JP5866032B2 - メモリシステム - Google Patents
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Description
<不揮発性半導体記憶装置の構成>
図1は、第1の実施形態に係わる3次元積層型不揮発性半導体記憶装置(メモリシステム)の回路構成を示すブロック図である。
図1に示すように、センスアンプ12は、ビット線BLを介してメモリセルアレイ11と接続される。メモリセルアレイ11は複数のブロックBLKを含む。例えば同一のブロックBLK内にあるメモリセルトランジスタMTのデータは、一括して消去される。これに対してデータの読み出し及び書き込みは、いずれかのブロックBLKのいずれかのメモリグループにおける、いずれかのワード線WLに共通に接続された複数のメモリセルトランジスタMTにつき、一括して行われる。この単位を「ページ」と呼ぶ。センスアンプ12は、読み出しの際にメモリセルアレイ11のデータをページ単位で読み出しを行い、書き込みの際にメモリセルアレイ11にデータをページ単位で書き込む。
ロウデコーダ21は、ロウアドレスバッファ18を介して入力されるロウアドレス信号をデコードし、メモリセルアレイのワード線WL及び選択ゲート線SGD、SGSを選択して駆動する。また、このロウデコーダ21は、メモリセルアレイ11のブロックを選択する部分とページを選択する部分を有する。
制御回路15は、メモリコントローラ20を介して供給される各種外部制御信号(書き込みイネーブル信号WEn、読み出しイネーブル信号REn、コマンドラッチイネーブル信号CLE、アドレスラッチイネーブル信号ALE等)とコマンドCMDに基づき、データの書き込み及び消去のシーケンス制御、及び読み出し動作を制御する。
電圧生成回路16は、制御回路15により制御され、書き込み、消去及び読み出しの動作に必要な各種内部電圧を発生する。この電圧生成回路16は、電源電圧より高い内部電圧を発生するための昇圧回路を有している。
プレーンスイッチ17は、制御回路15、電圧生成回路16等に接続される。プレーンスイッチ17は、制御回路15等からの信号に基づいて、電圧生成回路16からの電圧の出力先を切り替えて、ロウデコーダ21に供給する。
メモリコントローラ20は、ホストインタフェース30を通じてホスト(ホストデバイス、または外部機器等とも称す)2と接続されている。メモリコントローラ20は、BiCSフラッシュメモリ10の動作に必要なコマンドなどを出力し、BiCSフラッシュメモリ10の読み出し、書き込みや消去を行う。このメモリコントローラ20は、CPU、ROM(Read only memory)、RAM(Random Access Memory)やECC(Error Correcting Code)回路を含んでいる。
ホスト2は、ホストインタフェース30を介してメモリコントローラ20に対してデータの読み出し要求または書き込み要求を発行する。このように、ホスト2とメモリコントローラ20の間でやりとりされるデータを、以下ではユーザデータと呼ぶこととする。ユーザデータは一般に、512バイトなどの一定の単位ごとに、論理アドレスと呼ばれる一意な番号を割り当てられて管理される。
図2は、第1の実施形態のメモリセルアレイ11を示している。なお、図2は、説明を簡単にするためにワード線WLの層数を4層としている。
図3は、一般的なp−BiCSメモリの1つのブロックのうち、1本のビット線に接続された複数のU字型のストリングの構成を示している。このp−BiCSメモリは、例えばm(mは1以上の整数)層のワード線を有し、複数のU字型のストリングが1本のビット線BLに接続されている。複数のビット線BLそれぞれに接続されたU字型のストリングで1ブロックを構成する。
<第1の実施形態に係るドライバの構成>
図4は、第1の実施形態に係るドライバと、プレーンスイッチとの関係を概略的に示すためのブロック図である。図5は、第1の実施形態に係るCGドライバを概略的に示すブロック図である。
