JP6998798B2 - GaN積層体およびその製造方法 - Google Patents
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- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 20
- JMASRVWKEDWRBT-UHFFFAOYSA-N Gallium nitride Chemical compound [Ga]#N JMASRVWKEDWRBT-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 122
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 60
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 27
- 239000013078 crystal Substances 0.000 claims description 19
- 238000002248 hydride vapour-phase epitaxy Methods 0.000 claims 1
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 135
- 229910002601 GaN Inorganic materials 0.000 description 97
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 47
- 238000000089 atomic force micrograph Methods 0.000 description 14
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 10
- QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N Ammonia Chemical compound N QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 8
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 7
- UPWPDUACHOATKO-UHFFFAOYSA-K gallium trichloride Chemical compound Cl[Ga](Cl)Cl UPWPDUACHOATKO-UHFFFAOYSA-K 0.000 description 7
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 7
- 238000000879 optical micrograph Methods 0.000 description 6
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 5
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910000069 nitrogen hydride Inorganic materials 0.000 description 3
- VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N Hydrochloric acid Chemical compound Cl VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 2
- 150000004678 hydrides Chemical class 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000001947 vapour-phase growth Methods 0.000 description 2
- 239000011800 void material Substances 0.000 description 2
- 229910002704 AlGaN Inorganic materials 0.000 description 1
- GYHNNYVSQQEPJS-UHFFFAOYSA-N Gallium Chemical compound [Ga] GYHNNYVSQQEPJS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910021529 ammonia Inorganic materials 0.000 description 1
- XOYLJNJLGBYDTH-UHFFFAOYSA-M chlorogallium Chemical compound [Ga]Cl XOYLJNJLGBYDTH-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 1
- 229910001873 dinitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052733 gallium Inorganic materials 0.000 description 1
- IXCSERBJSXMMFS-UHFFFAOYSA-N hcl hcl Chemical compound Cl.Cl IXCSERBJSXMMFS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000003779 heat-resistant material Substances 0.000 description 1
- 238000010348 incorporation Methods 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 238000002488 metal-organic chemical vapour deposition Methods 0.000 description 1
- 230000035515 penetration Effects 0.000 description 1
- 230000001737 promoting effect Effects 0.000 description 1
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 1
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 description 1
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 1
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/02104—Forming layers
- H01L21/02365—Forming inorganic semiconducting materials on a substrate
- H01L21/02367—Substrates
- H01L21/0237—Materials
- H01L21/02387—Group 13/15 materials
- H01L21/02389—Nitrides
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C30—CRYSTAL GROWTH
