JP7386671B2 - 駆動装置及び駆動方法 - Google Patents

Description

本発明は、光走査に用いられる駆動装置及び駆動方法に関し、特に可動部にコイルを形成して磁界を与える駆動装置等に関する。

光走査用の駆動装置として、例えば特許文献１、２（下記の先行技術文献欄参照）に示すように、外側から順に、固定外枠である支持体と、可動内枠とも呼ばれる外側の回動体と、可動板とも呼ばれる内側の回動体とを備え、内側の回動体を第１回転軸の周りに回転可能に支持し、外側の回動体を第２回転軸の周りに回転可能に支持するものが公知となっている。

図７（Ａ）に示すように、特許文献１の装置では、内外の回動体ＲＢ１，ＲＢ２のうち外側の回動体ＲＢ２においてその上面にコイルＣＲ２が形成されている。この装置では、外側の回動体ＲＢ２に設けたコイルＣＲ２の外側から、２つの回転軸ＲＸ１，ＲＸ２間の斜め方向に平行な方向の磁界ＭＦを付与しつつ、コイルＣＲ２に周波数が異なる２成分を含む駆動信号を供給することによって、外側の回動体ＲＢ２を第２回転軸ＲＸ２の周りに周期的に回転させるとともに、内側の回動体ＲＢ１を第１回転軸ＲＸ１の周りに周期的に回転させる。これにより、内側の回動体ＲＢ１上に形成されたミラーＭＲを２つの回転軸ＲＸ１，ＲＸ２の周りに周期的に往復回転させることができ、ミラーＭＲの２軸走査を可能にしている。

図８（Ａ）～（Ｃ）に示すように、特許文献２の装置では、外側の回動体ＲＢ２において、２つのコイル回路ＣＫ１，ＣＫ２が表裏に分けて形成されている。具体的には、外側の回動体ＲＢ２の表側において、コイル回路ＣＫ１として、一対の連結されたコイルＣＥ１１，ＣＥ１２が一方の対角位置に振り分けて配置され（図８（Ａ）参照）、外側の回動体ＲＢ２の裏側において、別のコイル回路ＣＫ２として、一対の連結されたコイルＣＥ２１，ＣＥ２２が他方の対角位置に振り分けて配置されている（図８（Ｂ）参照）。この装置では、コイル回路ＣＫ１，ＣＫ２に駆動信号を供給することにより、詳細な説明を省略するが、内側の回動体ＲＢ１上に形成されたミラーＭＲを２つの回転軸ＲＸ１，ＲＸ２の周りに周期的に往復回転させることができるとの説明がなされている。

しかしながら、上記特許文献１、２の装置については、以下に説明するような問題がある。

図７（Ａ）を参照して、特許文献１の装置では、磁界ＭＦを与えるための磁石（不図示）が支持体ＳＦの外側に離れて配置されるため、コイルＣＲ２の位置で磁束密度が低下し、駆動効率が悪くなる。また、どちらの回転軸ＲＸ１，ＲＸ２に対しても傾いた磁界ＭＦが付与されるため、駆動効率が悪くなる。さらに、例えば回動体ＲＢ２を往復回転可能に支持するトーションアームＴＢ２によって回転規制が行われていても、回転軸ＲＸ１，ＲＸ２に対して傾いた斜め軸の周りの回転力が与えられて、回動体ＲＢ２が規制されている方向にも僅かに回転し、光走査の軌跡が例えば平行四辺形に歪んでしまうという問題もある。

図７（Ｂ）及び７（Ｃ）を参照して、特許文献１の装置における光走査の軌跡の歪みについて説明する。図７（Ｂ）に示すように、例えば外側の回動体ＲＢ２に対しては、各回転軸ＲＸ１，ＲＸ２に対して傾いた斜め軸ＳＸの周りの回転力が与えられる。より詳細には、コイルＣＲ２の紙面に沿った上端部では紙面に垂直な上向きの力Ｆが発生するとともに、コイルＣＲ２の紙面に沿った下端部では紙面に垂直な下向きの力Ｆが発生し、回転軸ＲＸ２の周りに回転力が発生している。また、コイルＣＲ２の紙面に沿った右端部では紙面に垂直な上向きの力ＦＣが発生するとともに、コイルＣＲ２の紙面に沿った左端部では紙面に垂直な下向きの力ＦＣが発生し、回転軸ＲＸ１の周りに回転力が発生している。ここで、図７（Ｃ）に示すように、回転軸ＲＸ２の周りの回転は、トーションアームＴＢ２によって回転力に応じた既定の振れ角まで許容されるが、回転軸ＲＸ１の周りの回転は、トーションアームＴＢ２によって規制される。ただし、回転軸ＲＸ１の周りの回転力は、力ＦＣが比較的低速で変化することもあってトーションアームＴＢ２を僅かに変形させる。結果的に、回動体ＲＢ２は、回転軸ＲＸ２の周りに大きな振幅ＲＭ２で往復回転しつつ回転軸ＲＸ１の周りに僅かな振幅ＲＭ１で往復回転する。ここで、回動体ＲＢ２の回転軸ＲＸ２の周りの大きな回転と回転軸ＲＸ１の周りの小さな回転とは同期している。よって、ミラーＭＲによる反射光の軌跡も、回転軸ＲＸ１に厳密に平行とならず、回転軸ＲＸ１を基準として回転軸ＲＸ２寄りに僅かに傾いたものとなり、回動体ＲＢ２の内側に配置された回動体ＲＢ１の回転軸ＲＸ１の周りの共振による高速回転も考慮した場合、ミラーＭＲによる反射光の軌跡が全体として平行四辺形のような歪みをもったものとなる。なお、図７（Ｂ）に示すように、一点鎖線で示す回転軸ＲＸ２に関して中央寄りの２対の力ＦＣは、回転軸ＲＸ２を挟んで回転方向が逆向きとなり、上記のようにトーションアームＴＢ２を僅かに変形させるものの力のモーメントとしては相殺され回転力として用いられない。つまり、上記のような装置の場合、回転軸ＲＸ１，ＲＸ２に対して傾いた磁界ＭＦが付与される結果として駆動効率が悪くなるという問題がある。なお、図７（Ｂ）及び７（Ｃ）では、説明の便宜上、回動体ＲＢ２及びコイルＣＲ２を矩形状に表しているが、回動体ＲＢ２等が円形であっても同様の現象が生じる。

図８（Ａ）～８（Ｃ）に示すように、特許文献２の装置では、磁界ＭＦの方向がコイルＣＥ１１，ＣＥ１２，ＣＥ２１，ＣＥ２２のコイル面に垂直であることから、例えばコイルＣＥ１１において例示するように、フレミングの左手の法則による駆動力（ローレンツ力）Ｆｆについては、コイル面に平行な水平方向であって回転軸ＲＸ１，ＲＸ２に平行な方向に形成されることから、回転軸ＲＸ１，ＲＸ２の周りの回転を考えた場合にこのような回転を生じさせる周方向又は接線方向に沿ったものではなく、生じた力もコイル全体では相殺され特定方向の力とならない。コイルＣＥ１１等によってアンペールの法則に従って形成される磁界と、永久磁石ＰＭによって形成される磁界ＭＦとの相互作用によって、コイルＣＥ１１等に対してコイル面に垂直な方向に力を生じさせることができるが、これによって大きな駆動力を得ることが容易でない。隣接する電流間で磁束が相殺され結果的にコイル面に垂直な方向の駆動力が原則として相殺されることもあって、回転軸ＲＸ１，ＲＸ２の周りの回転力が不足し、しかも、後述するように意図しない並進力が発生する可能性がある。なお、上記のように大きな駆動力又は回転力を得ることができない場合、大きな回転角を実現するためには共振に頼らざるを得なくなり、コイルに供給する信号を回動体の共振周波数に対応した周期的信号とせざるを得ない。さらに回動体を非周期的信号（後述する直流成分をバイアスとして付加したもの）によって駆動できないという問題がある。さらに、永久磁石ＰＭの磁極ＰＭａがコイルＣＥ１１，ＣＥ１２，ＣＥ２１，ＣＥ２２や回動体ＲＢ１，ＲＢ２に対向し動作を制限するため、回動体ＲＢ１，ＲＢ２について大きな振り角を実現できないという問題がある。

