JP2010123186A - 不揮発性半導体メモリ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明の例に係わる不揮発性半導体メモリは、NANDブロックBK1内のワード線WL1〜WLnと電位転送線CG1〜CGnとの間に接続されるNチャネルMOSトランジスタ21(BK1)と、NANDブロックBK2内のワード線WL1〜WLnと電位転送線CG1〜CGnとの間に接続されるNチャネルMOSトランジスタ21(BK2)とを備える。NANDブロックBK1内のメモリセルMCに対するデータ消去時に、半導体基板にプラスの第1の電位(Vera+Vadd)を印加し、電位転送線CG1〜CGnに第1の電位(Vera+Vadd)よりも低いプラスの第2の電位Vaddを印加し、NチャネルMOSトランジスタ21(BK1)をオンにし、NチャネルMOSトランジスタ21(BK2)をオフにする。
【選択図】図8
Description
本発明の例では、データ消去を、電荷蓄積層からチャネル部への電子の放出、又は、チャネル部から電荷蓄積層への正孔の注入により行う不揮発性半導体メモリを対象とする。
MOSトランジスタのカットオフ時のパンチスルーリークを防止する技術として、バックゲートバイアスを与える技術が知られている(例えば、特許文献1,2を参照)。
(1) 全体図
図1は、NAND型フラッシュメモリの全体図を示している。
図2は、NAND型フラッシュメモリのメモリセルアレイとワード線ドライバとを示している。
本発明の主要部は、概要で説明したように、データ消去時の電位関係にある。以下では、図1乃至図6で説明したNAND型フラッシュメモリにおけるデータ消去時の電位関係について、図2の回路図を用いて詳細に説明する。
まず、図7に示すように、ブースタ22−1,22−2,・・・からブースト電位Vboostを出力し、転送トランジスタユニット21(BK1),21(BK2),・・・内のNチャネルMOSトランジスタをオンするようにNチャネルMOSトランジスタTr11乃至Trn2のゲート電極に例えば電源電圧(Vdd)を印加する。
まず、図7に示すように、ブースタ22−1,22−2,・・・からブースト電位Vboostを出力し、転送トランジスタユニット21(BK1),21(BK2),・・・内のNチャネルMOSトランジスタをオンするようにNチャネルMOSトランジスタTr11乃至Trn2のゲート電極に例えば電源電圧(Vdd)を印加にする。
第3例は、第1例と第2例の組み合わせに関する。
図19は、転送トランジスタユニット内のNチャネルMOSトランジスタの信頼性に関する指標を示している。
実施例によれば、比較例に比べて、ストレス時間が増大しても、オン電流の変化率ΔIon/Ionを小さく抑えることができる。なお、図14及び図17の電位関係でも同様の効果がある。
データ消去時の電位関係の説明における第1例及び第3例において、プラス電位Vaddの値は、0V<Vadd≦1Vの範囲内の値とするのが好ましい。
本発明の例は、NAND型フラッシュメモリに適用することができる。
本発明によれば、ワード線に高電位を転送するためのNチャネルMOSトランジスタの信頼性を向上させることができる。
Claims (5)
- 半導体基板と、前記半導体基板上に配置され、電荷蓄積層及び制御ゲート電極を有する第1及び第2のメモリセルと、
前記第1のメモリセルの制御ゲート電極に接続される第1のワード線と、
前記第2のメモリセルの制御ゲート電極に接続される第2のワード線と、
前記第1及び第2のワード線に共通に接続される電位転送線と、
それぞれの拡散層が前記第1のワード線と前記電位転送線とに接続された第1のNチャネルMOSトランジスタと、
それぞれの拡散層が前記第2のワード線と前記電位転送線とに接続された第2のNチャネルMOSトランジスタと、
前記第1のメモリセルに対するデータ消去時に、前記半導体基板にプラスの第1の電位を印加し、前記電位転送線に前記第1の電位よりも低いプラスの第2の電位を印加し、前記第1のNチャネルMOSトランジスタをオンにし、前記第2のNチャネルMOSトランジスタをオフにする制御回路とを具備することを特徴とする不揮発性半導体メモリ。 - 前記第2の電位は、1V以下であることを特徴とする請求項1に記載の不揮発性半導体メモリ。
- 前記制御回路は、前記電位転送線を接地電位にした状態で前記第1及び第2のNチャネルMOSトランジスタをオンにした後、前記第2のNチャネルMOSトランジスタをオフにし、さらに、この後、前記電位転送線を前記第2の電位にすることを特徴とする請求項1又は2に記載の不揮発性半導体メモリ。
- 半導体基板と、前記半導体基板上に配置され、電荷蓄積層及び制御ゲート電極を有する第1及び第2のメモリセルと、
前記第1のメモリセルの制御ゲート電極に接続される第1のワード線と、
前記第2のメモリセルの制御ゲート電極に接続される第2のワード線と、
前記第1及び第2のワード線に共通に接続される電位転送線と、
それぞれの拡散層が前記第1のワード線と前記電位転送線とに接続された第1のNチャネルMOSトランジスタと、
それぞれの拡散層が前記第2のワード線と前記電位転送線とに接続された第2のNチャネルMOSトランジスタと、
前記第1のメモリセルに対するデータ消去時に、前記第1のウェルにプラスの第1の電位を印加し、前記電位転送線に接地電位を印加し、前記第1のNチャネルMOSトランジスタをオンにし、前記第2のNチャネルMOSトランジスタのゲート電極にマイナスの第2の電位を印加して前記第2のNチャネルMOSトランジスタをオフにする制御回路とを具備することを特徴とする不揮発性半導体メモリ。 - 前記第2の電位は、−1V以上であることを特徴とする請求項4に記載の不揮発性半導体メモリ。
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