- C30B—SINGLE-CRYSTAL GROWTH; UNIDIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF EUTECTIC MATERIAL OR UNIDIRECTIONAL DEMIXING OF EUTECTOID MATERIAL; REFINING BY ZONE-MELTING OF MATERIAL; PRODUCTION OF A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; SINGLE CRYSTALS OR HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; AFTER-TREATMENT OF SINGLE CRYSTALS OR A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; APPARATUS THEREFOR
- C30B25/00—Single-crystal growth by chemical reaction of reactive gases, e.g. chemical vapour-deposition growth
- C30B25/02—Epitaxial-layer growth
- C30B25/22—Sandwich processes
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C30—CRYSTAL GROWTH
- C30B—SINGLE-CRYSTAL GROWTH; UNIDIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF EUTECTIC MATERIAL OR UNIDIRECTIONAL DEMIXING OF EUTECTOID MATERIAL; REFINING BY ZONE-MELTING OF MATERIAL; PRODUCTION OF A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; SINGLE CRYSTALS OR HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; AFTER-TREATMENT OF SINGLE CRYSTALS OR A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; APPARATUS THEREFOR
- C30B29/00—Single crystals or homogeneous polycrystalline material with defined structure characterised by the material or by their shape
- C30B29/10—Inorganic compounds or compositions
- C30B29/40—AIIIBV compounds wherein A is B, Al, Ga, In or Tl and B is N, P, As, Sb or Bi
- C30B29/403—AIII-nitrides
- C30B29/406—Gallium nitride
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- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
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- H01L21/02104—Forming layers
- H01L21/02365—Forming inorganic semiconducting materials on a substrate
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- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
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- H01L21/02365—Forming inorganic semiconducting materials on a substrate
- H01L21/02518—Deposited layers
- H01L21/02521—Materials
- H01L21/02538—Group 13/15 materials
- H01L21/0254—Nitrides
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- H01L21/02365—Forming inorganic semiconducting materials on a substrate
- H01L21/02518—Deposited layers
- H01L21/02587—Structure
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
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- H01L21/02609—Crystal orientation
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- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
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- H01L21/02104—Forming layers
- H01L21/02365—Forming inorganic semiconducting materials on a substrate
- H01L21/02612—Formation types
- H01L21/02617—Deposition types
- H01L21/0262—Reduction or decomposition of gaseous compounds, e.g. CVD
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- H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
- H01L21/18—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer the devices having semiconductor bodies comprising elements of Group IV of the Periodic Table or AIIIBV compounds with or without impurities, e.g. doping materials
- H01L21/20—Deposition of semiconductor materials on a substrate, e.g. epitaxial growth solid phase epitaxy
- H01L21/2003—Deposition of semiconductor materials on a substrate, e.g. epitaxial growth solid phase epitaxy characterised by the substrate
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- H01L29/02—Semiconductor bodies ; Multistep manufacturing processes therefor
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- H01L33/00—Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L33/0004—Devices characterised by their operation
