CN103389576A - 光学器件、光扫描仪以及图像显示装置 - Google Patents

Abstract

本发明涉及光学器件、光扫描仪以及图像显示装置。光扫描仪包括能够绕着Y轴摆动的基部、能够绕着与Y轴交叉的X轴摆动的框体部、和以相对于框体部能够绕着Y轴摆动的方式支承基部的轴部，并具有光反射板，该光反射板被固定于基部并且设置有具有光反射性的光反射部，框体部包围基部而被设置，轴部的一端部与基部连接，轴部的另一端部与框体部连接，光反射板被设置为在光反射板的板厚方向与轴部分离，并且在从上述板厚方向观察时与轴部重叠。

Description

光学器件、光扫描仪以及图像显示装置

技术领域

本发明涉及光学器件、光扫描仪以及图像显示装置。

背景技术

例如作为用于投影仪等的光学器件，已知一种对光进行二维扫描的光扫描仪（例如，参照专利文献1）。

专利文献1所记载的光扫描仪具有设置了一对永磁铁的绝缘基板、和以位于一对永磁铁之间的方式被绝缘基板支承的扫描仪主体。并且，扫描仪主体具有框状的支承部、设置于支承部内侧的框状的外侧可动板、和设置于外侧可动板内侧的内侧可动板（反光镜）。另外，外侧可动板借助沿X轴方向延伸的一对第1扭杆（torsion bar）与支承部连接，内侧可动板借助沿与X轴方向正交的Y轴方向延伸的第2扭杆与外侧可动板连接。另外，在外侧可动板以及内侧可动板上分别设置有线圈。

在这样的构成的光扫描仪中，通过因通电而从各线圈产生的磁场和一对永磁铁之间产生的磁场的相互作用，外侧可动板与内侧可动板一起以第1扭杆为中心轴绕着X轴摆动，内侧可动板以第2扭杆为中心轴绕着Y轴摆动。

但是，在专利文献1所记载的光扫描仪中，在俯视（从内侧可动板的厚度方向观察时）时，内侧可动板以及第2扭杆被配置成彼此不重叠，所以存在整体的尺寸根据反光镜（内侧可动板）的尺寸而变大的问题。

特别是，在专利文献1所记载的光扫描仪中，例如若内侧可动板的尺寸变大，则相应地必须将第2扭杆配置在外侧，随之，外侧可动板的尺寸变大，进而相应地必须将第1扭杆配置在外侧。另外，若外侧可动板的尺寸变大，则外侧可动板的质量也变大，所以第1扭杆的长度变长，并且使外侧可动板摆动所需要的驱动力变大。

专利文献1：日本特开平8-322227号公报

发明内容

本发明的目的在于提供一种能够实现小型化并对光进行二维扫描的光学器件、光扫描仪以及图像显示装置。

这样的目的通过下述的本发明达成。

本发明的光学器件的特征在于，包括能够绕着第1轴摆动的可动部、能够绕着与上述第1轴交叉的第2轴摆动的框体部、和以相对于上述框体部能够绕着上述第1轴摆动的方式支承上述可动部的第1轴部，上述光学器件具有光反射板，上述光反射板被固定于上述可动部并且设置有具有光反射性的光反射部，上述框体部包围上述可动部而被设置，上述第1轴部的一端部与上述可动部连接，上述第1轴部的另一端部与上述框体部连接，上述光反射板被设置为在上述光反射板的板厚方向与上述第1轴部分离，并且在从上述板厚方向观察时与上述第1轴部的至少一部分重叠。

根据这样构成的光学器件，能够使可动部绕着第1轴以及第2轴摆动。因此，能够对由光反射部反射的光进行二维扫描。

特别是，光反射板被设置为在板厚方向与第1轴部分离，并且在从板厚方向观察时与第1轴部的至少一部分重叠，所以能够实现光学器件的小型化。

在本发明的光学器件中，优选上述光反射板被形成为在从上述板厚方向观察时，覆盖上述第1轴部的整体。

由此，能够增大光反射部的面积。另外，能够防止未能入射到光反射部的光被第1轴部反射而成为漫射光。

在本发明的光学器件中，优选上述光反射板形成为在从上述板厚方向观察时，覆盖上述框体部的整体。

由此，能够增大光反射部的面积。另外，能够防止未能入射到光反射部的光被框体部反射而成为漫射光。

在本发明的光学器件中，优选还具有与上述框体部连接并且以能够绕着上述第2轴摆动的方式支承上述框体部的第2轴部，上述光反射板被形成为在从上述板厚方向观察时，覆盖上述第2轴部的整体。

由此，能够增大光反射部的面积。另外，能够防止未能入射到光反射部的光被第2轴部反射而成为漫射光。

在本发明的光学器件中，优选上述光反射板呈如下形状，即在从上述板厚方向观察时具有向沿着上述第1轴以及上述第2轴中至少一个轴的方向突出的部分。

由此，能够抑制光反射板绕着第1轴或者绕着第2轴的惯性力矩，并将光反射板设置为在从上述板厚方向观察时，覆盖第1轴部、框体部或者第2轴部。

在本发明的光学器件中，优选将上述光反射板隔着隔垫物固定在上述可动部上。

由此，能够防止与第1轴部、框体部以及第2轴部的接触，并使光反射板摆动。

在本发明的光学器件中，优选在上述光反射板的上述可动部侧的面的至少一部分上形成有由比上述光反射板的材料硬的材料构成的硬质层。

由此，能够提高光反射板的刚性，并抑制光反射板的挠曲。

在本发明的光学器件中，优选具备：被配置于上述框体部的永磁铁；与上述框体部对置地配置的线圈；以及对上述线圈施加电压的电压施加部，通过上述电压施加部对上述线圈施加电压，从而使上述可动部绕着上述第1轴以及上述第2轴摆动。

由此，能够实现小型化，并能够通过电磁驱动方式（动磁方式（moving magnet））使光反射板绕着第1轴以及第2轴摆动。另外，由于线圈与光学器件的振动系统相分离，所以能够防止因线圈的发热所带来的不良影响。

在本发明的光学器件中，优选具备：被配置于上述框体部的线圈；与上述框体部对置地配置的永磁铁；以及对上述线圈施加电压的电压施加部，通过上述电压施加部对上述线圈施加电压，从而使上述可动部绕着上述第1轴以及上述第2轴摆动。

由此，能够实现小型化，并能够通过电磁驱动方式（动磁方式）使光反射板绕着第1轴以及第2轴摆动。

在本发明的光学器件中，优选具备：被设置在上述第2轴部的压电元件和对上述压电元件施加电压的电压施加部，通过上述电压施加部对上述压电元件施加电压，从而使上述可动部绕着上述第1轴以及上述第2轴摆动。

由此，能够实现小型化，并能够通过电磁驱动方式使光反射板绕着第1轴以及第2轴摆动。

在本发明的光学器件中，上述电压施加部具有：产生第1频率的第1电压的第1电压产生部；产生频率与上述第1频率不同的第2频率的第2电压的第2电压产生部；以及使上述第1电压和上述第2电压叠加的电压叠加部，使上述可动部以上述第1频率绕着上述第1轴摆动，并且使上述可动部以上述第2频率绕着上述第2轴摆动。

由此，能够减少构成驱动源的部件数。因此，能够实现光学器件的小型化以及低成本化。

在本发明的光学器件中，优选在将上述框体部沿着上述第1轴的方向的长度设为a，将上述框体部沿着上述第2轴的方向的长度设为b时，满足关系a>b。

由此，能够确保第1轴部所需要的长度，并抑制光学器件在第2轴方向的长度。

本发明的光扫描仪的特征在于，包括能够绕着第1轴摆动的可动部、能够绕着与上述第1轴交叉的第2轴摆动的框体部、和以相对于上述框体部能够绕着上述第1轴摆动的方式支承上述可动部的第1轴部，上述光扫描仪具有光反射板，上述光反射板被固定于上述可动部并且设置有具有光反射性的光反射部，上述框体部包围上述可动部而被设置，上述第1轴部的一端部与上述可动部连接，上述第1轴部的另一端部与上述框体部连接，上述光反射板被设置为在厚度方向与上述第1轴部分离，并且在从厚度方向观察时与上述第1轴部的至少一部分重叠。

