JP5877083B2 - 樹脂封止装置及び樹脂封止方法 - Google Patents
樹脂封止装置及び樹脂封止方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5877083B2 JP5877083B2 JP2012029989A JP2012029989A JP5877083B2 JP 5877083 B2 JP5877083 B2 JP 5877083B2 JP 2012029989 A JP2012029989 A JP 2012029989A JP 2012029989 A JP2012029989 A JP 2012029989A JP 5877083 B2 JP5877083 B2 JP 5877083B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- mold
- region
- resin
- sealing
- adsorbing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 238000007789 sealing Methods 0.000 title claims description 86
- 239000011347 resin Substances 0.000 title claims description 59
- 229920005989 resin Polymers 0.000 title claims description 59
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 9
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 claims description 21
- 230000013011 mating Effects 0.000 claims description 7
- 238000000465 moulding Methods 0.000 claims description 7
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 49
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 8
- 230000006835 compression Effects 0.000 description 6
- 238000007906 compression Methods 0.000 description 6
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 6
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 3
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 2
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 2
- 239000004593 Epoxy Substances 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 238000000748 compression moulding Methods 0.000 description 1
- 230000006837 decompression Effects 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 238000013461 design Methods 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 230000001771 impaired effect Effects 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 230000002265 prevention Effects 0.000 description 1
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Moulds For Moulding Plastics Or The Like (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Encapsulation Of And Coatings For Semiconductor Or Solid State Devices (AREA)
- Casting Or Compression Moulding Of Plastics Or The Like (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
Description
4、104…離型フィルム
6、106…基板
6A、106A…封止領域
6B、106B…穴
10、110…上型
10A…吸着口
10B…流路
30、130…下型
32、132…圧縮型
34、134…ヒータ
36、136…枠型
36A、118A、136A…貫通孔
38、138…ばね
108…樹脂
114…第1上型
114A…第1流路
116…第2上型
116A…下型側表面
116B…第1上型側表面
118…外型
120…内型
120A…吸着部
120B…第2流路
120C…中継溝
120D…貫通路
150…キャビティ
Claims (6)
- 第1金型と該第1金型に相対的に接近・離反可能な第2金型とを有し、負圧により被成形品を該第1金型に吸着して樹脂封止を行う樹脂封止装置において、
前記第1金型は、前記被成形品が樹脂封止される封止領域に対応する領域と該封止領域に最も近くに設けられた穴に対応する領域との間であって、該封止領域に対応する領域を囲む領域に、該被成形品を吸着する吸着部を有し、
前記第1金型は、複数の金型要素を有し、
該複数の金型要素の合わせ部に前記吸着部が形成されている
ことを特徴とする樹脂封止装置。 - 第1金型と該第1金型に相対的に接近・離反可能な第2金型とを有し、負圧により被成形品を該第1金型に吸着して樹脂封止を行う樹脂封止装置において、
前記第1金型は、前記被成形品が樹脂封止される封止領域に対応する領域とツーリングホールが形成される領域に対応する領域との間であって、該封止領域に対応する領域を囲む領域に、該被成形品を吸着する吸着部を有し、
前記第1金型は、複数の金型要素を有し、
該複数の金型要素の合わせ部に前記吸着部が形成されている
ことを特徴とする樹脂封止装置。 - 請求項1または2において、
前記吸着部は溝状に形成されている
ことを特徴とする樹脂封止装置。 - 請求項1乃至3のいずれかにおいて、
前記吸着部は、前記封止領域に対応する領域を囲むリング形状とされている
ことを特徴とする樹脂封止装置。 - 請求項1乃至4のいずれかにおいて、
前記第1金型は、内型と、該内型が内嵌される外型と、を有し、
該内型と該外型の合わせ部に前記吸着部が形成されている
ことを特徴とする樹脂封止装置。 - 第1金型と該第1金型に相対的に接近・離反可能な第2金型とを用いて、負圧により被成形品を該第1金型に吸着して樹脂封止を行う樹脂封止方法において、
前記第1金型は複数の金型要素を有しており、該第1金型に設けられ、且つ該複数の金型要素の合わせ部に形成されている吸着部が、前記被成形品が樹脂封止される封止領域に対応する領域と該封止領域に最も近くに設けられた穴に対応する領域との間であって、該封止領域に対応する領域を囲む領域で、該被成形品を吸着する工程を含む
ことを特徴とする樹脂封止方法。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012029989A JP5877083B2 (ja) | 2012-02-14 | 2012-02-14 | 樹脂封止装置及び樹脂封止方法 |
TW101145270A TW201332737A (zh) | 2012-02-14 | 2012-12-03 | 樹脂密封裝置及樹脂密封方法 |
KR1020130000884A KR101417577B1 (ko) | 2012-02-14 | 2013-01-04 | 수지밀봉장치 및 수지밀봉방법 |
CN2013100512645A CN103240817A (zh) | 2012-02-14 | 2013-02-16 | 树脂密封装置及树脂密封方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012029989A JP5877083B2 (ja) | 2012-02-14 | 2012-02-14 | 樹脂封止装置及び樹脂封止方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013166272A JP2013166272A (ja) | 2013-08-29 |