特許文献２の装置では、一対のコイルＣＥ１１，ＣＥ１２と、別の一対のコイル要素ＣＥ２１，ＣＥ２２とが、同一平面内に配置されておらず、回転軸ＲＸ１，ＲＸ２の周りにおける力の非対称性に起因して並進力が発生し、不要振動を生じさせる可能性がある。図８（Ｄ）及び８（Ｅ）を参照して、外側の回動体ＲＢ２に付与される力について詳細に説明する。回動体ＲＢ２において上側の一方のコイルＣＥ１１に下向きの駆動力Ｆが与えられ、上側の他方のコイルＣＥ１２に上向きの駆動力Ｆが与えられている場合、下側の一方のコイルＣＥ２１に上向きの駆動力Ｆ’（＞Ｆ）が与えられ、下側の他方のコイルＣＥ２２に下向きの駆動力Ｆ’（＞Ｆ）が与えられる。コイルＣＥ１１，ＣＥ１２における磁界ＭＦの強さは、コイルＣＥ２１，ＣＥ２２における磁界ＭＦの強さに比較して、コイルＣＥ１１，ＣＥ１２がコイルＣＥ２１，ＣＥ２２よりも永久磁石ＰＭの磁極ＰＭａから相対的に遠い配置となっていることに起因して、相対的に弱くなっており、駆動力Ｆ，Ｆ’に大小の差が生じている。回転軸ＲＸ２の周りの回転力について考えた場合、上記駆動力Ｆ，Ｆ’によって回動体ＲＢ２に対して反時計回りの回転力が与えられる。ただし、各コイルＣＥ１１，ＣＥ１２，ＣＥ２１，ＣＥ２２に与えられる力Ｆ，Ｆ’は、回転の周方向又は接線方向に沿ったものになっておらず、駆動力Ｆ，Ｆ’のうち周方向の力成分Ｆｒ，Ｆｒ’は、回転に寄与するが、半径方向の力成分Ｆｔ，Ｆｔ’は、回転に寄与しない。ただし、例えば上側のコイルＣＥ１１，ＣＥ１２に関しては、半径方向の力成分Ｆｔの合力に由来して回動体ＲＢ２に対し紙面右側（反ＡＢ方向）に向かう並進の力Ｆｔｔが与えられ、下側のコイルＣＥ２１，ＣＥ２２に関しては、半径方向の力成分Ｆｔ’の合力に由来して回動体ＲＢ２に対し紙面左側（ＡＢ方向）に向かう並進の力Ｆｔｂが与えられる。２つの並進の力Ｆｔｔ，Ｆｔｂは、大きさが異なる上記２つの駆動力Ｆ，Ｆ’に比例した大小関係Ｆｔｔ＜Ｆｔｂを有し、部分的に釣り合って打ち消し合いつつも、ＡＢ方向に向かう並進力Ｆｔｂ－Ｆｔｔが残り、このような並進力又は不要力によって意図しない振動が発生する可能性がある。

特表２００７－５２２５２９号公報 特開２００８－２０３４９７号公報

本発明は、上記背景技術に鑑みてなされたものであり、駆動効率がよく、軌跡の歪みや不要振動の発生を抑えることができ、大きな振り角を実現することができる駆動装置及び駆動方法を提供することを目的とする。

上記目的を達成するための駆動装置は、第１回動体と、第１回動体の外側に配置されて第１回動体を第１回転軸の周りに回転可能に支持する第２回動体と、第２回動体を第２回転軸の周りに回転可能に支持する支持体と、第２回動体上において、第１及び第２回転軸の交点の周りに第１及び第２回転軸により４分割された同一平面上の各領域に配置され、交点を挟み対向する第１及び第２コイルと、交点を挟み対向する第３及び第４コイルとを含む回路と、各コイルに対してコイル面に平行な方向の磁界を与える磁界付与手段とを備え、第１駆動信号は各コイルに正相で印加され、第２駆動信号は第１及び第２コイルに正相、第３及び第４コイルに逆相で印加される。

上記駆動装置では、各コイルに正相で印可される第１駆動信号によって第２回転軸の周りに回転力を発生させることができ、第１及び第２コイルに正相で第３及び第４コイルに逆相で印加される第２駆動信号によって第１回転軸の周りに回転力を発生させることができる。この際、第１駆動信号によって各コイルに与えられる力を第２回転軸の周りの回転力として無駄なく利用することができ、第２駆動信号によって各コイルに与えられる力を第１回転軸の周りの回転力として無駄なく利用することができ、結果的に両回転軸に対して傾いた斜め軸の周りに回転力が与えられることを回避でき、駆動効率が良いだけでなく、歪みの少ない走査軌跡を実現することができる。しかも、各コイルが同一平面上に配置されていることから、コイルに与えられる駆動力は、第１又は第２回転軸を中心とする回転の周方向又は接線方向に沿ったものになるので、駆動力のすべてが無駄なく回転に寄与し、回転に寄与しない並進力又は不要力によって不要振動が発生することを確実に抑制することができる（後述する図４（Ｅ）参照）。また、磁界付与手段によってコイル面に平行な方向の磁界を与えることで、コイル面に垂直な方向に大きな力を発生させることができ、大きな振り角を実現することができる。

本発明の具体的な側面では、第１駆動信号及び第２駆動信号を出力する駆動部を備える。この場合、駆動装置は、本体のスキャナに駆動部を付加した統合的な装置又はモジュールとなる。

本発明の別の側面では、磁界付与手段は、第１～第４コイルに共通して内外の一方に向かう磁界を与え、第１及び第２コイルは、第１コイルに反時計方向の電流が流れる場合に第２コイルに時計方向の電流が流れるように連結され、第３及び第４コイルは、第３コイルに反時計方向の電流が流れる場合に第４コイルに時計方向の電流が流れるように連結される。この場合、磁界がコイルの内外に関して共通する方向に形成される。結果的に、第１駆動信号によって第２回転軸の周りに偶力を発生させることが容易になり、第２駆動信号によって第１回転軸の周りに偶力を発生させることが容易になる。

本発明のさらに別の側面では、第１及び第２コイルは、第１回動体の周囲に配置される第２回動体の中央環状部上に形成された第１配線によって連結され、第３及び第４コイルは、中央環状部上に形成された第２配線によって連結される。この場合、中央環状部が第１及び第２配線の支持体となる。中央環状部の周囲外側には、第１～第４コイルが配置される。

本発明のさらに別の側面では、第２回動体は、第１～第４コイルが表面上に形成された４つの周辺環状部を有する。この場合、第２回動体に周辺環状部を設け、この周辺環状部に第１～第４コイルを支持させることができるとともに、周辺環状部の内外に磁極を配置すれば、第２回動体の回転動作に対して磁界付与手段が干渉することを回避することができる。

本発明のさらに別の側面では、支持体は、第２回動体を、第２トーションバーを介して第２回転軸の周りにねじり回転可能に支持し、第２回動体は、第１回動体を、第１トーションバーを介して第１回転軸の周りにねじり回転可能に支持する。この場合、外側の第２回動体は、支持体に支持されて第２トーションバーに沿って延びる第２回転軸の周りに往復回転し、内側の第１回動体は、第２回動体に支持されて第１トーションバーに沿って延びる第１回転軸の周りに往復回転する。

本発明のさらに別の側面では、第１回動体は、第１回転軸の周りに共振周期で回転し、第２回動体は、第１～第４コイルに与えられる力に追従して第２回転軸の周りに往復回転する。つまり、第１回動体は、共振周期で回転し、第２回動体は、第１回転軸の周りに与えられる時計方向及び反時計方向の回転力に追従して往復回転する。なお、第２回動体については、第１～第４コイルに与えられる力を用いて第２回転軸の周りに回転させる際に、強制的に非共振的に回転させることができるだけでなく、共振周期で回転させることもできる。第２回動体を非共振的に回転させる動作には、周期的に回転させる動作と、非周期的に繰り返し回転させる動作とが含まれる。第２回動体を周期的に限らず非周期的に回転させることにより、第２回動体２２の動作パターンの自由度が増し、駆動装置の用途を広げることができる。

上記目的を達成するための駆動方法は、第１回動体の外側に配置されて第１回動体を第１回転軸の周りに回転可能に支持する第２回動体と、第２回動体を第２回転軸の周りに回転可能に支持する支持体と、第２回動体上において、第１及び第２回転軸の交点の周りに第１及び第２回転軸により４分割された同一平面上の各領域に配置され、交点を挟み対向する第１及び第２コイルと、交点を挟み対向する第３及び第４コイルとを含む回路とを備える駆動装置について、各コイルに対してコイル面に平行な方向の磁界を与え、第１駆動信号は各コイルに正相で印加され、第２駆動信号は第１及び第２コイルに正相、第３及び第４コイルに逆相で印加される。

上記駆動方法では、第１駆動信号によって第２回転軸の周りに回転力を発生させることができ、第２駆動信号によって第１回転軸の周りに回転力を発生させることができる。この際、第１駆動信号によって各コイルに与えられる力を第２回転軸の周りの回転力として無駄なく利用することができ、第２駆動信号によって各コイルに与えられる力を第１回転軸の周りの回転力として無駄なく利用することができ、結果的に両回転軸に対して傾いた斜め軸の周りに回転力が与えられることを回避でき、駆動効率が良いだけでなく、歪みの少ない走査軌跡を実現することができる。しかも、各コイルが同一平面上に配置されていることから、コイルに与えられる駆動力は、第１又は第２回転軸を中心とする回転の周方向又は接線方向に沿ったものになるので、駆動力のすべてが無駄なく回転に寄与し、回転に寄与しない並進力又は不要力によって不要振動が発生することを確実に抑制することができる。また、磁界付与手段によってコイル面に平行な方向の磁界を与えることで、各コイルに対してコイル面に垂直な方向に大きな力を発生させることができ、各コイルを支持する回動体について大きな振り角を実現することができる。

第１実施形態の駆動装置を説明する平面図である。 （Ａ）及び（Ｂ）は、スキャナを説明する図１のＡＡ断面図及びＢＢ断面図であり、（Ｃ）は、変形例の磁界形成器を説明する部分断面図である。 （Ａ）及び（Ｂ）は、電流の方向を変化させることによる駆動力の方向の切り換えを説明する図である。 （Ａ）及び（Ｂ）は、第２回転軸の周りにおける駆動力の切り換えを概念的に説明する図であり、（Ｃ）及び（Ｄ）は、第１回転軸の周りにおける駆動力の切り換えを概念的に説明する図であり、（Ｅ）は、第２回動体に与えられる力が回転軸の周りで偶力となって無駄がないことを概念的に説明する図である。 （Ａ）は、駆動部の回路構成の具体例を説明するブロック図であり、（Ｂ）は、第１及び第２コイル系に正相で供給される低速側駆動信号（第１駆動信号）を示し、（Ｃ）は、第１コイル系に正相で供給され第２コイル系に逆相で供給される高速側駆動信号（第２駆動信号）を示す。 （Ａ）及び（Ｂ）は、コイルに作用する磁界、電流及び駆動力を示すことによって駆動装置の動作を説明する概念的な部分拡大断面図であり、（Ｃ）は、比較例の装置の動作を説明する図である。 （Ａ）は、特許文献１の装置の構造を説明する斜視図であり、（Ｂ）及び（Ｃ）は、光走査の軌跡の歪みについて説明する概念的な平面図及び斜視図である。 （Ａ）は、特許文献２の装置の構造を説明する平面図であり、（Ｂ）は、特許文献２の装置の構造を説明する裏面図であり、（Ｃ）は、（Ａ）及び（Ｂ）に示す装置のＣＣ’断面図である。（Ｄ）及び（Ｅ）は、特許文献２の装置において外側の回動体に付与される力を説明する概念図である。

