JP4968760B1 - アクチュエータ - Google Patents

Abstract

アクチュエータ（１００）は、可動部（１３０）と、当該可動部を取り囲む支持部（１１０）と、可動部が揺動可能なように可動部と支持部とを接続するトーションバー（１２０）と、可動部に形成されると共に、可動部の外部に伸長していない駆動コイル（１４０）と、支持部に形成されると共に、可動部を揺動させるための制御電流が供給される電源コイル（１５０）と、駆動コイルに静磁界を印加する磁界印加部（１６０）とを備える。
【選択図】図１

Description

本発明は、例えばミラー等が設けられた可動部を駆動するＭＥＭＳスキャナ等のアクチュエータの技術分野に関する。

例えば、ディスプレイ、プリンティング装置、精密測定、精密加工、情報記録再生などの多様な技術分野において、半導体プロセス技術によって製造されるＭＥＭＳ（Micro Electro Mechanical System）デバイスについての研究が活発に進められている。このようなＭＥＭＳデバイスとして、レーザ光のスキャニングに用いられるＭＥＭＳスキャナが知られている。このようなＭＥＭＳスキャナのうち２軸駆動型のＭＥＭＳスキャナは、可動板と、可動板を取り囲む枠状の可動内枠と、可動板を可動内枠に対して揺動可能に軸支する内側トーションバーと、可動内枠を取り囲む枠状の固定外枠と、可動内枠を固定外枠に対して揺動可能に軸支する外側トーションバーとを備えている。

ここで、一般的な２軸駆動型のＭＥＭＳスキャナでは、可動板の表面の中央にはミラーが形成され、当該ミラーの周囲に駆動用コイルが形成される。可動内枠にもまた、駆動用コイルが形成される。そして、各駆動用コイルに対して静磁界を発生させるための１対の永久磁石が、固定外枠に配置される。このように構成されたＭＥＭＳスキャナによれば、２つの駆動用コイルに対して制御電流が供給されることで、駆動用コイルに電磁駆動力（ローレンツ力）が発生する。従って、駆動用コイルが形成されている可動内枠及び可動板が遥動される。その結果、可動板の２軸駆動が可能となる。

ところで、可動板に形成される駆動用コイルには、可動板の外部に形成される電源から、例えば内側トーションバーや可動内枠に形成される配線を介して駆動用の制御電流が供給されるのが一般的である。同様に、可動内枠に形成される駆動用コイルには、可動内枠の外部に形成される電源から、例えば外側トーションバーや固定外枠に形成される配線を介して駆動用の制御電流が供給されるのが一般的である。しかしながら、可動板に駆動用コイルが形成され且つ内側トーションバーに配線が形成される（或いは、可動内枠に駆動用コイルが形成され且つ外側トーションバーに配線が形成される）ため、ＭＥＭＳスキャナの設計の自由度が低くなってしまうという技術的問題点が生ずる。

そこで、特許文献１に開示されているように、可動内枠及び可動板のいずれか一方のみに駆動コイル形成すると共に当該駆動コイルに対して高周波成分と低周波成分を含む交流電流を供給することで、可動板の２軸駆動を実現するＭＥＭスキャナが提案されている。

特開２００２−１４８５３６号公報

しかしながら、例えば駆動用コイルが可動内枠のみに形成される場合には、可動板の駆動は、可動内枠に生ずる微振動によって制御される。従って、可動板上に駆動用コイルが直接形成されているＭＥＭＳスキャナと比較して、可動板の駆動の精度が（更には、当該可動板の駆動を制御する可動内枠の駆動の精度もまた）悪化してしまうという新たな技術的問題点が生ずる。同様に、例えば駆動用コイルが可動板のみに形成される場合には、可動内枠の駆動は、可動板に生ずる微振動によって制御される。従って、可動内枠上に駆動用コイルが直接形成されているＭＥＭＳスキャナと比較して、可動内枠の駆動の精度が（更には、当該可動内枠の駆動を制御することになる可動板の駆動の精度もまた）悪化してしまうという新たな技術的問題点が生ずる。

一方で、可動板や可動内枠の駆動の精度を向上させるために可動板及び可動内枠の双方に駆動用コイルを形成しようとすれば、上述したように、第１トーションバーや第２トーションバーの双方の上に配線を形成する必要が出てきてしまう。しかしながら、設計の自由度の観点からは、内側トーションバー又は外側トーションバーの上に配線を形成しない方が好ましいことは上述した通りである。

尚、上述した技術的な問題点は、回転するように可動板（或いは、任意の可動部）を遥動させるＭＥＭＳスキャナのみならず、任意の態様で可動板（或いは、任意の可動部）を遥動させるＭＳＭＳアクチュエータに対しても同様に生じ得る。

本発明は、例えば前述した従来の問題点に鑑みなされたものであり、例えば設計の自由度を向上させつつも可動部を相対的に高精度に遥動させることが可能なアクチュエータを提供することを課題とする。

第１のアクチュエータは上記課題を解決するために、可動部と、当該可動部を取り囲む支持部と、前記可動部が揺動可能なように前記可動部と前記支持部とを接続するトーションバーと、前記可動部に形成されると共に、前記可動部の外部に伸長していない駆動コイルと、前記支持部に形成されると共に、前記可動部を揺動させるための制御電流が供給される電源コイルと、前記駆動コイルに静磁界を印加する磁界印加部とを備える。

第２のアクチュエータは上記課題を解決するために、可動部と、当該可動部を取り囲む内側支持部と、前記可動部が揺動可能なように前記可動部と前記内側支持部とを接続する内側トーションバーと、当該内側支持部を取り囲む外側支持部と、前記内側支持部が揺動可能なように前記内側支持部と前記外側支持部とを接続する外側トーションバーと、前記可動部に形成されると共に、前記可動部の外部に伸長していない駆動コイルと、前記内側支持部に形成されると共に、前記可動部及び前記内側支持部を揺動させるための制御電流が供給される電源コイルと、前記駆動コイルに第１静磁界を印加する第１磁界印加部と、前記電源コイルに第２静磁界を印加する第２磁界印加部とを備える
第３のアクチュエータは上記課題を解決するために、可動部と、当該可動部を取り囲む内側支持部と、前記可動部が揺動可能なように前記可動部と前記内側支持部とを接続する内側トーションバーと、当該内側支持部を取り囲む外側支持部と、前記内側支持部が揺動可能なように前記内側支持部と前記外側支持部とを接続する外側トーションバーと、前記可動部に形成されると共に、前記可動部の外部に伸長していない第１駆動コイルと、前記内側支持部に形成されると共に、前記内側支持部の外部に伸長していない第２駆動コイルと、前記外側支持部に形成されると共に、前記可動部及び前記内側支持部を揺動させるための制御電流が供給される電源コイルと、前記第１駆動コイルに第１静磁界を印加する第１磁界印加部と、前記第２駆動コイルに第２静磁界を印加する第２磁界印加部とを備える。

本発明の作用及び他の利得は次に説明する実施形態から明らかにされる。

第１実施例のアクチュエータの構成の一例を示す平面図である。 第１実施例のアクチュエータの動作中の各電流及び各磁界の向きを示す平面図及び断面図である。 第１実施例に関連する第１変形例のアクチュエータの構成の一例を示す変形例である。 第１実施例に関連する第２変形例のアクチュエータの構成の一例を示す変形例である。 第２実施例のアクチュエータの構成の一例を示す平面図である。 第２実施例に関連する第１変形例のアクチュエータの構成の一例を示す変形例である。 第３実施例のアクチュエータの構成の一例を示す平面図である。

以下、アクチュエータの実施形態について順に説明する。

第１実施形態のアクチュエータは、可動部と、当該可動部を取り囲む支持部と、前記可動部が揺動可能なように前記可動部と前記支持部とを接続するトーションバーと、前記可動部に形成されると共に、前記可動部の外部に伸長していない駆動コイルと、前記支持部に形成されると共に、前記可動部を揺動させるための制御電流が供給される電源コイルと、前記駆動コイルに静磁界を印加する磁界印加部とを備える。

第１実施形態のアクチュエータによれば、トーションバーによって懸架された可動部が遥動する。可動部は、例えば、トーションバーが伸長する方向を中心軸として回転するように遥動してもよいし、或いは、トーションバーが伸長する方向に沿って又はトーションバーが伸長する方向と交わる方向に沿って移動するように遥動してもよい。

このとき、トーションバーは、可動部と支持部とを直接的に接続していてもよい。或いは、トーションバーは、可動部と支持部とを間接的に（言い換えれば、間に任意の部材を介在させた上で）接続してもよい。

第１実施形態のアクチュエータでは、可動部には、駆動コイルが形成されている。このとき、駆動コイルは、可動部の表面上に形成されていてもよいし、可動部の内部に埋め込まれるように形成されていてもよい。第１実施形態では特に、駆動コイルは、可動部の外部に伸長していない。言い換えれば、駆動コイルは、可動部上で又は可動部内でのみ伸長している。更に言い換えれば、駆動コイルは、トーションバーや支持部には形成されない。

更に、第１実施形態のアクチュエータでは、支持部には、電源コイルが形成されている。電源コイルには、可動部を遥動させるための制御電流が供給される。制御電流は、例えば、アクチュエータが備える又はアクチュエータの外部に用意される電源から電源コイルに対して供給される。尚、上述したように、駆動コイルは、可動部の外部に伸長していない。従って、電源コイルは、駆動コイルに対して、電気的に接続されていない。このため、制御電流は、駆動コイルに対しては供給されない。加えて、電源コイルが駆動コイル側に向かって伸長する必要性が薄い又はない以上、電源コイル（或いは、当該電源コイルにつながる配線）もまた、トーションバー上には形成されないことが好ましい。

このような第１実施形態のアクチュエータでは、以下のように可動部が遥動する。まず、電源コイルに制御電流が供給される。その結果、電源コイルからは、アンペールの法則に従って、磁界（或いは、磁力線）が生ずる。電源コイルから生ずる磁界の一部又は全部は、支持部によって取り囲まれている（言い換えれば、支持部に形成されている電源コイルによって取り囲まれている）可動部にも到達する。つまり、電源コイルから生ずる磁界の一部又は全部は、可動部に形成されている駆動コイルにも到達する。その結果、駆動コイルには、電源コイルから生ずる磁界に起因した誘導電流（つまり、電源コイルから生ずる磁界に起因した電磁誘導作用による電流）が発生する。一方で、駆動コイルには、磁界印加部によって静磁界が印加されている。従って、駆動コイルには、磁界印加部から印加される静磁界と駆動コイルに発生する誘導電流との電磁相互作用に起因した力（つまり、ローレンツ力）が生ずる。その結果、駆動コイルが形成されている可動部は、磁界印加部から印加される静磁界と駆動コイルに発生する誘導電流との電磁相互作用に起因したローレンツ力によって遥動する。

このように、第１実施形態のアクチュエータによれば、遥動させるべき可動部に駆動コイルを形成することができる。従って、可動部を相対的に高精度に遥動させる（つまり、駆動する）ことができる。

