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Die
vorliegende Erfindung bezieht sich auf ein mikromechanisches Bauelement
zur Modulation von elektromagnetischer Strahlung und ein optisches System
mit demselben. Das mikromechanische Bauelement beinhaltet zur Modulation
der elektromagnetischen Strahlung eine Modulationsstruktur.
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Das
technische Einsatzgebiet der hier beschriebenen Erfindung ist die
Modulation der Intensitätsverteilung
bzw. der Amplitudenverteilung von elektromagnetischer Strahlung
in einer Bildebene z. B. bei einer digitalen Kamera. Bei der elektromagnetischen
Strahlung kann es sich um Licht aus dem ultravioletten Spektralbereich
bis hin zum infraroten Spektralbereich handeln, also um elektromagnetische
Strahlung mit Wellenlängen
von 1 nm bis zu einer Wellenlänge
von 1 mm. Die elektromagnetische Strahlung kann dabei hinsichtlich
ihrer Phase, ihrer Amplitude, der Wellenlänge oder ihrer Polarisation oder
einer Kombination aus diesen über
den Strahlquerschnitt moduliert werden.
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Die örtliche
Modulation über
dem Strahlquerschnitt von elektromagnetischer Strahlung wird gegenwärtig durch
zwei prinzipielle Anordnungen bzw. Bauelementtypen realisiert. Eine
Möglichkeit,
welche eine vielfältige
Modulation elektromagnetischer Strahlung über dem Strahlquerschnitt zulässt, besteht
aus diskret aufgebauten Systemen.
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Diese
Systeme bestehen aus einer strukturierten Maske, deren Bewegung
mit Hilfe unterschiedlicher Aktuationsprinzipien realisiert wird.
Dabei werden für
die Erzeugung des Modulationsmusters der strukturierten Maske häufig lithographische Strukturierungsverfahren
eingesetzt. Aufgrund des diskreten Aufbaus solcher Systeme sind
allerdings der Miniaturisierbarkeit und den erreichbaren Modulationsfre quenzen
deutliche Grenzen gesetzt. Beschränkte Modulationsfrequenzen
führen
aufgrund der zeitlichen Variation der Eigenschaften der elektromagnetischen
Strahlung zu einem schlechteren Signal-zu-Rausch-Verhältnis. Zusätzlich erfordern diskret
aufgebaute Systeme einen höheren
Herstellungs, Kosten-, und Justageaufwand.
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Eine
weitere anzutreffende Realisierungsmöglichkeit besteht in bildelementweise
(pixelweise) ansteuerbaren, als Matrix (Array) ausgeführten räumlichen
Lichtmodulatoren, sogenannte Spatial Light Modulators (SLM). Bei
diesen kann jedes Pixel einzeln angesteuert werden. Deshalb benötigen diese
als Modulator eine aufwendige Ansteuerung, weshalb lediglich niedrige
Modulationsfrequenzen erzielt werden können. Unvorteilhaft ist zudem
der moderate Füllfaktor,
wie er sich aus der pixelweisen Anordnung des räumlichen Lichtmodulators ergibt
und der zu einem erhöhten
Fremdlichtanteil führt.
Dies hat ein schlechtes Signal-Rausch-Verhältnis zur Folge. Weitere Nachteile
sind die hohen Fertigungskosten und die eingeschränkten Möglichkeiten,
elektromagnetische Strahlung hinsichtlich bestimmter Eigenschaften,
wie z. B. Wellenlänge
oder Polarisation modulieren oder filtern zu können.
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In
der Patentschrift
US
2005/0156481 A1 ist eine optische Vorrichtung zum Scannen
beschrieben. Diese Vorrichtung weist eine schwingungsfähig aufgehängte Platte
mit mindestens einem Beugungsgitter, welches auf der Platte ausgebildet
ist, auf. Die Platte ist mit mindestens einer flexiblen Struktur
an einer Abstützung
befestigt und kann mit mindestens einem Aktuator in einer „in-plane” schwingenden
Bewegung rotatorisch oder translatorisch angetrieben werden. Die
Vorrichtung ist ausgebildet, um bei einer Kopplung eines einfallenden
elektromagnetischen Strahls mit der Bewegung der Platte ein ordnungsgemäßes Scannen
mit Hilfe des gebeugten Strahls zu ermöglichen.
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Das
Patent
US 6 686 639
B1 zeigt ein Micro-Electro-Mechanical-System (MEMS) mit zwei Siliziumbauteilschichten.
Die erste Schicht weist eine ortsfeste elektrostatische Kammantriebsstruktur
auf; und die zweite Schicht ein bewegliches funktionales Bauelement
mit einer beweglichen Kammantriebsstruktur, welche mittels mindestens
einer Siliziumfederstruktur mit ortsfesten Bondpads verbunden ist. Bei
dem funktionalen Bauelement kann es sich um einen Mikrospiegel handeln,
wie er beim Scannen eingesetzt wird. Durch Anlegen einer Spannung
an den elektrostatischen Kammantrieb kann der Mikrospiegel in der
Substratebene translatorisch ausgelenkt werden und so ein Scannen
ermöglicht
werden.
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Ferner
ist in dem US-Patent
US
5 025 346 A ein weiteres mikromechanisches Bauelement gezeigt,
welches in einer Substratebene, in der das Bauelement ausgebildet
ist, mittels eines elektrostatischen Kammantriebes lateral ausgelenkt
werden kann.
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Die
Aufgabe der Erfindung besteht darin, ein elektromechanisches Bauelement
und ein optisches System mit demselben zur aktiven Modulation von elektromagnetischer
Strahlung bereitzustellen. Diese Aufgabe wird durch das mikromechanische
Bauelement nach Anspruch 1 und dem optischen System nach Anspruch
19 gelöst.
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Die
vorliegende Erfindung schafft ein mikromechanisches Bauelement mit
einem Substrat, das so strukturiert ist, dass in demselben eine
Platte gebildet ist, die lateral auslenkbar ist und lateral strahlungsmodulierend
wirkt; und eine Einrichtung zum lateralen Auslenken der Platte aufweist.
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Die
vorliegende Erfindung weist den Vorteil auf, dass gemäß Ausführungsbeispielen
der vorliegenden Erfindung das mikromechanische Bauelement eine
integrierte Modulationsstruktur aufweist, die aktiv die Eigenschaften
der elektromagnetischen Strahlung im Strahlprofil ändert, moduliert
oder/und filtert und einen integrierten Aktuator aufweist, der die mechanischen
Bewegungen dieser Struktur ermöglicht.
Dadurch kann ein miniaturisiertes, kostengünstiges Bauelement zur aktiven
Modulation von elektromagnetischer Strahlung bereitgestellt werden.