以下、図面を参照しつつ、本発明の一実施形態である光走査用の駆動装置及び駆動方法について説明する。

図１に示すように、本実施形態の駆動装置１００は、可動機構を含むスキャナ１０と、電子回路からなる駆動部８０とを備える。駆動装置１００は、本体のスキャナ１０に回路的な駆動部８０を付加した統合的な装置又はモジュールである。

スキャナ１０は、２軸に回転又は傾斜可能な板バネ構造を有する電磁駆動型のアクチュエータである。スキャナ１０は、駆動回路である駆動部８０から電気信号の供給を受けて動作する。スキャナ１０は、シリコン基板その他の半導体基板を加工することによって作製されたスキャナ本体１１と、スキャナ本体１１の所定箇所に所定方向の磁界を付与する磁界付与手段であり磁界形成器ＭＧ１～ＭＧ４を含む磁界形成部１２と、スキャナ本体１１の周囲を下方から支持する支持基板１３とを備える。なお、スキャナ本体１１は、半導体基板に限らず、ベリリウム銅、ステンレスその他の金属のウエットエッチング加工、板金打ち抜き加工等によっても作製することができる。

図１及び図２（Ａ）及び２（Ｂ）に示すように、スキャナ本体１１は、内側から順に、第１回動体２３と、第２回動体２２と、支持体２１とを備える。第１回動体２３は、内側可動部とも呼ばれ、第２回動体２２は、外側可動部とも呼ばれ、支持体２１は、基部とも呼ばれる。

スキャナ本体１１において、最も外側の支持体２１は、矩形枠状の外形を有し、支持基板１３上に固定されている。外側可動部である第２回動体２２は、支持体２１の開口２１ａ内に収まるように配置され、矩形の外形を有し、支持体２１に対して回転可能に支持されている。より詳細には、第２回動体２２は、矩形枠状の中央環状部２２ｂを有し、中央環状部２２ｂの外側に４つの周辺環状部２２ｄを有する。支持体２１と第２回動体２２との間には、Ｘ方向に延びる１対の第２トーションバー３２ａ，３２ｂが設けられており、第２回動体２２の第２回転軸ＡＸ２の周りでの回転又は傾斜を許容する。つまり、支持体２１は、第２回動体２２を、第２トーションバー３２ａ，３２ｂを介して第２回転軸ＡＸ２の周りにねじり回転可能に支持している。第２トーションバー３２ａ，３２ｂは、第２回転軸ＡＸ２に沿って延びる。内側可動部である第１回動体２３は、第２回動体２２の中央環状部２２ｂに形成された開口２２ａに収まるように配置され、長円形の外形を有し、第２回動体２２に対して回転可能に支持されている。第２回動体２２と第１回動体２３との間には、Ｙ方向内に延びる１対の第１トーションバー３１ａ，３１ｂが設けられており、第１回動体２３の第１回転軸ＡＸ１の周りでの回転又は傾斜を許容する。つまり、第２回動体２２は、第１回動体２３を、第１トーションバー３１ａ，３１ｂを介して第１回転軸ＡＸ１の周りにねじり回転可能に支持している。第１トーションバー３１ａ，３１ｂは、第１回転軸ＡＸ１に沿って延びる。以上において、第１回転軸ＡＸ１と第２回転軸ＡＸ２とは、互いに直交し９０°の角度をなす。ただし、第１回転軸ＡＸ１と第２回転軸ＡＸ２とは、９０°以外の角度で交差させることもできる。第１回動体２３上に形成されたミラー２４は、駆動部８０に駆動されて第１回動体２３とともに姿勢を変化させ、入射したレーザ光等をその姿勢に応じた方向に反射する。

支持体２１が第２回転軸ＡＸ２の周りに可動な状態で第２回動体２２を支持し、第２回動体２２が第１回転軸ＡＸ１の周りに可動な状態で第１回動体２３を支持する結果として、第１回動体２３又はこの表面に形成されたミラー２４は、第１回転軸ＡＸ１と第２回転軸ＡＸ２との周りで回転可能すなわち傾斜可能となり、ミラー２４による反射光の２次元的な走査が可能になる。

第１回動体２３や第２回動体２２は、第１及び第２回転軸ＡＸ１，ＡＸ２に関して対称な形状を有する。つまり、第２回動体２２を構成する中央環状部２２ｂは、第１及び第２回転軸ＡＸ１，ＡＸ２に関して対称的な形状を有し、４つの周辺環状部２２ｄは、互いに等しい大きさを有し、かつ、第１及び第２回転軸ＡＸ１，ＡＸ２に関して対称的に配置されている。第１回動体２３や第２回動体２２の形状が第１及び第２回転軸ＡＸ１，ＡＸ２に関して対称的であることは必須の事項ではない。つまり、第１回動体２３や第２回動体２２の形状は、第１及び第２回転軸ＡＸ１，ＡＸ２に関して非対称であってもよく、この場合も回動体２３，２２に所期の回転動作を行わせることができる。

外側可動部である第２回動体２２は、その矩形輪郭の四隅に設けられている周辺環状部２２ｄの片側の表面上に、第１～第４コイルＣＯ１～ＣＯ４を支持している。つまり、第１～第４コイルＣＯ１～ＣＯ４は、中央環状部２２ｂの周囲外側に配置されており、中央環状部２２ｂの外側に設けられた周辺環状部２２ｄに支持されている。第１～第４コイルＣＯ１～ＣＯ４は、第２回動体２２の上側面上において、第１及び第２回転軸ＡＸ１，ＡＸ２の交点ＣＰの周りにおいて第１及び第２回転軸ＡＸ１，ＡＸ２により４分割された同一平面上の４つの領域Ｒ１～Ｒ４に分かれて配置されている。ここで、第１及び第２コイルＣＯ１，ＣＯ２は、交点ＣＰを挟み対向し、第３及び第４コイルＣＯ３，ＣＯ４は、交点ＣＰを挟み対向する。具体的には、第１コイルＣＯ１は、図１の右上の第１象限の領域Ｒ１に配置され、第２コイルＣＯ２は、左下の第３象限の領域Ｒ２に配置され、第３コイルＣＯ３は、左上の第２象限の領域Ｒ３に配置され、第４コイルＣＯ４は、右下の第４象限の領域Ｒ４に配置されている。第２回動体２２の４隅において、周辺環状部２２ｄには、第１～第４周辺開口ＯＰ１～ＯＰ４が形成され、第１～第４コイルＣＯ１～ＣＯ４は、第１～第４周辺開口ＯＰ１～ＯＰ４を囲むように第１～第４周辺開口ＯＰ１～ＯＰ４の周囲に配置されている。第１～第４コイルＣＯ１～ＣＯ４の中心Ｃ１～Ｃ４は、第１～第４周辺開口ＯＰ１～ＯＰ４の中心と略一致している。

第１コイルＣＯ１と第２コイルＣＯ２とは、互いに連結されて第１コイル系ＣＳ１を形成する。第３コイルＣＯ３と第４コイルＣＯ４とは、互いに連結されて第２コイル系ＣＳ２を形成する。スキャナ本体１１において、第１コイル系ＣＳ１と第２コイル系ＣＳ２とを合わせたものを回路ＣＫと呼ぶ。回路ＣＫは、第１～第４コイルＣＯ１～ＣＯ４を含むものとなっている。

第１コイル系ＣＳ１は、正極側から、第１給電線４１ａと、第１コイルＣＯ１と、第１配線４２ａと、第２コイルＣＯ２と、第２給電線４３ａとを含む。第１給電線４１ａは、第１端子ＴＡ１と第１コイルＣＯ１の一端とを電気的に接続し、第１配線４２ａは、第１配線４２ａの支持体として機能する中央環状部２２ｂ上に形成されて、第１コイルＣＯ１の他端と第２コイルＣＯ２の一端を連結し、第２給電線４３ａは、第２コイルＣＯ２の他端と第２端子ＴＡ２とを電気的に接続する。ここで、図３（Ａ）を参照して、第１コイルＣＯ１は反時計方向に巻かれ、第２コイルＣＯ２は時計方向に巻かれており、第１端子ＴＡ１を第２端子ＴＡ２に対して相対的に正電位とした場合、第１コイルＣＯ１に反時計方向の電流Ｉ１１が流れ、第２コイルＣＯ２に時計方向の電流Ｉ１２が流れ、ローレンツ力に相当する駆動力Ｆ１１，Ｆ１２が各コイルＣＯ１，ＣＯ２に与えられる。つまり、詳細は後述するが、第１及び第２コイルＣＯ１，ＣＯ２おいて、所定の磁界Ｈ１，Ｈ２下で、＋Ｘ方向に向かって第２回転軸ＡＸ２の周りに時計方向に揃った駆動力が発生する。

