WO2014162521A1

WO2014162521A1 - アクチュエータ

Info

Publication number: WO2014162521A1
Application number: PCT/JP2013/060104
Authority: WO
Inventors: 友崇矢部
Original assignee: パイオニア株式会社
Priority date: 2013-04-02
Filing date: 2013-04-02
Publication date: 2014-10-09

Abstract

　アクチュエータ（１００）は、支持部（１１０）と、可動部（１２０）と、弾性部（１３０）とを備えており、弾性部には、可動部を駆動させるための制御電流が供給される金属部材（１４２）が形成されており、金属部材のうちの少なくとも一部である特定部材と弾性部との間には、特定部材よりもヤング率が小さい金属材料を含む金属下地層（１４３）が形成されている。

Description

アクチュエータ

　本発明は、例えばミラー等が設けられた可動部を駆動するＭＥＭＳスキャナ等のアクチュエータの技術分野に関する。

　例えば、ディスプレイ、プリンティング装置、精密測定、精密加工、情報記録再生などの多様な技術分野において、半導体工程技術によって製造されるＭＥＭＳ（Ｍｉｃｒｏ　Ｅｌｅｃｔｒｏ　Ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ　Ｓｙｓｔｅｍ）デバイスについての研究が活発に進められている。このようなＭＥＭＳデバイスとして、例えば、光源から入射された光を所定の画面領域に対して走査して画像を具現するディスプレイ分野、または所定の画面領域に対して光を走査して反射された光を受光して画像情報を読み込むスキャニング分野では、微小構造の光スキャナ（或いは、ＭＥＭＳスキャナ）が注目されている。

　光スキャナは、一般的には、ベースとなる固定された本体と、所定の回転軸の周りに回転可能な可動板と、本体と可動板とを接続する又は接合するトーションバー（ねじれ部材）とを備える構成が知られている（特許文献１から特許文献３参照）。このような光スキャナでは、コイルと磁石を用いて可動板が駆動されることが多い。具体的には、例えば可動板の外縁に形成されたコイルに対して供給される制御電流と当該コイルに対して磁石から付与される磁界との間の電磁相互作用によって、可動板に対して回転方向の力が加えられる。その結果、可動板が駆動（言い換えれば、遥動ないしは回転）する。

特許第３４２５８１４号特開第２０１２－２４３９７４号公報特許第５０２３９０７号

　可動板に形成されたコイルに対しては、トーションバー上に形成された金属配線を介して制御電流が供給されることが多い。ここで、可動板の駆動に伴ってトーションバーにねじれ方向の応力が加わることを考慮すれば、トーションバー上に形成された金属配線にもまた、ねじれ方向の応力が加わる。このような応力は、金属配線の劣化ないしは断線を引き起こしかねない。

　そこで、特許文献１には、応力によって劣化ないしは断線しかねない金属配線に代えて、Ｐ型不純物が注入（つまり、ドーピング）されていることにより導電性を有しているトーションバーを用いて、コイルに対して制御電流が供給される技術が開示されている。或いは、特許文献２には、応力によって劣化ないしは断線しかねない金属配線に代えて、導電性有機高分子の配線を用いて、コイルに対して制御電流が供給される技術が開示されている。

　しかしながら、特許文献１に開示された技術では、トーションバーの電気抵抗率が金属配線と比較して高くなってしまうがゆえに、制御電流の供給に伴ってトーションバーに発生する熱量が増大してしまう。同様に、特許文献２に開示された技術では、導電性高分子の電気抵抗率が金属配線と比較して高くなってしまうがゆえに、制御電流の供給に伴って導電性高分子の配線に発生する熱量が増大してしまう。従って、可動板の繰り返しの駆動（つまり、繰り返しの遥動ないしは回転）に対する信頼性が相対的に低下してしまうおそれがある。

　このため、光スキャナにおける可動板の繰り返しの駆動に対する信頼性の向上という観点から言えば、制御電流は、金属配線を用いてコイルに対して供給されることが好ましい。そこで、金属配線の劣化ないしは断線を抑制するために、特許文献３には、金属配線をトーションバーから離間させる技術が開示されている。しかしながら、金属配線をトーションバーから離間させる必要があるがゆえに、光スキャナの製造工程が複雑化してしまうという技術的な問題点が生ずる。

　尚、上述した技術的な問題点は、回転するように可動板（或いは、任意の可動部）を駆動させるＭＥＭＳスキャナのみならず、任意の態様で可動板（或いは、任意の可動部）を駆動させるＭＳＭＳアクチュエータに対しても同様に生じ得る。

　本発明は、例えば前述した従来の問題点に鑑みなされたものであり、例えばより好適な態様で金属配線等の金属部材の劣化ないしは断線を抑制することが可能なアクチュエータを提供することを課題とする。

　上記課題を解決する第１のアクチュエータは、支持部と、前記支持部に支持される可動部と、前記可動部が駆動可能なように前記可動部と前記支持部とを接続する弾性部とを備えており、前記可動部、前記支持部及び前記弾性部のうちの少なくとも一つには、前記可動部を駆動させるための制御電流が供給される金属部材が形成されており、前記金属部材のうちの少なくとも一部である特定部材と、前記可動部、前記支持部及び前記弾性部のうちの少なくとも一つとの間には、前記特定部材よりもヤング率が小さい金属材料を含む金属下地層が形成されている。

　上記課題を解決する第２のアクチュエータは、第１支持部と、前記第１支持部に支持される第２支持部と、前記第２支持部が駆動可能なように前記第２支持部と前記第１支持部とを接続する第１弾性部と、前記第２支持部に支持される可動部と、前記可動部が駆動可能なように前記可動部と前記第２支持部とを接続する第２弾性部とを備えており、前記可動部、前記第２支持部、前記第２弾性部、前記第１支持部及び前記第１弾性部のうちの少なくとも一つには、前記可動部及び前記第２支持部のうちの少なくとも一方を駆動させるための制御信号が供給される金属部材が形成されており、前記金属部材のうちの少なくとも一部である特定部材と、前記可動部、前記第２支持部、前記第２弾性部、前記第１支持部及び前記第１弾性部のうちの少なくとも一つとの間には、前記特定部材よりもヤング率が小さい金属材料を含む金属下地層が形成されている。

　本発明の作用及び他の利得は次に説明する実施形態から明らかにされる。

第１実施例のアクチュエータの構成の一例を示す平面図である。第１実施例のアクチュエータを製造するための製造方法の流れを示すフローチャートである。第１実施例のアクチュエータを製造するための製造方法の各工程が行われた場合のアクチュエータの状態を示す断面図及び平面図である。第１実施例のアクチュエータを製造するための製造方法の各工程が行われた場合のアクチュエータの状態を示す断面図及び平面図である。第１実施例のアクチュエータを製造するための製造方法の各工程が行われた場合のアクチュエータの状態を示す断面図及び平面図である。第１実施例のアクチュエータを製造するための製造方法の各工程が行われた場合のアクチュエータの状態を示す断面図及び平面図である。第１実施例のアクチュエータを製造するための製造方法の各工程が行われた場合のアクチュエータの状態を示す断面図及び平面図である。第１実施例のアクチュエータを製造するための製造方法の各工程が行われた場合のアクチュエータの状態を示す断面図及び平面図である。第１実施例のアクチュエータを製造するための製造方法の各工程が行われた場合のアクチュエータの状態を示す断面図及び平面図である。第２実施例のアクチュエータの構成の一例を示す平面図及び断面図である。第３実施例のアクチュエータの構成の一例を示す平面図及び断面図である。第４実施例のアクチュエータの構成の一例を示す平面図及び断面図である。第５実施例のアクチュエータの構成の一例を示す平面図及び断面図である。

　以下、アクチュエータの実施形態について順に説明する。

　（第１実施形態のアクチュエータ）
　＜１＞
　第１実施形態のアクチュエータは、支持部と、前記支持部に支持される可動部と、前記可動部が駆動可能なように前記可動部と前記支持部とを接続する弾性部とを備えており、前記可動部、前記支持部及び前記弾性部のうちの少なくとも一つには、前記可動部を駆動させるための制御電流が供給される金属部材が形成されており、前記金属部材のうちの少なくとも一部である特定部材と、前記可動部、前記支持部及び前記弾性部のうちの少なくとも一つとの間には、前記特定部材よりもヤング率が小さい金属材料を含む金属下地層が形成されている。

　第１実施形態のアクチュエータによれば、弾性部によって懸架された可動部が駆動（言い換えれば、遥動ないしは回転）する。可動部は、例えば、弾性部が伸長する方向を回転軸として回転するように駆動してもよいし、或いは、弾性部が伸長する方向に沿って又は弾性部が伸長する方向と交わる方向に沿って移動するように駆動してもよい。

　このとき、弾性部は、可動部と支持部とを直接的に接続していてもよい。或いは、弾性部は、可動部と支持部とを間接的に（言い換えれば、間に任意の部材を介在させた上で）接続してもよい。

　第１実施形態のアクチュエータでは、可動部、支持部及び弾性部のうちの少なくとも一つには、可動部を駆動させるための制御電流が供給される金属部材が形成されている。例えば、可動部上（つまり、可動部の表面上）には、金属部材の一例である金属コイルや金属配線や金属電極等が形成されていてもよい。尚、金属部材は、可動部内（つまり、可動部の内部）に形成されていてもよい。同様に、支持部上（つまり、支持部の表面上）には、金属部材の一例である金属コイルや金属配線や金属電極等が形成されていてもよい。尚、金属部材は、支持部内（つまり、支持部の内部）に形成されていてもよい。同様に、弾性部上（つまり、弾性部の表面上）には、金属部材の一例である金属コイルや金属配線や金属電極等が形成されていてもよい。尚、金属部材は、弾性部内（つまり、弾性部の内部）に形成されていてもよい。

　尚、第１実施形態における「金属部材」は、金属材料を含む又は金属材料から構成される任意の部材を意味している。金属部材は、制御電流が供給される程度の導電性を有する金属部材であればどのような金属部材であってもよい。

　また、第１実施形態における「制御電流」は、可動部を駆動させるために直接的に用いられる制御電流であってもよい。具体的には、例えば、制御電流は、可動部を駆動させる力を発生させるために用いられる制御電流（例えば、上述した金属コイルに供給される制御電流）であってもよい。或いは、第１実施形態における「制御電流」は、可動部を駆動させるために間接的に用いられる制御電流であってもよい。具体的には、例えば、制御電流は、可動部の駆動状態を検出するために用いられる制御電流（例えば、可動部の駆動状態を検出するための処理回路が発生する制御電流）であってもよい。

　第１実施形態では特に、金属部材のうちの少なくとも一部である特定部材と、可動部、支持部及び弾性部のうちの少なくとも一つとの間には、特定部材よりもヤング率が小さい金属材料を含む金属下地層が形成されている。