その一方で、第１実施形態のアクチュエータによれば、駆動コイルに生ずる誘導電流を用いて（言い換えれば、電源コイルから無線伝送される電力ないしは電流を動力源として用いて）可動部を遥動させることができるため、駆動コイルが可動部の外部に伸長しなくともよくなる。従って、駆動コイルにつながる配線をトーションバーに形成しなくともよくなる。従って、アクチュエータの構造が単純化すると共に、アクチュエータの製造工程もまた単純化する。このため、アクチュエータの設計の自由度を相対的に高めつつ、可動部を相対的に高精度に遥動させる（つまり、駆動する）ことができる。

更には、ねじれ等の応力が加わり且つ相対的に幅が狭いトーションバーに配線を形成しなくともよくなるため、配線の断線を考慮しなくともよくなる。つまり、アクチュエータの耐久性（或いは、耐故障性）を相対的に向上させることができる。

第１実施形態のアクチュエータの他の態様では、前記電源コイルから生ずる磁界が前記駆動コイル内を通過することで、前記駆動コイルに誘導電流が発生し、前記可動部は、前記磁界印加部から印加される前記静磁界と前記駆動コイルに発生する前記誘導電流との電磁相互作用によって遥動する。

この態様によれば、上述したように、可動部は、磁界印加部から印加される静磁界と駆動コイルに発生する誘導電流との電磁相互作用に起因したローレンツ力によって遥動する。従って、上述した各種効果を好適に享受することができる。

第１実施形態のアクチュエータの他の態様では、前記駆動コイル及び前記電源コイルは、前記制御電流が供給されることで前記電源コイルから生ずる磁界が前記駆動コイル内を通過する位置関係を有するように形成される。

この態様によれば、電源コイルから生ずる磁界の一部又は全部は、可動部に形成されている駆動コイルに好適に到達する。その結果、駆動コイルには、電源コイルから生ずる磁界に起因した誘導電流が好適に発生する。このため、可動部は、磁界印加部から印加される静磁界と駆動コイルに発生する誘導電流との電磁相互作用に起因したローレンツ力によって好適に遥動する。従って、上述した各種効果を好適に享受することができる。

第１実施形態のアクチュエータの他の態様では、前記可動部は、磁性材料を含む。

この態様によれば、可動部が磁性材料を含んでいない場合と比較して、可動部に形成される駆動コイルには、電源コイルから生ずる磁界に起因した誘導電流が発生しやすくなる。或いは、可動部が磁性材料を含んでいない場合と比較して、可動部に形成される駆動コイルには、より大きな誘導電流が発生しやすくなる。その結果、可動部が磁性材料を含んでいない場合と比較して、駆動コイルには、より大きなローレンツ力が生じやすくなる。従って、可動部を効率的に遥動させることができる。

第１実施形態のアクチュエータの他の態様では、前記支持部には、前記電源コイルが複数形成される。

この態様によれば、複数の電源コイルを形成することで、複数の電源コイルから生ずる磁界が駆動コイル内を通過しやすくなる。このとき、駆動コイル内を磁界が適切に通過するように、複数の電源コイルの配置を好適に調整することが好ましい。

尚、電源コイルが複数形成される状態として、文字通り、夫々が独立した（例えば、電気的に又は物理的に分離した）電源コイルが複数形成される状態の他に、１つの電源コイルが複数のコイル部分を含んでいる状態も想定される。

第２実施形態のアクチュエータは、可動部と、当該可動部を取り囲む内側支持部と、前記可動部が揺動可能なように前記可動部と前記内側支持部とを接続する内側トーションバーと、当該内側支持部を取り囲む外側支持部と、前記内側支持部が揺動可能なように前記内側支持部と前記外側支持部とを接続する外側トーションバーと、前記可動部に形成されると共に、前記可動部の外部に伸長していない駆動コイルと、前記内側支持部に形成されると共に、前記可動部及び前記内側支持部を揺動させるための制御電流が供給される電源コイルと、前記駆動コイルに第１静磁界を印加する第１磁界印加部と、前記電源コイルに第２静磁界を印加する第２磁界印加部とを備える。

第２実施形態のアクチュエータによれば、内側トーションバーによって懸架された可動部が遥動する。可動部は、例えば、内側トーションバーが伸長する方向を中心軸として回転するように遥動してもよいし、或いは、内側トーションバーが伸長する方向に沿って又は内側トーションバーが伸長する方向と交わる方向に沿って移動するように遥動してもよい。

このとき、内側トーションバーは、可動部と内側支持部とを直接的に接続していてもよい。或いは、内側トーションバーは、可動部と内側支持部とを間接的に（言い換えれば、間に任意の部材を介在させた上で）接続してもよい。

更に、第２実施形態のアクチュエータによれば、外側トーションバーによって懸架された内側支持部が遥動する。内側支持部は、例えば、外側トーションバーが伸長する方向を中心軸として回転するように遥動してもよいし、或いは、外側トーションバーが伸長する方向に沿って又は外側トーションバーが伸長する方向と交わる方向に沿って移動するように遥動してもよい。

このとき、外側トーションバーは、内側支持部と外側支持部とを直接的に接続していてもよい。或いは、外側トーションバーは、内側支持部と外側支持部とを間接的に（言い換えれば、間に任意の部材を介在させた上で）接続してもよい。

第２実施形態のアクチュエータでは、可動部には、駆動コイルが形成されている。このとき、駆動コイルは、可動部の表面上に形成されていてもよいし、可動部の内部に埋め込まれるように形成されていてもよい。第２実施形態では特に、駆動コイルは、可動部の外部に伸長していない。言い換えれば、駆動コイルは、可動部上で又は可動部内でのみ伸長している。更に言い換えれば、駆動コイルは、内側トーションバーや内側支持部や外側トーションバーや外側支持部には形成されない。

更に、第２実施形態のアクチュエータでは、内側支持部には、電源コイルが形成されている。電源コイルには、可動部及び内側支持部の双方を遥動させるための制御電流が供給される。制御電流は、例えば、アクチュエータが備える又はアクチュエータの外部に用意される電源から電源コイルに対して供給される。尚、上述したように、駆動コイルは、可動部の外部に伸長していない。従って、電源コイルは、駆動コイルに対して、電気的に接続されていない。このため、制御電流は、駆動コイルに対しては供給されない。加えて、電源コイルが駆動コイル側に向かって伸長する必要性が薄い又はない以上、電源コイル（或いは、当該電源コイルにつながる配線）もまた、内側トーションバー上には形成されないことが好ましい。

このような第２実施形態のアクチュエータでは、以下のように可動部が遥動する。まず、電源コイルに制御電流が供給される。一方で、電源コイルには、第２磁界印加部によって第２静磁界が印加されている。従って、電源コイルには、第２磁界印加部から印加される第２静磁界と電源コイルに供給される制御電流との電磁相互作用に起因した力（つまり、ローレンツ力）が生ずる。その結果、電源コイルが形成されている内側支持部は、第２磁界印加部から印加される第２静磁界と電源コイルに供給される制御電流との電磁相互作用に起因したローレンツ力によって遥動する。ここで、内側支持部には内側トーションバーを介して可動部が接続されている。このため、内側支持部の遥動に伴って、可動部もまた遥動する。

加えて、電源コイルに制御電流が供給されると、電源コイルからは、アンペールの法則に従って、磁界（磁力線）が生ずる。電源コイルから生ずる磁界の一部又は全部は、内側支持部によって取り囲まれている（言い換えれば、内側支持部に形成されている電源コイルによって取り囲まれている）可動部にも到達する。つまり、電源コイルから生ずる磁界の一部又は全部は、可動部に形成されている駆動コイルにも到達する。その結果、駆動コイルには、電源コイルから生ずる磁界に起因した誘導電流（つまり、電源コイルから生ずる磁界に起因した電磁誘導作用による電流）が発生する。一方で、駆動コイルには、第１磁界印加部によって第１静磁界が印加されている。従って、駆動コイルには、第１磁界印加部から印加される第１静磁界と駆動コイルに発生する誘導電流との電磁相互作用に起因した力（つまり、ローレンツ力）が生ずる。その結果、駆動コイルが形成されている可動部は、第１磁界印加部から印加される第１静磁界と駆動コイルに発生する誘導電流との電磁相互作用に起因したローレンツ力によって遥動する。

このように、第２実施形態のアクチュエータによれば、遥動させるべき可動部に駆動コイルを形成し且つ遥動させるべき内側支持部に電源コイル（つまり、実質的には駆動コイルとしても作用し得る電源コイル）を形成することができる。従って、可動部及び内側支持部の双方を相対的に高精度に遥動させる（つまり、駆動する）ことができる。

その一方で、第２実施形態のアクチュエータによれば、駆動コイルに生ずる誘導電流を用いて（言い換えれば、電源コイルから無線伝送される電力ないしは電流を動力源として用いて）可動部を遥動させることができるため、駆動コイルが可動部の外部に伸長しなくともよくなる。従って、駆動コイルにつながる配線を内側トーションバーに形成しなくともよくなる。従って、アクチュエータの構造が単純化すると共に、アクチュエータの製造工程もまた単純化する。このため、アクチュエータの設計の自由度を相対的に高めつつ、可動部を相対的に高精度に遥動させる（つまり、駆動する）ことができる。

更には、ねじれ等の応力が加わり且つ相対的に幅が狭い内側トーションバーに配線を形成しなくともよくなるため、配線の断線を考慮しなくともよくなる。つまり、アクチュエータの耐久性（或いは、耐故障性）を向上させることができる。

第２実施形態のアクチュエータの他の態様では、前記電源コイルから生ずる磁界が前記駆動コイル内を通過することで、前記駆動コイルに誘導電流が発生し、前記可動部は、前記第１磁界印加部から印加される前記第１静磁界と前記駆動コイルに発生する前記誘導電流との電磁相互作用によって遥動し、前記内側支持部は、前記第２磁界印加部から印加される第２静磁界と前記電源コイルに供給される前記制御電流との電磁相互作用によって遥動する。

この態様によれば、上述したように、可動部は、第１磁界印加部から印加される第１静磁界と駆動コイルに発生する誘導電流との電磁相互作用に起因したローレンツ力によって遥動する。内側支持部は、第２磁界印加部から印加される第２静磁界と電源コイルに供給される制御電流との電磁相互作用に起因したローレンツ力によって遥動する。従って、上述した各種効果を好適に享受することができる。

第２実施形態のアクチュエータの他の態様では、前記駆動コイル及び前記電源コイルは、前記制御電流が供給されることで前記電源コイルから生ずる磁界が前記駆動コイル内を通過する位置関係を有するように形成される。

この態様によれば、電源コイルから生ずる磁界の一部又は全部は、可動部に形成されている駆動コイルに好適に到達する。その結果、駆動コイルには、電源コイルから生ずる磁界に起因した誘導電流が好適に発生する。このため、可動部は、第１磁界印加部から印加される第１静磁界と駆動コイルに発生する誘導電流との電磁相互作用に起因したローレンツ力によって好適に遥動する。従って、上述した各種効果を好適に享受することができる。

