DE19754676A1 - Vorrichtung und Verfahren zur periodischen Ablenkung von Lichtstrahlen mit vom Betrag konstanter Ablenkgeschwindigkeit - Google Patents

Description

Die Erfindung betrifft eine Ablenkeinheit der im Oberbegriff des Patentanspruches 1 angegebenen Art. Nach dem Stand der Technik sind unterschiedliche Lösungen be­ kannt. In der Makrotechnik werden rotierende Polygonspiegel verwendet, wobei die äußeren Fasetten den Strahl ablenken. Die Drehachse steht senkrecht auf der Nor­ malen der Spiegelflächen. Weitere Lösung sind die Schwingspiegel, wobei diese Variante sowohl in der Makrotechnik als auch in der Mikrotechnik eingesetzt werden.

Folgende Lösungen für mikrotechnische hergestellte Schwenkspiegel existieren:

• 1. EP 0 040 302 A2 "An optical ray defections apparatus" 19.05.80
• 2. P 0 463 348 A2 "Improved bistable DMA addressing circuit and method" 29.06.90
• 3. DE 40 44 608 A1 "Mikromechanisch gefertigter Lichtablenker" 23.10.90 (erloschen)
• 4. DE 41 00 358 A1 "Schwingspiegelanordnung" 05.01.91 (erloschen)
• 5. DE 42 24 599 A1 "Elektostatische Ablenkeinkeit" 23.07.92
• 6. DE 42 29 507 A1 "Mikromechanischer 3-D-Aktor" 30.10.91
• 7. DE 42 35 593 A1 "MikromechanischenAblenkeinrichtung für einen Spiegel" 22.10.92 (erloschen)
• 8. DE 195 23 886 A1 "Mikro-Schwenk-Aktuator und Verfahren zu dessen Herstellung" (30.06.95
• 9. DE 195 48 217 A1 " Optisches Strahlablenksystem" 22.12.95

Alle diese aufgeführten Schwenkspiegel sind mikrotechnisch hergestellt und werden elektrostatisch oder elektrodynamische angetrieben. Die Spiegel werden durch Tor­ sions- oder Biegefedern geführt, wobei zwischen Spiegeln mit dem Freiheitsgrad 1 bis 3 unterschieden werden kann. Die Bewegung ist eine Schwingung um eine oder mehrere feste Achsen. Durch die Ansteuerung des Antriebes kann der Spiegel auf beliebige Punkte einer Fläche oder einer Linie gerichtet werden. Beim kontinuierli­ chem abtasten von Linien oder Flächen werden sie so angesteuert, daß das Ab­ tastgeschwindigkeit über jede halbe Periode konstant ist. Die Bewegung des Spie­ gels entspricht einer Dreieckschwingung, die der Abtastgeschwindigkeit einer Recht­ eckschwingung. So wird eine konstante Abtastgeschwindigkeit über jede halbe Peri­ ode erreicht.

