JP2008228436A - アクチュエータ、光スキャナおよび画像形成装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】アクチュエータ1は、枠状の駆動部材211を備える第1の振動系21と、駆動部材211の内側に設けられた可動板221を備える第2の振動系22と、駆動部材211に設けられた1対の軟磁性体61、62と、軟磁性体61、62を磁化するためのコイル63、64とを有し、軟磁性体61、62は、駆動部材211のX軸およびY軸のそれぞれの軸から離間した位置に設けられ、互いに周波数の異なる第1の電圧と第2の電圧とが重畳された電圧をコイル63、64に印加することで、可動板221をX軸およびY軸のそれぞれの軸まわりに回動させるように構成されている。
【選択図】図1
Description
特許文献1の光スキャナは、枠状の外側可動板と、この外側可動板をX軸まわりに遥動(回動)可能に軸支する1対の第1のトーションバーと、外側可動板の内側に設けられた内側可動板と、この内側可動板をX軸に直交するY軸まわりに遥動可能に軸支する1対の第2のトーションバーとを備えるスキャナ本体と、外側可動板および内側可動板のそれぞれに設けられた1対の駆動コイルと、スキャナ本体を介して互いに対向するように設けられた1対の永久磁石とを有している。
しかし、このような光スキャナは、光スキャナ本体を介して互いに対向するように1対の永久磁石を設けているため、光スキャナの小型化を図ることが難しい。また、駆動コイルを外側可動板および内側可動板のそれぞれに1つずつ設けているため、低コスト化を図ることが難しい。
本発明のアクチュエータは、枠状の駆動部材と、前記駆動部材をX軸まわりに回動可能とするように、前記駆動部材を両持ち支持する1対の第1の軸部材とで構成された第1の振動系と、
前記駆動部材の内側に設けられた可動板と、前記可動板を前記X軸に直交するY軸まわりに回動可能とするように、前記可動板を前記駆動部材に両持ち支持する1対の第2の軸部材とで構成された第2の振動系と、
前記駆動部材に設けられた軟磁性体と、該軟磁性体を磁化するためのコイルと、該コイルに電圧を印加する電圧印加手段とを備える駆動手段とを有し、
前記軟磁性体は、前記可動板の平面視にて、前記駆動部材の前記X軸および前記Y軸のそれぞれの軸から離間した位置に設けられ、
前記電圧印加手段は、周期的に変化し、その周波数が互いに異なる第1の電圧と第2の電圧とを発生させる電圧発生部と、前記第1の電圧と前記第2の電圧とを重畳する電圧重畳部とを備え、前記電圧重畳部で重畳された電圧を前記コイルに印加することにより、前記可動板を前記第1の電圧の周波数で前記X軸まわりに回動させつつ、前記第2の電圧の周波数で前記Y軸まわりに回動させるように構成されていることを特徴とする。
これにより、低コスト化および小型化を図るとともに、前記可動板を前記第1の電圧の周波数で前記X軸まわりに回動させつつ、前記第2の電圧の周波数で前記Y軸まわりに回動させることのできるアクチュエータを提供することができる。
これにより、円滑に、前記可動板を前記第1の電圧の周波数で前記X軸まわりに回動させつつ、前記第2の電圧の周波数で前記Y軸まわりに回動させることができる。
これにより、効果的に、前記可動板を前記第1の電圧の周波数で前記X軸まわりに回動させつつ、前記第2の電圧の周波数で前記Y軸まわりに回動させることができる。
本発明のアクチュエータでは、前記軟磁性体は、前記可動板の平面視にて、前記X軸と前記Y軸とで区切られる4つの領域のうち、前記X軸と前記Y軸との交点に対して点対称の関係にある2つの領域内に位置するように1対設けられ、前記コイルは、前記各軟磁性体に対向するように1対設けられていることが好ましい。
これにより、前記1対の軟磁性体を交互に磁化することで、円滑に、前記可動板を前記第1の電圧の周波数で前記X軸まわりに回動させつつ、前記第2の電圧の周波数で前記Y軸まわりに回動させることができる。