第２実施形態のアクチュエータの他の態様では、前記制御電流には、前記可動部を遥動させるための電流成分と前記内側支持部を遥動させるための電流成分とが重畳されている。

この態様によれば、このような制御電流を電源コイルに供給することで、可動部及び内側支持部の双方を好適に遥動させることができる。

第２実施形態のアクチュエータの他の態様では、前記可動部は、磁性材料を含む。

この態様によれば、可動部が磁性材料を含んでいない場合と比較して、可動部に形成される駆動コイルには、電源コイルから生ずる磁界に起因した誘導電流が発生しやすくなる。或いは、可動部が磁性材料を含んでいない場合と比較して、可動部に形成される駆動コイルには、より大きな誘導電流が発生しやすくなる。その結果、可動部が磁性材料を含んでいない場合と比較して、駆動コイルには、より大きなローレンツ力が生じやすくなる。従って、可動部を効率的に遥動させることができる。

第２実施形態のアクチュエータの他の態様では、前記内側支持部には、前記電源コイルが複数形成される。

この態様によれば、複数の電源コイルを形成することで、複数の電源コイルから生ずる磁界が駆動コイル内を通過しやすくなる。このとき、駆動コイル内を磁界が適切に通過するように、複数の電源コイルの配置を好適に調整することが好ましい。

尚、電源コイルが複数形成される状態として、文字通り、夫々が独立した（例えば、電気的に又は物理的に分離した）電源コイルが複数形成される状態の他に、１つの電源コイルが複数のコイル部分を含んでいる状態も想定される。

第３実施形態のアクチュエータは、可動部と、当該可動部を取り囲む内側支持部と、前記可動部が揺動可能なように前記可動部と前記内側支持部とを接続する内側トーションバーと、当該内側支持部を取り囲む外側支持部と、前記内側支持部が揺動可能なように前記内側支持部と前記外側支持部とを接続する外側トーションバーと、前記可動部に形成されると共に、前記可動部の外部に伸長していない第１駆動コイルと、前記内側支持部に形成されると共に、前記内側支持部の外部に伸長していない第２駆動コイルと、前記外側支持部に形成されると共に、前記可動部及び前記内側支持部を揺動させるための制御電流が供給される電源コイルと、前記第１駆動コイルに第１静磁界を印加する第１磁界印加部と、前記第２駆動コイルに第２静磁界を印加する第２磁界印加部とを備える。

第３実施形態のアクチュエータによれば、内側トーションバーによって懸架された可動部が遥動する。可動部は、例えば、内側トーションバーが伸長する方向を中心軸として回転するように遥動してもよいし、或いは、内側トーションバーが伸長する方向に沿って又は内側トーションバーが伸長する方向と交わる方向に沿って移動するように遥動してもよい。

このとき、内側トーションバーは、可動部と内側支持部とを直接的に接続していてもよい。或いは、内側トーションバーは、可動部と内側支持部とを間接的に（言い換えれば、間に任意の部材を介在させた上で）接続してもよい。

更に、第３実施形態のアクチュエータによれば、外側トーションバーによって懸架された内側支持部が遥動する。内側支持部は、例えば、外側トーションバーが伸長する方向を中心軸として回転するように遥動してもよいし、或いは、外側トーションバーが伸長する方向に沿って又は外側トーションバーが伸長する方向と交わる方向に沿って移動するように遥動してもよい。

このとき、外側トーションバーは、内側支持部と外側支持部とを直接的に接続していてもよい。或いは、外側トーションバーは、内側支持部と外側支持部とを間接的に（言い換えれば、間に任意の部材を介在させた上で）接続してもよい。

第３実施形態のアクチュエータでは、可動部には、第１駆動コイルが形成されている。このとき、第１駆動コイルは、可動部の表面上に形成されていてもよいし、可動部の内部に埋め込まれるように形成されていてもよい。第３実施形態では特に、第１駆動コイルは、可動部の外部に伸長していない。言い換えれば、第１駆動コイルは、可動部上で又は可動部内でのみ伸長している。更に言い換えれば、第１駆動コイルは、内側トーションバーや内側支持部や外側トーションバーや外側支持部には形成されない。

更に、第３実施形態のアクチュエータでは、内側支持部には、第２駆動コイルが形成されている。このとき、第２駆動コイルは、内側支持部の表面上に形成されていてもよいし、内側支持部の内部に埋め込まれるように形成されていてもよい。第３実施形態では特に、第２駆動コイルは、内側支持部の外部に伸長していない。言い換えれば、第２駆動コイルは、内側支持部上で又は内側支持部内でのみ伸長している。更に言い換えれば、第２駆動コイルは、可動部や内側トーションバーや外側トーションバーや外側支持部には形成されない。

更に、第３実施形態のアクチュエータでは、外側支持部には、電源コイルが形成されている。電源コイルには、可動部及び内側支持部の双方を遥動させるための制御電流が供給される。制御電流は、例えば、アクチュエータが備える又はアクチュエータの外部に用意される電源から電源コイルに対して供給される。尚、上述したように、第１駆動コイルは、可動部の外部に伸長していない。同様に、第２駆動コイルは、内側支持部の外部に伸長していない。従って、電源コイルは、第１駆動コイル及び第２駆動コイルの双方に対して、電気的に接続されていない。このため、制御電流は、第１駆動コイル及び第２駆動コイルの夫々に対しては供給されない。加えて、電源コイルが第１駆動コイル及び第２駆動コイル側に向かって伸長する必要性が薄い又はない以上、電源コイル（或いは、当該電源コイルにつながる配線）もまた、内側トーションバーや外側トーションバー上には形成されないことが好ましい。

このような第３実施形態のアクチュエータでは、以下のように可動部が遥動する。まず、電源コイルに制御電流が供給される。電源コイルからは、アンペールの法則に従って、磁界（或いは、磁力線）が生ずる。電源コイルから生ずる磁界の一部又は全部は、外側側支持部によって取り囲まれている（言い換えれば、外側支持部に形成されている電源コイルによって取り囲まれている）可動部にも到達する。つまり、電源コイルから生ずる磁界の一部又は全部は、可動部に形成されている第１駆動コイルにも到達する。その結果、第１駆動コイルには、電源コイルから生ずる磁界に起因した誘導電流（つまり、電源コイルから生ずる磁界に起因した電磁誘導作用による電流）が発生する。一方で、第１駆動コイルには、第１磁界印加部によって第１静磁界が印加されている。従って、第１駆動コイルには、第１磁界印加部から印加される第１静磁界と駆動コイルに発生する誘導電流との電磁相互作用に起因した力（つまり、ローレンツ力）が生ずる。その結果、第１駆動コイルが形成されている可動部は、第１磁界印加部から印加される第１静磁界と第１駆動コイルに発生する誘導電流との電磁相互作用に起因したローレンツ力によって遥動する。

更に、電源コイルから生ずる磁界の一部又は全部は、外側支持部によって取り囲まれている（言い換えれば、外側支持部に形成されている電源コイルによって取り囲まれている）内側支持部にも到達する。つまり、電源コイルから生ずる磁界の一部又は全部は、内側支持部に形成されている第２駆動コイルにも到達する。その結果、第２駆動コイルには、電源コイルから生ずる磁界に起因した誘導電流（つまり、電源コイルから生ずる磁界に起因した電磁誘導作用による電流）が発生する。一方で、第２駆動コイルには、第２磁界印加部によって第２静磁界が印加されている。従って、第２駆動コイルには、第２磁界印加部から印加される第２静磁界と第２駆動コイルに発生する誘導電流との電磁相互作用に起因した力（つまり、ローレンツ力）が生ずる。その結果、第２駆動コイルが形成されている内側支持部は、第２磁界印加部から印加される第２静磁界と駆動コイルに発生する誘導電流との電磁相互作用に起因したローレンツ力によって遥動する。ここで、内側支持部には内側トーションバーを介して可動部が接続されている。このため、内側支持部の遥動に伴って、可動部もまた遥動する。

このように、第３実施形態のアクチュエータによれば、遥動させるべき可動部に第１駆動コイルを形成し且つ遥動させるべき内側支持部に第２駆動コイルを形成することができる。従って、可動部及び内側支持部の双方を相対的に高精度に遥動させる（つまり、駆動する）ことができる。

その一方で、第３実施形態のアクチュエータによれば、第１駆動コイルに生ずる誘導電流を用いて（言い換えれば、電源コイルから無線伝送される電力ないしは電流を動力源として用いて）可動部を遥動させることができるため、第１駆動コイルが可動部の外部に伸長しなくともよくなる。従って、第１駆動コイルにつながる配線を内側トーションバーに形成しなくともよくなる。従って、アクチュエータの構造が単純化すると共に、アクチュエータの製造工程もまた単純化する。このため、アクチュエータの設計の自由度を相対的に高めつつ、可動部を相対的に高精度に遥動させる（つまり、駆動する）ことができる。

加えて、第３実施形態のアクチュエータによれば、第２駆動コイルに生ずる誘導電流を用いて（言い換えれば、電源コイルから無線伝送される電力ないしは電流を動力源として用いて）内側支持部を遥動させることができるため、第２駆動コイルが内側支持部の外部に伸長しなくともよくなる。従って、第２駆動コイルにつながる配線を内側トーションバーや外側トーションバーに形成しなくともよくなる。従って、アクチュエータの構造が単純化すると共に、アクチュエータの製造工程もまた単純化する。このため、アクチュエータの設計の自由度を相対的に高めつつ、内側支持部を相対的に高精度に遥動させる（つまり、駆動する）ことができる。

更には、ねじれ等の応力が加わり且つ相対的に幅が狭い内側トーションバー及び外側トーションバーの双方に配線を形成しなくともよくなるため、配線の断線を考慮しなくともよくなる。つまり、アクチュエータの耐久性（或いは、耐故障性）を向上させることができる。

第３実施形態のアクチュエータの他の態様では、前記電源コイルから生ずる磁界が前記第１駆動コイル内及び前記第２駆動コイル内を通過することで、前記第１駆動コイル及び前記第２駆動コイルの夫々に誘導電流が発生し、前記可動部は、前記第１磁界印加部から印加される前記第１静磁界と前記第１駆動コイルに発生する前記誘導電流との電磁相互作用によって遥動し、前記内側支持部は、前記第２磁界印加部から印加される前記第２静磁界と前記第２駆動コイルに発生する前記誘導電流との電磁相互作用によって遥動する。

この態様によれば、上述したように、可動部は、第１磁界印加部から印加される第１静磁界と第１駆動コイルに発生する誘導電流との電磁相互作用に起因したローレンツ力によって遥動する。内側支持部は、第２磁界印加部から印加される第２静磁界と第２駆動コイルに発生する誘導電流との電磁相互作用に起因したローレンツ力によって遥動する。従って、上述した各種効果を好適に享受することができる。

第３実施形態のアクチュエータの他の態様では、前記第１駆動コイル、前記第２駆動コイル及び前記電源コイルは、前記制御電流が供給されることで前記電源コイルに生ずる磁界が前記第１駆動コイル内及び前記第２駆動コイル内の双方を通過する位置関係を有するように形成される。