Die Dynamik, die Abtastgeschwindigkeit und der Ablenkwinkel, solcher Systeme sind von der einzutragenden Leistung abhängig, welche hauptsächlich durch die thermische Belastbarkeit begrenzt wird. Nachteile besitzen die torsionsfedergela­ gerten Schwenkspiegeln besonders bei der regelmäßigen Abtastung. Dadurch, daß durch die Federlagerung ein Feder-Masse-System entsteht, dessen natürliche Be­ wegung unter linearen Verhältnissen eine sinusförmige Schwingung mit der Eigen­ frequenz ist, kann nur mit einem großen meßtechnischen und regelungstechnischen Aufwand diesem System die Dreieckschwingung eingeprägt werden. Hierzu ist es notwendig die Position des Spiegels während des gesamten Bewegungsablaufes zu messen und entsprechend zu regeln. In den Grenzbereichen kann wegen den auf­ tretenden Massenkräfte nur von einer Annäherung an diese ideale Bewegungsform gesprochen werden. Dieses Verfahren ist nicht nur mit einem großen materiellen Aufwand verbunden, es ist auch energetisch äußert ungünstig. Der größte Teil der eingespeisten elektrischen Leistung wird in Wärmeleistung und Blindleistung umge­ wandelt. Von Blindleistung wird gesprochen, wenn der Geschwindigkeitsvektor senk­ recht auf dem Kraftvektor steht. Dies ist der Fall, wenn die Frequenz der erzwunge­ ne Schwingung nicht einer Systemeigenresonanz entspricht. Nur die Komponente der Kraft, welche in Richtung der Geschwindigkeit zeigt erzeugt Wirkleistung. Je nach der Phasenverschiebung zwischen Eingang und Ausgang kann der effektive Winkel zwischen dem Geschwindigkeitsvektor und dem Kraftvektor bis zu 90° betra­ gen. Bei der energetisch günstigsten Erregung, einer harmonischen Erregung des System mit einer seiner Eigenresonanzen zeigt der Geschwindigkeitsvektor in Rich­ tung des Kraftvektors. Es wird fast ausschließlich Wirkleistung erzeugt.

Die Dynamik der konventionellen beschriebenen Schwingspiegel wird weiter da­ durch begrenzt, daß diese nur in einem quasi statischen Betriebsfall betrieben wer­ den können, also in einem Bereich wo die frequenzabhängige Verstärkung ver­ nachlässigt werden kann. Bei mechanischen Systemen kann bei Betriebsfrequenzen bis zur Hälfte der Resonanzfrequenz von einem quasistatischen Verhalten gespro­ chen werden. Weiter bekannt ist, daß durch eine Schwingung der Spiegel mit der Eigenresonanz der Energieverbrauch verringert werden kann obwohl der Ablenkwin­ kel erhöht wird. Aufgrund des sinusförmigen Verlaufs der Abtastgeschwindigkeit ist diese Form der Bewegung zur Erzeugung von Bildern ungeeignet, da die einzelnen Bereiche der Bilder mit einer unterschiedlichen Intensität ausgeleuchtet werden.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde Lichtstrahlen periodisch mit nahezu konstanter Abtastgeschwindigkeit und großem Ablenkwinkel abzulenken, wobei so­ wohl die Eigenschaften mikrotechnisch hergestellter Antriebe, wie die hohe Schwin­ gungsgüte, die hohen Verstärkungen im Resonanzfall, die hohen Resonanzfrequen­ zen aufgrund der geringen Masse und guten die Stoffeigenschaften als auch die energetisch günstige Schwingung mit der Resonanzfrequenz genutzt werden sollen. Der meßtechnische und reglungstechnische Aufwand soll auf ein Minimum begrenzt werden.

Die Aufgabe wird durch den Gegenstand des Patentanspruches 1 bis 14 gelöst. Aus einkristallinen Silizium gefertigte Mikrostrukturen weisen eine sehr hohe Schwingungsgüte auf. Sie besitzen wegen der geringen Dämpfung resultierend aus der geringen inneren Reibung eine geringe Bandbreite und eine hohe Verstärkung. Die Schwingspiegel werden in ihrem ersten, zweiten oder einem höheren Schwin­ gungsmode betrieben, dadurch, daß im Resonanzfall der Geschwindigkeitsvektor in Richtung des Kraftvektors zeigt wird die eingespeiste elektrische Leistung haupt­ sächlich in Wirkleistung umgewandelt. So kann bei identischen Aufbau die notwen­ dige elektrische Leistung auf ein Minimum gegrenzt werden. Der zuvor beschriebene Nachteil, der sinusförmige Verlauf der Abtastgeschwindigkeit, wird erfindungsgemäß durch die Kombination eines mit seiner Eigenresonanz schwingenden Schwenkspie­ gels mit einem stationären optischen System gelöst, welches den sinusförmigen Verlauf der Abtastgeschwindigkeit in einen konstanten Verlauf über jede halbe Peri­ ode umwandelt. In den Randbereichen wird der Ablenkwinkel durch die Optik so vergrößert das ein Verlauf mit konstanter Geschwindigkeit entsteht. Neben der Line­ arisierung ist auch eine Vergrößerung der Ablenkwinkels möglich. Hierfür kann eine besonders geformte Linse oder bestimmte Beugungsgitter verwendet werden. Die Schwingung mit der Eigenresonanz ist sehr stabil, es genügt die Überwachung der Schwingungsamplitude um den Ablenkungswinkel und die Geschwindigkeit konstant zu halten, womit sich der meßtechnische und regelungstechnische Aufwand auf ein Minimum reduziert.