これにより、前記1対の軟磁性体を前記駆動部材に固着することによって、前記可動板の平面視にて、前記駆動部材の重心が前記X軸と前記Y軸との交点からずれてしまうことを防止することができる。
これにより、極めて円滑に、前記可動板を前記第1の電圧の周波数で前記X軸まわりに回動させつつ、前記第2の電圧の周波数で前記Y軸まわりに回動させることができる。
これにより、アクチュエータの製造の簡易化を図ることができる。
本発明のアクチュエータでは、前記1対の軟磁性体は、前記駆動部材の前記コイルと対向する面に設けられていることが好ましい。
これにより、前記各軟磁性体とそれに対応する前記コイルとの離間距離を短くすることができる。その結果、アクチュエータの小型化および省電力化を図ることができる。
これにより、前記各コイルから発生する磁界により、効率的に前記各軟磁性体を磁化させることができる。その結果、アクチュエータの小型化および省電力化を図ることができる。
これにより、アクチュエータを例えば、レーザープリンタ、バーコードリーダー、走査型共焦点レーザー顕微鏡、イメージング用ディスプレイ等の画像形成装置に備える光学デバイスとして用いることができる。
前記駆動部材の内側に設けられ、光反射性を有する光反射部を備えた可動板と、前記可動板を前記X軸に直交するY軸まわりに回動可能とするように、前記可動板を前記駆動部材に両持ち支持する1対の第2の軸部材とで構成された第2の振動系と、
前記駆動部材に設けられた軟磁性体と、該軟磁性体を磁化するためのコイルと、該コイルに電圧を印加する電圧印加手段とを備える駆動手段とを有し、
前記軟磁性体は、前記可動板の平面視にて、前記駆動部材の前記X軸および前記Y軸のそれぞれの軸から離間した位置に設けられ、
前記電圧印加手段は、周期的に変化し、その周波数が互いに異なる第1の電圧と第2の電圧とを発生させる電圧発生部と、前記第1の電圧と前記第2の電圧とを重畳する電圧重畳部とを備え、前記電圧重畳部で重畳された電圧を前記コイルに印加することにより、前記可動板を前記第1の電圧の周波数で前記X軸まわりに回動させつつ、前記第2の電圧の周波数で前記Y軸まわりに回動させ、前記光反射部で反射した光を2次元的に走査するように構成されていることを特徴とする。
これにより、低コスト化および小型化を図るとともに、前記可動板を前記第1の電圧の周波数で前記X軸まわりに回動させつつ、前記第2の電圧の周波数で前記Y軸まわりに回動させ、前記光反射部で反射した光を2次元的に走査することのできる光スキャナを提供することができる。
前記駆動部材の内側に設けられ、光反射性を有する光反射部を備えた可動板と、前記可動板を前記X軸に直交するY軸まわりに回動可能とするように、前記可動板を前記駆動部材に両持ち支持する1対の第2の軸部材とで構成された第2の振動系と、
前記駆動部材に設けられた軟磁性体と、該軟磁性体を磁化するためのコイルと、該コイルに電圧を印加する電圧印加手段とを備える駆動手段とを有し、
前記軟磁性体は、前記可動板の平面視にて、前記駆動部材の前記X軸および前記Y軸のそれぞれの軸から離間した位置に設けられ、
前記電圧印加手段は、周期的に変化し、その周波数が互いに異なる第1の電圧と第2の電圧とを発生させる電圧発生部と、前記第1の電圧と前記第2の電圧とを重畳する電圧重畳部とを備え、前記電圧重畳部で重畳された電圧を前記コイルに印加することにより、前記可動板を前記第1の電圧の周波数で前記X軸まわりに回動させつつ、前記第2の電圧の周波数で前記Y軸まわりに回動させ、前記光反射部で反射した光を2次元的に走査するように構成された光スキャナを備えることを特徴とする。
これにより、低コスト化および小型化を図るとともに、前記可動板を前記第1の電圧の周波数で前記X軸まわりに回動させつつ、前記第2の電圧の周波数で前記Y軸まわりに回動させ、前記光反射部で反射した光を2次元的に走査することのできる光スキャナを備えた画像形成装置を提供することができる。
