本実施形態の駆動装置によれば、第1ベース部と第2ベース部とが、弾性を有する第1弾性部(例えば、後述するトーションバー等)によって直接的に又は間接的に連結(言い換えれば、接続)されている。ここで、第1弾性部が弾性を有していることに起因して、第1弾性部の剛性は、第1ベース部及び第2ベース部の双方又は一方の剛性よりも低いことが好ましい。言い換えれば、第1弾性部は、第1ベース部及び第2ベース部の双方又は一方よりも相対的に変形しやすいことが好ましい。更に言い換えれば、第1弾性部が相対的に変形し易い一方で第1ベース部及び第2ベース部の双方又は一方は相対的に変形しにくいことが好ましい。
更に、本実施形態の駆動装置によれば、第2ベース部と第3ベース部とが、弾性を有する第2弾性部(例えば、後述するトーションバー等)によって直接的に又は間接的に連結(言い換えれば、接続)されている。ここで、第2弾性部が弾性を有していることに起因して、第2弾性部の剛性は、第2ベース部及び第3ベース部の双方又は一方の剛性よりも低いことが好ましい。言い換えれば、第2弾性部は、第2ベース部及び第3ベース部の双方又は一方よりも相対的に変形しやすいことが好ましい。更に言い換えれば、第2弾性部が相対的に変形し易い一方で第2ベース部及び第3ベース部の双方又は一方は相対的に変形しにくいことが好ましい。
第1ベース部は、第1被駆動部を支持している。このとき、第1ベース部は、第1被駆動部が駆動可能(例えば、回転可能又は移動可能)となるように第1被駆動部を支持している。例えば、第1ベース部と第1被駆動部とが弾性を有する弾性部によって連結されることで、第1ベース部は、駆動可能な態様で第1被駆動部を支持していてもよい。
第3ベース部は、第2被駆動部を支持している。このとき、第3ベース部は、第2被駆動部が駆動可能(例えば、回転可能又は移動可能)となるように第2被駆動部を支持している。例えば、第3ベース部と第2被駆動部とが弾性を有する弾性部によって連結されることで、第3ベース部は、駆動可能な態様で第2被駆動部を支持していてもよい。
このような構成を有する本実施形態の駆動装置は、第1被駆動部及び第2被駆動部の夫々を好適に駆動させる(例えば、回転させる又は移動させる)ことができる。つまり、このような構成を有する本実施形態の駆動装置によれば、第1被駆動部及び第2被駆動部の夫々は好適に駆動する(例えば、回転する又は移動する)ことができる。具体的には、例えば、第2ベース部が動くと、第1弾性部を介して第2ベース部に連結されている第1ベース部もまた、当該第2ベース部の動きに伴って動くことになる。第1ベース部が動くと、第1ベース部によって支持されている第1被駆動部もまた、当該第1ベース部の動きに伴って動くことになる。同様に、第2ベース部が動くと、第2弾性部を介して第2ベース部に連結されている第3ベース部もまた、当該第2ベース部の動きに伴って動くことになる。第3ベース部が動くと、第3ベース部によって支持されている第2被駆動部もまた、当該第3ベース部の動きに伴って動くことになる。その結果、第1被駆動部及び第2被駆動部の夫々は好適に駆動することができる。
尚、第1被駆動部を好適に駆動させるという点から言えば、第1ベース部と第2ベース部とは、第1弾性部以外の構造体(例えば、弾性を有していない又は第1ベース部及び第2ベース部よりも変形し易いという性質を有していない構造体)によって連結されていてもよい。同様に、第2ベース部と第3ベース部とは、第2弾性部以外の構造体(例えば、弾性を有していない又は第2ベース部及び第3ベース部よりも変形し易いという性質を有していない構造体)によって連結されていてもよい。この場合であっても、第2ベース部の動きに伴って第1被駆動部及び第2被駆動部の夫々は駆動することができる。
この態様によれば、第2ベース部に印加される駆動力に起因して、第2ベース部は動く。第2ベース部が動くと、第2ベース部に連結されている第1ベース部及び第3ベース部もまた動くことになる。第1ベース部及び第3ベース部が動くと、第1被駆動部及び第2被駆動部もまた動くことになる。このように、第1被駆動部及び第2被駆動部は、第2ベース部に印加される駆動力(つまり、第2ベース部から第1弾性部又は第2弾性部を介して実質的に伝達される駆動力)によって好適に駆動することができる。
この態様によれば、第2ベース部に印加される駆動力に起因して、第2ベース部は、第1回転方向に向かって回転する(つまり、動く)。第2ベース部が回転すると、後に図面を用いて詳細に説明するように、第2ベース部に連結されている第1ベース部及び第3ベース部も回転する(つまり、動く)。このとき、第1ベース部と第2ベース部とが弾性を有する第1弾性部によって連結されていることに起因して、第1ベース部の回転方向は、第2ベース部の回転方向である第1回転方向とは逆向きの第2回転方向となる。同様に、第3ベース部と第2ベース部とが弾性を有する第2弾性部によって連結されていることに起因して、第3ベース部の回転方向は、第2ベース部の回転方向である第1回転方向とは逆向きの第2回転方向となる。第1ベース部及び第3ベース部が第2回転方向に向かって回転すると、第1被駆動部及び第2被駆動部もまた、第2回転方向に向かって回転する(つまり、動く)。このように、第1被駆動部及び第3被駆動部は、第2ベース部に印加される駆動力(つまり、第2ベース部から第1弾性部又は第2弾性部を介して実質的に伝達される駆動力)によって好適に回転するように駆動することができる。
尚、このような第1被駆動部と第2被駆動部との同一の又は同期した駆動態様は、駆動装置の構造(例えば、構造の工夫)によって実現されてもよい。つまり、駆動装置は、前記第1被駆動部及び前記第2被駆動部が同一の又は同期した駆動態様で駆動可能な構造を有していてもよい。第1被駆動部と第2被駆動部との同一の又は同期した駆動態様は、第1被駆動部及び第2被駆動部を駆動させるための駆動力(例えば、駆動力の印加の態様の工夫)によって実現されてもよい。つまり、駆動装置は、前記第1被駆動部及び前記第2被駆動部が同一の又は同期した駆動態様で駆動させるための駆動力を印加する印加部を備えていてもよい。
