자나 그림 등의 화상을 표시하기 위한 2차원 화상 변조기로서 이용될 수 있는 거울구동장치에 관한 것으로서, 특히 거울을 자기적(磁氣的) 인력(引力)과 척력(斥力)으로 회전요동시키는 능동형 거울구동장치에 관한 것이다.

거울로 빛을 변조시켜 화상을 표시함에 있어서는, 번조기로서 미세한 거울을 화소단위로 2차원 평면상에 배열한, 소위 미세거울 어레이(micromirror array)를 구성하고, 이 어레이에 있는 미세거울들을 화상신호에 따라 각각 선택적으로 회전시켜 각 화소단위에 있는 빛을 다른 미세거울들에서 반사하는 빛의 경로와 분리시킨 후, 이를 스크린(screen)에 결상시킴으로써 가능하다. 이러한 미세거울 어레이는, 박형으로서 경량화할 수 있고, 값이 월등히 싸며, 특히 기존의 주된 화상표시 수단인 음극선관이나 LCD(liquid crystal sidplay)에 비하여 해상도, 밝기, 화질 등에서 능하는 것으로 그 우수성이 입증되고 있다.

미세거울을 구동하는 방법으로서, 종래에는 정전력(selecrostatic force)을 이용하는 것과 압전체(pizoelectric matrial)의 압전효과를 이용하는 두가지 방식이 있다. 전자는 미국특허 5,083,857로 공개된 다음, 미국 TI사(社)에 의한 DMD(digital micromirror device)로서 구현된 바 있다. 이는 구조가 비교적 간단하고 박형화에 유리한 잇점을 가지나, 충분한 정전력을 얻기 위하여는 거울과 기판 사이의 전극간격이 매우 협소하여야 하므로, 그 제작이 까다롭고, 특히 구동시 거울과 기판 상호간의 접촉에 의하여 전극이 쉽게 마모되는 문제점이 있다. 한편, 후자는 미국 AURA사(社)에 의한 AMA(actuated micromirror array)로서 구현된 바 있는데, 이는 전자에 비하여 구동이 원할한 반면에, 구조가 복잡하고, 가격이 비싸며, 또한 박형에 불리한 등의 문제점이 있다. 이것은 현재에 주로 옥외용 광고 수단으로 이용되고 있다.

본 발명의 목적은 상기한 문제점을 감안하여, 박형화 할 수 있고 안정된 동작특성을 갖는 거울구동장치를 제공함에 있다.

본 발명의 다른 목적은 고해상, 고화질의 화상변조를 위한 거울구동장치를 제공하려는 것이다.

상기한 목적들을 달성하는 본 발명의 거울구동장치는,

공통기판과, 상기 공통기판 상에 배열되는 복수의 거울부재와, 상기 복수의 거울부재에 외부자계를 가하는 제1수단과, 상기 복수의 거울부재에 각각 전류를 흘리는 제2수단과, 상기 복수의 거울부재를 상기 공통기판에 대하여 각각 회전요동하도록 지지하는 지지수단을 포함하여, 상기 제1수단과 제2수단 사이에 작용하는 전자기력으로 상기 복수의 거울부재가 각각 구동되도록 구성한 것을 특징으로 한다.

바람직하게는, 상기 제1수단에는 상기 공통기판 밑에 부착되어 상기 복수의 거울부재 전체에 대하여 균일한 자계를 가하도록 충분히 넓은 자극면을 갖는 영구자석을 구비하며, 상기 제2수단에는 상기 각 거울부재의 이면에 금속박막을 코팅하고 그 금속막을 패턴처리하여 되는 코일도전층을 구비하며, 상기 지지수단에는 상기 공통기판에 상기 복수의 거울부재를 각각 수용하도록 형성한 공간부들과, 각 거울부재의 마주하는 2개의 변 중심부와 그 공동기판의 공간부 가장자리를 일체로 연결하도록 형성되어 상기 각 거울부재의 회전요동을 가능하게 하는 힌지부를 구비한다.

또한 바람직하게는, 상기 거울부재가 그 이면에 상기 코일도전층을 2층으로 형성하기 위한 절연층을 가지게 하는 것이다.

