JP6284989B2 - 電圧ブースト可能な小規模アンチヒューズ回路を備えるメモリシステム - Google Patents

電圧ブースト可能な小規模アンチヒューズ回路を備えるメモリシステム Download PDF

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Description

本発明は、メモリシステム、より詳細には、電圧をブーストする能力を有する小規模アンチヒューズ回路を備えるメモリシステムを示す。
不揮発性メモリは、電力がメモリブロックに供給されないときでも、記憶する情報を保持するタイプのメモリである。いくつかの例は、磁気デバイスと、光学ディスクと、フラッシュメモリと、他の半導体ベースのメモリトポロジーと、を含む。不揮発性メモリは、電気的アドレスシステム(つまり、読み出し専用メモリ)及び機械的アドレスシステム(つまり、ハードディスク、光学ディスク、磁気テープ、ホログラフィメモリ等)に分類することができる。詳細には、不揮発性メモリは、そのメモリデータを定期的にリフレッシュする必要がないため、二次ストレージ又は長期間一貫性(consistent)ストレージに用いられる。
概して、技術の進歩により、高密度又は高キャパシティベースの不揮発性メモリがビックデータアクセシビリティを容易化するべく必要とされている。ゆえに、プログラミング状態又は読出状態で動作するメモリを駆動する、大規模な電圧回路が必須である。メモリが、ラプチャ処理(つまり、例えば、メモリセルのアンチヒューズトランジスタがラプチャし、MOSキャパシタとして行動する)を用いてプログラマブルなアンチヒューズベースのメモリであるときでも、アンチヒューズベースのメモリを駆動する、アンチヒューズ回路も必要とされる。結果として、回路規模の制約があるので、電圧回路及び/又はアンチヒューズ回路をチップ上の最適位置に置くことができず、パフォーマンス又は設計柔軟性を低下させることにつながる。
本発明の実施形態において、メモリシステムを開示する。メモリシステムは、制御ブロックと、アンチヒューズ電圧生成器と、アレイ電圧生成器と、メモリアレイと、を含む。制御ブロックは、メモリ制御データ信号を受信するように構成された入力端子と、第一制御信号を出力するように構成された第一出力端子と、第二制御信号を出力するように構成された第二出力端子と、第三制御信号を出力するように構成された第三出力端子と、第四制御信号を出力するように構成された第四出力端子と、を含む。アンチヒューズ電圧生成器は、制御ブロックの第二出力端子に結合されており、第二制御信号を受信するように構成された第一入力端子と、駆動電圧を受けるように構成された第二入力端子と、アンチヒューズ制御信号を出力するように構成された出力端子と、含む。アレイ電圧生成器は、制御ブロックの第三出力端子に結合されており、第三制御信号を受信するように構成された第一入力端子と、駆動電圧を受けるように構成された第二入力端子と、選択信号を出力するように構成された第一出力端子と、次制御信号を出力するように構成された第二出力端子と、を含む。メモリアレイは、制御ブロック、アンチヒューズ電圧生成器及びアレイ電圧生成器に結合されており、第一制御信号、アンチヒューズ制御信号、選択信号及び次制御信号に従って、データにアクセスするように構成されている。第一制御信号は、当該メモリアレイのアドレス情報を含む。
本発明のこれらの目的及び他の目的は、種々の図面(figures and drawings)に示される好ましい実施形態の次の詳細な説明を理解することで、当業者には疑いなく明らかとなるものである。
図1は、本発明の実施形態に係る、メモリシステムのブロック図を示す。 図2は、図1のメモリシステムのメモリセルの構造を示す。 図3は、図1のメモリシステムのメモリアレイ上のメモリセル配置の概略図を示す。 図4は、図1のメモリシステムのアンチヒューズ電圧生成器の構造を示す。 図5は、読出動作時の、図4のアンチヒューズ電圧生成器の概略図を示す。 図6は、プログラミング動作時の、図4のアンチヒューズ電圧生成器の概略図を示す。 図7は、プルローゲート信号での、図6のアンチヒューズ電圧生成器のトランジスタのクロス電圧の概略図を示す。 図8は、プルハイゲート信号での、図6のアンチヒューズ電圧生成器のトランジスタのクロス電圧の概略図を示す。 図9は、プログラミング動作時の、図1のメモリシステムのアンチヒューズ電圧生成器の他の構造を示す。 図10は、プルローゲート信号での、図9のアンチヒューズ電圧生成器のトランジスタのクロス電圧の概略図を示す。 図11は、プルハイゲート信号での、図9のアンチヒューズ電圧生成器のトランジスタのクロス電圧の概略図を示す。 図12は、本発明の他の実施形態に係る、メモリシステムのブロック図を示す。
図1は、本発明の実施形態に係る、メモリシステム100のブロック図を示す。メモリシステム100は、制御ブロック10と、アンチヒューズ電圧生成器11と、アレイ電圧生成器12と、メモリアレイ13と、センスアンプ14と、を含む。制御ブロックは、入力端子と、第一出力端子と、第二出力端子と、第三出力端子と、第四出力端子と、を含む。入力端子は、メモリ制御データ信号MCDSを受信するのに用いられる。詳細には、メモリ制御データ信号MCDSは、メモリシステム100の全ての情報を担う外部データ信号であることができる。メモリアレイ13のアドレス情報、全ての構成情報、駆動情報、動作モード情報等である。メモリ制御データ信号MCDSはユーザ定義のデータ信号であることもできる。第一出力端子は、第一制御信号ASを出力するのに用いられる。第一制御信号ASは、メモリアレイ13のアドレス情報を搬送することができ、それに応じて、メモリアレイ13の特定アドレスに位置する特定メモリセルをイネーブルとすることができる。第二出力端子は、第二制御信号BSTを出力するのに用いられる。第三出力端子は、第三制御信号を出力するのに用いられる。第四出力端子は、第四制御信号を出力するのに用いられる。アンチヒューズ電圧生成器11は、第一入力端子と、第二入力端子と、出力端子と、を含む。第一入力端子は、制御ブロック10の第二出力端子に結合されており、第二制御信号BSTを受信する。第二入力端子は、駆動電圧VDDINを受けるのに用いられる。出力端子は、アンチヒューズ制御信号AFを出力するのに用いられる。