　例えば、可動部上に金属部材が形成されている場合には、当該可動部上に形成されている金属部材のうちの少なくとも一部である特定部材と可動部との間に、金属下地層が形成されていてもよい。或いは、例えば、可動部内に金属部材が形成されている場合には、当該可動部内に形成されている金属部材のうちの少なくとも一部である特定部材と可動部との間に、金属下地層が形成されていてもよい。つまり、可動部と、金属下地層と、可動部上又は可動部内に形成されている金属部材のうちの少なくとも一部である特定部材とが、可動部の厚み方向に沿ってこの順に積層されていてもよい。

　同様に、例えば、弾性部上に金属部材が形成されている場合には、当該弾性部上に形成されている金属部材のうちの少なくとも一部である特定部材と弾性部との間に、金属下地層が形成されていてもよい。或いは、例えば、弾性部内に金属部材が形成されている場合には、当該弾性部内に形成されている金属部材のうちの少なくとも一部である特定部材と弾性部との間に、金属下地層が形成されていてもよい。つまり、弾性部と、金属下地層と、弾性部上又は弾性部内に形成されている金属部材のうちの少なくとも一部である特定部材とが、弾性部の厚み方向に沿ってこの順に積層されていてもよい。

　同様に、例えば、支持部上に金属部材が形成されている場合には、当該支持部上に形成されている金属部材のうちの少なくとも一部である特定部材と支持部との間に、金属下地層が形成されていてもよい。或いは、例えば、支持部内に金属部材が形成されている場合に、当該支持部内に形成されている金属部材のうちの少なくとも一部である特定部材と支持部との間には、金属下地層が形成されていてもよい。つまり、支持部と、金属下地層と、支持部上又は支持部内に形成されている金属部材のうちの少なくとも一部である特定部材とが、支持部の厚み方向に沿ってこの順に積層されていてもよい。

　ここで、弾性部上に金属部材が形成されているアクチュエータを一例として想定する。この場合、可動部が駆動する際には、当該可動部に接続されている（言い換えれば、可動部の駆動を規定する弾性力を付与している）弾性部には、可動部の駆動に伴う応力が加わる可能性がある。その結果、弾性部上に形成された金属部材にもまた、可動部の駆動に伴う応力が加わる可能性がある。この応力は、金属部材のみならず、金属部材（より具体的には、金属部材のうちの少なくとも一部である特定部材）と弾性部との間に形成されている金属下地層にもまた加わる。ここで、金属下地層のヤング率が金属部材のヤング率よりも小さいがゆえに、第１実施形態のアクチュエータによれば、金属下地層が形成されない比較例のアクチュエータと比較して、金属部材に加わる応力が緩和される。従って、第１実施形態のアクチュエータによれば、金属下地層が形成されない比較例のアクチュエータと比較して、可動部の駆動に起因した金属部材（例えば、弾性部に形成されている金属部材）の劣化ないしは断線が好適に抑制される。

　尚、可動部又は支持部に金属部材が形成されているアクチュエータにおいても、同様の理由から、可動部の駆動に起因した金属部材（例えば、可動部に形成されている金属部材）の劣化ないしは断線が好適に抑制されることは言うまでもない。

　このように、第１実施形態のアクチュエータによれば、可動部の駆動に起因した金属部材の劣化ないしは断線が好適に抑制される。

　＜２＞
　第１実施形態のアクチュエータの他の態様では、前記特定部材は、前記可動部の駆動に伴って応力が加わる領域部分に形成されている前記金属部材を含む。

　この態様によれば、可動部の駆動に伴って応力が加わる領域部分に形成されている金属部材の劣化ないしは断線が好適に抑制される。

　尚、可動部の駆動に伴って応力が加わる領域部分に形成されている金属部材の全てが特定部材として取り扱われなくともよい。言い換えれば、可動部の駆動に伴って応力が加わる領域部分に形成されている金属部材の一部のみが選択的に特定部材として取り扱われてもよい。

　＜３＞
　第１実施形態のアクチュエータの他の態様では、前記特定部材は、前記弾性部の少なくとも一部に形成されている前記金属部材である。

　この態様によれば、可動部の駆動に伴う応力が加わりやすい弾性部（或いは、当該弾性部の少なくとも一部）に形成されている金属部材の劣化ないしは断線が好適に抑制される。

　＜４＞
　第１実施形態のアクチュエータの他の態様では、前記金属部材は、（ｉ）前記可動部に形成され、且つ、前記制御電流が供給されると共に磁界が付与されることで前記可動部を駆動させるための電磁力を発生させる金属コイルと、（ｉｉ）前記支持部及び前記弾性部に形成され、且つ、前記金属コイルに前記制御電流を供給するように前記金属コイルに接続されている金属配線とを含み、前記特定部材は、前記弾性部の少なくとも一部に形成される前記金属配線である。

　この態様によれば、可動部に形成された金属コイルには、支持部や弾性部に形成された金属配線を介して当該金属コイルに供給される制御電流と当該金属コイルに付与される磁界との間の電磁相互作用に起因した電磁力が発生する。その結果、可動部は、当該電磁力によって駆動する。加えて、この態様では更に、可動部の駆動に伴う応力が加わりやすい弾性部に形成されている金属配線の劣化ないしは断線が好適に抑制される。

　＜５＞
　第１実施形態のアクチュエータの他の態様では、前記弾性部には、前記制御電流が供給されることで、前記可動部を駆動させるように前記弾性部を変形させる圧電素子が形成されており、前記金属部材は、前記圧電素子に前記制御電流を供給するように前記圧電素子を挟み込む一対の金属電極を含み、前記特定部材は、前記一対の金属電極のうちの少なくとも一方である。

　この態様によれば、供給される制御電流に応じて変形する圧電素子によって弾性部が歪む（言い換えれば、変形する）。その結果、当該弾性部に接続されている可動部が駆動する。このようなアクチュエータであっても、可動部の駆動（言い換えれば、可動部の駆動を引き起こす圧電素子の歪み）に伴う応力が加わりやすい弾性部に形成されている金属電極の劣化ないしは断線が好適に抑制される。

　（第２実施形態のアクチュエータ）
　＜６＞
　第２実施形態のアクチュエータは、第１支持部と、前記第１支持部に支持される第２支持部と、前記第２支持部が駆動可能なように前記第２支持部と前記第１支持部とを接続する第１弾性部と、前記第２支持部に支持される可動部と、前記可動部が駆動可能なように前記可動部と前記第２支持部とを接続する第２弾性部とを備えており、前記可動部、前記第２支持部、前記第２弾性部、前記第１支持部及び前記第１弾性部のうちの少なくとも一つには、前記可動部及び前記第２支持部のうちの少なくとも一方を駆動させるための制御信号が供給される金属部材が形成されており、前記金属部材のうちの少なくとも一部である特定部材と、前記可動部、前記第２支持部、前記第２弾性部、前記第１支持部及び前記第１弾性部のうちの少なくとも一つとの間には、前記特定部材よりもヤング率が小さい金属材料を含む金属下地層が形成されている。

　第２実施形態のアクチュエータによれば、第２弾性部によって懸架された可動部が駆動（言い換えれば、遥動ないしは回転）する。可動部は、例えば、第２弾性部が伸長する方向を回転軸として回転するように遥動してもよいし、或いは、第２弾性部が伸長する方向に沿って又は第２弾性部が伸長する方向と交わる方向に沿って移動するように遥動してもよい。

　このとき、第２弾性部は、可動部と第２支持部とを直接的に接続していてもよい。或いは、第２弾性部は、可動部と第２支持部とを間接的に（言い換えれば、間に任意の部材を介在させた上で）接続してもよい。

　更に、第２実施形態のアクチュエータによれば、第１弾性部によって懸架された第２支持部が駆動（言い換えれば、遥動ないしは回転）する。第２支持部は、例えば、第１弾性部が伸長する方向を回転軸として回転するように遥動してもよいし、或いは、第１弾性部が伸長する方向に沿って又は第１弾性部が伸長する方向と交わる方向に沿って移動するように遥動してもよい。

　このとき、第１弾性部は、第２支持部と第１支持部とを直接的に接続していてもよい。或いは、第１弾性部は、第２支持部と第１支持部とを間接的に（言い換えれば、間に任意の部材を介在させた上で）接続してもよい。

　第２実施形態のアクチュエータでは、可動部、第２支持部、第２弾性部、第１支持部及び第１弾性部のうちの少なくとも一つには、可動部を駆動させるための制御電流が供給される金属部材が形成されている。例えば、可動部上（つまり、可動部の表面上）には、金属部材の一例である金属コイルや金属配線や金属電極等が形成されていてもよい。尚、金属部材は、可動部内（つまり、可動部の内部）に形成されていてもよい。同様に、第２支持部上（つまり、第２支持部の表面上）には、金属部材の一例である金属コイルや金属配線や金属電極等が形成されていてもよい。尚、金属部材は、第２支持部内（つまり、第２支持部の内部）に形成されていてもよい。同様に、第２弾性部上（つまり、第２弾性部の表面上）には、金属部材の一例である金属コイルや金属配線や金属電極等が形成されていてもよい。尚、金属部材は、第２弾性部内（つまり、第２弾性部の内部）に形成されていてもよい。同様に、第１支持部上（つまり、第１支持部の表面上）には、金属部材の一例である金属コイルや金属配線や金属電極等が形成されていてもよい。尚、金属部材は、第１支持部内（つまり、第１支持部の内部）に形成されていてもよい。同様に、第１弾性部上（つまり、第１弾性部の表面上）には、金属部材の一例である金属コイルや金属配線や金属電極等が形成されていてもよい。尚、金属部材は、第１弾性部内（つまり、第１弾性部の内部）に形成されていてもよい。

　尚、第２実施形態における「金属部材」は、金属材料を含む又は金属材料から構成される任意の部材を意味している。金属部材は、制御電流が供給される程度の導電性を有する金属部材であればどのような金属部材であってもよい。

　また、第２実施形態における「制御電流」は、可動部及び第２支持部のうちの少なくとも一方を駆動させるために直接的に用いられる制御電流であってもよい。具体的には、例えば、制御電流は、可動部及び第２支持部のうちの少なくとも一方を駆動させる力を発生させるために用いられる制御電流（例えば、上述した金属コイルに供給される制御電流）であってもよい。或いは、第２実施形態における「制御電流」は、可動部及び第２支持部のうちの少なくとも一方を駆動させるために間接的に用いられる制御電流であってもよい。具体的には、例えば、制御電流は、可動部及び第２支持部のうちの少なくとも一方の駆動状態を検出するために用いられる制御電流（例えば、可動部及び第２支持部のうちの少なくとも一方の駆動状態を検出するための処理回路が発生する制御電流）であってもよい。

