JP4992428B2 - めっき方法及びめっき装置 - Google Patents
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Description
特開2002−47594は、樹脂絶縁層と導体回路とを順次積層し、導体回路間をバイアホールで接続する多層プリント配線板を作製するのに用いられるめっき液とプリント配線板の製造方法を開示し、50〜300g/lの硫酸銅、30〜200g/lの硫酸、25〜90mg/lの塩素イオン、および、少なくともレベリング剤と光沢剤とからなる1〜1000mg/lの添加剤を含有する電解めっき液に基板を浸漬して電解めっきするとで、バイアホールの上面と導体回路の上面とが略同一になるバイアホール(フィルドビア)が得られるとしている。
さらに、バイアホール径が150μm以下で形成された場合や隣り合うバイアホール間の距離が狭ピッチとなった場合には、フィルドビアの深い凹みが形成される傾向が顕著に現れた。
この場合でも貫通孔内のめっき液が不均一になったり、めっき膜の成長が止まり、めっき膜の形成がない部分があったりすることがあった。そのために、形成されるめっき膜の形状が所望のものではなく、めっき膜の厚みの不均一により貫通孔内の回路が変形したりするため、電気特性が低下したり、回路が断線等の損傷したりするために、電気接続性を低下させることがあった。
ここで言う実質的平坦なフィルドビアとは、ビア上にビアを形成するスタックビア構造にても、ヒートサイクル試験後の電気接続信頼性が(−55度×5分⇔125度×5分を1000回)問題ないレベル(ヒートサイクル試験前の抵抗値に対する抵抗変化率が±10%以内)であることを言う。
また、スルーホールなどの貫通孔にもめっき膜の均一性と表層の平坦性に優れるめっき装置とめっき方法を提案する。
なお、これらは、プリント配線板以外にも被めっきに対して、凹部を充填させるためや孔への膜を形成させるためのめっき装置、めっき方法としても用いることが可能である。
従来は、被めっき物をめっき液に浸漬させているだけであった。そのために、めっき膜形成中の液流バラツキや不規則に発生する気泡などを排除することができない。これにより、めっき膜の均一、特に、バイアホール周辺でのめっき膜の成長を均一にすることができなかった。また、めっき液組成の変化や不純物の蓄積により凹部へのめっき析出の促進が劣化した。そのために深い凹みを有するフィルドビアとなることがあった。その傾向はバイアホール径が小い(150μm以下)場合やバイアホール間が峡ビッチピッチであった場合には、頻度が高くなる傾向にあった。
言い換えると、絶縁体などによりバイアホールもしくはスルーホール周辺において、不定期な液流が形成されないのである。そのために形成されためっき膜の内部結晶構造が整列される。従来に比べると、めっき膜内部での内部抵抗を低減することができるのである。そのために、電気接続性が向上されるし、高温高湿下やヒートサイクル条件下の信頼性試験を行っても、従来と比べ、長期に渡り信頼性が確保されやすくなるのである。これはスルーホールにおいても同様の傾向がみられた。
これ以外にも絶縁体の移動速度、絶縁体の大きさ、被めっき面に対する絶縁体の接触割合などを調整することで、所望の結果を得ることができる。
まず、図9を参照して本発明の実施例1−1−1に係るめっき装置の構成について説明する。
めっき装置10は、めっき液14を満たしためっき槽12と、めっき液14を循環させるための循環装置16と、プリント配線板30の表面側のめっき面に当接する多孔質樹脂(スポンジ)から成る絶縁体20Aと、裏面側のめっき面に当接するスポンジから成る絶縁体20Bと、絶縁体20A、20Bを昇降桿22を介してプリント配線板30に沿って上下動させる昇降装置24とから成る。
図6は、多層プリント配線板の構成を示す断面図である。多層プリント配線板では、コア基板30の表面及び裏面に導体回路34が形成されている。更に、該導体回路34の上にバイアホール60及び導体回路58の形成された層間樹脂絶縁層50と、バイアホール160及び導体回路158の形成された層間樹脂絶縁層150とが配設されている。該バイアホール160及び導体回路158の上層にはソルダーレジスト層70が形成されており、該ソルダーレジスト層70の開口部71を介して、バイアホール160及び導体回路158にバンプ76U、76Dが形成されている。