アレイ電圧生成器12は、第一入力端子と、第二入力端子と、第一出力端子と、第二出力端子と、を含む。第一入力端子は、制御ブロック10の第三出力端子と結合されており、第三制御信号C3を受信する。第二入力端子は、駆動電圧VDDINを受けるのに用いられる。第一出力端子は、選択信号SLを出力するのに用いられる。第二出力端子は、次制御信号FL(following control signal)を出力するのに用いられる。メモリアレイ13は、制御ブロック10、アンチヒューズ電圧生成器11、アレイ電圧生成器12に結合されており、第一制御信号AS、アンチヒューズ制御信号AF、選択信号SL及び次制御信号FLに従って、データにアクセスする。特に、メモリアレイ13は、不揮発性メモリセルアレイであることができる。メモリアレイ13は、複数のメモリセルを含む。各メモリセルは、読出動作及びプログラミング動作を行うことができる。さらに、センスアンプ14は、制御ブロック10の第四端子及びメモリアレイ13に結合されており、メモリアレイ13のビット列電流を検出し、これと参照電流を比較する。次に、メモリセルの構造と、読出動作時及びプログラミング動作時にメモリセルを駆動する方法を記載する。
図2は、メモリシステム100のメモリセルMC1の構造を示す。メモリセルMC1は四つのトランジスタ及び一つのバラクタ(4T1V)ベースのメモリセルであることができる。特には、メモリセルMC1は、プログラミング選択トランジスタPSTと、次ゲートトランジスタFLT(following gate transistor)と、アンチヒューズ要素AFEと、読出回路RCと、含む。プログラミング選択トランジスタPSTは、第一端子と、第二端子と、制御端子と、を含む。第二端子は、ビット列プログラム信号BLPを受信するのに用いられる。制御端子は、ワード列プログラム信号WLPを受信するのに用いられる。次ゲートトランジスタFLTは、第一端子と、第二端子と、制御端子と、を含む。第二端子は、プログラミング選択トランジスタPSTの第一端子に結合されている。制御端子は、次制御信号FLを受信するのに用いられる。アンチヒューズ要素AFEは、第一端子と、第二端子と、を含む。第一端子は、アンチヒューズ制御信号AFを受信するのに用いられる。第二端子は、次ゲートトランジスタFLTの第一端子に結合されている。読出回路RCは、次ゲートトランジスタFLTの第二端子に結合されており、メモリセルMC1の読出動作時に、ビット列読出信号BLR、ワード列読出信号WLR及び選択信号SLに従って、読出電流IREADを形成する。ここで、アンチヒューズ要素AFEはバラクタであることができる。次ゲートトランジスタFLTは、ネイティブデバイス(native device)、ショートチャネルデバイス(short channel device)又はバラクタにより実装することができる。詳細には、読出回路RCは、メモリセルMC1の読出動作時の駆動性能を改善するための、補助回路と見なすことができる。読出回路RCの動作は、後述する。メモリセルMC1において、読出回路RCは、読出トランジスタRTと、読出選択トランジスタRSTと、を含む。読出トランジスタは、第一端子と、第二端子と、制御端子と、を含む。第一端子は、選択信号SLを受信するのに用いられる。制御端子は、次ゲートトランジスタFLTの第二端子に結合されている。読出選択トランジスタRSTは、第一端子と、第二端子と、制御端子と、を含む。第一端子は、読出トランジスタRTの第二端子に結合されている。第二端子は、ビット列読出信号BLRを受信するのに用いられる。制御端子は、ワード列読出信号WLRを受信するのに用いられる。メモリセルMC1において、プログラミング選択トランジスタPST、次ゲートトランジスタFLT、読出トランジスタRT及び読出選択トランジスタRSTは、N型金属酸化物半導体電界効果トランジスタであることができる。メモリセルMC1の動作を以下に記載する。
メモリセルMC1が読出モードで動作するとき、ビット列プログラム信号BLPは、0ボルトに等しい第二電圧にある。ワード列プログラム信号は、第一電圧VDDから第二電圧(0V)に変化する。ここで、第一電圧VDDは、0ボルトより大きい所定の回路電圧であることができる(つまり、例えば、第一電圧VDDは1ボルトであることができる)。次制御信号FLは、第一電圧VDDにある。アンチヒューズ制御信号AFは、第一電圧VDDにある。ビット列読出信号BLRは、第一電圧VDDにある。選択信号SLは、第二電圧にある(0V)。ワード列読出信号WLRは、第一電圧VDDにある。表Aは、下記に示すように、読出動作時のメモリセルMC1の全ての信号ステータスを示す。
Figure 0006284989
そのようにすることによって、プログラミング選択トランジスタPSTはイネーブルであり、制御端子が、第一電圧VDDから0Vになることを受けるので、その後ディスエーブルになる。ゆえに、ノードAの当初電圧は、0Vに等しい。次ゲートトランジスタFLTは、制御端子が、第一電圧VDDである次制御信号FLを受信するので、イネーブルである。読出選択トランジスタは、制御端子が、第一電圧VDDであるワード列読出信号WLRを受信するので、イネーブルである。提示の完全性のため、論理「0」である読出モードと論理「1」である読出モードを、さらに、以下に説明する。
メモリセルMC1が論理「0」である読出モードで動作するときは、アンチヒューズ要素AFEはラプチャ状態(ruptured state)で動作し、導電性のある抵抗と見なすことができる。ゆえに、ノードAの電圧は、グラウンド電圧(0V)から(VDD−Vx)に上昇する。ここで、Vxは、次ゲートトランジスタFLTがイネーブルとなるので、小さいオフセット電圧である。一旦、ノードAの電圧が(VDD−Vx)になると、読出トランジスタRTも、制御端子が(VDD−Vx)に等しい高電圧を受けるため、イネーブルとなる。結果として、読出トランジスタRT及び読出選択トランジスタRSTがイネーブルであるため、読出電流IREADをビット列読出信号BLRの端子から、選択信号SLの端子まで生成することができる。
メモリセルMC1が論理「1」である読出モードで動作するときは、アンチヒューズ要素AFEは、非ラプチャ状態(non-ruptured state)で動作し、絶縁体と見なすことができる。ゆえに、ノードAの電圧は、グラウンド電圧(0V)周辺に維持される。ノードAの電圧がグラウンド電圧(0V)に実質的に等しいので、読出トランジスタRTは、ディスエーブルである。結果として、読出トランジスタRTはディスエーブルであるため、読出電流IREADがビット列読出信号BLRの端子から、選択信号SLの端子までもたらされない。
