KR960017105A - 릴리스필름을 이용한 수지몰드 장치와 수지몰드방법 및 거기에 이용되는 릴리스필름 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 몰드금형의 구조를 간소하게 하고, 이것에 의해 몰드금형의 조작을 용이하게 하는 것, 몰드금형을 제작하는 재질의 선택범위를 넓혀 적합한 수지몰드을 가능하게 하는 것을 목적으로 한다. 본 발명에 관한 수지 몰드장치는 상형(10a)과 하형(10b)으로 피성형품(20)을 클래프하고, 포트(12)로부터 수지성형부(21)에 수지를 압송하며, 수지성형시에 상형(10a)과 하형(lOb)의 수지성형부(21)의 내면과 상형(10a)과 하형(10b)의 클램프면에 몰드금형 및 몰드수지와 쉽게 박리할 수 있는 릴리스필름(30)을 에어흡착하고 릴리스필름(30)을 거쳐 피성형품(20)을 클램프해서 수지몰드한다. 릴리스필름(30)을 사용함으로써, 상형(10a) 및 하형(1Ob)의 수지 성형부(21)에 직접 수지를 적촉시키지 않고 수지몰드할 수 있다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 수지몰드장치의 제1실시예의 구성을 도시하는 단면도,
제2도는 금형으로 짜넣은 캐비티의 바닥부 및 릴리스필름등의 평면배치를 도시하는 설명도,
제4도는 래핑수지의 사시도,
제5도는 래핑수지를 세트지그로 금형에 세트하는 방법을 도시하는 설명도,
제6도는 하형에 설치하는 흡착지지구멍의 구성을 도시하는 설명도,
제15A도는 캐비티의 바닥부의 조립예를 도시하는 평면도,
제15B도는 캐비티의 바닥부의 조립예를 도시하는 단면도,
제16A도는 캐비티흡착구멍을 게이트위치로부터 분리시키는 방향으로 편위시킨 캐비티오목부의 평면도,
제16B도는 캐비티오목부에 릴리스필름이 흡착되는 상태를 도시하는 단면도,
제23도는 작은 구멍을 설치한 릴리스필름을 사용한 수지몰드방법을 도시하는 설명도,
제24도는 몰드금형에서 열전도성이 다른 재료를 장착한 상태의 단면도,
제25도는 상형에 게이트를 설치한 수지몰드장치의 구성을 도시하는 단면도,
제26도는 전사층을 설치한 릴리스필름의 평면도,
제27도는 전사층을 설치한 릴리스필름을 사용한 수지몰드 방법을 도시하는 단면도,
제28도는 전사층으로서 BGA를 사용한 수지몰드방법을 도시하는 단면도,
제29도는 댐과 바가 없는 상태의 수지몰드방법을 도시하는 설명도,
제30도는 플런저 및 포트의 구성을 도시하는 단면도,
제31도는 캐비티에 수지를 충전하고 있는 상태의 단면도,
제32도는 플런저 및 포트 이외의 구성을 도시하는 단면도,
제34도는 플런저의 다른 구성을 도시하는 단면도,
제35도는 편면수지몰드장치의 구성을 도시하는 단면도,
제36도는 편면수지몰드장치의 성형의 구성을 도시하는 단면도,
제37도는 편면수지몰드장치의 성형의 에어흡착구멍 등의 평면배치를 도시하는 설명도,
제38도는 몰드금형에 기판과 릴리스필름을 세트하는 방법을 도시하는 설명도,
제39도는 몰드금형에 기판과 릴리스필름을 세트하는 방법을 도시하는 설명도,
제40도는 몰드금형에 기판과 릴리스필름을 세트하는 방법을 도시하는 설명도,
제41도는 상형과 하형으로 형을 클램프한 상태의 단면도,
제42도는 상형과 하형으로 형을 클램프한 상태의 다른 예를 도시하는 단면도,
제43도는 칩사이즈패키지의 수지몰드 장치의 단면도,
제44도는 수지몰드장치의 종래예의 단면도.
