WO2012172653A1

WO2012172653A1 - 駆動装置

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Publication number: WO2012172653A1
Application number: PCT/JP2011/063681
Authority: WO
Inventors: 純鈴木
Original assignee: パイオニア株式会社
Priority date: 2011-06-15
Filing date: 2011-06-15
Publication date: 2012-12-20

Abstract

　駆動装置（１００）は、第１ベース部（１１０－１）と、第２ベース部（１１０－２）と、第１弾性部（１２０ａ－１、１２０ｂ－１）と、複数の被駆動部（１３０ａ、１３０ｃ）と、複数の第２弾性部（１２０ａ－２～１２０ｄ－２）と、複数の被駆動部の夫々及び複数の第２弾性部のうち夫々の被駆動部に対応する一つの第２弾性部により定まる共振周波数で夫々の被駆動部が前記一の方向に沿った軸を中心軸として共振しながら回転するように複数の被駆動部を回転させるための加振力を第２ベース部に加える印加部（１６０）とを備え、複数の被駆動部の夫々及び複数の第２弾性部のうち夫々の被駆動部に対応する一つの第２弾性部により定まる共振周波数は、複数の被駆動部の少なくとも２つの間で同じになる。

Description

駆動装置

　本発明は、例えばミラー等の被駆動物を回転させるＭＥＭＳスキャナ等の駆動装置の技術分野に関する。

　例えば、ディスプレイ、プリンティング装置、精密測定、精密加工、情報記録再生などの多様な技術分野において、半導体工程技術によって製造されるＭＥＭＳ（Ｍｉｃｒｏ　Ｅｌｅｃｔｒｏ　Ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ　Ｓｙｓｔｅｍ）デバイスについての研究が活発に進められている。このようなＭＥＭＳデバイスとして、例えば、光源から入射された光を所定の画面領域に対して走査して画像を具現するディスプレイ分野、または所定の画面領域に対して光を走査して反射された光を受光して画像情報を読み込むスキャニング分野では、微小構造のミラー駆動装置（光スキャナないしはＭＥＭＳスキャナ）が注目されている。

　ミラー駆動装置は、一般的には、ベースとなる固定された本体と、所定の中心軸の周りに回転可能なミラーと、本体とミラーとを接続する又は接合するトーションバー（ねじれ部材）とを備える構成が知られている（特許文献１参照）。

特表２００７－５２２５２９号公報

　このような構成を有するミラー駆動装置では、ミラーが回転する周波数を高くすることができないという技術的な問題点を有している。言い換えれば、このような構成を有するミラー駆動装置では、ミラーが回転する周期を短くすることができないという技術的な問題点を有している。

　このような従来のミラー駆動装置に対して、本発明は、例えば、ミラー（或いは、回転する被駆動物）が回転する周波数を相対的に高くすることが可能な駆動装置（つまり、ＭＥＭＳスキャナ）を提供することを課題とする。

　上記課題を解決するために、駆動装置は、第１ベース部と、前記第１ベース部に取り囲まれる第２ベース部と、前記第１ベース部と前記第２ベース部とを接続し、且つ前記第２ベース部を他の方向に沿った軸を中心軸として回転させるような弾性を有する第１弾性部と、夫々が回転可能な複数の被駆動部と、夫々が前記第２ベース部と前記複数の被駆動部のうちの対応する一つの被駆動部とを接続し、且つ夫々が前記対応する一つの被駆動部を前記他の方向とは異なる一の方向に沿った軸を中心軸として回転させるような弾性を有する複数の第２弾性部と、前記複数の被駆動部の夫々及び前記複数の第２弾性部のうち前記夫々の被駆動部に対応する一つの第２弾性部により定まる共振周波数で前記夫々の被駆動部が前記一の方向に沿った軸を中心軸として共振しながら回転するように前記複数の被駆動部を回転させるための加振力を前記第２ベース部に加える印加部とを備え、前記複数の被駆動部の夫々及び前記複数の第２弾性部のうち前記夫々の被駆動部に対応する一つの第２弾性部により定まる共振周波数は、前記複数の被駆動部の少なくとも２つの間で同じになる。

第１実施例のＭＥＭＳスキャナの構成を概念的に示す平面図である。ベースの裏側（具体的には、図１に示したベースの反対側）の構成を示す平面斜視図である。第１実施例のＭＥＭＳスキャナによる動作の態様を概念的に示す平面図である。駆動源部から加えられる微振動に起因した方向性のない力について説明するための平面図である。ベースの変形振動の態様を、ミラーの回転の態様と関連付けて示す側面図である。ベースの変形振動の態様を、ミラーの回転の態様と関連付けて示す側面図である。第２実施例のＭＥＭＳスキャナの構成を概念的に示す平面図である。第３実施例のＭＥＭＳスキャナの構成を概念的に示す平面図である。第４実施例のＭＥＭＳスキャナの構成を概念的に示す平面図である。第２ベースの裏側（具体的には、図９に示した第２ベースの反対側）の構成を示す平面斜視図である。第４実施例のＭＥＭＳスキャナによる動作の態様を概念的に示す平面図である。駆動源部から加えられる微振動に起因した方向性のない力について説明するための平面図である。第２ベースの変形振動の態様を、ミラーの回転の態様と関連付けて示す断面図である。第２ベースの変形振動の態様を、ミラーの回転の態様と関連付けて示す断面図である。第５実施例のＭＥＭＳスキャナの構成を概念的に示す平面図である。第６実施例のＭＥＭＳスキャナの構成を概念的に示す平面図である。

　以下、駆動装置の実施形態について順に説明する。

　本実施形態の駆動装置は、第１ベース部と、前記第１ベース部に取り囲まれる第２ベース部と、前記第１ベース部と前記第２ベース部とを接続し、且つ前記第２ベース部を他の方向に沿った軸を中心軸として回転させるような弾性を有する第１弾性部と、夫々が回転可能な複数の被駆動部と、夫々が前記第２ベース部と前記複数の被駆動部のうちの対応する一つの被駆動部とを接続し、且つ夫々が前記対応する一つの被駆動部を前記他の方向とは異なる一の方向に沿った軸を中心軸として回転させるような弾性を有する複数の第２弾性部と、前記複数の被駆動部の夫々及び前記複数の第２弾性部のうち前記夫々の被駆動部に対応する一つの第２弾性部により定まる共振周波数で前記夫々の被駆動部が前記一の方向に沿った軸を中心軸として共振しながら回転するように前記複数の被駆動部を回転させるための加振力を前記第２ベース部に加える印加部とを備え、前記複数の被駆動部の夫々及び前記複数の第２弾性部のうち前記夫々の被駆動部に対応する一つの第２弾性部により定まる共振周波数は、前記複数の被駆動部の少なくとも２つの間で同じになる。

　本実施形態の駆動装置によれば、基礎となる第１ベース部と当該第１ベース部に取り囲まれる第２ベース部とが、弾性を有する第１弾性部（例えば、後述するトーションバー等）によって直接的に又は間接的に接続されている。更に、第２ベース部と回転可能に配置される被駆動部（例えば、後述するミラー等）とが、弾性を有する第２弾性部（例えば、後述するトーションバー等）によって直接的に又は間接的に接続されている。第２ベース部は、第１弾性部の弾性（例えば、第２ベース部を他の方向に沿った軸を中心軸として回転させることができるという弾性）によって、他の方向に沿った軸を中心軸として回転駆動される。被駆動部は、第２弾性部の弾性（例えば、被駆動部を一の方向に沿った軸を中心軸として回転させることができるという弾性）によって、一の方向に沿った軸を中心軸として回転駆動される。

　本実施形態の駆動装置は、複数の被駆動部を備えている。本実施形態の駆動装置は、複数の被駆動部に対応するように複数の第２弾性部を備えている。例えば、本実施形態の駆動装置は、Ｎ個（但し、Ｎは２以上の整数）の被駆動部及びＮ個の第２弾性部を備えている。この場合、Ｎ個（但し、Ｎは２以上の整数）の被駆動部のうちの第ｋ（但し、ｋは、１以上且つＮ以下の整数）番目の被駆動部は、Ｎ個の第２弾性部のうちの第ｋ番目の被駆動部に対応する第ｋ番目の第２弾性部によって第２ベース部と接続される。

　本実施形態の駆動装置では特に、印加部の動作により、複数の被駆動部の夫々及び複数の第２弾性部のうちの対応する一つの第２弾性部により定まる共振周波数で夫々の被駆動部が一の方向に沿った軸を中心軸として共振しながら回転するような加振力（例えば、後述する微振動や板波等）が加えられる。より具体的には、印加部は、(i)Ｎ個の被駆動部のうちの第１番目の被駆動部の一の方向に沿った軸周り（つまり、第１番目の被駆動部の回転軸周り）の慣性モーメント及び当該第１番目の被駆動部に対応する第１番目の第２弾性部のねじりばね定数により定まる共振周波数で第１番目の被駆動部が一の方向に沿った軸を中心軸として回転し、(ii)Ｎ個の被駆動部のうちの第２番目の被駆動部の一の方向に沿った軸周り（つまり、第２番目の被駆動部の回転軸周り）の慣性モーメント及び当該第２番目の被駆動部に対応する第２番目の第２弾性部のねじりばね定数により定まる共振周波数で第２番目の被駆動部が一の方向に沿った軸を中心軸として回転し、・・・、(N)Ｎ個の被駆動部のうちの第Ｎ番目の被駆動部の一の方向に沿った軸周り（つまり、第Ｎ番目の被駆動部の回転軸周り）の慣性モーメント及び当該第Ｎ番目の被駆動部に対応する第Ｎ番目の第２弾性部のねじりばね定数により定まる共振周波数で第Ｎ番目の被駆動部が一の方向に沿った軸を中心軸として回転するような加振力を加える。

　加えて、本実施形態の駆動装置では、第２ベース部は、第１弾性部の弾性（例えば、第２ベース部を他の方向に沿った軸を中心軸として回転させることができるという弾性）によって、他の方向に沿った軸を中心軸として回転駆動される。従って、第２ベース部と第２弾性部を介して接続されている複数の被駆動部もまた、他の方向に沿った軸を中心軸として回転駆動される。つまり、本実施形態の駆動装置は、複数の被駆動部の２軸回転駆動を実現することができる。但し、２軸以上の多軸回転駆動を行ってもよいことは言うまでもない。

　更に、本実施形態の駆動装置では、複数の被駆動部の夫々及び複数の第２弾性部のうち夫々の被駆動部に対応する一つの第２弾性部により定まる共振周波数は、複数の被駆動部のうちの少なくとも２つの間で同じになる。より具体的には、(i)Ｎ個の被駆動部のうちの第１番目の被駆動部の一の方向に沿った軸周り（つまり、第１番目の被駆動部の回転軸周り）の慣性モーメント及び当該第１番目の被駆動部に対応する第１番目の第２弾性部のねじりばね定数により定まる共振周波数と、(ii)Ｎ個の被駆動部のうちの第２番目の被駆動部の一の方向に沿った軸周り（つまり、第２番目の被駆動部の回転軸周り）の慣性モーメント及び当該第２番目の被駆動部に対応する第２番目の第２弾性部のねじりばね定数により定まる共振周波数と、・・・、(N)Ｎ個の被駆動部のうちの第Ｎ番目の被駆動部の一の方向に沿った軸周り（つまり、第Ｎ番目の被駆動部の回転軸周り）の慣性モーメント及び当該第Ｎ番目の被駆動部に対応する第Ｎ番目の第２弾性部のねじりばね定数により定まる共振周波数のうちの少なくとも２つは、同じになる。従って、複数の被駆動部の少なくとも２つの間で同じになる共振周波数に対応する特定の一つの周期で印加部から加振力が印加されることで、複数の被駆動部のうちの少なくとも２つを共振させながら且つ同期させながら回転させることができる。

　本実施形態の駆動装置の一の態様では、前記印加部は、前記複数の被駆動部のうちの第１の被駆動部が回転する位相が前記複数の駆動部のうちの第２の被駆動部が回転する位相に対して逆相となるように、前記加振力を加える。

　この態様によれば、印加部は、複数の被駆動部のうちの第１の被駆動部が回転する位相が複数の駆動部のうちの第２の被駆動部が回転する位相に対して逆相となるように、加振力を加える。具体的には、例えば、印加部は、複数の被駆動部のうちの第１の被駆動部が回転する位相と複数の駆動部のうちの第２の被駆動部が回転する位相との間のずれが１８０°となるように、加振力を加える。その結果、第１の被駆動部が一の方向に沿った中心軸に対して時計回りで回転している場合には、第２の被駆動部は、一の方向に沿った中心軸に対して半時計回りで回転することになる。同様に、第１の被駆動部が一の方向に沿った中心軸に対して半時計回りで回転している場合には、第２の被駆動部は、一の方向に沿った中心軸に対して時計回りで回転することになる。加えて、第１の被駆動部が基準位置から時計回りで所定量（或いは、所定角度）だけ回転している時点で、第２の被駆動部は、基準位置から半時計回りで同一の所定量（或いは、所定角度）だけ回転している。同様に、加えて、第１の被駆動部が基準位置から半時計回りで所定量（或いは、所定角度）だけ回転している時点で、第２の被駆動部は、基準位置から時計回りで同一の所定量（或いは、所定角度）だけ回転している。従って、１つの被駆動物を特定の周波数ｆで回転させる駆動装置と比較して、複数の被駆動部（例えば、互いに逆相で回転する第１及び第２の被駆動部）を１つの被駆動部の如く取り扱うことで、実質的には、２倍の周波数２ｆで（言い換えれば、１／２の周期で）１つの被駆動部を回転させている状態と同様の状態を実現することができる。言い換えれば、複数の被駆動部（例えば、互いに逆相で回転する第１及び第２の被駆動部）の夫々を半分の周波数ｆ／２で回転させても、複数の被駆動部（例えば、互いに逆相で回転する第１及び第２の被駆動部）を１つの被駆動部の如く取り扱うことで、実質的には、２倍の周波数ｆで１つの被駆動部を回転させている状態と同様の状態を実現することができる。

　本実施形態の駆動装置の他の態様では、前記印加部は、前記他の方向に沿って前記第２ベース部が定常波状に変形振動するように前記加振力を加え、前記複数の被駆動部の夫々は、前記複数の弾性部を介して、前記第２ベース部の変形振動における節に対応する箇所に接続されている。

　この態様によれば、加振力が加えられる第２ベース部は、他の方向に沿って定常波状に（つまり、定常波の波形状に）変形振動する。つまり、第２ベース部は、そのある一部分が変形振動の腹となり且つその他の一部分が変形振動の節となるように、その外観を変形させる。このような第２ベース部の変形振動によって、他の方向に沿って腹及び節が現れる。第２ベース部の変形振動は、いわゆる定常波の波形に従って行われるため、その腹及び節の位置は実質的には固定されている。

　更に、この態様によれば、第２ベース部の変形振動における節に対応する箇所に複数の被駆動部の夫々が接続されている。このため、複数の被駆動部の上下方向（具体的には、一の方向及び他の方向の夫々に直交する方向であって、第２ベース部の表面に対して垂直な方向）の移動を防ぎつつ、複数の被駆動部を互いに逆相で回転させることができる。

　他の方向に沿って第２ベース部が定常波状に変形振動するように印加部が加振力を加える駆動装置の態様では、前記印加部は、前記他の方向に沿った前記第２ベース部の変形振動が共振となるように前記加振力を加えるように構成してもよい。

　このように構成すれば、第２ベース部の変形振動が共振となるため、第２ベース部の変形振動を好適に実現することができる。

　第２ベース部の変形振動が共振となる駆動装置の態様では、前記第２ベース部が共振する共振周波数は、前記複数の被駆動部のうちの少なくとも一つの共振周波数と同一であるように構成してもよい。

　このように構成すれば、第２ベース部の変形振動の周期と複数の被駆動部の回転の周期との間の同期をとりやすくなる。従って、第２ベース部の変形振動の周期と複数の被駆動部の回転との間の同期を適切に図ることで、複数の被駆動部を互いに逆相で回転させることができる。

　他の方向に沿って第２ベース部が定常波状に変形振動するように印加部が加振力を加える駆動装置の態様では、前記第２ベース部の変形振動における節に対応する箇所の剛性が、前記第２ベース部の変形振動における節以外の箇所の剛性よりも高いように構成してもよい。

　このように構成すれば、第２ベース部の剛性を調整することで、第２ベース部を他の方向に沿って定常波状に変形振動させやすくすることができる。

　他の方向に沿って第２ベース部が定常波状に変形振動するように印加部が加振力を加える駆動装置の態様では、前記第２ベース部の変形振動における節に対応する箇所の質量が、前記第２ベース部の変形振動における節以外の箇所の質量よりも小さいように構成してもよい。

　このように構成すれば、第２ベース部の質量（具体的には、例えば、単位長当たりの質量や、単位体積当たりの質量等）を調整することで、第２ベース部を他の方向に沿って定常波状に変形振動させやすくすることができる。

　本実施形態の駆動装置の他の態様では、前記加振力は、無方向性振動エネルギーとしての無方向性微振動又は異方性微振動である。

　この態様によれば、印加部は、第２ベース部という構造体内を微振動が伝搬するように、微振動を第２ベース部に対して加える。つまり、印加部は、第２ベース部そのものを直接ねじれさせる力を加えることに代えて、構造体内を伝搬する微振動を、複数の被駆動部を回転させるための加振エネルギー（言い換えれば、波動エネルギー）として加える。言い換えれば、印加部は、構造体内をエネルギーとして（言い換えれば、「振動」という力を振動に変えることなく、当該力を発現させるエネルギーとして）伝搬する微振動を、複数の被駆動部を回転させるための波動エネルギーとして加える。このような微振動（言い換えれば、構造体内を伝搬する波動エネルギー）は、少なくとも構造体内を伝搬している段階では、方向性を有していない力となる。言い換えれば、微振動として第２ベース部内を伝搬する波動エネルギーは、第２ベース部内を任意の方向に向かって伝搬する。その結果、この微振動は、波動エネルギーとして、例えば第２ベース部等の構造体から複数の第２弾性部へと（更には、第２ベース部から複数の第２弾性部を介して複数の被駆動部へと）伝わる。その後、構造体内を伝搬してきた微振動（言い換えれば、波動エネルギー）が、複数の第２弾性部自身の弾性に応じた方向に向かって複数の第２弾性部を振動させたり、複数の第２弾性部の弾性に応じた方向に向かって複数の被駆動部を回転させたりする。言い換えれば、この波動エネルギーは、微振動の方向を限定することなくあらゆる方向の振動として取り出すことができる。つまり、第２ベース部内を伝搬した波動エネルギーは、振動（より具体的には、共振）という形で外部に取り出すことができ、その結果、複数の被駆動部を回転させることができる。