簡潔には、メモリセルMC1が論理「0」である読出モードで動作するときは、アンチヒューズ要素AFEはラプチャ状態で動作する。ゆえに、読出電流IREADが生成される。メモリセルが論理「1」である読出モードで動作するときは、アンチヒューズ要素AFEは非ラプチャ状態で動作する。ゆえに、読出電流IREADは生成されない。
さらに、論理「0」であるプログラミングモード及び論理「1」であるプログラミングモードを以下に説明する。メモリセルMC1が論理「0」であるプログラミングモードで動作するときは、ビット列プログラム信号BLPは、0ボルトに等しい第二電圧にある。ワード列プログラム信号WLPは、第一電圧VDDにある。ここで、第一電圧VDDは、0ボルトより大きい所定の回路電圧であることができる(つまり、例えば、第一電圧VDDは1ボルトであることができる)。次制御信号FLは、第一電圧VDDと第三電圧VPPとの間の電圧レベルにある。例えば、次制御信号FLは、第三電圧VPPの半分の電圧にあることができる。ここで、第三電圧VPPは、第一電圧VDDよりも大きい。例えば、第三電圧は7ボルトであることができる。アンチヒューズ制御信号AFは、第三電圧VPPにある。ビット列読出信号BLRは、第一電圧VDDにある。選択信号SLは、第一電圧VDDにある。ワード列読出信号WLRは、第一電圧VDDにある。そうすることによって、プログラミング選択トランジスタPSTは、制御端子が、第一電圧VDDであるワード列プログラム信号を受信するので、イネーブルである(つまり、制御端子と第二端子との間にあるクロス電圧Vgsは、第一電圧VDDに実質的に等しい)。プログラミング選択トランジスタPSTがイネーブルであるので、ノードAの電圧は、0ボルトに等しい(つまり、ビット列プログラム信号BLPは0ボルトに等しい)。ここで、次ゲートトランジスタFLTは、制御端子が、第一電圧VDDよりも大きい電圧VPP/2である次制御信号FLを受信するので、イネーブルである。ゆえに、次ゲートトランジスタFLTがイネーブルであるので、ノードBの電圧は0ボルトでノードAの電圧と等しい(つまり、ノードA及びノードBは等価的に二つのグラウンド端子となる)。結果として、アンチヒューズ要素AFEの第一端子と第二端子とのクロス電圧は、第三電圧VPPと実質的に等しい。アンチヒューズ要素AFEをラプチャする回路ループが存在する。例えば、第三電圧VPPを7ボルトとして設計するとき、アンチヒューズ要素AFEのクロス電圧は、アンチヒューズ要素AFEのラプチャ処理をトリガするのに十分な程度に高い。
メモリセルMC1が論理「1」であるプログラミングモードで動作するときは、アンチヒューズ制御信号AF、次制御信号FL、ワード列プログラム信号WLP、ビット列読出信号BLR,ワード列読出信号WLR及び選択信号SLは、論理「0」であるプログラミングモードと同様である。違いは、ビット列プログラム信号BLPが第一電圧VDDにあることである。そのようにすることによって、プログラミング選択トランジスタPSTは、ソース端子とドレイン端子との間のクロス電圧が小さすぎるので、ディスエーブルとなり得る。結果として、アンチヒューズ要素AFEをラプチャする回路ループは存在しない。アンチヒューズ要素AFEのラプチャ処理はトリガされない。
表Bは、プログラミング動作時のメモリセルMC1の全ての信号ステータスを示す。
Figure 0006284989
上述した構造のように、メモリアレイ13は、複数のメモリセルを含む。例えば、メモリアレイ13は、N×Mメモリセルを含むことができる。ここで、N及びMは二つの正の整数である。提示の簡潔性のため、四つのメモリアレイ13を導入する。図3は、メモリアレイ13上のメモリセル配置の概略図を示す。ここで、メモリアレイ13は、メモリセルMC1と、メモリセルMC2と、メモリセルMC3と、メモリセルMC4と、を含む。全てのメモリセルは、図2に示した同一の回路構造を有する。詳細には、アドレス情報を担う第一制御信号ASに従って、メモリセルMC1が読出動作又はプログラミング動作の駆動について選択される。メモリセルMC2、メモリセルMC3及びメモリセルMC4は非選択メモリセルと見なすことができる。言い換えると、メモリセルMC1が読出モードで動作するときは、メモリセルMC2、メモリセルMC3及びメモリセルMC4は読出禁止モードで動作する。メモリセルMC1がプログラミング動作モードで動作するときは、メモリセルMC2、メモリセルMC3及びメモリセルMC4はプログラミング禁止モードで動作する。提示の完全性のため、メモリセルMC1が駆動するとき、メモリセルMC1からメモリセルMC4の全ての信号を表C及び表Dにリストする。ここで、表Cは、メモリセルMC1が読出モードで動作する一方、メモリセルMC2からMC4が読出禁止モードで動作するときの、メモリアレイ13の信号ステータスを示す。
Figure 0006284989
さらに、表Dは、メモリセルMC1がプログラミングモードで動作する一方、メモリセルMC2からMC4がプログラミング禁止モードで動作するときの、メモリアレイ13の信号ステータスを示す。
Figure 0006284989
メモリシステム100において、二つの動作モード(つまり、読出モードとプログラミングモード)が導入されるので、適切なアンチヒューズ電圧生成器11が、対応するアンチヒューズ制御信号AFを出力するのに必要とされる。例えば、メモリセルMC1は¥が読出動作時にイネーブルであるとき、アンチヒューズ制御信号AFは第一電圧VDD(つまり、1ボルト)に等しい電圧ボルトにある。メモリセルMC1がプログラミング動作時にイネーブルであるときは、アンチヒューズ制御信号AFは、第三電圧VPP(つまり、7ボルト)に等しい電圧レベルにある。次に、アンチヒューズ電圧生成器の構造を記載する。
