DE68926361T2 - Verfahren und Vorrichtung zur Aufbringung einer dünnen Schicht auf ein Substrat unter Druck - Google Patents

Verfahren und Vorrichtung zur Aufbringung einer dünnen Schicht auf ein Substrat unter Druck

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Description

    HINTERGRUND DER ERFINDUNG Gebiet der Erfindung
  • Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf die Technik des Klebens eines dünnen Films auf eine Basisplatte, und insbesondere bezieht sie sich auf die Technik, in der ein trockener Film, der aus einem lichtdurchlässigen Kunststoffilm und einer auf einer Seite des Kunststoffilms vorgesehenen photoempfindlichen Kunststoffschicht besteht, unter Druck auf eine Basisplatte, wie beispielsweise einen gedruckten Schaltkreis und ein elektronisches Schaltkreis-Substrat aus Silizium, Gallium-Arsenid oder ähnlichem, ohne daß eine Luftblase zwischen dem trockenen Film und der Basisplatte zurückbleibt und ohne daß der trockene Film wellig wird.
    • Beschreibung des Standes der Technik
  • Bei einer herkömmlichen Vorrichtung zum Kleben eines trockenen Films unter Druck auf eine Basisplatte, wie sie in der japanischen Patent-Veröffentlichung No. 13341/80 offenbart ist, werden die Basisplatte und eine photoempfindliche Kunststoffschicht, die auf einer Seite eines lichtdurchlässigen Kunststoffilms befestigt ist, miteinander in Kontakt gebracht, während sie in einer Vakuumkammer mit vermindertem Druck gehalten werden. Danach wird ein hinreichender Druck auf die andere Seite des Kunststoffilms ausgeübt, um den Film und die Schicht auf die Basisplatte zu drücken. Danach wird Wärme angewandt. Bei einer anderen herkömmlichen Vorrichtung wird der trockene Film in Luft mit atmosphärischem Druck mittels einer Wärme- und Druckklebewalze auf die Basisplatte gedrückt. Bei einer noch weiteren Vorrichtung, wie sie in der japanischen Patentanmeldung (OPI) No. 121696/83 offenbart ist, werden das Ende der Basisplatte und dasjenige des trockenen Films in Luft mit atmosphärischem Druck miteinander verklebt und der Film und die Platte werden danach in einem Vakuum vollständig miteinander verklebt. Der trockene Film, der aus einem lichtdurchlässigen Kunststoffilm und einer an einer Seite des Films befestigten photoempfindlichen Kunststoffschicht besteht, wird in jeder der herkömmlichen Vorrichtungen somit unter vorgegebenem Druck und bei einer vorgegebenen Temperatur auf die Basisplatte geklebt. Die photoempfindliche Kunststoffschicht wird danach über eine Mustermaske, die auf den lichtdurchlässigen Kunststoffilm aufgelegt wird, dem Licht ausgesetzt. Der Kunststoffilm wird dann entfernt. Die Kunststoffschicht wird dann geätzt, so daß ein gewünschtes Muster auf der Basisplatte erzeugt wird.
  • Die japanische Patentanmeldung 59-206200 offenbart ein lamelliertes Glied erzeugende Formen, bei denen eine Hohlraumgußform zum Aufnehmen des Werkstücks und eine Druckgußform zum Schließen der Hohlraumgußform und zum Pressen des Werkstücks vorgesehen sind, um den Druck des Hohlraums zu vermindern, und die Gußformen können erhitzt werden. Wenn auf das Werkstück durch die Druckgußform Druck ausgeübt wird, wird eine elastische Platte zwischen das Werkstück und die Kontaktoberfläche der Druckgußform eingebracht. Dann wird der Druck innerhalb des Hohlraums vermindert und das Werkstück wird erhitzt und einem Druck ausgesetzt, um das Werkstück zu entgasen. Damit kann ein lamelliertes Glied erhalten werden, das eine konstante Dicke aufweist.
  • Bei den obengenannten herkömmlichen Techniken ist es möglich, daß eine Luftblase zwischen dem trockenen Film und der Basisplatte dann zurückbleibt, wenn der Film und die Basisplatte miteinander verklebt werden. Die Luftblase verursacht Fehler bei dem Schritt, wenn der Film und die Schicht dem Licht ausgesetzt werden oder bei dem Schritt, wenn die Kunststoffschicht geätzt wird, und damit werden Probleme bei dem Vorgang erzeugt. Wenn der trockene Film ganz oder teilweise in Luft mit atmosphärischem Druck auf die Basisplatte geklebt wird, besteht nicht nur die Möglichkeit, daß Luftblasen zwischen dem trockenen Film und der Basisplatte verbleiben, sondern der Film wird durch den Druck der rotierenden Druckkleberolle möglicherweise auch wellig. Dies ist ein weiteres Problem.
  • Das US-Patent 3,870,582 beschreibt ein Lamelliersystem, das insbesondere für das Wärmelamellieren von I.D.-Karten und/oder I.D. Kreditkarten verwendet wird. Wesentliche Elemente dieses Lamelliersystems für I.D.-Karten umfassen eine Lamellieranordnung für die I.D.-Karten, bestehend aus einem Vorderwandteil und einem Rückwandteil, und einer Druckverteilungseinrichtung, die in Kombination mit der Anordnung angeordnet ist, um den auf die Anordnung ausgeübten Druck derart zu verteilen, daß der Druck anfänglich selektiv auf einen mittleren Bereich der Anordnung ausgeübt wird. Wenn weiterer Druck ausgeübt wird, wird die Fläche, auf die der Druck ausgeübt wird, fortschreitend vergrößert, bis der Druck auf alle Teilbereiche der Lamellieranordnung gleichmäßig ausgeübt wird. Weiterhin umfaßt das System eine Druckverteilungseinrichtung, die ein verformbares Element enthält, das längs sowohl der Längsachse als auch der Querachse gekrümmt ist.
  • Beim Herstellen einer derartigen I.D.-Karte werden zuerst die Rückwandteile und die Vorderwandteile mit Klebstoff zusammengeklebt. In diesem Fall werden Folien zwischen den beiden Wandteilen erzeugt, die zusammengeklebt werden, bevor auf die Anordnung Druck ausgeübt wird. Deshalb ist es schwer die eingeschlossenen Luftblasen vollständig zu entfernen. Weiterhin ist es möglich, daß, wenn die zwei Wandteile nicht genau zusammengeklebt sind, der ausgeübte Druck Falten erzeugen kann.
    • ZUSAMMENFASSUNG DER ERFINDUNG
  • Die vorliegende Erfindung wurde gemacht, um die oben genannten Probleme zu lösen.