Aufgrund der Herstellung z. B. in einer Siliziumtechnologie werden
bei großen
Stückzahlen
eine hohe Kostenreduktion im Vergleich zu herkömmlichen Systemen und eine
gute Miniaturisierbarkeit erreicht. Weiterhin kann die Modulationsmaske
und somit die Art der Modulation herstellungsbedingt mit sehr geringem
Aufwand an unterschiedliche Anforderungen angepasst werden. Dabei
können
Amplituden bzw. Intensitäts-,
Phasen-, Wellenlängen
oder/und Polarisationsverteilung örtlich moduliert werden. Das
Bauelement kann dabei Bestandteil eines komplexen optischen oder
optoelektronischen Systems sein, in dem das Bauelement die aktive
Modulation der örtlichen
Eigenschaften der Strahlungsverteilung übernimmt. Zudem ermöglicht das
erfindungsgemäße mikromechanische
Bauelement bei Einsatz in unterschiedlichen optischen Systemen prinzipbedingt
die Verwendung kostengünstiger
Einzeldetektoren. Weiterhin kann durch das erfindungsgemäße mikromechanische
Bauelement ein besseres Signal-zu-Rausch-Verhältnis und eine bessere laterale Auflösung in
Anwendungsgebieten wie etwa der Spektroskopie und der ortsauflösenden Spektroskopie
realisiert werden. Bei Verwendung eines Arraydetektors in Kombination
mit dem Modulator kann auch die Auflösung des Arraydetektors verbessert
werden.
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Weitere
Vorteile gegenüber
dem Stand der Technik ergeben sich bei dem mikromechanischen Bauelement
aus der Integration eines optischen Funktionselementes, z. B. der
Modulationsstruktur und dem mikromechanischen Antrieb. Da die Fertigung
in einer Siliziummikrotechnologie möglich ist, kann eine hohe Fertigungsgenauigkeit
bei gleichzeitiger Kostenreduktion erreicht werden. Außerdem ist keine
zusätzliche
Montage und Justage, wie etwa bei diskret aufgebauten Systemen erforderlich.
Weitere wesentliche Verbesserungen stellen die Miniaturisierbarkeit,
ein hoher Füllfaktor
von nahezu 100% und daraus resultierend ein geringerer Streulichtanteil,
hohe erreichbare Modulationsfrequenzen und eine im Vergleich zu
räumlichen
Lichtmodulatoren (SLM) einfache Ansteuerung dar. Die Fertigungstechnologie
erlaubt außerdem
eine flexible Anpassung der Modulationsstruktur und des Aktuatorwirkprinzips
für den
mikromechanischen Antrieb an unterschiedliche Anforderungen und
Anwendungen.
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Ausführungsbeispiele
der vorliegenden Erfindung werden nachfolgend Bezug nehmend auf
die beiliegenden Zeichnungen näher
erläutert.
Es zeigen:
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1a die
Aufsicht einer Prinzipskizze eines elektrostatisch angetriebenen
mikromechanischen Bauelementes, das als eindimensionaler Modulator ausgebildet
ist gemäß einem
Ausführungsbeispiel der
vorliegenden Erfindung;
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1b eine
Detailansicht der Prinzipskizze des elektrostatischen Kammantriebes
aus 1a für den
eindimensionalen Modulator;
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1c eine
Detailansicht der Kammelektroden aus 1b;
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2a eine
schematische Querschnittsdarstellung des mikromechanischen Bauelementes
entlang der A-A' Linie.
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2b ein
weiteres Ausführungsbeispiel
einer Querschnittsdarstellung des mikromechanischen Bauelementes
entlang der A-A' Linie.
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3 die
Aufsicht einer Prinzipskizze eines elektrostatisch angetriebenen
zweidimensionalen Modulators gemäß ei nem
weiteren Ausführungsbeispiel
der vorliegenden Erfindung;
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4 eine
Detailansicht der Maskenstruktur mit der zugehörigen Modulationsfläche für den zweidimensionalen
Modulator aus 3;
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5a die
Aufsicht einer Prinzipskizze zu einem elektromagnetisch angetriebenen
eindimensionalen Modulator gemäß einem
weiteren Ausführungsbeispiel
der vorliegenden Erfindung;
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5b die
Detailansicht einer die elektromagnetische Kraft erzeugenden Spulenstruktur
hergestellt in einer lithographischen Technologie für den mikromechanischen
Antrieb des eindimensionalen Modulators aus 4a;
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6 die
Prinzipskizze eines optischen Systems mit dem mikromechanischen
Bauelement mit elektrostatischem Linearaktuator gemäß einem
weiteren Ausführungsbeispiel
der vorliegenden Erfindung;
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7 die
Prinzipskizze eines optischen Systems mit zwei zueinander gekreuzt
angeordneten eindimensionalen Modulatoren zur zweidimensionalen
Modulation von elektromagnetischer Strahlung;
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8 die
Prinzipskizze eines optischen Systems für eine zweidimensionale Modulation
gemäß einem
weiteren Ausführungsbeispiel
der vorliegenden Erfindung; und
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9 eine
weitere Prinzipskizze für
ein optisches System für
einen zweidimensionalen Modulator gemäß einem weiteren Ausführungsbeispiel
der vorliegenden Erfindung.
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Bezüglich der
nachfolgenden Beschreibung der Ausführungsbeispiele der vorliegenden
Erfindung sollte beachtet werden, dass in den unterschiedlichen
Figuren für
funktional identische bzw. gleichwirkende oder funktionsgleiche, äquivalente Elemente
zur Vereinfachung in der gesamten Beschreibung die gleichen Bezugszeichen
verwendet werden.
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Bezug
nehmend auf 1a wird in Folge nun detailliert
das mikromechanische Bauelement zur Modulation für elektromagnetische Strahlung
dargestellt. Das mikromechanische Bauelement 100 mit einem
Substrat 99, das so strukturiert ist, dass in demselben
eine Platte 1 gebildet ist, die lateral auslenkbar ist
und lateral strahlungsmodulierend wirkt; und einer Einrichtung 5 zum
lateralen Auslenken 12 der Platte 1.
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In
dem in 1a beschriebenen Ausführungsbeispiel
ist die eigentliche Modulationsstruktur, bestehend aus einer beispielsweise
in Silizium erzeugten Maskenstruktur in der Platte bzw. Membran 1 an
einem inneren Rahmen 2 aufgehängt. Die Maskenstruktur der
Platte 1 kann beispielsweise als Hadamard- oder Simplexmatrix
(S-Matrix) strukturierte Maske ausgeführt sein, wie es von M. Harwit
in dem Buch „Hadamard
Transform Optics”,
1979 beschrieben ist. Die Bewegung solch einer strukturierten Maske
im Strahlprofil einer elektromagnetischen Strahlung führt zu einer
mathematischen Faltung von dessen Transmissionsfunktion mit der
Intensitätsverteilung
der elektromagnetischen Strahlung in der Bildebene. Durch eine zeitsequentielle
Detektion der Gesamtintensität
mit einem Einzeldetektor kann dann mit Hilfe der inversen Matrix
der Modulatorstrukturmatrix die Intensitätsverteilung berechnet werden. Die
als Hadamard oder S-Matrix
strukturierte Maske 1 ist dabei mit einem, innerhalb des
genutzten Spektralbereiches der mit dem mikromechanischen Bauelement
wechselwirkenden elektromagnetischen Strahlung gut absorbierenden
oder reflektierenden Material beschichtet. Die Beschichtung kann
aus einer oder mehreren Schichten oder Schichtsystemen bestehen
und kann die strukturierte Maske zumindest teilweise bedecken. Während die
Löcher
oder Schlitze 1a der Maske 1 die Strahlung transmittieren, absorbiert
oder reflektiert die Maskenbeschichtung 1b die Strahlung
und ermöglicht
so eine Amplitudenmodulation über
dem Strahlquerschnitt 3. Ein äußerer Rahmen 4 in
dem Substrat ist über
eine Parallelführung
mit integrierten Federstrukturen 6 an den inneren Rahmen 2 gekoppelt,
wodurch eine Lateralbewegung 12 der Modulationsmaske 1 ermöglicht wird. Die
Platte 1 kann also direkt oder indirekt über ein
Federelement oder ein Getriebe an eine Einrichtung zum lateralen
Auslenken der Platte gekoppelt sein.
