KR101667854B1

KR101667854B1 - 수지 밀봉 방법 및 수지 밀봉 장치

Info

Publication number: KR101667854B1
Application number: KR1020140165469A
Authority: KR
Inventors: 신지 다카세; 요시히사 가와모토
Original assignee: 토와 가부시기가이샤
Priority date: 2013-12-26
Filing date: 2014-11-25
Publication date: 2016-10-19
Also published as: CN104752238B; TW201532776A; CN104752238A; JP6143665B2; JP2015126125A; TWI577526B; KR20150076075A

Abstract

수지 밀봉틀의 캐비티부 내에 전자 부품의 수지 밀봉에 필요한 적정량의 수지 재료를 공급하며, 캐비티부 내에 있어서의 수지 압축 시의 수지 유동을 억제한다.
수지 밀봉틀에 전자 부품을 장착한 기판을 공급하고, 또한, 이형(離型) 필름과 그 상면에 점착된 시트 수지를 수지 밀봉틀의 캐비티부에 공급한다. 그리고, 캐비티부에 대한 셋팅 시에 시트 수지의 주변 부위를 캐비티부의 외측 주연 부위가 되는 캐비티 측면 부재의 틀면에 돌출시켜 중합(重合)시켜 오버랩부를 설정한다. 또한, 수지 밀봉틀의 결합 압력으로 오버랩부를 절단·분리하며, 절단·분리된 오버랩부가 제거된 적정량의 시트 수지를 캐비티부 내에 수용함으로써, 캐비티부 내의 주변부에 수지 미충전 상태의 공극부가 생기는 것을 방지하는 수지 밀봉 방법 및 장치.

Description

수지 밀봉 방법 및 수지 밀봉 장치{RESIN SEALING METHOD AND RESIN SEALING APPARATUS}

본 발명은, 수지 밀봉 장치에 있어서의 수지 밀봉틀의 미리 정해진 위치에 기판 상의 전자 부품을 공급하여 셋팅하며, 상기 수지 밀봉틀의 캐비티부 내에 시트 수지를 공급하여 가열 용융하고 또한 용융 수지 재료를 압축하여 기판 상의 전자 부품을 수지 밀봉하기 위한 수지 밀봉 방법 및 수지 밀봉 장치에 관한 것이다. 보다 상세하게는, 상기 수지 밀봉틀의 캐비티부 내에 상기 전자 부품을 수지 밀봉하기 위해 필요한 적정량의 수지 재료를 공급할 수 있으며, 상기 캐비티부 내의 용융 수지 재료를 압축할 때에 상기 용융 수지 재료의 유동 작용을 억제함으로써, 이 용융 수지 재료의 유동 작용에 기인하여 상기 기판 상에 장착한 전자 부품에서 위치 어긋남 등의 문제점이 발생하는 것 같은 일이 없고, 또한, 균등한 두께로 압축 성형된 수지 패키지 내에 상기 전자 부품을 밀봉 성형할 수 있도록 개선한 것에 관한 것이다.

시트 수지를 이용하는 수지 밀봉 방법 및 수지 밀봉 장치에 대해서는, 예컨대, 도 11에 나타내는 바와 같은 방법 및 장치가 알려져 있고, 이하, 이것을 동도면에 기초하여 설명한다.

우선, 도 11의 (1)에 나타내는 바와 같이, 상형(1)의 틀면에 복수의 전자 부품(2)을 장착한 기판(3)을 공급하며, 이 전자 부품(2)이 하측으로 되는 상태로 상기 기판(3)을 걸어 장착하여 지지한다.

또한, 하형(4)에 마련한 캐비티부(5)의 용적에 맞추어 복수의 판형 수지 재료(6)가 점착된 이형(離型) 필름(7)을 하형(4)과 상형(1) 사이에 반송한다. 그리고, 상기 이형 필름(7) 상면의 각 판형 수지 재료(6)를 캐비티부(5)의 위치에 맞추며, 이 상태로, 이형 필름(7)을 하형(4)의 틀면에 덮는다.

다음에, 도 11의 (2)에 나타내는 바와 같이, 하형(4)에 마련한 흡기구(8)로부터 캐비티부(5) 내의 공기를 흡인하여 캐비티부(5) 내를 감압함으로써, 이 이형 필름(7) 및 각 판형 수지 재료(6)를 캐비티부(5)의 형상면을 따라 흡착시킨다.

다음에, 도 11의 (3)에 나타내는 바와 같이, 하형(4)과 상형(1)을 결합하며, 이형 필름(7)을 통해 각 판형 수지 재료(6)를 가열 용융하고 또한 용융 수지 재료(6a)를 압축함으로써, 기판(3) 상의 각 전자 부품(2)을 수지 밀봉 성형한다.

또한, 이러한 각 판형 수지 재료(6)나, 캐비티부(5)의 치수·형상에 맞추어 고형화한 시트 수지를 이용하는 압축 성형의 경우는, 캐비티부(5) 내에서 가열 용융된 용융 수지 재료(6a)의 유동 작용이나 상기 용융 수지 재료(6a) 내로의 공기의 인입 작용 등을 억제하기 쉽다고 하는 이점이 있다.

그런데, 상기 이형 필름(7) 상면의 각 판형 수지 재료(6)는 캐비티부(5)의 용량에 알맞은 양을 이용할 수 있다.

그러나, 이러한 복수의 판형 수지 재료(6)나 시트형 수지 재료를 캐비티부(5) 내에 공급하는 것 같은 경우라도, 이들 수지 재료의 전체의 크기는, 필연적으로, 캐비티부(5)의 크기(면적)보다 작아지도록 설정하지 않으면 안 된다.

따라서, 이들 수지 재료를 캐비티부(5) 내에 공급하면, 캐비티부(5)의 주연부와 상기 수지 재료의 외주연 사이에 공극부(S)가 필요하게 된다[도 11의 (2) 참조].

그리고, 이러한 상태로 상하 양형(1·4)을 틀 결합하여 캐비티부(5) 내의 용융 수지 재료(6a)[각 판형 수지 재료(6)]를 압축하면, 상기 용융 수지 재료(6a)는 캐비티부(5)의 주변부에 압박되어 유동하게 되고, 또한, 유동하는 용융 수지 재료(6a) 중에 공기가 인입되기 쉬워진다.

이 때문에, 용융 수지 재료(6a)의 유동 작용이나 공기 인입 작용을 확실하게 방지할 수 없다. 그 결과, 유동하는 용융 수지 재료(6a)가 전자 부품(2)에 있어서의 본딩 와이어(9)를 단락시키거나, 혹은 이것을 변형·절단시키는 등의 문제점이 발생한다고 하는 수지 성형 상의 중대한 문제가 있었다.

또한, 용융 수지 재료(6a)의 유동 작용에 기인하여, 기판(3) 상에 장착한 전자 부품(2)에 위치 어긋남 등의 문제점이 발생하거나, 또한, 전자 부품(2)을 밀봉하는 수지 패키지 내에 기포가 생기거나, 상기 수지 패키지를 균등한 두께로 압축 성형할 수 없다고 하는 문제가 있었다.

또한, 캐비티부(5) 주변부의 공극부(S)는, 전술한 바와 같은 이유에 의해, 필연적으로 설정되기 때문에, 각 판형 수지 재료(6)나 시트형 수지 재료를 캐비티부(5)의 치수 및 형상에 맞추는 것은 사실상 곤란하다.

따라서, 그 용량에 알맞은 적정량의 수지 재료를 캐비티부(5) 내에 공급하는 것은 불가능하다고 하는 문제가 있었다.

특허문헌 1: 일본 특허 공개 제2004-174801호 공보(단락 〔0019〕, 단락 〔0042〕∼〔0047〕 및 도 1, 도 6 등 참조)

본 발명은, 수지 밀봉틀에 있어서의 캐비티부 내에 수지 재료를 공급할 때에, 전술한 바와 같은 캐비티부 주변에 수지 미충전 상태의 공극부가 생기지 않도록 설정하며, 캐비티부 내의 용융 수지 재료에 대한 압축 성형 시에 상기 용융 수지 재료가 캐비티부 주변으로 유동하는 것을 억제함으로써, 상기 용융 수지 재료의 유동 작용에 기인하여 기판 상에 장착된 전자 부품에 위치 어긋남 등의 문제점이 발생하는 것을 효율적으로 방지하는 것을 목적으로 하는 것이다.

또한, 각 캐비티부 내의 용융 수지 재료를 압축하여 성형하는 수지 패키지의 각 부위에 있어서의 두께를 균일화하는 것을 목적으로 하는 것이다.