Claims (21)
- 수지형성부를 갖는 몰드금형(10a, 10b)에 의해 피성형품(20)은 클램프하고, 포트(12)로부터 캐비티(21)에 수지물 압송해 수지형성하는 수지몰드장치에 있어서, 상기 몰드금형(10a, 10b)의 수지성형부의 내면과 그러한 수지성형부의 주위의 몰드금형의 클램프면에 몰드금형(10a, 10b) 및 몰드수지와 쉽게 박리할 수 있는 릴리스필름(30)을 에어흡착해 지지하는 흡착지지기구를 설치한 것을 특징으로 하는 릴리스필름을 이용한 수지몰드장치.
- 제1항에 있어서, 흡착지지기구가 상기 플램프면에서 한 단부가 열려 있고 단부가 에어흡인용의 에어기구(A)에 연통하게 설치되는 흡착공(32)과, 상기 수지성형부의 내면에서 한 단부가 열려 있고 다른 단부가 에어흡인용의 에어기구(B)에 연통하게 설치되는 캐비티 흡착공(36)을 갖는 것을 특징으로 하는 릴리스필름을 이용한 수지몰드장치.
- 제2항에 있어서, 몰드금형(10a, 10b)이 베이스부에 베이스부와는 별체로 형성한 캐비티 바닥부(22a, 22b)가 상기 베이스부에 설치한 캐비티 바닥부 조립용의 장착공내에 그러한 장착공의 내면과 캐비티 바닥부(22a, 22b)의 외측면과의 사이에 에어를 유통시키는 틈을 설치함으로써 상기 캐비티 흡착공(36)을 형성하게 장착된 것을 특징으로 하는 릴리스필름을 이용한 수지몰드장치.
- 제2항에 있어서, 캐비티 흡착공(36)이 캐비티 오목부 저면의 주연에 열리게 설치된 것을 특징으로 하는 릴리스필름을 이용한 수지몰드장치.
- 제2항 또는 3항에 있어서, 캐비티 흡착공(36)이 캐비티 오목부의 게이트(lOc)가 배치될 코너부로부터 떨어지는 방향으로 편위하게 설치된 것을 특징으로 하는 릴리스필름을 이용한 수지몰드장치.
- 제1항에 있어서, 몰드금형(10a, 10b)이 상기 수지성형부를 구성하는 부위에 몰드금형(10a, 10b)을 지지하는 베이스부의 소재와는 열전도율이 다른 부재를 조립시켜 이루어진 것을 특징으로 하는 릴리스필름을 이용한 수지몰드장치.
- 제3항에 있어서, 캐비티 바닥부(22a, 22b)로서 몰드금형(10a, 10b)의 베이스부의 소재와는 다른 열전도율의 소재물 이용한 것을 특징으로 하는 릴리스필름을 이용한 수지몰드장치.
- 제6항에 있어서, 몰드금형의 상형(10a)과 하형(10b)이 열전도율이 다른 소재에 의해 형성된 것을 특징으로 하는 릴리스필름을 이용한 수지몰드장치.
- 제6항에 있어서, 몰드금형의 상형(10a) 또는 하형(10b)의 수지성형부를 구성하는 부재내에 히터(23)가 설치된 것을 특징으로 하는 릴리스필름을 이용할 수지몰드장치.
- 제1항에 있어서, 몰드금형의 상형(10a) 또는 하형(10b)의 한쪽에 클램프시에 각각 하형(l0b) 또는 상형(10a)의 클램프면에 맞닿아서 클램프시에 있어서의 상형(10a)의 하형(10b)의 면간격을 조절하는 충돌블럭(80)을 설치한 것을 특징으로 하는 릴리스필름을 이용한 수지몰드장치.