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In 1b ist
die Teilansicht der integrierten Federstruktur 6 und dem
dazugehörigen
elektrostatischen Kammantrieb 8 dargestellt. Eine definierte
Biegung der Federstruktur wird durch die Verjüngungen in den Balken der Parallelführung 7 erreicht.
Die laterale Kraft zum Auslenken der Membranstruktur 1 wird mittels
seriell hintereinander angeordneter Linearaktuatoren mit elektrostatischem
Kammantrieb 8 realisiert. Gegenüberliegende Kammelektroden 8 werden zur
Krafterzeugung also bei Aktuation auf unterschiedliches elektrisches
Potential gelegt. Die so entstehenden elektrostatischen Kräfte führen zu
einer lateralen Auslenkung 12 der Modulationsmaske 1. Die
Platte 1 oder die Modulationsstruktur kann also durch eine
geeignete Ansteuerung der elektrostatischen Kammelektroden lateral
also in der Rahmenebene oder Substratebene gezielt ausgelenkt werden. Dadurch
kann eine Bewegung der Lichtmodulatorstruktur gegenüber einem
Strahlquerschnitt, in der 1a mit
dem Bezugszeichen 3 gekennzeichnet, erreicht werden.
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In 1c ist
eine Detailansicht der Kammelektroden 9a und 9b des
elektrostatischen Kammantriebs 8 dargestellt. Die Kammelektroden
können
mit einem unterschiedlichen Potential beaufschlagt werden, d. h.
sie können
auf ein unterschiedliches elektrisches Potential gelegt werden.
Beispielsweise kann die Kammelektrode 9a ein negatives
Potential aufweisen und die Kammelektrode 9b ein positives. Durch
die Potentialdifferenz entsteht eine elektrostatische Kraft. Diese
elektrostatische Kraft kann über die
oben beschriebene pa rallele Führung 7 der
Federstruktur 6 zur lateralen Auslenkung der Platte bzw. Membran 1 verwendet
werden. Die Kammelektroden 9a und 9b greifen,
wie schematisch in 1c durch die Pfeile gezeigt
so ineinander, dass sie sich nicht berühren. Die Kammelektroden 9a,
b können
sich also in einer Translationsrichtung lateral erstrecken und sich
mit den freien Enden quer zur Translationsrichtung lateral versetzt
gegenüber
liegen, so dass bei einer lateralen Ausrichtung der Platte 1 in
der Translationsrichtung die freien Enden in der Translationsrichtung
in den Zwischenraum gegenüberliegender
Kammelektroden eintauchen können.
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Die
laterale Größe der Maskenstruktur 1 in Bewegungsrichtung 12 kann
beispielsweise das Doppelte des zu modulierenden Strahlquerschnitts 3 betragen.
Das mikromechanische Bauelement bzw. der Modulator 100 können, um
eine hohe Energieeffizienz und niedrige elektrische Versorgungsspannungen
für den
elektrostatischen Kammantrieb einzusetzen, als resonanter Kammantrieb
ausgeführt sein.
Die laterale Bewegung der Platte 1 mit Hilfe der parallelgeführten Federstruktur
und dem elektrostatischen Kammantrieb kann als Schwingung beschrieben
werden, und dementsprechend können
im resonanten Betriebsfall periodische Spannungen mit einer für das ordnungsgemäße Betreiben
des mikromechanischen Bauelementes nötigen Frequenz an die elektrostatischen
Kammelektroden 8 angelegt werden. In einem weiteren Ausführungsbeispiel
kann der elektrostatische Kammantrieb 8 aber ebenfalls statisch
oder quasistatisch betrieben werden.
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Da
das in 1a, 1b und 1c beschriebene
Ausführungsbeispiel
beispielsweise in einer Siliziumtechnologie hergestellt werden kann, können einige
der oben beschriebenen Teile des Bauelementes aus Silizium bestehen,
wodurch eine hohe mechanische Stabilität und Zuverlässigkeit
des mikromechanischen Bauelementes gewährleistet werden kann. Das
mikromechanische Bauelement kann beispielsweise in der sogenannten
Silicon-On-Insulator (SOI) Technologie hergestellt werden.
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Das
mikromechanische Bauelement kann also einen „in plane”-Aktuator aufweisen, der geeignet
ist, eine laterale Kraft so auf die Platte 1 auszuüben, dass
die Platte 1 eine definierte laterale Bewegung ausführen kann.
Das mikromechanische Bauelement mit integriertem „in plane”-Aktuator,
der eine laterale Bewegung, der als codierte Maske ausgebildeten
Platte erzeugt, kann beispielsweise durch eine als Hadamard-Matrix
oder Simplexmatrix ausgeführten
Modulationsstruktur, eine mit dem mikromechanischen Bauelement wechselwirkende
elektromagnetische Strahlung aktiv ändern, modulieren oder/und
filtern. Bei der Simplexmatrix handelt es sich um eine Matrix mit
einer zufälligen
Verteilung von Nullen und Einsen, die die Verteilung von transmittierenden
und absorbierenden Bereichen auf der Maskenstruktur beschreiben.
Die Platte ist lateral auslenkbar und lateral strahlungsmodulierend
bzw. lateral strahlungsmodulierend für elektromagnetische Strahlung.
Unter Ausnutzung eines geeigneten Aktuationsprinzips z. B. elektrostatisch,
elektromagnetisch, thermisch, piezo-elektrisch, pneumatisch, fluidisch
oder magnetostriktiv wird das optische Funktionselement, also die Platte 1 mit
der Modulationsstruktur hinsichtlich seiner Bewegungsrichtung linear
oder/und rotatorisch bewegt. Die Auslenkung der Platte kann dabei
quasistatisch, statisch, dynamisch oder resonant erfolgen. Das optische
Funktionselement kann entweder direkt oder über ein Federelement oder ein
Getriebe an dem Aktuator, also dem mikromechanischen Antrieb gekoppelt
sein. Das optische Funktionselement 1 kann beispielsweise
als lateral strukturierte Amplituden- und/oder Phasenmaske ausgeführt sein.
Durch die laterale Bewegung der Platte mit der Maskenstruktur kann
eine räumliche
Modulation der Amplitude bzw. der Intensität der Phase, der Wellenlänge und/oder
des Polarisationszustandes einer mit dem Bauelement wechselwirkenden
elektromagnetischen Strahlung über
dem Strahlquerschnitt erreicht werden. Geeignete Modulationsfunktionen
ermöglichen dabei
den Einsatz kostengünstiger
Strahlungsdetekto ren, bei zusätzlich
gutem Signalrauschverhältnis und
einer Erhöhung
der lateralen Auflösung.