第1被駆動部と第2被駆動部との同一の又は同期した駆動態様を駆動装置の構造によって実現する場合には、例えば、前記第1ベース部、前記第2ベース部及び前記第3ベース部は、第1方向(例えば、第1ベース部、第2ベース部及び第3ベース部が配置される仮想的な平面に沿った方向であり、静止している第1被駆動部及び第2被駆動部の表面に沿った方向)に沿って前記第1ベース部及び前記第3ベース部が前記第2ベース部を挟み込むように配置されていてもよい。この場合、前記第1弾性部は、前記第1ベース部と前記第2ベース部とが前記第1方向に沿って並ぶように前記第1ベース部と前記第2ベース部と連結し、前記第2弾性部は、前記第2ベース部と前記第3ベース部とが前記第1方向に沿って並ぶように前記第2ベース部と前記第3ベース部と連結してもよい。更に、この場合、前記第1被駆動部は、前記第1方向に交わる(好ましくは、直交する)第2方向に沿って延びる第3弾性部を介して前記第1ベース部に連結されており、前記第2被駆動部は、前記第2方向に沿って延びる第4弾性部を介して前記第3ベース部に連結されていてもよい。更に、前記第1ベース部、前記第2ベース部及び前記第3ベース部は、前記第2ベース部を中心として前記第1ベース部及び前記第3ベース部が対称な位置に配置されるように配置されていてもよい。
以上説明したように、本実施形態の駆動装置によれば、第1ベース部と、第2ベース部と、第3ベース部と、第1弾性部と、第2弾性部と、第1被駆動部と、第2被駆動部とを備える。従って、駆動装置は、新たな態様で複数の被駆動部を駆動させることができる。
以下、図面を参照しながら、本発明の駆動装置の実施例について説明する。尚、以下では、本発明の駆動装置をMEMSスキャナに適用した例について説明する。但し、本発明の駆動装置をMEMSスキャナ以外の任意の駆動装置に適用してもよいことは言うまでもない。
(1)基本構成
初めに、図1を参照して、本実施例のMEMSスキャナ1の基本構成について説明する。図1は、本実施例のMEMSスキャナ1の基本構成を概念的に示す平面図及び側面図である。
図1に示すように、本実施例のMEMSスキャナ1は、「第1ベース部」の一具体例である第1フレーム111と、「第2ベース部」の一具体例である第2フレーム112と、「第3ベース部」の一具体例である第3フレーム113と、X軸駆動用トーションバー121a及び121bと、「第1弾性部」の一具体例である第1連結用トーションバー122と、第1配線用トーションバー123と、「第2弾性部」の一具体例である第2連結用トーションバー124と、第2配線用トーションバー125と、第1Y軸駆動用トーションバー126a及び126bと、第2Y軸駆動用トーションバー127a及び127bと、第1ミラー131と、第2ミラー132と、駆動源部140とを備えている。
第1フレーム111は、内部に空隙を備える枠形状を有している。つまり、第1フレーム111は、図1中のY軸方向に延伸する2つの辺と図1中のX軸方向(つまり、Y軸に直交する軸方向)に延伸する2つの辺とを有すると共に、Y軸方向に延伸する2つの辺とX軸方向に延伸する2つの辺とによって取り囲まれた空隙を有する枠形状(つまり、XY平面上に配置される枠形状)を有している。図1に示す例では、第1フレーム111は、矩形の形状(但し、その形状のうちの一部は、第1フレーム111の空隙に配置される第1ミラー131の外縁に合わせて湾曲した形状となる)を有している。しかしながら、第1フレーム111は、その他の形状(例えば、円形の形状等)を有していてもよい。
第2フレーム112もまた、第1フレーム111と同様に、内部に空隙を備える枠形状を有している。図1に示す例では、第2フレーム112は、矩形の形状を有している。しかしながら、第2フレーム112もまた、第1フレーム111と同様に、その他の形状を有していてもよい。
第3フレーム113もまた、第1フレーム111と同様に、内部に空隙を備える枠形状を有している。図1に示す例では、第3フレーム113は、矩形の形状(但し、その形状のうちの一部は、第3フレーム113の空隙に配置される第2ミラー132の外縁に合わせて湾曲した形状となる)を有している。しかしながら、第3フレーム113もまた、第1フレーム111と同様に、その他の形状を有していてもよい。
第1フレーム111、第2フレーム112及び第3フレーム113は、第1フレーム111、第2フレーム112及び第3フレーム113の夫々の枠形状に沿ったXY平面上でこの順に並ぶように配置されている。より具体的には、第1フレーム111、第2フレーム112及び第3フレーム113は、第1フレーム111、第2フレーム112及び第3フレーム113がX軸に沿ってこの順に並ぶように配置されている。但し、第1フレーム111、第2フレーム112及び第3フレーム113は、その他の配置態様で配置されていてもよい。
第1フレーム111及び第3フレーム113は、第2フレーム112を基準として対称となる形状を有している。例えば、第1フレーム111及び第3フレーム113は、第2フレーム112の中心(例えば、第2フレーム112の空隙の中心)を基準として円対称となる形状を有していてもよい。例えば、第1フレーム111及び第3フレーム113は、第2フレーム112の中心を通るY軸に平行な線を基準として線対称となる形状を有していてもよい。但し、第1フレーム111及び第3フレーム113は、第2フレーム112を基準として対称とならない形状を有していてもよい。第1フレーム111及び第3フレーム113は、互いに異なる形状を有していてもよい。
第1フレーム111及び第3フレーム113は、第2フレーム112を基準として対称となる位置に配置されていてもよい。例えば、第1フレーム111及び第3フレーム113は、第2フレーム112の中心を基準として円対称となる位置に配置されていてもよい。例えば、第1フレーム111及び第3フレーム113は、第2フレーム112の中心を通るY軸に平行な線を基準として線対称となる位置に配置されていてもよい。但し、第1フレーム111及び第3フレーム113は、第2フレーム112を基準として対称とならない位置に配置されていてもよい。
X軸駆動用トーションバー121a及び121bの夫々は、例えばシリコン、銅合金、鉄系合金、その他金属、樹脂等を材料とするバネ等のような弾性を有する部材である。X軸駆動用トーションバー121a及び121bの夫々は、X軸に沿って延伸するように配置される。言い換えれば、X軸駆動用トーションバー121a及び121bの夫々は、X軸に沿って延伸する長手を有すると共にY軸に沿って延伸する短手を有する形状を有している。X軸駆動用トーションバー121aの一方の端部は、第1フレーム111の外側の辺に接続されている。X軸駆動用トーションバー121bの一方の端部は、第3フレーム113の外側の辺に接続されている。X軸駆動用トーションバー121a及び121bの夫々の他方の端部は、MEMSスキャナ1の基礎となる構造体(例えば、不図示の基板ないしは支持部材)に接続されている。つまり、第1フレーム111、第2フレーム112及び第3フレーム113を含む構造体は、X軸駆動用トーションバー121a及び121bによって吊り下げられる又は支持されるように配置される。その結果、後に詳述するように、第1フレーム111、第2フレーム112及び第3フレーム113を含む構造体は、X軸駆動用トーションバー121a及び121bの弾性によって、X軸を回転軸として回転する(言い換えれば、遥動する)ことができる。
