WO2014020769A1

WO2014020769A1 - 駆動装置

Info

Publication number: WO2014020769A1
Application number: PCT/JP2012/069903
Authority: WO
Inventors: 純鈴木
Original assignee: パイオニア株式会社
Priority date: 2012-08-03
Filing date: 2012-08-03
Publication date: 2014-02-06

Abstract

駆動装置（１０５）は、第１及び第２ベース部（１１０－１、１１０－２）と、第１及び第２弾性部（１２０ａ－１、１２０ｂ－１、１２０ａ－２、１２０ｂ－２）と、被駆動部（１３０）と、巻き線の外側に被駆動部が配置される第１及び第２コイル部（１４０ａ、１４０ｂ）と、第１及び第２コイル部の夫々の一の方向又は他の方向に沿って対向する２つの辺に磁界を付与する磁界付与部（１６１、１６２）とを備え、第２ベース部の回転軸から一の方向に沿ってオフセットした位置であって且つ被駆動部の回転軸から他の方向に沿ってオフセットした位置に第１及び第２コイル部の中心が位置し、被駆動部の特性及び被駆動部の配置位置に応じて定まる所定の基準点（Ｐ）に対して第１コイル部の中心と第２コイル部の中心とが点対称となる。

Description

駆動装置

　本発明は、例えばミラー等の被駆動物を回転させるＭＥＭＳスキャナ等の駆動装置の技術分野に関する。

　例えば、ディスプレイ、プリンティング装置、精密測定、精密加工、情報記録再生などの多様な技術分野において、半導体工程技術によって製造されるＭＥＭＳ（ＭｉｃｒｏＥｌｅｃｔｒｏＭｅｃｈａｎｉｃａｌＳｙｓｔｅｍ）デバイスについての研究が活発に進められている。このようなＭＥＭＳデバイスとして、例えば、光源から入射された光を所定の画面領域に対して走査して画像を具現するディスプレイ分野、または所定の画面領域に対して光を走査して反射された光を受光して画像情報を読み込むスキャニング分野では、微小構造のミラー駆動装置（光スキャナないしはＭＥＭＳスキャナ）が注目されている。

　ミラー駆動装置は、一般的には、ベースとなる固定された本体と、所定の回転軸の周りに回転可能なミラーと、本体とミラーとを接続する又は接合するトーションバー（ねじれ部材）とを備える構成が知られている（特許文献１参照）。

特表２００７－５２２５２９号公報

　このような構成を有するミラー駆動装置では、コイルと磁石を用いてミラーを駆動する構成が一般的である。このような構成では、例えばミラーを取り囲むようにミラーにコイルを直接貼り付ける構成が一例としてあげられる。この場合、コイルに電流を流すことで生ずる磁界と磁石の磁界との間の相互作用によってミラーに対して回転方向の力が加えられ、その結果、ミラーが回転させられる。また、上述の特許文献１では、コイルと磁石とが、トーションバーにねじれ方向（言い換えれば、ミラーの回転軸方向）の歪みを生じさせるように配置される構成を採用している。この場合、コイルに電流を流すことで生ずる磁界と磁石の磁界との間の相互作用によってトーションバーがねじれ方向に歪み、トーションバーのねじれ方向の歪みがミラーを回転させることになる。

　しかしながら、ミラーを取り囲むようにコイルが配置されるがゆえに、コイルが比較的大きくなってしまう。その結果、当該コイルに対して磁界を付与するための磁石もまた比較的大きくなってしまう。このため、コイルと磁石との間の磁気ギャップが大きくなってしまうと共に、ＭＥＭＳスキャナの小型化を図ることができなくなってしまうという技術的な問題点が生ずる。また、ミラーを取り囲むようにコイルが配置されるがゆえに、磁石の配置が限定されてしまう又は磁石を好適な位置に配置することが困難になってしまう。具体的には、ミラーによる光の反射が妨げられてしまうがゆえに、コイルの中心上方（具体的には、コイルの巻き線の内側の上方（つまり、ミラーの上方）へ磁石を配置することが困難である。

　加えて、上述の特許文献１では、直交する２つの軸を回転軸としてミラーを回転させる場合には、コイルに対して一の方向に沿った磁界を付与する磁石と、コイルに対して一の方向に直交する他の方向に沿った磁界を付与する磁石とが必要になる。従って、異なる方向に沿った２種類の磁界を付与する２種類の磁石が必要になるため、ＭＥＭＳスキャナの構成が相対的に複雑になってしまうという技術的問題点が生ずる。

　このような従来のミラー駆動装置に対して、本発明は、例えば、コイルと磁石とを用いてミラー（或いは、回転する被駆動物）を駆動しつつも相対的に小型な且つ簡易な構成を有する駆動装置（つまり、ＭＥＭＳスキャナ）を提供することを課題とする。

　上記課題を解決するために、駆動装置は、第１ベース部と、第１ベース部によって支持される第２ベース部と、前記第１ベース部と前記第２ベース部とを接続し、且つ前記第２ベース部を他の方向に沿った軸を回転軸として回転させるような弾性を有する第１弾性部と、回転可能な被駆動部と、前記第２ベース部と前記被駆動部とを接続し、且つ前記被駆動部を前記他の方向とは異なる一の方向に沿った軸を回転軸として回転させるような弾性を有する第２弾性部と、前記第２ベース部と連結するように配置される第１コイル部であって、且つ当該第１コイル部の巻き線の外側に前記被駆動部が配置される第１コイル部と、前記第２ベース部と連結するように配置される第２コイル部であって、且つ当該第２コイル部の巻き線の外側に前記被駆動部が配置される第２コイル部と、前記第１コイル部及び前記第２コイル部に対して磁界を付与する磁界付与部とを備え、前記第１コイル部は、前記第２ベース部の回転軸から前記一の方向に沿ってオフセットした位置に前記第１コイル部の中心が位置し且つ前記被駆動部の回転軸から前記他の方向に沿ってオフセットした位置に前記第１コイル部の中心が位置するように、配置されており、前記第２コイル部は、前記第２ベース部の回転軸から前記一の方向に沿ってオフセットした位置に前記第２コイル部の中心が位置し且つ前記被駆動部の回転軸から前記他の方向に沿ってオフセットした位置に前記第２コイル部の中心が位置するように、配置されており、前記第１コイル部及び前記第２コイル部は、前記被駆動部の特性及び前記被駆動部の配置位置のうちの少なくとも一方に応じて定まる所定の基準点に対して前記第１コイル部の中心と前記第２コイル部の中心とが点対称となるように配置され、前記磁界付与部は、前記第１コイル部及び第２コイル部の夫々の前記一の方向又は前記他の方向に沿って対向する２つの辺に前記磁界を付与する。

　本発明のこのような作用及び利得は次に説明する実施の形態から明らかにされる。

本実施例に係るＭＥＭＳスキャナの構成を概念的に示す平面図である。ミラーコイルとの間の位置関係を簡略的に示す平面図である。コイルの配置の基準となる所定の基準点の例を示す平面図である。コイルの配置の基準となる所定の基準点の例を示す平面図である。コイルに対して時計周りに流れる制御電流が供給された場合に発生するローレンツ力を示す平面図及び断面図である。コイルに対して半時計周りに流れる制御電流が供給された場合に発生するローレンツ力を示す平面図及び断面図である。Ｘ軸方向に沿った軸を回転軸として第２ベース及びミラーが回転する場合のＭＥＭＳスキャナの状態を示す断面図である。コイルに対して半時計周りに流れる制御電流が供給された場合の各種回転軸の状態を概略的に示す平面図である。Ｙ軸方向に沿った軸を回転軸としてミラーが回転する場合のＭＥＭＳスキャナの状態を示す断面図である。Ｙ軸方向に沿った軸を回転軸としてミラーが回転する場合のＭＥＭＳスキャナの状態を示す断面図である。

　以下、駆動装置に係る実施形態について順に説明する。

　＜１＞
　本実施形態の駆動装置は、第１ベース部と、第１ベース部によって支持される第２ベース部と、前記第１ベース部と前記第２ベース部とを接続し、且つ前記第２ベース部を他の方向に沿った軸を回転軸として回転させるような弾性を有する第１弾性部と、回転可能な被駆動部と、前記第２ベース部と前記被駆動部とを接続し、且つ前記被駆動部を前記他の方向とは異なる一の方向に沿った軸を回転軸として回転させるような弾性を有する第２弾性部と、前記第２ベース部と連結するように配置される第１コイル部であって、且つ当該第１コイル部の巻き線の外側に前記被駆動部が配置される第１コイル部と、前記第２ベース部と連結するように配置される第２コイル部であって、且つ当該第２コイル部の巻き線の外側に前記被駆動部が配置される第２コイル部と、前記第１コイル部及び前記第２コイル部に対して磁界を付与する磁界付与部とを備え、前記第１コイル部は、前記第２ベース部の回転軸から前記一の方向に沿ってオフセットした位置に前記第１コイル部の中心が位置し且つ前記被駆動部の回転軸から前記他の方向に沿ってオフセットした位置に前記第１コイル部の中心が位置するように、配置されており、前記第２コイル部は、前記第２ベース部の回転軸から前記一の方向に沿ってオフセットした位置に前記第２コイル部の中心が位置し且つ前記被駆動部の回転軸から前記他の方向に沿ってオフセットした位置に前記第２コイル部の中心が位置するように、配置されており、前記第１コイル部及び前記第２コイル部は、前記被駆動部の特性及び前記被駆動部の配置位置のうちの少なくとも一方に応じて定まる所定の基準点に対して前記第１コイル部の中心と前記第２コイル部の中心とが点対称となるように配置され、前記磁界付与部は、前記第１コイル部及び第２コイル部の夫々の前記一の方向又は前記他の方向に沿って対向する２つの辺に前記磁界を付与する。

　本実施形態の駆動装置によれば、基礎となる第１ベース部と当該第１ベース部に支持される第２ベース部とが、弾性を有する第１弾性部（例えば、後述する第１トーションバー等）によって直接的に又は間接的に接続されている。更に、第２ベース部と回転可能に配置される被駆動部（例えば、後述するミラー等）とが、弾性を有する第２弾性部（例えば、後述する第２トーションバー等）によって直接的に又は間接的に接続されている。第２ベース部は、第１弾性部の弾性（例えば、第２ベース部を他の方向（例えば、後述のＸ軸方向）に沿った軸を回転軸として回転させることができるという弾性）によって、一の方向とは異なる（好ましくは、交わる、より好ましくは、直交する）他の方向に沿った軸を回転軸として回転する。従って、第２ベース部と第２弾性部を介して接続されている被駆動部もまた、他の方向に沿った軸を回転軸として回転する。加えて、被駆動部は、第２弾性部の弾性（例えば、被駆動部を一の方向（例えば、後述のＹ軸方向）に沿った軸を回転軸として回転させることができるという弾性）によって、一の方向に沿った軸を回転軸として回転する。つまり、本実施形態の駆動装置は、被駆動部の２軸駆動を行うことができる。但し、本実施形態の駆動装置は、被駆動部の多軸駆動（例えば、３軸駆動、４軸駆動・・・）を行ってもよい。

　本実施形態では、第１コイル部は、第２ベース部の回転軸（具体的には、他の方向に沿った回転軸）から一の方向に沿ってオフセットした位置に第１コイル部の中心が位置するように、配置されている。言い換えれば、他の方向に沿った第１コイル部の回転軸が、他の方向に沿った第２ベース部の回転軸から一の方向に沿ってシフトした位置に位置する。更に、第１コイル部は、被駆動部の回転軸（具体的には、一の方向に沿った回転軸）から他の方向に沿ってオフセットした位置に第１コイル部の中心が位置するように、配置されている。言い換えれば、一の方向に沿った第１コイル部の回転軸が、一の方向に沿った被駆動部の回転軸から他の方向に沿ってシフトした位置に位置する。尚、第１コイル部は、第２ベース部と連結されている。例えば、第１コイル部は、連結部材を介して第２ベース部に連結されていてもよいし、第２ベース部上に配置されていてもよい。

　加えて、第２コイル部は、第２ベース部の回転軸（具体的には、他の方向に沿った回転軸）から一の方向に沿ってオフセットした位置に第２コイル部の中心が位置するように、配置されている。言い換えれば、他の方向に沿った第２コイル部の回転軸が、他の方向に沿った第２ベース部の回転軸から一の方向に沿ってシフトした位置に位置している。更に、第２コイル部は、被駆動部の回転軸（具体的には、一の方向に沿った回転軸）から他の方向に沿ってオフセットした位置に第２コイル部の中心が位置するように、配置されている。言い換えれば、一の方向に沿った第２コイル部の回転軸が、一の方向に沿った被駆動部の回転軸から他の方向に沿ってシフトした位置に位置する。尚、第２コイル部は、第２ベース部と連結されている。例えば、第２コイル部は、連結部材を介して第２ベース部に連結されていてもよいし、第２ベース部上に配置されていてもよい。

　加えて、第１コイル部の中心と第２コイル部の中心とは、所定の基準点に対して点対称となる位置関係を有している。ここで、所定の基準点は、被駆動部の特性（例えば、被駆動部の形状や数や構造や回転軸の位置等）及び被駆動部の配置位置のうちの少なくとも一方に応じて定まる基準点である。このような基準点として、例えば、被駆動部の重心や、被駆動部の回転軸上に位置する点（例えば、被駆動部の回転軸上に位置し且つ被駆動部の重心に最も近接する点）や、被駆動部の回転軸に近接する点等が一例としてあげられる。

　尚、第１コイル部の中心は、第１コイル部の重心（例えば、巻き線の重心や、第１コイル部を構成する構造物の重心）を意味していてもよい。或いは、第１コイル部の中心は、第１コイル部の回転軸上に位置する所定の点（例えば、第１コイル部の回転軸上に位置し且つ第１コイル部の重心に最も近接する点）を意味していてもよい。或いは、第１コイル部の中心は、一の方向に沿った第１コイル部の回転軸と他の方向に沿った第１コイル部の回転軸との交点を意味していてもよい。第２コイル部の中心についても同様である。