A.層間樹脂絶縁層の樹脂フィルムの作製
ビスフェノールA型エポキシ樹脂(エポキシ当量469、油化シェルエポキシ社製エピコート1001)30重量部、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂(エポキシ当量215、大日本インキ化学工業社製 エピクロンN−673)40重量部、トリアジン構造含有フェノールノボラック樹脂(フェノール性水酸基当量120、大日本インキ化学工業社製 フェノライトKA−7052)30重量部をエチルジグリコールアセテート20重量部、ソルベントナフサ20重量部に攪拌しながら加熱溶解させ、そこへ末端エポキシ化ポリブタジエンゴム(ナガセ化成工業社製 デナレックスR−45EPT)15重量部と2−フェニル−4、5−ビス(ヒドロキシメチル)イミダゾール粉砕品1.5重量部、微粉砕シリカ2重量部、シリコン系消泡剤0.5重量部を添加しエポキシ樹脂組成物を調製した。
得られたエポキシ樹脂組成物を厚さ38μmのPETフィルム上に乾燥後の厚さが50μmとなるようにロールコーターを用いて塗布した後、80〜120℃で10分間乾燥させることにより、層間樹脂絶縁層用樹脂フィルムを作製した。
ビスフェノールF型エポキシモノマー(油化シェル社製、分子量:310YL983U)100重量部、表面にシランカップリング剤がコーティングされた平均粒径が1.6μmで、最大粒子の直径が15μm以下のSiO2 球状粒子(アドテック社製、CRS 1101−CE)170重量部およびレベリング剤(サンノプコ社製 ペレノールS4)1.5重量部を容器にとり、攪拌混合することにより、その粘度が23±1℃で44〜49Pa・sの樹脂充填材を調製した。
なお、硬化剤として、イミダゾール硬化剤(四国化成社製、2E4MZ−CN)6.5重量部を用いた。
(1)厚さ0.8mmのガラスエポキシ樹脂またはBT(ビスマレイミドトリアジン)樹脂からなる絶縁性基板30の両面に18μmの銅箔32がラミネートされている銅張積層板30Aを出発材料とした(図1(A))。まず、この銅張積層板をドリル削孔し、無電解めっき処理を施し、パターン状にエッチングすることにより、基板30の両面に下層導体回路34とスルーホール36を形成した(図1(B))。
即ち、スルーホールおよび下層導体回路非形成部に相当する部分が開口した版を有する樹脂充填用マスクを基板上に載置し、スキージを用いてスルーホール内、凹部となっている下層導体回路非形成部、および、下層導体回路の外縁部に樹脂充填材40を充填し、100℃/20分の条件で乾燥させた。
次いで、100℃で1時間、150℃で1時間の加熱処理を行って樹脂充填材40を硬化した。
エッチング液としては、イミダゾール銅(II)錯体10重量部、グリコール酸7重量部、塩化カリウム5重量部からなるエッチング液(メック社製、メックエッチボンド)を使用した。
さらに、粗面化処理(粗化深さ3μm)した該基板の表面30に、パラジウム触媒を付与することにより、層間樹脂絶縁層50の表面およびバイアホール用開口50aの内壁面に触媒核を付着させた(図示せず)。すなわち、上記基板を塩化パラジウム(PdCl2 )と塩化第一スズ(SnCl2 )とを含む触媒液中に浸漬し、パラジウム金属を析出させることにより触媒を付与した。
〔無電解めっき水溶液〕
NiSO4 0.003 mol/l
酒石酸 0.200 mol/l
硫酸銅 0.030 mol/l
HCHO 0.050 mol/l
NaOH 0.100 mol/l
α、α′−ビピリジル 100 mg/l
ポリエチレングリコール(PEG) 0.10 g/l
〔無電解めっき条件〕
34℃の液温度で40分
〔電解めっき液〕
硫酸 2.24 mol/l
硫酸銅 0.26 mol/l
添加剤 19.5 ml/l
レベリング剤 50 mg/l
光沢剤 50 mg/l
〔電解めっき条件〕
電流密度 1 A/dm2
時間 65 分
温度 22±2 ℃
なお、粘度測定は、B型粘度計(東京計器社製、DVL−B型)で60min-1の場合はローターNo.4、6min-1の場合はローターNo.3によった。
