JP4928301B2 - 揺動体装置、その駆動方法、光偏向器、及び光偏向器を用いた画像表示装置 - Google Patents
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Description
IBMJ.RES. DEVELOP., VOL.24,NO5,9,1980.P631-637
実施形態1を図を用いて説明する。図1(a)と図2(a)は、本発明の光偏向器の実施形態1とその変形例の構成を示す上面図である。図1(b)は、図1(a)の実施形態の構成を示すA‐A’断面図である。図2(b)は、図2(a)の変形例の構成を示す図2(a)の断面図である。図3は、図1(a)と図2(a)に示す光偏向器のコイルが発生する磁場方向を説明する図である。図4(a)乃至(c)は電流信号を説明する図である。図5(b)乃至(d)は、図5(a)の破線A‐A’における断面を用いて駆動方法を説明する図である。
実施形態2を説明する。本実施形態は、図6と図7に示すジンバル構造を有する光偏向器に係る。図6は本実施形態の光偏向器の構成を示す上面図、図7は図6の光偏向器のA‐A’断面図である。本実施形態は、1つの局在したコイル510を備える。
実施形態3を説明する。本実施形態は、図8に示すジンバル構造を有する光偏向器の例である。図8(a)は本実施形態の光偏向器の構成を示す上面図、図8(b)は一部の構成部材を不図示とした下面図、図8(c)はこの光偏向器のB‐B’断面図である。図9と図10は、夫々、永久磁石の2つの配置例を示す一部の構成部材を不図示とした上面図である。図11と図12は、夫々、本実施形態の駆動方法を説明する図である。図13は駆動電流信号を説明する図である。更に、図14は本実施形態の光偏向器の2次元走査を説明する図、図15は本実施形態の電流印加手段である駆動回路を説明する図である。
図8に示した本実施形態において、電流2及び電流3を矢印の正方向へ印加するとき、コイル606、607、609、610には夫々図11(a)に示すような磁場1乃至4を生じる。このとき、各コイルに対向する位置に配置される永久磁石614と磁場1、磁場4は電磁力により引き合い、また永久磁石614と磁場2、磁場3は反発し合う。従って、図11(c)に示す様に、可動ミラー601及びジンバル602には、第1のトーションバー603を軸とした矢印方向のねじり回転力が働き、角変位する。同様の理由により、電流2及び電流3を矢印とは逆の方向へ印加するときは、図11(b)に示すような磁場1乃至4を生じ、図11(d)に示す様に、図11(c)と比して逆方向のねじり回転力が働き角変位する。
実施形態4を説明する。本実施形態は、図16に示すジンバル構造を有する光偏向器の例である。図16(a)は本実施形態の光偏向器の構成を示す上面図であり、図16(b)は一部の構成部材を不図示とした下面図である。図16(c)は、図16の光偏向器のc‐c’断面図である。図17は、永久磁石の配置例を示す一部の構成部材を不図示とした上面図である。
実施形態5を説明する。本実施形態では、図18と図19に示すジンバル構造を有する光偏向器を設計、製作した。本実施形態は、実施形態1で説明した構造に薄膜構造体1101、1102を付加したことを特徴する。図18は本実施形態の光偏向器の構成を示す上面図、図19は図18の光偏向器のA‐A’断面図である。図20は、薄膜構造体の効果を説明する図である。これらの図では、コイルと薄膜構造体以外の要素には符号を付していない。
(1)コイルとジンバルの間に生じる形成時の残留応力による撓みと、薄膜構造体とジンバルの間に生じる形成時の残留応力による撓みとが、ミラーと第1及び第2のトーションバーにおいて打ち消し合って、撓みを生じない。また、(2)コイルに電流を印加することで生じる熱によってジンバルとの間に生じる熱膨張変形と、薄膜構造体とジンバルとの間に生じる熱膨張変形とが、ミラーと第1及び第2のトーションバーにおいて打ち消し合って、撓みを生じない。これにより、第1及び第2のトーションバーによる回転軸の位置が変化せず、ミラーの平坦性が維持される。この模様が図 20(a)に示されている。