　尚、本実施形態における「第１コイル部の回転軸」とは、第１コイル部そのものの回転軸を意味する。例えば、後述するように、第１コイル部は、第１コイル部単体としても回転するように作用しながら、第１コイル部と連結している第２ベース部の回転に伴っても回転するように作用する。この場合、第１コイル部の回転軸としては、第１コイル部単体として回転するように作用している場合の回転軸のみならず、第１コイル部と連結している第２ベース部の回転に伴って回転するように作用している場合の回転軸も存在し得る。しかしながら、本実施形態では、特段の説明がない場合は、「第１コイル部の回転軸」は、第１コイル部と連結している第２ベース部の回転に伴って回転するように作用している場合の回転軸ではなく、第１コイル部単体として回転するように作用している場合の回転軸を意味する。「第２コイル部の回転軸」についても同様である。尚、後述の図１においても、図面を用いてコイルの回転軸が説明されている。

　本実施形態の駆動装置では、第１コイル部及び第２コイル部の夫々と磁界付与部との間の電磁相互作用に起因した力によって、他の方向に沿った軸を回転軸として第２ベース部（言い換えれば、第２ベース部によって支持されている被駆動部）が回転する。言い換えれば、他の方向に沿った軸を回転軸として第２ベース部が回転するための駆動力は、第１コイル部及び第２コイル部の夫々と磁界付与部との間の電磁相互作用に起因した電磁力である。加えて、第１コイル部及び第２コイル部の夫々と磁界付与部との間の電磁相互作用に起因した力によって、一の方向に沿った軸を回転軸として被駆動部が回転する。言い換えれば、一の方向に沿った軸を回転軸として被駆動部が回転するための駆動力は、第１コイル部及び第２コイル部の夫々と磁界付与部との間の電磁相互作用に起因した電磁力である。

　より具体的には、後に詳述するように、第１コイル部及び第２コイル部の夫々には、他の方向に沿った軸を回転軸として第２ベース部を回転させるための制御電流が供給される。この制御電流は、例えば、他の方向に沿った軸を回転軸として第２ベース部が回転する周波数（言い換えれば、周期）と同一の周波数を有する又は同期した周波数を有する交流電流であることが好ましい。加えて、第１コイル部及び第２コイル部の夫々には、一の方向に沿った軸を回転軸として被駆動部を回転させるための制御電流が供給される。この制御電流は、例えば、一の方向に沿った軸を回転軸として被駆動部が回転する周波数（言い換えれば、周期）と同一の周波数を有する又は同期した周波数を有する交流電流であることが好ましい。より好ましくは、制御電流は、被駆動部及び第２弾性部によって定まる被駆動部の共振周波数（より具体的には、被駆動部の慣性モーメント及び第２弾性部のねじりバネ定数によって定まる被駆動部の共振周波数）と同一の周波数を有する又は同期した周波数を有する交流電流であることが好ましい。

　一方で、第１コイル部及び第２コイル部の夫々には、磁界付与部から磁界が付与される。本実施形態では特に、磁界付与部は、第１コイル部及び第２コイル部の夫々の一の方向又は他の方向に沿って対向する２つの辺に対して磁界を付与する。つまり、磁界付与部は、第１コイル部の一の方向に沿って対向する２つの辺及び他の方向に沿って対向する２つの辺のいずれか一方に対して積極的に磁界を付与すればよい。言い換えれば、磁界付与部は、第１コイル部の一の方向に沿って対向する２つの辺及び他の方向に沿って対向する２つの辺の双方に対して積極的に磁界を付与しなくともよい。同様に、磁界付与部は、第２コイル部の一の方向に沿って対向する２つの辺及び他の方向に沿って対向する２つの辺のいずれか一方に対して積極的に磁界を付与すればよい。言い換えれば、磁界付与部は、第２コイル部の一の方向に沿って対向する２つの辺及び他の方向に沿って対向する２つの辺の双方に対して積極的に磁界を付与しなくともよい。

　具体的には、磁界付与部は、第１コイル部及び第２コイル部の夫々の一の方向に沿って対向する２つの辺に対して磁界を付与する一方で、第１コイル部及び第２コイル部の他の方向に沿って対向する２つの辺に対して磁界を付与しなくともよい。但し、第１コイル部の一の方向に沿って対向する２つの辺に対して磁界付与部が磁界を付与する場合には、第１コイル部の他の方向に沿って対向する２つの辺に対しては、第１コイル部の一の方向に沿って対向する２つの辺に対して磁界付与部が付与する磁界の漏れ磁束が付与されてもよい。同様に、第２コイル部の一の方向に沿って対向する２つの辺に対して磁界付与部が磁界を付与する場合には、第２コイル部の他の方向に沿って対向する２つの辺に対しては、第２コイル部の一の方向に沿って対向する２つの辺に対して磁界付与部が付与する磁界の漏れ磁束が付与されてもよい。

　或いは、磁界付与部は、第１コイル部及び第２コイル部の夫々の他の方向に沿って対向する２つの辺に対して磁界を付与する一方で、第１コイル部及び第２コイル部の一の方向に沿って対向する２つの辺に対して磁界を付与しなくともよい。但し、第１コイル部の他の方向に沿って対向する２つの辺に対して磁界付与部が磁界を付与する場合には、第１コイル部の一の方向に沿って対向する２つの辺に対しては、第１コイル部の他の方向に沿って対向する２つの辺に対して磁界付与部が付与する磁界の漏れ磁束が付与されてもよい。同様に、第２コイル部の他の方向に沿って対向する２つの辺に対して磁界付与部が磁界を付与する場合には、第２コイル部の一の方向に沿って対向する２つの辺に対しては、第２コイル部の他の方向に沿って対向する２つの辺に対して磁界付与部が付与する磁界の漏れ磁束が付与されてもよい。

　尚、以下では説明の簡略化のため、磁界付与部が、第１コイル部及び第２コイル部の夫々の一の方向に沿って対向する２つの辺に磁界を付与する場合についての説明を進める。但し、磁界付与部が、第１コイル部及び第２コイル部の夫々の他の方向に沿って対向する２つの辺に磁界を付与する場合においても、概ね同様の態様で被駆動部が回転する。

　このような磁界が付与された結果、第１コイル部に供給される制御電流と磁界付与部が付与する磁界との電磁相互作用に起因して、第１コイル部には、ローレンツ力が発生する。同様に、第２コイル部に供給される制御電流と磁界付与部が付与する磁界との電磁相互作用に起因して、第２コイル部には、ローレンツ力が発生する。このローレンツ力によって、後に図面を用いて詳述するように、第２ベース部は、他の方向に沿った軸を回転軸として回転する。

　加えて、本実施形態では、第２ベース部の回転軸から一の方向に沿ってオフセットした位置であって且つ被駆動部の回転軸から他の方向に沿ってオフセットした位置に、所定の基準点に対して点対称の位置関係にある第１コイル部の中心及び第２コイル部の中心が位置している。従って、後に図面を用いて詳細に説明するように、第１コイル部及び第２コイル部に発生するローレンツ力に起因した回転力の回転軸（いわば、当該回転力に対する仮想的な回転軸）は、一の方向及び他の方向の双方に対して交わることになる。言い換えれば、第１コイル部及び第２コイル部に発生するローレンツ力に起因した回転力の回転軸は、一の方向及び他の方向とは異なる方向に沿っている。従って、第１コイル部及び第２コイル部に発生するローレンツ力は、他の方向に沿った軸を回転軸とする回転力の成分及び一の方向に沿った軸を回転軸とする回転力の成分を含んでいる。その結果、第１コイル部及び第２コイル部に発生するローレンツ力のうちの一の方向に沿った軸を回転軸とする回転力の成分に起因して、被駆動部は、一の方向に沿った軸を回転軸として回転する。

　或いは、後に図面を用いて詳細に説明するように、第１弾性部によって規定される他の方向に沿った回転軸と、第１コイル部及び第２コイル部に発生するローレンツ力に起因した回転力の回転軸（いわば、当該回転力に対する仮想的な回転軸）と、第２ベース部、被駆動部並びに第１及び第２コイル部を含む構造体が回転する場合の仮想的な回転軸とのうちの少なくとも２つが、一の方向又は他の方向に沿ってずれることになる。このようなずれ（つまり、アンバランス）に起因して、第１コイル部及び第２コイル部に発生するローレンツ力は、第２ベース部を変形振動させるように作用する。その結果、第２ベース部の変形振動に伴って、被駆動部は、一の方向に沿った軸を回転軸として回転する。

　本実施形態では特に、第１コイル部及び第２コイル部の夫々は、巻き線の外側に被駆動部が配置されるように、配置される。言い換えれば、第１コイル部及び第２コイル部の夫々は、巻き線の内側に被駆動部が配置されないように、配置される。つまり、第１コイル部及び第２コイル部の夫々は、被駆動部が配置される箇所から所定方向（例えば、一の方向（例えば、後述のＹ軸方向）及び他の方向（例えば、後述のＸ軸方向）のうちの少なくとも一方）にオフセットした位置に配置される。より具体的には、第１コイル部は、被駆動部の中心が配置される箇所から所定方向にオフセットした位置に第１コイル部の中心が配置されるように、配置される。同様に、第２コイル部は、被駆動部の中心が配置される箇所から所定方向にオフセットした位置に第２コイル部の中心が配置されるように、配置される。その結果、第１コイル部と被駆動部と第２コイル部とは、所定方向に沿って第１コイル部と第２コイル部とが被駆動部を挟み込むように、配置される。

　このように、本実施形態では、被駆動部は、第１コイル部及び第２コイル部の夫々の巻き線の外側に位置することになる。従って、第１コイル部及び第２コイル部の夫々は、被駆動部を取り囲むように配置されなくともよい。その結果、本実施形態では、第１コイル部及び第２コイル部の少なくとも一方が被駆動部を取り囲むように配置される場合と比較して、第１コイル部及び第２コイル部の夫々のサイズ（例えば、巻き線の径や巻き線の長さ等）を相対的に小さくすることができる。言い換えれば、本実施形態では、被駆動部の大きさに関係なく、第１コイル部及び第２コイル部の夫々のサイズ（例えば、巻き線の径や巻き線の長さ等）を相対的に小さくすることができる。その結果、当該第１コイル部及び第２コイル部の夫々に対して磁界を付与するための磁界付与部（例えば、磁石）のサイズもまた、相対的に小さくすることができる。このため、本実施形態では、第１コイル部及び第２コイル部の少なくとも一方が被駆動部を取り囲むように配置される場合と比較して、被駆動部の大きさに関係なく、第１コイル部及び第２コイル部の夫々と磁気付与部との間の磁気ギャップを相対的に小さくすることができる。従って、本実施形態では、第１コイル部及び第２コイル部の少なくとも一方が被駆動部を取り囲むように配置される場合と比較して、駆動装置の小型化が好適に実現される。

　加えて、本実施形態では、被駆動部を取り囲むように第１コイル部及び第２コイル部が配置されなくともよくなるため、被駆動部を取り囲むように第１コイル部及び第２コイル部の少なくとも一方が配置される駆動装置と比較して、磁界付与部の配置の自由度が相対的に高くなる。このため、第１コイル部及び第２コイル部の夫々の中心上方（具体的には、第１コイル部及び第２コイル部の夫々の巻き線の内側の上方に磁界付与部を配置することができる。

　加えて、本実施形態では、第２ベース部の回転軸から一の方向に沿ってオフセットした位置であって且つ被駆動部の回転軸から他の方向に沿ってオフセットした位置に、所定の基準点に対して点対称の位置関係にある第１コイル部の中心及び第２コイル部の中心が位置している。このため、本実施形態では、後に図面を用いて詳述するように、一の方向に沿って第１コイル部を横切る磁界を付与するための磁界付与部と他の方向に沿って第１コイル部を横切る磁界を付与するための磁界付与部とが別個独立に配置されなくとも、被駆動部の２軸駆動が行われる。言い換えれば、本実施形態では、一の方向に沿って第１コイル部を横切る磁界を付与する磁界付与部及び他の方向に沿って第１コイル部を横切る磁界を付与する磁界付与部のいずれか一方を配置すれば、被駆動部の２軸駆動が行われる。同様に、本実施形態では、後に図面を用いて詳述するように、一の方向に沿って第２コイル部を横切る磁界を付与するための磁界付与部と他の方向に沿って第２コイル部を横切る磁界を付与するための磁界付与部とが別個独立に配置されなくとも、被駆動部の２軸駆動が行われる。言い換えれば、本実施形態では、一の方向に沿って第２コイル部を横切る磁界を付与する磁界付与部及び他の方向に沿って第２コイル部を横切る磁界を付与する磁界付与部のいずれか一方を配置すれば、被駆動部の２軸駆動が行われる。つまり、駆動装置の構成の簡略化が図られる。

　但し、本実施形態では、被駆動部が巻き線の外側に位置する第１コイル部及び第２コイル部に加えて、被駆動部が巻き線の内側に位置する他のコイル部を更に備えていてもよい。つまり、駆動装置が備える全てのコイル部の巻き線の外側に被駆動部が位置することが要求されているものではない。言い換えれば、駆動装置が備える全てのコイル部のうちの少なくとも２つのコイル部（例えば、被駆動部を間に挟み込むように配置される２つのコイル部）の巻き線の外側に被駆動部が位置していれば足りる。

　加えて、複数のコイル部が単一の巻き線によって構成されることがある。この場合であっても、配置位置や形状等によって単一の巻き線から構成される複数のコイル部の夫々を実質的に区別した上で、単一の巻き線から構成される複数のコイル部のうちの第１及び第２コイル部の巻き線の外側に被駆動部が位置する一方で、単一の巻き線から構成される複数のコイル部のうちの他のコイル部の巻き線の内側に被駆動部が位置していてもよい。