根据如此地构成的光扫描仪，能够实现小型化，并能够对光进行二维扫描。

本发明的图像显示装置的特征在于具备光扫描仪，上述光扫描仪包括能够绕着第1轴摆动的可动部、能够绕着与上述第1轴交叉的第2轴摆动的框体部、和以相对于上述框体部能够绕着上述第1轴摆动的方式支承上述可动部的第1轴部，上述光扫描仪包括光反射板，该光反射板被固定于上述可动部并且设置有具有光反射性的光反射部，上述框体部包围上述可动部而被设置，上述第1轴部的一端部与上述可动部连接，上述第1轴部的另一端部与上述框体部连接，上述光反射板被设置为在上述光反射板的板厚方向与上述第1轴部分离，并且在从上述板厚方向观察时与上述第1轴部的至少一部分重叠。

根据如此地构成的图像显示装置，能够实现小型化，并能够对光进行二维扫描。

附图说明

图1是表示本发明的光扫描仪（光学器件）的第1实施方式的俯视图。

图2是图1所示的光扫描仪的剖视图（沿着X轴的剖视图）。

图3是用于说明图1所示的光扫描仪所具备的驱动部的电压施加部的框图。

图4是表示图3所示的第1电压产生部以及第2电压产生部的产生电压的一个例子的图。

图5是表示本发明的光扫描仪（光学器件）的第2实施方式的剖视图（沿着X轴的剖视图）。

图6是表示本发明的光扫描仪（光学器件）的第3实施方式的俯视图。

图7是图6所示的光扫描仪的剖视图（沿着X轴的剖视图）。

图8是表示本发明的光扫描仪（光学器件）的第4实施方式的俯视图。

图9是图8所示的光扫描仪的剖视图（沿着X轴的剖视图）。

图10是用于说明图8所示的光扫描仪所具备的驱动部的电压施加部的框图。

图11是表示图10所示的第1电压产生部以及第2电压产生部中的产生电压的一个例子的图。

图12是表示本发明的光扫描仪（光学器件）的第5实施方式的俯视图。

图13是示意地表示本发明的图像显示装置的实施方式的图。

图14是表示本发明的图像显示装置的应用例1的立体图。

图15是表示本发明的图像显示装置的应用例2的立体图。

图16是表示本发明的图像显示装置的应用例3的立体图。

具体实施方式

以下，参照附图对本发明的光学器件、光扫描仪以及图像处理装置的优选实施方式进行说明。另外，在以下的实施方式中，代表性地说明将本发明的光学器件应用于光扫描仪的情况。

<第1实施方式>

图1是表示本发明的光扫描仪（光学器件）的第1实施方式的俯视图，图2是图1所示的光扫描仪的剖视图（沿着X轴的剖视图），图3是用于说明图1所示的光扫描仪所具备的驱动部的电压施加部的框图，图4是表示图3所示的第1电压产生部以及第2电压产生部中的产生电压的一个例子的图。另外，以下，为了方便说明，将图2中的上侧称为“上”，下侧称为“下”。

如图1以及图2所示，光扫描仪1具备可动反光镜部11、一对轴部12a、12b（第1轴部）、框体部13、两对轴部14a、14b、14c、14d（第2轴部）、支承部15、永磁铁21、线圈31、磁心32、和电压施加部4。

这里，可动反光镜部11、一对轴部12a、12b构成以轴部12a、12b为轴绕着Y轴（第1轴）摆动（往复转动）的第1振动系统。另外，可动反光镜部11、一对轴部12a、12b、框体部13、两对轴部14a、14b、14c、14d以及永磁铁21构成绕着X轴（第2轴）摆动（往复转动）的第2振动系统。

另外，永磁铁21、线圈31以及电压施加部4构成对上述的第1振动系统以及第2振动系统进行驱动（即，使可动反光镜部11绕着X轴以及Y轴摆动）的驱动部。

以下，依次详细地说明光扫描仪1的各部。

可动反光镜部11具有基部（可动部）111、和隔着隔垫物112被固定在基部111上的光反射板113。

在光反射板113的上表面（一个面）设置有具有光反射性的光反射部114。

该光反射板113被设置为在光反射板113的板厚方向与轴部12a、12b分离，并且在从厚度方向观察时（以下，也称为“俯视”）与轴部12a、12b重叠。

因此，能够缩短轴部12a和轴部12b之间的距离，并增大光反射板113的板面的面积。另外，由于能够缩短轴部12a和轴部12b之间的距离，所以能够实现框体部13的小型化。并且，由于能够实现框体部13的小型化，所以能够缩短轴部14a、14b和轴部14c、14d之间的距离。

由此，即使增大光反射板113的板面的面积，也能够实现光扫描仪1的小型化。

另外，光反射板113形成为俯视时覆盖轴部12a、12b的整体。换言之，俯视时轴部12a、12b分别相对于光反射板113的外周位于内侧。由此，光反射板113的板面的面积增大，其结果，能够增大光反射部114的面积。另外，能够防止不需要的光（例如，未能入射到光反射部114的光）被轴部12a、12b反射而成为漫射光。

另外，光反射板113形成为俯视时覆盖框体部13的整体。换言之，俯视时框体部13相对于光反射板113的外周位于内侧。由此，光反射板113的板面的面积增大，其结果，能够增大光反射部114的面积。另外，能够防止不需要的光被框体部13反射而成为漫射光。

并且，光反射板113形成为俯视时覆盖轴部14a、14b、14c、14d的整体。换言之，俯视时轴部14a、14b、14c、14d分别相对于光反射板113的外周位于内侧。由此，光反射板113的板面的面积增大，其结果，能够增大光反射部114的面积。另外，能够防止不需要的光被轴部14a、14b、14c、14d反射而成为漫射光。

在本实施方式中，光反射板113俯视时呈圆形。另外，光反射板113的俯视形状并不限定于此，例如，也可以为椭圆形、四边形等多边形。

在这样的光反射板113的下表面（另一个表面，光反射板113的基部111侧的面）设置有硬质层115。

硬质层115由与光反射板113主体的构成材料相比硬质的材料构成。由此，能够提高光反射板113的刚性。因此，能够防止或者抑制光反射板113摆动时的挠曲。另外，能够使光反射板113的厚度变薄，并能够抑制光反射板113绕着X轴以及Y轴摆动时的惯性力矩。

作为这样的硬质层115的构成材料，只要是与光反射板113主体的构成材料相比硬质的材料，并不特别限定，例如，能够使用金刚石、水晶、蓝宝石、钽酸锂、铌酸钾、氮化碳膜等，但是特别优选使用金刚石。

硬质层115的厚度（平均）并不特别限定，但是优选为1～10μm左右，更优选为1～5μm左右。

另外，硬质层115可以由单层构成，也可以由多层的层叠体构成。另外，硬质层115可以设置于光反射板113的下表面整体，也可以设置于下表面的一部分。另外，硬质层115根据需要设置，也能够省略。

为了这种硬质层115的形成，例如能够使用等离子体化学气相沉积（CVD）、热化学气相沉积（CVD）、激光化学气相沉积（CVD）这样的化学蒸镀法（CVD）、真空蒸镀、溅射、离子镀敷等干式电镀法、电解电镀、浸渍镀覆、无电解电镀等湿式电镀法、喷镀、片状部件的接合等。