尚、図1の下部に示すように、X軸駆動用トーションバー121a及び121bの夫々の厚さ(つまり、厚み方向の又はZ軸に沿ったサイズ)は、第1フレーム111、第2フレーム112及び第3フレーム113の夫々の厚さよりも小さい。その結果、X軸駆動用トーションバー121a及び121bの夫々は、弾性を有し易くなる。但し、X軸駆動用トーションバー121a及び121bの夫々の厚さは、第1フレーム111、第2フレーム112及び第3フレーム113の夫々の厚さよりも小さくなくてもよい。以下に説明する各種トーションバー(つまり、第1連結用トーションバー122、第1配線用トーションバー123、第2連結用トーションバー124、第2配線用トーションバー125、第1Y軸駆動用トーションバー126a及び126b並びに第2Y軸駆動用トーションバー127a及び127b)についても同様である。
第1連結用トーションバー122は、例えばシリコン、銅合金、鉄系合金、その他金属、樹脂等を材料とするバネ等のような弾性を有する部材である。第1連結用トーションバー122は、第1フレーム111と第2フレーム112とを連結する(言い換えれば、接続する)。特に、第1連結用トーションバー122は、第1フレーム111と第2フレーム112とがX軸に沿って並ぶように、第1フレーム111と第2フレーム112とを連結する。このため、第1連結用トーションバー122の少なくとも一部は、X軸に沿って延伸する形状を有していることが好ましい。
第1連結用トーションバー122の剛性は、第1連結用トーションバー122が弾性を有しているがゆえに、第1フレーム111及び第2フレーム112の夫々の剛性よりも小さくなることが好ましい。つまり、第1連結用トーションバー122は、第1フレーム111及び第2フレーム112の夫々よりも変形し易いことが好ましい。但し、第1連結用トーションバー122の剛性は、第1フレーム111及び第2フレーム112の夫々の剛性よりも小さくなくてもよい(例えば、同一又は大きくてもよい)。
尚、第1フレーム111及び第2フレーム112は、第1連結用トーションバー122を介して実質的に一体化された構造体であってもよい。この場合、当該一体化された構造体は、当該構造体を構成する各構造部分の剛性によって実質的に第1フレーム111及び第2フレーム112並びに第1連結用トーションバー122に区別されてもよい。例えば、当該構造体は、当該構造体のうち剛性が相対的に高い構造部分が第1フレーム111及び第2フレーム112に相当し且つ当該構造体のうち剛性が相対的に低い(つまり、弾性を有する)構造部分が第1連結用トーションバー122に相当すると区別されてもよい。
また、図1は、第1フレーム111と第2フレーム112とが2つの第1連結用トーションバー122によって連結されている例を示している。しかしながら、第1フレーム111と第2フレーム112とは、任意の数(例えば、1つ又は3つ以上)の第1連結用トーションバー122によって連結されていてもよい。
第1配線用トーションバー123は、例えばシリコン、銅合金、鉄系合金、その他金属、樹脂等を材料とするバネ等のような弾性を有する部材である。第1配線用トーションバー123は、後述するコイル141に対して駆動用電流を供給するための配線144が第1配線用トーションバー123上に形成されているという点で、配線144が形成されていない第1連結用トーションバー122とは異なる。第1配線用トーションバー123のその他の特徴は、第1連結用トーションバー122のその他の特徴と同一であってもよい。
尚、図1は、第1フレーム111と第2フレーム112とが2つの第1配線用トーションバー123によって連結されている例を示している。しかしながら、第1フレーム111と第2フレーム112とは、任意の数(例えば、1つ又は3つ以上)の第1配線用トーションバー123によって連結されていてもよい。
また、MEMSスキャナ1は、第1配線用トーションバー123を備えていなくてもよい。この場合、配線144は、第1連結用トーションバー122上に形成されていてもよい。
第2連結用トーションバー124は、例えばシリコン、銅合金、鉄系合金、その他金属、樹脂等を材料とするバネ等のような弾性を有する部材である。第2連結用トーションバー124は、第2フレーム112と第3フレーム113とを連結する(言い換えれば、接続する)。特に、第2連結用トーションバー124は、第2フレーム112と第3フレーム113とがX軸に沿って並ぶように、第2フレーム112と第3フレーム113とを連結する。このため、第2連結用トーションバー124の少なくとも一部は、X軸に沿って延伸する形状を有していることが好ましい。
第2連結用トーションバー124の剛性は、第2連結用トーションバー124が弾性を有しているがゆえに、第2フレーム112及び第3フレーム113の夫々の剛性よりも小さくなることが好ましい。つまり、第2連結用トーションバー124は、第2フレーム112及び第3フレーム113の夫々よりも変形し易いことが好ましい。但し、第2連結用トーションバー124の剛性は、第2フレーム112及び第3フレーム113の夫々の剛性よりも小さくなくてもよい(例えば、同一又は大きくてもよい)。
尚、第2フレーム111及び第3フレーム112は、第2連結用トーションバー124を介して実質的に一体化された構造体であってもよい。この場合、当該一体化された構造体は、当該構造体を構成する各構造部分の剛性によって実質的に第2フレーム112及び第3フレーム113並びに第2連結用トーションバー124に区別されてもよい。例えば、当該構造体は、当該構造体のうち剛性が相対的に高い構造部分が第2フレーム112及び第3フレーム113に相当し且つ当該構造体のうち剛性が相対的に低い(つまり、弾性を有する)構造部分が第2連結用トーションバー124に相当すると区別されてもよい。
また、図1は、第2フレーム112と第3フレーム113とが2つの第2連結用トーションバー124によって連結されている例を示している。しかしながら、第2フレーム112と第3フレーム113とは、任意の数(例えば、1つ又は3つ以上)の第2連結用トーションバー124によって連結されていてもよい。