전술한 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 수지 밀봉 방법은,

적어도 상형 및 하형을 구비한 수지 밀봉틀의 미리 정해진 위치에 복수의 전자 부품을 장착한 기판을 공급하여 셋팅하며, 상기 하형에 마련한 캐비티부에 시트 수지를 공급하여 가열 용융하고 또한 가열 용융된 상기 시트 수지로 이루어지는 용융 수지 재료를 압축하여 상기 기판 상의 상기 전자 부품을 수지 밀봉하는 수지 밀봉 방법으로서,

상기 전자 부품을 장착한 상기 기판을 상기 수지 밀봉틀의 상기 미리 정해진 위치에 공급하여 셋팅하는 기판 공급 셋팅 공정과,

이형 필름과 상기 이형 필름의 상면에 점착된 시트 수지를 상기 캐비티부에 공급하는 시트 수지 공급 공정과,

상기 이형 필름으로 상기 하형의 틀면을 덮고, 또한, 상기 이형 필름의 상면의 상기 시트 수지를 상기 캐비티부의 위치와 대응하는 위치에 셋팅하는 시트 수지 셋팅 공정과,

상기 시트 수지 셋팅 공정에 의해 상기 시트 수지를 상기 캐비티부와 대응하는 위치에 셋팅할 때에, 상기 시트 수지의 주변 부위를 상기 캐비티부의 외측 주연 부위에 돌출시켜 중합(重合)시킴으로써, 상기 캐비티부의 상기 외측 주연 부위에 상기 시트 수지의 오버랩부를 설정하는 시트 수지 오버랩 공정과,

상기 시트 수지 오버랩 공정 후에, 상기 캐비티부 내를 감압하여 상기 시트 수지가 점착된 상기 이형 필름을 상기 캐비티부에 흡착하는 이형 필름 흡착 공정과,

상기 이형 필름 흡착 공정 후에, 상기 상형의 틀면과 상기 하형의 틀면을 마주하여 닫는 수지 밀봉틀 결합 공정과,

상기 수지 밀봉틀 결합 공정에 따른 결합 압력으로, 상기 캐비티부의 상기 외측 주연 부위에 설정한 상기 시트 수지의 상기 오버랩부를 절단하며, 절단된 상기 오버랩부가 제거된 상기 시트 수지를 상기 캐비티부 내에 수용하는 오버랩부 절단 분리 공정과,
상기 오버랩부 절단 분리 공정 전에, 상기 수지 밀봉틀 결합 공정에 있어서의 결합 압력에 의해 상기 시트 수지의 상기 오버랩부를 가압하는 오버랩부 가압 공정과,
상기 오버랩부 절단 분리 공정 후에, 절단 분리된 상기 오버랩부를 상기 캐비티부의 상기 외측 주연 부위에 마련한 수지 저류부 내에 수용하는 오버랩부 수용 공정과,

상기 오버랩부 절단 분리 공정 후에, 상기 캐비티부 내에 수용하여 가열 용융한 상기 시트 수지를 압축함으로써, 상기 기판 상의 상기 전자 부품을, 미리 정해진 균등한 두께로 성형한 수지 패키지 내에 밀봉하는 수지 압축 성형 공정

을 포함하는 것을 특징으로 한다.

또한, 본 발명에 따른 수지 밀봉 방법은,

상기 시트 수지의 상면에는 보호 필름이 점착되어 있고,

상기 시트 수지 공급 공정 전에, 상기 시트 수지로부터 상기 보호 필름을 박리하는 시트 수지 보호 필름 박리 공정

을 더 포함한다고 하는 양태가 있다.

삭제

또한, 본 발명에 따른 수지 밀봉 방법은,

상기 오버랩부 수용 공정에 의해 상기 수지 저류부 내에 수용된 상기 오버랩부가 용융하여 이루어지는 상기 용융 수지 재료가 상기 캐비티부 내에 유입되는 것을 방지하는, 수지 저류부 내 수지 유출 방지 공정

을 더 포함한다고 하는 양태가 있다.

또한, 본 발명에 따른 수지 밀봉 방법은,

상기 수지 압축 성형 공정 실시 시에, 상기 캐비티부 내의 가스류를 상기 수지 밀봉틀의 외부에 배출하는 에어 벤트 공정

을 더 포함한다고 하는 양태가 있다.

또한, 본 발명에 따른 수지 밀봉 방법은, 상기 시트 수지 공급 공정 시에, 상기 캐비티부의 깊이를, 상기 시트 수지의 두께의 1.5배 내지 2.0배가 되는 깊이로 설정한다고 하는 양태가 있다.

또한, 본 발명에 따른 수지 밀봉 방법은, 상기 시트 수지의 두께와, 상기 수지 압축 성형 공정에서 성형하는 상기 수지 패키지의 두께를, 서로 대략 같아지도록 설정한다고 하는 양태가 있다.

또한, 본 발명에 따른 수지 밀봉 방법은,

상기 캐비티부에 수지량 조정부를 마련한 뒤에, 수지량 조정부가 상기 캐비티부 내에서 잉여 수지를 수용하는 잉여 수지 수용 공정

을 더 포함한다고 하는 양태가 있다.

또한, 상기 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 수지 밀봉 방법은,

적어도 상형 및 하형을 구비하는 수지 밀봉틀의 미리 정해진 위치에 복수의 전자 부품을 장착한 캐리어를 공급하여 셋팅하며, 상기 하형에 마련한 캐비티부에 시트 수지를 공급하여 가열 용융하고 또한 가열 용융된 상기 시트 수지로 이루어지는 용융 수지 재료를 압축하여 상기 캐리어 상의 전자 부품을 수지 밀봉하는 수지 밀봉 방법으로서,

상기 캐리어의 표면에 접착 필름을 점착하며 상기 접착 필름을 통해 상기 캐리어에 복수의 상기 전자 부품을 장착하는 캐리어 준비 공정과,

상기 캐리어 준비 공정에서 준비한 상기 캐리어를, 상기 수지 밀봉틀의 미리 정해진 위치에 공급하여 셋팅하는 캐리어 공급 셋팅 공정과,

상기 시트 수지 셋팅 공정에 의해 상기 시트 수지를 상기 캐비티부와 대응하는 위치에 셋팅할 때에, 상기 시트 수지의 주변 부위를 상기 캐비티부의 외측 주연 부위에 돌출시켜 중합시킴으로써, 상기 캐비티부의 상기 외측 주연 부위에 상기 시트 수지의 오버랩부를 설정하는 시트 수지 오버랩 공정과,

상기 오버랩부 절단 분리 공정 후에, 상기 캐비티부 내에 수용하여 가열 용융한 상기 시트 수지를 압축함으로써 상기 캐리어 상의 상기 전자 부품을, 미리 정해진 균등한 두께로 성형한 수지 패키지 내에 밀봉하는 수지 압축 성형 공정

을 포함하는 양태가 있다.

또한, 본 발명에 따른 수지 밀봉 방법은, 상기 캐리어 준비 공정에서, 상기 접착 필름으로서, 적어도 수지 성형 온도 이하가 되는 상온 하에서는 미리 정해진 접착력을 유지하며 수지 성형 온도 이상이 요구되는 가열 온도 하에서는 상기 접착력이 저하되어 용이하게 박리되는 가열 박리성 기능을 갖는 접착 필름을 이용한다고 하는 양태가 있다.

전술한 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 수지 밀봉 장치는,

적어도 상형 및 하형을 구비한 수지 밀봉틀의 미리 정해진 위치에 복수의 전자 부품을 장착한 기판을 공급하여 셋팅하며, 상기 하형에 마련한 캐비티부에 이형 필름 상에 점착된 시트 수지를 공급하여 가열 용융하고 또한 가열 용융된 상기 시트 수지로 이루어지는 용융 수지 재료를 압축하여 상기 기판 상의 상기 전자 부품을 수지 밀봉하는 수지 밀봉 장치로서,

상기 하형에 마련한 캐비티부와,

상기 캐비티부의 외측 주위에 마련한 수지 저류부와,

상기 캐비티부와 상기 수지 저류부를 연통 접속시키는 연통부와,

상기 캐비티부의 외측 주연 부위에 위치하는 상기 시트 수지의 주변 부위를 돌출시켜 중합시키기 위한 하형면과,

상기 이형 필름을 흡착하여 상기 이형 필름 상의 상기 시트 수지를 상기 캐비티부 내에 흡인하여 공급하는 이형 필름 흡착 기구와,

상기 수지 밀봉틀의 개폐 기구와,

상기 캐비티부에 마련한 수지 압축 기구

를 구비하고,

상기 시트 수지의 상기 주변 부위의 상기 하형면과의 오버랩부를, 상기 개폐 기구에 의한 결합 압력에 의해 상기 시트 부재로부터 절단 분리하도록 구성한 것을 특징으로 하는 양태가 있다.

또한, 본 발명에 따른 수지 밀봉 장치는,

상기 상하 양형의 틀 결합 시에 상기 상하 양형의 외측 주위를 밀봉(seal)하는 밀봉 부재와,

상기 밀봉 부재에 의한 밀봉 범위 내의 공기를 외부에 배출하는 에어 벤트 기구

를 더 구비한다고 하는 양태가 있다.

또한, 본 발명에 따른 수지 밀봉 장치는, 상기 연통부가, 상기 캐비티부로부터 상기 수지 저류부측을 향하여 낮아지는 경사면 형상을 갖는 수지 유출 방지 수단을 더 구비한다고 하는 양태가 있다.

또한, 본 발명에 따른 수지 밀봉 장치는,

수지 유출 방지 수단

을 더 구비하고,

상기 수지 유출 방지 수단은, 상기 캐비티부의 외측을 향하여 교대로 연통 접속된 복수의 상기 수지 저류부와 복수의 상기 연통부를 구비한다고 하는 양태가 있다.

또한, 본 발명에 따른 수지 밀봉 장치는,

상기 캐비티부 내에서 잉여 수지를 수용하기 위한 수지량 조정부

를 더 구비한다고 하는 양태가 있다.

본 발명에 따른 수지 밀봉 방법 및 수지 밀봉 장치에 따르면, 수지 밀봉틀에 있어서의 캐비티부의 주변부에 수지 미충전 상태의 공극부가 생기는 것을 실질적으로 없앨 수 있기 때문에, 상기 캐비티부 내에 기판 상의 전자 부품을 수지 밀봉하기 위해 필요한 적정량의 수지 재료를 공급할 수 있다.

또한, 캐비티부 내의 용융 수지 재료를 압축할 때에, 상기 용융 수지 재료의 유동 작용을 방지하거나 혹은 이것을 효율적으로 억제할 수 있다.

이 때문에, 상기 용융 수지 재료의 유동 작용에 의해 기판 상의 전자 부품이 압박되어 위치 어긋남을 일으킨 상태로 수지 밀봉 성형되어 버린다고 하는 수지 성형 상의 문제점의 발생을 방지할 수 있다.

그리고, 이러한 문제점의 발생을 방지함으로써, 수지 밀봉 후의 전자 부품에 대한 재배선 등의 후속 공정을 원활하게 그리고 적정하게 행할 수 있다.

