JP5413690B2 - 積層メモリデバイスダイスを用いるメモリシステムおよび方法、ならびにそのメモリシステムを用いるシステム - Google Patents

積層メモリデバイスダイスを用いるメモリシステムおよび方法、ならびにそのメモリシステムを用いるシステム Download PDF

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Description

本発明はメモリデバイスに関し、特に、1つ以上の実施形態で、論理ダイに接続された複数の積層メモリデバイスダイスを有するメモリシステムに関する。
全てのタイプのメモリデバイスが発展するにつれて、様々な観点でメモリデバイスの性能を改善する継続的な進歩がなされてきた。たとえば、メモリデバイスの記憶容量は等比比例的に増え続けてきた。この増大した容量は、メモリデバイスを含む電子システムの幾何級数的に高い動作スピードと結び付いて、高いメモリデバイス帯域幅を常により重要にしてきた。動的ランダムアクセスメモリ(“DRAM”)デバイスのようなメモリデバイスがより高い帯域幅を必要とする一つの応用は、コンピュータシステム中のシステムメモリとしてのメモリデバイスの使用である。プロセッサの動作スピードが増加するにつれて、それに対応するようにより高速でプロセッサはデータの読み出しおよび書き込みを行うことができる。しかしながら、従来のDRAMデバイスはしばしば、データの読み出しおよび書き込みをより高速で行うための帯域幅を有さず、それゆえに従来のコンピュータシステムの性能を低速化させている。この問題は、マルチコアプロセッサおよびマルチプロセッサコンピュータシステムへと向かう傾向によって悪化する。現在、ハイエンドサーバとして動作するコンピュータシステムは、システムメモリデバイスの限られたデータ帯域幅ゆえに、各4クロックサイクルのうち3クロックサイクルもの多数が、アイドル状態であると見積もられている。事実、システムメモリとして動作するDRAMデバイスの限られた帯域幅は、コンピュータシステムの性能を、そうでなければ可能であろう性能の10%もの低さまで低下させ得る。
メモリデバイスのデータ帯域幅を増加させるために、様々な試みがなされてきた。たとえば、より広い内部データバスが、より高い帯域幅を有するアレイにデータを転送するおよびアレイからデータを転送するために用いられてきた。しかしながら、そうすることによって、通常、メモリデバイスインターフェイスで書き込みデータをシリアル化し、読み出しデータを逆シリアル化することが必要となる。別のアプローチは、単にメモリデバイスのサイズを拡大するまたは逆にそれらのフィーチャサイズを縮小させてきたが、しかし、様々な理由で、スケーリングによってより高いデータ帯域幅に対する要求において幾何級数的増加に対応することは不可能であった。幾つかの集積回路メモリデバイスダイスを同一のパッケージ中に積層する提案もなされてきたが、しかし、そうすることは克服しなければならない多くの他の問題を生成するおそれがある。
メモリデバイスダイスを互いの上に積層することに伴う一つの潜在的問題は、メモリデバイスの各々に送信されるまたはメモリデバイスの各々から送信される信号の間に信号タイミング歪みを生成し得ることである。メモリデバイスの各々とパッケージ化されたメモリデバイスに対するインターフェイスの間の距離が、各メモリデバイスに対して変化する限り、信号がメモリデバイスの各々に送信されるまたはメモリデバイスの各々から送信されるために要する時間は本質的に変化するだろう。これは考慮すべき問題であり、なぜならスタック中に、たとえば8つのメモリデバイスなど、多数のメモリデバイスダイスが存在し得るからである。加えて、プロセス、温度、および供給電圧変化ゆえに、メモリデバイスのタイミング性能は、たとえそれらが同一のウェハ上に作製されているとしても、変化し得る。そのような信号タイミング歪みの一例を図1に示すが、図1は読み出しデータ信号が、4つの積層動的ランダムアクセスメモリ(“DRAM”)デバイスダイスDRAM0−DRAM1の各々に対するパッケージインターフェイスで有効(valid)とみなされる期間を示している。このデータが有効な期間は、時として、データ“アイ(eye)”と呼ばれる。その中に示されているように、DRAM2に対する読み出しデータが最初に有効であり、引き続きDRAM0、DRAM1、そして最後にDRAM3が有効である。全ての読み出しデータ、即ち全てのDRAMに対するコンポジットアイ(composite eye)8の間の期間は、ほとんど存在しない。従って、特にメモリデバイスの動作スピードおよびその結果として生じるデータ転送レートが増加し続けるにつれて、メモリコントローラまたはプロセッサなどのメモリアクセスデバイスが、読み出しデータを一つのクロック信号を用いてとらえることは非常に困難であろう。
過去において、異なるメモリデバイス由来の信号歪みの問題は、それぞれの読み出しデータと共にメモリデバイスからそれぞれの読み出しストロボ信号を送信することによって大幅に緩和されてきた。ストロボ信号は次に、読み出しデータをとらえるためにメモリアクセスデバイスによって用いられる。メモリデバイスの各々からの読み出しデータのタイミングの違いが、実質的に、ストロボ信号のタイミングの違いと一致する限りにおいて、ストロボ信号の遷移は実質的に各メモリデバイスからのデータの目の中心に移され、それによってメモリアクセスデバイスが成功裏にメモリデバイスの各々からの読み出しデータをとらえることができるようにする。メモリデバイスの動作スピードが増加し続けるにつれ、このアプローチさえ十分ではなくなってきた。結果として、メモリデバイスでのストロボ信号の伝送時間を調整すること、またはメモリアクセスデバイス中で調整可能な量だけそれらを遅延させることによってのいずれかによって、ストロボ信号のタイミングを調整するための技術が発展してきた。あるいは、読み出しデータの各々のビットのタイミングは、読み出しストロボ信号のタイミングに対して調整することができる。この方法で読み出しデータの各ビットのタイミングを調整するメモリデバイスの一例は、米国特許第6,882,304号に記載されている。