- 수지형성부를 갖은 몰드금형(10a, lOb)에 의해 피성형품(20)을 클램프하고, 포트(12)로부터 캐비터(21)에 수지를 압송해 상기 피성형품(20)을 편면수지몰드 하는 릴리스필름을 이용한 수지몰드장치에 있어서, 몰드 금형의 상형(10a) 또는 하형(10b)이 한쪽에 피성형품(5)을 에어흡인해 흡착지지하는 흡착수단을 설치하고, 상기 상형(10a) 또는 하형(10b)의 다른 쪽에 상기 수지형성부의 내면과 그러한 수지형성부의 주위의 몰드금형의 클램프면에 몰드금청(10a, 10b) 및 몰드수지와 쉽게 박리할 수 있는 릴리스 필름(30)을 에어흡인해 흡착지지하는 흡착지지기구를 설치한 것을 특징으로 하는 릴리스필름을 이용한 수지몰드장치.
- 제1항, 제2항 또는 제3항에 있어서, 포트(12)의 내면을 포트(12)내로부터 구멍부에 걸쳐 밖으로 벌어지는 테이퍼면(12a)에 형성한 것을 특징으로 하는 릴리스필름을 이용한 수지몰드장치.
- 제11항에 있어서, 플런저(13)의 누름단부쪽의 선단부를 단면형상으로 끝이 가늘게 된 테이퍼부(13a)에 형성한 것을 특징으로 하는 릴리스필름을 이용한 수지몰드장치.
- 수지성형부를 갖는 몰드금형(10a, 10b)에 의해 피성형품(20)을 클램프하고, 포트(12)로부터 캐비티(21)에 수지를 압송하여 수지성형하는 릴리스필름을 이용한 수지물드방법에 있어서, 흡착지지기구에 의해 상기 몰드금형(10a, 1Ob)의 수지성형부의 내면과 그러한 수지성형부의 주위의 몰드금형(10a, 10b)의 클램프면에 몰드금형 및 몰드수지와 쉽게 박리할 수 있는 릴리스필름(30)을 에어흡착해 지지하고 필리스필름(37)을 거쳐 상기 피성형품(20)을 클램프해 수지몰드하는 것을 특징으로 하는 릴리스필름을 이용한 수지몰드방법.
- 제14항에 있어서, 포트(12)에 공급하는 수지로서 래핑필름(44, 46)에 의해 몰드용의 수지를 밀봉한 래핑수지(42)를 사용하고, 포트(12)와 캐비티(21)를 연락하는 수지로부분에서 포트(12)로부터 연장된 래핑필름(44,46)의 측연과 상기 릴리스필름(30)의 측연을 중복해서 배치함으로써 수지몰드하는 것을 특징으로 하는 릴리스필름을 이용한 수지몰드방법.
- 제15항에 있어서, 포트(12)에 래핑수지(42)를 세트한 때의 래핑필름(44, 46)의 측연의 위치를 캐비티(21)와 게이트(10c)의 경계위치에 일치시킨 것을 특징으로 하는 릴리스필름을 이용한 수지몰드방법.
- 제15항에 있어서, 포트(12)에 래핑수지(42)를 세트한 때의 래핑필름(44, 46)의 측면의 위치를 캐비티(21)와 게이트(1Oc)의 경계위치로부터 이격시키고, 상기 피성형품(20)이 표면에 수지를 부착시켜서 수지몰드하는 것을 특징으로 하는 릴리스필름을 이용한 수지몰드방법.
- 제14항에 있어서, 피성형품으로서 댐바아가 없는 리드프레임(20)을 이용하고, 릴리스필름(30)을 거쳐 상기 리드프레임(20)을 클램프해서 수지몰드하는 것을 특징으로 하는 릴리스필름을 이용한 수지몰드방법.
- 제15항에 있어서, 피성형품으로서 몰드금형(10a, 10b)의 게이트(10c)가 통과하는 부위에 게이트창(20a)을 설치한 리드프레임(20)을 이용하고, 상형(10a) 또는 하형(10b)의 한쪽의 클램프면에 클램프시에 상기 게이트창(20a)을 폐쇄하는 댐블럭(20c)을 설치한 몰드금형(10a, 10b)에 의해 상기 리드프레임(20)을 클램프해서 수지몰드하는 것을 특징으로 하는 수지몰드방법.