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2a zeigt
eine schematische Querschnittsdarstellung eines mikromechanischen
Bauelementes entlang der eingezeichneten A-A' Linie in 1a. Das
Substrat 99 des mikromechanischen Bauelementes 100 weist
wie in diesem Ausführungsbeispiel
dargestellt entlang der A-A' Linie
die Platte 1 und den inneren Rahmen 2 auf. Der äußere Rahmen 4 kann
beispielsweise bereits durch das Substrat 99 ausgebildet
sein. Die Platte 1 kann in diesem Ausführungsbeispiel aus demselben
Material bestehen wie das Substrat, also beispielsweise aus Silizium.
Durch eine Unterätzung
beispielsweise im Rahmen einer SOI-Technik ist die Platte dann nur über die
in 1a gezeigten Rahmenstrukturen mit dem Substrat
verbunden. Die bei der Unterätzung
entstehenden Hohlräume
können
von der Substratseite aus, die der Substratseite, an der die Platte 1 gebildet
ist, gegenüberliegt,
geöffnet
werden, wie das in 2a auch exemplarisch gezeigt
ist, so dass sich in dem lateralen Teil des Substrates 99,
in dem sich die Platte befindet, eine entlang der Dicke des Substrates 99 durchgehende Öffnung 99a befindet,
wodurch die Anordnung auch bei Durchlichtanwendungen effektiv verwendbar
ist. Die Platte 1 kann zudem mit einer Schicht 98 oder
einem Schichtstapel beschichtet sein, so dass Teile der Platte strahlungsreflektierend, strahlungsabsorbierend
oder strahlungstransmittierend oder eine Kombination dieser drei
Möglichkeiten auf
eine mit der Platte wechselwirkenden elektromagnetischen Strahlung
wirken. Die Platte kann also aus Silizium ausgebildet sein, deren
Oberfläche
teilweise mit reflektierendem Aluminium beschichtet ist. Andere
Teile der Oberfläche
können
beispielsweise mit einem strahlungabsorbierenden Polymer, wie z. B.
PSK 2000 beschichtet sein.
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2b zeigt
in einer schematischen Querschnittsdarstellung entlang der eingezeichneten
A-A' Linie in 1a ein weiteres
Ausführungsbeispiel
eines mikromechanischen Bauelementes. Das Substrat 99 des
mikromechanischen Bauelementes 100 weist in diesem Ausführungsbeispiel
wieder die Platte 1 und den inneren Rahmen 2 auf.
Die Platte 1 und der Rahmen 2 können in
diesem Ausführungsbeispiel
jedoch aus einem im Vergleich zum Substrat 99 unterschiedlichen
Material bestehen. Die Platte kann beispielsweise aus Aluminium
und Quarzglas bestehen. Diese kann beispielsweise durch Aufbringen
einer Aluminium- oder Quarzglasschicht (SiO2) 98 auf das
Substrat 99 und einer aus dem Substrat gebildeten Platte
und einem anschließenden
Wegätzen
der aus dem Substrat gebildeten Platte hergestellt werden, so dass
eine freistehende Aluminium- oder Quarzglasplatte zurückbleibt.
Die Platte 1 – beispielsweise
aus Aluminium oder Quarzglas – kann
zudem mit einer weiteren Schicht 97 oder einem Schichtstapel
beschichtet sein, so dass Teile dieser Platte wieder strahlungsreflektierend,
strahlungsabsorbierend oder strahlungstransmittierend oder eine
Kombination dieser drei Möglichkeiten
auf eine mit der Platte wechselwirkenden eelektromagnetischen Strahlung wirken.
Unterhalb der Platte 1 weist das Substrat 99 eine
Ausnehmung auf, so dass die Platte beweglich ist, wobei die Ausnehmung
wie in 2b exemplarisch dargestellt
als eine entlang der Dicke des Substrates 99 durchgehende Öffnung 99a ausgebildet sein
kann, wodurch die Anordnung nach 2b auch
bei Durchlichtanwendungen effektiv verwendbar ist.
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In 3 ist
ein weiteres Ausführungsbeispiel der
vorliegenden Erfindung dargestellt. Ähnlich zu dem Ausführungsbeispiel
in 1a für
einen eindimensionalen Modulator kann ein zweidimensionaler Modulator 100 mit
zwei zueinander senkrecht angeordneten Aktuatoren 5a und 5b realisiert
werden. Dazu wird der lineare Aktuator 5a, der die zweidimensionale
(2D) Maskenstruktur 1 in eine Richtung 13 auslenkt,
von einem senkrecht dazu angeordneten Linearaktor 5b in
einer zur Auslenkungsrichtung 13 senkrechten Richtung 12 beispielsweise
statisch ausgelenkt. Die Maskenstruktur 1 und deren Größe und Ausdehnung
ist zu dem vorhergehenden.
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Ausführungsbeispiel
(1a) hinsichtlich der Auslenkung, der Modulationsfläche 3 und
der Struktur der Maske 1 angepasst. Als Modulationsstruktur 1 können verschiedene
mathematisch vorteilhafte zweidimensionale Matrizen eingesetzt werden,
wie z. B. die bereits oben erwähnten
Hadamard-Matrizen
oder Simplexmatrizen. Die Maske bzw. Platte 1 besitzt dazu
anstelle von Schlitzen, wie in 1a dargestellt,
quadratische Löcher 15 oder transmittierende
Bereiche (siehe 4). Durch eine zweidimensionale
Bewegung der Maskenstruktur 1 in x-Richtung 13 und
y-Richtung 12 ergibt sich eine Faltung der Transmissionsfunktion
der Maske mit der Amplituden- bzw. Intensitätsverteilung in der Maskenebene.
In diesem Ausführungsbeispiel
sind die Aktoren 5a und 5b beispielsweise derart
ausgeführt, dass
die Maske 1 in eine Richtung beispielsweise in x-Richtung
dynamisch bzw. resonant ausgelenkt werden kann und in der anderen
Richtung (der y-Richtung) quasistatisch bewegt werden kann. Auch diese
Ausführungsvariante
des mikromechanischen Bauelementes 100 kann in einer Siliziummikrotechnologie
hergestellt werden. Bei den Aktuatoren 5a und 5b kann
es sich wieder um gestapelte Linearaktuatoren mit elektrostatischem
Kammantrieb handeln. Dabei werden wieder gegenüberliegende Kammelektroden
bei Aktuation auf ein unterschiedliches elektrisches Potential gelegt.
Die so entstehenden elektrostatischen Kräfte können zu einer entsprechenden
zweidimensionalen Auslenkung der Modulationsmaske 10 genutzt
werden.
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Die
Aktuatoren 5a und 5b können wie bereits zu 1a beschrieben
eine definierte Biegung der Federstruktur durch Verjüngungen
in dem Balken der Parallelführung 7 erreichen.
Die Maskenstruktur 1 ist wiederum in einer inneren Rahmenstruktur 2 aufgehängt. Ein äußerer Rahmen 4 ist über eine
Parallelführung 7 mit
integrierten Federstrukturen 6 an einem mittleren Rahmen 11 gekoppelt,
der seinerseits wiederum über
eine Parallelführung
mit integrierten Federstrukturen an den inneren Rahmen 2 gekoppelt ist,
wodurch eine Lateralbewegung 12 bzw. 13 der Modulationsmaske 1 ermöglicht wird.