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Description
GaN単結晶で構成され、主面に対して最も近い低指数の結晶面がc面であるGaN基板と、
前記GaN基板の前記主面上にエピタキシャル成長されたGaN層と、
を有し、
前記GaN層の表面は、マクロステップと、マクロテラスと、が交互に並んだマクロステップ・テラス構造を有し、
前記マクロステップおよび前記マクロテラスのうちの一方は、GaNの複数分子層以上の高さを有しm軸方向と直交する方向に延びたステップと、テラスと、が交互に並んだステップ・テラス構造を有し、
前記マクロステップおよび前記マクロテラスのうちの他方は、GaNの複数分子層以上の高さを有しa軸方向と直交する方向に延びたステップと、テラスと、が交互に並んだステップ・テラス構造を有する、GaN積層体
が提供される。
GaN単結晶で構成され、主面に対して最も近い低指数の結晶面がc面であるGaN基板を準備する工程と、
前記GaN基板の前記主面上に、HVPEによりGaN層をエピタキシャル成長させる工程と、
を有し、
前記GaN層をエピタキシャル成長させる工程では、
成長温度を950℃以上1200℃以下として、前記GaN層を成長させ、
前記GaN層の表面に、マクロステップと、マクロテラスと、が交互に並んだマクロステップ・テラス構造を形成し、
前記マクロステップおよび前記マクロテラスのうちの一方は、GaNの複数分子層以上の高さを有しm軸方向と直交する方向に延びたステップと、テラスと、が交互に並んだステップ・テラス構造を有し、
前記マクロステップおよび前記マクロテラスのうちの他方は、GaNの複数分子層以上の高さを有しa軸方向と直交する方向に延びたステップと、テラスと、が交互に並んだステップ・テラス構造を有する、
GaN積層体の製造方法
が提供される。
条件1として、(V/III比)≦0.2Tg - 189 、かつ、(V/III比)≧0.2Tg - 199
条件2として、(V/III比)<0.2Tg - 199、かつ、(V/III比)≧0.2Tg - 209
条件3として、(V/III比)<0.2Tg - 209
が例示される。
以下、実験例について説明する。実験例では、基板上にHVPEにより厚さ10μm以上のエピ層を成長させた積層体を作製して、エピ層の表面状態を調べた。その結果、エピ層表面にマクロステップ・テラスを有する積層体と、エピ層表面にマクロステップ・テラスよりも平坦であるステップ・テラスを有する積層体と、の作り分けが可能であるとの知見が得られた。これらのいずれの態様の積層体も、本願発明者により見出された、新規な構造を有するGaN積層体である。
以上、本発明の実施形態を具体的に説明した。しかしながら、本発明は上述の実施形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々の変更、改良、組み合わせ等が可能である。
以下、本発明の好ましい態様について付記する。
GaN単結晶で構成され、主面に対して最も近い低指数の結晶面がc面であるGaN基板と、
前記GaN基板の前記主面上にエピタキシャル成長されたGaN層と、
を有し、
前記GaN層の表面は、マクロステップと、マクロテラスと、が交互に並んだマクロステップ・テラス構造を有し、
前記マクロステップおよび前記マクロテラスのうちの一方は、GaNの複数分子層以上の高さを有しm軸方向と直交する方向に延びたステップと、テラスと、が交互に並んだステップ・テラス構造を有し、
前記マクロステップおよび前記マクロテラスのうちの他方は、GaNの複数分子層以上の高さを有しa軸方向と直交する方向に延びたステップと、テラスと、が交互に並んだステップ・テラス構造を有する、GaN積層体。
前記マクロステップおよび前記マクロテラスは、m軸方向とa軸方向との中間方向に延びている、付記1に記載のGaN積層体。
前記マクロステップにおけるステップ間隔と前記マクロテラスにおけるステップ間隔とが互いに異なる、付記1または2に記載のGaN積層体。
前記マクロステップにおけるステップ間隔が、前記マクロテラスにおけるステップ間隔よりも狭い、付記1~3のいずれか1つに記載のGaN積層体。
GaNの複数分子層以上の高さを有しm軸方向と直交する方向に延びたステップと、テラスと、が交互に並んだステップ・テラス構造を有する前記マクロステップは、c面に対し0.5°以上0.7°以下傾いた面である、付記1~4のいずれか1つに記載のGaN積層体。
前記マクロステップと前記マクロテラスとが形成する凹凸のピークツーバレーの高さは、10nm以上である、付記1~5のいずれか1つに記載のGaN積層体。
前記GaN層の厚さは10μm以上である、付記1~6のいずれか1つに記載のGaN積層体。
前記GaN層の表面において、1mm角以上の広さの領域が、前記マクロステップ・テラス構造を有する付記1~7のいずれか1つに記載のGaN積層体。
前記基板は、VAS法で製造された基板である(貫通転位密度が1×107/cm2以上である領域を含まない基板である)、付記1~8のいずれか1つに記載のGaN積層体。
GaN単結晶で構成され、主面に対して最も近い低指数の結晶面がc面であるGaN基板を準備する工程と、
前記GaN基板の前記主面上に、HVPEによりGaN層をエピタキシャル成長させる工程と、
を有し、
前記GaN層をエピタキシャル成長させる工程では、
成長温度を950℃以上1200℃以下として、前記GaN層を成長させ、
前記GaN層の表面に、マクロステップと、マクロテラスと、が交互に並んだマクロステップ・テラス構造を形成し、
前記マクロステップおよび前記マクロテラスのうちの一方は、GaNの複数分子層以上の高さを有しm軸方向と直交する方向に延びたステップと、テラスと、が交互に並んだステップ・テラス構造を有し、
前記マクロステップおよび前記マクロテラスのうちの他方は、GaNの複数分子層以上の高さを有しa軸方向と直交する方向に延びたステップと、テラスと、が交互に並んだステップ・テラス構造を有する、
GaN積層体の製造方法。
前記GaN層をエピタキシャル成長させる工程では、成長温度TgおよびV/III比の範囲を(V/III比)≦0.2Tg - 189 、かつ、(V/III比)≧0.2Tg - 209とする、付記10に記載のGaN積層体の製造方法。
前記GaN層をエピタキシャル成長させる工程では、成長温度TgおよびV/III比の範囲を(V/III比)≦0.2Tg - 189 、かつ、(V/III比)≧0.2Tg - 199とする、付記10に記載のGaN積層体の製造方法。
前記GaN層をエピタキシャル成長させる工程では、成長温度TgおよびV/III比の範囲を(V/III比)<0.2Tg - 199、かつ、(V/III比)≧0.2Tg - 209とする、付記10に記載のGaN積層体の製造方法。
前記基板は、前記主面内に、前記主面の法線方向とc軸方向とのなす角であるオフ角の大きさが、好ましくは0.5°以下、より好ましくは0.4°以下である領域を有する、付記13に記載のGaN積層体の製造方法。
前記GaN層をエピタキシャル成長させる工程では、10μm以上の厚さの前記GaN層を成長させる、付記10~14のいずれか1つに記載のGaN積層体の製造方法。
前記GaN層をエピタキシャル成長させる工程では、0.3μm/分以上3.0μm/分以下の成長レートで前記GaN層を成長させる、付記10~15のいずれか1つに記載のGaN積層体の製造方法。
前記GaN層をエピタキシャル成長させる工程では、N原料ガスの供給を開始した後に、水素ガスの供給を開始し、水素ガスの供給を開始した後に、Ga原料ガスの供給を開始する、付記10~16のいずれか1つに記載のGaN積層体の製造方法。
11 (基板10の)主面
20 GaN層(エピ層)
21 (エピ層20の)表面