第2配線用トーションバー125は、例えばシリコン、銅合金、鉄系合金、その他金属、樹脂等を材料とするバネ等のような弾性を有する部材である。第2配線用トーションバー125は、後述するコイル141に対して駆動用電流を供給するための配線144が第2配線用トーションバー125上に形成されているという点で、配線144が形成されていない第2連結用トーションバー124とは異なる。第2配線用トーションバー125のその他の特徴は、第2連結用トーションバー124のその他の特徴と同一であってもよい。
尚、図1は、第2フレーム112と第3フレーム113とが2つの第2配線用トーションバー125によって連結されている例を示している。しかしながら、第2フレーム112と第3フレーム113とは、任意の数(例えば、1つ又は3つ以上)の第2配線用トーションバー125によって連結されていてもよい。
また、MEMSスキャナ1は、第2配線用トーションバー125を備えていなくてもよい。この場合、配線144は、第2連結用トーションバー124上に形成されていてもよい。
第1Y軸駆動用トーションバー126a及び126bの夫々は、例えばシリコン、銅合金、鉄系合金、その他金属、樹脂等を材料とするバネ等のような弾性を有する部材である。第1Y軸駆動用トーションバー126a及び126bの夫々は、Y軸に沿って延伸するように配置される。言い換えれば、第1Y軸駆動用トーションバー126a及び126bの夫々は、Y軸に沿って延伸する長手を有すると共にX軸に沿って延伸する短手を有する形状を有している。第1Y軸駆動用トーションバー126a及び126bの夫々の一方の端部は、第1フレーム111の内側の辺に接続されている。第1Y軸駆動用トーションバー126a及び126bの夫々の他方の端部は、第1ミラー131の外側の辺に接続されている。つまり、第1ミラー131は、第1Y軸駆動用トーションバー126a及び126bによって吊り下げられる又は支持されるように配置される。その結果、後に詳述するように、第1ミラー131は、第1Y軸駆動用トーションバー126a及び126bの弾性によって、Y軸を回転軸として回転する(言い換えれば、遥動する)ことができる。
第2Y軸駆動用トーションバー127a及び127bの夫々は、例えばシリコン、銅合金、鉄系合金、その他金属、樹脂等を材料とするバネ等のような弾性を有する部材である。第2Y軸駆動用トーションバー127a及び127bの夫々は、Y軸に沿って延伸するように配置される。言い換えれば、第2Y軸駆動用トーションバー127a及び127bの夫々は、Y軸に沿って延伸する長手を有すると共にX軸に沿って延伸する短手を有する形状を有している。第2Y軸駆動用トーションバー127a及び127bの夫々の一方の端部は、第3フレーム113の内側の辺に接続されている。第2Y軸駆動用トーションバー127a及び127bの夫々の他方の端部は、第2ミラー132の外側の辺に接続されている。つまり、第2ミラー132は、第2Y軸駆動用トーションバー127a及び127bによって吊り下げられる又は支持されるように配置される。その結果、後に詳述するように、第2ミラー132は、第2Y軸駆動用トーションバー127a及び127bの弾性によって、Y軸を回転軸として回転する(言い換えれば、遥動する)ことができる。
第1ミラー131は、表面に反射膜が形成された円盤形状の部材である。但し、第1ミラー131は、円盤形状以外の任意の形状(例えば、平板形状)の部材であってもよい。第1ミラー131には、外部の光源から第1ミラー131に入射してくる光を反射する。このとき、上述したように第1ミラー131がY軸を回転軸として回転することができるがゆえに、第1ミラー131は、光を走査(つまり、スキャン)することができる。
第2ミラー132は、表面に反射膜が形成された円盤形状の部材である。但し、第2ミラー132は、円盤形状以外の任意の形状(例えば、平板形状)の部材であってもよい。第2ミラー132には、外部の光源から第2ミラー132に入射してくる光を反射する。このとき、上述したように第2ミラー132がY軸を回転軸として回転することができるがゆえに、第2ミラー132は、光を走査(つまり、スキャン)することができる。
尚、第1ミラー131に入射する光と、第2ミラー132に入射する光とは同一であってもよい。第1ミラー131に入射する光の光源と、第2ミラー132に入射する光の光源とは同一であってもよい。例えば、MEMSスキャナ1がディスプレイ(例えば、ヘッドアップディスプレイ)として用いられる場合には、第1ミラー131に入射する光が映し出す映像(或いは、画像、以下同じ)と、第2ミラー132に入射する光が映し出す映像とは同一であってもよい。この場合、第1ミラー131に入射する光及び第2ミラー132に入射する光の双方を同一のスクリーンに投影することで、単一のミラーを有するMEMSスキャナが映し出す映像と比較して、映し出される映像の輝度を増加させることができる。
或いは、第1ミラー131に入射する光と、第2ミラー132に入射する光とは異なっていてもよい。第1ミラー131に入射する光の光源と、第2ミラー132に入射する光の光源とは異なっていてもよい。例えば、MEMSスキャナ1がディスプレイ(例えば、ヘッドアップディスプレイ)として用いられる場合には、第1ミラー131に入射する光が映し出す映像と、第2ミラー132に入射する光が映し出す映像とは異なっていてもよい。この場合、本実施例のMEMSスキャナ1は、複数の異なる映像を同時に映し出すことができる。従って、本実施例のMEMSスキャナ1は、マルチモニタを実現するための手段の一つとして利用可能である。
駆動源部140は、第1ミラー131及び第2ミラー131の夫々をX軸及びY軸の夫々を回転軸として回転させるために必要な駆動力を第2フレーム112に対して加える。尚、駆動力を第2フレーム112に加えることができる限りは、駆動源部140は任意の位置に配置されていてもよい。
本実施例では、駆動源部140は、電磁力に起因した駆動力を第2フレーム112に印加する駆動源部である。このため、駆動源部140は、第2フレーム112の枠形状に沿って配置されるコイル141と、X軸に沿って第2フレーム112を挟み込むX軸駆動用磁極142a及び142bと、Y軸に沿って第2フレーム112を挟み込むY軸駆動用磁極143a及び143bと、コイル141に対して駆動用電流を供給するための配線144とを備えている。尚、駆動源部140の動作の詳細については後に詳述する。