　第２実施形態では特に、金属部材のうちの少なくとも一部である特定部材と、可動部、第２支持部、第２弾性部、第１支持部及び第１弾性部のうちの少なくとも一つとの間には、特定部材よりもヤング率が小さい金属材料を含む金属下地層が形成されている。

　同様に、例えば、第２弾性部上に金属部材が形成されている場合には、当該第２弾性部上に形成されている金属部材のうちの少なくとも一部である特定部材と第２弾性部との間に、金属下地層が形成されていてもよい。或いは、例えば、第２弾性部内に金属部材が形成されている場合には、当該第２弾性部内に形成されている金属部材のうちの少なくとも一部である特定部材と第２弾性部との間に、金属下地層が形成されていてもよい。つまり、第２弾性部と、金属下地層と、第２弾性部上又は第２弾性部内に形成されている金属部材のうちの少なくとも一部である特定部材とが、第２弾性部の厚み方向に沿ってこの順に積層されていてもよい。

　同様に、例えば、第２支持部上に金属部材が形成されている場合には、当該第２支持部上に形成されている金属部材のうちの少なくとも一部である特定部材と第２支持部との間に、金属下地層が形成されていてもよい。或いは、例えば、第２支持部内に金属部材が形成されている場合には、当該第２支持部内に形成されている金属部材のうちの少なくとも一部である特定部材と第２支持部との間に、金属下地層が形成されていてもよい。つまり、第２支持部と、金属下地層と、第２支持部上又は第２支持部内に形成されている金属部材のうちの少なくとも一部である特定部材とが、第２支持部の厚み方向に沿ってこの順に積層されていてもよい。

　同様に、例えば、第１弾性部上に金属部材が形成されている場合には、当該第１弾性部上に形成されている金属部材のうちの少なくとも一部である特定部材と第１弾性部との間に、金属下地層が形成されていてもよい。或いは、例えば、第１弾性部内に金属部材が形成されている場合には、当該第１弾性部内に形成されている金属部材のうちの少なくとも一部である特定部材と第１弾性部との間に、金属下地層が形成されていてもよい。つまり、第１弾性部と、金属下地層と、第１弾性部上又は第１弾性部内に形成されている金属部材のうちの少なくとも一部である特定部材とが、第１弾性部の厚み方向に沿ってこの順に積層されていてもよい。

　同様に、例えば、第１支持部上に金属部材が形成されている場合には、当該第１支持部上に形成されている金属部材のうちの少なくとも一部である特定部材と第１支持部との間に、金属下地層が形成されていてもよい。或いは、例えば、第１支持部内に金属部材が形成されている場合には、当該第１支持部内に形成されている金属部材のうちの少なくとも一部である特定部材と第１支持部との間に、金属下地層が形成されていてもよい。つまり、第１支持部と、金属下地層と、第１支持部上又は第１支持部内に形成されている金属部材のうちの少なくとも一部である特定部材とが、第１支持部の厚み方向に沿ってこの順に積層されていてもよい。

　ここで、第１弾性部上に金属部材が形成されているアクチュエータを一例として想定する。この場合、第２支持部が駆動する際には、当該第２支持部に接続されている（言い換えれば、第２支持部の駆動を規定する弾性力を付与している）第１弾性部には、可動部の駆動に伴う応力が加わる可能性がある。その結果、第１弾性部上に形成された金属部材にもまた、可動部の駆動に伴う応力が加わる可能性がある。この応力は、金属部材のみならず、金属部材（より具体的には、金属部材のうちの少なくとも一部である特定部材）と第１弾性部との間に形成されている金属下地層にもまた加わる。ここで、金属下地層のヤング率が金属部材のヤング率よりも小さいがゆえに、第２実施形態のアクチュエータによれば、金属下地層が形成されない比較例のアクチュエータと比較して、金属部材に加わる応力が緩和される。従って、第２実施形態のアクチュエータによれば、金属下地層が形成されない比較例のアクチュエータと比較して、可動部の駆動に起因した金属部材（例えば、第２弾性部に形成されている金属部材）の劣化ないしは断線が好適に抑制される。

　尚、可動部、第２弾性部、第２支持部又は第１支持部に金属部材が形成されているアクチュエータにおいても、同様の理由から、可動部の駆動に起因した金属部材（例えば、可動部に形成されている金属部材）の劣化ないしは断線が好適に抑制されることは言うまでもない。

　このように、第２実施形態のアクチュエータによれば、可動部の駆動に起因した金属部材の劣化ないしは断線が好適に抑制される。

　＜７＞
　第２実施形態のアクチュエータの他の態様では、前記特定部材は、前記可動部及び前記第２支持部のうちの少なくとも一方の駆動に伴って応力が加わる領域部分に形成されている前記金属部材を含む。

　この態様によれば、可動部及び第２支持部のうちの少なくとも一方の駆動に伴って応力が加わる領域部分に形成されている金属部材の劣化ないしは断線が好適に抑制される。

　尚、可動部及び第２支持部のうちの少なくとも一方の駆動に伴って応力が加わる領域部分に形成されている金属部材の全てが特定部材として取り扱われなくともよい。言い換えれば、可動部及び第２支持部のうちの少なくとも一方の駆動に伴って応力が加わる領域部分に形成されている金属部材の一部のみが選択的に特定部材として取り扱われてもよい。

　＜８＞
　第２実施形態のアクチュエータの他の態様では、前記特定部材は、前記第２弾性部、前記第２支持部及び前記第１弾性部のうちの少なくとも一部に形成されている前記金属部材である。

　この態様によれば、可動部及び第２支持部のうちの少なくとも一方の駆動に伴う応力が加わりやすい第２弾性部（或いは、当該第２弾性部の少なくとも一部）に形成されている金属部材の劣化ないしは断線が好適に抑制される。同様に、可動部及び第２支持部のうちの少なくとも一方の駆動に伴う応力が加わりやすい第２支持部（或いは、当該第２支持部の少なくとも一部）に形成されている金属部材の劣化ないしは断線が好適に抑制される。同様に、可動部及び第２支持部のうちの少なくとも一方の駆動に伴う応力が加わりやすい第１弾性部（或いは、当該第１弾性部の少なくとも一部）に形成されている金属部材の劣化ないしは断線が好適に抑制される。

　＜９＞
　第２実施形態のアクチュエータの他の態様では、前記金属部材は、（ｉ）前記第２支持部に形成され、且つ、前記制御電流が供給されると共に磁界が付与されることで前記可動部及び前記第２支持部のうちの少なくとも一方を駆動させるための電磁力を発生させる金属コイルと、（ｉｉ）前記第１支持部及び前記第１弾性部に形成され、且つ、前記金属コイルに前記制御電流を供給するように前記金属コイルに接続されている金属配線とを含み、前記特定部材は、（ｉ）前記第２支持部の少なくとも一部に形成される前記金属コイル及び（ｉｉ）前記第１弾性部の少なくとも一部に形成される前記金属配線の少なくとも一方である。

　この態様によれば、第２支持部に形成された金属コイルには、第１支持部や第１弾性部に形成された金属配線を介して当該金属コイルに供給される制御電流と当該金属コイルに付与される磁界との間の電磁相互作用に起因した電磁力が発生する。その結果、可動部及び第２支持部のうちの少なくとも一方は、当該電磁力によって駆動する。加えて、この態様では更に、可動部及び第２支持部のうちの少なくとも一方の駆動に伴う応力が加わりやすい第２支持部に形成されている金属コイル及び第１弾性部に形成されている金属配線のうちの少なくとも一方の劣化ないしは断線が好適に抑制される。

　＜１０＞
　第２実施形態のアクチュエータの他の態様では、前記第２弾性部及び前記第１弾性部のうちの少なくとも一方には、前記制御電流が供給されることで、前記可動部及び前記第２支持部のうちの少なくとも一方を駆動させるように前記第２弾性部及び前記第１弾性部のうちの少なくとも一方を変形させる圧電素子が形成されており、前記金属部材は、前記圧電素子に前記制御電流を供給するように前記圧電素子を挟み込む一対の金属電極を含み、前記特定部材は、前記一対の金属電極のうちの少なくとも一方である。

　この態様によれば、供給される制御電流に応じて変形する圧電素子によって第２弾性部及び第１弾性部のうちの少なくとも一方が歪む（言い換えれば、変形する）。その結果、当該第２弾性部に接続されている可動部及び当該第１弾性部に接続されている第２支持部のうちの少なくとも一方が駆動する。このようなアクチュエータであっても、可動部の駆動（言い換えれば、可動部の駆動を引き起こす圧電素子の歪み）に伴う応力が加わりやすい第２弾性部に形成されている金属電極の劣化ないしは断線が好適に抑制される。或いは、第２支持部の駆動（言い換えれば、第２支持部の駆動を引き起こす圧電素子の歪み）に伴う応力が加わりやすい第１弾性部に形成されている金属電極の劣化ないしは断線が好適に抑制される。

　本実施形態のこのような作用及び他の利得は次に説明する実施例から明らかにされる。

　以上説明したように、第１実施形態のアクチュエータによれば、可動部と、支持部と、弾性部とを備え、金属部材のうちの少なくとも一部である特定部材と、可動部、支持部及び弾性部のうちの少なくとも一つとの間に、特定部材よりもヤング率が小さい金属材料を含む金属下地層が形成されている。第２実施形態のアクチュエータによれば、可動部と、第２支持部と、第２弾性部と、第１支持部と、第１弾性部とを備え、金属部材のうちの少なくとも一部である特定部材と、動部と、第２支持部と、第２弾性部と、第１支持部と、第１弾性部のうちの少なくとも一つとの間に、特定部材よりもヤング率が小さい金属材料を含む金属下地層が形成されている。従って、金属配線等の金属部材の劣化ないしは断線が好適に抑制される。

　以下、実施例について図を参照しつつ説明する。

　（１）第１実施例
　以下、図１から図９を参照して、第１実施例のアクチュエータ１００について説明する。

　（１－１）構成
　初めに、図１を参照して、第１実施例のアクチュエータ１００の構成について説明する。図１（ａ）は、第１実施例のアクチュエータ１００の構成の一例を示す平面図である。図１（ｂ）は、図１（ａ）に示すアクチュエータ１００のＩ－Ｉ’断面図である。

　図１（ａ）及び図１（ｂ）に示すように、第１実施例のアクチュエータ１００は、例えばレーザ光のスキャニングに用いられるプレーナ型電磁駆動アクチュエータ（即ち、ＭＥＭＳスキャナ）である。アクチュエータ１００は、「支持部」の一具体例であるベース１１０と、「可動部」の一具体例である可動板１２０と、「弾性部」の一具体例である一対のトーションバー１３０と、「金属部材」の一具体例である金属コイル１４１と、「金属部材」の一具体例である金属配線１４２と、金属下地層１４３と、電源端子１５１と、一対の永久磁石１６１とを備えている。