另外，通过使光反射板形成向沿着第1、第2轴的方向突出的形状，从而抑制光反射板的惯性力矩的增加，能够高效地降低各轴部的漫射光。

另外，光反射板113的下表面隔着隔垫物112被固定在基部111上。由此，能够防止与轴部12a、12b、框体部13以及轴部14a、14b、14c、14d的接触，且能够使光反射板113绕着Y轴摆动。

另外，俯视时基部111相对于光反射板113的外周位于内侧。另外，优选能够隔着隔垫物112支承光反射板113，则基部111在俯视时的面积若基部111尽可能地小。由此，能够增大光反射板113的板面的面积，并减小轴部12a和12b之间的距离。

框体部13呈框状，被设置为包围上述可动反光镜部11的基部111。换言之，可动反光镜部11的基部111被设置在呈框状的框体部13的内侧。

并且，框体部13借助轴部14a、14b、14c、14d被支承部15支承。另外，可动反光镜部11的基部111借助轴部12a、12b被框体部13支承。

另外，框体部13沿着Y轴方向的长度比沿着X轴方向的长度长。即，在将框体部13沿着Y轴的方向的长度设为a，将框体部13沿着X轴的方向的长度设为b时，满足关系a>b。由此，能够确保轴部12a、12b所需要的长度，并抑制光扫描仪1沿着X轴的方向的长度。

另外，框体部13俯视时形成为沿着由可动反光镜部11的基部111以及一对轴部12a、12b构成的构造体的外形的形状。由此，能够允许由可动反光镜部11和一对轴部12a、12b构成的第1振动系统的振动，即、可动反光镜部11绕着Y轴的摆动，并实现框体部13的小型化。

另外，框体部13的形状只要是框状即可，并不限定于图示的形状。

轴部12a、12b以及轴部14a、14b、14c、14d分别能够弹性变形。

并且，轴部12a、12b以使可动反光镜部11能够绕着Y轴（第1轴）摆动（转动）的方式将可动反光镜部11和框体部13连接起来。另外，轴部14a、14b、14c、14d以使框体部13能够绕着与Y轴正交的X轴（第2轴）摆动（转动）的方式将框体部13和支承部15连接起来。

轴部12a、12b被配置为隔着可动反光镜部11的基部111相互对置。另外，轴部12a、12b分别形成为在沿着Y轴的方向延伸的长条形状。并且，轴部12a、12b各自的一端部与基部111连接，另一端部与框体部13连接。另外，轴部12a、12b分别被配置为中心轴与Y轴一致。

这样的轴部12a、12b分别随着可动反光镜部11绕着Y轴的摆动而扭转变形。

轴部14a、14b以及轴部14c、14d被配置为隔着框体部13相互对置。另外，轴部14a、14b、14c、14d分别被形成为在沿着X轴的方向延伸的长条形状。并且，轴部14a、14b、14c、14d各自的一端部与框体部13连接，另一端部与支承部15连接。另外，轴部14a、14b被配置为隔着X轴相互对置，同样地，轴部14c、14d被配置为隔着X轴相互对置。

这样的轴部14a、14b、14c、14d随着框体部13绕着X轴的摆动，轴部14a、14b整体以及轴部14c、14d整体分别扭转变形。

这样，通过使可动反光镜部11能够绕着Y轴摆动，并且使框体部13能够绕着X轴摆动，能够使可动反光镜部11（换言之，光反射板113）绕着相互正交的X轴以及Y轴两轴摆动（转动）。

另外，轴部12a、12b以及轴部14a、14b、14c、14d的形状分别不限定于上述的形状，例如，也可以具有在中途的至少一个位置曲折或者弯曲的部分、分支的部分。

上述那样的基部111、轴部12a、12b、框体部13、轴部14a、14b、14c、14d以及支承部15一体地形成。

在本实施方式中，基部111、轴部12a、12b、框体部13、轴部14a、14b、14c、14d以及支承部15通过对依次层叠了第1Si层（器件层）、SiO₂层（衬垫层）、第2Si层（处理层）而构成的SOI基板进行蚀刻来形成。由此，能够使第1振动系统以及第2振动系统的振动特性优良。另外，SOI基板能够通过蚀刻进行精细加工，所以通过使用SOI基板来形成基部111、轴部12a、12b、框体部13、轴部14a、14b、14c、14d以及支承部15，能够使这些部件的尺寸精度优良，另外，能够实现光扫描仪1的小型化。

并且，基部111、轴部12a、12b以及轴部14a、14b、14c、14d分别由SOI基板的第1Si层构成。由此，能够使轴部12a、12b以及轴部14a、14b、14c、14d的弹性优良。另外，能够防止基部111绕着Y轴转动时与框体部13接触。

另外，框体部13以及支承部15分别由SOI基板的第1Si层、SiO₂层以及第2Si层构成的层叠体构成。由此，能够使框体部13以及支承部15的刚性优良。另外，框体部13的SiO₂层以及第2Si层不仅具有作为提高框体部13的刚性的肋的功能，还具有防止可动反光镜部11与永磁铁21接触的功能。

另外，优选对俯视时位于光反射板113的外侧的第1轴部、第2轴部、框体部13、支承部15的上表面施行防反射处理。由此，能够防止照射到光反射板113以外的不需要的光成为漫射光。

作为所述的防反射处理，并不特别限定，但是例如列举了防反射膜（电介质多层膜）的形成、粗面化处理、黑色处理等。

另外，上述的基部111、轴部12a、12b以及轴部14a、14b、14c、14d的构成材料以及形成方法是一个例子，本发明并不限定于此。

另外，在本实施方式中隔垫物112以及光反射板113也通过对SOI基板进行蚀刻来形成。并且，隔垫物112由SOI基板的SiO₂层以及第2Si层构成的层叠体构成。另外，光反射板113由SOI基板的第1Si层构成。

像这样，通过使用SOI基板来形成隔垫物112以及光反射板113，能够简单并且高精度地制造彼此接合的隔垫物112以及光反射板113。

这样的隔垫物112例如通过粘合剂、钎料等接合材料（未图示）与基部111接合。

在上述的框体部113的下表面（与光反射板113相反侧的面）上，接合有永磁铁21。

作为永磁铁21与框体部13的接合方法，并不特别限定，但是例如能够采用使用了粘合剂的接合方法。

永磁铁21在俯视时沿相对于X轴以及Y轴倾斜的方向被磁化。

在本实施方式中，永磁铁21形成为在相对于X轴以及Y轴倾斜的方向延伸的长条形状（棒状）。并且，永磁铁21在其长度方向被磁化。即，永磁铁21以一端部为S极，另一端部为N极的方式被磁化。

另外，永磁铁21被设置为俯视时以X轴与Y轴的交点为中心对称。

另外，在本实施方式中，以在框体部13上设置一个永磁铁的数目的情况为例进行说明，但是并不限定于此，例如也可以在框体部13上设置两个永磁铁。在该情况下，例如将呈长尺状的两个永磁铁俯视时隔着基部111相互对置，且相互平行地设置于框体部13即可。

永磁铁21的磁化方向（延伸方向）相对于X轴的倾斜角θ并不特别限定，但是优选为30°以上60°以下，更优选为45°以上60°以下，更进一步优选为45°。通过像这样设置永磁铁21，能够顺利并且可靠地使可动反光镜部11绕着X轴转动。

与此相对，若倾斜角θ小于上述下限值，根据通过电压施加部4施加给线圈31的电压的强度等诸条件的不同，有时无法使可动反光镜部11充分地绕着X轴转动。另一方面，若倾斜角θ超过上述上限值，则根据诸条件的不同，有时无法使可动反光镜部11充分地绕着Y轴转动。

作为这样的永磁铁21，例如能够适当地使用钕磁铁、铁氧体磁铁、钐钴磁铁、铝镍钴磁铁、粘结磁铁等。这样的永磁铁21是对高磁性体进行了赋磁后的磁铁，例如通过将赋磁前的硬磁性体设置在框体部13上之后进行赋磁来形成。这是因为若想要将已经赋磁的永磁体21设置在框体部13上，则由于外部、其他的部件的磁场的影响，有时无法将永磁铁21设置在所希望的位置。