図１等に戻って、第２コイル系ＣＳ２は、正極側から、第３給電線４１ｂと、第４コイルＣＯ４と、第２配線４２ｂと、第３コイルＣＯ３と、第４給電線４３ｂとを含む。第３給電線４１ｂは、第３端子ＴＡ３と第４コイルＣＯ４の一端とを電気的に接続し、第２配線４２ｂは、第２配線４２ｂの支持体として機能する中央環状部２２ｂ上に形成されて、第４コイルＣＯ４の他端と第３コイルＣＯ３の一端とを電気的に接続し、第４給電線４３ｂは、第３コイルＣＯ３の他端と第４端子ＴＡ４とを電気的に接続する。ここで、図３（Ａ）を参照して、第４コイルＣＯ４は時計方向に巻かれ、第３コイルＣＯ３は反時計方向に巻かれており、第３端子ＴＡ３を第４端子ＴＡ４に対して相対的に正電位とした場合、第４コイルＣＯ４に時計方向の電流Ｉ１４が流れ、第３コイルＣＯ３に反時計方向の電流Ｉ１３が流れ、ローレンツ力に相当する駆動力Ｆ１３，Ｆ１４が各コイルＣＯ３，ＣＯ４に与えられる。つまり、詳細は後述するが、第３及び第４コイルＣＯ３，ＣＯ４おいて、所定の磁界Ｈ３，Ｈ４下で、＋Ｘ方向に向かって第２回転軸ＡＸ２の周りに時計方向に揃った駆動力が発生する。以上のように、第１及び第２コイル系ＣＳ１，ＣＳ２コイルにおいて、コイルＣＯ１～ＣＯ４は、斜めに交差するようにたすき掛けに連結されている。また、各コイルＣＯ１～ＣＯ４は、立体的な結線を可能にするため、絶縁層中にトンネル式配線材（薄膜導体）を埋め込んだ構造を有する。

図３（Ｂ）の状態は、図３（Ａ）の状態に対して電流の方向を反転させたものである。つまり、第１端子ＴＡ１を相対的に負電位とした場合、第１コイルＣＯ１に時計方向の電流Ｉ２１が流れ、第２コイルＣＯ２に反時計方向の電流Ｉ２２が流れ、各コイルＣＯ１，ＣＯ２に駆動力Ｆ２１，Ｆ２２が与えられる。さらに、第３端子ＴＡ３を相対的に負電位とした場合、第４コイルＣＯ４に反時計方向の電流Ｉ２４が流れ、第３コイルＣＯ３に時計方向の電流Ｉ２３が流れ、各コイルＣＯ３，ＣＯ４に駆動力Ｆ２３，Ｆ２４が与えられる。

駆動力Ｆ１１，Ｆ１３や駆動力Ｆ１２，Ｆ１４は、矩形状の各コイルＣＯ１～ＣＯ４の２辺に与えられる等しい力を含んでいる。第２回動体２２等に与えられる回転力を考える場合、厳密には、駆動力Ｆ１１～Ｆ１４の作用位置の第２回転軸ＡＸ２からの距離を加味したねじりモーメント又はトルクを考察する必要がある。ただし、図示の例では、各コイルＣＯ１～ＣＯ４が第２回転軸ＡＸ２を挟んで対称的に配置されているので、ねじりモーメントでなく単なる力として扱っても回転動作に関して同様の結果が導かれる。以下でも、軸周りの対称的な配置が前提となっている場合、説明の簡便のため、回転動作についてねじりモーメントでなく単なる力として説明を行う場合がある。

以上において、各コイルＣＯ１～ＣＯ４は、ＸＹ面に平行な同一平面上に配置され、しかも、第１及び第２回転軸ＡＸ１，ＡＸ２によって規定される平面上にある。よって、駆動力Ｆ１１～Ｆ１４の絶対値や駆動力Ｆ２１～Ｆ２４の絶対値が等しければ、第２回動体２２に対して第２回転軸ＡＸ２の周りに無駄のない回転力を生じさせることができるだけでなく、回転に寄与しない並進力によって不要振動が発生することを確実に抑制することができる。

図１に戻って、磁界形成部（磁界付与手段）１２は、第１～第４コイルＣＯ１～ＣＯ４に対応して第１～第４磁界形成器ＭＧ１～ＭＧ４を備える。第１～第４磁界形成器ＭＧ１～ＭＧ４は、第１～第４コイルＣＯ１～ＣＯ４の位置において第１～第４コイルＣＯ１～ＣＯ４のコイル面に略平行な磁界を与える。

図２（Ａ）及び２（Ｂ）に示すように、第１磁界形成器ＭＧ１は、第１コイルＣＯ１の外側であって第２回動体２２と支持体２１との間に形成された湾曲する隙間部分Ｇ１に配置される第１磁極５１を有する。また、第１磁界形成器ＭＧ１は、第１コイルＣＯ１の内側であって第１周辺開口ＯＰ１内に配置される第２磁極５２を有する。第１磁極５１は、外側用の第１磁石５３のＮ極部分５３ａに対応し、第２磁極５２は、内側用の第２磁石５４のＳ極部分５４ａに対応する。第１磁石５３と第２磁石５４とは、ヨーク５５によって支持基板１３上に支持され磁気回路を形成している。第１磁界形成器ＭＧ１は、第１コイルＣＯ１において、第１コイルＣＯ１のコイル面に平行で、第１コイルＣＯ１を貫通するように横切って内側に向かう磁界Ｈ１を形成する。この場合、磁極５１，５２を第１コイルＣＯ１の近傍に可動範囲を制限することなく配置でき、第１コイルＣＯ１に与える駆動力を高く安定したものとすることができる。つまり、第１磁界形成器ＭＧ１によってコイルＣＯ１に対してコイル面に垂直な方向に大きな力を発生させることができ、小さな電流で大きな振り角を実現することができる。

図２（Ｃ）は、図２（Ｂ）等に示す第１磁界形成器ＭＧ１の変形例を説明する部分断面図である。この場合、支持基板１３を兼ねるセンターヨーク１１３の外周に沿ってその上面に磁石１５３が接合され、磁石１５３上に外周ヨーク２１３が接合されている。外周ヨーク２１３のうち、第１コイルＣＯ１に外側から対向して第１コイルＣＯ１を囲む内向突起２１３ａにおいて、第１磁極５１が形成されている。また、第１コイルＣＯ１の内側であって、センターヨーク１１３の矩形突起１１３ａの頂部に、第２磁極５２が形成されている。なお、スキャナ本体１１の支持体２１は、外周ヨーク２１３上に固定されている。

図１に戻って、第２磁界形成器ＭＧ２は、第１磁界形成器ＭＧ１と同様の構造を有する。すなわち、第２磁界形成器ＭＧ２は、第２コイルＣＯ２の外側であって第２回動体２２と支持体２１との隙間部分Ｇ２に配置される第１磁極５１と、第２コイルＣＯ２の内側であって第２周辺開口ＯＰ２内に配置される第２磁極５２とを有する。図３（Ａ）に示すように、第２磁界形成器ＭＧ２は、第２コイルＣＯ２において、第２コイルＣＯ２のコイル面に平行で第２コイルＣＯ２を貫通するように横切って内側に向かう磁界Ｈ２を形成する。

第３磁界形成器ＭＧ３は、第１磁界形成器ＭＧ１と同様の構造を有する。すなわち、第３磁界形成器ＭＧ３は、第３コイルＣＯ３の外側であって第２回動体２２と支持体２１との隙間部分Ｇ３に配置される第１磁極５１と、第３コイルＣＯ３の内側であって第３周辺開口ＯＰ３内に配置される第２磁極５２とを有する。第３磁界形成器ＭＧ３は、図３（Ａ）に示すように、第３コイルＣＯ３において、第３コイルＣＯ３のコイル面に平行で第３コイルＣＯ３を貫通するように横切って内側に向かう磁界Ｈ３を形成する。

第４磁界形成器ＭＧ４は、第１磁界形成器ＭＧ１と同様の構造を有する。すなわち、第４磁界形成器ＭＧ４は、第４コイルＣＯ４の外側であって第２回動体２２と支持体２１との隙間部分Ｇ４に配置される第１磁極５１と、第４コイルＣＯ４の内側であって第４周辺開口ＯＰ４内に配置される第２磁極５２とを有する。第４磁界形成器ＭＧ４は、図３（Ａ）に示すように、第４コイルＣＯ４において、第４コイルＣＯ４のコイル面に平行で第４コイルＣＯ４を貫通するように横切って内側に向かう磁界Ｈ４を形成する。

以上で説明した磁界形成部（磁界付与手段）１２の場合、第１～第４コイルＣＯ１～ＣＯ４に形成される磁界Ｈ１～Ｈ４が、内外に関して共通する方向に形成される。この結果、図３（Ａ）に示す電流Ｉ１１～Ｉ１４等によって第２回転軸ＡＸ２の周りに偶力を発生させることが容易になり、図示を省略するが、第１回転軸ＡＸ１の周りに偶力を発生させることも容易になる。また、以上で説明した磁界形成部１２や第２回動体２２の場合、第２回動体２２の周辺環状部２２ｄに第１～第４コイルＣＯ１～ＣＯ４を支持させ、周辺環状部２２ｄの内外に磁極５１，５２を配置する構造となっており、第２回動体２２の回転動作に対して磁界形成器ＭＧ１～ＭＧ４又は磁界形成部１２が干渉することを回避することができる。つまり、各コイルＣＯ１～ＣＯ４を支持する回動体２２，２３について大きな振り角を実現することができる。