Die Erfindung soll anhand folgender Ausführungsbeispiele beschrieben werden.

Fig. 1 Gehäuse mit einem Schwenkspiegel, einem Magnetkreis und der Linse zur Strahlkorrektur.

Fig. 2 Gehäuse mit einem Array von Schwenkspiegel, einem Magnetkreis und der Linse zur Strahlkorrektur.

Fig. 4 Einzelheit eines Schwenkspiegels aus Fig. 2.

Fig. 9 Draufsicht auf eine Schwenkspiegel

Fig. 3 Anordnung mit bewegter Linse

Fig. 8 Transmissionsbeugungsgitter (Echellette Gitter) zur Strahlkorrektur

Fig. 6 Transmissionsbeugungsgitter zur Strahlkorrektur

Fig. 5 Linse zur Strahlkorrektur

Fig. 7 Linse zur Strahlkorrektur,

Fig. 11 Geschwindigkeits- und Amplitudenverlauf von Schwenkspiegel und abge­ lenktem Lichtstrahl ohne Vergrößerung der Abtastamplitude

Fig. 10 Geschwindigkeits- und Amplitudenverlauf von Schwenkspiegel und abge­ lenktem Lichtstrahl mit Vergrößerung der Abtastamplitude

Die Vorrichtung in Fig. 1 besteht aus der Kombination eines angetriebenen Schwenkspiegel 10 und dem optischen System zur Strahlkorrektur, bestehend aus der Linse 2. Der Schwenkspiegel 10 besteht aus einer ebenen verspiegelten Platte. Der Spiegelantrieb verwendet das elektrodynamische Antriebsprinzip, die Kraft auf bewegte elektrische Ladungen in einem Magnetfeld. Das Magnetfeld wird durch den Permanentmagneten 7 generiert. Der Magnetkreis wird durch dem Eisenrückschluß 6 geschlossen und leitet die Feldlinien zu den Strompfaden 9, welche sich unter dem Spiegel befinden. Der Magnetkreis ist so gestaltet, daß die Feldlinien im Bereich der Strompfade senkrecht zur den Strompfaden 9 und zur Bewegungsrichtung des Spiegels laufen und eine Kraft erzeugt wird, welche den Schwenkspiegel 10 aus­ lenkt. Die Strompfade sind so orientiert, das ein für die Bewegung ausreichender Teil senkrecht zur Bewegungsrichtung und parallel zur Drehachse fließt. Der Schwenk­ spiegel 10 wird durch Torsionsfedern 8 geführt, welche im Schnitt dargestellt sind. Infolge des Stromflusses durch die Strompfade 9 wird der Schwenkspiegel um die Drehachse, die mit der Torsionsfeder 8 zusammenfällt, geschwenkt. Der Schwenk­ spiegel 10 in ausgelenkter Position ist durch 13 angedeutet. In dem Gehäuse 1 be­ findet sich die Eintrittsöffnung 5 durch welche der Lichtstrahl 3 eintritt und auf den Schwenkspiegel trifft. Weiter nimmt das Gehäuse die Linse 2, den Eisenrückschluß und die Lagerstellen der Torsionsfedern 8 auf. Der Schwenkspiegel 10 lenkt den Lichtstrahl 3 so ab, daß dieser auf die Linse 2 trifft, welche das optische System dar­ stellt. Der Eintrittspunkt 4.2 des Lichtstrahls in das optische System ist abhängig von dem Ablenkwinkel 4.4, dieser ist wiederum abhängig vom Anstellwinkel 4.3 des Schwenkspiegels 10. Der Anstellwinkel wird aus der Mittellinie 4.5 und der Schwenkspiegeloberfläche gebildet. Die Linse 2 ist so geformt, daß in Abhängigkeit des Eintrittspunktes 