図1は、本発明のアクチュエータの好適な実施形態を示す平面図、図2は、図1中のA−A線断面図、図3は、図1に示すアクチュエータが備える駆動手段を示すブロック図、図4は、図3に示す第1の電圧発生部および第2の電圧発生部での発生電圧の一例を示す図である。なお、以下では、説明の便宜上、図1中の紙面手前側を「上」、紙面奥側を「下」、右側を「右」、左側を「左」と言い、図2中の上側を「上」、下側を「下」、右側を「右」、左側を「左」と言う。
図1に示すように、基体2は、枠状の支持部23と、支持部23に支持された第1の振動系21と、第1の振動系21に支持された第2の振動系22とを備えている。
駆動部材211の内側に形成された可動板221は、その平面視にて、円形状をなしている。だたし、可動板221の形状は、特に限定されない。可動板221の上面には、光反射性を有する光反射部221aが形成されている。このような可動板221は、1対の第2の軸部材222、223によって、駆動部材211に両持ち支持されている。
支持基板3と基体2との間に形成された接合層4は、例えば、ガラス、シリコン、またはSiO2を主材料として構成されている。ただし、このような接合層4は、省略してもよい。すなわち、基体2と支持基板3とが直接接合されているものであってよい。
図1に示すように、1対の軟磁性体61、62は、それぞれ、駆動部材211の下面に固着されている。つまり、1対の軟磁性体61、62は、駆動部材211の同一面上に固着されている。これにより、アクチュエータ1の製造の簡易化を図ることができる。
だたし、1対の軟磁性体61、62の配置については、1対の軟磁性体61、62をコイル63、64により磁化することができれば、特に限定されず、例えば、1対の軟磁性体61、62がそれぞれ駆動部材211の上面に固着されていてもよいし、1対の軟磁性体61、62のうちの一方の軟磁性体が駆動部材211の下面に固着され、他方の軟磁性体が駆動部材211の上面に固着されていてもよい。
具体的には、図1に示すように、軟磁性体62は、駆動部材211の、回動中心軸Xに対して第2の軸部材222側で、かつ、回動中心軸Yに対して第1の軸部材213側の部位に固着されており、軟磁性体61は、駆動部材211の、回動中心軸Xに対して第2の軸部材223側で、かつ、回動中心軸Yに対して第1の軸部材212側の部位に固着されている。
このような軟磁性体61、62は、それぞれ、軟磁性材料を主材料として構成されている。このような軟磁性材料としては、特に限定されず、Fe、各種Fe合金(ケイ素鉄、パーマロイ、アモルファス、センダスト)などが挙げられる。
第1の電圧V11、V12は、それぞれ、パルス状に印加されている。また、第1の電圧V11、V12は、互いに同一波形であるが、第1の電圧V12は、第1の電圧V11に対し180°位相がずれている。このような第1の電圧V11、V12により、アクチュエータ1は、効果的に光を垂直走査(副走査)することができる。すなわち、効果的に、可動板221を回動中心軸X軸まわりに回動させることができる。だたし、第1の電圧V11、V12のそれぞれの波形は、可動板221を回動中心軸Xまわりに回動させることができれば、これに限定されない。
第2の電圧V21、V22は、それぞれ、パルス状に印加されている。また、第2の電圧V21、V22は、互いに同一波形であるが、第2の電圧V22は、第2の電圧V21に対し180°位相がずれている。このような第2の電圧V21、V22により、アクチュエータ1は、効果的に光を水平走査(主走査)することができる。すなわち、効果的に、可動板221を回動中心軸Y軸まわりに回動させることができる。だたし、第2の電圧V21、V22のそれぞれの波形は、可動板221を回動中心軸Yまわりに回動させることができれば、これに限定されない。
電圧重畳部653は、コイル63に電圧を印加するための加算器653aと、コイル64に電圧を印加するための加算器653bとを備えている。
加算器653bは、第1の電圧発生部651から第1の電圧V12を受けるとともに、第2の電圧発生部652から第2の電圧V22を受け、これらを重畳しコイル64に印加するようになっている。