- 제14항 또는 제15항에 있어서, 피성형품으로서 칩사이즈패키지(7)을 이용하고, 그러한 칩사이즈패키지(7)의 외주연부의 배선패턴을 수지몰드하는 것을 특징으로 하는 수지몰드방법.
- 수지몰드시에 몰드금형(10a, 10b)의 수지성형부의 내면과 그러한 수지성형부외 주위의 몰드금형(10a, 10b)의 클램프면에 에어홈착되어 지지되는 수지몰드용 릴리스필름(30)에 있어서, 필름면에 수지몰드시에 몰드 수지에 전사되는 전사층(60)이 설치된 것을 특징으로 하는 수지몰드용 릴리스필름.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP28693494A JP3241553B2 (ja) | 1994-11-21 | 1994-11-21 | リリースフィルムを用いる樹脂モールド装置 |
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JP29476294A JP3214790B2 (ja) | 1994-11-29 | 1994-11-29 | 樹脂モールド装置及び樹脂モールド方法 |
JP95-30353 | 1995-02-20 | ||
JP3035395A JP3246847B2 (ja) | 1995-02-20 | 1995-02-20 | ラッピング樹脂を用いる樹脂モールド装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100691676B1 (ko) * | 1999-12-24 | 2007-03-09 | 후지쯔 가부시끼가이샤 | 반도체 장치의 제조 방법 및 이 방법에 사용하는 분할 금형 |
Families Citing this family (46)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE4432333A1 (de) * | 1994-09-10 | 1996-03-14 | Iloma Automatisierungstechnik | Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung von Formkörpern aus Polymerbeton |
US6048483A (en) | 1996-07-23 | 2000-04-11 | Apic Yamada Corporation | Resin sealing method for chip-size packages |
JP3447518B2 (ja) * | 1996-08-09 | 2003-09-16 | リンテック株式会社 | 接着シート貼付装置および方法 |
JP3017470B2 (ja) * | 1997-07-11 | 2000-03-06 | アピックヤマダ株式会社 | 樹脂モールド方法及び樹脂モールド装置 |
DE19731780A1 (de) * | 1997-07-24 | 1999-01-28 | Inst Mikrotechnik Mainz Gmbh | Verfahren zur Herstellung empfindlicher Formteile unter Einsatz einer Folie |
JP3017485B2 (ja) * | 1998-01-23 | 2000-03-06 | アピックヤマダ株式会社 | 半導体装置の樹脂封止方法及び樹脂封止装置 |
NL1008488C2 (nl) * | 1998-03-05 | 1999-09-07 | Fico Bv | Maldeel, mal en werkwijze voor het omhullen van op een drager bevestigde elektronische componenten. |
NL1008924C2 (nl) * | 1998-04-17 | 1999-10-19 | 3P Licensing Bv | Eenheidsdosering voor omhullingsmateriaal, een daarvoor bestemde verpakking en een werkwijze voor het vervaardigen daarvan. |
CN1304349A (zh) * | 1998-04-17 | 2001-07-18 | “3P”许可有限公司 | 封装材料的封装 |
NL1009563C2 (nl) * | 1998-07-06 | 2000-01-10 | Fico Bv | Mal, omhulinrichting en werkwijze voor het omhullen. |
SG85653A1 (en) * | 1998-07-10 | 2002-01-15 | Apic Yamada Corp | Method of manufacturing semiconductor devices and resin molding machine |
JP3486557B2 (ja) * | 1998-07-30 | 2004-01-13 | 宮崎沖電気株式会社 | トランスファ成形装置及び半導体装置の製造方法 |
JP3450223B2 (ja) * | 1999-05-27 | 2003-09-22 | Necエレクトロニクス株式会社 | 半導体装置封入用金型、及び、半導体装置封入方法 |
JP4077118B2 (ja) * | 1999-06-25 | 2008-04-16 | 富士通株式会社 | 半導体装置の製造方法および半導体装置製造用金型 |
US6312976B1 (en) | 1999-11-22 | 2001-11-06 | Advanced Semiconductor Engineering, Inc. | Method for manufacturing leadless semiconductor chip package |
JP3510554B2 (ja) * | 2000-02-10 | 2004-03-29 | 山形日本電気株式会社 | 樹脂モールド方法、モールド成形用金型及び配線基材 |
JP4239352B2 (ja) * | 2000-03-28 | 2009-03-18 | 株式会社日立製作所 | 電子装置の製造方法 |
US6916683B2 (en) * | 2000-05-11 | 2005-07-12 | Micron Technology, Inc. | Methods of fabricating a molded ball grid array |