　ここで、いわゆる方向性を有する力を加えることで複数の被駆動部の回転駆動を行う場合（例えば、第２ベース部そのものを複数の被駆動部の回転方向に向かって大きくねじれさせ、そのねじれを複数の第２弾性部や複数の被駆動部に直接加えることで複数の被駆動部の回転駆動を行う場合）には、複数の被駆動部を一の方向に沿った軸を中心軸として回転させる方向性を有する力（つまり、第２ベース部等の構造体を一の方向に沿った軸を中心軸とする回転方向に向けてねじれさせる方向性を有する力）を印加部から加える必要がある。このため、このような方向性を有する力を加えることができるように、印加部の配置位置を適切に設定しなければならない。つまり、方向性を有する力を加える場合には、当該力を作用させる方向に依存して印加部の配置位置が限定されてしまう。

　しかるに、この態様によれば、微振動に起因した方向性のない力を加えているがゆえに、印加部の配置位置が限定されてしまうことはなくなる。言い換えれば、微振動に起因した方向性のない力を加えているがゆえに、複数の被駆動部の回転の方向に依存して印加部の配置位置が限定されてしまうことはなくなる。つまり、印加部の配置位置がどのような位置に設定されたとしても、印加部から加えられる微振動（つまり、方向性のない力）は、複数の第２弾性部の弾性を利用して、複数の被駆動部を一の方向に沿った軸を中心軸として回転させることができる。これにより、駆動装置の設計の自由度を相対的に増加させることができる。

　加えて、この態様によれば、無方向性微振動又は異方性微振動として第２ベース部内を伝搬する波動エネルギーを、第２ベース部内を任意の方向に向かって伝搬させることができる。尚、「無方向性微振動」又は「異方性微振動」は、例えば、複数の被駆動部の回転方向に対して無相関な方向の微振動であってもよい。その結果、この波動エネルギーは、微振動の方向を限定することなくあらゆる方向の振動として取り出すことができる。つまり、第２ベース部内を伝搬した波動エネルギーは、振動（より具体的には、共振）という形で外部に取り出すことができ、その結果、複数の被駆動部を回転させることができる。

　加振力が無方向性振動エネルギーとしての無方向性微振動又は異方性微振動である駆動装置の態様では、前記印加部は、前記一の方向に沿った軸を中心軸とする回転方向とは異なる方向に作用する力によって生ずる前記微振動を加えるように構成してもよい。

　このように構成すれば、印加部は、微振動を加える際には、まず、一の方向に沿った軸を中心軸とする回転方向（つまり、被駆動部の回転方向）とは異なる方向に作用する力を発生させる。この力は、後に図面を用いて詳細に説明するように、微振動（言い換えれば、波動エネルギー）となって第２ベース部に加えられる。つまり、一の方向に沿った軸を中心軸とする回転方向とは異なる方向に作用する力によって生ずる微振動（言い換えれば、当該力が変換されて生ずる微振動ないしは波動エネルギー）を加えることができる。従って、上述した各種効果を好適に享受することができる。

　加振力が無方向性振動エネルギーとしての無方向性微振動又は異方性微振動である駆動装置の態様では、前記印加部は、静止時の前記被駆動部の表面に沿った方向に作用する力によって生ずる前記微振動を加えるように構成してもよい。

　この態様によれば、印加部は、微振動を加える際には、まず、静止時の（言い換えれば、初期配置時の）複数の被駆動部の表面に沿った方向（つまり、面内方向）に作用する力を発生させる。この力は、後に図面を用いて詳細に説明するように、微振動（言い換えれば、波動エネルギー）となって第２ベース部に加えられる。つまり、静止時の被駆動部の表面に沿った方向に作用する力によって生ずる微振動（言い換えれば、当該力が変換されて生ずる微振動ないしは波動エネルギー）を加えることができる。従って、上述した各種効果を好適に享受することができる。

　加振力が無方向性振動エネルギーとしての無方向性微振動又は異方性微振動である駆動装置の態様では、前記印加部は、前記第２ベース部を前記他の方向に沿った軸を中心軸として回転させるための前記微振動であって且つ前記複数の被駆動部の夫々及び前記複数の第２弾性部のうち前記夫々の被駆動部に対応する一つの第２弾性部により定まる共振周波数で前記夫々の被駆動部が前記一の方向に沿った軸を中心軸として共振しながら回転するように前記複数の被駆動部を回転させるための前記微振動を前記第２ベース部に加えるように構成してもよい。

　このように構成すれば、印加部の動作により、第２ベース部（言い換えれば、第２ベース部により支持される被駆動部）が他の方向に沿った軸を中心軸として回転するような微振動が加えられる。同時に、この微振動は、複数の被駆動部の夫々及び複数の第２弾性部のうちの対応する一つの第２弾性部により定まる共振周波数で、複数の被駆動部を、一の方向に沿った軸を中心軸として共振しながら回転させる。つまり、この態様では、同一の印加部（言い換えれば、単一の印加部）から、複数の被駆動部の２軸回転駆動を行うための微振動が加えられる。

　ここで、いわゆる方向性を有する力を加えることで複数の被駆動部の２軸回転駆動を行う場合（例えば、第１ベース部や第２ベース部そのものを複数の被駆動部の回転方向に向かって大きくねじれさせ、そのねじれを第１弾性部や複数の第２弾性部や複数の被駆動部に直接加えることで複数の被駆動部の２軸回転駆動を行う場合）には、複数の被駆動部を一の方向に沿った軸を中心軸として回転させる方向性を有する力（つまり、第２ベース部等の構造体を一の方向に沿った軸を中心軸とする回転方向に向けてねじれさせる方向性を有する力）を一の印加部から加えると共に、複数の被駆動部を他の方向に沿った軸を中心軸として回転させる方向性を有する力（つまり、第１ベース部や第２ベース部等の構造体を他の方向に沿った軸を中心軸とする回転方向に向けてねじれさせる方向性を有する力）を他の印加部から加える必要がある。つまり、方向性を有する力を加えることで複数の被駆動部の２軸回転駆動を行う場合には、通常は、２つ以上の印加部（つまりは、２つ以上の駆動源）を駆動装置が備えていなければならない。言い換えれば、方向性を有する力を加えることで複数の被駆動部の２軸回転駆動を行う場合には、１つの印加部からは１つの方向に向かって作用する力しか加えることができないため、２つ以上の印加部（つまりは、２つ以上の駆動源）を駆動装置が備えていなければならない。

　しかるに、この態様では、微振動に起因した方向性のない力を加えることで、複数の被駆動部の２軸回転駆動を行うことができる。ここで、微振動に起因した方向性のない力を加えているがゆえに、１つの印加部から加えられた微振動は、第１弾性部及び複数の第２弾性部の弾性（つまり、複数の被駆動部を一の方向に沿った軸を中心軸として回転させる弾性及び複数の被駆動部を他の方向に沿った軸を中心軸として回転させる弾性）を利用して、複数の被駆動部を一の方向に沿った軸を中心軸として回転させると共に複数の被駆動部を他の方向に沿った軸を中心軸として回転させることができる。つまり、この態様では、複数の被駆動部の２軸回転駆動を行う場合であっても、２つの印加部を備える必要は必ずしもない。このため、単一の印加部（言い換えれば、単一の駆動源）を用いて、複数の被駆動部の２軸回転駆動を行うための微振動を加えることができる。

　加えて、仮に１つの印加部から２つの方向に向かって作用する力を加えることができたとしても、方向性を有する力を加えることで複数の被駆動部の２軸回転駆動を行う場合には、結局のところ、２つの方向に作用する成分（つまり、複数の被駆動部を一の方向に沿った軸を中心軸として回転させる方向性を有する力の成分と、複数の被駆動部を他の方向に沿った軸を中心軸として回転させる方向性を有する力の成分）を有する力を加える必要がある。しかるに、この態様では、微振動に起因した方向性のない力を加振エネルギーとして加えているため、力が作用する方向を考慮した上で当該力を加える必要がなくなるという利点も有している。

　本実施形態のこのような作用及び他の利得は次に説明する実施例から明らかにされる。

　以上説明したように、本実施形態の駆動装置によれば、第１ベース部と、第２ベース部と、第１弾性部と、複数の被駆動部と、複数の第２弾性部と、印加部とを備え、複数の被駆動部の共振周波数が同じになる。従って、被駆動部を好適に回転させることができる。

　以下、図面を参照しながら、駆動装置の実施例について説明する。尚、以下では、駆動装置をＭＥＭＳスキャナに適用した例について説明する。

　（１）第１実施例
　図１から図５を参照して、第１実施例のＭＥＭＳスキャナ１００について説明する。

　（１－１）基本構成
　図１を参照して、第１実施例のＭＥＭＳスキャナ１００の基本構成について説明する。図１は、第１実施例のＭＥＭＳスキャナ１００の基本構成を概念的に示す平面図である。

　図１に示すように、第１実施例のＭＥＭＳスキャナ１００は、ベース１１０と、トーションバー１２０ａ及び１２０ｂと、トーションバー１２０ｃ及び１２０ｄと、ミラー１３０ａと、ミラー１３０ｃと、駆動源部１６０とを備えている。

　ベース１１０は、内部に空隙を備える枠形状を有している。つまり、ベース１１０は、図１中のＹ軸方向に延伸する２つの辺と図１中のＸ軸方向（つまり、Ｙ軸に直交する軸方向）に延伸する２つの辺とを有すると共に、Ｙ軸方向に延伸する２つの辺とＸ軸方向に延伸する２つの辺とによって取り囲まれた空隙を有する枠形状を有している。図１に示す例では、ベース１１０は、正方形の形状を有しているが、これに限定されることはなく、例えばその他の形状（例えば、長方形等の矩形の形状や円形の形状等）を有していてもよい。また、ベース１１０は、第１実施例に係るＭＥＭＳスキャナ１００の基礎となる構造体であって、不図示の基板ないしは支持部材に対して固定されている（言い換えれば、ＭＥＭＳスキャナ１００という系の内部においては固定されている）ことが好ましい。

　尚、図１では、ベース１１０が枠形状を有している例を示しているが、その他の形状を有していてもよいことは言うまでもない。例えば、ベース１１０は、その一部の辺が開口となるコの字型形状を有していてもよい。或いは、例えば、ベース１１０は、内部に空隙を備える箱型形状を有していてもよい。つまり、ベース１１０は、Ｘ軸及びＹ軸によって規定される平面上に分布する２つの面と、Ｘ軸及び不図示のＺ軸（つまり、Ｘ軸及びＹ軸の双方に直交する軸）によって規定される平面上に分布する２つの面と、Ｙ軸及び不図示のＺ軸によって規定される平面上に分布する２つの面とを有すると共に、これらの６つの面によって取り囲まれた空隙を有する箱形状を有していてもよい。或いは、ミラー１３０ａ及び１３０ｃが配置される態様に応じて適宜ベース１１０の形状を任意に代えてもよい。

　トーションバー１２０ａは、例えばシリコン、銅合金、鉄系合金、その他金属、樹脂等を材料とするバネ等のような弾性を有する部材である。トーションバー１２０ａは、図１中Ｙ軸の方向に延伸するように配置される。言い換えれば、トーションバー１２０ａは、Ｙ軸の方向に延伸する長手を有すると共にＸ軸の方向に延伸する短手を有する形状を有している。但し、後述する共振周波数の設定状況に応じて、トーションバー１２０ａは、Ｙ軸の方向に延伸する短手を有すると共にＸ軸の方向に延伸する長手を有する形状を有していてもよい。トーションバー１２０ａの一方の端部１２１ａは、ベース１１０の内側の辺１１１に接続される。トーションバー１２０ａの他方の端部１２２ａは、Ｙ軸の方向に沿ってベース１１０の内側の辺１１１に対向するミラー１３０ａの辺１３１ａに接続される。

　トーションバー１２０ｂは、例えばシリコン、銅合金、鉄系合金、その他金属、樹脂等を材料とするバネ等のような弾性を有する部材である。トーションバー１２０ｂは、図１中Ｙ軸の方向に延伸するように配置される。言い換えれば、トーションバー１２０ｂは、Ｙ軸の方向に延伸する長手を有すると共にＸ軸の方向に延伸する短手を有する形状を有している。但し、後述する共振周波数の設定状況に応じて、トーションバー１２０ｂは、Ｙ軸の方向に延伸する短手を有すると共にＸ軸の方向に延伸する長手を有する形状を有していてもよい。トーションバー１２０ｂの一方の端部１２１ｂは、Ｙ軸の方向に沿ってベース１１０の内側の辺１１１（つまり、トーションバー１２０ａの一方の端部１２１ａが接続されるベース１１０の内側の辺１１１）に対向するベース１１０の内側の辺１１２に接続される。トーションバー１２０ｂの他方の端部１２２ｂは、Ｙ軸の方向に沿ってベース１１０の内側の辺１１２に対向するミラー１３０ａの辺１３２ａに接続される。

　トーションバー１２０ｃは、例えばシリコン、銅合金、鉄系合金、その他金属、樹脂等を材料とするバネ等のような弾性を有する部材である。トーションバー１２０ｃは、図１中Ｙ軸の方向に延伸するように配置される。言い換えれば、トーションバー１２０ｃは、Ｙ軸の方向に延伸する長手を有すると共にＸ軸の方向に延伸する短手を有する形状を有している。但し、後述する共振周波数の設定状況に応じて、トーションバー１２０ｃは、Ｙ軸の方向に延伸する短手を有すると共にＸ軸の方向に延伸する長手を有する形状を有していてもよい。トーションバー１２０ｃの一方の端部１２１ｃは、ベース１１０の内側の辺１１１に接続される。トーションバー１２０ｃの他方の端部１２２ｃは、Ｙ軸の方向に沿ってベース１１０の内側の辺１１１に対向するミラー１３０ｃの辺１３１ｃに接続される。

　トーションバー１２０ｄは、例えばシリコン、銅合金、鉄系合金、その他金属、樹脂等を材料とするバネ等のような弾性を有する部材である。トーションバー１２０ｄは、図１中Ｙ軸の方向に延伸するように配置される。言い換えれば、トーションバー１２０ｄは、Ｙ軸の方向に延伸する長手を有すると共にＸ軸の方向に延伸する短手を有する形状を有している。但し、後述する共振周波数の設定状況に応じて、トーションバー１２０ｄは、Ｙ軸の方向に延伸する短手を有すると共にＸ軸の方向に延伸する長手を有する形状を有していてもよい。トーションバー１２０ｄの一方の端部１２１ｄは、Ｙ軸の方向に沿ってベース１１０の内側の辺１１１（つまり、トーションバー１２０ｃの一方の端部１２１ｃが接続されるベース１１０の内側の辺１１１）に対向するベース１１０の内側の辺１１２に接続される。トーションバー１２０ｄの他方の端部１２２ｄは、Ｙ軸の方向に沿ってベース１１０の内側の辺１１２に対向するミラー１３０ｃの辺１３２ｃに接続される。

　ミラー１３０ａは、ベース１１０の内部の空隙に、トーションバー１２０ａ及び１２０ｂによって吊り下げられる又は支持されるように配置される。ミラー１３０ａは、トーションバー１２０ａ及び１２０ｂの弾性によって、Ｙ軸の方向を中心軸として回転するように構成されている。

　ミラー１３０ｃは、ベース１１０の内部の空隙に、トーションバー１２０ｃ及び１２０ｄによって吊り下げられる又は支持されるように配置される。ミラー１３０ｃは、トーションバー１２０ｃ及び１２０ｄの弾性によって、Ｙ軸の方向を中心軸として回転するように構成されている。

　駆動源部１６０は、ミラー１３０ａ及び１３０ｃをＹ軸の方向に沿った軸を中心軸として回転させるために必要な微振動をベース１１０に対して加える。尚、駆動源部１６０が微振動をベース１１０に加えることができる限りは、その配置態様は任意に定めてもよい。また、ベース１１０に対して力を加えることに限らず、その他の位置（例えば、トーションバー１２０ａや、トーションバー１２０ｂや、トーションバー１２０ｃや、トーションバー１２０ｂや、ミラー１３０ａや、ミラー１３０ｃ等）に対して力を加えることができるように構成されてもよい。

　より具体的には、駆動源部１６０は、電磁力に起因した力を加える駆動源部であって、ベース１１０の枠形状に沿って配置されるコイル１６１と、不図示の基材に固定される磁極１６２とを備える。この場合、コイル１６１には、不図示の駆動源部制御回路から所望のタイミングで、所望の電圧が印加される。コイル１６１への電圧の印加によって電流が流れ、コイル１６１と磁極１６２との間に電磁相互作用が生ずる。その結果、電磁相互作用による電磁力が発生する。この電磁力は微振動としてベース１１０に伝えられる。

　続いて、図２を参照して、ベース１１０の裏側（具体的には、図１に示したベース１１０の反対側）の構成について説明する。図２は、ベース１１０の裏側（具体的には、図１に示したベース１１０の反対側）の構成を示す平面斜視図である。

