CN106444018A - 光扫描仪、图像显示装置以及头戴式显示器 - Google Patents

光扫描仪、图像显示装置以及头戴式显示器 Download PDF

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Abstract

提供一种能够降低在进行加压接合时对布线的损伤的光扫描仪、图像显示装置以及头戴式显示器。光扫描仪(3)具有：可动部(31)；轴部(321)、(322)，以使可动部(31)能够摆动的方式支承可动部(31)；支承部(33)，支承轴部(321)、(322)；保持部(34)，接合于可动部(31)的上表面；光反射部(35)，设于保持部(34)；布线(375),设于支承部(33)的下表面；以及突部(38)，设于可动部(31)的下表面，支承部(33)、可动部(31)和轴部(321)、(322)形成自同一基板。

Description

光扫描仪、图像显示装置以及头戴式显示器
技术领域
本发明涉及光扫描仪、图像显示装置以及头戴式显示器。
背景技术
专利文献1公开了对光进行扫描的光扫描仪。专利文献1的光扫描仪包括：具有镜面的可动部、和能够振动地支承可动部的支承部，通过使可动部振动，则能够对通过镜面反射的光进行扫描。
此外，在专利文献1的光扫描仪中，其表面上设置有第一功能元件及其布线，并在背面上设置有第二功能元件及其布线。在上述构成的光扫描仪中，假设当需要在表面加压接合其它部件时，根据加压接合时的压力，第二功能元件及其布线有可能会受到损伤，相反，当需要在背面加压接合其它部件时，根据加压接合时的压力，第一功能元件及其布线有可能会受到损伤。如上所述，专利文献1的光扫描仪存在不适合与其它部件加压接合的问题。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：日本特开2008-170565号公报
发明内容
本发明的目的在于提供一种能够降低在进行加压接合时对布线的损伤的光扫描仪、图像显示装置以及头戴式显示器。
上述目的通过以下的发明而实现：
本发明的光扫描仪，具有：
可动部；
轴部，以使所述可动部能够绕摆动轴摆动的方式支承所述可动部；
支承部，支承所述轴部；
保持部，与所述可动部的一个面接合；
光反射部，设于所述保持部，并具有光反射性；
布线，设于所述支承部的与设置所述保持部的面相反的面一侧；以及
突部，设于所述可动部的与设置所述保持部的面相反的面，
所述支承部、所述可动部和所述轴部形成自同一基板。
如上所述，通过设有突部，能够抑制仅布线的突出，从而降低加压接合时对布线的损伤。
在本发明的光扫描仪中，优选的是，所述突部的与所述基板接合的面的相反侧的面和所述布线的与所述基板接合的面的相反侧的面位于同一面上。
由此，能够更有效地降低加压接合时对布线的损伤。
在本发明的光扫描仪中，优选的是，在所述基板的截面观察中，所述突部的与所述基板接合的面的相反侧的面相比所述布线的与所述基板接合的面的相反侧的面位于更远离所述基板的位置。
由此，能够更有效地降低加压接合时对布线的损伤。
在本发明的光扫描仪中，优选的是，所述突部的与所述基板接合的面的相反侧的面与所述布线的与所述基板接合的面的相反侧的面在所述可动部的厚度方向上的相距距离小于所述布线的厚度。
由此，能够防止突部的过度突出。
在本发明的光扫描仪中，优选的是，所述可动部与所述保持部通过接合部件而接合。
由此，能够简单且坚固地将可动部与保持部接合起来。
在本发明的光扫描仪中，优选的是，所述突部与所述布线通过同一成膜工序而形成。
由此，突部的形成变得容易。
本发明的图像显示装置，其特征在于，具有本发明的光扫描仪。
由此，得到可靠性高的图像显示装置。
本发明的头戴式显示器，其特征在于，具有：
本发明的光扫描仪；以及
框架，搭载所述光扫描仪，并安装于观察者的头部。
由此，得到可靠性高的头戴式显示器。
附图说明
图1是本发明的第一实施方式的图像显示装置的构成图。
图2是图1示出的图像显示装置具备的光扫描仪的俯视图(上表面图)。