　ベース１１０は、内部に空隙を備える枠形状を有している。つまり、ベース１１０は、図１（ａ）及び図１（ｂ）中のＸ軸方向に延伸する２つの辺と図１（ａ）及び図１（ｂ）中のＹ軸方向（つまり、Ｘ軸方向に直交する方向）に延伸する２つの辺とを有すると共に、Ｘ軸方向に延伸する２つの辺とＹ軸方向に延伸する２つの辺とによって取り囲まれた空隙を有する枠形状を有している。図１（ａ）に示す例では、ベース１１０は、正方形の形状を有しているが、これに限定されることはなく、例えばその他の形状（例えば、長方形等の矩形の形状や円形の形状等）を有していてもよい。また、ベース１１０は、第１実施例のアクチュエータ１００の基礎となる構造体であって、不図示の基板ないしは支持部材に対して固定されている（言い換えれば、アクチュエータ１００という系の内部においては固定されている）ことが好ましい。或いは、ベース１１０は、不図示のサスペンション等によって吊り下げられていてもよい。

　尚、図１（ａ）では、ベース１１０が枠形状を有している例を示しているが、その他の形状を有していてもよいことは言うまでもない。例えば、ベース１１０は、その一部の辺が開口となるコの字型形状を有していてもよい。或いは、例えば、ベース１１０は、内部に空隙を備える箱型形状を有していてもよい。つまり、ベース１１０は、Ｘ軸及びＹ軸によって規定される平面上に分布する２つの面と、Ｘ軸及び不図示のＺ軸（つまり、Ｘ軸及びＹ軸の双方に直交する軸）によって規定される平面上に分布する２つの面と、Ｙ軸及び不図示のＺ軸によって規定される平面上に分布する２つの面とを有すると共に、これらの６つの面によって取り囲まれた空隙を有する箱形状を有していてもよい。或いは、可動板１２０が配置される態様に応じて適宜ベース１１０の形状を任意に代えてもよい。

　可動板１２０は、ベース１１０の内部の空隙に、一対のトーションバー１３０によって吊り下げられる又は支持されるように配置される。可動板１２０は、一対のトーションバー１３０の弾性によって、Ｘ軸方向に沿った軸を回転軸として回転するように構成されている。尚、可動板１２０の表面には、例えば、レーザ光を反射する不図示のミラーが形成されていてもよい。

　一対のトーションバー１３０は、例えばシリコン、銅合金、鉄系合金、その他金属、樹脂等を材料とするバネ等のような弾性を有する部材である。一対のトーションバー１３０は、図１（ａ）及び図１（ｂ）中Ｘ軸方向に延伸するように配置される。言い換えれば、一対のトーションバー１３０は、Ｘ軸方向に延伸する長手を有すると共にＹ軸方向に延伸する短手を有する形状を有している。但し、後述する共振周波数の設定状況に応じて、一対のトーションバー１３０は、Ｘ軸方向に延伸する短手を有すると共にＹ軸方向に延伸する長手を有する形状を有していてもよい。一対のトーションバー１３０の夫々の一方の端部は、ベース１１０に接続される。一対のトーションバー１３０の夫々の他方の端部は、可動板１２０に接続される。つまり、一対のトーションバー１３０は、間に可動板１２０を挟み込むように可動板１２０を吊り下げている。

　尚、ベース１１０、可動板１２０及び一対のトーションバー１３０は、例えばシリコン基板等の非磁性基板から一体的に形成されている。即ち、ベース１１０、可動板１２０及び一対のトーションバー１３０は、例えばシリコン基板等の非磁性基板の一部が除去されることにより間隙が形成されることで形成されている。このときの形成プロセスとして、ＭＥＭＳプロセスが用いられることが好ましい。尚、シリコン基板に代えて、任意の弾性材料から、ベース１１０、可動板１２０及び一対のトーションバー１３０が一体的に形成されてもよい。

　金属コイル１４１は、例えば相対的に導電率の高い金属材料（例えば、金や銅等）から構成される複数の巻き線である。金属コイル１４１を構成する複数の巻き線は、可動板１２０の外縁に沿って延伸するように、可動板１２０上（例えば、可動板１２０の表面上）に形成されている。但し、金属コイル１４１は、可動板１２０の外縁に沿って延伸するように、可動板１２０内（例えば、可動板１２０の内部）に形成されていてもよい。金属コイル１４１は、めっきプロセスやスパッタリング法等の半導体製造プロセスを用いて形成されてもよい。第１実施例では、金属コイル１４１は、矩形の形状を有している。但し、金属コイル１４１は、任意の形状（例えば、正方形や長方形やひし形や平行四辺形や円形や楕円形やその他の任意のループ形状）を有していてもよい。

　金属配線１４２は、例えば相対的に導電率の高い金属材料（例えば、金や銅等）から構成される配線である。金属配線１４２は、電源端子１５１と金属コイル１４１とを電気的に接続する配線である。第１実施例では、金属コイル１４１が可動板１２０上に形成されている一方で電源端子１５１がベース１１０上に形成されているがゆえに、金属配線１４２は、ベース１１０から一対のトーションバー１３０を介して可動板１２０に向かうように、ベース１１０、可動板１２０及び一対のトーションバー１３０上に形成されている。金属配線１４２は、めっきプロセスやスパッタリング法等の半導体製造プロセスを用いて形成されてもよい。

　金属コイル１４１には、ベース１１０上に形成されている電源端子１５１及び上述した金属配線１４２を介して、電源から、可動板１２０を回転させるための制御電流が供給される。制御電流は、典型的には、Ｘ軸方向に沿った軸を回転軸として可動板１２０が回転する周波数と同一の又は同期した周波数の信号成分を含む交流電流である。尚、電源は、アクチュエータ１００自身が備えている電源であってもよいし、アクチュエータ１００の外部に用意される電源であってもよい。

　第１実施例では特に、一対のトーションバー１３０上に形成されている金属配線１４２と一対のトーションバー１３０との間には、金属配線１４２よりもヤング率（つまり、縦弾性係数）が小さい金属材料から構成される金属下地層１４３が形成されている。言い換えれば、一対のトーションバー１３０上には、一対のトーションバー１３０から見て金属下地層１４３と金属配線１４２とがこの順に積層されている。

　尚、一対のトーションバー１３０上に形成されている金属配線１４２の全部と一対のトーションバー１３０との間に、金属下地層１４３が形成されていてもよい。或いは、一対のトーションバー１３０上に形成されている金属配線１４２の一部と一対のトーションバー１３０との間に、金属下地層１４３が形成されている一方で、一対のトーションバー１３０上に形成されている金属配線１４２の他の一部と一対のトーションバー１３０との間に、金属下地層１４３が形成されていなくてもよい。

　また、ベース１１０上に形成されている金属配線１４２の一部若しくは全部とベース１１０との間には、金属下地層１４３が形成されていなくともよい。但し、ベース１１０上に形成されている金属配線１４２の一部若しくは全部とベース１１０との間には、金属下地層１４３が形成されていてもよい。

　また、可動板１２０上に形成されている金属配線１４２の一部若しくは全部と可動板１２０との間には、金属下地層１４３が形成されていなくともよい。但し、可動板１２０上に形成されている金属配線１４２の一部若しくは全部と可動板１２０との間には、金属下地層１４３が形成されていてもよい。

　また、可動板１２０上に形成されている金属コイル１４１の一部若しくは全部と可動板１２０との間には、金属下地層１４３が形成されていなくともよい。但し、可動板１２０上に形成されている金属コイル１４１の一部若しくは全部と可動板１２０との間には、金属下地層１４３が形成されていてもよい。

　尚、図１（ｂ）に示す断面図では、金属配線１４２及び金属下地層１４３の視認性を向上させるために、厚みを強調した金属配線１４２及び金属下地層１４３が記載されている。

　一対の永久磁石１６１は、一対の永久磁石１６１がＹ軸方向に沿って配列するように配置される。特に、一対の永久磁石１６１は、一対の永久磁石１６１がＹ軸方向に沿って金属コイル１４１を挟み込むように配置される。一対の永久磁石１６１は、金属コイル１４１に対して所定の静磁界を付与することができるように、その磁極の向きが適切に設定されていることが好ましい。

　尚、図１（ａ）及び図１（ｂ）に示す一対の永久磁石１６１の態様はあくまで一例である。従って、可動板１２０を回転させるための静磁界を金属コイル１４１に対して付与することができる限りは、一対の永久磁石１６１はどのような態様で配置されてもよい。また一対の永久磁石１６１には、静磁界の強度を高めるために、ヨークが付加されていてもよい。

　（１－２）アクチュエータの動作
　続いて、第１実施例のアクチュエータ１００の動作の態様（具体的には、可動板１２０を回転させる動作の態様）について説明する。

　第１実施例のアクチュエータ１００の動作時には、まず、金属コイル１４１に制御電流が供給される。制御電流は、Ｘ軸方向に沿った軸を回転軸として可動板１２０を回転させるための電流成分を含んでいる。第１実施例では、可動板１２０は、可動板１２０と一対のトーションバー１３０とによって定まる共振周波数（より具体的には、可動板１２０の慣性モーメントと一対のトーションバー１３０のねじりバネ定数によって定まる共振周波数）で共振するように、Ｘ軸方向に沿った軸を回転軸として回転する。従って、制御電流は、可動板１２０の共振周波数と同一の又は同期した周波数の信号成分を含む交流電流である。但し、可動板１２０は、可動板１２０と一対のトーションバー１３０とによって定まる共振周波数とは異なる又は同期しない周波数で、Ｘ軸方向に沿った軸を回転軸として回転してもよい。この場合には、制御電流は、Ｘ軸方向に沿った軸を回転軸として可動板１２０が回転する周波数と同一の又は同期した周波数の信号成分を含む交流電流である。

　一方で、金属コイル１４１には、一対の永久磁石１６１から磁界が付与されている。尚、一対の永久磁石１６１は、Ｙ軸方向に沿って対向する金属コイル１４１の２つの辺に対して、磁界を付与することが好ましい。

　従って、金属コイル１４１には、金属コイル１４１に供給されている制御電流と金属コイル１４１に付与されている磁界との間の電磁相互作用に起因したローレンツ力が発生することになる。その結果、金属コイル１４１が形成されている可動板１２０は、金属コイル１４１に供給されている制御電流と金属コイル１４１に付与されている磁界との間の電磁相互作用に起因したローレンツ力によって、図１（ａ）及び図１（ｂ）におけるＸ軸を回転軸として回転する（言い換えれば、回転するように往復駆動する）。

