WO2013168485A1 - 駆動装置 - Google Patents

Abstract

　駆動装置（１０１）は、ベース部（１１０）と、回転可能な被駆動部（１３０）と、ベース部と被駆動部とを接続し、且つ被駆動部を一の方向（Ｙ軸）に沿った軸を回転軸として回転させるような弾性を有する弾性部（１２０ａ、１２０ｂ）と、ベース部上に配置され且つ巻き線の外側に被駆動部が配置されるコイル部（１４０）と、コイル部に対して磁界を付与する磁界付与部（１５１、１５２）とを備える。

Description

駆動装置

　本発明は、例えばミラー等の被駆動物を回転させるＭＥＭＳスキャナ等の駆動装置の技術分野に関する。

　例えば、ディスプレイ、プリンティング装置、精密測定、精密加工、情報記録再生などの多様な技術分野において、半導体工程技術によって製造されるＭＥＭＳ（Ｍｉｃｒｏ Ｅｌｅｃｔｒｏ Ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ Ｓｙｓｔｅｍ）デバイスについての研究が活発に進められている。このようなＭＥＭＳデバイスとして、例えば、光源から入射された光を所定の画面領域に対して走査して画像を具現するディスプレイ分野、または所定の画面領域に対して光を走査して反射された光を受光して画像情報を読み込むスキャニング分野では、微小構造のミラー駆動装置（光スキャナないしはＭＥＭＳスキャナ）が注目されている。

　ミラー駆動装置は、一般的には、ベースとなる固定された本体と、所定の回転軸の周りに回転可能なミラーと、本体とミラーとを接続する又は接合するトーションバー（ねじれ部材）とを備える構成が知られている（特許文献１参照）。

　また、本発明に関連する先行技術文献として、特許文献１の他に、特許文献２から特許文献４がある。

特表２００７－５２２５２９号公報 特開２００８－１２２９５５号公報 特開２００８－２０３４９７号公報 特開昭６３－０４８６２３号公報

　このような構成を有するミラー駆動装置では、コイルと磁石を用いてミラーを駆動する構成が一般的である。このような構成では、例えばミラーを取り囲むようにミラーにコイルを直接貼り付ける構成が一例としてあげられる。この場合、コイルに電流を流すことで生ずる磁界と磁石の磁界との間の相互作用によってミラーに対して回転方向の力が加えられ、その結果、ミラーが回転させられる。また、上述の特許文献１では、コイルと磁石とが、トーションバーにねじれ方向（言い換えれば、ミラーの回転軸方向）の歪みを生じさせるように配置される構成を採用している。この場合、コイルに電流を流すことで生ずる磁界と磁石の磁界との間の相互作用によってトーションバーがねじれ方向に歪み、トーションバーのねじれ方向の歪みがミラーを回転させることになる。

　しかしながら、ミラーを取り囲むようにコイルが配置されるがゆえに、コイルが比較的大きくなってしまう。その結果、当該コイルに対して磁界を付与するための磁石もまた比較的大きくなってしまう。このため、コイルと磁石との間の磁気ギャップが大きくなってしまうと共に、ＭＥＭＳスキャナの小型化を図ることができなくなってしまうという技術的な問題点が生ずる。また、ミラーを取り囲むようにコイルが配置されるがゆえに、磁石の配置が限定されてしまう又は磁石を好適な位置に配置することが困難になってしまう。具体的には、ミラーによる光の反射が妨げられてしまうがゆえに、コイルの中心上方（具体的には、コイルの巻き線の内側の上方（つまり、ミラーの上方）へ磁石を配置することが困難である。

　このような従来のミラー駆動装置に対して、本発明は、例えば、コイルと磁石とを用いてミラー（或いは、回転する被駆動物）を駆動しつつも相対的に小型な駆動装置（つまり、ＭＥＭＳスキャナ）を提供することを課題とする。

　上記課題を解決するために、駆動装置は、ベース部と、回転可能な被駆動部と、前記ベース部と前記被駆動部とを接続し、且つ前記被駆動部を一の方向に沿った軸を回転軸として回転させるような弾性を有する弾性部と、前記ベース部上に配置されるコイル部であって、且つ当該コイル部の巻き線の外側に前記被駆動部が配置されるコイル部と、前記コイル部に対して磁界を付与する磁界付与部とを備える。

　本発明のこのような作用及び利得は次に説明する実施の形態から明らかにされる。

第１実施例に係るＭＥＭＳスキャナの構成を概念的に示す平面図である。 第１実施例に係るＭＥＭＳスキャナによる動作の態様を概念的に示す平面図及び断面図である。 第１実施例に係るＭＥＭＳスキャナによる動作の態様を概念的に示す平面図及び断面図である。 第２実施例に係るＭＥＭＳスキャナによる動作の態様を概念的に示す断面図である。 第２実施例に係るＭＥＭＳスキャナの構成を概念的に示す平面図である。 第２実施例に係るＭＥＭＳスキャナによる動作の態様を概念的に示す平面図及び断面図である。 第２実施例に係るＭＥＭＳスキャナによる動作の態様を概念的に示す平面図及び断面図である。 第２実施例に係るＭＥＭＳスキャナによる動作の態様を概念的に示す断面図である。 第３実施例に係るＭＥＭＳスキャナの構成を概念的に示す平面図である。 第３実施例に係るＭＥＭＳスキャナによる動作の態様を概念的に示す平面図である。 第４実施例に係るＭＥＭＳスキャナの構成を概念的に示す平面図である。 第４実施例に係るＭＥＭＳスキャナによる動作の態様を概念的に示す平面図である。 第５実施例に係るＭＥＭＳスキャナの構成を概念的に示す平面図である。 第５実施例に係るＭＥＭＳスキャナによる動作の態様を概念的に示す平面図である。 第６実施例に係るＭＥＭＳスキャナの構成を概念的に示す平面図である。 第６実施例に係るＭＥＭＳスキャナによる動作の態様を概念的に示す平面図である。 第７実施例に係るＭＥＭＳスキャナの構成を概念的に示す平面図である。 第８実施例に係るＭＥＭＳスキャナの構成を概念的に示す平面図である。 第８実施例に係るＭＥＭＳスキャナが備えるコイルに付与される磁界の態様及び磁気ヨークが配置されていない比較例に係るＭＥＭＳスキャナが備えるコイルに付与される磁界の態様を示す断面図である。

　以下、駆動装置に係る実施形態について順に説明する。

　＜１＞
　本実施形態の駆動装置は、ベース部と、回転可能な被駆動部と、前記ベース部と前記被駆動部とを接続し、且つ前記被駆動部を一の方向に沿った軸を回転軸として回転させるような弾性を有する弾性部と、前記ベース部上に配置されるコイル部であって、且つ当該コイル部の巻き線の外側に前記被駆動部が配置されるコイル部と、前記コイル部に対して磁界を付与する磁界付与部とを備える。

　本実施形態の駆動装置によれば、基礎となるベース部と回転可能に配置される被駆動部（例えば、後述するミラー等）とが、弾性を有する弾性部（例えば、後述するトーションバー等）によって直接的に又は間接的に接続されている。被駆動部は、弾性部の弾性（例えば、被駆動部を一の方向（例えば、後述のＹ軸方向）に沿った軸を回転軸として回転させることができるという弾性）によって、一の方向に沿った軸を回転軸として回転する。つまり、本実施形態の駆動装置は、被駆動部の１軸駆動を行うことができる。

　本実施形態の駆動装置では、コイル部と磁界付与部との間の電磁相互作用に起因した力によって、一の方向に沿った軸を回転軸として被駆動部が回転する。言い換えれば、一の方向に沿った軸を回転軸として被駆動部が回転するための駆動力は、コイル部と磁界付与部との間の電磁相互作用に起因した電磁力である。

　より具体的には、後に詳述するように、コイル部には、一の方向に沿った軸を回転軸として被駆動部を回転させるための制御電流が供給される。この制御電流は、例えば、一の方向に沿った軸を回転軸として被駆動部が回転する周波数（言い換えれば、周期）と同一の周波数を有する又は同期した周波数を有する交流電流であることが好ましい。より好ましくは、制御電流は、被駆動部及び弾性部によって定まる被駆動部の共振周波数（より具体的には、被駆動部の慣性モーメント及び弾性部のねじりバネ定数によって定まる被駆動部の共振周波数）と同一の周波数を有する又は同期した周波数を有する交流電流であることが好ましい。一方で、コイル部には、磁界付与部から磁界が付与される。このため、コイル部に供給される制御電流と磁界付与部が付与する磁界との電磁相互作用に起因して、コイル部には、ローレンツ力が発生する。このローレンツ力によって、被駆動部は、一の方向に沿った軸を回転軸として回転する。

　本実施形態では特に、コイル部は、巻き線の外側に被駆動部が配置されるように、ベース部上に配置される。言い換えれば、コイル部は、巻き線の内側に被駆動部が配置されないように、ベース部上に配置される。つまり、コイル部は、被駆動部が配置される箇所から所定方向（例えば、一の方向とは異なる他の方向（例えば、後述のＸ軸方向））にオフセットした位置に配置される。より具体的には、コイル部は、被駆動部の中心が配置される箇所から所定方向にオフセットした位置にコイル部の中心（例えば、巻き線の中心）が配置されるように、ベース部上に配置される。尚、コイル部がベース部上に配置されるため、ベース部の少なくとも一部の形状は、コイル部を配置可能な形状を有していることが好ましい。

　このように、本実施形態では、被駆動部は、コイル部の巻き線の外側に位置することになる。従って、コイル部は、被駆動部を取り囲むように配置されなくともよい。その結果、本実施形態では、コイル部が被駆動部を取り囲むように配置される場合と比較して、コイル部のサイズ（例えば、巻き線の径や巻き線の長さ等）を相対的に小さくすることができる。言い換えれば、本実施形態では、被駆動部の大きさに関係なく、コイル部のサイズ（例えば、巻き線の径や巻き線の長さ等）を相対的に小さくすることができる。その結果、当該コイル部に対して磁界を付与するための磁界付与部（例えば、磁石）のサイズもまた、相対的に小さくすることができる。このため、本実施形態では、コイル部が被駆動部を取り囲むように配置される場合と比較して、被駆動部の大きさに関係なく、コイル部と磁気付与部との間の磁気ギャップを相対的に小さくすることができる。従って、本実施形態では、コイル部が被駆動部を取り囲むように配置される場合と比較して、駆動装置の小型化が好適に実現される。

　加えて、本実施形態では、被駆動部を取り囲むようにコイル部が配置されなくともよくなるため、被駆動部を取り囲むようにコイル部が配置される駆動装置と比較して、磁界付与部の配置の自由度が相対的に高くなる。このため、コイル部の中心上方（具体的には、コイル部の巻き線の内側の上方に磁界付与部を配置することができる。

　但し、本実施形態では、被駆動部が巻き線の外側に位置するコイル部に加えて、被駆動部が巻き線の内側に位置する他のコイル部を更に備えていてもよい。つまり、駆動装置が備える全てのコイル部の巻き線の外側に被駆動部が位置することが要求されているものではない。言い換えれば、駆動装置が備える全てのコイル部のうちの少なくとも１つのコイル部の巻き線の外側に被駆動部が位置していれば足りる。

　加えて、複数のコイル部が単一の巻き線によって構成されることがある。この場合であっても、配置位置や形状等によって単一の巻き線から構成される複数のコイル部の夫々を実質的に区別した上で、単一の巻き線から構成される複数のコイル部のうちの一のコイル部の巻き線の外側に被駆動部が位置する一方で、単一の巻き線から構成される複数のコイル部のうちの他のコイル部の巻き線の内側に被駆動部が位置していてもよい。

　＜２＞
　本実施形態の駆動装置の他の態様では、前記コイル部の前記一の方向に沿った回転軸は、前記被駆動部の前記一の方向に沿った回転軸とは異なる。

　この態様によれば、コイル部の一の方向に沿った回転軸と被駆動部の一の方向に沿った回転軸とを一致させなくともよくなる。このため、コイル部の一の方向に沿った回転軸と被駆動部の一の方向に沿った回転軸とを一致させる必要がある駆動装置と比較して、被駆動部の配置の自由度が相対的に高くなる。このため、被駆動部は、コイル部の巻き線の外側に位置しやすくなる。従って、上述した各種効果が好適に実現される。

　尚、コイル部の一の方向に沿った回転軸は、被駆動部の一の方向に沿った回転軸から、他の方向に沿ってシフトしていることが好ましい。つまり、コイル部は、コイル部の中心（例えば、巻き線の中心）が被駆動部の中心から他の方向に沿ってシフトした位置に配置されるように、ベース部上に配置されていることが好ましい。

　また、一の方向に沿った軸を回転軸とするコイル部の回転及び一の方向に沿った軸を回転軸とする被駆動部の回転については、後に詳述する。

　＜３＞
　本実施形態の駆動装置の他の態様では、前記コイル部に供給される制御電流と前記磁界付与部が付与する磁界との電磁相互作用に起因して前記コイル部に発生するローレンツ力によって、前記コイル部は、前記一の方向に沿った軸を回転軸として回転し、前記一の方向に沿った軸を回転軸とする前記コイル部の回転に起因して、前記ベース部は、前記一の方向とは異なる他の方向に沿って定常波状に変形振動し、前記ベース部の変形振動に起因して、前記被駆動部は、前記一の方向に沿った軸を回転軸として回転する。

　この態様によれば、コイル部と磁界付与部との間の電磁相互作用に起因した力によって、一の方向に沿った軸を回転軸として被駆動部が回転する。以下、一の方向に沿った軸を回転軸として被駆動部が回転する具体的な態様について説明を進める。

　コイル部には、一の方向に沿った軸を回転軸として被駆動部を回転させるための制御電流が供給される。一方で、コイル部には、磁界付与部から磁界が付与される。このため、コイル部に供給される制御電流と磁界付与部が付与する磁界との電磁相互作用に起因して、コイル部には、ローレンツ力が発生する。

　このローレンツ力によって、コイル部は、一の方向に沿った軸を回転軸として回転する（より具体的には、回転するように往復駆動する）。このような一の方向に沿った軸を回転軸とするコイル部の回転を実現するために、一の方向とは異なる（好ましくは、交わる、より好ましくは、直交する）他の方向に沿って対向するコイル部の２つの辺に、異なる方向に作用するローレンツ力が同時に加わることが好ましい。例えば、ある一のタイミングでコイル部に加わるローレンツ力は、他の方向に沿って対向するコイル部の２つの辺のうちの一方の辺に上向きの力として作用する力であり且つ他の方向に沿って対向するコイル部の２つの辺のうちの他方の辺に下向きの力として作用する力であることが好ましい。更に、当該一のタイミングに相前後する他のタイミングでコイル部に加わるローレンツ力は、他の方向に沿って対向するコイル部の２つの辺のうちの一方の辺に下向きの力として作用する力であり且つ他の方向に沿って対向するコイル部の２つの辺のうちの他方の辺に上向きの力として作用する力であることが好ましい。このようなローレンツ力がコイル部に発生することで、コイル部は、一の方向に沿った軸を回転軸として回転する。