　＜２＞
　本実施形態の駆動装置の他の態様では、前記所定の基準点は、前記被駆動部の重心である。

　この態様によれば、第１コイル部の中心と第２コイル部の中心とは、被駆動部の重心に対して点対称となる位置関係を有している。その結果、上述した各種効果が好適に享受される。

　尚、ここでいう「重心」は、被駆動部の立体的な形状（言い換えれば、被駆動部の質量分布）を考慮しない重心（つまり、２次元的な重心）を意味していてもよい。この場合、典型的には、平面的な形状のみに着目した被駆動部の中心（但し、ここで言う「中心」は、文字通り被駆動部の真ん中に位置する点を意味する）は、被駆動部の重心と一致する。但し、「重心」は、被駆動部の立体的な形状を考慮した重心を意味していてもよい。この場合、被駆動部の形状や質量分布等によっては、平面的な形状のみに着目した被駆動部の中心は、被駆動部の重心と一致しないことがある。

　尚、上述した第１コイル部及び第２コイル部の重心についても、第１コイル部及び第２コイル部の立体的な形状（言い換えれば、質量分布）を考慮しない重心を意味していてもよい。但し、第１コイル部及び第２コイル部の重心は、第１コイル部及び第２コイル部の立体的な形状（言い換えれば、質量分布）を考慮した重心を意味していてもよい。

　＜３＞
　本実施形態の駆動装置の他の態様では、前記所定の基準点は、前記第２弾性部によって規定される前記一の方向に沿った前記被駆動部の回転軸上に位置し且つ前記被駆動部の重心に最も近接する点である。

　この態様によれば、第１コイル部の中心と第２コイル部の中心とは、主として第２弾性部によって規定される一の方向に沿った被駆動部の回転軸上に位置し且つ被駆動部の重心に最も近接する点に対して点対称となる位置関係を有している。その結果、上述した各種効果が好適に享受される。

　尚、所定の基準点は、主として第２弾性部によって規定される一の方向に沿った被駆動部の回転軸上に位置する任意の点であってもよい。但し、所定の基準点は、主として第２弾性部によって規定される一の方向に沿った被駆動部の回転軸上に位置し且つ被駆動部の重心により近接している点であることが好ましい。

　或いは、所定の基準点は、主として第１弾性部によって規定される他の方向に沿った被駆動部の回転軸上に位置し且つ被駆動部の重心に最も近接する点であってもよい。或いは、所定の基準点は、主として第１弾性部によって規定される他の方向に沿った被駆動部の回転軸上に位置する任意の点であってもよい。或いは、所定の基準点は、主として第１弾性部によって規定される他の方向に沿った被駆動部の回転軸上に位置し且つ被駆動部の重心により近接している点であることが好ましい。

　＜４＞
　本実施形態の駆動装置の他の態様では、前記所定の基準点は、前記第２弾性部によって規定される前記一の方向に沿った前記被駆動部の回転軸上に位置し且つ前記被駆動部の重心に最も近接する点と前記被駆動部の重心とを結ぶ線上に位置する点である。

　この態様によれば、第１コイル部の中心と第２コイル部の中心とは、主として第２弾性部によって規定される一の方向に沿った被駆動部の回転軸上に位置し且つ被駆動部の重心に最も近接する点と被駆動部の重心とを結ぶ線上に位置する点に対して点対称となる位置関係を有している。その結果、上述した各種効果が好適に享受される。

　尚、所定の基準点は、主として第２弾性部によって規定される一の方向に沿った被駆動部の回転軸上に位置する任意の点と被駆動部の重心とを結ぶ線上に位置する点であってもよい。但し、所定の基準点は、主として第２弾性部によって規定される一の方向に沿った被駆動部の回転軸上に位置する任意の点と被駆動部の重心とを結ぶ線上に位置する点であって且つ被駆動部の重心とを結ぶ線上に位置する点により近接している点であることが好ましい。

　或いは、所定の基準点は、主として第１弾性部によって規定される他の方向に沿った被駆動部の回転軸上に位置し且つ被駆動部の重心に最も近接する点と被駆動部の重心とを結ぶ線上に位置する点であってもよい。或いは、所定の基準点は、主として第１弾性部によって規定される他の方向に沿った被駆動部の回転軸上に位置する任意の点と被駆動部の重心とを結ぶ線上に位置する点であって且つ被駆動部の重心とを結ぶ線上に位置する点により近接している点であってもよい。

　＜５＞
　本実施形態の駆動装置の他の態様では、前記所定の基準点は、前記第２弾性部によって規定される前記一の方向に沿った前記被駆動部の回転軸と前記第１弾性部によって規定される前記他の方向に沿った前記被駆動部の回転軸との交点である。

　この態様によれば、第１コイル部の中心と第２コイル部の中心とは、主として第２弾性部によって規定される一の方向に沿った被駆動部の回転軸と主として第１弾性部によって規定される他の方向に沿った被駆動部の回転軸との交点に対して点対称となる位置関係を有している。その結果、上述した各種効果が好適に享受される。

　＜６＞
　本実施形態の駆動装置の他の態様では、前記被駆動部を複数備えており、前記所定の基準点は、前記複数の被駆動部の重心である。

　この態様によれば、第１コイル部の中心と第２コイル部の中心とは、複数の被駆動部の重心に対して点対称となる位置関係を有している。その結果、上述した各種効果が好適に享受される。

　尚、ここでいう「重心」は、複数の被駆動部の夫々の立体的な形状（言い換えれば、複数の被駆動部の夫々の質量分布）を考慮しない重心（つまり、２次元的な重心）を意味していてもよい。但し、「重心」は、複数の被駆動部の夫々の立体的な形状（言い換えれば、複数の被駆動部の夫々の質量分布）を考慮した重心を意味していてもよい。

　＜７＞
　本実施形態の駆動装置の他の態様では、前記磁界付与部は、前記第１コイル部及び前記第２コイル部の夫々の前記一の方向に沿って対向する２つの辺に前記磁界を付与し、前記磁界付与部は、(ii-1)前記第１コイル部及び前記第２コイル部の夫々の前記他の方向に沿って対向する２つの辺に前記磁界を付与しない、又は(ii-2)前記第１コイル部及び前記第２コイル部の夫々の前記他の方向に沿って対向する２つの辺には、前記第１コイル部及び前記第２コイル部の夫々の前記一の方向に沿って対向する２つの辺に付与される前記磁界の漏れ磁束が付与される。

　この態様によれば、磁界付与部は、第１コイル部の一の方向に沿って対向する２つの辺に対して積極的に磁界を付与すればよい。このため、一の方向に沿って第１コイル部を横切る磁界を付与する磁界付与部を配置する一方で他の方向に沿って第１コイル部を横切る磁界を付与する磁界付与部を配置しなくとも、被駆動部の２軸駆動が行われる。つまり、駆動装置の構成の簡略化が図られる。

　同様に、磁界付与部は、第２コイル部の一の方向に沿って対向する２つの辺に対して積極的に磁界を付与すればよい。このため、一の方向に沿って第２コイル部を横切る磁界を付与する磁界付与部を配置する一方で他の方向に沿って第２コイル部を横切る磁界を付与する磁界付与部を配置しなくとも、被駆動部の２軸駆動が行われる。つまり、駆動装置の構成の簡略化が図られる。

　或いは、本実施形態の駆動装置の他の態様では、前記磁界付与部は、前記第１コイル部及び前記第２コイル部の夫々の前記他の方向に沿って対向する２つの辺に前記磁界を付与し、前記磁界付与部は、(ii-1)前記第１コイル部及び前記第２コイル部の夫々の前記一の方向に沿って対向する２つの辺に前記磁界を付与しない、又は(ii-2)前記第１コイル部及び前記第２コイル部の夫々の前記一の方向に沿って対向する２つの辺には、前記第１コイル部及び前記第２コイル部の夫々の前記他の方向に沿って対向する２つの辺に付与される前記磁界の漏れ磁束が付与される。

　この態様によれば、磁界付与部は、第１コイル部の他の方向に沿って対向する２つの辺に対して積極的に磁界を付与すればよい。このため、他の方向に沿って第１コイル部を横切る磁界を付与する磁界付与部を配置する一方で一の方向に沿って第１コイル部を横切る磁界を付与する磁界付与部を配置しなくとも、被駆動部の２軸駆動が行われる。つまり、駆動装置の構成の簡略化が図られる。

　同様に、磁界付与部は、第２コイル部の他の方向に沿って対向する２つの辺に対して積極的に磁界を付与すればよい。このため、他の方向に沿って第２コイル部を横切る磁界を付与する磁界付与部を配置する一方で一の方向に沿って第２コイル部を横切る磁界を付与する磁界付与部を配置しなくとも、被駆動部の２軸駆動が行われる。つまり、駆動装置の構成の簡略化が図られる。

　＜８＞
　上述の如く第１コイル部及び第２コイル部の夫々の一の方向に沿って対向する２つの辺に磁界を付与する駆動装置の態様では、前記第１コイル部に供給される制御電流と前記磁界付与部が付与する磁界との電磁相互作用に起因して前記第１コイル部に発生するローレンツ力によって、前記第１コイル部は、前記他の方向に沿った軸を回転軸として回転し、前記第２コイル部に供給される制御電流と前記磁界付与部が付与する磁界との電磁相互作用に起因して前記第２コイル部に発生するローレンツ力によって、前記第２コイル部は、前記他の方向に沿った軸を回転軸として回転し、前記他の方向に沿った軸を回転軸とする前記第１コイル部及び前記第２コイル部の夫々の回転に起因して、前記第２ベース部は、前記他の方向に沿った軸を回転軸として回転し、前記他の方向に沿った軸を回転軸とする前記第１コイル部及び前記第２コイル部の夫々の回転に起因して、前記第２ベース部は、前記他の方向に沿って定常波状に変形振動し、前記第２ベース部の変形振動に起因して、前記被駆動部は、前記一の方向に沿った軸を回転軸として回転する。

　この態様によれば、第１コイル部及び第２コイル部の夫々と磁界付与部との間の電磁相互作用に起因した力によって、一の方向に沿った軸を回転軸として被駆動部が回転すると共に、他の方向に沿った軸を回転軸として第２ベース部が回転する。以下、一の方向に沿った軸を回転軸として被駆動部が回転する具体的な態様及び他の方向に沿った軸を回転軸として第２ベース部が回転する具体的な態様について説明を進める。

　第１コイル部及び第２コイル部の夫々には、他の方向に沿った軸を回転軸として第２ベース部を回転させるための制御電流が供給される。加えて、第１コイル部及び第２コイル部の夫々には、一の方向に沿った軸を回転軸として被駆動部を回転させるための制御電流が供給される。一方で、第１コイル部及び第２コイル部の夫々には、磁界付与部から磁界が付与される。このため、第１コイル部に供給される制御電流と磁界付与部が付与する磁界との電磁相互作用に起因して、第１コイル部には、ローレンツ力が発生する。同様に、第２コイル部に供給される制御電流と磁界付与部が付与する磁界との電磁相互作用に起因して、第２コイル部には、ローレンツ力が発生する。

　このローレンツ力によって、第１コイル部及び第２コイル部の夫々は、他の方向に沿った軸を回転軸として回転する（より具体的には、回転するように往復駆動する）。このような他の方向に沿った軸を回転軸とする第１コイル部の回転を実現するために、一の方向に沿って対向する第１コイル部の２つの辺に、異なる方向に作用するローレンツ力が同時に加わることが好ましい。例えば、ある一のタイミングで第１コイル部に加わるローレンツ力は、一の方向に沿って対向する第１コイル部の２つの辺のうちの一方の辺に上向きの力として作用する力であり且つ一の方向に沿って対向する第１コイル部の２つの辺のうちの他方の辺に下向きの力として作用する力であることが好ましい。更に、当該一のタイミングに相前後する他のタイミングで第１コイル部に加わるローレンツ力は、一の方向に沿って対向する第１コイル部の２つの辺のうちの一方の辺に下向きの力として作用する力であり且つ一の方向に沿って対向する第１コイル部の２つの辺のうちの他方の辺に上向きの力として作用する力であることが好ましい。同様に、他の方向に沿った軸を回転軸とする第２コイル部の回転を実現するために、一の方向に沿って対向する第２コイル部の２つの辺に、異なる方向に作用するローレンツ力が同時に加わることが好ましい。例えば、ある一のタイミングで第２コイル部に加わるローレンツ力は、一の方向に沿って対向する第２コイル部の２つの辺のうちの一方の辺に上向きの力として作用する力であり且つ一の方向に沿って対向する第２コイル部の２つの辺のうちの他方の辺に下向きの力として作用する力であることが好ましい。更に、当該一のタイミングに相前後する他のタイミングで第２コイル部に加わるローレンツ力は、一の方向に沿って対向する第２コイル部の２つの辺のうちの一方の辺に下向きの力として作用する力であり且つ一の方向に沿って対向する第２コイル部の２つの辺のうちの他方の辺に上向きの力として作用する力であることが好ましい。このようなローレンツ力が第１コイル部及び第２コイル部の夫々に発生することで、第１コイル部及び第２コイル部の夫々は、他の方向に沿った軸を回転軸として回転する。

　他の方向に沿った軸を回転軸とする第１コイル部及び第２コイル部の夫々の回転に伴って、第１コイル部及び第２コイル部の夫々が連結されている第２ベース部は、他の方向に沿った軸を回転軸として回転する。