Die Maske bzw. Modulationsstruktur 1 besitzt anstelle von Schlitzen,
wie in dem Ausführungsbeispiel
in 1a, quadratische Löcher 15 bzw. transmittierende
quadratische Bereiche (siehe 4) und Bereiche 14, welche
mit einer reflektierenden oder absorbierenden Schicht oder einem
entsprechenden Schichtsystem versehen sind.
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In 5a ist
ein weiteres Ausführungsbeispiel
der vorliegenden Erfindung eines mikromechanischen Bauelementes
zur Modulation von elektromagnetischer Strahlung dargestellt. In
dieser Ausführungsvariante
ist die Modulationsstruktur 1 ebenfalls in einem inneren
Rahmen 2 aufgehängt.
Dieser Rahmen beinhaltet elektromagnetisch aktivierbare Strukturen 20 und
ist über
Parallelführungen 7 mit
integrierten Federelementen 6 mit einem äußeren Rahmen 4 verbunden,
wodurch die Lateralbewegung 12 (beispielsweise in y-Richtung)
der Modulationsmaske 1 ermöglicht wird. Die die elektromagnetische Kraft
erzeugenden Strukturen 20 sind spulenförmig derart gestaltet, dass
ein sie durchfließender
Strom ein Magnetfeld 21 parallel zur gewünschten
lateralen Bewegungsrichtung, also beispielsweise in y-Richtung 12 erzeugt.
Dieses Magnetfeld 21 erzeugt in Kombination mit beispielsweise
einem externen Permanentmagneten eine Kraft, die zur lateralen Auslenkung
der Modulationsmaske 1 führt. Wie in 5a dargestellt,
können
aber auch eine oder mehrere zusätzliche
spulenförmige
Strukturen 20 im Bereich des äußeren Rahmens 4 das
erforderliche Basismagnetfeld 21 erzeugen. Die Magnetfelder
der Spulen im äußeren und
im inneren Rahmen können
dabei kolinear mit gleichsinniger oder entgegengesetzter Orientierung
ausgerichtet sein.
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Durch
den mikromechanischen Aktuator, in diesem Ausführungsbeispiel den elektromagnetischen
Linearantrieb, kann dann die Platte 1 durch laterale Kraftkomponenten
des elektromagnetischen Linearantriebes lateral ausgelenkt werden.
Diese Auslenkung kann wiederum resonant dynamisch quasistatisch
oder statisch erfolgen. Die laterale Größe der strukturierten Platte 1 in
Bewegungsrichtung kann wieder ungefähr das doppelte des zu modulierenden
Strahlquerschnitts 3 betragen.
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Es
ist auch denkbar, dass die die elektromagnetische Kraft erzeugenden
Strukturen 20 so zu einer Platte 1, welche beispielsweise
auch eine runde Form aufweisen kann, angeordnet sind, das die resultierende
elektromagnetische Kraft eine zur Platte 1 tangentiale
Kraftkomponente in der Substratebene aufweist und so eine rotatorische
Bewegung der Platte um eine Plattennormale erzielt werden kann.
In anderen Worten die Platte kann auch so ausgelenkt werden, dass
sie eine Drehbewegung in der Substratebene ausführen kann. Die Kraft die dazu
benötigt wird,
kann allgemein von Aktoren erzeugt werden, die auf dem elektrostatischen,
dem elektromagnetischen, dem thermischen, dem piezoelektrischen, dem
pneumatischen, dem fluidischen oder dem magnetostriktiven Prinzip
beruhen.
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In 5b ist
eine Ausführungsvariante
der spulenförmigen
Struktur 20, welche in der verwendeten so genannten Silizium-auf-Isolator-(Bonded-Silicon-On-Insulator)Membrantechnologie
erzeugt wurde, dargestellt. Dafür
wird die Platte 22 bis zum vergrabenen Oxid (Buried Oxid
(BOX)) mit gefüllten
Isolationsgräben 23 durchtrennt,
wodurch elektrisch voneinander isolierte längliche Potentialbereiche entstehen.
Diese werden auf ihrer Oberfläche
mit einer isolierenden Schicht 24, wie z. B. Siliziumdioxid (SiO2) versehen und über Kreuz elektrisch mit Metallbahnen 25,
z. B. aus AlSiCu verbunden, wodurch die spulenförmige Struktur 20 entsteht.
An den beiden Enden der seriell gestalteten Struktur erfolgt dann
die Stromeinleitung zur Ausbildung des Magnetfeldes. Es entsteht
also eine spulenförmige
Struktur, die beim Anlegen einer Spannung und durch dementsprechenden
Stromfluss ein laterales Magnetfeld 21, welches im Spuleninneren
verläuft,
erzeugt. Mit Hilfe dieser spulenförmigen Struktur 20 kann
dann, wie oben beschrieben, gezielt so eine Kraft erzeugt werden,
dass die Maske 1 mit ihrer Modulationsstruktur lateral
bewegt werden kann.
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Das
mikromechanische Bauelement kann gemäß einem anderen Ausführungsbeispiels
eine Platte aufweisen, welche als Photonischer Kristall ausgebildet
ist. D. h. die Platte kann periodische Strukturen mit einer Periodenlänge in der
Größenordnung
einer mit der Platte wechselwirkenden elektromagnetischen Strahlung
aufweisen. Bei den Strukturen kann es sich beispielsweise um dielektrische
Strukturen oder metallische Strukturen handeln. Die Platte, die
als photonischer Kristall ausgebildet ist, kann so ausgebildet sein,
dass photonische Bandstrukturen entstehen die Bereiche verbotener Energie
aufweisen, so dass sich elektromagnetische Wellen innerhalb bestimmter
Raumrichtungen in dem Kristall bzw. der Platte nicht ausbreiten
können.
Sie kann also eine Bandlücke
für elektromagnetische Wellen
eines bestimmten Frequenzbereiches des elektromagnetischen Spektrums
aufweisen. Die Platte kann als ein-, zwei- oder dreidimensionaler
Photonischer Kristall ausgebildet sein, wobei sich dies auf die
Anzahl der möglichen
Raumrichtungen die beim Lichteinfall eine Bandlücke aufweisen bezieht. Die Platte
kann also je nach Wellenlänge
der wechselwirkenden elektromagnetischen Strahlung periodische Strukturen
in einer Größenordnung
der wechselwirkenden Strahlung aufweisen. Also kann die Struktur beispielsweise
regelmäßig angeordnete
Strukturen in einer Größenordnung
von 100 nm bis 10 μm
aufweisen. Bei den Strukturen kann es sich beispielsweise um Löcher, Schlitze
oder Aussparungen handeln, die beispielsweise mittels lithographischer
Methoden hergestellt werden können.
Ein mikromechanisches Bauelement kann also in einem Ausführungsbeispiel
eine Platte aufweisen, bei der die Strahlungsmodulation durch Ausführung der
Modulationsstruktur als Photonischer Kristall ein effektives Modulieren
der Strahlung ermöglicht.