　このように、第１実施例のアクチュエータ１００によれば、可動板１２０の１軸駆動が行われる。

　ここで、可動板１２０の駆動（つまり、回転）に伴って、一対のトーションバー１３０には、Ｘ軸方向に沿った軸を回転軸とするねじれ方向の応力が加わる。その結果、一対のトーションバー１３０上に形成されている金属配線１４２にもまた、Ｘ軸方向に沿った軸を回転軸とするねじれ方向の応力が加わる。このような応力は、金属配線１４２のみならず、金属配線１４２と一対のトーションバー１３０との間に形成されている金属下地層１４３にもまた加わる。ここで、金属下地層１４３のヤング率が金属配線１４２のヤング率よりも小さいがゆえに、第１実施例のアクチュエータ１００によれば、金属下地層１４３が形成されない比較例のアクチュエータと比較して、金属配線１４２に加わる応力が緩和される。従って、第１実施例のアクチュエータ１００によれば、金属下地層１４３が形成されない比較例のアクチュエータと比較して、可動板１２０の駆動に起因した金属配線１４３（例えば、一対のトーションバー１３０上に形成されている金属配線１４２）の劣化ないしは断線が好適に抑制される。

　加えて、仮に金属配線１４２が断線してしまった場合であっても、制御電流は、金属下地層１４３を介して金属コイル１４１に対して供給される。従って、金属コイル１４１に対する制御電流の安定的な供給もまた実現される。

　尚、上述したように、金属下地層１４３は、金属配線１４２に加わる応力を緩和することができる。そうすると、金属下地層１４３は、可動板１２０の駆動に伴って応力が加わる金属配線１４２（言い換えれば、このような応力による劣化ないしは断線を抑制することが好ましい金属配線１４２）の下側に形成されることが好ましい。例えば、図１（ａ）及び図１（ｂ）は、可動板１２０の駆動に伴って応力が加わる金属配線１４２が、一対のトーションバー１３０上に形成された金属配線１４２の一部若しくは全部である例を示している。つまり、図１（ａ）及び図１（ｂ）は、金属下地層１４３が、一対のトーションバー１３０に形成される金属配線１４２の一部若しくは全部の下側に形成される例を示している。もちろん、可動板１２０の駆動に伴って、可動板１２０に形成された金属配線１４２の一部若しくは全部に応力が加わる場合には、金属下地層１４３が、可動板１２０に形成される金属配線１４２の一部若しくは全部の下側に形成されてもよい。同様に、可動板１２０の駆動に伴って、ベース１１０に形成された金属配線１４２の一部若しくは全部に応力が加わる場合には、金属下地層１４３が、ベース１１０に形成される金属配線１４２の一部若しくは全部の下側に形成されてもよい。

　また、図１（ａ）及び図１（ｂ）は、金属配線１４２の下部に金属下地層１４３が形成される例を示している。しかしながら、可動板１２０の駆動に伴って応力が加わる領域部分に形成されている任意の金属部材（例えば、金属コイル１４１につながる金属配線１４２とは異なる金属配線であって、例えば、後述する処理回路２１１（図９参照）につながる金属配線２１２又は金属電極２１３）の下部に金属下地層１４３が形成されてもよい。

　（１－３）アクチュエータの製造方法
　続いて、図２から図９を参照して、第１実施例のアクチュエータ１００を製造するための製造方法について説明する。図２は、第１実施例のアクチュエータ１００を製造するための製造方法の流れを示すフローチャートである。図３から図９は、夫々、第１実施例のアクチュエータ１００を製造するための製造方法の各工程が行われた場合のアクチュエータ１００の状態を示す断面図及び平面図である。尚、図３から図９では、各図（ａ）は、各図（ｂ）の平面図の一点鎖線での断面図を示す。

　図２並びに図３（ａ）の断面図及び図３（ｂ）の平面図に示すように、はじめに、アクチュエータ１００の原材料となるシリコン基板２０１が用意される（ステップＳ１００）。

　その後、図２並びに図４（ａ）の断面図及び図４（ｂ）の平面図に示すように、パターニングやエッチングや蒸着法やＣＶＤ（Chemical Vapor Deposition）法やイオン注入等の半導体製造プロセスを用いて、シリコン基板２０１上に処理回路２１１を形成する（ステップＳ１０１）。処理回路２１１としては、例えば、ピエゾ抵抗層を利用した可動板１２０の駆動状態を検出する検出回路等が一例としてあげられる。但し、処理回路２１１は、任意の回路（或いは、任意の構造物）であってもよい。尚、処理回路２１１がアクチュエータ１００にとって必要でなければ、図２のステップＳ１０１の動作は省略されてもよい。

　その後、図２並びに図５（ａ）の断面図及び図５（ｂ）の平面図に示すように、シリコン基板２０１上に、ＳｉＯ_２（二酸化ケイ素）等を含む絶縁膜２０２が形成される（ステップＳ１０２）。このとき、処理回路２１１の直上には、後述する工程で処理回路２１１と金属配線２１２とを電気的に接続するために用いられる開口が形成されている。

　その後、図２並びに図６（ａ）の断面図及び図６（ｂ）の平面図に示すように、半導体製造プロセス（例えば、蒸着法等）を用いて、絶縁膜２０２が形成されたシリコン基板２０１上に、上述した金属下地層１４３が形成される（ステップＳ１０３）。金属下地層１４３の形成と同時に、半導体製造プロセス（例えば、蒸着法）を用いて、絶縁膜２０２が形成されたシリコン基板２０１上に、処理回路２１１と電気的に接続される金属配線２１２が形成される。金属配線２１２は、例えば銅等の導電率が相対的に高い金属をシリコン基板２０１上に蒸着することで形成される。つまり、図２のステップＳ１０３では、金属下地層１４３及び金属配線２１２が同時に形成されるようなパターニングやエッチングや蒸着等が行われることが好ましい。言い換えれば、図２のステップＳ１０３では、１回のパターニングやエッチングや蒸着等が行われることで、金属下地層１４３及び金属配線２１２が同時に形成されることが好ましい。但し、金属下地層１４３と金属配線２１２とは、別々に形成されてもよい。

　尚、上述したように処理回路２１１がアクチュエータ１００にとって必要でなければ、処理回路２１１が形成されなくともよいため、必然的に処理回路２１１につながる金属配線２１２もまた形成されなくともよくなる。この場合は、図２のステップＳ１０３では、金属下地層１４３が形成されれば足りる。但し、製造工程を増加させないという観点からは、金属下地層１４３は、他の何らかの構成部材と同時に形成されることが好ましい。

　その後、図２並びに図７（ａ）の断面図及び図７（ｂ）の平面図に示すように、半導体製造プロセスを用いて、金属下地層１４３及び金属配線２１２が形成されたシリコン基板２０１上に、ＳｉＯ_２（二酸化ケイ素）等を含む絶縁膜２０２が形成される（ステップＳ１０４）。ステップＳ１０４では特に、金属配線２１２の絶縁性を確保するように、金属配線２１２上に絶縁膜２０２が形成されれば足りる。但し、金属配線２１２上に形成される絶縁膜２０２には、金属配線２１２と後述する金属電極２１３とを接続するためのコンタクトホールが形成されることが好ましい。

　その後、図２並びに図８（ａ）の断面図及び図８（ｂ）の平面図に示すように、半導体製造プロセス（例えば、蒸着法等）を用いて、絶縁膜２０２が形成されたシリコン基板２０１上に、上述した金属コイル１４１及び金属配線１４２並びに電源端子１５１が形成される（ステップＳ１０５）。更に、金属コイル１４１及び金属配線１４２並びに電源端子１５１の形成と同時に、半導体製造プロセス（例えば、蒸着法等）を用いて、絶縁膜２０２が形成されたシリコン基板２０１上に、処理回路２１１につながる（具体的には、処理回路２１１の金属配線２１２につながる）金属電極２１３が形成される。

　その後、図２並びに図９（ａ）の断面図及び図９（ｂ）の平面図に示すように、半導体製造プロセスを用いて、シリコン基板２０１の一部が除去されることで、ベース１１０、可動板１２０及び一対のトーションバー１３０が形成される（ステップＳ１０６）。その結果、上述したアクチュエータ１００の製造が完了する。

　（２）第２実施例
　続いて、図１０を参照して、第２実施例のアクチュエータ２００について説明する。図１０は、第２実施例のアクチュエータ２００の構成の一例を示す平面図及び断面図である。尚、第１実施例のアクチュエータ１００が備える構成要素と同一の構成要素については、同一の参照符号を付することで特段の説明を省略する。

　図１０に示すように、第２実施例のアクチュエータ２００は、第１実施例のアクチュエータ１００と比較して、可動板１２０を駆動させるために、電磁相互作用に起因した力ではなく、圧電素子の変形に起因した力を用いるという点において異なっている。尚、第２実施例のアクチュエータ２００が備えるその他の構成要素は、第１実施例のアクチュエータ１００が備える構成要素と同一であってもよい。

　具体的には、第２実施例のアクチュエータ２００は、第１実施例のアクチュエータ１００と比較して、金属コイル１４１及び一対の永久磁石１６１を備えていないという点において異なっている。

　更に、第２実施例のアクチュエータ２００は、第１実施例のアクチュエータ１００と比較して、一対のトーションバー１３０上における構造が異なっている。より具体的には、第２実施例のアクチュエータ２００では、一対のトーションバー１３０上には、一対のトーションバー１３０から見て、下部電極２４２ａと、圧電素子２４４と、金属下地層２４３と、上部電極２４２ｂとがこの順に積層されている。金属下地層２４３のヤング率は、上部電極２４２ｂのヤング率よりも小さい。尚、図１０（ｂ）に示す断面図では、下部電極２４２ａ、圧電素子２４４、金属下地層２４３及び上部電極２４２ｂの視認性を向上させるために、厚みを強調した下部電極２４２ａ、圧電素子２４４、金属下地層２４３及び上部電極２４２ｂが記載されている。

　下部電極２４２ａ及び上部電極２４２ｂの夫々には、電源端子１５１を介して、圧電素子２４４に印加されるべき制御信号が供給される。その結果、圧電素子２４４は、下部電極２４２ａ及び上部電極２４２ｂを介して印加される制御信号に応じて変形する（例えば、収縮する、伸長する又は歪む）。このような圧電素子２４４の変形に起因した力は、図１０（ａ）及び図１０（ｂ）におけるＸ軸を回転軸として可動板１２０を回転させるための力となる。その結果、可動板１２０は、圧電素子２４４の変形によって、図１０（ａ）及び図１０（ｂ）におけるＸ軸を回転軸として回転する（言い換えれば、回転するように往復駆動する）。