JP2002009096A (ja) * | 2000-06-20 | 2002-01-11 | Apic Yamada Corp | 樹脂封止方法及び樹脂封止装置 |
US6439869B1 (en) | 2000-08-16 | 2002-08-27 | Micron Technology, Inc. | Apparatus for molding semiconductor components |
US6770236B2 (en) * | 2000-08-22 | 2004-08-03 | Apic Yamada Corp. | Method of resin molding |
US6838760B1 (en) * | 2000-08-28 | 2005-01-04 | Micron Technology, Inc. | Packaged microelectronic devices with interconnecting units |
US20020043389A1 (en) * | 2000-09-29 | 2002-04-18 | Selvarajan Murugan | Virtual gate design for thin packages |
US6486066B2 (en) * | 2001-02-02 | 2002-11-26 | Matrix Semiconductor, Inc. | Method of generating integrated circuit feature layout for improved chemical mechanical polishing |
US7595017B2 (en) * | 2002-01-31 | 2009-09-29 | Stmicroelectronics, Inc. | Method for using a pre-formed film in a transfer molding process for an integrated circuit |
JP2004134591A (ja) * | 2002-10-10 | 2004-04-30 | Renesas Technology Corp | 半導体集積回路装置の製造方法 |
US6989122B1 (en) * | 2002-10-17 | 2006-01-24 | National Semiconductor Corporation | Techniques for manufacturing flash-free contacts on a semiconductor package |
WO2004053973A1 (en) * | 2002-12-10 | 2004-06-24 | Infineon Technolgies Ag | Method of packaging integrated circuits, and integrated circuit packages produced by the method |
KR100546372B1 (ko) * | 2003-08-28 | 2006-01-26 | 삼성전자주식회사 | 웨이퍼 레벨 칩 사이즈 패키지의 제조방법 |
US20050058837A1 (en) * | 2003-09-16 | 2005-03-17 | Farnworth Warren M. | Processes for facilitating removal of stereolithographically fabricated objects from platens of stereolithographic fabrication equipment, object release elements for effecting such processes, systems and fabrication processes employing the object release elements, and objects which have been fabricated using the object release elements |
KR100957703B1 (ko) * | 2007-04-13 | 2010-05-12 | 주식회사 엘지화학 | 미세패턴 형성 방법 |
JP5172590B2 (ja) * | 2008-10-14 | 2013-03-27 | 新光電気工業株式会社 | 積層配線基板の樹脂封止方法及び樹脂封止装置 |
TWI515842B (zh) * | 2008-11-17 | 2016-01-01 | 先進封裝技術私人有限公司 | 半導體晶片封裝系統 |
CN102011952A (zh) * | 2009-09-04 | 2011-04-13 | 佛山市国星光电股份有限公司 | Led光源模块的制造方法及该方法的产品 |
CN102371646A (zh) * | 2010-08-11 | 2012-03-14 | 联想(北京)有限公司 | 一种工件的制备方法 |
FR2975038B1 (fr) * | 2011-05-10 | 2014-03-07 | Airbus Operations Sas | Procede de fabrication d'une piece en materiau composite et piece ainsi obtenue. |
DE102011082157A1 (de) * | 2011-09-06 | 2013-03-07 | Osram Opto Semiconductors Gmbh | Presswerkzeug und Verfahrenzum Herstellen eines Silikonelements |
CN102303387A (zh) * | 2011-09-08 | 2012-01-04 | 扬州杰特沈飞车辆装饰件有限公司 | 一种餐桌封边工艺 |
JP2013093504A (ja) * | 2011-10-27 | 2013-05-16 | Toshiba Corp | 半導体装置の製造方法および冶具 |
JP5877083B2 (ja) | 2012-02-14 | 2016-03-02 | 住友重機械工業株式会社 | 樹脂封止装置及び樹脂封止方法 |
US20140275915A1 (en) | 2013-03-13 | 2014-09-18 | Medtronic, Inc. | Implantable medical device including a molded planar transformer |