JP5877083B2 true JP5877083B2 (ja) | 2016-03-02 |
Family
ID=48920852
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012029989A Active JP5877083B2 (ja) | 2012-02-14 | 2012-02-14 | 樹脂封止装置及び樹脂封止方法 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5877083B2 (ja) |
KR (1) | KR101417577B1 (ja) |
CN (1) | CN103240817A (ja) |
TW (1) | TW201332737A (ja) |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6057880B2 (ja) * | 2013-11-28 | 2017-01-11 | Towa株式会社 | 圧縮成形装置の樹脂材料供給方法及び供給装置 |
JP6430342B2 (ja) * | 2015-08-11 | 2018-11-28 | Towa株式会社 | 樹脂成形装置及び樹脂成形方法並びに成形型 |
JP6827283B2 (ja) * | 2016-08-03 | 2021-02-10 | Towa株式会社 | 成形型、樹脂成形装置及び樹脂成形品の製造方法 |
JP6723185B2 (ja) * | 2017-03-29 | 2020-07-15 | Towa株式会社 | 成形型、樹脂成形装置、樹脂成形方法、及び樹脂成形品の製造方法 |
CN110341109A (zh) * | 2019-07-10 | 2019-10-18 | 安徽宏飞钓具有限公司 | 一种仿生鱼饵生产用可精确定位的模具 |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE69501632T2 (de) | 1994-11-21 | 1998-07-23 | Apic Yamada Corp | Harzformmaschine mit Trennfolie |
JP2000015667A (ja) * | 1998-06-30 | 2000-01-18 | Nissha Printing Co Ltd | 射出成形用金型と絵柄付成形品の製造方法 |
JP4230679B2 (ja) * | 2000-06-26 | 2009-02-25 | 株式会社東芝 | 半導体樹脂モールド装置および半導体樹脂モールド方法 |
JP4084844B2 (ja) * | 2005-09-27 | 2008-04-30 | Towa株式会社 | 電子部品の樹脂封止成形方法及び装置 |
JP4764745B2 (ja) * | 2006-03-02 | 2011-09-07 | アピックヤマダ株式会社 | 樹脂モールド装置および樹脂モールド方法 |
JP5247668B2 (ja) * | 2009-12-09 | 2013-07-24 | ルネサスエレクトロニクス株式会社 | 半導体パッケージ製造装置及び半導体パッケージの製造方法 |
-
2012
- 2012-02-14 JP JP2012029989A patent/JP5877083B2/ja active Active
- 2012-12-03 TW TW101145270A patent/TW201332737A/zh unknown
-
2013
- 2013-01-04 KR KR1020130000884A patent/KR101417577B1/ko active IP Right Grant
- 2013-02-16 CN CN2013100512645A patent/CN103240817A/zh active Pending
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR101417577B1 (ko) | 2014-07-08 |
KR20130093532A (ko) | 2013-08-22 |
TW201332737A (zh) | 2013-08-16 |
JP2013166272A (ja) | 2013-08-29 |
CN103240817A (zh) | 2013-08-14 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5877083B2 (ja) | 樹脂封止装置及び樹脂封止方法 | |
KR102455987B1 (ko) | 성형 금형, 성형 장치, 성형품의 제조 방법 및 수지 몰드 방법 | |
KR20180048411A (ko) | 압축성 구조물을 포함하는 몰딩 장치 | |
KR102494894B1 (ko) | 몰딩 금형 및 그것을 갖춘 수지 몰딩 장치 | |
US20130323886A1 (en) | Semiconductor Molding Chamber | |
TWI521652B (zh) | Resin sealing device and resin sealing method | |
KR101667854B1 (ko) | 수지 밀봉 방법 및 수지 밀봉 장치 | |
JP2009272398A (ja) | 半導体チップの樹脂封止成形方法及び金型 | |
JP6304517B1 (ja) | 樹脂封止方法及び樹脂封止装置 | |
JP5364944B2 (ja) | モールド金型 | |
JP2018192712A (ja) | モールド金型及び樹脂モールド方法 | |
JP6779209B2 (ja) | 電子部品を有するキャリアのオーバーモールド制御用の金型、成形装置および方法ならびに成形品 | |
JP5468574B2 (ja) | 電子部品の樹脂封止成形方法及び装置 | |
JP5786918B2 (ja) | 樹脂封止金型およびこれを用いた樹脂封止装置、樹脂封止方法 | |
TWI481081B (zh) | 封止材料形成方法 | |
JP2013162041A (ja) | 樹脂封止装置及び樹脂封止方法 | |
TWI656006B (zh) | Resin forming device | |
JP2011100825A5 (ja) | 中空樹脂パッケージの形成方法および形成装置 | |
JP5409549B2 (ja) | 圧縮成形用金型及び圧縮成形方法 | |
TW201104931A (en) | Package assembly for fabricating semiconductor packages | |
JP5923293B2 (ja) | モールド金型 | |
JP6028465B2 (ja) | 樹脂モールド方法及び樹脂モールド装置 | |
JP2013146970A (ja) | 半導体装置の製造方法及び離型フィルム | |
TW201132483A (en) | Mold apparatus for resin encapsulation | |
JP6981617B2 (ja) | 半導体装置の製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20140617 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20150311 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20150317 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20150417 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20150804 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20150819 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20160105 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20160125 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5877083 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |