JP6637847B2 - 配線基板、配線基板の製造方法 - Google Patents
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Description
なお、添付図面は、便宜上、特徴を分かりやすくするために特徴となる部分を拡大して示している場合があり、各構成要素の寸法比率などが実際と同じであるとは限らない。また、断面図では、各部材の断面構造を分かりやすくするために、一部の部材のハッチングを梨地模様に代えて示し、一部の部材のハッチングを省略している。
リジッド基板11は、コア基板20、配線層31、絶縁層32、配線層33、保護層34、表面処理層35、配線層41、絶縁層42、配線層43、保護層44、表面処理層45を有している。
基材61は、可撓性を有している。基材61としては、例えば、ポリイミド樹脂やポリエステル樹脂等の樹脂、液晶ポリマ、等を用いたフレキシブルなフィルム状基板を用いることができる。基材61の厚さは、例えば25〜30μm(ミクロン)とすることができる。
なお、各図の説明に必要な部材について符号を付し、説明しない部材については符号を省略する場合がある。また、説明の便宜上、最終的に半導体装置の各構成要素となる部分には、最終的な構成要素の符号を付して説明する場合がある。
図2(a)に示す工程では、基材61を用意する。基材61としては、厚さが25〜30μmの絶縁樹脂からなるフィルム(例えば、ポリイミドフィルム)が用いられる。基材61の上下面にはそれぞれ接着剤層62,63が形成される。接着剤層62,63は、半硬化状態のエポキシ樹脂等の接着剤により形成される。
詳述すると、先ず、図2(c)に示す金属層64の上面に、所望の位置に開口部を有するエッチングマスク(図示略)を形成する。開口部は、形成する配線層の形状に応じて形成される。この際、貫通孔65の上端の開口は、エッチングマスクにより被覆される。同様に、貫通孔65の下端の開口は、図示しない保護膜(例えばレジスト膜)により被覆される。
図3に示す工程では、リジッド基板11を用意する。このリジッド基板11は、コア基板20に対して、上下両面に例えばビルドアップ法により形成された配線構造を有している。
図6に示す工程では、リジッド基板11の上面に、フレキシブル基板51,52を配置する。なお、フレキシブル基板52は、フレキシブル基板51と同様の工程により形成されている。そして、熱硬化処理を行い、接着剤層63によりフレキシブル基板51,52をリジッド基板11に接着する。
図9に示す工程では、図8に示す金属層33,43をパターニングして配線層33,43を形成する。なお、この工程では、金属層33について、貫通配線66の形成時に電解めっきのための給電部分(図4(b)に示す給電部333)をパターニングする。例えば、金属層33,43の表面に、所望の位置に開口部を有するエッチングマスク(図示略)を形成する。エッチングマスクの材料としては、感光性の液状のフォトレジスト等を用いることができる。例えば、金属層33,43の表面に液状のフォトレジストを塗布し、そのフォトレジストに直接露光法によりパターニングしてエッチングマスクを形成する。次に、エッチングマスクの開口部から金属層33,43にエッチングを施し、配線層33,43を形成する。そして、エッチングマスクを例えばアルカリ性の剥離液により除去する。なお、このエッチング処理において、フレキシブル基板51,52の配線層64と貫通配線66は、図示しない保護膜(例えばレジスト膜)により被覆され、エッチング処理から保護される。
配線基板は、リジッド基板11,12と、リジッド基板11,12に接続されたフレキシブル基板51,52を有している。リジッド基板11,12は、上面側に形成された配線層33を有している。フレキシブル基板51,52はそれぞれ、可撓性を有する基材61と、基材61の上面に接着剤層62を介して配設された配線層64を有している。
(1)配線基板は、リジッド基板11,12と、リジッド基板11,12に接続されたフレキシブル基板51,52を有している。フレキシブル基板51には、基材61と配線層64とを貫通する貫通孔65が形成され、その貫通孔65には貫通配線66が形成されている。貫通配線66は、リジッド基板11の配線層33の上面に接続されている。また、貫通配線66は、フレキシブル基板51の配線層64の上面64aから突出する突出部66Tを有し、その突出部66Tは、貫通孔65の外側に位置する配線層64の上面64aに延在している。