  • Somit ist es eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung, ein Verfahren und eine Vorrichtung zum Druck- und Wärmekleben eines dünnen Films auf eine Basisplatte anzugeben, bei denen keine Luftblasen zwischen dem Film und der Basisplatte zurückbleiben und bei denen der Film nicht faltig wird.
  • Die obige Aufgabe wird durch die Merkmale der unabhängigen Ansprüche 1 und 5 gelöst.
    • Mittel zum Lösen der Probleme
  • Bei dem Verfahren zum Druck- und Wärmekleben eines dünnen Films auf eine Basisplatte gemäß der Erfindung umfaßt das Verfahren die folgenden Schritte: Das Einführen des dünnen Films und der Basisplatte in eine Vakuumkammer zwischen einem oberen Kontaktglied und einem unteren Kontaktglied; das Einschließen des Films und der Basisplatte in der Vakuumkammer; das Reduzieren des Drucks in der Vakuumkammer auf nahezu Vakuum; das Ausüben von Druck auf die Kombination des Films und der Basisplatte durch Bewegen von mindestens einem der oberen und unteren Kontaktglieder, um damit zu bewirken, daß die Kontaktglieder die Basisplatte und den dünnen Film in einer unter Druck stehenden Beziehung zusammenzubringen; wobei während des Einführens des dünnen Films und der Basisplatte in die Vakuumkammer der dünne Film und die Basisplatte in Positionen angeordnet sind, die voneinander um eine vorbestimmte Entfernung getrennt sind, wobei das obere Kontaktglied in der Mitte dicker als in seinen Randabschnitten ist und aus einem elastischen Material besteht, und das untere Kontaktglied flach ist und aus einem Material einer höheren Festigkeit als die Basisplatte und das obere Kontaktglied hergestellt ist; während des das Ausüben des Druckes auf die Kombination des Films und der Basisplatte betreffenden Schrittes kommt der dickere Teil des oberen Kontaktgliedes zuerst in Kontakt mit einem zentralen Abschnitt des dünnen Films, der die Basisplatte bedeckt und sich dann elastisch deformiert, wodurch der Druck zuerst auf den zentralen Abschnitt der Kombination dünner Film - Basisplatte ausgeübt wird und danach der ausgeübte Druck sich nach außen zur Peripherie der Kombination ausbreitet; und das Zuführen von Wärme während des Schrittes der Druckausübung; und es umfaßt ferner den Schritt des Entfernens der Kombination dünner Film - Basisplatte aus der Vakuumkammer und des weiteren Zuführens von Wärme und Druck zu der Kombination unter atmosphärischem Druck mittels der Heiz- und Klebewalzen.
  • Bei dem Verfahren gemäß der Erfindung umfaßt der das Zuführen von Druck betreffende Schritt weiterhin ein vertikales Bewegen des flachen unteren Kontaktglieds in Richtung der Basisplatte, um die Basisplatte in Kontakt mit dem dünnen Film und den dünnen Film in Kontakt mit einer konvexen Oberfläche des oberen Kontaktgliedes zu drücken.
  • Bei dem Verfahren gemäß der Erfindung ist die Basisplatte auf einem filmartigen Träger angeordnet, wenn sie in die Vakuumkammer eingeführt wird, so daß der dünne Film und der Träger übereinander in einer nicht kontaktierenden Weise angeordnet sind, wobei der Träger ausreichend lose ist, um nicht den Transport der Basisplatte zu behindern; wobei eine Zugkraft auf den dünnen Film ausgeübt wird, sowie er in die Vakuumkammer eingeführt wird.
  • Weiterhin umfaßt das Verfahren gemäß der Erfindung den Schritt des Zuführens von Wärme in der Vakuumkammer zur Zeit des Zuführens von Druck, und den nachfolgenden Schritt des weiteren Zuführens von Wärme und kompressivem Druck auf die Kombination dünner Film - Basisplatte in einer Umgebung unter atmospharischem Druck.
  • Die Vorrichtung zum automatischen Druck- und Wärmekleben eines trockenen dünnen Films auf eine Basisplatte gemäß der Erfindung umfaßt eine Vakuumkammer mit einem Einlaß und einem Auslaß zum Transportieren des dünnen Films und der Basisplatte zwischen oberen und unteren Kontaktgliedern in der Reihenfolge: oberes Kontaktglied, dünner Film - Basisplatte und unteres Kontaktglied; ein Mittel zum Entgasen der Kammer, um ein Vakuum oder nahezu Vakuum zu erzeugen; wobei die Vorrichtung weiterhin enthält ein Mittel zum Transportieren des dünnen Films und der Basisplatte separat hinein und vereinigt heraus aus der Vakuumkammer, wobei das obere Kontaktglied eine elastisch deformierbare konvexe Oberfläche gegenüberstehend dem dünnen Film hat; wobei das untere Kontaktglied fest ist und eine flache Oberfläche hat; ein Mittel zum Bewegen des unteren Kontaktgliedes in eine Richtung, so daß der dünne Film und die Basisplatte unter Druck schichtweise zwischen dem unteren und dem oberen Kontaktglied angeordnet werden, wodurch die elastische konvexe Oberfläche des oberen Kontaktglieds sich deformiert, so daß ein Druck auf die Kombination dünner Film - Basisplatte zuerst in einem mittleren Abschnitt und sich dann davon nach außen ausbreitend ausgeübt wird, wodurch bewirkt wird, daß der dünne Film auf die Basisplatte geklebt wird; ein Mittel zum Heizen des dünnen Films und der Basisplatte während der Druckbeaufschlagung durch die Kontaktglieder, während sie in dem Vakuum sind; und ein Wärme- und Druckklebewalzenmittel außerhalb der Kammer, um Wärme der Kombination dünner Film und Basisplatte in einer atmosphärischen Umgebung zuzuführen.
  • Weiterhin enthält die Vorrichtung gemäß der vorliegenden Erfindung einen filmartigen Träger zum Tragen der Basisplatte; ein Haltemittel zum Tragen des Films und einen filmartigen Träger in einer derartigen Weise, daß das eine Ende des Films und ein Ende des Trägers übereinandergelegt werden; eine Zugwalze zum Ausüben einer Zugkraft auf den Film; eine Lockerungswalze, um den Träger mit einer solchen Lose zu versehen, die das Tragen der Basisplatte nicht behindert, die auf den Träger aufgebracht ist; ein Verschlußmittel zum hermetischen Verschließen des Einlasses und des Auslasses der Vakuumkammer, nachdem der Film und der Träger mit der Platte darauf in die Kammer transportiert sind; und ein Mittel zum Beibehalten des vorbestimmten Abstands zwischen dem Film und der Platte in der Kammer bis Druck ausgeübt wird.