图3是图2中的A-A线截面图。
图4是示出光扫描仪具有的传感器部的俯视图(下表面图)。
图5是图4中的B-B线截面图。
图6是示出光扫描具有的突部及布线的截面图。
图7是示出图2所示的光扫描仪的制造方法的流程图。
图8是示出图2所示的光扫描仪的制造方法的截面图。
图9是示出图2所示的光扫描仪的制造方法的截面图。
图10是示出图2所示的光扫描仪的制造方法的截面图。
图11是示出图2所示的光扫描仪的制造方法的截面图。
图12是示出图2所示的光扫描仪的制造方法的截面图。
图13是示出图2所示的光扫描仪的制造方法的截面图。
图14是示出图2所示的光扫描仪的制造方法的截面图。
图15是示出图2所示的光扫描仪的制造方法的截面图。
图16是示出图2所示的光扫描仪的制造方法的截面图。
图17是示出图2所示的光扫描仪的制造方法的截面图。
图18是示出图2所示的光扫描仪的制造方法的截面图。
图19是示出图2所示的光扫描仪的制造方法的截面图。
图20是示出图2所示的光扫描仪的制造方法的截面图。
图21是示出本发明的第二实施方式的光扫描仪的截面图。
图22是示出本发明的第三实施方式的光扫描仪的截面图。
图23是图22示出的光扫描仪的俯视图(下表面图)。
图24是示出应用了本发明的图像显示装置的平视显示器的立体图。
图25是示出本发明的头戴式显示器的立体图。
符号说明
1…图像显示装置；10…对象物；2…光源单元；21B、21G、21R…激光光源；22B、22G、22R…驱动电路；23…光合成部；23B、23G、23R…分色镜；24B、24G、24R…准直透镜；26…聚光透镜；3…光扫描仪；3’…水平扫描用光扫描仪、3”…垂直扫描用光扫描仪、30…结构体；31…可动部；321、322…轴部；33…支承部；34…保持部；341…基部；342…连接部；35…光反射部；351…光反射面；37…传感器部；371…压电电阻部；375…布线；3751…上表面；3752…下表面；376…端子；3761…上表面；3762…下表面；38…突部；381…下表面；39…驱动部；391…永久磁铁；392…线圈；393…布线；394…端子；41…Si基板；42…绝缘层；43…SOI基板；431…第一Si层；432…SiO2层；433…第二Si层；44…接合部件；441…金属膜；442…金属膜；6…金属膜；71…下层台；72…上层台；200…平视显示器系统；210…平视显示器；220…挡风玻璃；300…头戴式显示器；310…框架；320…显示部；D…相距距离；J1…轴；LL…激光。
具体实施方式
以下，参照附图，对本发明的光扫描仪、图像显示装置以及头戴式显示器的优选的实施方式进行说明。
第一实施方式
首先，对本发明的第一实施方式的图像显示装置进行说明。
图1是本发明的第一实施方式的图像显示装置的构成图。图2是图1示出的图像显示装置具备的光扫描仪的俯视图(上表面图)。图3是图2中的A-A线截面图。图4是示出光扫描仪具有的传感器部的俯视图(下表面图)。图5是图4中的B-B线截面图。图6是示出光扫描具有的突部及布线的截面图。图7是示出图2所示的光扫描仪的制造方法的流程图。图8至图20是分别示出图2所示的光扫描仪的制造方法的截面图。此外，在以下内容中，为了方便说明，也将图2中的上侧称为“上”，将下侧称为“下”。
图1中示出的图像显示装置1是通过对屏幕、墙面等对象物10以二维的方式扫描绘图用的激光LL而显示图像的装置。
上述图像显示装置1具有：射出绘图用的激光LL的光源单元2、扫描从光源单元2射出的激光LL的两个光扫描仪3。另外，两个光扫描仪3以使激光LL的扫描方向(后述的轴J1)相垂直的方式而配置。并且，例如，通过一个光扫描仪3以水平方向扫描激光LL，然后，另一个光扫描仪3以垂直方向扫描激光LL，则在对象物10上显示二维图像。
光源单元
如图1所示，光源单元2具有：具有红色、绿色、蓝色、各色的激光光源21R、21G、21B的光源部、驱动激光光源21R、21G、21B的驱动电路22R、22G、22B、将从激光光源21R、21G、21B射出的激光进行平行光化的准直透镜24R、24G、24B、光合成部23、和聚光透镜26。