図4は、アンチヒューズ電圧生成器11aの構造を示す。アンチヒューズ電圧生成器11aは、メモリシステム100のアンチヒューズ電圧生成器11に適用することができる。アンチヒューズ電圧生成器11aは、振動子ROSCと、電圧ダブラVBOOSTと、第一トランジスタT1と、第二トランジスタT2と、第三トランジスタT3と、を含む。振動子ROSCは、第一入力端子と、第二入力端子と、第三入力端子と、出力端子と、を含む。第一入力端子は、第二制御信号BSTを受信するのに用いられる。第二入力端子は、駆動電圧VDDINを受けるのに用いられる。第三入力端子は、第二電圧VSSを受けるのに用いられる。出力端子は、クロック信号CLKを出力するのに用いられる。ここで、振動子ROSCは、任意のタイプの振動子であることができ、リング型振動子等がある。電圧ダブラVBOOSTは、第一入力端子と、第二入力端子と、第三入力端子と、出力端子と、を含む。第一入力端子は、駆動電圧VDDINを受けるのに用いられる。第二入力端子は、第二電圧VSSを受けるのに用いられる。第三入力端子は、振動子ROSCの出力端子に結合されており、クロック信号CLKを受信する。出力端子は、プログラミング動作時にアンチヒューズ制御信号AFを出力するのに用いられる。第一トランジスタT1は、第一端子と、第二端子と、制御端子と、を含む。第一端子は、第二電圧VSSを受けるのに用いられる。制御端子は、第二制御信号BSTの逆信号ZBSTを受信するのに用いられる。第二トランジスタは、第一端子と、第二端子と、制御端子と、を含む。第一端子は、第一トランジスタT1の第二端子に結合されている。第二端子は、電圧ダブラVBOOSTの出力端子に結合されている。制御端子は、第二制御信号BSTに従い、論理回路LCを通じてゲート信号Gを受信するのに用いられる。論理回路LCは、遅延論理回路であることができる。第三トランジスタT3は、第一端子と、第二端子と、制御端子と、を含む。第一端子は、駆動電圧VDDINを受けるのに用いられる。第二端子は、第二トランジスタT2の第二端子に結合されており、読出動作時にアンチヒューズ制御信号AFを出力するのに用いられる。制御端子は、第二トランジスタT2の第一端子に結合されている。アンチヒューズ電圧生成器11aにおいて、駆動電圧VDDINは、第二電圧VSSよりも高い。例えば、駆動電圧VDDINは、1ボルト又は3.5ボルトに等しくあることができる。第二電圧VSSは、0ボルトに等しいグラウンド電圧であることができる。第一トランジスタT1は、N型金属酸化物半導体電界効果トランジスタであることができる。第二トランジスタT2及び第三トランジスタT3は、P型金属酸化物半導体電界効果トランジスタであることができる。メモリアレイ13の読出動作時及びプログラミング動作時のアンチヒューズ電圧生成器11aの駆動モードを以下に説明する。
図5は、読出動作時のアンチヒューズ電圧生成器11aの概略図である。ここで、第二電圧VSSは、グラウンド電圧(0ボルト)に等しい。第二制御信号BSTは、グラウンド電圧(0ボルト)に等しい。第二制御信号BSTの逆信号ZBSTは、第一電圧VDD(1ボルト)に等しい。ゲート信号Gは、駆動電圧VDDIN(1ボルト)に等しい。アンチヒューズ制御信号AFは、駆動電圧(1ボルト)に等しい。読出動作時のアンチヒューズ電圧生成器11aの全ての信号ステータスを表Eにリストすることができる。
Figure 0006284989
アンチヒューズ電圧生成器11aの動作モードを以下に示すことができる。読出動作時は、電圧ダブラVBOOSTは、1ボルトに等しい駆動電圧VDDINを受け、クロック信号CLKは0ボルト又は1ボルトに等しいレベルに固定されているので、電圧ダブラVBOOSTはディスエーブルであり、無効デバイス(void device)と見なされる。ゆえに、電圧ダブラVBOOSTの出力端子は、浮遊(floating)端子となる。さらに、第一トランジスタT1の制御端子は、1ボルトに等しい第二制御信号BSTの逆信号ZBSTを受信するので、第一トランジスタT1は、イネーブルである。ゆえに、ノードVZRDの電圧は、0ボルト(第二電圧VSS)に等しい。第二トランジスタT2の制御端子は、1ボルトに等しいゲート信号Gを受信するので、第二トランジスタT2は、ディスエーブルである。詳細には、第三トランジスタT3の制御信号は、0ボルトに等しいノードVZRDの電圧を受けるので、第三トランジスタT3は、イネーブルである。結果として、アンチヒューズ制御信号AFの電圧は、電流IVC1が第三トランジスタの第一端子から第二端子まで形成されることができるので、第三トランジスタT3の第一端子により受けた駆動電圧VDDIN(1V)に等しい。そのようにすることで、1ボルトを備えるアンチヒューズ制御信号AFを、読出動作時(又は、読出動作の期間(time interval)という)にアンチヒューズ電圧生成器11aから出力することができ、メモリアレイ13が正確に動作することができる。
図6は、プログラミング動作時のアンチヒューズ電圧生成器11aの概略図を示す。ここで、第二電圧VSSグラウンド電圧(0ボルト)に等しい。第二制御信号BSTは、3.5ボルトに等しい。第二制御信号BSTの逆信号ZBSTはグラウンド電圧(0ボルト)に等しい。ゲート信号Gは、駆動電圧VDDIN(3.5ボルト)からグラウンド電圧(0ボルト)に変化する。ゲート信号Gは、ゲート信号Gが駆動電圧VDDIN(3.5ボルト)からグラウンド電圧(0ボルト)に変化した後に、さらにグラウンド電圧(0ボルト)から駆動電圧VDDIN(3.5ボルト)に変化することができる。アンチヒューズ制御信号AFは、駆動電圧VDDINの二倍(つまり、7ボルト)に等しい。プログラミング動作時のアンチヒューズ電圧生成器11aの全ての信号ステータスを表Fにリストすることができる。
Figure 0006284989