在永磁铁21的正下方设置有线圈31。即，与框体部13的下表面对置地设置有线圈31。由此，能够使线圈31产生的磁场高效地作用于永磁铁21。由此，能够实现光扫描仪1的省电化以及小型化。

在本实施方式中，线圈31以卷绕在磁心32上的方式设置。由此，能够使由线圈31产生的磁场高效地作用于永磁铁21。另外，磁心32也可以省略。

这样的线圈31与电压施加部4电连接。

并且通过由电压施加部4对线圈31施加电压，从而从线圈31产生具有与X轴以及Y轴正交的磁通的磁场。

如图3所示，电压施加部4具备使用于使可动反光镜部11绕着Y轴转动的第1电压V₁产生的第1电压产生部41、使用于使可动反光镜部11绕着X轴转动的第2电压V₂产生的第2电压产生部42、和使第1电压V₁和第2电压V₂叠加的电压叠加部43，将由电压叠加部43叠加的电压施加给线圈31。

如图4（a）所示，第1电压产生部41产生以周期T₁周期性地变化的第1电压V₁（水平扫描用电压）。即，第1电压产生部41产生第1频率（1/T₁）的第1电压V₁。

第1电压V₁形成为正弦波那样的波形。因此，光扫描仪1能够高效地对光进行主扫描。此外，第1电压V₁的波形并不限定于此。

另外，第1频率（1/T₁）只要是适合水平扫描的频率即可，并不特别限定，但是优选为10～40kHz。

在本实施方式中，第1频率被设定为与由可动反光镜部11、一对轴部12a、12b构成的第1振动系统（扭转振动系统）的扭转谐振频率（f1）相等。也就是说，第1振动系统被设计（制造）为该扭转谐振频率f1成为适合水平扫描的频率。由此，能够增大可动反光镜部11绕着Y轴的转动角。

另一方面，如图4（b）所示，第2电压产生部42产生以与周期T₁不同的周期T₂周期性地变化的第2电压V₂（垂直扫描用电压）。即，第2电压产生部42产生第2频率（1/T₂）的第2电压V₂。

第2电压V₂形成为锯齿波那样的波形。因此，光扫描仪1能够高效地对光进行垂直扫描（副扫描）。另外，第2电压V₂的波形并不限定于此。

第2频率（1/T₂）只要是与第1频率（1/T₁）不同并且适用于垂直扫描的频率即可，并不特别限定，但是优选为30～120Hz（60Hz左右）。通过像这样将第2电压V₂的频率设为60Hz左右，像上述那样将第1电压V₁的频率设为10～40kHz，能够以适合显示器上的描绘的频率，使可动反光镜部11绕着相互正交的两轴（X轴以及Y轴）各自的轴转动。但是若能够使可动反光镜部11绕着X轴以及Y轴各自的轴转动即可，第1电压V₁的频率和第2电压V₂的频率的组合并不特别限定。

在本实施方式中，第2电压V₂的频率被调整为与由可动反光镜部11、一对轴部12a、12b、框体部13、两对轴部14a、14b、14c、14d以及永磁铁21构成的第2振动系统（扭转振动系统）的扭转谐振频率（谐振频率）不同的频率。

优选这样的第2电压V₂的频率（第2频率）比第1电压V₁的频率（第1频率）小。即，优选周期T₂比周期T₁长。由此，能够更可靠并且更顺利地使可动反光镜部11绕着Y轴以第1频率转动，并绕着X轴以第2频率转动。

另外，优选在将第1振动系统的扭转谐振频率设为f1［Hz］，将第2振动系统的扭转谐振频率设为f2［Hz］时，f1与f2满足关系f2<f1，更优选满足关系f1≥10f2。由此，能够更可靠地使可动反光镜部11绕着Y轴以第1电压V₁的频率转动，并绕着X轴以第2电压V₂的频率转动。与此相对，在f1≤f2的情况下，有可能产生由第2频率所引起的第1振动系统的振动。

这样的第1电压产生部41以及第2电压产生部42分别与控制部7连接，并基于来自该控制部7的信号驱动。在这样的第1电压产生部41以及第2电压产生部42中连接有电压叠加部43。

电压叠加部43具备用于对线圈31施加电压的加法器43a。加法器43a从第1电压产生部41接受第1电压V₁，并且从第2电压产生部42接受第2电压V₂，将这些电压叠加并施加给线圈31。

接下来，对光扫描仪1的驱动方法进行说明。另外，在本实施方式中，如上述那样，第1电压V₁的频率设定为与第1振动系统的扭转谐振频率相等，第2电压V₂的频率设定为是与第2振动系统的扭转谐振频率不同的值，并且比第1电压V₁的频率小（例如，第1电压V₁的频率设定为18kHz，第2电压V₂的频率设定为60Hz）。

例如，由电压叠加部43将如图4（a）所示的第1电压V₁、和如图4（b）所示的第2电压V₂叠加，并将叠加后的电压施加给线圈31。

于是，通过第1电压V₁，将永磁铁21的一端部（N极）吸引至线圈31，并且使永磁铁21的另一端部（S极）远离线圈31的磁场（将该磁场称为“磁场A1”）、和使永磁铁21的一端部（N极）远离线圈31，并且将永磁铁21的另一端部（S极）吸引至线圈31的磁场（将该磁场称为“磁场A2”）交替转换。

这里，如上述那样，永磁铁21配置为各自的端部（磁极）位于被Y轴分割成的两个区域。即，在图1的俯视图中，隔着Y轴，永磁铁21的N极位于一侧，永磁铁21的S极位于另一侧。因此，通过磁场A1和磁场A2的交替转换，框体部13具有绕着Y轴的扭转振动分量的振动被激励，随着该振动，使轴部12a、12b扭转变形，且可动反光镜部11以第1电压V₁的频率绕着Y轴转动。

另外，第1电压V₁的频率与第1振动系统的扭转谐振频率相等。因此，通过第1电压V₁，能够使可动反光镜部11高效地绕着Y轴转动。即，即使上述框体部13的具有绕着Y轴的扭转振动分量的振动较小，也能够增大随着该振动的可动反光镜部11绕着Y轴的转动角。

另一方面，通过第2电压V₂，想要将永磁铁21的一端部（N极）吸引至线圈31，并且想要使永磁铁21的另一端部（S极）远离线圈31的磁场（将该磁场称为“磁场B1”）、和想要使永磁铁21的一端部（N极）远离线圈31，并且想要将永磁铁21的另一端部（S极）吸引至线圈31的磁场（将该磁场称为“磁场B2”）交替转换。

这里，如上述那样，永磁铁21被配置为各自的端部（磁极）位于被X轴分割成的两个区域。即在图1的俯视图中，隔着X轴，永磁铁21的N极位于一侧，永磁铁21的S极位于另一侧。因此，通过磁场B1和磁场B2的交替转换，使轴部14a、14b以及轴部14c、14d分别扭转变形，并且框体部13与可动反光镜部11一起以第2电压V₂的频率绕着X轴转动。

另外，第2电压V₂的频率与第1电压V₁的频率相比被设定得极低。另外，第2振动系统的扭转谐振频率与第1振动系统的扭转谐振频率相比被设计得较低。因此，能够防止可动反光镜部11以第2电压V₂的频率绕着Y轴转动。

如以上说明的那样，在光扫描仪1中，通过将使第1电压V₁和第2电压V₂叠加后的电压施加给线圈31，能够使可动反光镜部11绕着Y轴以第1电压V₁的频率转动，并绕着X轴以第2电压V₂的频率转动。由此，能够实现装置的低成本化以及小型化，并根据电磁驱动方式（动磁方式）使可动反光镜部11绕着X轴以及Y轴各自的轴转动。另外，能够减少构成驱动源的部件（永磁铁以及线圈）的数量，所以能够成为简单并且小型的构成。另外，线圈31与光扫描仪1的振动系统分离，所以能够防止由于线圈31的发热而对该振动系统造成的不良影响。