そして、さらに、80℃で1時間、100℃で1時間、120℃で1時間、150℃で3時間の条件でそれぞれ加熱処理を行ってソルダーレジスト層を硬化させ、開口を有し、その厚さが20μmのソルダーレジストパターン層70を形成した。上記ソルダーレジスト組成物としては、市販のソルダーレジスト組成物を使用することもできる。
図3を参照して上述した工程では、無電解めっき膜52の上にめっきレジスト54を設け、めっきレジスト非形成部に電解めっき膜56を形成した。これに対して、図7の工程では、無電解めっき膜52の全面に電解めっき膜56を形成する。
〔電解めっき液〕
硫酸 2.24 mol/l
硫酸銅 0.26 mol/l
添加剤 19.5 ml/l
レベリング剤 50 mg/l
光沢剤 50 mg/l
〔電解めっき条件〕
電流密度 1 A/dm2
時間 65 分
温度 22±2 ℃
図3を参照して上述した例では、めっき装置10を用いてフィルドビア60を製造した。これに対して、別例では、スルーホールを形成する。
図10は、実施例1−2−1に係るめっき装置10を示している。図9を参照して上述した実施例1−1−1では、絶縁体20A、20Bが、プリント配線板30の一部にのみ接する構造となっていた。これに対して、実施例1−2−1では、絶縁体20A、20Bが、プリント配線板30の全面に接しながら、上下に摺動する構成となっている。このとき、絶縁体の移動速度6m/min、絶縁体のプリント配線板に対する大きさ1.2、プリント配線板に対する絶縁体の接触割合1.0、絶縁体の圧力は押し込み量で8mmであった。
図9を参照して上述した実施例1−1−1のめっき装置では、絶縁体20A、20Bを多孔性樹脂で構成した。これに対して、実施例2−1−1では、絶縁体20A、20Bを多孔性セラミック(SiC)で構成し、このとき、絶縁体の移動速度5m/min、絶縁体のプリント配線板に対する大きさ0.9、プリント配線板に対する絶縁体の接触割合0.5、絶縁体の圧力は押し込み圧40g/cm2で電解めっき膜を形成した。
実施例2−2−1では、実施例2−1−1において、めっき装置が、絶縁体の移動速度7m/min、絶縁体のプリント配線板に対する大きさ1.20、プリント配線板に対する絶縁体の接触割合1.0、絶縁体の圧力は押し込み圧40g/cm2で電解めっき膜を形成した。
図9を参照して上述した実施例1−1−1のめっき装置では、絶縁体20A、20Bを多孔性樹脂で構成した。これに対して、実施例3−1−1では、絶縁体20A、20Bをプリント配線板側に毛の先端が当接するPVC(塩化ビニール)製のブラシで構成し、このとき、絶縁体の移動速度6m/min、絶縁体のプリント配線板に対する大きさ0.9、プリント配線板に対する絶縁体の接触割合0.75、絶縁体の圧力は押し込み量で2mmで電解めっき膜を形成した。
実施例3−2−1では、実施例3−1−1において、めっき装置が、絶縁体の移動速度6m/min、絶縁体のプリント配線板に対する大きさ1.0、プリント配線板に対する絶縁体の接触割合0.75、絶縁体の圧力は押し込み量で2mmで電解めっき膜を形成した。
図9を参照して上述した実施例1−1−1のめっき装置では、絶縁体20A、20Bを多孔性樹脂で構成した。これに対して、実施例4−1−1では、絶縁体20A、20Bを塩化ビニール織布で構成し、このとき、絶縁体の移動速度7m/min、絶縁体のプリント配線板に対する大きさ1.0、プリント配線板に対する絶縁体の接触割合1.0、絶縁体の圧力は押し込み量で8mmで電解めっき膜を形成した。
実施例4−2−1では、実施例4−1−1において、めっき装置が、絶縁体の移動速度7m/min、絶縁体のプリント配線板に対する大きさ1.2、プリント配線板に対する絶縁体の接触割合1.0、絶縁体の圧力は押し込み量で8mmで電解めっき膜を形成した。
図9を参照して上述した実施例1−1−1のめっき装置では、絶縁体20A、20Bを多孔性樹脂で構成した。これに対して、実施例5−1−1では、絶縁体20A、20Bをゴムで作成した板状体で構成し、このとき、絶縁体の移動速度5m/min、絶縁体のプリント配線板に対する大きさ0.90、プリント配線板に対する絶縁体の接触割合0.5、絶縁体の圧力は押し込み量1.0mmで電解めっき膜を形成した。
実施例5−2−1では、実施例5−1−1において、めっき装置が、絶縁体の移動速度7m/min、絶縁体のプリント配線板に対する大きさ1.1、プリント配線板に対する絶縁体の接触割合1.05、絶縁体の圧力は押し込み量1.0mmで電解めっき膜を形成した。