但し、駆動源部140は、電磁力に起因した駆動力とは異なる任意の駆動力(例えば、圧電効果に起因した駆動力又は静電力に起因した駆動力)を印加する駆動源部であってもよい。更に、駆動源部140は、駆動力を第2フレーム112以外の構造体(例えば、第1フレーム111又は第3フレーム113)に印加する駆動源部であってもよい。
尚、図1に示したMEMSスキャナ1の構造はあくまで一例である。従って、トーションバーを介して互いに連結された少なくとも3つのフレームと当該少なくとも3つのフレームのうちの少なくとも2つのフレームに支持されている少なくとも2つのミラーを備えている限りは、MEMSスキャナ1の構造が適宜改変されてもよい。言い換えれば、相対的に剛性が低い(つまり、弾性を有する)構造部分を介して互いに連結された又は互いに一体化された相対的に剛性が高い少なくとも3つの構造部分を有する構造体において、相対的に剛性が高い少なくとも3つの構造部分のうちの少なくとも2つの構造部分が少なくとも2つのミラーを支持している限りは、MEMSスキャナ1の構造が適宜改変されてもよい。
(2)MEMSスキャナの動作
続いて、図2から図5を参照して、本実施例のMEMSスキャナ1の動作の態様(具体的には、第1ミラー131及び第2ミラー132の回転動作の態様)について説明する。尚、以下では、X軸を回転軸とする第1ミラー131及び第2ミラー132の回転動作、並びに、Y軸を回転軸とする第1ミラー131及び第2ミラー132の回転動作の夫々について順に説明する。
(2−1)X軸を回転軸とする第1ミラー131及び第2ミラー132の回転動作
初めに、図2及び図3を参照して、X軸を回転軸とする第1ミラー131及び第2ミラー132の回転動作の態様について説明する。図2及び図3は、夫々、X軸を回転軸とする第1ミラー131及び第2ミラー132の回転動作の態様を示す平面図及び側面図である。
MEMSスキャナ1の動作時には、コイル141には、不図示の駆動源部制御回路から配線144を介して、所望のタイミングで所望の駆動用電流が供給される。駆動用電流は、X軸を回転軸として第1ミラー131及び第2ミラー132の夫々を回転させるための電流成分を含む。以降、X軸を回転軸として第1ミラー131及び第2ミラー132の夫々を回転させるための電流成分を、適宜“X軸駆動用電流成分”と称する。
本実施例では、第1ミラー131及び第2ミラー132の夫々は、任意の周波数(例えば、60Hz)で、X軸を回転軸として回転する。この場合、X軸駆動用電流成分は、X軸を回転軸とする第1ミラー131及び第2ミラー132の夫々の回転の周波数と同一の周波数を含む交流電流を含むことが好ましい。但し、X軸駆動用電流成分は、X軸を回転軸とする第1ミラー131及び第2ミラー132の夫々の回転の周波数と同期した周波数(例えば、第1ミラー131及び第2ミラー132の夫々の回転の周波数のN倍(但し、Nは整数)又は1/N倍の周波数)を有する信号成分を含む交流電流であってもよい。
一例として、例えば、MEMSスキャナ1をディスプレイ(或いは、ヘッドマウントディスプレイ)に適用する場合には、第1ミラー131及び第2ミラー132の夫々は、例えばディスプレイの走査周期又はフレームレートに応じた周波数(例えば、60Hz)で、X軸を回転軸として回転してもよい。この場合、X軸駆動用電流成分は、60Hzの交流電流を含むことが好ましい。
但し、第1ミラー131及び第2ミラー132の夫々は、X軸駆動用トーションバー121a及び121bによって吊り下げられている被懸架部(具体的には、第1フレーム111、第2フレーム112及び第3フレーム113、第1連結用トーションバー122、第1配線用トーションバー123、第2連結用トーションバー124、第2配線用トーションバー125、第1Y軸駆動用トーションバー126a及び126b並びに第2Y軸駆動用トーションバー127a及び127b、並びに、第1ミラー131及び第2ミラー132を含む構造体)とX軸駆動用トーションバー121a及び121bによって定まる共振周波数で、X軸を回転軸として回転してもよい。具体的には、第1ミラー131及び第2ミラー132の夫々は、X軸駆動用トーションバー121a及び121bによって吊り下げられている被懸架部のX軸周りの慣性モーメントとX軸駆動用トーションバー121a及び121bのねじりバネ定数によって定まる共振周波数で、X軸を回転軸として回転してもよい。より具体的には、例えば、X軸駆動用トーションバー121a及び121bによって吊り下げられている被懸架部のX軸周りの慣性モーメントがIxであり且つX軸駆動用トーションバー121a及び121bを1本のバネとみなした場合のねじりバネ定数がkxであるとすれば、第1ミラー131及び第2ミラー132の夫々は、(1/(2π))×√(kx/Ix)にて特定される共振周波数(或いは、(1/(2π))×√(kx/Ix)のN倍若しくは1/N倍の共振周波数)で共振するように、X軸を回転軸として回転してもよい。
一方で、コイル141には、X軸駆動用磁極142a及び142bから磁界が印加されている。以降、X軸駆動用磁極142a及び142bから印加される磁界を、X軸駆動用磁界と称する。このとき、X軸駆動用磁極142a及び142bは、Y軸に沿って対向するコイル141の2つの辺(つまり、X軸に沿って延伸するコイル141の2つの辺)に対してX軸駆動用磁界を印加することが好ましい。言い換えれば、X軸駆動用磁極142a及び142bは、Y軸に沿って対向するコイル141の2つの辺に交わるX軸駆動用磁界を印加することが好ましい。但し、X軸駆動用磁極142a及び142bは、その他の態様でX軸駆動用磁界を印加してもよい。
従って、コイル141には、コイル141に供給されているX軸駆動用電流成分とコイル141に付与されているX軸駆動用磁界との間の電磁相互作用に起因したローレンツ力が発生する。
ここで、図2(a)に示すように、図2(a)中の反時計周りの方向に流れるX軸駆動用電流成分がコイル141に供給されており、X軸駆動用磁極142aからX軸駆動用磁極142bに向かうX軸駆動用磁界がコイル141に印加されている状況について説明する。この場合、図2(a)に示すMEMSスキャナ1を矢印IIの方向から観察した図面である図2(b)に示すように、Y軸に沿って対向するコイル141の2つの辺のうちの右側(つまり、図2(a)では上側)の辺には、図2(b)における上側の方向に向かうローレンツ力が発生する。同様に、図2(b)に示すように、Y軸に沿って対向するコイル141の2つの辺のうちの左側(つまり、図2(a)では下側)の辺には、図2(b)における下側の方向に向かうローレンツ力が発生する。つまり、Y軸に沿って対向するコイル141の2つの辺には、相互に異なる方向のローレンツ力が発生する。言い換えれば、Y軸に沿って対向するコイル141の2つの辺には、偶力となるローレンツ力が発生する。従って、コイル141は、図2(b)における反時計周りの方向に向かって回転する。
