JP3221827B2 - 補償要素付き成形装置 - Google Patents

補償要素付き成形装置

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Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、請求項１の前提項
に開示された成形装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】この成形装置は、日本国の特開平０５−
２１８５０８号によって既に知られている。この発明に
よる成形装置には、押圧部品が設けられ、上記押圧部品
は、半導体デバイスを保持する基板上の配線パターンに
浮遊自在に押圧される。押圧部品はスプリングによって
上記基板に付勢される。上記押圧部品とスプリングと
は、成形装置の金型内で一体になっている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】この装置によって、正
確には分からない厚みを持つ基板を加工することができ
るが、押圧部品の締付力はこの厚みに依存するために、
この加工は充分に制御されない。
【０００４】本発明の目的は、キャリアの厚み変化が制
御可能に補償される平坦なキャリア上にチップを成形す
るための成形装置を提供することである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】この目的に対して、本発
明は請求項１に開示された成形装置を提供する。この装
置を使用することにより、厚みが変化するキャリアを、
制御された状態で加工できる。梁（ビーム）を変位させ
ることによって、キャリアの厚みに無関係に、キャリア
上に作用する力を調整できる。これによって、安価なキ
ャリアの使用が可能になるばかりでなく、比較的大きい
許容差のキャリア材の使用も可能になる。これによっ
て、例えば、キャリアとしてプリント回路基板材を使用
することが可能になる。
【０００６】補償要素は、好ましくはキャビティから離
れたキャリアの側に存在する。ここで、補償要素は、成
形材料用の供給ランナーからある距離を置いて存在し、
これによって両者間には相互作用が生じない。
【０００７】
【発明の実施の形態】以下、本発明の成形装置を、次の
図に示される非限定的な実施の形態を参照して、更に詳
細に説明する。本発明の成形装置を説明する前に、本発
明の理解を容易にするために、参考例（本発明ではな
い）について説明する。
【０００８】図１は、キャリア４が２つの型部品２と３
の間に収容される参考例としての成形装置１を示し、成
形用のチップ(この図面では示されていない)がキャリア
上に配置される。上型部品３内にはキャビティ５が配置
され、このキャビティ５内には、プランジャー６を使用
して成形材料７に圧力を加えることにより、ランナー８
を通って被覆要素９が配置される。型部品２と３の間の
分割部１０において成形材料７が外部に漏れるのを防止
する為に、鋳型の半部分２と３は正確に連結しなければ
ならない。このために、型部品２と３は予め決められた
力Ｆで互いに押し付けられる。今また、キャリア４が、
型部品２と３の間で動くことなく、即ちキャリア４の厚
さの違いにかかわらず密封されることを保証するため
に、補償要素はスプリングリング１１の形で下型部品２
内に配置される。このスプリングリング１１は、上型部
品３の外周縁１２に向けてキャリア４を押す。
【０００９】図２は、別の参考例としての成形装置１３
を示し、この成形装置１３の下型部品１４には、キャビ
ティ１５と、これに連結するとともに、成形材料のため
の供給装置１７に続いて接続されるランナー１６とが設
けられている。上型部品１８は、相互に可動な２つのセ
グメント１９,２０から成る。セグメント１９,２０は、
スプリング２１を介して相互に連結される。型部品１
４,１８は、キャリア２２の厚さにかかわらず供給装置
１７の近傍で互いに正確に閉鎖する。セグメント２０に
よって矢印Ｐの如くキャリア２２上に加わる力は、スプ
リング２１のばね定数に依存する。このようにして、ス
プリング２１は、キャリア２２がどんな力でもって下型
部品１４に向けて押し付けられるかを決定する。上記ス
プリングがなければ、上記力はキャリアの厚さに依存し
なければならないが、キャリア２２の厚さは、成形材料
のための供給装置１７の近傍での型部品１４,１８の連
結に何ら影響を与えないのである。
【００１０】図３は、参考例としての成形装置２３を示
し、この図では、前図と同様、キャビティ１５が下型部
品１４に設けられ、このキャビティの外周縁２４に向け
てキャリア２２が押し付けられる。キャリア２２と上型
部品２５との間には、弾性材料２６の層が配置される。
ここに、弾性材料２６の層は、キャリア２２の厚さの差
に対する上述の補償要素となる。弾性材料２６の層は、
上型部品２５に固定して連結されるか、キャリア２２と
上型部品２５との間に別々に配置されるか、あるいは図
４に示されるようにキャリア２２に固定されることがで
きる。
【００１１】図４は、参考例として、成形用チップから
離れた側に取外し可能な弾性材料２６の層が設けられて
いるキャリア２７を示す。成形されたチップの後の作業
のために非常に重要である接点２８を弾性材料２６の層
が覆うので、弾性材料２６の層は、成形後に取り外し可
能でなければならない。この参考例の付加的な利点は、
接点２８が成形作業中に弾性材料２６の層によって保護
されるということである。
【００１２】図５は、図２に示された成形装置１３に類
似した参考例としての成形装置２９を示し、ここで上型
部品１８は、スプリング３２,３３を介して総て中央保
持板３４に連結される幾つかのセグメント３０,３１か
ら成る。
【００１３】次に、本発明の実施の形態について図６を
用いて説明する。図６は、本発明のクランプ装置付きの
成形装置の部分切取り斜視図である。図６において、成
形装置３５内では、キャリア２２が２つの成形部品１
４,１９の間に収容されている。上記キャリア２２に
は、成形されるチップ（この図では図示せず）が配置さ
れている。下部型部品には、モールドキャリア１５が配
置され、モールドキャリア１５内では、プランジャ１７
を用いて成形材料７に圧力を作用させることによって、
ランナー１６を通って被覆要素が配置される。型部品１
４,１７の間の分割線において、成形材料が外部に漏れ
るのを防止するために、モールド半体１４,１７は正確
に接合されなければならない。このために、モールド半
体１４,１７は、予め決められた力で互いに押圧され
る。キャリア２２の厚みに関係なく、キャリア２２を上
記モールド半体１４,１７の間で移動不可能に包囲する
ことを確実にするために、補償要素３７はクランプ装置
という形態で上部型部品１９内に配置される。この補償
要素３７は、キャリアを下部型部品１４の周縁部２４に
押圧する。
【００１４】上記型部品１９のセグメント３６は、保持
板３４にクランプ装置３７を挿間させて接続される。梁
３８を矢印Ｔの方向に変位させることによって、上記セ
グメント３６は、保持板３４に対してさらに下方に付勢
される。矢印Ｔの方向に作用する力に依って、セグメン
ト３６がキャリア２２に作用する力を変化させることが
できる。ここに示された梁３８は楔形の要素を有する。
この好ましい実施例では、セグメント３６をキャリア２
２と接触させた後に、型部品１４にセグメント１９を最
終的に接触させるために、型部品１４とセグメント１９
を互いに短い距離内に移動させることができる。
【００１５】図７は、本発明ではないが、理解を容易に
する参考例としての成形装置３９を示し、ここでセグメ
ント４０は上型部品４１の一部を形成する。セグメント
４０は、それが１つの縁に沿ってキャリア２２と嵌合す
るのみというような形状を有する。これは、比較的厚い
キャリア２２の場合に、キャリア２２の上記縁上のクラ
ンプ力が大きくなり過ぎるのを防止する。保持板３４に
固定して連結された中間セグメント４２は、キャリア２
２の厚さに依存しない圧力を加える。しかし、中間セグ
メント４２がキャリア２２に圧力を及ぼす領域において
は、キャリアはより感受性が低く、従ってこの領域の大
きなクランプ力に耐えることができる。この参考例の利
点は、成形材料によって加わる圧力がセグメント４０に
よって加わる圧力にあまり影響を及ぼさないということ
である。
【図面の簡単な説明】
【図１】参考例としての稼動状況におけるスプリングリ
ング付きの成形装置の断面図である。
【図２】参考例としてのスプリングによって支持された
セグメント付きの成形装置の部分的に破断された斜視図
である。
【図３】参考例としての弾性細片付きの成形装置の部分
的に切断された斜視図である。
【図４】参考例としての弾性細片が固定された成形チッ
プ付きのキャリアの部分的に切断された斜視図である。
【図５】参考例としての図１に示された成形装置の代替
品の部分的に切断された斜視図である。
【図６】本発明のクランプ装置付きの成形装置の部分的
に切断された斜視図である。
【図７】参考例としての縦断面の形での補償要素付きの
成形装置図を示す図である。
【符号の説明】
１,１３,２３,２９,３５,３９…成形装置、 ２,１４…
下型部品、 ３,１８,２５,４１…上型部品、 ４,２２,２７…キャ
リア、 ５,１５…キャビティ、 ７…成形材料、 ８,１６…ラ
ンナー、 １２,２４…外周縁、 ２１,３２,３３…スプリング、
２６…弾性材料、 ３７…クランプ装置。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ // Ｂ２２Ｄ 17/22 Ｂ２２Ｄ 17/22 Ｆ (72)発明者 ヘンドリクス・ヨハネス・ベルナルドゥ ス・ペータース オランダ、エヌエル−6942ヘーペー・デ ィダム、ハーフウェッヒ12番 (56)参考文献 特開 平５−218508（ＪＰ，Ａ) 実開 平５−62036（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) B29C 45/00 - 45/84 B29C 33/00 - 33/76 H01L 21/56