激光光源21R射出红色光，激光光源21G射出绿色光，激光光源21B射出蓝色光。通过利用这三种颜色的光，能够显示全彩的图像。此外，激光光源21R、21G、21B未特别限定，例如，可以使用激光二极管、LED等。
驱动电路22R驱动激光光源21R，驱动电路22G驱动激光光源21G，驱动电路22B驱动激光光源21B。这些驱动电路22R、22G、22B通过未图示的控制部而独立地控制驱动。从被驱动电路22R、22G、22B驱动的激光光源21R、21G、21B射出的三种激光分别通过准直透镜24R、24G、24B被平行光化而入射到光合成部23。
光合成部23将来自激光光源21R、21G、21B的光进行合成。光合成部23具有三个分色镜23R、23G、23B。分色镜23R具有反射红色光的功能，分色镜23G具有使红色光透过的同时并反射绿色光的功能，分色镜23B具有使红色光和绿色光透过的同时并反射蓝色光的功能。
来自激光光源21R、21G、21B的红色光、绿色光和蓝色光的三种颜色的光，通过上述分色镜23R、23G、23B而合成。此时，利用控制部分别独立地调制从激光光源21R、21G、21B射出的光的强度，生成预定颜色的绘图用的激光LL(光)。如此地生成的激光LL在通过聚光透镜26而变更为所希望的NA(数值孔径参数)之后，由光扫描仪3引导。
以上，虽然对光源单元2进行了说明，但作为该光源单元2的构成，只要能够生成激光LL即可，并不限定于本实施方式的构成。
光扫描仪
如图1所示，光扫描仪3具有能够绕轴J1摆动的光反射面351，通过利用该光反射面351反射激光LL，则对激光LL进行一维扫描。以下，对光扫描仪3进行详细地说明。此外，以下，也将从静止状态的光反射面351的法线方向观察下的俯视图仅称为“俯视图”。
如图2和图3所示，光扫描仪3包括：结构体30、被保持部34保持的光反射部35、检测可动部31的摆动角度(倾斜度)的传感器部37、设置于可动部31的突部38、和使可动部31绕轴J1摆动的驱动部39，所述结构体3具有可动部31、以使可动部31能够绕轴J1摆动(转动)的方式支承可动部31的可弹性变形的轴部321、322、支承轴部321、322的支承部33、和固定在可动部31的上表面的保持部34。
可动部31形成为板状。上述可动部31的在俯视观察下的形状未特别限定，但在本实施方式中形成为圆形。
在可动部31的俯视观察下，轴部321、322相对于可动部31彼此配置相反一侧。另外，轴部321、322分别沿轴J1延伸，并且其一端部与可动部31连接，另一端部与支承部33连接。这些轴部321、322以使可动部31能够绕轴J1摆动的方式支承可动部31，并随着可动部31绕轴J1的摆动而扭曲变形。此外，只要以使可动部31能够绕轴J1摆动的方式支承可动部31即可，轴部321、322的形状并不限定于本实施方式的形状。
支承部33呈框状，在俯视观察下，以包围可动部31及轴部321、322的方式而配置。换言之，在支承部33的内侧配置有可动部31及轴部321、322。并且，支承部33与轴部321、322相连接，并支承轴部321、322。此外，支承部33的形状未特别限定，例如，可以分开为支承轴部321的部分与支承轴部322的部分。另外，支承部33也可以形成为比可动部31及轴部321、322更厚。
如图3所示，保持部34接合在可动部31的上表面。另外，保持部34具有：基部341、和位于基部341与可动部31之间的位置，并连接基部341与可动部31的连接部342。上述保持部34通过经由由金属膜构成的接合部件44的加压接合而与可动部31接合。通过经由上述接合部件44而将保持部34与可动部31进行加压接合，则能够将其更坚固地接合起来。此外，通过在保持部34与接合部件44之间或在可动部31与接合部件44之间设置由Ti等构成的密合层，则能够更坚固地将保持部34与接合部件44接合起来。