　加えて、上述したように、本実施形態では、第２ベース部の回転軸から一の方向に沿ってオフセットした位置であって且つ被駆動部の回転軸から他の方向に沿ってオフセットした位置に、所定の基準点に対して点対称の位置関係にある第１コイル部の中心及び第２コイル部の中心が位置している。このため、後に図面を用いて詳細に説明するように、第１トーションバーによって規定される他の方向に沿った回転軸と、第１コイル部及び第２コイル部に発生するローレンツ力に起因した回転力の回転軸（いわば、当該回転力に対する仮想的な回転軸）と、第２ベース部、被駆動部並びに第１及び第２コイル部を含む構造体が回転する場合の仮想的な回転軸とのうちの少なくとも２つが、一の方向又は他の方向に沿ってずれることになる。このようなずれ（つまり、アンバランス）に起因して、第１コイル部に発生するローレンツ力は、第２ベース部を変形振動させるように作用する。つまり、他の方向に沿った軸を回転軸とする第１コイル部の回転に伴って、第１コイル部が連結されている第２ベース部は、他の方向に沿って定常波状に（つまり、定常波の波形状に）変形振動する。同様に、第２コイル部に発生するローレンツ力もまた、第２ベース部を変形振動させるように作用する。というのも、第１コイル部及び第２コイル部の夫々には、他の方向に沿った軸を回転軸として第２ベース部を回転させるための制御電流のみならず、一の方向に沿った軸を回転軸として被駆動部を回転させるための制御電流も供給されるからである。つまり、一の方向に沿った軸を回転軸として被駆動部を回転させるための制御電流に応じて、第２ベース部は、他の方向に沿って定常波状に（つまり、定常波の波形状に）変形振動する。つまり、第２ベース部は、そのある一部分が変形振動の腹となり且つその他の一部分が変形振動の節となるように、その外観を変形させる。このような第２ベース部の変形振動によって、他の方向に沿って腹及び節が現れる。第２ベース部の変形振動は、いわゆる定常波の波形に従って行われるため、その腹及び節の位置は実質的には固定されている。このとき、第２ベース部の変形振動は、共振となっていてもよい。また、第２ベース部が共振する共振周波数（つまり、ベース部の変形振動の周波数）は、被駆動部が回転する周波数（或いは、被駆動部の共振周波数）と同一となっていてもよい。

　このような第２ベース部の変形振動に起因して、被駆動部は、一の方向に沿った軸を回転軸として回転する。このとき、被駆動部は、被駆動部及び第２弾性部によって定まる被駆動部の共振周波数（より具体的には、被駆動部の慣性モーメント及び第２弾性部のねじりバネ定数によって定まる被駆動部の共振周波数）で共振するように、一の方向に沿った軸を回転軸として回転してもよい。

　＜９＞
　上述の如く第１コイル部及び第２コイル部の夫々の一の方向に沿って対向する２つの辺に磁界を付与する駆動装置の態様では、前記第１コイル部に供給される制御電流と前記磁界付与部が付与する磁界との電磁相互作用に起因して前記第１コイル部に発生するローレンツ力によって、前記第１コイル部は、前記他の方向に沿った軸を回転軸として回転し、前記第２コイル部に供給される制御電流と前記磁界付与部が付与する磁界との電磁相互作用に起因して前記第２コイル部に発生するローレンツ力によって、前記第２コイル部は、前記他の方向に沿った軸を回転軸として回転し、前記第１コイル部及び前記第２コイル部の回転に含まれる前記他の方向に沿った回転成分に起因して、前記第２ベース部は、前記他の方向に沿った軸を回転軸として回転し、前記第１コイル部及び前記第２コイル部の回転に含まれる前記一の方向に沿った回転成分に起因して、前記被駆動部は、前記一の方向に沿った軸を回転軸として回転する。

　この態様によれば、上述したように、第１コイル部及び第２コイル部の夫々に発生するローレンツ力によって、第１コイル部及び第２コイル部の夫々は、他の方向に沿った軸を回転軸として回転する（より具体的には、回転するように往復駆動する）。

　ここで、本実施形態では、第２ベース部の回転軸から一の方向に沿ってオフセットした位置であって且つ被駆動部の回転軸から他の方向に沿ってオフセットした位置に、所定の基準点に対して点対称の位置関係にある第１コイル部の中心及び第２コイル部の中心が位置している。このため、後に図面を用いて詳細に説明するように、第１コイル部及び第２コイル部に発生するローレンツ力に起因した回転力の回転軸（いわば、当該回転力に対する仮想的な回転軸）は、一の方向及び他の方向の双方に対して交わることになる。従って、第１コイル部及び第２コイル部に発生するローレンツ力は、他の方向に沿った軸を回転軸とする回転力の成分及び一の方向に沿った軸を回転軸とする回転力の成分を含んでいる。従って、第１コイル部及び第２コイル部の回転に含まれる他の方向に沿った軸を回転軸とする回転力の成分に起因して、第２ベース部は、他の方向に沿った軸を回転軸として回転する。同様に、第１コイル部及び第２コイル部の回転に含まれる一の方向に沿った軸を回転軸とする回転力の成分に起因して、被駆動部は、一の方向に沿った軸を回転軸として回転する。

　尚、第１コイル部及び第２コイル部の夫々の他の方向に沿って対向する２つの辺に磁界を付与する駆動装置の態様では、前記第１コイル部に供給される制御電流と前記磁界付与部が付与する磁界との電磁相互作用に起因して前記第１コイル部に発生するローレンツ力によって、前記第１コイル部は、前記一の方向に沿った軸を回転軸として回転し、前記第２コイル部に供給される制御電流と前記磁界付与部が付与する磁界との電磁相互作用に起因して前記第２コイル部に発生するローレンツ力によって、前記第２コイル部は、前記一の方向に沿った軸を回転軸として回転し、前記第１コイル部及び前記第２コイル部の回転に含まれる前記他の方向に沿った回転成分に起因して、前記第２ベース部は、前記他の方向に沿った軸を回転軸として回転し、前記第１コイル部及び前記第２コイル部の回転に含まれる前記一の方向に沿った回転成分に起因して、前記被駆動部は、前記一の方向に沿った軸を回転軸として回転する。

　本実施形態のこのような作用及び他の利得は次に説明する実施例から明らかにされる。

　以上説明したように、本実施形態の駆動装置によれば、（ｉ）第１コイル部及び第２コイル部の夫々の巻き線の外側に被駆動部が配置されており、（ｉｉ）第１コイル部は、第２ベース部の回転軸から一の方向に沿ってオフセットした位置であって且つ被駆動部の回転軸から他の方向に沿ってオフセットした位置に第１コイル部の中心が位置するように配置されており、（ｉｉｉ）第２コイル部は、第２ベース部の回転軸から一の方向に沿ってオフセットした位置であって且つ被駆動部の回転軸から他の方向に沿ってオフセットした位置に第２コイル部の中心が位置するように配置されており、（ｉｖ）ダイウ１コイル部の中心と第２コイル部の中心とは、所定の基準点に対して点対称となる位置関係を有している。従って、第１コイル部及び第２コイル部と磁界付与部とを用いて被駆動物を駆動する、相対的に小型な且つ簡略化された駆動装置が提供される。

　以下、図面を参照しながら、駆動装置の実施例について説明する。尚、以下では、駆動装置をＭＥＭＳスキャナに適用した例について説明する。

　（１）ＭＥＭＳスキャナの構成
　初めに、図１及び図２を参照して、本実施例に係るＭＥＭＳスキャナ１０１の構成について説明する。ここに、図１は、本実施例に係るＭＥＭＳスキャナ１０１の構成を概念的に示す平面図である。図２は、ミラー１３０とコイル１４０ａ及び１４０ｂとの間の位置関係を簡略的に示す平面図である。

　図１に示すように、本実施例に係るＭＥＭＳスキャナ１０１は、第１ベース１１０－１と、第１トーションバー１２０ａ－１と、第１トーションバー１２０ｂ－１と、第２ベース１１０－２と、第２トーションバー１２０ａ－２と、第２トーションバー１２０ｂ－２と、ミラー１３０と、コイル１４０ａと、コイル１４０ｂと、磁石１６１ａ及び１６２ａと、磁石１６１ｂ及び１６２ｂとを備えている。

　第１ベース１１０－１は、内部に空隙を備える枠形状を有している。つまり、第１ベース１１０－１は、図１中のＹ軸方向に延伸する２つの辺と図１中のＸ軸方向（つまり、Ｙ軸方向に直交する方向）に延伸する２つの辺とを有すると共に、Ｙ軸方向に延伸する２つの辺とＸ軸方向に延伸する２つの辺とによって取り囲まれた空隙を有する枠形状を有している。図１に示す例では、第１ベース１１０－１は、正方形の形状を有しているが、これに限定されることはなく、例えばその他の形状（例えば、長方形等の矩形の形状や円形の形状等）を有していてもよい。また、第１ベース１１０－１は、本実施例に係るＭＥＭＳスキャナ１０１の基礎となる構造体であって、不図示の基板ないしは支持部材に対して固定されている（言い換えれば、ＭＥＭＳスキャナ１０１という系の内部においては固定されている）ことが好ましい。或いは、第１ベース１１０－１は、不図示のサスペンション等によって吊り下げられていてもよい。

　尚、図１では、第１ベース１１０－１が枠形状を有している例を示しているが、その他の形状を有していてもよいことは言うまでもない。例えば、第１ベース１１０－１は、その一部の辺が開口となるコの字型形状を有していてもよい。或いは、例えば、第１ベース１１０－１は、内部に空隙を備える箱型形状を有していてもよい。つまり、第１ベース１１０－１は、Ｘ軸及びＹ軸によって規定される平面上に分布する２つの面と、Ｘ軸及び不図示のＺ軸（つまり、Ｘ軸及びＹ軸の双方に直交する軸）によって規定される平面上に分布する２つの面と、Ｙ軸及び不図示のＺ軸によって規定される平面上に分布する２つの面とを有すると共に、これらの６つの面によって取り囲まれた空隙を有する箱形状を有していてもよい。或いは、ミラー１３０が配置される態様に応じて適宜第１ベース１１０－１の形状を任意に代えてもよい。

　第１トーションバー１２０ａ－１及び１２０ｂ－１の夫々は、例えばシリコン、銅合金、鉄系合金、その他金属、樹脂等を材料とするバネ等のような弾性を有する部材である。第１トーションバー１２０ａ－１及び１２０ｂ－１の夫々は、図１中Ｘ軸方向に延伸するように配置される。言い換えれば、第１トーションバー１２０ａ－１及び１２０ｂ－１の夫々は、Ｘ軸方向に延伸する長手を有すると共にＹ軸方向に延伸する短手を有する形状を有している。但し、後述する共振周波数の設定状況に応じて、第１トーションバー１２０ａ－１及び１２０ｂ－１の夫々は、Ｘ軸方向に延伸する短手を有すると共にＹ軸方向に延伸する長手を有する形状を有していてもよい。第１トーションバー１２０ａ－１及び１２０ｂ－１の夫々の一方の端部は、第１ベース１１０－１に接続される。第１トーションバー１２０ａ－１及び１２０ｂ－１の夫々の他方の端部は、第２ベース１１０－２に接続される。つまり、第１トーションバー１２０ａ－１及び１２０ｂ－１は、間に第２ベース１１０－２を挟み込むように第２ベース１１０－２を吊り下げている。

　第２ベース１１０－２は、内部に空隙を備える枠形状を有している。つまり、第２ベース１１０－２は、図１中のＹ軸方向に延伸する２つの辺と図１中のＸ軸方向に延伸する２つの辺とを有すると共に、Ｙ軸方向に延伸する２つの辺とＸ軸方向に延伸する２つの辺とによって取り囲まれた空隙を有する枠形状を有している。図１に示す例では、第２ベース１１０－２は、正方形の形状を有しているが、これに限定されることはなく、例えばその他の形状（例えば、長方形等の矩形の形状や円形の形状等）を有していてもよい。

　また、第２ベース１１０－２は、第１ベース１１０－１の内部の空隙に、第１トーションバー１２０ａ－１及び１２０ｂ－１によって吊り下げられる又は支持されるように配置される。第２ベース１１０－２は、第１トーションバー１２０ａ－１及び１２０ｂ－１の弾性によって、Ｘ軸方向に沿った軸を回転軸として回転するように構成されている。

　尚、図１では、第２ベース１１０－２が枠形状を有している例を示しているが、その他の形状を有していてもよいことは言うまでもない。例えば、第２ベース１１０－２は、その一部の辺が開口となるコの字型形状を有していてもよい。或いは、例えば、第２ベース１１０－２は、内部に空隙を備える箱型形状を有していてもよい。つまり、第２ベース１１０－２は、Ｘ軸及びＹ軸によって規定される平面上に分布する２つの面と、Ｘ軸及び不図示のＺ軸（つまり、Ｘ軸及びＹ軸の双方に直交する軸）によって規定される平面上に分布する２つの面と、Ｙ軸及び不図示のＺ軸によって規定される平面上に分布する２つの面とを有すると共に、これらの６つの面によって取り囲まれた空隙を有する箱形状を有していてもよい。或いは、ミラー１３０が配置される態様に応じて適宜第２ベース１１０－２の形状を任意に代えてもよい。

　第２トーションバー１２０ａ－２及び１２０ｂ－２の夫々は、例えばシリコン、銅合金、鉄系合金、その他金属、樹脂等を材料とするバネ等のような弾性を有する部材である。第２トーションバー１２０ａ－２及び１２０ｂ－２の夫々は、図１中Ｙ軸方向に延伸するように配置される。言い換えれば、第２トーションバー１２０ａ－２及び１２０ｂ－２の夫々は、Ｙ軸方向に延伸する長手を有すると共にＸ軸方向に延伸する短手を有する形状を有している。但し、後述する共振周波数の設定状況に応じて、第２トーションバー１２０ａ－２及び１２０ｂ－２の夫々は、Ｙ軸方向に延伸する短手を有すると共にＸ軸方向に延伸する長手を有する形状を有していてもよい。第２トーションバー１２０ａ－２及び１２０ｂ－２の夫々の一方の端部は、第２ベース１１０－２に接続される。第２トーションバー１２０ａ－２及び１２０ｂ－２の夫々の他方の端部は、ミラー１３０に接続される。つまり、第２トーションバー１２０ａ－２及び１２０ｂ－２は、間にミラー１３０を挟み込むようにミラー１３０を吊り下げている。