　このような第２実施例のアクチュエータ２００においても、可動板１２０の駆動（つまり、回転）に伴って、一対のトーションバー１３０には、Ｘ軸方向に沿った軸を回転軸とするねじれ方向の応力が加わる。その結果、一対のトーションバー１３０上に形成されている上部電極２４２ｂにもまた、Ｘ軸方向に沿った軸を回転軸とするねじれ方向の応力が加わる。このような応力は、上部電極２４２ｂのみならず、上部電極２４２ｂと一対のトーションバー１３０との間に形成されている金属下地層２４３にもまた加わる。ここで、金属下地層２４３のヤング率が上部電極２４２ｂのヤング率よりも小さいがゆえに、第２実施例のアクチュエータ２００によれば、金属下地層２４３が形成されない比較例のアクチュエータと比較して、上部電極２４２ｂに加わる応力が緩和される。従って、第２実施例のアクチュエータ２００によれば、金属下地層２４３が形成されない比較例のアクチュエータと比較して、可動板１２０の駆動に起因した上部電極２４２ｂの劣化ないしは断線が好適に抑制される。

　尚、図１０（ａ）及び図１０（ｂ）は、上部電極２４２ｂと一対のトーションバー１３０との間に金属下地層２４３が形成されている例を示している。しかしながら、上部電極２４２ｂと一対のトーションバー１３０との間に形成される金属下地層２４３に加えて又は代えて、下部電極２４２ａと一対のトーションバー１３０との間に、下部電極２４２ａよりもヤング率が小さい金属材料から構成される金属下地層２４３が形成されていてもよい。この場合には、可動板１２０の駆動に起因した下部電極２４２ａの劣化ないしは断線が好適に抑制される。

　（３）第３実施例
　続いて、図１１を参照して、第３実施例のアクチュエータ３００について説明する。

　（３－１）アクチュエータの構成
　初めに、図１１は、第３実施例のアクチュエータ３００の構成の一例を示す平面図及び断面図である。尚、第１実施例のアクチュエータ１００が備える構成要素と同一の構成要素については、同一の参照符号を付することで特段の説明を省略する。

　図１１（ａ）及び図１１（ｂ）に示すように、第３実施例のアクチュエータ３００は、例えばレーザ光のスキャニングに用いられるプレーナ型電磁駆動アクチュエータ（即ち、ＭＥＭＳスキャナ）である。アクチュエータ３００は、「第１支持部」の一具体例である第１ベース３１１と、「第２支持部」の一具体例である第２ベース３１２と、「可動部」の一具体例である可動板３２０と、「第１弾性部」の一具体例である一対の第１トーションバー３３１と、「第２弾性部」の一具体例である一対の第２トーションバー３３２と、「金属部材」の一具体例である金属コイル３４１と、「金属部材」の一具体例である金属配線３４２と、金属下地層３４３と、電源端子３５１と、一対の第１永久磁石３６１とを備えている。

　第１ベース３１１は、内部に空隙を備える枠形状を有している。つまり、第１ベース３１１は、図１１（ａ）及び図１１（ｂ）中のＸ軸方向に延伸する２つの辺と図１１（ａ）及び図１１（ｂ）中のＹ軸方向（つまり、Ｘ軸方向に直交する方向）に延伸する２つの辺とを有すると共に、Ｘ軸方向に延伸する２つの辺とＹ軸方向に延伸する２つの辺とによって取り囲まれた空隙を有する枠形状を有している。図１１（ａ）に示す例では、第１ベース３１１は、正方形の形状を有しているが、これに限定されることはなく、例えばその他の形状（例えば、長方形等の矩形の形状や円形の形状等）を有していてもよい。また、第１ベース３１１は、第３実施例のアクチュエータ３００の基礎となる構造体であって、不図示の基板ないしは支持部材に対して固定されている（言い換えれば、アクチュエータ３００という系の内部においては固定されている）ことが好ましい。或いは、第１ベース３１１は、不図示のサスペンション等によって吊り下げられていてもよい。

　尚、図１１（ａ）では、第１ベース３１１が枠形状を有している例を示しているが、その他の形状を有していてもよいことは言うまでもない。例えば、第１ベース３１１は、その一部の辺が開口となるコの字型形状を有していてもよい。或いは、例えば、第１ベース３１１は、内部に空隙を備える箱型形状を有していてもよい。つまり、第１ベース３１１は、Ｘ軸及びＹ軸によって規定される平面上に分布する２つの面と、Ｘ軸及び不図示のＺ軸（つまり、Ｘ軸及びＹ軸の双方に直交する軸）によって規定される平面上に分布する２つの面と、Ｙ軸及び不図示のＺ軸によって規定される平面上に分布する２つの面とを有すると共に、これらの６つの面によって取り囲まれた空隙を有する箱形状を有していてもよい。或いは、可動板３２０が配置される態様に応じて適宜第１ベース３１１の形状を任意に代えてもよい。

　第２ベース３１２は、第１ベース３１１の内部の空隙に、一対の第１トーションバー３３１によって吊り下げられる又は支持されるように配置される。第２ベース３１２は、一対の第１トーションバー３３１の弾性によって、Ｘ軸方向に沿った軸を回転軸として回転するように構成されている。

　一対の第１トーションバー３３１は、例えばシリコン、銅合金、鉄系合金、その他金属、樹脂等を材料とするバネ等のような弾性を有する部材である。一対の第１トーションバー３３１は、図１１（ａ）及び図１１（ｂ）中Ｘ軸方向に延伸するように配置される。言い換えれば、一対の第１トーションバー３３１は、Ｘ軸方向に延伸する長手を有すると共にＹ軸方向に延伸する短手を有する形状を有している。但し、後述する共振周波数の設定状況に応じて、一対の第１トーションバー３３１は、Ｘ軸方向に延伸する短手を有すると共にＹ軸方向に延伸する長手を有する形状を有していてもよい。一対の第１トーションバー３３１の夫々の一方の端部は、第１ベース３１１に接続される。一対の第１トーションバー３３１の夫々の他方の端部は、第２ベース３１２に接続される。つまり、一対の第１トーションバー３３１は、間に第２ベース３１２を挟み込むように第２ベース３１２を吊り下げている。

　第２ベース３１２は、内部に空隙を備える枠形状を有している。つまり、第２ベース３１２は、図１１（ａ）及び図１１（ｂ）中のＸ軸方向に延伸する２つの辺と図１１（ａ）及び図１（ｂ）中のＹ軸方向（つまり、Ｘ軸方向に直交する方向）に延伸する２つの辺とを有すると共に、Ｘ軸方向に延伸する２つの辺とＹ軸方向に延伸する２つの辺とによって取り囲まれた空隙を有する枠形状を有している。図１１（ａ）に示す例では、第２ベース３１２は、正方形の形状を有しているが、これに限定されることはなく、例えばその他の形状（例えば、長方形等の矩形の形状や円形の形状等）を有していてもよい。

　尚、図１１（ａ）では、第２ベース３１２が枠形状を有している例を示しているが、その他の形状を有していてもよいことは言うまでもない。例えば、第２ベース３１２は、その一部の辺が開口となるコの字型形状を有していてもよい。或いは、例えば、第２ベース３１２は、内部に空隙を備える箱型形状を有していてもよい。つまり、第２ベース３１２は、Ｘ軸及びＹ軸によって規定される平面上に分布する２つの面と、Ｘ軸及び不図示のＺ軸（つまり、Ｘ軸及びＹ軸の双方に直交する軸）によって規定される平面上に分布する２つの面と、Ｙ軸及び不図示のＺ軸によって規定される平面上に分布する２つの面とを有すると共に、これらの６つの面によって取り囲まれた空隙を有する箱形状を有していてもよい。或いは、可動板３２０が配置される態様に応じて適宜第２ベース３１２の形状を任意に代えてもよい。

　可動板３２０は、第２ベース３１２の内部の空隙に、一対の第２トーションバー３３２によって吊り下げられる又は支持されるように配置される。可動板３２０は、一対の第２トーションバー３３２の弾性によって、Ｙ軸方向に沿った軸を回転軸として回転するように構成されている。尚、可動板３２０の表面には、例えば、レーザ光を反射する不図示のミラーが形成されていてもよい。

　一対の第２トーションバー３３２は、例えばシリコン、銅合金、鉄系合金、その他金属、樹脂等を材料とするバネ等のような弾性を有する部材である。一対の第２トーションバー３３２は、図１１（ａ）及び図１１（ｂ）中Ｙ軸方向に延伸するように配置される。言い換えれば、一対の第２トーションバー３３２は、Ｙ軸方向に延伸する長手を有すると共にＸ軸方向に延伸する短手を有する形状を有している。但し、後述する共振周波数の設定状況に応じて、一対の第２トーションバー３３２は、Ｙ軸方向に延伸する短手を有すると共にＸ軸方向に延伸する長手を有する形状を有していてもよい。一対の第２トーションバー３３２の夫々の一方の端部は、第２ベース３１２に接続される。一対の第２トーションバー３３２の夫々の他方の端部は、可動板３２０に接続される。つまり、一対の第２トーションバー３３２は、間に可動板３２０を挟み込むように可動板３２０を吊り下げている。

　尚、第１ベース３１１、第２ベース３１２、可動板３２０、一対の第１トーションバー３３１及び一対の第２トーションバー３３２は、例えばシリコン基板等の非磁性基板から一体的に形成されている。即ち、第１ベース３１１、第２ベース３１２、可動板３２０、一対の第１トーションバー３３１及び一対の第２トーションバー３３２は、例えばシリコン基板等の非磁性基板の一部が除去されることにより間隙が形成されることで形成されている。このときの形成プロセスとして、ＭＥＭＳプロセスが用いられることが好ましい。尚、シリコン基板に代えて、任意の弾性材料から、第１ベース３１１、第２ベース３１２、可動板３２０、一対の第１トーションバー３３１及び一対の第２トーションバー３３２が一体的に形成されてもよい。

　金属コイル３４１は、例えば相対的に導電率の高い金属材料（例えば、金や銅等）から構成される複数の巻き線である。金属コイル３４１を構成する複数の巻き線は、第２ベース３１２の外縁に沿って延伸するように、第２ベース３１２上（例えば、第２ベース３１２の表面上）に形成されている。但し、金属コイル３４１は、第２ベース３１２の外縁に沿って延伸するように、第２ベース３１２内（例えば、第２ベース３１２の内部）に形成されていてもよい。金属コイル３４１は、めっきプロセスやスパッタリング法等の半導体製造プロセスを用いて形成されてもよい。第３実施例では、金属コイル３４１は、矩形の形状を有している。但し、金属コイル３４１は、任意の形状（例えば、正方形や長方形やひし形や平行四辺形や円形や楕円形やその他の任意のループ形状）を有していてもよい。