特别是，光反射板113设置为在厚度方向与轴部12a、12b分离，且在从厚度方向观察时与轴部12a、12b重叠，所以能够实现光扫描仪1的小型化。

<第2实施方式>

接下来，对本发明的第2实施方式进行说明。

图5是表示本发明的光扫描仪（光学器件）的第2实施方式的剖视图（沿着X轴的剖视图）。另外，以下，为了方便说明，将图5中的上侧称为“上”、下侧称为“下”。

以下，对第2实施方式，以与上述的第1实施方式的不同点为中心进行说明，对于相同的事项，省略其说明。另外，在图5中，对与上述的实施方式相同的构成，标注相同的附图标记。

本实施方式的光扫描仪除了框体部以及永磁铁的构成（形状）不同以外，与上述的第1实施方式的光扫描仪相同。

如图5所示，第2实施方式的光扫描仪1A具备框体部13A以及永磁铁21A。

框体部13A呈框状，并包围可动反光镜部11的基部（可动部）111而设置。

并且，框体部13A借助轴部14a、14b、14c、14d被支承部15支承。另外，可动反光镜部11的基部111借助轴部12a、12b被框体部13A支承。

在本实施方式中，框体部13A由SOI基板的第1Si层构成。由此，能够抑制框体部13A的惯性力矩。

在这样的框体部13A的下表面（与光反射板113相反的一侧的面）接合有永磁铁21A。

永磁铁21A在框体部13A侧形成有凹部。由此，能够防止可动反光镜部11与永磁铁21A接触。

根据如以上说明的那样的第2实施方式的光扫描仪1A，也能够实现小型化，并对光进行二维扫描。

<第3实施方式>

接下来，对本发明的第3实施方式进行说明。

图6是表示本发明的光扫描仪（光学器件）的第3实施方式的俯视图，图7是图6所示的光扫描仪的剖视图（沿着X轴的剖视图）。另外，以下，为了方便说明，将图7中的上侧称为“上”、下侧称为“下”。

以下，对第3实施方式，以与上述的第1实施方式的不同点为中心进行说明，对于相同的事项，省略其说明。另外，在图6以及图7中，对与上述的实施方式相同的构成，标注相同的附图标记。

本实施方式的光扫描仪除了采用了可动线圈方式以外，与上述的第1实施方式的光扫描仪相同。

如图6所示，第3实施方式的光扫描仪1B具备永磁铁21B以及线圈31B。

线圈31B设置在框体部13的上表面。该线圈31B在沿着框体部13的周方向卷绕的状态下，与框体部13的上面接合。

该线圈31B可以是将预先卷绕的线圈通过粘合剂与框体部13接合而成的线圈，也可以是在框体部13上通过公知的成膜法被图案化的线圈。

这样的线圈31B与电压施加部4电连接。

另外，线圈31B可以设置在框体部13的下表面（与光反射板113相反的一侧的面），另外，也可以设置在框体部13的上表面以及下表面这两个表面上。

永磁铁21B俯视时具有隔着线圈31B相互对置的一对磁极（S极以及N极）。

该永磁铁21B使磁场产生于相对于X轴以及Y轴倾斜的方向。即，连接永磁铁21B的一个磁极与另一个磁极的线段相对于X轴倾斜。所述的线段相对于X轴的倾斜角与上述的第1实施方式的倾斜角θ相同。

这样的永磁铁21B、线圈31B以及电压施加部4构成使可动反光镜部11绕着X轴以及Y轴摆动的驱动部。

即，通过电压施加部4对线圈31B施加电压，从而利用线圈31B以及永磁铁21B的磁场的相互作用使可动反光镜部11绕着X轴以及Y轴摆动。由此，能够实现小型化，并且通过电磁驱动方式（动磁方式），使可动反光镜部11绕着X轴以及Y轴摆动。

根据如以上说明的那样的第3实施方式的光扫描仪1B，也能够实现小型化，并对光进行二维扫描。

<第4实施方式>

接下来，对本发明的第4实施方式进行说明。

图8是表示本发明的光扫描仪（光学器件）的第4实施方式的俯视图，图9是图8所示的光扫描仪的剖视图（沿着X轴的剖视图），图10是用于说明图8所示的光扫描仪所具备的驱动部的电压施加部的框图，图11是表示图10所示的第1电压产生部以及第2电压产生部中的产生电压的一个例子的图。另外，以下，为了方便说明，将图9中的上侧称为“上”、下侧称为“下”。

以下，对第4实施方式，以与上述的第1实施方式的不同点为中心进行说明，对于相同的事项，省略其说明。另外，在图8～图10中，对与上述的实施方式相同的构成，标注相同的附图标记。

本实施方式的光扫描仪除了采用了压电驱动方式以外，与上述的第1实施方式的光扫描仪相同。

如图8所示，第4实施方式的光扫描仪1C具备框体部13C、4个（两对）轴部14e、14f、14g、14h（第2轴部）、支承部15C以及4个（两对）压电元件33a、33b、33c、33d。

框体部13C呈框状，并包围可动反光镜部11的基部（可动部）111而设置。

并且，框体部13C借助轴部14e、14f、14g、14h被支承部15C支承。另外，可动反光镜部11的基部111借助轴部12a、12b被框体部13C支承。

两对轴部（梁）14e、14f、14g、14h隔着框体部13C在一侧设置一对轴部14e、14f，在另一侧设置一对轴部14g、14h。

并且，这些轴部14e、14f、14g、14h设置为俯视时相对于框体部13C的中心点对称。

支承部15C形成为包围上述的框体部13C的外周。

并且，一对轴部14e、14f分别将框体部13C和支承部15C连结起来。与此相同，一对轴部14g、14h分别将框体部13C和支承部15C连结起来。

各轴部14e、14f、14g、14h能够弹性变形，呈长条形状，并且与Y轴平行地延伸。在这样的两对轴部14e、14f、14g、14h中，通过使轴部14e、14g和轴部14f、14h相互向相反方向弯曲变形，能够使框体部13C绕着X轴摆动（转动），另外，通过使轴部14e、14f和轴部14g、14h相互向相反方向弯曲变形，能够使框体部13C绕着Y轴摆动（转动）。

并且，为了使框体部13C像这样地绕着X轴以及Y轴转动，在轴部14e上设置有压电元件33a，在轴部14f上设置有压电元件33b，在轴部14g上设置有压电元件33c，在轴部14h上设置有压电元件33d。

以下，对压电元件33a、33b进行代表性地详述。另外，压电元件33c、33d与压电元件33a、33b相同。

压电元件33a构成为与轴部14e的上表面接合，且在轴部14e的长度方向伸缩。由此，压电元件33a通过该伸缩能够使轴部14e在上下方向弯曲变形。另外，压电元件33b构成为与轴部14f的上表面接合，且在轴部14f的长度方向伸缩。由此，压电元件33b通过该伸缩能够使轴部14f在上下方向弯曲变形。

换言之，压电元件33a沿着轴部14e的长度方向延伸，并在该延伸方向伸缩，从而使轴部14e弯曲变形。由此，能够以比较简单的构成，更可靠地通过压电元件33a使轴部14e弯曲变形。与此相同，压电元件33b沿着轴部14f的长度方向延伸，并在该延伸方向伸缩，从而使轴部14f弯曲变形。由此，能够以比较简单的构成，更可靠地通过压电元件33b使轴部14f弯曲变形。