次に、図6を用いて第1の実施形態に係るプレーンスイッチCGSWのCGNに係るスイッチの構成について概略的に説明する。図6は、第1の実施形態に係るプレーンスイッチCGSWのCGNに係るスイッチの回路図である。
次に、図7を用いて第1の実施形態に係るプレーンスイッチCGSWのCGDに係るスイッチの構成について概略的に説明する。図7は第1の実施形態に係るプレーンスイッチCGSWのCGDに係るスイッチの回路図である。
次に、図8を用いて第1の実施形態に係るロウデコーダの構成について概略的に説明する。図8は第1の実施形態に係るロウデコーダの回路図である。
図9〜図11を用いて、第1の実施形態に係るCGマッピングについて概略的に説明する。図9は、第1の実施形態に係る半導体記憶装置のプログラム動作時のCGマッピングを示す図である。図10は、第1の実施形態に係る半導体記憶装置のリード動作時のCGマッピングを示す図である。図11は、第1の実施形態に係る半導体記憶装置のイレース動作時のCGマッピングを示す図である。図9〜図11において、縦軸がワード線WLに対するCGドライバの割り当てを示しており、横軸は選択ワード線WLを示している。
まず、プログラム動作時のCGマッピングについて説明する。図9に示すように、選択されたワード線WLによって、ワード線WLに電圧を印加するCGドライバは適宜切り替えられる。
次に、リード動作時のCGマッピングについて説明する。
次に、イレース動作時のCGマッピングについて説明する。
次に、図12A及び図12Bを用いて、CGのコネクションテーブルについて説明する。図12Aは、イレース動作、プログラム動作、リード動作時におけるゾーン信号に対し、CGN/CGUドライバからCGIへの接続関係を示している。図12Bは、スイッチ信号と、出力信号との関係を示している。
上述した第1の実施形態によれば、BiCSフラッシュメモリ10は、データの書き換えが可能な複数のメモリセルと、複数のメモリセルに接続されている複数のワード線WLを備えている。また、BiCSフラッシュメモリ10は、同一のワード線WLに接続された複数のメモリセルを備えるページと、複数のページを備えるプレーンと、プレーンを複数備えるメモリセルアレイ11と、を備えている。更にBiCSフラッシュメモリ10は、複数のワード線WLに電圧を印加する複数のワード線ドライバ(CGドライバ)162と、プレーン毎に設けられ、ワード線WL毎にワード線ドライバ162を割り当てる複数のプレーンスイッチ17を備えている。メモリコントローラ20がBiCSフラッシュメモリ10内に存在するあるページに対してアクセスを行う際、そのページの属するプレーンを識別する番号(プレーン番号と称す)、同一プレーン内で各ブロックを識別する番号(ブロック番号と称す)、及び同一ブロック内で各ページを識別する番号(ページ番号と称す)をフラッシュメモリに対して指定する。以降では、それらを各々「プレーン番号」「ブロック番号」「ページ番号」と呼ぶこととする。
次に、第2の実施形態について説明する。第2の実施形態では、第1の実施形態で説明した半導体記憶装置を用いるマルチプレーンアクセスについて説明する。尚、第2の実施形態において、上述した第1の実施形態と略同一の機能及び構成を有する構成要素については、同一符号を付し、重複説明は必要な場合にのみ行う。
まず、図13を用いて、第2の実施形態に係る半導体記憶装置の基本的な構成について概略的に説明する。図13は、第2の実施形態に係る半導体記憶装置の基本的な構成を模式的に示したブロック図である。
次に、図14、図15を用いて、第2の実施形態に係るアクセス統合動作について説明する。図14は、第2の実施形態に係るアクセス統合動作を示したフローチャートである。図15は、第2の実施形態に係るBiCSフラッシュメモリ10の、相異なるプレーン内のブロック内の、相異なるページ番号を持つページに格納されたデータに並列にアクセスする様子を図示したものである(Fig. 15 describes parallel access to pages having different page numbers, where each page is included in a block in a different plane)。ここでは、簡単のため、i番目のプレーンのj番目のブロックのk番目のページを、ページ(i, j, k)と表す。