一方で、X軸駆動用電流成分が交流電流であるため、図3(a)に示すように、図3(a)中の時計周りの方向に流れるX軸駆動用電流成分がコイル141に供給されており、X軸駆動用磁極142aからX軸駆動用磁極142bに向かうX軸駆動用磁界がコイル141に付与される状況が、図2(a)に示す状況に続けて生ずる。この場合、図3(a)に示すMEMSスキャナ1を矢印IIIの方向から観察した図面である図3(b)に示すように、Y軸に沿って対向するコイル141の2つの辺のうちの右側(つまり、図3(a)では上側)の辺には、図3(b)における下側の方向に向かうローレンツ力が発生する。同様に、図3(b)に示すように、Y軸に沿って対向するコイル141の2つの辺のうちの左側(つまり、図3(a)では下側)の辺には、図3(b)における上側の方向に向かうローレンツ力が発生する。つまり、Y軸に沿って対向するコイル141の2つの辺には、相互に異なる方向のローレンツ力が発生する。言い換えれば、Y軸に沿って対向するコイル141の2つの辺には、偶力となるローレンツ力が発生する。従って、コイル141は、図3(b)における時計周りの方向に向かって回転する。
このようなローレンツ力によって、コイル141は、X軸(より具体的には、X軸に沿って延伸するX軸駆動用トーションバー121a及び121b)を回転軸として回転する(より具体的には、回転するように往復駆動する)。その結果、X軸を回転軸とするコイル141の回転に伴って、コイル141が形成されている第2フレーム112もまた、X軸を回転軸として回転する。
ここで、上述したように、本実施例では、第1連結用トーションバー122を介して第2フレーム112に第1フレーム111が連結されており且つ第2連結用トーションバー124を介して第2フレーム112に第3フレーム113が連結されている。従って、X軸を回転軸とする第2フレーム112の回転に伴って、第1フレーム111及び第3フレーム113もまた、X軸を回転軸として回転する。このとき、第1フレーム111、第2フレーム112及び第3フレーム113は、第1フレーム111、第2フレーム112及び第3フレーム113が1つの構造体であるかの如き態様で、X軸を回転軸として回転する。つまり、第1フレーム111、第2フレーム112及び第3フレーム113は、同一の回転方向に向かって且つ同一の回転角度で、X軸を回転軸として回転する。
更に、上述したように、本実施例では、第1Y軸駆動用トーションバー126a及び126bを介して第1フレーム111に第1ミラー131が連結されている。従って、X軸を回転軸とする第1フレーム111の回転に伴って、第1ミラー131もまた、X軸を回転軸として回転する。
同様に、上述したように、本実施例では、第2Y軸駆動用トーションバー127a及び127bを介して第3フレーム113に第2ミラー132が連結されている。従って、X軸を回転軸とする第3フレーム113の回転に伴って、第2ミラー132もまた、X軸を回転軸として回転する。
ここで、上述したように、第1フレーム111、第2フレーム112及び第3フレーム113は、同一の回転方向に向かって且つ同一の回転角度で、X軸を回転軸として回転する。従って、第1ミラー131及び第2ミラー132は、第1ミラー131のX軸周りの回転方向と第2ミラー132のX軸周りの回転方向とが同一となるように回転する。加えて、第1ミラー131及び第2ミラー132は、第1ミラー131のX軸周りの回転角度(例えば、静止時の第1ミラー131の表面に対する駆動時の第1ミラー131の表面の回転角度)と第2ミラー132のX軸周りの回転角度とが同一となるように回転する。つまり、第1ミラー131及び第2ミラー132は、X軸を回転軸として同期しながら回転する。
(2−2)Y軸を回転軸とする第1ミラー131及び第2ミラー132の回転動作
続いて、図4及び図5を参照して、Y軸を回転軸とする第1ミラー131及び第2ミラー132の回転動作の態様について説明する。図4及び図5は、夫々、Y軸を回転軸とする第1ミラー131及び第2ミラー132の回転動作の態様を示す平面図及び側面図である。
コイル141に駆動用電流が供給されることは上述した通りである。駆動用電流は、上述したX軸駆動用電流成分に加えて、Y軸を回転軸として第1ミラー131及び第2ミラー132の夫々を回転させるための電流成分を含む。以降、Y軸を回転軸として第1ミラー131及び第2ミラー132の夫々を回転させるための電流成分を、適宜“Y軸駆動用電流成分”と称する。
本実施例では、第1ミラー131は、第1ミラー131と第1Y軸駆動用トーションバー126a及び126bによって定まる共振周波数で、Y軸を回転軸として回転する。具体的には、第1ミラー131は、第1ミラー131のY軸周りの慣性モーメントと第1Y軸駆動用トーションバー126a及び126bのねじりバネ定数によって定まる共振周波数で、Y軸を回転軸として回転する。より具体的には、例えば、第1ミラー131のY軸周りの慣性モーメントがIy1であり且つ第1Y軸駆動用トーションバー126a及び126bを1本のバネとみなした場合のねじりバネ定数がky1であるとすれば、第1ミラー131は、(1/(2π))×√(ky1/Iy1)にて特定される共振周波数(或いは、(1/(2π))×√(ky1/Iy1)のN倍若しくは1/N倍の共振周波数)で共振するように、Y軸を回転軸として回転する。
同様に、第2ミラー132は、第2ミラー132と第2Y軸駆動用トーションバー127a及び127bによって定まる共振周波数で、Y軸を回転軸として回転する。具体的には、第2ミラー132は、第2ミラー132のY軸周りの慣性モーメントと第2Y軸駆動用トーションバー127a及び127bのねじりバネ定数によって定まる共振周波数で、Y軸を回転軸として回転する。より具体的には、例えば、第2ミラー132のY軸周りの慣性モーメントがIy2であり且つ第2Y軸駆動用トーションバー127a及び127bを1本のバネとみなした場合のねじりバネ定数がky2であるとすれば、第2ミラー132は、(1/(2π))×√(ky2/Iy2)にて特定される共振周波数(或いは、(1/(2π))×√(ky2/Iy2)のN倍若しくは1/N倍の共振周波数)で共振するように、Y軸を回転軸として回転する。