支持基板１３は、外枠において、スキャナ本体１１を支持し、外枠の内側に第１～第４界形成器ＭＧ１～ＭＧ４を収納する凹部を有する。支持基板１３は、鉄、アルミ、真鍮等の金属で形成することができ、または、ガラスエポキシ、ベークライト、ＰＰＳ（ポリフェニレンサルファイド）等の樹脂系材料で形成することができる。

図４（Ａ）は、図３（Ａ）に示す電流の方向に対応する駆動力を説明する概念図であり、第２回転軸ＡＸ２に対して紙面に沿った上側（＋Ｙ側）で、第１及び第３コイルＣＯ１，ＣＯ３において紙面に垂直な上向き（＋Ｚ側）にローレンツ力による駆動力Ｆ１，Ｆ３が生じ、第２回転軸ＡＸ２に対して紙面に沿った下側（－Ｙ側）で、第２及び第４コイルＣＯ２，ＣＯ４において紙面に垂直な下向き（－Ｚ側）にローレンツ力による駆動力Ｆ２，Ｆ４が生じる。ここで、第２回転軸ＡＸ２を基準とした場合、第１コイルＣＯ１の駆動力Ｆ１と、第２コイルＣＯ２の駆動力Ｆ２とは、互いに大きさが等しく回転方向が一致する力となっており、第３コイルＣＯ３の駆動力Ｆ３と、第４コイルＣＯ４の駆動力Ｆ４とは、互いに大きさが等しく回転方向が一致する力となっている。また、第２回転軸ＡＸ２を基準とした場合、コイルＣＯ１，ＣＯ３に与えられる駆動力Ｆ１，Ｆ３の合成力と、コイルＣＯ２，ＣＯ４に与えられる駆動力Ｆ２，Ｆ４の合成力とは、偶力をなす。結果的に、コイルＣＯ１～ＣＯ４を支持する第２回動体２２は、第２回転軸ＡＸ２に沿って＋Ｘ側に向かった場合、時計回りの回転力すなわち駆動力を受ける。この場合、駆動力Ｆ１～Ｆ４は、大きさが等しく、第２回転軸ＡＸ２の周りで偶力を構成するように第１回転軸ＡＸ１を中心とする回転の周方向（つまり紙面に垂直でＺ軸に平行な方向）に与えられるので、駆動力のロスが少なく、第２回動体２２に意図しない力が与えられることを抑制できる。

図４（Ｅ）は、図４（Ａ）に対応し、第２回動体２２に与えられる力が第２回転軸ＡＸ２の周りで対称的な偶力となって無駄がないことを説明する概念図である。第２回動体２２において、コイルＣＯ１～ＣＯ４は、第２回転軸ＡＸ２に平行な同一平面（コイル面ＣＳに沿った面）内に配置されており、コイルＣＯ１～ＣＯ４に与えられる駆動力Ｆ（図４（Ａ）の駆動力Ｆ１～Ｆ４に相当）は、第２回転軸ＡＸ２を中心とする回転の周方向又は接線方向に沿ったものになるので、駆動力Ｆのすべてが偶力として無駄なく回転に寄与する。

図４（Ｂ）は、図３（Ｂ）に示す電流の方向に対応する駆動力を説明する概念図であり、第２回転軸ＡＸ２に対して紙面に沿った上側（＋Ｙ側）で、第１及び第３コイルＣＯ１，ＣＯ３において紙面に垂直な下向き（－Ｚ側）にローレンツ力による駆動力Ｆ１，Ｆ３が生じ、第２回転軸ＡＸ２に対して紙面に沿った下側（－Ｙ側）で、第２及び第４コイルＣＯ２，ＣＯ４において紙面に垂直な上向き（＋Ｚ側）にローレンツ力による駆動力Ｆ２，Ｆ４が生じる。詳細な説明は省略するが、第２回転軸ＡＸ２を基準とした場合、第１コイルＣＯ１の駆動力Ｆ１と、第２コイルＣＯ２の駆動力Ｆ２とは、互いに大きさが等しく回転方向が一致する力となっており、第３コイルＣＯ３の駆動力Ｆ３と、第４コイルＣＯ４の駆動力Ｆ４とは、互いに大きさが等しく回転方向が一致する力となっている。結果的に、コイルＣＯ１～ＣＯ４を支持する第２回動体２２は、第２回転軸ＡＸ２に沿って＋Ｘ側に向かった場合、反時計回りの回転力すなわち駆動力を受ける。この場合も、駆動力Ｆ１～Ｆ４は、大きさが等しく、第２回転軸ＡＸ２の周りで偶力を構成するように周方向に与えられる。

図４（Ａ）及び４（Ｂ）に示す状態を正逆として交互に繰り返すならば、第２回動体２２を、第１～第４コイルＣＯ１～ＣＯ４に与えられる力に追従させて、第２回転軸ＡＸ２の周りで往復回転又は往復傾斜させることができる。つまり、第２回動体２２は、第２回転軸ＡＸ２の周りに与えられる時計方向及び反時計方向の回転力に追従して往復回転する。この際、図１に示す第１及び第２端子ＴＡ１，Ｔ２に与える信号波形や第３及び第４端子ＴＡ３，Ｔ４に与える信号波形は、鋸歯状波に限らず、三角波、正弦波、その他任意の波形とすることができ、第２回動体２２を第２回転軸ＡＸ２の周りで非共振的に往復回転させることができ、様々な振れ角の増減パターンで往復回転又は往復傾斜（つまり揺動）させることができる。図４（Ａ）及び４（Ｂ）に示す状態の切り換えは、つまり図４（Ａ）及び４（Ｂ）に示す正状態とその波形を反転させた逆状態との繰り返しに関しては、正逆が対称的である必要はなく、正逆で振幅が異なってもよく、駆動力がない状態と、図４（Ａ）又は４（Ｂ）に示す状態と切り換えてもよい。

図４（Ｃ）及び４（Ｄ）は、第１コイル系ＣＳ１への給電の極性と、第２コイル系ＣＳ２への給電の極性とを互に反転させた場合を示す。

図４（Ｃ）の場合、図１に示す第１端子ＴＡ１を第２端子ＴＡ２に対して相対的に正電位としつつ、第３端子ＴＡ３を第４端子ＴＡ４に対して相対的に負電位としている。結果的に、第１回転軸ＡＸ１に対して紙面に沿った右側（＋Ｘ側）で、第１及び第４コイルＣＯ１，ＣＯ４において紙面に垂直な上向き（＋Ｚ側）にローレンツ力による駆動力Ｆ１，Ｆ４が生じ、第１回転軸ＡＸ１に対して紙面に沿った左側（－Ｘ側）で、第２及び第３コイルＣＯ２，ＣＯ３において紙面に垂直な下向き（－Ｚ側）にローレンツ力による駆動力Ｆ２，Ｆ３が生じる。第１回転軸ＡＸ１に関して、第１コイルＣＯ１の駆動力Ｆ１と、第２コイルＣＯ２の駆動力Ｆ２とは、互いに大きさが等しく回転方向が一致する力となっており、第３コイルＣＯ３の駆動力Ｆ３と、第４コイルＣＯ４の駆動力Ｆ４とは、互いに大きさが等しく回転方向が一致する力となっている。結果的に、コイルＣＯ１～ＣＯ４を支持する第２回動体２２は、第１回転軸ＡＸ１に沿って＋Ｙ側に向かった場合、反時計回りの回転力すなわち駆動力を受ける。駆動力Ｆ１～Ｆ４は、大きさが等しく、第１回転軸ＡＸ１の周りで偶力を構成するように第１回転軸ＡＸ１を中心とする回転の周方向（つまり紙面に垂直でＺ軸に平行な方向）に与えられる。

図４（Ｄ）の場合、図１に示す第１端子ＴＡ１を相対的に負電位としつつ第３端子ＴＡ３を相対的に正電位としている。結果的に、第１回転軸ＡＸ１に対して紙面に沿った右側（＋Ｘ側）で、第１及び第４コイルＣＯ１，ＣＯ４において紙面に垂直な下向き（－Ｚ側）にローレンツ力による駆動力Ｆ１，Ｆ４が生じ、第１回転軸ＡＸ１に対して紙面に沿った左側（－Ｘ側）で、第２及び第３コイルＣＯ２，ＣＯ３において紙面に垂直な上向き（＋Ｚ側）にローレンツ力による駆動力Ｆ２，Ｆ３が生じる。第１回転軸ＡＸ１に関して、第１コイルＣＯ１の駆動力Ｆ１と、第２コイルＣＯ２の駆動力Ｆ２とは、互いに大きさが等しく回転方向が一致する力となっており、第３コイルＣＯ３の駆動力Ｆ３と、第４コイルＣＯ４の駆動力Ｆ４とは、互いに大きさが等しく回転方向が一致する力となっている。結果的に、コイルＣＯ１～ＣＯ４を支持する第２回動体２２は、第１回転軸ＡＸ１に沿って＋Ｙ側に向かった場合、時計回りの回転力すなわち駆動力を受ける。駆動力Ｆ１～Ｆ４は、大きさが等しく、第１回転軸ＡＸ１の周りで偶力を構成するように周方向に与えられる。

図４（Ｃ）及び４（Ｄ）に示す状態を交互に繰り返すならば、第２回動体２２を第１回転軸ＡＸ１の周りに往復回転させる駆動力を与えることができる。ただし、第２回動体２２は、第１回転軸ＡＸ１の周りで僅かなねじり回転を許容されるが大きく回転できない構造となっている。よって、第２回動体２２自体は実質的に回転しないが、これに支持された第１回動体２３を間接的に第１回転軸ＡＸ１の周りで往復回転させることができる。この場合、第１回動体２３は、共振周期で往復回転又は往復傾斜（つまり揺動）することになる。