メモリコントローラ20は、ホスト2からのアクセス要求(アクセスコマンド)を受信する。ここで、アクセス要求とは、読み出し要求(リードコマンド)と書き込み要求(ライトコマンド)を含む。
メモリコントローラ20は、ホスト2からのアクセス要求を受信した後、処理を開始することが可能になった時点で、受信したアクセス要求の処理を開始する。
書き込み/読み出し制御部1bは、処理対象のアクセス要求が複数あるか否かを判定する。例えば、メモリコントローラ20は、例えば、図示しないコマンドキュー領域等を備えている。このコマンドキュー領域は、ホスト2から受信したコマンドを保持する。書き込み/読み出し制御部1bは、コマンドキュー領域に保持されたアクセス要求を参照することが可能であり、複数のアクセス要求があるか否かを判定することが可能である。
ステップS1003において、書き込み/読み出し制御部1bが、処理対象のアクセス要求が複数あると判定した場合、書き込み/読み出し制御部1bは、複数のアクセス要求が統合可能か否かを判定する。処理対象の複数のアクセス要求が同一のBiCSフラッシュメモリ10の相異なるプレーン内のページに対するものであれば、それらのアクセス要求は統合可能であると判定し、そうでない場合は統合不能と判定する。より具体的には、書き込み/読み出し制御部1bは、処理対象の複数のアクセス要求について、それぞれアクセス先の物理アドレス(S1002において導出)を参照する。複数のアクセス要求のアクセス先の物理アドレスが異なるプレーン上のページを指定しており、かつアクセス内容が読出し要求同士ないし書き込み要求同士である場合には、その複数のアクセス要求を統合可能であると判定する。一方、以上の条件を満たさない場合には、統合不能と判定する。
ステップS1004において、書き込み/読み出し制御部1bが、複数のアクセス要求が統合可能と判定した場合、書き込み/読み出し制御部1bは複数のアクセス要求を統合する。
ステップS1003において、書き込み/読み出し制御部1bが処理対象のアクセス要求が複数ではないと判定した場合(つまり、処理対象のアクセス要求が1つであると判定した場合)、書き込み/読み出し制御部1bは処理対象のアクセス要求に基づきBiCSフラッシュメモリ10へのアクセスを行う。
上述した第2の実施形態によれば、第1の実施形態で説明した、相異なる複数のプレーン内に位置するページ番号の異なるページに対して並列アクセス可能なBiCSフラッシュメモリを用いて、相異なるプレーン内のページ番号の異なるページに格納されたデータへのアクセス要求を統合し、並列にアクセスを行う。
次に、第3の実施形態について説明する。第3の実施形態では、マルチプレーンアクセスの他の例について説明する。尚、第3の実施形態において、上述した第2の実施形態と略同一の機能及び構成を有する構成要素については、同一符号を付し、重複説明は必要な場合にのみ行う。
次に、図16、図17を用いて、第3の実施形態に係るアクセス統合動作について説明する。図16は、第3の実施形態に係るアクセス統合動作を示したフローチャートである。図17は、第3の実施形態に係るBiCSフラッシュメモリ10の、相異なるプレーン内のブロック内の、相異なるページ番号を持つページに格納されたデータに並列にアクセスする様子を図示したものである。一般に、メモリコントローラ20は、ホスト2から要求を受けてユーザデータへアクセスする際、当該ユーザデータに対応するがユーザデータそのものではない何らかのデータを、副次的な情報として利用することがある。このような、メモリコントローラ20が内部的にユーザデータの管理のために利用するデータを、以下ではメタデータと呼ぶ。
メモリコントローラ20は、ホスト2からの読み出し要求を受信する(図14のステップS1001参照)。
メモリコントローラ20は、ホスト2からの読み出し要求を受信した後、受診した読み出し要求の処理を開始する(図14のステップS1002参照)。
メモリコントローラ20は、ホスト2からのアクセス要求処理を開始した後、アクセス要求のあったユーザデータに対応するメタデータの格納されている位置を取得する。