この態様によれば、電源コイルから生ずる磁界の一部又は全部は、可動部に形成されている第１駆動コイルや内側支持部に形成されている第２駆動コイルに好適に到達する。その結果、第１駆動コイルや第２駆動コイルには、電源コイルから生ずる磁界に起因した誘導電流が好適に発生する。このため、可動部は、第１磁界印加部から印加される第１静磁界と第１駆動コイルに発生する誘導電流との電磁相互作用に起因したローレンツ力によって好適に遥動する。加えて、内側支持部は、第２磁界印加部から印加される第２静磁界と第２駆動コイルに発生する誘導電流との電磁相互作用に起因したローレンツ力によって好適に遥動する。従って、上述した各種効果を好適に享受することができる。

第３実施形態のアクチュエータの他の態様では、前記制御電流には、前記可動部を遥動させるための電流成分と前記内側支持部を遥動させるための電流成分とが重畳されている。

この態様によれば、このような制御電流を電源コイルに供給することで、可動部及び内側支持部の双方を好適に遥動させることができる。

第３実施形態のアクチュエータの他の態様では、前記可動部及び前記内側支持部の少なくとも一方は、磁性材料を含む。

この態様によれば、可動部が磁性材料を含んでいる場合には、可動部が磁性材料を含んでいない場合と比較して、可動部に形成される第１駆動コイルには、電源コイルから生ずる磁界に起因した誘導電流が発生しやすくなる。或いは、可動部が磁性材料を含んでいる場合には、可動部が磁性材料を含んでいない場合と比較して、可動部に形成される第１駆動コイルには、より大きな誘導電流が発生しやすくなる。その結果、可動部が磁性材料を含んでいる場合には、可動部が磁性材料を含んでいない場合と比較して、第１駆動コイルには、より大きなローレンツ力が生じやすくなる。従って、可動部を効率的に遥動させることができる。

同様に、内側支持部が磁性材料を含んでいる場合には、内側支持部が磁性材料を含んでいない場合と比較して、内側支持部に形成される第２駆動コイルには、電源コイルから生ずる磁界に起因した誘導電流が発生しやすくなる。或いは、内側支持部が磁性材料を含んでいる場合には、内側支持部が磁性材料を含んでいない場合と比較して、内側支持部に形成される第２駆動コイルには、より大きな誘導電流が発生しやすくなる。その結果、内側支持部が磁性材料を含んでいる場合には、内側支持部が磁性材料を含んでいない場合と比較して、第２駆動コイルには、より大きなローレンツ力が生じやすくなる。従って、内側支持部を効率的に遥動させることができる。

第３実施形態のアクチュエータの他の態様では、前記外側支持部には、前記電源コイルが複数形成される。

この態様によれば、複数の電源コイルを形成することで、複数の電源コイルから生ずる磁界が第１駆動コイル内や第２駆動コイル内を通過しやすくなる。このとき、第１駆動コイル内や第２駆動コイル内を磁界が適切に通過するように、複数の電源コイルの配置を好適に調整することが好ましい。

尚、電源コイルが複数形成される状態として、文字通り、夫々が独立した（例えば、電気的に又は物理的に分離した）電源コイルが複数形成される状態の他に、１つの電源コイルが複数のコイル部分を含んでいる状態も想定される。

本実施形態のこのような作用及び他の利得は次に説明する実施例から明らかにされる。

以上説明したように、第１実施形態のアクチュエータによれば、可動部と、支持部と、トーションバーと、駆動コイルと、電源コイルと、磁界印加部とを備えている。第２実施形態のアクチュエータによれば、可動部と、内側支持部と、内側トーションバーと、外側支持部と、外側トーションバーと、駆動コイルと、電源コイルと、第１磁界印加部と、第２磁界印加部を備えている。第３実施形態のアクチュエータによれば、可動部と、内側支持部と、内側トーションバーと、外側支持部と、外側トーションバーと、第１駆動コイルと、第２駆動コイルと、電源コイルと、第１磁界印加部と、第２磁界印加部を備えている。従って、設計の自由度を向上させつつも可動部を相対的に高精度に遥動させることができる。

以下、実施例について図を参照しつつ説明する。

（１）第１実施例
以下、図１から図４を参照して、第１実施例のアクチュエータ１００について説明する。

（１−１）構成
初めに、図１を参照して、第１実施例のアクチュエータ１００の構成について説明する。図１は、第１実施例のアクチュエータ１００の構成の一例を示す平面図である。

図１に示すように、第１実施例のアクチュエータ１００は、例えばレーザ光のスキャニングに用いられるプレーナ型電磁駆動アクチュエータ（即ち、ＭＥＭＳスキャナ）である。アクチュエータ１００は、支持部１１０と、可動部１２０と、一対のトーションバー１３０と、一対の永久磁石１６０とを備えている。

支持部１１０、可動部１２０及び一対のトーションバー１３０は、例えばシリコン基板等の非磁性基板から一体的に形成されている。即ち、支持部１１０、可動部１２０及び一対のトーションバー１３０は、例えばシリコン基板等の非磁性基板の一部が除去されることにより間隙が形成されることで形成されている。このときの形成プロセスとして、ＭＥＭＳプロセスが用いられることが好ましい。尚、シリコン基板に代えて、任意の弾性材料から、支持部１１０、可動部１２０及び一対のトーションバー１３０が一体的に形成されてもよい。

支持部１１０は、可動部１２０を取り囲むような枠形状を有しており、一対のトーションバー１３０によって可動部１２０と接続されている。支持部１１０の表面には、電源コイル１５０が形成されている。但し、電源コイル１５０は、支持部１１０の内部に形成されてもよい。

電源コイル１５０は、支持部１１０の枠形状に沿って伸長するコイルである。電源コイル１５０は、例えば相対的に導電率の高い材料（例えば、金や銅等）を用いて形成されてもよい。また、電源コイル１５０は、めっきプロセスやスパッタリング法等の半導体製造プロセスを用いて形成されてもよい。或いは、電源コイル１５０は、支持部１１０、可動部１２０及び一対のトーションバー１３０を形成するためのシリコン基板に対してインプラント法を用いて埋め込まれてもよい。

電源コイル１５０には、支持部１１０上に形成されている電源端子１５１を介して、電源から制御電流が供給される。制御電流は、可動部１２０を遥動させるための制御電流であって、典型的には、可動部１２０が遥動する周波数と同期した周波数の信号成分を含む交流電流である。尚、電源は、アクチュエータ１００自身が備えている電源であってもよいし、アクチュエータ１００の外部に用意される電源であってもよい。

また、電源コイル１５０は、駆動コイル１４０と電気的に又は物理的に接続されていない。従って、電源コイル１５０が可動部１２０側に向かって伸長する必要性が薄い又はない以上、電源コイル１５０（或いは、当該電源コイル１５０につながる配線）は、一対のトーションバー１３０上には形成されないことが好ましい。

可動部１２０は、揺動可能なように一対のトーションバー１３０によって支持部１１０に軸支されている。可動部１２０の表面には、レーザ光を反射する不図示のミラーが形成される。可動部１２０の表面には、更に、駆動コイル１４０が形成されている。但し、駆動コイル１４０は、可動部１２０の内部に形成されてもよい。

駆動コイル１４０は、例えば、可動部１２０の表面に形成される不図示のミラーを取り囲むように伸長するコイルである。駆動コイル１４０は、例えば相対的に導電率の高い材料（例えば、金や銅等）を用いて形成されてもよい。また、駆動コイル１４０は、めっきプロセスやスパッタリング法等の半導体製造プロセスを用いて形成されてもよい。或いは、駆動コイル１４０は、支持部１１０、可動部１２０及び一対のトーションバー１３０を形成するためのシリコン基板に対してインプラント法を用いて埋め込まれてもよい。

第１実施例では、駆動コイル１４０は、可動部１２０内でのみ伸長している。言い換えれば、駆動コイル１４０は、可動部１２０の外部に向かって伸長していない。より具体的には、駆動コイル１４０は、一対のトーションバー１３０や支持部１１０には形成されない。このため、駆動コイル１４０は、電源コイル１５０とは電気的に接続されていない。或いは、駆動コイル１４０は、電源コイル１５０とは物理的に接続されていない。従って、駆動コイル１４０には、電源端子１５１を介して制御電流が直接的に供給されることはない。

一対のトーションバー１３０は、可動部１２０が支持部１１０に対して揺動可能なように、可動部１２０と支持部１１０とを接続する。一対のトーションバー１３０の弾性によって、可動部１２０は、一対のトーションバー１３０が伸長する方向に沿った軸を中心軸（言い換えれば、回転軸）として回転するように遥動する。つまり、可動部１２０は、図１における左右の方向に沿った軸を中心軸として、当該中心軸の周りで回転するように遥動する。

一対の永久磁石１６０は、支持部１１０の外部に取り付けられている。一対の永久磁石１６０は、駆動コイル１４０に対して所定の静磁界を印加することができるように、その磁極の向きが適切に設定されていることが好ましい。尚、一対の永久磁石１６０には、静磁界の強度を高めるために、ヨークが付加されていてもよい。

（１−２）動作態様
続いて、図２を参照して、第１実施例のアクチュエータ１００の動作態様について説明する。図２（ａ）は、第１実施例のアクチュエータ１００の動作中の各電流及び各磁界の向きを示す平面図であり、図２（ｂ）は、図２（ａ）のＩＩ−ＩＩ’断面図である。

第１実施例のアクチュエータ１００が動作する（具体的には、可動部１２０が遥動する）場合には、まず、電源から、電源端子１５１を介して、電源コイル１５０に対して制御電流が供給される。

その結果、図２（ａ）及び図２（ｂ）に示すように、電源コイル１５０からは、アンペールの法則（ないしは、右ねじの法則）に従って、磁界（磁力線）が生ずる。具体的には、電源コイル１５０の周囲には、電源コイル１５０を中心軸として、当該制御電流の進行方向に向かって時計回りの方向に沿った磁界が生ずる。

ここで、電源コイル１５０から生ずる磁界の一部又は全部は、図２（ａ）及び図２（ｂ）に示すように、当該電源コイル１５０が形成されている支持部１１０によって取り囲まれている可動部１２０にも到達する。そうすると、電源コイル１５０から生ずる磁界の一部又は全部は、図２（ａ）及び図２（ｂ）に示すように、可動部１２０に形成されている駆動コイル１４０にも到達する。

このため、電源コイル１５０と駆動コイル１４０とは、図２（ａ）及び図２（ｂ）に示すように、電源コイル１５０から生ずる磁界の一部又は全部が駆動コイル１４０のコイル内部を通過することができる位置関係を有して形成されていることが好ましい。言い換えれば、電源コイル１５０と駆動コイル１４０とは、電源コイル１５０から生ずる磁界の全部が駆動コイル１４０のコイル内部を通過することができない位置関係を有していないことが好ましい。