  • Weiterhin weist bei der Vorrichtung gemäß der vorliegenden Erfindung das Zugmittel ein Mittel zum Herausziehen des aus Schichten zusammengesetzten Körpers zum Herausziehen des Körpers aus der Kammer, während ein Ende des Körpers gehalten wird; und ein Film-Abschneidemittel auf, das im allgemeinen zwischen der Vakuumkammer und dem Herausziehmittel angeordnet ist; wobei die Walze zwischen der Vakuumkammer und dem Film-Abschneidemittel angeordnet ist.
  • Weiterhin weist die Vorrichtung gemäß der vorliegenden Erfindung auf: einen Halter zum Halten des Films und des filmartigen Trägers in einer derartigen Weise, daß das Ende des Films und ein Ende des Trägers in einer nicht kontaktierenden Weise übereinander gelegt werden; eine Zugwalze zum Ausüben einer Zugkraft auf den Film; eine Lockerungswalze, um den Träger mit einer derartigen Lose zu versehen, so daß das Tragen der Basisplatte nicht behindert wird, die auf den Träger aufgebracht ist; ein Verschlußmittel zum hermetischen Verschließen der Einlaß- und Auslaßöffnungen der Vakuumkammer, nachdem der Film und der Träger mit der Platte darauf in die Kammer transportiert sind; und ein Mittel zum Beibehalten der vorbestimmten Entfernung zwischen dem Film und der Platte in der Kammer, wenn die Einlaß- und Auslaßöffnungen hermetisch verschlossen sind.
  • Weiter umfaßt die Vorrichtung gemäß der vorliegenden Erfindung einen Basisplattenlader zum Laden von Basisplatten von einer Basisplattenkassette in einen bewegenden filmartigen Träger; ein Dünnfilm-Versorgungsmittel zum Zuführen von kontinuierlichem dünnen Film zum Kleben auf die Basisplatte; einen Entlader zum Laden des aus Schichten bestehenden Körpers in eine Kassette; und eine Wärme- und Druckklebewalze zum miteinander Kleben der Komponenten des aus Schichten bestehenden Körpers unter Wärme und Druck in einer Umgebung von Luft unter atmosphärischem Druck; wobei die Walze zwischen der Vakuumkammer und dem Film-Abschneidemittel angeordnet ist.
  • Da der dünne Film und die Basisplatte miteinander unter Druck in einem Vakuum oder bei vermindertem Druck in der Vakuumkammer derart verklebt werden, daß sich die Fläche des Druckklebens allmählich vom mittleren Bereich der Basisplatte zu deren peripherem Bereich hin vergrößert, werden der Film und die Platte miteinander unter Druck verklebt, ohne daß Luftblasen zwischen dem Film und der Platte zurückbleiben und ohne daß der Film faltig wird.
    • KURZE BESCHREIBUNG DER ZEICHNUNGEN
  • Figur 1 ist eine schematische Ansicht, die ein Klebeverfahren für einen trockenen Film und eine Vorrichtung zum Kleben eines trockenen Films gemäß bevorzugter Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung darstellt.
  • Figur 2A ist eine Seitenansicht eines Laders der Vorrichtung nach Figur 1.
  • Figur 2B ist eine perspektivische Ansicht des Laders nach Figur 1.
  • Figur 3A ist eine Draufsicht eines Ausstoßzylinders der Vorrichtung nach Figur 1.
  • Figur 3B ist eine Draufsicht eines Tragarms und eines Kassettensensors der Vorrichtung nach Figur 1.
  • Figur 3C ist eine perspektivische Ansicht eines Basisplatten- Ausstoßbereichs des Ausstoßzylinders nach Figur 3A.
  • Figur 3D ist eine perspektivische Ansicht einer Modifikation des Basisplatten-Ausstoßbereichs nach Figur 3C.
  • Figur 4 ist eine Schnittansicht des vertikal gewickelten Träger-Abstützbereichs des Träger-Zuführungsmittels der Vorrichtung nach Figur 1.
  • Figur 5 ist eine Seitenansicht der Zuführungsmittel für trockenen Film der Vorrichtung nach Figur 1.
  • Figur 6 ist eine Schnittansicht der Vakuumkammer der Vorrichtung nach Figur 1.
  • Figur 7 ist eine Schnittansicht, wie sie längs der in Figur 1 dargestellten Pfeile X gesehen wird.
  • Die Figuren 8A, 8B und 8C sind Schnittansichten, die die Druckklebeschritte des Verfahrens zum Kleben des trockenen Films zeigen.
  • Figur 9 zeigt eine Schnittansicht eines aus einem trockenen Film hergestellten schichtartigen Körpers, einer Basisplatte und eines Trägers, die sowohl mit der Vorrichtung als auch nach dem Verfahren unter Druck zusammengeklebt sind.
  • In den Zeichnungen sind gezeigt eine Basisplatte 1, ein Lader 2, ein Träger 3, ein trockener Film 4, eine Vakuumkammer 5, ein Druckklebemittel, ein nachgeschaltetes Druckklebemittel 7, ein Filmtransportmittel 9, und ein Abschneidemittel 10.
    • DETAILLIERTE BESCHREIBUNG DER BEVORZUGTEN AUSFÜHRUNGSFORMEN
  • Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung werden im folgenden unter Bezugnahme auf die beigefügten Zeichnungen im einzelnen beschrieben.