書き込み/読み出し制御部1bは、ホスト2からアクセス要求のあったユーザデータと、ユーザデータに対応するメタデータに対して並列にアクセスを行うようなコマンドシーケンスを、BiCSフラッシュメモリ10に対して発行する(図14のステップS1006参照)。
上述した第3の実施形態によれば、ユーザデータと、当該ユーザデータに関連付けられているメタデータを、同一のBiCSフラッシュメモリ10上の相異なるプレーンに格納する。メモリコントローラ20は、ユーザデータと当該ユーザデータに関連付けられているメタデータにアクセスする際、二つのデータに並列にアクセスを行うようなコマンドシーケンスをBiCSフラッシュメモリ10に対して発行する。これにより、ユーザデータと、当該ユーザデータに関連付けられているメタデータが並列にアクセスすることができる。
次に、第4の実施形態について説明する。第4の実施形態では、第1の実施形態、第2の実施形態、及び第3の実施形態で説明した半導体記憶装置におけるプログラム動作、リード動作について説明する。尚、第4の実施形態において、上述した各実施形態と略同一の機能及び構成を有する構成要素については、同一符号を付し、重複説明は必要な場合にのみ行う。
以下では、電荷蓄積層に電荷を注入してメモリセルトランジスタMTの閾値電圧を上昇させる場合を“x0”プログラム、“00”プログラム“10”プログラム、“0”プログラム等と呼ぶ。他方、電荷蓄積層に電荷を注入せず、閾値電圧を変化させない場合(換言すれば、保持データが別のレベルに遷移しない程度の電荷注入に抑える場合)を“x1”プログラム、“11”プログラム、“1”プログラム等と呼ぶ。
図18の(a)はメモリセルトランジスタMTの閾値分布を示すグラフであり、MLCプログラム時におけるLowerページのプログラム後の閾値分布の変化を示している。図18の(b)はメモリセルトランジスタMTの閾値分布を示すグラフであり、MLC(multi level cell)プログラム時におけるUpperページのプログラム後の閾値分布の変化を示している。
図18の(c)はメモリセルトランジスタMTの閾値分布を示すグラフであり、SLC(Single level cell)プログラム後の閾値分布の変化を示している。
図18の(d)はメモリセルトランジスタMTの閾値分布を示すグラフであり、hSLC(higher Single level cell)プログラム後の閾値分布の変化を示している。
次に、図20を用いて、第4の実施形態に係る動作オプションについて説明する。図20は、第4の実施形態に係る動作オプションにおけるリードシーケンスを示す図である。ここでは、簡単のために、プレーン0とプレーン1の二つのプレーンを取り出して説明する。
まずは、動作オプションAについて説明する。hSLCデータを専用のコマンドでメモリセルの閾値電圧をMLCにおけるBV以上となる。このため、この動作オプションAは、SLCデータおよびMLC Lower/Upperデータのリードを行いながら、hSLCデータの読み出しも同時に行うものである。この動作オプションAは、読み出し時間の増大を防止できる。
次に、動作オプションBについて説明する。hSLCデータをSLCコマンドでメモリセルの閾値電圧をMLCにおけるLMV以上かつSLCV以上となる。このため、この動作オプションBは、SLCデータおよびMLC Lower/Upperデータのリードを行いながら、hSLCデータの読み出しも同時に行うものである。この動作オプションBは、SLCの書き込みレベルとhSLCの書き込みレベルとがほぼ同じであるため、hSLCデータのW/E回数はほぼSLCデータのW/E回数と同じになる。hSLCデータのプログラムレベルが、SLCのプログラムレベルと全く同じ場合、hSLCデータのプログラムの際にSLCプログラムコマンドを使ってよいし、書き込みレベルを微調整する場合はhSLCデータの専用コマンドを使えば良い。
次に、図21A、図21B、図21C、図22A、図22B、図22C、図23A、図23B、図23Cを用いて、本実施形態に係るリード動作時の動作波形について説明する。