尚、電源コイル１５０から生ずる磁界が到達する範囲や強度等は、(i)支持部１１０のサイズや、(ii)可動部１２０のサイズや、(iii)支持部１１０と可動部１２０との間の位置関係や、(iv)電源コイル１５０に供給される制御電流のパラメータ（例えば、電流値や電圧値等）や、(v)電源コイル１５０そのもののパラメータ（例えば、電源コイル１５０のサイズや巻き線数等）によって変動し得る。また、電源コイル１５０に供給される制御電流のパラメータや電源コイル１５０そのもののパラメータは、可動部１２０を適切に遥動させるローレンツ力が発生するような適切な値に設定されることが好ましい。一方で、可動部１２０を適切に遥動させるローレンツ力の強度等は、(vi)駆動コイル１４０そのもののパラメータ（例えば、駆動コイル１４０のサイズや巻き線数等）等にも影響を受ける。このため、第１実施例では、(i)支持部１１０のサイズや、(ii)可動部１２０のサイズや、(iii)支持部１１０と可動部１２０との間の位置関係や、(iv)電源コイル１５０に供給される制御電流のパラメータや、(v)電源コイル１５０そのもののパラメータや、(vi)駆動コイル１４０そのもののパラメータ等を考慮した上で、駆動コイル１４０及び電源コイル１５０は、制御電流が供給されることで電源コイル１５０から生ずる磁界が駆動コイル１４０のコイル内部を通過する位置関係を有するように形成されることが好ましい。

電源コイル１５０から生ずる磁界の一部又は全部が駆動コイル１４０のコイル内部を通過すると、駆動コイル１４０には、電源コイル１５０から生ずる磁界に起因した誘導電流（つまり、電源コイル１５０から生ずる磁界に起因した電磁誘導作用による電流）が発生する。というのも、電源コイル１５０に供給される制御電流が典型的には交流電流であるがゆえに、電源コイル１５０から生ずる磁界の強度や方向もまた当該交流電流に従って変動するからである。

一方で、駆動コイル１４０には、一対の永久磁石１６０によって静磁界が印加されている。

従って、駆動コイル１４０には、一対の永久磁石１６０から印加される静磁界と駆動コイル１４０に発生する誘導電流との電磁相互作用に起因した力（つまり、ローレンツ力）が生ずる。その結果、駆動コイル１４０が形成されている可動部１２０は、一対の永久磁石１６０から印加される静磁界と駆動コイル１４０に発生する誘導電流との電磁相互作用に起因したローレンツ力によって遥動する。つまり、可動部１２０は、図２（ａ）における左右の方向に沿った軸を中心軸として回転するように遥動する。

以上説明したように、第１実施例のアクチュエータ１００によれば、遥動させるべき可動部１２０に駆動コイル１４０を形成することができる。従って、可動部１２０に駆動コイル１４０を形成することなく可動部１２０を遥動させる比較例のアクチュエータと比較して、可動部１２０を相対的に高精度に遥動させる（つまり、駆動する）ことができる。

その一方で、第１実施例のアクチュエータ１００によれば、駆動コイル１４０に生ずる誘導電流を用いて（言い換えれば、電源コイル１５０から無線伝送される電力ないしは電流を動力源として用いて）可動部１２０を遥動させることができる。このため、駆動コイル１４０が可動部１２０の外部に伸長しなくともよくなる。従って、駆動コイル１４０が可動部１２０の外部に伸長しないがゆえに、駆動コイル１４０につながる配線を一対のトーションバー１３０（更には、支持部１１０）に形成しなくともよくなる。言い換えれば、第１実施例のアクチュエータ１００によれば、電源コイル１５０に制御電流を供給することで駆動コイル１４０が形成されている可動部１２０を遥動させることができるため、駆動コイル１４０に対して制御電流を供給しなくともよくなる。その結果、第１実施例のアクチュエータ１００によれば、駆動コイル１４０につながる配線を一対のトーションバー１３０に形成しなくともよくなる。従って、一対のトーションバー１３０上に配線を形成する比較例のアクチュエータと比較して、アクチュエータ１００の構造が単純化すると共に、アクチュエータ１００の製造工程もまた単純化する。このため、可動部１２０に駆動コイル１４０を形成することなく可動部１２０を遥動させる比較例のアクチュエータと比較して、アクチュエータの設計の自由度を相対的に高めるという比較例のアクチュエータと同様の効果を相応に享受しつつ、可動部１２０を相対的に高精度に遥動させる（つまり、駆動する）ことができる。或いは、可動部１２０に駆動コイル１４０を形成しつつ当該駆動コイル１４０につながる配線を一対のトーションバー１３０に形成する比較例のアクチュエータと比較して、可動部１２０を相対的に高精度に遥動させる（つまり、駆動する）ことができるという比較例のアクチュエータと同様の効果を相応に享受しつつ、アクチュエータ１００の設計の自由度を相対的に高めることができる。

更には、ねじれ等の応力が加わり且つ相対的に幅が狭い一対のトーションバー１３０に配線を形成しなくともよくなるため、配線の断線を考慮しなくともよくなる。つまり、駆動コイル１４０につながる配線を一対のトーションバー１３０に形成する比較例のアクチュエータと比較して、アクチュエータ１００の耐久性（或いは、耐故障性）を向上させることができる。

尚、第１実施例のアクチュエータ１００では、駆動コイル１４０に生ずる誘導電流の大きさ（例えば、振幅）等が、可動部１２０を遥動させるための重要な要素の一つとなる。このため、駆動コイル１４０に生ずる誘導電流の大きさ（例えば、振幅）を相対的に大きくするために、可動部１２０は、磁性材料（例えば、強磁性体を含む材料又は透磁率が相対的に高い材料）を含んでいてもよい。例えば、可動部１２０の内部に、磁性材料からなる磁性部材が埋め込まれてもよい。或いは、可動部１２０の表面に、磁性材料からなる磁性膜が貼り付けられてもよい。このように構成すれば、可動部１２０に形成される駆動コイル１４０には、電源コイル１５０から生ずる磁界に起因した誘導電流が発生しやすくなる。或いは、可動部１２０が磁性材料を含んでいない場合と比較して、可動部１２０に形成される駆動コイル１４０には、より振幅が大きな誘導電流が発生しやすくなる。その結果、可動部１２０が磁性材料を含んでいない場合と比較して、駆動コイル１４０には、より大きなローレンツ力が生じやすくなる。従って、可動部１２０を効率的に遥動させることができる。

（１−３）第１変形例
続いて、図３を参照して、第１実施例のアクチュエータ１００に関連する第１変形例のアクチュエータ１００ａについて説明する。図３は、第１変形例のアクチュエータ１００ａの構成の一例を示す変形例である。尚、第１実施例のアクチュエータ１００が備える構成要素と同一の構成要素については、同一の参照符号を付してその詳細な説明については省略する。

図３に示すように、第１変形例のアクチュエータ１００ａは、第１実施例のアクチュエータ１００と比較して、電源コイル１５０ａの巻き線の形状が異なるという点で異なっている。具体的には、第１変形例では、電源コイル１５０ａは、１本のらせん状の巻き線を含んでいる。一方で、第１実施例では、電源コイル１５０は、１巻きの巻き線を複数本含んでいる。尚、第１変形例のアクチュエータ１００ａが備える、電源コイル１５０ａの巻き線の形状以外の構成要素については、第１実施例のアクチュエータ１００が備える構成要素と同一であってもよい。

このような第１変形例のアクチュエータ１００ａであっても、第１実施例のアクチュエータ１００が享受することができる各種効果を好適に享受することができる。

尚、電源コイル１５０は、第１実施例に示す１本のらせん状の巻き線を含む形状及び第１変形例に示す１巻きの巻き線を複数本含む形状以外の任意の形状を有してもよい。より具体的には、電源コイル１５０は、電源コイル１５０から生ずる磁界の一部又は全部が駆動コイル１４０のコイル内部を通過することができるという条件を満たす限りは、任意の形状を有していてもよい。或いは、電源コイル１５０は、電源コイル１５０から生ずる磁界の一部又は全部が駆動コイル１４０のコイル内部を通過することができるという条件に加えて、当該電源コイル１５０そのもの及び当該電源コイル１５０につながる配線が一対のトーションバー１３０上に形成されないという条件を満たすように、任意の形状を有していてもよい。

また、電源コイル１５０に限らず、駆動コイル１４０もまた、任意の形状（例えば、１本のらせん状の巻き線を含む形状や、１巻きの巻き線を１本又は複数本含む形状等）を有していてもよい。具体的には、駆動コイル１４０は、電源コイル１５０から生ずる磁界の一部又は全部が駆動コイル１４０のコイル内部を通過することができるという条件及び駆動コイル１４０が可動部１２０の外部に伸長しないという条件を満たす限りは、任意の形状を有していてもよい。

（１−４）第２変形例
続いて、図４を参照して、第１実施例のアクチュエータ１００に関連する第２変形例のアクチュエータ１００ｂについて説明する。図４は、第２変形例のアクチュエータ１００ｂの構成の一例を示す変形例である。尚、第１実施例のアクチュエータ１００が備える構成要素と同一の構成要素については、同一の参照符号を付してその詳細な説明については省略する。

図４に示すように、第２変形例のアクチュエータ１００ｂは、第１実施例のアクチュエータ１００と比較して、電源コイル１５０ｂの巻き線の形状が異なるという点で異なっている。具体的には、第２変形例では、第１実施例のアクチュエータ１００と比較して、電源コイル１５０ｂが複数のコイル部分１５１ｂを含んでいるという点で異なっている。尚、第２変形例のアクチュエータ１００ｂが備える、電源コイル１５０ｂの巻き線の形状以外の構成要素については、第１実施例のアクチュエータ１００が備える構成要素と同一であってもよい。

このような第２変形例のアクチュエータ１００ｂであっても、第１実施例のアクチュエータ１００が享受することができる各種効果を好適に享受することができる。

加えて、第２変形例のアクチュエータ１００ｂによれば、複数のコイル部分１５１ｂを形成することで、複数のコイル部分１５１ｂから生ずる磁界が駆動コイル１４０のコイル内部を通過しやすくなる。このとき、駆動コイル１４０のコイル内部を複数のコイル部分１５１ｂから生ずる磁界が適切に通過するように、複数のコイル部分１５１ｂの配置位置や形状やサイズ等が適切に調整されることが好ましい。

尚、複数のコイル部分１５１ｂを形成することに加えて又は代えて、複数の電源コイル１５０を形成してもよい。

（２）第２実施例
続いて、図５から図６を参照して、第２実施例のアクチュエータ２００について説明する。

（２−１）構成
初めに、図５を参照して、第２実施例のアクチュエータ２００の構成について説明する。図５は、第２実施例のアクチュエータ２００の構成の一例を示す平面図である。尚、第１実施例のアクチュエータ１００が備える構成要素と同一の構成要素については、特段の説明を省略する。

図５に示すように、第２実施例のアクチュエータ２００は、例えばレーザ光のスキャニングに用いられるプレーナ型電磁駆動アクチュエータ（即ち、ＭＥＭＳスキャナ）である。アクチュエータ２００は、外側支持部２１１と、内側支持部２１２と、可動部１２０と、一対の外側トーションバー２３１と、一対の内側トーションバー２３２と、一対の永久磁石１６０と、一対の永久磁石２６０とを備えている。