这样的压电元件33a、33b，例如虽然均未进行图示，但是分别具有以压电材料为主材料而构成的压电体层和夹持该压电体层的一对电极。

作为该压电材料，例如列举了氧化锌、氮化铝、钽酸锂、铌酸锂、铌酸钾、锆钛酸铅（PTZ）、钛酸钡、以及其他各种材料。能够组合这些材料中的1种或者2种以上来使用，但是特别优选以氧化锌、氮化铝、钽酸锂、铌酸锂、铌酸钾以及锆钛酸铅中的至少1种为主的材料。通过以这样的材料构成压电元件33a、33b的压电体层，能够以更高的频率驱动光扫描仪1C。

另外，压电元件33a设置为大致覆盖轴部14e的上表面的整体。因此，压电元件33a设置为遍及轴部14e的长度方向的大致整个区域。由此，通过压电元件33a的动作能够使轴部14e更大地弯曲变形。与此相同，压电元件33b设置为大致覆盖轴部14f的上表面的整体。因此，压电元件33b设置为遍及轴部14f的长度方向的大致整个区域。由此，通过压电元件33b的动作能够使轴部14f更大地弯曲变形。

这样的压电元件33a、33b均设置在上表面侧，所以若使其一方伸长而使另一方收缩地进行动作，则能够使一对轴部14e、14f相互向相反方向弯曲变形。

压电元件33c、33d与上述的压电元件33a、33b相同地构成。这样的压电元件33c、33d与上述的压电元件33a、33b相同，均设置在上表面侧，所以若使其一方伸长而使另一方收缩地进行动作，则能够使一对轴部14g、14h相互向相反方向弯曲变形。

这样的压电元件33a、33b、33c、33d借助未图示的线路与后述的电压施加部4C连接。

如图10所示，电压施加部4C具备使用于使可动反光镜部11绕着Y轴转动的第1电压产生的第1电压产生部41C、使用于使可动反光镜部11绕着X轴转动的第2电压产生的第2电压产生部42C、和将第1电压和第2电压叠加并施加给压电元件33a、33b、33c、33d的电压叠加部43C。

如图11（a）～（d）的右侧所示，第1电压产生部41C产生以周期T₁周期性变化的电压（水平扫描用电压）。即，第1电压产生部41C产生以第1频率（1/T₁）周期性地变化的两种第1电压V₁₁、V₁₂。

更具体地说，如图11（a）、（b）的右侧所示，第1电压产生部41C产生以周期T₁周期性地变化的第1电压V₁₁，作为分别施加给压电元件33a、33b的水平扫描用电压（水平扫描驱动信号）。

第1电压V₁₁形成为正弦波那样的波形。因此，光扫描仪1C能够高效地对光进行主扫描。另外，第1电压V₁₁的波形并不限定于此。

这里，第1频率（1/T₁）只要是适合水平扫描的频率即可，并不特别限定，但是优选为10～40kHz。另外，优选第1频率设定为与由可动反光镜部11以及轴部12a、12b构成的振动系统的扭转谐振频率大致一致。也就是说，优选设计为所述的振动系统的扭转谐振频率成为适合水平扫描的频率。

另外，如图11（c）、（d）的右侧所示，第1电压产生部41C产生以周期T₁周期性地变化的第1电压V₁₂，作为分别施加给压电元件33c、33d的水平扫描用电压（水平扫描驱动信号）。该第1电压V₁₂的波形与第1电压V₁₁相同，但是与第1电压V₁₁相位错开180°。

另一方面，如图11（a）～（d）的左侧所示，第2电压产生部42C产生以与周期T₁不同的周期T₂周期性地变化的电压（垂直扫描用电压）。即，第2电压产生部42C产生以与第1频率（1/T₁）不同的第2频率（1/T₂）周期性地变化的两种第2电压V₂₁、V₂₂。

更具体地说，如图11（a）、（c）的左侧所示，第2电压产生部42C产生以与周期T₁不同的周期T₂周期性地变化的第2电压V₂₁，作为分别施加给压电元件33a、33c的垂直扫描用电压（垂直扫描驱动信号）。

第2电压V₂₁形成为锯齿波那样的波形。因此，光扫描仪1C能够高效地对光进行副扫描。另外，第2电压V₂₁的波形并不限定于此。

这里，第2频率（1/T₂）如果是与第1频率（1/T₁）不同并且适合垂直扫描的频率即可，并不特别限定，但是优选比第1频率（1/T₁）小。即，优选周期T₂比周期T₁长。

另外，第2频率（1/T₂）优选为40～80Hz（60Hz左右）。由此，能够以适合显示器上的描绘的频率使可动反光镜部11绕着相互正交的两轴（X轴以及Y轴）各自的轴转动。

另外，如图11（b）、（d）的左侧所示，第2电压产生部42C产生以周期T₂周期性地变化的第2电压V₂₂，作为分别施加给压电元件33b、33d的垂直扫描用电压（垂直扫描驱动信号）。该第2电压V₂₂是将第2电压V₂₁相对于某个基准电压反转的相同波形。

这样的第1电压产生部41C以及第2电压产生部42C分别与控制部7连接，基于来自该控制部7的信号进行驱动。

在这样的第1电压产生部41C以及第2电压产生部42C连接有电压叠加部43C。该电压叠加部43C具备用于对压电元件33a施加电压的加法器43a、用于对压电元件33b施加电压的加法器43b、用于对压电元件33c施加电压的加法器43c、和用于对压电元件33d施加电压的加法器43d。

加法器43a从第1电压产生部41C接受第1电压V₁₁，并且从第2电压产生部42C接受第2电压V₂₁，将这些电压叠加并施加给压电元件33a。

另外，加法器43b从第1电压产生部41C接受第1电压V₁₁，并且从第2电压产生部42C接受第2电压V₂₂，将这些电压叠加并施加给压电元件33b。

另外，加法器43c从第1电压产生部41C接受第1电压V₁₂，并且从第2电压产生部42C接受第2电压V₂₁，将这些电压叠加并施加给压电元件33c。

另外，加法器43d从第1电压产生部41C接受第1电压V₁₂，并且从第2电压产生部42C接受第2电压V₂₂，将这些电压叠加并施加给压电元件33d。

如以上那样构成的光扫描仪1C像以下那样驱动。

例如，将如图11（a）所示的那样的电压V₁₁和电压V₂₁叠加并施加给压电元件33a，并且将如图11（b）所示的那样的电压V₁₁和电压V₂₂叠加并施加给压电元件33b。与此同步，将如图11（c）所示的那样的电压V₁₂和电压V₂₁叠加并施加给压电元件33c，并且将如图11（d）所示的那样的电压V₁₂和电压V₂₂叠加并施加给压电元件33d。

于是，一边以第1频率（1/T₁）交替重复使压电元件33a、33b伸长并使压电元件33c、33d收缩的状态、和使压电元件33a、33b收缩并使压电元件33c、33d伸长的状态，一边以第2频率（1/T₂）交替重复使压电元件33a、33c伸长并使压电元件33b、33d收缩的状态、和使压电元件33a、33c收缩并使压电元件33b、33d伸长的状态。

换言之，一边以第2频率（1/T₂）使压电元件33b、33d的可伸长的范围（可位移的长度）与压电元件33a、33c的可伸缩的范围（可位移的长度）的比变化，一边以第1频率（1/T₁）使压电元件33a、33b和压电元件33c、33d向相互相反的方向伸长。

像这样通过压电元件33a～33d动作，从而各轴部14e、14f、14g、14h主要发生弯曲变形，但框体部13C以第1频率（1/T₁）绕着Y轴摆动（转动），且以第2频率（1/T₂）绕着X轴摆动（转动）。

像这样通过电压施加部4C对各压电元件33a、33b、33c、33d施加电压，从而使可动反光镜部11以第1频率（1/T₁）绕着Y轴转动，且以第2频率（1/T₂）绕着X轴转动。