次に、図24及び図25を用いて、第4の実施形態に係るプログラムシーケンスについて説明する。
次に、図26を用いて、第4の実施形態に係るリードシーケンスについて説明する。
次に、図27及び図28を用いて、リードシーケンス及びデータアウトシーケンスの具体例について概略的に説明する。図27は、データアウトシーケンスの具体例を示している。図28は、マルチプレーンアクセスの際に用いられるアドレス例を示している。尚、本図で示すR/Bは、メモリコントローラ20と、BiCSフラッシュメモリ10との間の信号線のレディ/ビジーを示すものである。
上述した第4の実施形態によれば、ユーザデータとしてMLCデータ、またはSLCデータを用いて、メタデータとしてhSLCデータまたはSLCデータを用いている。そして、あるプレーンに対して通常のリード(SLC、MLC−Lower/Upperデータ)を行うと同時に、ほかのプレーンにhSLCデータ(メタデータ)を読み出すことができる。
次に、第5の実施形態について説明する。第5の実施形態では、ダミーワード線近傍におけるリード動作について説明する。尚、第5の実施形態において、上述した各実施形態と略同一の機能及び構成を有する構成要素については、同一符号を付し、重複説明は必要な場合にのみ行う。
次に、第6の実施形態について説明する。第6の実施形態では、第1の実施形態で説明したCGドライバ及びパワーサプライとは異なるCGドライバ及びパワーサプライについて説明する。尚、第6の実施形態において、上述した各実施形態と略同一の機能及び構成を有する構成要素については、同一符号を付し、重複説明は必要な場合にのみ行う。
上述した第6の実施形態によれば、第1の実施形態に係るパワーサプライ161と比較し、第6の実施形態に係るパワーサプライ161は二つのプレーン用に二つの電圧系統を有し、更に、二つのプレーンに同時に電圧を印加できるようなCGドライバ構成となっている。そのため、例えば上述したようなMLCデータ、及びhSLCデータまたは、SLC及びhSLCデータを同時にリードすることが可能となる。
次に、第7の実施形態について説明する。第7の実施形態では、第1の実施形態で説明したメモリセルアレイ11とは異なるメモリセルアレイについて説明する。尚、第7の実施形態において、上述した各実施形態と略同一の機能及び構成を有する構成要素については、同一符号を付し、重複説明は必要な場合にのみ行う。
BiCSフラッシュメモリにおいて、チャネルを構成する柱状の半導体は、アスペクト比が大きな開口部内に形成されている。BiCSフラッシュメモリの微細化が進むに従い、開口部間のピッチ(距離)の短縮が要求され、開口部を千鳥状に配置する構成が検討されている。
上述した第7の実施形態によれば、第7の実施形態に係るBiCSフラッシュメモリを用いたメモリデバイスにおいても、上述した各実施形態と同様の効果を得る事ができる。
次に、第8の実施形態に係る不揮発性半導体記憶装置について説明する。第8の実施形態では、平面型のいわゆるフローティングゲート型のNANDフラッシュメモリの電荷蓄積層に、炭素を主成分とする膜を適用した例について説明する。尚、第8の実施形態において、上述した各実施形態と略同一の機能及び構成を有する構成要素については、同一符号を付し、重複説明は必要な場合にのみ行う。
図35を用いて、第8の実施形態に係るNAND型フラッシュメモリ300の構成を概略的に説明する。図35は、第8の実施形態に係るNAND型フラッシュメモリ300の基本的な構成を模式的に示すブロック図である。
<第8の実施形態に係るドライバの構成>
図36は、第8の実施形態に係るCGドライバと、プレーンスイッチとの関係を概略的に示すためのブロック図である。
次に、図38を用いて第8の実施形態に係るプレーンスイッチCGSWのCGDに係るスイッチの構成について概略的に説明する。