読み出しストロボ信号と読み出しデータ信号の間のタイミングを調整する従来のアプローチは、積層メモリデバイスダイスに対して用いることができる。しかしながら、そうすることによって各メモリデバイス中に大量のタイミング調整回路が必要となり、それによってメモリ容量を提供することが可能である各メモリデバイスダイスの面積を減少させるだろう。各メモリデバイスダイで読み出しストロボ信号と読み出しデータ信号の間のタイミングを調整することはまた、各メモリデバイスから読み出しストロボ信号を送信することを必要とするだろう。さらに、タイミング問題は、読み出しデータ信号に関して議論されてきたが、本質的に同じタイプの問題が、書き込みデータ信号、コマンド信号およびアドレス信号について存在する可能性がある。もし、これらのタイプの信号の各々に対して別個のストロボ信号が各メモリデバイスに対して送信されるまたは各メモリデバイスから送信されたなら、ストロボ信号は、パッケージ化されたメモリデバイスが多数のストロボ端子を含むことを必要とするだろう。たとえば、もし、8つのメモリデバイスダイスが積層されるなら、ストロボ信号を全てのこれらのタイプの信号のメモリデバイスにまたは全てのこれらのタイプの信号のメモリデバイスから転送するために、32個の端子が必要とされるだろう。しかし一般的に、メモリデバイス中の端子の数を過度に増やすことは、メモリデバイスパッケージ中の利用可能面積の欠如および、バスまたはそのメモリデバイスが実装される回路ボード中に必要となるだろう導体が多数であるがゆえに、望ましくないと考えられている。
従って、メモリ容量に対して利用可能なダイの面積を最大化し、必要な端子の数を過度に増加しない方法で積層メモリデバイスダイスに送信されるまたは積層メモリデバイスダイスから送信される信号の間のタイミング歪みの結果として生じる問題および制限を、最小化するための方法および装置に対する要求が存在する。
複数の積層メモリデバイスダイスの各々からの読み出しデータ信号のタイミングが、お互いに関して歪まされる(スキューが生じる)方法を示すタイミング図である。 本発明の一実施形態に従う積層メモリデバイスダイスを含むメモリシステムを含むプロセッサベースのシステムのブロック図である。 本発明の一実施形態に従う補正されたタイミングを有する読み出しデータ信号と共に、図1中に示された読み出しデータ信号のタイミングを示すタイミング図である。 メモリシステムをより詳細に示す図2のプロセッサベースのシステムの一実施形態の、さらに詳細なブロック図である。 図2および図4のメモリシステム中に用いられるタイミング補正システムの一実施形態を示すブロック図である。 図5のタイミング補正システム中に用いられるストロボタイミング調整回路の一実施形態を示すブロック図である。 図5のタイミング補正システム中に用いられる受信機の一実施形態を示すブロック図である。
本発明の一実施形態に従う高容量、高帯域幅メモリシステム10を含むコンピュータシステムが図2に示されている。メモリシステム10は、(図2には示されていない)ダウンストリームレーンおよび別個のアップストリームレーンに分けられる比較的狭い高速バス14を介して、プロセッサ12に接続される。メモリシステム10は4つのDRAMダイス20、22、24、26を含み、これらはお互いに同一であって、お互いの上に積層されていても良い。メモリシステム10は、4つのDRAMダイス20、22、24、26を含むが、メモリデバイスの他の実施形態では、より多くの数の、またはより少ない数のDRAMダイスを用いる。積層DRAMダイス20、22、24、26は、プロセッサ12とのインターフェイスとして働く論理ダイ30に接続される。論理ダイ30は、論理ダイ30の上にDRAMダイス20、22、24、26を積層することによってなど、DRAMダイス20、22、24、26に関して任意の順序で物理的に配置することができる。しかしながら、論理ダイ30は、たとえば、DRAMダイス20、22、24、26の積層の真ん中に配置される可能性がある。
論理ダイ30は、DRAMダイス20、22、24、26中で実施されなければならない機能の数を限定するなど、メモリシステム10中の様々な機能を実施することができる。たとえば、論理ダイ30は、電力管理およびDRAMダイス20、22、24、26中のメモリセルのリフレッシュなど、メモリ管理機能を実行しても良い。実施形態によっては、論理ダイ30は、誤り検出訂正(“ECC”)機能を実行しても良い。本明細書中に記載された実施形態では、論理ダイ30は、以下でより詳細に説明するように、論理ダイ30がDRAMダイス20、22、24、26に結合する、またはDRAMダイス20、22、24、26から受信する信号のタイミング補正を実施する。
DRAMダイス20、22、24、26は、互いに接続されてもよく、それらは比較的広いバス34によって論理ダイ30に接続されている。バス34は、シリコン貫通ビア(“TSV”)を用いて実装されてもよく、TSVは、DRAMダイス上の同じ位置で少なくとも部分的にDRAMダイス20、22、24、26中に伸長する多数の導体を含み、ダイス20、22、24、26上に形成されたそれぞれの導体に接続している。一実施形態では、DRAMダイス20、22、24、26の各々は、それぞれが2つまたは4つの独立メモリバンクを含む16個の自律パーティションに分割される。そのような場合、互いの上に積層されている各ダイス20、22、24、26のパーティションは、読み出しまたは書き込み動作に対して独立にアクセスされ得る。16個の積層パーティションの各組は、“ヴォールト(vault)”と称されることがある。よって、メモリシステム10は16個のヴォールトを含み得る。
上で言及したように、論理ダイ30は、メモリデバイスダイス20、22、24、26から受信された読み出しデータ信号がメモリシステム10から送信されたとき、それら読み出しデータ信号が互いに整列することを保証するためのタイミング補正回路を含む。図3に示されているように、論理ダイ30は、図1に示されているように、メモリデバイスダイス20、22、24、26から受信されるであろう読み出しデータ信号を、お互いに実質的に整列させる。結果として、読み出しデータ信号は、図1に示された仮想的に非存在のコンポジットアイ8より実質的に大きいコンポジットアイ28を有するメモリシステム10から送信される。