図５（Ａ）は、図１に示す駆動部８０の回路構成の具体例を説明するブロック図である。駆動部８０は、相対的に低周波の波形形成装置８１と、相対的に高周波の波形形成装置８２と、第１アンプ８４と、第２アンプ８５とを備える。低周波の波形形成装置８１は、一対の出力端子から、第２回動体２２を回転動作させるための低速側駆動信号Ｓ１を第１駆動信号として出力する。低速側駆動信号Ｓ１は、第２回動体２２を非共振的に動作させるものであり、任意の周波数を利用できる。第２回動体２２の非共振的動作を可能にする低速側駆動信号Ｓ１としては、ラスター走査等に用いる鋸歯状波に限らず、三角波、正弦波とすることが出来るが、非周期的なパルス波、矩形波であってもよい。さらに、低速側駆動信号Ｓ１は直流成分をバイアスとして付加したものとすることができる。つまり、低速側駆動信号Ｓ１として、非共振で周期的な動作や非周期的な動作を可能にする様々なものを用いることができる。また、言うまでもないが、低速側駆動信号Ｓ１は、第２回動体２２の共振周波数に対応した周波数とし、第２回動体２２を共振的に動作させても構わない。波形形成装置８１からの一方の低速側駆動信号Ｓ１は、第１アンプ８４を経て、正相で端子ＴＡ１，ＴＡ２間つまり第１コイル系ＣＳ１に出力され、波形形成装置８１からの他方の低速側駆動信号Ｓ１は、第２アンプ８５を経て、正相で端子ＴＡ３，ＴＡ４間つまり第２コイル系ＣＳ２に出力される。高周波の波形形成装置８２は、一対の出力端子から、第１回動体２３を回転動作させるための高速側駆動信号Ｓ２を第２駆動信号として出力する。高速側駆動信号Ｓ２は、第１回動体２３を共振的に動作させる。高速側駆動信号Ｓ２としては、正弦波状のものとすることができ第１回動体２３の共振周波数に対応した周波数とすることができる。波形形成装置８２からの一方の高速側駆動信号Ｓ２は、第１アンプ８４を経て、正相で端子ＴＡ１，ＴＡ２間つまり第１コイル系ＣＳ１に出力され、波形形成装置８２からの他方の高速側駆動信号Ｓ２は、第２アンプ８５を経て、位相が反転された状態つまり逆相で端子ＴＡ３，ＴＡ４間つまり第２コイル系ＣＳ２に出力される。

図５（Ｂ）に示すように、低速側駆動信号（第１駆動信号）Ｓ１は、両コイル系ＣＳ１，ＣＳ２に正相で（つまり符号を一致させた状態で）供給される。この低速側駆動信号（第１駆動信号）Ｓ１は、基本の駆動信号であり、後に詳述するようにコイル系ＣＳ１，ＣＳ２を介して第２回転軸ＡＸ２の周りに回転力を発生させることができ、例えばスキャナ１０による光線の副走査に用いられる。図５（Ｃ）に示すように、高速側駆動信号（第２駆動信号）Ｓ２は、第１コイル系ＣＳ１に正相で供給され第２コイル系ＣＳ２に逆相で供給され、結果として相互に符号を反転させた状態で供給される。この高速側駆動信号（第２駆動信号）Ｓ２は、追加の駆動信号であり、後に詳述するようにコイル系ＣＳ１，ＣＳ２を介して第１回転軸ＡＸ１の周りに回転力を発生させることができ、例えばスキャナ１０による光線の主走査に用いられる。この場合、両コイル系ＣＳ１，ＣＳ２に正相で（結果的に各コイルＣＯ１～ＣＯ４に正相で）出力される低速側駆動信号Ｓ１によって、図４（Ａ）及び４（Ｂ）に示す駆動力を交互に付与する動作を繰り返させ、これと並行して、第１コイル系ＣＳ１に正相で、かつ、第２コイル系ＣＳ２に逆相で（結果的に第１及び第２コイルＣＯ１，ＣＯ２に正相で、かつ、第３及び第４コイルＣＯ３，ＣＯ４に逆相で）出力される高速側駆動信号Ｓ２によって、図４（Ｃ）及び４（Ｄ）に示す駆動力を交互に付与する動作を繰り返させることができる。なお、図５（Ａ）に示すアンプ８４，８５は、オペレーショナルアンプに限らず、様々な回路素子で構成することができる。

図６（Ａ）及び６（Ｂ）は、第１コイルＣＯ１について、磁界、電流及び駆動力の状態を説明する概念的な拡大断面図であり、図３（Ａ）及び３（Ｂ）又は図４（Ａ）及び４（Ｂ）に示す状態に対応する。第２回動体２２のうち１つの周辺環状部２２ｄ上には、ＸＹ面に平行に延びる第１コイルＣＯ１が形成され、第１磁界形成器ＭＧ１を構成する磁極５１，５２は、第１コイルＣＯ１をＸ方向又はＹ方向に相当する横方向から挟むように配置されている。第１磁界形成器ＭＧ１により、第１コイルＣＯ１のコイル面ＣＳつまりＸＹ面に平行で第１コイルＣＯ１を横切って内側に向かう磁界Ｈ１が形成されている。この結果、第１コイルＣＯ１に供給される電流Ｉ１１，Ｉ２１の方向に応じてＺ方向に正負のローレンツ力が発生し、第１コイルＣＯ１を回転させる駆動力Ｆ１となる。ここで、駆動力Ｆ１の方向は、磁界Ｈ１の方向に対しても電流Ｉ１１，Ｉ２１の方向に対しても垂直になる。つまり、駆動力Ｆ１の方向は、図面外の第２回転軸ＡＸ２（図１参照）の周りでの第１コイルＣＯ１又は第２回動体２２の回転の軌跡ＴＲの接線方向に平行になっており、駆動力Ｆ１によって第２回動体２２に対して無駄のない回転力を与えることができる。以上の動作は、図３（Ａ）及び３（Ｂ）等を前提とする観点で、直接的には電流Ｉ１１，Ｉ２１が低周波である場合について説明していることになるが、電流Ｉ１１，Ｉ２１が高周波であっても同様のことが成り立つ。

図６（Ｃ）は、比較例の装置のコイルについて、磁界、電流及び駆動力の状態を説明する概念的な拡大断面図である。第２回動体２２’のうち１つの周辺環状部２２ｄ’上には、第１コイルＣＯ１が形成され、第１磁界形成器ＭＧ１’を構成する５１’，５２’は、第１コイルＣＯ１をＺ方向に相当する縦方向から挟むように配置されている。図６（Ｃ）に示す比較例の装置の場合、第１コイルＣＯ１によってアンペールの法則に従って形成される磁界と、第１磁界形成器ＭＧ１’によって形成される磁界ＨＶとの相互作用によって、第１コイルＣＯ１に対してコイル面ＣＳに垂直な方向に力を生じさせることができるが、これによって大きな駆動力を得ることは容易でない。第１コイルＣＯ１を構成する隣接する電線間（つまり平行に流れる電流間）でコイル面ＣＳに垂直な方向の磁束が相殺されるため第１コイルＣＯ１内外の磁束のみが有効なものとして残り、コイル面ＣＳに垂直な方向の駆動力が第１コイルＣＯ１の内側と外側とに残るが全体的に相殺された状態となるので、第１コイルＣＯ１を支持する第２回動体２２’に与えられる駆動力は不足する。また、比較例の装置の場合、フレミングの左手の法則による駆動力については、コイル面ＣＳに垂直な方向に向かうものとならない。この点について具体的に説明すると、第１磁界形成器ＭＧ１’により、第１コイルＣＯ１のコイル面ＣＳつまりＸＹ面に垂直な磁界ＨＶが形成されている。フレミングの左手の法則に従って第１コイルＣＯ１に供給される電流の方向に応じて生じるローレンツ力ＦＶの方向は、コイル面ＣＳつまりＸＹ面に沿ったものとなり、コイル面ＣＳに垂直な方向に向かうものとならず、第２回動体２２’に与えられる駆動力は不足する。さらに、第１コイルＣＯ１全体に磁界ＨＶが形成される場合、ローレンツ力ＦＶが全体として釣り合って合力が略ゼロとなる。結果的に、第２回動体２２’に与えられるローレンツ力ＦＶは、第２回動体２２’を振動させる可能性はあるが、駆動効率が極めて低いものとなる。さらに、第２回動体２２’又は第１コイルＣＯ１を許容される軌跡ＴＲに沿って変位させることができたとしても、第１磁界形成器ＭＧ１’の磁極５１’，５２’に妨げられて第２回動体２２’の可動範囲が狭くなってしまう。

