JP6430143B2 - 樹脂成形装置及び樹脂成形方法並びに成形製品の製造方法 - Google Patents
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Description
図1と図2(1)、(2)と図3とを参照して、本発明に係る樹脂成形装置の1つの実施例を説明する。樹脂成形装置は、樹脂材料としてシート状樹脂を使用して、基板に装着されたチップを樹脂封止するための封止樹脂を成形する。図1(1)に示されるように、樹脂成形装置には、下型1と上型2とを有する成形型3が設けられる。下型1においては、凹部からなる空間であるキャビティ4が設けられる。キャビティ4には、成形型3の外部から、熱硬化性樹脂からなるシート状樹脂5が供給される。離型フィルム6の上にシート状樹脂5が置かれて密着した状態において、離型フィルム6とシート状樹脂5との全体が同時にキャビティ4に供給される。
図4を参照して、シート状樹脂5を使用する本発明に係る樹脂成形方法の別の実施例を説明する。図4においては、図3(1)に示された搬送用治具32の図示を省略する。
図5を参照して、本発明に係るシート状樹脂の別の実施例とそのシート状樹脂を使用する樹脂成形方法とを説明する。図5に示されるように、本実施例における保護フィルム付シート状樹脂41は、シート状樹脂42と、シート状樹脂42の上面に密着する保護フィルム43と、シート状樹脂42の下面に密着する保護フィルム44とを有する。保護フィルム43、44は、いずれも次の機能を有する。それらの機能は、シート状樹脂42を外力から保護する機能、シート状樹脂42に塵が付着することを防止する機能、シート状樹脂42同士が付着することを防止して複数のシート状樹脂42を取り扱いやすくする機能等である。
図6を参照して、本発明に係るシート状樹脂とそのシート状樹脂を使用する樹脂成形装置と樹脂成形方法とのいずれも別の実施例を説明する。本実施例の特徴は、次の通りである。第1に、図6(1)、(2)に示されるように、シート状樹脂42が、平面視してキャビティ4を完全に内包する寸法と形状とを有することである。言い換えれば、キャビティ4にシート状樹脂42を供給した状態において、平面視してシート状樹脂42がキャビティ4の外縁から完全にはみ出す。したがって、シート状樹脂42のすべての端部においてシート状樹脂42がキャビティ4の外側における型面に重なるオーバーラップ部45が形成される。
2 上型(第2の型、第1の型)
3 成形型
4 キャビティ
5、42 シート状樹脂
6、28 離型フィルム(機能性フィルム、第1のフィルム、第2のフィルム)
7 封止前基板
8 全体基板
9 チップ
10 ワイヤ
11 仮想線
12 領域
13、21 吸引穴
14、23、38 吸気
15 溶融樹脂
16、50 封止樹脂
17、30、51 樹脂封止体(樹脂成形体)
18 ステージ
19 回転刃
20 吸着用凹部
22 逃げ溝
24 電子部品(成形製品)
25 個別基板
26 個別封止樹脂
27 角錐状の凹凸部
29 角錐状の凹凸樹脂
31 テーブル
32 搬送用治具(樹脂供給機構、フィルム供給機構)
33 空間
34 回転軸(押圧機構)
35 回転ローラ(押圧機構)
36 気体
37 吸引機構
39 排気
40 スキージ
41 保護フィルム付シート状樹脂
43 保護フィルム(第1のフィルム、第2のフィルム)
44 保護フィルム、離型フィルム(機能性フィルム、第2のフィルム、第1のフィルム)
45 オーバーラップ部
46 溝
47 余剰樹脂
48 薄い通路
49 離型フィルムの凹部
52 薄板部
53 突起
54 突出部
55 樹脂なし部
d1、d2 段差
Claims (12)
- 第1の型と、該第1の型に相対向する第2の型と、前記第1の型に設けられたキャビティと、該キャビティにシート状樹脂を供給する樹脂供給機構と、前記キャビティに離型フィルムを供給するフィルム供給機構とを備え、前記キャビティにおいて前記シート状樹脂が溶融して形成された溶融樹脂が硬化して形成された硬化樹脂を含む樹脂成形体を圧縮成形し、該樹脂成形体から成形製品を製造する際に使用される樹脂成形装置であって、