　ミラー１３０は、第２ベース１１０－２の内部の空隙に、第２トーションバー１２０ａ－２及び１２０ｂ－２によって吊り下げられる又は支持されるように配置される。ミラー１３０は、第２トーションバー１２０ａ－２及び１２０ｂ－２の弾性によって、Ｙ軸方向に沿った軸を回転軸として回転するように構成されている。

　コイル１４０ａは、例えば相対的に導電率の高い材料（例えば、金や銅等）から構成される複数の巻き線である。本実施例では、コイル１４０ａは、矩形の形状を有している。特に、コイル１４０ａの４つの辺の夫々の長さが略同一である。つまり、本実施例では、コイル１４０ａは、正方形状の形状を有している。但し、コイル１４０ａは、任意の形状（例えば、長方形やひし形や平行四辺形や円形や楕円形やその他の任意のループ形状）を有していてもよい。尚、コイル１４０ａは、コイル１４０ａを支持するための支持部上に配置されていてもよい。或いは、コイル１４０ａは、第２ベース１１０－２上に配置されていてもよい。

　同様に、コイル１４０ｂは、例えば相対的に導電率の高い材料（例えば、金や銅等）から構成される複数の巻き線である。第２実施例では、コイル１４０ｂは、矩形の形状を有している。特に、コイル１４０ｂの４つの辺の夫々の長さが略同一である。つまり、本実施例では、コイル１４０ｂは、正方形状の形状を有している。但し、コイル１４０ｂは、任意の形状（例えば、長方形やひし形や平行四辺形や円形や楕円形やその他の任意のループ形状）を有していてもよい。尚、コイル１４０ｂは、コイル１４０ｂを支持するための支持部上に配置されていてもよい。或いは、コイル１４０ｂは、第２ベース１１０－２上に配置されていてもよい。

　コイル１４０ａ（言い換えれば、コイル１４０ａを支持する支持部）は、連結部材を介して第２ベース１１０－２に連結されている。特に、本実施例では、コイル１４０ａは、コイル１４０ａの中心と第２ベース１１０－２の回転軸（具体的には、Ｘ軸方向に沿った回転軸）とが、Ｙ軸方向に沿ってずれるように配置される。尚、図１は、コイル１４０ａの中心と第２ベース１１０－２の回転軸とが所定量ａだけずれている例を示している。加えて、コイル１４０ａは、コイル１４０ａの中心とミラー１３０の回転軸（具体的には、Ｙ軸方向に沿った回転軸）とが、Ｘ軸方向に沿ってずれるように配置される。尚、図１は、コイル１４０ａの中心とミラー１３０の回転軸とが所定量ｂだけずれている例を示している。

　このような態様でコイル１４０ａが配置される結果、ミラー１３０は、コイル１４０ａを構成する巻き線の外側に位置することになる。言い換えれば、ミラー１３０は、コイル１４０ａを構成する巻き線の内側に位置することはない。

　同様に、コイル１４０ｂ（言い換えれば、コイル１４０ｂを支持する支持部）は、連結部材を介して第２ベース１１０－２に連結されている。特に、本実施例では、コイル１４０ｂは、コイル１４０ｂの中心と第２ベース１１０－２の回転軸（具体的には、Ｘ軸方向に沿った回転軸）とが、Ｙ軸方向に沿ってずれるように配置される。尚、図１は、コイル１４０ｂの中心と第２ベース１１０－２の回転軸とが所定量ａだけずれている例を示している。加えて、コイル１４０ｂは、コイル１４０ｂの中心とミラー１３０の回転軸（具体的には、Ｙ軸方向に沿った回転軸）とが、Ｘ軸方向に沿ってずれるように配置される。尚、図１は、コイル１４０ｂの中心とミラー１３０の回転軸とが所定量ｂだけずれている例を示している。

　尚、本実施例では、コイル１４０ａの中心は、Ｘ軸方向に沿ったコイル１４０ａの回転軸とＹ軸方向に沿ったコイル１４０ａの回転軸との交点を意味するものとする。但し、コイル１４０ａの中心は、文字通り、巻き線の中心（つまり、巻き線の真ん中に位置する点）や、コイル１４０ａを構成する構造物の中心（つまり、構造物の真ん中に位置する点）や、コイル１４０ａを支持する支持部の中心（つまり、支持部の真ん中に位置する点）を意味していてもよい。同様に、コイル１４０ｂの中心は、Ｘ軸方向に沿ったコイル１４０ｂの回転軸とＹ軸方向に沿ったコイル１４０ｂの回転軸との交点である。但し、コイル１４０ｂの中心は、巻き線の中心や、コイル１４０ｂを構成する構造物の中心や、コイル１４０ｂを支持する支持部の中心を意味していてもよい。

　また、本実施例では、特段の説明がない場合は、コイル１４０ａの回転軸は、コイル１４０ａが連結している第２ベース１１０－２の回転を考慮しない、コイル１４０ａ単体の回転に関する回転軸を意味する。同様に、特段の説明がない場合は、コイル１４０ｂの回転軸は、コイル１４０ｂが連結している第２ベース１１０－２の回転を考慮しない、コイル１４０ｂ単体の回転に関する回転軸を意味する。従って、Ｘ軸方向に沿ったコイル１４０ａの回転軸及びＹ軸方向に沿ったコイル１４０ａの回転軸、並びに、Ｘ軸方向に沿ったコイル１４０ｂの回転軸及びＹ軸方向に沿ったコイル１４０ｂの回転軸は、夫々、図１に示すとおりになる。

　このような態様でコイル１４０ｂが配置される結果、ミラー１３０は、コイル１４０ｂを構成する巻き線の外側に位置することになる。言い換えれば、ミラー１３０は、コイル１４０ｂを構成する巻き線の内側に位置することはない。

　尚、上述した説明では、コイル１４０ａの中心と第２ベース１１０－２の回転軸及びミラー１３０の回転軸との位置関係について言及している。しかしながら、コイル１４０ａの中心以外のコイル１４０ａに関する点（例えば、巻き線に関する点や、コイル１４０ａを構成する構造物に関する点や、コイル１４０ａを支持する支持部に関する点）と第２ベース１１０－２の回転軸とがＹ軸方向に沿ってずれ、且つ、コイル１４０ａの中心以外のコイル１４０ａに関する点とミラー１３０の回転軸とがＸ軸方向に沿ってずれていてもよい。コイル１４０ａの中心以外のコイル１４０ａに関する点としては、例えば、コイル１４０ａの重心（例えば、巻き線の重心や、コイル１４０ａを構成する構造物の重心や、コイル１４０ａを支持する支持部の重心）が一例としてあげられる。或いは、コイル１４０ａの中心以外のコイル１４０ａに関する点としては、例えば、コイル１４０ａの回転軸（例えば、Ｘ軸方向に沿った回転軸又はＹ軸方向に沿った回転軸）上に位置する所定の点が他の一例としてあげられる。或いは、コイル１４０ａの中心以外のコイル１４０ａに関する点としては、例えば、コイルの回転軸上に位置し且つコイル１４０ａの重心に最も近接する点が他の一例としてあげられる。

　また、第２ベース１１０－２の回転軸を基準とするコイル１４０ａのオフセットの方向は、第２ベース１１０－２の回転軸を基準とするコイル１４０ｂのオフセットの方向と逆になることが好ましい。例えば、図１では、第２ベース１１０－２の回転軸を基準として相対的に左側に向かってコイル１４０ａがオフセットしている一方で、第２ベース１１０－２の回転軸を基準として相対的に右側に向かってコイル１４０ｂがオフセットしている。同様に、ミラー１３０の回転軸を基準とするコイル１４０ａのオフセットの方向は、ミラー１３０の回転軸を基準とするコイル１４０ｂのオフセットの方向と逆になることが好ましい。例えば、図１では、ミラー１３０の回転軸を基準として相対的に下側に向かってコイル１４０ａがオフセットしている一方で、ミラー１３０の回転軸を基準として相対的に上側に向かってコイル１４０ｂがオフセットしている。

　加えて、図２に示すように、コイル１４０ａ及びコイル１４０ｂは、コイル１４０ａの中心とコイル１４０ｂの中心とが、所定の基準点Ｐに対して点対称の位置関係を有するように配置される。ここに、所定の基準点Ｐは、ミラー１３０の特性（例えば、ミラー１３０の形状や、ミラー１３０の質量や、ミラー１３０の密度や、ミラー１３０の質量分布や、ミラー１３０の構造や、ミラー１３０の回転軸の位置等）に応じて設定されてもよい。或いは、所定の基準点Ｐは、ミラー１３０の配置位置に応じて設定されてもよい。

　尚、コイル１４０ａ及びコイル１４０ｂは、コイル１４０ｂの中心以外のコイル１４０ａに関する点とコイル１４０ｂの中心以外のコイル１４０ｂに関する点とが、所定の基準点Ｐに対して点対称の位置関係を有するように配置されてもよい。コイル１４０ｂの中心以外のコイル１４０ａに関する点及びコイル１４０ｂの中心以外のコイル１４０ｂに関する点の一例については、上述したとおりである。

　ここで、図３及び図４を参照しながら、コイル１４０ａ及び１４０ｂの配置の基準となる所定の基準点Ｐについて詳細に説明する。図３及び図４は、夫々、コイル１４０ａ及び１４０ｂの配置の基準となる所定の基準点Ｐの例を示す平面図である。

　図３（ａ）に示すように、所定の基準点Ｐは、ミラー１３０の立体的な形状（言い換えれば、ミラー１３０の質量分布）を考慮しない重心（つまり、２次元的な重心であり、ミラー１３０の平面的な形状に着目した場合の重心）Ｐ３１であってもよい。この場合、コイル１４０ａ及びコイル１４０ｂは、コイル１４０ａの中心とコイル１４０ｂの中心とが、ミラー１３０の重心Ｐ３１に対して点対称の位置関係を有するように配置される。

　或いは、図３（ｂ）に示すように、所定の基準点Ｐは、ミラー１３０の立体的な形状（言い換えれば、ミラー１３０の質量分布）を考慮した重心Ｐ３２であってもよい。この場合、コイル１４０ａ及びコイル１４０ｂは、コイル１４０ａの中心とコイル１４０ｂの中心とが、ミラー１３０の重心Ｐ３２に対して点対称の位置関係を有するように配置される。

　或いは、図３（ｃ）に示すように、所定の基準点Ｐは、Ｙ軸方向に沿ったミラー１３０の回転軸上に位置する任意の点Ｐ３３であってもよい。この場合、所定の基準点Ｐは、Ｙ軸方向に沿ったミラー１３０の回転軸上に位置し且つミラー１３０の重心Ｐ３１若しくは重心Ｐ３２により近接する任意の点Ｐ３３であることが好ましい。特に、所定の基準点Ｐは、Ｙ軸方向に沿ったミラー１３０の回転軸上に位置し且つミラー１３０の重心Ｐ３１若しくは重心Ｐ３２に最も近接する任意の点Ｐ３３であることがより一層好ましい。

　尚、Ｙ軸方向に沿ったミラー１３０の回転軸は、主として第２トーションバー１２０ａ－２及び１２０ｂ－２によって規定される。例えば、Ｙ軸方向に沿ったミラー１３０の回転軸は、第２トーションバー１２０ａ－２及び１２０ｂ－２上に位置することが多い。従って、第２トーションバー１２０ａ－２及び１２０ｂ－２の延伸方向上にミラー１３０の重心Ｐ３１（或いは、重心Ｐ３２）が位置している場合には、図３（ｃ）に示す点Ｐ３３は、ミラー１３０の重心Ｐ３１（或いは、重心Ｐ３２）と一致する可能性が高い。一方で、第２トーションバー１２０ａ－２及び１２０ｂ－２の延伸方向上にミラー１３０の重心Ｐ３１（或いは、重心Ｐ３２）が位置していない場合には、図３（ｃ）に示す点Ｐ３３は、ミラー１３０の重心Ｐ３１（或いは、重心Ｐ３２）と一致しない可能性が高い。

　或いは、図３（ｄ）に示すように、所定の基準点Ｐは、Ｘ軸方向に沿ったミラー１３０の回転軸上に位置する任意の点Ｐ３４であってもよい。この場合、所定の基準点Ｐは、Ｘ軸方向に沿ったミラー１３０の回転軸上に位置し且つミラー１３０の重心Ｐ３１若しくは重心Ｐ３２により近接する任意の点Ｐ３４であることが好ましい。特に、所定の基準点Ｐは、Ｘ軸方向に沿ったミラー１３０の回転軸上に位置し且つミラー１３０の重心Ｐ３１若しくは重心Ｐ３２に最も近接する任意の点Ｐ３４であることがより一層好ましい。

　尚、Ｘ軸方向に沿ったミラー１３０の回転軸は、主として第１トーションバー１２０ａ－１及び１２０ｂ－１によって規定される。例えば、Ｘ軸方向に沿ったミラー１３０の回転軸は、第１トーションバー１２０ａ－１及び１２０ｂ－１上に位置することが多い。従って、第１トーションバー１２０ａ－１及び１２０ｂ－１の延伸方向上にミラー１３０の重心Ｐ３１（或いは、重心Ｐ３２）が位置している場合には、図３（ｄ）に示す点Ｐ３４は、ミラー１３０の重心Ｐ３１（或いは、重心Ｐ３２）と一致する可能性が高い。一方で、第１トーションバー１２０ａ－１及び１２０ｂ－１の延伸方向上にミラー１３０の重心Ｐ３１（或いは、重心Ｐ３２）が位置していない場合には、図３（ｄ）に示す点Ｐ３３は、ミラー１３０の重心Ｐ３１（或いは、重心Ｐ３２）と一致しない可能性が高い。