  • Die Figur 1 ist eine schematische Ansicht, die ein Klebeverfahren für einen trockenen Film und eine Vorrichtung zum Kleben eines trockenen Films gemäß bevorzugter Ausführungsformen der Erfindung zeigt. Die Vorrichtung enthält einen Lader 2 mittels dem Basisplatten 1 nacheinander von einer auf einem vertikal beweglichen Tragarm 2a angeordneten Kassette 1a auf einen Träger 3 befördert werden. Wenn eine Kassette 1a auf den Tragarm 2a angeordnet wird, erkennt ein am oberen Ende 2a' des Tragarms 2a vorgesehener Kassettensensor 2a", wie er in Figur 3B dargestellt ist, die Kassette. Der Sensor 2a" ist vom Typ eines Lichtleiters oder vom Typ eines Drucksensors. Der Tragarm 2a wird durch ein vertikales Bewegungsglied 2b nach oben und nach unten bewegt, während er durch eine an einem Ständer 2k angebrachte Führungssäule 2c geführt wird, wie es in den Figuren 2A und 2B gezeigt ist. Das vertikale Bewegungsglied 2a wird aus einer Gewindeeinheit gebildet. Wenn die Kassette 1a von dem Sensor 2a" erkannt wird, wird der vertikale Antriebsmotor 2b' des vertikalen Bewegungsglieds 2b aktiviert. Wenn ein am Tragarm 2d vorgesehenes Lichtsperrglied 2d eine Position 3c' erreicht, so daß das Lichtsperrglied das Licht eines am Ständer 2k angebrachten Positions-Lichtsensors 2e sperrt, wird der Motor 2b' angehalten. Die Position 3c' ist derart vorgegeben, daß, nachdem die unterste Basisplatte 1, deren Unterseite auf derselben Ebene wie die Trägeroberfläche 3c ist, aus der Kassette 1a heraus auf die Trägeroberfläche heraus befördert worden ist, die Höhe von der Position 3c zu der in der Kassette 1a untergebrachten zweit-untersten Basisplatte 1, so daß sie als nächste befördert werden kann, durch den Kassettensensor 2a" erkannt wird, und der vertikale Antriebsmotor 2b' wird dann betätigt, um die zweit-unterste Basisplatte in die Position 3c' zu bewegen. Selbst wenn die Basisplatten 1 nicht in allen den Aufnahmebereichen der Kassette 1a untergebracht sind, kann jede als nächste zu befördernde Basisplatte durch die Betätigung des Kassettensensors 2a" in die vorgegebene Position 3c' gebracht werden.
  • Ein Ausstoßzylinder 2f zum Herausschieben der Basisplatte 1 auf die Trägeroberfläche 3c ist an dem Ständer 2k in derselben Höhe wie die Position 3c' angebracht. Die Figur 3A zeigt eine Draufsicht des Ausstoßzylinders 2f. Die Figur 3B zeigt eine Draufsicht des Tragarms 2a und des Kassettensensors 2a". Die Figur 3C zeigt eine perspektivische Ansicht des Stabs 2g des Ausstoßzylinders 2f zum Herausstoßen der Basisplatte. Die Figur 3D zeigt eine perspektivische Ansicht einer Modifikation 2g' des Stabs des Ausstoßzylinders 2f zum Herausstoßen der Basisplatte. Als 3b ist in Figur 3A eine an dem Tragrahmen einer Transporteinrichtung angebrachte Transportwalze gezeigt. Der Träger 3, auf dem die Basisplatte 1 abgelegt wird, wird durch die drehbare Walze 3b abgestützt, um die Bewegungsrichtung des Trägers zu ändern. Was den in Figur 3C gezeigten Ausstoßstab 2g für die Basisplatte betrifft, ist ein Schieber 2h zum Schieben der Basisplatte 1 vorgesehen, und eine Zunge 2i ist am unteren Ende des Schiebers angebracht, um die Basisplatte 1 an ihrer Unterseite abzustützen, wenn die Basisplatte von der Kassette 1a zum Träger 3 befördert wird. Was den in Figur 3D gezeigten Ausstoßstab 2g' für die Basisplatte betrifft, ist ein Schieber 2h' vorgesehen, und Zungen 2i' sind am unteren Ende des Schiebers angebracht, um die Basisplatte 1 an ihrer Unterseite abzustützen, wenn die Basisplatte von der Kassette 1a zum Träger 3 befördert wird.
  • Der vertikal gewickelte Träger-Abstützbereich des Trägers eines Träger-Zuführungsmittels 3a zum Zuführen des vertikal gewickelten Trägers 3' ist mit einem herkömmlichen Bremsmechanismus 3a" versehen, der aus einer Reibungsplatte 31 und einer Feder 32 zusammengesetzt ist, um auf den Träger 3 eine Zugkraft auszuüben, wie es in Figur 4 dargestellt ist. Das Träger-Zuführungsmittel 3a umfaßt eine Drehachse 33 und einen Wickelzylinder für den Träger.
  • Die in Figur 1 gezeigte Förderwalze 3b dient dazu, die Bewegungsrichtung des Trägers 3 zu ändern, so daß er sich horizontal bewegt, und sie stützt auch die Basisplatte 1 während ihres Transports ab. Eine Lockerungswalzen-Einheit 3d, die obere und untere Walzen 3e und 3f umfaßt, ist, wie in Figur 1 gezeigt, vorgesehen. Ein Druckzylinder 3e' ist über der oberen Walze 3e angeordnet, um den Träger 3 einzuklemmen, so daß auf diesen zwischen der Walzeneinheit 3d und dem Träger-Zuführungsmittel eine Zugkraft ausgeübt wird. Ein Lockerungsmotor 3f' wird derart um einen Betrag gedreht, daß der Träger 3 in Abwärtsrichtung der Lockerungswalzen-Einheit 3d gelockert wird.
  • Der vertikal gewickelte Abstützbereich für den trockenen Film des Zuführungsmittels 4a zum Zuführen des trockenen Films ist mit derselben Art von Bremsmechanismus wie derjenigen des vertikal gewickelten Träger-Zuführungsmittels 3a versehen. Wie es in Figur 5 gezeigt ist, ist die äußere Oberfläche einer Deckfilm-Wicklungsrolle 4f zum Wickeln eines Deckfilms 4e in Kontakt mit derjenigen einer Leerlaufrolle 4h, die in Kontakt mit derjenigen eines vertikal gewickelten trockenen Films 4' ist, so daß der Deckfilm 4e um dieselbe Länge auf die Deckfilm-Wicklungsrolle gewickelt wird, wie der trockene Film 4 von dem vertikal gewickelten trockenen Film 4' abgewickelt wird. Kontaktdruck-Halteeinrichtungen 4j und 4k sind vorgesehen, um den Kontaktdruck zwischen den Rollen 4f und 4h und dem gewickelten Film 4' auf einem vorgegebenen Pegel zu halten. Die Leerlaufrolle 4h kann weggelassen werden. Wenn die Leerlaufrolle 4h nicht vorgesehen ist, sind die äußere Oberfläche der Deckfilm- Wicklungsrolle 4f und diejenige des vertikal gewickelten trokkenen Films 4' in Kontakt zueinander angeordnet und die Drehrichtung der Rolle 4f ist umgekehrt zu derjenigen im Fall, daß im Fall, daß die Leerlaufrolle vorgesehen ist.