이와같이, 본 발명은 종래에 정전기나 압전효과를 이용하던 것과는 달리 전자기력을 이용하는 것으로, 각각의 장점을 보유하는 동시에 각각의 단점이 보완된, 즉 박형으로서 경량이며, 제작이 쉽고, 특히 안정된 구동특성을 가지는 거울구동장치를 제공할 수 있다. 이러한 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부된 도면에 의거하여 상세하게 설명하면 다음과 같다.

제1도는 본 발명 거울구동장치의 원리를 설명하기 위하여 나타낸 개요도이다. 부호 1은 표면에서 빛이 반사하도록 경면처리된 거울부재(1)로서, 측면의 중심부(C)를 지점으로 하여 좌우 양방향으로 회전요동가능하게 지지된다. 이 거울부재(!)에 전류를 흘리는 코일소자(2,2')가 일체로 부착되어 있으며, 이와 적당한 간격으로 이격되어 자계(E)를 가하는 영구자석(3)이 배치되어 있다.

전술한 코일소자(2,2')에 서로 반대방향으로 전류를 흘리면, 일측 코일소자(2)에 의하여 형성되는 자속()과 타측 코일소자(2')에 의하여 형성되는 자속(')은 서로 반대방향으로 된다. 따라서 영구자석(3)에 의한 동일한 자계(E) 내에서, 양측 코일소자(2,2')에는 서로 반대방향의 전자기력이 작용하게 된다. 따라서 거울부재(1)는 가상선으로 도시된 바와 같이 전술한 중심부(C)를 지점으로 회전하게 되며, 이때 그 표면으로 입사하는 빛이 편향되는 것이다.

한편, 제1도에 있어서, 코일부재(2,2')와 영구자석(3)의 위치는 서로 맞바뀌어도 무방하며, 또한 그 영구자석(3)을 전자석으로 대치할 수 있다.

이러한 본 발명 거울구동장치의 원리는, 단순히 빛을 편향시키는 것 외에도, 예를 들면 전술한 코일소자(2,2')에 흐르는 전류의 방향을 빠르게 바꾸거나 단속하는 것으로 원하는 광신호를 변조하는 데 이용할 수 있다.

제2도는 상기한 본 발명 거울구동장치의 구체적인 실시예로서, 거울부재(1)를 수용지지하는 기판(4)이 구비되어 있다. 거울부재(1)는 마주하는 2개의 변 중심부와 기판(2) 사이를 연결하도록 일체로 형성된 힌지부(5,5')를 중심으로 좌우 양측으로 회전요동할 수 있게 되어 있다.

제3도를 참조하면, 기판(4)은 거울부재(1)의 상기한 회전요동을 수용할 수 있는 적당한 공간부(6)를 가지며, 거울부재(1)에 전류를 흘리는 수단으로 그 거울부재(1)의 이면에 양측에 각각 부착되는 그 거울부재(1)면에 수평하게 대응하는 충분히 넓은 자극(N극 또는 S극)을 갖는 영구자석(3))이 기판(4) 밑면에 부착되어 있다.

제4도를 참조하면, 코일도전층(2A,2A')은 거울부재(1)의 이면 양측에 금속박막을 코팅하고 이를 소정의 패턴으로 식각처리함으로써 형성되고, 양측 힌지부(5, 5')를 경유하여 외부로 인출된다. 한편, 거울부재(1)는 제5도와 같이, 그 표면에 빛을 반사시키기 위한 반사막(7)이 코팅되고, 그 이면에는 전술한 코일도전층(2A,2A')의 2층 배선을 위한 절연층(8)이 구비된 것이다.

본 발명의 거울구동장치는 예를 들면 반도체 웨이퍼의 성장과 금속막의 증착 및 식각 등, 박막처리기술에 의하여 박형으로서 초미세하게 제작가능하다. 따라서SHG(second harmonic generation) 광원을 사용하는 기록재생용 광픽업에 광신호 변조기로서 이용될 수 있다.