言い換えると、プログラミング動作時のアンチヒューズ電圧生成器11aについては、ゲート信号Gは三つのステータスになる。当初ステータスにおいて、ゲート信号Gの電圧は期間S1時、駆動電圧VDDIN(3.5ボルト)に等しい。動作ステータスにおいて、ゲート信号Gの電圧は期間S2時、第二電圧(0ボルト)に等しい。最終ステータスにおいて、ゲート信号Gの電圧は期間S3時、駆動電圧VDDIN(3.5ボルト)に等しい。アンチヒューズ電圧生成器11の動作が読出動作からプログラミング動作になるとき、ゲート信号Gの電圧は、当初ステータスから動作ステータスに変化する。詳細には、ゲート信号Gの電圧が第二電圧VSS(0ボルト)に等しいときは、アンチヒューズ電圧生成器11aの動作モードは以下に説明することができる。電圧ダブラVBOOSTが3.5ボルトに等しい駆動電圧VDDINを受けるので、クロック信号CLKは、3.5ボルトと0ボルトとの間で切り替える。ゆえに、電圧ダブラVBOOSTはイネーブルであり、振動子ROSCから出力されたクロック信号に従って、駆動電圧VDDINの二倍(7ボルト)に等しいアンチヒューズ制御信号AFを生成することができる。ここで、第一トランジスタT1の制御端子が、0ボルトに等しい第二制御信号BSTの逆信号ZBSTを受信するので、第一トランジスタT1はディスエーブルである。第二トランジスタT2の制御端子が0ボルトに等しいゲート信号Gを受信するので、第二トランジスタT2はイネーブルである。ゆえに、ノードVZRDの電圧は、7ボルト(つまり、アンチヒューズ制御信号AFの電圧)に等しい。さらに、第三トランジスタの制御端子が7ボルトに等しいノードVZRDの電圧を受けるため、第三トランジスタはディスエーブルである。結果として、第三トランジスタがディスエーブルであるので、第三トランジスタT3の第二端子(7ボルト)から第一端子(3.5ボルト)までの漏出電流ILCが消失している。そのようにすることで、7ボルトを備えるアンチヒューズ制御信号AFを、プログラミング動作時(又は、プログラミング動作の期間と言う)にアンチヒューズ電圧生成器11aから出力することができ、メモリアレイ13が正確に動作することができる。
簡潔には、アンチヒューズ電圧生成器11aは読出動作時にイネーブルであるときは、アンチヒューズ制御信号AFは、第三トランジスタT3から生成された電流IVCに従って、1ボルトに等しい電圧レベルで出力される。アンチヒューズ電圧生成器11aがプログラミング動作時にイネーブルであるときは、アンチヒューズ制御信号AFは、電圧ダブラVBOOSTから生成された電流IVC2に従って、7ボルトに等しい電圧レベルで出力される。図6においては、アンチヒューズ電圧生成器11aは、期間S2時に、7ボルトに等しい電圧レベルでアンチヒューズ制御信号AFを出力することができる。その後、ゲート信号Gは依然として0ボルトに等しい電圧レベルを備える信号のままである。ゲート信号Gは、期間S3時に、3.5ボルトに等しい電圧レベルを備える信号に変化する。次に、ゲート信号Gの様々な最終ステータスについてのアンチヒューズ電圧生成器11aのトランジスタの効果を説明する。
図7は、プルローゲート信号Gでのアンチヒューズ電圧生成器11aのトランジスタT1からT3のクロス電圧の概略図を示す。ここで、プルローゲート信号Gは、期間S2時のゲート信号として規定する。図6の上述した動作のように、第一トランジスタT1はディスエーブルである。第二トランジスタはイネーブルである。第三トランジスタはディスエーブルである。結果として、第一トランジスタT1の第一端子と制御端子との間のクロス電圧は0ボルトに等しい。第一トランジスタT1の第二端子と制御端子との間のクロス電圧は、7ボルトに等しい。ゆえに、第一トランジスタT1は、高クロス電圧効果(high cross voltage effect)を受け、寿命を縮めることにつながる。第二トランジスタT2の第一端子と制御端子との間のクロス電圧は7ボルトに等しい。第二トランジスタT2の第二端子と制御端子との間のクロス電圧は7ボルトに等しい。ゆえに、第二トランジスタT2は高クロス電圧効果を受け、寿命を縮めることつながる。第三トランジスタT3の第一端子と制御端子との間のクロス電圧は、3.5ボルトに等しい。第三トランジスタT3の第二端子と制御端子のクロス電圧は0ボルトに等しい。ゆえに、高クロス電圧効果は第三トランジスタT3にはもたらされない。結果として、ゲート信号Gがプルローゲート信号になり、プルローのステータスのままでいるときは、高クロス電圧効果が第一トランジスタT1及び第二トランジスタT2にもたらされる。言い換えると、図7におけるアンチヒューズ電圧生成器11aの動作が、プログラミング動作時にアンチヒューズ制御信号AFの電圧レベル(7ボルト)を提供することができても、第一トランジスタT1及び第二トランジスタT2の寿命が、高クロス電圧効果により縮まる可能性がある。
図8は、プルハイゲート信号Gでのアンチヒューズ電圧生成器11aのトランジスタT1からT3のクロス電圧の概略図を示す。ここで、プルハイゲート信号Gは期間S3時でのゲート信号として規定する。ここで、第一トランジスタは、制御端子が0に等しい第二制御信号BSTの逆信号ZBSTを受信するので、ディスエーブルである。ゆえに、第一トランジスタの第一端子と制御端子との間のクロス電圧は、0ボルトに等しい。第一トランジスタの第二端子と制御端子との間のクロス電圧は、7ボルトに等しい(つまり、第二端子の過渡電圧は7ボルトに等しい)。ゆえに、第一トランジスタT1は、高クロス電圧効果を受け、寿命を縮めることにつながる。第二トランジスタT2の第一端子と制御端子との間のクロス電圧は、3.5ボルトに等しい。第二トランジスタT2の第二端子と制御端子との間のクロス電圧は、3.5ボルトに等しい。ゆえに、高クロス電圧効果は第二トランジスタにはもたらされない。第三トランジスタの第一端子と制御端子との間のクロス電圧は、3.5ボルトに等しい。第三トランジスタの第二端子と制御端子との間のクロス電圧は、0ボルトに等しい。ゆえに、高クロス電圧効果は第三トランジスタT3にはもたらされない。結果として、ゲート信号Gが期間S3時にプルハイゲートとなるときは、高クロス電圧効果が第一トランジスタT1にもたらされる。言い換えると、図7におけるアンチヒューズ電圧生成器11aの動作が、プログラミング動作時にアンチヒューズ制御信号AFの電圧レベル(7ボルト)を提供することができても、第一トランジスタT1の寿命が、高クロス電圧効果により縮まる可能性がある。図7及び図8での動作を比較すると、高クロス電圧を有する少なくとも一つのトランジスタが存在する。高クロス電圧効果を回避するため、以下に他のアンチヒューズ電圧生成器を導入し、説明する。