US20160141187A1 (en) * | 2014-11-14 | 2016-05-19 | Infineon Technologies Ag | Method of manufacturing an integrated circuit with imprint, integrated circuit with imprint, device for forming an integrated circuit with imprint and verification system for an integrated circuit with imprint |
JP7414718B2 (ja) | 2017-12-15 | 2024-01-16 | ウエスト ファーマスーティカル サービシーズ インコーポレイテッド | エラストマ物品を製造する方法 |
US11014140B2 (en) * | 2019-04-15 | 2021-05-25 | Raytheon Technologies Corporation | Ceramic core setter |
JP7360368B2 (ja) * | 2020-08-18 | 2023-10-12 | Towa株式会社 | 樹脂成形装置及び樹脂成形品の製造方法 |
KR20220088963A (ko) * | 2020-12-21 | 2022-06-28 | 현태섭 | 연질 성형물의 성형 캐비티 |
Family Cites Families (32)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3754070A (en) * | 1970-08-03 | 1973-08-21 | Motorola Inc | Flash free molding |
US4003544A (en) * | 1973-06-11 | 1977-01-18 | Motorola, Inc. | Gateless injection mold for encapsulating semiconductor devices |
JPS5243366A (en) * | 1975-10-01 | 1977-04-05 | Hitachi Ltd | Mold for resin molding |
US4052241A (en) * | 1975-11-13 | 1977-10-04 | Detroit Gasket And Manufacturing Company | Method of forming a contoured laminate |
JPS60131213A (ja) * | 1983-12-21 | 1985-07-12 | Japan Steel Works Ltd:The | 転写成形装置 |
JPS614234A (ja) * | 1984-06-19 | 1986-01-10 | Michio Osada | 半導体素子の樹脂モ−ルド成形方法及び半導体リ−ドフレ−ム |
JPS61167515A (ja) * | 1985-01-21 | 1986-07-29 | Hitachi Ltd | モ−ルド装置 |
JPS6251416A (ja) * | 1985-08-30 | 1987-03-06 | Sony Corp | 樹脂封止金型 |
JPS62207615A (ja) * | 1986-03-07 | 1987-09-12 | Fujitsu Ltd | 樹脂封止用金型 |
JPS6444026A (en) * | 1987-08-11 | 1989-02-16 | Michio Osada | Resin-seal formation of component to be sealed and heat resistant sheet member used therefor |
JPH01202415A (ja) * | 1988-02-08 | 1989-08-15 | Matsuda Seisakusho:Kk | 射出成形同時絵付け方法において、フイルムの離型方法 |
DE3811814C2 (de) * | 1988-04-08 | 1994-08-25 | Siemens Ag | Spritz-Form-Vorrichtung für quarzgefülltes Kunststoff-Material |
JPH01293523A (ja) * | 1988-05-20 | 1989-11-27 | Mitsubishi Electric Corp | 樹脂封止型半導体装置用封止金型 |
JPH01299008A (ja) * | 1988-05-27 | 1989-12-01 | Mitsubishi Electric Corp | モールド装置 |
WO1989012871A1 (en) * | 1988-06-21 | 1989-12-28 | W & T Avery Limited | Manufacturing portable electronic tokens |
JPH0245117A (ja) * | 1988-08-05 | 1990-02-15 | Mitsubishi Electric Corp | 樹脂封止型半導体装置用の金型 |
US4944908A (en) * | 1988-10-28 | 1990-07-31 | Eaton Corporation | Method for forming a molded plastic article |
US5043199A (en) * | 1988-10-31 | 1991-08-27 | Fujitsu Limited | Resin tablet for plastic encapsulation and method of manufacturing of plastic encapsulation using the resin tablet |
NL8802879A (nl) * | 1988-11-22 | 1990-06-18 | Ireneus Johannes Theodorus Mar | Werkwijze voor het verpakken van een afgepaste, voor het omhullen van een component bestemde hoeveelheid thermohardende kunststof, met deze werkwijze verkregen verpakking, werkwijze voor het bedrijven van een matrijs en matrijs voor het uitvoeren van deze werkwijze. |