另外，基部341在板厚方向上相对于可动部31及轴部321、322分开，并在基部341的俯视观察下，设为与轴部321、322重叠。换言之，连接部342设置于基部341与可动部31之间，在基部341的俯视观察下，连接部342及轴部321、322的至少一部分被基部341覆盖。在上述基部341的上表面保持有光反射部35。光反射部35具有光反射性，并且该表面具有反射激光LL的光反射面351。因此，入射到光反射面351的激光LL被光反射面351反射，向与光反射面351的姿势对应的方向扫描。上述光反射部35能够由例如铝等金属膜构成。
如上所述，通过设置保持部34，在保持部34上配置光反射部35，则能够发挥以下效果。即、如果形成上述构成，则无需在可动部31上设置光反射部35，因此，能够使可动部31变小，相应的，能够缩短轴部321、322之间的距离。因此，能够使光扫描仪3小型化。另外，由于基部341相对于轴部321、322沿板厚方向偏离(设置为沿板厚方向分开)，因此不妨碍轴部321、322的扭曲变形，并能够增大基部341，相应的，能够增大光反射面351。如此地，通过设置保持部34，能够在增大光反射面351，并实现光扫描仪3的小型化。
以上，对结构体30进行了说明。在此，结构体30中，可动部31、轴部321、322及支承部33能够例如通过蚀刻Si基板41而形成为一体。此外，在本实施方式中，Si基板41的下表面设置有绝缘层42。该绝缘层42主要用于确保后述的传感器部37的布线375、端子376的绝缘性而设置。此外，也可以使Si基板41包括绝缘层42。
另外，在结构体30中，保持部34能够例如通过蚀刻SOI基板43(按照第一Si层(设备层)431、SiO2层(盒层)432、第二Si层(柄层)433的顺序层叠而成的基板)而形成。具体而言，能够通过从第一Si层431形成保持部34的基部341，并从SiO2层432及第二Si层433形成连接部342而形成。然后，通过经由接合部件44接合连接部342与可动部31而得到结构体30。但是，结构体30的各部分的构成材料、形成方法并不限定于此。
如图3所示，驱动部39具有：设置在可动部31的下表面(准确而言是突部38的下表面)的永久磁铁391、和与永久磁铁391相对配置，并产生作用于永久磁铁391的磁场的线圈392。另外，在俯视观察下，永久磁铁391配置为S极位于轴J1的一侧，并且N极位于另一侧上。作为上述永久磁铁391能够优选使用例如钕磁铁、铁氧体磁铁、钐钴磁铁、铝镍钴磁铁、粘结磁铁等。在上述驱动部39中，通过将交流电压施加于线圈392，则能够使可动部31绕轴J1摆动。
在此，对于两个光扫描仪3中的水平扫描用光扫描仪3’，优选通过共振驱动来使可动部31摆动。由此，能够增大可动部31的绕轴J1的摆动角。此外，共振驱动的频率未特别限定，例如，优选是10kHz～40kHz左右。另一方面，对于垂直扫描用光扫描仪3”，优选使可动部31非共振驱动。非共振驱动的频率未特别限定，例如，优选为30Hz～120Hz左右(60Hz左右)。
如图4及图5所示，检测可动部31的摆动角度的传感器部37设置在轴部321的下表面(与保持部34相反一侧的面)，与支承部33的连接部上。通过将传感器部37设置在轴部321的下表面，使得传感器部37的形成变得容易。
另外，传感器部37具有：压电电阻部371、与压电电阻部371连接的布线375、和与各布线375连接的端子376。由于压电电阻部371随着轴部321的扭曲变形而电阻值发生变化，因此，能够从压电电阻部371的电阻值变化检测到轴部321的扭曲量，而且，从轴部321的扭曲量能够检测可动部31绕轴J1的摆动角度。
压电电阻部371能够通过相对于磷、硼等的Si的杂质掺杂(扩散或注入)到上述Si基板41的下表面而形成。另外，布线375及端子376能够通过图案化配置于绝缘层42上的金属膜而形成。
此外，传感器部37的构成只要能够检测可动部31的摆动角度即可，并未特别限定，例如，可以配置四个压电电阻部371，并可以为通过这些压电电阻部形成桥接电路(惠斯通电桥电路)。