図9は、プログラミング動作時のアンチヒューズ電圧生成器11bの他の構成を示す。アンチヒューズ電圧生成器11bは、メモリシステム100のアンチヒューズ電圧生成器11に適用することができる。詳細には、アンチヒューズ電圧生成器11bの構造は、アンチヒューズ電圧生成器11aの構造と類似する。差異点は、追加的なトランジスタT4(つまり、以下、「第四トランジスタT4」という)が、アンチヒューズ電圧生成器11bに導入されていることである。アンチヒューズ電圧生成器11bの振動子ROSC,電圧ダブラVBOOST、第一トランジスタT1、第二トランジスタT2及び第三トランジスタT3アンチヒューズ電圧生成器11aのものと類似するので、これらのコンポーネントについての説明はここでは省略する。アンチヒューズ電圧生成器11bにおいては、第四トランジスタは、第一端子と、第二端子と、制御端子と、を含む。第一端子は、第一トランジスタT1の第二端子に結合されている。第二端子は、第二トランジスタT2の第一端子に結合されている。結合端子は、駆動電圧VDDIN(3.5V)を受けるのに用いられる。第四トランジスタT4はN型金属酸化物半導体電界効果トランジスタであることができる。詳細には、第四トランジスタは、制御端子が3.5Vに等しい駆動電圧VDDINを受けるので、イネーブルである。ゆえに、アンチヒューズ電圧生成器11bの第四トランジスタT4は読出動作時(つまり、1ボルトに等しいVDDIN)及びプログラミング動作時(つまり、3.5Vに等しいVDDIN)は常にイネーブルなので、読出動作時及びプログラミング動作時の対応するアンチヒューズ制御信号AFを生成する駆動方法は、アンチヒューズ電圧生成器11aの駆動方法に類似する。ゆえに、これらの説明についてもここでは省略する。図9においては、同様に、アンチヒューズ電圧生成器11bは、期間S2時に7ボルトに等しい電圧レベルでアンチヒューズ制御信号AFを出力することができる。その後、ゲート信号Gは0ボルトに等しい電圧レベルを備える信号のままでいることができる。ゲート信号Gは、期間S3時に3.5V(VDDIN)に等しい電圧レベルを備える信号に変化することもできる。次に、ゲート信号Gの様々な最終ステータスについて、アンチヒューズ電圧生成器11bのトランジスタの効果を説明する。
図10は、プルローゲート信号Gでのアンチヒューズ電圧生成器11bのトランジスタT1からT4のクロス電圧の概略図を示す。ここで、プルローゲート信号Gは、期間S2時のゲート信号として規定する。上述した動作のように、第一トランジスタT1はディスエーブルである。第二トランジスタはイネーブルである。第三トランジスタはディスエーブルである。第四トランジスタはイネーブルである。ノードKは、(3.5−Vthn)周辺の電圧であることができることに留意されたい。ここで、Vthnは、T4の所定の閾値電圧であることができる。ゆえに、過渡電流が第一トランジスタT1にもたらされず、第一トランジスタT1の制御端子が、0ボルトに等しい第二制御信号BSTの逆信号ZBSTを受信するので、第一トランジスタT1のクロス電圧は小さい。ゆえに、高クロス電圧効果は、第一トランジスタにもたらされない。第四トランジスタの第一端子と制御端子との間のクロス電圧はVthnボルトに等しい。第四トランジスタの第二端子と制御端子との間のクロス電圧は、3.5ボルトに等しい。ゆえに、高クロス電圧効果は、第四トランジスタにもたらされない。第二トランジスタT2の第一端子と制御端子との間のクロス電圧は7ボルトに等しい。第二トランジスタT2の第二端子と制御端子との間のクロス電圧は7ボルトに等しい。ゆえに、第二トランジスタT2は高クロス電圧効果を受ける。第三トランジスタT3の第一端子と制御端子との間のクロス電圧は、3.5ボルトに等しい。第三トランジスタT3の第二端子と制御端子のクロス電圧は0ボルトに等しい。ゆえに、高クロス電圧効果は第三トランジスタT3にはもたらされない。結果として、ゲート信号Gがプルローゲート信号になり、プルローのステータスのままでいるときは、高クロス電圧効果が第二トランジスタT2にもたらされる。言い換えると、図10におけるアンチヒューズ電圧生成器11bの動作が、プログラミング動作時にアンチヒューズ制御信号AFの電圧レベル(7ボルト)を提供することができても、第二トランジスタT2の寿命が、高クロス電圧効果により縮まる可能性がある。一方、第一トランジスタTの高クロス電圧効果は低減される。
図11は、プルハイゲート信号Gでのアンチヒューズ電圧生成器11bのトランジスタT1からT4のクロス電圧の概略図を示す。ここで、プルハイゲート信号Gは期間S3時でのゲート信号として規定する。ここで、第一トランジスタは、制御端子が、0に等しい第二制御信号BSTの逆信号ZBSTを受信するので、ディスエーブルである。第一トランジスタは、ディスエーブルであり、開回路状態で動作することに留意されたい。結果として、過渡電流は、第一トランジスタにもたらされず、第一トランジスタT1の制御端子は、0に等しい第二制御信号BSTの逆信号ZBSTを受信するので、第一トランジスタT1のクロス電圧は小さい。ゆえに、高クロス電圧効果は第一トランジスタT1にもたらされない。第四トランジスタの第一端子と制御端子との間のクロス電圧は、3.5ボルトに等しい。図10における第四トランジスタのステータスと同様に、高クロス電圧効果は図11における第四トランジスタにはもたらされない。第二トランジスタT2の第一端子と制御端子との間のクロス電圧は、3.5ボルトに等しい。第二トランジスタT2の第二端子と制御端子との間のクロス電圧は、3.5ボルトに等しい。ゆえに、高クロス電圧効果は第二トランジスタにはもたらされない。第三トランジスタの第一端子と制御端子との間のクロス電圧は、3.5ボルトに等しい。第三トランジスタの第二端子と制御端子との間のクロス電圧は、0ボルトに等しい。ゆえに、高クロス電圧効果は第三トランジスタT3にはもたらされない。結果として、ゲート信号Gが期間S3時にプルハイゲートとなるときは、高クロス電圧効果はアンチヒューズ電圧生成器11bにはもたらされない。言い換えると、図11におけるアンチヒューズ電圧生成器11bの動作が、プログラミング動作時にアンチヒューズ制御信号AFの電圧レベル(7ボルト)を提供することができる。全てのトランジスタT1からT4も高クロス電圧効果を回避することができる。ゆえに、アンチヒューズ電圧生成器11bの寿命を延ばすことができる。