US4956141A (en) * | 1989-04-07 | 1990-09-11 | Libbey-Owens-Ford Co. | Molding process utilizing a mold release membrane |
US5417905A (en) * | 1989-05-26 | 1995-05-23 | Esec (Far East) Limited | Method of making a card having decorations on both faces |
US4965037A (en) * | 1989-07-17 | 1990-10-23 | Libbey-Owens-Ford Co. | Method of molding a composite |
US5226997A (en) * | 1989-08-28 | 1993-07-13 | United Technologies Corporation | Mold liners for resin transfer molding |
JPH03234605A (ja) * | 1990-02-13 | 1991-10-18 | Toshiba Corp | レジン成形装置 |
JPH0437507A (ja) * | 1990-06-02 | 1992-02-07 | Yamada Seisakusho Co Ltd | 成形機のエジェクタピン取付構造 |
US5270262A (en) * | 1991-02-28 | 1993-12-14 | National Semiconductor Corporation | O-ring package |
US5185653A (en) * | 1990-11-08 | 1993-02-09 | National Semiconductor Corporation | O-ring package |
NL9200127A (nl) * | 1992-01-23 | 1993-08-16 | Ireneus Johannes Theodorus Mar | Werkwijze voor het in een vormholte persen van een door een reactie uithardende kunststof, een daarbij te gebruiken pilvormig pershulpmateriaal alsmede een houder uit dergelijk materiaal. |
CA2101300C (en) * | 1992-08-04 | 1998-07-28 | Emery I. Valyi | Process and apparatus for forming a color coated article |
JPH06151490A (ja) * | 1992-11-05 | 1994-05-31 | Toshiba Corp | 半導体装置製造用金型 |
NL9400119A (nl) * | 1994-01-27 | 1995-09-01 | 3P Licensing Bv | Werkwijze voor het met een hardende kunststof omhullen van een electronische component, electronische componenten met kunststofomhulling verkregen door middel van deze werkwijze en matrijs voor het uitvoeren der werkwijze. |
USH1654H (en) * | 1995-01-10 | 1997-06-03 | Rounds; Nicholas A. | Transfer molding process for encapsulating semiconductor devices |
-
1995
- 1995-11-17 EP EP95308258A patent/EP0730937B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1995-11-17 DE DE69501632T patent/DE69501632T2/de not_active Expired - Fee Related
- 1995-11-20 CN CN95121509A patent/CN1061929C/zh not_active Expired - Lifetime
- 1995-11-21 TW TW084112384A patent/TW291569B/zh not_active IP Right Cessation
- 1995-11-21 KR KR1019950043691A patent/KR100193592B1/ko not_active IP Right Cessation
- 1995-11-21 MY MYPI95003545A patent/MY114403A/en unknown
- 1995-11-21 US US08/561,021 patent/US5891384A/en not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100691676B1 (ko) * | 1999-12-24 | 2007-03-09 | 후지쯔 가부시끼가이샤 | 반도체 장치의 제조 방법 및 이 방법에 사용하는 분할 금형 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN1131610A (zh) | 1996-09-25 |
EP0730937B1 (en) | 1998-02-18 |
TW291569B (ko) | 1996-11-21 |
CN1061929C (zh) | 2001-02-14 |
EP0730937A1 (en) | 1996-09-11 |
DE69501632T2 (de) | 1998-07-23 |
US5891384A (en) | 1999-04-06 |
DE69501632D1 (de) | 1998-03-26 |
KR100193592B1 (ko) | 1999-06-15 |
MY114403A (en) | 2002-10-31 |
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