　一の方向に沿った軸を回転軸とするコイル部の回転に伴って、コイル部が配置されているベース部は、一の方向とは異なる他の方向に沿って定常波状に（つまり、定常波の波形状に）変形振動する。つまり、ベース部は、そのある一部分が変形振動の腹となり且つその他の一部分が変形振動の節となるように、その外観を変形させる。このようなベース部の変形振動によって、他の方向に沿って腹及び節が現れる。ベース部の変形振動は、いわゆる定常波の波形に従って行われるため、その腹及び節の位置は実質的には固定されている。このとき、ベース部の変形振動は、共振となっていてもよい。また、ベース部が共振する共振周波数（つまり、ベース部の変形振動の周波数）は、被駆動部が回転する周波数（或いは、被駆動部の共振周波数）と同一となっていてもよい。

　このようなベース部の変形振動に起因して、被駆動部は、一の方向に沿った軸を回転軸として回転する。このとき、被駆動部は、被駆動部及び弾性部によって定まる被駆動部の共振周波数（より具体的には、被駆動部の慣性モーメント及び弾性部のねじりバネ定数によって定まる被駆動部の共振周波数）で共振するように、一の方向に沿った軸を回転軸として回転してもよい。

　＜４＞
　上述の如くローレンツ力によってコイル部が回転する駆動装置の態様では、前記コイル部の前記一の方向に沿った回転軸及び前記被駆動部の前記一の方向に沿った回転軸に対応する箇所には、前記ベース部の変形振動における節が現れ、前記コイル部の前記一の方向に沿った回転軸と前記被駆動部の前記一の方向に沿った回転軸との間の箇所には、前記ベース部の変形振動における腹が現れる。

　この態様によれば、ベース部の変形振動における節に対応する箇所に被駆動部が接続されている。また、ベース部の変形振動における節に対応する箇所にコイル部が配置されている。このため、被駆動部及びコイル部の上下方向（具体的には、一の方向及び他の方向の夫々に直交する方向であって、ベース部の表面に対して垂直な方向）の移動ないしは振動を防ぐことができる。従って、被駆動部の高精度な回転を実現することができる。

　＜５＞
　上述の如くローレンツ力によってコイル部が回転する駆動装置の態様では、前記一の方向に沿った軸を回転軸とする前記コイル部の回転方向と前記一の方向に沿った軸を回転軸とする前記被駆動部の回転方向とは、互いに逆になる。

　この態様によれば、一の方向に沿った軸を回転軸とするコイル部の回転に起因したベース部の変形振動を用いて、被駆動部は、一の方向に沿った軸を回転軸として好適に回転する。

　尚、一の方向に沿った軸を回転軸とするコイル部の回転方向と一の方向に沿った軸を回転軸とする被駆動部の回転方向とが互いに逆向きとなる例は、厳密に言えば、一の方向に沿った軸を回転軸とするコイル部の回転方向と被駆動部に対応する（例えば、被駆動部を支持している部分に相当する）ベース部の回転方向（言い換えれば、変形振動に伴う疑似的な回転方向）とが互いに逆向きとなる例とも表現できる。

　但し、ベース部がより高次の振動モードで変形振動する場合には、一の方向に沿った軸を回転軸とする被駆動部の回転方向と被駆動部に対応する（例えば、被駆動部を支持している部分に相当する）ベース部の回転方向とが逆になってもよい。つまり、一の方向に沿った軸を回転軸とするコイル部の回転方向と一の方向に沿った軸を回転軸とする被駆動部の回転方向とが互いに同じ向きとなってもよい。

　＜６＞
　本実施形態の駆動装置の他の態様では、前記磁界付与部は、（ｉ）前記コイル部の巻き線の外側に配置される第１磁界付与部と、（ｉｉ）前記コイル部の巻き線の内側に配置される第２磁界付与部とを備える。

　この態様によれば、コイルの巻き線の内側及び外側のうちのいずれか一方のみにしか磁界付与部が配置されない駆動装置と比較して、磁界付与部によるコイル部への磁界の付与の効率が高まる。

　＜７＞
　磁界付与部が第１磁界付与部及び第２磁界付与部を備える駆動装置の他の態様では、前記第１磁界付与部は、磁石であり、前記第２磁界付与部は、ヨークである。

　この態様によれば、コイルの巻き線の内側及び外側の夫々に磁石又はヨークが配置されるがゆえに、コイルの巻き線の内側及び外側のうちのいずれか一方のみにしか磁界付与部が配置されない駆動装置と比較して、磁界付与部によるコイル部への磁界の付与の効率が高まる。

　本実施形態のこのような作用及び他の利得は次に説明する実施例から明らかにされる。

　以上説明したように、本実施形態の駆動装置によれば、ベース部と、コイル部の巻き線の外側に配置される被駆動部と、弾性部と、コイル部と、磁界付与部とを備える。従って、コイル部と磁界付与部とを用いて被駆動物を駆動する、相対的に小型な駆動装置が提供される。

　以下、図面を参照しながら、駆動装置の実施例について説明する。尚、以下では、駆動装置をＭＥＭＳスキャナに適用した例について説明する。

　（１）第１実施例
　初めに、図１から図４を参照して、ＭＥＭＳスキャナの第１実施例について説明する。

　（１－１）ＭＥＭＳスキャナの構成
　初めに、図１を参照して、第１実施例に係るＭＥＭＳスキャナ１０１の構成について説明する。ここに、図１は、第１実施例に係るＭＥＭＳスキャナ１０１の構成を概念的に示す平面図である。

　図１に示すように、第１実施例に係るＭＥＭＳスキャナ１０１は、ベース１１０と、トーションバー１２０ａ及び１２０ｂと、ミラー１３０と、コイル１４０と、磁石１５１及び１５２とを備えている。

　ベース１１０は、内部に空隙を備える枠形状を有している。つまり、ベース１１０は、図１中のＹ軸方向に延伸する２つの辺と図１中のＸ軸方向（つまり、Ｙ軸方向に直交する方向）に延伸する２つの辺とを有すると共に、Ｙ軸方向に延伸する２つの辺とＸ軸方向に延伸する２つの辺とによって取り囲まれた空隙を有する枠形状を有している。図１に示す例では、ベース１１０は、正方形の形状を有しているが、これに限定されることはなく、例えばその他の形状（例えば、長方形等の矩形の形状や円形の形状等）を有していてもよい。また、ベース１１０は、第１実施例に係るＭＥＭＳスキャナ１０１の基礎となる構造体であって、不図示の基板ないしは支持部材に対して固定されている（言い換えれば、ＭＥＭＳスキャナ１００という系の内部においては固定されている）ことが好ましい。或いは、ベース１１０は、不図示のサスペンション等によって吊り下げられていてもよい。

　尚、図１では、ベース１１０が枠形状を有している例を示しているが、その他の形状を有していてもよいことは言うまでもない。例えば、ベース１１０は、その一部の辺が開口となるコの字型形状を有していてもよい。或いは、例えば、ベース１１０は、内部に空隙を備える箱型形状を有していてもよい。つまり、ベース１１０は、Ｘ軸及びＹ軸によって規定される平面上に分布する２つの面と、Ｘ軸及び不図示のＺ軸（つまり、Ｘ軸及びＹ軸の双方に直交する軸）によって規定される平面上に分布する２つの面と、Ｙ軸及び不図示のＺ軸によって規定される平面上に分布する２つの面とを有すると共に、これらの６つの面によって取り囲まれた空隙を有する箱形状を有していてもよい。或いは、ミラー１３０が配置される態様に応じて適宜ベース１１０の形状を任意に代えてもよい。

　トーションバー１２０ａ及び１２０ｂの夫々は、例えばシリコン、銅合金、鉄系合金、その他金属、樹脂等を材料とするバネ等のような弾性を有する部材である。トーションバー１２０ａ及び１２０ｂの夫々は、図１中Ｙ軸方向に延伸するように配置される。言い換えれば、トーションバー１２０ａ及び１２０ｂの夫々は、Ｙ軸方向に延伸する長手を有すると共にＸ軸方向に延伸する短手を有する形状を有している。但し、後述する共振周波数の設定状況に応じて、トーションバー１２０ａ及び１２０ｂの夫々は、Ｙ軸方向に延伸する短手を有すると共にＸ軸方向に延伸する長手を有する形状を有していてもよい。トーションバー１２０ａ及び１２０ｂの夫々の一方の端部は、ベース１１０に接続される。トーションバー１２０ａ及び１２０ｂの夫々の他方の端部は、ミラー１３０に接続される。つまり、トーションバー１２０ａ及び１２０ｂは、間にミラー１３０を挟み込むようにミラー１３０を吊り下げている。

　ミラー１３０は、ベース１１０の内部の空隙に、トーションバー１２０ａ及び１２０ｂによって吊り下げられる又は支持されるように配置される。ミラー１３０は、トーションバー１２０ａ及び１２０ｂの弾性によって、Ｙ軸方向に沿った軸を回転軸として回転するように構成されている。

　コイル１４０は、例えば相対的に導電率の高い材料（例えば、金や銅等）から構成される複数の巻き線である。第１実施例では、コイル１４０は、矩形の形状を有している。特に、コイル１４０の４つの辺のうちＸ軸方向（つまり、ミラー１３０の回転軸の方向に直交する方向）に沿った２つの辺の長さが、コイル１４０の４つの辺のうちＹ軸方向（つまり、ミラー１３０の回転軸の方向）に沿った２つの辺の長さよりも短い。言い換えれば、コイル１４０は、Ｘ軸方向に沿って対向する２つの長辺と、Ｙ軸方向に沿って対向する２つの短辺を含んでいる。つまり、第１実施例では、コイル１４０は、長方形状の形状を有している。但し、コイル１４０は、任意の形状（例えば、正方形やひし形や平行四辺形や円形や楕円形やその他の任意のループ形状）を有していてもよい。

　コイル１４０は、ベース１１０上に配置されている。特に、コイル１４０は、ミラー１３０が配置される位置（特に、ミラー１３０の中心ないしは重心が配置される位置）を基準として、Ｘ軸方向（つまり、ミラー１３０の回転軸の方向に直交する方向）に沿って所定距離だけシフトした位置にコイル１４０が位置する（特に、コイル１４０の中心又は重心が位置する）ように、ベース１１０上に配置されている。但し、コイル１４０は、ミラー１３０が配置される位置を基準として、Ｙ軸方向（つまり、ミラー１３０の回転軸の方向）に沿って所定距離だけシフトした位置にコイル１４０が位置するように、ベース１１０上に配置されていてもよい。加えて、コイル１４０は、ミラー１３０とコイル１４０とがＸ軸方向に沿って並ぶように、ベース１１０上に配置されている。その結果、ミラー１３０は、コイル１４０を構成する巻き線の外側に位置することになる。言い換えれば、ミラー１３０は、コイル１４０を構成する巻き線の内側に位置することはない。

　コイル１４０には、ベース１１０上に形成されている電源端子１４１を介して、電源から、ミラー１３０を回転させるための制御電流が供給される。制御電流は、典型的には、Ｙ軸方向に沿った軸を回転軸としてミラー１３０が回転する周波数と同一の又は同期した周波数の信号成分を含む交流電流である。尚、電源は、ＭＥＭＳスキャナ１０１自身が備えている電源であってもよいし、ＭＥＭＳスキャナ１０１の外部に用意される電源であってもよい。

　磁石１５１及び１５２は、磁石１５１と磁石１５２とがＸ軸方向に沿って配列するように配置される。特に、磁石１５１及び１５２は、磁石１５１と磁石１５２とがＸ軸方向に沿ってコイル１４０を挟み込むように配置される。加えて、磁石１５１及び１５２のいずれか一方が磁束の出射側になると共に、磁石１５１及び１５２のいずれか他方が磁束の入射側になる。尚、以下では、磁石１５１が磁束の入射側になり且つ磁石１５２が磁束の出射側になる例を用いて説明を進める。

　（１－２）ＭＥＭＳスキャナの動作
　続いて、図２から図４を参照して、第１実施例に係るＭＥＭＳスキャナ１０１の動作の態様（具体的には、ミラー１３０を回転させる動作の態様）について説明する。ここに、図２は、第１実施例に係るＭＥＭＳスキャナ１０１による動作の態様を概念的に示す平面図及び断面図である。図３は、第１実施例に係るＭＥＭＳスキャナ１０１による動作の態様を概念的に示す平面図及び断面図である。図４は、第１実施例に係るＭＥＭＳスキャナ１０１による動作の態様を概念的に示す断面図である。

　第１実施例に係るＭＥＭＳスキャナ１０１の動作時には、まず、コイル１４０に制御電流が供給される。制御電流は、Ｙ軸方向に沿った軸を回転軸としてミラー１３０を回転させるための電流成分を含んでいる。第１実施例では、ミラー１３０は、ミラー１３０とトーションバー１２０ａ及び１２０ｂによって定まる共振周波数（より具体的には、ミラー１３０の慣性モーメントとトーションバー１２０ａ及び１２０ｂのねじりバネ定数によって定まる共振周波数）で共振するように、Ｙ軸方向に沿った軸を回転軸として回転する。尚、厳密に言えば、トーションバー１２０ａ及び１２０ｂを支持するベース１１０の質量及び慣性モーメントも考慮した上で、ミラー１３０とトーションバー１２０ａ及び１２０ｂによって定まる共振周波数が微修正されることが好ましい。但し、以下では（特に、第１実施例のみならず、その他の実施例も含めて）、説明の簡略化のため、共振周波数の微修正については省略して説明を進める。従って、制御電流は、ミラー１３０の共振周波数と同一の又は同期した周波数の信号成分を含む交流電流である。但し、ミラー１３０は、ミラー１３０とトーションバー１２０ａ及び１２０ｂによって定まる共振周波数とは異なる又は同期しない周波数で、Ｙ軸方向に沿った軸を回転軸として回転してもよい。この場合には、制御電流は、Ｙ軸方向に沿った軸を回転軸としてミラー１３０が回転する周波数と同一の又は同期した周波数の信号成分を含む交流電流である。

　一方で、コイル１４０には、磁石１５１及び１５２から磁界が付与されている。尚、磁石１５１及び１５２は、Ｘ軸方向に沿って対向するコイル１４０の２つの辺に対して、磁界を付与することが好ましい。この場合、磁石１５１及び１５２は、Ｙ軸方向に沿って対向するコイル１４０の２つの辺に対しては、磁界を付与しなくともよい。或いは、磁石１５１及び１５２は、Ｙ軸方向に沿って対向するコイル１４０の２つの辺に対して、磁界を付与してもよい。或いは、磁石１５１及び１５２は、Ｙ軸方向に沿って対向するコイル１４０の２つの辺に対して、Ｙ軸方向に沿って対向するコイル１４０の２つの辺に対して付与している磁界の漏れ磁束のみを付与してもよい。

　従って、コイル１４０には、コイル１４０に供給されている制御電流とコイル１４０に付与されている磁界との間の電磁相互作用に起因したローレンツ力が発生することになる。

　ここで、図２（ａ）に示すように、図２（ａ）中の時計周りの方向に流れる制御電流がコイル１４０に供給されており、磁石１５２から磁石１５１に向かう磁界がコイル１４０に付与されている状況について説明する。この場合、図２（ａ）に示すＭＥＭＳスキャナ１０１を矢印ＩＩの方向から観察した図面である図２（ｂ）に示すように、Ｘ軸方向に沿って対向するコイル１４０の２つの長辺のうちの右側（つまり、図２（ａ）では外側）の長辺には、図２（ｂ）における下側の方向に向かうローレンツ力が発生する。同様に、図２（ｂ）に示すように、Ｘ軸方向に沿って対向するコイル１４０の２つの長辺のうちの左側（つまり、図２（ａ）では内側）の長辺には、図２（ｂ）における上側の方向に向かうローレンツ力が発生する。つまり、Ｘ軸方向に沿って対向するコイル１４０の２つの長辺には、相互に異なる方向のローレンツ力が発生する。言い換えれば、Ｘ軸方向に沿って対向するコイル１４０の２つの長辺には、偶力となるローレンツ力が発生する。従って、コイル１４０は、図２（ｂ）における時計周りの方向に向かって回転する。

　一方で、制御電流が交流電流であるため、図３（ａ）に示すように、図３（ａ）中の反時計周りの方向に流れる制御電流がコイル１４０に供給されており、磁石１５２から磁石１５１に向かう磁界がコイル１４０に付与される状況が、図２（ａ）に示す状況に続けて生ずる。この場合、図３（ａ）に示すＭＥＭＳスキャナ１０１を矢印ＩＩＩの方向から観察した図面である図３（ｂ）に示すように、Ｘ軸方向に沿って対向するコイル１４０の２つの長辺のうちの右側（つまり、図３（ａ）では外側）の長辺には、図３（ｂ）における上側の方向に向かうローレンツ力が発生する。同様に、図３（ｂ）に示すように、Ｘ軸方向に沿って対向するコイル１４０の２つの長辺のうちの左側（つまり、図２（ａ）では内側）の長辺には、図３（ｂ）における下側の方向に向かうローレンツ力が発生する。つまり、Ｘ軸方向に沿って対向するコイル１４０の２つの長辺には、相互に異なる方向のローレンツ力が発生する。言い換えれば、Ｘ軸方向に沿って対向するコイル１４０の２つの長辺には、偶力となるローレンツ力が発生する。従って、コイル１４０は、図３（ｂ）における半時計周りの方向に向かって回転する。

　このようなローレンツ力によって、コイル１４０は、Ｙ軸方向に沿った軸を回転軸として回転する（より具体的には、回転するように往復駆動する）。このとき、Ｙ軸方向に沿ったコイル１４０の回転軸は、Ｙ軸方向に沿ったミラー１３０の回転軸とは異なっている。具体的には、Ｙ軸方向に沿ったコイル１４０の回転軸は、Ｙ軸方向に沿ったミラー１３０の回転軸を基準として、Ｘ軸方向に所定距離シフトした位置に存在する。このため、Ｙ軸方向に沿った軸を回転軸とするコイル１４０の回転は、Ｙ軸方向に沿った軸を回転軸としてミラー１３０を直接的に回転させることはない。

　一方で、Ｙ軸方向に沿った軸を回転軸とするコイル１４０の回転に伴って、コイル１４０からベース１１０に対して微振動が伝搬する。その結果、コイル１４０が配置されているベース１１０は、Ｘ軸方向に沿って定常波状に（つまり、定常波の波形状に）変形振動する。言い換えれば、ベース１１０は、Ｘ軸方向に沿って波打つように変形振動する。つまり、ベース１１０は、そのある一部分が変形振動の腹となり且つその他の一部分が変形振動の節となるように、その外観を変形させる。

　このようなベース１１０の変形振動に起因して、ミラー１３０は、Ｙ軸方向に沿った軸を回転軸として回転する。このとき、ミラー１３０は、ミラー１３０並びにトーションバー１２０ａ及び１２０ｂに応じて定まる共振周波数（例えば、２０ｋＨｚ）で共振するように回転する。例えば、ミラー１３０のＹ軸方向に沿った軸回り慣性モーメントがＩであり且つトーションバー１２０ａ及び１２０ｂを１本のバネとみなした場合のねじりバネ定数がｋであるとすれば、ミラー１３０は、（１／（２π））×√（ｋ／Ｉ）にて特定される共振周波数（或いは、（１／（２π））×√（ｋ／Ｉ）のＮ倍若しくはＮ分の１倍（但し、Ｎは１以上の整数）の共振周波数）で共振するように、Ｙ軸方向に沿った軸を回転軸として回転する。

　ここで、Ｙ軸方向に沿った軸を回転軸とするコイル１４０の回転とＸ軸方向に沿ったベース１１０の変形振動とＹ軸方向に沿った軸を回転軸とするミラー１３０の回転の関係について、図４を参照しながらより詳細に説明する。

　図４（ａ）に示すように、Ｙ軸方向に沿った軸を回転軸としてコイル１４０が回転していない状態では、Ｘ軸方向に沿ってベース１１０は変形振動していない。このため、ミラー１３０もまた、Ｙ軸方向に沿った軸を回転軸として回転していない。

　その後、図４（ｂ）に示すように、Ｙ軸方向に沿った軸を回転軸としてコイル１４０が図４（ｂ）における反時計回りの方向に沿って回転し始めると、ベース１１０は、コイル１４０のＹ軸方向に沿った回転軸に対応する箇所（つまり、コイル１４０のＹ軸方向に沿った回転軸上に位置する箇所）が節となるように、Ｘ軸方向に沿って変形振動し始める。加えて、ベース１１０は、ミラー１３０のＹ軸方向に沿った回転軸に対応する箇所（つまり、ミラー１３０のＹ軸方向に沿った回転軸上に位置する箇所）が節となるように、Ｘ軸方向に沿って変形振動し始める。言い換えれば、ベース１１０は、コイル１４０のＹ軸方向に沿った回転軸に対応する箇所とミラー１３０のＹ軸方向に沿った回転軸に対応する箇所との間に腹が存在するように、Ｘ軸方向に沿って変形振動し始める。つまり、ベース１１０の変形振動によって、Ｘ軸方向に沿って腹及び節が現れる。尚、ベース１１０の変形振動は、いわゆる定常波の波形に従って行われるため、その腹及び節の位置は実質的には固定されている。このとき、ベース１１０の変形振動の周波数は、典型的には、上述したミラー１３０の共振周波数と同一になる。

　このようなベース１１０の変形振動を実現するために、ベース１１０の剛性が調整されてもよい。例えば、ベース１１０のうち節となる箇所の剛性が相対的に高くなると共に、ベース１１０のうち腹となる箇所の剛性が相対的に低くなっていてもよい。より具体的には、例えば、ベース１１０のうち節となる箇所にリブが形成されると共にベース１１０のうち腹となる箇所にリブが形成されなくともよい。この場合、リブが形成されているベース１１０の箇所は、剛性が相対的に高いため、コイル１４０の回転に伴って屈曲しにくい一方で、リブが形成されていないベース１１０の箇所は、剛性が相対的に低いため、コイル１４０の回転に伴って屈曲しやすい。その結果、ベース１１０は、リブが形成されている箇所を節とし且つリブが形成されていない箇所を腹にして、Ｘ軸の方向に沿って波打つように変形振動する。

　その結果、図４（ａ）から図４（ｇ）に時系列的に示すように、コイル１４０の回転に伴って、ベース１１０は、定常波の如き外観を有するように変形振動する。つまり、ベース１１０は、ミラー１３０の回転軸に直交する方向（つまり、Ｘ軸方向）に沿って定常波が現れるような外観を有する。その結果、図４（ａ）から図４（ｇ）に時系列的に示すように、ベース１１０の変形振動に合わせて、ミラー１３０は、Ｙ軸方向に沿った軸を回転軸として回転する。

　尚、図４（ａ）から図４（ｇ）に示すように、典型的には、コイル１４０の回転方向とミラー１３０の回転方向とは、互いに逆向きとなる。具体的には、図４（ａ）から図４（ｃ）に示すように、コイル１４０が反時計回りに回転している状態では、ミラー１３０が時計回りに回転する。同様に、図４（ｃ）から図４（ｇ）に示すように、コイル１４０が時計回りに回転している状態では、ミラー１３０が反時計回りに回転する。尚、図４（ｇ）に示す状態のコイル１４０、ベース１１０及びミラー１３０は、その後、図４（ｆ）に示す状態を経てから図４（ａ）に示す状態に遷移する。以降、コイル１４０、ベース１１０及びミラー１３０は、図４（ａ）から図４（ｇ）に示す時系列に従って変形振動ないしは回転する。但し、図４（ａ）から図４（ｇ）に示すベース１１０の変形モードは、あくまで一例であって、ベース１１０は、他の変形モード（例えば、更に多くの節を有する変形モード）で変形振動してもよい。

　また、図４（ａ）から図４（ｇ）は、コイル１４０の回転方向とミラー１３０の回転方向とが互いに逆向きとなる例を示している。この例は、厳密に言えば、コイル１４０の回転方向とミラー１３０を支持している部分におけるベース１１０の回転方向とが互いに逆向きとなる例とも表現できる。

　但し、ベース１１０がより高次の振動モード（例えば、図４（ａ）から図４（ｇ）に示す状態と比較して、節や腹の数が増加する振動モード）で変形振動する場合には、ミラー１３０の回転方向とミラー１３０を支持している部分におけるベース１１０の回転方向とが逆になってもよい。つまり、コイル１４０の回転方向とミラー１３０の回転方向とが互いに同じ向きとなってもよい。

　以上説明したように、第１実施例のＭＥＭＳスキャナ１０１は、Ｙ軸方向に沿った軸を回転軸としてミラー１３０を回転させることができる。つまり、第１実施例のＭＥＭＳスキャナ１０１は、ミラー１３０の１軸駆動を行うことができる。

　加えて、第１実施例のＭＥＭＳスキャナ１０１では、ミラー１３０は、コイル１４０の巻き線の外側に位置することになる。従って、コイル１４０は、ミラー１３０を取り囲むように配置されなくともよい。その結果、第１実施例では、コイル１４０がミラー１３０を取り囲むように配置される比較例のＭＥＭＳスキャナと比較して、コイル１４０のサイズ（例えば、巻き線の径や巻き線の長さ等）を相対的に小さくすることができる。言い換えれば、第１実施例では、ミラー１３０の大きさに関係なく、コイル１４０のサイズを相対的に小さくすることができる。その結果、当該コイル１４０に対して磁界を付与するための磁石１５１及び１５２のサイズもまた、相対的に小さくすることができる。このため、第１実施例では、コイル１４０がミラー１３０を取り囲むように配置される比較例のＭＥＭＳスキャナと比較して、ミラー１３０の大きさに関係なく、コイル１４０と磁石１５１及び１５２との間の磁気ギャップを相対的に小さくすることができる。従って、第１実施例では、コイル１４０がミラー１３０を取り囲むように配置される比較例のＭＥＭＳスキャナと比較して、ＭＥＭＳスキャナ１０１の小型化が好適に実現される。

　加えて、第１実施例では、ミラー１３０を取り囲むようにコイル１４０が配置されなくともよくなる。このため、ミラー１３０を取り囲むようにコイル１４０が配置される比較例のＭＥＭＳスキャナと比較して、磁石１５１及び１５２の配置の自由度が相対的に高くなる。このため、コイル１４０の中心上方（具体的には、コイル１４０の巻き線の内側の上方）に磁石１５１及び１５２を配置することができる。特に、コイル１４０の中心上方に磁石１５１及び１５２を配置したとしても、当該磁石１５１及び１５２がミラー１３０の上方の光路を遮ることはない。従って、ＭＥＭＳスキャナ１０１としての好適な動作を維持しつつ、磁石１５１及び１５２の配置の自由度が相対的に高くなる。

　加えて、第１実施例では、ベース１１０の変形振動における節に対応する箇所に、ミラー１３０につながるトーションバー１２０ａ及び１２０ｂが接続されている。つまり、ベース１１０の変形振動における節に対応する箇所が、ミラー１３０のＹ軸方向に沿った回転軸と一致する。また、ベース１１０の変形振動における節に対応する箇所に、コイル１４０が配置されている。つまり、ベース１１０の変形振動における節に対応する箇所が、コイル１４０のＹ軸方向に沿った回転軸と一致する。このため、第１実施例では、ミラー１３０及びコイル１４０の上下方向（具体的には、Ｘ軸方向及びＹ軸方向の夫々に直交する方向であって、ベース１１０の表面に対して垂直なＺ軸方向）の移動を防ぐことができる。従って、ミラー１３０の高精度な回転駆動を実現することができる。

　尚、コイル１４０に発生するローレンツ力は、例えば、特許第４８２７９９３号公報に開示されているように、「微振動（つまり、方向性のない力であって、トーションバー１２０ａ及び１２０ｂを、ミラー１３０の回転方向に向かってねじれさせるように直接的に作用しない力）」として、ベース１１０に伝搬されてもよい。この場合には、ローレンツ力が微振動としてベース１１０に伝搬されることで、ベース１１０が変形振動する。つまり、微振動としてのローレンツ力は、ベース１１０の変形振動という形で発現する。或いは、コイル１４０に発生するローレンツ力は、例えば、独立行政法人産業総合研究所のホームページ（http://www.aist.go.jp/aist_j/press_release/pr2010/pr20100209/pr20100209.html）に開示されているように、「ラム波」として、ベース１１０に伝搬されてもよい。この場合には、ローレンツ力がラム波としてベース１１０に伝搬されることで、ベース１１０が変形振動する。以下の第２実施例から第６実施例においても同様である。

　（２）第２実施例
　続いて、図５から図８を参照して、ＭＥＭＳスキャナの第２実施例について説明する。尚、上述の第１実施例のＭＥＭＳスキャナ１０１と同一の構成については、同一の参照符号を付することでその詳細な説明を省略する。

　（２－１）ＭＥＭＳスキャナの構成
　初めに、図５を参照して、第２実施例に係るＭＥＭＳスキャナ１０２の構成について説明する。ここに、図５は、第２実施例に係るＭＥＭＳスキャナ１０２の構成を概念的に示す平面図である。

　図５に示すように、第２実施例に係るＭＥＭＳスキャナ１０１は、第１ベース１１０－１と、第１トーションバー１２０ａ－１と、第１トーションバー１２０ｂ－１と、第２ベース１１０－２と、第２トーションバー１２０ａ－２と、第２トーションバー１２０ｂ－２と、ミラー１３０と、コイル１４０と、磁石１５１及び１５２と、磁石１６１及び１６２とを備えている。

