JP4757029B2 - Iii族窒化物結晶の製造方法 - Google Patents
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Description
12 圧力調整器
13 ステンレス容器
14 電気炉
15 坩堝
51 GaN基板
52 GaN層
53 AlGaN層
54 ソース電極
55 ゲート電極
56 ドレイン電極
201 育成炉
202 ヒータ
203 熱電対
204 坩堝固定台
205 回転軸
206 坩堝
207 融解液(フラックス)
208 シード基板
209 流量調整器
Claims (7)
- 窒素を含む雰囲気下において、Ga、AlおよびInからなる群から選択される少なくとも一つのIII族元素を、アルカリ金属含有フラックス中で、前記窒素と反応させて結晶成長させるIII族窒化物結晶の製造方法であって、
前記アルカリ金属含有フラックスが、Na、MgおよびZnを含むことを特徴とする製造方法。 - 前記Mgの割合が、NaおよびMgの合計に対し、0.1〜10モル%の範囲である請求項1記載の製造方法。
- 窒素を含む雰囲気下において、Ga、AlおよびInからなる群から選択される少なくとも一つのIII族元素を、アルカリ金属含有フラックス中で、前記窒素と反応させて結晶成長させるIII族窒化物結晶の製造方法であって、
前記アルカリ金属含有フラックスが、NaおよびMgを含み、
前記Mgの割合が、NaおよびMgの合計に対し、0.1〜3モル%の範囲であることを特徴とする製造方法。 - 前記フラックスが、アルカリ土類金属(Mgを除く)およびZnの少なくとも一つをさらに含む請求項3記載の製造方法。
- 前記窒素が、窒素含有ガスとして供給される請求項1から4のいずれか一項に記載の製造方法。
- 前記アルカリ土類金属が、Ca、Be、SrおよびBaからなる群から選択される少なくとも一つである請求項4又は5記載の製造方法。
- 前記III族元素が、Gaであり、前記III族窒化物が、GaNである請求項1から6のいずれか一項に記載の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005516613A JP4757029B2 (ja) | 2003-12-26 | 2004-12-22 | Iii族窒化物結晶の製造方法 |
Applications Claiming Priority (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003435072 | 2003-12-26 | ||
JP2003435072 | 2003-12-26 | ||
JP2005516613A JP4757029B2 (ja) | 2003-12-26 | 2004-12-22 | Iii族窒化物結晶の製造方法 |
PCT/JP2004/019249 WO2005064661A1 (ja) | 2003-12-26 | 2004-12-22 | Iii族窒化物結晶の製造方法およびそれにより得られるiii族窒化物結晶ならびにそれを用いたiii族窒化物基板 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2005064661A1 JPWO2005064661A1 (ja) | 2007-12-20 |
JP4757029B2 true JP4757029B2 (ja) | 2011-08-24 |
Family
ID=34736584
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005516613A Expired - Fee Related JP4757029B2 (ja) | 2003-12-26 | 2004-12-22 | Iii族窒化物結晶の製造方法 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20070196942A1 (ja) |
JP (1) | JP4757029B2 (ja) |
CN (1) | CN100466178C (ja) |
WO (1) | WO2005064661A1 (ja) |
Families Citing this family (29)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5015417B2 (ja) * | 2004-06-09 | 2012-08-29 | 住友電気工業株式会社 | GaN結晶の製造方法 |
JP2007284267A (ja) * | 2006-04-13 | 2007-11-01 | Sumitomo Electric Ind Ltd | GaN結晶の製造方法 |
JP2008013391A (ja) * | 2006-07-04 | 2008-01-24 | Osaka Univ | Iii族元素窒化物基板の製造方法 |
JP4787692B2 (ja) * | 2006-07-13 | 2011-10-05 | 株式会社リコー | 結晶成長装置 |
US8778078B2 (en) | 2006-08-09 | 2014-07-15 | Freiberger Compound Materials Gmbh | Process for the manufacture of a doped III-N bulk crystal and a free-standing III-N substrate, and doped III-N bulk crystal and free-standing III-N substrate as such |
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JP5224713B2 (ja) * | 2007-04-19 | 2013-07-03 | 日本碍子株式会社 | 窒化アルミニウム単結晶の製造方法 |
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-
2004
- 2004-12-22 JP JP2005516613A patent/JP4757029B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2004-12-22 US US10/584,725 patent/US20070196942A1/en not_active Abandoned
- 2004-12-22 WO PCT/JP2004/019249 patent/WO2005064661A1/ja active Application Filing
- 2004-12-22 CN CNB200480038996XA patent/CN100466178C/zh not_active Expired - Fee Related
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN1898778A (zh) | 2007-01-17 |
JPWO2005064661A1 (ja) | 2007-12-20 |
WO2005064661A1 (ja) | 2005-07-14 |
CN100466178C (zh) | 2009-03-04 |
US20070196942A1 (en) | 2007-08-23 |
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