또한, 캐비티부 내에 적정량의 수지 재료를 공급하는 것, 그리고 상기 캐비티부 내에 있어서의 용융 수지 재료의 유동 작용을 방지 혹은 억제한 상태로 상기 용융 수지 재료를 압축하는 것이 가능해진다.

따라서, 균등한 두께로 압축 성형된 수지 패키지를 얻을 수 있기 때문에, 고품질을 갖춘 제품을 제조할 수 있다고 하는 실용적인 효과를 나타낸다.

또한, 연통부가 수지 저류부측을 향하여 깊어지도록 경사져 있기 때문에, 절단 분리된 오버랩부를 캐비티부의 외측 주위에 마련한 수지 저류부 내에 수용하는, 오버랩부의 수용 공정을 보다 확실하게 행할 수 있다.

또한, 캐비티부 내에 수지량 조정부를 마련하였기 때문에, 캐비티부 내의 잉여 수지를 캐비티부 내에서 수용할 필요가 있는 경우에 있어서 적합하게 대응할 수 있다.

또한, 기판 대신에, 가열 박리성 기능을 갖춘 접착 필름을 통해 전자 부품을 장착하는 캐리어를 이용하는 경우에 있어서는, 수지 성형 후에 있어서의 캐리어측과 수지 패키지측의 분리 공정을 간단하게 할 수 있다.

도 1은 본 발명에 따른 수지 밀봉 장치에 있어서의 수지 밀봉틀의 주요부를 개략적으로 나타내고 있으며, 도 1의 (1)은 기판 및 시트 수지를 수지 밀봉틀부에 반송한 상태를 나타내는 일부 절결 정면도이고, 도 1의 (2)는 수지 밀봉틀부에 반송한 기판 및 시트 수지를 수지 밀봉틀부의 미리 정해진 위치에 공급 셋팅한 상태를 나타내는 일부 절결 정면도이다.
도 2의 (1)은 도 1에 대응하는 수지 밀봉틀의 주요부 확대 종단면도이고, 도 2의 (2)는 수지 밀봉틀의 주요부를 더욱 확대하여 나타내는 종단면도이다.
도 3은 기판의 공급 셋팅 공정 및 시트 수지의 공급 공정의 설명도이다.
도 4는 도 2에 대응하는 수지 밀봉틀 주요부의 종단면도이며, 도 4의 (1)은 상하 양형에 의한 제1 틀 결합 상태의 설명도이고, 도 4의 (2)는 시트 수지의 오버랩부를 절단 분리하는 제2 틀 결합 상태의 설명도이다.
도 5는 도 4에 대응하는 수지 밀봉틀 주요부의 종단면도이며, 도 5의 (1)은 시트 수지의 오버랩부를 수지 저류부 내에 수용하는 공정의 설명도이고, 도 5의 (2)는 캐비티부 내의 용융 수지 재료를 압축하는 공정의 설명도이다.
도 6은 도 5의 (2)에 대응하는 수지 압축 공정의 설명도이며, 도 6의 (1)은 시트 수지의 오버랩부를 절단한 상태를 나타내는 확대 종단면도이고, 도 6의 (2)는 시트 수지의 가열 용융 시의 상태를 나타내는 확대 종단면도이며, 도 6의 (3)은 용융 수지 재료를 압축한 상태를 나타내는 확대 종단면도이다.
도 7은 본 발명에 따른 다른 실시예이며, 도 7의 (1)은 수지 밀봉틀의 주요부를 나타내는 종단면도이고, 도 7의 (2)는 그 변형예를 나타내는 수지 밀봉틀의 종단면도이다.
도 8은 본 발명에 따른 또 다른 실시예이며, 도 8의 (1)은 수지 밀봉틀의 주요부를 나타내는 종단면도이고, 도 8의 (2)는 그 변형예를 나타내는 수지 밀봉틀의 종단면도이다.
도 9는 반도체 기판 대신에 캐리어를 사용하는 경우의 본 발명에 따른 다른 실시예로서, 도 9의 (1)은 접착 필름을 점착한 캐리어를, 도 9의 (2)는 반도체 소자 등의 전자 부품을 점착한 캐리어를 개략적으로 나타내고 있으며, 또한, 도 9의 (3)은 전자 부품의 수지 압축 성형 공정을 거친 상태를 개략적으로 나타내고, 도 9의 (4)는 캐리어측을 분리한 수지 패키지의 상태를 개략적으로 나타내며, 도 9의 (5)는 재배선 및 볼형성 공정을 거친 상태를 개략적으로 나타내고, 도 9의 (6)은 다이싱 공정을 거친 상태를 개략적으로 나타내고 있다.
도 10은 본 발명에 따른 수지 밀봉 방법에 이용되는 시트 수지로 단책(短冊)형으로 마련되는 것을 나타내고 있으며, 도 10의 (1)은 그 평면도이고, 도 10의 (2)는 그 정면도이며, 도 10의 (3)은 그 보호 필름을 박리한 상태를 나타내는 정면도이다.
도 11은 시트형 수지 재료를 이용하는 종래의 수지 밀봉틀의 주요부를 나타내는 종단면도이며, 도 11의 (1)은 기판의 공급 공정 및 수지 재료의 공급 공정의 설명도이고, 도 11의 (2)는 기판의 셋팅 공정 및 수지 재료의 셋팅 공정의 설명도이며, 도 11의 (3)은 수지 압축 성형 공정의 설명도이다.

이하, 본 발명을, 도 1 내지 도 6에 나타내는 제1 실시예에 기초하여 설명한다.

(제1 실시예)

우선, 도 1에 기초하여, 제1 실시예에 따른 수지 밀봉 장치(10)의 개요를 설명한다.

이 수지 밀봉 장치(10)에는, 상형 베이스(11)의 하면에 설치한 상형(12)과, 하형 베이스(13)의 상면에 설치한 하형(14)을 구비한 압축 성형용의 수지 밀봉틀(15)이 마련되어 있다.

또한, 상형(12)의 하면에는 기판 셋트부(16)가 마련되어 있고, 상기 기판 셋트부(16)의 미리 정해진 위치에는 복수의 전자 부품(17)을 장착한 기판(18)을 공급하여 셋팅할 수 있도록 마련되어 있다. 여기서, 전자 부품(17)은, 기판(18)에 실장 가능하면 어떠한 것이어도 좋고, 그와 같은 전자 부품(17)의 일례로서는 반도체 소자를 예로 들 수 있다.

또한, 상형 베이스(11)의 외측 주위가 되는 위치에는 상형측 밀봉 부재(19)가 상하 이동 가능한 상태로 배치되어 있다. 또한, 이 상형측 밀봉 부재(19)는, 상기 상형측 밀봉 부재(19)와 상형 베이스(11) 사이에 마련한 탄성 부재(20)의 탄성에 의해 하측으로 돌출하도록 편향되어 있다.

또한, 하형 베이스(13)의 상면에 설치한 하형(14)은, 캐비티 바닥면 부재(21)와 상기 캐비티 바닥면 부재(21)의 외측 주위에 감합시킨 캐비티 측면 부재(22)로 구성되어 있다.

또한, 캐비티 측면 부재(22)는 상기 캐비티 측면 부재(22)와 하형 베이스(13) 사이에 마련한 탄성 부재(23)의 탄성에 의해 상측으로 돌출하도록 편향되어 있다.

또한, 상기 상형측 밀봉 부재(19)와 대향하는 하형 베이스(13)의 외측 주위가 되는 위치에는 하형측 밀봉 부재(24)가 배치되어 있다.

또한, 상기 캐비티 바닥면 부재(21)는 상하 구동 기구(도시하지 않음)에 의해, 후술하는 미리 정해진 상하 높이 위치로 이동될 수 있도록 마련되어 있다.

그리고, 이 캐비티 바닥면 부재(21) 및 그 상하 구동 기구는, 상기 캐비티 바닥면 부재(21)의 상면과 캐비티 측면 부재(22)의 내주면으로 이루어지는 공간부[캐비티부(27)]에 공급된 수지 재료를 압축 성형하기 위한 수지 압축 기구를 구성하고 있다.

또한, 상기 상형 베이스(11)는 틀 개폐 기구(도시하지 않음)를 통해 상하 이동 가능하게 마련되어 있고, 도 1에 나타내는 상하 양형(12·14)의 틀 개방 시에 있어서는 상기 상형(12)을 미리 정해진 높이 위치까지 상방 이동시킬 수 있으며, 후술하는 상하 양형(12·14)의 틀 결합 시에 있어서는 상기 상형(12)을 하방 이동시켜 상하 양형(12·14)의 틀면을 접합시킬 수 있도록 마련되어 있다.

또한, 상기 틀 개폐 기구를 통해 상하 양형(12·14)을 결합하였을 때, 상형측 밀봉 부재(19)와 하형측 밀봉 부재(24)가 접합됨으로써 상기 상하 양형(12·14)의 외측 주위를 밀봉할 수 있도록 마련되어 있다.

또한, 이 상형측 밀봉 부재(19) 및 하형측 밀봉 부재(24)에 의한 밀봉 범위 내의 공기를, 적절한 감압 수단을 통해, 외부에 적극적으로 배출하도록 구성한 에어 벤트 기구(도시하지 않음)가 배치되어 있다.

또한, 도 1에 나타내는 상하 양형(12·14)의 틀 개방 시에 있어서, 기판 공급·반출 기구(25)를 상기 상하 양형(12·14) 사이의 미리 정해진 위치로 이동시키며, 상기 기판 공급·반출 기구(25) 상의 기판(18)을 상기 상형(12)의 기판 셋트부(16)에 걸어 장착하여 지지시킴으로써, 기판(18)을 상기 기판 셋트부(16)의 미리 정해진 위치에 공급하여 셋팅할 수 있도록 마련되어 있다.