　第１ベース１１０－１は、内部に空隙を備える枠形状を有している。つまり、第１ベース１１０－１は、図５中のＹ軸方向に延伸する２つの辺と図５中のＸ軸方向（つまり、Ｙ軸方向に直交する方向）に延伸する２つの辺とを有すると共に、Ｙ軸方向に延伸する２つの辺とＸ軸方向に延伸する２つの辺とによって取り囲まれた空隙を有する枠形状を有している。図５に示す例では、第１ベース１１０－１は、正方形の形状を有しているが、これに限定されることはなく、例えばその他の形状（例えば、長方形等の矩形の形状や円形の形状等）を有していてもよい。また、第１ベース１１０－１は、第２実施例に係るＭＥＭＳスキャナ１０２の基礎となる構造体であって、不図示の基板ないしは支持部材に対して固定されている（言い換えれば、ＭＥＭＳスキャナ１０２という系の内部においては固定されている）ことが好ましい。或いは、第１ベース１１０－１は、不図示のサスペンション等によって吊り下げられていてもよい。

　尚、図５では、第１ベース１１０－１が枠形状を有している例を示しているが、その他の形状を有していてもよいことは言うまでもない。例えば、第１ベース１１０－１は、その一部の辺が開口となるコの字型形状を有していてもよい。或いは、例えば、第１ベース１１０－１は、内部に空隙を備える箱型形状を有していてもよい。つまり、第１ベース１１０－１は、Ｘ軸及びＹ軸によって規定される平面上に分布する２つの面と、Ｘ軸及び不図示のＺ軸（つまり、Ｘ軸及びＹ軸の双方に直交する軸）によって規定される平面上に分布する２つの面と、Ｙ軸及び不図示のＺ軸によって規定される平面上に分布する２つの面とを有すると共に、これらの６つの面によって取り囲まれた空隙を有する箱形状を有していてもよい。或いは、ミラー１３０が配置される態様に応じて適宜第１ベース１１０－１の形状を任意に代えてもよい。

　第１トーションバー１２０ａ－１及び１２０ｂ－１の夫々は、例えばシリコン、銅合金、鉄系合金、その他金属、樹脂等を材料とするバネ等のような弾性を有する部材である。第１トーションバー１２０ａ－１及び１２０ｂ－１の夫々は、図５中Ｘ軸方向に延伸するように配置される。言い換えれば、第１トーションバー１２０ａ－１及び１２０ｂ－１の夫々は、Ｘ軸方向に延伸する長手を有すると共にＹ軸方向に延伸する短手を有する形状を有している。但し、後述する共振周波数の設定状況に応じて、第１トーションバー１２０ａ－１及び１２０ｂ－１の夫々は、Ｘ軸方向に延伸する短手を有すると共にＹ軸方向に延伸する長手を有する形状を有していてもよい。第１トーションバー１２０ａ－１及び１２０ｂ－１の夫々の一方の端部は、第１ベース１１０－１に接続される。第１トーションバー１２０ａ－１及び１２０ｂ－１の夫々の他方の端部は、第２ベース１１０－２に接続される。つまり、第１トーションバー１２０ａ－１及び１２０ｂ－１は、間に第２ベース１１０－２を挟み込むように第２ベース１１０－２を吊り下げている。

　第２ベース１１０－２は、内部に空隙を備える枠形状を有している。つまり、第２ベース１１０－２は、図５中のＹ軸方向に延伸する２つの辺と図５中のＸ軸方向に延伸する２つの辺とを有すると共に、Ｙ軸方向に延伸する２つの辺とＸ軸方向に延伸する２つの辺とによって取り囲まれた空隙を有する枠形状を有している。図５に示す例では、第２ベース１１０－２は、正方形の形状を有しているが、これに限定されることはなく、例えばその他の形状（例えば、長方形等の矩形の形状や円形の形状等）を有していてもよい。

　また、第２ベース１１０－２は、第１ベース１１０－１の内部の空隙に、第１トーションバー１２０ａ－１及び１２０ｂ－１によって吊り下げられる又は支持されるように配置される。第２ベース１１０－２は、第１トーションバー１２０ａ－１及び１２０ｂ－１の弾性によって、Ｘ軸方向に沿った軸を回転軸として回転するように構成されている。

　尚、図５では、第２ベース１１０－２が枠形状を有している例を示しているが、その他の形状を有していてもよいことは言うまでもない。例えば、第２ベース１１０－２は、その一部の辺が開口となるコの字型形状を有していてもよい。或いは、例えば、第２ベース１１０－２は、内部に空隙を備える箱型形状を有していてもよい。つまり、第２ベース１１０－２は、Ｘ軸及びＹ軸によって規定される平面上に分布する２つの面と、Ｘ軸及び不図示のＺ軸（つまり、Ｘ軸及びＹ軸の双方に直交する軸）によって規定される平面上に分布する２つの面と、Ｙ軸及び不図示のＺ軸によって規定される平面上に分布する２つの面とを有すると共に、これらの６つの面によって取り囲まれた空隙を有する箱形状を有していてもよい。或いは、ミラー１３０が配置される態様に応じて適宜第２ベース１１０－２の形状を任意に代えてもよい。

　第２トーションバー１２０ａ－２及び１２０ｂ－２の夫々は、例えばシリコン、銅合金、鉄系合金、その他金属、樹脂等を材料とするバネ等のような弾性を有する部材である。第２トーションバー１２０ａ－２及び１２０ｂ－２の夫々は、図５中Ｙ軸方向に延伸するように配置される。言い換えれば、第２トーションバー１２０ａ－２及び１２０ｂ－２の夫々は、Ｙ軸方向に延伸する長手を有すると共にＸ軸方向に延伸する短手を有する形状を有している。但し、後述する共振周波数の設定状況に応じて、第２トーションバー１２０ａ－２及び１２０ｂ－２の夫々は、Ｙ軸方向に延伸する短手を有すると共にＸ軸方向に延伸する長手を有する形状を有していてもよい。第２トーションバー１２０ａ－２及び１２０ｂ－２の夫々の一方の端部は、第２ベース１１０－２に接続される。第２トーションバー１２０ａ－２及び１２０ｂ－２の夫々の他方の端部は、ミラー１３０に接続される。つまり、第２トーションバー１２０ａ－２及び１２０ｂ－２は、間にミラー１３０を挟み込むようにミラー１３０を吊り下げている。

　ミラー１３０は、第２ベース１１０－２の内部の空隙に、第２トーションバー１２０ａ－２及び１２０ｂ－２によって吊り下げられる又は支持されるように配置される。ミラー１３０は、第２トーションバー１２０ａ－２及び１２０ｂ－２の弾性によって、Ｙ軸方向に沿った軸を回転軸として回転するように構成されている。

　コイル１４０は、例えば相対的に導電率の高い材料（例えば、金や銅等）から構成される複数の巻き線である。第２実施例では、コイル１４０は、矩形の形状を有している。特に、コイル１４０の４つの辺の夫々の長さが略同一である。つまり、第２実施例では、コイル１４０は、正方形状の形状を有している。但し、コイル１４０は、任意の形状（例えば、長方形やひし形や平行四辺形や円形や楕円形やその他の任意のループ形状）を有していてもよい。

　コイル１４０は、第２ベース１１０－２上に配置されている。特に、コイル１４０は、ミラー１３０が配置される位置（特に、ミラー１３０の中心ないしは重心が配置される位置）を基準として、Ｘ軸方向（つまり、ミラー１３０の回転軸の方向に直交する方向）に沿って所定距離だけシフトした位置にコイル１４０が位置する（特に、コイル１４０の中心又は重心が位置する）ように、第２ベース１１０－２上に配置されている。但し、コイル１４０は、ミラー１３０が配置される位置を基準として、Ｙ軸方向（つまり、ミラー１３０の回転軸の方向）に沿って所定距離だけシフトした位置にコイル１４０が位置するように、第２ベース１１０－２上に配置されていてもよい。加えて、コイル１４０は、ミラー１３０とコイル１４０とがＸ軸方向に沿って並ぶように、第２ベース１１０－２上に配置されている。その結果、ミラー１３０は、コイル１４０を構成する巻き線の外側に位置することになる。言い換えれば、ミラー１３０は、コイル１４０を構成する巻き線の内側に位置することはない。

　コイル１４０には、第２ベース１１０－２上に形成されている電源端子１４１を介して、電源から、ミラー１３０及び第２ベース１１０－２を回転させるための制御電流が供給される。制御電流は、典型的には、Ｙ軸方向に沿った軸を回転軸としてミラー１３０が回転する周波数と同一の又は同期した周波数の信号成分及びＸ軸方向に沿った軸を回転軸として第２ベース１１０－２が回転する周波数と同一の又は同期した周波数の信号成分の双方を含む交流電流である。尚、電源は、ＭＥＭＳスキャナ１０２自身が備えている電源であってもよいし、ＭＥＭＳスキャナ１０２の外部に用意される電源であってもよい。尚、以下の説明では、説明の便宜上、制御電流のうちＹ軸方向に沿った軸を回転軸としてミラー１３０を回転させるための電流成分を、“Ｙ軸駆動用制御電流”と称する。同様に、制御電流のうちＸ軸方向に沿った軸を回転軸として第２ベース１１０－２を回転させるための電流成分を、“Ｘ軸駆動用制御電流”と称する。

　磁石１５１及び１５２は、磁石１５１と磁石１５２とがＸ軸方向に沿って配列するように配置される。特に、磁石１５１及び１５２は、磁石１５１と磁石１５２とがＸ軸方向に沿ってコイル１４０を挟み込むように配置される。加えて、磁石１５１及び１５２のいずれか一方が磁束の出射側になると共に、磁石１５１及び１５２のいずれか他方が磁束の入射側になる。尚、以下では、磁石１５１が磁束の入射側になり且つ磁石１５２が磁束の出射側になる例を用いて説明を進める。

　尚、磁石１５１及び磁石１５２から付与される磁界は、主としてＹ軸方向に沿った軸を回転軸としてミラー１３０を回転させるために用いられる。このため、以下の説明では、説明の便宜上、磁石１５１及び１５２から付与される磁界（つまり、Ｙ軸方向に沿った軸を回転軸としてミラー１３０を回転させるための磁界）を、“Ｙ軸駆動用磁界”と称する。

　磁石１６１及び１６２は、磁石１６１と磁石１６２とがＹ軸方向に沿って配列するように配置される。特に、磁石１６１及び１６２は、磁石１６１と磁石１６２とがＹ軸方向に沿ってコイル１４０を挟み込むように配置される。加えて、磁石１６１及び１６２のいずれか一方が磁束の出射側になると共に、磁石１６１及び１６２のいずれか他方が磁束の入射側になる。尚、以下では、磁石１６１が磁束の出射側になり且つ磁石１６２が磁束の入射側になる例を用いて説明を進める。

　尚、磁石１６１及び磁石１６２から付与される磁界は、主としてＸ軸方向に沿った軸を回転軸として第２ベース１１０－２を回転させるために用いられる。このため、以下の説明では、説明の便宜上、磁石１６１及び１６２から付与される磁界（つまり、Ｘ軸方向に沿った軸を回転軸として第２ベース１１０－２を回転させるための磁界）を、“Ｘ軸駆動用磁界”と称する。

　（２－２）ＭＥＭＳスキャナの動作
　続いて、図６から図８を参照して、第２実施例に係るＭＥＭＳスキャナ１０２の動作の態様（具体的には、ミラー１３０を回転させる動作の態様）について説明する。ここに、図６は、第２実施例に係るＭＥＭＳスキャナ１０２による動作の態様を概念的に示す平面図及び断面図である。図７は、第２実施例に係るＭＥＭＳスキャナ１０２による動作の態様を概念的に示す平面図及び断面図である。図８は、第２実施例に係るＭＥＭＳスキャナ１０２による動作の態様を概念的に示す断面図である。

　第２実施例に係るＭＥＭＳスキャナ１０２の動作時には、まず、コイル１４０に制御電流が供給される。制御電流は、Ｘ軸方向に沿った軸を回転軸として第２ベース１１０－２を回転させるための電流成分（つまり、Ｘ軸駆動用制御電流）を含んでいる。第２実施例では、第２ベース１１０－２は、任意の周波数（例えば、６０Ｈｚ）で、Ｘ軸方向に沿った軸を回転軸として回転する。従って、Ｘ軸駆動用制御電流は、Ｘ軸方向に沿った軸を回転軸とする第２ベース１１０－２の回転の周波数と同一の又は同期した周波数の信号成分を含む交流電流である。但し、第２ベース１１０－２は、第２ベース１１０－２を含む被懸架部（つまり、第２ベース部１１０－２、第２トーションバー１２０ａ―２及び１２０ｂ－２並びにミラー１３０を含む被懸架部）と第１トーションバー１２０ａ－１及び１２０ｂ－１によって定まる共振周波数（より具体的には、第２ベース１１０－２を含む被懸架部の慣性モーメントと第１トーションバー１２０ａ－１及び１２０ｂ－１のねじりバネ定数によって定まる共振周波数）で、Ｘ軸方向に沿った軸を回転軸として回転してもよい。

　一方で、コイル１４０には、磁石１６１及び１６２からＸ軸駆動用磁界が付与されている。尚、磁石１６１及び１６２は、Ｙ軸方向に沿って対向するコイル１４０の２つの辺に対して、Ｘ軸駆動用磁界を付与することが好ましい。この場合、磁石１６１及び１６２は、Ｘ軸方向に沿って対向するコイル１４０の２つの辺に対しては、Ｘ軸駆動用磁界を付与しなくともよい。或いは、磁石１６１及び１６２は、Ｘ軸方向に沿って対向するコイル１４０の２つの辺に対して、Ｘ軸駆動用磁界を付与してもよい。或いは、磁石１６１及び１６２は、Ｘ軸方向に沿って対向するコイル１４０の２つの辺に対して、Ｘ軸駆動用磁界の漏れ磁束を付与してもよい。

　従って、コイル１４０には、コイル１４０に供給されているＸ軸駆動用制御電流とコイル１４０に付与されているＸ軸駆動用磁界との間の電磁相互作用に起因したローレンツ力が発生することになる。

　ここで、図６（ａ）に示すように、図６（ａ）中の時計周りの方向に流れるＸ軸駆動用制御電流がコイル１４０に供給されており、磁石１６１から磁石１６２に向かうＸ軸駆動用磁界がコイル１４０に付与されている状況について説明する。この場合、図６（ａ）に示すＭＥＭＳスキャナ１０２を矢印ＶＩの方向から観察した図面である図６（ｂ）に示すように、Ｙ軸方向に沿って対向するコイル１４０の２つの辺のうちの右側（つまり、図６（ａ）では上側）の辺には、図６（ｂ）における上側の方向に向かうローレンツ力が発生する。同様に、図６（ｂ）に示すように、Ｙ軸方向に沿って対向するコイル１４０の２つの辺のうちの左側（つまり、図６（ａ）では下側）の辺には、図６（ｂ）における下側の方向に向かうローレンツ力が発生する。つまり、Ｙ軸方向に沿って対向するコイル１４０の２つの辺には、相互に異なる方向のローレンツ力が発生する。言い換えれば、Ｙ軸方向に沿って対向するコイル１４０の２つの辺には、偶力となるローレンツ力が発生する。従って、コイル１４０は、図６（ｂ）における反時計周りの方向に向かって回転する。

　一方で、Ｘ軸駆動用制御電流が交流電流であるため、図７（ａ）に示すように、図７（ａ）中の反時計周りの方向に流れるＸ軸駆動用制御電流がコイル１４０に供給されており、磁石１６１から磁石１６２に向かうＸ軸駆動用磁界がコイル１４０に付与される状況が、図６（ａ）に示す状況に続けて生ずる。この場合、図７（ａ）に示すＭＥＭＳスキャナ１０１を矢印ＶＩＩの方向から観察した図面である図７（ｂ）に示すように、Ｙ軸方向に沿って対向するコイル１４０の２つの辺のうちの右側（つまり、図７（ａ）では上側）の辺には、図７（ｂ）における下側の方向に向かうローレンツ力が発生する。同様に、図７（ｂ）に示すように、Ｙ軸方向に沿って対向するコイル１４０の２つの辺のうちの左側（つまり、図６（ａ）では下側）の長辺には、図７（ｂ）における上側の方向に向かうローレンツ力が発生する。つまり、Ｙ軸方向に沿って対向するコイル１４０の２つの辺には、相互に異なる方向のローレンツ力が発生する。言い換えれば、Ｙ軸方向に沿って対向するコイル１４０の２つの辺には、偶力となるローレンツ力が発生する。従って、コイル１４０は、図７（ｂ）における時計周りの方向に向かって回転する。

　このようなローレンツ力によって、コイル１４０は、Ｘ軸方向に沿った軸を回転軸として回転する（より具体的には、回転するように往復駆動する）。このとき、コイル１４０のＸ軸方向に沿った回転軸は、第２ベース１１０－２のＸ軸方向に沿った回転軸と重なっている。従って、Ｘ軸方向に沿った軸を回転軸とするコイル１４０の回転に伴って、第２ベース１１０－２もまた、Ｘ軸方向に沿った軸を回転軸として回転する。

　加えて、第２ベース１１０－２は、第２トーションバー１２０ａ－２及び１２０ｂ－２を介してミラー１３０を支持している。このため、Ｘ軸方向に沿った軸を回転軸とする第２ベース１１０－２の回転に伴って、ミラー１３０もまたＸ軸方向に沿った軸を回転軸として回転することになる。

　ここで、Ｘ軸方向に沿った軸を回転軸とするコイル１４０の回転とＸ軸方向に沿った軸を回転軸とする第２ベース１１０－２の回転とＸ軸方向に沿った軸を回転軸とするミラー１３０の回転の関係について、図８を参照しながらより詳細に説明する。

　図８（ａ）に示すように、Ｘ軸方向に沿った軸を回転軸としてコイル１４０が回転していない状態では、第２ベース１１０－２もまた、Ｘ軸方向に沿った軸を回転軸として回転していない。このため、ミラー１３０もまた、Ｘ軸方向に沿った軸を回転軸として回転していない。

　その後、図８（ｂ）に示すように、Ｘ軸方向に沿った軸を回転軸としてコイル１４０が図８（ｂ）における反時計回りの方向に沿って回転し始めると、第２ベース１１０－２もまた、Ｘ軸方向に沿った軸を回転軸として図８（ｂ）における反時計回りの方向に沿って回転し始める。その結果、図８（ａ）から図８（ｇ）に時系列的に示すように、Ｘ軸方向に沿った軸を回転軸とするコイル１４０の回転に伴って、第２ベース１１０－２もまた、Ｘ軸方向に沿った軸を回転軸として回転する。このため、図８（ａ）から図８（ｇ）に時系列的に示すように、Ｘ軸方向に沿った軸を回転軸とする第２ベース１１０－２の回転に伴って、ミラー１３０もまた、Ｘ軸方向に沿った軸を回転軸として回転する。尚、図８（ｇ）に示す状態のコイル１４０、第２ベース１１０－２及びミラー１３０は、その後、図８（ｆ）に示す状態を経てから図８（ａ）に示す状態に遷移する。以降、コイル１４０、第２ベース１１０－２及びミラー１３０は、図８（ａ）から図８（ｇ）に示す時系列に従って回転する。

　他方で、制御電流は、Ｙ軸方向に沿った軸を回転軸としてミラー１３０を回転させるための電流成分（つまり、Ｙ軸駆動用制御電流）を含んでいる。第２実施例では、ミラー１３０は、ミラー１３０と第２トーションバー１２０ａ－２及び１２０ｂ－２とによって定まる共振周波数（より具体的には、ミラー１３０の慣性モーメントと第２トーションバー１２０ａ－２及び１２０ｂ－２のねじりバネ定数によって定まる共振周波数）で共振するように、Ｙ軸方向に沿った軸を回転軸として回転する。従って、Ｙ軸駆動用制御電流は、ミラー１３０の共振周波数と同一の又は同期した周波数の信号成分を含む交流電流である。但し、ミラー１３０は、ミラー１３０と第２トーションバー１２０ａ－２及び１２０ｂ－２とによって定まる共振周波数とは異なる又は同期しない周波数で、Ｙ軸方向に沿った軸を回転軸として回転してもよい。この場合には、Ｙ軸駆動用制御電流は、Ｙ軸方向に沿った軸を回転軸としてミラー１３０が回転する周波数と同一の又は同期した周波数の信号成分を含む交流電流である。

　一方で、コイル１４０には、磁石１５１及び１５２からＹ軸駆動用磁界が付与されている。尚、磁石１５１及び１５２は、Ｘ軸方向に沿って対向するコイル１４０の２つの辺に対して、Ｙ軸駆動用磁界を付与することが好ましい。この場合、磁石１５１及び１５２は、Ｙ軸方向に沿って対向するコイル１４０の２つの辺に対しては、Ｙ軸駆動用磁界を付与しなくともよい。或いは、磁石１５１及び１５２は、Ｙ軸方向に沿って対向するコイル１４０の２つの辺に対して、Ｙ軸駆動用磁界を付与してもよい。或いは、磁石１５１及び１５２は、Ｙ軸方向に沿って対向するコイル１４０の２つの辺に対して、Ｙ軸駆動用磁界の漏れ磁束のみを付与してもよい。

　従って、コイル１４０には、コイル１４０に供給されているＹ軸駆動用制御電流とコイル１４０に付与されているＹ軸駆動用磁界との間の電磁相互作用に起因したローレンツ力が発生することになる。

　この場合には、第１実施例と同様に（つまり、図２及び図３と同様に）、コイル１４０は、Ｙ軸方向に沿った軸を回転軸として回転する（より具体的には、回転するように往復駆動する）。このとき、Ｙ軸方向に沿ったコイル１４０の回転軸は、Ｙ軸方向に沿ったミラー１３０の回転軸とは異なっている。具体的には、Ｙ軸方向に沿ったコイル１４０の回転軸は、Ｙ軸方向に沿ったミラー１３０の回転軸を基準として、Ｘ軸方向に所定距離シフトした位置に存在する。このため、Ｙ軸方向に沿った軸を回転軸とするコイル１４０の回転は、Ｙ軸方向に沿った軸を回転軸としてミラー１３０を直接的に回転させることはない。

　一方で、Ｘ軸方向に沿った軸を回転軸とするコイル１４０の回転に伴って、コイル１４０から第２ベース１１０－２に対して微振動が伝搬する。その結果、コイル１４０が配置されている第２ベース１１０－２は、Ｘ軸方向に沿って定常波状に（つまり、定常波の波形状に）変形振動する。言い換えれば、第２ベース１１０－２は、Ｘ軸方向に沿って波打つように変形振動する。つまり、第２ベース１１０－２は、そのある一部分が変形振動の腹となり且つその他の一部分が変形振動の節となるように、その外観を変形させる。

　このような第２ベース１１０－２の変形振動に起因して、ミラー１３０は、Ｙ軸方向に沿った軸を回転軸として回転する。このとき、ミラー１３０は、ミラー１３０並びに第２トーションバー１２０ａ－２及び１２０ｂ－２に応じて定まる共振周波数（例えば、２０ｋＨｚ）で共振するように回転する。例えば、ミラー１３０のＹ軸方向に沿った軸回り慣性モーメントがＩ（Ｙ）であり且つ第２トーションバー１２０ａ－２及び１２０ｂ－２を１本のバネとみなした場合のねじりバネ定数がｋ（Ｙ）であるとすれば、ミラー１３０は、（１／（２π））×√（ｋ（Ｙ）／Ｉ（Ｙ））にて特定される共振周波数（或いは、（１／（２π））×√（ｋ（Ｙ）／Ｉ（Ｙ））のＮ倍若しくはＮ分の１倍（但し、Ｎは１以上の整数）の共振周波数）で共振するように、Ｙ軸方向に沿った軸を回転軸として回転する。

　尚、Ｙ軸方向に沿った軸を回転軸とするコイル１４０の回転とＸ軸方向に沿った第２ベース１１０－２の変形振動とＹ軸方向に沿った軸を回転軸とするミラー１３０の回転の関係は、第１実施例におけるＹ軸方向に沿った軸を回転軸とするコイル１４０の回転とＸ軸方向に沿ったベース１１０の変形振動とＹ軸方向に沿った軸を回転軸とするミラー１３０の回転の関係（図４参照）と同様である。

　以上説明したように、第２実施例のＭＥＭＳスキャナ１０２は、Ｙ軸方向に沿った軸を回転軸としてミラー１３０を回転させることができる。加えて、第２実施例のＭＥＭＳスキャナ１０２は、Ｘ軸方向に沿った軸を回転軸として第２ベース１１０－２を回転させることができる。このとき、第２トーションバー１２０ａ－２及び１２０ｂ－２を介してミラー１３０が第２ベース１１０－２に支持されていることを考慮すれば、Ｘ軸方向に沿った軸を回転軸とする第２ベース１１０－２の回転に伴って、ミラー１３０もまた、Ｘ軸方向に沿った軸を回転軸として回転することになる。従って、第２実施例のＭＥＭＳスキャナ１０２は、Ｘ軸方向に沿った軸を回転軸としてミラー１３０を回転させることができる。つまり、第２実施例のＭＥＭＳスキャナ１０２は、ミラー１３０の２軸駆動を行うことができる。

　加えて、第２実施例のＭＥＭＳスキャナ１０２では、ミラー１３０は、コイル１４０の巻き線の外側に位置することになる。従って、コイル１４０は、ミラー１３０を取り囲むように配置されなくともよい。その結果、第２実施例では、コイル１４０がミラー１３０を取り囲むように配置される比較例のＭＥＭＳスキャナと比較して、コイル１４０のサイズ（例えば、巻き線の径や巻き線の長さ等）を相対的に小さくすることができる。言い換えれば、第２実施例では、ミラー１３０の大きさに関係なく、コイル１４０のサイズを相対的に小さくすることができる。その結果、当該コイル１４０に対して磁界を付与するための磁石１５１及び１５２並びに磁石１６１及び１６２のサイズもまた、相対的に小さくすることができる。このため、第２実施例では、コイル１４０がミラー１３０を取り囲むように配置される比較例のＭＥＭＳスキャナと比較して、ミラー１３０の大きさに関係なく、コイル１４０と磁石１５１及び１５２並びに磁石１６１及び１６２との間の磁気ギャップを相対的に小さくすることができる。従って、第２実施例では、コイル１４０がミラー１３０を取り囲むように配置される比較例のＭＥＭＳスキャナと比較して、ＭＥＭＳスキャナ１０２の小型化が好適に実現される。

　加えて、第２実施例では、第２ベース１１０－２の変形振動における節に対応する箇所に、ミラー１３０につながる第２トーションバー１２０ａ－２及び１２０ｂ－２が接続されている。つまり、第２ベース１１０－２の変形振動における節に対応する箇所が、ミラー１３０のＹ軸方向に沿った回転軸と一致する。また、第２ベース１１０－２の変形振動における節に対応する箇所に、コイル１４０が配置されている。つまり、第２ベース１１０－２の変形振動における節に対応する箇所が、コイル１４０のＹ軸方向に沿った回転軸と一致する。このため、第２実施例では、ミラー１３０及びコイル１４０の上下方向（具体的には、Ｘ軸方向及びＹ軸方向の夫々に直交する方向であって、第１ベース１１０－１又は第２ベース１１０－２の表面に対して垂直なＺ軸方向）の移動ないしは振動が防止される。従って、ミラー１３０の高精度な回転を実現することができる。

　（３）第３実施例
　続いて、図９及び図１０を参照して、ＭＥＭＳスキャナの第３実施例について説明する。尚、上述の第２実施例のＭＥＭＳスキャナ１０２と同一の構成については、同一の参照符号を付することでその詳細な説明を省略する。

　（３－１）ＭＥＭＳスキャナの構成
　初めに、図９を参照して、第３実施例に係るＭＥＭＳスキャナ１０３の構成について説明する。ここに、図９は、第３実施例に係るＭＥＭＳスキャナ１０３の構成を概念的に示す平面図である。

　図９に示すように、第３実施例のＭＥＭＳスキャナ１０３は、第２実施例のＭＥＭＳスキャナ１０２と比較して、磁石１６１及び磁石１６２の配置位置が変更されていると共に磁石１５１及び磁石１５２を備えていないという点で異なっている。第３実施例のＭＥＭＳスキャナ１０３のその他の構成要素は、第２実施例のＭＥＭＳスキャナ１０２のその他の構成要素と同一であってもよい。

　第３実施例では、磁石１６１及び１６２は、第２実施例と同様に、磁石１６１と磁石１６２とがＹ軸方向に沿ってコイル１４０を挟み込むように配置される。一方で、第３実施例では、磁石１６１及び１６２は、磁石１６１（例えば、磁石１６１の中心）と磁石１６２（例えば、磁石１６２の中心）とが、Ｘ軸方向に沿ってずれる（言い換えれば、オフセットされる）ように配置される。但し、磁石１６１と磁石１６２とがＸ軸方向に沿ってコイル１４０を挟み込むと共に磁石１６１が配置される位置と磁石１６２が配置される位置とがＹ軸方向に沿ってオフセットされていてもよい。

　磁石１６１及び１６２は、磁石１６１と磁石１６２とがコイル１４０に対して点対称となる位置に配置されることが好ましい。言い換えれば、磁石１６１及び１６２は、磁石１６１と磁石１６２とがコイル１４０を構成する巻き線の中心に対して点対称となる位置に配置されることが好ましい。

　（３－２）ＭＥＭＳスキャナの動作
　続いて、図１０を参照して、第３実施例に係るＭＥＭＳスキャナ１０３の動作の態様（具体的には、ミラー１３０を回転させる動作の態様）について説明する。ここに、図１０は、第３実施例に係るＭＥＭＳスキャナ１０３による動作の態様を概念的に示す平面図である。

　第３実施例に係るＭＥＭＳスキャナ１０３の動作時には、第２実施例に係るＭＥＭＳスキャナ１０２の動作時と同様に、コイル１４０に制御電流（つまり、Ｘ軸駆動用制御電流及びＹ軸駆動用制御電流が重畳された制御電流）が供給される。

　一方で、コイル１４０には、磁石１６１及び１６２から磁界が付与されている。尚、第３実施例では、磁石１６１及び１６２から付与される磁界は、Ｙ軸方向に沿った軸を回転軸としてミラー１３０を回転させるために用いられるのみならず、Ｘ軸方向に沿った軸を回転軸として第２ベース１１０－２を回転させるためにも用いられる。

　このとき、図１０に示すように、磁石１６１が配置される位置と磁石１６２が配置される位置とがＸ軸方向に沿ってオフセットされているがゆえ、磁石１６１及び１６２は、Ｙ軸方向に沿って対向するコイル１４０の２つの辺に対して、当該２つの辺を斜めに横切るように磁界を付与する。言い換えれば、磁石１６１及び１６２は、Ｙ軸方向に沿って対向するコイル１４０の２つの辺に対して、当該２つの辺に対して９０度以外の角度で交わる磁界を付与する。つまり、磁石１６１及び１６２は、Ｙ軸方向に沿って対向するコイル１４０の２つの辺に対して、当該２つの辺に対してコイル１４０の巻き線の対角方向に交わる磁界を付与する。

　このとき、磁石１６１及び１６２は、Ｘ軸方向に沿って対向するコイル１４０の２つの辺には、磁界を付与しないことが好ましい。但し、磁石１６１及び１６２は、Ｘ軸方向に沿って対向するコイル１４０の２つの辺には、Ｙ軸方向に沿って対向するコイル１４０の２つの辺に付与するべき磁界の漏れ磁束のみを付与してもよい。つまり、磁石１６１及び１６２は、Ｘ軸方向に沿って対向するコイル１４０の２つの辺には、積極的に磁界を付与しないことが好ましい。但し、磁石１６１及び１６２は、Ｘ軸方向に沿って対向するコイル１４０の２つの辺に、磁界を積極的に付与してもよい。

　ここで、図１０に示すように、図１０中の時計周りの方向に流れる制御電流がコイル１４０に供給されており、磁石１６１から磁石１６２に向かう磁界がコイル１４０に付与されている状況について説明する。この場合、図１０に示すように、Ｙ軸方向に沿って対向するコイル１４０の２つの辺のうちの一方の辺（例えば、図１０の上側の辺）には、図１０の紙面奥側から紙面手前側に向かうローレンツ力が発生する。このとき、Ｙ軸方向に沿って対向するコイル１４０の２つの辺を斜めに横切るように磁界が付与されているがゆえに、このローレンツ力は、Ｙ軸方向に沿って対向するコイル１４０の２つの辺のうちの一方の辺の相対的に外側（つまり、ミラー１３０から相対的に遠い側）に発生することになる。同様に、図１０に示すように、Ｙ軸方向に沿って対向するコイル１４０の２つの辺のうちの他方の辺（例えば、図１０の下側の辺）には、図１０の紙面手前側から紙面奥側に向かうローレンツ力が発生する。このとき、Ｙ軸方向に沿って対向するコイル１４０の２つの辺を斜めに横切るように磁界が付与されているがゆえに、このローレンツ力は、Ｙ軸方向に沿って対向するコイル１４０の２つの辺のうちの他方の辺の相対的に内側（つまり、ミラー１３０に相対的に近い側）に発生することになる。尚、コイル１４０に供給される制御電流の向き（つまり、極性）が逆転した場合にも、同様のローレンツ力（但し、その方向が逆になる）が発生する。

　その結果、Ｙ軸方向に沿って対向するコイル１４０の２つの辺のうちの一方の辺においてローレンツ力が発生する位置と、Ｙ軸方向に沿って対向するコイル１４０の２つの辺のうちの他方の辺においてローレンツ力が発生する位置とが、Ｙ軸方向に沿ってずれている。このため、コイル１４０に発生するローレンツ力（特に、主として、Ｘ軸駆動用制御電流に応じたローレンツ力）は、Ｘ軸方向に沿った軸を回転軸とする回転力としてコイル１４０に作用することになる。このため、コイル１４０は、Ｘ軸方向に沿った軸を回転軸として回転する。その結果、第２実施例と同様に、第２ベース１１０－２もまた、Ｘ軸方向に沿った軸を回転軸として回転する。

　加えて、Ｘ軸方向に沿った軸を回転軸とするコイル１４０の回転に起因して、第２ベース１１０－２には振動が伝搬することになる。この振動に起因して、第２ベース１１０－２は、第２実施例と同様に、Ｘ軸方向に沿って変形振動する。その結果、ミラー１３０は、Ｙ軸方向に沿った軸を回転軸として回転する。

　或いは、コイル１４０に供給される制御電流がＹ軸駆動用制御電流を含んでいる場合には、Ｘ軸方向に沿って対向するコイル１４０の２つの辺に磁界が付与されていない場合であっても、Ｙ軸駆動用制御電流に応じたローレンツ力がわずかながらにコイル１４０に発生することが本願発明者等によって行われた実験で確認された。その結果、第２ベース１１０－２は、第２実施例と同様に、Ｘ軸方向に沿って変形振動する。その結果、ミラー１３０は、Ｙ軸方向に沿った軸を回転軸として回転する。

　或いは、図１０に示すように、Ｙ軸方向に沿って対向するコイル１４０の２つの辺のうちの一方の辺においてローレンツ力が発生する位置と、Ｙ軸方向に沿って対向するコイル１４０の２つの辺のうちの他方の辺においてローレンツ力が発生する位置とが、Ｘ軸方向に沿ってずれている。このため、コイル１４０に発生するローレンツ力（特に、主として、Ｙ軸駆動用制御電流に応じたローレンツ力）は、実質的には、Ｙ軸方向に沿った軸を回転軸とする回転力としてコイル１４０に作用し得る。このため、コイル１４０は、第２実施例と同様に、Ｙ軸方向に沿った軸を回転軸として回転する。その結果、第２ベース１１０－２は、第２実施例と同様に、Ｘ軸方向に沿って変形振動する。その結果、ミラー１３０は、Ｙ軸方向に沿った軸を回転軸として回転する。

　以上説明したように、第３実施例のＭＥＭＳスキャナ１０３は、第２実施例のＭＥＭＳスキャナ１０２が享受する各種効果を好適に享受することができる。加えて、第３実施例のＭＥＭＳスキャナ１０３は、第２実施例のＭＥＭＳスキャナ１０２と比較して、磁石１５１及び１５２を備えていなくともよくなる。このため、ＭＥＭＳスキャナ１０３のより一層の小型化が実現される。

　（４）第４実施例
　続いて、図１１及び図１２を参照して、ＭＥＭＳスキャナの第４実施例について説明する。尚、上述の第３実施例のＭＥＭＳスキャナ１０３と同一の構成については、同一の参照符号を付することでその詳細な説明を省略する。

　（４－１）ＭＥＭＳスキャナの構成
　初めに、図１１を参照して、第４実施例に係るＭＥＭＳスキャナ１０４の構成について説明する。ここに、図１１は、第４実施例に係るＭＥＭＳスキャナ１０４の構成を概念的に示す平面図である。

　図１１に示すように、第４実施例のＭＥＭＳスキャナ１０４は、第３実施例のＭＥＭＳスキャナ１０３と比較して、磁気ヨーク１７０を更に備えているという点で異なっている。第４実施例のＭＥＭＳスキャナ１０４のその他の構成要素は、第３実施例のＭＥＭＳスキャナ１０３のその他の構成要素と同一であってもよい。

　第４実施例では、磁気ヨーク１７０は、磁石１６１から出射される磁界が、Ｙ軸方向に沿って対向するコイル１４０の２つの辺に付与されながら磁石１６２に到達するような磁界の経路を形成する。つまり、磁気ヨーク１７０は、磁石１６１から出射される磁界が入射する一方の端部から、磁石１６２に入射する磁界が出射する他方の端部に向かって延びる形状を有している。図１１では、磁気ヨーク１７０がＸ軸方向に沿って延びる形状を有している例が示されている。

　（４－２）ＭＥＭＳスキャナの動作
　続いて、図１２を参照して、第４実施例に係るＭＥＭＳスキャナ１０４の動作の態様（具体的には、ミラー１３０を回転させる動作の態様）について説明する。ここに、図１２は、第４実施例に係るＭＥＭＳスキャナ１０４による動作の態様を概念的に示す平面図及び断面図である。

　第４実施例に係るＭＥＭＳスキャナ１０４の動作時には、第３実施例に係るＭＥＭＳスキャナ１０３の動作時と同様に、コイル１４０に制御電流（つまり、Ｘ軸駆動用制御電流及びＹ軸駆動用制御電流が重畳された制御電流）が供給される。

　一方で、コイル１４０には、磁石１６１及び１６２から磁界が付与されている。尚、第４実施例では、磁石１６１及び１６２から付与される磁界は、Ｙ軸方向に沿った軸を回転軸としてミラー１３０を回転させるために用いられるのみならず、Ｘ軸方向に沿った軸を回転軸として第２ベース１１０－２を回転させるためにも用いられる。

　このとき、図１２（ａ）の平面図及び図１２（ｂ）の断面図に示すように、磁石１６１が配置される位置と磁石１６２が配置される位置とがＸ軸方向に沿ってオフセットされており且つＸ軸方向に沿って延びる磁気ヨーク１７０が配置されているがゆえ、磁石１６１及び１６２は、Ｙ軸方向に沿って対向するコイル１４０の２つの辺のうちの一方の辺（例えば、図１２（ａ）の下側の辺）の相対的に一方側（例えば、図１２（ａ）の左側）の辺部分及び他方の辺（例えば、図１２（ａ）の上側の辺）の相対的に他方側（例えば、図１２（ａ）の右側）の辺部分に対して磁界を付与する。つまり、磁石１６１及び１６２は、Ｙ軸方向に沿って対向するコイル１４０の２つの辺のうちの一部の辺部分であって且つコイル１４０の対角方向（つまり、斜め方向）に沿って対向する２つの辺部分に磁界を付与する。このような磁界を付与するために、磁石１６１と磁気ヨーク１７０の一方の端部（つまり、磁石１６１ａから出射される磁界が入射する端部）とは、コイル１４０の対角方向に沿って対向するコイル１４０の２つの辺部分のうちの一方の辺部分に磁界を付与することができるように配置される。同様に、磁石１６２と磁気ヨーク１７０の他方の端部（つまり、磁石１６２に入射する磁界が出射する端部）とは、コイル１４０の対角方向に沿って対向するコイル１４０の２つの辺部分のうちの他方の辺部分に磁界を付与することができるように配置される。

　ここで、図１２（ａ）及び図１２（ｂ）に示すように、図１２（ａ）中の時計周りの方向に流れる制御電流がコイル１４０に供給されており、磁石１６１から磁気ヨーク１７０を介して磁石１６２に向かう磁界がコイル１４０に付与されている状況について説明する。この場合、図１２（ａ）及び図１２（ｂ）に示すように、Ｙ軸方向に沿って対向するコイル１４０の２つの辺のうちの一方の辺（例えば、図１２（ａ）の上側の辺ないしは図１２（ｂ）の右側の辺）には、図１２（ａ）の紙面奥側から紙面手前側（言い換えれば、図１２（ｂ）の上側）に向かうローレンツ力が発生する。このとき、図１２（ａ）に示すように、このローレンツ力は、Ｙ軸方向に沿って対向するコイル１４０の２つの辺のうちの一方の辺の相対的に外側（つまり、ミラー１３０から相対的に遠い側）に発生することになる。同様に、図１２（ａ）及び図１２（ｂ）に示すように、Ｙ軸方向に沿って対向するコイル１４０の２つの辺のうちの他方の辺（例えば、図１２（ａ）の下側の辺ないしは図１２（ｂ）の左側の辺）には、図１２（ａ）の紙面手前側から紙面奥側（言い換えれば、図１２（ｂ）の下側）に向かうローレンツ力が発生する。このとき、図１２（ｂ）に示すように、このローレンツ力は、Ｙ軸方向に沿って対向するコイル１４０の２つの辺のうちの他方の辺の相対的に内側（つまり、ミラー１３０に相対的に近い側）に発生することになる。尚、コイル１４０に供給される制御電流の向き（つまり、極性）が逆転した場合にも、同様のローレンツ力（但し、その方向が逆になる）が発生する。

　その結果、Ｙ軸方向に沿って対向するコイル１４０の２つの辺のうちの一方の辺においてローレンツ力が発生する位置と、Ｙ軸方向に沿って対向するコイル１４０の２つの辺のうちの他方の辺においてローレンツ力が発生する位置とが、Ｙ軸方向に沿ってずれている。このため、コイル１４０に発生するローレンツ力（特に、主として、Ｘ軸駆動用制御電流に応じたローレンツ力）は、Ｘ軸方向に沿った軸を回転軸とする回転力としてコイル１４０に作用することになる。このため、コイル１４０は、Ｘ軸方向に沿った軸を回転軸として回転する。その結果、第３実施例と同様に、第２ベース１１０－２もまた、Ｘ軸方向に沿った軸を回転軸として回転する。

　加えて、Ｘ軸方向に沿った軸を回転軸とするコイル１４０の回転に起因して、第２ベース１１０－２には振動が伝搬することになる。この振動に起因して、第２ベース１１０－２は、第３実施例と同様に、Ｘ軸方向に沿って変形振動する。その結果、ミラー１３０は、Ｙ軸方向に沿った軸を回転軸として回転する。

　或いは、コイル１４０に供給される制御電流がＹ軸駆動用制御電流を含んでいる場合には、Ｘ軸方向に沿って対向するコイル１４０の２つの辺に磁界が付与されていない場合であっても、Ｙ軸駆動用制御電流に応じたローレンツ力がわずかながらにコイル１４０に発生することが本願発明者等によって行われた実験で確認された。その結果、第２ベース１１０－２は、第３実施例と同様に、Ｘ軸方向に沿って変形振動する。その結果、ミラー１３０は、Ｙ軸方向に沿った軸を回転軸として回転する。

　或いは、図１２（ａ）に示すように、Ｙ軸方向に沿って対向するコイル１４０の２つの辺のうちの一方の辺においてローレンツ力が発生する位置と、Ｙ軸方向に沿って対向するコイル１４０の２つの辺のうちの他方の辺においてローレンツ力が発生する位置とが、Ｘ軸方向に沿ってずれている。このため、コイル１４０に発生するローレンツ力（特に、主として、Ｙ軸駆動用制御電流に応じたローレンツ力）は、実質的には、Ｙ軸方向に沿った軸を回転軸とする回転力としてコイル１４０に作用し得る。このため、コイル１４０は、第２実施例と同様に、Ｙ軸方向に沿った軸を回転軸として回転する。その結果、第２ベース１１０－２は、第３実施例と同様に、Ｘ軸方向に沿って変形振動する。その結果、ミラー１３０は、Ｙ軸方向に沿った軸を回転軸として回転する。

