WO2015092938A1 - 駆動装置 - Google Patents
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Abstract
Description
本実施形態の駆動装置は、第1ベース部と、第2ベース部と、第3ベース部と、前記第1ベース部と前記第2ベース部とを連結する第1弾性部と、前記第2ベース部と前記第3ベース部とを連結する第2弾性部と、駆動可能な態様で前記第1ベース部に支持される第1被駆動部と、駆動可能な態様で前記第3ベース部に支持される第2被駆動部とを備える。
本実施形態の駆動装置の他の態様では、前記第2ベース部に対して、前記第1被駆動部及び前記第2被駆動部を駆動させるための駆動力を加える印加部を更に備え、前記第1被駆動部は、前記第2ベース部から前記第1弾性部を介して伝達される前記駆動力により駆動し、前記第2被駆動部は、前記第2ベース部から前記第2弾性部を介して伝達される前記駆動力により駆動する。
本実施形態の駆動装置の他の態様では、前記第2ベース部に対して、前記第1被駆動部及び前記第2被駆動部を駆動させるための駆動力を加える印加部を更に備え、前記第2ベース部は、前記駆動力に起因して第1回転方向に向かって回転するように駆動し、前記第1ベース部及び前記第3ベース部の夫々は、前記第2ベース部の回転に伴って、前記第1回転方向とは逆向きの第2回転方向に向かって回転するように駆動し、前記第1被駆動部は、前記第1ベース部の回転に伴って、前記第2回転方向に向かって回転するように駆動し、前記第2被駆動部は、前記第3ベース部の回転に伴って、前記第2回転方向に向かって回転するように駆動する。
本実施形態の駆動装置の他の態様では、前記第1被駆動部及び前記第2被駆動部は、同一の又は同期した駆動態様で駆動する。
本実施形態の駆動装置の他の態様では、前記第1被駆動部及び前記第2被駆動部は、同一の回転方向に向かって且つ同一の回転角度で同期しながら回転するように駆動する。
初めに、図1を参照して、本実施例のMEMSスキャナ1の基本構成について説明する。図1は、本実施例のMEMSスキャナ1の基本構成を概念的に示す平面図及び側面図である。
続いて、図2から図5を参照して、本実施例のMEMSスキャナ1の動作の態様(具体的には、第1ミラー131及び第2ミラー132の回転動作の態様)について説明する。尚、以下では、X軸を回転軸とする第1ミラー131及び第2ミラー132の回転動作、並びに、Y軸を回転軸とする第1ミラー131及び第2ミラー132の回転動作の夫々について順に説明する。
初めに、図2及び図3を参照して、X軸を回転軸とする第1ミラー131及び第2ミラー132の回転動作の態様について説明する。図2及び図3は、夫々、X軸を回転軸とする第1ミラー131及び第2ミラー132の回転動作の態様を示す平面図及び側面図である。
続いて、図4及び図5を参照して、Y軸を回転軸とする第1ミラー131及び第2ミラー132の回転動作の態様について説明する。図4及び図5は、夫々、Y軸を回転軸とする第1ミラー131及び第2ミラー132の回転動作の態様を示す平面図及び側面図である。
111 第1フレーム
112 第2フレーム
113 第3フレーム
121a、121b X軸駆動用トーションバー
122 第1連結用トーションバー
123 第1配線用トーションバー
124 第2連結用トーションバー
125 第2配線用トーションバー
126a、126b 第1Y軸駆動用トーションバー
127a、127b 第2Y軸駆動用トーションバー
131 第1ミラー
132 第2ミラー
140 駆動源部
141 コイル
142a、142b X軸駆動用磁極
143a、143b Y軸駆動用磁極
144 配線
Claims (5)
- 第1ベース部と、
第2ベース部と、
第3ベース部と、
前記第1ベース部と前記第2ベース部とを連結する第1弾性部と、
前記第2ベース部と前記第3ベース部とを連結する第2弾性部と、
駆動可能な態様で前記第1ベース部に支持される第1被駆動部と、
駆動可能な態様で前記第3ベース部に支持される第2被駆動部と
を備えることを特徴とする駆動装置。 - 前記第2ベース部に対して、前記第1被駆動部及び前記第2被駆動部を駆動させるための駆動力を加える印加部を更に備え、
前記第1被駆動部は、前記第2ベース部から前記第1弾性部を介して伝達される前記駆動力により駆動し、
前記第2被駆動部は、前記第2ベース部から前記第2弾性部を介して伝達される前記駆動力により駆動する請求項1に記載の駆動装置。 - 前記第2ベース部に対して、前記第1被駆動部及び前記第2被駆動部を駆動させるための駆動力を加える印加部を更に備え、
前記第2ベース部は、前記駆動力に起因して第1回転方向に向かって回転するように駆動し、
前記第1ベース部及び前記第3ベース部の夫々は、前記第2ベース部の回転に伴って、前記第1回転方向とは逆向きの第2回転方向に向かって回転するように駆動し、
前記第1被駆動部は、前記第1ベース部の回転に伴って、前記第2回転方向に向かって回転するように駆動し、
前記第2被駆動部は、前記第3ベース部の回転に伴って、前記第2回転方向に向かって回転するように駆動する
ことを特徴とする請求項1又は2に記載の駆動装置。 - 前記第1被駆動部及び前記第2被駆動部は、同一の又は同期した駆動態様で駆動する
ことを特徴とする請求項1から3のいずれか一項に記載の駆動装置。 - 前記第1被駆動部及び前記第2被駆動部は、同一の回転方向に向かって且つ同一の回転角度で同期しながら回転するように駆動する
ことを特徴とする請求項1から4のいずれか一項に記載の駆動装置。
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