  • Wie es in Figur 6 gezeigt ist, ist eine Vakuumkammer 5 durch einen an einer Basis angebrachten oberen Behälter 5f und einen unteren Behälter 5g definiert, der in vertikaler Richtung durch ein aus einem pneumatischen Zylinder gebildetes vertikales Bewegungsglied 53 beweglich abgestützt ist. Der untere Behälter 5g ist über eine Versiegelungseinrichtung 5c in Kontakt mit dem oberen Behälter 5f. Die Verschlußeinrichtung 5c wird aus einem O-Ring 5c' gebildet, um die Vakuumkammer 5 am Fördereingang 5a und am Förderausgang 5b luftdicht zu halten. Wenn der trockene Film 4 und die Basisplatte 1 unter Druck miteinander verklebt werden sollen, wird der untere Behälter 5g in engen Kontakt mit dem oberen Behälter 5f bewegt und der Druck in der Vakuumkammer 5 wird auf einen vorgegebenen Betrag mittels einer Luftentnahmeeinrichtung 12 vermindert und es wird festgestellt, daß er auf diesen Betrag vermindert worden ist. Ein Drucksensor 5h ist in der Vakuumkammer 5 vorgesehen. Die Kammer 5 ist mit einer Luft-Entnahmeöffnung 5i versehen. Eine Heizeinrichtung 5j zum Einstellen einer Temperatur für das Druckkleben des trockenen Films 4 und die Basisplatte 1 kann in der Vakuumkammer vorgesehen sein. Die Größe des Fördereingangs 5a der Vakuumkammer 5 ist derart bemessen, daß der Abstand zwischen dem oberen Ende 51 der Öffnung und dem trockenen Film ist, daß sie zwischen der Unterseite 52 der Öffnung und dem Träger 3 ß ist, und daß sie zwischen den Abständen und ß ist, wodurch ermöglicht wird, daß der trockene Film und der Träger durch die Öffnung hindurchgeführt werden, wie es in Figur 6 gezeigt ist. Die Dicke der Basisplatte 1 auf dem Träger 3 ist kleiner als der Abstand. Beispielsweise sind die Abstände, und ß 0,5 mm bis 1,5 mm, 5 mm bis 15 mm, bzw. 5 mm bis 15 mm. Die Größe der Ausgangsöffnung 5b ist dieselbe wie die Eingangsöffnung 5a. Ein unteres Kontaktglied 6b ist durch ein aus einem pneumatischen Zylinder gebildetes vertikales Bewegungsglied 54 in vertikaler Richtung bewegbar abgestützt. Die Oberseite des unteren Kontaktglieds 6b weist eine derart weiche Oberfläche auf, daß der Träger 3 nicht beschädigt wird, wenn der herein transportierte Träger bewegt wird, während dessen Unterseite in Gleitkontakt mit der Oberseite des unteren Kontaktglieds ist. Ein oberes Kontaktglied 6a ist vorgesehen, dessen Unterseite nach unten gerichtet konvex ist.
  • Eine herkömmliche Wärme- und Druckklebewalze 7b ist neben der Ausgangsöffnung der Vakuumkammer angeordnet. Ein pneumatischer Zylinder 7b' ist oberhalb der Walze 7b angeordnet, um auf diese eine vorgegebene nach unten gerichtete Druckkraft auszuüben. Wenn ein aus der Basisplatte 1, dem trockenen Film 4 und dem Träger 3 bestehender und miteinander verklebter geschichteter Körper 20 zu einer Stufe 7a gekommen ist, werden die Platte, der Film und der Träger unter Wärme und Druck weiter miteinander verklebt.
  • Das obere Halteglied 10c des in Bewegungsrichtung oberhalb angeordneten Halters 10b einer Abschneideeinrichtung 10 ist mittels eines pneumatischen Zylinders 10c' in vertikaler Richtung beweglich abgestützt. Das untere Halteglied 10d des in Bewegungsrichtung oberhalb angeordneten Halters 10b ist an einer Basis 10' befestigt. Das obere und das untere Halteglied 10e' und 10e" des in Bewegungsrichtung unterhalb angeordneten Halters 10e der Abschneideeinrichtung 10 befinden sich üblicherweise in gegenseitig geöffneten Positionen in einem derartigen Abstand voneinander, daß die Glieder sich mit dem Halteglied 9a für den geschichteten Körper eines Film-Herausziehmittels 9 nicht stören. Wenn der geschichtete Körper 20 gehalten werden soll, werden das obere und das untere Halteglied 10e' und 10e" mittels eines oberen und eines unteren pneumatischen Zylinders 10f und 10f' in vertikaler Richtung geschlossen. Eine in Figur 7 gezeigte rotierende Schneide 10a wird von einem Seitenrand des geschichteten Körpers 20 zu dessen anderem Seitenrand durch ein zeitlich abgestimmtes Band bewegt, während der Körper durch das obere und das untere Halteglied 10e' und 10e" gehalten wird und die Schneide im Zusammenwirken mit einer an der Basis 10' angebrachten Zahnstange 10" gedreht, so daß der trockene Film 4 des Körpers abgeschnitten wird. Wie es in der Figur 1 gezeigt ist, umfaßt das Schneidemittel 10 eine Saugeinheit 10h zum Entfernen von Luft aus dem von den in Bewegungsrichtung oberhalb und unterhalb angeordneten Haltern 10b und 10e umgebenen Raum zu entfernen, so daß ein aus dem geschichteten Körper 20 durch das Abschneiden dessen trockenen Films 4 hergestelltes Stück daran gehindert wird, wegzufliegen.
  • Der geschichtete Körper 20, bei dem der trockene Film 4 durch die Schneideinrichtung 10a abgeschnitten ist, wird von dem Halteglied 9a des Film-Herausziehmittels 9 gehalten, das durch ein Zeitsteuerband 9b derart bewegt wird, daß der geschichtete Körper zu einem Entlader 11 heraustransportiert wird und über eine Auslaßrutsche 11a in eine Kassette 11b gelegt wird.
  • Die Spannung des trockenen Films 4 wird zwischen einer Spannrolle 4c und dem in Bewegungsrichtung oberhalb angeordneten Halter 10b aufrechterhalten. Wenn jedoch das obere und das untere Halteglied 10c und 10d des in Bewegungsrichtung oberhalb angeordneten Halters 10b in vertikaler Richtung gegenseitig geöffnet sind, wird der geschichtete Körper 20 von dem Halteglied 9a anstatt von dem in Bewegungsrichtung oberhalb angeordneten Halter gehalten und der trockene Film 4 wird durch die Bewegung des Film-Herausziehmittels von dem vertikal gewickelten trockenen Film 4' abgezogen, so daß die Spannung des Films 4 aufrechterhalten wird.