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In 6 ist
ein optisches System 90 dargestellt, welches ein mikromechanisches
Bauelement 100, wie es beispielsweise im Zusammenhang mit 1a oder
mit 5a beschrieben ist, aufweist. Ferner weist das
optische System ein Objek tiv bzw. eine Optik 32 auf, welches
ein Objekt 30 in den Schärfentiefebereich in die Ebene
der Membran des mikromechanischen Bauelementes 100 abbildet. Ferner
kann das optische System 90 eine Bildfeldblende (nicht
dargestellt in 6) aufweisen, welche in dem
Strahlengang des Objektivs 31 oder in dem mikromechanischen
Bauelement 100 integriert ist, welche so ausgebildet ist,
das Bildfeld des Objektes 30 zu begrenzen. Außerdem weist
das optische System 90 eine dem mikromechanischen Bauelement 100 zugeordnete
Detektoroptik 33 zur Abbildung, der durch das mikromechanische
Bauelement 100 strahlungsmodulierten elektromagnetischen
Strahlung auf einen Detektor auf. Der Detektor ist so ausgebildet, die
Gesamtenergie der auf dem Detektor einfallenden elektromagnetischen
Strahlung zeitsequentiell zu detektieren und als Signal für eine weitere
Verarbeitung zur Verfügung
zu stellen.
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In
einem anderen Ausführungsbeispiel
kann das optische System 90 eine Optik 32 aufweisen, welche
ein Objekt 30 in die Nähe
einer Blenden-/Aperturebene in der das mikromechanische Bauelement
angeordnet ist, abbildet. Dieses optische System besäße beispielsweise
ein oder mehrere mikromechanische Bauelemente der oben erörterten
Ausführungsbeispiele,
das bzw. die in oder benachbart zu einer Aperturebene des optischen
Systems oder in oder benachbart zu einer dazu konjugierten Ebene
angeordnet wäre
bzw. wären,
und einen Detektor zum Erfassen einer aus Richtung des einen oder
der mehreren Bauelemente eintreffenden elektromagnetischen Strahlung,
wobei der Detektor beispielsweise direkt hinter dem einen oder den
mehreren mikromechanischen Bauelementen angeordnet sein könnte, oder
hinter einer zusätzlichen
Optik zum Refokussieren oder hinter einer Optik und einer Detektoroptik
angeordnet sein könnte.
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Das
optische System oder die Hadamard-Transformations-Zeilen-Kamera kann
ein mikromechanisches Bauelement mit einer eindimensionalen Amplitudenmodulationsmaske
aufweisen, wobei die Platte beispielsweise als Hadamard-Matrix oder als
Simplexmatrix strukturiert ist. In anderen Worten die Struktur ist
durch eine Hadamard Matrix oder eine Simplexmatrix definiert oder
beschreibbar. Mit dem oben beschriebenen eindimensionalen Amplitudenmodulator 100,
mit einer als Hadamard-Matrix oder S-Matrix strukturierten Maske,
einer Detektoroptik 33, einem Einzeldetektor 34 und
einer Bildfeldblende, nicht in 6 dargestellt,
lässt sich
ein Hadamard-Zeilendetektor aufbauen. In Kombination mit einem Objektiv 32,
das an das Bildfeld des Amplitudenmodulators 100 angepasst
ist, entsteht so eine „Hadamard-Transformations-Zeilen-Kamera”.
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Das
Objektiv 32 bildet die Umwelt bzw. das Objekt 30 in
die Modulatorebene des mikromechanischen Bauelementes ab. Das Bildfeld
wird durch eine zusätzliche
oder eine in den Modulator integrierte Bildfeldblende begrenzt.
Die Platte des mikromechanischen Bauelementes transmittiert und
reflektiert oder absorbiert einen Teil der elektromagnetischen Strahlung 31.
Durch eine Bewegung 12 der Maskenstruktur bzw. der Membran
mittels des integrierten Linearaktuators 5 ergibt sich
die zeitsequentielle aufgenommene Gesamtenergie als Faltung der
Transmissionsfunktion der Maske mit der Identitätsverteilung des Bildes. Durch
Multiplikation der in Abhängigkeit
der Zeit aufgenommenen Signale mit der inversen Matrix der Modulationsstruktur
wird die örtliche Intensitätsverteilung
reproduziert.
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Insbesondere
im nahen infraroten Wellenlängenbereich
bzw. im infraroten und ultravioletten Wellenlängenbereich kann so bei gleichzeitig
erhöhter
Auflösung
ein kostengünstiger
Ersatz zu den bisher eingesetzten Detektormatrizen (Detektorarrays) geschaffen
werden. Insbesondere das bei geringen Signalstärken dominierende Rauschen,
verursacht durch den Multiplexer und die Abtasthalteschaltung (Sample-and-Hold
Schaltung) in einem Zeilendetektor, kann so z. B. durch einen Transimpedanzverstärker, der
präzise
Messungen kleiner Ströme
ermöglicht,
stark minimiert werden.
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In 7 ist
als weiteres Ausführungsbeispiel ein
optisches System 90, welches als zweidimensionale Transformations-Kamera
durch Kombination von zwei mikromechanischen Bauelementen 100 mit elektrostatischen
Linearaktuatoren gebildet wird, dargestellt. Gemäß dem Ausführungsbeispiel in 6 für eine Hadamard-Transformations-Zeilen-Kamera kann
eine zweidimensionale Transformations-Kamera beispielsweise durch
zwei zueinander gekreuzt angeordnete eindimensionale Modulatoren 100 realisiert
werden. Dadurch kann ein Modulator eine Bewegung 12 ausführen und
der zweite Modulator eine unabhängige
Bewegung 13, die lateral senkrecht zur Bewegungsebene der
Bewegung 12 verläuft.
Die Modulatoren sind zu dem vorhergehenden Ausführungsbeispiel, siehe 6 hinsichtlich
ihrer Auslenkung 12, 13 der Modulationsfläche und
Struktur der Platte 1 angepasst. Als Modulationsstruktur
der in dem mikromechanischen Bauelement 100 integrierten
Membran bieten sich wieder verschiedene mathematisch vorteilhafte
Sequenzen an, wie z. B. die oben bereits erwähnten Hadamard-Matrizen oder Simplexmatrizen.
In dem Ausführungsbeispiel
von 7 sind die zwei zueinander gekreuzt angeordneten
Mikrobauelemente 100 mit ihren eindimensionalen Modulatorstrukturen
nahezu direkt hintereinander angeordnet, so dass beide Masken im
bildseitigen Tiefenschärfebereich
des Objektivs 32 liegen. Das optische System 90 enthält wie bereits
im Zusammenhang mit 6 beschrieben wieder ein Objektiv 32 sowie
eine Detektoroptik 33 und einen entsprechend dazu angeordneten
Einzeldetektor 34, welcher in dem Spektralbereich, der
mit dem mikromechanischen Bauelement wechselwirkenden elektromagnetischen
Strahlung empfindlich ist. Es ist auch denkbar, dass anstelle des
Einzeldetektors mehrere Einzeldetektoren oder ein Einzeldetektorarray
eingesetzt wird.