如图3及图6所示，突部38设置在可动部31的下表面(与保持部34相反一侧的面)。该突部38具有保护传感器部37所具有的布线375及端子376免于受到制造时施加的压力的功能。此外，将在后述的光扫描仪3的制造方法中详细地说明上述突部38的功能。
如图6所示，突部38的下表面(突部38的与结构体30接触的面的相反侧的面。换言之，与设置在Si基板41的绝缘层42接触的面的相反侧的面)381比布线375、端子376的上表面(与结构体30接触一侧的面。换言之，与设置在Si基板的绝缘层42接触的面)3751、3761更位于下侧(与结构体30接触的面的相反侧。换言之，与设置在Si基板41的绝缘层42接触的面的相反侧的面)。而且，突部38的下表面381与布线375、端子376的下表面(与结构体30接触的面的相反侧的面。换言之，与设置在Si基板41的绝缘层42接触的面的相反侧的面)3752、3762大体位于同一面上。
通过图案化配置在绝缘层42上的金属膜，一并形成上述突部38与布线375、端子376。如上所述，通过由与布线375及端子376相同的金属膜形成突部38，则使突部38的形成变得容易。
然而，作为突部38的构成，并未特别限定，例如，布线375及端子376可以不以总括的方式形成，而且，构成材料可以与布线375、端子376的不同。然而，作为突部38的构成材料虽未特别限定，但优选杨氏模量等于或大于布线375及端子376的材料。由此，能够使突部38足够坚硬。
以上，对光扫描仪3的构造进行了说明。
接下来，通过图7至图20，对光扫描仪3的制造方法进行说明。如图7所示，光扫描仪3的制造方法具有第一形成工序、第二形成工序、和接合工序。
第一形成工序
首先，如图8所示，准备按照第一Si层431、SiO2层432及第二Si层433的顺序层叠的SOI基板43(工序1)。接下来，如图9所示，通过利用蚀刻(湿法蚀刻、干法蚀刻等)对第一Si层431进行图案化而形成基部341，并利用蚀刻对第二Si层433及SiO2层432进行图案化而形成连接部342(工序2)。由此，得到保持部34。接下来，如图10所示，通过在基部341上形成Al膜而形成光反射部35(工序3)。
此外，对工序3的顺序未特别限定，可以在工序2之前实施，也可以在工序2之后(例如，在接合工序之后)实施。
第二形成工序
首先，如图11所示，准备Si基板41(工序4)。接下来，如图12所示，通过利用蚀刻对Si基板41进行图案化，而形成可动部31、轴部321、322及支承部33(工序5)。接下来，如图13所示，在Si基板41的下表面，在轴部321与支承部33的连接部掺杂磷、硼等，从而形成压电电阻部371(工序6)。
接下来，如图14所示，在Si基板41的下表面形成绝缘层42(工序7)。作为该绝缘层42，未特别限定，例如，可以由SiO2层与SiN层的层叠体构成。此外，该绝缘层42在与压电电阻部371重叠的位置上具有贯通孔(通路孔)。
接下来，如图15所示，在绝缘层42上形成金属膜6(工序8)。该金属膜6未特别限定，例如，能够形成在由Cr层构成的基础层上层叠有Au层的层叠体。接下来，通过利用蚀刻对金属膜6进行图案化，如图16所示，形成突部38、布线375及端子376(工序9)。如上所述，通过由金属膜6总括地形成突部38、布线375及端子376，能够容易地使它们的下表面大体位于同一面上。
此外，工序5在工序9之后进行。即，也可以在形成传感器部37之后，形成可动部31、轴部321、322及支承部33。另外，工序5也可以在下一个接合工序之后进行。即，也可以在将Si基板41与SOI基板43接合之后，形成可动部31、轴部321、322及支承部33。
接合工序
首先，如图17所示，在可动部31的上表面(与突部38相反一侧的面)形成作为接合部件的金属膜441，在连接部342的下表面(与基部341相反一侧的面)也形成作为接合部件的金属膜442。此外，作为这些金属膜441、442，只要能够将可动部31和连接部342进行接合即可，并未特别限定，例如，能够形成为在由Cr层构成的基础层上层叠有Au层的层叠体。另外，也可以形成单层的Al层。
接下来，如图18所示，将Si基板41放置于下层台71，将SOI基板43(保持部34)放置于上层台72。然后，如图19所示，通过边加热边将Si基板41及SOI基板43按压于下层台71及上层台72，则经由金属膜441、442加压接合可动部31和连接部342。由此，得到结构体30。然后，而且，如图20所示，通过在可动部31的下表面设置永久磁铁391，并以与永久磁铁391相对的方式配置线圈392，从而得到光扫描仪3。
在本发明中，由于在可动部31的下表面设置有突部38，因此，通过突部38能够挡住下层台71及上层台72被按压时所受到的压力的至少一部分，从而能够减小布线375及端子376受到的压力。因此，能够抑制布线375及端子376被压溃。由此，能够抑制由于压溃而导致的布线375的电阻值上升或破损(断线)、由于压溃部分扩大而导致与相邻布线375彼此接触(短路)等，从而能够抑制传感器部37发生故障。
另外，通过设置突部38，在下层台71及上层台72被按压时，能够从下侧支撑可动部31，由于向可动部31和连接部342施加足够的压力，因此，能够更可靠且坚固地将它们接合起来。因此，能够制造机械强度优异的光扫描仪3。
此外，本实施方式中，突部38的下表面381与布线375及端子376的下表面3752、3762位于同一面上，但突部38的下表面381也可以位于比布线375及端子376的下表面3752、3762更上方(结构体30一侧)。根据上述构成，与没有突部38的情况相比，能够充分地发挥上述效果。
第二实施方式
接下来，对本发明的第二实施方式的图像显示装置进行说明。
图21是示出本发明的第二实施方式的光扫描仪的截面图。
以下，对于第二实施方式的图像显示装置，以与上述实施方式的不同点为中心进行说明，对于相同的事项，省略该说明。
本发明的第二实施方式的图像显示装置，除了光扫描仪的构成不同以外，其余与上述第一实施方式相同。此外，对于与上述实施方式相同的构成，采用同一符号。
在图21示出的光扫描仪3中，突部38形成为比布线375及端子376更厚。因此，突部38的下表面381比布线375及端子376的下表面3752、3762位于更下侧(相比下表面3752、3762更远离结构体30的位置)。
通过形成上述构成，能够在下层台71及上层台72被按压时(加压接合可动部31与连接部342时)使布线375及端子376所受到的压力变得更小。因此，能够抑制布线375及端子376的压溃。另外，在下层台71及上层台72被按压时，能够利用突部38更有效地从下侧支撑可动部31，能够对可动部31和连接部342施加足够的压力，因此，能够更可靠且坚固地将其接合起来。
此外，作为突部38的下表面381与布线375及端子376的下表面3752、3762的在可动部31的厚度方向上的相距距离D，并未特别限定，但优选比布线375及端子376的厚度t更小。即，优选满足D<t的关系。通过满足上述关系，能够防止突部38向下方的过度突出，例如，能够抑制在下层台71及上层台72被按压时(将可动部31和连接部342进行加压接合时)的Si基板41的弯曲及翘曲。因此，能够更有效地抑制Si基板41的变形或破损。
采取上述第二实施方式，也能够发挥与上述第一实施方式相同的效果。
第三实施方式
接下来，对本发明的第三实施方式的图像显示装置进行说明。
图22是示出本发明的第三实施方式的光扫描仪的截面图。图23是图22示出的光扫描仪的俯视图(下表面图)。此外，为了方便说明，图22及图23均省略了传感器部37的图示。
以下，对于第三实施方式的图像显示装置，以与上述实施方式的不同点为中心进行说明，对于相同的事项，省略其说明。
本发明的第三实施方式的图像显示装置，除了光扫描仪的构成不同以外，其余与上述第一实施方式相同。此外，对于与上述实施方式相同的构成，均采用同一符号。
在图22及图23示出的光扫描仪3中，驱动部39具有的永久磁铁391和线圈392的配置与上述第一实施方式相反。即，在可动部31的下表面设置有线圈392，与该线圈392相对地设置有永久磁铁391。线圈392沿可动部31的外周而配置，在该线圈392的内侧设置有突部38。另外，线圈392通过配置在轴部321、322及支承部33的下表面的布线393，与配置在支承部33的下表面的端子394连接。
通过上述构成，能够在下层台71及上层台72背按压时(对可动部31和连接部342进行加压接合时)，使线圈392、布线393及端子394所受到的压力变得更小。因此，能够抑制线圈392、布线393及端子394的压溃，从而能够抑制驱动部39发生故障。
通过上述第三实施方式，也能够发挥与上述第一实施方式相同的效果。
第四实施方式
接下来，对本发明的第四实施方式的平视显示器进行说明。
图24是示出应用了本发明的图像显示装置的平视显示器的立体图。
如图24所示，在平视显示器系统200中，图像显示装置1以构成平视显示器210的方式搭载在汽车的仪表盘上。利用该平视显示器210，能够在挡风玻璃220上显示例如至目的地的导航显示、时刻、方位、速度、外部气温、天气等的预定图像。此外，平视显示器系统200不仅限于汽车，也能够应用于例如飞机、船舶等。
第五实施方式
接下来，对本发明的第五实施方式的头戴式显示器进行说明。
图25是示出本发明的头戴式显示器的立体图。
如图25所示，头戴式显示器300具有安装在观察者的头部的框架310、以及搭载在框架310上的图像显示装置1。并且，利用图像显示装置1，在设置于框架310的作为普通透镜的部位的显示部(光反射层)320上，显示通过一只眼睛视觉确认的预定图像。
显示部320可以是透明的，也可以是不透明的。当显示部320是透明时，能够将来自图像显示装置1的信息重叠于来自现实世界的信息(景色)上而使用。另外，显示部320只要可以反射入射的光的至少一部分即可，例如，可以使用全息元件、半反射镜等。
以上，根据图示的实施方式，对本发明的光扫描仪、图像显示装置及头戴式显示器进行了说明，但本发明并不限于此，各部分的构成能够替换为具有相同的功能的任意构成。另外，可以对本发明附加其它任意的构成物。
另外，在上述实施方式中，作为光扫描仪，对将激光可以以一维(绕轴J1)的方式扫描的构成进行了说明，但作为光扫描仪的构成，并不限于此。例如，光扫描仪也可以形成所谓的“万向型”，能够绕第一轴和与第一轴正交的第二轴的两轴摆动，成为能够对光进行二维扫描的构成。

Claims (8)

1.一种光扫描仪，其特征在于，具有：
可动部；
轴部，以使所述可动部能够绕摆动轴摆动的方式支承所述可动部；
支承部，支承所述轴部；
保持部，与所述可动部的一个面接合；
光反射部，设于所述保持部，并具有光反射性；
布线，设于所述支承部的与设置所述保持部的面相反的面一侧；
以及
突部，设于所述可动部的与设置所述保持部的面相反的面，
所述支承部、所述可动部和所述轴部形成自同一基板。
2.根据权利要求1所述的光扫描仪，其特征在于，
所述突部的与所述基板接合的面的相反侧的面和所述布线的与所述基板接合的面的相反侧的面位于同一面上。
3.根据权利要求1所述的光扫描仪，其特征在于，
在所述基板的截面观察中，所述突部的与所述基板接合的面的相反侧的面相比所述布线的与所述基板接合的面的相反侧的面位于更远离所述基板的位置。
4.根据权利要求3所述的光扫描仪，其特征在于，
所述突部的与所述基板接合的面的相反侧的面与所述布线的与所述基板接合的面的相反侧的面在所述可动部的厚度方向上的相距距离小于所述布线的厚度。
5.根据权利要求1至4中任一项所述的光扫描仪，其特征在于，
所述可动部与所述保持部通过接合部件而接合。
6.根据权利要求1至5中任一项所述的光扫描仪，其特征在于，
所述突部与所述布线通过同一成膜工序而形成。
7.一种图像显示装置，其特征在于，具有：
根据权利要求1至6中任一项所述的光扫描仪。
8.一种头戴式显示器，其特征在于，具有：
根据权利要求1至6中任一项所述的光扫描仪；以及
框架，搭载所述光扫描仪，并安装于观察者的头部。
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