DE69632095T2 - Giessvorrichtung mit Kompensationselement - Google Patents

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Description

  • Die Erfindung bezieht sich auf eine Gießvorrichtung, gemäß dem Oberbegriff von Anspruch 1.
  • Solch eine Gießvorrichtung ist aus der japanischen Patentschrift JP 05 218508 bekannt. Die Gießvorrichtung nach diesem Patent ist mit Druckteilen ausgestattet, die im leicht bewegbaren Zustand gegen die Verdrahtung auf einem Substrat gepresst werden, das eine Halbleitervorrichtung trägt. Die Druckteile werden durch Federn auf das Substrat gedrückt. Die Druckteile und die Federn sind in eine Pressform der Gießvorrichtung integriert. Auch wenn Substrate mit einer Dicke, die nicht genau bekannt ist, mit solch einer Vorrichtung bearbeitet werden können, wird diese Bearbeitung nicht vollständig gesteuert, da die Klemmkraft der Druckteile von der Dicke abhängig ist.
  • Es ist die Aufgabe der vorliegenden Erfindung eine Gießvorrichtung zum Einkapseln eines Chips auf einem flachen Träger vorzustellen, dessen Abweichungen in der Dicke des Trägers gesteuert kompensiert werden können.
  • Die vorliegende Erfindung stellt zu diesem Zweck eine Gießvorrichtung gemäß Anspruch 1 vor. Die Verwendung dieser Gießvorrichtung ermöglicht ein gesteuertes Bearbeiten von Trägern von unterschiedlicher Dicke; durch die Verlagerung des Balkens kann die Kraft, die auf den Träger ausgeübt wird, unabhängig von der Dicke reguliert werden. Es wird hierdurch möglich, nicht nur weniger teure Träger zu verwenden, sondern auch Träger aus einem Material zu verwenden, das eine relativ große Toleranz bezüglich der Dicke aufweist. Dieses ermöglicht es beispielsweise, Leiterplatten-Material als Träger zu verwenden.
  • Die vorliegende Erfindung wird im Folgenden unter Bezugnahme auf die nicht-begrenzenden Ausführungsformen erklärt, die in den folgenden Figuren dargestellt werden. Es zeigen:
  • 1 nur als ein Beispiel zum besseren Verständnis der Erfindung, eine perspektivische Teilausschnitt-Ansicht einer Gießvorrichtung mit einem Segment, das durch Federn gestützt wird, und
  • 2 eine perspektivische Teilausschnitt-Ansicht einer Gießvorrichtung mit Klemmvorrichtung.
  • 1 zeigt eine Gießvorrichtung 13 nach dem bekannten Stand der Technik, in der ein unteres Formteil 14 mit einem Formhohlraum 15 und ein mit diesem in Verbindung stehender Angusskanal 16 vorgesehen ist, der dann mit einer Zufuhrvorrichtung 17 für Formmasse verbunden wird. Ein oberes Formteil 18 umfasst zwei Segmente 19, 20, die in Bezug zueinander beweglich sind. Die Segmente 19, 20 sind mit dazwischen angeordneten Federn 21 miteinander verbunden. Die Formteile 14, 18 passen präzise abschließend aufeinander, in der Nähe der Zufuhrvorrichtung 17, ungeachtet der Dicke eines Trägers 22. Die Kraft, die auf den Träger 22 durch das Segment 20 ausgeübt wird, entsprechend der Pfeile P, ist abhängig von den Federkonstanten der Federn 21. Die Federn 21 bestimmen somit, mit welcher Kraft der Träger 22 gegen das untere Formteil 14 gepresst wird, ohne dass dieses von der Dicke des Trägers 22 abhängig zu sein hat, wobei die Dicke des Trägers 22 auch keinen Einfluss hat auf die Verbindung der Formteile 14, 18 in der Nähe der Zufuhrvorrichtung 17 für Formmasse.
  • 2 zeigt eine Gießvorrichtung 35, in der ein Träger 22 zwischen zwei Formteilen 14, 18 aufgenommen wurde, wobei auf dem Träger 22 ein Chip zum Einkapseln (in dieser Figur nicht dargestellt) angeordnet ist. In einer Fläche (x) der unteren Formhälfte 14 ist ein Formhohlraum 15 angeordnet, in dem durch einen Angusskanal 16 ein Abdeckungselement verteilt werden kann, durch das Ausüben von Druck auf die Formmasse 7 unter Verwendung eines Druckkolbens 17. Um zu verhindern, dass Formmasse an der Trennfuge zwischen den Formteilen 14, 18 zur Außenseite austritt, müssen die Formteile 14, 18 präzise miteinander verbunden werden. Zu diesem Zweck werden die Formteile 14, 18 mit einer vorherbestimmten Kraft gegeneinander gepresst. Um jetzt sicherzustellen, dass der Träger 22 unbeweglich zwischen den Formteilen 14, 18 eingeschlossen ist, dass heißt ungeachtet der Unterschiede in der Dicke des Trägers 22, wird ein Kompensationselement 37 in der Form einer Spannvorrichtung in dem oberen Form teil 18 angeordnet. Dieses Kompensationselement 37 presst den Träger gegen eine Umfangskante 24 der Fläche (x) des unteren Formteils 14.
  • Ein Segment 36 des Formteils 18 ist mit einer Halteplatte 34 mit einer dazwischen angeordneten Spannvorrichtung 37 verbunden. Das Segment 36 wird in Bezug zur Halteplatte 34 durch eine Verlagerung eines Balkens 38, entsprechend des Pfeils T, weiter nach unten gedrückt. In Abhängigkeit von der Kraft, die in der Richtung des Pfeils T ausgeübt wird, ist es möglich, die Kraft zu variieren, die eine Fläche (y) des Segments 36 auf den Träger 22 ausübt. Die hier gezeigte Ausführungsform des Balkens 38 weist natürlich viele Alternativen auf. Als ein Beispiel sind hier keilförmige Elemente (z) vorgestellt. Mit dieser bevorzugten Ausführungsform ist es auch möglich, das Formteil 14 und das Segment 19 innerhalb eines kleinen, zwischen ihnen angeordneten Zwischenraumes zu bewegen, um die endgültige Verbindung des Segments 19 mit dem Formteil 14 zu bewirken, nachdem das Segment 36 bereits mit dem Träger 26 in Kontakt gebracht wurde.