外側支持部２１１、内側支持部２１２、可動部１２０、一対の外側トーションバー２３１及び一対の内側トーションバー２３２は、例えばシリコン基板等の非磁性基板から一体的に形成されている。即ち、外側支持部２１１、内側支持部２１２、可動部１２０、一対の外側トーションバー２３１及び一対の内側トーションバー２３２は、例えばシリコン基板等の非磁性基板の一部が除去されることにより間隙が形成されることで形成されている。このときの形成プロセスとして、ＭＥＭＳプロセスが用いられることが好ましい。尚、シリコン基板に代えて、任意の弾性材料から、外側支持部２１１、内側支持部２１２、可動部１２０、一対の外側トーションバー２３１及び一対の内側トーションバー２３２が一体的に形成されてもよい。

外側支持部２１１は、内側支持部２１２を取り囲むような枠形状を有しており、一対の外側トーションバー２３１によって内側支持部２１２と接続されている。

内側支持部２１２は、揺動可能なように一対の外側トーションバー２３１によって外側支持部２１２に軸支されている。内側支持部２１２は、可動部１２０を取り囲むような枠形状を有しており、一対の内側トーションバー２３２によって可動部１２０と接続されている。内側支持部２１２の表面には、電源コイル１５０が形成されている。但し、電源コイル１５０は、内側支持部２１２の内部に形成されてもよい。

電源コイル１５０は、内側支持部２１２の枠形状に沿って伸長するコイルである。電源コイル１５０には、外側支持部２１１上に形成されている電源端子１５１並びに外側支持部２１１及び外側トーションバー２３１上に形成されている配線を介して、電源から制御電流が供給される。制御電流は、可動部１２０及び内側支持部２１２を遥動させるための制御電流である。このような制御電流は、典型的には、可動部１２０が遥動する周波数と同期した周波数の信号成分と内側支持部２１２が遥動する周波数と同期した周波数の信号成分とが重畳された交流電流である。

また、電源コイル１５０は、第１実施例と同様に、駆動コイル１４０と電気的に又は物理的に接続されていない。従って、電源コイル１５０が可動部１２０側に向かって伸長する必要性がない以上、電源コイル１５０（或いは、当該電源コイル１５０につながる配線）は、一対の内側トーションバー２３２上には形成されないことが好ましい。

可動部１２０は、揺動可能なように一対の内側トーションバー２３２によって内側支持部２１２に軸支されている。可動部１２０の表面には、駆動コイル１４０が形成されている。第２実施例においても、第１実施例と同様に、駆動コイル１４０は、可動部１２０内でのみ伸長している。より具体的には、駆動コイル１４０は、一対の内側トーションバー２３２や内側支持部２１２や一対の外側トーションバー２３１や外側支持部２１１には形成されない。

一対の外側トーションバー２３１は、内側支持部２１２が外側支持部２１１に対して揺動可能なように、内側支持部２１２と外側支持部２１１とを接続する。一対の外側トーションバー２３１の弾性によって、内側支持部２１２は、一対の外側トーションバー２３１が伸長する方向に沿った軸を中心軸（言い換えれば、回転軸）として回転するように遥動する。つまり、内側支持部２１２は、図５における上下の方向に沿った軸を中心軸として、当該中心軸の周りで回転するように遥動する。このとき、可動部１２０は、一対の内側トーションバー２３２を介して内側支持部２１２に接続されている。従って、内側支持部２１２の遥動に伴って、可動部１２０は、実質的には、図５における上下の方向に沿った軸を中心軸として、当該中心軸の周りで回転するように遥動する。

一対の内側トーションバー２３２は、可動部１２０が内側支持部２１２に対して揺動可能なように、可動部１２０と内側支持部２１２とを接続する。一対の内側トーションバー２３２の弾性によって、可動部１２０は、一対の内側トーションバー２３２が伸長する方向に沿った軸を中心軸（言い換えれば、回転軸）として回転するように遥動する。つまり、可動部１２０は、図５における左右の方向に沿った軸を中心軸として、当該中心軸の周りで回転するように遥動する。

このとき、可動部１２０の２軸駆動を実現する（つまり、可動部１２０を、図５における上下の方向に沿った軸を中心軸として回転させると共に、図５における左右の方向に沿った軸を中心軸として回転させる）ために、一対の外側トーションバー２３１が伸長する方向と一対の内側トーションバー２３２が伸長する方向とは異なっていることが好ましい。典型的には、一対の外側トーションバー２３１が伸長する方向は、一対の内側トーションバー２３２が伸長する方向と直交していることが好ましい。

一対の永久磁石１６０は、外側支持部２１１の外部に取り付けられている。一対の永久磁石１６０は、駆動コイル１４０に対して所定の静磁界を印加することができるように、その磁極の向きが適切に設定されていることが好ましい。尚、一対の永久磁石１６０には、静磁界の強度を高めるために、ヨークが付加されていてもよい。

一対の永久磁石２６０は、外側支持部２１１の外部に取り付けられている。一対の永久磁石２６０は、電源コイル１５０に対して所定の静磁界を印加することができるように、その磁極の向きが適切に設定されていることが好ましい。尚、一対の永久磁石２６０には、静磁界の強度を高めるために、ヨークが付加されていてもよい。

（２−２）動作態様
このような第２実施例のアクチュエータ２００が動作する（具体的には、可動部１２０が遥動する）場合には、まず、電源から、電源端子１５１を介して、電源コイル１５０に対して制御電流が供給される。

ここで、電源コイル１５０には、一対の永久磁石２６０によって静磁界が印加されている。従って、電源コイル１５０には、一対の永久磁石２６０から印加される静磁界と電源コイル１５０に供給される制御電流との電磁相互作用に起因した力（つまり、ローレンツ力）が生ずる。その結果、電源コイル１５０が形成されている内側支持部２１２は、一対の永久磁石２６０から印加される静磁界と電源コイル１５０に供給される制御電流との電磁相互作用に起因したローレンツ力によって遥動する。このとき、可動部１２０は、一対の内側トーションバー２３２を介して内側支持部２１２に接続されている。従って、内側支持部２１２の遥動に伴って、可動部１２０は、実質的には、図５における上下の方向に沿った軸を中心軸として、当該中心軸の周りで回転するように遥動する。

更に、電源コイル１５０に対して制御電流が供給されると、電源コイル１５０からは、磁界（磁力線）が生ずる。このような電源コイル１５０から生ずる磁界の一部又は全部は、可動部１２０に形成されている駆動コイル１４０にも到達する。

ここで、第２実施例においても、第１実施例と同様に、電源コイル１５０と駆動コイル１４０とは、電源コイル１５０から生ずる磁界の一部又は全部が駆動コイル１４０のコイル内部を通過することができる位置関係を有して形成されていることが好ましい。尚、電源コイル１５０から生ずる磁界が到達する範囲や強度等は、(i)内側支持部２１２のサイズや、(ii)可動部１２０のサイズや、(iii)内側支持部２１２と可動部１２０との間の位置関係や、(iv)電源コイル１５０に供給される制御電流のパラメータや、(v)電源コイル１５０そのもののパラメータによって変動し得る。このため、第２実施例においても、第１実施例と同様に、(i)内側支持部２１２のサイズや、(ii)可動部１２０のサイズや、(iii)内側支持部２１２と可動部１２０との間の位置関係や、(iv)電源コイル１５０に供給される制御電流のパラメータや、(v)電源コイル１５０そのもののパラメータや、(vi)駆動コイル１４０そのもののパラメータ等を考慮した上で、駆動コイル１４０及び電源コイル１５０は、制御電流が供給されることで電源コイル１５０から生ずる磁界が駆動コイル１４０のコイル内部を通過する位置関係を有するように形成されることが好ましい。

電源コイル１５０から生ずる磁界の一部又は全部が駆動コイル１４０のコイル内部を通過すると、駆動コイル１４０には、電源コイル１５０から生ずる磁界に起因した誘導電流する。一方で、駆動コイル１４０には、一対の永久磁石１６０によって静磁界が印加されている。従って、駆動コイル１４０には、一対の永久磁石１６０から印加される静磁界と駆動コイル１４０に発生する誘導電流との電磁相互作用に起因した力（つまり、ローレンツ力）が生ずる。その結果、駆動コイル１４０が形成されている可動部１２０は、一対の永久磁石１６０から印加される静磁界と駆動コイル１４０に発生する誘導電流との電磁相互作用に起因したローレンツ力によって遥動する。つまり、可動部１２０は、図５における左右の方向に沿った軸を中心軸として回転するように遥動する。

以上説明したように、第２実施例のアクチュエータ２００によれば、遥動させるべき可動部１２０に駆動コイル１４０を形成し且つ遥動させるべき内側支持部２１２に電源コイル１５０（つまり、実質的には、駆動コイル１４０としても作用し得る電源コイル１５０）を形成することができる。従って、可動部１２０及び内側支持部２１２のいずれか一方に駆動コイル１４０を形成することなく可動部１２０を遥動させる（具体的には、２軸駆動させる）比較例のアクチュエータと比較して、可動部１２０及び内側支持部２１２を相対的に高精度に遥動させる（つまり、駆動する）ことができる。その結果、可動部１２０の２軸駆動の精度を相対的に向上させることができる。

その一方で、第２実施例のアクチュエータ２００によれば、駆動コイル１４０に生ずる誘導電流を用いて（言い換えれば、電源コイル１５０から無線伝送される電力ないしは電流を動力源として用いて）可動部１２０を遥動させることができる。このため、駆動コイル１４０が可動部１２０の外部に伸長しなくともよくなる。従って、駆動コイル１４０につながる配線を一対の内側トーションバー２３２（更には、内側支持部２１２や一対の外側トーションバー２３１や外側支持部２１１）に形成しなくともよくなる。言い換えれば、第２実施例のアクチュエータ２００によれば、電源コイル１５０に制御電流を供給することで駆動コイル１４０が形成されている可動部１２０を遥動させることができるため、駆動コイル１４０に対して制御電流を供給しなくともよくなる。その結果、第２実施例のアクチュエータ２００によれば、駆動コイル１４０につながる配線を一対の内側トーションバー２３２に形成しなくともよくなる。従って、一対の内側トーションバー２３０上に配線を形成する比較例のアクチュエータと比較して、アクチュエータ２００の構造が単純化すると共に、アクチュエータ２００の製造工程もまた単純化する。このため、可動部１２０に駆動コイル１４０を形成することなく可動部１２０を遥動させる比較例のアクチュエータと比較して、アクチュエータの設計の自由度を相対的に高めるという比較例のアクチュエータと同様の効果を相応に享受しつつ、可動部１２０を相対的に高精度に遥動させる（つまり、駆動する）ことができる。或いは、可動部１２０に駆動コイル１４０を形成しつつ当該駆動コイル１４０につながる配線を一対の内側トーションバー２３２に形成する比較例のアクチュエータと比較して、可動部１２０を相対的に高精度に遥動させる（つまり、駆動する）ことができるという比較例のアクチュエータと同様の効果を相応に享受しつつ、アクチュエータ２００の設計の自由度を相対的に高めることができる。

更には、ねじれ等の応力が加わり且つ相対的に幅が狭い一対の内側トーションバー２３２に配線を形成しなくともよくなるため、配線の断線を考慮しなくともよくなる。つまり、駆動コイル１４０につながる配線を一対の内側トーションバー２３２に形成する比較例のアクチュエータと比較して、アクチュエータ２００の耐久性（或いは、耐故障性）を向上させることができる。

尚、第２実施例のアクチュエータ２００においても、第１実施例のアクチュエータ１００が取り得る各種態様を適宜採用してもよい。例えば、第２実施例においても、可動部１２０が磁性材料を含んでいてもよいし、電源コイル１５０（或いは、駆動コイル１４０）の形状を変えてもよいし、電源コイル１５０が複数のコイル部分１５１ｂを備えていてもよい。

（２−３）第１変形例
続いて、図６を参照して、第２実施例のアクチュエータ２００に関連する第１変形例のアクチュエータ２００ａについて説明する。図６は、第１変形例のアクチュエータ２００ａの構成の一例を示す変形例である。尚、第２実施例のアクチュエータ２００が備える構成要素と同一の構成要素については、同一の参照符号を付してその詳細な説明については省略する。

図６に示すように、第１変形例のアクチュエータ２００ａは、第２実施例のアクチュエータ２００と比較して、一対の永久磁石１６０の配置位置が異なるという点で異なっている。具体的には、第１変形例では、一対の永久磁石１６０は、可動部１２０に隣接するように内側支持部２１２の更に内側に配置されている。尚、第１変形例のアクチュエータ２００ａが備える一対の永久磁石１６０の配置位置以外の構成要素については、第２実施例のアクチュエータ２００が備える構成要素と同一であってもよい。

このような第１変形例のアクチュエータ１００ａであっても、第１実施例のアクチュエータ１００が享受することができる各種効果を好適に享受することができる。

尚、一対の永久磁石１６０の配置位置は、図５及び図６に示す配置以外の位置であってもよい。より具体的には、一対の永久磁石１６０は、駆動コイル１４０に対して適切な方向の且つ適切な強度の静磁界を印加することができる限りは、任意の位置に配置されてもよい。尚、第１実施例においても、一対の永久磁石１６０の配置位置を適宜変えてもよいことは言うまでもない。

また、一対の永久磁石１６０に限らず、一対の永久磁石２６０についても、任意の位置に配置してもよい。より具体的には、一対の永久磁石２６０は、電源コイル１５０に対して適切な方向の且つ適切な強度の静磁界を印加することができる限りは、任意の位置に配置されてもよい。

（３）第３実施例
続いて、図７を参照して、第３実施例のアクチュエータ３００について説明する。図７は、第３実施例のアクチュエータ３００の構成の一例を示す平面図である。尚、第１実施例のアクチュエータ１００や第２実施例のアクチュエータ２００が備える構成要素と同一の構成要素については、特段の説明を省略する。

図７に示すように、第３実施例のアクチュエータ３００は、例えばレーザ光のスキャニングに用いられるプレーナ型電磁駆動アクチュエータ（即ち、ＭＥＭＳスキャナ）である。アクチュエータ３００は、外側支持部２１１と、内側支持部２１２と、可動部１２０と、一対の外側トーションバー２３１と、一対の内側トーションバー２３２と、一対の永久磁石１６０と、一対の永久磁石２６０とを備えている。

第３実施例では、外側支持部２１１の表面には、電源コイル１５０が形成されている。但し、電源コイル１５０は、外側支持部２１１の内部に形成されてもよい。電源コイル１５０は、外側支持部２１２の枠形状に沿って伸長するコイルである。電源コイル１５０には、外側支持部２１１上に形成されている電源端子１５１を介して、電源から制御電流が供給される。制御電流は、第２実施例と同様に、可動部１２０及び内側支持部２１２を遥動させるための制御電流である。

また、電源コイル１５０は、第１実施例及び第２実施例と同様に、後述する駆動コイル１４０及び駆動コイル３４０と電気的に又は物理的に接続されていない。従って、電源コイル１５０が内側支持部２１２及び可動部１２０側に向かって伸長する必要性がない以上、電源コイル１５０（或いは、当該電源コイル１５０につながる配線）は、一対の外側トーションバー２３１上や一対の内側トーションバー２３２上には形成されないことが好ましい。

更に、第３実施例では、内側支持部２１２の表面には、駆動コイル３４０が形成されている。但し、駆動コイル３４０は、内側支持部２１２の内部に形成されてもよい。駆動コイル３４０は、例えば、内側支持部２１２の枠形状に沿って伸長するコイルである。第３実施例においても、第１実施例及び第２実施例と同様に、駆動コイル３４０は、駆動コイル１４０と同様のプロセスで形成されてもよい。更に、駆動コイル３４０は、内側支持部２１２内でのみ伸長している。言い換えれば、駆動コイル３４０は、内側支持部２１２の外部に向かって伸長していない。より具体的には、駆動コイル３４０は、一対の外側トーションバー２３１や一対の内側トーションバー２３２や外側支持部２１１や可動部１２０には形成されない。このため、駆動コイル３４０は、電源コイル１５０や駆動コイル１４０とは電気的に接続されていない。或いは、駆動コイル３４０は、電源コイル１５０や駆動コイル１４０とは物理的に接続されていない。従って、駆動コイル３４０には、電源端子１５１を介して制御電流が直接的に供給されることはない。

また、第３実施例では、第１実施例及び第２実施例と同様に、可動部１２０の表面には、駆動コイル１４０が形成されている。第３実施例においても、第１実施例及び第２実施例と同様に、駆動コイル１４０は、可動部１２０内でのみ伸長している。より具体的には、駆動コイル１４０は、一対の内側トーションバー２３２や内側支持部２１２や一対の外側トーションバー２３１や外側支持部２１１には形成されない。更には、駆動コイル１４０は、電源コイル１５０のみならず、駆動コイル３４０とも電気的に且つ物理的に接続されていない。

（３−２）動作態様
このような第３実施例のアクチュエータ３００が動作する（具体的には、可動部１２０が遥動する）場合には、まず、電源から、電源端子１５１を介して、電源コイル１５０に対して制御電流が供給される。その結果、電源コイル１５０からは、磁界（磁力線）が生ずる。このような電源コイル１５０から生ずる磁界の一部又は全部は、可動部１２０に形成されている駆動コイル１４０や内側支持部２１２に形成されている駆動コイル３４０にも到達する。

ここで、第３実施例においても、第１実施例及び第２実施例と同様に、電源コイル１５０と駆動コイル１４０及び駆動コイル３４０とは、電源コイル１５０から生ずる磁界の一部又は全部が駆動コイル１４０のコイル内部及び駆動コイル３４０のコイル内部の少なくとも一方を通過することができる位置関係を有して形成されていることが好ましい。尚、電源コイル１５０から生ずる磁界が到達する範囲や強度等は、(i)外側支持部２１１のサイズや、(ii)内側支持部２１２のサイズや、(iii)可動部１２０のサイズや、(iv)外側支持部２１１と内側支持部２１２との間の位置関係や、(v)内側支持部２１２と可動部１２０との間の位置関係や、(vi)電源コイル１５０に供給される制御電流のパラメータや、(vii)電源コイル１５０そのもののパラメータによって変動し得る。このため、第３実施例においても、第１実施例と同様に、(i)外側支持部２１１のサイズや、(ii)内側支持部２１２のサイズや、(iii)可動部１２０のサイズや、(iv)外側支持部２１１と内側支持部２１２との間の位置関係や、(v)内側支持部２１２と可動部１２０との間の位置関係や、(vi)電源コイル１５０に供給される制御電流のパラメータや、(vii)電源コイル１５０そのもののパラメータや、(viii)駆動コイル１４０そのもののパラメータや、(ix)駆動コイル３４０そのもののパラメータ等を考慮した上で、駆動コイル１４０及び駆動コイル３４０並びに電源コイル１５０は、制御電流が供給されることで電源コイル１５０から生ずる磁界が駆動コイル１４０のコイル内部及び駆動コイル３４０のコイル内部の少なくとも一方を通過する位置関係を有するように形成されることが好ましい。

電源コイル１５０から生ずる磁界の一部又は全部が駆動コイル３４０のコイル内部を通過すると、駆動コイル３４０には、電源コイル１５０から生ずる磁界に起因した誘導電流する。一方で、駆動コイル３４０には、一対の永久磁石２６０によって静磁界が印加されている。従って、駆動コイル３４０には、一対の永久磁石２６０から印加される静磁界と駆動コイル３４０に発生する誘導電流との電磁相互作用に起因した力（つまり、ローレンツ力）が生ずる。その結果、駆動コイル３４０が形成されている内側支持部２１２は、一対の永久磁石２６０から印加される静磁界と駆動コイル３４０に発生する誘導電流との電磁相互作用に起因したローレンツ力によって遥動する。このとき、可動部１２０は、一対の内側トーションバー２３２を介して内側支持部２１２に接続されている。従って、内側支持部２１２の遥動に伴って、可動部１２０は、実質的には、図７における上下の方向に沿った軸を中心軸として、当該中心軸の周りで回転するように遥動する。

更に、電源コイル１５０から生ずる磁界の一部又は全部が駆動コイル１４０のコイル内部を通過すると、駆動コイル１４０には、電源コイル１５０から生ずる磁界に起因した誘導電流する。一方で、駆動コイル１４０には、一対の永久磁石１６０によって静磁界が印加されている。従って、駆動コイル１４０には、一対の永久磁石１６０から印加される静磁界と駆動コイル１４０に発生する誘導電流との電磁相互作用に起因した力（つまり、ローレンツ力）が生ずる。その結果、駆動コイル１４０が形成されている可動部１２０は、一対の永久磁石１６０から印加される静磁界と駆動コイル１４０に発生する誘導電流との電磁相互作用に起因したローレンツ力によって遥動する。つまり、可動部１２０は、図７における左右の方向に沿った軸を中心軸として回転するように遥動する。

以上説明したように、第３実施例のアクチュエータ３００によれば、遥動させるべき可動部１２０に駆動コイル１４０を形成し且つ遥動させるべき内側支持部２１２に駆動コイル３４０を形成することができる。従って、可動部１２０及び内側支持部２１２のいずれか一方に駆動コイル１４０を形成することなく可動部１２０を遥動させる（具体的には、２軸駆動させる）比較例のアクチュエータと比較して、可動部１２０及び内側支持部２１２を相対的に高精度に遥動させる（つまり、駆動する）ことができる。その結果、可動部１２０の２軸駆動の精度を相対的に向上させることができる。

