JP5015417B2 - GaN結晶の製造方法 - Google Patents
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Description
本発明にかかる一のIII族窒化物結晶の製造方法は、図1を参照して、種結晶10を準備する工程と、液相法により種結晶10に第1のIII族窒化物結晶21を成長させる工程とを含み、種結晶10に第1のIII族窒化物結晶21を成長させる工程において、種結晶10の主面10hに平行な方向の結晶成長速度VHが、種結晶10の主面10hに垂直な方向の結晶成長速度VVより大きいことを特徴とする。
本発明にかかる別のIII族窒化物結晶の製造方法は、図1および図2を参照して、種結晶10を準備する工程と、液相法により種結晶10に第1のIII族窒化物結晶21を成長させる工程と、第1のIII族窒化物結晶21に第2のIII族窒化物結晶22を成長させる工程とを含む。ここで、図1に示すように、種結晶10に第1のIII族窒化物結晶21を成長させる工程において、種結晶10の主面10hに平行な方向の結晶成長速度VHが、種結晶10の主面10hに垂直な方向の結晶成長速度VVより大きいことを特徴とする。また、図2に示すように、第1のIII族窒化物結晶21に第2のIII族窒化物結晶22を成長させる工程において、種結晶10の主面10hに平行な方向の結晶成長速度VHが、種結晶10の主面10hに垂直な方向の結晶成長速度VVより小さいことを特徴とする。
本発明にかかるまた別のIII族窒化物結晶の製造方法は、図3を参照して、種結晶10として下地基板9上に形成されたIII族窒化物種結晶を準備する工程と、液相法により種結晶10に第1のIII族窒化物結晶21を成長させる工程とを含み、種結晶10に第1のIII族窒化物結晶21を成長させる工程において、種結晶10の主面10hに平行な方向の結晶成長速度VHが、種結晶10の主面10hに垂直な方向の結晶成長速度VVより大きいことを特徴とする。
本発明にかかるさらに別のIII族窒化物結晶の製造方法は、種結晶として下地基板上に形成されたIII族窒化物種結晶を準備する工程と、液相法により種結晶に第1のIII族窒化物結晶を成長させる工程と、第1のIII族窒化物結晶に第2のIII族窒化物結晶を成長させる工程とを含む。ここで、図3に示すように、種結晶10である上記III族窒化物種結晶に第1のIII族窒化物結晶21を成長させる工程において、種結晶10の主面10hに平行な方向の結晶成長速度VHが、種結晶10の主面10hに垂直な方向の結晶成長速度VVより大きいことを特徴とする。また、図示はしないが、第1のIII族窒化物結晶に第2のIII族窒化物結晶を成長させる工程において、種結晶の主面に平行な方向の結晶成長速度VHが、種結晶の主面に垂直な方向の結晶成長速度VVより小さいことを特徴とする。
本発明にかかる一のIII族窒化物結晶は、上記実施形態1から実施形態4のいずれかの製造方法により製造されたものであり、種結晶の主面に平行な面の転位密度が5×106個/cm2以下、好ましくは1×106個/cm2以下のIII族窒化物結晶である。上記の製造方法により、種結晶の主面に平行な面の転位密度が低いIII族窒化物結晶が得られる。ここで、結晶の転位密度は、TEM(Transmission Electron Microscope;透過型電子顕微鏡)を用いて測定することができる。
本発明にかかる一のIII族窒化物結晶基板は、上記III族窒化物結晶から得られた、主面の転位密度が5×106個/cm2以下、好ましくは1×106個/cm2以下のIII族窒化物結晶基板である。具体的には、たとえば、図6に示すように、種結晶10としてのIII族窒化物種結晶に同種のIII族窒化物結晶20(第1のIII族窒化物結晶21および第2の窒化物結晶22を含む)を成長させた後、このIII族窒化物結晶20を種結晶10の主面10hに平行に切り出し、表面を研磨することにより本III族窒化物結晶基板が得られる。ここで、結晶の切り出しには、内周刃、外周刃、レーザなどが用いられる。結晶表面の研磨には、機械的研磨、化学機械的研磨(CMP)、エッチングなどの各種研磨方法が用いられる。
本発明にかかる一の半導体デバイスは、上記III族窒化物結晶基板の主面上に少なくとも1層のIII族窒化物半導体層が形成された半導体デバイスである。本半導体デバイスとしては、たとえば、図7を参照して、III族窒化物結晶基板であるGaN結晶基板70の主面上に、MOCVD法により、III族窒化物結晶層として、n型GaN層71、In0.15Ga0.85N層とGaN層からなる対を1対以上積層させた多重量子井戸構造72、p型Al0.20Ga0.80N層73およびp型GaN層74を順次形成し、GaN基板の下側にn側電極76を、p型GaN層74の上側にp側電極75を形成することにより、発光80を生じるLED(Light Emitting Diode;発光ダイオード)が得られる。本実施形態におけるLEDは、主面の転位密度が低いIII族窒化物基板を用いているために、発光強度が大きくなる。
図4における図4(a)を参照して、まず、種結晶10としてGaN種結晶(転位密度:5×107個/cm2、サイズ:直径3mm×厚さ400μm)を用いて、フラックス法により、種結晶10の主面10h(直径3mmの円板面)である(0001)面に平行な方向の結晶成長速度VHが、種結晶10の主面10hに垂直な方向の結晶成長速度VVより大きくなるように、第1のIII族窒化物結晶である第1のGaN結晶を成長させた。