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In
einem weiteren Ausführungsbeispiel,
welches in 8 dargestellt ist, ist ein optischen
Systems 90 als zweidimensionale Transformations-Kamera
durch eine Kombination von zwei mikromechanischen Bauelementen mit
einer entsprechenden Modulationsstruktur ausgebildet. Das optische
Sys tem 90 in 8 weist wiederum ein Objektiv 32 auf, welches
die Umwelt oder das Objekt 30 abbildet. In diesem Ausführungsbeispiel
weist das optische System jedoch zwei in einem Abstand gekreuzt
angeordnete eindimensionale Modulatorstrukturen 100 auf. Die
Modulatorstrukturen 100 können wieder in Richtung 12 und 13 ausgelenkt
werden. Um eine Abbildung des Objekts in der jeweiligen Modulatorebene der
beabstandet angeordneten eindimensionalen Modulatoren 100' erzielen zu
können,
weist das optische System eine Relayoptik 35 auf, wobei
diese Relayoptik 35 beispielsweise mit einer sogenannten
Offner-Konfiguration (1:1 Imaging Relay) oder einer modifizierten
Offner-Anordnung realisbar ist. Dadurch kann gewährleistet werden, dass das
Objekt durch das Objektiv 32 in der jeweiligen Modulatorebene
abgebildet wird. Die Bewegungen der eindimensionalen Modulatorstruktur 100 führen wieder
zu einer Faltung von der jeweiligen Transmissionsfunktion mit der
Intensitätsverteilung
in der jeweiligen Bildebene. Durch das zeitsequentielle Detektieren
der Gesamtintensität
durch den nachgeschalteten Detektor 34, welche das die
beiden Modulationsstrukturen 100 passierende Licht durch
eine Detektoroptik 33 empfängt, lässt sich mit Hilfe der inversen
Matrizen der Modulationsstrukturen des mikromechanischen Bauelements 100 die
Intensitätsverteilung
berechnen. Der Vorteil dieses Aufbaus liegt in der Substitution
von zweidimensionalen Detektorarrays durch Einzeldetektoren, was
insbesondere im nahen Infrarot (NIR) bzw. im Infrarot (IR) zu einem
großen
Leistungs- und Kostenvorteil führen
kann. Andererseits kann bei Verwendung eines zweidimensionalen Detektorarrays 34,
in Kombination mit dem Modulator eine Auflösungsverbesserung erreicht
werden. Dies gilt sowohl für
ein- als auch für
zweidimensionale Transformations-Kameras, wie sie im Zusammenhang
zu 6 bis 9 dargestellt sind.
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In 9 ist
ein weiteres Ausführungsbeispiel einer
zweidimensionalen Transformations-Kamera dargestellt. In diesem
Ausführungsbeispiel
weist das optische System 90 ein Objektiv 32 auf,
welches die Umwelt oder ein Objekt 30 in die mit einer
zweidimensionalen Matrix strukturierten Modulatorebene des mikromechanischen
Bauelementes 100, wie es beispielsweise im Zusammenhang
mit 3 und 4 beschrieben wurde, abgebildet
wird. Das Bildfeld wird wieder durch eine zusätzliche oder eine in dem Modulator
integrierte Bildfeldblende, welche nicht in 9 dargestellt
ist, begrenzt. Die zweidimensionale Maskenstruktur des mikromechanischen Bauelementes 101 transmittiert
und reflektiert oder absorbiert einen Teil der elektromagnetischen
Strahlung 31. Durch die zweidimensionale Bewegung 12 und 13 der
Maskenstruktur mittels der integrierten Linearaktuatoren 5a und 5b (siehe 3)
ergibt sich die zeitsequentiell aufgenommene Gesamtenergie als Faltung
der Transmissionsfunktion der zweidimensionalen Maske mit der Intensitätsverteilung
des Bildes. Eine dem mikromechanischen Bauelement 1 nachgeschaltete
bedeckte Optik 33 kann dann die elektromagnetische Strahlung
auf einen Einzeldetektor 34 für die elektromagnetische Strahlung
abbilden, der so ausgebildet ist, dass die Gesamtenergie der auf
den Detektor einfallenden elektromagnetischen Strahlung zeitsequentiell
detektiert und als Signal zur Verfügung gestellt werden kann.
Durch eine Multiplikation der in Abhängigkeit der Zeit aufgenommenen Signale
mit der inversen Matrix der Modulationsstruktur des mikromechanischen
Bauelementes 101 kann die örtliche Intensitätsverteilung
reproduziert werden. Das mikromechanische Bauelement 100 weist
wieder eine Platte auf, die eine Struktur aufweist, welche mittels
mathematisch vorteilhafter zweidimensionalen Matrizen, wie z. B.
den Hadamard-Matrizen oder den Simplexmatrizen berechnet wurde.
Die Maske kann dazu anstelle von Schlitzen quadratische Löcher besitzen,
wie es beispielsweise in 4 dargestellt ist.
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In
einem Ausführungsbeispiel
weist das mikromechanische Bauelement zur Modulation von elektromagnetischer
Strahlung mindestens eine, integrierte Strukturmerkmale aufweisende
und lateral beweglich ausgeführte
Platte auf, wobei die Auslenkung der Platte mittels eines elektrostatischen,
elektromagnetischen, thermischen, piezoelektrischen oder magnetorestriktiven
Antriebs erfolgt. Die Auslenkung der Platte durch den Antrieb kann
resonant erfolgen, quasistatisch oder statisch. Das mikromechanische
Bauelement kann dadurch gekennzeichnet sein, dass mindestens eine
Oberfläche
der Platte zumindest teilweise als Spiegel, welcher aus einer Schicht
oder einem Schichtstapel aufgebaut ist ausgeführt ist. In einem anderen Ausführungsbeispiel
ist das mikromechanische Bauelement dadurch gekennzeichnet, dass
mindestens eine Oberfläche
der Platte zumindest teilweise als absorbierende Schicht oder ein
absorbierendes Schichtsystem ausgeführt ist. In einem weiteren
Ausführungsbeispiel
ist das mikromechanische Bauelement, wie es oben beschrieben wurde,
dadurch gekennzeichnet, dass die Platte zumindest teilweise transparent
ist. Die Platte des mikromechanischen Bauelementes kann als Phasenmaske
mit beliebigen Strukturmustern ausgeführt sein. Es ist jedoch auch
denkbar, dass die Platte des mikromechanischen Bauelementes als
Lochmaske mit einem beliebigen Strukturmuster ausgeführt ist. Die
zumindest teilweise reflektierende oder zumindest teilweise absorbierende
oder teilweise transparente Platte kann in einem anderen Ausführungsbeispiel
wellenlängenselektiv
sein und/oder Einfluss auf die Polarisation der mit dem mikromechanischen Bauelement
wechselwirkenden elektromagnetischen Strahlung nehmen. Des Weiteren
kann das mikromechanische Bauelement derart ausgebildet sein, dass es
aktiv die Eigenschaften einer elektromagnetischen Strahlung im Spektralbereich
zwischen „ultraviolett”, „sichtbar” und „infrarot” beeinflussen
kann. Das heißt,
das Bauelement kann so ausgebildet sein, dass die elektromagnetische
Strahlung, mit der das Bauelement wechselwirkt, Licht im Spektralbereich zwischen „ultraviolett”, „sichtbar” und „infrarot” sein kann.
In einem weiteren Ausführungsbeispiel
der vorliegenden Erfindung kann das mikromechanische Bauelement
bzw. das optische System zusätzlich mindestens
einen Positionssensor zur Erfassung einer Information über die
Position und/oder die Frequenz und/oder die Phasenlage der Plattenbewegung
aufweisen. Mit anderen Worten, der Positionssensor kann die aktuelle
Position der Platte und da mit der Modulationsstruktur, monitoren
bzw. überwachen
und gegebenenfalls Signale zu einer Änderung der Bewegung der Platte
zur Verfügung
stellen. In einem weiteren Ausführungsbeispiel
der vorliegenden Erfindung ist das mikromechanische Bauelement dadurch
gekennzeichnet, dass die Platte bzw. die Membran mit mehreren diskreten
Aperturen unterschiedlicher und/oder gleicher Form und/oder Größe strukturiert
ist und deren Position in Verbindung mit einem quasistatischen Antrieb änderbar
ist, wodurch eine Modulation der Amplitude über den Strahlquerschnitt ermöglicht wird
und/oder eine diskrete Auswahl der wirksamen strahlbegrenzenden
Apertur oder Aperturen ermöglicht
wird.