제6도는 본 발명의 다른 실시예에 따른 거울구동장치로서, 화상표시를 n이한 2차원 화상변조기(10)를 보인다. 이 장치는 거울부재(1)가 화소단위로 구비되어 넓은 공통기판(4A)상에 바둑판 무늬형태로 다수 배치된 것이다. 각 거울부재(1)는 전술한 실시예에서 설명된 바와 같이 힌지부(5A,5A')로 각각 회전요동할 수 있게 지지된 것이며, 그 이면에 전술한 코일도전층이 각각 패턴처리된 것이다. 한편, 공통기판(4A)의 밑면에는 그 다수의 거울부재(1) 전체에 균일한 자계를 형성하도록 넓은 공통영구자석(3A)이 부착되어 있다.

이와같은 화상변조기(10)로서 구성된 본 발명의 거울구동장치는 제7도와 같은 영상투사장치에 이용될 수 있다. 그 화상변조기(10)는 광원(11)과 결상렌즈(12) 사이에 배치되고 화상신호를 근거로 각 거울부재를 선택구동하는 구동회로와 연결된다. 결상렌즈(12)는 그 화성변조기(10)에 의하여 변조된 광을 결상하여 전방의 대형 스크린에 투사하는 것이다.

본 실시예에 의한 거울구동장치는 비단 화상변조 뿐 아니라, 입사하는 빛을 부분적으로 편향시키는 것으로써 그 빛의 세기를 조절하는 조광기로서도 이용가능한 것이다.

이상에 설명한 바와 같이, 본 발명은 미세거울을 구동함에 있어서, 종래의 정전기나 압전효과와는 또다른 전자기력을 이용하는 새로운 방식을 제공하는 것으로, 그 구조가 간단하므로 제작에 있어서 비용을 절감시키고, 특히 안정된 동작특성을 발휘하므로 각 응용기술에서의 신뢰도를 높이는데 기여할 수 있는 지극히 효과적인 발명이다.

제1도는 본 발명에 따른 거울구동장치의 원리를 설명하기 위하여 나타낸 개요도.

제2도는 본 발명의 실시예에 따른 거울구동장치의 외관을 보인 사시도,

제3도는 제2도의 A-A선 단면도.

제4도는 제2도에 도시된 거울부재의 이면을 보인 평면도.

제5도는 제4도의 B-B선 단면도.

제6도는 본 발명의 다른 실시예에 따른 거울구동장치의 평면도.

제7도는 본 발명의 다른 실시예에 따른 거울구동장치가 적용된 영상투사장치를 보인 개요 측면도.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 *

1...거울부재 2,2'...코일소자

2A,2A'...코일도전층 3,3A...영구자석

4,4A...기판 5,5'...힌지부

Claims

공통기판과,

상기 공통기판 상에 배열되는 복수의 거울부재와,

상기 복수의 거울부재에 외부자계를 가하는 제1수단과,

상기 복수의 거울부재에 각각 전류를 흘리는 제2수단과,

상기 복수의 거울부재를 상기 공통기판에 대하여 각각 회전요동하도록 지지하는 지지수단을 포함하여,

상기 제1수단과 제2수단 사이에 작용하는 전자기력으로 상기 복수의 거울부재가 각각 구동되도록 구성한 것을 특징으로 하는 거울구동장치.
제1항에 있어서, 상기 제1수단이 상기 공통기판 밑에 부착되어 상기 복수의 거울부재 전체에 대하여 균일한 자계를 가하도록 충분히 넓은 자극면을 갖는 영구자석이 구비된 것을 특징으로 하는 거울구동장치.
제1항에 있어서, 상기 제2수단이 상기 각 거울부재의 이면에 금속박막을 코팅하고 그 금속막을 패턴처리하여 되는 코일도전층으로 구비되며, 그 코일도전층이 상기 회전요동의 중심으로 좌우 대칭하게 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 거울구동장치.
제1항에 있어서, 상기 지지수단으로서, 상기 공통기판에 상기 복수의 거울부재를 각각 수용하도록 형성한 공간부들과, 각 거울부재의 마주하는 2개의 변 중심부와 그 공동기판의 공간부 가장자리를 일체로 연결하도록 형성되어 상기 각 거울부재의 회전요동을 가능하게 하는 힌지부가 구비된 것을 특징으로 하는 거울구동장치.
제3항에 있어서, 상기 거울부재가 그 이면에 상기 코일도전층을 2층으로 형성하기 위한 절연층을 가지고 있는 것을 특징으로 하는 거울구동장치.