以上より、アクチュエータ1にあっては、第1の電圧V11と第2の電圧V21とを重畳させた電圧V31をコイル63に印加し、第1の電圧V12と第2の電圧V22とを重畳させた電圧V32をコイル64に印加することで、可動板221を回動中心軸Xまわりに第1の電圧V11、V12の周波数で回動させつつ、回動中心軸Yまわりに第2の電圧のV21、V22の周波数で回動させることができる。これにより、低コスト化および小型化を図るとともに、可動板221を回動中心軸Xおよび回動中心軸Yのそれぞれの軸まわりに回動させることができる。
また、駆動部材211に軟磁性体61、62を設け、軟磁性体61、62に対向するようにコイル63、64を設けることで、通電によってコイル63、64から発生する熱による基体2の熱膨張を抑制することができる。すなわち、アクチュエータ1は、長時間の連続使用であっても、所望の振動特性を発揮することができる。
さらに、1対の軟磁性体61、62が、図1の平面視にて、交点Gに対して点対称となるように駆動部材211に固着されているため、より円滑に、可動板221を第1の電圧V11、V12の周波数で回動中心軸Xまわりに回動させつつ、第2の電圧V21、V22の周波数で回動中心軸Yまわりに回動させることができる。
光源装置91は、赤色光を照出する赤色光源装置911と、青色光を照出する青色光源装置912と、緑色光を照出する緑色光源装置913とを備えている。
各ダイクロイックミラー92は、赤色光源装置911、青色光源装置912、緑色光源装置913のそれぞれから照出された光を合成する光学素子である。
なお、図5中では、ダイクロイックミラー92で合成された光をアクチュエータ1によって2次元的に走査した後、その光を固定ミラーMで反射させてからスクリーンSに画像を形成するように構成されているが、固定ミラーMを省略し、アクチュエータ1によって2次元的に走査された光を直接スクリーンSに照射してもよい。
また、前述した実施形態では、駆動部材に1対の軟磁性体が固着されたものについて説明したが、可動板を回動中心軸Xおよび回動中心軸Yのそれぞれの軸まわりに回動させることができれば、軟磁性体の数は、限定されない。例えば、1つの軟磁性体が、可動板の平面視にて、回動中心軸Xおよび回動中心軸Yのそれぞれの軸から離間した位置に設けられていてもよい。また、3つ以上の軟磁性体が設けられていてもよい。この場合、複数の軟磁性体のうちの少なくとも1つの軟磁性体が、回動中心軸Xおよび回動中心軸Yのそれぞれの軸から離間した位置に設けられていればよい。
Claims (12)
- 枠状の駆動部材と、前記駆動部材をX軸まわりに回動可能とするように、前記駆動部材を両持ち支持する1対の第1の軸部材とで構成された第1の振動系と、
前記駆動部材の内側に設けられた可動板と、前記可動板を前記X軸に直交するY軸まわりに回動可能とするように、前記可動板を前記駆動部材に両持ち支持する1対の第2の軸部材とで構成された第2の振動系と、
前記駆動部材に設けられた軟磁性体と、該軟磁性体を磁化するためのコイルと、該コイルに電圧を印加する電圧印加手段とを備える駆動手段とを有し、
前記軟磁性体は、前記可動板の平面視にて、前記駆動部材の前記X軸および前記Y軸のそれぞれの軸から離間した位置に設けられ、
前記電圧印加手段は、周期的に変化し、その周波数が互いに異なる第1の電圧と第2の電圧とを発生させる電圧発生部と、前記第1の電圧と前記第2の電圧とを重畳する電圧重畳部とを備え、前記電圧重畳部で重畳された電圧を前記コイルに印加することにより、前記可動板を前記第1の電圧の周波数で前記X軸まわりに回動させつつ、前記第2の電圧の周波数で前記Y軸まわりに回動させるように構成されていることを特徴とするアクチュエータ。 - 前記第2の電圧の周波数が前記第2の振動系の共振周波数と等しく、前記第1の電圧の周波数が前記第1の振動系の共振周波数と異なっている請求項1に記載のアクチュエータ。