以下、図１、３（Ａ）、３（Ｂ）、４（Ａ）～４（Ｄ）、図５（Ａ）～５（Ｃ）等を参照して、駆動装置１００の具体的動作について説明する。

まず、図１、図５（Ａ）、図４（Ａ）等を参照して、第２回転軸ＡＸ２の周りの非共振の回転動作について説明する。この場合、駆動部８０から供給される電流、つまり第１駆動信号Ｓ１は、低周波（１ｋＨｚ以下、ラスター走査に適した例えば３０、５０，６０Ｈｚ）で、例えば鋸歯タイプとなっている。駆動部８０より、第１及び第２コイルＣＯ１，ＣＯ２を含む第１コイル系ＣＳ１と、第３及び第４コイルＣＯ３，ＣＯ４を含む第２コイル系ＣＳ２とに対して、端子ＴＡ１～ＴＡ４を介して極性を一致させた正相の信号に対応する電流Ｉ１～Ｉ４が供給される（図５（Ａ）の第１アンプ８４の動作に相当）。つまり、駆動部８０を構成する相対的に低周波の波形形成装置８１から２つの信号が出力され、１つの信号は、アンプ８４により正相のまま第１コイル系ＣＳ１に印可され、もう１つの信号も、アンプ８５を経て正相のまま第２コイル系ＣＳ２に印可される。結果的に、反時計回りの電流を順方向電流とした場合、第１及び第３コイルＣＯ１，ＣＯ３には、正相で反時計回りの順方向電流Ｉ１，Ｉ３が流れ、第２及び第４コイルＣＯ２，ＣＯ４には、正相で時計回りの逆方向電流Ｉ２，Ｉ４が流れる。この電流と固定的に設定された磁界との電磁作用（つまりフレミング左手の法則）により、第１及び第３コイルＣＯ１，ＣＯ３には、＋Ｚ向きすなわち上向きの力が発生し、第２及び第４コイルＣＯ２，ＣＯ４には、－Ｚ向きすなわち下向きの力が発生する（具体的には図４（Ａ）参照）。両コイル系ＣＳ１，ＣＳ２において電流Ｉ１～Ｉ４の向きが逆転すると、第１及び第３コイルＣＯ１，ＣＯ３には、－Ｚ向きすなわち下向きの力が発生し、第２及び第４コイルＣＯ２，ＣＯ４には、＋Ｚ向きすなわち上向きの力が発生する（具体的には図４（Ｂ）参照）。第２回動体２２は第２回転軸ＡＸ２の周りに正逆の回転を周期的に繰り返す。結果として、第２回動体２２に支持される第１回動体２３又はこの表面に形成されたミラー２４は第２回転軸ＡＸ２の周りに第２回動体２２と一体となって正逆の回転を周期的に繰り返す。この際、第２回転軸ＡＸ２に対して傾いた斜め軸の周りに回転力が与えられることが回避され、第１駆動信号Ｓ１によって各コイルＣＯ１～ＣＯ４に与えられる力を第２回転軸ＡＸ２の周りの回転力として無駄なく利用することができる。また、第１駆動信号Ｓ１に直流成分がバイアス信号として含まれる場合には、回転の中心角度または基準の角度にオフセット（中心角度をシフトさせる）を加えることができる。

次に、図１、図５（Ａ）図４（Ｃ）等を参照して、第１回転軸ＡＸ１の周りの共振の回転動作について説明する。この場合、駆動部８０から供給される電流、つまり第２駆動信号Ｓ２は、高周波（例えば１ｋＨｚ～２０ｋＨｚ）で、正弦波タイプとなっている。駆動部８０より、第１及び第２コイルＣＯ１，ＣＯ２を含む第１コイル系ＣＳ１に対して、端子ＴＡ１，ＴＡ２を介して、正相の信号に対応する電流Ｉ１，Ｉ２が供給されるとともに、第３及び第４コイルＣＯ３，ＣＯ４を含む第２コイル系ＣＳ２に対して、端子ＴＡ３，ＴＡ４を介して、逆相の信号に対応する電流Ｉ３’，Ｉ４’が供給される（図５の第２アンプ８５の動作に相当）。つまり、駆動部８０を構成する相対的に高周波の波形形成装置８２から２つの信号が出力され、１つの信号は、アンプ８４により正相のまま第１コイル系ＣＳ１に印可され、もう１つの信号は、アンプ８５を経て位相が反転され逆相信号となり第２コイル系ＣＳ２に印可される。結果的に、反時計回りの電流を順方向電流とした場合、第１コイルＣＯ１には、正相で反時計回りの順方向電流Ｉ１が流れるとともに、第２コイルＣＯ２には、正相で時計回りの逆方向電流Ｉ２が流れ、かつ、第４コイルＣＯ４には、逆相で反時計回りの順方向電流Ｉ４’が流れるとともに、第３コイルＣＯ３には、逆相で時計回りの逆方向電流Ｉ３’が流れる。この電流と固定的に設定された磁界との電磁作用（つまりフレミング左手の法則）により、反時計回りの順方向電流Ｉ１，Ｉ４’を与えた第１及び第４コイルＣＯ１，ＣＯ４には、＋Ｚ向きすなわち上向きの力が発生し、時計回りの逆方向電流Ｉ２，Ｉ３’を与えた第２及び第３コイルＣＯ２，ＣＯ３には、－Ｚ向きすなわち下向きの力が発生する（具体的には図４（Ｃ）参照）。両コイル系ＣＳ１，ＣＳ２において電流Ｉ１，Ｉ２，Ｉ３’，Ｉ４’の向きが逆転すると、第１及び第４コイルＣＯ１，ＣＯ４には、－Ｚ向きすなわち下向きの力が発生し、第２及び第３コイルＣＯ２，ＣＯ３には、＋Ｚ向きすなわち上向きの力が発生する（具体的には図４（Ｄ）参照）。以上のように第１回転軸ＡＸ１を挟んだ一方の第１及び第４コイルＣＯ１，ＣＯ４に対して共通する一方向の力を発生させ、第１回転軸ＡＸ１を挟んだ他方の第２及び第３コイルＣＯ２，ＣＯ３に対して共通する逆方向の力を発生させる場合、第２回動体２２は、第２トーションバー３２ａ，３２ｂの存在により大きく回動しないが、第１回転軸ＡＸ１の周りで僅かな周期的なねじり回転（つまり変位角の周期的な変動）を与えられる。この僅かな周期的なねじり回転は、第２回動体２２から第１トーションバー３１ａ，３１ｂを介して第１回動体２３に伝わり、第１回動体２３を第１トーションバー３１ａ，３１ｂの周りに回転させる。このような回転が共振条件を満たす場合、第１回動体２３又はミラー２４は、第１回転軸ＡＸ１又は第１トーションバー３１ａ，３１ｂの周りに比較的大きな振幅で共振しつつ往復回転する。結果的に、ミラー２４は、第１回転軸ＡＸ１の周りに共振回転する。以上から明らかなように、第１コイル系ＣＳ１及び第２コイル系ＣＳ２にともに正相の信号を印可する状態（図４（Ａ）及び４（Ｂ）参照）では、第２回動体２２又はミラー２４が第２回転軸ＡＸ２の周りに往復回転するのに対し、第１コイル系ＣＳ１に正相の信号を印可しつつ第２コイル系ＣＳ２に逆相の信号を印可する状態（図４（Ｃ）及び４（Ｄ）参照）では、第１回動体２３又はミラー２４が第１回転軸ＡＸ１の周りに往復回転する。このことは、信号の切り替えによって、第２回動体２２の第２回転軸ＡＸ２の周りの回転動作と、第１回動体２３の第１回転軸ＡＸ１の周りの回転動作との切り替えが可能になること、つまり回転軸の切り替えが可能になることを意味する。第２駆動信号Ｓ２を図４（Ｃ）及び４（Ｄ）に示すように第１コイル系ＣＳ１に対して正相で印可しつつ第２コイル系ＣＳ２に対して逆相で印可する駆動方法では、第１回転軸ＡＸ１に対して傾いた斜め軸の周りに回転力が与えられることが回避され、第２駆動信号Ｓ２によって各コイルＣＯ１～ＣＯ４に与えられる力を第１回転軸ＡＸ１の周りの回転力として無駄なく利用することができる。なお、第１回転軸ＡＸ１の周りの効率的な共振を達成するため、駆動部８０から供給される高周波は、第１回動体２３の共振周波数に対応する。以上の説明では、第２駆動信号Ｓ２が正弦波タイプであるとしたが、第２駆動信号Ｓ２は、厳密に正弦波である必要は無く、疑似正弦波、矩形波、三角波、その他の周期信号であってもよい。

以上をまとめると、図５（Ａ）に示す駆動部８０によって、低周波の第１駆動信号Ｓ１を図４（Ａ）及び４（Ｂ）に示すコイルＣＯ１～ＣＯ４に対して正相の信号として供給することにより（具体的には、例えばコイルＣＯ１に反時計回りの順方向電流Ｉ１が供給されるときに、コイルＣＯ２に時計回りの逆方向電流Ｉ２が供給され、コイルＣＯ３に反時計回りの順方向電流Ｉ３が供給され、コイルＣＯ４に時計回りの逆方向電流Ｉ４が供給され）、ミラー２４の第２回転軸ＡＸ２の周りの比較的低周期の往復回転が可能になる。さらに、第１駆動信号Ｓ１、具体的には低周波の信号の供給と並行して、図５（Ａ）に示す駆動部８０によって、高周波の第２駆動信号Ｓ２を図４（Ａ）及び４（Ｂ）に示すコイルＣＯ１，ＣＯ２に対して正相の信号として供給するとともに、コイルＣＯ３，ＣＯ４に対して逆相の信号として供給すること、つまりコイルＣＯ３，ＣＯ４に対する駆動信号の極性のみを変更することにより（具体的には、例えばコイルＣＯ１に反時計回りの順方向電流Ｉ１が供給されるときに、コイルＣＯ２に時計回りの逆方向電流Ｉ２が供給され、コイルＣＯ３に時計回りの逆方向電流Ｉ３’が供給され、コイルＣＯ４に反時計回りの順方向電流Ｉ４’が供給され）、第１回転軸ＡＸ１の周りの比較的高周期の往復回転が可能になる。結果的に、第２回転軸ＡＸ２の周りの比較的低周期の往復回転と第１回転軸ＡＸ１の周りの比較的高周期の往復回転とを独立性を保ちつつ複合させた２軸往復回転動作が可能になる。