또한, 상기 하형(14)의 틀면(상면)에 대해 이형 필름(26)을 덮는 것과, 캐비티부(27)[즉, 캐비티 바닥면 부재(21)의 상면과 캐비티 측면 부재(22)의 내주면으로 구성되는 공간부] 내에 시트 수지(28)를 공급하는 것은, 소위, 롤·투·롤 기구(29)에 의해 행해진다.

즉, 도 1에 나타내는 바와 같이, 이형 필름(26)은 긴 형태로 형성되어 있다.

그리고, 이 이형 필름(26)은, 공급 롤(29a)로부터 공급측 가이드 롤(29b) 등을 거쳐 하형(14)의 틀면에 공급되며, 수지 밀봉틀(15)에서 미리 정해진 수지 압축 성형 공정을 거친 후에, 권취측 가이드 롤(29c) 등을 거쳐 권취 롤(29d)에 권취 수용되도록 마련되어 있다.

또한, 상기 시트 수지(28)는 필요한 유연성을 구비하고 있다. 그리고, 상기 이형 필름(26) 상에 있어서의 미리 정해진 간격 위치에 점착되며, 도 1에 나타내는 바와 같이, 수지 밀봉틀(15)측으로의 연속 자동 공급을 목적으로 하여, 롤·투·롤 기구(29)에 있어서의 공급 롤(29a)에 권취되어 있다. 또한, 상기 이형 필름(26) 상에는, 상기 시트 수지(28)를 보호하기 위한 보호 필름(30)(라미네이트 필름)이 점착되어 있다.

또한, 상기 시트 수지(28)의 두께(28T)는, 후술하는 바와 같이, 캐비티부(27)에서 압축 성형되는 수지 패키지(31)의 두께(31T)와 대략 같아지도록 설정되어 있다(도 6 참조).

또한, 후술하는 바와 같이, 상기 시트 수지(28)를 캐비티부(27)에 공급할 때의 상기 캐비티부(27)의 깊이(27D)는, 시트 수지(28)의 두께(28T)의 약 1.5배 내지 2.0배가 되도록 설정되어 있다(도 6 참조).

또한, 상기 시트 수지(28)의 형상은, 수지 밀봉 장치(10)에 있어서의 캐비티부(27)의 형상에 대응하며, 상기 캐비티부(27)의 개구 주연부[즉, 캐비티 바닥면 부재(21)의 상단 주연부]보다 커지도록(넓어지도록) 설정되어 있다. 따라서, 캐비티부(27)에 시트 수지(28)를 공급하는 경우에 있어서, 상기 시트 수지(28)의 중심 위치를 캐비티부(27)의 중심 위치에 맞추는 양자의 위치 맞춤(위치 결정 제어)을 행함으로써, 시트 수지(28)의 외측 주연의 부위를 캐비티부(27)의 외측 주연의 부위[즉, 캐비티 측면 부재(22)의 상면]에 돌출시켜 중합하는 오버랩부(28a)를 설정할 수 있다.

또한, 상기 공급측 가이드 롤(29b)과 권취측 가이드 롤(29c) 사이에 있어서의 필요 위치에 공급측 텐션 롤 및 권취측 텐션 롤(도시하지 않음)을 배치하며, 상기 양 텐션 롤의 높이 위치를 조정할 수 있도록 구성하여, 하형(14)의 틀면에 대해 이형 필름(26)이 덮인 상태의 조정을 행하고, 혹은, 이형 필름(26)의 텐션 조정을 행하도록 할 수 있다.

또한, 상기 캐비티 바닥면 부재(21)와 캐비티 측면 부재(22)의 감합 둘레면 부위로부터 캐비티부(27) 내의 공기를 적절한 감압 수단을 통해 외부에 배출하도록 구성한 이형 필름의 흡착 기구(도시하지 않음)가 배치되어 있다.

이 때문에, 도 1의 (1)에 나타내는 바와 같이, 하형(14)의 틀면(상면)에 이형 필름(26)이 덮인 상태로 상기 이형 필름(26)의 흡착 기구를 작동시키면, 상기 캐비티부(27)를 덮고 있는 이형 필름(26)은, 도 1의 (2)에 나타내는 바와 같이, 상기 캐비티부(27) 내에 흡인되고 또한 공급되며, 상기 캐비티부(27)의 형상을 따라 흡착되게 된다.

따라서, 이때, 상기 이형 필름(26)의 상면에 점착한 시트 수지(28)는, 필요한 유연성을 구비하고 있는 것과도 맞물려, 이형 필름(26)의 흡착 작용에 의해 캐비티부(27) 내에 그 형상을 따라 원활하게 수용되게 된다.

또한, 상기 캐비티부(27)의 외측 주위에는 수지 저류부(32)가 마련되어 있다.

도시된 예에 있어서는, 캐비티부(27)의 외측 주위의 위치가 되는 캐비티 측면 부재(22)의 상면에, 연통부(33)를 통해 캐비티부(27)와 연통 접속시킨 수지 저류부(32)를 배치한 경우를 나타내고 있다(도 2 참조).

또한, 상기 시트 수지(28)의 주변 부위를 캐비티 측면 부재(22)의 상면 위치까지 돌출시켜 중합시킴으로써, 이 캐비티부(27)의 외측 주연 부위에, 시트 수지(28)의 오버랩부(28a)를 설정할 수 있다[도 2의 (2) 참조].

이하, 도 1 내지 도 6에 기초하여, 이형 필름(26) 및 이 이형 필름(26) 상에 점착된 시트 수지(28)를 수지 밀봉 장치(10)에 있어서의 캐비티부(27)에 공급하는 경우에 대해서 설명한다.

우선, 시트 수지(28)를 수지 밀봉 장치(10)에 있어서의 캐비티부(27)에 공급하기 전에, 상기 시트 수지(28)의 상면에 점착한 보호 필름(30)을 박리하는 시트 수지의 보호 필름 박리 공정을 행한다.

이 실시예에서는, 도 1의 (1), (2)에 나타내는 바와 같이, 이형 필름(26)과 상기 이형 필름(26) 상에 점착한 시트 수지(28)를 캐비티부(27)측에 공급하기 전에, 상기 시트 수지(28)의 상면측에 점착한 보호 필름(30)을 가이드 롤(29e)을 거쳐 보호 필름의 권취 롤(도시하지 않음)에 권취 수용시킴으로써, 보호 필름 박리 공정을 행한다.

또한, 도 1의 (1), (2)에 나타내는 상하 양형(12·14)의 틀 개방 시에, 기판 공급·반출 기구(25)를 통해, 전자 부품(17)을 장착한 기판(18)을 수지 밀봉틀(15)의 미리 정해진 위치[기판 셋트부(16)의 하면]에 공급하여 셋팅하는 기판 공급 셋팅 공정을 행한다[도 1의 (1) 참조].

또한, 수지 밀봉틀(15)에 있어서의 하형면[하형(14)의 틀면]을 이형 필름(26)으로 덮고, 이형 필름(26) 상면의 시트 수지(28)를 캐비티부(27)의 위치와 대응하는 위치에 셋팅하는 시트 수지 셋팅 공정을 행한다[도 1의 (1) 참조].

또한, 상기 시트 수지의 셋팅 공정에서 시트 수지(28)를 캐비티부(27)와 대응하는 위치에 셋팅할 때에, 상기 시트 수지(28)의 주변 부위를 캐비티부(27)의 외측 주연 부위[캐비티 측면 부재(22)의 상면]까지 돌출시켜 중합시킴으로써, 이 외측 주연 부위에 시트 수지(28)의 오버랩부(28a)를 설정하는 시트 수지 오버랩 공정을 행한다[도 2의 (2) 참조].

전술한 시트 수지 오버랩 공정 후에, 적절한 감압 기구(도시하지 않음)를 통해 캐비티부(27) 내를 감압함으로써, 시트 수지(28)를 점착한 이형 필름(26)을 캐비티면에 흡착시키는 이형 필름 흡착 공정을 행한다.

또한, 이 캐비티부(27) 내의 감압은, 캐비티 바닥면 부재(21)와 캐비티 측면 부재(22)의 간극으로부터 상기 캐비티부(27) 내의 공기를 외부에 배출함으로써 행할 수 있다(도 3 참조).

전술한 이형 필름 흡착 공정 후에, 상형면[상형(12)의 틀면]과 하형면을 마주하여 닫는 수지 밀봉틀의 제1 결합을 행한다[도 4의 (1) 참조].

또한, 이 제1 결합에 연속하여, 시트 수지의 오버랩부를 절단 분리하는 제2 결합을 행한다[도 4의 (2) 참조]. 이들 제1 결합 및 제2 결합으로 수지 밀봉틀 결합 공정이 구성된다.

또한, 수지 밀봉틀(15)에 있어서의 상하 양형(12·14)을 결합하여 밀봉 부재(19·24)를 접합시킴으로써 상기 상하 양형(12·14)의 외측 주위를 밀봉할 수 있다. 따라서, 에어 벤트 기구(도시하지 않음)를 통해, 수지 밀봉틀의 틀 결합 공정을 행하기 전부터 상기 밀봉 범위 내의 공기를 외부에 적극적으로 배출하는 에어 벤트 공정을 행함으로써, 후술하는 수지 압축 성형 공정 시에 있어서의 공기 인입 작용을 방지하여 성형하는 수지 패키지(31) 내에 기포(보이드)를 형성하는 등의 문제점의 발생을 방지할 수 있다.

또한, 상기 수지 밀봉틀 결합 공정 시에 따른 결합 압력으로, 캐비티부(27)의 외측 주연 부위에 설정한 시트 수지(28)의 오버랩부(28a)를 절단하며, 이 절단된 오버랩부(28a)가 제거된 시트 수지(28)를 캐비티부(27) 내에 수용하는 오버랩부 절단 분리 공정을 행한다.