　金属配線３４２は、例えば相対的に導電率の高い金属材料（例えば、金や銅等）から構成される配線である。金属配線３４２は、電源端子３５１と金属コイル３４１とを電気的に接続する配線である。第３実施例では、金属コイル３４１が第２ベース３１２上に形成されている一方で電源端子３５１が第１ベース３１１上に形成されているがゆえに、金属配線３４２は、第１ベース３１１から一対の第１トーションバー３３１を介して第２ベース３１２に向かうように、第１ベース３１１、第２ベース３１２及び一対の第１トーションバー３３１上に形成されている。金属配線３４２は、めっきプロセスやスパッタリング法等の半導体製造プロセスを用いて形成されてもよい。

　金属コイル３４１には、第１ベース３１１上に形成されている電源端子３５１及び上述した金属配線３４２を介して、電源から、可動板３２０及び第２ベース３１２を回転させるための制御電流が供給される。制御電流は、典型的には、Ｘ軸方向に沿った軸を回転軸として第２ベース３１２が回転する周波数と同一の若しくは同期した周波数の信号成分及びＹ軸方向に沿った軸を回転軸として可動板３２０が回転する周波数と同一の若しくは同期した周波数の信号成分の双方を含む交流電流である。尚、電源は、アクチュエータ３００自身が備えている電源であってもよいし、アクチュエータ３００の外部に用意される電源であってもよい。

　第３実施例では特に、一対の第１トーションバー３３１上に形成されている金属配線３４２と一対の第１トーションバー３３１との間には、金属配線３４２よりもヤング率（つまり、縦弾性係数）が小さい金属材料から構成される金属下地層３４３が形成されている。言い換えれば、一対の第１トーションバー３３１上には、一対の第１トーションバー３３１から見て金属下地層３４３と金属配線３４２とがこの順に積層されている。

　尚、一対の第１トーションバー３３１上に形成されている金属配線３４２の全部と一対の第１トーションバー３３１との間に、金属下地層３４３が形成されていてもよい。或いは、一対の第１トーションバー３３１上に形成されている金属配線３４２の一部と一対の第１トーションバー３３１との間に金属下地層３４３が形成されている一方で、一対の第１トーションバー３３１上に形成されている金属配線３４２の他の一部と一対の第１トーションバー３３１との間に金属下地層３４３が形成されていなくてもよい。

　また、第１ベース３１１上に形成されている金属配線３４２の一部若しくは全部と第１ベース３１１との間には、金属下地層３４３が形成されていなくともよい。但し、第１ベース３１１上に形成されている金属配線３４２の一部若しくは全部と第１ベース３１１との間には、金属下地層３４３が形成されていてもよい。

　また、第２ベース３１２上に形成されている金属配線３４２の一部若しくは全部と第２ベース３１２との間には、金属下地層３４３が形成されていなくともよい。但し、第２ベース３１２上に形成されている金属配線３４２の一部若しくは全部と第２ベース３１２との間には、金属下地層３４３が形成されていてもよい。

　また、第２ベース３１２上に形成されている金属コイル３４１の一部若しくは全部と第２ベース３１２との間には、金属下地層３４３が形成されていなくともよい。但し、第２ベース３１２上に形成されている金属コイル３４１の一部若しくは全部と第２ベース３１２との間には、金属下地層３４３が形成されていてもよい。

　尚、図１１（ｂ）に示す断面図では、金属配線３４２及び金属下地層３４３の視認性を向上させるために、厚みを強調した金属配線３４２及び金属下地層３４３が記載されている。

　一対の永久磁石３６１は、一対の永久磁石３６１がＹ軸方向に沿って配列するように配置される。特に、一対の永久磁石３６１は、一対の永久磁石３６１がＹ軸方向に沿って金属コイル３４１を挟み込むように配置される。一対の永久磁石３６１は、金属コイル３４１に対して所定の静磁界を印加することができるように、その磁極の向きが適切に設定されていることが好ましい。尚、一対の永久磁石３６１には、静磁界の強度を高めるために、ヨークが付加されていてもよい。

　尚、図１１（ａ）及び図１１（ｂ）に示す一対の永久磁石１６１の態様はあくまで一例である。従って、可動板３２０及び第２ベース３１２を回転させるための静磁界を金属コイル３４１に対して付与することができる限りは、一対の永久磁石３６１はどのような態様で配置されてもよい。また一対の永久磁石３６１には、静磁界の強度を高めるために、ヨークが付加されていてもよい。

　（３－２）アクチュエータの動作
　続いて、第３実施例のアクチュエータ３００の動作の態様（具体的には、可動板３２０を回転させる動作の態様）について説明する。

　第３実施例のアクチュエータ３００の動作時には、まず、金属コイル３４１に制御電流が供給される。制御電流は、Ｘ軸方向に沿った軸を回転軸として第２ベース３１２を回転させるための電流成分を含んでいる。第３実施例では、第２ベース３１２は、任意の周波数（例えば、６０Ｈｚ）で、Ｘ軸方向に沿った軸を回転軸として回転する。従って、制御電流は、Ｘ軸方向に沿った軸を回転軸とする第２ベース３１２の回転の周波数と同一の又は同期した周波数の信号成分を含む交流電流である。但し、第２ベース３１２は、第２ベース３１２を含む被懸架部（つまり、第２ベース部３１２、一対の第２トーションバー３３２並びに可動板３２０を含む被懸架部）と一対の第１トーションバー３３１によって定まる共振周波数（より具体的には、第２ベース３１２を含む被懸架部の慣性モーメントと一対の第１トーションバー３３１のねじりバネ定数によって定まる共振周波数）で、Ｘ軸方向に沿った軸を回転軸として回転してもよい。

　一方で、金属コイル３４１には、一対の永久磁石３６１から磁界が付与されている。尚、一対の永久磁石３６１は、Ｙ軸方向に沿って対向する金属コイル１４１の２つの辺に対して、磁界を付与することが好ましい。

　従って、金属コイル３４１には、金属コイル３４１に供給されている制御電流と一対の永久磁石３６１から金属コイル３４１に付与されている磁界との間の電磁相互作用に起因したローレンツ力が発生することになる。その結果、金属コイル３４１が形成されている第２ベース３１２は、金属コイル３４１に供給されている制御電流と一対の永久磁石３６１から金属コイル１４１に付与されている磁界との間の電磁相互作用に起因したローレンツ力によって、図１１（ａ）及び図１１（ｂ）におけるＸ軸を回転軸として回転する（言い換えれば、回転するように往復駆動する）。

　ここで、第２ベース３１２は、一対の第２トーションバー３３２を介して可動板３２０を支持している。このため、Ｘ軸方向に沿った軸を回転軸とする第２ベース３１２の回転に伴って、可動板３２０もまたＸ軸方向に沿った軸を回転軸として回転することになる。

　他方で、制御電流は、Ｙ軸方向に沿った軸を回転軸として可動板３２０を回転させるための電流成分を含んでいる。第３実施例では、可動板３２０は、可動板３２０と一対の第２トーションバー３３２とによって定まる共振周波数（より具体的には、可動板３２０の慣性モーメントと一対の第２トーションバー３３１のねじりバネ定数によって定まる共振周波数）で共振するように、Ｙ軸方向に沿った軸を回転軸として回転する。従って、制御電流は、可動板３２０の共振周波数と同一の又は同期した周波数の信号成分を含む交流電流である。但し、可動板３２０は、可動板３２０と一対の第２トーションバー３３２とによって定まる共振周波数とは異なる又は同期しない周波数で、Ｙ軸方向に沿った軸を回転軸として回転してもよい。この場合には、制御電流は、Ｙ軸方向に沿った軸を回転軸として可動板３２０が回転する周波数と同一の又は同期した周波数の信号成分を含む交流電流である。

　一方で、金属コイル３４１には、一対の永久磁石３６１から磁界が付与されている。

　従って、金属コイル３４１には、金属コイル３４１に供給されている制御電流と一対の永久磁石３６１から金属コイル３４１に付与されている磁界との間の電磁相互作用に起因したローレンツ力が発生することになる。その結果、金属コイル３４１が形成されている第２ベース３１２に支持されている可動板３２０は、金属コイル３４１に供給されている制御電流と金属コイル３４１に付与されている磁界との間の電磁相互作用に起因したローレンツ力によって、図１１（ａ）及び図１１（ｂ）におけるＹ軸を回転軸として回転する（言い換えれば、回転するように往復駆動する）。

　このように、第３実施例のアクチュエータ３００によれば、可動板３２０の２軸駆動が行われる。

　ここで、第２ベース３１２の駆動（つまり、回転）に伴って、一対の第１トーションバー３３１には、Ｘ軸方向に沿った軸を回転軸とするねじれ方向の応力が加わる。その結果、一対の第１トーションバー３３１上に形成されている金属配線３４２にもまた、Ｘ軸方向に沿った軸を回転軸とするねじれ方向の応力が加わる。このような応力は、金属配線３４２のみならず、金属配線３４２と一対の第１トーションバー３３１との間に形成されている金属下地層３４３にもまた加わる。ここで、金属下地層３４３のヤング率が金属配線３４２のヤング率よりも小さいがゆえに、第３実施例のアクチュエータ３００によれば、金属下地層３４３が形成されない比較例のアクチュエータと比較して、金属配線３４２に加わる応力が緩和される。従って、第３実施例のアクチュエータ３００によれば、金属下地層３４３が形成されない比較例のアクチュエータと比較して、可動板３２０の駆動に起因した金属配線３４３（例えば、一対の第１トーションバー３３１上に形成されている金属配線３４２）の劣化ないしは断線が好適に抑制される。

　加えて、仮に金属配線３４２が断線してしまった場合であっても、制御電流は、金属下地層３４３を介して金属コイル３４１に対して供給される。従って、金属コイル３４１に対する制御電流の安定的な供給もまた実現される。

　尚、上述したように、金属下地層３４３は、金属配線３４２に加わる応力を緩和することができる。そうすると、金属下地層３４３は、可動板３２０及び第２ベース３１２のうちの少なくとも一方の駆動に伴って応力が加わる金属配線３４２（言い換えれば、このような応力による劣化ないしは断線を抑制することが好ましい金属配線３４２）の下側に形成されることが好ましい。例えば、図１１（ａ）及び図１１（ｂ）は、可動板３２０及び第２ベース３１２のうちの少なくとも一方の駆動に伴って応力が加わる金属配線３４２が、一対の第１トーションバー３３１上に形成された金属配線３４２の一部若しくは全部である例を示している。つまり、図１１（ａ）及び図１１（ｂ）は、金属下地層３４３が、一対の第１トーションバー３３１に形成される金属配線３４２の一部若しくは全部の下側に形成される例を示している。もちろん、可動板３２０及び第２ベース３１２のうちの少なくとも一方の駆動に伴って、第２ベース３１２に形成された金属配線３４２の一部若しくは全部に応力が加わる場合には、金属下地層３４３が、第２ベース３１２に形成される金属配線３４２の一部若しくは全部の下側に形成されてもよい。同様に、可動板３２０及び第２ベース３１２のうちの少なくとも一方の駆動に伴って、第１ベース３１１に形成された金属配線３４２の一部若しくは全部に応力が加わる場合には、金属下地層３４３が、第１ベース３１１に形成される金属配線３４２の一部若しくは全部の下側に形成されてもよい。