  • Das Klebeverfahren für den trockenen Film wird nun unter Bezugnahme auf die Zeichnungen im einzelnen beschrieben. Der Stützarm 2a eines Laders 2 wird von einem vertikalen Bewegungsglied 2b aufwärts und abwärts bewegt, während es an einer Führungssäule 2c geführt wird. Wenn eine Basisplatte 1 dadurch in dieselbe Höhe wie die Tragoberfläche 3c eines Trägers 3 bewegt wird, wird von einem Positions-Lichtsensor 2e ein Licht-Sperrglied 2d erkannt, um die vertikale Bewegung des Stützarms 2a zu beenden, und die unterste Basisplatte 1 wird von der Kassette 1a zur Tragoberfläche 3c des Trägers 3 befördert. Wie es in Figur 3C gezeigt ist, besteht der Vorderteil eines Ausstoßstabs 2g aus einem Schieber 2h und einer Zunge 2i, so daß die Basisplatte 1, die infolge der Verschiebung ihres Schwerpunkts beim Befördern von der Kassette 1a auf den Träger 3 instabil werden würde, durch die Zunge abgestützt wird und dadurch sicher von der Kassette auf den Träger befördert wird. Ein Träger-Zuführmittel 3a ist unterhalb der Trägeroberfläche 3c vorgesehen. Der Träger 3 wird in eine Vakuumkammer 5 bewegt, und zwar längs einer Lockerungs-Walzeneinheit 3d, die eine Transportrolle 3b zum Aufnehmen der Basisplatte 1 und zum Ändern der Bewegungsrichtung des Trägers, um ihn in horizontaler Richtung zu bewegen, und ein Walzenpaar 3e und 3f zum Lockern des Trägers umfaßt.
  • Ein Zuführungsmittel 4a für den trockenen Film ist über der Tragoberfläche 3c vorgesehen, so daß ein mit einem Deckfilm 4e überzogener trockener Film 4 von einer großen Rolle 4' abgewikkelt wird und zwischen einer Umlenkrolle 4b und einer Deckwalze 4d bewegt wird. Der Deckfilm 4e wird von dem trockenen Film 4 abgezogen, nach oben abgelenkt und von einer Deckfilm- Aufwickerolle 4f aufgenommen. Der trockene Film 4 wird in die Vakuumkammer 5 bewegt, während er zwischen einer Spannrolle 4c und einem Film-Herausziehmittel 9 eine vorgegebene Spannkraft erfährt.
  • Wie es in Figur 6 gezeigt ist, ist die Höhe der Unterseite eines oberen Kontaktglieds 6a derart eingestellt, daß sie gleich ist derjenigen der Oberseite 51 der Einlaßöffnung 5a der Vakuumkammer 5. Die Höhe der Oberseite eines unteren Kontaktglieds 6b ist derart eingestellt, daß der die Basisplatte tragende lose Träger 3 mit der Unterseite 52 der Einlaßöffnung 52 nicht in Kontakt kommt. Als Ergebnis davon wird die Basisplatte 1 transportiert, während der Träger 3 auf der weichen Oberseite des Kontaktglieds 6b gleitet.
  • Der trockene Film 4 und der Träger 3 werden durch die Bewegung des Film-Herausziehmittels 9 bewegt. Wenn durch einen Sensor erkannt wird, daß der mittlere Bereich der Basisplatte 1 in den mittleren Bereich des unteren Kontaktglieds gekommen ist, wird die Bewegung des trockenen Films 4 und des Trägers 3 angehalten und ein an der Einlaßöffnung 5a und der Auslaßöffnung 5b vorgesehenes Paar von Verschlußmitteln 5c wird aufwärts bewegt, um den Träger und den trockenen Film zu den Rändern an den Oberseiten 51 der Einlaß- und der Auslaßöffnungen zu stoßen, um die Vakuumkammer 5 zu verschließen. Dann wird die Luft aus der Vakuumkammer 5 herausgenommen. Wenn erkannt wird, daß der Druck in der Vakuumkammer 4 auf einen vorgegebenen Pegel vermindert wurde, wird das untere Kontaktglied 6b durch ein Betätigungsglied 54 nach oben bewegt, so daß der trockene Film 4, die Basisplatte 1 und der Träger 3 zwischen dem unteren Kontaktglied und dem oberen Kontaktglied 6a unter Druck miteinander verklebt werden.
  • Die Figur 8A zeigt, daß die Basisplatte 1 im mittleren Bereich des unteren Kontaktglieds 6b angehalten wird. Die Figur 8B zeigt, daß die Vakuumkammer 5 durch das Schieben der Verschlußmittel 5c gegen den trockenen Film 4 und den Träger 3 an den Oberseiten der Einlaß- und der Auslaßöffnungen 5a und 5b verschlossen wird. Da der Träger 3 lose ist, obwohl die Luft aus der versiegelten Vakuumkammer 5 entnommen wird, kommen die Oberseite der Basisplatte 1 und der trockene Film 4 zueinander nicht in Kontakt. Die Figur 8C zeigt, daß das untere Kontaktglied 6b nach oben bewegt wird, um den trockenen Film 4, die Basisplatte 1 und den Träger 3 mit einer vorgegebenen Anhebekraft gegen das obere Kontaktglied 6a zu stoßen, um den Film, die Platte und den Träger miteinander unter Druck zu verkleben, während das obere Kontaktglied elastisch verformt wird. Da die Dicke des mittleren Bereichs des oberen Kontaktglieds 6a größer ist als diejenige an seinem peripheren Bereich, beginnt die untere photosensitive Kunststoffschicht des trockenen Films 4 damit, zuerst mit dem mittleren Bereich der Basisplatte 1 in Kontakt zu kommen und kommt dann beim Druckkleben des trockenen Films und der Basisplatte, zusammen mit der Anhebung des unteren Kontaktglieds 6b gegen das obere Kontaktglied, auch allmählich in Kontakt mit deren peripherern Bereich. Da der trockene Film 4 und die Basisplatte 1 somit, beginnend mit dem mittleren Bereich der Basisplatte, miteinander in der Vakuumkammer bei reduziertem Druck unter Druck verklebt wird, verbleiben keine Luftblasen zwischen der photosensitiven Kunststoffschicht des trockenen Films 4 und der Basisplatte zum Zeitpunkt des Vervollständigens deren Druckklebens und der trockene Film wird als Ergebnis des Druckklebens nicht gewellt. Der trockene Film 4, die Basisplatte 1 und der Träger 3 werden somit durch die Druck-Klebeeinrichtung 6 miteinander verklebt, die das obere Kontaktglied 6a, das untere Kontaktglied 6b und ein Betätigungsglied 6c enthält, so daß der trockene Film, die Basisplatte und der Trager einen geschichteten Körper 20 bilden, wie er in Figur 9 gezeigt ist. Nachdem der Druck in der Vakuumkammer 5 wieder auf den atmosphärischen Pegel zurückgekehrt ist und ein Vertikal-Bewegungsglied 53, das als ein Verschluß-Steuermittel dient, nach unten bewegt worden ist, wird der geschichtete Körper 20 auf ein Gestell 7a gebracht, so daß der geschichtete Körper einem zweiten Druckkleben durch den nach unten gerichteten Druck einer Wärme- und Druck-Klebewalze 7b unterworfen wird. Wenn in der Druck-Klebeeinrichtung 6 hinreichend Wärme und Druck auf den trockenen Film 4, die Basisplatte 1 und den Träger 3 ausgeübt wurden, kann auf den das Druckwalzen betreffenden Schritt verzichtet werden. Alternativ hierzu kann auf den das Wärmebehandeln betreffenden Schritt während des Schritts des Zusammenpressens in der Vakuumkammer verzichtet werden.