이 절단 분리 공정에 있어서의 오버랩부(28a)의 절단은, 상형(12)의 기판 셋트부(16)에 셋팅한 기판(18)의 하면[전자 부품(17)의 장착면]측과 캐비티부(27)의 외측 주연[캐비티 측면 부재(22)의 내측 주연]이 접하는 부위가 되는 절단 위치(28b)에서 행해진다.

따라서, 오버랩부(28a)가 절단 분리된 시트 수지(28)는, 그 용량이 일정하게 되며, 그 절단 분리 후에 있어서 캐비티부(27) 내에 효율적으로 또한 확실하게 수용되게 된다[도 4의 (2) 참조].

또한, 이때, 상기 시트 수지(28)의 오버랩부(28a)는 기판(18)의 하면과 캐비티 측면 부재(22)의 상면 사이에 끼워진 상태에 있기 때문에, 오버랩부의 절단 분리 공정 전에, 수지 밀봉틀의 틀 결합 공정에 있어서의 상하 양형(12·14)의 결합 압력에 의해 상기 오버랩부(28a)를 가압할 수 있다(오버랩부 가압 공정).

또한, 절단 분리된 오버랩부(28a) 및 시트 수지(28)에는 가열용 히터(도시하지 않음)에 의한 가열 작용이 가해지고 있다. 이 때문에, 도 5에 나타내는 바와 같이, 절단 분리되어 가열 용융된 오버랩부(28a)는, 연통부(33)를 통하여 캐비티 측면 부재(22)의 상면에 마련한 수지 저류부(32) 내에 수용되게 된다(오버랩부 수용 공정).

또한, 절단 분리된 시트 수지(28)는 캐비티부(27) 내에 수용되며, 상기 캐비티부(27) 내에서 가열 용융되며, 이러한 용융 수지 재료는 캐비티부(27) 내의 각 부위에 있어서 균등하게 충전되게 된다. 따라서, 이 상태로, 캐비티 바닥면 부재(21)를 미리 정해진 높이 위치까지 상방 이동시킴으로써, 이 캐비티부(27) 내의 용융 수지 재료에 대하여 미리 정해진 수지 압축력을 부가할 수 있으며, 상기 용융 수지 재료를 압축하여 기판(18) 상의 전자 부품(17)을 균등한 두께로 성형된 패키지 내에 수지 밀봉할 수 있다(수지 압축 성형 공정).

또한, 절단 분리된 오버랩부(28a)는 가열 용융되며, 그 상태로 상기 오버랩부의 수용 공정에 의해 수지 저류부(32) 내에 수용된다.

이 때문에, 상기 오버랩부(28a)가 캐비티부(27) 내에 유입되거나, 혹은, 기판(18)의 외부에 유출되는 것을 효율적으로 방지할 수 있다.

다음에, 도 6에 기초하여, 캐비티부(27) 내에 수용된 시트 수지(28)에 대한 수지 압축 성형 공정에 대해서 더욱 상세하게 서술한다. 또한, 도면은, 이해를 쉽게 하기 위해 과장하여 그려져 있다.

도 6의 (1)은 오버랩부(28a)를 절단한 시트 수지(28)를 캐비티부(27) 내에 수용한 상태를 나타내고 있으며, 또한, 도 6의 (2)는 캐비티부(27) 내에 수용한 시트 수지(28)를 가열 용융한 상태를 나타내고 있고, 도 6의 (3)은 캐비티부(27) 내의 용융 수지 재료를 압축한 상태를 나타내고 있다.

도 6의 (1)에 나타내는 바와 같이, 절단된 오버랩부(28a)가 제거된 시트 수지(28)는, 그 용량이 일정하게 되며, 캐비티부(27) 내에 효율적으로 또한 확실하게 수용된다.

그리고, 이때의 시트 수지(28)는 캐비티부(27) 내에 균일하게 공급되게 되기 때문에, 캐비티부(27) 내의 주연에 수지 미충전 상태의 공극부가 생기는 것을 효율적으로 방지할 수 있다.

또한, 시트 수지(28)의 두께(28T)는 캐비티부(27) 내에서 성형되는 수지 패키지(31)의 두께(31T)와 대략 같아지도록 설정되어 있다.

또한, 시트 수지(28)를 캐비티부(27) 내에 공급할 때의 캐비티부(27)의 깊이(27D)는, 시트 수지(28)의 두께의 1.5배 내지 2.0배가 되는 깊이로 설정되어 있다.

이러한 설정은, 시트 수지(28)의 두께(28T)를 기준으로 하며, 캐비티 바닥면 부재(21)를 상하 구동시켜 그 높이 위치를 조정함으로써 가능하다.

또한, 시트 수지(28)의 두께(28T)와 캐비티부(27)의 깊이(27D)의 관계를 이와 같이 설정함으로써, 시트 수지(28)의 절단 공정이나 수지 압축 성형 공정 등을 효율적으로 행할 수 있다.

즉, 캐비티부(27)의 깊이(27D)를 시트 수지(28)의 두께(28T)의 약 1.5배 이상으로 함으로써, 캐비티 바닥면 부재(21)의 필요한 상방 이동 스트로크를 확보할 수 있기 때문에, 시트 수지(28)에 있어서의 오버랩부(28a)를 절단·분리하는 시트 수지의 절단 작용을 효율적으로 또한 확실하게 행할 수 있다.

또한, 캐비티부(27)의 깊이(27D)를 시트 수지(28)의 두께(28T)의 약 2.0배까지로 함으로써, 캐비티부(27) 내에 필요 이상의 시트 수지(28)가 공급되는 것을 방지할 수 있다.

다음에, 도 6의 (2)에 나타내는 바와 같이, 캐비티부(27) 내에 수용된 시트 수지(28)는, 가열용 히터에 의한 가열 작용을 받아 용융된다.

다음에, 도 6의 (3)에 나타내는 바와 같이, 캐비티 바닥면 부재(21)를 미리 정해진 높이 위치까지 이동시킴으로써, 즉, 캐비티 바닥면 부재(21)의 상면 위치가 수지 패키지(31)의 두께(31T)와 대략 같은 높이가 되는 위치에서 정지시킴으로써, 캐비티부(27) 내의 용융 수지 재료에 대하여 필요한 수지압을 부가하며, 수지 패키지(31)의 두께(31T)를 시트 수지(28)의 두께(28T)와 대략 동일한 두께가 되도록 압축 성형할 수 있다.

이러한 캐비티 바닥면 부재(21)의 상하 높이 위치의 설정은, 상기 캐비티 바닥면 부재(21)의 상하 구동 기구나 그 위치 제어 기구(도시하지 않음) 등을 통해, 상기 캐비티 바닥면 부재(21)를 미리 정해진 상하 높이 위치로 이동시키도록 조정함으로써 가능하다.

또한, 시트 수지(28)의 두께(28T)와 수지 패키지(31)의 두께(31T)를 대략 동일한 두께로 설정함으로써, 상기 수지 압축 성형 시에 있어서의 시트 수지(28)의 사용량을 최소한으로 필요한 양으로 할 수 있다.

전술한 수지 압축 성형 공정에 있어서는, 캐비티부(27) 내에 수지 패키지(31)의 두께(31T)와 대략 동일한 두께(28T)를 갖는 시트 수지(28)를 공급하는 것으로부터, 그리고 이 시트 수지(28)는 캐비티부(27) 내에 균일하게 공급되어 캐비티부(27) 내의 주연부에 수지 미충전 상태의 공극부가 생기지 않는 것으로부터, 캐비티부(27) 내의 각 부위에 수지 재료[시트 수지(28)]를 균일하게 공급하여 충전시킬 수 있다.

따라서, 캐비티부(27) 내의 수지 재료를 균일하게 가열 용융시킬 수 있다. 이 때문에, 캐비티 바닥면 부재(21)를 미리 정해진 높이 위치까지 상방 이동시켜 캐비티부(27) 내의 용융 수지 재료를 압축하는 작용을 저압(저속)으로 행할 수 있다.

또한, 캐비티부(27) 내의 주연부에 수지 미충전 상태의 공극부가 구성되지 않는 것과 맞물려, 이 용융 수지 재료에 대한 저압축 작용에 의해, 캐비티부(27) 내의 용융 수지 재료가 주연부 등으로 유동되는 것을 효율적으로 방지할 수 있고, 혹은, 억제할 수 있다.

전술한 캐비티부(27) 내의 용융 수지 재료에 대한 저압축 작용과 수지 유동 작용의 방지 혹은 억제 작용에 의해, 기판(18) 상의 전자 부품(17)이 압박되어 위치 어긋남이 발생하는 것을 확실하게 방지할 수 있다.

또한, 이와 같이, 기판(18) 상의 전자 부품(17)을, 적정한 상태로 수지 밀봉할 수 있으며, 각 부위에 있어서 균등한 두께로 압축 성형된 수지 패키지(31) 내에 밀봉할 수 있다.

수지 압축 성형 공정 후에 있어서는, 상하 양형(12·14)을 틀 개방하며(도 1 참조), 기판 공급·반출 기구(25)를 통해, 상형(12)의 기판 셋트부(16)에 걸어 장착하여 지지시킨 상태의 수지 밀봉 완료 기판(18)을 틀 밖으로 반출하면 좋다.

또한, 사용 후의 이형 필름(26)은, 롤·투·롤 기구(29)의 권취 롤(29d)을 통해, 틀 밖으로 배출하고 또한 상기 권취 롤(29d)에 권취 수용시키면 좋다.

또한, 상기 시트 수지(28)는 긴 형태의 이형 필름(26) 상의 미리 정해진 간격 위치에 점착되어 있기 때문에, 전술한 사용 후 이형 필름의 배출 작용과 다음 사용 전 이형 필름의 공급 작용을 연속하여 자동적으로 행하도록 설정할 수 있다.