図39〜図41を用いて、第8の実施形態に係るCGマッピングについて概略的に説明する。図39は、第8の実施形態に係る半導体記憶装置のプログラム動作時のCGマッピングを示す図である。図40は、第8の実施形態に係る半導体記憶装置のリード動作時のCGマッピングを示す図である。図41は、第8の実施形態に係る半導体記憶装置のイレース動作時のCGマッピングを示す図である。図39〜図41において、縦軸がワード線WLに対するCGドライバの割り当てを示しており、横軸は選択ワード線WLを示している。
まず、プログラム動作時のCGマッピングについて説明する。図39に示すように、選択されたワード線WLによって、ワード線WLに電圧を印加するCGドライバは適宜切り替えられる。
次に、リード動作時のCGマッピングについて説明する。
次に、イレース動作時のCGマッピングについて説明する。
次に、図42A及び図42Bを用いて、CGのコネクションテーブルについて説明する。図42Aは、イレース動作、プログラム動作、リード動作時におけるゾーン信号に対し、CGN/CGUドライバからCGIへの接続関係を示している。図42Bは、CGDドライバからCGD*Iへの接続関係を示している。
上述した第8の実施形態によれば、平面のNANDフラッシュメモリを用いたメモリデバイスにおいても、上述した各実施形態と同様の効果を得る事ができる。
次に、第9の実施形態について説明する。第9の実施形態では、第8の実施形態で説明したNAND型フラッシュメモリ300における、ダミーワード線近傍のリード動作について説明する。尚、第9の実施形態において、上述した第8の実施形態と略同一の機能及び構成を有する構成要素については、同一符号を付し、重複説明は必要な場合にのみ行う。
次に、第10の実施形態について説明する。第10の実施形態では、第9の実施形態で説明したCGドライバ及びパワーサプライとは異なるCGドライバ及びパワーサプライについて説明する。尚、第10の実施形態において、上述した各実施形態と略同一の機能及び構成を有する構成要素については、同一符号を付し、重複説明は必要な場合にのみ行う。
上述した第10の実施形態によれば、第9の実施形態に係るパワーサプライ761と比較し、第10の実施形態に係るパワーサプライ761は二つのプレーン用に二つの電圧系統を有し、更に、二つのプレーンに同時に電圧を印加できるようなCGドライバ構成となっている。そのため、例えば上述したようなMLCデータ、及びhSLCデータまたは、SLC及びhSLCデータを同時にリードすることが可能となる。
なお、第1〜8の実施形態は種々組み合わせることが可能である。
Claims (18)
- それぞれがデータを保持する複数のメモリセルと、
前記複数のメモリセルに接続されている複数のワード線と、
同一のワード線に接続された前記複数のメモリセルを備えるページと、
前記複数のページを備えるプレーンと、
前記プレーンを複数備えるメモリセルアレイと、
前記複数のワード線に電圧を印加する複数のワード線ドライバと、
を具備するメモリデバイス、
及び前記メモリデバイスを制御するコントローラ
を備え、
前記コントローラは、前記メモリデバイスに対して、
所定の前記プレーンに対する第1のデータ読み出しと、前記所定のプレーンとは異なるプレーンに対する第2のデータ読み出しとを同時に実行するするコマンドを発行し、
前記メモリセルアレイに対して複数のアクセス要求があった場合、
互いに異なる前記プレーンに属し、且つ互いに異なる前記ワード線に属するページに対する複数のアクセスを統合し、
前記ワード線ドライバを用いて、前記プレーン毎に、前記複数のワード線ドライバを前記複数のワード線に割り当てる
メモリシステム。 - 前記メモリデバイスは、
前記コントローラから、前記第1のデータ読み出しコマンドと、前記第2のデータ読み出しコマンドとを受信すると、前記所定のプレーンと、前記所定のプレーンとは異なるプレーンとから同時にデータを読み出す請求項1に記載のメモリシステム。 - 前記メモリデバイスは、前記プレーン毎に設けられ、前記ワード線毎に前記ワード線ドライバを割り当てる複数のスイッチを更に備える請求項1または2に記載のメモリシステム。
- 前記コントローラは、
前記メモリセルアレイに対して複数のアクセス要求があった場合、
互いに異なる前記プレーンに対する複数のアクセスを統合し、