4.2 der Ablenkwinkel 4.4 so korrigiert wird, das bei einer defi­ nierten Schwingung des Schwenkspiegels die abgehenden Lichtstrahlen 4.1 eine konstante Abtastgeschwindigkeit aufweisen. Die Schwingung des Schwingspiegels wird durch die Frequenz und die Amplitude definiert. Die Schwingungsform ist durch das schwingfähige System vorgegeben. Es wird harmonisch mit einer Frequenz er­ regt welche einer seiner Eigenresonanzen entspricht. Sie kann, unter linearen Vor­ aussetzungen bei einer Schwingung mit der Eigenresonanz mit einem sinusförmigen Verlauf angenähert werden. Die Abtastgeschwindigkeit wird durch die zeitliche Ände­ rung des Ablenkwinkels bestimmt. Die Abtastgeschwindigkeit ist vor dem optischen System von der Schwingungsform des Schwenkspiegels abhängig. Nach dem opti­ schen System ist Abtastgeschwindigkeit über jede halbe Periode konstant. Die Meß- und Regeleinrichtung ist nur soweit erforderlich, daß sie die Amplitude konstant hält. Da es sich bei einer Resonanzschwingung um eine sehr stabile Schwingung handelt ist eine Regelung der Schwingungsform nicht erforderlich.

Fig. 2 zeigt eine ähnliche Anordnung wie Fig. 1, nur daß anstelle des Einzel­ spiegels ein Array vieler kleiner Schwingspiegel 12 verwendet wird. Das Magnetfeld wird durch einen streifenförmig lateral auf einer Fläche magnetisierten Permanent­ magneten 11 erzeugt. Alle Schwenkspiegel werden gleichsinnig angesteuert.

In der Fig. 4 ist eine Einzelheit eines Schwenkspiegels aus Fig. 2 dargestellt. Die Streifen 11.1 sind so angeordnet, daß die entstehenden Feldlinien 14 im Bereich der Strompfade so gerichtet sind, daß durch die entstehende Kraft die Schwenkspiegel 12 in die gewünschte Richtung schwenkt. Die Fig. 3 zeigt einen Schwenkspiegel in der Unteransicht 18 mit darauf befindli­ chen Strompfaden 17. Der Schwenkspiegel 18 wird durch die Torsionsfedern 16 geführt, welche in das Festlager 14 münden. Die Anschlüsse 15 kontaktieren die Strompfade.

Im Gegensatz zu dem Schwenkspiegel 12 kann auch ein entsprechendes opti­ sches System wie es in Fig. 9 dargestellt verwendet werden. Es bewegt sich relativ zum eintreffenden Lichtstrahl 4. Der Lichtstrahl trifft durch die Grundplatte 19 und vorzugsweise senkrecht auf das optische System, welches in diesem Fall die Linse 22 ist. In Abhängigkeit des Auftreffpunktes in das optische System wird der Licht­ strahl abgelenkt. Die Beziehung zwischen dem Ablenkwinkel und der Stellung des optischen Systems in Bezug auf den auftreffenden Lichtstrahls ist so gewählt, daß bei einer Schwingung des System mit seiner Eigenfrequenz und einer definierten Amplitude die Abtastgeschwindigkeit über jede halbe Periode konstant ist. Die Par­ allelfederführungen 20 führt die Aufnahme 22.1 für die Linse 22. Die Positionen 21 und 23 zeigen die Feder und die Aufnahme bzw. die Linse in den beiden Totlagen.