　また、図１１（ａ）及び図１１（ｂ）は、金属配線３４２の下部に金属下地層３４３が形成される例を示している。しかしながら、可動板３２０又は第２ベース３１２の駆動に伴って応力が加わる領域部分に形成されている任意の金属部材（例えば、金属コイル３４１につながる金属配線３４２とは異なる金属配線であって、例えば、上述する処理回路２１１（図９参照）につながる金属配線２１２又は金属電極２１３）の下部に金属下地層３４３が形成されてもよい。

　また、第３実施例のアクチュエータ３００の製造方法は、第１実施例のアクチュエータ１００の製造方法と同一であってもよい。従って、明細書の簡略化のために、アクチュエータ３００の製造方法に関する詳細な説明は省略する。

　（４）第４実施例
　続いて、図１２を参照して、第４実施例のアクチュエータ４００について説明する。図１２は、第４実施例のアクチュエータ４００の構成の一例を示す平面図及び断面図である。尚、第３実施例のアクチュエータ３００が備える構成要素と同一の構成要素については、同一の参照符号を付することで特段の説明を省略する。

　図１２に示すように、第４実施例のアクチュエータ４００は、第３実施例のアクチュエータ３００と比較して、金属コイル３４１と第２ベース３１２との間にも金属下地層３４３が形成されているという点で異なっている。尚、第４実施例のアクチュエータ４００が備えるその他の構成要素は、第３実施例のアクチュエータ３００が備える構成要素と同一であってもよい。

　より具体的には、第４実施例では、金属コイル３４１のうちの一部（特に、第２ベース３１２と一対の第２トーションバー３３２との接続部分の近傍に形成されている金属コイル３４１）と第２ベース３１２との間に、金属下地層３４３が形成されている。というのも、可動板３２０の駆動に伴って、第２ベース３１２と一対の第２トーションバー３３２との接続部分の近傍に形成されている金属コイル３４１にも応力が加わりやすいからである。

　このような第４実施例のアクチュエータ４００であっても、第３実施例のアクチュエータ３００が享受することができる各種効果を好適に享受することができる。

　（５）第５実施例
　続いて、図１３を参照して、第５実施例のアクチュエータ５００について説明する。図１３は、第５実施例のアクチュエータ５００の構成の一例を示す平面図及び断面図である。尚、第４実施例のアクチュエータ４００が備える構成要素と同一の構成要素については、同一の参照符号を付することで特段の説明を省略する。

　図１３に示すように、第５実施例のアクチュエータ５００は、第４実施例のアクチュエータ４００と比較して、第２ベース３１２の形状が異なるという点で異なっている。尚、第５実施例のアクチュエータ５００が備えるその他の構成要素は、第４実施例のアクチュエータ４００が備える構成要素と同一であってもよい。

　具体的には、第５実施例では、第２ベース３１２は、可動板３２０を取り囲まない形状を有する金属コイル３４１を形成可能な形状（言い換えれば、金属コイル３４１の巻き線の外側に可動板３２０が位置する形状）を有している。例えば、図１３に示す例では、第２ベース３１２は、可動板３２０を取り囲む枠（図１３の左側の枠）と可動板３２０を取り囲まない枠（図１３の右側の枠であって、金属コイル３４１が形成される枠）とが連結した形状を有している。

　このような第５実施例のアクチュエータ５００であっても、第４実施例のアクチュエータ４００が享受することができる各種効果を好適に享受することができる。

　尚、上述の説明では、可動部がトーションバーの伸長する方向に沿った軸を回転軸として回転するＭＥＭＳスキャナに着目して説明を進めている。しかしながら、ＭＥＭＳスキャナに限らず、任意のアクチュエータに対して上述した各種構成が適用されてもよい。例えば、可動部がトーションバーの遥動に従って平行移動するように遥動するＭＥＭＳアクチュエータに対して、上述した各種構成が適用されてもよい。この場合であっても、上述した各種効果は好適に享受される。

　また、第１実施例のアクチュエータ１００から第５実施例のアクチュエータ５００が採用し得る各種構成が適宜組み合わせられてもよい。例えば、第３実施例のアクチュエータ３００から第５実施例のアクチュエータ５００に対して、第２実施例のアクチュエータ２００が採用する圧電素子２４４が組み合わせられてもよい。その他の任意の構成についても同様である。

　また、上述した説明では、可動板１２０の１軸駆動及び可動板３２０の２軸駆動についての説明を進めた。しかしながら、可動板１２０又は可動板３２０の多軸駆動（例えば、３軸以上の多軸駆動）が実現されてもよい。この場合であっても、少なくとも可動板１２０又は可動板３２０の駆動に伴って応力が加わる金属配線１４２若しくは金属配線３４３の下側に金属下地層１４３若しくは金属下地層３４３が形成される限りは、上述した各種効果が好適に享受される。

　本発明は、前述した実施例に限られるものではなく、請求の範囲及び明細書全体から読み取れる発明の要旨或いは思想に反しない範囲で適宜変更可能であり、そのような変更を伴うアクチュエータもまた本発明の技術的範囲に含まれるものである。

　１００　アクチュエータ
　１１０　ベース
　１２０　可動板
　１３０　トーションバー
　１４１　金属コイル
　１４２　金属配線
　１４３　金属下地層
　１５１　電源端子
　１６１　永久磁石
　２０１　シリコン基板
　２０２　絶縁膜
　２１１　処理回路
　２１２　金属配線
　２１３　金属電極
　２４２ａ　下部電極
　２４２ｂ　上部電極
　２４３　金属下地層
　２４４　圧電素子
　３００　アクチュエータ
　３１１　第１ベース
　３１２　第２ベース
　３２０　可動板
　３３１　第１トーションバー
　３３２　第２トーションバー
　３４１　金属コイル
　３４２　金属配線
　３４３　金属下地層
　３５１　電源端子
　３６１　永久磁石

Claims

　支持部と、
　前記支持部に支持される可動部と、
　前記可動部が駆動可能なように前記可動部と前記支持部とを接続する弾性部と
　を備えており、
　前記可動部、前記支持部及び前記弾性部のうちの少なくとも一つには、前記可動部を駆動させるための制御電流が供給される金属部材が形成されており、
　前記金属部材のうちの少なくとも一部である特定部材と、前記可動部、前記支持部及び前記弾性部のうちの少なくとも一つとの間には、前記特定部材よりもヤング率が小さい金属材料を含む金属下地層が形成されている
　ことを特徴とするアクチュエータ。
　前記特定部材は、前記可動部の駆動に伴って応力が加わる領域部分に形成されている前記金属部材を含む
　ことを特徴とする請求項１に記載のアクチュエータ。
　前記特定部材は、前記弾性部の少なくとも一部に形成されている前記金属部材である
　ことを特徴とする請求項１に記載のアクチュエータ。
　前記金属部材は、（ｉ）前記可動部に形成され、且つ、前記制御電流が供給されると共に磁界が付与されることで前記可動部を駆動させるための電磁力を発生させる金属コイルと、（ｉｉ）前記支持部及び前記弾性部に形成され、且つ、前記金属コイルに前記制御電流を供給するように前記金属コイルに接続されている金属配線とを含み、
　前記特定部材は、前記弾性部の少なくとも一部に形成される前記金属配線である
　ことを特徴とする請求項１に記載のアクチュエータ。
　前記弾性部には、前記制御電流が供給されることで、前記可動部を駆動させるように前記弾性部を変形させる圧電素子が形成されており、
　前記金属部材は、前記圧電素子に前記制御電流を供給するように前記圧電素子を挟み込む一対の金属電極を含み、
　前記特定部材は、前記一対の金属電極のうちの少なくとも一方である
　ことを特徴とする請求項１に記載のアクチュエータ。
　第１支持部と、
　前記第１支持部に支持される第２支持部と、
　前記第２支持部が駆動可能なように前記第２支持部と前記第１支持部とを接続する第１弾性部と、
　前記第２支持部に支持される可動部と、
　前記可動部が駆動可能なように前記可動部と前記第２支持部とを接続する第２弾性部と
　を備えており、
　前記可動部、前記第２支持部、前記第２弾性部、前記第１支持部及び前記第１弾性部のうちの少なくとも一つには、前記可動部及び前記第２支持部のうちの少なくとも一方を駆動させるための制御信号が供給される金属部材が形成されており、
　前記金属部材のうちの少なくとも一部である特定部材と、前記可動部、前記第２支持部、前記第２弾性部、前記第１支持部及び前記第１弾性部のうちの少なくとも一つとの間には、前記特定部材よりもヤング率が小さい金属材料を含む金属下地層が形成されている
　ことを特徴とするアクチュエータ。
　前記特定部材は、前記可動部及び前記第２支持部のうちの少なくとも一方の駆動に伴って応力が加わる領域部分に形成されている前記金属部材を含む
　ことを特徴とする請求項６に記載のアクチュエータ。
　前記特定部材は、前記第２弾性部、前記第２支持部及び前記第１弾性部のうちの少なくとも一部に形成されている前記金属部材である
　ことを特徴とする請求項６に記載のアクチュエータ。
　前記金属部材は、（ｉ）前記第２支持部に形成され、且つ、前記制御電流が供給されると共に磁界が付与されることで前記可動部及び前記第２支持部のうちの少なくとも一方を駆動させるための電磁力を発生させる金属コイルと、（ｉｉ）前記第１支持部及び前記第１弾性部に形成され、且つ、前記金属コイルに前記制御電流を供給するように前記金属コイルに接続されている金属配線とを含み、
　前記特定部材は、（ｉ）前記第２支持部の少なくとも一部に形成される前記金属コイル及び（ｉｉ）前記第１弾性部の少なくとも一部に形成される前記金属配線の少なくとも一方である
　ことを特徴とする請求項６に記載のアクチュエータ。
　前記第２弾性部及び前記第１弾性部のうちの少なくとも一方には、前記制御電流が供給されることで、前記可動部及び前記第２支持部のうちの少なくとも一方を駆動させるように前記第２弾性部及び前記第１弾性部のうちの少なくとも一方を変形させる圧電素子が形成されており、
　前記金属部材は、前記圧電素子に前記制御電流を供給するように前記圧電素子を挟み込む一対の金属電極を含み、
　前記特定部材は、前記一対の金属電極のうちの少なくとも一方である
　ことを特徴とする請求項６に記載のアクチュエータ。