前記ワード線ドライバ及び前記スイッチを用いて、前記プレーン毎に、前記複数のワード線ドライバを前記複数のワード線に割り当てる
請求項3に記載のメモリシステム。 - 前記コントローラは、
前記プレーン毎に、前記複数のワード線ドライバを前記複数のワード線に割り当てる場合、前記ワード線ドライバ及び前記スイッチを用いる
請求項3に記載のメモリシステム。 - 前記コントローラは、
前記メモリセルアレイに対して複数のアクセス要求があった場合、
互いに異なるプレーンに属し且つ互いに異なる前記ワード線に属するページに記録されており、且つ互いに関連するデータに対する複数のアクセスを統合し、
前記ワード線ドライバ及び前記スイッチを用いて、前記プレーン毎に、前記複数のワード線ドライバを前記複数のワード線に割り当てる
請求項3に記載のメモリシステム。 - 前記コントローラは、データのリードに係る前記複数のアクセスを統合する請求項4乃至6の何れか一項に記載のメモリシステム。
- 前記コントローラは、データのプログラムに係る前記複数のアクセスを統合する請求項4乃至7の何れか一項に記載のメモリシステム。
- 二つの前記プレーンに電圧を供給するパワーサプライを更に備え、
前記複数のワード線ドライバは、前記パワーサプライから供給された電圧を、二つの前記プレーンに同時に供給する請求項1乃至8の何れか一項に記載のメモリシステム。 - 前記コントローラは、
外部から供給された第1のデータと、第2のデータとが関連しており、かつ外部から供給された第3のデータが第1のデータと関連していると判定する場合、前記第1のデータと、前記第2のデータとを、互いに異なるプレーンに属するページに格納し、また前記第3のデータを、前記第1のデータと異なるプレーンに属し、かつ前記第2のデータと異なるワード線に属するページに格納する請求項1乃至9の何れか一項に記載のメモリシステム。 - 前記複数のプレーンのうち、第1のプレーンにMLCデータが格納され、第2のプレーンに、SLCデータの第1読み出し電圧よりもしきい値が高く、且つMLCデータの第2〜第4読み出し電圧(第2読み出し電圧<第3読み出し電圧<第4読み出し電圧)のうち、第3読み出し電圧よりもしきい値が高いhSLCデータが格納されている場合において、
前記コントローラは、
前記第1のプレーンに格納されたMLCデータと、前記第2のプレーンに格納されたhSLCデータとを同時にリードする請求項1乃至10の何れか一項に記載のメモリシステム。 - 前記複数のプレーンのうち、第1のプレーンにSLCデータが格納され、第2のプレーンに、SLCデータよりもしきい値が高いhSLCデータが格納されている場合において、
前記コントローラは、
前記第1のプレーンに格納されたSLCデータと、前記第2のプレーンに格納されたhSLCデータとを同時にリードする請求項1乃至10の何れか一項に記載のメモリシステム。 - 前記複数のプレーンのうち、第1のプレーンにMLCデータが格納され、第2のプレーンにSLCデータが格納されている場合において、
前記コントローラは、
前記第1のプレーンに格納されたMLCデータと、前記第2のプレーンに格納されたSLCデータとを同時にリードする請求項1乃至10の何れか一項に記載のメモリシステム。 - 前記コントローラは、
前記アクセス要求を複数受け取るキュー領域をさらに備える請求項1乃至13の何れか一項に記載のメモリシステム。 - 前記コントローラは、
1回のデータリードシーケンスで、互いに異なる前記プレーンに属し、且つ互いに異なる前記ワード線に属する複数のページからデータを読み出す請求項1乃至14の何れか一項に記載のメモリシステム。 - 前記コントローラは、
前記ワード線の範囲情報を保持する記憶部をさらに備え、
前記範囲情報に基づいて、前記スイッチを制御する請求項3に記載のメモリシステム。 - 前記メモリセルアレイは、3次元積層型不揮発性半導体である請求項1乃至16の何れか一項に記載のメモリシステム。
- 前記メモリセルアレイは、NANDフラッシュメモリである請求項1乃至16の何れか一項に記載のメモリシステム。
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