一般性を失うことなく、外部電源スイッチを備える他のメモリシステムを導入する。図12は、本発明の他の実施形態に係る、メモリシステム200のブロック図を示す。特に、メモリシステム200のブロック図は、メモリシステム100のブロック図に類似する。差異点は、電源スイッチ15をメモリシステム200に導入したことである。電源スイッチ15は、アンチヒューズ電圧生成器11及びアレイ電圧生成器12に結合されている。メモリシステム200において、電源スイッチ15は、アンチヒューズ電圧生成器11及びアレイ電圧生成器12に向けた駆動電圧VDDINを生成することができる。詳細には、メモリ制御データ信号MCDSの制御情報を、電源スイッチ15、アンチヒューズ電圧生成器11及びアレイ電圧生成器12により抽出することができる。例えば、メモリ制御データ信号MCDSの読出動作の情報を、電源スイッチ15、アンチヒューズ電圧生成器11及びアレイ電圧生成器12により抽出することができる。ゆえに、電源スイッチ15は、1ボルトに等しい駆動電圧VDDINを出力することができる。アンチヒューズ電圧生成器11は、1ボルトに等しいアンチヒューズ制御信号を出力することができる。アレイ電圧生成器12は、1ボルトに等しい次制御信号FL及び0ボルトに等しい選択信号SLを出力することができる。言い換えると、電源スイッチ15、アンチヒューズ電圧生成器11及びアレイ電圧生成器12は、メモリシステム200の全ての動作モードを容易にするように同期化されることができる。追加的には、電源スイッチ15は、ユーザによって制御される外部デバイスであることもできる。メモリ制御データ信号MCDSはユーザによって規定される外部信号であることもできる。その結果として、メモリシステム200は十分な設計柔軟性を提供する。
まとめると、本発明は、メモリセルとつながって、電圧をブーストする能力を有する小規模なアンチヒューズ電圧生成器を備えるメモリシステムを示す。アンチヒューズ電圧生成器は、並列に接続された二つのサブ回路を有する。第一サブ回路は、アンチヒューズ電圧生成器がプログラミング動作時にイネーブルであるときに電圧をブーストする電圧ダブラを含む。第二サブ回路は、アンチヒューズ電圧生成器が読出動作時にイネーブルであるときに適切な電圧を出力する複数のトランジスタを含む。アンチヒューズ電圧生成器は、複雑性の低い複数のシンプルな回路を用いることによって達成される。アンチヒューズ電圧生成器の回路規模も縮小することができる。結果として、アンチヒューズ電圧生成器の回路規模を縮小することにより、アンチヒューズ電圧生成器をチップ上の最適位置に置くことができ、動作パフォーマンス及び設計柔軟性を改善することにつながる。
当業者は、本発明の教示を保持しながら、装置及び方法の多くの修正及び変更がなされ得ることを容易に理解するものである。従って、上記の開示は、添付の特許請求の範囲の境界によってのみ制限されるものとして解釈すべきである。

Claims (14)

  1. 制御ブロックであって、
    メモリ制御データ信号を受信するように構成された入力端子と、
    第一制御信号を出力するように構成された第一出力端子と、
    第二制御信号を出力するように構成された第二出力端子と、
    第三制御信号を出力するように構成された第三出力端子と、
    第四制御信号を出力するように構成された第四出力端子と、を含む制御ブロックと、
    アンチヒューズ電圧生成器であって、
    前記制御ブロックの第二出力端子に結合されており、前記第二制御信号を受信するように構成された第一入力端子と、
    駆動電圧を受けるように構成された第二入力端子と、
    アンチヒューズ制御信号を出力するように構成された出力端子と、含むアンチヒューズ電圧生成器と、
    アレイ電圧生成器であって、
    前記制御ブロックの第三出力端子に結合されており、前記第三制御信号を受信するように構成された第一入力端子と、
    前記駆動電圧を受けるように構成された第二入力端子と、
    選択信号を出力するように構成された第一出力端子と、
    次制御信号を出力するように構成された第二出力端子と、を含むアレイ電圧生成器と、
    メモリアレイであって、前記制御ブロック、前記アンチヒューズ電圧生成器及び前記アレイ電圧生成器に結合されており、前記第一制御信号、前記アンチヒューズ制御信号、前記選択信号及び前記次制御信号に従って、データにアクセスするように構成されたメモリアレイと、
    を含むメモリシステムであって、
    前記第一制御信号は、当該メモリアレイのアドレス情報を含み、
    前記アンチヒューズ電圧生成器は、
    振動子であって、
    前記第二制御信号を受信するように構成された第一入力端子と、
    前記駆動電圧を受けるように構成された第二入力端子と、
    第二電圧を受けるように構成された第三入力端子と、
    クロック信号を出力するように構成された出力端子と、を含む振動子と、
    電圧ダブラであって、
    前記駆動電圧を受けるように構成された第一入力端子と、
    前記第二電圧を受けるように構成された第二入力端子と、
    前記振動子の出力端子に結合されており、前記クロック信号を受信するように構成された第三入力端子と、
    プログラミング動作時に、前記アンチヒューズ制御信号を出力するように構成された出力端子と、を含む電圧ダブラと、
    第一トランジスタであって、
    前記第二電圧を受けるように構成された第一端子と、
    第二端子と、
    前記第二制御信号の逆信号を受信するように構成された制御端子と、を含む第一トランジスタと、
    第二トランジスタであって、
    前記第一トランジスタの第二端子に結合された第一端子と、
    前記電圧ダブラの出力端子に結合された第二端子と、
    前記第二制御信号に従って、論理回路を通じてゲート信号を受信するように構成された制御端子と、を含む第二トランジスタと、
    第三トランジスタであって、
    前記駆動電圧を受けるように構成された第一端子と、
    前記第二トランジスタの第二端子に結合されており、読出動作時に前記アンチヒューズ制御信号を出力するように構成された第二端子と、
    前記第二トランジスタの第一端子に結合された制御端子と、を含む第三トランジスタと、を含み、
    前記駆動電圧は、前記第二電圧よりも高いメモリシステム。
  2. 前記振動子はリング型振動子である、請求項に記載のメモリシステム。
  3. 前記第一トランジスタは、N型金属酸化物半導体電界効果トランジスタであり、前記第二トランジスタ及び前記第三トランジスタは、P型金属酸化物半導体電界効果トランジスタである、請求項に記載のメモリシステム。
  4. 前記アンチヒューズ電圧生成器が前記読出動作時にイネーブルであるときは、前記第二電圧はグラウンド電圧に等しく、前記第二制御信号は該グラウンド電圧に等しく、前記第二制御信号の逆信号は第一電圧に等しく、前記ゲート信号は前記駆動電圧に等しく、前記アンチヒューズ制御信号は前記駆動電圧に等しい、請求項に記載のメモリシステム。