前記離型フィルムの平面形状が前記シート状樹脂の平面形状を内包するようにして、前記離型フィルムの上に前記シート状樹脂を置く配置機構と、
前記シート状樹脂の一方の端から他方の端に向かって順に前記シート状樹脂と前記離型フィルムとを押圧することによって、前記シート状樹脂と前記離型フィルムとを密着させる押圧機構とを備え、
前記第1の型は、前記キャビティに供給された前記離型フィルムを吸着する複数の吸引孔が設けられており、
前記樹脂供給機構は、前記キャビティの一つに対して前記シート状樹脂の一枚を供給し、
前記押圧機構は、前記シート状樹脂の前記一方の端から前記他方の端に向かって順に前記シート状樹脂と前記離型フィルムとを押圧することによって前記シート状樹脂と前記離型フィルムとの間に存在する気体を排除し、
前記第1の型及び前記第2の型が圧縮成形の後に型開きされることにより、前記第1の型に吸着された前記離型フィルムから前記樹脂成形体が分離されることを特徴とする樹脂成形装置。 - 請求項1に記載された樹脂成形装置において、
前記樹脂供給機構と前記フィルム供給機構とは共通する搬送機構であって、
前記搬送機構は、前記シート状樹脂が前記離型フィルムの上に置かれた状態において前記離型フィルムと前記シート状樹脂とを前記キャビティまで搬送することを特徴とする樹脂成形装置。 - 請求項1又は2に記載された樹脂成形装置において、
前記シート状樹脂は前記キャビティの平面形状から少なくとも一部がはみ出す平面形状を有し、
前記第1の型において前記キャビティの外側に形成された溝を備え、
前記溶融樹脂のうち前記キャビティに収容しきれない余剰樹脂が前記溝に収容されることを特徴とする樹脂成形装置。 - 請求項1〜3のいずれか1つに記載された樹脂成形装置において、
前記離型フィルムは前記シート状樹脂を保護することを目的として前記シート状樹脂を構成する面のうち相対向する面にそれぞれ貼付された保護フィルムのうちの少なくとも一方であることを特徴とする樹脂成形装置。 - 第1の型と、該第1の型に相対向する第2の型と、前記第1の型に設けられたキャビティとを使用して、前記キャビティに離型フィルムを供給する工程と、前記キャビティに供給された前記離型フィルムを前記キャビティの型面に吸着する工程と、前記キャビティにシート状樹脂を供給する工程と、前記キャビティにおいて前記シート状樹脂を溶融させて溶融樹脂を生成する工程と、前記第1の型と前記第2の型とを型締めする工程と、圧縮成形して前記溶融樹脂を硬化させて硬化樹脂を形成する工程と、前記第1の型と前記第2の型とを型開きする工程と、前記硬化樹脂を有する樹脂成形体を取り出す工程とを備える樹脂成形方法であって、
前記離型フィルムの平面形状が前記シート状樹脂の平面形状を内包するようにして、前記離型フィルムの上に前記シート状樹脂を置く工程と、
前記シート状樹脂の一方の端から他方の端に向かって順に前記シート状樹脂と前記離型フィルムとを押圧することによって、前記シート状樹脂と前記離型フィルムとを密着させる工程とを備え、
前記キャビティにシート状樹脂を供給する工程においては、前記キャビティの一つに対して前記シート状樹脂の一枚を供給し、
前記シート状樹脂と前記離型フィルムとを密着させる工程においては、前記シート状樹脂の前記一方の端から前記他方の端に向かって順に前記シート状樹脂と前記離型フィルムとを押圧することによって前記シート状樹脂と前記離型フィルムとの間に存在する気体を排除し、
前記第1の型と前記第2の型とを型開きする工程においては、前記第1の型に吸着された前記離型フィルムから前記樹脂成形体が分離されることを特徴とする樹脂成形方法。 - 請求項5に記載された樹脂成形方法において、