Die Fig. 8, Fig. 6, Fig. 5 und Fig. 7 zeigen verschiedene Möglichkeiten für die Strahlkorrektur zu verwendenden optischen System.

Fig. 6 zeigt ein Transmissionsgitter 26 welches in das lichtdurchlässige Substrat 24 eingearbeitet. Der Ablenkwinkel ist von der Gitterkonstanten abhängig. Entspre­ chend des Auftreffpunktes der Lichtstrahlen ist die Gitterkonstante so gewählt, daß der Ablenkwinkel entsprechend korrigiert wird.

Fig. 8 ist ein Transmissionsgitter mit bevorzugter Brechung 25 dargestellt, wel­ ches in das lichtdurchlässige Substrat 24 eingearbeitet ist. Im Gegensatz zu einem normalen Tranzmissionsgitter (Fig. 6) wo nur ein Teil des Lichtes in die erste Ord­ nung gebeugt wird, wird bei dieser Art Gitter nahezu das gesamte Licht in der ersten Ordnung konzentriert.

In der Fig. 5 und Fig. 7 sind zwei Linsen 27 und 28 dargestellt welche aus dem das lichtdurchlässige Substrat 24 hergestellt sind. Fig. 5 wird ausschließlich für die Linearisierung der Auslenkung verwendet. Der Ablenkwinkel ist von der Krümmung der Linse abhängig. Entsprechend des Auftreffpunktes der Lichtstrahlen ist die Krümmung so gewählt, daß der Ablenkwinkel entsprechend korrigiert wird Fig. 7 er­ möglicht zusätzlich noch eine Vergrößerung des Ablenkwinkels.

Die Fig. 11 zeigt den normierten Verlauf des Ablenkwinkels 32 und den Verlauf der Abtastgeschwindigkeit 31 vor der Strahlkorrektur durch das Linsen System 2 und den durch das Linsensystem korrigierten Verlauf des Ablenkwinkels 33 und der Abtastgeschwindigkeit 34. Auf der Ordinate 29 ist der normierte Ablenkwinkel und die Abtastgeschwindigkeit aufgetragen. Die Abrisse 30 zeigt den Verlauf der Schwingung über eine volle Periode. Der Verlauf des Ablenkwinkels vor der Korrek­ tur ist eine sinusförmige Schwingung. Die Zeitpunkte 0 und π entspricht der neutra­ len Stellung des Schwenkspiegels 10, die Totlagen, die Punkte mit der größten Auslenkung 13 entsprechen π/2 und 3π/2 auf der Abzisse. Das optische System kor­ rigiert den zeitabhängigen Ablenkwinkel so, daß eine Dreieckschwingung entsteht. Die Geschwindigkeit ist die Änderung des Ablenkwinkels mit der Zeit. Aus der Drei­ eckschwingung der Auslenkung wird so eine Rechteckschwingung der Geschwindig­ keit, eine konstante Geschwindigkeit über jede halbe Periode.

Die in Fig. 10 zeigt zusätzlich zur Lineariesierung eine Vergrößerung des Ab­ lenkwinkels 35 und den der Abtastgeschwindigkeit 36 durch das Linsensystem.