또한, 수지 밀봉틀(15)에 있어서의 상하 양형(12·14)의 외측 주위를 밀봉하고, 또한, 에어 벤트 기구를 통해 상기 밀봉 범위 내의 공기를 외부에 적극적으로 배출하는 에어 벤트 공정을 행하는 것에 대해서 설명하였지만, 상하 양형(12·14)의 틀 결합 시에 수지 성형부[캐비티부(27)]와 틀 밖을 연통 접속시킨 통상의 에어 벤트 홈부(도시하지 않음)만을 배치하도록 하여도 좋다. 이 경우는, 상형측 밀봉 부재(19)나 하형측 밀봉 부재(24), 및, 수지 성형부의 감압 수단 등으로 구성되는 적극적인 에어 벤트 기구(도시되어 있지 않음)를 생략할 수 있다.

상기 제1 실시예에 따르면, 이형 필름(26)을 통해 캐비티부(27) 내에 시트 수지(28)를 공급하였을 때에, 상기 캐비티부(27)의 주변부에 수지 미충전 상태의 공극부가 생기는 일이 없고, 또한, 전자 부품(17)을 수지 밀봉하기 위해 필요한 적정량의 수지 재료를 상기 캐비티부(27) 내에 공급할 수 있다.

이 때문에, 캐비티부(27) 내의 용융 수지 재료를 압축할 때에, 상기 용융 수지 재료의 유동 작용을 방지하고, 혹은, 이것을 효율적으로 억제할 수 있다.

따라서, 캐비티부(27) 내에 있어서의 용융 수지 재료의 유동 작용에 기인하여 기판(18) 상의 전자 부품(17)이 압박되어 위치 어긋남 등의 문제점이 발생하는 것을 효율적으로 방지할 수 있다.

또한, 기판(18) 상의 전자 부품(17)을, 각 부위에 있어서 균등한 두께로 성형된 수지 패키지(31) 내에 밀봉할 수 있다고 하는 실용적인 효과를 나타낸다.

이하, 본 발명을, 도 7에 나타내는 제2 실시예에 기초하여 설명한다.

(제2 실시예)

제1 실시예는, 캐비티부(27)와 수지 저류부(32)를 연통 접속시키는 연통부(33)의 형상을, 캐비티 측면 부재(22)의 틀면과 평행한 수평형 오목부로서 구성한 경우를 나타내고 있다.

그러나, 제2 실시예에서는, 도 7의 (1)에 나타내는 바와 같이, 캐비티부(27)와 수지 저류부(32)를 연통 접속시키는 연통부(33a)가, 캐비티부(27)로부터 수지 저류부(32)측을 향하여 낮아지도록 경사면 형상으로 형성되어 있고, 이에 의해 수지 유출 방지 수단이 구성되어 있는 점에서 제1 실시예와 상이하다.

또한, 본 실시예에 있어서 이전 실시예와 실질적으로 동일한 구성에 대해서는 이전 실시예에 대해서 설명한 사항과 동일하고, 양자에 공통되는 구성에 대해서는 동일한 부호를 사용하고 있다.

이 실시예에 있어서는, 연통부(33a)가 수지 저류부(32)측을 향하여 낮아지도록 경사져 있기 때문에, 오버랩부 수용 공정을 용이하게 행할 수 있다. 즉, 오버랩부 절단 분리 공정 후에, 절단 분리한 오버랩부(28a)를 캐비티부(27)의 외측 주위에 마련한 수지 저류부(32) 내에 수용하는 오버랩부 수용 공정을 용이하게 행할 수 있다. 오버랩부 수용 공정에 대해서는, 제1 실시예에서 설명하고 있기때문에 여기서는 설명을 생략한다.

또한, 이 실시예에 있어서는, 연통부(33a)가 수지 저류부(32)측을 향하여 낮아지도록 경사져 있기 때문에, 오버랩부의 수용 공정에 의해 수지 저류부(32) 내에 수용한 수지 재료가 캐비티부(27)측으로 유동하여 상기 캐비티부(27) 내에 유입되는 것을 보다 확실하게 방지할 수 있다.

또한, 수지 성형 시에 있어서는 수지 저류부(32)의 상부가 기판(18)으로 압박형태로 덮여 있는 상태에 있는 것과도 맞물려, 수지 저류부(32) 내에 수용된 수지 재료가 상기 수지 저류부(32)의 외부로 유출되는 것을 방지할 수 있고, 따라서, 수지 저류부 내의 수지 유출 방지 공정을 보다 확실하게 행할 수 있다.

또한, 도 7의 (2)에 나타내는 바와 같이, 복수의 수지 저류부(32)와 복수의 연통부(33a)를 캐비티부(27)의 외측을 향하여 교대로 연통 접속시킴으로써, 복수의 수지 저류부(32)와 연통부(33a)로 이루어지는 수지 유출 방지 수단을 마련할 수 있다.

따라서, 이 경우는, 캐비티부(27)의 외측에 대용량의 수지 저류부(32)를 구성할 수 있기 때문에, 오버랩부(28a)를 광범위하게 설정할 필요가 있는 것 같은 경우에 있어서도 적합하게 대응할 수 있다.

다음에, 본 발명을, 도 8에 나타내는 제3 실시예에 기초하여 설명한다.

(제3 실시예)

이 실시예에서는, 상기 각 실시예의 구성에 더하여, 캐비티부(27) 내에 수지량 조정부(34)를 마련하여 구성한 점에서 상이하다.

또한, 본 실시예에 있어서 전술한 각 실시예와 실질적으로 동일한 구성에 대해서는 전술한 각 실시예에 대해서 설명한 사항과 동일하고, 전술한 각 실시예와 공통되는 구성에 대해서는 동일한 부호를 사용하여 설명한다.

이 수지량 조정부(34)는 캐비티 바닥면 부재(21)의 상측 주변부와 캐비티 측면 부재(22) 사이에 구성되어 있다. 그리고, 이 수지량 조정부는 캐비티부(27) 내에 공급 및/또는 수용하는 수지 재료의 양을 조정하기 위해 구성되는 것이다.

예컨대, 어떠한 이유에 의해 시트 수지(28)가 캐비티부(27) 내에 다량으로 공급되었을 때에 상기 캐비티부(27) 내에 있어서 그 잉여 수지를 흡수할 필요가 있는 것 같은 경우라든가, 또한, 어떠한 이유에 의해 수지 저류부(32) 내에 수용한 수지 재료가 연통부(33·33a)를 통하여 캐비티부(27) 내에 유입되어 이것을 캐비티부(27) 내에서 수용할 필요가 있는 경우 등에 있어서도 적합하게 대응할 수 있다.

또한, 캐비티 바닥면 부재(21)를 미리 정해진 높이 위치까지 상방 이동시켜 미리 정해진 두께를 갖는 수지 패키지(31)를 성형할 수 있기 때문에, 상기 수지량 조정부(34) 내에 잉여 수지를 수용하여도 문제는 없다.

또한, 상기 연통부의 형상은, 도 8의 (1)에 나타내는 바와 같은 수평형 오목부로서 구성한 연통부(33)를 채용할 수 있다. 또한, 상기 연통부의 형상을, 도 8의 (2)에 나타내는 바와 같이, 캐비티부(27)로부터 수지 저류부(32)측을 향하여 낮아지는 것 같은 경사면 형상으로 하여 구성한 연통부(33a)(수지 유출 방지 수단)를 채용할 수 있다.

이 실시예에 있어서는, 시트 수지(28)가 캐비티부(27) 내에 다량으로 공급·수용된 경우나, 수지 저류부(32) 내에 수용한 수지 재료가 연통부(33·33a)를 통하여 캐비티부(27) 내에 유입되어 이를 캐비티부(27) 내에서 수용할 필요가 있는 경우 등에 있어서 적합하게 대응할 수 있다.

다음에, 본 발명을, 도 9에 나타내는 제4 실시예에 기초하여 설명한다.

(제4 실시예)

이 실시예는, 전술한 각 실시예에 있어서 이용한 기판(18) 대신에 캐리어를 사용하는 점에서 상이하다. 즉, 전자 부품(17a)을 접착 필름(41)을 통해 캐리어(40)에 점착시키는 것을 이용하여 상기 캐리어(40) 상의 전자 부품(17a)을 압축 성형하는 점에서 전술한 각 실시예와 상이하다. 이와 같이, 본 실시예에서는, 캐리어(40)로 기판이 구성되어 있다.

또한, 본 실시예에서는 전술한 각 실시예에서의 설명의 중복을 피하기 위해, 전술한 각 실시예와 실질적으로 동일한 구성 및 방법에 대해서는 전술한 각 실시예의 설명에 있어서 이용한 것과 동일한 부호를 사용하여 설명한다.

이 실시예는, 적어도 상형(12) 및 하형(14)을 구비한 수지 밀봉틀(15)의 미리 정해진 위치에 복수의 전자 부품(17a)을 장착한 캐리어(40)를 공급하여 셋팅하며, 상기 하형(14)에 마련한 캐비티부(27)에 시트 수지(28)를 공급하여 가열 용융하고, 또한, 상기 용융 수지 재료를 압축하여 상기 캐리어(40) 상의 전자 부품(17a)을 수지 밀봉하는 수지 밀봉 방법이다.

그리고, 도 9의 (1)에 나타내는 바와 같이, 우선, 캐리어(40)의 표면에 접착 필름(41)을 점착하며, 도 9의 (2)에 나타내는 바와 같이, 상기 접착 필름(41)을 통해 복수의 반도체 소자(17a)를 장착한 캐리어(40)를 준비하는 캐리어 준비 공정을 행한다.

다음에, 캐리어의 준비 공정에서 준비한 캐리어(40)를 수지 밀봉틀(15)의 미리 정해진 위치에 공급하여 셋팅하는 캐리어 공급 셋팅 공정을 행한다.