30 GaN積層体(積層体)
40 マクロステップ・テラス構造
41 マクロステップ
42 マクロテラス
50m m方向ステップ・テラス構造
51m m方向ステップ
52m m方向テラス
50a a方向ステップ・テラス構造
51a a方向ステップ
52a a方向テラス
200 HVPE装置
Claims (9)
- GaN単結晶で構成され、主面に対して最も近い低指数の結晶面がc面であるGaN基板と、
前記GaN基板の前記主面上にエピタキシャル成長され厚さが10μm以上で30μm以下であるGaN層と、
を有し、
前記GaN層の表面は、マクロステップと、マクロテラスと、が交互に並んだマクロステップ・テラス構造を有し、
前記マクロステップおよび前記マクロテラスのうちの一方は、GaNの複数分子層以上の高さを有しm軸方向と直交する方向に延びたステップと、テラスと、が交互に並んだステップ・テラス構造を有し、
前記マクロステップおよび前記マクロテラスのうちの他方は、GaNの複数分子層以上の高さを有しa軸方向と直交する方向に延びたステップと、テラスと、が交互に並んだステップ・テラス構造を有する、GaN積層体。 - 前記マクロステップおよび前記マクロテラスは、m軸方向とa軸方向との中間方向に延びている、請求項1に記載のGaN積層体。
- 前記マクロステップにおけるステップ間隔と前記マクロテラスにおけるステップ間隔とが互いに異なる、請求項1または2に記載のGaN積層体。
- GaNの複数分子層以上の高さを有しm軸方向と直交する方向に延びたステップと、テラスと、が交互に並んだステップ・テラス構造を有する前記マクロステップは、c面に対し0.5°以上0.7°以下傾いた面である、請求項1~3のいずれか1項に記載のGaN積層体。
- 前記マクロステップと前記マクロテラスとが形成する凹凸のピークツーバレーの高さは、10nm以上である、請求項1~4のいずれか1項に記載のGaN積層体。
- GaN単結晶で構成され、主面に対して最も近い低指数の結晶面がc面であるGaN基板を準備する工程と、
前記GaN基板の前記主面上に、HVPEにより厚さが10μm以上で30μm以下であるGaN層をエピタキシャル成長させる工程と、
を有し、
前記GaN層をエピタキシャル成長させる工程では、
成長温度を950℃以上1200℃以下とし、成長温度TgおよびV/III比の範囲を(V/III比)≦0.2Tg-189 、かつ、(V/III比)≧0.2Tg-209として、前記GaN層を成長させ、
前記GaN層の表面に、マクロステップと、マクロテラスと、が交互に並んだマクロステップ・テラス構造を形成し、
前記マクロステップおよび前記マクロテラスのうちの一方は、GaNの複数分子層以上の高さを有しm軸方向と直交する方向に延びたステップと、テラスと、が交互に並んだステップ・テラス構造を有し、
前記マクロステップおよび前記マクロテラスのうちの他方は、GaNの複数分子層以上の高さを有しa軸方向と直交する方向に延びたステップと、テラスと、が交互に並んだステップ・テラス構造を有する、GaN積層体の製造方法。 - 前記GaN層をエピタキシャル成長させる工程では、成長温度TgおよびV/III比の範囲を(V/III比)≦0.2Tg-189 、かつ、(V/III比)≧0.2Tg-199とする、請求項6に記載のGaN積層体の製造方法。
- 前記GaN層をエピタキシャル成長させる工程では、成長温度TgおよびV/III比の範囲を(V/III比)<0.2Tg-199、かつ、(V/III比)≧0.2Tg-209とする、請求項6に記載のGaN積層体の製造方法。
- 前記基板は、前記主面内に、前記主面の法線方向とc軸方向とのなす角であるオフ角の大きさが0.5°以下である領域を有する、請求項8に記載のGaN積層体の製造方法。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018037474A JP6998798B2 (ja) | 2018-03-02 | 2018-03-02 | GaN積層体およびその製造方法 |
US16/284,473 US10707309B2 (en) | 2018-03-02 | 2019-02-25 | GaN laminate and method of manufacturing the same |
CN201910153241.2A CN110219048B (zh) | 2018-03-02 | 2019-02-28 | GaN层叠体及其制造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018037474A JP6998798B2 (ja) | 2018-03-02 | 2018-03-02 | GaN積層体およびその製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2019151518A JP2019151518A (ja) | 2019-09-12 |
JP6998798B2 true JP6998798B2 (ja) | 2022-01-18 |
Family
ID=67767757
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018037474A Active JP6998798B2 (ja) | 2018-03-02 | 2018-03-02 | GaN積層体およびその製造方法 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US10707309B2 (ja) |
JP (1) | JP6998798B2 (ja) |
CN (1) | CN110219048B (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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JP2017100936A (ja) | 2015-11-25 | 2017-06-08 | 株式会社サイオクス | 結晶成長用基板、窒化物結晶基板および窒化物結晶基板の製造方法 |
WO2017154701A1 (ja) | 2016-03-08 | 2017-09-14 | 株式会社サイオクス | 窒化物結晶基板 |
Family Cites Families (14)
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-
2018
- 2018-03-02 JP JP2018037474A patent/JP6998798B2/ja active Active
-
2019
- 2019-02-25 US US16/284,473 patent/US10707309B2/en active Active
- 2019-02-28 CN CN201910153241.2A patent/CN110219048B/zh active Active
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US10707309B2 (en) | 2020-07-07 |
US20190273138A1 (en) | 2019-09-05 |
JP2019151518A (ja) | 2019-09-12 |
CN110219048B (zh) | 2021-10-15 |
CN110219048A (zh) | 2019-09-10 |
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A621 | Written request for application examination |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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