　図２に示すように、ベース１１０の枠形状のうちの一部の領域１１０ａには、ベース１１０の表面から突き出るリブ１１９が形成されている。リブ１１９は、ベース１１０と一体的に形成されていてもよいし、ベース１１０が形成された後に付加的に配置されていてもよい。一方で、ベース１１０の枠形状のうちの他の一部の領域１１０ｂには、リブ１１９が形成されていない。

　図２に示すリブ１１９により、ベース１１０の枠形状のうちの一部の領域１１０ａの剛性は、ベース１１０の枠形状のうちの他の一部の領域１１０ｂの剛性よりも高くなる。言い換えれば、リブ１１９は、ベース１１０の枠形状のうちの一部の領域１１０ａの剛性が、ベース１１０の枠形状のうちの他の一部の領域１１０ｂの剛性よりも高くなる状態を実現することができるように、ベース１１０に形成されることが好ましい。つまり、ベース１１０の枠形状のうちの一部の領域１１０ａの剛性が、ベース１１０の枠形状のうちの他の一部の領域１１０ｂの剛性よりも高くなる状態を実現することができるように、リブ１１９の形成位置や、大きさや、質量や、剛性や、密度等が適宜決定されることが好ましい。

　或いは、図２に示すリブ１１９により、ベース１１０の枠形状のうちの一部の領域１１０ａの質量（或いは、ベース１１０の枠方向に沿った単位長当たりの質量）は、ベース１１０の枠形状のうちの他の一部の領域１１０ｂの質量（或いは、ベース１１０の枠方向に沿った単位長当たりの質量）よりも大きくなる。或いは、リブ１１９は、ベース１１０の枠形状のうちの一部の領域１１０ａの質量が、ベース１１０の枠形状のうちの他の一部の領域１１０ｂの質量よりも大きくなる状態を実現することができるように、ベース１１０に形成されることが好ましい。つまり、ベース１１０の枠形状のうちの一部の領域１１０ａの質量が、ベース１１０の枠形状のうちの他の一部の領域１１０ｂの質量よりも大きくなる状態を実現することができるように、リブ１１９の形成位置や、大きさや、質量や、剛性や、密度等が適宜決定されることが好ましい。

　尚、リブ１１９が形成される領域１１０ａとリブ１１９が形成されない領域１１０ｂは、ミラー１３０ａ及び１３０ｂの夫々の回転軸（つまり、Ｙ軸）に直交する方向（つまり、Ｘ軸に沿った方向）に沿って並ぶことが好ましい。

　尚、図２は、リブ１１９がベース１１０の裏側に形成される例を示している。しかしながら、リブ１１９は、ベース１１０の表側に形成されてもよいし、ベース１１０の側面に形成されてもよいし、ベース１１０の内面に形成されてもよい。或いは、リブ１１９以外の構成を用いて、ベース１１０の枠形状のうちの一部の領域１１０ａの剛性が、ベース１１０の枠形状のうちの他の一部の領域１１０ｂの剛性よりも高くなる状態を実現してもよい。或いは、リブ１１９以外の構成を用いて、ベース１１０の枠形状のうちの一部の領域１１０ａの質量が、ベース１１０の枠形状のうちの他の一部の領域１１０ｂの質量よりも大きくなる状態を実現してもよい。例えば、ベース１１０の密度や材質等を領域１１０ａと領域１１０ｂとで異ならしめることで、上述の状態を実現してもよい。

　（１－２）ＭＥＭＳスキャナの動作
　続いて、図３を参照して、第１実施例のＭＥＭＳスキャナ１００の動作の態様（具体的には、ミラー１３０ａ及び１３０ｃを回転させる動作の態様）について説明する。図３は、第１実施例のＭＥＭＳスキャナ１００による動作の態様を概念的に示す平面図である。

　第１実施例のＭＥＭＳスキャナ１００の動作時には、コイル１６１には、不図示の駆動源部制御回路から所望のタイミングで、所望の電圧が印加される。コイル１６１への電圧の印加によって電流が流れ、コイル１６１と磁極１６２との間に電磁相互作用が生ずる。その結果、電磁相互作用による電磁力が発生する。この電磁力は微振動（ないしは、波動エネルギー）としてベース１１０に伝えられる。

　ここで、電磁相互作用による電磁力の方向は、図３中奥側（紙面奥側）から手前側（紙面手前側）方向である。この電磁力そのものは、ミラー１３０ａ及び１３０ｃの回転方向（つまり、Ｙ軸に沿った方向を中心軸とする回転方向）とは異なる。一方で、この電磁力は、微振動（言い換えれば、波動エネルギーであって、方向性のない力）としてベース１１０に伝わる。より具体的には、駆動源部１６０は、基礎となるベース１１０に対して、ベース１１０そのものの回転方向のねじれをなくしつつもベース１１０内を伝搬する微振動を、波動エネルギーとして加える。言い換えれば、駆動源部１６０は、ベース１１０そのものに回転方向のねじれを与える力を加えることに代えて、ベース１１０内をエネルギーとして（言い換えれば、力を発現させる波動エネルギーとして）伝搬する微振動を加える。このような微振動は、ベース１１０内を伝搬している時点では、方向性を有していない力となる。言い換えれば、微振動としてベース１１０内を伝搬する波動エネルギーは、ベース１１０内を任意の方向に向かって伝搬する。また、このような微振動が加えられたベース１１０は、ベース１１０そのものが振動する物体となるというよりは、微振動（言い換えれば、波動エネルギー）を伝搬する媒体となる。

　その結果、駆動源部１６０からベース１１０に対して加えられる微振動は、ベース１１０からトーションバー１２０ａ及び１２０ｂへと伝わる。その後、図３に示すように、ベース１１０内を伝搬してきた微振動（言い換えれば、波動エネルギー）が、トーションバー１２０ａ及び１２０ｂ自身の弾性に応じた方向に向かってトーションバー１２０ａ及び１２０ｂを回転させたり、ミラー１３０ａを回転させたりする。言い換えれば、ベース１１０内を伝搬してきた微振動は、トーションバー１２０ａ及び１２０ｂの回転やミラー１３０ａの回転という形で発現する。言い換えれば、この波動エネルギーは、微振動の方向を限定することなくあらゆる方向の振動として取り出すことができる。つまり、ベース１１０内を伝搬した波動エネルギーは、振動（より具体的には、共振）という形で外部に取り出すことができ、その結果、ミラー１３０ａを回転させることができる。その結果、図３に示すように、ミラー１３０ａが、Ｙ軸の方向に沿った軸を中心軸として回転する。より具体的には、ミラー１３０ａは、共振周波数での回転動作を所定の角度の範囲内で繰り返すように（言い換えれば、所定の角度の範囲内での回転の往復運動を繰り返す）。

　このとき、ミラー１３０ａは、ミラー１３０ａ並びにトーションバー１２０ａ及び１２０ｂに応じて定まる共振周波数で共振するように回転する。より具体的には、ミラー１３０ａは、ミラー１３０ａ（より具体的には、ミラー１３０ａを含む被懸架部であり、トーションバー１２０ａ及び１２０ｂによって吊り下げられる構造物）のＹ軸に沿った軸周り慣性モーメント並びにトーションバー１２０ａ及び１２０ｂのねじりバネ定数に応じて定まる共振周波数で共振するように回転する。例えば、ミラー１３０ａのＹ軸に沿った軸回り慣性モーメントがＩａであり且つトーションバー１２０ａ及び１２０ｂを１本のバネとみなした場合のねじりバネ定数がｋａであるとすれば、ミラー１３０ａは、（１／（２π））×√（ｋａ／Ｉａ）にて特定される共振周波数（或いは、（１／（２π））×√（ｋａ／Ｉａ）のＮ倍若しくはＮ分の１倍（但し、Ｎは１以上の整数）の共振周波数）で共振するように、Ｙ軸の方向に沿った軸を中心軸として回転する。このため、駆動源部１６０は、ミラー１３０ａが上述の共振周波数で共振するように、上記共振周波数に同期した態様で微振動を加える。

　また、ミラー１３０ａの共振周波数は、厳密に言えば、ミラー１３０ａという回転体を含む回転系を支える土台の剛性や質量（或いは、慣性モーメント）によって変化しかねない。例えば、ミラー１３０ａの共振周波数は、ミラー１３０ａという回転体を含む回転系を支えるベース１１０等の剛性や質量（或いは、慣性モーメント）によって変化しかねない。このため、ミラー１３０ａを支える土台の剛性や質量（或いは、慣性モーメント）を考慮した上で、（１／（２π））×√（ｋａ／Ｉａ）という数式（或いは、当該数式を特定するパラメータであるｋａ及びＩａ）に対して所定の補正演算を施した結果得られる共振周波数を、実際のミラー１３０ａの共振周波数として取り扱ってもよい。

　同様に、駆動源部１６０からベース１１０に対して加えられる微振動は、ベース１１０からトーションバー１２０ｃ及び１２０ｄへと伝わる。その後、図３に示すように、ベース１１０内を伝搬してきた微振動（言い換えれば、波動エネルギー）が、トーションバー１２０ｃ及び１２０ｄ自身の弾性に応じた方向に向かってトーションバー１２０ｃ及び１２０ｄを回転させたり、ミラー１３０ｃを回転させたりする。言い換えれば、ベース１１０内を伝搬してきた微振動は、トーションバー１２０ｃ及び１２０ｄの回転やミラー１３０ｃの回転という形で発現する。言い換えれば、この波動エネルギーは、微振動の方向を限定することなくあらゆる方向の振動として取り出すことができる。つまり、ベース１１０内を伝搬した波動エネルギーは、振動（より具体的には、共振）という形で外部に取り出すことができ、その結果、ミラー１３０ｃを回転させることができる。その結果、図３に示すように、ミラー１３０ｃが、Ｙ軸の方向に沿った軸を中心軸として回転する。より具体的には、ミラー１３０ｃは、共振周波数での回転動作を所定の角度の範囲内で繰り返すように（言い換えれば、所定の角度の範囲内での回転の往復運動を繰り返す）。

　このとき、ミラー１３０ｃは、ミラー１３０ｃ並びにトーションバー１２０ｃ及び１２０ｄに応じて定まる共振周波数で共振するように回転する。より具体的には、ミラー１３０ｃは、ミラー１３０ｃ（より具体的には、ミラー１３０ｃを含む被懸架部であり、トーションバー１２０ｃ及び１２０ｄによって吊り下げられる構造物）のＹ軸に沿った軸周り慣性モーメント並びにトーションバー１２０ｃ及び１２０ｄのねじりバネ定数に応じて定まる共振周波数で共振するように回転する。例えば、ミラー１３０ｃのＹ軸に沿った軸回り慣性モーメントがＩｃであり且つトーションバー１２０ｃ及び１２０ｄを１本のバネとみなした場合のねじりバネ定数がｋｃであるとすれば、ミラー１３０ｃは、（１／（２π））×√（ｋｃ／Ｉｃ）にて特定される共振周波数（或いは、（１／（２π））×√（ｋｃ／Ｉｃ）のＮ倍若しくはＮ分の１倍（但し、Ｎは１以上の整数）の共振周波数）で共振するように、Ｙ軸の方向に沿った軸を中心軸として回転する。このため、駆動源部１６０は、ミラー１３０ｃが上述の共振周波数で共振するように、上記共振周波数に同期した態様で微振動を加える。

　また、ミラー１３０ｃの共振周波数は、厳密に言えば、ミラー１３０ｃという回転体を含む回転系を支える土台の剛性や質量（或いは、慣性モーメント）によって変化しかねない。例えば、ミラー１３０ｃの共振周波数は、ミラー１３０ｃという回転体を含む回転系を支えるベース１１０等の剛性や質量（或いは、慣性モーメント）によって変化しかねない。このため、ミラー１３０ｃを支える土台の剛性や質量（或いは、慣性モーメント）を考慮した上で、（１／（２π））×√（ｋｃ／Ｉｃ）という数式（或いは、当該数式を特定するパラメータであるｋｃ及びＩｃ）に対して所定の補正演算を施した結果得られる共振周波数を、実際のミラー１３０ｃの共振周波数として取り扱ってもよい。

　尚、第１実施例では、ミラー１３０ａの共振周波数とミラー１３０ｃの共振周波数とは同一であることが好ましい。具体的には、（１／（２π））×√（ｋａ／Ｉａ）＝（１／（２π））×√（ｋｃ／Ｉｃ）となることが好ましい。或いは、ＭＥＭＳスキャナ１００が３つ以上の複数のミラー１３０を備えている場合には、複数のミラー１３０のうちの少なくとも２つの共振周波数が同一であることが好ましい。

　ここで、図４を参照して、駆動源部１６０から加えられる微振動に起因した方向性のない力について更に説明する。図４は、駆動源部１６０から加えられる微振動に起因した方向性のない力について説明するための平面図である。尚、以下の説明では、説明を分かりやすくするために、図１に示す駆動源部１６０とは異なる構成を有する駆動源部１６０を用いて説明を進める。但し、図１に示す駆動源部１６０から加えられる微振動としての電磁力と図４に示す駆動源部１６０から加えられる微振動としての電磁力とは、実際上は同一の力（つまり、方向性のない力）である。

　図４に示すように、駆動源部１６０は、伝達枝１６０ｂと、伝達枝１６０ｂを介してベース１１０に接続される第１支持板１６０－１ｃであって且つＹ軸の方向に沿って相対向する第１枝１６０－１ｘ及び１６０－１ｙを備える第１支持板１６０－１ｃと、伝達枝１６０ｂを介してベース１１０に接続される第２支持板１６０－２ｃであって且つＹ軸の方向に沿って相対向する第２枝１６０－２ｘ及び１６０－２ｙを備える第２支持板１６０－２ｃと、第１枝１６０－１ｘ及び１６０－１ｙの夫々に巻かれた第１コイル１６０－１ｚと、第２枝１６０－２ｘ及び１６０－２ｙの夫々に巻かれた第２コイル１６０－２ｚとを備えている。また、第１枝１６０－１ｘ及び１６０－１ｙ並びに第２枝１６０－２ｘ及び１６０－２ｙの形状及び特性は同一であるとし、第１枝１６０－１ｘに巻かれたコイル１６０－１ｚの特性（例えば、巻き数等）及び第１枝１６０－１ｙに巻かれたコイル１６０－１ｚの特性（例えば、巻き数等）は同一であるとし、第２枝１６０－２ｘに巻かれたコイル１６０－２ｚの特性（例えば、巻き数等）及び第２枝１６０－２ｙに巻かれたコイル１６０－２ｚの特性（例えば、巻き数等）は同一であるものとする。

　ここで、第１枝１６０－１ｘ及び１６０－１ｙ並びに第２枝１６０－２ｘ及び１６０－２ｙの夫々に巻かれたコイル１６０－１ｚ及び１６０－２ｚに電流を流すと、電磁相互作用により、第１枝１６０－１ｘ及び第２枝１６０－２ｘに対して第１枝１６０－１ｙ及び第２枝１６０－２ｙの方向に向かって引っ張られる力（つまり、Ｙ軸の負の方向であって図４中下側に向かう方向に作用する力）が発生する場合には、第１枝１６０－１ｙ及び第２枝１６０－２ｙに対しても、第１枝１６０－１ｘ及び第２枝１６０－２ｘの方向に向かって引っ張られる力（つまり、Ｙ軸の正の方向であって図４中上側に向かう方向に作用する力）が発生する。この力は、互いに逆向きで同じ大きさであるため、それらが外部に加速度を生じさせたり、それら自身に加速度を発生させることもなく、第１枝１６０－１ｘと第１枝１６０－１ｙとが接合する点Ｐ１（言い換えれば、伝達枝１６０ｂ上の点Ｐ１）及び第２枝１６０－２ｘと第２枝１６０－２ｙとが接合する点Ｐ２（言い換えれば、伝達枝１６０ｂ上の点Ｐ２）には微振動のみが伝達される。その結果、点Ｐ１及びＰ２における力には方向性がないことになる。同様に、電磁相互作用により、第１枝１６０－１ｘ及び第２枝１６０－２ｘに対して第１枝１６０－１ｙ及び第２枝１６０－２ｙから引き離される力（つまり、Ｙ軸の正の方向であって図４中上側に向かう方向に作用する力）が発生する場合には、第１枝１６０－１ｙ及び第２枝１６０－２ｙに対しても第１枝１６０－１ｘ及び第２枝１６０－２ｘから引き離される力（つまり、Ｙ軸の負の方向であって図４中下側に向かう方向に作用する力）が発生する。この力は、互いに逆向きで同じ大きさであるため、それらが外部に加速度を生じさせたり、それら自身に加速度を発生させることもなく、第１枝１６０－１ｘと第１枝１６０－１ｙとが接合する点Ｐ１及び第２枝１６０－２ｘと第２枝１６０－２ｙとが接合する点Ｐ２には微振動のみが伝達される。その結果、点Ｐ１及びＰ２における力には方向性がないことになる。

　しかしながら、本願発明者の実験によれば、上記構成によってベース１１０内を微振動（つまり、波動エネルギーであって、方向性のない力）が伝搬し、その結果、ミラー１３０ａ及び１３０ｃがＹ軸の方向に沿った軸を中心軸として回転することが判明している。つまり、駆動源部１６０により加えられる微振動が上述した方向性のない力（言い換えれば、波動エネルギー）としてベース１１０内を伝搬することで、ミラー１３０ａ及び１３０ｃがＹ軸の方向に沿った軸を中心軸として回転することが判明している。

　このように、第１実施例においては、ミラー１３０ａがミラー１３０ａ並びにトーションバー１２０ａ及び１２０ｂに応じて定まる共振周波数で共振するように、Ｙ軸の方向に沿った軸を中心軸としてミラー１３０ａを回転させることができる。更に、第１実施例においては、ミラー１３０ｃがミラー１３０ｃ並びにトーションバー１２０ｃ及び１２０ｄに応じて定まる共振周波数で共振するように、Ｙ軸の方向に沿った軸を中心軸としてミラー１３０ｃを回転させることができる。つまり、第１実施例においては、ミラー１３０ａ及び１３０ｃはＹ軸を中心軸として自励共振する。

　ここで、「共振」とは、無限小の力の繰り返しにより無限大の変位が生じる現象である。このため、ミラー１３０ａ及び１３０ｃを回転させるために加えられる力を小さくしても、ミラー１３０ａ及び１３０ｃの回転範囲（言い換えれば、回転方向の振幅）を大きくとることができる。つまり、ミラー１３０ａ及び１３０ｃが回転するために必要な力を相対的に小さくすることができる。このため、ミラー１３０ａ及び１３０ｃの回転に必要な力を加えるために必要な電力量をも少なくすることができる。従って、より効率的にミラー１３０ａ及び１３０ｃを移動させることができ、その結果、ＭＥＭＳスキャナ１００の低消費電力化を実現することができる。

　加えて、第１実施例では、方向性を有していない力を加えている。

　ここで、比較例として、いわゆる方向性を有する力を加えることでミラー１３０ａ及び１３０ｃの回転駆動を行う構成（例えば、ベース１１０そのものをミラー１３０ａ及び１３０ｃの回転方向に向かって大きくねじれさせ、そのねじれをトーションバー１２０ａ及び１２０ｂ並びにトーションバー１２０ｃ及び１２０ｄやミラー１３０ａ及び１３０ｃに直接加えることでミラー１３０ａ及び１３０ｃの回転駆動を行う構成）を例にあげて説明する。この場合、ミラー１３０ａ及び１３０ｃをＹ軸の方向に沿った軸を中心軸として回転させる方向性を有する力（つまり、ベース１１０を、Ｙ軸の方向に沿った軸を中心軸として回転させるようにねじれさせる力）をある駆動源部１６０から加える必要がある。このため、このような方向性を有する力を加えることができるように、駆動源部１６０の配置位置を適切に設定しなければならない。つまり、方向性を有する力を加える場合には、当該力を作用させる方向に依存して駆動源部１６０の配置位置が限定されてしまう。

　しかるに、第１実施例では、微振動に起因した方向性のない力を加えているがゆえに、駆動源部１６０の配置位置が限定されてしまうことはなくなる。言い換えれば、微振動に起因した方向性のない力を加えているがゆえに、ミラー１３０ａ及び１３０ｃの回転の方向に依存して駆動源部１６０の配置位置が限定されてしまうことはなくなる。つまり、駆動源部１６０の配置位置がどのような位置に設定されたとしても、駆動源部１６０から加えられる微振動（つまり、方向性のない力）は、トーションバー１２０ａ及び１２０ｂ並びにトーションバー１２０ｃ及び１２０ｄの弾性を利用して、ミラー１３０ａ及び１３０ｃをＹ軸の方向に沿った軸を中心軸として回転させることができる。これにより、ＭＥＭＳスキャナ１００の設計の自由度を相対的に増加させることができる。これは、各構成要件のサイズ的な又は設計的な制約が大きいＭＥＭＳスキャナにとって実践上非常に有利である。

　更に第１実施例では、ベース１１０の裏側にリブ１１９が形成されているため、駆動源部１６０から加えられる微振動によって、ベース１１０そのものが波打つように変形振動する。以下、図５を参照して、ベース１１０の変形振動の態様について説明する。図５は、ベース１１０の変形振動の態様を、ミラー１３０ａ及び１３０ｂの回転の態様と関連付けて示す側面図である。尚、図５は、図３に示す矢印「ＩＩＩ」の方向からベース１１０並びにミラー１３０ａ及び１３０ｃを観察した場合の側面図を示す。

　図５（ａ）に示すように、駆動源部１６０からベース１１０に対して微振動が加えられていない状態では、ベース１１０は変形振動しておらず、ミラー１３０ａ及び１３０ｂも回転していない。

　図５（ｂ）に示すように、駆動源部１６０からベース１１０に対して微振動が加えられると、リブ１１９が形成されている領域１１０ａは、剛性が相対的に高いため、微振動によって屈曲しにくい一方で、リブ１１９が形成されていない領域１１０ｂは、剛性が相対的に低いため、微振動によって屈曲しやすい。その結果、ベース１１０は、リブが形成されている領域１１０ａを節とし且つリブ１１９が形成されていない領域１１０ｂを腹にして、Ｘ軸の方向に沿って波打つように変形振動する。より具体的には、ベース１１０は、リブ１１９が形成されている領域１１０ａを節とし且つリブ１１９が形成されていない領域１１０ｂを腹にする定常波のようにその外観を変形させながら振動する。尚、図５（ｂ）に示す例では、ベース１１０は、その中心から折れ曲がるように変形振動する。但し、ベース１１０は、他の変形モード（例えば、更に多くの節を有する変形モード）で変形振動してもよい。

　尚、第１実施例におけるベース１１０の変形振動は、リブ１１９が適切な箇所に形成されることによって実現されている。従って、上述したリブ１１９は、リブが形成されている領域１１０ａを節とし且つリブ１１９が形成されていない領域１１０ｂを腹にしてベース１１０がＸ軸の方向に沿って変形振動するように、ベース１１０上の適切な箇所に形成されることが好ましい。このとき、トーションバー１２０ａ及び１２０ｂ並びにトーションバー１２０ｃ及び１２０ｄが接続されている箇所が領域１１０ａに対応することが好ましい。例えば、上述したリブ１１９は、Ｘ軸の方向に沿った曲げ剛性が相対的に高い部分とＸ軸の方向に沿った曲げ剛性が相対的に低い部分とがＸ軸の方向に沿って順に現れるように、ベース１１０上の適切な箇所に形成されることが好ましい。或いは、例えば、上述したリブ１１９は、Ｘ軸の方向に沿った曲げ剛性が相対的に高い部分とＸ軸の方向に沿った曲げ剛性が相対的に低い部分とがＸ軸の方向に沿って順に現れると共に、トーションバー１２０ａ及び１２０ｂ並びにトーションバー１２０ｃ及び１２０ｄが接続されている箇所が領域１１０ａになり且つその他の箇所が領域１１０ｂになるように、ベース１１０上の適切な箇所に形成されることが好ましい。

　このとき、駆動源部１６０から加えられる微振動の周期によっては、ベース１１０は、共振するように変形振動する。ここで、第１実施例では、ベース１１０の変形振動における共振周波数は、ミラー１３０ａ及び１３０ｂの共振周波数と同一であることが好ましい。言い換えれば、ミラー１３０ａ及び１３０ｂの共振周波数と同一の共振周波数でベース１１０が変形振動するように、ベース１１０の特性が定められることが好ましい。例えば、ミラー１３０ａ及び１３０ｂの共振周波数と同一の共振周波数で変形振動するように、ベース１１０の裏側に形成されるリブ１１９の特性（例えば、形成位置や、大きさや、質量や、剛性や、密度等）が定められることが好ましい。

　尚、ベース１１０の変形振動における共振周波数は、ベース１１０及びリブ１１９を含む構造物を一つのバネ系としてみなし、当該バネ系に付加されている質量をＭとし且つ当該バネ系のバネ定数をｋとした場合には、（１／（２π））×√（ｋ／Ｍ）にて特定される。但し、当該バネ系が一つのバネに一つの質量構造物が接続された（言い換えれば、固有振動数が１個であり且つ固有振動モードが１個である）１自由度のバネ系であれば、（１／（２π））×√（ｋ／Ｍ）という共振周波数を採用することができる。一方で、当該バネ系が一つのバネに２つの質量構造物が接続された２自由度のバネ系であれば、（１／（２π））×√（ｋ／Ｍ）という共振周波数における「ｋ」及び「Ｍ」等を補正することが好ましい。尚、ベース１１０及びリブ１１９を含む構造物を一つのバネ系とみなした場合、当該バネ系に付加されている質量Ｍ及び当該バネ系のバネ定数ｋは、ベース１１０の剛性及び質量に応じて定まる。第１実施例では、ベース１１０の剛性及び質量をリブ１１９によって調整している。このため、ベース１１０の共振周波数は、実質的には、上述したリブ１１９の特性によって定められる。

　また、ベース１１０の変形振動における共振周波数は、（１／（２π））×√（ｋ／Ｍ）という式によって特定される。しかしながら、ベース１１０の変形振動における共振周波数は、厳密に言えば、ベース１１０という変形振動体を含む振動系を支える土台の剛性や質量（或いは、慣性モーメント）によって変化しかねない。このため、ベース１１０を支える土台の剛性や質量（或いは、慣性モーメント）を考慮した上で、（１／（２π））×√（ｋ／Ｍ）という数式（或いは、当該数式を特定するパラメータであるｋ及びＭ）に対して所定の補正演算を施した結果得られる共振周波数を、実際のベース１１０の変形振動における共振周波数として取り扱ってもよい。

　また、ベース１１０の変形振動における共振は、ベース１１０の変形振動に係るバネ系を一つのバネに２つの質量構造物が接続された２自由度のバネ系とみなすことによって規定することに代えて、ベース１１０という板状の部材の高次の共振モードとみなすことによって規定してもよい。

　ここで、上述したように、駆動源部１６０からはミラー１３０ａ及び１３０ｃが上述の共振周波数で共振するように当該共振周波数に同期した態様で微振動が加えられている。従って、このような微振動の印加により、ベース１１０は、共振するように変形振動する。つまり、図５（ａ）から図５（ｆ）に時系列的に示すように、ベース１１０は、両端が開放された定常波の如き外観を有するように変形振動する。つまり、ベース１１０は、ミラー１３０ａ及び１３０ｃの回転軸に直交する方向（つまり、Ｘ軸の方向）に沿って定常波が現れるような外観を有する。

　このような態様でベース１１０が変形振動すると、ミラー１３０ａ側におけるベース１１０（具体的には、図５（ａ）から図５（ｆ）の夫々の相対的に左側のベース１１０）の変形の態様とミラー１３０ｃ側におけるベース１１０（具体的には、図５（ａ）から図５（ｆ）の夫々の相対的に右側のベース１１０）の変形の態様とは逆になる。例えば、ミラー１３０ａ側におけるベース１１０がミラー１３０ａの回転軸を中心として反時計周りに変形している場合（例えば、図５（ａ）から図５（ｃ）に示すように変形している場合）、ミラー１３０ｃ側におけるベース１１０は、ミラー１３０ｃの回転軸を中心として時計周りに変形することになる。同様に、例えば、ミラー１３０ａ側におけるベース１１０がミラー１３０ａの回転軸を中心として時計周りに変形している場合（例えば、図５（ｄ）から図５（ｆ）に示すように変形している場合）、ミラー１３０ｃ側におけるベース１１０は、ミラー１３０ｃの回転軸を中心として反時計周りに変形することになる。従って、ミラー１３０ａ及び１３０ｃの夫々の共振周波数が等しいことから、ミラー１３０ａ及び１３０ｃは、ベース１１０の変形振動に伴って、ミラー１３０ａの回転の位相とミラー１３０ｃの回転の位相とが互いに逆相になるように回転する。言い換えれば、ミラー１３０ａ及び１３０ｃは、ミラー１３０ａの回転の位相がミラー１３０ｃの回転の位相に対して１８０°ずれるように回転する。言い換えれば、ミラー１３０ａ及び１３０ｃは、ミラー１３０ａの回転の位相とミラー１３０ｃの回転の位相との間のずれが１８０°に固定されるように回転する。このようなミラー１３０ａの回転の位相とミラー１３０ｃの回転の位相との間の関係は、図５（ｃ）から図５（ｆ）に示すように、ベース１１０の変形振動がどのような状態であっても成立する。

　尚、ミラー１３０ａの回転の位相とベース１１０の変形振動の位相との間のずれは、時間の経過によって変動してもよいし固定されていてもよい。同様に、ミラー１３０ｃの回転の位相とベース１１０の変形振動の位相との間のずれは、時間の経過によって変動してもよいし固定されていてもよい。上述の図５を用いた説明は、ミラー１３０ａ及び１３０ｃの回転の位相とベース１１０の変形振動の位相との間のずれが固定されている場合の例を示している。しかしながら、ミラー１３０ａ及び１３０ｃの回転の位相とベース１１０の変形振動の位相との間のずれが変動する場合であっても、ミラー１３０ａ及び１３０ｃが、ミラー１３０ａの回転の位相とミラー１３０ｃの回転の位相とが互いに逆相になるように回転することに変わりはない。

　このように、第１実施例によれば、ミラー１３０ａの回転の位相とミラー１３０ｃの回転の位相とが互いに逆相になるように、ミラー１３０ａ及び１３０ｃを回転させることができる。つまり、２つのミラー１３０ａ及び１３０ｃを同期させながら逆相で回転（つまり、駆動）させることができる。従って、１つのミラー１３０を基準周波数ｆで回転させるＭＥＭＳスキャナと比較して、２つのミラー１３０ａ及び１３０ｃを１つのミラー１３０の如く取り扱うことで、基準周波数ｆの２倍の周波数２ｆで（言い換えれば、１／２の周期で）１つのミラー１３０を回転させている状態と同様の状態を実現することができる。言い換えれば、ミラー１３０ａ及び１３０ｃの夫々を基準周波数ｆの半分の周波数ｆ／２で回転させても、２つのミラー１３０ａ及び１３０ｃを１つのミラー１３０の如く取り扱うことで、基準周波数ｆで１つのミラー１３０を回転させている状態と同様の状態を実現することができる。例えば、静止時の状態を０°として１周期で±Ｘ°回転することができるミラー１３０を例にあげて説明する。仮に１つのミラー１３０を用いるのであれば、－Ｘ°からＸ°に至るまでの角度を利用するためには、１周期の期間が必要になる。一方で、互いに逆相で回転する２つのミラー１３０ａ及び１３０ｃを用いるのであれば、半周期で、ミラー１３０ａが０°からＸ°まで回転すると共にミラー１３０ｃが０°から－Ｘ°まで回転する。このため、第１実施例によれば、－Ｘ°からＸ°に至るまでの角度を利用するためには、１周期の期間は必ずしも必要ではなく、例えば半周期で足りる。従って、ミラー１３０ａ及び１３０ｃの夫々を駆動する周波数を落としても、ミラー１３０ａ及び１３０ｃを１枚のミラー１３０の如く取り扱った場合の当該ミラー１３０の駆動周波数が落ちることはない。

　尚、図５では、ミラー１３０ａ及び１３０ｃの夫々の回転の位相と、ベース１１０の変形振動の位相とが逆相になる例を示している。しかしながら、図６に示すように、ミラー１３０ａ及び１３０ｃの夫々の回転の位相と、ベース１１０の変形振動の位相とが同相になってもよい。ミラー１３０ａ及び１３０ｃの夫々の回転の位相とベース１１０の変形振動の位相とが同相になる場合であっても、ベース１１０の変形振動の位相とが同相になってもよい。ミラー１３０ａ及び１３０ｃの夫々の回転の位相とベース１１０の変形振動の位相とが逆相になる場合に享受することができる各種効果を好適に享受することができる。

　尚、上述した第１実施例では、ミラー１３０ａ及び１３０ｃを回転させるための力（つまり、駆動源部から加えられる）として、微振動を用いる例について説明している。しかしながら、ミラー１３０ａ及び１３０ｃを回転させるための力として、微振動以外の任意の力を用いてもよい。例えば、特開２００６－２９３１１６号公報に記載されている「基板の板波を用いてミラーにねじれ振動を生じさせる駆動方式（例えば、ラム波共鳴圧電駆動方式）」を利用して、ミラー１３０ａ及び１３０ｃを回転させてもよい。或いは、例えば、ミラー１３０ａ及び１３０ｃを回転させるための力として、ミラー１３０ａ及び１３０ｃを直接的に回転させる方向に作用する方向性のある力を用いてもよい。言い換えれば、例えば、ミラー１３０ａ及び１３０ｃを回転させるための力として、トーションバー１２０ａ及び１２０ｂ並びに１２０ｃ及び１２０ｄを直接的にねじれさせる方向に作用する方向性のある力を用いてもよい。以下の第２実施例から第６実施例においても同様である。

　（２）第２実施例
　続いて、図７を参照して、第２実施例のＭＥＭＳスキャナ１０１について説明する。図７は、第２実施例のＭＥＭＳスキャナ１０１の基本構成を概念的に示す平面図である。尚、上述の第１実施例のＭＥＭＳスキャナ１００と同一の構成については、同一の参照符号を付することでその詳細な説明を省略する。

　図７に示すように、第２実施例のＭＥＭＳスキャナ１０１は、第１実施例のＭＥＭＳスキャナ１００と同様に、ベース１１０と、トーションバー１２０ａ及び１２０ｂと、トーションバー１２０ｃ及び１２０ｄと、ミラー１３０ａと、ミラー１３０ｃとを備えている。第２実施例のＭＥＭＳスキャナ１０１は、電磁力に起因した力（微振動）を加える駆動源部１６０に代えて、圧電効果に起因した力（微振動）を加える駆動源部１４０を備えている。

　駆動源部１４０は、第１圧電素子１４０－１ａと、第２圧電素子１４０－２ａと、伝達枝１４０ｂと、第１空隙１４０－１ｄを有すると共に伝達枝１４０ｂを介してベース１１０に固定される第１支持板１４０－１ｃと、第２空隙１４０－２ｄを有すると共に伝達枝１４０ｂを介してベース１１０に固定される第２支持板１４０－２ｃとを備えている。第１支持板１４０－１ｃ上では、第１空隙１４０－１ｄによって規定される相対向する第１枝１４０－１ｅ及び１４０－１ｆによって、第１圧電素子１４０－１ａが挟持される。第２支持板１４０－２ｃ上では、第２空隙１４０－２ｄによって規定される相対向する第２枝１４０－２ｅ及び１４０－２ｆによって、第２圧電素子１４０－２ａが挟持される。不図示の電極を介して第１圧電素子１４０－１ａに電圧を印加することで、第１圧電素子１４０－１ａはその形状を変化させる。この第１圧電素子１４０－１ａの形状の変化は、第１枝１４０－１ｅ及び１４０－１ｆの形状の変化を引き起こす。その結果、第１枝１４０－１ｅ及び１４０－１ｆの形状の変化は、後に詳述するように微振動（ないしは、波動エネルギー）として伝達枝１４０ｂを介してベース１１０に伝えられる。同様に、不図示の電極を介して第２圧電素子１４０－２ａに電圧を印加することで、第２圧電素子１４０－２ａはその形状を変化させる。この第２圧電素子１４０－２ａの形状の変化は、第２枝１４０－２ｅ及び１４０－２ｆの形状の変化を引き起こす。その結果、第２枝１４０－２ｅ及び１４０－２ｆの形状の変化は、後に詳述するように微振動（ないしは、波動エネルギー）として伝達枝１４０ｂを介してベース１１０に伝えられる。

　このような駆動源部１４０から加えられる微振動は、図４を用いて説明した方向性のない力となる。従って、第２実施例のＭＥＭＳスキャナ１０１によれば、上述した第１実施例のＭＥＭＳスキャナ１００が享受する各種効果と同様の効果を好適に享受することができる。

　（３）第３実施例
　続いて、図８を参照して、第３実施例のＭＥＭＳスキャナ１０２について説明する。図８は、第３実施例のＭＥＭＳスキャナ１０２の基本構成を概念的に示す平面図である。尚、上述の第１実施例のＭＥＭＳスキャナ１００と同一の構成については、同一の参照符号を付することでその詳細な説明を省略する。

　図７に示すように、第３実施例のＭＥＭＳスキャナ１０２は、第１実施例のＭＥＭＳスキャナ１００と同様に、ベース１１０と、トーションバー１２０ａ及び１２０ｂと、トーションバー１２０ｃ及び１２０ｄと、ミラー１３０ａと、ミラー１３０ｃとを備えている。第３実施例のＭＥＭＳスキャナ１０２は、電磁力に起因した力（微振動）を加える駆動源部１６０に代えて、静電力に起因した力（微振動）を加える駆動源部１５０を備えている。

　駆動源部１５０は、ベース１１０の外側の辺に沿って配置される櫛歯状の第１電極１５１と、不図示の基材に固定されると共に第１電極１５１の間に分布する櫛歯状の第２電極１５２とを備える。この場合、第１電極１５１（又は、第２電極１５２）には、不図示の駆動源部制御回路から所望のタイミングで、所望の電圧が印加される。第１電極１５１と第２電極１５２との間の電位差に起因して、第１電極１５１と第２電極１５２との間には静電力（言い換えれば、クーロン力）が生ずる。その結果、静電力が発生する。この静電力は微振動としてベース１１０に伝えられる。

　このような駆動源部１５０から加えられる微振動は、図４を用いて説明した方向性のない力となる。従って、第３実施例のＭＥＭＳスキャナ１０２によれば、上述した第１実施例のＭＥＭＳスキャナ１００が享受する各種効果と同様の効果を好適に享受することができる。

　（４）第４実施例
　続いて、図９から図１４を参照して、ＭＥＭＳスキャナの第４実施例について説明する。

　（４－１）基本構成
　初めに、図９を参照して、第４実施例のＭＥＭＳスキャナ１０３の基本構成について説明する。ここに、図９は、第４実施例のＭＥＭＳスキャナ１０３の基本構成を概念的に示す平面図である。

　図９図９に示すように、第４実施例のＭＥＭＳスキャナ１０３は、第１ベース１１０－１と、第１トーションバー１２０ａ－１及び１２０ｂ－１と、第２ベース１１０－２と、第２トーションバー１２０ａ－２及び１２０ｂ－２と、第２トーションバー１２０ｃ－２及び１２０ｄ－２と、ミラー１３０ａと、ミラー１３０ｃと、駆動源部１６０とを備えている。

　第１ベース１１０－１は、内部に空隙を備える枠形状を有している。つまり、第１ベース１１０－１は、図９図９中のＹ軸方向に延伸する２つの辺と図９図９中のＸ軸方向（つまり、Ｙ軸に直交する軸方向）に延伸する２つの辺とを有すると共に、Ｙ軸方向に延伸する２つの辺とＸ軸方向に延伸する２つの辺とによって取り囲まれた空隙を有する枠形状を有している。図９図９に示す例では、第１ベース１１０－１は、正方形の形状を有しているが、これに限定されることはなく、例えばその他の形状（例えば、長方形等の矩形の形状や円形の形状等）を有していてもよい。また、第１ベース１１０－１は、第４実施例のＭＥＭＳスキャナ１０３の基礎となる構造体であって、不図示の基板ないしは支持部材に対して固定されている（言い換えれば、ＭＥＭＳスキャナ１０３という系の内部においては固定されている）ことが好ましい。

　尚、図９図９では、第１ベース１１０－１が枠形状を有している例を示しているが、その他の形状を有していてもよいことは言うまでもない。例えば、第１ベース１１０－１は、その一部の辺が開口となるコの字型形状を有していてもよい。或いは、例えば、第１ベース１１０－１は、内部に空隙を備える箱型形状を有していてもよい。つまり、第１ベース１１０－１は、Ｘ軸及びＹ軸によって規定される平面上に分布する２つの面と、Ｘ軸及び不図示のＺ軸（つまり、Ｘ軸及びＹ軸の双方に直交する軸）によって規定される平面上に分布する２つの面と、Ｙ軸及び不図示のＺ軸によって規定される平面上に分布する２つの面とを有すると共に、これらの６つの面によって取り囲まれた空隙を有する箱形状を有していてもよい。或いは、ミラー１３０ａ及び１３０ｃが配置される態様に応じて適宜第１ベース１１０－１の形状を任意に代えてもよい。

　第１トーションバー１２０ａ－１は、例えばシリコン、銅合金、鉄系合金、その他金属、樹脂等を材料とするバネ等のような弾性を有する部材である。第１トーションバー１２０ａ－１は、図９図９中Ｘ軸の方向に延伸するように配置される。言い換えれば、第１トーションバー１２０ａ－１は、Ｘ軸の方向に延伸する長手を有すると共にＹ軸の方向に延伸する短手を有する形状を有している。但し、後述する共振周波数の設定状況に応じて、第１トーションバー１２０ａ－１は、Ｘ軸の方向に延伸する短手を有すると共にＹ軸の方向に延伸する長手を有する形状を有していてもよい。第１トーションバー１２０ａ－１の一方の端部１２１ａ－１は、第１ベース１１０－１の内側の辺１１５－１に接続される。第１トーションバー１２０ａ－１の他方の端部１２２ａ－１は、Ｘ軸の方向に沿って第１ベース１１０－１の内側の辺１１５－１に対向する第２ベース１１０－２の外側の辺１１７－２に接続される。

　第１トーションバー１２０ｂ－１は、例えばシリコン、銅合金、鉄系合金、その他金属、樹脂等を材料とするバネ等のような弾性を有する部材である。第１トーションバー１２０ｂ－１は、図９図９中Ｘ軸の方向に延伸するように配置される。言い換えれば、第１トーションバー１２０ｂ－１は、Ｘ軸の方向に延伸する長手を有すると共にＹ軸の方向に延伸する短手を有する形状を有している。但し、後述する共振周波数の設定状況に応じて、第１トーションバー１２０ｂ－１は、Ｘ軸の方向に延伸する短手を有すると共にＹ軸の方向に延伸する長手を有する形状を有していてもよい。第１トーションバー１２０ｂ－１の一方の端部１２１ｂ－１は、Ｘ軸の方向に沿って第１ベース１１０－１の内側の辺（言い換えれば、領域部分）１１５－１（つまり、第１トーションバー１２０ａ－１の一方の端部１２１ａ－１が接続される第１ベース１１０－１の内側の辺１１５－１）に対向する第１ベース１１０－１の内側の辺１１６－１に接続される。第１トーションバー１２０ｂ－１の他方の端部１２２ｂ－１は、Ｘ軸の方向に沿って第１ベース１１０－１の内側の辺１１６－１に対向する第２ベース１１０－２の外側の辺１１８－２に接続される。

　第２ベース１１０－２は、内部に空隙を備える枠形状を有している。つまり、第２ベース１１０－２は、図９図９中のＹ軸方向に延伸する２つの辺と図９中のＸ軸方向（つまり、Ｙ軸に直交する軸方向）に延伸する２つの辺とを有すると共に、Ｙ軸方向に延伸する２つの辺とＸ軸方向に延伸する２つの辺とによって取り囲まれた空隙を有する枠形状を有している。図９に示す例では、第２ベース１１０－２は、正方形の形状を有しているが、これに限定されることはなく、例えばその他の形状（例えば、長方形等の矩形の形状や円形の形状等）を有していてもよい。

　第２ベース１１０－２は、第１ベース１１０－１の内部の空隙に、第１トーションバー１２０ａ－１及び１２０ｂ－１によって吊り下げられる又は支持されるように配置される。第２ベース１１０－２は、第１トーションバー１２０ａ－１及び１２０ｂ－１の弾性によって、Ｘ軸の方向を中心軸として回転するように構成されている。

　尚、図９では、第２ベース１１０－２が枠形状を有している例を示しているが、その他の形状を有していてもよいことは言うまでもない。例えば、第２ベース１１０－２は、その一部の辺が開口となるコの字型形状を有していてもよい。或いは、例えば、第２ベース１１０－２は、内部に空隙を備える箱型形状を有していてもよい。つまり、第２ベース１１０－２は、Ｘ軸及びＹ軸によって規定される平面上に分布する２つの面と、Ｘ軸及び不図示のＺ軸（つまり、Ｘ軸及びＹ軸の双方に直交する軸）によって規定される平面上に分布する２つの面と、Ｙ軸及び不図示のＺ軸によって規定される平面上に分布する２つの面とを有すると共に、これらの６つの面によって取り囲まれた空隙を有する箱形状を有していてもよい。或いは、ミラー１３０ａ及び１３０ｃが配置される態様に応じて適宜第２ベース１１０－２の形状を任意に代えてもよい。

　第２トーションバー１２０ａ－２は、例えばシリコン、銅合金、鉄系合金、その他金属、樹脂等を材料とするバネ等のような弾性を有する部材である。第２トーションバー１２０ａ－２は、図９中Ｙ軸の方向に延伸するように配置される。言い換えれば、第２トーションバー１２０ａ－２は、Ｙ軸の方向に延伸する長手を有すると共にＸ軸の方向に延伸する短手を有する形状を有している。但し、後述する共振周波数の設定状況に応じて、第２トーションバー１２０ａ－２は、Ｙ軸の方向に延伸する短手を有すると共にＸ軸の方向に延伸する長手を有する形状を有していてもよい。第２トーションバー１２０ａ－２の一方の端部１２１ａ－２は、第２ベース１１０－２の内側の辺１１１－２に接続される。第２トーションバー１２０ａ－２の他方の端部１２２ａ－２は、Ｙ軸の方向に沿って第２ベース１１０－２の内側の辺１１１－２に対向するミラー１３０ａの一方の辺１３１ａに接続される。

　第２トーションバー１２０ｂ－２は、例えばシリコン、銅合金、鉄系合金、その他金属、樹脂等を材料とするバネ等のような弾性を有する部材である。第２トーションバー１２０ｂ－２は、図９中Ｙ軸の方向に延伸するように配置される。言い換えれば、第２トーションバー１２０ｂ－２は、Ｙ軸の方向に延伸する長手を有すると共にＸ軸の方向に延伸する短手を有する形状を有している。但し、後述する共振周波数の設定状況に応じて、第２トーションバー１２０ｂ－１は、Ｙ軸の方向に延伸する短手を有すると共にＸ軸の方向に延伸する長手を有する形状を有していてもよい。第２トーションバー１２０ｂ－２の一方の端部１２１ｂ－２は、Ｙ軸の方向に沿って第２ベース１１０－２の内側の辺１１１－２（つまり、第２トーションバー１２０ａ－２の一方の端部１２１ａ－２が接続される第２ベース１１０－２の内側の辺１１１－２）に対向する第２ベース１１０－２の内側の辺１１２－２に接続される。第２トーションバー１２０ｂ－２の他方の端部１２２ｂ－２は、Ｙ軸の方向に沿って第２ベース１１０－２の内側の辺１１２－２に対向するミラー１３０ａの他方の辺１３２ａに接続される。

　第２トーションバー１２０ｃ－２は、例えばシリコン、銅合金、鉄系合金、その他金属、樹脂等を材料とするバネ等のような弾性を有する部材である。第２トーションバー１２０ｃ－２は、図９中Ｙ軸の方向に延伸するように配置される。言い換えれば、第２トーションバー１２０ｃ－２は、Ｙ軸の方向に延伸する長手を有すると共にＸ軸の方向に延伸する短手を有する形状を有している。但し、後述する共振周波数の設定状況に応じて、第２トーションバー１２０ｃ－２は、Ｙ軸の方向に延伸する短手を有すると共にＸ軸の方向に延伸する長手を有する形状を有していてもよい。第２トーションバー１２０ｃ－２の一方の端部１２１ｃ－２は、第２ベース１１０－２の内側の辺１１１－２に接続される。第２トーションバー１２０ｃ－２の他方の端部１２２ｃ－２は、Ｙ軸の方向に沿って第２ベース１１０－２の内側の辺１１１－２に対向するミラー１３０ｃの一方の辺１３１ｃに接続される。

　第２トーションバー１２０ｄ－２は、例えばシリコン、銅合金、鉄系合金、その他金属、樹脂等を材料とするバネ等のような弾性を有する部材である。第２トーションバー１２０ｄ－２は、図９中Ｙ軸の方向に延伸するように配置される。言い換えれば、第２トーションバー１２０ｄ－２は、Ｙ軸の方向に延伸する長手を有すると共にＸ軸の方向に延伸する短手を有する形状を有している。但し、後述する共振周波数の設定状況に応じて、第２トーションバー１２０ｄ－１は、Ｙ軸の方向に延伸する短手を有すると共にＸ軸の方向に延伸する長手を有する形状を有していてもよい。第２トーションバー１２０ｄ－２の一方の端部１２１ｄ－２は、Ｙ軸の方向に沿って第２ベース１１０－２の内側の辺１１１－２（つまり、第２トーションバー１２０ｃ－２の一方の端部１２１ｃ－２が接続される第２ベース１１０－２の内側の辺１１１－２）に対向する第２ベース１１０－２の内側の辺１１２－２に接続される。第２トーションバー１２０ｄ－２の他方の端部１２２ｄ－２は、Ｙ軸の方向に沿って第２ベース１１０－２の内側の辺１１２－２に対向するミラー１３０ｃの他方の辺１３２ｃに接続される。

　ミラー１３０ａは、第２ベース１１０－２の内部の空隙に、第２トーションバー１２０ａ－２及び１２０ｂ－２によって吊り下げられる又は支持されるように配置される。ミラー１３０ａは、第２トーションバー１２０ａ－２及び１２０ｂ－２の弾性によって、Ｙ軸の方向を中心軸として回転するように構成されている。

　ミラー１３０ｃは、第２ベース１１０－２の内部の空隙に、第２トーションバー１２０ｃ－２及び１２０ｄ－２によって吊り下げられる又は支持されるように配置される。ミラー１３０ｃは、第２トーションバー１２０ｃ－２及び１２０ｄ－２の弾性によって、Ｙ軸の方向を中心軸として回転するように構成されている。

　駆動源部１６０は、ミラー１３０ａ及び１３０ｃをＹ軸の方向に沿った軸を中心軸として回転させるために必要な微振動を第２ベース１１０－２に対して加える。尚、駆動源部１６０が微振動を第２ベース１１０－２に加えることができる限りは、その配置態様は任意に定めてもよい。また、第２ベース１１０－２に対して力を加えることに限らず、その他の位置（例えば、第１ベース１１０－１）に対して力を加えることができるように構成されてもよい。

　より具体的には、駆動源部１６０は、電磁力に起因した力を加える駆動源部であって、第２ベース１１０－２の枠形状に沿って配置されるコイル１６１と、第１ベース１１０－１に固定される磁極１６２ａから１６２ｃとを備える。この場合、コイル１６１には、不図示の駆動源部制御回路から所望のタイミングで、所望の電圧が印加される。コイル１６１への電圧の印加によって電流が流れ、コイル１６１と磁極１６２ａから１６２ｃとの間に電磁相互作用が生ずる。その結果、電磁相互作用による電磁力が発生する。この電磁力は微振動として第２ベース１１０－２に伝えられる。

　尚、磁極１６２ａは、第２ベース１１０－２の一方側の辺１１０－２であって且つミラー１３０ａとミラー１３０ｃとの間の領域（つまりは、第２ベース１１０－２における変形振動の腹となる領域）に隣接して配置されることが好ましい。一方で、磁極１６２ｂ及び１６２ｃは、第２ベース１１０－２の回転軸に対して磁極１６２ａと反対側に位置する領域であって且つ第２ベース１１０－２を（或いは、ミラー１３０ａ及びミラー１３０ｃを）Ｙ軸の方向に沿って挟みこむ位置に配置されることが好ましい。

　続いて、図１０を参照して、第２ベース１１０－２の裏側（具体的には、図９に示した第２ベース１１０－２の反対側）の構成について説明する。図１０は、第２ベース１１０－２の裏側（具体的には、図９に示した第２ベース１１０－２の反対側）の構成を示す平面斜視図である。

　図１０に示すように、第２ベース１１０－２の枠形状のうちの一部の領域１１０ａには、第２ベース１１０－２の表面から突き出るリブ１１９が形成されている。リブ１１９は、第２ベース１１０－２と一体的に形成されていてもよいし、第２ベース１１０－２が形成された後に付加的に配置されていてもよい。一方で、第２ベース１１０－２の枠形状のうちの他の一部の領域１１０ｂには、リブ１１９が形成されていない。

　図１０に示すリブ１１９により、第２ベース１１０－２の枠形状のうちの一部の領域１１０ａの剛性は、第２ベース１１０－２の枠形状のうちの他の一部の領域１１０ｂの剛性よりも高くなる。言い換えれば、リブ１１９は、第２ベース１１０－２の枠形状のうちの一部の領域１１０ａの剛性が、第２ベース１１０－２の枠形状のうちの他の一部の領域１１０ｂの剛性よりも高くなる状態を実現することができるように、第２ベース１１０－２に形成されることが好ましい。つまり、第２ベース１１０－２の枠形状のうちの一部の領域１１０ａの剛性が、第２ベース１１０－２の枠形状のうちの他の一部の領域１１０ｂの剛性よりも高くなる状態を実現することができるように、リブ１１９の形成位置や、大きさや、質量や、剛性や、密度等が適宜決定されることが好ましい。

　或いは、図１０に示すリブ１１９により、第２ベース１１０－２の枠形状のうちの一部の領域１１０ａの質量（或いは、第２ベース１１０－２の枠方向に沿った単位長当たりの質量）は、第２ベース１１０－２の枠形状のうちの他の一部の領域１１０ｂの質量（或いは、第２ベース１１０－２の枠方向に沿った単位長当たりの質量）よりも大きくなる。或いは、リブ１１９は、第２ベース１１０－２の枠形状のうちの一部の領域１１０ａの質量が、第２ベース１１０－２の枠形状のうちの他の一部の領域１１０ｂの質量よりも大きくなる状態を実現することができるように、第２ベース１１０－２に形成されることが好ましい。つまり、第２ベース１１０－２の枠形状のうちの一部の領域１１０ａの質量が、第２ベース１１０－２の枠形状のうちの他の一部の領域１１０ｂの質量よりも大きくなる状態を実現することができるように、リブ１１９の形成位置や、大きさや、質量や、剛性や、密度等が適宜決定されることが好ましい。

　尚、図１０は、リブ１１９が第２ベース１１０－２の裏側に形成される例を示している。しかしながら、リブ１１９は、第２ベース１１０－２の表側に形成されてもよいし、第２ベース１１０－２の側面に形成されてもよいし、第２ベース１１０－２の内面に形成されてもよい。或いは、リブ１１９以外の構成を用いて、第２ベース１１０－２の枠形状のうちの一部の領域１１０ａの剛性が、第２ベース１１０－２の枠形状のうちの他の一部の領域１１０ｂの剛性よりも高くなる状態を実現してもよい。或いは、リブ１１９以外の構成を用いて、第２ベース１１０－２の枠形状のうちの一部の領域１１０ａの質量が、第２ベース１１０－２の枠形状のうちの他の一部の領域１１０ｂの質量よりも大きくなる状態を実現してもよい。例えば、第２ベース１１０－２の密度や材質等を領域１１０ａと領域１１０ｂとで異ならしめることで、上述の状態を実現してもよい。

　（４－２）ＭＥＭＳスキャナの動作
　続いて、図１１を参照して、第４実施例のＭＥＭＳスキャナ１０３の動作の態様（具体的には、ミラー１３０ａ及び１３０ｃを回転させる動作の態様）について説明する。ここに、図１１は、第４実施例のＭＥＭＳスキャナ１０３による動作の態様を概念的に示す平面図である。

　第４実施例のＭＥＭＳスキャナ１０３の動作時には、コイル１６１には、不図示の駆動源部制御回路から所望のタイミングで、所望の電圧が印加される。コイル１６１への電圧の印加によって電流が流れ、コイル１６１と磁極１６２ａから１６２ｃとの間に電磁相互作用が生ずる。その結果、電磁相互作用による電磁力が発生する。この電磁力は微振動（ないしは、波動エネルギー）として第２ベース１１０－２に伝えられる。

　ここで、コイル１６１と磁極１６２ａとの間の電磁相互作用による電磁力の方向は、図１１中奥側（紙面奥側）から手前側（紙面手前側）方向である。コイル１６１と磁極１６２ｂとの間の電磁相互作用による電磁力の方向は、図１１中手前側から奥側方向である。コイル１６１と磁極１６２ｃとの間の電磁相互作用による電磁力の方向は、図１１中手前側から奥側方向である。その結果、図１１に示すように、この電磁力は、第１トーションバー１２０ａ－１及び１２０ｂ－１自身の弾性に応じた方向に向かって第１トーションバー１２０ａ－１及び１２０ｂ－１を回転させたり、第２ベース１１０－２を回転させたりする。その結果、図１１に示すように、第２ベース１１０－２が、Ｘ軸の方向に沿った軸を中心軸として回転する。

　尚、第２ベース１１０－２は、後述するミラー１３０ａ及び１３０ｃの共振周波数と同じ周波数、又は当該共振周波数よりも低い若しくは高い周波数での回転動作を所定の角度の範囲内で繰り返してもよい。例えば、第４実施例のＭＥＭＳスキャナ１０３をディスプレイ（或いは、ヘッドマウントディスプレイ）に適用する場合には、第２ベース１１０－２は、例えばディスプレイの走査周期又はフレームレートに応じた周波数（例えば、６０Ｈｚ）での回転動作を繰り返してもよい。

　或いは、第２ベース１１０－２は、第２ベース１１０－２を含む被懸架部並びに第１トーションバー１２０ａ－１及び１２０ｂ－１により定まる共振周波数での回転動作を所定の角度の範囲内で繰り返してもよい。具体的には、第２ベース１１０－２は、第２ベース１１０－２を含む被懸架部（言い換えれば、第１トーションバー１２０ａ－１及び１２０ｂ－１により懸架される第２ベース１１０－２を含む被懸架部）並びに第１トーションバー１２０ａ－１及び１２０ｂ－１に応じて定まる共振周波数で共振するように回転してもよい。例えば、第２ベース１１０－２を含む被懸架部のＸ軸に沿った軸回りの慣性モーメント（より具体的には、第２ベース１１０－２内に備えられる第２トーションバー１２０ａ－２から１２０ｄ－２並びにミラー１３０ａ及び１３０ｃの夫々の質量をも加味した第２ベース１１０－２という系全体からなる被懸架設部のＸ軸に沿った軸回りの慣性モーメント）がＩ１であり且つ第１トーションバー１２０ａ－１及び１２０ｂ－１を１本のバネとみなした場合のねじりバネ定数がｋ１であるとすれば、第２ベース１１０－２は、（１／（２π））×√（ｋ１／Ｉ１）にて特定される共振周波数（或いは、（１／（２π））×√（ｋ１／Ｉ１）のＮ倍若しくはＮ分の１倍（但し、Ｎは１以上の整数）の共振周波数）で共振するように、Ｘ軸の方向に沿った軸を中心軸として回転してもよい。

　更に、駆動源部１６０から加えられる電磁力そのものは、ミラー１３０ａ及び１３０ｃの回転方向（つまり、Ｙ軸に沿った方向を中心軸とする回転方向）とは異なる。一方で、この電磁力は、微振動として第２ベース１１０－２に伝わる。より具体的には、駆動源部１６０は、第２ベース１１０－２に対して、第２ベース１１０－２そのものの回転方向のねじれをなくしつつも第２ベース１１０－２内を伝搬する微振動を、波動エネルギーとして加える。言い換えれば、駆動源部１６０は、第２ベース１１０－２そのものに回転方向のねじれを与える力を加えることに代えて、第２ベース１１０－２内をエネルギーとして（言い換えれば、力を発現させる波動エネルギーとして）伝搬する微振動を加える。このような微振動は、第２ベース１１０－２内を伝搬している時点では、方向性を有していない力となる。言い換えれば、微振動として第２ベース１１０－２内を伝搬する波動エネルギーは、第２ベース１１０－２内を任意の方向に向かって伝搬する。また、このような微振動が加えられた第２ベース１１０－２は、第２ベース１１０－２そのものが振動する物体となるというよりは、微振動（言い換えれば、波動エネルギー）を伝搬する媒体となる。

　その結果、駆動源部１６０から第２ベース１１０－２に対して加えられる微振動は、第２ベース１１０－１から第２トーションバー１２０ａ－２及び１２０ｂ－２へと伝わる。その後、図１１に示すように、第２ベース１１０－２内を伝搬してきた微振動（言い換えれば、波動エネルギー）が、第２トーションバー１２０ａ－２及び１２０ｂ－２自身の弾性に応じた方向に向かって第２トーションバー１２０ａ－２及び１２０ｂ－２を回転させたり、ミラー１３０ａを回転させたりする。言い換えれば、第２ベース１１０－２内を伝搬してきた微振動は、第２トーションバー１２０ａ－２及び１２０ｂ－２の回転やミラー１３０ａの回転という形で発現する。言い換えれば、この波動エネルギーは、微振動の方向を限定することなくあらゆる方向の振動として取り出すことができる。つまり、第２ベース１１０－２内を伝搬した波動エネルギーは、振動（より具体的には、共振）という形で外部に取り出すことができ、その結果、ミラー１３０ａを回転させることができる。その結果、図１１に示すように、ミラー１３０ａが、Ｙ軸の方向に沿った軸を中心軸として回転する。より具体的には、ミラー１３０ａは、共振周波数での回転動作を所定の角度の範囲内で繰り返す（言い換えれば、所定の角度の範囲内での回転の往復運動を繰り返す）。

　このとき、ミラー１３０ａは、ミラー１３０ａ並びに第２トーションバー１２０ａ－２及び１２０ｂ－２に応じて定まる共振周波数で共振するように回転する。より具体的には、ミラー１３０ａは、ミラー１３０ａ（より具体的には、ミラー１３０ａを含む被懸架部であり、第２トーションバー１２０ａ－２及び１２０ｂ－２によって吊り下げられる構造物）のＹ軸に沿った軸周り慣性モーメント並びに第２トーションバー１２０ａ－２及び１２０ｂ－２のねじりバネ定数に応じて定まる共振周波数で共振するように回転する。例えば、ミラー１３０ａのＹ軸に沿った軸回りの慣性モーメントがＩａであり且つ第２トーションバー１２０ａ－２及び１２０ｂ－２を１本のバネとみなした場合のねじりバネ定数がｋａであるとすれば、ミラー１３０ａは、（１／（２π））×√（ｋａ／Ｉａ）にて特定される共振周波数（或いは、（１／（２π））×√（ｋａ／Ｉａ）のＮ倍若しくはＮ分の１倍（但し、Ｎは１以上の整数）の共振周波数）で共振するように、Ｙ軸の方向に沿った軸を中心軸として回転する。このため、駆動源部１６０は、ミラー１３０ａが上述の共振周波数で共振するように、上記共振周波数に同期した態様で微振動を加える。

　また、ミラー１３０ａの共振周波数は、厳密に言えば、ミラー１３０ａという回転体を含む回転系を支える土台の剛性や質量（或いは、慣性モーメント）によって変化しかねない。例えば、ミラー１３０ａの共振周波数は、ミラー１３０ａという回転体を含む回転系を支える第１ベース１１０－１や第１トーションバー１２０ａ－１及び１２０ｂ－１や第２ベース１１０－２等の剛性や質量（或いは、慣性モーメント）によって変化しかねない。このため、ミラー１３０ａを支える土台の剛性や質量（或いは、慣性モーメント）を考慮した上で、（１／（２π））×√（ｋａ／Ｉａ）という数式（或いは、当該数式を特定するパラメータであるｋａ及びＩａ）に対して所定の補正演算を施した結果得られる共振周波数を、実際のミラー１３０ａの共振周波数として取り扱ってもよい。

　同様に、駆動源部１６０から第２ベース１１０－２に対して加えられる微振動は、第２ベース１１０－１から第２トーションバー１２０ｃ－２及び１２０ｄ－２へと伝わる。その後、図１１に示すように、第２ベース１１０－２内を伝搬してきた微振動（言い換えれば、波動エネルギー）が、第２トーションバー１２０ｃ－２及び１２０ｄ－２自身の弾性に応じた方向に向かって第２トーションバー１２０ｃ－２及び１２０ｄ－２を回転させたり、ミラー１３０ｃを回転させたりする。言い換えれば、第２ベース１１０－２内を伝搬してきた微振動は、第２トーションバー１２０ｃ－２及び１２０ｄ－２の回転やミラー１３０ｃの回転という形で発現する。言い換えれば、この波動エネルギーは、微振動の方向を限定することなくあらゆる方向の振動として取り出すことができる。つまり、第２ベース１１０－２内を伝搬した波動エネルギーは、振動（より具体的には、共振）という形で外部に取り出すことができ、その結果、ミラー１３０ｃを回転させることができる。その結果、図１１に示すように、ミラー１３０ｃが、Ｙ軸の方向に沿った軸を中心軸として回転する。より具体的には、ミラー１３０ｃは、共振周波数での回転動作を所定の角度の範囲内で繰り返す（言い換えれば、所定の角度の範囲内での回転の往復運動を繰り返す）。

　このとき、ミラー１３０ｃは、ミラー１３０ｃ並びに第２トーションバー１２０ｃ－２及び１２０ｄ－２に応じて定まる共振周波数で共振するように回転する。より具体的には、ミラー１３０ｃは、ミラー１３０ｃ（より具体的には、ミラー１３０ｃを含む被懸架部であり、第２トーションバー１２０ｃ－２及び１２０ｄ－２によって吊り下げられる構造物）のＹ軸に沿った軸周り慣性モーメント並びに第２トーションバー１２０ｃ－２及び１２０ｄ－２のねじりバネ定数に応じて定まる共振周波数で共振するように回転する。例えば、ミラー１３０ｃのＹ軸に沿った軸回りの慣性モーメントがＩｃであり且つ第２トーションバー１２０ｃ－２及び１２０ｄ－２を１本のバネとみなした場合のねじりバネ定数がｋｃであるとすれば、ミラー１３０ａは、（１／（２π））×√（ｋｃ／Ｉｃ）にて特定される共振周波数（或いは、（１／（２π））×√（ｋｃ／Ｉｃ）のＮ倍若しくはＮ分の１倍（但し、Ｎは１以上の整数）の共振周波数）で共振するように、Ｙ軸の方向に沿った軸を中心軸として回転する。このため、駆動源部１６０は、ミラー１３０ｃが上述の共振周波数で共振するように、上記共振周波数に同期した態様で微振動を加える。

　また、ミラー１３０ｃの共振周波数は、厳密に言えば、ミラー１３０ｃという回転体を含む回転系を支える土台の剛性や質量（或いは、慣性モーメント）によって変化しかねない。例えば、ミラー１３０ｃの共振周波数は、ミラー１３０ｃという回転体を含む回転系を支える第１ベース１１０－１や第１トーションバー１２０ａ－１及び１２０ｂ－１や第２ベース１１０－２等の剛性や質量（或いは、慣性モーメント）によって変化しかねない。このため、ミラー１３０ｃを支える土台の剛性や質量（或いは、慣性モーメント）を考慮した上で、（１／（２π））×√（ｋｃ／Ｉｃ）という数式（或いは、当該数式を特定するパラメータであるｋｃ及びＩｃ）に対して所定の補正演算を施した結果得られる共振周波数を、実際のミラー１３０ｃの共振周波数として取り扱ってもよい。

　尚、第４実施例では、ミラー１３０ａの共振周波数とミラー１３０ｃの共振周波数とは同一であることが好ましい。具体的には、（１／（２π））×√（ｋａ／Ｉａ）＝（１／（２π））×√（ｋｃ／Ｉｃ）となることが好ましい。或いは、ＭＥＭＳスキャナ１０３が３つ以上の複数のミラー１３０を備えている場合には、複数のミラー１３０のうちの少なくとも２つの共振周波数が同一であることが好ましい。

　ここで、図１２を参照して、駆動源部１６０から加えられる微振動に起因した方向性のない力について更に説明する。ここに、図１２は、駆動源部１６０から加えられる微振動に起因した方向性のない力について説明するための平面図である。尚、以下の説明では、説明を分かりやすくするために、図９に示す駆動源部１６０とは異なる構成を有する駆動源部１６０を用いて説明を進める。但し、図９に示す駆動源部１６０から加えられる微振動としての電磁力と図１２に示す駆動源部１６０から加えられる微振動としての電磁力とは、実際上は同一の力（つまり、方向性のない力）である。

　図１２に示すように、駆動源部１６０は、伝達枝１６０ｂと、伝達枝１６０ｂを介して第１ベース１１０－１に接続される第１支持板１６０－１ｃであって且つＹ軸の方向に沿って相対向する第１枝１６０－１ｘ及び１６０－１ｙを備える第１支持板１６０－１ｃと、伝達枝１６０ｂを介して第１ベース１１０－１に接続される第２支持板１６０－２ｃであって且つＹ軸の方向に沿って相対向する第２枝１６０－２ｘ及び１６０－２ｙを備える第２支持板１６０－２ｃと、第１枝１６０－１ｘ及び１６０－１ｙの夫々に巻かれた第１コイル１６０－１ｚと、第２枝１６０－２ｘ及び１６０－２ｙの夫々に巻かれた第２コイル１６０－２ｚとを備えている。また、第１枝１６０－１ｘ及び１６０－１ｙ並びに第２枝１６０－２ｘ及び１６０－２ｙの形状及び特性は同一であるとし、第１枝１６０－１ｘに巻かれたコイル１６０－１ｚの特性（例えば、巻き数等）及び第１枝１６０－１ｙに巻かれたコイル１６０－１ｚの特性（例えば、巻き数等）は同一であるとし、第２枝１６０－２ｘに巻かれたコイル１６０－２ｚの特性（例えば、巻き数等）及び第２枝１６０－２ｙに巻かれたコイル１６０－２ｚの特性（例えば、巻き数等）は同一であるものとする。