以下でより詳細に説明するように、論理ダイ30によって実行される機能の一つは、DRAMダイス20、22、24、26から、バス14のアップストリームレーン42a−dの一つの16のパラレルビットの各々を介して結合される16個のシリアルデータビットのシリアルストリームに結合される読み出しデータビットをシリアル化することである。同様に、論理ダイ30は、256パラレルデータビットを得るために、バス14の、16ビットダウンストリームレーン40a−dの1つを介して結合された16個のシリアルデータビットを逆シリアル化する機能を実行し得る。論理ダイ30は、次に、8ビットのシリアルストリーム中の32ビットサブバス38a−pの一つを介して、これら256ビットを結合する。しかしながら、他の実施形態は、異なる幅を有する異なる数のレーン40、42、または異なる幅を有する異なる数のサブバス38a−pを用い得る。当業者によって認識されるであろうように、複数のDRAMダイスの積層(stacking)は、非常に大きな容量を有するメモリデバイスをもたらす。さらに、DRAMダイスに接続する非常に広いバスの使用によって、データが非常に高い帯域幅を有するDRAMダイスへと結合する、またはDRAMダイスから結合することを許容する。
本発明の一実施形態に従い、プロセッサ12およびDRAMダイス20、22、24、26に接続された論理ダイ30が、図4に示されている。図4に示されているように、4つのダウンストリームレーン40a−dの各々は、それぞれのリンクインターフェイス50a−dに接続されている。各リンクインターフェイス50a−dは、16ビットレーン40a−dの各々の上の16データビットの各シリアルストリームを256パラレルビットに変換するデシリアライザ54を含む。4つのリンクインターフェイス50a−dがある限り、リンクインターフェイスは、1024個の出力パラレルビットを一緒に出力することができる。
リンクインターフェイス50a−dの各々は、その256パラレルビットをそれぞれのダウンストリームターゲット60a−dに適用するが、それぞれのダウンストリームターゲット60a−dは、受信されたパケットの命令およびアドレス部分をデコードし、メモリ要求が書き込み動作に対するものである場合に書き込みデータをバッファリングする。ダウンストリームターゲット60a−dは、それらそれぞれのコマンド、アドレスおよび、ことによると書き込みデータをスイッチ62に出力する。スイッチ62は、16個のマルチプレクサ64を含むが、その各々は、ダウンストリームターゲット60a−dのいずれかからのコマンド、アドレスおよび任意の書き込みデータを、DRAMダイス20、22、24、26のそれぞれのヴォールトに向ける。よって、ダウンストリームターゲット60a−dの各々は、DRAMダイス20、22、24、26中の16個のヴォールトのいずれかにアクセスすることができる。マルチプレクサ64は、各々のヴォールトがメモリ要求のターゲットであるかを判定するために、受信されたメモリ要求中のアドレスを用いる。マルチプレクサ64の各々は、メモリ要求を16個のヴォールトコントローラ70a−pのそれぞれのコントローラに適用する。
各ヴォールトコントローラ70a−pは、それぞれのメモリコントローラ80を含み、それらの各々は書き込みバッファ82、読み出しバッファ84、およびコマンドパイプライン86を含む。スイッチ62から受信されたメモリ要求中のコマンドおよびアドレスは、コマンドパイプライン86にロードされ、コマンドパイプライン86は引き続いて、受信されたコマンドおよび対応するアドレスを出力する。メモリ要求中の任意の書き込みデータは、書き込みバッファ82中に記憶される。読み出しバッファ84は、以下でより詳細に説明されるであろうように、それぞれのヴォールトからの読み出しデータを記憶するために用いられる。ヴォールトコントローラ70a−pの各々の書き込みバッファ82からの書き込みデータと、コマンドパイプライン86からのコマンドおよびアドレスは共に、メモリインターフェイス88に適用される。メモリインターフェイス88は、コマンドパイプライン86からのコマンドおよびアドレスを、コマンド/アドレスバス94を介してDRAMダイス20、22、24、26に結合し、書き込みバッファ82の各々からの書き込みデータの32ビットを、32ビットデータバス92を介して、DRAMダイス20、22、24、26に結合する。
データは、256パラレルビットとして書き込みバッファ82にロードされるが、データはバッファ82から、各組が128パラレルビットである2つの組で出力される。これら128ビットは次に、メモリインターフェイス88によってさらに、4組の32ビットデータにシリアル化されるが、それらはデータバス92を介して結合される。図4に示された実施形態では、書き込みデータは、500MHzクロックを用いて同期的に書き込みバッファ82に結合され、データは16ギガバイト(“GB”)毎秒で書き込みバッファに記憶される。書き込みデータは、2GHzクロックを用いて書き込みバッファ82からDRAMダイス20、22、24、26に結合され、データは、書き込みバッファ82から8GB/sで出力される。したがって、メモリ要求の半分以上が同一のヴォールトへの書き込み動作ではない限り、書き込みバッファ82は、少なくともデータが書き込みバッファ82に結合されるのと同等の速さで、書き込みデータをDRAMダイス20、22、24、26に結合することができるだろう。
メモリ要求が読み出し動作に対するものである場合には、要求に対するコマンドおよびアドレスが、上で説明されたような書き込み要求と同じ方法で、DRAMダイス20、22、24、26に結合される。読み出し要求に応答して、32ビットの読み出しデータがDRAMダイス20、22、24、26から32ビットデータバス92を介して出力される。メモリインターフェイス88は、ヴォールトの各々からの32ビットの読み出しデータを2組の128ビット読み出しデータに逆シリアル化し、2組の128ビット読み出しデータは読み出しバッファ84に適用される。2組の128ビット読み出しデータが読み出しバッファに記憶された後、読み出しバッファは、256ビットをスイッチ62に送信する。スイッチは、それぞれのアップストリームマスタ110a−dに結合された4つの出力マルチプレクサ104を含む。各マルチプレクサ104は、ヴォールトコントローラ70a−pの任意の一つからの256ビットのパラレルデータをそれぞれのアップストリームマスタ110a−dに結合することができる。アップストリームマスタ110a−dは256ビットの読み出しデータをパケットデータにフォーマットし、パケットをそれぞれのアップストリームリンクインターフェイス114a−dへと結合する。各リンクインターフェイス114a−dは、入力256ビットを16ビットアップストリームリンク42a−dのそれぞれの一つの各ビット上の16ビットのシリアルストリームに変換するそれぞれのシリアライザ120を含む。