尚、本実施例では、第1ミラー131の共振周波数と第2ミラー132の共振周波数とは同一であることが好ましい。このため、第1ミラー131及び第2ミラー132、第1Y軸駆動用トーションバー126a及び126b、並びに、第2Y軸駆動用トーションバー127a及び127bの特性(例えば、形状、サイズ、配置位置及び材質等)は、第1ミラー131の共振周波数と第2ミラー132の共振周波数とは同一となるように適宜設定されていることが好ましい。典型的には、第1ミラー131の特性と第2ミラー132の特性とが同一であり、且つ、第1Y軸駆動用トーションバー126a及び126bの特性と第2Y軸駆動用トーションバー127a及び127bの特性とが同一となる。
但し、第1ミラー131及び第2ミラー132の夫々は、任意の周波数で、Y軸を回転軸として回転してもよい。
一方で、コイル141には、Y軸駆動用磁極143a及び143bから磁界が印加されている。以降、Y軸駆動用磁極143a及び143bから印加される磁界を、Y軸駆動用磁界と称する。このとき、Y軸駆動用磁極143a及び143bは、X軸に沿って対向するコイル141の2つの辺(つまり、Y軸に沿って延伸するコイル141の2つの辺)に対してY軸駆動用磁界を印加することが好ましい。言い換えれば、Y軸駆動用磁極143a及び143bは、X軸に沿って対向するコイル141の2つの辺に交わるY軸駆動用磁界を印加することが好ましい。但し、Y軸駆動用磁極143a及び143bは、その他の態様でY軸駆動用磁界を印加してもよい。
従って、コイル141には、コイル141に供給されているY軸駆動用電流成分とコイル141に付与されているY軸駆動用磁界との間の電磁相互作用に起因したローレンツ力が発生する。
ここで、図4(a)に示すように、図4(a)中の反時計周りの方向に流れるY軸駆動用電流成分がコイル141に供給されており、Y軸駆動用磁極143aからY軸駆動用磁極143bに向かうY軸駆動用磁界がコイル141に印加されている状況について説明する。この場合、図4(a)に示すMEMSスキャナ1を矢印IVの方向から観察した図面である図4(b)に示すように、X軸に沿って対向するコイル141の2つの辺のうちの右側(つまり、図4(a)でも右側)の辺には、図4(b)における下側の方向に向かうローレンツ力が発生する。同様に、図4(b)に示すように、X軸に沿って対向するコイル141の2つの辺のうちの左側(つまり、図4(a)でも左側)の辺には、図4(b)における上側の方向に向かうローレンツ力が発生する。つまり、X軸に沿って対向するコイル141の2つの辺には、相互に異なる方向のローレンツ力が発生する。言い換えれば、X軸に沿って対向するコイル141の2つの辺には、偶力となるローレンツ力が発生する。従って、コイル141は、図4(b)における時計周りの方向に向かって回転する。
一方で、Y軸駆動用電流成分が交流電流であるため、図5(a)に示すように、図5(a)中の時計周りの方向に流れるY軸駆動用電流成分がコイル141に供給されており、Y軸駆動用磁極143aからY軸駆動用磁極143bに向かうY軸駆動用磁界がコイル141に付与される状況が、図4(a)に示す状況に続けて生ずる。この場合、図5(a)に示すMEMSスキャナ1を矢印Vの方向から観察した図面である図5(b)に示すように、X軸に沿って対向するコイル141の2つの辺のうちの右側(つまり、図5(a)でも右側)の辺には、図5(b)における上側の方向に向かうローレンツ力が発生する。同様に、図5(b)に示すように、X軸に沿って対向するコイル141の2つの辺のうちの左側(つまり、図5(a)でも左側)の辺には、図5(b)における下側の方向に向かうローレンツ力が発生する。つまり、X軸に沿って対向するコイル141の2つの辺には、相互に異なる方向のローレンツ力が発生する。言い換えれば、X軸に沿って対向するコイル141の2つの辺には、偶力となるローレンツ力が発生する。従って、コイル141は、図5(b)における反時計周りの方向に向かって回転する。
このようなローレンツ力によって、コイル141は、Y軸を回転軸として回転する(より具体的には、回転するように往復駆動する)。その結果、Y軸を回転軸とするコイル141の回転に伴って、コイル141が形成されている第2フレーム112もまた、Y軸を回転軸として回転する。
ここで、上述したように、本実施例では、第1連結用トーションバー122を介して第2フレーム112に第1フレーム111が連結されており且つ第2連結用トーションバー124を介して第2フレーム112に第3フレーム113が連結されている。従って、Y軸を回転軸とする第2フレーム112の回転に伴って、第1フレーム111及び第3フレーム113もまた、Y軸を回転軸として回転する。但し、第1フレーム111及び第3フレーム113のY軸周りの回転の態様は、第1フレーム111及び第3フレーム113のX軸周りの回転の態様とは異なる。
具体的には、図4(b)に示すように、X軸に沿って対向する第2フレーム112の2つの辺のうち左側の辺(以降、適宜“左辺112L”と称する)が上側に向かって移動する場合には、X軸に沿って対向する第1フレーム111の2つの辺のうち左辺112Lに連結されている右側の辺(以降、適宜“右辺111R”と称する)もまた、上側に向かって移動する。但し、第2フレーム112の左辺112Lと第1フレーム111の右辺111Rとを連結する第1連結用トーションバー122が弾性を有しているがゆえに、第1連結用トーションバー122の変形に起因して、第1フレーム111の全体が上側に移動することはない。従って、図4(b)に示すように、第2フレーム112が時計周りの方向に向かって回転する場合には、第1フレーム111は反時計周りの方向に向かって回転することになる。
同様に、図4(b)に示すように、X軸に沿って対向する第2フレーム112の2つの辺のうち右側の辺(以降、適宜“右辺112R”と称する)が下側に向かって移動する場合には、X軸に沿って対向する第3フレーム113の2つの辺のうち右辺112Rに連結されている左側の辺(以降、適宜“左辺113L”と称する)もまた、下側に向かって移動する。但し、第2フレーム112の右辺112Rと第3フレーム113の左辺113Lとを連結する第2連結用トーションバー124が弾性を有しているがゆえに、第2連結用トーションバー124の変形に起因して、第3フレーム113の全体が下側に移動することはない。従って、図4(b)に示すように、第2フレーム112が時計周りの方向に向かって回転する場合には、第3フレーム113は反時計周りの方向に向かって回転する。
一方で、図5(b)に示すように、第2フレーム112の左辺112Lが下側に向かって移動する場合には、第1フレーム111の右辺111Rもまた、下側に向かって移動する。但し、第2フレーム112の左辺112Lと第1フレーム111の右辺111Rとを連結する第1連結用トーションバー122が弾性を有しているがゆえに、第1連結用トーションバー122の変形に起因して、第1フレーム111の全体が下側に移動することはない。従って、図4(b)に示すように、第2フレーム112が反時計周りの方向に向かって回転する場合には、第1フレーム111は時計周りの方向に向かって回転することになる。
同様に、図5(b)に示すように、第2フレーム112の右辺112Rが上側に向かって移動する場合には、第3フレーム113の左辺113Lもまた、上側に向かって移動する。但し、第2フレーム112の右辺112Rと第3フレーム113の左辺113Lとを連結する第2連結用トーションバー124が弾性を有しているがゆえに、第2連結用トーションバー124の変形に起因して、第3フレーム113の全体が上側に移動することはない。従って、図5(b)に示すように、第2フレーム112が反時計周りの方向に向かって回転する場合には、第3フレーム113は時計周りの方向に向かって回転する。
このような第1フレーム111、第2フレーム112及び第3フレーム113の回転の態様を考慮すれば、第1フレーム111、第2フレーム112及び第3フレーム113並びに第1連結用トーションバー122及び第2連結用トーションバー124からなる構造体は、Y軸を回転軸とする第2フレーム112の回転に伴ってX軸に沿って変形振動するように、その外観を変形させているとも言える。具体的には、例えば、この構造体は、第1連結用トーションバー122及び第2連結用トーションバー124の夫々が振動の腹となり且つ第1フレーム111、第2フレーム112及び第3フレーム113の夫々のX軸に沿った中心部付近が振動の節となる態様でX軸に沿って変形振動するように、その外観を変形させているとも言える。言い換えれば、この構造体は、第1連結用トーションバー122及び第2連結用トーションバー124の位置において折れ曲がるように変形振動するとも言える。
以上まとめると、第2フレーム112の回転に伴って、第1フレーム111及び第3フレーム113の夫々は、Y軸を回転軸として、第2フレーム112の回転方向とは逆の回転方向に向かって回転する。このとき、第1フレーム111及び第3フレーム113は、同一の回転角度で、Y軸を回転軸として回転する。
更に、上述したように、本実施例では、第1Y軸駆動用トーションバー126a及び126bを介して第1フレーム111に第1ミラー131が連結されている。従って、Y軸を回転軸とする第1フレーム111の回転に伴って、第1ミラー131もまた、Y軸を回転軸として回転する。
同様に、上述したように、本実施例では、第2Y軸駆動用トーションバー127a及び127bを介して第3フレーム113に第2ミラー132が連結されている。従って、Y軸を回転軸とする第3フレーム113の回転に伴って、第2ミラー132もまた、Y軸を回転軸として回転する。
ここで、上述したように、第1フレーム111及び第3フレーム113は、同一の回転方向に向かって且つ同一の回転角度で、Y軸を回転軸として回転する。従って、第1ミラー131及び第2ミラー132は、第1ミラー131のY軸周りの回転方向と第2ミラー132のY軸周りの回転方向とが同一となるように回転する。加えて、第1ミラー131及び第2ミラー132は、第1ミラー131のY軸周りの回転角度と第2ミラー132のY軸周りの回転角度とが同一となるように回転する。つまり、第1ミラー131及び第2ミラー132は、Y軸を回転軸として同期しながら回転する。
以上説明したように、本実施例のMEMSスキャナ1は、第1ミラー131及び第2ミラー132の夫々を、X軸及びY軸の夫々を回転軸として回転させることができる。つまり、本実施例のMEMSスキャナ1は、第1ミラー131及び第2ミラー132の夫々を2軸駆動させることができる。
特に、本実施例のMEMSスキャナ1では、複数のミラー(つまり、第1ミラー131及び第2ミラー132)を夫々支持する複数のフレームが別個に配置されていると共に、これら複数のフレームがトーションバーを介して連結されている。従って、本実施例のMEMSスキャナ1は、複数のミラー(つまり、第1ミラー131及び第2ミラー132)の夫々を、X軸及びY軸の夫々を回転軸として好適に又は比較的容易に回転させることができる。
加えて、本実施例のMEMSスキャナ1では、第1ミラー131に入射する光と第2ミラー132に入射する光とは異ならしめることで、複数の異なる映像を同時に映し出すことができる。つまり、本実施例のMEMSスキャナ1は、夫々が単一のミラーを備える複数のMEMSスキャナを用いて複数の異なる映像を同時に映し出す場合と比較して、MEMSスキャナ1の大型化及び高コスト化を招くことなく、複数の異なる映像を同時に映し出すことができる。
尚、上述の説明では、2つのミラー(つまり、第1ミラー131及び第2ミラー132)を備えるMEMSスキャナ1について説明している。しかしながら、3つ以上のミラーを備えるMEMSスキャナに対して、上述した構成を適用してもよい。
また、上述の説明では、第1ミラー131及び第2ミラー132の夫々を2軸駆動させるMEMSスキャナ1について説明している。しかしながら、MEMSスキャナ1は、第1ミラー131及び第2ミラー132の夫々を1軸駆動させてもよい。例えば、MEMSスキャナ1は、第1ミラー131及び第2ミラー132の夫々をX軸及びY軸のいずれか一方のみを回転軸として回転させてもよい。更に、MEMSスキャナ1は、第1ミラー131及び第2ミラー132の夫々を多軸駆動(例えば、3軸以上を回転軸とする回転駆動)させてもよい。
また、上述した本実施例のMEMSスキャナ1は、例えば、ヘッドアップディスプレイや、ヘッドマウントディスプレイや、レーザスキャナや、レーザプリンタや、走査型駆動装置等の各種電子機器に対して適用することができる。従って、これらの電子機器もまた、本発明の範囲に含まれるものである。
また、本発明は、請求の範囲及び明細書全体から読み取るこのできる発明の要旨又は思想に反しない範囲で適宜変更可能であり、そのような変更を伴う駆動装置もまた本発明の技術思想に含まれる。