　ここで、第１枝１６０－１ｘ及び１６０－１ｙ並びに第２枝１６０－２ｘ及び１６０－２ｙの夫々に巻かれたコイル１６０－１ｚ及び１６０－２ｚに電流を流すと、電磁相互作用により、第１枝１６０－１ｘ及び第２枝１６０－２ｘに対して第１枝１６０－１ｙ及び第２枝１６０－２ｙの方向に向かって引っ張られる力（つまり、Ｙ軸の負の方向であって図１２中下側に向かう方向に作用する力）が発生する場合には、第１枝１６０－１ｙ及び第２枝１６０－２ｙに対しても、第１枝１６０－１ｘ及び第２枝１６０－２ｘの方向に向かって引っ張られる力（つまり、Ｙ軸の正の方向であって図１２中上側に向かう方向に作用する力）が発生する。この力は、互いに逆向きで同じ大きさであるため、それらが外部に加速度を生じさせたり、それら自身に加速度を発生させることもなく、第１枝１６０－１ｘと第１枝１６０－１ｙとが接合する点Ｐ１（言い換えれば、伝達枝１６０ｂ上の点Ｐ１）及び第２枝１６０－２ｘと第２枝１６０－２ｙとが接合する点Ｐ２（言い換えれば、伝達枝１６０ｂ上の点Ｐ２）には微振動のみが伝達される。その結果、点Ｐ１及びＰ２における力には方向性がないことになる。同様に、電磁相互作用により、第１枝１６０－１ｘ及び第２枝１６０－２ｘに対して第１枝１６０－１ｙ及び第２枝１６０－２ｙから引き離される力（つまり、Ｙ軸の正の方向であって図１２中上側に向かう方向に作用する力）が発生する場合には、第１枝１６０－１ｙ及び第２枝１６０－２ｙに対しても第１枝１６０－１ｘ及び第２枝１６０－２ｘから引き離される力（つまり、Ｙ軸の負の方向であって図１２中下側に向かう方向に作用する力）が発生する。この力は、互いに逆向きで同じ大きさであるため、それらが外部に加速度を生じさせたり、それら自身に加速度を発生させることもなく、第１枝１６０－１ｘと第１枝１６０－１ｙとが接合する点Ｐ１及び第２枝１６０－２ｘと第２枝１６０－２ｙとが接合する点Ｐ２には微振動のみが伝達される。その結果、点Ｐ１及びＰ２における力には方向性がないことになる。

　しかしながら、本願発明者の実験によれば、上記構成によって第１ベース１１０－１並びに第１トーションバー１２０ａ－１及び１２０ｂ－１を介して伝わる微振動（つまり、波動エネルギーであって、方向性のない力）が第２ベース１１０－２内を伝搬し、その結果、ミラー１３０ａ及び１３０ｃがＹ軸の方向に沿った軸を中心軸として回転することが判明している。つまり、駆動源部１６０により加えられる微振動が上述した方向性のない力（言い換えれば、波動エネルギー）として第２ベース１１０－２内を伝搬することで、ミラー１３０ａ及び１３０ｃがＹ軸の方向に沿った軸を中心軸として回転することが判明している。

　このように、第４実施例においては、ミラー１３０ａがミラー１３０ａ並びに第２トーションバー１２０ａ－２及び１２０ｂ－２に応じて定まる共振周波数で共振するように、Ｙ軸の方向に沿った軸を中心軸としてミラー１３０ａを回転させることができる。更に、第４実施例においては、ミラー１３０ｃがミラー１３０ｃ並びに第２トーションバー１２０ｃ－２及び１２０ｄ－２に応じて定まる共振周波数で共振するように、Ｙ軸の方向に沿った軸を中心軸としてミラー１３０ｃを回転させることができる。加えて、第４実施例においては、Ｘ軸の方向に沿った軸を中心軸として第２ベース１１０－２を回転させることができる。ここで、ミラー１３０ａ及び１３０ｃが第２トーションバー１２０ａ－２及び１２０ｂ－２並びに第２トーションバー１２０ｃ－２及び１２０ｄ－２を介して第２ベース１１０－２に接続されていることを考慮すれば、Ｘ軸の方向に沿った軸を中心軸とする第２ベース１１０－２の回転に合わせて、ミラー１３０ａ及び１３０ｃもまたＸ軸の方向に沿った軸を中心軸として回転する。その結果、ミラー１３０ａ及び１３０ｃがＸ軸及びＹ軸の夫々を中心軸として共振するようにミラー１３０ａ及び１３０ｃを回転させることができる。つまり、第４実施例においては、ミラー１３０ａ及び１３０ｃは、Ｘ軸を中心軸として回転駆動すると共に、Ｙ軸を中心軸として自励共振する。

　ここで、「共振」とは、無限小の力の繰り返しにより無限大の変位が生じる現象である。このため、ミラー１３０ａ及び１３０ｃを回転させるために加えられる力を小さくしても、ミラー１３０ａ及び１３０ｃの回転範囲（言い換えれば、回転方向の振幅）を大きくとることができる。つまり、ミラー１３０ａ及び１３０ｃが回転するために必要な力を相対的に小さくすることができる。このため、ミラー１３０ａ及び１３０ｃの回転に必要な力を加えるために必要な電力量をも少なくすることができる。従って、より効率的にミラー１３０ａ及び１３０ｃを移動させることができ、その結果、ＭＥＭＳスキャナ１０３の低消費電力化を実現することができる。

　加えて、第４実施例では、方向性を有していない力を加えている。

　ここで、比較例として、いわゆる方向性を有する力を加えることでミラー１３０ａ及び１３０ｃの２軸回転駆動を行う構成（例えば、第２ベース１１０－２そのものをミラー１３０ａ及び１３０ｃの回転方向に向かって大きくねじれさせ、そのねじれを第２トーションバー１２０ａ－２及び１２０ｂ－２や第２トーションバー１２０ｃ－２及び１２０ｄ－２やミラー１３０ａ及び１３０ｃに直接加えることでミラー１３０ａ及び１３０ｃの２軸回転駆動を行う構成）を例にあげて説明する。この場合、ミラー１３０ａ及び１３０ｃをＸ軸の方向に沿った軸を中心軸として回転させる方向性を有する力（例えば、第１ベース１１０－１を、Ｘ軸の方向に沿った軸を中心軸として回転させるようにねじれさせる力）をある駆動源部１６０から加えると共に、ミラー１３０ａ及び１３０ｃをＹ軸の方向に沿った軸を中心軸として回転させる方向性を有する力（例えば、第２ベース１１０－２を、Ｙ軸の方向に沿った軸を中心軸として回転させるようにねじれさせる力）を他の駆動源部１６０から加える必要がある。つまり、方向性を有する力を加えることでミラー１３０ａ及び１３０ｃの２軸回転駆動を行う場合には、通常は、２つ以上の駆動源部１６０をＭＥＭＳスキャナが備えていなければならない。言い換えれば、方向性を有する力を加えることでミラー１３０ａ及び１３０ｃの２軸回転駆動を行う場合には、１つの駆動源部１６０からは１つの方向に向かって作用する力しか加えることができないため、２つ以上の駆動源部１６０をＭＥＭＳスキャナが備えていなければならない。

　しかるに、第４実施例では、微振動に起因した方向性のない力を加えることで、ミラー１３０ａ及び１３０ｃの２軸回転駆動を行うことができる。ここで、微振動に起因した方向性のない力を加えているがゆえに、１つの駆動源部１６０から加えられた微振動（つまり、方向性のない力）は、第１トーションバー１２０ａ－１及び１２０ｂ－１の弾性（つまり、ミラー１３０ａ及び１３０ｃを支持する第２ベース１１０－２をＸ軸の方向に沿った軸を中心軸として回転させる弾性）並びに第２トーションバー１２０ａ－２から１２０ｄ－２の弾性（つまり、ミラー１３０ａ及び１３０ｃをＹ軸の方向に沿った軸を中心軸として回転させる弾性）を利用して、ミラー１３０ａ及び１３０ｃをＸ軸及びＹ軸の夫々の方向に沿った軸を中心軸として回転させることができる。つまり、第４実施例では、ミラー１３０ａ及び１３０ｃの２軸回転駆動を行う場合であっても、２つの駆動源部１６０を備える必要は必ずしもない。このため、単一の駆動源部１６０を用いて、ミラー１３０ａ及び１３０ｃの２軸回転駆動を行うための微振動に起因した方向性のない力を加えることができる。

　加えて、仮に１つの駆動源部から２つの方向に向かって作用する力を加えることができたとしても、方向性を有する力を加えることでミラー１３０ａ及び１３０ｃの２軸回転駆動を行う場合には、結局のところ、２つの方向に作用する成分（つまり、ミラー１３０ａ及び１３０ｃをＸ軸の方向に沿った軸を中心軸として回転させる方向性を有する力の成分と、ミラー１３０ａ及び１３０ｃをＹ軸の方向に沿った軸を中心軸として回転させる方向性を有する力の成分）を有する力を加える必要がある。しかるに、第４実施例では、微振動に起因した方向性のない力を波動エネルギーとして加えているため、力が作用する方向を考慮した上で当該力を加える必要がなくなるという利点も有している。

　加えて、微振動に起因した方向性のない力を加えているがゆえに、駆動源部１６０の配置位置が限定されてしまうことはなくなる。言い換えれば、微振動に起因した方向性のない力を加えているがゆえに、ミラー１３０ａ及び１３０ｃの回転の方向に依存して駆動源部１６０の配置位置が限定されてしまうことはなくなる。つまり、駆動源部１６０の配置位置がどのような位置に設定されたとしても、駆動源部１６０から加えられる微振動（つまり、方向性のない力）は、第２トーションバー１２０ａ－２及び１２０ｂ－２並びに第２トーションバー１２０ｃ－２及び１２０ｄ－２の夫々の弾性を利用して、ミラー１３０ａ及び１３０ｃをＹ軸の夫々の方向に沿った軸を中心軸として回転させることができる。これにより、ＭＥＭＳスキャナ１０３の設計の自由度を相対的に増加させることができる。これは、各構成要件のサイズ的な又は設計的な制約が大きいＭＥＭＳスキャナにとって実践上非常に有利である。

　更に第４実施例では、第２ベース１１０－２の裏側にリブ１１９が形成されているため、駆動源部１６０から加えられる微振動によって、第２ベース１１０－２そのものが波打つように変形振動する。以下、図１３を参照して、第２ベース１１０－２の変形振動の態様について説明する。図１３は、第２ベース１１０－２の変形振動の態様を、ミラー１３０ａ及び１３０ｂの回転の態様と関連付けて示す側面図である。尚、図１３は、図１１に示す矢印「Ｘ」の方向から第２ベース１１０－２並びにミラー１３０ａ及び１３０ｃを観察した場合の側面図を示す。

　図１３（ａ）に示すように、駆動源部１６０から第２ベース１１０－２に対して微振動が加えられていない状態では、第２ベース１１０－２は変形振動しておらず、ミラー１３０ａ及び１３０ｂも回転していない。

　図１３（ｂ）に示すように、駆動源部１６０から第２ベース１１０－２に対して微振動が加えられると、リブ１１９が形成されている領域１１０ａは、剛性が相対的に高いため、微振動によって屈曲しにくい一方で、リブ１１９が形成されていない領域１１０ｂは、剛性が相対的に低いため、微振動によって屈曲しやすい。その結果、第２ベース１１０－２は、リブが形成されている領域１１０ａを節とし且つリブ１１９が形成されていない領域１１０ｂを腹にして、Ｘ軸の方向に沿って波打つように変形振動する。より具体的には、第２ベース１１０－２は、リブ１１９が形成されている部分を節とし且つリブ１１９が形成されていない部分を腹にする定常波のようにその外観を変形させながら振動する。尚、図１３（ｂ）に示す例では、第２ベース１１０－２は、その中心から折れ曲がるように変形振動する。但し、第２ベース１１０－２は、他の変形モード（例えば、更に多くの節を有する変形モード）で変形振動してもよい。

　尚、第４実施例における第２ベース１１０－２の変形振動は、リブ１１９が適切な箇所に形成されることによって実現されている。従って、上述したリブ１１９は、リブが形成されている領域１１０ａを節とし且つリブ１１９が形成されていない領域１１０ｂを腹にして第２ベース１１０－２がＸ軸の方向に沿って変形振動するように、第２ベース１１０－２上の適切な箇所に形成されることが好ましい。このとき、第２トーションバー１２０ａ－２及び１２０ｂ－２並びに第２トーションバー１２０ｃ－２及び１２０ｄ－２が接続されている箇所が領域１１０ａに対応することが好ましい。例えば、上述したリブ１１９は、Ｘ軸の方向に沿った曲げ剛性が相対的に高い部分とＸ軸の方向に沿った曲げ剛性が相対的に低い部分とがＸ軸の方向に沿って順に現れるように、第２ベース１１０－２上の適切な箇所に形成されることが好ましい。或いは、例えば、上述したリブ１１９は、Ｘ軸の方向に沿った曲げ剛性が相対的に高い部分とＸ軸の方向に沿った曲げ剛性が相対的に低い部分とがＸ軸の方向に沿って順に現れると共に、第２トーションバー１２０ａ－２及び１２０ｂ－２並びに第２トーションバー１２０ｃ－２及び１２０ｄ－２が接続されている箇所が領域１１０ａになり且つその他の箇所が領域１１０ｂになるように、第２ベース１１０－２上の適切な箇所に形成されることが好ましい。

　このとき、駆動源部１６０から加えられる微振動の周期によっては、第２ベース１１０－２は、共振するように変形振動する。ここで、第４実施例では、第２ベース１１０－２の変形振動における共振周波数は、ミラー１３０ａ及び１３０ｂの共振周波数と同一であることが好ましい。言い換えれば、ミラー１３０ａ及び１３０ｂの共振周波数と同一の共振周波数で第２ベース１１０－２が変形振動するように、第２ベース１１０－２の特性が定められることが好ましい。例えば、ミラー１３０ａ及び１３０ｂの共振周波数と同一の共振周波数で変形振動するように、第２ベース１１０－２の裏側に形成されるリブ１１９の特性（例えば、形成位置や、大きさや、質量や、剛性や、密度等）が定められることが好ましい。

　尚、第２ベース１１０－２の変形振動における共振周波数は、第２ベース１１０－２及びリブ１１９を含む構造物を一つのバネ系としてみなし、当該バネ系に付加されている質量をＭとし且つ当該バネ系のバネ定数をｋとした場合には、（１／（２π））×√（ｋ／Ｍ）にて特定される。但し、当該バネ系が一つのバネに一つの質量構造物が接続された（言い換えれば、固有振動数が１個であり且つ固有振動モードが１個である）１自由度のバネ系であれば、（１／（２π））×√（ｋ／Ｍ）という共振周波数を採用することができる。一方で、当該バネ系が一つのバネに２つの質量構造物が接続された２自由度以上のバネ系であれば、（１／（２π））×√（ｋ／Ｍ）という共振周波数における「ｋ」及び「Ｍ」等を補正することが好ましい。尚、第２ベース１１０－２及びリブ１１９を含む構造物を一つのバネ系とみなした場合、当該バネ系に付加されている質量Ｍ及び当該バネ系のバネ定数ｋは、第２ベース１１０－２の剛性及び質量に応じて定まる。第４実施例では、第２ベース１１０－２の剛性及び質量をリブ１１９によって調整している。このため、第２ベース１１０－２の共振周波数は、実質的には、上述したリブ１１９の特性によって定められる。

　また、第２ベース１１０－２の変形振動における共振周波数は、厳密に言えば、第２ベース１１０－２という変形振動体を含む振動系を支える土台の剛性や質量（或いは、慣性モーメント）によって変化しかねない。例えば、第２ベース１１０－２の変形振動における共振周波数は、第２ベース１１０－２という変形振動体を含む振動系を支える第１ベース１１０－１や第１トーションバー１２０ａ－１及び１２０ｂ－１等の剛性や質量（或いは、慣性モーメント）によって変化しかねない。このため、第２ベース１１０－２を支える土台の剛性や質量（或いは、慣性モーメント）を考慮した上で、（１／（２π））×√（ｋ／Ｍ）という数式（或いは、当該数式を特定するパラメータであるｋ及びＭ）に対して所定の補正演算を施した結果得られる共振周波数を、実際の第２ベース１１０－２の変形振動における共振周波数として取り扱ってもよい。

　また、第２ベース１１０－２の変形振動における共振は、第２ベース１１０－２の変形振動に係るバネ系を一つのバネに２つの質量構造物が接続された２自由度のバネ系とみなすことによって規定することに代えて、第２ベース１１０－２という板状の部材の高次の共振モードとみなすことによって規定してもよい。

　ここで、上述したように、駆動源部１６０からはミラー１３０ａ及び１３０ｃが上述の共振周波数で共振するように当該共振周波数に同期した態様で微振動が加えられている。従って、このような微振動の印加により、第２ベース１１０－２は、共振するように変形振動する。つまり、図１３（ａ）から図１３（ｆ）に時系列的に示すように、第２ベース１１０－２は、両端が開放された定常波の如き外観を有するように変形振動する。つまり、第２ベース１１０－２は、ミラー１３０ａ及び１３０ｃの回転軸に直交する方向（つまり、Ｘ軸の方向）に沿って定常波が現れるような外観を有する。

　このような態様で第２ベース１１０－２が変形振動すると、ミラー１３０ａ側における第２ベース１１０－２（具体的には、図１３（ａ）から図１３（ｆ）の夫々の相対的に左側の第２ベース１１０－２）の変形の態様とミラー１３０ｃ側における第２ベース１１０－２（具体的には、図１３（ａ）から図１３（ｆ）の夫々の相対的に右側の第２ベース１１０－２）の変形の態様とは逆になる。例えば、ミラー１３０ａ側における第２ベース１１０－２がミラー１３０ａの回転軸を中心として反時計周りに変形している場合（例えば、図１３（ａ）から図１３（ｃ）に示すように変形している場合）、ミラー１３０ｃ側における第２ベース１１０－２は、ミラー１３０ｃの回転軸を中心として時計周りに変形することになる。同様に、例えば、ミラー１３０ａ側における第２ベース１１０－２がミラー１３０ａの回転軸を中心として時計周りに変形している場合（例えば、図１３（ｄ）から図１３（ｆ）に示すように変形している場合）、ミラー１３０ｃ側における第２ベース１１０－２は、ミラー１３０ｃの回転軸を中心として反時計周りに変形することになる。従って、ミラー１３０ａ及び１３０ｃの夫々の共振周波数が等しいことから、ミラー１３０ａ及び１３０ｃは、第２ベース１１０－２の変形振動に伴って、ミラー１３０ａの回転の位相とミラー１３０ｃの回転の位相とが互いに逆相になるように回転する。言い換えれば、ミラー１３０ａ及び１３０ｃは、ミラー１３０ａの回転の位相がミラー１３０ｃの回転の位相に対して１８０°ずれるように回転する。言い換えれば、ミラー１３０ａ及び１３０ｃは、ミラー１３０ａの回転の位相とミラー１３０ｃの回転の位相との間のずれが１８０°に固定されるように回転する。このようなミラー１３０ａの回転の位相とミラー１３０ｃの回転の位相との間の関係は、図１３（ｃ）から図１３（ｆ）に示すように、第２ベース１１０－２の変形振動がどのような状態であっても成立する。

　尚、ミラー１３０ａの回転の位相と第２ベース１１０－２の変形振動の位相との間のずれは、時間の経過によって変動してもよいし固定されていてもよい。同様に、ミラー１３０ｃの回転の位相と第２ベース１１０－２の変形振動の位相との間のずれは、時間の経過によって変動してもよいし固定されていてもよい。上述の図１３を用いた説明は、ミラー１３０ａ及び１３０ｃの回転の位相と第２ベース１１０－２の変形振動の位相との間のずれが固定されている場合の例を示している。しかしながら、ミラー１３０ａ及び１３０ｃの回転の位相と第２ベース１１０－２の変形振動の位相との間のずれが変動する場合であっても、ミラー１３０ａ及び１３０ｃが、ミラー１３０ａの回転の位相とミラー１３０ｃの回転の位相とが互いに逆相になるように回転することに変わりはない。

　このように、第４実施例によれば、ミラー１３０ａの回転の位相とミラー１３０ｃの回転の位相とが互いに逆相になるように、ミラー１３０ａ及び１３０ｃを回転させることができる。つまり、２つのミラー１３０ａ及び１３０ｃを同期させながら逆相で回転（つまり、駆動）させることができる。従って、１つのミラー１３０を基準周波数ｆで回転させるＭＥＭＳスキャナと比較して、２つのミラー１３０ａ及び１３０ｃを１つのミラー１３０の如く取り扱うことで、基準周波数ｆの２倍の周波数２ｆで（言い換えれば、１／２の周期で）１つのミラー１３０を回転させている状態と同様の状態を実現することができる。言い換えれば、ミラー１３０ａ及び１３０ｃの夫々を基準周波数ｆの半分の周波数ｆ／２で回転させても、２つのミラー１３０ａ及び１３０ｃを１つのミラー１３０の如く取り扱うことで、基準周波数ｆで１つのミラー１３０を回転させている状態と同様の状態を実現することができる。例えば、静止時の状態を０°として１周期で±Ｘ°回転することができるミラー１３０を例にあげて説明する。仮に１つのミラー１３０を用いるのであれば、－Ｘ°からＸ°に至るまでの角度を利用するためには、１周期の期間が必要になる。一方で、互いに逆相で回転する２つのミラー１３０ａ及び１３０ｃを用いるのであれば、半周期で、ミラー１３０ａが０°からＸ°まで回転すると共にミラー１３０ｃが０°から－Ｘ°まで回転する。このため、第１実施例によれば、－Ｘ°からＸ°に至るまでの角度を利用するためには、１周期の期間は必ずしも必要ではなく、例えば半周期で足りる。従って、ミラー１３０ａ及び１３０ｃの夫々を駆動する周波数を落としても、ミラー１３０ａ及び１３０ｃを１枚のミラー１３０の如く取り扱った場合の当該ミラー１３０の駆動周波数が落ちることはない。

　尚、図１３では、ミラー１３０ａ及び１３０ｃの夫々の回転の位相と、第２ベース１１０－２の変形振動の位相とが逆相になる例を示している。しかしながら、図１４に示すように、ミラー１３０ａ及び１３０ｃの夫々の回転の位相と、第２ベース１１０－２の変形振動の位相とが同相になってもよい。ミラー１３０ａ及び１３０ｃの夫々の回転の位相と第２ベース１１０－２の変形振動の位相とが同相になる場合であっても、ベース１１０の変形振動の位相とが同相になってもよい。ミラー１３０ａ及び１３０ｃの夫々の回転の位相と第２ベース１１０－２の変形振動の位相とが逆相になる場合に享受することができる各種効果を好適に享受することができる。

　加えて、第４実施例では、尚、磁極１６２ａは、第２ベース１１０－２の一方側の辺１１０－２であって且つミラー１３０ａとミラー１３０ｃとの間の領域（つまりは、第２ベース１１０－２における変形振動の腹となる領域）に隣接して配置され、且つ、磁極１６２ｂ及び１６２ｃは、第２ベース１１０－２の回転軸に対して磁極１６２ａと反対側に位置する領域であって且つミラー１３０ａ及びミラー１３０ｃをＹ軸の方向に沿って挟みこむ位置に配置される。つまり、磁極１６２ａは、磁極１６２ｂ及び１６２ｃとの間で第２ベース１１０－２の回転軸を挟みこむような位置に配置されている。このため、第２ベース１１０－２をＸ軸の方向に沿って回転させやすくなる。更には、磁極１６２ｂ及び１６２ｃは、第２ベース１１０－２（或いは、ミラー１３０ａ及びミラー１３０ｃ）をＹ軸の方向に沿って挟みこむ位置に配置される。従って、磁極１６２ｂ及び１６２ｃによって生ずる微振動によって、第２ベース１１０－２を変形振動させやすくなる。

　尚、上述した第４実施例では、ミラー１３０ａ及び１３０ｃを回転させるための力（つまり、駆動源部から加えられる）として、微振動を用いる例について説明している。しかしながら、ミラー１３０ａ及び１３０ｃを回転させるための力として、微振動以外の任意の力を用いてもよい。例えば、特開２００６－２９３１１６号公報に記載されている「基板の板波を用いてミラーにねじれ振動を生じさせる駆動方式（例えば、ラム波共鳴圧電駆動方式）」を利用して、ミラー１３０ａ及び１３０ｃを回転させてもよい。或いは、例えば、ミラー１３０ａ及び１３０ｃを回転させるための力として、ミラー１３０ａ及び１３０ｃを直接的に回転させる方向に作用する方向性のある力を用いてもよい。言い換えれば、例えば、ミラー１３０ａ及び１３０ｃを回転させるための力として、第１トーションバー１２０ａ－１及び１２０ｂ－１並びに第２トーションバー１２０ａ－１から１２０ｄ－１を直接的にねじれさせる方向に作用する方向性のある力を用いてもよい。以下の第５実施例から第６実施例においても同様である。

　（５）第５実施例
　続いて、図１５を参照して、第５実施例のＭＥＭＳスキャナ１０４について説明する。図１５は、第５実施例のＭＥＭＳスキャナ１０４の基本構成を概念的に示す平面図である。尚、上述の第４実施例のＭＥＭＳスキャナ１０３と同一の構成については、同一の参照符号を付することでその詳細な説明を省略する。

　図１５に示すように、第５実施例のＭＥＭＳスキャナ１０４は、第４実施例のＭＥＭＳスキャナ１０３と同様に、第１ベース１１０－１と、第１トーションバー１２０ａ－１及び１２０ｂ－１と、第２ベース１１０－２と、第２トーションバー１２０ａ－２及び１２０ｂ－２と、第２トーションバー１２０ｃ－２及び１２０ｄ－２と、ミラー１３０ａと、ミラー１３０ｃとを備えている。第５実施例のＭＥＭＳスキャナ１０４は、電磁力に起因した力（微振動）を加える駆動源部１６０に代えて、圧電効果に起因した力（微振動）を加える駆動源部１４０を備えている。

　駆動源部１４０は、第１圧電素子１４０－１ａと、第２圧電素子１４０－２ａと、伝達枝１４０ｂと、第１空隙１４０－１ｄを有すると共に伝達枝１４０ｂを介して第１ベース１１０－１に固定される第１支持板１４０－１ｃと、第２空隙１４０－２ｄを有すると共に伝達枝１４０ｂを介して第１ベース１１０－１に固定される第２支持板１４０－２ｃとを備えている。第１支持板１４０－１ｃ上では、第１空隙１４０－１ｄによって規定される相対向する第１枝１４０－１ｅ及び１４０－１ｆによって、第１圧電素子１４０－１ａが挟持される。第２支持板１４０－２ｃ上では、第２空隙１４０－２ｄによって規定される相対向する第２枝１４０－２ｅ及び１４０－２ｆによって、第２圧電素子１４０－２ａが挟持される。不図示の電極を介して第１圧電素子１４０－１ａに電圧を印加することで、第１圧電素子１４０－１ａはその形状を変化させる。この第１圧電素子１４０－１ａの形状の変化は、第１枝１４０－１ｅ及び１４０－１ｆの形状の変化を引き起こす。その結果、第１枝１４０－１ｅ及び１４０－１ｆの形状の変化は、後に詳述するように微振動（ないしは、波動エネルギー）として伝達枝１４０ｂを介して第１ベース１１０－１に伝えられる。同様に、不図示の電極を介して第２圧電素子１４０－２ａに電圧を印加することで、第２圧電素子１４０－２ａはその形状を変化させる。この第２圧電素子１４０－２ａの形状の変化は、第２枝１４０－２ｅ及び１４０－２ｆの形状の変化を引き起こす。その結果、第２枝１４０－２ｅ及び１４０－２ｆの形状の変化は、後に詳述するように微振動（ないしは、波動エネルギー）として伝達枝１４０ｂを介して第１ベース１１０－１に伝えられる。

　このような駆動源部１４０から加えられる微振動は、図１２を用いて説明した方向性のない力となる。従って、第５実施例のＭＥＭＳスキャナ１０４によれば、上述した第４実施例のＭＥＭＳスキャナ１０３が享受する各種効果と同様の効果を好適に享受することができる。

　（６）第６実施例
　続いて、図１６を参照して、第６実施例のＭＥＭＳスキャナ１０５について説明する。図１６は、第６実施例のＭＥＭＳスキャナ１０５の基本構成を概念的に示す平面図である。尚、上述の第４実施例のＭＥＭＳスキャナ１０３と同一の構成については、同一の参照符号を付することでその詳細な説明を省略する。

　図１６に示すように、第６実施例のＭＥＭＳスキャナ１０５は、第４実施例のＭＥＭＳスキャナ１０３と同様に、第１ベース１１０－１と、第１トーションバー１２０ａ－１及び１２０ｂ－１と、第２ベース１１０－２と、第２トーションバー１２０ａ－２及び１２０ｂ－２と、第２トーションバー１２０ｃ－２及び１２０ｄ－２と、ミラー１３０ａと、ミラー１３０ｃとを備えている。第６実施例のＭＥＭＳスキャナ１０５は、電磁力に起因した力（微振動）を加える駆動源部１６０に代えて、静電力に起因した力（微振動）を加える駆動源部１５０を備えている。

　駆動源部１５０（１５０ａから１５０ｃ）は、第２ベース１１０－２の外側の辺に沿って配置される櫛歯状の第１電極１５１ａから１５１ｃと、第１ベース１１０－１の内側の辺に固定されると共に第１電極１５１ａから１５１ｃの間に分布する櫛歯状の第２電極１５２ａから１５２ｃとを備える。尚、第１電極１５１ａ及び第２電極１５２ａは、上述した磁極１６２ａと同様の位置に配置される。第１電極１５１ｂ及び第２電極１５２ｂは、上述した磁極１６２ｂと同様の位置に配置される。第１電極１５１ｃ及び第２電極１５２ｃは、上述した磁極１６２ｃと同様の位置に配置される。

　この場合、第１電極１５１ａから１５１ｃ（又は、第２電極１５２ａから１５２ｃ）には、不図示の駆動源部制御回路から所望のタイミングで、所望の電圧が印加される。第１電極と第２電極との間の電位差に起因して、第１電極１５１ａから１５１ｃと第２電極１５２ａから１５２ｃとの間には静電力（言い換えれば、クーロン力）が生ずる。その結果、静電力が発生する。この静電力は微振動として第２ベース１１０－２に伝えられる。

　このような駆動源部１５０から加えられる微振動は、図１２を用いて説明した方向性のない力となる。従って、第６実施例のＭＥＭＳスキャナ１０５によれば、上述した第４実施例のＭＥＭＳスキャナ１０３が享受する各種効果と同様の効果を好適に享受することができる。

　尚、上述の説明では、２つのミラー１３０ａ及び１３０ｃを備えるＭＥＭＳスキャナ１００から１０６について説明しているが、３つ以上のミラー１３０を備えるＭＥＭＳスキャナに対して、上述した構成を適用してもよいことは言うまでもない。

　尚、上述した第１実施例のＭＥＭＳスキャナ１００から第６実施例のＭＥＭＳスキャナ１０５は、例えば、ヘッドアップディスプレイや、ヘッドマウントディスプレイや、レーザスキャナや、レーザプリンタや、走査型駆動装置等の各種電子機器に対して適用することができる。従って、これらの電子機器もまた、本発明の範囲に含まれるものである。

　また、本発明は、請求の範囲及び明細書全体から読み取るこのできる発明の要旨又は思想に反しない範囲で適宜変更可能であり、そのような変更を伴う駆動装置もまた本発明の技術思想に含まれる。

　１００～１０５　ＭＥＭＳスキャナ
　１１０　ベース
　１１０－１　第１ベース
　１１０－２　第２ベース
　１２０　トーションバー
　１２０－１　第１トーションバー
　１２０－２　第２トーションバー
　１３０　ミラー
　１４０、１５０、１６０　駆動源部

Claims

　第１ベース部と、
　前記第１ベース部に取り囲まれる第２ベース部と、
　前記第１ベース部と前記第２ベース部とを接続し、且つ前記第２ベース部を他の方向に沿った軸を中心軸として回転させるような弾性を有する第１弾性部と、
　夫々が回転可能な複数の被駆動部と、
　夫々が前記第２ベース部と前記複数の被駆動部のうちの対応する一つの被駆動部とを接続し、且つ夫々が前記対応する一つの被駆動部を前記他の方向とは異なる一の方向に沿った軸を中心軸として回転させるような弾性を有する複数の第２弾性部と、
　前記複数の被駆動部の夫々及び前記複数の第２弾性部のうち前記夫々の被駆動部に対応する一つの第２弾性部により定まる共振周波数で前記夫々の被駆動部が前記一の方向に沿った軸を中心軸として共振しながら回転するように前記複数の被駆動部を回転させるための加振力を前記第２ベース部に加える印加部と
　を備え、
　前記複数の被駆動部の夫々及び前記複数の第２弾性部のうち前記夫々の被駆動部に対応する一つの第２弾性部により定まる共振周波数は、前記複数の被駆動部のうちの少なくとも２つの間で同じになる
　ことを特徴とする駆動装置。
　前記印加部は、前記複数の被駆動部のうちの第１の被駆動部が回転する位相が前記複数の駆動部のうちの第２の被駆動部が回転する位相に対して逆相となるように、前記加振力を加えることを特徴とする請求項１に記載の駆動装置。
　前記印加部は、前記他の方向に沿って前記第２ベース部が定常波状に変形振動するように前記加振力を加え、
　前記複数の被駆動部の夫々は、前記複数の弾性部を介して、前記第２ベース部の変形振動における節に対応する箇所に接続されていることを特徴とする請求項１に記載の駆動装置。
　前記印加部は、前記他の方向に沿った前記第２ベース部の変形振動が共振となるように前記加振力を加えることを特徴とする請求項３に記載の駆動装置。
　前記第２ベース部が共振する共振周波数は、前記複数の被駆動部のうちの少なくとも一つの共振周波数と同一であることを特徴とする請求項４に記載の駆動装置。
　前記第２ベース部の変形振動における節に対応する箇所の剛性が、前記第２ベース部の変形振動における節以外の箇所の剛性よりも高いことを特徴とする請求項３に記載の駆動装置。
　前記第２ベース部の変形振動における節に対応する箇所の質量が、前記第２ベース部の変形振動における節以外の箇所の質量よりも小さいことを特徴とする請求項３に記載の駆動装置。
　前記加振力は、無方向性振動エネルギーとしての無方向性微振動又は異方性微振動であることを特徴とする請求項１に記載の駆動装置。
　前記印加部は、前記一の方向に沿った軸を中心軸とする回転方向とは異なる方向に作用する力によって生ずる前記微振動を加えることを特徴とする請求項８に記載の駆動装置。
　前記印加部は、静止時の前記被駆動部の表面に沿った方向に作用する力によって生ずる前記微振動を加えることを特徴とする請求項８に記載の駆動装置。
　前記印加部は、前記第２ベース部を前記他の方向に沿った軸を中心軸として回転させるための前記微振動であって且つ前記複数の被駆動部の夫々及び前記複数の第２弾性部のうち前記夫々の被駆動部に対応する一つの第２弾性部により定まる共振周波数で前記夫々の被駆動部が前記一の方向に沿った軸を中心軸として共振しながら回転するように前記複数の被駆動部を回転させるための前記微振動を前記第２ベース部に加えることを特徴とする請求項８に記載の駆動装置。