上で説明したように、論理ダイ30は、以下でより詳細に説明するように、DRAMダイス20、22、24、26に結合する、またはDRAMダイス20、22、24、26から受信する信号のタイミングを補正する。このタイミング補正は、そのひとつがメモリインターフェイス88の各々に含まれるタイミング補正システム100によって実施される。タイミング補正システム100の一実施形態が図5に示されている。システム100は、4つの読み出しデータストロボ信号RDQS0−RDQS3を出力するタイミング制御回路134を含む。ストロボ信号RDQS0−RDQS3は、ハイ(high)論理レベルとロー(low)論理レベルが交番するパターンである。ストロボ信号RDQS0−RDQS3の各々は、4つのストロボタイミング調整回路140a−dのそれぞれのひとつに適用されるが、4つのストロボタイミング調整回路140a−dの各々は、タイミング制御回路134からそれぞれのタイミング制御信号を受信する。4つのストロボタイミング調整回路140a−dの各々は、それぞれの調整された読み出しデータストロボ信号RDQS0’−RDQS3’を、DRAMデバイスダイス20、22、24、26のそれぞれの一つに送信する。よって、ストロボタイミング調整回路140aは、論理ダイ30からDRAMデバイスダイ20へと伸長するTSV152aを介して、そのストロボ信号RDQS0’を第1のDRAMデバイスダイ20に送信する。ストロボ信号RDQS0’はまた、別のDRAMデバイスダイス20、22、24、26へと伸長する追加のTSV152b−dを介して結合され得るが、それらはそれぞれのDRAMデバイスダイス22、24、26中、いかなる回路にも内的には接続されない。同様に、ストロボタイミング調整回路140bは、そのストロボ信号RDQS1’を、2つのTSV154a、bを介して第2のDRAMデバイスダイ22に送信し、ストロボタイミング調整回路140cは、そのストロボ信号RDQS2’を、3つのTSV156a、b、cを介して第3のDRAMデバイスダイ24に送信し、ストロボタイミング調整回路140dは、そのストロボ信号RDQS3’を、4つのTSV158a、b、c、dを介して第4のDRAMデバイスダイ26に送信する。
読み出しデータストロボ信号RDQS0’−RDQS3’の各々に応答して、それぞれのDRAMデバイスダイス20、22、24、26は、共通32ビットバス150上に32ビットの読み出しデータを出力する。読み出しデータのビットの各々は、それぞれの入力バッファ162を介して、32個の受信機160のそれぞれのひとつ(そのうちの一つのみが図5に示されている)に適用される。よって、図4に示されたメモリインターフェイス88の各々は、32個の受信機16を含む。各受信機160は読み出しデータのうちの受信されたビットを4ビットの読み出しデータに逆シリアル化する。よって、32個の受信機160によってひとまとめに受信された32ビットの読み出しデータは、128ビットの読み出しデータとなる。同様の方法で、それぞれの送信機164は、バス150の各ビットに接続され、よって、図4に示されているメモリインターフェイス88の各々は32個の送信機164(そのうちの一つのみが図5に示されている)を含む。送信機164の各々は、それぞれの出力バッファ166を介して4ビットの書き込みデータを送信し、データを1ビットの書き込みデータにシリアル化するが、1ビットの書き込みデータはバス150のそれぞれのビットに適用される。
DRAMデバイスダイス20、22、24、26の各々から送信された読み出しデータのタイミングは、それぞれの読み出しデータストロボ信号RDQS0’−RDQS3’のタイミングによって制御される。タイミング制御回路134から出力されたタイミング制御信号は、それぞれのストロボタイミング調整回路140a−dに読み出しデータストロボ信号RDQS0’−RDQS3’のタイミングを適切に調整させ、よって読み出しデータは、同じタイミングでDRAMデバイスダイス20、22、24、26の各々から論理ダイ30で受信される。結果として、受信機160は、どのDRAMデバイスダイス20、22、24、26が読み出しデータを送信したかに関わらず、同じクロック信号CLKを用いて読み出しデータをとらえることができる。したがって、論理ダイ30は、どのDRAMデバイスダイス20、22、24、26がデータのオリジネータであったかに関わらず、いかなる追加のタイミング調整をせずに、同じタイミングでメモリシステムから読み出しデータを送信することができる。
タイミング制御回路134の一実施形態では、米国特許第6,882,304号に開示されているように、ストロボ信号RDQS0’−3’の各々の正しいタイミングを画定するために、従来のトレーニングシーケンスが用いられる。タイミング制御回路134は、受信機160が既知の読み出しデータをとらえようとする間に、ストロボ信号RDQS0’−3’の各々のタイミングが増加的に調整されるようにする。読み出しデータを最良にとらえるタイミングはその後、通常動作の間に用いられる。たとえば、最適タイミングは、読み出しデータを成功裏にとらえるタイミング値の全ての間の中途であるタイミングを使用して画定され得る。
メモリインターフェイス88の開示された実施形態は、読み出しデータのタイミングの調整のみをするタイミング制御回路100を用いる。しかしながら、他の実施形態では、類似のタイミング制御回路100は、類似の方法で、書き込みデータ信号、コマンド信号および/またはアドレス信号のタイミングを調整する。各々の場合で、タイミング制御回路は、DRAMデバイスダイス20、22、24、26に送信されるこれらの信号のタイミングを変化させることができ、これらの信号は適切な時間にDRAMデバイスダイスによって受信される。適切なタイミングは、どのタイミングがDRAMデバイスダイス20、22、24、26で最良にとらえることができるのかを判定するために、これらの信号のタイミングを増加的に変化させながら、読み出し動作を行うことによって画定することができる。また、タイミング制御回路100は、適切にタイミングを取られた読み出しストロボ信号を4つのDRAMデバイスダイス20、22、24、26に適用するために用いられるが、他の実施形態は、より少ない数またはさらに多い数のDRAMデバイスダイスと共に用いられる。