Bezugszeichenliste

1

Gehäuse

2

Linse,

2.1

Eintrittsfläche

3

Eintretender Lichtstrahl

4

Vom Schwingspiegel abgelenkte Lichtstrahlen,

4.1

vom optischen System korri­ gierte Lichtstrahlen,

4.2

Auftreffpunkt auf das optische System,

4.3

Anstellwinkel des Schwenkspiegels,

4.4

Ablenkwinkel infolge des Anstellwinkels

5

Eintrittsöffnung

6

Eisenrückschluß

7

Permanentmagnet

8

Torsionsfeder im Schnitt

9

Strompfad

10

Schwenkspiegel

11

Streifenförmig magnetisierter Permanentmagnet,

11.1

ein einzelner Streifen

12

Verkleinerter Schwenkspiegel

13

Schwenkspiegel in ausgelenkter Position

14

Magnetische Feldlinien

15

Anschlüsse für Strompfad

16

Torsionsfeder in der Draufsicht

17

Strompfade in der Draufsicht

18

Schwenkspiegel in der Draufsicht

19

Grundplatte

20

Parallelfederführung in der ausgelenkten Position

21

Parallelfederführung in der neutralen Position

22

Bewegliche Linse in der neutralen Position

23

Linse in der ausgelenkten Position

24

Glaskörper

25

Transmissionsbeugungsgitter mit bevorzugter Brechung

26

Transmissionsbeugungsgitter

27

Linse zur Strahlkorrektur

28

Linse zur Strahlkorrektur und Vergrößerung des Ablenkwinkels

29

Darstellung der normierten Auslenkung

30

Darstellung einer vollen Periode

31

Verlauf der Winkelgeschwindigkeit des Schwenkspiegels

32

Verlauf der Amplitude des Schwenkspiegels

33

Verlauf der Abtastamplitude des Lichtstahls

34

Verlauf der Abtastgeschwindigkeit des Lichtstahls

35

Verlauf der vergrößerten Abtastamplitude des Lichtstahls Verlauf der vergrößerten Abtastgeschwindigkeit des Lichtstahls.

Claims (14)

1. Vorrichtung und Verfahren zur Ablenkung von Lichtstrahlen dadurch ge­ kennzeichnet, daß durch die Kombination aus einer schwingfähig gelager­ ten verspiegelten Platte, welche harmonisch mit einer Frequenz im Bereich einer seiner Eigenfrequenzen erregt wird und die auftreffenden Lichtstrahlen periodisch über einen Winkelbereich ablenkt, wobei die Änderung des Ab­ lenkwinkels pro Zeiteinheit, die Ablenkgeschwindigkeit, über jede halbe Peri­ ode nicht konstant sein muß und einem stationären optischen System, wel­ ches den Ablenkwinkel der zuvor von der Platte periodisch abgelenkten Lichtstrahlen in der Weise abändert, daß die das optische System verlas­ senden Lichtstrahlen eine veränderte Ablenkgeschwindigkeit aufweisen, vor­ zugsweise eine über jede halbe Periode konstante Ablenkgeschwindigkeit.

2. Vorrichtung und Verfahren nach Patentanspruch 1 dadurch gekennzeich­ net, daß die schwingende verspiegelte Platte durch Stege mit einer defi­ nierten Nachgiebigkeit an einem Rahmen befestigt sind, welche so angeord­ net sind, daß sie eine Drehung der Platte um eine definierte Achse zulassen, wobei die Stege hauptsächlich auf Torsion, Biegung, Zug und oder Druck belastet werden.

3. Vorrichtung und Verfahren nach Patentanspruch 1 und 2 dadurch gekenn­ zeichnet, daß die verspiegelte Platte angetrieben wird, wobei die Platte mit in den Antrieb integriert sein kann.

4. Vorrichtung und Verfahren nach Patentanspruch 1 bis 3 dadurch gekenn­ zeichnet, daß die von der verspiegelten Platte abgelenkten Lichtstrahlen in Abhängigkeit von der Stellung dieser Platte auf definierte Punkte der Ein­ trittsfläche eines optischen Systems fallen und dieses so geformt ist, daß in Abhängigkeit des Eintrittspunktes und des Eintrittswinkels die Lichtstrahlen definiert durch Brechung, Beugung und oder Reflexion abgelenkt werden.