前記キャビティに前記離型フィルムを供給する工程と前記キャビティに前記シート状樹脂を供給する工程とは共通する工程であって、
前記共通する工程においては前記シート状樹脂を前記離型フィルムの上に置いた後に前記キャビティまで前記シート状樹脂と前記離型フィルムとを搬送することを特徴とする樹脂成形方法。 - 請求項5又は6に記載された樹脂成形方法において、
前記シート状樹脂は前記キャビティの平面形状から少なくとも一部がはみ出す平面形状を有し、
前記第1の型と前記第2の型とを型締めする工程においては、前記溶融樹脂のうち前記キャビティに収容しきれない余剰樹脂を、前記第1の型において前記キャビティの外側に形成された溝に収容することを特徴とする樹脂成形方法。 - 請求項5〜7のいずれか1つに記載された樹脂成形方法において、
前記離型フィルムは前記シート状樹脂を保護することを目的として前記シート状樹脂を構成する面のうち相対向する面にそれぞれ貼付された保護フィルムのうちの少なくとも一方であることを特徴とする樹脂成形方法。 - 第1の型と、該第1の型に相対向する第2の型と、前記第1の型に設けられたキャビティとを使用して、前記キャビティに離型フィルムを供給する工程と、前記キャビティに供給された前記離型フィルムを前記キャビティの型面に吸着する工程と、前記キャビティにシート状樹脂を供給する工程と、前記キャビティにおいて前記シート状樹脂を溶融させて溶融樹脂を生成する工程と、前記第1の型と前記第2の型とを型締めする工程と、圧縮成形して前記溶融樹脂を硬化させて硬化樹脂を形成する工程と、前記第1の型と前記第2の型とを型開きする工程と、前記硬化樹脂を有する樹脂成形体を取り出す工程と、前記樹脂成形体を個片化して成形製品を製造する工程とを有する成形製品の製造方法であって、
前記離型フィルムの平面形状が前記シート状樹脂の平面形状を内包するようにして、前記離型フィルムの上に前記シート状樹脂を置く工程と、
前記シート状樹脂の一方の端から他方の端に向かって順に前記シート状樹脂と前記離型フィルムとを押圧することによって、前記シート状樹脂と前記離型フィルムとを密着させる工程とを備え、
前記キャビティにシート状樹脂を供給する工程においては、前記キャビティの一つに対して前記シート状樹脂の一枚を供給し、
前記シート状樹脂と前記離型フィルムとを密着させる工程においては、前記シート状樹脂の前記一方の端から前記他方の端に向かって順に前記シート状樹脂と前記離型フィルムとを押圧することによって前記シート状樹脂と前記離型フィルムとの間に存在する気体を排除し、
前記第1の型と前記第2の型とを型開きする工程においては、前記第1の型に吸着された前記離型フィルムから前記樹脂成形体が分離されることを特徴とする成形製品の製造方法。 - 請求項9に記載された成形製品の製造方法において、
前記キャビティに前記離型フィルムを供給する工程と前記キャビティに前記シート状樹脂を供給する工程とは共通する工程であって、
前記共通する工程においては前記シート状樹脂を前記離型フィルムの上に置いた後に前記キャビティまで前記シート状樹脂と前記離型フィルムとを搬送することを特徴とする成形製品の製造方法。 - 請求項9又は10に記載された成形製品の製造方法において、
前記シート状樹脂は前記キャビティの平面形状から少なくとも一部がはみ出す平面形状を有し、
前記第1の型と前記第2の型とを型締めする工程においては、前記溶融樹脂のうち前記キャビティに収容しきれない余剰樹脂を、前記第1の型において前記キャビティの外側に形成された溝に収容することを特徴とする成形製品の製造方法。 - 請求項9〜11のいずれか1つに記載された成形製品の製造方法において、
前記離型フィルムは前記シート状樹脂を保護することを目的として前記シート状樹脂を構成する面のうち相対向する面にそれぞれ貼付された保護フィルムのうちの少なくとも一方であることを特徴とする成形製品の製造方法。
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