・上記実施形態に対し、リジッド基板11,12に含まれる配線層や絶縁層の層数を適宜変更してもよい。また、フレキシブル基板51,52に含まれる配線層の層数を適宜変更してもよい。
・上記実施形態において、フレキシブル基板51,52をリジッド基板11に接着した後、フレキシブル基板に貫通孔65を形成してもよい。この場合、レーザ装置等を用いて貫通孔65を形成することができる。
33 配線層(第1配線層)
51,52 フレキシブル基板
61 基材
62 接着剤層(第1接着剤層)
63 接着剤層(第2接着剤層)
64 配線層(第2配線層)
65 貫通孔
66 貫通配線
66T 突出部
Claims (9)
- 上面側に設けられた第1配線層を有するリジッド基板と、
前記第1配線層の上面側に配置された可撓性を有する基材と、前記基材の上面に形成された第2配線層と、前記第2配線層と前記基材とを貫通する貫通孔に形成され前記第1配線層の上面に接続された貫通配線と、を有するフレキシブル基板と、を有し、
前記貫通配線は、前記貫通孔内に充填されためっき金属よりなり、
前記貫通配線は、前記第2配線層の上面から突出する突出部を有し、
前記貫通配線の前記突出部の側の前記貫通孔の端部において、前記第2配線層の上面の縁部は、丸みを帯びて形成され、
前記突出部は、前記貫通孔の外周側に位置する前記第2配線層の上面に延在していること、を特徴とする配線基板。 - 前記フレキシブル基板は、前記基材の上面に形成され前記第2配線層を前記基材に接着する第1接着剤層と、前記基材の下面に形成された第2接着剤層とを有し、
前記基材は、前記第2接着剤層により前記第1配線層の上面に接着され、
前記貫通配線は、前記第2配線層と前記第1接着剤層と前記基材と前記第2接着剤層とを貫通して前記第1配線層に接続されていること、を特徴とする請求項1に記載の配線基板。 - 前記貫通配線は、銅又は銅合金よりなることを特徴とする請求項1又は2に記載の配線基板。
- 前記貫通配線の側面上部は、前記貫通孔の内部に露出する前記第2配線層の側面に直接接合し、
前記貫通配線の側面は、前記貫通孔の内部に露出する前記基材の側面に接触し、
前記貫通孔の下端は、前記第1配線層に直接接合していること、
を特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載の配線基板。 - 可撓性を有する基材と、前記基材の上面に形成された第2配線層と、前記第2配線層と前記基材とを貫通する貫通孔とを有するフレキシブル基板を形成する工程と、
上面側に金属層を有するリジッド基板を形成する工程と、
前記リジッド基板の前記金属層の上面に、前記フレキシブル基板を接着する工程と、
前記金属層を給電電極とする電解めっき法により、前記貫通孔に充填され前記第2配線層の上面から突出するとともに前記第2配線層の上面に延在する突出部を有する貫通配線を形成する工程と、
前記金属層をパターニングして第1配線層を形成する工程と、
を有する配線基板の製造方法。 - 前記貫通孔を前記第2配線層の上面側から行う打ち抜き加工により形成し、前記第2配線層の上面側の前記貫通孔の端部において、前記第2配線層の縁部を、丸みを帯びた形状としたこと、を特徴とする請求項5に記載の配線基板の製造方法。
- 前記貫通配線を形成する工程において、前記第2配線層を覆い前記貫通孔の縁部を露出する開口部を有するめっきマスクを形成し、前記めっきマスクの前記開口部から前記貫通孔に電解めっきを施して前記貫通配線を形成するようにしたこと、を特徴とする請求項5又は6に記載の配線基板の製造方法。
- 前記貫通配線は、銅又は銅合金よりなることを特徴とする請求項5〜7のいずれか1項に記載の配線基板の製造方法。
- 前記貫通配線の側面上部は、前記貫通孔の内部に露出する前記第2配線層の側面に直接接合し、
前記貫通配線の側面は、前記貫通孔の内部に露出する前記基材の側面に接触し、
前記貫通配線の下端は、前記第1配線層に直接接合していること、
を特徴とする請求項5〜8のいずれか1項に記載の配線基板の製造方法。
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