또한, 이형 필름(26)과 이형 필름(26) 상면에 점착한 시트 수지(28)를 수지 밀봉틀(15)의 하형(14)에 마련한 캐비티부(27)에 공급하는 시트 수지 공급 공정을 행한다.

다음에, 이형 필름(26)으로 수지 밀봉틀(15)의 하형면을 덮고, 또한, 이형 필름(26) 상면의 시트 수지(28)를 캐비티부(27)의 위치와 대응하는 위치에 셋팅하는 시트 수지 셋팅 공정을 행한다.

또한, 시트 수지 셋팅 공정에 의해 시트 수지(28)를 캐비티부(27)와 대응하는 위치에 셋팅할 때에, 시트 수지(28)의 주변 부위를 캐비티부(27)의 외측 주연 부위에 돌출시켜 중합시킴으로써, 캐비티부(27)의 외측 주연 부위에, 시트 수지(28)의 오버랩부(28a)를 설정하는 시트 수지 오버랩 공정을 행한다.

또한, 시트 수지 오버랩 공정 후에, 캐비티부(27) 내를 감압하여 시트 수지(28)를 점착한 이형 필름(26)을 캐비티부(27)의 캐비티면에 흡착하는 이형 필름 흡착 공정을 행한다.

또한, 이형 필름 흡착 공정 후에, 상형면과 하형면을 마주하여 닫는 수지 밀봉틀 결합 공정을 행한다.

또한, 수지 밀봉틀 결합 공정 시에 따른 결합 압력으로, 캐비티부(27)의 외측 주연 부위에 설정한 시트 수지(28)의 오버랩부(28a)를 절단하며, 이 절단된 오버랩부(28a)를 제거하는 시트 수지(28)를 캐비티부(27) 내에 수용하는 오버랩부 절단 분리 공정을 행한다.
또한, 이때, 상기 시트 수지(28)의 오버랩부(28a)에는 오버랩부의 절단 분리 공정 전에 앞서 설명한 오버랩부 가압 공정과 오버랩부의 절단 분리 공정 후에 앞서 설명한 오버랩부 수용 공정을 행한다.

또한, 오버랩부 절단 분리 공정 후에, 캐비티부(27) 내에 수용하여 가열 용융한 시트 수지(28)를 압축함으로써, 도 9의 (3)에 나타내는 바와 같이, 캐리어(40) 상의 전자 부품(17a)을 미리 정해진 균등한 두께로 성형한 수지 패키지(31a) 내에 밀봉하는 수지 압축 성형 공정을 행한다.

이 실시예에 있어서도, 이형 필름(26)을 통해 캐비티부(27) 내에 시트 수지(28)를 공급하였을 때에, 상기 캐비티부(27)의 주변부에 수지 미충전 상태의 공극부가 생기는 일이 없고, 또한, 상기 캐비티부(27) 내에 전자 부품(17a)을 수지 밀봉하기 위해 필요한 적정량의 수지 재료를 공급할 수 있다.

따라서, 캐비티부(27) 내에 있어서의 용융 수지 재료의 유동 작용에 기인하여 캐리어(40) 상의 전자 부품(17a)이 압박되어 위치 어긋남 등의 문제점이 발생하는 것을 효율적으로 방지할 수 있다.

또한, 캐리어(40) 상의 전자 부품(17a)을, 각 부위에 있어서 균등한 두께로 성형된 수지 패키지(31a) 내에 밀봉할 수 있다고 하는 실용적인 효과를 나타낸다.

또한, 도 9의 (3)에 나타낸 수지 성형품은, 전자 부품(17a)을 수지 밀봉한 수지 패키지(31a)와 캐리어(40) 및 접착 필름(41)을 분리하는 공정을 행하고[도 9의 (4) 참조], 다음에, 상기 전자 부품(17a)에 대한 재배선 및 볼 형성 공정을 행하며[도 9의 (5) 참조], 다음에, 각 최소 단위마다 절단 분리하는 다이싱(개편화) 공정을 행함으로써 개개의 제품이 된다[도 9의 (6) 참조].

또한, 이 실시예에 있어서, 적어도 수지 성형 온도 이하가 되는 상온 하에서는 미리 정해진 접착력을 유지하며 수지 성형 온도 이상이 요구되는 가열 온도 하에서는 접착력이 저하되어 용이하게 박리되는 가열 박리성 기능을, 상기 접착 필름(41)이 갖도록 하여도 좋다.

이 경우는, 도 9의 (3)에 나타낸 수지 성형품을 수지 성형 온도 이상으로 가열함으로써, 전자 부품(17a)을 수지 밀봉하는 수지 패키지(31a)와 캐리어(40) 및 접착 필름(41)을 분리하는 공정[도 9의 (4) 참조]을 효율적으로 또한 간단하게 행할 수 있다.

또한, 상기 각 실시예에서는, 시트 수지(28)를 긴 형태의 이형 필름(26) 상의 미리 정해진 간격 위치에 점착시켜 형성한 것을 나타내었지만, 이 시트 수지를 미리 정해진 크기로 사전에 절단한 이형 필름 상에 점착시킨, 소위, 프리 컷트형의 시트 수지를 사용할 수 있다.

예컨대, 도 10의 (1), (2), (3)에 나타내는 바와 같이, 프리 컷트한 이형 필름(26a)과, 상기 이형 필름(26a)의 상면에 점착한 시트 수지(28c)와, 이 시트 수지(28c)의 상면에 점착한 보호 필름(30a)(라미네이트 필름)으로 구성할 수 있다.

그리고, 이 시트 수지(28c)는 적절한 공급 기구(도시하지 않음)를 통해 하형(14)의 틀면에 공급될 수 있다.

또한, 이 이형 필름(26a)은, 수지 밀봉틀(15)에서 미리 정해진 수지 압축 성형 공정을 거친 후에, 적절한 취출 기구(도시하지 않음)를 통해, 외부로 반출할 수 있다.

또한, 이 프리 컷트형의 이형 필름(26a) 및 시트 수지(28c)를 수지 밀봉 장치(10)에 공급하는 경우에는, 도 10의 (2) 및 도 10의 (3)에 나타내는 바와 같이, 시트 수지(28c)의 상면에 점착한 보호 필름(30a)을 사전에 박리하면 좋다.

또한, 상기 시트 수지(28c)의 형상은, 전술한 시트 수지(28)의 형상과 마찬가지로, 수지 밀봉 장치(10)에 있어서의 캐비티부(27)의 형상에 대응하며, 상기 캐비티부(27)의 개구 주연[캐비티 바닥면 부재(21)의 상단 주연부]보다 크게 되도록 설정하면 좋다.

따라서, 캐비티부(27)에 시트 수지(28c)를 공급하는 경우에 있어서, 상기 시트 수지(28c)의 중심 위치를 캐비티부(27)의 중심 위치에 맞추는 양자의 위치 맞춤(위치 결정 제어)을 행함으로써, 이 시트 수지(28c)의 외측 주연의 부위를 캐비티부(27)의 외측 주연의 부위[캐비티 측면 부재(22)의 상면]에 돌출시켜 중합하는 오버랩부(28a)를 설정할 수 있다.

본 발명은, 전술한 각 실시예의 것에 한정되는 것이 아니며, 본 발명의 취지를 일탈하지 않는 범위 내에서, 필요에 따라, 임의로 또한 적절하게 변경·선택하여 채용할 수 있다.

10 : 수지 밀봉 장치
11 : 상형 베이스
12 : 상형
13 : 하형 베이스
14 : 하형
15 : 수지 밀봉틀
16 : 기판 셋트부
17 : 전자 부품
17a : 전자 부품
18 : 기판
19 : 상형측 밀봉 부재
20 : 탄성 부재
21 : 캐비티 바닥면 부재
22 : 캐비티 측면 부재
23 : 탄성 부재
24 : 하형측 밀봉 부재
25 : 기판 공급·반출 기구
26 : 이형 필름
26a : 이형 필름
27 : 캐비티부
27D : 캐비티부의 깊이
28 : 시트 수지
28a : 오버랩부
28b : 절단 위치
28c : 시트 수지
28T : 시트 수지의 두께
29 : 롤·투·롤 기구
29a : 공급 롤
29b : 공급측 가이드 롤
29c : 권취측 가이드 롤
29d : 권취 롤
29e : 가이드 롤
30 : 보호 필름
30a : 보호 필름
31 : 수지 패키지
31T : 수지 패키지의 두께
31a : 수지 패키지
32 : 수지 저류부
33 : 연통부
34 : 수지량 조정부
40 : 캐리어
41 : 접착 필름