[比較例]
実施例1−1−1の電解銅めっき工程において、絶縁体20A、20Bを用いないでめっきした。それ以外は実施例1−1−1と同様である。
実施例1−1−1〜実施例5−2−1、及び、従来技術のめっき装置を用いてフィルドビアを形成して評価を行った結果(比較例)について図12中に示す。
ここで、評価として(1) 穴埋めの状態(ここで、フィルドビアの表面に深い凹部(導体回路58の表面からフィルドビアの凹部の下端までの深さ(図15(C)参照)が10μm以上のフィルドビア)が無い物を○、有る物を×とした)、(2)物性値(図11(E)を参照して上述したように銅結晶が綺麗に整列している物を○、図15(B)を参照して上述したように綺麗に整列していない物を×とした) (3) 抵抗値(ビア上にビアを形成したスタックビアを含む特定回路の抵抗値を測定し、許容値以内の物を○、許容値を超える物を×とた)(4)ヒートサイクル試験(条件:−55℃×5分⇔125℃×5分、回数:1000回、規格:(3)の特定回路の試験後の抵抗率変化が±10%以内の物を○、それ以外を×とした。*抵抗変化率=(試験後の特定回路の抵抗値―試験前の特定回路の抵抗値)/試験前の特定回路の抵抗値×100)。
また、本願発明のめっき装置及びめっき方法によれば、スタックビア構造(ビアの直上にビアを形成した構造)を含む回路の抵抗値を許容値に収め、ヒートサイクルに対しても高い信頼性を有することが明らかになった。これは、めっき液やめっき条件が多少変化したとしても、絶縁体があるため、絶縁体と接触するまで、めっき膜が成長するので、実質的平坦なフィルドビアになると推察している。ここで言う実質的平坦なフィルドビアとは、スタックビア構造を含む回路の抵抗値がヒートサイクル試験1000サイクル後でも、その抵抗変化率((ヒートサイクル試験後の抵抗値―初期値)/初期値*100)が±10%以内に収まる程度のフィルドビアである。実施例の結果から、マージンを考えると、実質的平坦なフィルドビアは、凹部の深さ(図15(C))が例えば7μm以下のバイアホールを言う。
Claims (11)
- 非貫通孔もしくは貫通孔が施された基板の被めっき面に絶縁体を接触あるいは部分的に接触させ、被めっき面に対して絶縁体を移動させながら電解めっきを行い被めっき面の表面に金属を形成するめっき方法であって:
前記絶縁体の移動速度が1.0〜8.0m/minであり;
絶縁体の移動方向の大きさは、被めっき面の移動方向の長さを1とすると0.2以上であり;
前記絶縁体の基板への接触割合は、絶縁体の接触面積と絶縁体の全面積との割合で0.25:1〜1:1であることを特徴とするめっき方法。 - 前記被めっき面は、平板状のプリント配線板のめっき面であることを特徴とする請求項1に記載のめっき方法。
- 前記絶縁体は平板状である請求項2に記載のめっき方法。
- 前記電解めっきによりバイアホールもしくはスルーホールにめっき膜を形成することを特徴とする請求項1に記載のめっき方法。
- 前記絶縁体として、長繊維、多孔質、繊維状の樹脂、ゴムのいずれかで選ばれるものを用いる請求項1に記載のめっき方法。
- 前記多孔質として多孔質セラミック又は多孔質樹脂を用いる請求項5に記載のめっき方法。
- 前記長繊維として樹脂ブラシを用いる請求項5に記載のめっき方法。
- 前記繊維状として樹脂繊維を用いる請求項5に記載のめっき方法。
- 前記絶縁体を前記被めっき面に対して摺動させることを特徴とする請求項1〜請求項4のいずれか1のめっき方法。
- 以下のA〜Cを含むことを特徴とするめっき方法:
A; 基板の被めっき面に絶縁体の少なくとも一部を接触させ;
B; 被めっき面と前記絶縁体を相対的に移動させることであって、
前記絶縁体の移動速度が1.0〜8.0m/minであり;
絶縁体の移動方向の大きさは、被めっき面の移動方向の長さを1とすると0.2以上であり;
前記絶縁体の基板への接触割合は、絶縁体の接触面積と絶縁体の全面積との割合で0.25:1〜1:1である;
C; 被めっき面にめっき膜を形成すること。 - 請求項1〜請求項10のいずれか1の方法を用いるめっき装置。
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