ストロボタイミング調整回路140a−dの各々の実施形態は図6中に示されている。ただ一つのタイミング調整回路140が図6中には示されているが、4つのタイミング調整回路が図5のタイミング制御回路100中で用いられるであろうことは理解されよう。上で説明したように、タイミング調整回路140はそれぞれの読み出しデータストロボ信号RDQSを受信するが、それぞれの読み出しデータストロボ信号RDQSはA−Hでラベル付けされ得る交番のハイ論理レベルおよびロー論理レベルからなる。RDQS信号は、2つのレジスタ170、172に適用され、レジスタの各々は4つの出力Q0−Q3を有する。レジスタ170、172は、フリップフロップ176のそれぞれの出力から受信されるそれぞれの相補的イネーブル信号によって、交番にイネーブル化される。フリップフロップ176は、クロック信号CLK_1XSEの各立ち上がりエッジに応じた状態にスイッチするようにトグルするように構成される。一実施形態では、クロック信号CLK_1XSEは500MHzの周波数を有し、フリップフロップ176はまず、4nsにわたりハイである信号Qを出力し、次に4nsにわたりハイである出力Qを出力する。したがって、フリップフロップ176はまず、4nsにわたりレジスタ170をイネーブル化し、次に4nsにわたりレジスタ172をイネーブル化する。しかしながら、他の実施形態では、クロック信号CLK_1XSEは異なる周波数を有する。したがって、レジスタ170は、読み出しデータストロボ信号RDQS中のA−Dと指定された信号を出力し、レジスタ172は読み出しデータストロボ信号RDQS中のE−Hと指定された信号を出力する。
レジスタ170、172によって出力された信号は、2つのマルチプレクサ180、182に適用される。特に、レジスタ170、172からのA、C、E、Gと指定された信号は、マルチプレクサ180のそれぞれの入力に適用され、レジスタ170、172からのB、D、F、Hと指定された信号は、マルチプレクサ182のそれぞれの入力に適用される。マルチプレクサ180、182は、それぞれの選択信号によって制御され、その入力のひとつがその出力に適用されるようにする。選択信号はセレクタ188によって生成されるが、セレクタ188は特別に構成されたカウンタを用いて実施され得る。セレクタ188は、クロック信号CLK_4Xによって計時されるが、クロック信号CLK_4Xは、一実施形態では、1GHzの周波数を有し、差動クロック信号であり、よって、クロック信号は異なる状態を有する。しかしながら、クロック信号CLK_4Xは、たとえば、遅延線または位相インターポレーターである遅延回路190を介して結合される。遅延回路190は、タイミング制御回路134(図5)からのそれぞれのタイミング制御信号によって制御される調整可能な遅延だけクロック信号CLK_4Xを遅延する。セレクタ188はまず、マルチプレクサ180にレジスタ170からの信号Aを出力させ、セレクタ188は次に、マルチプレクサ182にレジスタ170からの信号Bを出力させる。同様に、セレクタ188は次に、マルチプレクサ180にレジスタ170からの信号Cを出力させ、セレクタ188は次に、マルチプレクサ182にレジスタ170からの信号Dを出力させる。類似した方法で、セレクタ188はマルチプレクサ180、182に逐次的に信号E−Hを出力させる。マルチプレクサ180、182のそれぞれの出力は、シリアル器194のそれぞれの入力に適用される。
セレクタ188に適用されるクロック信号CLK_4Xに加えて、クロック信号CLK_4Xのひとつは、シリアル器194のクロック入力に適用される。クロック信号は、入力の各々を交番に選択し、それらを出力に結合する。よって、A、C、E、Gと指定された信号はある入力に適用されるが、信号B、D、F、Hは別の入力に適用され、シリアライザ194はA、B、C、D、E、F、G、Hの順番で信号を出力する。結果として、シリアライザ194は、タイミング調整された読み出しストロボ信号RDQS’を生成するためにストロボ信号RDQSのタイミングが、タイミング制御信号によって調整されていなければ、レジスタ170、172に適用された元々の読み出しストロボ信号RDQSを出力する。このRDQS’信号は、図5を参照しながら上で説明されているように、出力バッファ196を介して、それぞれのDRAMデバイスダイス20、22、24、26に送信される。よって、セレクタ188、マルチプレクサ180、182およびシリアル器188は一緒に、シリアル化回路を実現する。
図5中に示されている受信機160の一実施形態が、図7中に示されている。受信機160は読み出しデータDQの1ビットを受信するが、一実施形態では、読み出しデータDQは8ビットのシリアル読み出しデータからなり、図5を参照しながら上で説明したように、受信機160は読み出しデータDQを逆シリアル化する。読み出しデータDQのこれらのシリアルビットは、受信機160の説明を容易にする目的でビットA−Hと指定されよう。読み出しデータビットは、入力バッファ204を介して結合された後、8つのフリップフロップ200a−hのそれぞれのデータ入力に適用される。フリップフロップ200a−hは、セレクタ208によって計時されるが、セレクタ208はカウンタによって実現され得る。しかしながら、交番のフリップフロップ200a、c、e、gはセレクタ208から受信された信号の立ち上がりエッジによって計時され、その一方、フリップフロップ200b、d、f、hはセレクタ208から受信された信号の立ち下りエッジによって計時される。加えて、同じ信号が隣接するフリップフロップ200a、bから200g、hに適用される。
セレクタ208が計時されるとき、出力のそれぞれは、クロック信号CLK_2Xの立ち上がりエッジに応答して逐次的にハイ(high)に遷移するが、クロック信号CLK_2Xは、一実施形態では、1GHzの周波数を有する。よって、フリップフロップ200aはまず、シリアル読み出しデータビットAを出力し、セレクタ208から受信された信号が再びハイに遷移してから4ns後に再び計時されるまで、シリアル読み出しデータビットAを出力し続ける。フリップフロップ200bは、フリップフロップ200aを計時した同じ信号の立下りエッジによって1ns後に計時され、よって、フリップフロップ200bは4nsにわたりシリアル読み出しデータビットBを出力する。しかしながら、フリップフロップ200a、bに適用される信号はロー(low)に遷移するのと同時に、フリップフロップ200c、dに適用される信号はハイに遷移し、フリップフロップ200cに4nsにわたりシリアル読み出しデータビットCを出力させる。類似した方法で、フリップフロップ200d−gは、逐次的にD−Gと指定された読み出しデータビットを出力する。4nsの終わりには、シリアルデータビットA−Gの全てが、フリップフロップ200a−hから出力されているであろう。