Claims

적어도 상형 및 하형을 구비한 수지 밀봉틀의 미리 정해진 위치에 복수의 전자 부품을 장착한 기판을 공급하여 셋팅하며, 상기 하형에 마련한 캐비티부에 시트 수지를 공급하여 가열 용융하고 또한 가열 용융된 상기 시트 수지로 이루어지는 용융 수지 재료를 압축하여 상기 기판 상의 상기 전자 부품을 수지 밀봉하는 수지 밀봉 방법으로서,
상기 전자 부품을 장착한 상기 기판을 상기 수지 밀봉틀의 상기 미리 정해진 위치에 공급하여 셋팅하는 기판 공급 셋팅 공정과,
이형(離型) 필름과 상기 이형 필름의 상면에 점착된 시트 수지를 상기 캐비티부에 공급하는 시트 수지 공급 공정과,
상기 이형 필름으로 상기 하형의 틀면을 덮고, 또한, 상기 이형 필름의 상면의 상기 시트 수지를 상기 캐비티부의 위치와 대응하는 위치에 셋팅하는 시트 수지 셋팅 공정과,
상기 시트 수지 셋팅 공정에 의해 상기 시트 수지를 상기 캐비티부와 대응하는 위치에 셋팅할 때에, 상기 시트 수지의 주변 부위를 상기 캐비티부의 외측 주연 부위에 돌출시켜 중합(重合)시킴으로써, 상기 캐비티부의 상기 외측 주연 부위에 상기 시트 수지의 오버랩부를 설정하는 시트 수지 오버랩 공정과,
상기 시트 수지 오버랩 공정 후에, 상기 캐비티부 내를 감압하여 상기 시트 수지가 점착된 상기 이형 필름을 상기 캐비티부에 흡착하는 이형 필름 흡착 공정과,
상기 이형 필름 흡착 공정 후에, 상기 상형의 틀면과 상기 하형의 틀면을 마주하여 닫는 수지 밀봉틀 결합 공정과,
상기 수지 밀봉틀 결합 공정에 따른 결합 압력으로, 상기 캐비티부의 상기 외측 주연 부위에 설정한 상기 시트 수지의 상기 오버랩부를 절단하며, 절단된 상기 오버랩부가 제거된 상기 시트 수지를 상기 캐비티부 내에 수용하는 오버랩부 절단 분리 공정과,
상기 오버랩부 절단 분리 공정 전에, 상기 수지 밀봉틀 결합 공정에 있어서의 결합 압력에 의해 상기 시트 수지의 상기 오버랩부를 가압하는 오버랩부 가압 공정과,
상기 오버랩부 절단 분리 공정 후에, 절단 분리된 상기 오버랩부를 상기 캐비티부의 상기 외측 주연 부위에 마련한 수지 저류부 내에 수용하는 오버랩부 수용 공정과,
상기 오버랩부 절단 분리 공정 후에, 상기 캐비티부 내에 수용하여 가열 용융한 상기 시트 수지를 압축함으로써, 상기 기판 상의 상기 전자 부품을, 미리 정해진 균등한 두께로 성형한 수지 패키지 내에 밀봉하는 수지 압축 성형 공정
을 포함하는 것을 특징으로 하는 수지 밀봉 방법.
제1항에 있어서,
상기 시트 수지의 상면에는 보호 필름이 점착되어 있고,
상기 시트 수지 공급 공정 전에, 상기 시트 수지로부터 상기 보호 필름을 박리하는 시트 수지 상면측 보호 필름 박리 공정
을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 수지 밀봉 방법.
삭제
삭제
제1항에 있어서,
상기 오버랩부 수용 공정에 의해 상기 수지 저류부 내에 수용된 상기 오버랩부가 용융하여 이루어지는 상기 용융 수지 재료가 상기 캐비티부 내에 유입되는 것을 방지하는, 수지 저류부 내 수지 유출 방지 공정
을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 수지 밀봉 방법.
제1항에 있어서,
상기 수지 압축 성형 공정 실시 시에, 상기 캐비티부 내의 가스류를 상기 수지 밀봉틀의 외부에 배출하는 에어 벤트 공정
을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 수지 밀봉 방법.
제1항에 있어서, 상기 시트 수지 공급 공정 시에, 상기 캐비티부의 깊이를, 상기 시트 수지의 두께의 1.5배 내지 2.0배가 되는 깊이로 설정하는 것을 특징으로 하는 수지 밀봉 방법.
제1항에 있어서, 상기 시트 수지의 두께와, 상기 수지 압축 성형 공정에서 성형하는 상기 수지 패키지의 두께를, 서로 같아지도록 설정하는 것을 특징으로 하는 수지 밀봉 방법.
제1항에 있어서,
상기 캐비티부에 수지량 조정부를 마련한 뒤에, 수지량 조정부가 상기 캐비티부 내에서 잉여 수지를 수용하는 잉여 수지 수용 공정
을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 수지 밀봉 방법.
적어도 상형 및 하형을 구비하는 수지 밀봉틀의 미리 정해진 위치에 복수의 전자 부품을 장착한 캐리어를 공급하여 셋팅하며, 상기 하형에 마련한 캐비티부에 시트 수지를 공급하여 가열 용융하고 또한 가열 용융된 상기 시트 수지로 이루어지는 용융 수지 재료를 압축하여 상기 캐리어 상의 전자 부품을 수지 밀봉하는 수지 밀봉 방법으로서,
상기 캐리어의 표면에 접착 필름을 점착하며 상기 접착 필름을 통해 상기 캐리어에 복수의 상기 전자 부품을 장착하는 캐리어 준비 공정과,
상기 캐리어 준비 공정에서 준비한 상기 캐리어를, 상기 수지 밀봉틀의 미리 정해진 위치에 공급하여 셋팅하는 캐리어 공급 셋팅 공정과,
이형 필름과 상기 이형 필름의 상면에 점착된 시트 수지를 상기 캐비티부에 공급하는 시트 수지 공급 공정과,
상기 이형 필름으로 상기 하형의 틀면을 덮고, 또한, 상기 이형 필름의 상면의 상기 시트 수지를 상기 캐비티부의 위치와 대응하는 위치에 셋팅하는 시트 수지 셋팅 공정과,
상기 시트 수지 셋팅 공정에 의해 상기 시트 수지를 상기 캐비티부와 대응하는 위치에 셋팅할 때에, 상기 시트 수지의 주변 부위를 상기 캐비티부의 외측 주연 부위에 돌출시켜 중합시킴으로써, 상기 캐비티부의 상기 외측 주연 부위에 상기 시트 수지의 오버랩부를 설정하는 시트 수지 오버랩 공정과,
상기 시트 수지 오버랩 공정 후에, 상기 캐비티부 내를 감압하여 상기 시트 수지가 점착된 상기 이형 필름을 상기 캐비티부에 흡착하는 이형 필름 흡착 공정과,
상기 이형 필름 흡착 공정 후에, 상기 상형의 틀면과 상기 하형의 틀면을 마주하여 닫는 수지 밀봉틀 결합 공정과,
상기 수지 밀봉틀 결합 공정에 따른 결합 압력으로, 상기 캐비티부의 상기 외측 주연 부위에 설정한 상기 시트 수지의 상기 오버랩부를 절단하며, 절단된 상기 오버랩부가 제거된 상기 시트 수지를 상기 캐비티부 내에 수용하는 오버랩부 절단 분리 공정과,
상기 오버랩부 절단 분리 공정 전에, 상기 수지 밀봉틀 결합 공정에 있어서의 결합 압력에 의해 상기 시트 수지의 상기 오버랩부를 가압하는 오버랩부 가압 공정과,
상기 오버랩부 절단 분리 공정 후에, 절단 분리된 상기 오버랩부를 상기 캐비티부의 상기 외측 주연 부위에 마련한 수지 저류부 내에 수용하는 오버랩부 수용 공정과,
상기 오버랩부 절단 분리 공정 후에, 상기 캐비티부 내에 수용하여 가열 용융한 상기 시트 수지를 압축함으로써 상기 캐리어 상의 상기 전자 부품을, 미리 정해진 균등한 두께로 성형한 수지 패키지 내에 밀봉하는 수지 압축 성형 공정
을 포함하는 것을 특징으로 하는 수지 밀봉 방법.
제10항에 있어서, 상기 캐리어 준비 공정에서는, 상기 접착 필름으로서, 적어도 수지 성형 온도 이하가 되는 상온 하에서는 미리 정해진 접착력을 유지하며 수지 성형 온도 이상이 요구되는 가열 온도 하에서는 상기 접착력이 저하되어 용이하게 박리되는, 가열 박리성 기능을 갖는 접착 필름을 이용하는 것을 특징으로 하는 수지 밀봉 방법.
적어도 상형 및 하형을 구비한 수지 밀봉틀의 미리 정해진 위치에 복수의 전자 부품을 장착한 기판을 공급하여 셋팅하며, 상기 하형에 마련한 캐비티부에 이형 필름 상에 점착된 시트 수지를 공급하여 가열 용융하고 또한 가열 용융된 상기 시트 수지로 이루어지는 용융 수지 재료를 압축하여 상기 기판 상의 상기 전자 부품을 수지 밀봉하는 수지 밀봉 장치로서,
상기 하형에 마련한 캐비티부와,
상기 캐비티부의 외측 주위에 마련한 수지 저류부와,
상기 캐비티부와 상기 수지 저류부를 연통 접속시키는 연통부와,
상기 캐비티부의 외측 주연 부위에 위치하는 상기 시트 수지의 주변 부위를 돌출시켜 중합시키기 위한 하형면과,
상기 이형 필름을 흡착하여 상기 이형 필름 상의 상기 시트 수지를 상기 캐비티부 내에 흡인하여 공급하는 이형 필름 흡착 기구와,
상기 수지 밀봉틀의 개폐 기구와,
상기 캐비티부에 마련한 수지 압축 기구
를 구비하고,
상기 시트 수지의 상기 주변 부위의 상기 하형면과의 오버랩부를, 상기 개폐 기구에 의한 결합 압력에 의해 상기 시트 부재로부터 절단 분리하도록 구성한 것을 특징으로 하는 수지 밀봉 장치.
제12항에 있어서,
상기 상하 양형의 틀 결합 시에 상기 상하 양형의 외측 주위를 밀봉(seal)하는 밀봉 부재와,
상기 밀봉 부재에 의한 밀봉 범위 내의 공기를 외부에 배출하는 에어 벤트 기구
를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 수지 밀봉 장치.
제12항에 있어서, 상기 연통부는, 상기 캐비티부로부터 상기 수지 저류부측을 향하여 낮아지는 경사면 형상을 갖는 수지 유출 방지 수단을 더 구비하는 것을 특징으로 하는 수지 밀봉 장치.
제12항에 있어서,
수지 유출 방지 수단
을 더 구비하고,
상기 수지 유출 방지 수단은, 상기 캐비티부의 외측을 향하여 교대로 연통 접속된 복수의 상기 수지 저류부와 복수의 상기 연통부를 구비하는 것을 특징으로 하는 수지 밀봉 장치.
제12항에 있어서,
상기 캐비티부 내에서 잉여 수지를 수용하기 위한 수지량 조정부
를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 수지 밀봉 장치.