図5における図5(a)を参照して、種結晶10として、下地基板9である直径3mm×厚さ400μmのサファイア基板上にMOCVD法により形成されたGaN種結晶(転位密度:1×109個/cm2、サイズ:直径3mm×厚さ3μm)を用いて、フラックス法により、GaN種結晶のみにGaN結晶を成長させた他は、実施例1と同様にして、GaN結晶(第1のGaN結晶および第2のGaN結晶)を成長させた。なお、結晶成長の際に薄い第1のGaN結晶を支えるために、反応容器1内に下地基板9と同じ厚さの支持台8を設けた。得られたGaN結晶の(0001)面における転位密度は、第1のGaN結晶成長後では2×105個/cm2、第2のGaN結晶成長後では1×105個/cm2と、GaN種結晶の転位密度(1×109個/cm2)に比べて著しく低減した。
図4を参照して、種結晶10として、AlN種結晶(転位密度:1×109個/cm2、サイズ:直径3mm×厚さ400μm)を用いた他は、実施例1と同様にして、GaN結晶、GaN結晶基板およびLEDを作製した。得られたGaN結晶の(0001)面における転位密度は、第1のGaN結晶成長後では5×105個/cm2、第2のGaN結晶成長後では3×105個/cm2と、AlN種結晶の転位密度(1×109個/cm2)に比べて著しく低減した。また、得られたLEDの両電極に20mAの電流を流したときの相対発光強度は、後述する比較例1のLEDの発光強度1.0に対して、第1のGaN結晶のみからなるGaN結晶基板の場合で1.5であり、第2のGaN結晶のみからなるGaN結晶基板の場合で1.8と向上した。結果を表1にまとめた。
図4における図4(a)および(b)を参照して、実施例1と同様にして、フラックス法によりGaN種結晶に第1のGaN結晶を成長させた後、この第1のGaN結晶を取り出して、HVPE法により第1のGaN結晶に第2のGaN結晶を成長させた。具体的には、第1のGaN結晶に、1030℃、101kPaで、GaClガス(Ga原料ガス)とNH3ガス(窒素原料ガス)とH2ガス(キャリアーガス)と(モル比はGaCl:NH3:H2=120:1000:7000)を、全ガス流量8120sccm(1sccmは、標準状態(1013hPa、0℃)のガスが1分間に1cm3のガス流量を示す)で、30hr導入して、直径17mm×厚さ3000μmの第2のGaN結晶を成長させた。この第2のGaN結晶の結晶成長速度は、VHが0μm/hr、VVが100μm/hrであった。こうして、第1のGaN結晶と第2のGaN結晶とが一体となったGaN結晶が得られた。このGaN結晶から、実施例1と同様にして、GaN結晶基板およびLEDを作製した。
種結晶として、下地基板である直径3mm×厚さ400μmのサファイア基板上にMOCVD法により形成されたGaN種結晶(転位密度:1×109個/cm2、サイズ:直径3mm×厚さ3μm)を用いて、フラックス法により、GaN種結晶のみにGaN結晶を成長させた他は、実施例2と同様にして、GaN結晶(第1のGaN結晶および第2のGaN結晶)を成長させた。得られたGaN結晶の(0001)面における転位密度は、第1のGaN結晶成長後では2×105個/cm2、第2のGaN結晶成長後では1×105個/cm2と、GaN種結晶の転位密度(1×109個/cm2)に比べて著しく低減した。
種結晶として、AlN種結晶(転位密度:1×109個/cm2、サイズ:直径3mm×厚さ400μm)を用いた他は、実施例2と同様にして、GaN結晶、GaN結晶基板およびLEDを作製した。得られたGaN結晶の(0001)面における転位密度は、第1のGaN結晶成長後では5×105個/cm2、第2のGaN結晶成長後では3×105個/cm2と、AlN種結晶の転位密度(1×109個/cm2)に比べて著しく低減した。また、得られたLEDの両電極に20mAの電流を流したときの相対発光強度は、後述する比較例1のLEDの発光強度1.0に対して、第1のGaN結晶のみからなるGaN結晶基板の場合で1.5であり、第2のGaN結晶のみからなるGaN結晶基板の場合で1.8と向上した。結果を表1にまとめた。
種結晶10としてGaN種結晶(転位密度:5×107個/cm2、サイズ:直径17mm×厚さ400μm)を用いて、HVPE法により、種結晶10の主面10h(直径17mmの円板面)である(0001)面に垂直な方向に、III族窒化物結晶であるGaN結晶を成長させた。
Claims (4)
- 下地基板を伴わないGaN種結晶を準備する工程と、液相法により前記GaN種結晶に第1のGaN結晶を成長させる工程と、前記第1のGaN結晶に第2のGaN結晶を成長させる工程と、を含み、
前記GaN種結晶に第1のGaN結晶を成長させる工程において、前記GaN種結晶の主面に平行な方向の結晶成長速度が、前記GaN種結晶の主面に垂直な方向の結晶成長速度より大きく、
前記第1のGaN結晶に前記第2のGaN結晶を成長させる工程において、前記GaN種結晶の主面に平行な方向の結晶成長速度が、前記GaN種結晶の主面に垂直な方向の結晶成長速度より小さいことを特徴とするGaN結晶の製造方法。 - 前記第1のGaN結晶に前記第2のGaN結晶を成長させる工程を液相法により行なう請求項1に記載のGaN結晶の製造方法。
- 前記第1のGaN結晶に前記第2のGaN結晶を成長させる工程を気相法により行なう請求項1に記載のGaN結晶の製造方法。
- 前記GaN種結晶の主面が、{0001}面である請求項1から請求項3までのいずれかに記載のGaN結晶の製造方法。
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