　或いは、図３（ｅ）に示すように、所定の基準点Ｐは、Ｙ軸方向に沿ったミラー１３０の回転軸上に位置する任意の点Ｐ３３とミラー１３０の重心Ｐ３１（或いは、重心Ｐ３２）とを結ぶ線上の任意の点Ｐ３５であってもよい。例えば、所定の基準点Ｐは、Ｙ軸方向に沿ったミラー１３０の回転軸上に位置する任意の点Ｐ３３とミラー１３０の重心Ｐ３１（或いは、重心Ｐ３２）とを結ぶ線上の中点Ｐ３５であってもよい。

　或いは、図３（ｆ）に示すように、所定の基準点Ｐは、Ｘ軸方向に沿ったミラー１３０の回転軸上に位置する任意の点Ｐ３４とミラー１３０の重心Ｐ３１（或いは、重心Ｐ３２）とを結ぶ線上の任意の点Ｐ３６であってもよい。例えば、所定の基準点Ｐは、Ｘ軸方向に沿ったミラー１３０の回転軸上に位置する任意の点Ｐ３４とミラー１３０の重心Ｐ３１（或いは、重心Ｐ３２）とを結ぶ線上の中点Ｐ３６であってもよい。

　或いは、図３（ｇ）に示すように、所定の基準点Ｐは、Ｘ軸方向に沿ったミラー１３０の回転軸とＹ軸方向に沿ったミラー１３０の回転軸との交点Ｐ３７であってもよい。

　或いは、図４（ａ）及び図４（ｂ）に示すように、ＭＥＭＳスキャナ１０１が複数のミラー１３０を備えることがある。この場合には、所定の基準点Ｐは、複数のミラー１３０の重心（例えば、複数のミラー１３０を１つの構造体とみなした場合の、当該１つの構造体の重心）Ｐ３８であってもよい。

　尚、ここでいう「複数のミラー１３０の重心Ｐ３８」は、複数のミラー１３０の夫々の立体的な形状（言い換えれば、複数のミラー１３０の夫々の質量分布）を考慮しない重心（つまり、２次元的な重心であり、複数のミラー１３０の夫々の平面的な形状に着目した場合の重心）であってもよい。但し、「複数のミラー１３０の夫々の重心Ｐ３２」は、ミラー１３０の立体的な形状（言い換えれば、複数のミラー１３０の夫々の質量分布）を考慮した重心であってもよい。

　再び図１において、コイル１４０ａには、不図示の電源端子及び配線を介して、電源から、ミラー１３０及び第２ベース１１０－２を回転させるための制御電流が供給される。同様に、コイル１４０ｂには、不図示の電源端子及び配線を介して、電源から、ミラー１３０及び第２ベース１１０－２を回転させるための制御電流が供給される。制御電流は、典型的には、Ｙ軸方向に沿った軸を回転軸としてミラー１３０が回転する周波数と同一の又は同期した周波数の信号成分及びＸ軸方向に沿った軸を回転軸として第２ベース１１０－２が回転する周波数と同一の又は同期した周波数の信号成分の双方を含む交流電流である。尚、電源は、ＭＥＭＳスキャナ１０１自身が備えている電源であってもよいし、ＭＥＭＳスキャナ１０１の外部に用意される電源であってもよい。尚、以下の説明では、説明の便宜上、制御電流のうちＹ軸方向に沿った軸を回転軸としてミラー１３０を回転させるための電流成分を、“Ｙ軸駆動用制御電流”と称する。同様に、制御電流のうちＸ軸方向に沿った軸を回転軸として第２ベース１１０－２を回転させるための電流成分を、“Ｘ軸駆動用制御電流”と称する。

　磁石１６１ａ及び１６２ａは、磁石１６１ａと磁石１６２ａとがＹ軸方向に沿って配列するように配置される。特に、磁石１６１ａ及び１６２ａは、磁石１６１ａと磁石１６２ａとがＹ軸方向に沿ってコイル１４０ａを挟み込むように配置される。加えて、磁石１６１ａ及び１６２ａのいずれか一方が磁束の出射側になると共に、磁石１６１ａ及び１６２ａのいずれか他方が磁束の入射側になる。尚、以下では、磁石１６１ａが磁束の出射側になり且つ磁石１６２ａが磁束の入射側になる例を用いて説明を進める。

　磁石１６１ｂ及び１６２ｂは、磁石１６１ｂと磁石１６２ｂとがＹ軸方向に沿って配列するように配置される。特に、磁石１６１ｂ及び１６２ｂは、磁石１６１ｂと磁石１６２ｂとがＹ軸方向に沿ってコイル１４０ｂを挟み込むように配置される。加えて、磁石１６１ｂ及び１６２ｂのいずれか一方が磁束の出射側になると共に、磁石１６１ｂ及び１６２ｂのいずれか他方が磁束の入射側になる。尚、以下では、磁石１６１ｂが磁束の出射側になり且つ磁石１６２ｂが磁束の入射側になる例を用いて説明を進める。

　（２）ＭＥＭＳスキャナの動作
　続いて、図５から図１０を参照して、本実施例に係るＭＥＭＳスキャナ１０１の動作の態様（具体的には、ミラー１３０を回転させる動作の態様）について説明する。ここに、図５は、コイル１４０ａ及びコイル１４０ｂの夫々に対して時計周りに流れる制御電流が供給された場合に発生するローレンツ力を示す平面図及び断面図である。図６は、コイル１４０ａ及びコイル１４０ｂの夫々に対して半時計周りに流れる制御電流が供給された場合に発生するローレンツ力を示す平面図及び断面図である。図７は、Ｘ軸方向に沿った軸を回転軸として第２ベース１１０－２及びミラー１３０が回転する場合のＭＥＭＳスキャナ１０１の状態を示す断面図である。図８は、コイル１４０ａ及びコイル１４０ｂの夫々に対して半時計周りに流れる制御電流が供給された場合の各種回転軸の状態を概略的に示す平面図である。図９は、Ｙ軸方向に沿った軸を回転軸としてミラー１３０が回転する場合のＭＥＭＳスキャナ１０１の状態を示す断面図である。図１０は、Ｙ軸方向に沿った軸を回転軸としてミラー１３０が回転する場合のＭＥＭＳスキャナ１０１の状態を示す断面図である。

　本実施例に係るＭＥＭＳスキャナ１０１の動作時には、まず、コイル１４０ａ及び１４０ｂの夫々に制御電流が供給される。制御電流は、Ｘ軸方向に沿った軸を回転軸として第２ベース１１０－２を回転させるための電流成分（つまり、Ｘ軸駆動用制御電流）を含んでいる。本実施例では、第２ベース１１０－２は、任意の周波数（例えば、６０Ｈｚ）で、Ｘ軸方向に沿った軸を回転軸として回転する。従って、Ｘ軸駆動用制御電流は、Ｘ軸方向に沿った軸を回転軸とする第２ベース１１０－２の回転の周波数と同一の又は同期した周波数の信号成分を含む交流電流である。但し、第２ベース１１０－２は、第２ベース１１０－２を含む被懸架部（つまり、第２ベース部１１０－２、第２トーションバー１２０ａ―２及び１２０ｂ－２並びにミラー１３０を含む被懸架部）と第１トーションバー１２０ａ－１及び１２０ｂ－１によって定まる共振周波数（より具体的には、第２ベース１１０－２を含む被懸架部の慣性モーメントと第１トーションバー１２０ａ－１及び１２０ｂ－１のねじりバネ定数によって定まる共振周波数）で、Ｘ軸方向に沿った軸を回転軸として回転してもよい。

　一方で、コイル１４０ａには、磁石１６１ａ及び１６２ａから磁界が付与されている。尚、磁石１６１ａ及び１６２ａは、Ｙ軸方向に沿って対向するコイル１４０ａの２つの辺に対して、磁界を付与することが好ましい。この場合、磁石１６１ａ及び１６２ａは、Ｘ軸方向に沿って対向するコイル１４０ａの２つの辺に対しては、磁界を付与しなくともよい。或いは、或いは、磁石１６１ａ及び１６２ａは、Ｘ軸方向に沿って対向するコイル１４０ａの２つの辺に対して、Ｙ軸方向に沿って対向するコイル１４０ａの２つの辺に対して付与するべき磁界の漏れ磁束を付与してもよい。

　従って、コイル１４０ａには、コイル１４０ａに供給されているＸ軸駆動用制御電流とコイル１４０ａに付与されている磁界との間の電磁相互作用に起因したローレンツ力が発生することになる。

　同様に、コイル１４０ｂには、磁石１６１ｂ及び１６２ｂから磁界が付与されている。尚、磁石１６１ｂ及び１６２ｂは、Ｙ軸方向に沿って対向するコイル１４０ｂの２つの辺に対して、磁界を付与することが好ましい。この場合、磁石１６１ｂ及び１６２ｂは、Ｘ軸方向に沿って対向するコイル１４０ｂの２つの辺に対しては、磁界を付与しなくともよい。或いは、磁石１６１ｂ及び１６２ｂは、Ｘ軸方向に沿って対向するコイル１４０ｂの２つの辺に対して、Ｙ軸方向に沿って対向するコイル１４０ｂの２つの辺に対して付与するべき磁界の漏れ磁束を付与してもよい。

　従って、コイル１４０ｂには、コイル１４０ｂに供給されているＸ軸駆動用制御電流とコイル１４０ｂに付与されている磁界との間の電磁相互作用に起因したローレンツ力が発生することになる。

　ここで、図５（ａ）に示すように、図５（ａ）中の時計周りの方向に流れるＸ軸駆動用制御電流がコイル１４０ａ及び１４０ｂの夫々に供給されており、磁石１６２ａから磁石１６１ａに向かう磁界がコイル１４０ａに付与されており、磁石１６２ｂから磁石１６１ｂに向かう磁界がコイル１４０ｂの夫々に付与されている状況について説明する。この場合、図５（ａ）に示すＭＥＭＳスキャナ１０１を矢印Ｖの方向から観察した図面である図５（ｂ）に示すように、Ｙ軸方向に沿って対向するコイル１４０ａの２つの辺のうちの右側（つまり、図５（ａ）では上側）の辺には、図５（ｂ）における下側の方向に向かうローレンツ力が発生する。同様に、図５（ｂ）に示すように、Ｙ軸方向に沿って対向するコイル１４０ａの２つの辺のうちの左側（つまり、図５（ａ）では下側）の辺には、図５（ｂ）における上側の方向に向かうローレンツ力が発生する。つまり、Ｙ軸方向に沿って対向するコイル１４０ａの２つの辺には、相互に異なる方向のローレンツ力が発生する。加えて、図５（ｂ）に示すように、Ｙ軸方向に沿って対向するコイル１４０ｂの２つの辺のうちの右側（つまり、図５（ａ）では上側）の辺には、図５（ｂ）における下側の方向に向かうローレンツ力が発生する。同様に、図５（ｂ）に示すように、Ｙ軸方向に沿って対向するコイル１４０ｂの２つの辺のうちの左側（つまり、図５（ａ）では下側）の辺には、図５（ｂ）における上側の方向に向かうローレンツ力が発生する。つまり、Ｙ軸方向に沿って対向するコイル１４０ｂの２つの辺には、相互に異なる方向のローレンツ力が発生する。

　ここで、本実施例では、コイル１４０ａ及びコイル１４０ｂの夫々に供給されるＸ軸駆動用制御電流の大きさが同一であり且つコイル１４０ａ及びコイル１４０ｂの夫々に付与される磁界の大きさが同一であることが好ましい。この場合には、コイル１４０ａ及びコイル１４０ｂの夫々の各辺に発生するローレンツ力の大きさは等しい。しかしながら、ローレンツ力が発生する辺の位置（具体的には、主として第１トーションバー１２０ａ－１及び１２０ｂ－１によって規定される第２ベース１１０－２の回転軸を基準とする位置）の違いに起因して、図５（ｂ）に示すローレンツ力は、図５（ｂ）における時計周りの方向に向かって作用する偶力なる。その結果、第２ベース１１０－２は、図５（ｂ）における時計周りの方向に向かって回転する。

　一方で、Ｘ軸駆動用制御電流が交流電流であるため、図６（ａ）に示すように、図６（ａ）中の反時計周りの方向に流れるＸ軸駆動用制御電流がコイル１４０ａ及び１４０ｂの夫々に供給されており、磁石１６２ａから磁石１６１ａに向かうＸ軸駆動用磁界がコイル１４０ａに付与されており、磁石１６２ｂから磁石１６１ｂに向かうＸ軸駆動用磁界がコイル１４０ｂに付与される状況が、図５（ａ）に示す状況に続けて生ずる。この場合、図６（ａ）に示すＭＥＭＳスキャナ１０１を矢印ＶＩの方向から観察した図面である図６（ｂ）に示すように、Ｙ軸方向に沿って対向するコイル１４０ａの２つの辺のうちの右側（つまり、図６（ａ）では上側）の辺には、図６（ｂ）における上側の方向に向かうローレンツ力が発生する。同様に、図６（ｂ）に示すように、Ｙ軸方向に沿って対向するコイル１４０ａの２つの辺のうちの左側（つまり、図６（ａ）では下側）の長辺には、図６（ｂ）における下側の方向に向かうローレンツ力が発生する。つまり、Ｙ軸方向に沿って対向するコイル１４０ａの２つの辺には、相互に異なる方向のローレンツ力が発生する。加えて、図６（ｂ）に示すように、Ｙ軸方向に沿って対向するコイル１４０ｂの２つの辺のうちの右側（つまり、図６（ａ）では上側）の辺には、図６（ｂ）における上側の方向に向かうローレンツ力が発生する。同様に、図６（ｂ）に示すように、Ｙ軸方向に沿って対向するコイル１４０ｂの２つの辺のうちの左側（つまり、図６（ａ）では下側）の長辺には、図６（ｂ）における下側の方向に向かうローレンツ力が発生する。つまり、Ｙ軸方向に沿って対向するコイル１４０ｂの２つの辺には、相互に異なる方向のローレンツ力が発生する。