Claims (2)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 平坦なキャリア（２２）上にチップを型
    成形するための成形装置（３５）であって、 ２つの型部品（１４,１９）によって形成された鋳型を
    備え、上記２つの型部品（１４,１９）は互いに移動可
    能であると共に、上記２つの型部品（１４,１９）の間
    に上記キャリア（２２）が収容され得て、上記２つの型
    部品（１４,１９）の内の一方の型部品（１４）には鋳
    型キャビティ（１５）が設けられ、上記鋳型キャビティ
    （１５）の外周縁（２４）には上記キャリア（２２）が
    押し付けられ、 成形材料（７）のための少なくとも１つのキャビティ
    （１５）に圧力を加えるための手段（１７）を備え、上
    記手段（１７）は上記鋳型内に配置されると共にランナ
    ー（１６）を介して上記キャビティ（１５）に接続さ
    れ、 上記２つの型部品（１４,１９）の閉鎖位置において、
    上記キャリア（２２）の一方の側を上記鋳型キャビティ
    （１５）の外周縁（２４）に対して密封して保持する少
    なくとも１つの補償要素（３７）を備えた上記成形装置
    （３５）において、 上記補償要素（３７）は、上記成形装置（３５）に固定
    して取付けられた保持板（３４）と、上記保持板（３
    ４）と上記キャリア（２２）との間に挿間された少なく
    とも１つの楔形要素を有する変位可能な梁（３８）と、
    上記梁（３８）と上記キャリア（２２）との間に挿間さ
    れた鋳型セグメント（３６）とを備えて、上記梁（３
    ８）の変位が、上記キャリア（２２）に作用する上記セ
    グメント（３６）の力を変化させることを特徴とする成
    形装置。
  2. 【請求項２】 請求項１に記載の成形装置（３５）にお
    いて、 上記補償要素（３７）を収容する上記型部品（１９）
    は、上記鋳型キャビティ（１５）を備えた上記型部品
    （１４）と対向していることを特徴とする成形装置。
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