  • Es kann festgehalten werden, daß die Kombination aus den Walzen 3e und 3f, der Spannungswalze 4c und des Herausziehmittels 9 den Film 3 verhältnismäßig locker und den Trägerfilm 4 verhältnismäßig gespannt halten. Dies stellt eine Trennung der Basisplatte und des dünnen Films sicher, wenn sie in die Vakuumkammer eintreten. Auch werden, wenn die Vakuumkammer verschlossen wird, die Verschlüsse den dünnen Film 4 und den Träger 3 zusammendrücken und damit weiterhin aufrechterhalten, daß die Basisplatte und der dünne Film voneinander getrennt sind, während die Kammer entgast wird. Auf diese Weise werden das Vakuum oder der verminderte Druck vorhanden sein, bevor der dünne Film erstmals die Basisplatte berührt, wodurch ein besseres Verkleben des dünnen Films und der Basisplatte sichergestellt wird.
  • Wenn der geschichtete Körper 20 mittels des Film-Herausziehmittels 9 vom Gestell 7a zur rotierenden Schneide 10a eines Abschneidemittels 10 gezogen wird, wird die Bewegung des geschichteten Körpers angehalten und der Körper wird an der Schneidestation durch in Bewegungsrichtung oberhalb und unterhalb angeordnete Halter 10b und 10e gehalten. Die Schneide 10a wird dann bewegt, um den geschichteten Körper 20 an seiner vorgegebenen Stelle abzuschneiden. Nachdem der geschichtete Körper 20, der wie oben erwähnt abgeschnitten worden ist, von dem in Bewegungsrichtung unterhalb angeordneten Halter 10b freigegeben worden ist, wird der Körper in Bewegungsrichtung unterhalb weiter durch das Film-Herausziehmittel 9 befördert. Der Körper 20 wird dann von dem Film-Herausziehmittel 9 freigegeben und in einer Kassette abgelegt.
  • Die vorliegende Erfindung ist nicht auf die oben beschriebenen Ausführungsformen beschränkt, sondern kann auf verschiedene Weisen verkörpert oder ausgeführt werden, ohne von ihren wesentlichen Merkmalen abzuweichen.
  • Gemäß der vorliegenden Erfindung werden ein dünner Film und eine Basisplatte miteinander unter Druck in einer Vakuumkammer verklebt, so daß die Fläche des Druckklebens allmählich von einem mittleren Bereich der Basisplatte zu deren peripherem Bereich vergrößert wird. Aus diesem Grund werden der dünne Film und die Basisplatte miteinander unter Druck verklebt, ohne daß eine Luftblase zwischen dem dünnen Film und der Basisplatte verbleibt und ohne daß der dünne Film faltig wird.

Claims (9)

1. Verfahren zum Druck- und Wärmekleben eines dünnen Films (4) auf eine Basisplatte (1), das die folgenden Schritte aufweist:
(a) Einführen des dünnen Filmes (4) und der Basisplatte (1) in eine Vakuumkammer (5) zwischen einem oberen Kontaktglied (6a) und einem unteren Kontaktglied (6b);
(b) Einschließen des Films (4) und der Basisplatte (1) in der Vakuumkammer (5);
(c) Reduzieren des Drucks in der Vakuumkammer (5) auf nahezu Vakuum;
(d) Ausüben eines Drucks auf die Kombination des Films (4) und der Basisplatte (1) durch Bewegen von mindestens einem der oberen und unteren Kontaktglieder (6a, 6b), damit die Kontaktglieder (6a, 6b) die Basisplatte (1) und den dünnen Film (4) in einer unter Druck stehenden Beziehung zusammenbringen;
dadurch gekennzeichnet, daß
während des Einführens des dünnen Films (4) und der Basisplatte (1) in die Vakuumkammer (5) (Schritt a) der dünne Film (4) und die Basisplatte (1) in Positionen angeordnet sind, die voneinander um eine vorbestimmte Entfernung getrennt sind, wobei das obere Kontaktglied (6a) in der Mitte dicker als in seinen Randabschnitten ist und aus einem elastischen Material besteht, und das untere Kontaktglied (6b) flach ist und aus einem Material einer höheren Festigkeit als die Basisplatte (1) und das obere Kontaktglied (6a) hergestellt ist;
während des Schritts (d) der dickere Teil des oberen Kontaktgliedes (6a) zuerst in Kontakt mit einem zentralen Abschnitt des dünnen Films (4), der die Basisplatte bedeckt (1) kommt und sich dann elastisch deformiert, wodurch der Druck zuerst auf den zentralen Abschnitt der Kombination dünner Film - Basisplatte (4, 1) ausgeübt wird und danach der ausgeübte Druck sich nach außen zur Peripherie der Kombination (4, 1) ausbreitet; und
Zuführen von Wärme während des Schritts der Druckausübung; das ferner den Schritt des Entfernens der Kombination dünner Film - Basisplatte (4, 1) aus der Vakuumkammer (5) und des weiteren Zuführens von Wärme und Druck zu der Kombination unter atmosphärischem Druck mittels der Heiz- und Klebewalzen (7b) umfaßt.
2. Verfahren nach Anspruch 1, worin der Schritt des Zuführens von Druck das vertikale Bewegen des flachen unteren Kontaktglieds (6b) in Richtung der Basisplatte (1) umfaßt, um die Basisplatte (1) in Kontakt mit dem dünnen Film (4) und den dünnen Film (4) in Kontakt mit einer konvexen Oberfläche des oberen Kontaktgliedes (6a) zu drücken.
3. Verfahren nach Anspruch 1, das weiter das Anordnen der Basisplatte (1) auf einem filmartigen Träger (3) zum Einführen in die Vakuumkammer (5) umfaßt, so daß der dünne Film (4) und der Träger (3) übereinander in einer nicht kontaktierenden Weise angeordnet sind, wobei der Träger (3) ausreichend lose ist, um nicht den Transport der Basisplatte (1) zu behindern; wobei eine Zugkraft auf den dünnen Film (4) ausgeübt wird, sowie er in die Vakuumkammer (5) eingeführt wird.