第1の4つのフリップフロップ200a−dの各々からの出力は、それぞれのマルチプレクサ210a−dの第1の入力に適用され、第2の4つのフリップフロップ200e−hの各々からの出力は、それぞれのマルチプレクサ210a−dの第2の入力に適用される。マルチプレクサ210a−dはフリップフロップ212から受信された信号によって各々、制御されるが、フリップフロップ212は、ANDゲート214からの信号に応答してトグルするように構成されている。ANDゲート214はその入力の一つで、一実施形態では、思い出されるかも知れないが、500MHzの周波数を有するクロック信号CLK_1XSEを受信する。ANDゲート214の他の入力は、フリップフロップ216の出力からの信号を受信する。フリップフロップ216はフリップフロップ218の出力からの信号を受信するデータ入力を有する。フリップフロップ218は、そのデータ入力で、読み出しイネーブル信号RD_ENを受信し、クロック信号CLK_1XSEによって計時される。
動作では、読み出しイネーブル信号RD_ENがハイに遷移するとき、クロック信号CLK_1XSEの次の立ち上がりエッジは、フリップフロップ218に、フリップフロップ216のデータ入力に適用されるハイを出力させる。フリップフロップ218由来のこのハイ出力信号はまた、セレクタ208のイネーブル入力に適用され、セレクタ208がフリップフロップ200a−hの計時を始めることを許容し、よってフリップフロップ200a−hはシリアル読み出しデータビットをまとめて出力することができる。クロック信号CLK_1XSEの次の立ち上がりエッジでは、フリップフロップ216はハイに遷移し、それによってANDゲート214の出力をハイに遷移させる。次にフリップフロップ212は計時され、読み出し動作の終わりでRD_EN信号がローに遷移するまで、クロック信号CLK_1XSEによって計時され続ける。フリップフロップ212がトグルするように構成されている限り、フリップフロップ212は4nsにわたりハイであり、その後4nsにわたりローである信号を出力する。結果として、マルチプレクサ210a−dは4nsにわたりシリアルデータビットA−Dを出力し、マルチプレクサ210a−dは次に4nsにわたりシリアルデータビットE−Hを出力する。よって、ビットA−Hを出力するのに要する8nsは、8つのシリアルデータビットA−Hが受信機160に適用される8nsと一致する。もちろん、タイミングと周波数の例は、説明の目的のために本明細書中に与えられており、他の実施形態では異なり得る。
前記から、本発明の特定の実施形態を、例示の目的のために本明細書中で記載してきたが、本発明の趣旨および範囲から逸脱することなく様々な変形がされ得ることは認識されよう。たとえば、本発明の実施形態は、積層DRAMダイスの文脈で説明してきたが、積層ダイは、フラッシュメモリデバイスダイのような他のタイプのメモリデバイスであり得ることは理解されよう。したがって、本発明は添付の請求項の場合を除き、限定されない。

Claims (24)

  1. 複数のメモリセルを含む複数の積層メモリデバイスダイと、
    複数の導電体を介して前記メモリデバイスダイに結合された論理ダイと、
    を含むメモリシステムであって、
    前記メモリデバイスダイは、受信された読み出しストローブ信号に応答して、読み出しデータ信号を送信するように動作可能であり、前記メモリデバイスダイの各々が前記読み出しデータ信号を送信するタイミングは、それぞれの前記読み出しストローブ信号を受信する時刻によって決定され、
    前記論理ダイは、前記メモリデバイスダイにデータを書き込み、かつ、前記メモリデバイスダイからデータを読み出すように動作可能であり、前記論理ダイは、前記メモリデバイスダイの各々からの読み出しデータ信号の組が実質的に同じ時刻に前記論理ダイによって受信されるよう、前記読み出しストローブ信号がそれぞれの前記メモリデバイスダイに与えられるタイミングを制御するように動作可能であるタイミング補正システムを含む
    モリシステム。
  2. 前記複数の積層メモリデバイスダイは、互いに接続され、かつ、複数のシリコン貫通ビアを介して前記論理ダイに接続されている請求項1のメモリシステム。
  3. 記タイミング補正システムは、
    前記メモリデバイスダイの各々に対するストローブタイミング調整回路であって、前記ストローブタイミング調整回路の各々は、それぞれのタイミング制御信号によって制御されるタイミングで前記読み出しストローブ信号を出力するように構成されている、ストローブタイミング調整回路と、
    前記それぞれのタイミング制御信号を生成し、かつ、前記タイミング制御信号を前記それぞれのメモリデバイスダイに与えるタイミング制御回路であって、前記メモリデバイスダイによって送信された前記読み出しデータ信号の組が実質的に同一のタイミングで前記論理ダイによって受信されるようにする前記タイミング制御信号を生成するタイミング制御回路と、
    を含む請求項2のメモリシステム。
  4. 前記タイミング制御回路は、それぞれ複数のタイミング制御信号を前記ストローブタイミング調整回路の各々に与えることによって前記タイミング制御信号を生成し、前記ストローブタイミング調整回路の各々に、前記それぞれの読み出しストローブ信号のタイミングをある範囲にわたり変化させ、それによって、前記それぞれのメモリデバイスダイが、ある範囲にわたり変化する時刻に前記読み出しデータ信号の組を前記論理ダイに与えるように動作可能であり、前記タイミング制御回路は、前記それぞれのストローブタイミング調整回路に与えるための前記タイミング制御信号として、前記読み出しデータ信号の組を前記範囲内の適切な時刻に前記論理ダイによって受信されるようにするタイミング制御信号を用いるように動作可能である、請求項のメモリシステム。
  5. 前記タイミング補正システムは、各々が前記メモリデバイスダイの各々からの対応する読み出しデータ信号を受信するように動作可能である複数のデータ受信機を含み、前記受信機は前記受信された読み出しデータ信号を複数のパラレル読み出しデータビットに逆シリアル化するように動作可能である、請求項2のメモリシステム。