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In
einem anderen Ausführungsbeispiel
kann ein optisches System eine zweite Apertur oder das Bild einer
Apertur vor, hinter oder in der Ebene der Platte des mikromechanischen
Bauelementes aufweisen. Das optische System kann weiterhin dadurch
gekennzeichnet sein, dass die Platte mit mehreren diskreten Aperturen
unterschiedlicher und/oder gleicher Form und/oder Größe strukturiert
ist und deren Position in Verbindung mit einem quasistatischen Antrieb änderbar
ist, wodurch eine Modulation der Amplitude über den Strahlquerschnitt ermöglicht wird und/oder
eine diskrete Auswahl der wirksamen strahlbegrenzenden Apertur oder
Aperturen ermöglicht
wird. Die laterale Position der zweiten Apertur kann gegenüber dem
mikromechanischen Bauelement fixiert und/oder beweglich angeordnet
sein, so dass jeweils nur eine oder ein Teil der Aperturen eine wechselwirkende
elektromagnetische Strahlung transmittiert und so eine diskrete
Auswahl der wirksamen strahlbegrenzenden Apertur und/oder Aperturen und/oder
eine Änderung
von deren resultierender Form und/oder Größe ermöglicht. Das Bauelement kann
somit als diskret änderbare
Blende genutzt werden.
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Das
mikromechanische Bauelement kann in verschiedenen Systemen eingesetzt
werden. Das Bauelement kann dabei Bestandteil eines komplexen optischen,
oder optoelektronischen Systems sein, in dem das mikromechanische
Bauelement die aktive Modulation der örtlichen Eigenschaften einer
Strahlungsverteilung übernimmt.
Das mikromechanische Bauelement lässt sich in den verschiedensten
Systemen nach altbekannten Messprinzipien, wie z. B. in der Hadamard-Transformationsoptik
bzw. in Spektrometern, in ortsauflösenden Spektrometern (Imaging Spectrometer),
zur Laserstrahlcharakterisierung, als so genannter Knife-Edge Laser
Profiler zur Laserstrahlcharakterisierung oder in ortsauflösenden Ellipsometern
usw. einsetzen. Das mikromechanische Bauelement kann beispielsweise
zur Bilderfassung eingesetzt werden. Es ist auch denkbar, dass das
mikromechanische Bauelement für
die ortsaufgelöste Spektroskopie
oder spektrale Bilderfassung oder für so genannte Multi-, Hyper-
oder Ultra-Spectral Imaging eingesetzt wird. Bei diesen liefern
spektrale Bildaufnahmesensoren gleichzeitig aus unterschiedlichen
Spektralbereichen spektrale und örtliche
Informationen über
ein Untersuchungsobjekt. Das mikromechanische Bauelement kann, wie
oben bereits erwähnt
in der Hadamard-Transformations-Spektroskopie eingesetzt werden.
Außerdem
ist die Verwendung des Bauelementes in Systemen zur Laserstrahlmanipulation
und/oder Charakterisierung denkbar. Das Bauelement kann auch in
Systemen zur Manipulation oder zur Charakterisierung von Strahlungsquerschnitten
eingesetzt werden.
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Das
Bauelement kann auch in Systemen zur Erfassung der Polarisation
oder zur ortsaufgelösten Erfassung
der Polarisation bzw. in Ellipsometern oder ortsaufgelösten Ellipsometern
eingesetzt werden. Beim Einsatz in unterschiedlichen optischen Systemen
ermöglicht
das mikromechanische Bauelement eine prinzipbedingte Verwendung
kostengünstiger
Detektoren. Weiterhin lassen sich bessere Signal-zu-Rausch-Verhältnisse
und eine verbesserte laterale Auflösung realisieren. Durch den
Einsatz des mikromechanischen Bauelementes können zweidimensionale Detektorarrays
durch Einzeldetektoren ersetzt werden, was insbesondere im nahen
Infrarot bzw. im Infrarot zu einem großen Leistungs- und Kostenvorteil
führt.
Andererseits kann bei der Verwendung eines zweidimensionalen De tektorarrays
in Kombination mit dem mikromechanischen Bauelement eine Auflösungsverbesserung
erreicht werden.
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Obwohl
in den vorhergehenden Ausführungsbeispielen
der Aktuator immer „in-plane”, also in
der Ebene der Platte integriert ist, kann in anderen Ausführungsbeispielen
der Aktuator beispielsweise oberhalb oder unterhalb der Platten- bzw. Membranebene
ausgebildet sein. Allgemein ist der Aktuator der Platte so zugeordnet,
dass er die Platte lateral auslenken kann.
-
Bei
einer lateralen Auslenkung der Platte kann die Platte in einer Richtung
(z. B. x-Richtung) oder in zwei Richtungen (z. B. x-, y-Richtung)
translatorisch, oder auch rotatorisch um eine Achse parallel zur
Substrat- bzw. zur Plattennormalen ausgelenkt werden. Allgemein
ist auch eine Kombination aus diesen Bewegungen, also eine Kombination
aus Rotation und einer ein- oder zweidimensionalen Translation als
laterale Auslenkung zu verstehen.
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- 1
- Maskenstruktur
bzw. Platte
- 2
- Innerer
Rahmen
- 3
- Strahlquerschnitt
- 4
- Äußerer Rahmen
- 5
- Mikromechanischer
Aktor bzw. Antrieb
- 5a
- Mikromechanischer
Aktor bzw. mikromechanischer Antrieb
- 5b
- Mikromechanischer
Aktor bzw. Antrieb
- 6
- Federstruktur
- 7
- Parallelführung
- 8
- Elektrostatischer
Kammantrieb
- 9a,
b
- Kammelektroden
- 10
- Zweidimensionale
Maskenstruktur
- 11
- Mittlere
Rahmenstruktur
- 12
- Bewegungsrichtung
in y-Richtung
- 13
- Bewegungsrichtung
in x-Richtung
- 1a
- Schlitze,
Löcher
oder transmittierende Bereiche der Maskenstruktur
- 1b
- Maskenstrukturbereiche
- 14
- Maskenstrukturbereiche
- 15
- Quadratische
Löcher
oder quadratische transmittierende Bereiche
- 20
- Elektromagnetischer
Aktor
- 21
- Magnetfeld
- 22
- Durchtrennte
Platte
- 23
- Isolationsgraben
- 24
- Isolationsschicht
- 25
- Metallbahnen,
Leiterbahnen
- 30
- Objekt
- 31
- Strahlengang
- 32
- Objektiv
- 33
- Detektoroptik
- 34
- Detektor
- 35
- Relayoptik
- 97
- 2.
Schicht
- 98
- 1.
Schicht
- 99
- Substrate
- 100
- Mikromechanisches
Bauelement