5. Vorrichtung und Verfahren nach Patentanspruch 1 bis 4 dadurch gekenn­ zeichnet, daß das optische System der Art ausgebildet ist, daß in Abhän­ gigkeit der zeitlichen periodischen Änderung des Anstellwinkels der Platte, das optische System den Ablenkwinkel der austretenden Lichtstrahlen so ändert, daß die Lichtstrahlen eine konstante Ablenkgeschwindigkeit über je­ de halbe Periode aufweisen, wobei der von der Platte vorgegebene Ablenk­ winkel durch das stationäre optische System zusätzlich vergrößert werden kann.

6. Vorrichtung und Verfahren nach Patentanspruch 1 bis 5 dadurch gekenn­ zeichnet, daß anstelle einer schwingenden Platte ein Array einer Vielzahl kleiner schwingenden Platten verwendet wird, welche nahezu die gleiche Fläche abdecken und gleichsinnig angesteuert werden.

7. Vorrichtung und Verfahren nach Patentanspruch 1 bis 6 dadurch gekenn­ zeichnet, daß der oder die Platten elektrodynamisch angetrieben werden, wobei sich auf ihrer Unterseite Strompfade befinden, welche sich in einem zeitlich konstantem Magnetfeld befinden und so angeordnet sind, daß ein für die Bewegung der Platte genügend größer Teil senkrecht zur Bewegungs­ richtung und parallel zur Drehachse der Platte fließt, wobei der Hauptanteil der Feldlinien des Magnetfeldes senkrecht zur Bewegungsrichtung und senkrecht zur Drehachse der Platte laufen.

8. Vorrichtung und Verfahren nach Patentanspruch 1 bis 7 dadurch gekenn­ zeichnet, daß die verspiegelten Platten mit mikrotechnisch Verfahren her­ gestellt werden.

9. Vorrichtung und Verfahren nach Patentanspruch 1 bis 8 dadurch gekenn­ zeichnet, daß anstelle der verspiegelten Platte ein schwingfähig gelagertes optisches System, welches harmonisch mit einer seiner Eigenfrequenzen er­ regt wird und sich relativ zum in das optisches System eintreffenden Licht­ strahlen bewegt verwendet wird und so aufgebaut ist, daß in Abhängigkeit des Eintrittpunktes und des Eintrittswinkels der abzulenkenden Lichtstrahlen in das optische System diese abgelenkt werden und auf das stationäre opti­ sche System verzichtet werden kann.

10. Vorrichtung und Verfahren nach Patentanspruch 9 dadurch gekennzeich­ net, daß das optische System die Lichtstrahlen durch Brechung, Reflexion und oder Beugung abgelenkt werden, wobei das optische System so geformt sein kann, daß dessen Geschwindigkeitsverlauf nicht der Abtastgeschwin­ digkeit der abgelenkten Lichtstrahlen entsprechen muß.

11. Vorrichtung und Verfahren nach Patentanspruch 1 bis 10 dadurch gekenn­ zeichnet, daß die Frequenz mit der die Vorrichtung betrieben wird der er­ sten, zweiten oder einer anderen Systemeigenfrequenz des schwingfähigen Systems entspricht.

12. Vorrichtung und Verfahren nach Patentanspruch 1 bis 11 dadurch gekenn­ zeichnet, daß für die Bewegung eine sinusförmige Schwingung bevorzugt wird.

13. Vorrichtung und Verfahren nach Patentanspruch 1 bis 12 dadurch gekenn­ zeichnet, daß die Platte auch mit anderen Frequenzen als der Eigenfre­ quenz betrieben werden kann und die Schwingungsform nicht einem Sinus entsprechen muß.

14. Vorrichtung und Verfahren nach Patentanspruch 1 bis 13 dadurch gekenn­ zeichnet, daß Lichtstrahlen, insbesondere Laserstrahlen abgelenkt werden, wobei ebenfalls auch nicht hierunter fallende andere elektromagnetische Strahlungen abgelenkt werden können.