  6. 前記複数の受信機の各々は、クロック信号に応答して、前記受信された読み出しデータ信号をとらえるように動作可能であり、前記複数の受信機の全ては、それらそれぞれの受信された読み出しデータ信号をとらえるために同一のクロック信号を用いる、請求項のメモリシステム。
  7. 前記複数の受信機の各々は、
    前記読み出しデータ信号を受信するように結合された複数のフリップフロップであって、前記複数のフリップフロップの各々は、前記読み出しデータ信号のそれぞれのサンプルを記憶し、かつ、該サンプルを出力に与えるように動作可能である、複数のフリップフロップと、
    前記複数のフリップフロップが前記読み出しデータ信号の前記それぞれのサンプルを記憶するように、クロック信号を生成し、かつ、該クロック信号を連続的に前記それぞれのフリップフロップに与えるよう動作可能であるセレクタと、
    各々が複数の前記フリップフロップの前記それぞれの出力に結合された複数のマルチプレクサであって、クロック信号に応答して、前記複数のフリップフロップのそれぞれの対から前記複数のそれぞれのサンプルを交互に出力するマルチプレクサと、
    を含む、請求項のメモリシステム。
  8. 前記メモリデバイスダイの各々は、それぞれ動的ランダムアクセスメモリデバイスダイを含む、請求項2のメモリシステム。
  9. 複数のデータストローブ信号を生成する回路と、
    前記複数のデータストローブ信号のそれぞれの一つを受信する複数のストローブタイミング調整回路であって、前記複数のストローブタイミング調整回路の各々は、
    前記それぞれのデータストローブ信号を記憶し、かつ、前記記憶されたデータストローブ信号の複数のビットをそれぞれの出力端子に与えるレジスタと、
    前記レジスタからの前記データストローブ信号の前記ビットを受信するシリアル化回路であって、調整されたクロック信号によって決定された時刻に、シリアル形式で前記データストローブ信号の前記ビットを出力するように動作可能であるシリアル化回路と、
    クロック信号を受信し、かつ、前記調整されたクロック信号をタイミング制御信号に対応する遅延で出力する遅延回路と、
    を含む複数のストローブタイミング調整回路と、
    各々が前記ストローブタイミング調整回路のそれぞれひとつの中の前記遅延回路に与えられる複数のタイミング制御信号を生成するタイミング制御回路であって、前記タイミング制御回路は、前記データストローブ信号を受信するタイミングに基づいてそれぞれが読み出しデータ信号を送信するメモリデバイスダイのそれぞれからの前記読み出しデータ信号の組が実質的に同じ時刻に論理ダイによって受信されるように、前記タイミング制御信号を用いて、前記データストローブ信号が前記論理ダイからそれぞれの前記メモリデバイスダイに送信されるタイミングを制御する、タイミング制御回路と、
    を含むタイミング補正システム。
  10. 前記遅延回路は位相インターポレーターを含む、請求項のタイミング補正システム。
  11. 前記遅延回路は遅延線を含む、請求項のタイミング補正システム。
  12. 前記レジスタは、
    前記データストローブ信号の第1の複数の連続するビットを記憶する第1のレジスタと、
    前記データストローブ信号の第2の複数の連続するビットを記憶する第2のレジスタであって、前記データストローブ信号の前記第2の複数の連続するビットは、前記データストローブ信号の前記第1の複数の連続するビットのすぐ後に続く、第2のレジスタと、
    を含む請求項のタイミング補正システム。
  13. 前記シリアル化回路は、
    前記第1のレジスタから出力された前記データストローブ信号の交番ビットと、前記第2のレジスタから出力された前記データストローブ信号の交番ビットとを受信するように結合された第1のマルチプレクサであって、第1の制御信号に応答して、前記データストローブ信号の前記受信されたビットの各々を第1の出力端子に結合するように動作可能である第1のマルチプレクサと、
    前記第1のレジスタから出力され、前記第1のマルチプレクサには与えられない前記データストローブ信号の交番ビットと、前記第2のレジスタから出力され、前記第1のマルチプレクサには与えられない前記データストローブ信号の交番ビットとを受信するように結合された第2のマルチプレクサであって、第2の制御信号に応答して、前記データストローブ信号の前記受信されたビットの各々を第2の出力端子に結合するように動作可能である第2のマルチプレクサと、
    クロック信号に応答して、前記第1および前記第2の制御信号を生成するように動作可能であるセレクタであって、前記第1および前記第2の制御信号は、前記第1および前記第2のマルチプレクサに、前記データストローブ信号の前記受信されたビットの各々を、それぞれ、前記第1および前記第2の出力端子に連続的に結合させる、セレクタと、
    前記第1および第2のマルチプレクサの前記第1および第2の出力端子にそれぞれ結合されたシリアル化回路であって、前記第1および前記第2のマルチプレクサから受信された前記データストローブ信号のビットを、前記調節されたクロック信号によって決定された時刻に、交互に出力するように動作可能であるシリアル化回路と、
    を含む請求項12のタイミング補正システム。
  14. 前記タイミング制御回路は、それぞれ複数のタイミング制御信号を前記ストローブタイミング調整回路の各々に与えることによって前記タイミング制御信号の各々を生成し、前記ストローブタイミング調整回路の各々に、前記それぞれのデータストローブ信号のタイミングをある範囲にわたり変化させ、それによって、前記それぞれのメモリデバイスダイが、ある範囲にわたり変化する時刻に前記読み出しデータ信号の組を前記論理ダイに与えるように動作可能であり、前記タイミング制御回路は、前記それぞれのストローブタイミング調整回路に与えるための前記タイミング制御信号として、前記読み出しデータ信号の組が前記範囲内の適切な時刻に前記論理ダイによって受信されるようにするタイミング制御信号を用いるように動作可能である、請求項のタイミング補正システム。
  15. メモリアクセスデバイスと、
    前記メモリアクセスデバイスに結合されたメモリシステムであって、該メモリシステムは、