　この場合も、図５（ｂ）に示す状態と同様に、ローレンツ力が発生する辺の位置（具体的には、主として第１トーションバー１２０ａ－１及び１２０ｂ－１によって規定される第２ベース１１０－２の回転軸を基準とする位置）に起因して、図６（ｂ）に示すローレンツ力は、図６（ｂ）における反時計周りの方向に向かって作用する偶力となる。その結果、第２ベース１１０－２は、図６（ｂ）における時計周りの方向に向かって回転する。

　その結果、第２ベース１１０－２は、Ｘ軸方向に沿った軸を回転軸として回転する。ここで、第２ベース１１０－２は、第２トーションバー１２０ａ－２及び１２０ｂ－２を介してミラー１３０を支持している。このため、Ｘ軸方向に沿った軸を回転軸とする第２ベース１１０－２の回転に伴って、ミラー１３０もまたＸ軸方向に沿った軸を回転軸として回転することになる。

　ここで、Ｘ軸方向に沿った軸を回転軸とする第２ベース１１０－２の回転とＸ軸方向に沿った軸を回転軸とするミラー１３０の回転の関係について、図７を参照しながらより詳細に説明する。

　図７（ａ）に示すように、コイル１４０ａ及び１４０ｂの夫々にローレンツ力が発生していない初期状態では、第２ベース１１０－２もまた、Ｘ軸方向に沿った軸を回転軸として回転していない。このため、ミラー１３０もまた、Ｘ軸方向に沿った軸を回転軸として回転していない。

　その後、図７（ｂ）に示すように、コイル１４０ａ及び１４０ｂの夫々にローレンツ力に起因した半時計周りの偶力（図６（ｂ）に示す偶力）が発生すると、第２ベース１１０－２及びミラー１３０もまた、Ｘ軸方向に沿った軸を回転軸として図７（ｂ）における反時計回りの方向に沿って回転し始める。その結果、図７（ａ）から図７（ｃ）に時系列的に示すように、第２ベース１１０－２及びミラー１３０もまた、Ｘ軸方向に沿った軸を回転軸として、半時計周りの方向に回転する。一方で、コイル１４０ａ及び１４０ｂの夫々にローレンツ力に起因した時計周りの偶力（図５（ｂ）に示す偶力）が発生すると、第２ベース１１０－２及びミラー１３０もまた、Ｘ軸方向に沿った軸を回転軸として、図７（ｃ）における時計回りの方向に沿って回転し始める。その結果、図７（ｃ）から図７（ｇ）に時系列的に示すように、第２ベース１１０－２及びミラー１３０もまた、Ｘ軸方向に沿った軸を回転軸として、時計周りの方向に回転する。尚、図７（ｇ）に示す状態のコイル１４０ａ及び１４０ｂの夫々、第２ベース１１０－２並びにミラー１３０は、その後、図７（ｆ）に示す状態を経てから図７（ａ）に示す状態に遷移する。以降、コイル１４０ａ及び１４０ｂの夫々、第２ベース１１０－２並びにミラー１３０は、図７（ａ）から図７（ｇ）に示す時系列に従って回転する。

　他方で、制御電流は、Ｙ軸方向に沿った軸を回転軸としてミラー１３０を回転させるための電流成分（つまり、Ｙ軸駆動用制御電流）を含んでいる。本実施例では、ミラー１３０は、ミラー１３０と第２トーションバー１２０ａ－２及び１２０ｂ－２とによって定まる共振周波数（より具体的には、ミラー１３０の慣性モーメントと第２トーションバー１２０ａ－２及び１２０ｂ－２のねじりバネ定数によって定まる共振周波数）で共振するように、Ｙ軸方向に沿った軸を回転軸として回転する。従って、Ｙ軸駆動用制御電流は、ミラー１３０の共振周波数と同一の又は同期した周波数の信号成分を含む交流電流である。

　尚、厳密に言えば、第２トーションバー１２０ａ－２及び１２０ｂ－２を支持する第２ベース１１０－２の質量及び剛性並びに慣性モーメント（更には、第１ベース１１０－１の質量及び剛性並びに慣性モーメント等）も考慮した上で、ミラー１３０と第２トーションバー１２０ａ－２及び１２０ｂ－２によって定まる共振周波数が微修正されることが好ましい。但し、以下では、説明の簡略化のため、共振周波数の微修正については省略して説明を進める。従って、Ｙ軸駆動用制御電流は、ミラー１３０の共振周波数と同一の又は同期した周波数の信号成分を含む交流電流である。

　但し、ミラー１３０は、ミラー１３０と第２トーションバー１２０ａ－２及び１２０ｂ－２とによって定まる共振周波数とは異なる又は同期しない周波数で、Ｙ軸方向に沿った軸を回転軸として回転してもよい。この場合には、Ｙ軸駆動用制御電流は、Ｙ軸方向に沿った軸を回転軸としてミラー１３０が回転する周波数と同一の又は同期した周波数の信号成分を含む交流電流である。

　この場合、図５から図６において説明したように、コイル１４０ａ及びコイル１４０ｂの夫々のＹ軸方向に沿って対向する２つの辺には、異なる方向に作用するローレンツ力が発生する。従って、コイル１４０ａ及びコイル１４０ｂに発生するローレンツ力は、Ｘ軸方向に沿った軸を回転軸として回転する偶力となることはあっても、Ｙ軸方向に沿った軸を回転軸として回転する偶力となることはないとも考えられる。しかしながら、Ｙ軸駆動用制御電流の周波数がミラー１３０の共振周波数に近づくと、コイル１４０ａ及びコイル１４０ｂに発生するローレンツ力に起因して、ミラー１３０がＹ軸の方向に沿った軸を回転軸として回転することが、本願発明者等の実験によって確認されている。以下、コイル１４０ａ及びコイル１４０ｂに発生するローレンツ力に起因したミラー１３０の回転（特に、Ｙ軸方向に沿った軸を回転軸とする回転）について説明する。

　図８に示すように、Ｙ軸駆動用制御電流がコイル１４０ａ及びコイル１４０ｂの夫々に供給されると、コイル１４０ａ及びコイル１４０ｂの夫々のＹ軸方向に沿って対向する２つの辺には、異なる方向に作用するローレンツ力が発生する。尚、図８は、図５（ａ）及び図５（ｂ）に示すローレンツ力が発生する例を示している。ここで、本実施例では、コイル１４０ａ及び１４０ｂの夫々の中心が第２ベース１１０－２の回転軸及びミラー１３０からずれており且つコイル１４０ａの中心とコイル１４０ｂの中心とが所定の基準点Ｐに対して点対称の位置関係を有している。このため、図８に示すように、コイル１４０ａ及び１４０ｂに発生するローレンツ力に起因した偶力の回転軸は、主として第１トーションバー１２０ａ－１及び１２０ｂ－１によって規定されるＸ軸方向に沿った第２ベース１１０－２の回転軸（言い換えれば、Ｘ軸方向に沿ったミラー１３０の回転軸）からずれている。言い換えれば、コイル１４０ａ及び１４０ｂに発生するローレンツ力に起因した偶力の回転軸は、Ｘ軸方向に沿った第２ベース１１０－２の回転軸（言い換えれば、Ｘ軸方向に沿ったミラー１３０の回転軸）から傾いた状態にある。同様に、コイル１４０ａ及び１４０ｂに発生するローレンツ力に起因した偶力の回転軸は、主として第２トーションバー１２０ａ－２及び１２０ｂ－２によって規定されるＹ軸方向に沿ったミラー１３０の回転軸からずれている。言い換えれば、コイル１４０ａ及び１４０ｂに発生するローレンツ力に起因した偶力の回転軸は、主として第２トーションバー１２０ａ－２及び１２０ｂ－２によって規定されるＹ軸方向に沿ったミラー１３０の回転軸から傾いた状態にある。つまり、コイル１４０ａ及び１４０ｂに発生するローレンツ力に起因した偶力は、実質的には、Ｘ軸方向に沿った軸を回転軸とする偶力の成分（言い換えれば、回転力の成分）とＹ軸方向に沿った軸を回転軸とする偶力の成分とを含んでいる。その結果、ミラー１３０は、コイル１４０ａ及び１４０ｂに発生するローレンツ力に起因した偶力のうちのＹ軸方向に沿った軸を回転軸とする偶力の成分に起因して、Ｙ軸方向に沿った軸を回転軸として回転する。

　ここで、コイル１４０ａ及び１４０ｂに発生するローレンツ力に起因した偶力のうちのＹ軸方向に沿った軸を回転軸とする偶力の成分に起因した、Ｙ軸方向に沿った軸を回転軸とするミラー１３０の回転について、図８に示すＭＥＭＳスキャナ１０１を矢印ＶＩＩＩの方向から観察した図面である図９を参照しながらより詳細に説明する。

　図９（ａ）に示すように、コイル１４０ａ及び１４０ｂの夫々にローレンツ力が発生していない初期状態では、コイル１４０ａ及び１４０ｂに発生するローレンツ力に起因した偶力のうちのＹ軸方向に沿った軸を回転軸とする偶力の成分は存在しない。従って、ミラー１３０もまた、Ｙ軸方向に沿った軸を回転軸として回転していない。

　その後、図９（ｂ）に示すように、コイル１４０ａ及び１４０ｂの夫々にローレンツ力が発生すると、コイル１４０ａ及び１４０ｂに発生するローレンツ力に起因した偶力のうちのＹ軸方向に沿った軸を回転軸とする偶力の成分が発生する。その結果、ミラー１３０は、Ｙ軸方向に沿った軸を回転軸として図９（ａ）から図９（ｇ）に時系列的に示すように、Ｙ軸方向に沿った軸を回転軸として回転する。尚、図９（ｇ）に示す状態のミラー１３０は、その後、図９（ｆ）に示す状態を経てから図９（ａ）に示す状態に遷移する。以降、ミラー１３０は、図９（ａ）から図９（ｇ）に示す時系列に従って回転する。

　或いは、図８に示すように、コイル１４０ａ及び１４０ｂに発生するローレンツ力に起因した偶力の回転軸は、上述したＸ軸方向に沿った回転軸及びＹ軸方向に沿った回転軸からずれていることに加えて、ミラー１３０、第２ベース１１０－２並びにコイル１４０ａ及びコイル１４０ｂを１つの構造体と仮定した場合に当該構造体の回転軸からもずれている。このような回転軸のずれに起因したアンバランスによって、コイル１４０ａ及び１４０ｂに発生するローレンツ力が、第２ベース１１０－２に対して微振動として伝搬することになる。その結果、コイル１４０ａ及び１４０ｂの夫々が連結されている第２ベース１１０－２は、Ｘ軸方向に沿って定常波状に（つまり、定常波の波形状に）変形振動する。言い換えれば、第２ベース１１０－２は、Ｘ軸方向に沿って波打つように変形振動する。つまり、第２ベース１１０－２は、そのある一部分が変形振動の腹となり且つその他の一部分が変形振動の節となるように、その外観を変形させる。

　このような第２ベース１１０－２の変形振動に起因して、ミラー１３０は、Ｙ軸方向に沿った軸を回転軸として回転する。このとき、ミラー１３０は、ミラー１３０並びに第２トーションバー１２０ａ－２及び１２０ｂ－２に応じて定まる共振周波数（例えば、２０ｋＨｚ）で共振するように回転する。例えば、ミラー１３０のＹ軸方向に沿った軸回り慣性モーメントがＩであり且つ第２トーションバー１２０ａ－２及び１２０ｂ－２を１本のバネとみなした場合のねじりバネ定数がｋであるとすれば、ミラー１３０は、（１／（２π））×√（ｋ／Ｉ）にて特定される共振周波数（或いは、（１／（２π））×√（ｋ／Ｉ）のＮ倍若しくはＮ分の１倍（但し、Ｎは１以上の整数）の共振周波数）で共振するように、Ｙ軸方向に沿った軸を回転軸として回転する。

　尚、厳密に言えば、第２トーションバー１２０ａ－２及び１２０ｂ－２を支持する第２ベース１１０－２の質量及び剛性並びに慣性モーメント（更には、第１ベース１１０－１の質量及び剛性並びに慣性モーメント等）も考慮した上で、ミラー１３０と第２トーションバー１２０ａ－２及び１２０ｂ－２によって定まる共振周波数が微修正されることが好ましい。但し、以下では、説明の簡略化のため、共振周波数の微修正については省略して説明を進める。

　ここで、第２ベース１１０－２の変形振動に起因した、Ｙ軸方向に沿った軸を回転軸とするミラー１３０の回転について、図８に示すＭＥＭＳスキャナ１０１を矢印ＶＩＩＩの方向から観察した図面である図１０を参照しながらより詳細に説明する。

　図１０（ａ）に示すように、コイル１４０ａ及び１４０ｂの夫々にローレンツ力が発生していない初期状態では、Ｘ軸方向に沿って第２ベース１１０－２は変形振動していない。このため、ミラー１３０もまた、Ｙ軸方向に沿った軸を回転軸として回転していない。

　その後、図１０（ｂ）に示すように、コイル１４０ａ及び１４０ｂの夫々にローレンツ力が発生すると、第２ベース１１０－２は、Ｘ軸方向に沿って変形振動し始める。このとき、第２ベース１１０－２は、ミラー１３０のＹ軸方向に沿った回転軸に対応する箇所（つまり、ミラー１３０のＹ軸方向に沿った回転軸上に位置する箇所）が節となるように、Ｘ軸方向に沿って変形振動し始めることが好ましい。つまり、第２ベース１１０－２の変形振動によって、Ｘ軸方向に沿って腹及び節が現れる。尚、第２ベース１１０－２の変形振動は、いわゆる定常波の波形に従って行われるため、その腹及び節の位置は実質的には固定されている。このとき、第２ベース１１０－２の変形振動の周波数は、典型的には、上述したミラー１３０の共振周波数と同一になる。