Claims (1)

  1. Gießvorrichtung (35) zum Einkapseln eines Chips auf einem flachen Träger (22), bestehend aus: – einer Gießform, die ein erstes Formteil (14) und ein zweites Formteil (18) umfasst, wobei besagtes erstes und zweites Formteil (14, 18) relativ zueinander beweglich sind und zwischen welchen der Träger (22) aufgenommen werden kann; – einem Formhohlraum (15), der an der Fläche (x) des besagten ersten Formteils (14) vorgesehen ist, besagter Formhohlraum (15) besitzt Umfangskanten (24), gegen die der Träger (22) gepresst werden kann; – einer Zufuhrvorrichtung (17) zur Ausübung von Druck auf eine Formmasse (7), besagte Zufuhrvorrichtung (17) ist in einem der ersten und zweiten Formteile (14, 18) vorgesehen; – einem Angusskanal (16), der an der besagten Fläche (x) des besagten ersten Formteils (14) vorgesehen ist, besagter Angusskanal (16) verbindet besagte Zufuhrvorrichtung (17) mit besagtem Formhohlraum (15); – das zweite Formteil (18) umfasst ein erstes Segment (36), ein zweites Segment (19) und eine Halteplatte (34), besagtes erstes Segment (36) befindet sich zwischen besagter Fläche (x) des ersten Formteils (14) und besagter Halteplatte (34), besagtes erstes Segment (36) ist relativ zum zweiten Segment (19) beweglich und besitzt eine Segmentfläche (y), die der besagten Fläche (x) des besagten ersten Formteils (14) gegenübersteht; – einer Spannvorrichtung (37), die sich zwischen dem ersten Segment (35) und der besagten Halteplatte (34) befindet, besagte Spannvorrichtung (37) ist angepasst, um in einer geschlossenen Stellung der Formteile (14, 18) den Träger (22) dichtend gegen besagte Umfangskante (24) und besagte Segmentfläche (y) zusammenzuhalten; dadurch gekennzeichnet, dass besagte Spannvorrichtung (37) einen verschiebbaren Balken (38) umfasst, der eine Oberfläche mit einem keilförmigen Vorsprung (z) besitzt, besagter verschiebbarer Balken (38) befindet sich zwischen besagter Halteplatte (34) und besagtem ersten Segment (36), derart, dass ein Verschieben des besagten verschiebbaren Balkens (38) eine Kraft verändert, die besagtes Segment (36) auf den Träger (22) ausübt.
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