    複数のメモリセルを含み、かつ、受信された読み出しストローブ信号に応答して、読み出しデータ信号を送信するように動作可能な複数の積層メモリデバイスダイであって、前記メモリデバイスダイの各々が前記読み出しデータ信号を送信するタイミングは、前記それぞれの読み出しストローブ信号を受信する時刻によって決定される、複数の積層メモリデバイスダイと、
    前記メモリアクセスデバイスに結合され、かつ、複数の導電体を介して前記メモリデバイスダイに結合された論理ダイであって、前記論理ダイは、データを前記メモリデバイスダイに書き込み、かつ、データを前記メモリデバイスダイから読み出すように動作可能であり、前記論理ダイは、前記メモリデバイスダイの各々からの読み出しデータ信号の組が実質的に同じ時刻に前記論理ダイによって受信されるよう、前記読み出しストローブ信号が前記それぞれのメモリデバイスダイに与えられるタイミングを制御するように動作可能であるタイミング補正システムを含み、前記論理ダイは、前記メモリデバイスダイから前記読み出しデータ信号を受信するのと実質的に同時に前記読み出しデータ信号を前記メモリアクセスデバイスに送信するように動作可能である、論理ダイと、
    を含む、メモリシステムと、
    を含むシステム。
  16. 前記タイミング補正システムは、
    前記メモリデバイスダイの各々に対するストローブタイミング調整回路であって、前記ストローブタイミング調整回路の各々は、それぞれのタイミング制御信号によって制御されるタイミングで、前記それぞれの読み出しストローブ信号を出力するように構成される、ストローブタイミング調整回路と、
    前記それぞれのタイミング制御信号を生成し、かつ、前記タイミング制御信号を前記それぞれのメモリデバイスダイに与えるタイミング制御回路であって、前記メモリデバイスダイによって送信された前記読み出しデータ信号の組が実質的に同じタイミングで前記論理ダイによって受信されるようにする前記タイミング制御信号を生成するタイミング制御回路と、
    を含む、請求項15のシステム。
  17. 前記タイミング制御回路は、それぞれ複数のタイミング制御信号を前記ストローブタイミング調整回路の各々に与えることによって前記タイミング制御信号の各々を生成し、前記それぞれのストローブタイミング調整回路に前記それぞれの読み出しストローブ信号のタイミングをある範囲にわたり変化させ、それによって、前記それぞれのメモリデバイスダイが、ある範囲にわたり変化する時刻に前記読み出しデータ信号の組を前記論理ダイに与えるように動作可能であり、前記タイミング制御回路は、それぞれの前記ストローブタイミング調整回路に与えるための前記タイミング制御信号として、前記読み出しデータ信号の組が前記範囲内の適切な時刻に前記論理ダイによって受信されるようにするタイミング制御信号を用いるように動作可能である、請求項16のシステム。
  18. 前記論理ダイは、各々が前記メモリデバイスダイの各々から対応する読み出しデータ信号を受信するように動作可能である複数のデータ受信機を含み、前記データ受信機は、前記受信された読み出しデータ信号を複数のパラレル読み出しデータビットに逆シリアル化し、かつ、前記複数のパラレル読み出しデータビットを前記メモリアクセスデバイスに与えるように動作可能である、請求項15のシステム。
  19. 前記メモリデバイスダイの各々は、それぞれ動的ランダムアクセスメモリデバイスダイを含む、請求項15のシステム。
  20. 各々が論理ダイに接続された複数の積層メモリデバイスダイからの読み出しデータ信号を結合する方法であって、
    それぞれの読み出しストローブ信号を前記論理ダイから前記メモリデバイスダイの各々に送信するステップと、
    前記メモリデバイスダイが前記それぞれの読み出しストローブ信号を受信するのに応答して、前記メモリデバイスダイの各々から前記論理ダイに読み出しデータ信号を送信するステップと、
    前記読み出しデータ信号が、前記メモリデバイスダイの各々から実質的に同じ時刻に前記論理ダイによって受信されるように、それぞれの読み出しストローブ信号を前記論理ダイから前記メモリデバイスダイの各々に送信するタイミングを調整するステップと、
    を含む方法。
  21. 前記メモリデバイスダイの各々にそれぞれの読み出しストローブ信号を送信する前記タイミングを調整する前記ステップは、どのタイミングによって前記論理ダイに前記読み出しデータ信号を適切にとらえることを可能にするかを判定するためのトレーニングシーケンスを実施するステップを含む、請求項20の方法。
  22. 前記トレーニングシーケンスは、
    ある時間範囲にわたり異なる時刻に送信される前記読み出しストローブ信号を前記メモリデバイスダイの各々に繰り返し送信するステップと、
    前記メモリデバイスダイの各々に送信された前記複数の読み出しストローブ信号の各々に応答して、前記論理ダイで読み出しデータ信号を受信するステップと、
    前記読み出しデータ信号が前記メモリデバイスダイの各々から実質的に同じ時刻に前記論理ダイによって受信される、前記読み出しストローブ信号の各々のタイミングを決定するステップと、
    その後、前記決定されたタイミングを用いて、前記読み出しストローブ信号の各々を前記それぞれのメモリデバイスダイに送信するステップと、
    を含む、請求項21の方法。
  23. 前記メモリデバイスダイのそれぞれひとつに前記読み出しストローブ信号の各々を送信する前記タイミングを調整する前記ステップは、
    複数のシリアルビットを有する読み出しストローブ信号を与えるステップと、
    前記複数のシリアルビットを複数の対応するパラレルビットに変換するよう、前記読み出しストローブ信号を逆シリアル化するステップと、
    他のメモリデバイスダイからのそれぞれの読み出しデータ信号が前記論理ダイで受信されるのと実質的に同じ時刻に前記論理ダイによって前記読み出しデータ信号が受信されるように調整された時刻に開始するシリアルビットストリームとして、前記ビットの各々を前記それぞれのメモリデバイスダイに送信するステップと、
    を含む、請求項20の方法。
  24. クロック信号に応答して、前記メモリデバイスダイの各々からの前記それぞれの読み出しデータ信号をとらえるステップをさらに含み、前記メモリデバイスダイの全てからの前記それぞれの読み出しデータ信号をとらえるために、同じクロック信号が用いられる、請求項20の方法。
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