由此，能够实现小型化，并通过压电驱动方式使可动反光镜部11绕着X轴以及Y轴摆动。

另外，压电驱动方式的光扫描仪的方式并不限定于上述内容。例如，各压电元件33a、33b、33c、33d的形状是获得伸缩至能够使各轴部14e、14f、14g、14h弯曲变形的程度即可，也可以俯视时为梯形。另外，对于通过各轴部14e、14f、14g、14h的框体部13C和支承部15C的连接的方法，构成为通过各轴部14e、14f、14g、14h的弯曲变形使框体部13C能够绕着Y轴摆动，并绕着X轴摆动即可。

根据如以上说明的那样的第4实施方式的光扫描仪1C，也能够实现小型化，并对光进行二维扫描。

<第5实施方式>

接下来，对本发明的第5实施方式进行说明。

图12是表示本发明的光扫描仪（光学器件）的第5实施方式的俯视图。

以下，对第5实施方式，以与上述的第1实施方式的不同点为中心进行说明，对于相同的事项，省略其说明。另外，在图12中，对与上述的实施方式相同的构成，标注相同的附图标记。

本实施方式的光扫描仪除了光反射板113的俯视形状不同以外，与上述的第1实施方式的光扫描仪相同。

如图12所示，第5实施方式的光扫描仪1D具备可动反光镜部11D。

可动反光镜部11D具有基部（可动部）111、和隔着隔垫物112被固定在基部111的光反射板113D。

光反射板113D形成俯视时具有在沿着X轴以及Y轴两轴的方向上向外侧突出的部分的形状。换言之，光反射板113D俯视时大致呈十字状。由此，能够抑制光反射板113D的绕着X轴以及Y轴的惯性力矩，且能够将光反射板113D设置为俯视时覆盖轴部12a、12b、框体部13或者轴部14a、14b、14c、14d。

根据如以上说明的那样的第5实施方式的光扫描仪1D，也能够实现小型化，并对光进行二维扫描。

如以上说明的那样的光扫描仪1～1D能够分别合适地应用于例如投影仪、平视显示器（HUD）、头戴式显示器（HMD）这样的成像用显示器等图像显示装置所具备的光扫描仪。

<图像显示装置的实施方式>

图13是示意地表示本发明的图像显示装置的实施方式的图。

在本实施方式中，作为图像显示装置的一个例子，对将光扫描仪1作为成像用显示器的光扫描仪使用的情况进行说明。另外，将屏幕S的长度方向称为“横方向”，将与长度方向成直角的方向称为“纵方向”。另外，X轴与屏幕S的横方向平行，Y轴与屏幕S的纵方向平行。

图像显示装置（投影仪）9具有照出激光等光的光源装置（光源）91、多个二向色镜92A、92B、92C、和光扫描仪1。

光源装置91具备照出红色光的红色光源装置911、照出蓝色光的蓝色光源装置912以及照出绿色光的绿色光源装置913。

各二向色镜92A、92B、92C是将分别从红色光源装置911、蓝色光源装置912以及绿色光源装置913照出的光合成的光学元件。

这样的图像显示装置9构成为基于来自未图示的主机的图像信息，利用二向色镜92A、92B、92C分别对从光源装置91（红色光源装置911、蓝色光源装置912以及绿色光源装置913）照出的光进行合成，该合成光被光扫描仪1进行二维扫描，并在屏幕S上形成彩色图像。

二维扫描时，通过光扫描仪1的可动反光镜部11绕着Y轴的转动，由光反射部114反射的光在屏幕S的横方向被扫描（主扫描）。另一方面，通过光扫描仪1的可动反光镜部11绕着X轴的转动，由光反射部114反射的光在屏幕S的纵方向被扫描（副扫描）。

另外，在图13中，构成为在利用光扫描仪1对由二向色镜92A、92B、92C合成的光进行了二维扫描之后，使该光由固定反光镜93反射后在屏幕S上形成图像，但是也可以省略固定反光镜93，而将被光扫描仪1二维扫描后的光直接照射在屏幕S上。

以下，对图像显示装置的应用例进行说明。

<图像显示装置的应用例1>

图14是表示本发明的图像显示装置的应用例1的立体图。

如图14所示，图像显示装置9能够应用于便携式图像显示装置100。

该便携式图像显示装置100具有以手能够把持的尺寸形成的壳体110、和内置于壳体110的图像显示装置9。通过该便携式图像显示装置100，能够在例如屏幕、写字台上等规定的面上显示规定的图像。

另外，便携式图像显示装置100具有显示规定信息的显示器120、键盘130、音频端口140、控制按钮150、插件槽160、和AV端口170。

另外，便携式图像显示装置100也可以具备通话功能、GPS接收功能等其他功能。

<图像显示装置的应用例2>

图15是表示本发明的图像显示装置的应用例2的立体图。

如图15所示，图像显示装置9能够应用于平视显示器系统200。

在该平视显示器系统200中，图像显示装置9安装于汽车的仪表盘，以构成平视显示器210。通过该平视显示器210，能够在挡风玻璃220上显示例如到目的地的引导显示等规定的图像。

另外，平视显示器系统200并不限于汽车，例如也能够应用于飞机、船舶等。

<图像显示装置的应用例3>

图16是表示本发明的图像显示装置的应用例3的立体图。

如图16所示，图像显示装置9能够应用于头戴式显示器300。

即，头戴式显示器300具有眼镜310、和搭载于眼镜310的图像显示装置9。并且，通过图像显示装置9，在设置在眼镜310的实际镜片的部位的显示部320上显示可由一只眼睛确认的规定的图像。

显示部320可以透明，另外，也可以不透明。在显示部320透明的情况下，能够在来自现实世界的信息上添加来自图像显示装置9的信息来使用。

另外，也可以在头戴式显示器300上设置两个图像显示装置9，将由两只眼睛确认的图像显示在两个显示部上。

以上，对本发明的光学器件、光扫描仪以及图像显示装置，基于图示的实施方式进行了说明，但是本发明并不限于此。例如，在本发明的光学器件、光扫描仪以及图像显示装置中，各部的构成能够置换为具有相同功能的任意构成，另外，也能够附加其他任意的构成。

另外，本发明也可以是组合了上述各实施方式中任意两个以上的构成（特征）的实施方式。

另外，在上述的实施方式中，以设置有2个（一对）第1轴部的情况为例进行了说明，但是并不限于此，例如，也可以设置有4个（两对）以上第1轴部。

另外，在上述的实施方式中，以设置有4个（两对）第2轴部的情况为例进行了说明，但是并不限于此，例如，第2轴部也可以为2个（一对）或者6个（3对）以上。

另外，在上述的实施方式中，以俯视时光反射板覆盖第1轴部整体、框体部整体以及第2轴部整体的情况为例进行了说明，但是只要俯视时光反射板覆盖第1轴部的至少一部分（可动反光镜部的基部侧的端部），就能够起到像上述那样的防止光学器件的小型化、光反射板的大面积化、光反射板的转动挠曲、防止第1轴部的基部侧的端部的漫射光等效果。

另外，在上述的实施方式中，以通过加工SOI基板来形成光反射板以及隔垫物的情况为例进行了说明，但是并不限于此，例如，也可以将光反射板以及隔垫物由不同的基板形成。

另外，光反射板和基板之间的隔垫物也可以是焊球。在该情况下，例如，在光反射板以及基部的隔垫物侧的面上分别事先形成金属膜，将这些金属膜彼此借助焊球进行接合即可。

另外，在上述的实施方式中，以将本发明的光学器件应用于光扫描仪的情况为例进行了说明，但是并不限于此，本发明的光学器件，例如也能够应用于光开关、光衰减器等其他的光学器件。