  5. 前記アンチヒューズ電圧生成器が前記プログラミング動作時にイネーブルであるときは、前記第二電圧はグラウンド電圧に等しく、前記第二制御信号は第一電圧に等しく、前記第二制御信号の逆信号は該グラウンド電圧に等しく、前記ゲート信号は前記駆動電圧から前記グラウンド電圧に変化し、前記アンチヒューズ制御信号は前記駆動電圧の二倍に等しい、請求項に記載のメモリシステム。
  6. 前記プログラミング動作時の前記アンチヒューズ電圧生成器の駆動電圧は、前記読出動作時の前記アンチヒューズ電圧生成器の駆動電圧よりも大きい、請求項に記載のメモリシステム。
  7. 前記ゲート信号は、前記ゲート信号が前記駆動電圧から前記グラウンド電圧に変化した後に、前記グラウンド電圧から前記駆動電圧に変化する、請求項に記載のメモリシステム。
  8. 制御ブロックであって、
    メモリ制御データ信号を受信するように構成された入力端子と、
    第一制御信号を出力するように構成された第一出力端子と、
    第二制御信号を出力するように構成された第二出力端子と、
    第三制御信号を出力するように構成された第三出力端子と、
    第四制御信号を出力するように構成された第四出力端子と、を含む制御ブロックと、
    アンチヒューズ電圧生成器であって、
    前記制御ブロックの第二出力端子に結合されており、前記第二制御信号を受信するように構成された第一入力端子と、
    駆動電圧を受けるように構成された第二入力端子と、
    アンチヒューズ制御信号を出力するように構成された出力端子と、含むアンチヒューズ電圧生成器と、
    アレイ電圧生成器であって、
    前記制御ブロックの第三出力端子に結合されており、前記第三制御信号を受信するように構成された第一入力端子と、
    前記駆動電圧を受けるように構成された第二入力端子と、
    選択信号を出力するように構成された第一出力端子と、
    次制御信号を出力するように構成された第二出力端子と、を含むアレイ電圧生成器と、
    メモリアレイであって、前記制御ブロック、前記アンチヒューズ電圧生成器及び前記アレイ電圧生成器に結合されており、前記第一制御信号、前記アンチヒューズ制御信号、前記選択信号及び前記次制御信号に従って、データにアクセスするように構成されたメモリアレイと、
    を含むメモリシステムであって、
    前記第一制御信号は、当該メモリアレイのアドレス情報を含み、
    前記アンチヒューズ電圧生成器は、
    振動子であって、
    前記第二制御信号を受信するように構成された第一入力端子と、
    前記駆動電圧を受けるように構成された第二入力端子と、
    第二電圧を受けるように構成された第三入力端子と、
    クロック信号を出力するように構成された出力端子と、を含む振動子と、
    電圧ダブラであって、
    前記駆動電圧を受けるように構成された第一入力端子と、
    前記第二電圧を受けるように構成された第二入力端子と、
    前記振動子の出力端子に結合されており、前記クロック信号を受信するように構成された第三入力端子と、
    プログラミング動作時に、前記アンチヒューズ制御信号を出力するように構成された出力端子と、を含む電圧ダブラと、
    第一トランジスタであって、
    前記第二電圧を受けるように構成された第一端子と、
    第二端子と、
    前記第二制御信号の逆信号を受信するように構成された制御端子と、を含む第一トランジスタと、
    第四トランジスタであって、
    前記第一トランジスタの第二端子に結合された第一端子と、
    第二端子と、
    前記駆動電圧を受けるように構成された制御端子と、を含む第四トランジスタと、
    第二トランジスタであって、
    前記第四トランジスタの第二端子に結合された第一端子と、
    前記電圧ダブラの出力端子に結合された第二端子と、
    前記第二制御信号に従って、論理回路を通じてゲート信号を受信するように構成された制御端子と、を含む第二トランジスタと、
    第三トランジスタであって、
    前記駆動電圧を受けるように構成された第一端子と、
    前記第二トランジスタの第二端子に結合されており、読出動作時に前記アンチヒューズ制御信号を出力するように構成された第二端子と、
    前記第二トランジスタの第一端子に結合された制御端子と、を含む第三トランジスタと、を含み、
    前記駆動電圧は、前記第二電圧よりも高いメモリシステム。
  9. 前記振動子はリング型振動子である、請求項に記載のメモリシステム。
  10. 前記第一トランジスタ及び前記第四トランジスタは、N型金属酸化物半導体電界効果トランジスタであり、前記第二トランジスタ及び前記第三トランジスタは、P型金属酸化物半導体電界効果トランジスタである、請求項に記載のメモリシステム。
  11. 前記アンチヒューズ電圧生成器が前記読出動作時にイネーブルであるときは、前記第二電圧はグラウンド電圧に等しく、前記第二制御信号は該グラウンド電圧に等しく、前記第二制御信号の逆信号は第一電圧に等しく、前記ゲート信号は前記駆動電圧に等しく、前記アンチヒューズ制御信号は前記駆動電圧に等しい、請求項に記載のメモリシステム。
  12. 前記アンチヒューズ電圧生成器が前記プログラミング動作時にイネーブルであるときは、前記第二電圧はグラウンド電圧に等しく、前記第二制御信号は第一電圧に等しく、前記第二制御信号の逆信号は該グラウンド電圧に等しく、前記ゲート信号は前記駆動電圧から前記グラウンド電圧に変化し、前記アンチヒューズ制御信号は前記駆動電圧の二倍に等しい、請求項に記載のメモリシステム。
  13. 前記プログラミング動作時の前記アンチヒューズ電圧生成器の駆動電圧は、前記読出動作時の前記アンチヒューズ電圧生成器の駆動電圧よりも大きい、請求項12に記載のメモリシステム。
  14. 前記ゲート信号は、前記ゲート信号が前記駆動電圧から前記グラウンド電圧に変化した後に、前記グラウンド電圧から前記駆動電圧に変化する、請求項12に記載のメモリシステム。
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