- 前記第1の電圧および前記第2の電圧のそれぞれは、パルス状に印加されている請求項1または2に記載のアクチュエータ。
- 前記軟磁性体は、前記可動板の平面視にて、前記X軸と前記Y軸とで区切られる4つの領域のうち、前記X軸と前記Y軸との交点に対して点対称の関係にある2つの領域内に位置するように1対設けられ、前記コイルは、前記各軟磁性体に対向するように1対設けられている請求項1ないし3のいずれかに記載のアクチュエータ。
- 前記1対の軟磁性体は、前記可動板の平面視にて、前記X軸と前記Y軸との交点に対して点対称となるように設けられている請求項4に記載のアクチュエータ。
- 前記1対の軟磁性体を互いに結ぶ線分は、前記可動板の平面視にて、前記X軸または前記Y軸に対して30〜60度傾斜している請求項4または5に記載のアクチュエータ。
- 前記1対の軟磁性体は、前記駆動部材の同一面上に設けられている請求項4ないし6のいずれかに記載のアクチュエータ。
- 前記1対の軟磁性体は、前記駆動部材の前記コイルと対向する面に設けられている請求項7に記載のアクチュエータ。
- 前記1対のコイルは、それぞれ、前記軟磁性体の直下に設けられている請求項4ないし8のいずれかに記載のアクチュエータ。
- 前記可動板は、光反射性を有する光反射部を備えている請求項1ないし9のいずれかに記載のアクチュエータ。
- 枠状の駆動部材と、前記駆動部材をX軸まわりに回動可能とするように、前記駆動部材を両持ち支持する1対の第1の軸部材とで構成された第1の振動系と、
前記駆動部材の内側に設けられ、光反射性を有する光反射部を備えた可動板と、前記可動板を前記X軸に直交するY軸まわりに回動可能とするように、前記可動板を前記駆動部材に両持ち支持する1対の第2の軸部材とで構成された第2の振動系と、
前記駆動部材に設けられた軟磁性体と、該軟磁性体を磁化するためのコイルと、該コイルに電圧を印加する電圧印加手段とを備える駆動手段とを有し、
前記軟磁性体は、前記可動板の平面視にて、前記駆動部材の前記X軸および前記Y軸のそれぞれの軸から離間した位置に設けられ、
前記電圧印加手段は、周期的に変化し、その周波数が互いに異なる第1の電圧と第2の電圧とを発生させる電圧発生部と、前記第1の電圧と前記第2の電圧とを重畳する電圧重畳部とを備え、前記電圧重畳部で重畳された電圧を前記コイルに印加することにより、前記可動板を前記第1の電圧の周波数で前記X軸まわりに回動させつつ、前記第2の電圧の周波数で前記Y軸まわりに回動させ、前記光反射部で反射した光を2次元的に走査するように構成されていることを特徴とする光スキャナ。 - 枠状の駆動部材と、前記駆動部材をX軸まわりに回動可能とするように、前記駆動部材を両持ち支持する1対の第1の軸部材とで構成された第1の振動系と、
前記駆動部材の内側に設けられ、光反射性を有する光反射部を備えた可動板と、前記可動板を前記X軸に直交するY軸まわりに回動可能とするように、前記可動板を前記駆動部材に両持ち支持する1対の第2の軸部材とで構成された第2の振動系と、
前記駆動部材に設けられた軟磁性体と、該軟磁性体を磁化するためのコイルと、該コイルに電圧を印加する電圧印加手段とを備える駆動手段とを有し、
前記軟磁性体は、前記可動板の平面視にて、前記駆動部材の前記X軸および前記Y軸のそれぞれの軸から離間した位置に設けられ、
前記電圧印加手段は、周期的に変化し、その周波数が互いに異なる第1の電圧と第2の電圧とを発生させる電圧発生部と、前記第1の電圧と前記第2の電圧とを重畳する電圧重畳部とを備え、前記電圧重畳部で重畳された電圧を前記コイルに印加することにより、前記可動板を前記第1の電圧の周波数で前記X軸まわりに回動させつつ、前記第2の電圧の周波数で前記Y軸まわりに回動させ、前記光反射部で反射した光を2次元的に走査するように構成された光スキャナを備えることを特徴とする画像形成装置。
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