4. Verfahren nach Anspruch 1, das weiterhin den Schritt des Zuführens von Wärme in der Vakuumkammer (5) zur Zeit des Zuführens von Druck umfaßt, und den nachfolgenden Schritt des weiteren Zuführens von Wärme und kompressiven Druck auf die Kombination dünner Film - Basisplatte (4, 1) in einer Umgebung unter atmosphärischem Druck aufweist.
5. Vorrichtung zum automatischen Druck- und Wärmekleben eines trockenen, dünnen Films (4) auf eine Basisplatte (1), wobei die Vorrichtung aufweist:
eine Vakuumkammer (5) mit einem Einlaß (5a) und einem Auslaß (5b) zum Transportieren des dünnen Films (4) und der Basisplatte (1) hinein in und heraus aus der Kammer (5) und einem Mittel zum Positionieren des dünnen Films (4) und der Basisplatte (1) zwischen oberen und unteren Kontaktgliedern (6a, 6b) in der Reihenfolge: oberes Kontaktglied (6a), dünner Film-Basisplatte (4, 1) und unteres Kontaktglied (6b);
ein Mittel zum Entgasen der Kammer (5), um ein Vakuum oder nahezu Vakuum zu erzeugen;
gekennzeichnet durch
ein Mittel zum Transportieren des dünnen Films (4) und der Basisplatte (1) separat hinein und vereinigt heraus aus der Vakuumkammer (5),
wobei das obere Kontaktglied (6a) eine elastisch deformierbare konvexe Oberfläche gegenüberstehend dem dünnen Film (4) hat; wobei das untere Kontaktglied (6b) fest ist und eine flache Oberfläche hat;
ein Mittel (54) zum Bewegen des unteren Kontaktgliedes (6b) in eine Richtung, so daß der dünne Film (4) und die Basisplatte (1) unter Druck schichtweise zwischen den unteren und den oberen Kontaktgliedern (6a, 6b) angeordnet werden, wodurch die elastische konvexe Oberfläche des oberen Kontaktgliedes (6a) sich deformiert, so daß ein Druck auf die Kombination dünner Film - Basisplatte (4, 1) zuerst in einem mittleren Abschnitt und sich dann davon nach außen ausbreitend ausgeübt wird, wodurch bewirkt wird, daß der dünne Film (4) auf die Basisplatte (1) geklebt wird; ein Mittel zum Heizen des dünnen Films (4) und der Basisplatte (1) während der Druckbeaufschlagung durch die Kontaktglieder (6a, 6b), während sie in dem Vakuum (5) sind; und ein Wärme- und Druckklebewalzenmittel (7a) außerhalb der Kammer (5), um Wärme der Kombination dünner Film (4) und Basisplatte (1) in einer atmosphärischen Umgebung zuzuführen.
6. Vorrichtung nach Anspruch 5, die weiter aufweist einen filmartigen Träger (3) zum Tragen der Basisplatte (1);
ein Haltemittel zum Halten des Films (4) und einen filmartigen Träger (3) in einer derartigen Weise, daß das eine Ende des Films (4) und ein Ende des Trägers (3) übereinandergelegt werden; eine Zugwalze (4c) zum Ausüben einer Zugkraft auf den Film (4); eine Lockerungswalze (3d), um den Träger (3) mit einer solchen Lose zu versehen, die das Tragen der Basisplatte (1) nicht behindert, die auf den Träger (3) gesetzt ist; ein Verschlußmittel (5c) zum hermetischen Verschließen des Einlasses (5a) und des Auslasses (5b) der Vakuumkammer (5), nachdem der Film (4) und der Träger (3) mit der Platte (19) darauf in die Kammer (5) transportiert sind; und ein Mittel zum Beibehalten des vorbestimmten Abstands zwischen dem Film (4) und der Platte (1) in der Kammer (5) bis Druck ausgeübt wird.
7. Vorrichtung nach Anspruch 5, worin das Zugmittel (9) aufweist ein Mittel zum Herausziehen des aus Schichten zusammengesetzten Körpers zum Herausziehen des Körpers (20) aus der Kammer (5), während ein Ende des Körpers (20) gehalten wird; ein Filmabschneidemittel (10), das im allgemeinen zwischen der Vakuumkammer (5) und dem Herausziehmittel (9) angeordnet ist; wobei die Walze (7b) zwischen der Vakuumkammer (5) und dem Filmabschneidemittel (10) angeordnet ist.
8. Vorrichtung nach Anspruch 5, die weiter aufweist einen Halter zum Halten des Films (4) und des filmartigen Trägers (3) in einer derartigen Weise, daß ein Ende des Films (4) und ein Ende des Trägers (3) in einer nichtkontaktierenden Weise übereinandergelegt werden; eine Zugwalze (4c) zum Ausüben einer Zugkraft auf den Film (4); eine Lockerungswalze (3d), um den Träger (3) mit einer derartigen Lose zu versehen, so daß das Tragen der Basisplatte (1) nicht behindert wird, die auf den Träger (3) gesetzt ist; ein Verschlußmittel (5c) zum hermetischen Verschließen der Einlaß- und Auslaßöffnungen (5a, 5b) der Vakuumkammer (5), nachdem der Film (4) und der Träger (3) mit der Platte (1) darauf in die Kammer (5) transportiert sind; und ein Mittel zum Beibehalten der vorbestimmten Entfernung zwischen dem Film (4) und der Platte (1) in der Kammer, wenn die Einlaß- und Auslaßöffnungen (5a, 5b) hermetisch verschlossen sind.
9. Vorrichtung nach Anspruch 5, die ferner aufweist einen Basisplattenlader (2) zum Laden von Basisplatten (1) von einer Basisplattenkassette (1a) in einen bewegenden filmartigen Träger (3);
ein Dünnfilmversorgungsmittel (4a) zum Zuführen von kontinuierlichem dünnen Film (4) zum Kleben auf die Basisplatte (1);
einen Entlader (11) zum Laden des aus Schichten bestehenden Körpers (20) in eine Kassette (11b); und
eine Wärme- und Druckklebewalze (7b) zum miteinander Kleben der Komponenten des aus Schichten bestehenden Körpers (20) unter Wärme und Druck in einer Umgebung von Luft unter atmosphärischem Druck; wobei die Walze (7b) zwischen der Vakuumkammer (5) und dem Filmabschneidemittel (10) angeordnet ist.
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