　このような第２ベース１１０－２の変形振動を実現するために、第２ベース１１０－２の剛性が調整されてもよい。例えば、第２ベース１１０－２のうち節となる箇所の剛性が相対的に高くなると共に、第２ベース１１０－２のうち腹となる箇所の剛性が相対的に低くなっていてもよい。より具体的には、例えば、第２ベース１１０－２のうち節となる箇所にリブが形成されると共に第２ベース１１０－２のうち腹となる箇所にリブが形成されなくともよい。この場合、リブが形成されている第２ベース１１０－２の箇所は、剛性が相対的に高いがゆえに屈曲しにくい一方で、リブが形成されていない第２ベース１１０－２の箇所は、剛性が相対的に低いがゆえに屈曲しやすい。その結果、第２ベース１１０－２は、リブが形成されている箇所を節とし且つリブが形成されていない箇所を腹にして、Ｘ軸の方向に沿って波打つように変形振動する。

　その結果、図１０（ａ）から図１０（ｇ）に時系列的に示すように、コイル１４０ａ及び１４０ｂの夫々に発生するローレンツ力に起因して、第２ベース１１０－２は、定常波の如き外観を有するように変形振動する。つまり、第２ベース１１０－２は、ミラー１３０の回転軸に直交する方向（つまり、Ｘ軸方向）に沿って定常波が現れるような外観を有する。その結果、図１０（ａ）から図１０（ｇ）に時系列的に示すように、第２ベース１１０－２の変形振動に合わせて、ミラー１３０は、Ｙ軸方向に沿った軸を回転軸として回転する。

　尚、図１０（ａ）から図１０（ｇ）は、第２ベース１１０－２の変形振動の位相とミラー１３０の回転の位相とが同相となる例を示している。つまり、図１０（ａ）から図１０（ｇ）は、変形振動に伴う第２ベース１１０－２の仮想的な回転の方向とミラー１３０の回転の方向とが同一となる例を示している。しかしながら、第２ベース１１０－２の変形振動の位相とミラー１３０の回転の位相とが逆相となってもよい。つまり、変形振動に伴う第２ベース１１０－２の仮想的な回転の方向とミラー１３０の回転の方向とが逆になってもよい。

　以上説明したように、本実施例のＭＥＭＳスキャナ１０１は、Ｙ軸方向に沿った軸を回転軸としてミラー１３０を回転させることができる。加えて、本実施例のＭＥＭＳスキャナ１０１は、Ｘ軸方向に沿った軸を回転軸として第２ベース１１０－２を回転させることができる。このとき、第２トーションバー１２０ａ－２及び１２０ｂ－２を介してミラー１３０が第２ベース１１０－２に支持されていることを考慮すれば、Ｘ軸方向に沿った軸を回転軸とする第２ベース１１０－２の回転に伴って、ミラー１３０もまた、Ｘ軸方向に沿った軸を回転軸として回転することになる。従って、本実施例のＭＥＭＳスキャナ１０１は、Ｘ軸方向に沿った軸を回転軸としてミラー１３０を回転させることができる。つまり、本実施例のＭＥＭＳスキャナ１０１は、ミラー１３０の２軸駆動を行うことができる。

　加えて、第２実施例のＭＥＭＳスキャナ１０２では、ミラー１３０は、コイル１４０ａ及び１４０ｂの夫々の巻き線の外側に位置することになる。従って、コイル１４０ａ及び１４０ｂの夫々は、ミラー１３０を取り囲むように配置されなくともよい。その結果、第２実施例では、コイル１４０ａ及び１４０ｂの少なくとも一方がミラー１３０を取り囲むように配置される比較例のＭＥＭＳスキャナと比較して、コイル１４０ａ及び１４０ｂの夫々のサイズ（例えば、巻き線の径や巻き線の長さ等）を相対的に小さくすることができる。言い換えれば、本実施例では、ミラー１３０の大きさに関係なく、コイル１４０ａ及び１４０ｂの夫々のサイズを相対的に小さくすることができる。その結果、当該コイル１４０ａに対して磁界を付与するための磁石１６１ａ及び１６２ａのサイズもまた、相対的に小さくすることができる。同様に、当該コイル１４０ｂに対して磁界を付与するための磁石１６１ｂ及び１６２ｂのサイズもまた、相対的に小さくすることができる。このため、本実施例では、コイル１４０ａ及び１４０ｂの少なくとも一方がミラー１３０を取り囲むように配置される比較例のＭＥＭＳスキャナと比較して、ミラー１３０の大きさに関係なく、コイル１４０ａと磁石１６１ａ及び１６２ａとの間の磁気ギャップ並びにコイル１４０ｂと磁石１６１ｂ及び１６２ｂとの間の磁気ギャップを相対的に小さくすることができる。従って、本実施例では、コイル１４０ａ及び１４０ｂの少なくとも一方がミラー１３０を取り囲むように配置される比較例のＭＥＭＳスキャナと比較して、ＭＥＭＳスキャナ１０１の小型化が好適に実現される。

　加えて、本実施例では、コイル１４０ａ及び１４０ｂの夫々の中心が第２ベース１１０－２の回転軸及びミラー１３０からずれており且つコイル１４０ａの中心とコイル１４０ｂの中心とが所定の基準点Ｐに対して点対称の位置関係を有している。このため、本実施例のＭＥＭＳスキャナ１０１は、Ｙ軸方向に沿って対向するコイル１４０ａの２つの辺に磁界を付与するための磁石１６１ａ及び１６２ａ並びにＹ軸方向に沿って対向するコイル１４０ｂの２つの辺に磁界を付与するための磁石１６１ｂ及び１６２ｂを備えていれば足りる。言い換えれば、本実施例のＭＥＭＳスキャナ１０１は、Ｘ軸方向に沿って対向するコイル１４０ａの２つの辺に磁界を付与するための磁石及びＸ軸方向に沿って対向するコイル１４０ｂの２つの辺に磁界を付与するための磁石を備えていなくともよい。つまり、ＭＥＭＳスキャナ１０１の構成の簡略化（言い換えれば、小型化）が実現される。

　尚、上述した説明では、ＭＥＭＳスキャナ１０１が備える全てのコイル１４０ａとコイル１４０ｂの巻き線の外側にミラー１３０が配置されている。しかしながら、ＭＥＭＳスキャナ１０１がコイル１４０ａ及び１４０ｂとは異なる他のコイルミラーを備えている場合には、ミラー１３０は、コイル１４０ａ及び１４０ｂとは異なる他のコイルの巻き線の内側に位置していてもよい。もちろん、ミラー１３０は、コイル１４０ａ及び１４０ｂとは異なる他のコイルの巻き線の外側に位置していてもよい。

　また、上述した説明では、コイル１４０ａ及び１４０ｂが物理的に分離している。しかしながら、コイル１４０ａ及び１４０ｂは、同一の巻き線から構成されていてもよい。更には、コイル１４０ａ及び１４０ｂ並びに他のコイルは、同一の巻き線から構成されていてもよい。この場合、コイル１４０ａ及びコイル１４０並びに他のコイルは、その形状や配置位置等によって互いに区別可能であることが好ましい。コイル１４０ａ及びコイル１４０並びに他のコイルが互いに区別可能である限りは、上述した構成が適宜採用されてもよい。

　また、本発明は、請求の範囲及び明細書全体から読み取るこのできる発明の要旨又は思想に反しない範囲で適宜変更可能であり、そのような変更を伴う駆動装置もまた本発明の技術思想に含まれる。

　１０１　ＭＥＭＳスキャナ
　１１０－１　第１ベース
　１１０－２　第２ベース
　１２０ａ－１、１２０ｂ－１　第１トーションバー
　１２０ａ－２、１２０ｂ－２　第２トーションバー
　１３０　ミラー
　１４０ａ、１４０ｂ　コイル
　１６１ａ、１６１ｂ、１６２ａ、１６２ｂ　磁石

Claims

　第１ベース部と、
　第１ベース部によって支持される第２ベース部と、
　前記第１ベース部と前記第２ベース部とを接続し、且つ前記第２ベース部を他の方向に沿った軸を回転軸として回転させるような弾性を有する第１弾性部と、
　回転可能な被駆動部と、
　前記第２ベース部と前記被駆動部とを接続し、且つ前記被駆動部を前記他の方向とは異なる一の方向に沿った軸を回転軸として回転させるような弾性を有する第２弾性部と、
　前記第２ベース部と連結するように配置される第１コイル部であって、且つ当該第１コイル部の巻き線の外側に前記被駆動部が配置される第１コイル部と、
　前記第２ベース部と連結するように配置される第２コイル部であって、且つ当該第２コイル部の巻き線の外側に前記被駆動部が配置される第２コイル部と、
　前記第１コイル部及び前記第２コイル部に対して磁界を付与する磁界付与部と
　を備え、
　前記第１コイル部は、前記第２ベース部の回転軸から前記一の方向に沿ってオフセットした位置に前記第１コイル部の中心が位置し且つ前記被駆動部の回転軸から前記他の方向に沿ってオフセットした位置に前記第１コイル部の中心が位置するように、配置されており、
　前記第２コイル部は、前記第２ベース部の回転軸から前記一の方向に沿ってオフセットした位置に前記第２コイル部の中心が位置し且つ前記被駆動部の回転軸から前記他の方向に沿ってオフセットした位置に前記第２コイル部の中心が位置するように、配置されており、
　前記第１コイル部及び前記第２コイル部は、前記被駆動部の特性及び前記被駆動部の配置位置のうちの少なくとも一方に応じて定まる所定の基準点に対して前記第１コイル部の中心と前記第２コイル部の中心とが点対称となるように配置され、
　前記磁界付与部は、前記第１コイル部及び第２コイル部の夫々の前記一の方向又は前記他の方向に沿って対向する２つの辺に前記磁界を付与することを特徴とする駆動装置。
　前記所定の基準点は、前記被駆動部の中心又は重心であることを特徴とする請求項１に記載の駆動装置。
　前記所定の基準点は、前記第２弾性部によって規定される前記一の方向に沿った前記被駆動部の回転軸上に位置し且つ前記被駆動部の重心に最も近接する点であることを特徴とする請求項１に記載の駆動装置。
　前記所定の基準点は、前記第２弾性部によって規定される前記一の方向に沿った前記被駆動部の回転軸上に位置し且つ前記被駆動部の重心に最も近接する点と前記被駆動部の重心とを結ぶ線上に位置する点であることを特徴とする請求項１に記載の駆動装置。
　前記所定の基準点は、前記第２弾性部によって規定される前記一の方向に沿った前記被駆動部の回転軸と前記第１弾性部によって規定される前記他の方向に沿った前記被駆動部の回転軸との交点であることを特徴とする請求項１に記載の駆動装置。
　前記被駆動部を複数備えており、
　前記所定の基準点は、前記複数の被駆動部の重心であることを特徴とする請求項１に記載の駆動装置。
　前記磁界付与部は、前記第１コイル部及び前記第２コイル部の夫々の前記一の方向に沿って対向する２つの辺に前記磁界を付与し、
　前記磁界付与部は、(ii-1)前記第１コイル部及び前記第２コイル部の夫々の前記他の方向に沿って対向する２つの辺に前記磁界を付与しない、又は(ii-2)前記第１コイル部及び前記第２コイル部の夫々の前記他の方向に沿って対向する２つの辺には、前記第１コイル部及び前記第２コイル部の夫々の前記一の方向に沿って対向する２つの辺に付与される前記磁界の漏れ磁束が付与されることを特徴とする請求項１に記載の駆動装置。
　前記第１コイル部に供給される制御電流と前記磁界付与部が付与する磁界との電磁相互作用に起因して前記第１コイル部に発生するローレンツ力によって、前記第１コイル部は、前記他の方向に沿った軸を回転軸として回転し、
　前記第２コイル部に供給される制御電流と前記磁界付与部が付与する磁界との電磁相互作用に起因して前記第２コイル部に発生するローレンツ力によって、前記第２コイル部は、前記他の方向に沿った軸を回転軸として回転し、
　前記他の方向に沿った軸を回転軸とする前記第１コイル部及び前記第２コイル部の夫々の回転に起因して、前記第２ベース部は、前記他の方向に沿った軸を回転軸として回転し、
　前記他の方向に沿った軸を回転軸とする前記第１コイル部及び前記第２コイル部の夫々の回転に起因して、前記第２ベース部は、前記他の方向に沿って定常波状に変形振動し、
　前記第２ベース部の変形振動に起因して、前記被駆動部は、前記一の方向に沿った軸を回転軸として回転することを特徴とする請求項７に記載の駆動装置。
　前記第１コイル部に供給される制御電流と前記磁界付与部が付与する磁界との電磁相互作用に起因して前記第１コイル部に発生するローレンツ力によって、前記第１コイル部は、前記他の方向に沿った軸を回転軸として回転し、
　前記第２コイル部に供給される制御電流と前記磁界付与部が付与する磁界との電磁相互作用に起因して前記第２コイル部に発生するローレンツ力によって、前記第２コイル部は、前記他の方向に沿った軸を回転軸として回転し、
　前記第１コイル部及び前記第２コイル部の回転に含まれる前記他の方向に沿った回転成分に起因して、前記第２ベース部は、前記他の方向に沿った軸を回転軸として回転し、
　前記第１コイル部及び前記第２コイル部の回転に含まれる前記一の方向に沿った回転成分に起因して、前記被駆動部は、前記一の方向に沿った軸を回転軸として回転することを特徴とする請求項７に記載の駆動装置。