　以上説明したように、第４実施例のＭＥＭＳスキャナ１０４は、第２実施例のＭＥＭＳスキャナ１０２が享受する各種効果を好適に享受することができる。加えて、第４実施例のＭＥＭＳスキャナ１０４は、第２実施例のＭＥＭＳスキャナ１０２と比較して、磁石１５１及び１５２を備えていなくともよくなる。このため、ＭＥＭＳスキャナ１０４のより一層の小型化が実現される。

　（５）第５実施例
　続いて、図１３及び図１４を参照して、ＭＥＭＳスキャナの第５実施例について説明する。尚、上述の第２実施例のＭＥＭＳスキャナ１０２と同一の構成については、同一の参照符号を付することでその詳細な説明を省略する。

　（５－１）基本構成
　初めに、図１３を参照して、第５実施例に係るＭＥＭＳスキャナ１０５の基本構成について説明する。ここに、図１３は、第５実施例に係るＭＥＭＳスキャナ１０５の基本構成を概念的に示す平面図である。

　図１３に示すように、第５実施例のＭＥＭＳスキャナ１０５は、第２実施例のＭＥＭＳスキャナ１０２と比較して、コイル１４０の配置位置が変更されていると共に磁石１５１及び磁石１５２を備えていないという点で異なっている。第５実施例のＭＥＭＳスキャナ１０５のその他の構成要素は、第２実施例のＭＥＭＳスキャナ１０２のその他の構成要素と同一であってもよい。

　第５実施例では、コイル１４０は、コイル１４０の回転軸（具体的には、Ｘ軸方向に沿った回転軸）と第２ベース１１０－２の回転軸（具体的には、Ｘ軸方向に沿った回転軸）とが、Ｙ軸方向に沿ってずれる（言い換えれば、オフセットされる）ように配置される。言い換えれば、コイル１４０は、Ｘ軸方向に沿ったコイル１４０の回転軸と一致するコイル１４０の回転中心とＸ軸方向に沿った第２ベース１１０－２の回転軸と一致する第２ベース１１０－２の回転中心とが、Ｙ軸方向に沿ってずれるように配置される。言い換えれば、コイル１４０は、ローレンツ力が発生するコイル１４０の中心（回転力の中心）と、コイル１４０及び第２ベース１１０－２を包含する回転体の重心と、当該回転体を支持する第１トーションバー１２０ａ－１及び１２０ｂ－１の中心（支持中心）とのうちの少なくとも２つが、Ｙ軸方向に沿ってずれるように配置される。

　（５－２）ＭＥＭＳスキャナの動作
　続いて、図１４を参照して、第５実施例に係るＭＥＭＳスキャナ１０５の動作の態様（具体的には、ミラー１３０を回転させる動作の態様）について説明する。ここに、図１４は、第５実施例に係るＭＥＭＳスキャナ１０５による動作の態様を概念的に示す平面図である。

　第５実施例に係るＭＥＭＳスキャナ１０５の動作時には、第２実施例に係るＭＥＭＳスキャナ１０２の動作時と同様に、コイル１４０に制御電流（つまり、Ｘ軸駆動用制御電流及びＹ軸駆動用制御電流が重畳された制御電流）が供給される。

　一方で、コイル１４０には、磁石１６１及び１６２から磁界が付与されている。尚、第５実施例では、磁石１６１及び１６２から付与される磁界は、Ｙ軸方向に沿った軸を回転軸としてミラー１３０を回転させるために用いられるのみならず、Ｘ軸方向に沿った軸を回転軸として第２ベース１１０－２を回転させるためにも用いられる。

　磁石１６１及び１６２は、Ｙ軸方向に沿って対向するコイル１４０の２つの辺に対して磁界を付与する。一方で、磁石１６１及び１６２は、Ｘ軸方向に沿って対向するコイル１４０の２つの辺には、磁界を付与しないことが好ましい。但し、磁石１６１及び１６２は、Ｘ軸方向に沿って対向するコイル１４０の２つの辺には、Ｙ軸方向に沿って対向するコイル１４０の２つの辺に付与するべき磁界の漏れ磁束のみを付与してもよい。つまり、磁石１６１及び１６２は、Ｘ軸方向に沿って対向するコイル１４０の２つの辺には、積極的に磁界を付与しないことが好ましい。但し、磁石１６１及び１６２は、Ｘ軸方向に沿って対向するコイル１４０の２つの辺に、積極的に磁界を付与してもよい。

　ここで、図１４に示すように、図１４中の時計周りの方向に流れる制御電流がコイル１４０に供給されており、磁石１６１から磁石１６２に向かう磁界がコイル１４０に付与されている状況について説明する。この場合、図１４に示すように、Ｙ軸方向に沿って対向するコイル１４０の２つの辺のうちの一方の辺（例えば、図１４の上側の辺）には、図１４の紙面奥側から紙面手前側に向かうローレンツ力が発生する。同様に、図１４に示すように、Ｙ軸方向に沿って対向するコイル１４０の２つの辺のうちの他方の辺（例えば、図１２の下側の辺）には、図１４の紙面手前側から紙面奥側に向かうローレンツ力が発生する。尚、コイル１４０に供給される制御電流の向き（つまり、極性）が逆転した場合にも、同様のローレンツ力（但し、その方向が逆になる）が発生する。

　その結果、コイル１４０に発生するローレンツ力（特に、主として、Ｘ軸駆動用制御電流に応じたローレンツ力）は、Ｘ軸方向に沿った軸を回転軸とする回転モーメントとしてコイル１４０に作用することになる。このため、コイル１４０は、Ｘ軸方向に沿った軸を回転軸として回転する。その結果、第２実施例と同様に、第２ベース１１０－２もまた、Ｘ軸方向に沿った軸を回転軸として回転する。

　加えて、第５実施例では、上述したように、Ｘ軸方向に沿ったコイル１４０の回転軸とＸ軸方向に沿った第２ベース１１０－２の回転軸とがＹ軸方向に沿ってずれている。このような回転軸のずれに起因したアンバランスによって、Ｘ軸方向に沿った軸を回転軸とするコイル１４０の回転が、第２ベース１１０－２に対して振動として伝搬することになる。この振動に起因して、第２ベース１１０－２は、第２実施例と同様に、Ｘ軸方向に沿って変形振動する。その結果、ミラー１３０は、Ｙ軸方向に沿った軸を回転軸として回転する。

　以上説明したように、第５実施例のＭＥＭＳスキャナ１０５は、第２実施例のＭＥＭＳスキャナ１０２が享受する各種効果を好適に享受することができる。加えて、第５実施例のＭＥＭＳスキャナ１０５は、第２実施例のＭＥＭＳスキャナ１０２と比較して、磁石１５１及び１５２を備えていなくともよくなる。このため、ＭＥＭＳスキャナ１０５のより一層の小型化が実現される。

　（６）第６実施例
　続いて、図１５及び図１６を参照して、ＭＥＭＳスキャナの第６実施例について説明する。尚、上述の第２実施例のＭＥＭＳスキャナ１０２と同一の構成については、同一の参照符号を付することでその詳細な説明を省略する。

　（６－１）基本構成
　初めに、図１５を参照して、第６実施例に係るＭＥＭＳスキャナ１０６の基本構成について説明する。ここに、図１５は、第６実施例に係るＭＥＭＳスキャナ１０６の基本構成を概念的に示す平面図である。

　図１５に示すように、第６実施例のＭＥＭＳスキャナ１０６は、第２実施例のＭＥＭＳスキャナ１０２と比較して、磁石１５１及び磁石１５２を備えていないという点で異なっている。第６実施例のＭＥＭＳスキャナ１０６のその他の構成は、第２実施例のＭＥＭＳスキャナ１０２のその他の構成と同一であってもよい。

　（６－２）ＭＥＭＳスキャナの動作
　続いて、図１６を参照して、第６実施例に係るＭＥＭＳスキャナ１０６の動作の態様（具体的には、ミラー１３０を回転させる動作の態様）について説明する。ここに、図１６は、第６実施例に係るＭＥＭＳスキャナ１０６による動作の態様を概念的に示す平面図である。

　第６実施例に係るＭＥＭＳスキャナ１０６の動作時には、第２実施例に係るＭＥＭＳスキャナ１０２の動作時と同様に、コイル１４０に制御電流（つまり、Ｘ軸駆動用制御電流及びＹ軸駆動用制御電流が重畳された制御電流）が供給される。

　一方で、コイル１４０には、磁石１６１及び１６２から磁界が付与されている。尚、第６実施例では、磁石１６１及び１６２から付与される磁界は、Ｙ軸方向に沿った軸を回転軸としてミラー１３０を回転させるために用いられるのみならず、Ｘ軸方向に沿った軸を回転軸として第２ベース１１０－２を回転させるためにも用いられる。

　磁石１６１及び１６２は、Ｙ軸方向に沿って対向するコイル１４０の２つの辺に対して磁界を付与する。一方で、磁石１６１及び１６２は、Ｘ軸方向に沿って対向するコイル１４０の２つの辺には、磁界を付与しないことが好ましい。但し、磁石１６１及び１６２は、Ｘ軸方向に沿って対向するコイル１４０の２つの辺には、Ｙ軸方向に沿って対向するコイル１４０の２つの辺に付与するべき磁界の漏れ磁束のみを付与してもよい。つまり、磁石１６１及び１６２は、Ｘ軸方向に沿って対向するコイル１４０の２つの辺には、積極的に磁界を付与しないことが好ましい。

　ここで、図１６に示すように、図１６中の時計周りの方向に流れる制御電流がコイル１４０に供給されており、磁石１６１から磁石１６２に向かう磁界がコイル１４０に付与されている状況について説明する。この場合、図１６に示すように、Ｙ軸方向に沿って対向するコイル１４０の２つの辺のうちの一方の辺（例えば、図１６の上側の辺）には、図１６の紙面奥側から紙面手前側に向かうローレンツ力が発生する。同様に、図１６に示すように、Ｙ軸方向に沿って対向するコイル１４０の２つの辺のうちの他方の辺（例えば、図１６の下側の辺）には、図１６の紙面手前側から紙面奥側に向かうローレンツ力が発生する。尚、コイル１４０に供給される制御電流の向き（つまり、極性）が逆転した場合にも、同様のローレンツ力（但し、その方向が逆になる）が発生する。

　その結果、コイル１４０に発生するローレンツ力（特に、主として、Ｘ軸駆動用制御電流に応じたローレンツ力）は、Ｘ軸方向に沿った軸を回転軸とする回転モーメントとしてコイル１４０に作用することになる。このため、コイル１４０は、Ｘ軸方向に沿った軸を回転軸として回転する。その結果、第２実施例と同様に、第２ベース１１０－２もまた、Ｘ軸方向に沿った軸を回転軸として回転する。

　加えて、コイル１４０に供給される制御電流がＹ軸駆動用制御電流を含んでいる場合には、Ｘ軸方向に沿って対向するコイル１４０の２つの辺に磁界が付与されていない場合であっても、以下の現象が発生することが本願発明者等によって行われた実験で確認された。具体的には、コイル１４０に供給される制御電流がＹ軸駆動用制御電流を含んでいる場合には、Ｘ軸方向に沿って対向するコイル１４０の２つの辺に磁界が付与されていない場合であっても、Ｙ軸駆動用制御電流に応じたローレンツ力が、Ｙ軸方向に沿って対向するコイル１４０の２つの辺のうちの一方の辺（例えば、図１６の上側の辺）に発生する。このＹ軸駆動用制御電流に応じたローレンツ力に起因して、コイル１４０（或いは、当該コイル１４０が配置されている第２ベース１１０－２）に微振動が発生する。その結果、第２ベース１１０－２は、第２実施例と同様に、Ｘ軸の方向に沿って変形振動する。その結果、ミラー１３０は、Ｙ軸方向に沿った軸を回転軸として回転する。

　加えて、Ｘ軸方向に沿って対向するコイル１４０の２つの辺に磁界が積極的に付与されていない場合であっても、Ｘ軸方向に沿って対向するコイル１４０の２つの辺には、Ｙ軸方向に沿って対向するコイル１４０の２つの辺に積極的に付与した磁界の漏れ磁束が付与されることがある。その結果、Ｘ軸方向に沿って対向するコイル１４０の２つの辺には、Ｙ軸駆動用制御電流に応じたローレンツ力がわずかながらに発生する。その結果、第２ベース１１０－２は、第２実施例と同様に、Ｘ軸の方向に沿って変形振動する。その結果、ミラー１３０は、Ｙ軸方向に沿った軸を回転軸として回転する。

　尚、本願発明者等によって行われた実験によれば、Ｘ軸方向に沿って対向するコイル１４０の２つの辺に磁界が積極的に付与されているときのミラー１３０の回転のゲインは、６０ｄＢであった。一方で、Ｘ軸方向に沿って対向するコイル１４０の２つの辺に磁界が積極的に付与されていないときのミラー１３０の回転のゲインは、５４ｄＢであった。つまり、Ｘ軸方向に沿って対向するコイル１４０の２つの辺に磁界が積極的に付与されているＭＥＭＳスキャナと比較して、Ｘ軸方向に沿って対向するコイル１４０の２つの辺に磁界が積極的に付与されていないＭＥＭＳスキャナでは、ミラー１３０の回転のゲインが６ｄＢ程度減少する。しかしながら、本願発明者等によって行われた実験によれば、６ｄＢ程度のゲインの減少は、ＭＥＭＳスキャナの動作に大きな悪影響を与える程度の減少には相当しない。

　以上説明したように、第６実施例のＭＥＭＳスキャナ１０６は、第２実施例のＭＥＭＳスキャナ１０２が享受する各種効果を好適に享受することができる。加えて、第６実施例のＭＥＭＳスキャナ１０６は、第２実施例のＭＥＭＳスキャナ１０２と比較して、磁石１５１及び１５２を備えていなくともよくなる。このため、ＭＥＭＳスキャナ１０６のより一層の小型化が実現される。

　（７）第７実施例
　続いて、図１７を参照して、ＭＥＭＳスキャナの第７実施例について説明する。ここに、図１７は、第７実施例に係るＭＥＭＳスキャナ１０７の基本構成を概念的に示す平面図である。尚、上述の第２実施例のＭＥＭＳスキャナ１０２と同一の構成については、同一の参照符号を付することでその詳細な説明を省略する。

　図１７に示すように、第７実施例のＭＥＭＳスキャナ１０７は、第２実施例のＭＥＭＳスキャナ１０２と比較して、第１トーションバー１２０ａ－１の特性と第１トーションバー１２０ｂ－１の特性とが一致しないという点で異なっている。第７実施例のＭＥＭＳスキャナ１０７のその他の構成は、第２実施例のＭＥＭＳスキャナ１０２のその他の構成と同一であってもよい。

　より具体的には、第１トーションバー１２０ａ－１の長さ（つまり、Ｘ軸方向に沿った長さ）が、第１トーションバー１２０ａ－２の長さ（つまり、Ｘ軸方向に沿った長さ）と異なっていてもよい。或いは、第１トーションバー１２０ａ－１の幅（つまり、Ｙ軸方向に沿った長さ）が、第１トーションバー１２０ａ－２の幅（つまり、Ｙ軸方向に沿った長さ）と異なっていてもよい。或いは、第１トーションバー１２０ａ－１の質量が、第１トーションバー１２０ａ－２の質量と異なっていてもよい。或いは、第１トーションバー１２０ａ－１の剛性が、第１トーションバー１２０ａ－２の剛性と異なっていてもよい。或いは、第１トーションバー１２０ａ－１の形状（例えば、外観形状や、断面形状等）が、第１トーションバー１２０ａ－２の形状形状（例えば、外観形状や、断面形状等）と異なっていてもよい。

　このとき、第１トーションバー１２０ａ－１及び１２０ｂ－１の夫々の特性は、第２ベース１１０－２の変形振動における節及び腹の位置を適切な位置に設定するという観点から適宜調整されることが好ましい。より具体的には、第１トーションバー１２０ａ－１及び第１トーションバー１２０ｂ－１の夫々の特性は、コイル１４０及びミラー１３０の夫々のＹ軸方向に沿った回転軸に対応する箇所が、第２ベース１１０－２の変形振動における節となるように、適宜調整されることが好ましい。

　以上説明したように、第７実施例のＭＥＭＳスキャナ１０７は、第２実施例のＭＥＭＳスキャナ１０２が享受する各種効果を好適に享受することができる。加えて、第７実施例のＭＥＭＳスキャナ１０７は、第１トーションバー１２０ａ－１の特性と第１トーションバー１２０ｂ－１の特性とを揃えなくともよくなる。このため、第１トーションバー１２０ａ－１及び１２０ｂ－１の設計の自由度が高まる。仮に、第１トーションバー１２０ａ－１の特性と第１トーションバー１２０ｂ－１の特性とを揃えるとすれば、第２ベース１１０－２の変形振動における節及び腹の位置を適切な位置に設定するために、第２ベース１１０－２の特性が調整されることになる。その結果、第２ベース１１０－２の大型化を招いてしまいかねない。しかるに、第７実施例では、第１トーションバー１２０ａ－１及び１２０ｂ－１の夫々の特性を適宜調整することで、第２ベース１１０－２の変形振動における節及び腹の位置が適切な位置に設定されることになる。このため、ＭＥＭＳスキャナ１０７のより一層の小型化が実現される。

　（８）第８実施例
　続いて、図１８及び図１９を参照して、ＭＥＭＳスキャナの第８実施例について説明する。ここに、図１８は、第８実施例に係るＭＥＭＳスキャナ１０８の基本構成を概念的に示す平面図である。図１９は、第８実施例に係るＭＥＭＳスキャナ１０８が備えるコイル１４０に付与される磁界の態様及び磁気ヨーク１８０が配置されていない比較例に係るＭＥＭＳスキャナが備えるコイル１４０に付与される磁界の態様を示す断面図である。尚、上述の第２実施例のＭＥＭＳスキャナ１０２と同一の構成については、同一の参照符号を付することでその詳細な説明を省略する。

　図１８に示すように、第８実施例のＭＥＭＳスキャナ１０８は、第２実施例のＭＥＭＳスキャナ１０２と比較して、コイル１４０の巻き線の内側に磁気ヨーク１８０が配置されているという点で異なっている。第８実施例のＭＥＭＳスキャナ１０８のその他の構成は、第２実施例のＭＥＭＳスキャナ１０２のその他の構成と同一であってもよい。

　磁気ヨーク１８０は、当該磁気ヨーク１８０と磁石１５１との間にコイル１４０の巻き線（図１８に示す例では、Ｘ軸方向に沿って対向するコイル１４０の２つの辺のうちの一方）が挟み込まれるように配置されることが好ましい。更には、磁気ヨーク１８０は、当該磁気ヨーク１８０と磁石１５２との間にコイル１４０の巻き線（図１８に示す例では、Ｘ軸方向に沿って対向するコイル１４０の２つの辺のうちの他方）が挟み込まれるように配置されることが好ましい。

　加えて、磁気ヨーク１８０は、当該磁気ヨーク１８０と磁石１６１との間にコイル１４０の巻き線（図１８に示す例では、Ｘ軸方向に沿って対向するコイル１４０の２つの辺のうちの一方）が挟み込まれるように配置されることが好ましい。更には、磁気ヨーク１８０は、当該磁気ヨーク１８０と磁石１６２との間にコイル１４０の巻き線（図１８に示す例では、Ｘ軸方向に沿って対向するコイル１４０の２つの辺のうちの他方）が挟み込まれるように配置されることが好ましい。

　このような磁気ヨーク１８０の配置態様を実現するために、磁気ヨーク１８０は、コイル１４０の巻き線の内側の開口を貫通するように配置されてもよい。言い換えれば、磁気ヨーク１８０は、コイル１４０の巻き線が外縁を構成する仮想的な平面を貫通するように、コイル１４０の巻き線の内側の開口に配置されてもよい。

　図１９（ａ）に示すように、このような第８実施例のＭＥＭＳスキャナ１０８によれば、磁石１５２から出射される磁界（つまり、Ｙ軸駆動用磁界）は、磁気ヨーク１８０を介して、磁石１５１に到達することになる。このため、このような第８実施例のＭＥＭＳスキャナ１０８によれば、磁石１５２から出射されるＹ軸駆動用磁界は、コイル１４０に付与されやすくなる。

　一方で、図１９（ｂ）に示すように、磁気ヨーク１８０が配置されていない比較例ＭＥＭＳスキャナによれば、磁石１５２から出射されるＹ軸駆動用磁界は、磁気ヨーク１８０を介することなく、磁石１５１に到達することになる。このため、このような比較例のＭＥＭＳスキャナによれば、第８実施例のＭＥＭＳスキャナ１０８と比較して、磁石１５２から出射されるＹ軸駆動用磁界は、コイル１４０に付与されにくくなる。

　このように、第８実施例のＭＥＭＳスキャナ１０８では、比較例のＭＥＭＳスキャナと比較して、磁石１５１及び１５２からコイル１４０へのＹ軸駆動用磁界の付与の効率を高めることができる。言い換えれば、第８実施例のＭＥＭＳスキャナ１０８では、比較例のＭＥＭＳスキャナと比較して、磁石１５１と磁石１５２との間の吸着力を高めることができる。

　その結果、第８実施例のＭＥＭＳスキャナ１０８が備える磁石１５１及び１５２を、比較例のＭＥＭＳスキャナが備える磁石１５１及び１５２よりも小さくしても、第８実施例のＭＥＭＳスキャナ１０８が備えるコイル１４０に付与されるＹ軸駆動用磁界の強さと比較例のＭＥＭＳスキャナが備えるコイル１４０に付与されるＹ軸駆動用磁界の強さとを同一にすることができる。つまり、第８実施例のＭＥＭＳスキャナ１０８が備える磁石１５１及び１５２を、比較例のＭＥＭＳスキャナが備える磁石１５１及び１５２よりも小さくしても、第８実施例のＭＥＭＳスキャナ１０８が備えるコイル１４０に発生するローレンツ力の大きさと比較例のＭＥＭＳスキャナが備えるコイル１４０に発生するローレンツ力の大きさとを同一にすることができる（但し、第８実施例のＭＥＭＳスキャナ１０８が備えるコイル１４０に供給されるＹ軸駆動用制御電流と、比較例のＭＥＭＳスキャナが備えるコイル１４０に供給されるＹ軸駆動用制御電流とが同一であるものとする）。このため、第８実施例のＭＥＭＳスキャナ１０８が備える磁石１５１及び１５２を、比較例のＭＥＭＳスキャナが備える磁石１５１及び１５２よりも小さくしても、第８実施例のＭＥＭＳスキャナ１０８におけるミラー１３０の回転の態様と、比較例のＭＥＭＳスキャナにおけるミラー１３０の回転の態様とを同一にすることができる。従って、第８実施例のＭＥＭＳスキャナ１０８では、比較例のＭＥＭＳスキャナと比較して、磁石１５１及び１５２の小型化（ひいては、ＭＥＭＳスキャナ１０８の小型化）を図ることができる。

　或いは、第８実施例のＭＥＭＳスキャナ１０８が備えるコイル１４０に供給される制御電流（つまり、Ｙ軸駆動用制御電流）を、比較例のＭＥＭＳスキャナが備えるコイル１４０に供給されるＹ軸駆動用制御電流よりも小さくしても、第８実施例のＭＥＭＳスキャナ１０８が備えるコイル１４０に発生するローレンツ力の大きさと比較例のＭＥＭＳスキャナが備えるコイル１４０に発生するローレンツ力の大きさとを同一にすることができる（但し、第８実施例のＭＥＭＳスキャナ１０８が備える磁石１５１及び１５２の大きさと、比較例のＭＥＭＳスキャナが備える磁石１５１及び１５２の大きさとが同一であるものとする）。つまり、第８実施例のＭＥＭＳスキャナ１０８が備えるコイル１４０に供給されるＹ軸駆動用制御電流を、比較例のＭＥＭＳスキャナが備えるコイル１４０に供給されるＹ軸駆動用制御電流よりも小さくしても、第８実施例のＭＥＭＳスキャナ１０８におけるミラー１３０の回転の態様と、比較例のＭＥＭＳスキャナにおけるミラー１３０の回転の態様とを同一にすることができる。従って、第８実施例のＭＥＭＳスキャナ１０８では、比較例のＭＥＭＳスキャナと比較して、コイル１４０に供給するＹ軸駆動用制御電流に起因した消費電力の低減を図ることができる。

　尚、磁気ヨーク１８０に加えて又は代えて、磁石が、コイル１４０の巻き線の内側に配置されてもよい。つまり、コイル１４０の巻き線の内側には、磁石１５１及び１５２からの磁界の付与の効率を高めることが可能な任意の部材が配置されてもよい。この場合であっても、上述した各種効果を好適に享受することができる。

　また、上述の説明では、磁石１５１及び１５２から磁気ヨーク１８０を介してコイル部１４０に付与されるＹ軸駆動用磁界に着目している。しかしながら、磁石１６１及び１６２から磁気ヨーク１８０を介してコイル部１４０に付与されるＸ軸駆動用磁界についても同様のことが言える。つまり、第８実施例のＭＥＭＳスキャナ１０８では、比較例のＭＥＭＳスキャナと比較して、磁石１６１及び１６２からコイル１４０へのＸ軸駆動用磁界の付与の効率を高めることができる。従って、第８実施例のＭＥＭＳスキャナ１０８では、比較例のＭＥＭＳスキャナと比較して、磁石１６１及び１６２の小型化（ひいては、ＭＥＭＳスキャナ１０８の小型化）を図ることができる。従って、第８実施例のＭＥＭＳスキャナ１０８では、比較例のＭＥＭＳスキャナと比較して、コイル１４０に供給するＸ軸駆動用制御電流に起因した消費電力の低減を図ることができる。

　また、第８実施例では、ミラー１３０の２軸駆動を行うＭＥＭＳスキャナを用いて説明を進めた。しかしながら、ミラー１３０の１軸駆動を行うＭＥＭＳスキャナ（例えば、図１に示す第１実施例のＭＥＭＳスキャナ１０１）においても、コイル１４０の巻き線の内側に磁気ヨーク１８０が配置されてもよいことは言うまでもない。

　尚、第１実施例から第８実施例で説明した各構成の一部を適宜組み合わせてもよい。この場合であっても、第１実施例から第８実施例で説明した各構成の一部を適宜組み合わせることで得られるアクチュエータは、上述した各種効果を好適に享受することができる。

　また、本発明は、請求の範囲及び明細書全体から読み取るこのできる発明の要旨又は思想に反しない範囲で適宜変更可能であり、そのような変更を伴う駆動装置もまた本発明の技術思想に含まれる。

　１０１～１０８　ＭＥＭＳスキャナ
　１１０　ベース
　１１０－１　第１ベース
　１１０－２　第２ベース
　１２０ａ、１２０ｂ　トーションバー
　１２０ａ－１、１２０ｂ－１　第１トーションバー
　１２０ａ－２、１２０ｂ－２　第２トーションバー
　１３０　ミラー
　１４０　コイル
　１４１　電源端子
　１５１、１５２、１６１、１６２　磁石
　１７０、１８０　磁気ヨーク

Claims (7)

1. 　ベース部と、
   　回転可能な被駆動部と、
   　前記ベース部と前記被駆動部とを接続し、且つ前記被駆動部を一の方向に沿った軸を回転軸として回転させるような弾性を有する弾性部と、
   　前記ベース部上に配置されるコイル部であって、且つ当該コイル部の巻き線の外側に前記被駆動部が配置されるコイル部と、
   　前記コイル部に対して磁界を付与する磁界付与部と
   　を備えることを特徴とする駆動装置。
2. 　前記コイル部の前記一の方向に沿った回転軸は、前記被駆動部の前記一の方向に沿った回転軸とは異なることを特徴とする請求項２に記載の駆動装置。
3. 　前記コイル部に供給される制御電流と前記磁界付与部が付与する磁界との電磁相互作用に起因して前記コイル部に発生するローレンツ力によって、前記コイル部は、前記一の方向に沿った軸を回転軸として回転し、
   　前記一の方向に沿った軸を回転軸とする前記コイル部の回転に起因して、前記ベース部は、前記一の方向とは異なる他の方向に沿って定常波状に変形振動し、
   　前記ベース部の変形振動に起因して、前記被駆動部は、前記一の方向に沿った軸を回転軸として回転することを特徴とする請求項１に記載の駆動装置。
4. 　前記コイル部の前記一の方向に沿った回転軸及び前記被駆動部の前記一の方向に沿った回転軸に対応する箇所には、前記ベース部の変形振動における節が現れ、
   　前記コイル部の前記一の方向に沿った回転軸と前記被駆動部の前記一の方向に沿った回転軸との間の箇所には、前記ベース部の変形振動における腹が現れることを特徴とする請求項３に記載の駆動装置。
5. 　前記一の方向に沿った軸を回転軸とする前記コイル部の回転方向と前記一の方向に沿った軸を回転軸とする前記被駆動部の回転方向とは、互いに逆になることを特徴とする請求項３に記載の駆動装置。
6. 　前記磁界付与部は、（ｉ）前記コイル部の巻き線の外側に配置される第１磁界付与部と、（ｉｉ）前記コイル部の巻き線の内側に配置される第２磁界付与部とを備えることを特徴とする請求項１に記載の駆動装置。
7. 　前記第１磁界付与部は、磁石であり、前記第２磁界付与部は、ヨークであることを特徴とする請求項６に記載の駆動装置。

Images