附图标记说明

1…光扫描仪，1A…光扫描仪，1B…光扫描仪，1C…光扫描仪，1D…光扫描仪，4…电压施加部，4C…电压施加部，7…控制部，9…图像显示装置，11…可动反光镜部，11D…可动反光镜部，12a…轴部，12b…轴部，13…框体部，13A…框体部，13C…框体部，14a…轴部，14b…轴部，14c…轴部，14d…轴部，14e…轴部，14f…轴部，14g…轴部，14h…轴部，15…支承部，15C…支承部，21…永磁铁，21A…永磁铁，21B…永磁铁，31…线圈，31B…线圈，32…磁心，33a…压电元件，33b…压电元件，33c…压电元件，33d…压电元件，41…第1电压产生部，41C…第1电压产生部，42…第2电压产生部，42C…第2电压产生部，43…电压叠加部，43C…电压叠加部，43a…加法器，43b…加法器，43c…加法器，43d…加法器，91…光源装置，92A…二向色镜，92B…二向色镜，92C…二向色镜，93…固定反光镜，100…便携式图像显示装置，110…壳体，111…基部（可动部），112…隔垫物，113…光反射板，113D…光反射板，114…光反射部，115…硬质层，120…显示器，130…键盘，140…音频端口，150…控制按钮，160…插件槽，170…端口，200…平视显示器系统，210…平视显示器，220…挡风玻璃，300…头戴式显示器，310…眼镜，320…显示部，911…红色光源装置，912…蓝色光源装置，913…绿色光源装置，S…屏幕，T₁…周期，T₂…周期，V₁…第1电压，V₁₁…第1电压，V₁₂…第1电压，V₂…第2电压，V₂₁…第2电压，V₂₂…第2电压，θ…倾斜角。

Claims (20)

1.一种光学器件，其特征在于，

所述光学器件包括能够绕着第1轴摆动的可动部、能够绕着与所述第1轴交叉的第2轴摆动的框体部、和以相对于所述框体部能够绕着所述第1轴摆动的方式支承所述可动部的第1轴部，

所述光学器件具有光反射板，所述光反射板被固定于所述可动部并且设置有具有光反射性的光反射部，

所述框体部包围所述可动部而被设置，

所述第1轴部的一端部与所述可动部连接，所述第1轴部的另一端部与所述框体部连接，

所述光反射板被设置为在所述光反射板的板厚方向与所述第1轴部分离，并且在从所述板厚方向观察时与所述第1轴部的至少一部分重叠。

2.根据权利要求1所述的光学器件，其特征在于，

所述光反射板被形成为从所述板厚方向观察时，覆盖所述第1轴部的整体。

3.根据权利要求2所述的光学器件，其特征在于，

所述光反射板被形成为从所述板厚方向观察时，覆盖所述框体部的整体。

4.根据权利要求3所述的光学器件，其特征在于，

所述光学器件还具有第2轴部，所述第2轴部与所述框体部连接并且以能够绕着所述第2轴摆动的方式支承所述框体部，

所述光反射板被形成为从所述板厚方向观察时，覆盖所述第2轴部的整体。

5.根据权利要求2所述的光学器件，其特征在于，

所述光反射板呈如下形状，即从所述板厚方向观察时具有向沿着所述第1轴以及所述第2轴中的至少一个轴的方向突出的部分。

6.根据权利要求1所述的光学器件，其特征在于，

所述光反射板隔着隔垫物被固定于所述可动部。

7.根据权利要求1所述的光学器件，其特征在于，

在所述光反射板的所述可动部侧的面的至少一部分上形成有由比所述光反射板的材料硬的材料构成的硬质层。

8.根据权利要求1所述的光学器件，其特征在于，具备：

被配置于所述框体部的永磁铁；

与所述框体部对置地配置的线圈；以及

对所述线圈施加电压的电压施加部，

通过由所述电压施加部对所述线圈施加电压，从而使所述可动部绕着所述第1轴以及所述第2轴摆动。

9.根据权利要求1所述的光学器件，其特征在于，具备：

被配置于所述框体部的线圈；

与所述框体部对置地配置的永磁铁；以及

对所述线圈施加电压的电压施加部，

通过由所述电压施加部对所述线圈施加电压，从而使所述可动部绕着所述第1轴以及所述第2轴摆动。

10.根据权利要求1所述的光学器件，其特征在于，具备：

被设置于所述第2轴部的压电元件；和

对所述压电元件施加电压的电压施加部，

通过由所述电压施加部对所述压电元件施加电压，从而使所述可动部绕着所述第1轴以及所述第2轴摆动。

11.根据权利要求8所述的光学器件，其特征在于，

所述电压施加部具有：

第1电压产生部，其产生第1频率的第1电压；

第2电压产生部，其产生频率与所述第1频率不同的第2频率的第2电压；以及

电压叠加部，其使所述第1电压和所述第2电压叠加，

使所述可动部以所述第1频率绕着所述第1轴摆动，并且使所述可动部以所述第2频率绕着所述第2轴摆动。

12.根据权利要求1所述的光学器件，其特征在于，

在将所述框体部沿着所述第1轴的方向的长度设为a，将所述框体部沿着所述第2轴的方向的长度设为b时，满足关系a>b。

13.一种光扫描仪，其特征在于，

所述光扫描仪包括能够绕着第1轴摆动的可动部、能够绕着与所述第1轴交叉的第2轴摆动的框体部、和以相对于所述框体部能够绕着所述第1轴摆动的方式支承所述可动部的第1轴部，

所述光扫描仪具有光反射板，所述光反射板被固定于所述可动部并且设置有具有光反射性的光反射部，

所述框体部包围所述可动部而被设置，

所述第1轴部的一端部与所述可动部连接，所述第1轴部的另一端部与所述框体部连接，

所述光反射板被设置为在板厚方向与所述第1轴部分离，并且在从板厚方向观察时与所述第1轴部的至少一部分重叠。

14.根据权利要求13所述的光扫描仪，其特征在于，

还具有第2轴部，所述第2轴部与所述框体部连接并且以能够绕着所述第2轴摆动的方式支承所述框体部，

所述光反射板被形成为从所述板厚方向观察时，覆盖所述第2轴部的整体。

15.根据权利要求13所述的光扫描仪，其特征在于，

所述光反射板呈如下形状，即从所述板厚方向观察时具有向沿着所述第1轴以及所述第2轴中的至少一个轴的方向突出的部分。

16.根据权利要求13所述的光扫描仪，其特征在于，具备：

被配置于所述框体部的永磁铁；

与所述框体部对置地配置的线圈；以及

对所述线圈施加电压的电压施加部，

通过由所述电压施加部对所述线圈施加电压，从而使所述可动部绕着所述第1轴以及所述第2轴摆动。

17.一种图像显示装置，其特征在于，

所述图像显示装置具备光扫描仪，所述光扫描仪包括能够绕着第1轴摆动的可动部、能够绕着与所述第1轴交叉的第2轴摆动的框体部、和以相对于所述框体部能够绕着所述第1轴摆动的方式支承所述可动部的第1轴部，

所述光扫描仪包括光反射板，所述光反射板被固定于所述可动部并且设置有具有光反射性的光反射部，

所述框体部包围所述可动部而被设置，

所述第1轴部的一端部与所述可动部连接，所述第1轴部的另一端部与所述框体部连接，

所述光反射板被设置为在所述光反射板的板厚方向与所述第1轴部分离，并且在从所述板厚方向观察时与所述第1轴部的至少一部分重叠。

18.根据权利要求17所述的图像显示装置，其特征在于，

还具有第2轴部，所述第2轴部与所述框体部连接并且以能够绕着所述第2轴摆动的方式支承所述框体部，

所述光反射板形成为从所述板厚方向观察时，覆盖所述第2轴部的整体。

19.根据权利要求17所述的图像显示装置，其特征在于，

所述光反射板呈如下形状，即从所述板厚方向观察时具有向沿着所述第1轴以及所述第2轴中的至少一个轴的方向突出的部分。

20.根据权利要求17所述的图像显示装置，其特征在于，具备：

被配置于所述框体部的永磁铁；

与所述框体部对置地配置的线圈；以及

对所述线圈施加电压的电压施加部，

通过由所述电压施加部对所述线圈施加电压，从而使所述可动部绕着所述第1轴以及所述第2轴摆动。

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