実施形態6は、本発明による光偏向器を用いた画像表示装置である画像表示装置の例である。図21に本実施形態の構成を示す。本実施形態の画像表示装置では、光源変調駆動部1001から出た変調信号1002により、直接変調光源1003の変調を行なう。ここでは、直接変調光源1003として、赤色の半導体レーザーを用いた。直接変調光源1003は、赤色、青色、緑色の直接変調可能な光源を用い、これらを混色光学系にて混色して用いてもよい。直接変調光源1003から直接変調された出力光1004は、光偏向器1005の反射面に照射される。光偏向器1005により偏向された反射光は、補正光学系1006を通って、画像表示体1007上に画像として表示される。補正光学系1006は、共振走査による画像の歪みを補正する光学系である。
102、504、602 第1の揺動体(可動ミラー)
103、506、603 第1のトーションスプリング
104、508、604 支持体
105、507、605 第2のトーションスプリング
106、107、510、606、607、609、610、1103、1104 コイル
110、513、614 磁場発生手段(永久磁石)
701、702、703、704 電流印加手段(トランジスタ)
1003 光源(直接変調光源)
1005 揺動体装置(光偏向器)
1007 光照射面(画像表示体)
Claims (10)
- 第1の揺動体と、
前記第1の揺動体を第1のトーションスプリングにより第1の回転軸の回りにねじり回転可能に支持する第2の揺動体と、
前記第2の揺動体を第2のトーションスプリングにより前記第1の揺動体の第1の回転軸と角度を成す第2の回転軸の回りにねじり回転可能に支持する支持体と、
前記第2の揺動体に配置されるコイルと、
前記コイルに電流信号を印加する電流印加手段と、
前記コイルに磁場を作用させる磁場発生手段と、
を有する揺動体装置であって、
前記コイルが、前記第1の揺動体を周回せず、且つ前記第1及び第2の回転軸の延長線により4分割された前記第2の揺動体の領域の少なくとも1つに局在して設けられる、
ことを特徴とする揺動体装置。 - 前記コイルが、2つのコイルからなり、
前記2つのコイルが、夫々、前記4分割された領域のうち一対の対角な位置関係にある領域に配置される、
ことを特徴とする請求項1に記載の揺動体装置。 - 2つの薄膜構造体を有し、
前記2つのコイルが、前記第2の揺動体の一方の面に配置され、
前記2つの薄膜構造体が、前記第2の揺動体の他方の面において、前記コイルが形成される領域と異なる他対の対角な位置関係にある領域に局在して設けられる、
ことを特徴とする請求項2に記載の揺動体装置。 - 前記コイルが、第1のコイルと第2のコイルと第3のコイルと第4のコイルからなり、
前記4分割された領域のうち、第1のコイルと第2のコイルが一対の対角な位置関係にある領域に配置され、第3のコイルと第4のコイルが他対の対角な位置関係にある領域に配置される、
ことを特徴とする請求項1に記載の揺動体装置。 - 前記第1のコイルと前記第2のコイルが電気的に接続され、前記第3のコイルと前記第4のコイルとが電気的に接続されている、
ことを特徴とする請求項4に記載の揺動体装置。 - 前記磁場発生手段が永久磁石である、
ことを特徴とする1乃至5のいずれかに記載の揺動体装置。 - 前記電流信号が、前記第1の揺動体を前記第2の揺動体に対してねじり回転させる第1の駆動電流信号と、前記第2の揺動体を前記支持体に対してねじり回転させる第2の駆動電流信号から成る、
ことを特徴とする請求項1乃至6のいずれかに記載の揺動体装置。 - 請求項1乃至7のいずれかに記載の揺動体装置の前記第1の揺動体に、光偏向素子を設けたことを特徴とする光偏向器。
- 光源と、請求項8に記載の光偏向器として構成される揺動体装置と、光照射面とを有し、
前記光源からの光を前記揺動体装置により偏向し、該光の少なくとも一部を光照射面上に入射させることを特徴とする画像表示装置。 - 請求項4または5に記載の揺動体装置の駆動方法であって、
前記電流信号を、前記第1の揺動体を前記第2の揺動体に対してねじり回転させる第1の周期を有する周期信号の第1の駆動電流信号と、前記第2の揺動体を前記支持体に対してねじり回転させる第2の周期を有する周期信号の第2の駆動電流信号とから成る様にし、
前記第1のコイルと前記第2のコイルには、前記第1の駆動電流信号と前記第2の駆動電流信号とを加算して重ね合わせた電流信号を印加し、前記第3のコイルと前記第4のコイルには、前記第1の駆動電流信号から前記第2の駆動電流信号を減算して重ね合わせた電流信号を印加する、
ことを特徴とする揺動体装置の駆動方法。
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