JP6565459B2 - 光スキャナー、画像表示装置およびヘッドマウントディスプレイ - Google Patents
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Description
本発明の光スキャナーは、可動部と、
前記可動部を揺動軸まわりに揺動可能に支持する軸部と、
前記軸部を支持する支持部と、
前記可動部の一方の面に接合された保持部と、
前記保持部に設けられ、光反射性を有する光反射部と、
前記支持部の前記保持部が設けられる面と反対の面側に設けられた配線と、
前記可動部の前記保持部が設けられる面と反対の面に設けられた突部と、を有し、
前記支持部と前記可動部と前記軸部とは同一基板から形成されていることを特徴とする。
このように、突部を設けることで、配線のみの突出を抑えることができ、加圧接合時の配線へのダメージを低減することができる。
これにより、加圧接合時の配線へのダメージをより効果的に低減することができる。
これにより、加圧接合時の配線へのダメージをより効果的に低減することができる。
これにより、突部の過度な突出を防止することができる。
これにより、可動部と保持部を簡単かつ強固に接合することができる。
これにより、突部の形成が容易となる。
これにより、信頼性の高い画像表示装置が得られる。
前記光スキャナーを搭載し、観察者の頭部に装着されるフレームと、を有することを特徴とする。
これにより、信頼性の高いヘッドマウントディスプレイが得られる。
まず、本発明の第1実施形態に係る画像表示装置について説明する。
光源ユニット2は、図1に示すように、赤色、緑色、青色、各色のレーザー光源21R、21G、21Bを有する光源部と、レーザー光源21R、21G、21Bを駆動する駆動回路22R、22G、22Bと、レーザー光源21R、21G、21Bから出射されたレーザー光を平行光化するコリメータレンズ24R、24G、24Bと、光合成部23と、集光レンズ26と、を有する。
光スキャナー3は、図1に示すように、軸J1まわりに揺動可能な光反射面351を有し、この光反射面351でレーザーLLを反射することで、レーザーLLを一次元走査する。以下、光スキャナー3について詳細に説明する。なお、以下では、静止状態の光反射面351の法線方向から見た平面視を単に「平面視」とも言う。
以上、光スキャナー3の構造について説明した。
まず、図8に示すように、第1のSi層431、SiO2層432および第2のSi層433がこの順に積層されたSOI基板43を用意する(工程1)。次に、図9に示すように、第1のSi層431をエッチング(ウェットエッチング、ドライエッチング等)によりパターニングすることで基部341を形成し、第2のSi層433およびSiO2層432をエッチングによりパターニングすることで連結部342を形成する(工程2)。これにより、保持部34が得られる。次に、図10に示すように、基部341上にAl膜を成膜することで光反射部35を形成する(工程3)。
まず、図11に示すように、Si基板41を用意する(工程4)。次に、図12に示すように、Si基板41をエッチングによりパターニングすることで、可動部31、軸部321、322および支持部33を形成する(工程5)。次に、図13に示すように、Si基板41の下面であって、軸部321の支持部33との接続部にリン、ボロン等をドープしてピエゾ抵抗部371を形成する(工程6)。
まず、図17に示すように、可動部31の上面(突部38と反対側の面)に接合部材としての金属膜441を成膜し、連結部342の下面(基部341と反対側の面)にも接合部材としての金属膜442を成膜する。なお、これら金属膜441、442としては、可動部31と連結部342とを接合することができれば、特に限定されないが、例えば、Cr層からなる下地層にAu層を積層した積層体とすることができる。また、単層のAl層としてもよい。
次に、本発明の第2実施形態に係る画像表示装置について説明する。
図21は、本発明の第2実施形態に係る光スキャナーを示す断面図である。
次に、本発明の第3実施形態に係る画像表示装置について説明する。
次に、本発明の第4実施形態に係るヘッドアップディスプレイについて説明する。
図24は、本発明の画像表示装置を適用したヘッドアップディスプレイを示す斜視図である。
次に、本発明の第5実施形態に係るヘッドマウントディスプレイについて説明する。
図25は、本発明のヘッドマウントディスプレイを示す斜視図である。
Claims (8)
- 可動部と、
前記可動部を揺動軸まわりに揺動可能に支持する軸部と、
前記軸部を支持する支持部と、
前記可動部の一方の面に接合された保持部と、
前記保持部に設けられ、光反射性を有する光反射部と、
前記支持部の前記保持部が設けられる面と反対の面側に設けられた配線と、
前記可動部の前記保持部が設けられる面と反対の面に設けられた突部と、を有し、
前記支持部と前記可動部と前記軸部とは同一基板から形成され、
前記突部の前記基板と接合する面と反対側の面および前記配線の前記基板と接合する面と反対側の面は、同一面上に位置していることを特徴とする光スキャナー。 - 前記突部の前記基板と接合する面と反対側の面は、前記基板の断面視で、前記配線の前記基板と接合する面と反対側の面と比較して前記基板から離れた位置に位置している請求項1に記載の光スキャナー。
- 可動部と、
前記可動部を揺動軸まわりに揺動可能に支持する軸部と、
前記軸部を支持する支持部と、
前記可動部の一方の面に接合された保持部と、
前記保持部に設けられ、光反射性を有する光反射部と、
前記支持部の前記保持部が設けられる面と反対の面側に設けられた配線と、
前記可動部の前記保持部が設けられる面と反対の面に設けられた突部と、を有し、
前記支持部と前記可動部と前記軸部とは同一基板から形成され、
前記突部の前記基板と接合する面と反対側の面は、前記基板の断面視で、前記配線の前記基板と接合する面と反対側の面と比較して前記基板から離れた位置に位置し、
前記突部の前記基板と接合する面と反対側の面と前記配線の前記基板と接合する面と反対側の面との前記可動部の厚さ方向での離間距離は、前記配線の厚さよりも小さいことを特徴とする光スキャナー。 - 前記可動部と前記保持部は、接合部材を介して接合されている請求項1ないし3のいずれか1項に記載の光スキャナー。
- 前記突部と前記配線は、同一の成膜工程で形成されている請求項1ないし4のいずれか1項に記載の光スキャナー。
- 可動部と、
前記可動部を揺動軸まわりに揺動可能に支持する軸部と、
前記軸部を支持する支持部と、
前記可動部の一方の面に接合された保持部と、
前記保持部に設けられ、光反射性を有する光反射部と、
前記支持部の前記保持部が設けられる面と反対の面側に設けられた配線と、
前記可動部の前記保持部が設けられる面と反対の面に設けられた突部と、を有し、
前記支持部と前記可動部と前記軸部とは同一基板から形成され、
前記突部と前記配線は、同一の成膜工程で形成されていることを特徴とする光スキャナー。 - 請求項1ないし6のいずれか1項に記載の光スキャナーを有することを特徴とする画像表示装置。
- 請求項1ないし6のいずれか1項に記載の光スキャナーと、
前記光スキャナーを搭載し、観察者の頭部に装着されるフレームと、を有することを特徴とするヘッドマウントディスプレイ。
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