その一方で、第３実施例のアクチュエータ３００によれば、駆動コイル１４０に生ずる誘導電流を用いて（言い換えれば、電源コイル１５０から無線伝送される電力ないしは電流を動力源として用いて）可動部１２０を遥動させることができる。このため、駆動コイル１４０が可動部１２０の外部に伸長しなくともよくなる。従って、駆動コイル１４０につながる配線を一対の内側トーションバー２３２（更には、内側支持部２１２や一対の外側トーションバー２３１や外側支持部２１１）に形成しなくともよくなる。言い換えれば、第３実施例のアクチュエータ３００によれば、電源コイル１５０に制御電流を供給することで駆動コイル１４０が形成されている可動部１２０を遥動させることができるため、駆動コイル１４０に対して制御電流を供給しなくともよくなる。その結果、第３実施例のアクチュエータ３００によれば、駆動コイル１４０につながる配線を一対の内側トーションバー２３２や一対の外側トーションバー２３１に形成しなくともよくなる。従って、一対の内側トーションバー２３０上や一対の外側トーションバー２３１上に配線を形成する比較例のアクチュエータと比較して、アクチュエータ３００の構造が単純化すると共に、アクチュエータ３００の製造工程もまた単純化する。このため、可動部１２０に駆動コイル１４０を形成することなく可動部１２０を遥動させる比較例のアクチュエータと比較して、アクチュエータの設計の自由度を相対的に高めるという比較例のアクチュエータと同様の効果を相応に享受しつつ、可動部１２０を相対的に高精度に遥動させる（つまり、駆動する）ことができる。或いは、可動部１２０に駆動コイル１４０を形成しつつ当該駆動コイル１４０につながる配線を一対の内側トーションバー２３２や一対の外側トーションバー２３１に形成する比較例のアクチュエータと比較して、可動部１２０を相対的に高精度に遥動させる（つまり、駆動する）ことができるという比較例のアクチュエータと同様の効果を相応に享受しつつ、アクチュエータ３００の設計の自由度を相対的に高めることができる。

同様に、第３実施例のアクチュエータ３００によれば、駆動コイル３４０に生ずる誘導電流を用いて（言い換えれば、電源コイル１５０から無線伝送される電力ないしは電流を動力源として用いて）内側支持部２１２（更には、内側支持部２１２とつながっている可動部１２０）を遥動させることができる。このため、駆動コイル３４０が内側支持部２１２の外部に伸長しなくともよくなる。従って、駆動コイル３４０につながる配線を一対の外側トーションバー２３１（更には、可動部１２０や一対の内側トーションバー２３２や外側支持部２１１）に形成しなくともよくなる。言い換えれば、第３実施例のアクチュエータ３００によれば、電源コイル１５０に制御電流を供給することで駆動コイル３４０が形成されている内側支持部２１２を遥動させることができるため、駆動コイル３４０に対して制御電流を供給しなくともよくなる。その結果、第３実施例のアクチュエータ３００によれば、駆動コイル３４０につながる配線を一対の内側トーションバー２３２や一対の外側トーションバー２３１に形成しなくともよくなる。従って、一対の内側トーションバー２３０上や一対の外側トーションバー２３１上に配線を形成する比較例のアクチュエータと比較して、アクチュエータ３００の構造が単純化すると共に、アクチュエータ３００の製造工程もまた単純化する。このため、内側支持部２１２に駆動コイル３４０を形成することなく内側支持部２１２を遥動させる比較例のアクチュエータと比較して、アクチュエータの設計の自由度を相対的に高めるという比較例のアクチュエータと同様の効果を相応に享受しつつ、内側支持部２１２を相対的に高精度に遥動させる（つまり、駆動する）ことができる。或いは、内側支持部２１２に駆動コイル３４０を形成しつつ当該駆動コイル３４０につながる配線を一対の内側トーションバー２３２や一対の外側トーションバー２３１に形成する比較例のアクチュエータと比較して、内側支持部２１２を相対的に高精度に遥動させる（つまり、駆動する）ことができるという比較例のアクチュエータと同様の効果を相応に享受しつつ、アクチュエータ３００の設計の自由度を相対的に高めることができる。

更には、ねじれ等の応力が加わり且つ相対的に幅が狭い一対の内側トーションバー２３２に配線を形成しなくともよくなるため、配線の断線を考慮しなくともよくなる。つまり、駆動コイル１４０及び駆動コイル３４０の少なくとも一方につながる配線を一対の内側トーションバー２３２に形成する比較例のアクチュエータと比較して、アクチュエータ３００の耐久性（或いは、耐故障性）を向上させることができる。

更には、ねじれ等の応力が加わり且つ相対的に幅が狭い一対の外側トーションバー２３１に配線を形成しなくともよくなるため、配線の断線を考慮しなくともよくなる。つまり、駆動コイル１４０及び駆動コイル３４０の少なくとも一方につながる配線を一対の外側トーションバー２３１に形成する比較例のアクチュエータと比較して、アクチュエータ３００の耐久性（或いは、耐故障性）を向上させることができる。

尚、第３実施例のアクチュエータ３００においても、第１実施例のアクチュエータ１００や第２実施例のアクチュエータ２００が取り得る各種態様を適宜採用してもよい。例えば、第３実施例においても、可動部１２０が磁性材料を含んでいてもよいし、電源コイル１５０（或いは、駆動コイル１４０ないしは駆動コイル３４０）の形状を変えてもよいし、電源コイル１５０が複数のコイル部分１５１ｂを備えていてもよいし、一対の永久磁石１６０（或いは、一対の永久磁石２６０）の配置位置を変えてもよい。

尚、上述の説明では、可動部がトーションバーの伸長する方向に沿った軸を中心軸として回転するＭＥＭＳスキャナに着目して説明を進めている。しかしながら、ＭＥＭＳスキャナに限らず、任意のアクチュエータに対して上述した各種構成が適用されてもよい。例えば、可動部がトーションバーの遥動に従って平行移動するように遥動するＭＥＭＳアクチュエータに対して、上述した各種構成が適用されてもよい。この場合であっても、上述した各種効果は好適に享受される。

本発明は、前述した実施例に限られるものではなく、請求の範囲及び明細書全体から読み取れる発明の要旨或いは思想に反しない範囲で適宜変更可能であり、そのような変更を伴うアクチュエータもまた本発明の技術的範囲に含まれるものである。

１１０ 支持部
１２０ 可動部
１３０ トーションバー
１４０ 駆動用コイル
１５０ 電源用コイル
１６０ 永久磁石

Claims (17)

1. 可動部と、
   当該可動部を支持する支持部と、
   前記可動部が揺動可能なように前記可動部と前記支持部とを接続するトーションバーと、
   前記可動部に形成されると共に、前記可動部の外部に伸長していない駆動コイルと、
   前記支持部に形成されると共に、前記可動部を揺動させるための制御電流が供給される電源コイルと、
   前記駆動コイルに静磁界を印加する磁界印加部と
   を備えることを特徴とするアクチュエータ。
2. 前記電源コイルから生ずる磁界が前記駆動コイル内を通過することで、前記駆動コイルに誘導電流が発生し、
   前記可動部は、前記磁界印加部から印加される前記静磁界と前記駆動コイルに発生する前記誘導電流との電磁相互作用によって遥動することを特徴とする請求項１に記載のアクチュエータ。
3. 前記駆動コイル及び前記電源コイルは、前記制御電流が供給されることで前記電源コイルから生ずる磁界が前記駆動コイル内を通過する位置関係を有するように形成されることを特徴とする請求項１に記載のアクチュエータ。
4. 前記可動部は、磁性材料を含むことを特徴とする請求項１に記載のアクチュエータ。
5. 前記支持部には、前記電源コイルが複数形成されることを特徴とする請求項１に記載のアクチュエータ。
6. 可動部と、
   当該可動部を支持する内側支持部と、
   前記可動部が揺動可能なように前記可動部と前記内側支持部とを接続する内側トーションバーと、
   当該内側支持部を支持する外側支持部と、
   前記内側支持部が揺動可能なように前記内側支持部と前記外側支持部とを接続する外側トーションバーと、
   前記可動部に形成されると共に、前記可動部の外部に伸長していない駆動コイルと、
   前記内側支持部に形成されると共に、前記可動部及び前記内側支持部を揺動させるための制御電流が供給される電源コイルと、
   前記駆動コイルに第１静磁界を印加する第１磁界印加部と、
   前記電源コイルに第２静磁界を印加する第２磁界印加部と
   を備えることを特徴とするアクチュエータ。
7. 前記電源コイルから生ずる磁界が前記駆動コイル内を通過することで、前記駆動コイルに誘導電流が発生し、
   前記可動部は、前記第１磁界印加部から印加される前記第１静磁界と前記駆動コイルに発生する前記誘導電流との電磁相互作用によって遥動し、
   前記内側支持部は、前記第２磁界印加部から印加される第２静磁界と前記電源コイルに供給される前記制御電流との電磁相互作用によって遥動することを特徴とする請求項６に記載のアクチュエータ。
8. 前記駆動コイル及び前記電源コイルは、前記制御電流が供給されることで前記電源コイルから生ずる磁界が前記駆動コイル内を通過する位置関係を有するように形成されることを特徴とする請求項６に記載のアクチュエータ。
9. 前記制御電流には、前記可動部を遥動させるための電流成分と前記内側支持部を遥動させるための電流成分とが重畳されていることを特徴とする請求項６に記載のアクチュエータ。
10. 前記可動部は、磁性材料を含むことを特徴とする請求項６に記載のアクチュエータ。
11. 前記内側支持部には、前記電源コイルが複数形成されることを特徴とする請求項６に記載のアクチュエータ。
12. 可動部と、
    当該可動部を支持する内側支持部と、
    前記可動部が揺動可能なように前記可動部と前記内側支持部とを接続する内側トーションバーと、
    当該内側支持部を支持する外側支持部と、
    前記内側支持部が揺動可能なように前記内側支持部と前記外側支持部とを接続する外側トーションバーと、
    前記可動部に形成されると共に、前記可動部の外部に伸長していない第１駆動コイルと、
    前記内側支持部に形成されると共に、前記内側支持部の外部に伸長していない第２駆動コイルと、
    前記外側支持部に形成されると共に、前記可動部及び前記内側支持部を揺動させるための制御電流が供給される電源コイルと、
    前記第１駆動コイルに第１静磁界を印加する第１磁界印加部と、
    前記第２駆動コイルに第２静磁界を印加する第２磁界印加部と、
    を備えることを特徴とするアクチュエータ。
13. 前記電源コイルから生ずる磁界が前記第１駆動コイル内及び前記第２駆動コイル内を通過することで、前記第１駆動コイル及び前記第２駆動コイルの夫々に誘導電流が発生し、
    前記可動部は、前記第１磁界印加部から印加される前記第１静磁界と前記第１駆動コイルに発生する前記誘導電流との電磁相互作用によって遥動し、
    前記内側支持部は、前記第２磁界印加部から印加される前記第２静磁界と前記第２駆動コイルに発生する前記誘導電流との電磁相互作用によって遥動することを特徴とする請求項１２に記載のアクチュエータ。
14. 前記第１駆動コイル、前記第２駆動コイル及び前記電源コイルは、前記制御電流が供給されることで前記電源コイルに生ずる磁界が前記第１駆動コイル内及び前記第２駆動コイル内の双方を通過する位置関係を有するように形成されることを特徴とする請求項１２に記載のアクチュエータ。
15. 前記制御電流には、前記可動部を遥動させるための電流成分と前記内側支持部を遥動させるための電流成分とが重畳されていることを特徴とする請求項１２に記載のアクチュエータ。
16. 前記可動部及び前記内側支持部の少なくとも一方は、磁性材料を含むことを特徴とする請求項１２に記載のアクチュエータ。
17. 前記外側支持部には、前記電源コイルが複数形成されることを特徴とする請求項１２に記載のアクチュエータ。

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