以上で説明した実施形態の駆動装置１００によれば、各コイルＣＯ１～ＣＯ４に正相で印可される第１駆動信号（低速側駆動信号）Ｓ１によって第２回転軸ＡＸ２の周りに回転力を発生させることができ、第１及び第２コイルＣＯ１，ＣＯ２に正相で印加され第３及び第４コイルＣＯ３，ＣＯ４に逆相で印加される第２駆動信号（高速側駆動信号）Ｓ２によって第１回転軸ＡＸ１の周りに回転力を発生させることができる。つまり、第１及び第２コイルＣＯ１，ＣＯ２に正相の信号を印加しつつ第３及び第４コイルＣＯ３，ＣＯ４に印加する信号を正相及び逆相いずれにするかの組み合わせ（すなわち駆動信号の極性の部分的変更）によって、第２回転軸ＡＸ２の周りの回転力と第１回転軸ＡＸ１の周りの回転力とを任意に切り替え、或いはこれら２つの回転軸ＡＸ１，ＡＸ２の周りの回転力を独立した制御で並行させて発生させることができる。この際、第１駆動信号Ｓ１によって各コイルＣＯ１～ＣＯ４に与えられる力を第２回転軸ＡＸ２の周りの回転力として無駄なく利用することができ、第２駆動信号Ｓ２によって各コイルＣＯ１～ＣＯ４に与えられる力を第１回転軸ＡＸ１の周りの回転力として無駄なく利用することができ、結果的に両回転軸ＡＸ１，ＡＸ２に対して傾いた斜め軸の周りに回転力が与えられることを回避でき、駆動効率が良いだけでなく、歪みの少ない走査軌跡を実現することができる。しかも、各コイルＣＯ１～ＣＯ４が同一平面上に配置されていることから、コイルＣＯ１～ＣＯ４に与えられる駆動力は、第１又は第２回転軸ＡＸ１，ＡＸ２を中心とする回転の周方向又は接線方向に沿ったものになるので、駆動力のすべてが無駄なく回転に寄与し、回転に寄与しない並進力又は不要力によって不要振動が発生することを確実に抑制することができる。また、磁界形成部（磁界付与手段）１２によってコイル面ＣＳに平行な方向の磁界を与えることで、各コイルＣＯ１～ＣＯ４に対してコイル面ＣＳに垂直な方向に大きな力を発生させることができ、各コイルＣＯ１～ＣＯ４を支持する回動体２２，２３について大きな振り角を実現することができる。駆動装置１００を動作させる第１駆動信号Ｓ１については、任意の周波数を用いることができ、さらに周期的なものに限らず非周期的なものとすることができる。このような第１駆動信号Ｓ１により、第２回動体２２を任意の周波数で非共振的に、さらには周期的に限らず非周期的に回転させることができるので、第２回動体２２の傾斜タイミング等の動作パターンについての自由度が増し、駆動装置１００の用途を広げることができる。

〔その他〕
この発明は、上記の実施形態に限られるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲において種々の態様で実施することが可能である。

例えば、上記実施形態において、第１～第４コイルＣＯ１～ＣＯ４を２巻きにしたものが例示されているがコイルの巻き数は駆動装置１００の仕様に応じて様々に設定でき、第１～第４コイルＣＯ１～ＣＯ４へ供給する電流も駆動装置１００の仕様に応じて様々に設定できる。

第１～第４磁界形成器ＭＧ１～Ｇ４によって発生する磁束又は磁界の向きは、第１～第４コイルＣＯ１～ＣＯ４を基準として内向きに限らず、第１～第４コイルＣＯ１～ＣＯ４を基準として外向きとすることもできる。ただし、その場合も、第１～第４コイルＣＯ１～ＣＯ４に流す電流の向きを設定することで、図４（Ａ）及び４（Ｂ）に示す駆動力や図４（Ｃ）及び４（Ｄ）に示すに示す駆動力が発生するように調整する。

外側の支持体２１は、矩形枠状の外形を有するものに限らず、コの字形状、Ｃの字形状等を有するものであってもよい。第１回動体２３は、長円形の外形を有するものに限らず、例えば、円形、楕円形、正方形、長方形、多角形等の各種形状を有するものであってもよい。第２回動体２２は矩形枠状の外形を有するものに限らず、コの字形状、Ｃの字形状、長円形の外形を有するものであってもよい。

ＡＸ１，ＡＸ２…回転軸、 ＣＯ１-ＣＯ４…第１～第４コイル、 ＣＳ１…第１コイル系、 ＣＳ２…第２コイル系、 Ｒ１-Ｒ４…領域、 Ｆ１-Ｆ４…駆動力、 Ｆ１１-Ｆ１４…駆動力、 Ｆ２１-Ｆ２４…駆動力、 Ｈ１-Ｈ４…磁界、 Ｉ１１-Ｉ１４…電流、 Ｉ２１-Ｉ２４…電流、 ＭＧ１-ＭＧ４…磁界形成器、 ＯＰ１-ＯＰ４…周辺開口、 Ｓ１…低速側駆動信号（第１駆動信号）、 Ｓ２…高速側駆動信号（第２駆動信号）、 １０…スキャナ、 １１…スキャナ本体、 １２…磁界形成部（磁界付与手段）、 １３…支持基板、 ２１…支持体、 ２２…第２回動体、２２ｂ…中央環状部、 ２２ｄ…周辺環状部、 ２３…第１回動体、 ２４…ミラー、 ３１ａ，３１ｂ…第１トーションバー、 ３２ａ，３２ｂ…第２トーションバー、 ５１…第１磁極、 ５３，５４…磁石、 ５２…第２磁極、 ５５…ヨーク、 ８０…駆動回路、 ８１，８２…波形形成装置、 ８４，８５…アンプ、 １００…駆動装置

Claims (7)

1. 第１回動体と、
   前記第１回動体の外側に配置されて前記第１回動体を第１回転軸の周りに回転可能に支持する第２回動体と、
   前記第２回動体を第２回転軸の周りに回転可能に支持する支持体と、
   前記第２回動体上において、前記第１及び第２回転軸の交点の周りに前記第１及び第２回転軸により４分割された同一平面上の各領域に配置され、前記交点を挟み対向する第１及び第２コイルと、前記交点を挟み対向する第３及び第４コイルとを含む回路と、
   前記各コイルに対してコイル面に平行な方向の磁界を与える磁界付与手段とを備え、
   第１駆動信号は前記各コイルに正相で印加され、
   第２駆動信号は前記第１及び第２コイルに正相、前記第３及び第４コイルに逆相で印加され、
   前記第２回動体は、前記第１～第４コイルが表面上に形成されて前記第１及び第２回転軸に対して対称的に配置された４つの周辺環状部を有し、
   前記磁界付与手段は、前記４つの周辺環状部の内側及び外側に設けられる磁界形成器を有し、
   前記磁界付与手段のうち前記４つの周辺環状部の外側に設けられる磁界形成器は、前記４つの周辺環状部と前記支持体との隙間にのみ配置されている、駆動装置。
2. 前記第１駆動信号及び前記第２駆動信号を出力する駆動部を備える請求項１に記載の駆動装置。
3. 前記磁界付与手段は、前記第１～第４コイルに共通して内外の一方に向かう磁界を与え、
   前記第１及び第２コイルは、前記第１コイルに反時計方向の電流が流れる場合に前記第２コイルに時計方向の電流が流れるように連結され、前記第３及び第４コイルは、前記第３コイルに反時計方向の電流が流れる場合に前記第４コイルに時計方向の電流が流れるように連結される、請求項１及び２のいずれか一項に記載の駆動装置。
4. 前記第１及び第２コイルは、前記第１回動体の周囲に配置される前記第２回動体の中央環状部上に形成された第１配線によって連結され、前記第３及び第４コイルは、前記中央環状部上に形成された第２配線によって連結される、請求項３に記載の駆動装置。
5. 前記支持体は、前記第２回動体を、第２トーションバーを介して前記第２回転軸の周りにねじり回転可能に支持し、
   前記第２回動体は、前記第１回動体を、第１トーションバーを介して前記第１回転軸の周りにねじり回転可能に支持する、請求項１～４のいずれか一項に記載の駆動装置。
6. 前記第１回動体は、前記第１回転軸の周りに共振周期で回転し、
   前記第２回動体は、前記第１～第４コイルに与えられる力に追従して前記第２回転軸の周りに往復回転する、請求項１～５のいずれか一項に記載の駆動装置。
7. 第１回動体の外側に配置されて前記第１回動体を第１回転軸の周りに回転可能に支持する第２回動体と、前記第２回動体を第２回転軸の周りに回転可能に支持する支持体と、前記第２回動体上において、前記第１及び第２回転軸の交点の周りに前記第１及び第２回転軸により４分割された同一平面上の各領域に配置され、前記交点を挟み対向する第１及び第２コイルと、前記交点を挟み対向する第３及び第４コイルとを含む回路と、前記各コイルに対してコイル面に平行な方向の磁界を与える磁界付与手段とを備える駆動装置について、
   前記第２回動体は、前記第１～第４コイルが表面上に形成されて前記第１及び第２回転軸に対して対称的に配置された４つの周辺環状部を有し、
   前記磁界付与手段は、前記４つの周辺環状部の内側及び外側に設けられる磁界形成器を有し、
   前記磁界付与手段のうち前記４つの周辺環状部の外側に設けられる磁界形成器は、前記４つの周辺環状部と前記支持体との隙間にのみ配置され、
   第１駆動信号は前記各コイルに正相で印加され、
   第２駆動信号は前記第１及び第２コイルに正相、前記第３及び第４コイルに逆相で印加される、駆動方法。

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